JP2003279088A

JP2003279088A - ファンフィルター装置とそのリモコンユニット

Info

Publication number: JP2003279088A
Application number: JP2002084619A
Authority: JP
Inventors: Tsukasa Fujita; 司藤田; Tomoki Isaki; 知己伊崎
Original assignee: Keyence Corp
Current assignee: Keyence Corp
Priority date: 2002-03-25
Filing date: 2002-03-25
Publication date: 2003-10-02

Abstract

(57)【要約】【課題】除電装置を簡単に付加し得る構造を備えたフ
ァンフィルター装置を提供する。また、ファンフィルタ
ー装置に接続される便利なリモコンユニットを提供す
る。【解決手段】電動ファン１６によって外部から取り入
れられた空気がフィルター１８を通過して清浄化された
後に外部に送り出されるように構成されたファンフィル
ター装置１０において、フィルター１８を通過した空気
をイオン化する除電装置１５を装着するための予備空間
と、除電装置１５に電源を供給するための電源供給端子
３７ａ及び除電装置１５からの信号をファンフィルター
装置１０に取り込むための信号入力端子３７ｂを含むコ
ネクタ３７とを備えている。除電装置１５から取り込ま
れた信号は、他の信号と共にＦＦＵ制御部３２からリモ
コンユニット４０に送信され、表示部４３に表示され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気をＨＥＰＡフ
ィルター（ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｐａｒｔ
ｉｃｕｌａｔｅａｉｒｆｉｌｔｅｒ、高性能微粒子
除去フィルター）で濾過することによって清浄化して送
り出すファンフィルター装置とそのリモコンユニット
（遠隔制御装置）に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のファンフィルター装置は、電子
機器や精密機械等の組み立て場所及び保管場所の空気を
清浄化するために用いられる。例えば、組み立て作業テ
ーブルの上方から下方に向けて清浄化された空気を送り
出すようにファンフィルター装置が設置される。あるい
は、保管庫の上にファンフィルター装置を設置し、保管
庫の天井に設けられた開口から保管庫内へ清浄化された
空気が送り出されるようにする。

【０００３】図１０は従来の典型的なファンフィルター
装置の構造を示す側面視の構成図である。このファンフ
ィルター装置１００は、直方体形状又は円筒形状のケー
ス１０１の内部に、電動モータ１０２とその上下方向の
回転軸に固着されたプロペラファン１０３とＨＥＰＡフ
ィルター１０４とを備え、これらが上下方向に並ぶよう
に配置されている。

【０００４】ケース１０１の外部に備えられた電源１０
５から供給される電力によって電動モータ１０２が回転
すると、矢印線で示すように、プロペラファン１０３に
よってケース１０１の上側の開口から取り込まれた空気
が下方へ送り出され、ＨＥＰＡフィルター１０４を通っ
て清浄化された後に下方空間に送り出される。

【０００５】上記のようなファンフィルター装置は、除
電装置と組み合わせて使用する場合がある。除電装置
は、イオナイザと呼ばれることもあり、空気をイオン化
することによって帯電した塵埃を除電する働きを有す
る。帯電した塵埃は電子機器や精密機械等に強固に付着
し除去されにくい。そこで、ファンフィルター装置から
送り出される清浄空気を除電装置でイオン化して電子機
器や精密機械等の対象物に当てることにより、対象物に
付着した塵埃を除電（中和）し、除去されやすくする。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来、ファンフィルタ
ー装置と除電装置は個別に電源供給されており、場合に
よっては、それぞれ別個の電源装置を必要とした。本発
明は、このような不便を解消して、除電装置を簡単に付
加し得る構造を備えたファンフィルター装置を提供する
ことを目的とする。また、ファンフィルター装置に接続
される便利なリモコンユニットを提供することも本発明
の目的である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によるファンフィ
ルター装置は、空気を濾過するフィルターと電動ファン
を備え、電動ファンによって外部から取り入れられた空
気がフィルターを通過して清浄化された後に外部に送り
出されるように構成されたファンフィルター装置であっ
て、フィルターを通過した空気をイオン化する除電装置
を装着するための予備空間と、除電装置に電源を供給す
るための電源供給端子を含むコネクタを備えていること
を特徴とする。

