JP2003031641A

JP2003031641A - 製品保管方法および製品保管装置

Info

Publication number: JP2003031641A
Application number: JP2001219633A
Authority: JP
Inventors: Toshinori Nakano; 俊典中野
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2001-07-19
Filing date: 2001-07-19
Publication date: 2003-01-31

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体ウェーハ等の被処理製品を高清浄度の
環境下で保管できる製品保管方法、およびその保管方法
を用いた製品保管装置を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ等の被処理製品Ｗを多数
収容して保管するストッカー１内に、循環ファン２によ
り外気を取り込んで循環させる。ストッカー１内に導入
された直後の外気をケミカル除去フィルター４およびＵ
ＬＰＡフィルター３で濾過して、ストッカー１内を高清
浄度の循環空調系とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体ウ
ェーハのように高清浄度の空間での保管が要求される被
処理製品の保管方法、およびその保管方法を適用した製
品保管装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、被処理
製品である半導体ウェーハは粒子汚染などにより不良が
発生しないように、クリーンルームと呼ばれる清浄度の
高い環境エリアで搬送・保管される。図９は、そのよう
なクリーンルームで半導体ウェーハを搬送・保管するの
に用いられるストッカー装置の従来例を示す縦断面図で
ある。このストッカー装置は、被処理製品である多数の
半導体ウェーハＷを収容したストッカー１内に、循環フ
ァン２とＵＬＰＡフィルター３とを設け、ストッカー１
内に導入されるエアを循環ファン２で循環させると共
に、エアに含まれる微粒子（パーティクル）をＵＬＰＡ
（ＵｌｔｒａＬｏｗＰｅｎｅｔｒａｔｉｏｎＡｉ
ｒ）フィルター３で除去するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この場合、クリーンル
ーム内のエアに含まれる微粒子はＵＬＰＡフィルター３
で除去することができるが、微粒子以外の物質、例えば
Ｐ，Ｂのイオン状物質、有機物などの分子、ミスト状の
不純物は除去することができない。また、ストッカー１
内に導入されるエアの清浄度は、外気の清浄度の変動
や、クリーンルーム内で発生する各種物質のために変動
している。このため、最悪の場合には、外気の変動や、
クリーンルーム内から発生するＰ，Ｂのイオン状物質、
有機物などの分子やミスト状の不純物によって、被処理
製品である半導体ウェーハが汚染され、安定した生産を
確保できないという問題点があった。

【０００４】そこで、この発明は、半導体ウェーハ等の
被処理製品を高清浄度の環境下で保管できる製品保管方
法、およびその保管方法を用いた製品保管装置を提供す
ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかる発明は
製品保管方法であって、被処理製品を収容して保管する
ストッカー内に、循環ファンにより外気を導入すると共
に、導入直後の外気をケミカル除去フィルターおよびＵ
ＬＰＡフィルターで濾過して、ストッカー内を高清浄度
の循環空調系とするものである。

【０００６】請求項２にかかる発明は製品保管装置であ
って、被処理製品を収容して保管するストッカーと、外
気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後
の外気を濾過するケミカル除去フィルターおよびＵＬＰ
Ａフィルターとを備えている。

【０００７】請求項３にかかる発明は製品保管方法であ
って、被処理製品を収容して保管するストッカー内に、
循環ファンにより外気を導入し、導入直後の外気に対し
て紫外線照射することにより外気に含まれる有機物を分
解すると共に、ＵＬＰＡフィルターで濾過して、ストッ
カー内を高清浄度の循環空調系とするものである。

【０００８】請求項４にかかる発明は製品保管装置であ
って、被処理製品を収容して保管するストッカーと、外
気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後
の外気に対して紫外線照射器で紫外線照射する有機分解
室と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直
後の外気を濾過するＵＬＰＡフィルターとを備えてい
る。

【０００９】請求項５にかかる発明は製品保管方法であ
って、被処理製品を収容して保管するストッカー内に、
循環ファンにより外気を導入し、導入直後の外気に含ま
れるイオン成分を純水を用いて外気から除去すると共
に、ＵＬＰＡフィルターで濾過して、ストッカー内を高
清浄度の循環空調系とするものである。

【００１０】請求項６にかかる発明は製品保管装置であ
って、被処理製品を収容して保管するストッカーと、外
気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後
の外気に含まれるイオン成分を純水を用いて外気から除
去するイオン成分除去手段と、前記循環ファンでストッ
カー内に取り込まれた直後の外気を濾過するＵＬＰＡフ
ィルターとを備えている。

【００１１】請求項７にかかる発明は製品保管方法であ
って、少なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰ
Ａフィルターを備えた空調機で濾過した外気を、被処理
製品を収容して保管するストッカー内に供給することに
より、ストッカー内を高清浄度の空調空間としている。

【００１２】請求項８にかかる発明は製品保管装置であ
って、被処理製品を収容して保管するストッカーと、少
なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィル
ターを有し、導入した外気を濾過して前記ストッカー内
に供給する空調機とを備えている。

【００１３】請求項９にかかる発明は製品保管方法であ
って、少なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰ
Ａフィルターを備えた空調機で濾過した外気を、被処理
製品を収容して保管するストッカー内に供給すると共
に、該ストッカー内に配置された循環ファンで外気をス
トッカー内に取り込んで循環させて、ストッカー内を高
清浄度の循環空調系としている。

【００１４】請求項１０にかかる発明は製品保管装置で
あって、被処理製品を収容して保管するストッカーと、
少なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィ
ルターを有し、導入した外気を濾過して前記ストッカー
内に供給する空調機と、前記ストッカー内に配置され、
外気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
とを備えている。

