JP2003118163A - Driving method of integrated light emitting device and driving method of exposure apparatus - Google Patents
Driving method of integrated light emitting device and driving method of exposure apparatusInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の集積型発光装置、特に、有機EL素子
を発光源として用いる集積型発光装置で問題となってい
た光量補正に関して、おのおのの発光点ごとの発光量バ
ラツキ、および経時変化バラツキを高精度、かつ安価に
補正することが可能で、加えて高速記録も可能な、集積
型発光装置の駆動方法、それを用いた露光装置の駆動方
法を提供すること。
【解決手段】 発光素子の発光を受光手段で検出し、該
受光手段で検出される光量の積分値と画像データとの比
較結果に基づいて、発光素子の発光時間を制御する。(57) [Summary] [Problem] Regarding light quantity correction which has been a problem in a conventional integrated light emitting device, particularly an integrated light emitting device using an organic EL element as a light emitting source, a variation in light emitting amount for each light emitting point, And a method of driving an integrated light emitting device and a method of driving an exposure device using the same, which can correct variations over time with high accuracy and at a low cost and can perform high-speed recording. SOLUTION: The light emission of a light emitting element is detected by a light receiving means, and the light emission time of the light emitting element is controlled based on a comparison result between an integrated value of the light amount detected by the light receiving means and image data.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真方式の複
写機やプリンタ等の記録装置が備える露光装置等に用い
られる集積型発光装置の駆動方法に関するものであり、
より詳細には、有機エレクトロルミネッセンス素子(有
機EL素子)に代表されるように発光特性が変動する発
光素子を用いた発光素子群における光量バラツキを低減
せしめる集積型発光装置の駆動方法に関わるものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for driving an integrated light emitting device used in an exposure device provided in a recording device such as an electrophotographic copying machine or a printer,
More specifically, the present invention relates to a method for driving an integrated light emitting device that reduces variation in the amount of light in a light emitting element group that uses a light emitting element whose light emission characteristics are typified by an organic electroluminescence element (organic EL element). is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、感光体の露光用光源として発光ダ
イオードからなる発光体やレーザダイオードを用いたス
キャナ(露光装置)が提案されており、複写機、プリン
タ等の記録装置用の露光装置として、広く一般的に用い
られている。特に、ダイオードからなる発光体を用いた
露光装置の場合、装置の小型化が容易であるという利点
がある。2. Description of the Related Art Conventionally, a scanner (exposure device) using a light-emitting body composed of a light-emitting diode or a laser diode as a light source for exposing a photoconductor has been proposed and is used as an exposure apparatus for a recording device such as a copying machine or a printer. , Is widely and commonly used. In particular, in the case of an exposure apparatus using a light emitting body made of a diode, there is an advantage that the apparatus can be easily downsized.
【0003】一方、発光体を1次元アレイ状に形成する
必要があることから、おのおのの発光素子の光量バラツ
キが問題点となっている。On the other hand, since it is necessary to form the light emitters in a one-dimensional array, there is a problem in that the light quantity of each light emitting element varies.
【0004】また近年、有機EL素子の研究開発が盛ん
に行われているが、この有機EL素子を露光装置に応用
した場合、初期の光量バラツキばかりではなく、発光特
性の経時変化、及び発光素子の経時変化特性バラツキと
いう問題が一般的に知られており、従って、有機EL素
子を露光装置へ応用することは、非常に困難であった。Further, in recent years, research and development of organic EL elements have been actively carried out. However, when this organic EL element is applied to an exposure apparatus, not only variations in the initial light amount but also changes with time in light emitting characteristics and light emitting elements. It is generally known that there is a variation in characteristics over time, and it is very difficult to apply the organic EL element to an exposure apparatus.
【0005】上記の問題を解決するために、例えば、特
開平11−109918号公報には劣化特性に合わせて
駆動電流値などの駆動条件を変化させて経時変化を補正
する技術が、特開2000−238333号公報には受
光手段を用いて発光量を検出し、その受光手段からの信
号を用いて発光量を補正する、という技術が提案されて
いる。In order to solve the above problems, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-109918 discloses a technique for changing a driving condition such as a driving current value according to a deterioration characteristic to correct a change with time. Japanese Patent Laid-Open No. 238333 proposes a technique of detecting a light emission amount using a light receiving unit and correcting the light emission amount using a signal from the light receiving unit.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術には以下のような課題がある。However, the above-mentioned prior art has the following problems.
【0007】特開平11−109918号公報に開示さ
れている補正方法は、あらかじめ発光素子の経時変化
(寿命特性)をメモリ等の記憶手段に格納しておき、更
に実際に発光素子を駆動した時間を検出して前記の経時
変化特性と演算を行い、補正量を算出して駆動条件を設
定するという技術が開示されている。According to the correction method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-109918, the change over time (life characteristic) of the light emitting element is stored in advance in a storage means such as a memory and the time when the light emitting element is actually driven is stored. There is disclosed a technique in which the drive condition is set by calculating the correction amount by detecting the value, performing the calculation with the aging characteristic, and calculating the correction amount.
【0008】しかしながら上記方法においては、ある代
表的な経時変化を記憶手段に格納するため、発光素子作
製におけるバッチやロットによる発光量のバラツキ、更
には同一装置内の個別発光点ごとのバラツキを補正する
ことはできないという課題がある。[0008] However, in the above method, since a certain typical change with time is stored in the storage means, variations in the light emission amount due to batches or lots in the production of light emitting elements and further variations among individual light emitting points in the same device are corrected. There is a problem that you cannot do it.
【0009】特開2000−238333号公報に開示
されている補正方法は、露光前、又は露光中に発光点の
光量を検出して駆動条件を中央処理装置(CPU)によ
り算出する技術が開示されている。The correction method disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-238333 discloses a technique in which the amount of light at a light emitting point is detected before or during exposure to calculate a driving condition by a central processing unit (CPU). ing.
【0010】しかしながら、露光中の光量を検出してC
PUに入力し演算を行い駆動電圧にフィードバックする
という方法においては、補正に要する時間が必要となる
ため、高速記録が困難となる。また、露光前(待機時)
に補正を行う方法においては、1枚の画像データを露光
している間に生じる光量変化を補正することができな
い。However, by detecting the amount of light during exposure, C
In the method of inputting to PU, performing calculation, and feeding back to the drive voltage, the time required for correction is required, and high-speed recording becomes difficult. Before exposure (during standby)
However, the method of performing the correction cannot correct the change in the light amount that occurs during the exposure of one image data.
