JP2003035732A

JP2003035732A - 微少容量測定方法及び微少容量測定回路

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Publication number: JP2003035732A
Application number: JP2001220019A
Authority: JP
Inventors: Kiyoyuki Sugihara; 清之杉原; Shigeo Uehara; 茂生上原
Original assignee: Shibasoku Co Ltd
Current assignee: Shibasoku Co Ltd
Priority date: 2001-07-19
Filing date: 2001-07-19
Publication date: 2003-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】大きな浮遊容量を伴なう状態にある微少容量の
容量値を測定する微少容量測定方法及び微少容量測定回
路に関する。【解決手段】浮遊容量Ｃ_sを有する回路に設けられた微
少容量Ｃ_xの被測定容量を測定する微少容量測定方法に
おいて、浮遊容量Ｃ_sのみを所定電圧Ｖ₀に充電した
後、充電された浮遊容量Ｃ_sを所定の放電電流Ｉ₁で所
定時間Ｔ_ds放電させたときの放電終了時の被測定回路の
電圧Ｖ₁とし、該電圧Ｖ₁を残留電圧補正用電圧Ｖ_b1で
補正のうえ所定の倍率Ｍで増幅して第１の測定電圧値を
得た後、浮遊容量Ｃ_sと被測定容量Ｃ_xとの合成容量を
所定電圧Ｖ₀に充電した後、この充電容量を所定の放電
電流Ｉ₁で所要時間Ｔ_ds放電して得られた電圧Ｖ₂を残
留電圧補正用電圧Ｖ_b2と共に所定の倍率Ｍで増幅して第
２の測定電圧値を得、前記第１の測定電圧値と該第２の
測定電圧値により被測定容量Ｃ_xを求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気的容量の測定
回路に関し、例えば低温ポリシリコン表示器の画素容量
測定や、ウエハーＴＡＧ内の容量測定などのように、大
きな浮遊容量を伴う環境下にある微少容量の測定に好適
な微少容量測定方法及び微少容量測定回路に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来の微少容量測定回路の一例を図１２
に示す。図１２において、１は被測定回路であり、Ｃ_x
は微少容量の被測定容量、Ｃ_sは測定回路の浮遊容量を
含む被測定物の浮遊容量である。Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃はス
イッチ、Ｉ_cgは定電流源、ＢＡはバッファ増幅器、２は
Ａ／Ｄ変換回路及び演算回路を含むデータ処理部であ
る。３は制御回路であり、制御信号Ｃ₁，Ｃ₂，Ｃ₃を
出力し、前記のスイッチＳ ₁，Ｓ₂，Ｓ₃のＯＮ／ＯＦ
Ｆをそれぞれ制御する。

【０００３】次に図１２の従来回路の動作を図１３に示
したタイムチャートにより説明する。（１）最初に浮遊容量Ｃ_sを測定する。スイッチＳ₃をＯＦＦ（実線）として被測定容量Ｃ
_xを切り離した状態で、スイッチＳ₁を時間ｔ₀からｔ
₁までＯＮにする。これにより浮遊容量Ｃ_sの電荷を放
電して初期状態とする。スイッチＳ₁をＯＦＦにした後、スイッチＳ₂を時
間ｔ₂からｔ₃までの時間Ｔの間ＯＮにして、浮遊容量
Ｃ_sを定電流源Ｉ_cgからの電流Ｉ_cで充電する。このと
きの浮遊容量Ｃ_sの充電電圧Ｖ_cは時間と共に直線状に
上昇し実線のように変化する。前記充電終了時の時刻ｔ₃における浮遊容量Ｃ_sの
端子電圧をデータ処理部２の中のＡ／Ｄ変換回路により
Ａ／Ｄ変換して、測定電圧（デジタル値）を得る。この
測定電圧をＶ_caとすると、

【数５】Ｖ_ca＝Ｉ_c＊Ｔ／Ｃ_s となる。ここでＩ_cは定電流源Ｉ_cgの電流値である。ま
た、＊印は乗算記号を示す。

【０００４】（２）次に被測定容量Ｃ_xを測定する。スイッチＳ₃をＯＮ（点線）にして被測定容量Ｃ_x
を浮遊容量Ｃ_sに並列接続した後、スイッチＳ₁を時間
ｔ₀からｔ₁までＯＮにする。これにより被測定容量Ｃ
_xと浮遊容量Ｃ_sとの電荷を放電して初期状態とする。スイッチＳ₁をＯＦＦにした後、スイッチＳ₂を時
間ｔ₂からｔ₃までの時間Ｔの間ＯＮにして、被測定容
量Ｃ_xと浮遊容量Ｃ_sとを定電流源Ｉ_cgからの電流Ｉ_c
で充電する。このときの浮遊容量Ｃ_s及び被測定容量Ｃ
_xの充電電圧Ｖ_ｃは時間と共に上昇し、点線のように変
化する。前記充電終了時の時刻ｔ₃における被測定容量Ｃ_x
と浮遊容量Ｃ_sとの合成容量の端子電圧を測定する。こ
の測定電圧をＶ_cbとすると、

【数６】Ｖ_cb＝Ｉ_c* Ｔ／（Ｃ_x＋Ｃ_s）となる。

【０００５】上記の２回の測定から、被測定容量Ｃ_xの
値は、

【数７】Ｃ_x＝（Ｉ_c＊Ｔ／Ｖ_ca）（Ｖ_ca−Ｖ_cb）／Ｖ_cb として求めることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
２回の測定値の電圧差である△Ｖ即ち（Ｖ_ca−Ｖ_cb）
は、被測定容量Ｃ_x《浮遊容量Ｃ_sである場合には、各
測定電圧Ｖ_ca及びＶ_cbに比較し非常に小さい値となり、
電圧差△Ｖを正確に測定することは困難である。従っ
て、前述した従来の微少容量測定回路では、被測定容量
Ｃ_xを高い精度で測定することができないという問題が
あった。本発明は、浮遊容量に比較して被測定容量が微
少の場合であっても、被測定容量を正確に測定できる微
少容量測定方法及び微少容量測定回路を提供するもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願発明の微少容量測定
方法は、被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮遊容量
（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容量の容
量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定方法において、前
記浮遊容量（Ｃ_s）を所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された浮遊容量（Ｃ_s）を所定の放電電流
（Ｉ₁）で所定の時間（Ｔ_ds）放電させて得られた電圧
（Ｖ₁）を第１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共
に、零電位を含む第１の補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を
第２の所定の倍率（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧を
測定して第１の測定電圧値（Ｖ_M1）を得た後、該第１の
測定電圧値（Ｖ_M1）から前記浮遊容量値（Ｃ_s）を求め
ると共に、前記第１の測定電圧値（Ｖ _M1）が零電位とな
るべき第２の補正用バイアス電圧（Ｖ_b2）を演算により
求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量を再び前記所定の電圧（Ｖ₀）に充電
した後、該充電された合成容量を前記所定の放電電流
（Ｉ₁）で前記所定の時間（Ｔ_ds）放電させ、該放電時
間終了時の電圧（Ｖ₂）を前記第１の所定の倍率
（Ｍ₁）で増幅すると共に、前記演算で得られた前記第
２の補正用バイアス電圧（Ｖ_b2）を前記第２の所定の倍
率（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧を測定して第２の
測定電圧値（Ｖ_M2）を得て、前記第１の測定電圧値（Ｖ
_M1），前記第２の測定電圧値（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量
値（Ｃ_s）を含む次式

【数８】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1
−Ｖ_M1−Ｖ_M2）により前記被測定容量値（Ｃ_x）を求めるようにしたこ
とを特徴とする微少容量測定方法。