【００１５】請求項１１にかかる発明は製品保管方法で
あって、被処理製品を搬送するＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅ
ａｄＳｈｕｔｔｌｅ）の台車あるいは走行経路を、少
なくとも気密構造としたカバーで外界から隔離して、被
処理製品の搬送空間を高清浄空間としている。

【００１６】請求項１２にかかる発明は製品保管装置で
あって、被処理製品を搬送するＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅ
ａｄＳｈｕｔｔｌｅ）と、少なくとも気密構造とさ
れ、前記ＯＨＳの台車あるいは走行経路を外界から隔離
するカバーとを備えている。

【００１７】請求項１３にかかる発明は、被処理製品の
保管エリアへ高清浄度化したエアを供給する製品保管方
法であって、それぞれが少なくともケミカル除去フィル
ターおよびＵＬＰＡフィルターを有し、導入した外気を
濾過する２台の空調機の出口を共通化して、両空調機を
切り替え使用し、前記出口における濾過後のエアの清浄
度を分析し、その分析結果が所定レベル以下に低下する
と、前記空調機の前記切り替えを行うものである。

【００１８】請求項１４にかかる発明は、被処理製品の
保管エリアへ高清浄化したエアを供給する製品保管装置
であって、それぞれが少なくともケミカル除去フィルタ
ーおよびＬＵＰＡフィルターを有し、導入した外気を濾
過する第１および第２の空調機と、前記両空調機の一方
を使用状態、他方を不使用状態に切り替える切り替え手
段と、前記両空調機の互いに接続された出口における濾
過後のエアの清浄度を分析する分析手段と、前記分析手
段による分析結果が所定レベル以下となったとき、前記
切り替え手段の切り替え状態を逆転させる制御手段とを
備えている。

【００１９】請求項１５にかかる発明は製品保管方法で
あって、被処理製品を収容して保管するストッカー内
に、循環ファンにより外気を導入し、導入直後の外気に
含まれるイオン成分を純水を用いて外気から除去すると
共に、ＵＬＰＡフィルターで濾過して、ストッカー内を
高清浄度の循環空調系とし、イオン成分を除去した後の
外気の清浄度を分析し、分析結果が所定レベル以下のと
き前記純水の量を増加させるものである。

【００２０】請求項１６にかかる発明は製品保管装置で
あって、被処理製品を収容して保管するストッカーと、
外気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後
の外気に含まれるイオン成分を純水を用いて除去するイ
オン成分除去手段と、前記循環ファンでストッカー内に
取り込まれた直後の外気を濾過するＵＬＰＡフィルター
と、前記イオン成分除去手段で処理された外気の清浄度
を分析する分析機器と、前記分析機器による分析結果が
所定レベル以下のときに、前記純水の量を増加させる制
御手段とを備えている。

【００２１】請求項１７にかかる発明は、少なくともケ
ミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターを有す
る空調機で濾過したエアを被処理製品を収容して保管す
るエリアに供給する製品保管方法であって、前記ケミカ
ル除去フィルターに熱を与えて再生するものである。

【００２２】請求項１８にかかる発明は、被処理製品を
収容して保管するエリアへ高清浄度化したエアを供給す
る製品保管装置であって、少なくともケミカル除去フィ
ルターおよびＵＬＰＡフィルターを有し、導入した外気
を濾過する空調機と、前記ケミカル除去フィルタに熱を
与える手段とを備えている。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、この発明をその実施の形態
を示す図面に基づいて具体的に説明する。なお、図９に
示す従来例と同一または同等の部材には同一符号を付し
ている。

【００２４】実施の形態１．図１はこの発明の実施の形
態１による製品保管装置の縦断面図を示す。この製品保
管装置は、半導体装置の製造工程におけるクリーンルー
ムで、被処理製品である半導体ウェーハＷを高清浄度の
空間内で収容して搬送・保管するためのストッカー装置
であって、ストッカー１と、循環ファン２と、ＵＬＰＡ
フィルター３と、ケミカル除去フィルター４とを備えて
いる。

【００２５】ストッカー１は、例えば上端を閉塞した円
筒状の容器であって、内部には外壁１ａと同心状に配置
した内壁１ｂを有し、内壁１ｂの内側に被処理製品であ
る半導体ウェーハＷを載置する複数段の棚５が設けられ
ている。ストッカー１の下端の中央には外気を導入する
開口６が設けられている。

【００２６】ストッカー１内の下部には、前記循環ファ
ン２、ケミカル除去フィルター４、およびＵＬＰＡフィ
ルター３が、これらの順序で開口６の近傍から外径側に
向けて並べて配置されている。循環ファン２は、外気を
前記開口６からストッカー１内に取り込んで循環させる
ものである。ＵＬＰＡフィルター３は、導入された外気
に含まれる微粒子を除去するフィルターである。ケミカ
ル除去フィルター４は、導入された外気に含まれるＰ，
Ｂのイオン状物質、有機物なとの分子やミスト状の不純
物を除去するフィルターである。このケミカル除去フィ
ルター４としては、酸系除去フィルター、アルカリ系除
去フィルター、有機系除去フィルターの３種類があり、
これらのうちの１種類を選択して使用しても、複数種類
を併用しても良い。

【００２７】ストッカー１の外壁１ａと内壁１ｂの間の
空間は循環路７を形成している。内壁１ｂには、前記循
環路７を経た外気を、内壁１ｂの内側空間に導入する多
数の通気穴８が形成されている。

【００２８】このストッカー装置によると、循環ファン
２によりストッカー１の開口６から導入されたクリーン
ルームのエアが、ケミカル除去フィルター４およびＵＬ
ＰＡフィルター３を通過した後、循環路７および通気穴
８を経て内壁１ｂの内側に進入し、循環ファン２へと導
かれてストッカー１内を一点鎖線で示すように循環す
る。導入されるエアに含まれるＰ，Ｂのイオン状物質、
有機物なとの分子やミスト状の不純物は、ケミカル除去
フィルター４によって除去される。また、エアに含まれ
る微粒子は、ＵＬＰＡフィルター３によって除去され
る。これにより、ストッカー１内は高清浄度の循環空調
系とされ、被処理製品である半導体ウェーハＷを、外気
の清浄度変動や、クリーンルーム内の空気中の不純物量
の変動に左右されることなく、高清浄度の空間内で保管
することができる。