【0011】また、上記従来技術においては発光量の補
正に記録手段や演算手段等が必須であるため、装置の低
価格化が難しい。Further, in the above-mentioned conventional technique, it is difficult to reduce the cost of the device because the recording means, the arithmetic means, etc. are indispensable for the correction of the light emission amount.
【0012】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたものであり、従来の集積型発光装置、特
に、有機EL素子を発光源として用いる集積型発光装置
で問題となっていた光量補正に関して、おのおのの発光
点ごとの発光量バラツキ、および経時変化バラツキを高
精度、かつ安価に補正することが可能で、加えて高速記
録も可能な、集積型発光装置の駆動方法、それを用いた
露光装置の駆動方法を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and has been a problem in the conventional integrated light emitting device, particularly in the integrated light emitting device using an organic EL element as a light emitting source. Regarding the light amount correction, it is possible to correct the light emission amount variation for each light emitting point and the variation over time with high accuracy and at low cost, and in addition, it is possible to perform high-speed recording. It is an object of the present invention to provide a driving method of an exposure apparatus used.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の第1の発明は、複数の発光素子からなる発光素子群
と、前記発光素子の発光を検出する受光手段とを少なく
とも備えた集積型発光装置の駆動方法において、前記受
光手段で検出される光量の積分値と画像データとの比較
結果に基づいて、前記発光素子の発光時間を制御するこ
とを特徴とする。A first aspect of the invention for solving the above-mentioned problems is an integrated type device comprising at least a light emitting element group composed of a plurality of light emitting elements and a light receiving means for detecting the light emission of the light emitting elements. In the method for driving a light emitting device, the light emitting time of the light emitting element is controlled based on a comparison result of the integrated value of the light amount detected by the light receiving unit and the image data.
【0014】本発明は、上記第1の発明において、「前
記発光素子群の発光開始時には、複数の発光素子を同時
に発光開始させること」、「前記発光素子の発光は、前
記光量の積分値が前記画像データに対応する値に達した
時に終了させること」、「前記受光手段として、前記発
光素子群に含まれる夫々の発光素子に対応して設けられ
た受光素子からなる受光素子群を用いること」、を好ま
しい態様として含むものである。According to the present invention, in the first aspect of the invention, "when a plurality of light emitting elements start emitting light at the same time when the light emitting element group starts to emit light,""the light emitting elements emit light with an integrated value of the light amount. End when the value corresponding to the image data is reached "," Use as the light receiving means a light receiving element group including light receiving elements provided corresponding to each light emitting element included in the light emitting element group , "As a preferred embodiment.
【0015】また、上記課題を解決するための第2の発
明は、複数の発光素子からなる発光素子群と、前記発光
素子の発光を検出する受光手段とを少なくとも備えた集
積型発光装置を含む露光装置の駆動方法であって、上記
第1の発明の集積型発光装置の駆動方法を用いたことを
特徴とする。A second invention for solving the above-mentioned problems includes an integrated light emitting device including at least a light emitting element group including a plurality of light emitting elements, and a light receiving means for detecting light emission of the light emitting elements. A method for driving an exposure apparatus is characterized by using the method for driving an integrated light emitting device according to the first invention.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】(第1の実施形態)以下、図1〜
図7に従って、第1の実施形態を説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION (First Embodiment)
The first embodiment will be described with reference to FIG.
【0017】図1は本発明の駆動方法を実現する集積型
発光装置の一実施形態のブロック図であり、N画素分の
発光素子が配列された集積型発光装置の構成を示してい
る。図2は本発明の駆動方法を実現する集積型発光装置
の一実施形態の1画素分の駆動回路、及び蓄積回路の等
価回路図である。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of an integrated light emitting device which realizes the driving method of the present invention, and shows a structure of the integrated light emitting device in which light emitting elements for N pixels are arranged. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of a drive circuit and a storage circuit for one pixel of an embodiment of an integrated light emitting device that realizes the drive method of the present invention.
【0018】図1において、101は発光素子、102
は受光素子であり、この受光素子102は夫々の発光素
子101に対応して同数設けられている。また、発光素
子101は、各画素に駆動回路103、及び発光のON
/OFFを制御する制御回路104により駆動制御が行
われ、受光素子については、蓄積動作を行うための蓄積
回路105、各画素の画像データをアナログ信号に変換
するためのD−Aコンバータ106、蓄積動作中の光信
号レベルと画像データの比較を行うコンパレータ107
が各画素に設けられた構成となっている。In FIG. 1, 101 is a light emitting element, and 102 is
Is a light receiving element, and the same number of light receiving elements 102 are provided corresponding to each light emitting element 101. In addition, the light emitting element 101 has a driving circuit 103 for each pixel and ON of light emission.
Drive control is performed by a control circuit 104 that controls ON / OFF, and for the light receiving element, a storage circuit 105 for performing a storage operation, a DA converter 106 for converting image data of each pixel into an analog signal, and storage. Comparator 107 for comparing the optical signal level during operation and image data
Is provided in each pixel.
【0019】また、画像データはシフトレジスタ108
で順次送られ、ラッチ回路109により全画素同時にD
−Aコンバータ106に転送される。The image data is stored in the shift register 108.
, And all the pixels are simultaneously D
-Transferred to the A converter 106.
【0020】更に、コンパレータ107の出力は発光素
子101の制御回路104に接続され、更にシフトレジ
スタ110を介して駆動回路103の駆動条件(駆動電
圧)を設定する電源制御回路111へ転送される。Further, the output of the comparator 107 is connected to the control circuit 104 of the light emitting element 101, and further transferred via the shift register 110 to the power supply control circuit 111 for setting the driving condition (driving voltage) of the driving circuit 103.
【0021】図2において、図1中の発光素子101の
駆動回路103は電源電圧が電源制御回路111から供
給されるCMOSバッファ回路で構成されており、ま
た、受光素子102の蓄積回路105はリセットトラン
ジスタ201とPMOSソースホロア回路202で構成
されている。In FIG. 2, the drive circuit 103 for the light emitting element 101 in FIG. 1 is composed of a CMOS buffer circuit to which the power supply voltage is supplied from the power supply control circuit 111, and the storage circuit 105 of the light receiving element 102 is reset. It is composed of a transistor 201 and a PMOS source follower circuit 202.