【０００８】本願発明の微少容量測定回路は、被測定容
量（Ｃ_x）に比較して大きな浮遊容量（Ｃ_s）を伴なう
状態にある微少容量の被測定容量の容量値（Ｃ_x）を測
定する微少容量測定回路において、前記浮遊容量
（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量を所定電圧（Ｖ₀）に充電する充電回
路（Ｖ_s1，Ｓ₁）と、該充電回路（Ｖ_s1）により充電さ
れた前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前
記被測定容量（Ｃ_x）との合成容量を所定の放電電流
（Ｉ₁）で放電する放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）と、該放電
回路（Ｉ_s）の放電時間（Ｔ_ds）を所定の放電時間に制
御可能な制御回路（３）と、前記放電回路（Ｉ_s）によ
る前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記
被測定容量（Ｃ_x）との合成容量の放電終了時の電圧
（Ｖ₁又はＶ₂）をインピーダンス変換して低インピー
ダンスで出力するバッファ増幅器（ＢＡ）と、該バッフ
ァ増幅器（ＢＡ）の出力（Ｖ₁又はＶ₂）を第１の所定
の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共に、下記残留電圧補正用
バイアス電源（Ｖ_OF）の出力電圧を第２の所定の倍率
（Ｍ₂）で増幅、加算する増幅器（ＯＰＡ）と、該増幅
器（ＯＰＡ）の入力側に設けられ、該増幅器（ＯＰＡ）
の出力電圧を適正範囲にシフトさせるための第１の補正
用バイアス電圧（Ｖ_b1）又は第２の補正用バイアス電圧
（Ｖ_b2）を設定する残留電圧補正用バイアス電源
（Ｖ_OF）と、前記所定の充電電圧（Ｖ₀），前記所定の
放電電流（Ｉ₁），前記所定の放電時間（Ｔ_DS）及び前
記増幅器（ＯＰＡ）による測定電圧（Ｖ_M1又は、および
Ｖ_M2）から、前記第２の補正用バイアス電圧値
（Ｖ_b2），前記浮遊容量（Ｃ_s）及び前記被測定容量
（Ｃ_x）を求める演算回路（２）とを備え、前記浮遊容
量（Ｃ_s）を前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で所定電圧
（Ｖ₀）に充電した後、該浮遊容量（Ｃ_s）を前記放電
電流（Ｉ₁）により前記所定の時間（Ｔ_ds）放電させ、
該放電終了時の前記バッファ増幅器（ＢＡ）の出力電圧
（Ｖ₁）を前記第１の補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）と共
に前記増幅器（ＯＰＡ）により増幅して得られた電圧を
第１の測定電圧値（Ｖ_M1）とし、該第１の測定電圧値
（Ｖ_M1）から前記浮遊容量（Ｃ_s）を求めると共に、該
第１の測定電圧値（Ｖ_M1）が零電位となるべき前記残留
電圧補正用バイアス電源（Ｖ_OF）の前記第２の補正用バ
イアス電圧値（Ｖ_b2）を前記演算回路（２）により求
め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量
（Ｃ_x）との合成容量を再び前記充電回路（Ｖ_s1，
Ｓ₁）で前記所定電圧（Ｖ₀）に充電した後、前記所定
の放電時間（Ｔ_ds）放電させ、該放電終了時の前記バッ
ファ増幅器（ＢＡ）の出力電圧（Ｖ₂）を前記演算回路
（２）により求めた前記第２の補正用バイアス電圧（Ｖ
_b2）と共に前記増幅器（ＯＰＡ）により増幅し、得られ
た電圧を第２の測定電圧値（Ｖ_M2）とし、前記第１の測
定電圧値（Ｖ_M1），前記第２の測定電圧値（Ｖ_M2）及び
前記浮遊容量（Ｃ_s）から前記被測定容量値（Ｃ_x）を
前記演算回路（２）で求めるようにしたことを特徴とす
る微少容量測定回路。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の微少容
量測定回路を示すものである。図１において１は被測定
回路であり、Ｃ_xは微少容量の被測定容量、Ｃ_sは被測
定回路１の浮遊容量である。Ｖ_s1は被測定回路１を電圧
Ｖ₀に充電するための定電圧源、Ｉ_sは放電電流Ｉ₁の
定電流源、ＢＡは被測定回路１の電圧をインピーダンス
変換して低インピーダンスで出力するバッファ増幅器、
ＯＰＡはバッファ増幅器ＢＡの出力を第１の所定の倍
率、Ｍ₁倍（Ｍ₁＝−Ｒ₂／Ｒ₁ 但しＲ₁，Ｒ₂は夫
々抵抗Ｒ₁，Ｒ₂の抵抗値）に増幅すると共に、後述す
る残留電圧補正用バイアス電源Ｖ_OFの出力電圧を第２の
所定の倍率、Ｍ₂倍（Ｍ₂＝−Ｒ₂／Ｒ₃ 但しＲ ₃は
抵抗Ｒ₃の抵抗値）に増幅して加算出力する反転増幅
器、Ｖ_OFは反転増幅器ＯＰＡの出力電圧を適正な範囲に
シフトさせるための残留電圧補正用バイアス電源（以下
バイアス電源と略称する。）であり、その出力電圧はＶ
_bで表される。

【００１０】２は反転増幅器ＯＰＡの出力電圧をデジタ
ル値に変換するＡ／Ｄ変換回路及び演算回路を含むデー
タ処理部である。４はダイオードＤ及び直流電源Ｖ_LMT
から構成されたリミッタ回路、Ｓ₁は被測定回路１を定
電圧源Ｖ_s1に接続するスイッチ、Ｓ₂は被測定回路１を
定電流源Ｉ_sに接続するスイッチ、Ｓ₃は被測定容量Ｃ
_Xを測定回路に接続するスイッチである。３は制御回路
であり、スイッチＳ₁，Ｓ₂，Ｓ₃のＯＮ／ＯＦＦを制
御する信号Ｃ₁，Ｃ₂，Ｃ₃を出力する。

【００１１】次に図１の回路動作を図２のタイムチャー
トを参照して説明する。被測定回路１の浮遊容量又は被
測定容量の充電電圧をＶ₀とした場合、最初に定電流源
Ｉ_sの出力電流Ｉ₁の値と、後述する放電時間Ｔ_dsと
を、予想される浮遊容量の容量値Ｃ_soに対して、次の式
が満足するように定める。

【数９】Ｖ₀−Ｉ₁＊Ｔ_ds／Ｃ_so＝Ｖ_r ……（１）但し、Ｖ_rは後述のように浮遊容量Ｃ_sのバラツキを考
慮して定めた所定の電圧値で、Ｖ₀に比べて十分小さい
正の電圧とする。

【００１２】測定１制御回路３がスタート信号を受けると、制御回路３は予
め定められた測定順序にしたがって出力信号Ｃ₁，
Ｃ₂，Ｃ₃を送出し、それぞれスイッチＳ₁，Ｓ₂，Ｓ
₃のＯＮ／ＯＦＦを制御する。測定開始に先立ち、スイ
ッチＳ₃をＯＦＦにして被測定回路１から被測定容量Ｃ
_xを切離す。バイアス電源Ｖ_OFの出力電圧Ｖ_bを、Ｖ_b
＝Ｖ_b1＝−Ｖ_r＊Ｍ₁／Ｍ₂に設定した後、次の手順で
測定を行う。

【００１３】スイッチＳ₁を時刻ｔ₁〜ｔ₃の間Ｏ
Ｎにして、被測定回路１の浮遊容量Ｃ _sを定電圧源Ｖ_s1
により電圧Ｖ₀に充電する。このとき、被測定回路１が
正の電圧に充電されバッファ増幅器ＢＡの出力端子に正
の電圧が出力されると、反転増幅器ＯＰＡは出力に負の
電圧を発生するが、この出力電圧がリミッタ回路４の動
作電圧Ｖ_LMTに達する時刻ｔ₂になると、反転増幅器Ｏ
ＰＡの出力は下降を停止し、所定の電圧となる。

【００１４】スイッチＳ₁が時刻ｔ₃でＯＦＦにさ
れた後の時刻ｔ₄〜ｔ₇の間スイッチＳ₂をＯＮにし
て、被測定回路１の浮遊容量Ｃ_sを定電流源Ｉ_sの電流
Ｉ₁により放電すると、被測定回路１の電圧Ｖ_c1は、次
の式に基づいて時間の経過と共に直線的に下降する。

【数１０】Ｖ_c1＝Ｖ₀−Ｉ₁＊ｔ／Ｃ_s 但し、ｔは時刻ｔ₄からの経過時間である。即ち、バッ
ファ増幅器ＢＡの出力電圧は、入力電圧と同じであるか
ら図２のタイムチャートのようにバッファ増幅器ＢＡの
出力電圧もＶ_c1と等しく、実線で示されているように下
降する。