【００２９】また、このストッカー装置では、ストッカ
ー１の下端に設けた開口６から循環ファン２により外気
を袋状のストッカー１内に導入するようにしているの
で、ストッカー１内を陽圧に保つことができ、ストッカ
ー１に対して半導体ウェーハＷを出し入れするときに、
クリーンルームのエアが循環ファン２を通らずにストッ
カー１内に進入するのを防止することができる。

【００３０】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２による製品保管装置の縦断面図を示す。この製品保
管装置は、実施の形態１による製品保管装置において、
ケミカル除去フィルター４に替えて、有機分解室９を設
けたものである。この有機分解室９には紫外線照射器１
０が設置され、循環ファン２により有機分解室９に導入
された直後の外気に対して、紫外線照射器１０から紫外
線を照射する。その他の構成は実施の形態１の場合と同
様であり、ここでは説明を省略する。

【００３１】この製品保管装置によると、循環ファン２
によりクリーンルームからストッカー１内に導入された
直後のエアが、有機分解室９で紫外線の照射を浴び、エ
アに含まれる有機物が炭酸ガスと水に分解される。ここ
で発生した炭酸ガスや水は、系外に放出される。また、
有機分解室９で有機物を除去されたエアがＵＬＰＡフィ
ルター３を通過するとき、そのエアに含まれる微粒子が
除去される。これにより、ストッカー１内は、高清浄度
の循環空調系とされ、被処理製品である半導体ウェーハ
Ｗを、外気の清浄度変動や、クリーンルーム内の空気中
の不純物量の変動に左右されることなく、高清浄度の空
間内で保管することができる。

【００３２】実施の形態３．図３はこの発明の実施の形
態３による製品保管装置の縦断面図を示す。この製品保
管装置は、実施の形態１による製品保管装置において、
ケミカル除去フィルター４に替えて、イオン成分除去室
１２を設けたものである。このイオン成分除去室１２に
は複数本の純水配管１３が張りめぐらされており、この
純水配管１３に対して純水循環装置１４から１５〜２０
℃程度の水温の純水が循環供給される。前記イオン成分
除去室１２、純水配管１３、および純水循環装置１４に
よって、ストッカー１内に導入直後の外気に含まれるイ
オン成分を除去するイオン成分除去手段１１が構成され
る。その他の構成は実施の形態１の場合と同様であり、
ここでは説明を省略する。

【００３３】この製品保管装置によると、循環ファン２
によりクリーンルームからストッカー１内に導入された
直後のエアは、イオン成分除去室１２において純水配管
１３の表面に接触し、水滴を生じる。このとき、エアに
含まれる水溶性の不純物、すなわちイオン成分が水滴に
取り込まれる。その水滴は、ストッカー１の下端に設け
られた排水管１５から系外に排水される。その結果、導
入されたエア中のイオン成分が除去される。また、イオ
ン成分除去室１２でイオン成分を除去されたエアがＵＬ
ＰＡフィルター３を通過するとき、そのエアに含まれる
微粒子が除去される。これにより、ストッカー１内は、
高清浄度の循環空調系とされ、被処理製品である半導体
ウェーハＷを、外気の清浄度変動や、クリーンルーム内
の空気中の不純物量の変動に左右されることなく、高清
浄度の空間内で保管することができる。

【００３４】なお、イオン成分除去手段１１としては、
前記イオン成分除去室１２の構成に替えて、例えば公知
の純水ウオッシャーを用いてエア中のイオン成分を除去
するようにしても良い。

【００３５】実施の形態４．図４はこの発明の実施の形
態４による製品保管装置の縦断面図を示す。この製品保
管装置は、被処理製品である半導体ウェーハＷを収容し
て保管するストッカー１と、このストッカー１の外部に
設置される空調機（外調機）１６とを備える。ストッカ
ー１内の上部にはＵＬＰＡフィルター３が配置され、そ
の下側に半導体ウェーハＷを載置する複数段の棚５が設
けられている。

【００３６】空調機１６には、プレフィルター１７と、
中性能フィルター１８と、ファン１９と、ケミカル除去
フィルター２０と、ＵＬＰＡフィルター２１とが、外気
導入側から外気導出側へとこれらの順序で配置されてお
り、その外気導出側はダクト２２を介して前記ストッカ
ー１の上部に連通させてある。ストッカー１の下端は導
出口２３とされ、前記空調機１６から供給されたエアが
ストッカー１内を通過可能とされている。

【００３７】この製品保管装置によると、空調機１６の
ファン１９によりクリーンルームから空調機１６内に導
入されたエアが、プレフィルター１７、中性能フィルタ
ー１８、ケミカル除去フィルター２０、およびＵＬＰＡ
フィルター２１で濾過されることで、エアに含まれる
Ｐ，Ｂのイオン状物質、有機物なとの分子やミスト状の
不純物、および微粒子が除去されて高清浄度化される。
濾過されたエアはダクト２２を介してストッカー１の上
部に供給される。ストッカー１内に導入されたエアは、
さらにＵＬＰＡフィルター３で濾過されることで微粒子
が再度除去されて、さらに高清浄度化される。このよう
に高清浄度化されたエアはストッカー１内を通過して下
端の導出口２３からストッカー１外に排出される。これ
により、ストッカー１内は高清浄度の空調空間に保た
れ、被処理製品である半導体ウェーハＷを、外気の清浄
度変動や、クリーンルーム内の空気中の不純物量の変動
に左右されることなく、高清浄度の空間内で保管するこ
とができる。