【0022】次に、図3を用いて本発明の第1の実施形
態における動作を詳細に説明する。Next, the operation of the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.
【0023】図3は図1に示した形態の集積型発光装置
の駆動方法を示すタイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart showing a driving method of the integrated light emitting device of the form shown in FIG.
【0024】尚、図3においては画像データが2ビット
4階調で、おのおの画素目画像信号レベルを、Din_
1→LEVEL2、Din_2→LEVEL3、Din
_N→LEVEL4と設定した一例を示している。Note that in FIG. 3, the image data has 2 bits and 4 gradations, and the image signal level of each pixel is Din_
1 → LEVEL2, Din_2 → LEVEL3, Din
An example of setting _N → LEVEL4 is shown.
【0025】最初に、画像データDATAをシフトレジ
スタで順次転送し、その後、受光素子をリセットパルス
RESにより初期状態にリセットした後に。ラッチパル
スLAにより全画素同時に画像データを所望のアナログ
信号への変換、すなわち、D−A変換を行う。First, the image data DATA is sequentially transferred by the shift register, and after that, the light receiving element is reset to the initial state by the reset pulse RES. By the latch pulse LA, image data is converted into a desired analog signal at the same time for all pixels, that is, DA conversion is performed.
【0026】ここで、ラッチパルスLAが入力され、画
像データがD−A変換された後の状態において、図1に
示すコンパレータ107には受光素子のリセット状態の
信号とD−A変換後の画像データが入力されていること
になる。Here, in the state after the latch pulse LA is input and the image data is D-A converted, the comparator 107 shown in FIG. Data has been entered.
【0027】その後、発光素子の駆動開始パルスSTに
より、全画素同時に駆動パルスCNT_1〜CNT_N
がON状態となり発光が開始される。発光が開始される
と同時に、発光によって受光素子で生成された光キャリ
アによる光信号が蓄積回路より出力され、その信号SO
UT_1〜SOUT_Nは時間と共に上昇する。ここ
で、図3に示す1画素目について着目すると、1画素目
の受光素子からの信号SOUT_1は画像データがLE
VEL1に達するまでの間は発光状態を維持するが、L
EVEL1に達した時点でコンパレータの出力が反転
し、その反転した信号により駆動回路はOFF状態とな
る。After that, by the drive start pulse ST of the light emitting element, drive pulses CNT_1 to CNT_N are simultaneously applied to all pixels.
Turns on and light emission starts. At the same time when the light emission is started, an optical signal by the optical carrier generated in the light receiving element by the light emission is output from the storage circuit, and the signal SO
UT_1-SOUT_N rises with time. Here, paying attention to the first pixel shown in FIG. 3, the signal SOUT_1 from the light receiving element of the first pixel is LE image data.
Light emission is maintained until reaching VEL1, but L
When the voltage reaches EVEL1, the output of the comparator is inverted, and the inverted signal turns off the drive circuit.
【0028】同様に、他の画素についても受光素子で発
生した光量が画像データと同一になるまでは発光を継続
し、画像データと同一になった時点で発光を終了する。Similarly, for other pixels, light emission is continued until the light amount generated by the light receiving element becomes the same as the image data, and when the light amount becomes the same as the image data, the light emission ends.
【0029】すなわち、本実施形態においては、発光開
始は全画素同時に開始され、発光の終了は受光素子で検
出される光量を蓄積手段において積分値として蓄えてい
き、該積分値が画像データに対応したレベルまで達した
時点で、個別の画素ごとに終了するという動作となる。
本発明においては、発光開始は必ずしも同時でなくても
良く、受光手段で検出される光量の積分値と画像データ
とを比較して夫々の発光素子の発光時間を制御すれば良
いが、1ライン毎に高速な露光動作が必要な電子写真方
式の記録装置等に適用する場合には、本実施形態のよう
に全ての発光素子の発光を同時に開始する形態や、全発
光素子を複数のブロックに分けて夫々のブロック毎に発
光させる等で少なくとも複数の発光素子の発光を同時に
開始する形態が好ましい。That is, in the present embodiment, the start of light emission is started at the same time for all pixels, and the end of light emission is accumulated in the accumulating means as the integral value of the light amount detected by the light receiving element, and the integral value corresponds to the image data. When the level is reached, the operation ends for each individual pixel.
In the present invention, the light emission does not always have to start at the same time, and the light emission time of each light emitting element may be controlled by comparing the integrated value of the light amount detected by the light receiving means with the image data. When applied to an electrophotographic recording apparatus or the like that requires a high-speed exposure operation for each, a mode in which light emission of all light emitting elements is simultaneously started as in this embodiment, or all light emitting elements are divided into a plurality of blocks It is preferable that the light emission of at least a plurality of light emitting elements be simultaneously started by dividing each block to emit light.
【0030】ここで、本発明において発光素子が発光中
に光量が低下した場合について考えると、光量が低下し
た場合は、発光中の受光素子出力の傾きが途中から小さ
くなる。しかしながら、傾きが小さくなった分だけ発光
時間は長くなるものの、発光の積分量を考えると、光量
変化が起こっても起こらなくても、積分量としては変わ
らない。従って、従来の発明のように複雑な駆動電圧の
制御や駆動電流の制御を必要とせずに高精度の光量制御
が可能となる。Here, considering the case where the light amount of the light emitting element decreases during light emission in the present invention, when the light amount decreases, the inclination of the light receiving element output during light emission decreases from the middle. However, although the light emission time becomes longer as the inclination becomes smaller, considering the integrated amount of light emission, the integrated amount does not change even if the light amount change occurs or does not occur. Therefore, it is possible to control the light amount with high accuracy without requiring complicated control of the drive voltage and control of the drive current as in the conventional invention.
【0031】例えば、電子写真方式の記録装置におい
て、原稿濃度は感光体に入射された光の積分量と相関が
あることが一般的に知られている。For example, in an electrophotographic recording apparatus, it is generally known that the document density has a correlation with the integrated amount of light incident on the photoconductor.
【0032】従って、本発明を電子写真方式の記録装置
に適用することにより、発光素子に如何なる状態の発光
特性の変化が生じても、画像データに対応した高精度の
露光が可能となり、常に高品質な画像を得ることが可能
となる。Therefore, by applying the present invention to an electrophotographic recording apparatus, it is possible to perform high-precision exposure corresponding to image data regardless of any change in the light emitting characteristics of the light emitting element, and it is always possible to achieve high exposure. It is possible to obtain a high quality image.