【００１５】時刻ｔ₅において、バッファ増幅器ＢＡの
出力がリミッタ回路４の動作電圧Ｖ _LMTまで下降する
と、この時点から反転増幅器ＯＰＡの出力Ｖ_CM1は出力
制限が解除されて、時間の経過と共に実線で示されてい
るように上昇する。なお、リミッタ回路４は、反転増幅
器ＯＰＡが過負荷になるのを防止するためのもので、も
し反転増幅器ＯＰＡが過入力になっても差支えないもの
であるときは、リミッタ回路４は省略してもよい。反転
増幅器ＯＰＡの出力が飽和しないと仮定した場合の反転
増幅器ＯＰＡの出力は、図２に一点鎖線で示される電圧
特性として表わされる。

【００１６】スイッチＳ₂をＯＮにして、被測定回
路１の放電が開始した時刻ｔ₄から、所定の放電時間Ｔ
_dsを経過した時刻ｔ₇でスイッチＳ₂はＯＦＦとなり放
電が終了し、被測定回路１の電圧Ｖ_c1は変化しなくな
る。この時の電圧Ｖ_c1の値をＶ₁とすると、Ｖ₁は次の
式によって表される。

【数１１】Ｖ₁＝Ｖ₀−Ｉ₁＊Ｔ_ds／Ｃ_s ……（２）また、反転増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M1は、次式のよう
になる。

【数１２】Ｖ_M1＝Ｍ₁＊Ｖ₁＋Ｍ₂＊Ｖ_b1 ……（３）従って、浮遊容量Ｃ_sの値は、前記式（２）（３）か
ら、次式（４）によって求められる。

【数１３】Ｃ_s＝Ｉ₁＊Ｔ_ds／（Ｖ₀＋Ｖ_b1＊Ｍ₂／Ｍ₁−Ｖ_M1／Ｍ₁） ……（４）

【００１７】なお、被測定物によっては負の電圧が印加
できないものがある。このことを考慮して、前述の説明
では被測定回路１に負の電圧の印加が許容されないもの
として、Ｖ_rを定電圧源Ｖ_s1の電圧Ｖ₀に比較して小さ
い正の電圧とした。即ち、放電完了時の被測定回路１の
電圧Ｖ₁は、被測定回路１の容量に比例して変化するか
ら、個々の被測定物によって浮遊容量にバラツキがある
と、それによって放電完了時の被測定回路１の電圧Ｖ₁
は変化する。従って、最も少ない浮遊容量の場合に、放
電完了時の被測定回路１の電圧Ｖ₁が零電位になるよう
にする必要がある。

【００１８】このようにすると、浮遊容量が標準値（バ
ラツキの中心にある前記Ｃ_so）である被測定物の場合
の、放電完了時の被測定回路１の電圧Ｖ₁は前述のＶ_r
になる。この電圧は反転増幅器ＯＰＡによりＭ₁倍に増
幅され、その分、出力電圧をオフセットさせることにな
る。バイアス電源Ｖ_OFの出力電圧Ｖ_bを−Ｖ_r＊Ｍ₁／
Ｍ₂にすると、前記オフセット電圧を取り除いて、放電
完了時の測定電圧Ｖ_M1を零電位として測定範囲の中心に
合致させることができるから、測定範囲をもっとも有効
に利用できるようになる。被測定回路１に負の電圧の印
加が許容される場合には、Ｖ_rを零電位又は小さい負の
電圧としてもよい。

【００１９】なお、前記の増幅倍率Ｍ₁の値は、測定精
度を上げるためには大きい方がよいが、放電完了時の測
定電圧Ｖ_M1のバラツキの幅は、データ処理部２のＡ／Ｄ
変換器の測定範囲内に収まるようにしなければならない
から、個々の被測定物による浮遊容量のバラツキ幅によ
って大きさが制約される。個々の被測定物による浮遊容
量のバラツキ幅が大きく、増幅倍率Ｍ₁の値を十分に大
きな値にできない場合は、反転増幅器ＯＰＡの増幅度を
切り替え可能な構造にして、２回目の測定時に十分大き
な値に切り替えるようにするとよい。

【００２０】測定２２回目の測定開始に先立ち、スイッチＳ₃をＯＮにし
て、被測定回路１の被測定容量Ｃ_xを浮遊容量Ｃ_sに並
列接続して両者の合成容量とする。バイアス電源Ｖ_OFの
出力電圧Ｖ_bを、次式（５）により変更する。

【数１４】Ｖ_b＝Ｖ_b2＝−（Ｖ_M1−Ｖ_b1＊Ｍ₂）／Ｍ₂ ……（５）

【００２１】これは被測定回路１の浮遊容量Ｃ_sを測定
する１回目の測定時において、浮遊容量Ｃ_sの放電終了
時の反転増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M1を零電位にするも
ので、前記（３）式において出力電圧Ｖ_M1を零電位とお
き、Ｖ_b1をＶ_b2に置き換えて得られた式に、同じく
（３）式をＶ₁について解いて得た値を代入して得られ
る。これにより、次に述べる２回目の測定時に反転増幅
器ＯＰＡの出力電圧が飽和することなしに、前記倍率Ｍ
₁の値を十分に大きくして被測定容量を高精度で測定す
ることができるようになる。なお、前記演算はデータ処
理部２内の演算回路により行う。しかる後に、測定１と
同じ手順で測定動作を行う。この場合の被測定回路１の
電圧Ｖ_c2（＝バッファ増幅器ＢＡの出力電圧）及び反転
増幅器ＯＰＡの出力Ｖ_CM ₂は、図２のタイムチャートに
点線で示される電圧特性となる。

【００２２】この測定動作において、時刻ｔ₇での被測
定回路１の電圧（＝図２のバッファ増幅器ＢＡの出力電
圧）Ｖ₂、及び図２の反転増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M2
は、それぞれ次式（６）（７）により表される。

【数１５】Ｖ₂＝Ｖ₀−Ｉ₁＊Ｔ_ds／（Ｃ_s＋Ｃ_x） ……（６） ∴（Ｃ_s＋Ｃ_x）＝Ｉ₁＊Ｔ_ds／（Ｖ₀−Ｖ_M2／Ｍ₁−Ｖ_b2＊Ｍ₂／Ｍ₁） ……（７）従って、被測定容量Ｃ_xは、（４）式，（５）式及び
（７）式より次式（８）により求めることができる。

【数１６】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1−Ｖ_M1−Ｖ_M2） ……（８）

【００２３】

【実施例】本発明の図１に示した微少容量測定回路にお
ける他の測定方法の実施例を説明する。 (1) 前述の実施例においては、スイッチＳ₃を開いた状
態で行う１回目の浮遊容量Ｃ_sの測定時と、スイッチＳ
₃を閉じた状態で行う２回目の浮遊容量に被測定容量を
並列接続した合成容量の測定時とも、放電電流Ｉ₁は同
一値として測定を行ったが、この実施例は、２回目の測
定時における放電電流Ｉ₁の値を、１回目の測定時の放
電時間Ｔ_dsの放電終了時における浮遊容量Ｃ_sの残留電
圧に基づいて放電電流値Ｉ₁を変更して測定するもので
ある。即ち、１回目の測定では前述の実施例と同じ要領
で測定を行い、第１の測定電圧値Ｖ_M1を得る。この測定
結果を基に２回目の測定時には、被測定回路１の容量値
が前記と同じ浮遊容量Ｃ_sであると仮定したときに、放
電時間Ｔ_dsの放電終了時における反転増幅器ＯＰＡの出
力電圧Ｖ_M2が零電位となるべき放電電流、即ち定電流電
源Ｉ_sの電流値を下記（９）式により求められる電流値
Ｉ₂に変更する。

【００２４】

【数１７】Ｉ₂＝Ｉ₁（Ｖ₀＋Ｖ_b1＊Ｍ₂／Ｍ₁）／（Ｖ₀＋Ｖ_b1＊Ｍ₂／Ｍ₁−Ｖ_M1／Ｍ₁） ……（９）なお、（９）式は、前記（３）式をＶ₁について解き、
これを（２）式に代入し、この式のＩ₁をＩ₂に置き換
え、さらにＶ_M1＝０とおくと、