【００３８】なお、空調機１６におけるケミカル除去フ
ィルター２０は、これに替えて、実施の形態２における
有機分解室９を設けることにより、エア中の有機物を除
去するようにしても良い。また、ケミカル除去フィルタ
ー２０に替えて、実施の形態３で示したイオン成分除去
室１２や純水ウオッシャーを設けることにより、エア中
のイオン成分を除去するようにしても良い。さらには、
ケミカル除去フィルター２０、有機分解室９、イオン成
分除去室１２などを複合させて設けても良い。

【００３９】実施の形態５．図５はこの発明の実施の形
態５による製品保管装置の縦断面図を示す。この製品保
管装置は、被処理製品である半導体ウェーハＷを収容し
て保管するストッカー１と、このストッカー１の外部に
設置される空調機（外調機）１６とを備える。ストッカ
ー１内の構造は実施の形態１の場合とほぼ同様である。
すなわち、ストッカー１の外壁１ａと同心状に内壁１ｂ
が設けられて循環路７が形成され、その内壁１ｂに半導
体ウェハーＷを載置する複数段の棚５が設けられ、スト
ッカー１の下部には下端中央の開口６の周囲に、循環フ
ァン２、ケミカル除去フィルター４、およびＵＬＰＡフ
ィルター３がこれらの順序で外径側に並べて配置されて
いる。

【００４０】空調機１６の内部構造は実施の形態４の場
合と同様であり、その外気導出側はダクト２２を介して
前記ストッカー１の上部に連通させてある。この空調機
１６では、ストッカー１内が循環ファン２のエア供給力
と相俟って陽圧の循環空調系となる程度のエアをストッ
カー１に供給するようにされていることが、実施の形態
４の場合と異なる。

【００４１】この製品保管装置によると、空調機１６で
濾過されたエアがストッカー１内に供給されてから、循
環ファン２によりストッカー１内で循環させられ、ケミ
カル除去フィルター４およびＵＬＰＡフィルター３によ
りエア中の不純物や粒子が除去される。これにより、ス
トッカー１内は高清浄度の循環空調系となり、製品であ
る半導体ウェーハＷを、外気の清浄度変動やクリーンル
ーム内の空気中の不純物量の変動に左右されることな
く、高清浄度の空間内で保管することができる。

【００４２】とくに、この実施の形態では、空調機１６
からストッカー１へのエア供給量は、循環ファン２のエ
ア供給力と相俟ってストッカー１内が陽圧の循環空調系
となる量だけで十分なため、実施の形態４の場合に比べ
て空調機１６にかかるコストを低減できる。

【００４３】実施の形態６．この発明の実施の形態６に
よる製品搬送装置は、半導体ウェーハ等の被処理製品を
搬送するＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅａｄＳｈｕｔｔｌ
ｅ）と、このＯＨＳの走行経路を外界であるクリーンル
ームから隔離するカバーとで構成される。カバーは金属
あるいは高分子等の低脱ガス部材からなり、少なくとも
気密構造、好ましくは気密構造でかつ水密構造とされて
いる。

【００４４】製品搬送装置をこのように構成した場合に
は、ＯＨＳの走行経路をクリーンルームから隔離できる
ので、ＯＨＳで搬送される半導体ウェーハ等の被処理製
品にクリーンルームのエアが接触するのを防止でき、被
処理製品を高清浄度の環境下で搬送することができる。

【００４５】なお、ＯＨＳの走行経路を前記カバーで隔
離するのに替えて、ＯＨＳの走行台車にカバーを設けて
も良い。

【００４６】実施の形態７．図６はこの発明の実施の形
態７による空調装置の縦断面図を示す。この空調装置
は、例えば実施の形態４や実施の形態５の空調機１６の
ように、高清浄度の要請されるエリアへ高清浄度化した
エアを供給する装置であって、２台の空調機１６Ａ，１
６Ｂを備える。これら両空調機１６Ａ，１６Ｂの内部構
造は、実施の形態４，５（図４，５）における空調機１
６の内部構造と同様であり、ここではその説明を省略す
る。これら両空調機１６Ａ，１６Ｂは並列に接続されて
いる。すなわち、両空調機１６Ａ，１６Ｂの外気導入管
２４Ａ，２４Ｂが共通の導入管２５に接続され、両空調
機１６Ａ，１６Ｂの外気導出管２６Ａ，２６Ｂも共通の
導出管２７に接続されている。

【００４７】前記両空調機１６Ａ，１６Ｂの外気導入管
２４Ａ，２４Ｂには、それぞれ切替手段であるダンパー
２８Ａ，２８Ｂが設けられている。これらダンパー２８
Ａ，２８Ｂの開閉は制御手段であるコントローラ２９に
よって制御される。両空調機１６Ａ，１６Ｂの出口であ
る共通導出管２７内には、分析機器３０に接続されたサ
ンプル配管３１の先端が臨まされている。分析機器３０
は、前記共通導出管２７を流れる濾過後のエアの一部を
サンプル配管３１を介してサンプリングし、そのエアの
清浄度を分析する手段である。前記コントローラ２９
は、前記分析機器３０の分析結果に応じて、前記両ダン
パー２８Ａ，２８Ｂの開閉状態を切り替える。すなわ
ち、コントローラ２９は、初期状態において両ダンパー
２８Ａ，２Ｂのうちの一方を開状態、他方を閉状態に設
定し、分析機器３０による清浄度の分析結果が基準レベ
ル以下のとき、両ダンパー２８Ａ，２８Ｂの開閉状態を
逆に切り替える。