【0033】また、図1においては、各画素のコンパレ
ータ出力が電源制御回路に接続されているが、例えば、
所望の時間内に光量が不足する場合も考慮して、例えば
本露光を行う前に、あらかじめフルスケール発光動作を
実施してコンパレータが全画素反転するかどうかをチェ
ックし、不足している場合は図2に示すように駆動回路
の駆動電圧を上昇させる等のシーケンスを設けることも
可能である。更には、全画素のコンパレータが反転する
駆動回路の駆動電圧条件を設定した後、その電圧にマー
ジン分を上乗せした駆動電圧条件を再設定するようなシ
ーケンスを設けることも可能である。Further, in FIG. 1, the comparator output of each pixel is connected to the power supply control circuit.
In consideration of the case where the light quantity is insufficient within the desired time, for example, before performing the main exposure, it is checked whether the comparator inverts all pixels by performing the full-scale light emission operation in advance. As shown in FIG. 2, it is possible to provide a sequence such as increasing the drive voltage of the drive circuit. Furthermore, it is possible to provide a sequence in which after setting the drive voltage condition of the drive circuit in which the comparators of all pixels are inverted, the drive voltage condition in which the margin is added to the voltage is reset.
【0034】また、図2において、駆動回路として定電
圧駆動回路を用いても定電流駆動回路を用いても本発明
の効果が有効であることは言うまでもない。Needless to say, the effect of the present invention is effective whether a constant voltage drive circuit or a constant current drive circuit is used as the drive circuit in FIG.
【0035】加えて、受光素子の感度バラツキ等を補正
するために、あらかじめ受光素子のバラツキデータを記
憶手段に格納し、本来の画像データと演算した結果を、
画像データとして本発明の露光装置に入力しても構わな
い。In addition, in order to correct the variation in sensitivity of the light receiving element, the variation data of the light receiving element is stored in advance in the storage means, and the result of calculation with the original image data is
Image data may be input to the exposure apparatus of the present invention.
【0036】また、図2においては受光素子の光信号を
PMOSソースホロアで出力した例を示しているが、感
度調整が必要な場合は増幅器を設けても良いし、画像デ
ータをD−A変換する部分にゲイン調整手段を設けても
良く、本発明においては、これらのパラメータに関して
発光素子、受光素子の特性に応じた最適設計を行うこと
が可能な構成となっている。Although FIG. 2 shows an example in which the optical signal of the light receiving element is output by the PMOS source follower, an amplifier may be provided if sensitivity adjustment is required, and image data is DA converted. Gain adjusting means may be provided in a portion, and in the present invention, it is possible to perform optimum design for these parameters according to the characteristics of the light emitting element and the light receiving element.
【0037】また、本発明においては画像データが2ビ
ット4階調の例を示したが、必要な階調数に応じて画像
データのビット数を増減させても良い。In the present invention, the example in which the image data has 2 bits and 4 gradations has been shown, but the number of bits of the image data may be increased or decreased according to the required gradation number.
【0038】次に図4〜図7を用いて本発明の構成を更
に詳細に説明する。Next, the structure of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS.
【0039】図4は図1に示した形態の集積型発光装置
の断面構造の概略図であり、結晶シリコン基板上に図1
に示す回路ブロックを形成した集積型発光装置の断面構
造を示している。図5は図4に示した断面構造を有する
集積型発光装置を用いて構成した露光装置の平面構造の
概略図であり、図4で示した集積型発光装置を1次元状
に配置して構成した露光装置を示している。図6は図5
のa−a’部における断面構造の概略図であり、図7は
本発明の駆動方法を実現する露光装置を搭載した記録装
置の一実施形態の要部構成を示す断面図である。FIG. 4 is a schematic view of a cross-sectional structure of the integrated light emitting device of the form shown in FIG.
2 shows a cross-sectional structure of an integrated light emitting device having the circuit block shown in FIG. FIG. 5 is a schematic diagram of a planar structure of an exposure apparatus configured by using the integrated light emitting device having the cross-sectional structure shown in FIG. 4, in which the integrated light emitting device shown in FIG. 4 is arranged one-dimensionally. The exposure apparatus which did it is shown. 6 is shown in FIG.
FIG. 7 is a schematic view of a cross-sectional structure at aa ′ part of FIG. 7, and FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part configuration of an embodiment of a recording apparatus equipped with an exposure apparatus which realizes the driving method of the present invention.
【0040】図4において、結晶シリコン基板401上
には一般的な半導体プロセスにより形成可能な半導体素
子が形成されている。具体的には、受光素子となるPN
ホトダイオード402、駆動回路や蓄積回路等の周辺回
路を構成するNMOSトランジスタ403、及びPMO
Sトランジスタ404を図4に示しているが、その他、
必要に応じて容量素子(不図示)、抵抗素子(不図示)
を形成しても構わない。In FIG. 4, a semiconductor element that can be formed by a general semiconductor process is formed on a crystalline silicon substrate 401. Specifically, a PN that serves as a light receiving element
A photodiode 402, an NMOS transistor 403 that constitutes a peripheral circuit such as a drive circuit and a storage circuit, and a PMO
The S-transistor 404 is shown in FIG.
Capacitance element (not shown), resistance element (not shown) as required
May be formed.
【0041】上記の回路素子を形成した結晶シリコン基
板401上には絶縁層405を介して有機EL素子を構
成する第1光透過性導電膜406、有機正孔輸送層40
7、有機電子輸送層408、第2光透過性導電膜40
9、保護膜410が順次積層されている。On the crystalline silicon substrate 401 on which the above-mentioned circuit element is formed, the first light-transmissive conductive film 406 and the organic hole transport layer 40 which constitute an organic EL element via the insulating layer 405.
7, organic electron transport layer 408, second light transmissive conductive film 40
9 and a protective film 410 are sequentially stacked.
【0042】図4においては第1光透過性導電膜406
と第2光透過性導電膜409で規定された部分Aが主た
る発光領域となり、保護膜410の側にも結晶シリコン
基板401の側にも発光層からの発光が放射可能となっ
ている。In FIG. 4, the first light-transmissive conductive film 406.
The portion A defined by the second light transmissive conductive film 409 serves as a main light emitting region, and light emission from the light emitting layer can be emitted to both the protective film 410 side and the crystalline silicon substrate 401 side.