【数１８】Ｖ₀−Ｉ₂＊Ｔ_ds／Ｃ_s＝−Ｖ_b1＊Ｍ₂／Ｍ₁ ……（１０）が得られるので、これをＩ₂について解き、これと
（２）式から求めたＣ_s／Ｔ_dsとから誘導することがで
きる。これにより、次に述べる２回目の測定時に反転増
幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M2が飽和することなしに前記増
幅倍率Ｍ₁の値を十分大きくして、被測定容量値Ｃ_xを
高精度で測定することができるようになる。

【００２５】このようにすると、１回目の測定時の反転
増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M1は前述の（３）式と同じで
あるが、２回目の測定時の反転増幅器ＯＰＡの出力Ｖ_M2
は、

【数１９】Ｖ_M2＝Ｍ₁＊Ｖ₂＋Ｍ₂＊Ｖ_b1＝Ｍ₁［Ｖ₀−Ｉ₂＊Ｔ_ds／（Ｃ_s＋Ｃ_x）］＋Ｍ₂＊Ｖ_b1 ……（１１）となる。（１１）式をＣ_xについて解き、更に前記（１
０）式の関係を用いて整理して被測定容量Ｃ_xを求める
と、

【数２０】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1−Ｖ_M2） ……（１２）を得る。浮遊容量Ｃ_sは１回目の測定時の測定電圧値Ｖ
_M1から上記（４）式より求めることができるから、これ
を（１２）式に代入して被測定容量Ｃ_xの容量値Ｃ_xを
求めることができる。

【００２６】(2) 前述の各実施例は、１回目の浮遊容量
Ｃ_sの測定時と、２回目の浮遊容量Ｃ _sと被測定容量Ｃ
_xとの合成容量の測定時とも同一の放電時間Ｔ_dsとして
いたが、この実施例においては、図３のタイムチャート
に示すように、１回目の浮遊容量Ｃ_sの放電時間Ｔ_ds1
の放電終了時に測定したバッファ増幅器ＢＡの出力電圧
Ｖ₁をもとに、このバッファ増幅器ＢＡの出力電圧Ｖ₁
が零電位になるような放電時間Ｔ_ds2を演算により求
め、この放電時間Ｔ_ds2を制御回路３内に設けられた図
示していないタイマーにセットし、２回目の浮遊容量Ｃ
_sと被測定容量Ｃ_xとの合成容量の測定における放電時
には、この放電時間Ｔ_ds2により放電を行う。

【００２７】即ち、１回目の放電時間をＴ_ds1とし、２
回目の放電時間をＴ_ds2とするとき、

【数２１】Ｔ_ds2＝Ｔ_ds1（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1）／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1−Ｖ _M1 ） ……（１３）とする。これは（２）式において、Ｖ₁を（３）式でＶ
_M1＝０として求めたＶ ₁と置き換え、Ｔ_ds1をＴ_ds2に
置き換えて、Ｔ_ds2について解くことにより得られる。
なお、バイアス電源Ｖ_OFの出力電圧Ｖ_bは１回目と同じ
値、即ち、Ｖ_b2＝Ｖ_b1としておく。しかる時は、１回目
の測定では前述の各実施例と同じであるから、浮遊容量
Ｃ _sは前述の（４）式（ただしＴ_dsはＴ_ds1に置き換え
る）により求めることができる。

【００２８】次に、２回目の測定においては、前記
（６）式のＴ_dsをＴ_ds2に置き換えた（１４）式が得ら
れる。

【数２２】Ｖ₂＝Ｖ₀−Ｉ₁＊Ｔ_ds2／（Ｃ_s＋Ｃ_x） ……（１４）また、反転増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M2は、

【数２３】Ｖ_M2＝Ｍ₁＊Ｖ₂＋Ｍ₂＊Ｖ_b1 ……（１５）となるから、Ｔ_dsをＴ_ds1に置き換えた（２）式と、
（３）式の関係を前記（１４）式、（１５）式に代入し
てＣ_xについて解くと、

【数２４】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1−Ｖ_M2） ……（１６）としてＣ_xが求まる。

【００２９】なお、図３において、時刻ｔ₈は２回目の
測定における放電開始時刻ｔ₄から放電時間Ｔ_ds2経過
後の放電終了のタイミングを示しており、バッファ増幅
器ＢＡ又は反転増幅器ＯＰＡの各出力電圧Ｖ_c1又はＶ
_CM1の下降又は上昇を延長したとき、それぞれ零電位と
交わる点である。

【００３０】(3) 前述の実施例は、１回目の測定におい
て浮遊容量Ｃ_sを所定電圧Ｖ₀に充電した後に、所定の
放電電流Ｉ₁で放電後のバッファ増幅器ＢＡの出力電圧
Ｖ₁が小さい正の電圧となるように放電時間Ｔ_ds1を設
定したが、この実施例では所定の放電電流Ｉ₁によりバ
ッファ増幅器ＢＡの出力電圧Ｖ₁が零電位になるまで放
電し、この零電位になるまでの放電時間Ｔ_dsを測定し記
憶しておき、２回目の浮遊容量Ｃ_sと被測定容量Ｃ_xと
の合成容量の測定時にも、同一の放電電流Ｉ₁により前
述の記憶してある放電時間Ｔ_dsの間放電し、この放電終
了時の反転増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M2を測定をするよ
うにしたものである。この場合は、バイアス電源Ｖ_OFは
不要になる。この測定動作を、図４のタイムチャートに
より説明する。

【００３１】即ち、前述したと同様に最初にスイッチＳ
₂，Ｓ₃をＯＦＦとし、時刻ｔ₁においてスイッチＳ₁
をＯＮにして浮遊容量Ｃ_sを定電圧源Ｖ_s1により所定電
圧Ｖ ₀に充電する。次に充電完了後の時刻ｔ₃でスイッ
チＳ₁をＯＦＦとし、その後時刻ｔ₄にてスイッチＳ₂
をＯＮにして浮遊容量Ｃ_sの電圧Ｖ_c1が零電位となるま
で放電電流Ｉ₁を流して放電させる。電圧Ｖ_c1が零電位
になればバッファ増幅器ＢＡの出力電圧Ｖ₁及び反転増
幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M1も零電位となるから、このタ
イミングを図示していないアナログコンパレータなどに
より検出し、その出力を制御回路３に送って放電を停止
せしめると共に、放電に要した時間Ｔ_dsを図示していな
いタイムカウンタなどにより計測して、そのその放電時
間Ｔ_dsを制御回路３内のタイマーに記憶させる。

【００３２】次に２回目の測定に入り、前述したと同様
にスイッチＳ₂をＯＦＦ、スイッチＳ₁，Ｓ₃をＯＮと
して、浮遊容量Ｃ_sと被測定容量Ｃ_xとの合成容量を定
電圧源Ｖ_s1により所定電圧Ｖ₀に充電する。充電完了後
の時刻ｔ₃でスイッチＳ₁をＯＦＦとし、その後時刻ｔ
₄にてスイッチＳ₂をＯＮにして、前述の放電電流Ｉ ₁
により放電を開始させ、制御回路３内のタイマーは前述
の記憶した時刻ｔ₇までの放電時間Ｔ_dsの期間、出力信
号Ｃ₂を送出し、スイッチＳ₂をＯＮにする。当該放電
時間Ｔ_ds経過後の時刻ｔ₇においてスイッチＳ₂をＯＦ
Ｆにして放電は終了し、被測定回路１の電圧Ｖ_c2は変化
しなくなる。この時の電圧Ｖ_c2の電圧値Ｖ₂を、バッフ
ァ増幅器ＢＡを介し反転増幅器ＯＰＡにより増幅して出
力電圧Ｖ_M2として測定し、これを用いて被測定容量Ｃ_x
の容量値を求める。