【０００８】このような構成によれば、例えばオプショ
ンとして用意される除電装置をファンフィルター装置の
予備空間に装着し、その電源をファンフィルター装置か
らコネクタを介して得ることができる。また、ファンフ
ィルター装置と除電装置とを接続するケーブルが短くて
済む。したがって、除電装置を簡単にかつ見映え良く装
着することができる。

【０００９】好ましくは、前記コネクタが電源供給端子
だけでなく、除電装置からの信号をファンフィルター装
置に取り込むための信号入力端子を含む。例えば長期間
の使用による電極の汚れや磨耗に起因して除電装置が正
常に機能しなくなったときに、除電装置からファンフィ
ルター装置に異常信号を伝えることができる。

【００１０】また、本発明のリモコンユニットは、ファ
ンフィルター装置との通信を行う通信回路と、ファンフ
ィルター装置から受信した情報に基づいてファンフィル
ター装置の動作状態を表示するための表示部と、ファン
フィルター装置の電動ファンの回転数を調整するための
設定を行う操作部とを備え、ファンフィルター装置が除
電装置から入力して送信した信号を受信し、表示部にフ
ァンフィルター装置の動作状態と共に除電装置の動作状
態を表示することを特徴とする。例えば、上記のように
除電装置からファンフィルター装置に伝えられた異常信
号が更にリモコンユニットに送信され、リモコンユニッ
トの表示部に所定の表示が行われる。これによって作業
者は、ファンフィルター装置の動作状態だけでなく除電
装置の異常をも容易に知ることができる。

【００１１】本発明の別の構成によるリモコンユニット
は、空気を濾過するフィルターと電動ファンを備え、電
動ファンによって外部から取り入れられた空気がフィル
ターを通過して清浄化された後に外部に送り出されるよ
うに構成された複数のファンフィルター装置が接続され
るリモコンユニットであって、複数のファンフィルター
装置との通信を行う通信回路と、複数のファンフィルタ
ー装置から受信した情報に基づいて複数のファンフィル
ター装置の動作状態を個別に表示するための表示部と、
複数のファンフィルター装置の電動ファンの回転数を調
整するための設定を行う操作部とを備えていることを特
徴とする。

【００１２】このような構成によれば、広い清浄化対象
空間に複数のファンフィルター装置を用いて清浄空気を
供給するような場合に、複数のファンフィルター装置の
動作状態の監視や風量設定等を１台のリモコンユニット
で行うことができるので便利である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。

【００１４】図１は、本発明の実施形態に係るファンフ
ィルター装置の外観を示し、（ａ）は上面図、（ｂ）は
側面図、（ｃ）は下面図である。このファンフィルター
装置１０は、樹脂成形品である上ケース１１と下ケース
１２を有する。上ケース１１の上面の長手方向一側部に
一対の空気取り入れ口１３が設けられている。また、下
ケース１２の底面に吐き出し口（吐き出し面）１４が設
けられている。吐き出し口１４は、平面視において、空
気取り入れ口１３が設けられている長手方向一側部の反
対側から中央部にかけて略正方形に形成されている。

【００１５】空気取り入れ口１３は、上ケース１１に形
成された複数のスリット開口が並んだ構造と、その内側
に貼り付けられたナイロンメッシュ（図示せず）によ
り、第１プレフィルターを構成している。空気取り入れ
口の第１プレフィルター１３によって、髪の毛や綿埃の
ような大きい塵埃がファンフィルター装置の内部に入る
のを阻止して、ファンの故障を防いでいる。

【００１６】図２は、本発明の実施形態に係るファンフ
ィルター装置の内部構造図であり、（ａ）は平面視、
（ｂ）は側面視の内部構造の概略を示している。ファン
フィルター装置１０の略直方体の内部空間において、長
手方向の一方側に遠心式ファンの一種であるシロッコフ
ァン１６と、それを回転駆動する電動モータ１７が配置
され、他方側にＨＥＰＡフィルター（高性能微粒子除去
フィルター）１８と第２プレフィルター１９が配置され
ている。

【００１７】図３は、ＨＥＰＡフィルター１８の構造を
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面から見た断面図で
ある。ＨＥＰＡフィルター１８は、空気を清浄化するた
めの主フィルターであり、ガラス繊維不織布を折り畳ん
で多数の襞を形成したフィルター本体２２をアルミニウ
ム枠２１に装着した構造を有する。多数の襞を形成する
ことにより、フィルター本体２２の濾過作用を奏する表
面積を増やしている。