【0043】ここで、露光に用いる光を取り出す方向に
設けられた第2光透過性導電膜409は透過率が高い方
が好ましいが、受光素子側に設けられた第1光透過性導
電膜406は受光素子の感度設計次第で透過率を決定す
ることが可能であるため、例えば半透明状の金属電極等
を用いても構わない。Here, it is preferable that the second light transmissive conductive film 409 provided in the direction in which the light used for exposure is extracted has a high transmittance, but the first light transmissive conductive film 406 provided on the light receiving element side. Since the transmittance can be determined depending on the sensitivity design of the light receiving element, for example, a semitransparent metal electrode or the like may be used.
【0044】尚、本発明においては、保護膜410側の
発光を露光に用い、結晶シリコン基板401側の発光を
発光検出に用いており、露光に用いる発光素子そのもの
の発光をリアルタイムでホトダイオードにより検出でき
る構成となっているため、発光の積分量を非常に高精
度、かつ高速に測定することが可能となる。In the present invention, the light emission on the protective film 410 side is used for exposure and the light emission on the crystalline silicon substrate 401 side is used for light emission detection. The light emission of the light emitting element itself used for exposure is detected in real time by a photodiode. Since the configuration is possible, it becomes possible to measure the integrated amount of light emission with extremely high accuracy and high speed.
【0045】ここで結晶シリコン上に形成された回路素
子を用いる場合、発光素子からの発光により生成した光
キャリアが本来の回路動作に影響を及ぼす場合もあるた
め、本実施形態においては、受光素子部以外の領域に遮
光層411を設けており、従って有効な受光領域は図4
中のBで示した領域となり、上述した発光領域Aより小
さい構成となっている。In the case where the circuit element formed on the crystalline silicon is used, the optical carrier generated by the light emission from the light emitting element may affect the original circuit operation. Therefore, in this embodiment, the light receiving element is used. The light-shielding layer 411 is provided in a region other than the above portion, so that the effective light-receiving region is shown in FIG.
The area is indicated by B in the drawing, which is smaller than the light emitting area A described above.
【0046】ちなみに、Aの寸法は露光装置の解像度に
より決定され、例えば600dpiの場合、おおよそ4
2μm程度となる。By the way, the dimension A is determined by the resolution of the exposure apparatus. For example, in the case of 600 dpi, it is approximately 4
It becomes about 2 μm.
【0047】図5は図4に示した集積型発光装置を複数
配置して構成される、露光装置の平面構造概略図、図6
は図5a−a’部における断面構造の概略図である。図
5、図6において、基体501上に集積型発光装置50
2がM個一次元状に配置されており、おのおのの集積型
発光装置502はワイヤボンディング503により基体
501の配線と接続され、コネクタ504を介して外部
装置と電気的に接続される。また、上記の基体501は
筐体506中に固定され、本発明の露光装置が構成され
る。ここで、基体501上には集積型発光装置502を
覆うように光透過性封止部材505が設けられており、
有機EL素子の特性劣化を防止するために、不活性ガス
が封入されているが、必要に応じて光透過性封止部材5
05の内部に吸着剤等を設けても構わない。FIG. 5 is a schematic plan view of an exposure apparatus which is constructed by arranging a plurality of the integrated light emitting devices shown in FIG. 4, and FIG.
5A is a schematic view of a cross-sectional structure taken along the line 5a-a ′ of FIG. 5 and 6, the integrated light emitting device 50 is provided on the base 501.
Two Ms are arranged in a one-dimensional manner, and each integrated light emitting device 502 is connected to the wiring of the base body 501 by wire bonding 503, and electrically connected to an external device via a connector 504. Further, the above-mentioned base 501 is fixed in the housing 506, and the exposure apparatus of the present invention is constructed. Here, a light-transmissive sealing member 505 is provided on the base body 501 so as to cover the integrated light emitting device 502,
An inert gas is sealed in order to prevent the deterioration of the characteristics of the organic EL element.
An adsorbent or the like may be provided inside 05.
【0048】本発明において、発光素子アレイは集積型
発光装置502を用いているため、全画素同時の駆動方
式でありながら、ワイヤボンディング503による電気
的な接続数を低減することが可能であるため、実装歩留
まりを向上できるため、その結果として安価な露光装置
を提供することが可能となる。In the present invention, since the light emitting element array uses the integrated light emitting device 502, it is possible to reduce the number of electrical connections by the wire bonding 503 even though it is a driving method for all pixels at the same time. Since the mounting yield can be improved, it is possible to provide an inexpensive exposure apparatus as a result.
【0049】図7は上記に示した本発明の露光装置を記
録装置に搭載した場合の要部構成を示す断面図である。
図7において、700a〜700dは露光装置、701
a〜701dは現像手段、702a〜702dは帯電手
段、703a〜703dはロッドレンズアレイ、704
a〜704dは転写手段、705は用紙搬送手段、70
6a,706bは用紙給紙手段、707は記録用紙、7
08a〜708dは感光ドラムである。FIG. 7 is a cross-sectional view showing the structure of the main part when the above-described exposure apparatus of the present invention is mounted on a recording apparatus.
In FIG. 7, reference numerals 700 a to 700 d denote an exposure device, 701.
a to 701d are developing means, 702a to 702d are charging means, 703a to 703d are rod lens arrays, 704
a to 704d are transfer means, 705 is paper conveying means, 70
6a and 706b are paper feeding means, 707 is recording paper, and 7
Reference numerals 08a to 708d are photosensitive drums.
【0050】上記構成において動作を説明すると、露光
装置700a〜700dより発光された光はロッドレン
ズ703a〜703dにより感光ドラム708a〜70
8dに感光され、現像手段701a〜701dにより現
像され、転写手段704a〜704dにより記録用紙7
07に転写される。その後、定着手段(不図示)により
定着され、一連の電子写真方式の記録が終了する。The operation of the above-described structure will be described. The light emitted from the exposure devices 700a to 700d is transferred to the photosensitive drums 708a to 70d by the rod lenses 703a to 703d.
8d, developed by developing means 701a to 701d, and transferred to recording sheet 7 by transfer means 704a to 704d.
It is transferred to 07. After that, the image is fixed by a fixing unit (not shown), and a series of electrophotographic recording is completed.