【００３３】即ち、１回目の測定において

【数２５】Ｖ₀−Ｉ₁＊Ｔ_ds／Ｃ_s＝Ｖ_M1／Ｍ＝０ ……（１７）これにより浮遊容量Ｃ_sの容量値Ｃ_sは

【数２６】Ｃ_s＝Ｉ₁＊Ｔ_ds／Ｖ₀ ……（１８）として求めることができる。

【００３４】２回目の測定において

【数２７】Ｖ₀−Ｉ₁＊Ｔ_ds／（Ｃ_s＋Ｃ_x）＝Ｖ_M2／Ｍ₁ ……（１９）被測定容量Ｃ_xの容量値Ｃ_xは、（１７）式，（１９）
式より

【数２８】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀−Ｖ_M2） ……（２０）として求めることができる。なお、図４において浮遊容
量Ｃ_sのみの測定時の電圧変化は実線で示し、浮遊容量
Ｃ_sと被測定容量Ｃ_xとの合成容量の測定時における電
圧変化は点線で示してある。また、リミッタ回路４を用
いない場合で反転増幅器ＯＰＡの出力が飽和しないと仮
定した場合の反転増幅器ＯＰＡの出力対象部分を一点鎖
線で示してある。

【００３５】(4) これまでに説明した図１の実施例で
は、放電電流Ｉ₁は被測定回路１の充電が完了し、時刻
ｔ₃においてスイッチＳ₁を開放した後、若干の時間を
おいた時刻ｔ₄においてスイッチＳ₂を閉じることによ
って放電を開始するようにしていたが、次の実施例はス
イッチＳ₂を省略し、放電電流を常時流すようにした実
施例で図５の回路図と，図６のタイムチャートにより説
明する。この実施例は図５に示すようにスイッチＳ₂を
削除して、定電流源Ｉ_sを直接被測定回路１に接続する
と共に、反転増幅器ＯＰＡの出力とデータ処理部２との
間にサンプル・ホールド回路５を設けたものである。

【００３６】図５の実施例において、浮遊容量Ｃ_sの１
回目の測定と、浮遊容量Ｃ_sと被測定容量Ｃ_xとの合成
容量の２回目の測定におけるスイッチＳ₁のＯＮによ
り、図６のタイムチャートの時刻ｔ₁からｔ₃までの充
電時間ではＶ_s1が定電圧電源であるから、この充電中に
放電電流が流れていても充電の動作に支障はなく、この
間の動作は図２のタイムチャートと同じである。充電が
完了して、時刻ｔ₃でスイッチＳ₁を開放すると、放電
電流Ｉ₁が被測定回路１に流れ始め、放電が開始され
る。従って、これまでに説明した実施例における時刻ｔ
₄以降ｔ₇までの動作が、この実施例では時刻ｔ₃から
始まることになる。即ち、時刻ｔ₃〜ｔ₇間の動作は、
図２における時刻ｔ₄〜ｔ₇の動作波形をそのまま左に
移動して、時刻ｔ₄をｔ₃に重ね合わせたものと同じに
なる。

【００３７】スイッチＳ₁を時刻ｔ₃で開放後、所定の
放電時間Ｔ_ds経過後のｔ₇において、制御回路３からの
制御信号Ｃ₄により、サンプル・ホールド回路５をサン
プルモードからホールドモードに切換えて、時刻ｔ₇に
おける反転増幅器ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M1又はＶ_M2をホー
ルドさせ、この出力をデータ処理部２のＡ／Ｄ変換回路
によりＡ／Ｄ変換すれば、時刻ｔ₇における反転増幅器
ＯＰＡの出力電圧Ｖ_M1及びＶ_M2を測定することができる
から、これらを用いて浮遊容量Ｃ_s及び被測定容量Ｃ_x
の値を求めることができる。なお、時刻ｔ₇以降におい
ては、放電電流Ｉ₁が流れ続けていると、被測定回路１
の電圧は時間と共に負方向に増大するから、クランプ回
路６を用いて上記電圧を制限する。

【００３８】また、前述した各実施例における被測定回
路１の充電は、定電圧源Ｖ_s1からスイッチＳ₁をＯＮに
して行うようにしているが、この充電を図７に示すよう
に放電電流Ｉ₁に比較して十分に大きい電流の定電流源
を使用してもよい。即ち、図７ではベース接地のトラン
ジスタＴ_s1を用いたもので、被測定回路１の電圧を所定
の電圧Ｖ₁に合致させるため、定電圧電源Ｖ_CLPとクラ
ンプダイオードＤ_CLPを使用する。このようにすると、
スイッチＳ₁を電荷注入が少なく、極めて高速で動作す
るアナログスイッチとすることができるから、高速測定
が可能になる。これまで説明した実施例では、測定開始
時に被測定回路１を所定電圧Ｖ₀に充電した後、所定時
間放電して被測定回路１の電圧を零電位に近い電圧と
し、この電圧を増幅して測定し、被測定容量Ｃ_xを高精
度に測定するようにしたものである。

【００３９】次に図８に示した実施例を説明する。この
実施例は、定電圧電源Ｖ₀を省略し、スイッチＳ₁を被
測定回路１とグランドとの間に接続したものである。即
ち、測定開始時に被測定回路１を所定電圧Ｖ₀に充電す
る代わりに、零電位にイニシャライズし、このイニシャ
ライズ完了後、定電流電源Ｉ_sの出力電流Ｉ₁（電流の
方向は図１と反対にする。）により、被測定回路１を所
定時間Ｔ_ds充電する。

【００４０】いうまでもなく、容量値がＣなるコンデン
サを電流値ＩでＴなる時間放電又は充電した場合、コン
デンサの電圧の変化量△Ｖは、△Ｖ＝（−／＋）ＩＴ／
Ｃ（−は放電時、＋は充電時）となり、充電と放電では
符号が変わるだけで変化量は同一である。従って、充電
電流Ｉ₁を前記各実施例における放電電流Ｉ₁と同じ値
で、方向だけが反転したものとし、充電時間Ｔ_dsを前記
各実施例と同じにしておけば、所定時間Ｔ_ds経過後のコ
ンデンサ（被測定容量）の電圧の変化量は、前記各実施
例の場合と、符号が変わるだけで同一になる。

【００４１】前記各実施例では、被測定容量を、初期電
圧Ｖ₀から零電位付近まで放電して、放電完了時の電圧
と零電位との差電圧にバイアス電源Ｖ_OFの出力電圧Ｖ_b
（Ｖ _b1又はＶ_b2）を加算して、反転増幅器ＯＰＡにより
増幅し、その出力電圧を測定していた。即ち、測定電圧
Ｖ_M（Ｖ_M1又はＶ_M2）を表す一般式は、Ｖ_M＝Ｍ₁（Ｖ
₀−△Ｖ）＋Ｍ₂＊Ｖ_bとなる。

【００４２】これに対し、本実施例では零電位から充電
するので、充電完了時の被測定容量の電圧は前記各実施
例における初期電圧Ｖ₀付近の電圧となる。図８のバイ
アス電源Ｖ_OFは、図１のバイアス電源Ｖ_OFに相当するす
るものであるが、その極性を反転すると共に、出力電圧
Ｖ_bの大きさを前記各実施例における定電圧源Ｖ_s1の出
力電圧Ｖ₀に反転増幅器ＯＰＡの二つの入力に対する増
幅度の比Ｍ₁／Ｍ₂を乗じて得た値、即ちＶ₀＊Ｍ₁／
Ｍ₂と、バイアス電源Ｖ_OFの出力電圧Ｖ_b（Ｖ _b1又はＶ
_b2）の和に等しくしておく。このようにすると、反転増
幅器ＯＰＡの出力電圧の測定値Ｖ_M（Ｖ_M1又はＶ_M2）を
表す一般式は、Ｖ_M＝−［Ｍ₁（Ｖ₀−△Ｖ）＋Ｍ₂＊
Ｖ_b］となり、前記各実施例における各測定値Ｖ_M1又は
Ｖ_M2と同一値（符号だけが反転している）になる。

【００４３】従って、この実施例における各測定値Ｖ_M1
及びＶ_M2を用いて、前記各実施例と全く同じ要領で被測
定容量Ｃ_xの値を求めることができる。なお、図８の実
施例におけるリミッタ回路４（ダイオードＤとＶ_LMTと
の直列接続回路）は、図１のリミッタ回路４とは反対極
性にする。この実施例のタイムチャートを図９に示す。