【００１８】また、第２プレフィルター１９は不織布で
構成され、ＨＥＰＡフィルター１８の上面（上流側）に
装着されている。第２プレフィルター１９は、カビの胞
子や花粉等の数ミクロンの埃の通過を阻止することがで
きる。第２プレフィルター１９は不織布を所定寸法にカ
ットしたものであり、ＨＥＰＡフィルター１８に比べて
非常に安価である。目詰まりが生ずれば新しいものに取
り替えることができる。あるいは、取り外して水洗又は
掃除機での吸引等により容易にその濾過作用を回復させ
ることができる。これにより、高価なＨＥＰＡフィルタ
ー１８の寿命を延ばすことができる。

【００１９】図１及び図２からわかるように、上ケース
１１の一対の空気取り入れ口（第１プレフィルター）１
３は、平面視でシロッコファン１６の両側（上下）に位
置するように形成されている。空気取り入れ口（第１プ
レフィルター）１３を通して外部から取り入れた空気
は、図２に矢印線で示すように、シロッコファン１６の
両側（上下両方向）からシロッコファン１６に入り、そ
のハウジング出口部に取り付けられた連結ダクト２４を
通ってＨＥＰＡフィルター１８の上部空間２５に導かれ
る。

【００２０】図４は、シロッコファン１６のハウジング
出口部側からみたシロッコファン１６及び電動モータ１
７を示す図である。シロッコファン１６は、略円筒形の
ハウジング１６ａとその中で回転する羽根車１６ｂから
なり、羽根車１６ｂの回転軸は電動モータ１７の回転軸
に接続されている。ハウジング１６ａには、長方形のハ
ウジング出口部１６ｃが形成されている。矢印線で示す
ように、ハウジング１６ａの両側面の空気取り入れ口か
ら空気が取り入れられ、ハウジング出口部１６ｃから
（紙面に垂直に手前方向へ）吐き出される。

【００２１】図２に示すように、ＨＥＰＡフィルター１
８の上部空間２５は、シロッコファン１６及び電動モー
タ１７が配置された空間２７から隔壁２６によって分離
されている。隔壁２６の中央部に開口部２６ａが形成さ
れ、この開口部２６ａが連結ダクト２４に接続されてい
る。連結ダクト２４及び開口部２６ａを通ってＨＥＰＡ
フィルター１８の上部空間２５に導かれた空気は、シロ
ッコファン１６によって正の圧力を与えられた状態で第
２プレフィルター１９及びＨＥＰＡフィルター１８を上
面側から下面側へ通過して清浄化され、下ケース１２の
底面の吐き出し口１４から外部へ送り出される。

【００２２】また、図２（ｂ）に示すように、ＨＥＰＡ
フィルター１８と下ケース１２の底面の吐き出し口１４
との間に、除電装置（イオナイザ）を装着するための予
備空間２０が確保されている。除電装置は、ＨＥＰＡフ
ィルター１８を通過した清浄空気をイオン化する装置で
あり、この働きにより、帯電した状態で電子機器や精密
機械等に強固に付着している塵埃を除電（中和）し、除
去されやすくする。

【００２３】図５に、除電装置１５の一例を示す。
（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図である。この除
電装置１５は、棒状の本体の下部から複数の電極部１５
ａが突出した構造を有し、内部には高圧発生回路１５ｂ
及びコントローラ部１５ｃが内蔵されている。高圧発生
回路１５ｂで発生した高電圧が複数の電極部１５ａに供
給される。

【００２４】ＨＥＰＡフィルター１８を通過した清浄空
気は、図５（ｂ）に示すように、除電装置１５の上部か
ら電極部１５ａが設けられた下部へ棒状の本体を回り込
むように通過し、この際に電極部１５ａに印加された高
電圧によってイオン化される。ＨＥＰＡフィルター１８
の下の予備空間２０には、複数の除電装置１５を所定間
隔で配置するように装着することができる。