【0051】以上説明したとおり、本発明においては、
各発光点の発光を、それぞれの発光点に対応した受光素
子の光信号に変換して積分量として蓄積し、その積分値
と画像データとの比較により発光素子の発光時間を制御
する構成、及び駆動方法を用いているため、各発光部の
光量を画像データに対して高精度、かつ高速に制御する
ことができ、更には発光素子が如何なる状況下で発光特
性の変化を生じた場合でも、常に高品質の画像を提供す
ることができる。As described above, in the present invention,
Light emission of each light emitting point is converted into an optical signal of a light receiving element corresponding to each light emitting point, accumulated as an integrated amount, and the light emitting time of the light emitting element is controlled by comparing the integrated value with image data, and Since the driving method is used, the light amount of each light emitting unit can be controlled with high accuracy and high speed with respect to the image data, and even when the light emitting element changes in the light emitting characteristics under any circumstances, High quality images can always be provided.
【0052】特に、本実施形態にて説明したタンデム方
式の電子写真記録装置においては、装置の小型化、高速
化、メンテンスフリーという特徴から、本発明はより有
効な手段となる。In particular, in the tandem type electrophotographic recording apparatus described in the present embodiment, the present invention is a more effective means because of the features of downsizing, speedup and maintenance-free of the apparatus.
【0053】また、本実施形態においては全画素同時に
発光を開始する例を示したが、例えばブロック駆動等の
駆動方式においても本発明によって同様の効果を得るこ
とが可能である。Further, in the present embodiment, an example in which light emission is started simultaneously for all pixels has been shown, but the same effect can be obtained by the present invention even in a driving system such as block driving.
【0054】また、本実施形態で示したように、本発明
においては、発光素子の発光の積分量が画像品質を決定
するような電子写真記録装置において特にその効果は絶
大であるが、その他に、ディスプレイ等の表示装置に本
発明を適用した場合においても、本発明は表示画像品質
の向上という効果が得られる。Further, as shown in the present embodiment, the present invention is particularly effective in an electrophotographic recording apparatus in which the integrated quantity of light emitted from the light emitting element determines the image quality. Even when the present invention is applied to a display device such as a display, the present invention has an effect of improving the display image quality.
【0055】(第2の実施形態)以下図8〜図11を用
いて本発明の第2の実施形態を説明する。(Second Embodiment) A second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【0056】図8は本発明の駆動方法を実現する集積型
発光装置の一実施形態のブロック図であり、発光素子が
N画素分配列された集積型発光装置の構成を示してい
る。図9は図8に示した形態の集積型発光装置の駆動方
法を示すタイミングチャート、図10は図8に示した形
態の集積型発光装置の断面構造の概略図、図11は図1
0に示した断面構造を有する集積型発光装置を用いて構
成した露光装置の平面構造概略図である。FIG. 8 is a block diagram of an embodiment of an integrated light emitting device which realizes the driving method of the present invention, and shows the structure of the integrated light emitting device in which light emitting elements are arranged for N pixels. 9 is a timing chart showing a driving method of the integrated light emitting device of the form shown in FIG. 8, FIG. 10 is a schematic diagram of a sectional structure of the integrated light emitting device of the form shown in FIG. 8, and FIG.
2 is a schematic plan view of an exposure apparatus configured by using the integrated light emitting device having the sectional structure shown in FIG.
【0057】本実施形態においては、図8に示すよう
に、画像データをアナログ信号に変換し、各画素に設け
られたコンパレータに読み込む部分が、第1の実施形態
と異なる構成となっている。以下、図8、図9を用いて
本実施形態の動作を説明する。In the present embodiment, as shown in FIG. 8, the portion for converting the image data into an analog signal and reading it into the comparator provided in each pixel has a configuration different from that of the first embodiment. The operation of this embodiment will be described below with reference to FIGS.
【0058】図8において、画像データDATAは最初
にD−Aコンバータ801によりアナログ信号に変換さ
れ、バッファアンプ802を介して全画素共通のデータ
入力線803に送られる。一方、シフトレジスタ804
により各画素に設けられた第1のサンプルホールド回路
805が順次動作し、データ入力線803のアナログ信
号を保持していく。In FIG. 8, the image data DATA is first converted into an analog signal by the DA converter 801, and is sent to the data input line 803 common to all pixels via the buffer amplifier 802. On the other hand, the shift register 804
Thus, the first sample hold circuit 805 provided in each pixel operates sequentially and holds the analog signal of the data input line 803.
【0059】全画素分の画像データが第1のサンプルホ
ールド回路805に保持された後、受光素子をリセット
パルスRESにより初期状態にリセットし、続いてラッ
チパルスLAにより全画素同時に第1のサンプルホール
ド回路805に保持された画像データを、バッファアン
プ806を介して第2のサンプルホールド回路807へ
読み込む。After the image data for all pixels is held in the first sample hold circuit 805, the light receiving element is reset to the initial state by the reset pulse RES, and then the first pulse sample hold is performed for all pixels simultaneously by the latch pulse LA. The image data held in the circuit 805 is read into the second sample hold circuit 807 via the buffer amplifier 806.
【0060】従って、上記状態において、図8に示すコ
ンパレータ107には受光素子のリセット状態の信号と
D−A変換後の画像データが入力されていることにな
る。Therefore, in the above state, the signal of the reset state of the light receiving element and the image data after D-A conversion are input to the comparator 107 shown in FIG.
【0061】ここから後の動作は第1の実施形態と同様
である。The operation from this point onward is similar to that of the first embodiment.
【0062】本実施形態においては、1画素あたりの回
路規模を小さくすることが可能であるため、より安価な
露光装置を提供することが可能となる。In the present embodiment, the circuit scale per pixel can be reduced, so that a more inexpensive exposure apparatus can be provided.
【0063】図10は本実施形態における集積型発光装
置の断面構造の概略図である。FIG. 10 is a schematic view of a cross-sectional structure of the integrated light emitting device according to this embodiment.
【0064】図10において、絶縁性基板1001上
に、受光素子となるアモルファスシリコンPINホトダ
イオード1002、駆動回路や蓄積回路等の周辺回路を
構成する多結晶シリコンNMOSトランジスタ100
3、及び多結晶シリコンPMOSトランジスタ1004
を示すが、その他、必要に応じて容量素子(不図示)、
抵抗素子(不図示)を形成しても構わない。In FIG. 10, on an insulating substrate 1001, an amorphous silicon PIN photodiode 1002 which serves as a light receiving element, and a polycrystalline silicon NMOS transistor 100 which constitutes peripheral circuits such as a driving circuit and a storage circuit are formed.