【００４４】これまでに説明した実施例において、定電
流源Ｉ_sを、図１０に示す破線のように、抵抗Ｒ₅を定
電圧源ＶS₂に直列接続した簡易形のもに置き換え、電流
の調整はこの定電圧源Ｖ_s2の電圧を変更して行うように
してもよい。この測定回路の場合は、回路が簡単になる
代わりに他の実施例に比較して測定誤差が若干大きくな
る傾向がある。また、バッファ増幅器ＢＡの出力電圧を
反転増幅器ＯＰＡによって増幅する代りに、図１１に示
すようにバッファ増幅器ＢＡにバイアス電源Ｖ_OFを印加
できる構成にすると共に、増幅度Ｍを持たせるようにし
て、反転増幅器ＯＰＡを省略してもよい。但し、この場
合、言うまでもなくバッファ増幅器ＢＡの非反転入力に
対する増幅度Ｍ₁は、Ｍ₁＝１＋Ｒ₆／Ｒ₇、反転入力
に対する増幅度Ｍ₂は、Ｍ₂＝−Ｒ₆／Ｒ₇（但し
Ｒ₆，Ｒ₇は何れも抵抗Ｒ₆，Ｒ₇の抵抗値）となるか
ら、前記各実施例における演算はこの関係を用いて行な
う。

【００４５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明は被
測定回路に存在する浮遊容量に対して被測定容量が非常
に小さい場合であっても、浮遊容量又は被測定容量の充
放電特性を利用して、被測定容量の容量値を短時間にか
つ高精度に測定することができるもので、例えば低温ポ
リシリコン表示器の画素容量試験や、ウエハーＴＡＧ内
の容量試験等のように、大きな浮遊容量を伴う環境下に
おける被測定容量が微少容量である場合の容量測定に顕
著な効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による微少容量測定回路図で
ある。

【図２】本発明の微少容量測定回路の測定例を説明する
ための測定電圧のタイムチャートである。

【図３】本発明の微少容量測定回路の他の測定例を説明
するための測定電圧のタイムチャートである。

【図４】本発明の微少容量測定回路のその他の測定例を
説明するための測定電圧のタイムチャートである。

【図５】本発明の他の実施例による微少容量測定回路図
である。

【図６】本発明の他の実施例の微少容量測定回路の測定
例を説明するための測定電圧のタイムチャートである。

【図７】本発明の一実施例による微少容量測定回路の充
電回路を一部変更した部分回路図である。

【図８】本発明のその他の実施例による微少容量測定回
路図である。

【図９】本発明のその他の実施例の微少容量測定回路の
測定例を説明するための測定電圧のタイムチャートであ
る。

【図１０】本発明の一実施例による微少容量測定回路の
放電回路を一部変更した部分回路図である。

【図１１】本発明の別の実施例による微少容量測定回路
図である。

【図１２】従来の微少容量測定回路の一例を示す回路図
である。

【図１３】従来の微少容量測定回路の測定例を説明する
ための測定電圧のタイムチャートである。

【符号の説明】

１被測定回路２Ａ／Ｄ変換回路及び演算回路を含むデータ処理部３制御回路４リミッタ回路５サンプル・ホールド回路６クランプ回路Ｃ_s 浮遊容量Ｃ_x 被測定容量ＢＡバッファ増幅器ＯＰＡ反転増幅器Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃ スイッチＲ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄，Ｒ₅，Ｒ₆，Ｒ₇ 抵抗Ｖ_s1，Ｖ_s2 定電圧源Ｖ_OF 残留電圧補正用バイアス電源Ｉ_s 定電流源ＤダイオードＤ_CLP クランプダイオード