【００２５】除電装置１５には、ＤＣ２４Ｖの電圧が供
給され、その消費電流は比較的小さい。後述するよう
に、ファンフィルター装置１０には除電装置１５にＤＣ
２４Ｖを供給するための電源供給端子を含むコネクタを
備えているので、除電装置１５は短いケーブルのハーネ
スをファンフィルター装置１０のコネクタに接続するだ
けで必要な電源供給を受けることができる。したがっ
て、除電装置１５用のＤＣ２４Ｖ電源を別途用意する必
要がない。

【００２６】前述のような構造のＨＥＰＡフィルター１
８は、長時間使用すれば埃による目詰まりが発生する。
使用環境によって異なるが、所定時間が経過すればＨＥ
ＰＡフィルター１８を新しいものに交換する必要があ
る。ＨＥＰＡフィルター１８を交換するまでの間は、目
詰まりが徐々に進行し、ＨＥＰＡフィルター１８の圧力
損失が徐々に増加することになる。圧力損失が増加すれ
ば、吐き出し口１４から送り出される空気の風量が低下
する。上記のような使用時間の経過に伴う風量の低下を
補償するには、電動モータ１７に供給する電力（電流）
を増やす必要がある。本実施形態のファンフィルター装
置１０は、風量を検出するための風速センサを備え、そ
の検出出力に基づいて電動モータ１７に供給する電力の
フィードバック制御を行う。

【００２７】図２（ｂ）に示すように、シロッコファン
１６のハウジング出口部の内壁に風速センサ２８が取り
付けられている。この風速センサ２８は、トランジスタ
のベースエミッタ間電圧が温度によって変化することを
利用したものである。つまり、風速センサ２８が晒され
ている空気の風速が速くなるほどトランジスタの冷却効
果が高くなるので、ベースエミッタ間電圧を風速センサ
２８のセンサ出力として検出すれば、風速がわかること
になる。このような風速センサ２８は公知であるので、
詳しい説明は省く。トランジスタに代えて電熱素子を用
い、その抵抗値の変化をセンサ出力とする風速センサを
用いてもよい。

【００２８】風速センサ２８が取り付けられたファン出
口部分の流路断面積は既知であるから、風速が分かれば
風量も分かる。図１０に示した従来構造のファンフィル
ター装置では風速を正確に測定することが困難である
が、本実施形態の構造では、流路断面積の小さい流路部
分に取り付けられた風速センサ２８を用いて比較的速い
風速を検出することができ、正確に風速（風量）を測定
することができる。

【００２９】図６は、本実施形態のファンフィルター装
置１０とそのリモコンユニット４０の電子回路の概略構
成を示すブロック図である。なお、図６のブロック図に
はファンフィルター装置１０に接続された除電装置１５
も含まれている。

【００３０】ファンフィルター装置１０は、後述するリ
モコンユニット４０と通信ケーブル２９で接続され、リ
モコンユニット４０との間で情報の送受信を行うための
通信回路３０を備えている。また、ファンフィルター装
置１０は風速検出回路３１、ＦＦＵ制御部３２、モータ
ドライバ３３、電流検出回路３４、回転数検出回路３
５、ＤＶ２４Ｖ電源回路３６及び除電装置接続用のコネ
クタ３７を備えている。

【００３１】風速センサ２８の出力信号は風速検出回路
３１を経てＦＦＵ制御部３２に入力される。ＦＦＵ制御
部３２は、風速センサ２８で検出された現在の風速レベ
ルを設定値と比較し、その誤差がゼロになるようにモー
タドライバ３３を介して電動モータ１７（への供給電
力）を制御する。つまり、現在の風速レベルが設定値よ
り低ければ、電動モータ１７への供給電力を増加し、逆
に風速レベルが高くなれば供給電力を減少するようなフ
ィードバック制御を行う。これにより、ＨＥＰＡフィル
ター１８の目詰まり等に起因する風量の低下を補償し
て、一定の風量を確保することができる。

【００３２】電動モータ１７への供給電力（電流）は電
流検出回路３４でモニターされ、その出力がＦＦＵ制御
部３２に入力されている。ＦＦＵ制御部３２は、電流検
出回路３４の出力を基準値（上限設定値）と比較し、電
動モータ１７への供給電流が基準値を超えると、通信回
路３０を介してフィルター交換信号をリモコンユニット
４０に送信する。つまり、電動モータ１７への供給電力
が基準値を超えると、もはや電動モータ１７の制御によ
ってＨＥＰＡフィルター１８の目詰まりを補償すること
ができないので、フィルター交換を促すためのフィルタ
ー交換信号をリモコンユニット４０に送信する。