【００４８】この空調装置の動作を説明する。動作開始
時に、コントローラ２９は、例えばダンパー２８Ａを開
状態、ダンパー２８Ｂを閉状態に設定する。これによ
り、共有導入管２５から導入された外気は一方の空調機
１６Ａで濾過された後に、共通導出管２７から高清浄度
の要請されるエリアへと供給される。この間、分析機器
３０は、共通導出管２７を流れるエアをサンプル配管３
１を介してサンプリングし、その清浄度を分析してい
る。例えば空調機１６Ａにおけるケミカル除去フィルタ
ー２０の劣化などのために、分析された清浄度が所定の
基準値以下になると、その結果が分析機器３０からコン
トローラ２９に送信される。これに応答して、コントロ
ーラ２９は、両ダンパー２８Ａ，２８Ｂの開閉状態を逆
に切り替える。すなわち、それまで開状態のダンパー２
８Ａは閉状態に、それまで閉状態のダンパー２８Ｂは開
状態にそれぞれ切り替えられる。これにより、共通導入
管２５から導入された外気は、それまで休止状態であっ
た他の空調機１６Ｂで濾過されることになる。

【００４９】このような動作により、稼動中の空調機で
例えばケミカル除去フィルター２０が劣化したり、ファ
ン１９の不調で供給が停止するなどした場合でも、別の
空調機が稼動するように切り替えられるので、清浄度の
低下したエアが目的のエリアに供給されるのを防止する
ことができ、半導体ウェーハなどの被処理製品を高清浄
度の環境下で保管したり搬送したりすることができる。
また、目的のエリアに高清浄度化したエアを供給しなが
ら、不調の空調機のメンテナンスを行うこともできる。

【００５０】実施の形態８．図７はこの発明の実施の形
態８による製品保管装置の縦断面図を示す。この製品保
管装置は、実施の形態３による製品保管装置において、
イオン成分除去処理後のエアの清浄度を分析する分析機
器３２と、この分析機器３２による分析結果に応じて純
水循環装置１４による循環純水量を制御する制御手段で
あるコントローラ３３とを付加したものである。ストッ
カー１内の構造は実施の形態３の場合と同様であり、こ
こではその説明を省略する。ストッカー１内のイオン成
分除去室１２からＵＬＰＡフィルター３を通過したエア
の出口近傍には、前記分析機器３２に接続されたサンプ
ル配管３４の先端が臨まされている。

【００５１】この製品保管装置では、循環ファン２によ
りストッカー１内に取り込まれ、イオン成分除去室１２
でイオン成分除去され、さらにＵＬＰＡフィルター３で
粒子の除去が行われたエアを、サンプル配管３４を介し
て分析機器３２がサンプリングし、その清浄度を分析す
る。分析された清浄度が所定の基準値以下になると、そ
の結果が分析機器３２からコントローラ３３に送信され
る。これに応答して、コントローラ３３は、純水配管１
３を循環する純水の水量が増加するように純水循環装置
１４を制御する。これにより、イオン成分除去室１２で
のイオン成分除去性能が低下したときに、純水配管１３
を循環する純水の水量が増加してイオン成分除去性能が
向上し、ストッカー１内に高清浄度の循環空調系が保た
れる。

【００５２】実施の形態９．図８はこの発明の実施の形
態９による空調装置の縦断面図を示す。この空調装置
は、例えば実施の形態４や実施の形態５の空調機１６の
ように、高清浄度の要請されるエリアへ高清浄度化した
エアを供給する装置であって、空調機１６と、温風供給
手段３５と、排気管３８とを備える。空調機１６の内部
構造は、実施の形態４，５（図４，５）における空調機
１６の内部構造と同様であり、プレフィルター１７と、
中性能フィルター１８と、ファン１９と、ケミカル除去
フィルター２０と、ＵＬＰＡフィルター２１とが、外気
導入側から外気導出側へとこれらの順序で配置されてい
る。温風供給手段３５は、温風送気装置３６と、この温
風送気装置３６を空調機１６のケミカル除去フィルター
２０に連通させる温風吸引管３７とからなる。排気管３
８はケミカル除去フィルター２０を空調機１６の外部に
連通させる。

【００５３】この空調装置では、空調機１６のケミカル
除去フィルター２０が劣化して吸着性能が落ちた場合
に、温風送気装置３６から温風を温風吸引管３７を通し
てケミカル除去フィルター２０に供給すると、ケミカル
除去フィルター２０に吸着された有機物が脱離して、ケ
ミカル除去フィルター２０を再生させることができる。

【００５４】なお、前記温風供給手段３５により温風を
供給するのに替えて、ケミカル除去フィルター２０を加
熱することにより有機物を脱離させるようにしても良
い。要はケミカル除去フィルター２０に有機物を脱離さ
せるための熱を与える手段を設ければよい。

【００５５】

【発明の効果】請求項１の発明の製品保管方法は、被処
理製品を収容して保管するストッカー内に、循環ファン
により外気を導入すると共に、導入直後の外気をケミカ
ル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターで濾過し
て、ストッカー内を高清浄度の循環空調系とするので、
外気の清浄度変動や、クリーンルーム内の空気中の不純
物量の変動に左右されることなく、高清浄度の空間内で
製品を保管することができる。

【００５６】請求項２の発明の製品保管装置は、被処理
製品を収容して保管するストッカーと、外気をストッカ
ー内に取り込んで循環させる循環ファンと、前記循環フ
ァンでストッカー内に取り込まれた直後の外気を濾過す
るケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターと
を備えるので、ストッカー内を高清浄度の循環空調系と
することができ、外気の清浄度変動や、クリーンルーム
内の空気中の不純物量の変動に左右されることなく、高
清浄度の空間内で製品を保管することができる。