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定方法におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）を所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された浮遊容量（Ｃ_s）を所定の放電電流
（Ｉ₁）で所定の時間（Ｔ_ds）放電させて得られた電圧
（Ｖ₁）を、第１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共
に、零電位を含む第１の補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を
第２の所定の倍率（Ｍ₂）で増幅して得た電圧を測定し
て第１の測定電圧値（Ｖ_M1）を得た後、該第１の測定電
圧値（Ｖ_M1）から前記浮遊容量値（Ｃ_s）を求めると共
に、前記第１の測定電圧値（Ｖ_M1）が零電位となるべき
第２の補正用バイアス電圧（Ｖ_b2）を演算により求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された合成容量を前記所定の放電電流
（Ｉ₁）で前記所定の時間（Ｔ_ds）放電させ、該放電時
間終了時の電圧（Ｖ₂）を前記第１の所定の倍率
（Ｍ₁）で増幅すると共に、前記演算で得られた前記第
２の補正用バイアス電圧（Ｖ_b2）を前記第２の所定の倍
率（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧を測定して第２の
測定電圧値（Ｖ_M2）を得て、前記第１の測定電圧値（Ｖ_M1），前記第２の測定電圧値
（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量値（Ｃ_s）を含む次式【数１】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1
−Ｖ_M1−Ｖ_M2）により前記被測定容量（Ｃ_x）を求めるようにしたこと
を特徴とする微少容量測定方法。
【請求項２】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定方法におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）を所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された浮遊容量（Ｃ_s）を所定の放電電流
（Ｉ₁）で所定の時間（Ｔ_ds）放電させて得られた電圧
（Ｖ₁）を、第１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共
に、そのまま又は補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を第２の
所定の倍率（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧を測定し
て第１の測定電圧値（Ｖ_M1）を得た後、該第１の測定電
圧値（Ｖ_M1）から前記浮遊容量（Ｃ_s）を求めると共
に、前記放電時間（Ｔ_ds）で放電したとき前記第１の測
定電圧値（Ｖ_M1）が零電位となるべき放電電流（Ｉ₂）
を演算により求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された合成容量を前記放電電流（Ｉ₂）で前
記所定の時間（Ｔ_ds）放電させ、該放電時間終了時の電
圧（Ｖ₂）を前記第１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅する
と共に、そのまま又は前記補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）
を第２の所定の倍率（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧
を測定して第２の測定電圧値（Ｖ_M2）を得て、該第２の
測定電圧値（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量値（Ｃ_s）とを含
む次式【数２】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1−Ｖ_M2）により前記被測定容量（Ｃ_x）を求めるようにしたこと
を特徴とする微少容量測定方法。
【請求項３】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定方法におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）を所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された浮遊容量（Ｃ_s）を所定の放電電流
（Ｉ₁）で所定の時間（Ｔ_ds1）放電させて得られた電
圧（Ｖ₁）を、第１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると
共に、そのまま又は補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を第２
の所定の倍率（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧を測定
して第１の測定電圧値（Ｖ_M1）を得た後、該第１の測定
電圧値（Ｖ _M1）から前記浮遊容量値（Ｃ_s）を求めると
共に、前記放電電流（Ｉ₁）で放電したとき前記第１の
測定電圧値（Ｖ_M1）が零電位となるべき放電時間（Ｔ
_ds2）を演算により求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された合成容量を前記演算により求めた放電
時間（Ｔ_ds2）で前記放電電流（Ｉ₁）により放電さ
せ、該放電時間終了時の電圧（Ｖ₂）を前記第１の所定
の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共に、そのまま又は前記補
正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を該第２の所定の倍率
（Ｍ₂）で増幅、加算して得た電圧を測定して第２の測
定電圧値（Ｖ_M2）を得て、該第２の測定電圧値（Ｖ_M2）
及び前記浮遊容量値（Ｃ_s）を含む次式【数３】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀＋Ｍ₂＊Ｖ_b1−Ｖ_M2）により前記被測定容量（Ｃ_x）を求めるようにしたこと
を特徴とする微少容量測定方法。
【請求項４】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定方法におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）を所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された浮遊容量（Ｃ_s）の電圧が零電位にな
るまでの期間所定の放電電流（Ｉ₁）で放電させ、該放
電に要した放電時間（Ｔ_ds）を測定すると共に、該放電
時間（Ｔ_ds）と前記所定の放電電流（Ｉ₁）とから前記
浮遊容量（Ｃ_s）を求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記所定の電圧（Ｖ₀）に充電した
後、該充電された合成容量を前記所定の放電電流
（Ｉ₁）で前記測定された放電時間（Ｔ_ds）で放電さ
せ、該放電時間終了時の電圧（Ｖ₂）を第１の所定の倍
率（Ｍ₁）で増幅して得られた電圧を測定して測定電圧
値（Ｖ_M2）とし、該測定電圧値（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量値（Ｃ_s）を含
む次式【数４】Ｃ_x＝Ｃ_s＊Ｖ_M2／（Ｍ₁＊Ｖ₀−Ｖ_M2）により前記被測定容量（Ｃ_x）を求めるようにしたこと
を特徴とする微少容量測定方法。
【請求項５】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定回路におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被
測定容量（Ｃ_x）との合成容量を所定電圧（Ｖ₀）に充
電する充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）と、該充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）により充電された前記浮遊容
量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量
（Ｃ_x）との合成容量を所定の放電電流（Ｉ₁）で放電
する放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）と、該放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）の放電時間（Ｔ_ds）を所定の
放電時間に制御可能な放電時間制御回路（３）と、前記放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）による前記浮遊容量
（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ _s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量の放電終了時の電圧（Ｖ₁又はＶ₂）
をインピーダンス変換して低インピーダンスで出力する
バッファ増幅器（ＢＡ）と、該バッファ増幅器（ＢＡ）の出力（Ｖ₁又はＶ₂）を第
１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共に、第１の補正
用バイアス電圧（Ｖ_b1）又は第２の補正用バイアス電圧
（Ｖ_b2）を第２の所定の倍率（Ｍ₂）で増幅、加算する
増幅器（ＯＰＡ）と、該増幅器（ＯＰＡ）の入力側に設けられ、前記浮遊容量
（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）の測定時に該増幅器
（ＯＰＡ）の出力を適正範囲にシフトさせるための前記
第１の補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）又は前記第２の補正
用バイアス電圧（Ｖ_b2）を設定する残留電圧補正用バイ
アス電源（Ｖ_OF）と、前記所定の充電電圧（Ｖ₀），前記所定の放電電流（Ｉ
₁），前記所定の放電時間（Ｔ_ds），前記第１の所定の
倍率（Ｍ₁），前記第２の所定の倍率（Ｍ₂）及び前記
増幅器（ＯＰＡ）による測定電圧（Ｖ_M1）から、前記第
２の補正用バイアス電圧（Ｖ_b2），前記浮遊容量
（Ｃ_s）及び前記被測定容量（Ｃ_x）を求める演算回路
（２）とを備え、前記浮遊容量（Ｃ_s）を前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で
所定電圧（Ｖ₀）に充電した後、該浮遊容量（Ｃ_s）を
前記放電電流（Ｉ₁）により前記所定の時間（Ｔ_ds）放
電させ、該放電終了時の前記バッファ増幅器（ＢＡ）の
出力電圧（Ｖ₁）を前記第１の補正用バイアス電圧（Ｖ
_b1）と共に前記増幅器（ＯＰＡ）により増幅して得られ
た電圧を測定して第１の測定電圧値（Ｖ_M1）とし、該第
１の測定電圧値（Ｖ_M1）が零電位となるべき前記残留電
圧補正用バイアス電源（Ｖ_OF）の前記第２の補正用バイ
アス電圧（Ｖ_b2）を前記演算回路（２）により求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で前記所
定電圧（Ｖ₀）に充電した後、前記所定の放電時間（Ｔ
_ds）放電させ、該放電終了時の前記バッファ増幅器（Ｖ
₂）の出力電圧を前記演算回路（２）により求めた前記
第２の補正用バイアス電圧（Ｖ_b2）と共に前記増幅器
（ＯＰＡ）により増幅し、得られた電圧を測定して第２
の測定電圧値（Ｖ_M2）とし、前記第１の測定電圧値（Ｖ_M1），前記第２の測定電圧値
（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量（Ｃ_s）から前記被測定容量
値（Ｃ_x）を前記演算回路（２）で求めるようにしたこ
とを特徴とする微少容量測定回路。
【請求項６】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定回路におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被
測定容量（Ｃ_x）との合成容量を所定電圧（Ｖ₀）に充
電する充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）と、該充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）により充電された前記浮遊容
量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量
（Ｃ_x）との合成容量を第１の放電電流（Ｉ₁）又は第
２の放電電流（Ｉ₂）に調整可能な放電回路（Ｉ_s，Ｓ
₂）と、該放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）の放電時間を所定の放電時間
（Ｔ_ds）に設定可能な放電時間制御回路（３）と、前記放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）による前記浮遊容量
（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ _s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量の放電終了時の電圧（Ｖ₁又はＶ₂）