3, and polycrystalline silicon PMOS transistor 1004
In addition, if necessary, a capacitive element (not shown),
A resistance element (not shown) may be formed.
【0065】上記の回路素子を形成した絶縁性基板10
01上には絶縁層405を介して、有機EL素子を構成
する第1光透過性導電膜406、有機正孔輸送層40
7、有機電子輸送層408、第2光透過性導電膜40
9、保護膜410が順次積層されている。Insulating substrate 10 on which the above circuit elements are formed
01 through the insulating layer 405, the first light-transmissive conductive film 406 and the organic hole transport layer 40 that form the organic EL element.
7, organic electron transport layer 408, second light transmissive conductive film 40
9 and a protective film 410 are sequentially stacked.
【0066】図10においては第1光透過性導電膜40
6と第2光透過性導電膜409で規定された部分Cが主
たる発光領域となり、保護膜410方向からも透明基板
1001方向からも有機EL素子からの発光を取り出す
ことが可能である。In FIG. 10, the first light transmissive conductive film 40 is used.
6 and the portion C defined by the second light transmissive conductive film 409 serves as a main light emitting region, and light emitted from the organic EL element can be extracted from both the protective film 410 direction and the transparent substrate 1001 direction.
【0067】更に、本実施形態においては、受光素子と
なるアモルファスシリコンPINホトダイオード100
2の下部電極として、金属電極1005を設けており、
受光素子となるアモルファスシリコンPINホトダイオ
ード1002を透過した光が金属電極1005で反射す
るため、光の利用効率を高くすることが可能となる。Further, in the present embodiment, the amorphous silicon PIN photodiode 100 which becomes the light receiving element is used.
A metal electrode 1005 is provided as the second lower electrode,
The light transmitted through the amorphous silicon PIN photodiode 1002 serving as the light receiving element is reflected by the metal electrode 1005, so that the light utilization efficiency can be increased.
【0068】図11において絶縁性基板1001上には
前述の発光素子、及び受光素子アレイ1101、及びそ
の他の回路素子1102の他に、前述の素子の駆動や制
御、及び信号処理を行う半導体チップ1103が設けら
れ、絶縁性基板1001上に形成された配線と電気的に
接続されており、更に上述の半導体チップ1103の入
出力端子はコネクタ504を介して外部装置と電気的に
接続されている。In FIG. 11, on the insulating substrate 1001, in addition to the above-mentioned light emitting element and light receiving element array 1101 and other circuit elements 1102, a semiconductor chip 1103 for driving and controlling the above elements and signal processing. Are provided and electrically connected to the wiring formed on the insulating substrate 1001. Further, the input / output terminals of the semiconductor chip 1103 described above are electrically connected to an external device via the connector 504.
【0069】また、第1の実施形態と同様、絶縁性基板
1001上には、集積型発光装置を覆うように光透過性
封止部材505が設けられている。Further, as in the first embodiment, a light-transmissive sealing member 505 is provided on the insulating substrate 1001 so as to cover the integrated light emitting device.
【0070】本実施形態に示したように、本発明は、一
般的な薄膜半導体形成プロセスと有機ELプロセスを用
いて形成することも可能である。As shown in this embodiment, the present invention can also be formed by using a general thin film semiconductor forming process and an organic EL process.
【0071】更に、本実施形態の場合は、大型の絶縁性
基板を用いることにより、コネクタ装着直前のプロセス
までを一貫して処理することも可能となるため、更に安
価な露光装置を提供することも可能になる。Furthermore, in the case of the present embodiment, by using a large insulating substrate, it is possible to consistently process up to the process immediately before the connector mounting, so that a more inexpensive exposure apparatus can be provided. Will also be possible.
【0072】言うまでもなく、本実施形態においては、
アモルファスシリコンPINホトダイオード1002上
に有機EL素子を積層した構成となっているため、上述
のアモルファスシリコンPINホトダイオード1002
を蓄積動作させることにより、有機EL素子の発光特性
が変動しても、常に高品質な画像が得られる露光装置を
提供することができる。Needless to say, in this embodiment,
Since the organic EL element is laminated on the amorphous silicon PIN photodiode 1002, the amorphous silicon PIN photodiode 1002 described above is used.
It is possible to provide an exposure apparatus that can always obtain a high-quality image even if the light-emitting characteristics of the organic EL element fluctuate by performing the storage operation.
【0073】[0073]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の駆動方法
を用いることにより、有機EL素子に代表されるよう
に、発光特性が経時的に変動するような発光素子を用い
ても、常に画像データに対応した発光量が得られる集積
型発光装置の駆動方法、更にはそれを用いた露光装置の
駆動方法が簡易な回路構成の装置によって実現可能とな
るため、高速で、かつ高品質な画像を得ることのできる
露光装置、及び記録装置等を安価に提供することが可能
となるAs described above, by using the driving method of the present invention, even when a light-emitting element whose light emission characteristics change over time, such as an organic EL element, is used, an image is always displayed. Since the method of driving the integrated light emitting device that can obtain the amount of light emission corresponding to the data and the method of driving the exposure device using the integrated light emitting device can be realized by a device having a simple circuit configuration, a high speed and high quality image can be obtained. It is possible to provide an exposure apparatus, a recording apparatus, and the like that can obtain the cost at low cost.
【図1】本発明の駆動方法を実現する集積型発光装置の
一実施形態のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of an integrated light emitting device that realizes a driving method of the present invention.
【図2】本発明の駆動方法を実現する集積型発光装置の
一実施形態の1画素分の駆動回路、及び蓄積回路の等価
回路図である。FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of a drive circuit and a storage circuit for one pixel of an embodiment of an integrated light emitting device that realizes the drive method of the present invention.
【図3】図1に示した形態の集積型発光装置の駆動方法
を示すタイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart showing a driving method of the integrated light emitting device of the form shown in FIG.
【図4】図1に示した形態の集積型発光装置の断面構造
の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of a cross-sectional structure of the integrated light emitting device of the form shown in FIG.
【図5】図4に示した断面構造を有する集積型発光装置
を用いて構成した露光装置の平面構造の概略図である。5 is a schematic view of a planar structure of an exposure apparatus configured using the integrated light emitting device having the sectional structure shown in FIG.
【図6】図5のa−a’部における断面構造の概略図で
ある。6 is a schematic diagram of a cross-sectional structure taken along the line aa ′ in FIG.