【００５７】請求項３の発明の製品保管方法は、被処理
製品を収容して保管するストッカー内に、循環ファンに
より外気を導入し、導入直後の外気に対して紫外線照射
することにより外気に含まれる有機物を分解すると共
に、ＵＬＰＡフィルターで濾過して、ストッカー内を高
清浄度の循環空調系とするので、外気の清浄度変動や、
クリーンルーム内の空気中の不純物量の変動に左右され
ることなく、高清浄度の空間内で製品を保管することが
できる。

【００５８】請求項４の発明の製品保管装置は、被処理
製品を収容して保管するストッカーと、外気をストッカ
ー内に取り込んで循環させる循環ファンと、前記循環フ
ァンでストッカー内に取り込まれた直後の外気に対して
紫外線照射器で紫外線照射する有機分解室と、前記循環
ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外気を濾過
するＵＬＰＡフィルターとを備えるので、ストッカー内
を高清浄度の循環空調系とすることができ、外気の清浄
度変動や、クリーンルーム内の空気中の不純物量の変動
に左右されることなく、高清浄度の空間内で製品を保管
することができる。

【００５９】請求項５の発明の製品保管方法は、被処理
製品を収容して保管するストッカー内に、循環ファンに
より外気を導入し、導入直後の外気に含まれるイオン成
分を純水を用いて外気から除去すると共に、ＵＬＰＡフ
ィルターで濾過して、ストッカー内を高清浄度の循環空
調系とするので、外気の清浄度変動や、クリーンルーム
内の空気中の不純物量の変動に左右されることなく、高
清浄度の空間内で製品を保管することができる。

【００６０】請求項６の発明の製品保管装置は、被処理
製品を収容して保管するストッカーと、外気をストッカ
ー内に取り込んで循環させる循環ファンと、前記循環フ
ァンでストッカー内に取り込まれた直後の外気に含まれ
るイオン成分を純水を用いて外気から除去するイオン成
分除去手段と、前記循環ファンでストッカー内に取り込
まれた直後の外気を濾過するＵＬＰＡフィルターとを備
えるので、ストッカー内を高清浄度の循環空調系とする
ことができ、外気の清浄度変動や、クリーンルーム内の
空気中の不純物量の変動に左右されることなく、高清浄
度の空間内で製品を保管することができる。

【００６１】請求項７の発明の製品保管方法は、少なく
ともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルター
を備えた空調機で濾過した外気を、被処理製品を収容し
て保管するストッカー内に供給することにより、ストッ
カー内を高清浄度の空調空間とするので、外気の清浄度
変動や、クリーンルーム内の空気中の不純物量の変動に
左右されることなく、高清浄度の空間内で製品を保管す
ることができる。

【００６２】請求項８の発明の製品保管装置は、被処理
製品を収容して保管するストッカーと、少なくともケミ
カル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターを有し、
導入した外気を濾過して前記ストッカー内に供給する空
調機とを備えるので、外気の清浄度変動や、クリーンル
ーム内の空気中の不純物量の変動に左右されることな
く、高清浄度の空間内で製品を保管することができる。

【００６３】請求項９の発明の製品保管方法は、少なく
ともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルター
を備えた空調機で濾過した外気を、被処理製品を収容し
て保管するストッカー内に供給すると共に、該ストッカ
ー内に配置された循環ファンで外気をストッカー内に取
り込んで循環させて、ストッカー内を高清浄度の循環空
調系とするので、空調機のコストを低減しつつ、外気の
清浄度変動や、クリーンルーム内の空気中の不純物量の
変動に左右されることなく、高清浄度の空間内で製品を
保管することができる。

【００６４】請求項１０の発明の製品保管装置は、被処
理製品を収容して保管するストッカーと、少なくともケ
ミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターを有
し、導入した外気を濾過して前記ストッカー内に供給す
る空調機と、前記ストッカー内に配置され、外気をスト
ッカー内に取り込んで循環させる循環ファンとを備える
ので、ストッカー内を高清浄度の循環空調系とすること
ができ、外気の清浄度変動や、クリーンルーム内の空気
中の不純物量の変動に左右されることなく、高清浄度の
空間内で製品を保管することができる。とくに、空調機
からストッカーへのエア供給量は、循環ファンのエア供
給量と相俟ってストッカー内が陽圧の循環空調系となる
量だけで十分なため、空調機にかかるコストを低減でき
る。

【００６５】請求項１１の発明の製品保管方法は、被処
理製品を搬送するＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅａｄＳｈｕｔ
ｔｌｅ）の台車あるいは走行経路を、少なくとも気密構
造としたカバーで外界から隔離して、被処理製品の搬送
空間を高清浄空間としたので、ＯＨＳで搬送される半導
体ウェーハ等の製品にクリーンルームのエアが接触する
のを防止でき、被処理製品を高清浄度の環境下で搬送す
ることができる。

【００６６】請求項１２の発明の製品保管装置は、被処
理製品を搬送するＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅａｄＳｈｕｔ
ｔｌｅ）と、少なくとも気密構造とされ、前記ＯＨＳの
台車あるいは走行経路を外界から隔離するカバーとを備
えるので、ＯＨＳで搬送される半導体ウェーハ等の被処
理製品にクリーンルームのエアが接触するのを防止で
き、被処理製品を高清浄度の環境下で搬送することがで
きる。

【００６７】請求項１３の発明の製品保管方法は、被処
理製品の保管エリアへ高清浄度化したエアを供給する製
品保管方法であって、それぞれが少なくともケミカル除
去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターを有し、導入し
た外気を濾過する２台の空調機の出口を共通化して、両
空調機を切り替え使用し、前記出口における濾過後のエ
アの清浄度を分析し、その分析結果が所定レベル以下に
低下すると、前記空調機の前記切り替えを行うので、清
浄度の低下したエアが被処理製品の保管エリアに供給さ
れるのを防止することができ、被処理製品を高清浄度の
環境下で保管することができる。また、被処理製品の保
管エリアに高清浄度化したエアを供給しながら、不調の
空調機のメンテナンスを行うこともできる。