【００３３】また、電動モータ１７の回転数が回転数検
出回路３５によって検出され、その出力信号がＦＦＵ制
御部３２に入力される。ＦＦＵ制御部３２は、回転数検
出回路３５の検出情報を風速検出回路３１の検出情報と
共に、通信回路３０を介してリモコンユニット４０に送
信する。

【００３４】除電装置接続用のコネクタ３７は、ＤＣ２
４Ｖ電源回路３６から除電装置１５に電源を供給するた
めの電源供給端子３７ａと、除電装置１５からの信号を
ファンフィルター装置１０に取り込むための信号入力端
子３７ｂを含む。除電装置１５からファンフィルター装
置１０に取り込まれる信号として、除電装置１５の電極
部１５ａが汚れや磨耗によって正常に機能しなくなった
ことを示す異常信号がある。このような信号もフィルタ
ー交換信号と同様にＦＦＵ制御部３２に入力され、リモ
コンユニット４０に送信される。

【００３５】リモコンユニット４０は、ファンフィルタ
ー装置１０との間で情報の送受信を行うための通信回路
４１、ＲＣＵ制御部４２、表示部４３、操作部４４、パ
ーティクルカウンタ４５及び圧力検出回路４６を備えて
いる。パーティクルカウンタ４５は、サンプル空気導入
部から導入される清浄化対象空間のサンプル空気に含ま
れる塵埃量（パーティクル濃度）を検出する。検出され
た塵埃量は表示部４３に表示される。あるいは、塵埃量
に基づいてＲＣＵ制御部４２が適切な風量又は風速の設
定値をファンフィルター装置１０に送信することによ
り、ファンフィルター装置１０のファン回転数の自動調
整を行う。

【００３６】表示部は、パーティクルカウンタ４５で検
出された塵埃量（パーティクル濃度）の表示の他に、フ
ァンフィルター装置１０の現在の風量（風速）やモータ
出力等の動作状態表示を行う。また、前述のフィルター
交換を促す表示や除電装置１５の異常を示す表示を行
う。

【００３７】また、清浄化対象空間が保管庫内部のよう
な閉空間である場合に、清浄化対象空間の気圧を検出す
る圧力センサ４７が設けられ、圧力検出回路４６は圧力
センサ４７からの電気信号に基づいて清浄化対象空間の
気圧を検出する。ＲＣＵ制御部４２は、圧力検出回路４
６の出力レベルを基準値と比較し、その誤差に基づいて
風量（風速）の設定値をファンフィルター装置１０に送
信することにより、ファンフィルター装置１０のファン
回転数の自動調整を行う。これにより、清浄化対象空間
（保管庫内部）を常に一定の気圧（外部の気圧より少し
高い状態）に維持し、外部の塵埃が清浄化対象空間に入
らないようにすることができる。

【００３８】例えば、保管庫の扉を開けたことによって
保管庫内部の気圧が基準値より下がると、ＲＣＵ制御部
４２は、風量又は風速の設定値を上げてファン回転数を
増加させることにより、速やかに保管庫内部の気圧を上
昇させる。逆に定常状態で保管庫内部の気圧が高くなれ
ば、ＲＣＵ制御部４２は、風量又は風速の設定値を下げ
る。これにより、電動モータ１７の消費電力を抑えると
共にＨＥＰＡフィルター１８の寿命を延ばすことができ
る。このような自動制御には通常、現在の圧力レベルと
基準値との誤差と誤差の積分値と誤差の微分値の３つの
情報を用いるＰＩＤ制御が使用される。

【００３９】図７は、リモコンユニット４０の外観を示
す図である。（ａ）は前面の表示及び操作パネル部を示
し、（ｂ）は側面のコネクタ部を示している。リモコン
ユニット４０の前面５０に、風量表示５１、塵埃量（パ
ーティクル濃度）表示５２、ＦＦＵ状態表示５３、圧力
センサ接続表示５４、アラーム表示５５を含む表示部
（図６の４３）と、パワースイッチ５７、風量設定スイ
ッチ５８、ターボスイッチ５９を含む操作部（図６の４
４）とが設けられている。