をインピーダンス変換して低インピーダンスで出力する
バッファ増幅器（ＢＡ）と、該バッファ増幅器（ＢＡ）の出力（Ｖ₁又はＶ₂）を第
１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共に、必要に応じ
て補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を第２の所定の倍率（Ｍ
₂）で増幅、加算する増幅器（ＯＰＡ）と、必要に応じて該増幅器（ＯＰＡ）の入力側に設けられ、
該増幅器（ＯＰＡ）の出力を適正範囲にシフトさせるた
めの前記補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を発生する残留電
圧補正用バイアス電源（Ｖ_OF）と、前記所定の充電電圧（Ｖ₀），前記第１の放電電流（Ｉ
₁），前記第２の放電電流（Ｉ₂），前記所定の放電時
間（Ｔ_ds），前記第１の所定の倍率（Ｍ₁），前記第２
の所定の倍率（Ｍ₂）及び前記増幅器（ＯＰＡ）の出力
による測定電圧値（Ｖ_M1）（Ｖ_M2）から、前記浮遊容量
（Ｃ_s）及び前記被測定容量（Ｃ_x）を求める演算回路
（２）とを備え、前記浮遊容量（Ｃ_s）を前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で
所定電圧（Ｖ₀）に充電した後、該浮遊容量（Ｃ_s）を
前記第１の放電電流（Ｉ₁）により前記所定の時間（Ｔ
_ds）放電させ、該放電終了時の前記バッファ増幅器（Ｂ
Ａ）の出力電圧（Ｖ₁）をそのまま又は前記補正用バイ
アス電圧（Ｖ_b1）と共に前記増幅器（ＯＰＡ）により増
幅して得られた電圧を測定して第１の測定電圧値
（Ｖ_M1）とし、該第１の測定電圧値（Ｖ_M1）が零電位と
なるべき第２の放電電流（Ｉ₂）を前記演算回路（２）
により求め、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で前記所
定電圧（Ｖ₀）に充電した後、前記第２の放電電流（Ｉ
₂）により前記所定の放電時間（Ｔ_ds）で放電させ、該
放電終了時の前記バッファ増幅器（ＢＡ）の出力電圧
（Ｖ₂）をそのまま又は前記補正用バイアス電圧
（Ｖ_b1）と共に前記増幅器（ＯＰＡ）により増幅し、得
られた電圧を測定して第２の測定電圧値（Ｖ_M2）とし、該第２の測定電圧値（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量値
（Ｃ_s）から前記被測定容量値（Ｃ_x）を前記演算回路
（２）で求めるようにしたことを特徴とする微少容量測
定回路。
【請求項７】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定回路におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被
測定容量（Ｃ_x）との合成容量を所定電圧（Ｖ₀）に充
電する充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）と、該充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）により充電された前記浮遊容
量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量
（Ｃ_x）との合成容量を所定の放電電流（Ｉ₁）で放電
する放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）と、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被
測定容量（Ｃ_x）との合成容量を前記所定電流（Ｉ₁）
で放電する第１の放電時間（Ｔ_ds1）又は第２の放電時
間（Ｔ_ds2）に設定可能な放電時間制御回路（３）と、前記放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）による前記浮遊容量
（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ _s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量の放電終了時の電圧（Ｖ₁又はＶ₂）
をインピーダンス変換して低インピーダンスで出力する
バッファ増幅器（ＢＡ）と、該バッファ増幅器（ＢＡ）の出力（Ｖ₁又はＶ₂）を第
１の所定の倍率（Ｍ₁）で増幅すると共に、必要に応じ
て補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を第２の所定の倍率（Ｍ
₂）で増幅、加算する増幅器（ＯＰＡ）と、必要に応じて該増幅器（ＯＰＡ）の入力側に設けられ、
該増幅器（ＯＰＡ）の出力を適正範囲にシフトさせるた
めの前記補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）を発生する残留電
圧補正用バイアス電源（Ｖ_OF）と、前記所定の充電電圧（Ｖ₀），前記所定の放電電流（Ｉ
₁），前記第１の放電時間（Ｔ_ds1），前記第２の放電
時間（Ｔ_ds2），前記第１の所定の倍率（Ｍ₁），前記
第２の所定の倍率（Ｍ₂）及び前記増幅器（ＯＰＡ）の
出力による測定電圧（Ｖ_M1，Ｖ_M2）から、前記浮遊容量
（Ｃ_s）及び前記被測定容量（Ｃ_x）を求める演算回路
（２）とを備え、前記浮遊容量（Ｃ_s）を前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で
所定電圧（Ｖ₀）に充電した後、該浮遊容量（Ｃ_s）を
前記放電電流（Ｉ₁）により前記第１の放電時間（Ｔ
_ds1）で放電させ、該放電終了時の前記バッファ増幅器
（ＢＡ）の出力電圧（Ｖ₁）をそのまま又は前記補正用
バイアス電圧（Ｖ_b1）と共に前記増幅器（ＯＰＡ）によ
り増幅して得られた電圧を第１の測定電圧値（Ｖ_M1）と
し、該第１の測定電圧値（Ｖ_M1）が零電位となるべき第
２の放電時間（Ｔ_ds2）を前記演算回路（２）により求
め、次に前記浮遊容量（Ｃ₃）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で前記所
定電圧（Ｖ₀）に充電した後、前記放電電流（Ｉ₁）に
より前記第２の放電時間（Ｔ_ds2）放電させ、該放電終
了時の前記バッファ増幅器（ＢＡ）の出力電圧（Ｖ₂）
をそのまま又は前記補正用バイアス電圧（Ｖ_b1）と共に
前記増幅器（ＯＰＡ）により増幅し、得られた電圧を第
２の測定電圧値（Ｖ_M2）とし、該第２の測定電圧値（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量値
（Ｃ_s）から前記被測定容量値（Ｃ_x）を前記演算回路
（２）で求めるようにしたことを特徴とする微少容量測
定回路。
【請求項８】被測定容量（Ｃ_x）に比較して大きな浮
遊容量（Ｃ_s）を伴なう状態にある微少容量の被測定容
量の容量値（Ｃ_x）を測定する微少容量測定回路におい
て、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被
測定容量（Ｃ_x）との合成容量を所定電圧（Ｖ₀）に充
電する充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）と、該充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）により充電された前記浮遊容
量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量
（Ｃ_x）との合成容量を所定の放電電流（Ｉ₁）で放電
する放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）と、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被
測定容量（Ｃ_x）との合成容量を前記所定電流（Ｉ₁）
で零電位に達するまでの放電時間（Ｔ_ds）を測定し記憶
する放電時間測定回路（３）と、前記放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）による前記浮遊容量
（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ _s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量の放電終了時の電圧（Ｖ₁又はＶ₂）
をインピーダンス変換して低インピーダンスで出力する
バッファ増幅器（ＢＡ）と、該バッファ増幅器（ＢＡ）の出力（Ｖ₁）を所定の倍率
（Ｍ₁）で増幅する増幅器（ＯＰＡ）と、前記所定の充電電圧（Ｖ₀），前記所定の放電電流（Ｉ
₁），前記放電時間（Ｔ_ds），前記所定の倍率（Ｍ₁）
及び前記増幅器（ＯＰＡ）の出力による測定電圧値（Ｖ
_M1，Ｖ_M2）から前記浮遊容量（Ｃ_s）及び前記被測定容
量（Ｃ_x）を求める演算回路（２）とを備え、前記浮遊容量（Ｃ_s）を前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で
所定電圧（Ｖ₀）に充電した後、該浮遊容量（Ｃ_s）を
前記放電電流（Ｉ₁）により零電位に達するまでの前記
放電時間（Ｔ_ds）を測定して記憶せしめ、次に前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）と
の合成容量を再び前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）で前記所
定電圧（Ｖ₀）に充電した後、前記記憶された放電時間
（Ｔ_ds）で放電させ、該放電終了時の前記バッファ増幅
器（Ｖ₂）の出力電圧を前記増幅器（ＯＰＡ）により増
幅し、得られた電圧を測定して測定電圧値（Ｖ_M2）と
し、該測定電圧値（Ｖ_M2）及び前記浮遊容量（Ｃ_s）から前
記被測定容量値（Ｃ_x）を前記演算回路（２）で求める
ようにしたことを特徴とする微少容量測定回路。
【請求項９】前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量
（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）との合成容量を所定
電圧（Ｖ₀）に充電する前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）
を、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前
記被測定容量（Ｃ _x）との合成容量を零電位にイニシャ
ライズする放電回路（Ｓ₁）とし、前記充電回路（Ｖ_s1，Ｓ₁）により充電された前記浮遊
容量（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量
（Ｃ_x）との合成容量を所定の放電電流（Ｉ₁）で放電
する前記放電回路（Ｉ_s，Ｓ₂）を、前記放電回路（Ｓ
₁）により零電位にイニシャライズされた前記浮遊容量
（Ｃ_s）又は該浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ
_x）との合成容量を所定の電流（前記放電電流Ｉ₁と絶
対値が同一で極性が反対）で充電する充電回路（極性を
反転させた定電流電源Ｉ_sとＳ₂）とし、前記残留電圧補正用バイアス電源（Ｖ_OF）の出力電圧
（Ｖ_b1'又はＶ_b2'）を、前記所定の電圧（Ｖ₀）に前
記第１の所定の倍率（Ｍ₁）と前記第２の所定の倍率
（Ｍ₂）との比（Ｍ₁／Ｍ₂）を乗じて得た電圧と、前
記補正用バイアス電圧（Ｖ_b1又はＶ_b2）とを加算して得
た電圧と絶対値が同一で、極性が反対の電圧とし、前記浮遊容量（Ｃ_s）を前記放電回路（Ｓ₁）により零
電位にイニシャライズした後に、前記充電回路（極性を
反転させた定電流電源Ｉ_sとＳ₂）により前記所定放電
時間（Ｔ_ds）に相当する時間充電し、該充電終了時の前
記浮遊容量（Ｃ _s）の電圧を前記バッファ増幅器（Ｂ
Ａ）により低インピーダンス変換して出力し、該出力電
圧を前記第１の所定の倍率（Ｍ₁）で、又は前記残留電
圧補正用バイアス電源（Ｖ_OF）の第１の出力電圧（Ｖ
_b1'）を前記第２の所定の倍率（Ｍ₂）で夫々前記増幅
器（ＯＰＡ）により増幅、加算し、その電圧を測定して
前記第１の測定電圧値（Ｖ_M1）とし、前記浮遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）との合
成容量を前記放電回路（Ｓ₁）により放電して零電位に
イニシャライズした後に、前記充電回路（極性を反転さ
せた定電流電源Ｉ_sとＳ₂）により前記所定放電時間
（Ｔ_ds）に相当する時間充電し、該充電終了時の前記浮
遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）との合成容量
の電圧を前記バッファ増幅器（ＢＡ）により低インピー
ダンス変換して出力し、該出力電圧を前記第１の所定の
倍率（Ｍ₁）で、又は前記残留電圧補正用バイアス電源
（Ｖ_OF）の第２の出力電圧（Ｖ_b2'）を前記第２の所定
の倍率（Ｍ₂）で夫々前記増幅器（ＯＰＡ）により増
幅、加算し、その電圧を測定して前記第２の測定電圧値
（Ｖ_M2）として、前記被測定容量を前記演算回路（２）
で求めるようにした請求項５，６，７又は８に記載の微
少容量測定回路。
【請求項１０】前記バッファ増幅器（ＢＡ）に、非反
転入力に対して前記第１の所定の倍率（Ｍ₁）、反転入
力に対して前記第２の所定の倍率（Ｍ₂）で増幅する機
能を持たせると共に、前記浮遊容量（Ｃ_s）又は前記浮
遊容量（Ｃ_s）と前記被測定容量（Ｃ_x）との合成容量
の電圧を非反転入力から、前記補正用バイアス電圧を反
転入力側から夫々印加できるようにして、前記増幅器
（ＯＰＡ）を省略した請求項５，６，７，８又は９に記
載の微少容量測定回路。