【００６８】請求項１４の発明の製品保管装置は、被処
理製品の保管エリアへ高清浄化したエアを供給する製品
保管装置であって、それぞれが少なくともケミカル除去
フィルターおよびＬＵＰＡフィルターを有し、導入した
外気を濾過する第１および第２の空調機と、前記両空調
機の一方を使用状態、他方を不使用状態に切り替える切
り替え手段と、前記両空調機の互いに接続された出口に
おける濾過後のエアの清浄度を分析する分析手段と、前
記分析手段による分析結果が所定レベル以下となったと
き、前記切り替え手段の切り替え状態を逆転させる制御
手段とを備えるので、清浄度の低下したエアが被処理製
品の保管エリアに供給されるのを防止することができ、
製品を高清浄度の環境下で保管することができる。ま
た、被処理製品の保管エリアに高清浄度化したエアを供
給しながら、不調の空調機のメンテナンスを行うことも
できる。

【００６９】請求項１５の発明の製品保管方法は、被処
理製品を収容して保管するストッカー内に、循環ファン
により外気を導入し、導入直後の外気に含まれるイオン
成分を純水を用いて外気から除去すると共に、ＵＬＰＡ
フィルターで濾過して、ストッカー内を高清浄度の循環
空調系とし、イオン成分を除去した後の外気の清浄度を
分析し、分析結果が所定レベル以下のとき前記純水の量
を増加させるので、イオン成分除去性能が低下しても純
水の量の増加によりイオン成分除去性能を回復させるこ
とができ、ストッカー内に高清浄度の循環空調系が保た
れる。

【００７０】請求項１６の発明の製品保管装置は、被処
理製品を収容して保管するストッカーと、外気をストッ
カー内に取り込んで循環させる循環ファンと、前記循環
ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外気に含ま
れるイオン成分を純水を用いて除去するイオン成分除去
手段と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた
直後の外気を濾過するＵＬＰＡフィルターと、前記イオ
ン成分除去手段で処理された外気の清浄度を分析する分
析機器と、前記分析機器による分析結果が所定レベル以
下のときに、前記純水の量を増加させる制御手段とを備
えるので、イオン成分除去手段でのイオン成分除去性能
が低下したときに、純水の水量が増加してイオン成分除
去性能が回復し、ストッカー内に高清浄度の循環空調系
が保たれる。

【００７１】請求項１７の発明の製品保管方法は、少な
くともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルタ
ーを有する空調機で濾過したエアを被処理製品を収容し
て保管するエリアに供給する製品保管方法であって、前
記ケミカル除去フィルターに熱を与えて再生するので、
ケミカル除去フィルターが劣化して吸着性能が落ちた場
合でも、加熱によりケミカル除去フィルターを再生させ
ることができる。

【００７２】請求項１８の発明の製品保管装置は、被処
理製品を収容して保管するエリアへ高清浄度化したエア
を供給する製品保管装置であって、少なくともケミカル
除去フィルターおよびＵＬＰＡフィルターを有し、導入
した外気を濾過する空調機と、前記ケミカル除去フィル
タに熱を与える手段とを備えるので、空調機のケミカル
除去フィルターが劣化して吸着性能が落ちた場合でも、
熱を与える手段によりケミカル除去フィルターに熱を供
給することにより、ケミカル除去フィルターを再生させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１による製品保管装置
の縦断面図である。