【００４０】また、リモコンユニット４０の側面６０に
は、ファンフィルター装置１０との通信ケーブルのコネ
クタ６１、圧力センサ４７のケーブルのコネクタ６２、
サンプル空気導入部であるチューブコネクタ６３、及び
空気排出口６４が設けられている。チューブコネクタ６
３から導入された清浄化対象空間のサンプル空気は、パ
ーティクルカウンタ４５を通った後、空気排出口６４か
ら排出される。

【００４１】図８はパーティクルカウンタ４５の動作原
理を示す図である。サンプリングチューブ７１に導入さ
れ、一定速度で移動するサンプル空気に対してレーザダ
イオード７２から発したレーザ光が投光レンズ７３を介
して照射される。サンプル空気中に含まれる塵埃粒子
（パーティクル）によってレーザ光のレーリー散乱また
はミー散乱が生じ、その散乱光が受光レンズ７４を通っ
て受光素子（ＰＤ）７５に受光される。受光素子７５か
ら出力される電気信号は増幅器７６で増幅された後に比
較器７７に入力される。比較器７７は、塵埃粒子の径に
応じて設定（選択）された基準レベルと入力レベルとを
比較し、比較結果をカウンタ７８に与える。このような
回路構成により、設定された径（基準レベル）より大き
い塵埃粒子（パーティクル）の数がカウンタ７８によっ
て計数される。

【００４２】図７（ａ）に示したリモコンユニット４０
の前面５０において、塵埃量表示５２には、上記のよう
にして計数された塵埃粒子の数がバーグラフで表示され
る。径の異なる２種類の塵埃粒子に関して個別に塵埃量
（パーティクル数）が表示される。ユーザはこの表示に
基づいて、風量表示５１及び風量設定スイッチ５８を用
いて適切な風量（風速）を設定することができる。ま
た、自動モードが選択されているときは、ＲＣＵ制御部
４２がパーティクルカウンタ４５からの信号に基づいて
自動的に適切な風量（風速）を設定する。設定された風
量（風速）は、通信回路４１を介してファンフィルター
装置１０に送信され、ファンフィルター装置１０のＦＦ
Ｕ制御部３２が前述のようにして、風速検出回路３１の
出力と設定風量（風速）とに基づく電動モータ１７の自
動制御を行う。

【００４３】本実施形態のリモコンユニット４０は、図
９に示すように、複数のファンフィルター装置１０を接
続することができる。ファンフィルター装置１０の側面
には、通信ケーブル２９のプラグが挿入されるモジュラ
ージャックが２個設けられており（図示せず）、１つは
入力側であり、他の１つは出力側である。

【００４４】１台目のファンフィルター装置１０の入力
側モジュラージャックは通信ケーブル２９でリモコンユ
ニット４０に接続され、出力側モジュラージャックは別
の通信ケーブル２９で２台目のファンフィルター装置１
０の入力側モジュラージャックに接続される。２台目の
ファンフィルター装置１０の出力側モジュラージャック
は別の通信ケーブル２９で３台目のファンフィルター装
置１０の入力側モジュラージャックに接続される。以
下、同様にして８台までのファンフィルター装置１０を
１台のリモコンユニット４０に接続することができる。
リモコンユニット４０は、バス型通信ラインによって各
ファンフィルター装置１０と個別に通信を行うことがで
きる。また、図７（ａ）に示したＦＦＵ状態表示５３
は、８台までのファンフィルター装置１０の動作状態を
個別に表示することができる。

【００４５】このように、１台のリモコンユニット４０
に複数のファンフィルター装置１０を接続して各ファン
フィルター装置１０の動作状態を個別にモニターするこ
とができると共に、複数のファンフィルター装置１０の
風量設定をまとめて行うことができるので、ユーザ（作
業者）にとって便利である。広い清浄化対象空間、例え
ば大きい保管庫に複数のファンフィルター装置を用いて
清浄空気を供給するような場合に適している。必要に応
じて（８台までであれば）、後からファンフィルター装
置１０を追加することも簡単である。尚、１台のリモコ
ンユニット４０に接続可能なファンフィルター装置１０
の数は、本実施形態の８台に限らず、適宜変更可能であ
る。

【００４６】以上、本発明の実施形態を変形例と共に説
明したが、本発明は上記の実施形態に限らず、種々の形
態で実施することができる。図示した形状及び構造、そ
して各部材の材質の記述は一例に過ぎず、必要に応じて
変更可能である。