【図7】本発明の駆動方法を実現する露光装置を搭載し
た記録装置の一実施形態の要部構成を示す断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main configuration of an embodiment of a recording apparatus equipped with an exposure apparatus that realizes the driving method of the present invention.
【図8】本発明の駆動方法を実現する集積型発光装置の
一実施形態のブロック図である。FIG. 8 is a block diagram of an embodiment of an integrated light emitting device that realizes the driving method of the present invention.
【図9】図8に示した形態の集積型発光装置の駆動方法
を示すタイミングチャートである。9 is a timing chart showing a driving method of the integrated light emitting device of the form shown in FIG.
【図10】図8に示した形態の集積型発光装置の断面構
造の概略図である。10 is a schematic view of a cross-sectional structure of the integrated light emitting device of the form shown in FIG.
【図11】図10に示した断面構造を有する集積型発光
装置を用いて構成した露光装置の平面構造の概略図であ
る。11 is a schematic diagram of a planar structure of an exposure apparatus configured by using the integrated light emitting device having the cross-sectional structure shown in FIG.
101 発光素子 102 受光素子 103 駆動回路 104 制御回路 105 蓄積回路 106 D−Aコンバータ 107 コンパレータ 108 シフトレジスタ 109 ラッチ回路 110 シフトレジスタ 111 電源制御回路 201 リセットトランジスタ 202 PMOSソースホロア回路 401 結晶シリコン基板 402 PNホトダイオード 403 NMOSトランジスタ 404 PMOSトランジスタ 405 絶縁層 406 光透過性導電膜 407 有機正孔輸送層 408 有機電子輸送層 409 光透過性導電膜 410 保護膜 411 遮光層 501 基体 502 集積型発光装置 503 ワイヤボンディング 504 コネクタ 505 光透過性封止部材 506 筐体 700a〜700d 露光装置 701a〜701d 現像手段 702a〜702d 帯電手段 703a〜703d ロッドレンズアレイ 704a〜704d 転写手段 705 用紙搬送手段 706a〜706b 用紙給紙手段 707 記録用紙 708a〜708d 感光ドラム 801 D−Aコンバータ 802 バッファアンプ 803 データ入力線 804 シフトレジスタ 805 第1のサンプルホールド回路 806 バッファアンプ 807 第2のサンプルホールド回路 1001 絶縁性基板 1002 アモルファスシリコンPINホトダイオード 1003 多結晶シリコンNMOSトランジスタ 1004 多結晶シリコンPMOSトランジスタ 1005 金属電極 1101 受光素子アレイ 1102 その他の回路素子 1103 半導体チップ 101 light emitting element 102 light receiving element 103 drive circuit 104 control circuit 105 Storage circuit 106 DA converter 107 Comparator 108 shift register 109 latch circuit 110 shift register 111 Power supply control circuit 201 reset transistor 202 PMOS source follower circuit 401 crystalline silicon substrate 402 PN photodiode 403 NMOS transistor 404 PMOS transistor 405 insulation layer 406 Light-transmissive conductive film 407 Organic Hole Transport Layer 408 Organic Electron Transport Layer 409 Light-transmissive conductive film 410 Protective film 411 light shielding layer 501 base 502 Integrated light emitting device 503 wire bonding 504 connector 505 Light-transmissive sealing member 506 housing 700a-700d exposure apparatus 701a to 701d developing means 702a to 702d Charging means 703a to 703d Rod lens array 704a to 704d Transfer means 705 sheet conveying means 706a to 706b Paper feeding means 707 recording paper 708a to 708d Photosensitive drum 801 DA converter 802 buffer amplifier 803 Data input line 804 shift register 805 First sample and hold circuit 806 buffer amplifier 807 Second sample and hold circuit 1001 insulating substrate 1002 Amorphous silicon PIN photodiode 1003 Polycrystalline silicon NMOS transistor 1004 Polycrystalline silicon PMOS transistor 1005 metal electrode 1101 Light receiving element array 1102 Other circuit elements 1103 Semiconductor chip
Claims (5)
前記発光素子の発光を検出する受光手段とを少なくとも
備えた集積型発光装置の駆動方法において、 前記受光手段で検出される光量の積分値と画像データと
の比較結果に基づいて、前記発光素子の発光時間を制御
することを特徴とする集積型発光装置の駆動方法。1. A light emitting element group comprising a plurality of light emitting elements,
In a method of driving an integrated light emitting device, which comprises at least a light receiving means for detecting light emission of the light emitting element, based on a comparison result of an integrated value of light amount detected by the light receiving means and image data, A method for driving an integrated light emitting device, comprising controlling a light emission time.
の発光素子を同時に発光開始させることを特徴とする請
求項1に記載の集積型発光装置の駆動方法。2. The method of driving an integrated light emitting device according to claim 1, wherein a plurality of light emitting elements are simultaneously started to emit light when the light emitting element group starts to emit light.
値が前記画像データに対応する値に達した時に終了させ
ることを特徴とする請求項1又は2に記載の集積型発光
装置の駆動方法。3. The driving of the integrated light emitting device according to claim 1, wherein the light emission of the light emitting element is terminated when the integrated value of the light amount reaches a value corresponding to the image data. Method.
含まれる夫々の発光素子に対応して設けられた受光素子
からなる受光素子群を用いることを特徴とする請求項1
から3のうちのいずれか一項に記載の集積型発光装置の
駆動方法。4. A light receiving element group comprising light receiving elements provided corresponding to the respective light emitting elements included in the light emitting element group is used as the light receiving means.
4. The method for driving an integrated light emitting device according to any one of items 1 to 3.
前記発光素子の発光を検出する受光手段とを少なくとも
備えた集積型発光装置を含む露光装置の駆動方法であっ
て、 請求項1から4のうちのいずれか一項に記載の集積型発
光装置の駆動方法を用いたことを特徴とする露光装置の
駆動方法。5. A light emitting element group including a plurality of light emitting elements,
A driving method of an exposure apparatus including an integrated light emitting device, which comprises at least a light receiving unit for detecting light emission of the light emitting element, wherein the integrated light emitting device according to any one of claims 1 to 4. A method for driving an exposure apparatus, which uses a driving method.
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-
2001
- 2001-10-18 JP JP2001320259A patent/JP2003118163A/en active Pending
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| US7872663B2 (en) | 2006-01-27 | 2011-01-18 | Seiko Epson Corporation | Light emitting device, image processing device, and electronic apparatus |
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