【図２】この発明の実施の形態２による製品保管装置
の縦断面図である。

【図３】この発明の実施の形態３による製品保管装置
の縦断面図である。

【図４】この発明の実施の形態４による製品保管装置
の縦断面図である。

【図５】この発明の実施の形態５による製品保管装置
の縦断面図である。

【図６】この発明の実施の形態７による製品保管装置
の縦断面図である。

【図７】この発明の実施の形態８による製品保管装置
の縦断面図である。

【図８】この発明の実施の形態９による製品保管装置
の縦断面図である。

【図９】従来の製品保管装置の縦断面図である。

【符号の説明】

１ストッカー、２循環ファン、３ＵＬＰＡフィル
ター、４ケミカル除去フィルター、９有機分解室、
１０紫外線照射器、１１イオン成分除去手段、１２
イオン成分除去室、１３純水配管、１６，１６Ａ，
１６Ｂ空調機、２０ケミカル除去フィルター、２８
Ａ，２８Ｂダンパー、２９コントローラ、３０分
析機器、３２分析機器、３３コントローラ、３５
温風供給手段、３６温風送気装置、３７温風吸引
管、３８排気管、Ｗ半導体ウェーハ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ０１Ｄ 46/46 Ｂ０１Ｄ 46/46 Ｆターム(参考） 3L058 BD00 BE02 BF08 BG03 4D020 AA10 BA23 CB03 CB25 CD10 4D058 JA13 NA01 NA07 NA08 QA01 QA03 QA13 QA19 SA20 TA02 UA25 5F031 DA17 GA58 JA01 JA31 NA02 NA03 NA11 NA13 NA18 NA20 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理製品を収容して保管するストッカ
ー内に、循環ファンにより外気を導入すると共に、導入
直後の外気をケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフ
ィルターで濾過して、ストッカー内を高清浄度の循環空
調系とすることを特徴とする製品保管方法。
【請求項２】被処理製品を収容して保管するストッカ
ーと、外気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気を濾過するケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフ
ィルターとを備えたことを特徴とする製品保管装置。
【請求項３】被処理製品を収容して保管するストッカ
ー内に、循環ファンにより外気を導入し、導入直後の外
気に対して紫外線照射することにより外気に含まれる有
機物を分解すると共に、ＵＬＰＡフィルターで濾過し
て、ストッカー内を高清浄度の循環空調系とすることを
特徴とする製品保管方法。
【請求項４】被処理製品を収容して保管するストッカ
ーと、外気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気に対して紫外線照射器で紫外線照射する有機分解室
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気を濾過するＵＬＰＡフィルターとを備えたことを特徴
とする製品保管装置。
【請求項５】被処理製品を収容して保管するストッカ
ー内に、循環ファンにより外気を導入し、導入直後の外
気に含まれるイオン成分を純水を用いて外気から除去す
ると共に、ＵＬＰＡフィルターで濾過して、ストッカー
内を高清浄度の循環空調系とすることを特徴とする製品
保管方法。
【請求項６】被処理製品を収容して保管するストッカ
ーと、外気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気に含まれるイオン成分を純水を用いて外気から除去す
るイオン成分除去手段と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気を濾過するＵＬＰＡフィルターとを備えたことを特徴
とする製品保管装置。
【請求項７】少なくともケミカル除去フィルターおよ
びＵＬＰＡフィルターを備えた空調機で濾過した外気
を、被処理製品を収容して保管するストッカー内に供給
することにより、ストッカー内を高清浄度の空調空間と
することを特徴とする製品保管方法。
【請求項８】被処理製品を収容して保管するストッカ
ーと、少なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィ
ルターを有し、導入した外気を濾過して前記ストッカー
内に供給する空調機とを備えたことを特徴とする製品保
管装置。
【請求項９】少なくともケミカル除去フィルターおよ
びＵＬＰＡフィルターを備えた空調機で濾過した外気
を、被処理製品を収容して保管するストッカー内に供給
すると共に、該ストッカー内に配置された循環ファンで
外気をストッカー内に取り込んで循環させて、ストッカ
ー内を高清浄度の循環空調系とすることを特徴とする製
品保管方法。
【請求項１０】被処理製品を収容して保管するストッ
カーと、少なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィ
ルターを有し、導入した外気を濾過して前記ストッカー
内に供給する空調機と、前記ストッカー内に配置され、外気をストッカー内に取
り込んで循環させる循環ファンとを備えたことを特徴と
する製品保管装置。
【請求項１１】被処理製品を搬送するＯＨＳ（Ｏｖｅ
ｒＨｅａｄＳｈｕｔｔｌｅ）の台車あるいは走行経
路を、少なくとも気密構造としたカバーで外界から隔離
して、被処理製品の搬送空間を高清浄空間としたことを
特徴とする製品保管方法。
【請求項１２】被処理製品を搬送するＯＨＳ（Ｏｖｅ
ｒＨｅａｄＳｈｕｔｔｌｅ）と、少なくとも気密構造とされ、前記ＯＨＳの台車あるいは
走行経路を外界から隔離するカバーとを備えたことを特
徴とする製品保管装置。
【請求項１３】被処理製品の保管エリアへ高清浄度化
したエアを供給する製品保管方法であって、それぞれが少なくともケミカル除去フィルターおよびＵ
ＬＰＡフィルターを有し、導入した外気を濾過する２台
の空調機の出口を共通化して、両空調機を切り替え使用
し、前記出口における濾過後のエアの清浄度を分析し、
その分析結果が所定レベル以下に低下すると、前記空調
機の前記切り替えを行うことを特徴とする製品保管方
法。
【請求項１４】被処理製品の保管エリアへ高清浄化し
たエアを供給する製品保管装置であって、それぞれが少なくともケミカル除去フィルターおよびＬ
ＵＰＡフィルターを有し、導入した外気を濾過する第１
および第２の空調機と、前記両空調機の一方を使用状態、他方を不使用状態に切
り替える切り替え手段と、前記両空調機の互いに接続された出口における濾過後の
エアの清浄度を分析する分析手段と、前記分析手段による分析結果が所定レベル以下となった
とき、前記切り替え手段の切り替え状態を逆転させる制
御手段とを備えたことを特徴とする製品保管装置。
【請求項１５】被処理製品を収容して保管するストッ
カー内に、循環ファンにより外気を導入し、導入直後の
外気に含まれるイオン成分を純水を用いて外気から除去
すると共に、ＵＬＰＡフィルターで濾過して、ストッカ
ー内を高清浄度の循環空調系とし、イオン成分を除去し
た後の外気の清浄度を分析し、分析結果が所定レベル以
下のとき前記純水の量を増加させることを特徴とする製
品保管方法。
【請求項１６】被処理製品を収容して保管するストッ
カーと、外気をストッカー内に取り込んで循環させる循環ファン
と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気に含まれるイオン成分を純水を用いて除去するイオン
成分除去手段と、前記循環ファンでストッカー内に取り込まれた直後の外
気を濾過するＵＬＰＡフィルターと、前記イオン成分除去手段で処理された外気の清浄度を分
析する分析機器と、前記分析機器による分析結果が所定レベル以下のとき
に、前記純水の量を増加させる制御手段とを備えたこと
を特徴とする製品保管装置。
【請求項１７】少なくともケミカル除去フィルターお
よびＵＬＰＡフィルターを有する空調機で濾過したエア
を被処理製品を収容して保管するエリアに供給する製品
保管方法であって、前記ケミカル除去フィルターに熱を与えて再生すること
を特徴とする製品保管方法。
【請求項１８】被処理製品を収容して保管するエリア
へ高清浄度化したエアを供給する製品保管装置であっ
て、少なくともケミカル除去フィルターおよびＵＬＰＡフィ
ルターを有し、導入した外気を濾過する空調機と、前記ケミカル除去フィルタに熱を与える手段とを備えた
ことを特徴とする製品保管装置。