【００４７】リモコンユニット４０の前面５０に配置さ
れた種々の表示及び操作スイッチのすべてについて詳細
に説明することは省略したが、表示部４３及び操作部４
４の具体的な構成や配置は任意に設計することができ
る。

【００４８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によるフ
ァンフィルター装置は、除電装置を装着する予備空間と
除電装置の電源供給用コネクタを備えているので、除電
装置を簡単にかつ見映え良く装着することができる。ま
た、除電装置からの異常信号を取り込んでリモコンユニ
ットに送信し、リモコンユニットにアラーム表示をさせ
ることができるので、作業者はファンフィルター装置の
動作状態や異常だけでなく、除電装置の異常をもリモコ
ンユニットで監視することができる。

【００４９】また、本発明によるファンフィルター装置
のリモコンユニットは、複数のファンフィルター装置を
簡単に接続することができるので、清浄化対象空間に複
数のファンフィルター装置を用いて清浄空気を供給する
ような場合に、各ファンフィルター装置の監視や風量設
定を１台のリモコンユニットで行うことができ、便利で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るファンフィルター装置
の外観を示す図である。

【図２】本発明の実施形態に係るファンフィルター装置
の内部構造図である。

【図３】ＨＥＰＡフィルターの構造を示す図である。

【図４】シロッコファンのハウジング出口部側からみた
シロッコファン及び電動モータを示す図である。

【図５】除電装置の一例を示す図である。

【図６】本実施形態のファンフィルター装置とそのリモ
コンユニットの電子回路の概略構成を示すブロック図で
ある。

【図７】リモコンユニットの外観を示す図である。

【図８】パーティクルカウンタの動作原理を示す図であ
る。

【図９】複数のファンフィルター装置と１台のリモコン
ユニットを接続する様子を示す図である。

【図１０】従来の典型的なファンフィルター装置の構造
を示す側面視の構成図である。

【符号の説明】

１０ファンフィルター装置１５除電装置１６電動ファン（シロッコファン）１８フィルター（ＨＥＰＡフィルター）２０予備空間３７コネクタ３７ａ電源供給端子３７ｂ信号入力端子４０リモコンユニット４２制御部（ＲＣＵ制御部）４３表示部４４操作部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空気を濾過するフィルターと電動ファンを
備え、前記電動ファンによって外部から取り入れられた
空気が前記フィルターを通過して清浄化された後に外部
に送り出されるように構成されたファンフィルター装置
であって、前記フィルターを通過した空気をイオン化する除電装置
を装着するための予備空間と、前記除電装置に電源を供
給するための電源供給端子を含むコネクタを備えている
ことを特徴とするファンフィルター装置。
【請求項２】前記コネクタが、前記除電装置からの信号
をファンフィルター装置に取り込むための信号入力端子
を含むことを特徴とする請求項１記載のファンフィルタ
ー装置。
【請求項３】請求項２記載のファンフィルター装置に接
続されるリモコンユニットであって、前記ファンフィルター装置との通信を行う通信回路と、
前記ファンフィルター装置から受信した情報に基づいて
前記ファンフィルター装置の動作状態を表示するための
表示部と、前記ファンフィルター装置の電動ファンの回
転数を調整するための設定を行う操作部とを備え、前記ファンフィルター装置が前記除電装置から入力して
送信した信号を受信し、前記表示部に前記ファンフィル
ター装置の動作状態と共に前記除電装置の動作状態を表
示することを特徴とするファンフィルター装置のリモコ
ンユニット。
【請求項４】空気を濾過するフィルターと電動ファンを
備え、前記電動ファンによって外部から取り入れられた
空気が前記フィルターを通過して清浄化された後に外部
に送り出されるように構成された複数のファンフィルタ
ー装置が接続されるリモコンユニットであって、前記複
数のファンフィルター装置との通信を行う通信回路と、
前記複数のファンフィルター装置から受信した情報に基
づいて前記複数のファンフィルター装置の動作状態を個
別に表示するための表示部と、前記複数のファンフィル
ター装置の電動ファンの回転数を調整するための設定を
行う操作部とを備えていることを特徴とするファンフィ
ルター装置のリモコンユニット。