JP2003014760A - プローブ担体、プローブ固定用担体およびそれらの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 正確かつ迅速に高信頼性（特に混液や白抜け
のない）および高密度化されたプローブ担体を製造する
こと。また、プローブ担体上に固定されたプローブと特
異的に結合した標的化合物の位置を正確かつ迅速に検出
すること。 【解決手段】 プローブ非固定領域内に指標を有する担
体を用い、該指標の位置を基準として、前記プローブを
含む溶液を前記担体上の特定の位置に付与しプローブを
固定する。好ましくは、上記担体上に隔壁を形成し、フ
ッ素原子を含有するガス雰囲気下でプラズマ照射して上
記隔壁の撥水性を向上させ、次いで、当該担体に水を接
触させることにより、隔壁で囲まれた領域内のプローブ
溶液の拡がり性を向上させる。また、上記指標を基準と
して、上記製造方法で製造されたプローブ担体上に固定
されたプローブと特異的に結合した標的化合物の位置を
正確かつ迅速に検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特にインクジェッ
ト方式により指標を利用してプローブ溶液を担体上の特
定の位置に付与するプローブ担体の製造方法、およびそ
の製造方法により製造されたプローブ担体、さらには上
記指標を利用して該プローブ担体上でプローブと結合し
た標的物質の位置を特定する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】遺伝子ＤＮＡの塩基配列の解析、あるい
は、同時に多項目に関し、高信頼性で遺伝子診断などを
行う際、目的とする塩基配列を有するＤＮＡを複数種の
プローブを用いて選別することが必要となる。この選別
作業に利用されるプローブ複数種を提供する手段とし
て、ＤＮＡマイクロチップが注目を浴びている。また、
薬剤等のハイスループット・スクリーニングやコンビナ
トリアル・ケミストリーにおいても、対象となるタンパ
ク質や、薬物の溶液を多数（例えば、９６、３８４、１
５３６種）を並べ、秩序立ったスクリーニングを行うこ
とが必要となる。その目的で多数種の薬剤を配列するた
めの手法、その状態での自動化されたスクリーニング技
術、専用の装置、一連のスクリーニング操作を制御し、
また結果を統計的に処理するためのソフトウェア等も開
発されてきている。

【０００３】これら並列的なスクリーニング作業は、基
本的に、評価すべき物質に対して、選別する手段となる
既知のプローブを多数並べてなる、いわゆるプローブ・
アレイを利用することで、同じ条件の下、プローブに対
する作用、反応などの有無を検出するものである。一般
的に、どのようなプローブに対する作用、反応を利用す
るかは予め決定されており、従って、ひとつのプローブ
・アレイに搭載されるプローブ種は、例えば、塩基配列
の異なる一群のＤＮＡプローブなど、大きく区分すると
一種類の物質である。すなわち、一群のプローブに利用
される物質は、例えば、ＤＮＡ、タンパク質、合成され
た化学物質（薬剤）などである。多くの場合、一群をな
すプローブ複数種からなるプローブ・アレイを用いるこ
とが多いが、スクリーニング作業性質によっては、プロ
ーブとして、同一の塩基配列を有するＤＮＡ、同一のア
ミノ酸配列を有するタンパク質、同一の化学物質を多数
点並べ、アレイ状とした形態を利用することもあり得
る。これらは主として薬剤スクリーニング等に用いられ
る。

【０００４】一群をなすプローブ複数種からなるプロー
ブ・アレイでは、具体的には、異なる塩基配列を有する
一群のＤＮＡ、異なるアミノ酸配列を有する一群のタン
パク質、あるいは異なる化学物質の一群について、その
一群を構成する複数種を、所定の配列順序に従って、ア
レイ状に担体上などに配置する形態をとることが多い。
なかでも、ＤＮＡプローブ・アレイは、遺伝子ＤＮＡの
塩基配列の解析や、同時に、多項目について、信頼性の
高い遺伝子診断を行う際などに用いられる。

【０００５】この一群をなすプローブ複数種からなるプ
ローブ・アレイにおける課題のひとつは、できるだけ多
種類のプローブ、例えば、多種類の塩基配列を有するＤ
ＮＡプローブを一つの担体上に載せることである。換言
するならば、如何に高密度にプローブをアレイ状に並べ
ることができるかである。

【０００６】担体上にアレイ状にプローブ複数種を固定
する一つの方法として、米国特許ＵＳＰ ５，４２４，
１８６号公報に記載される、光分解性の保護基とフォト
リソグラフイーを用いた担体上でのＤＮＡの逐次伸長反
応により、互いに異なる塩基配列を有するＤＮＡプロー
ブをアレイ状に製造する手法を挙げることができる。こ
の手法を利用すると、例えば、１ｃｍ２当たり１０００
０種類以上の配列が異なるＤＮＡを搭載したＤＮＡプロ
ーブ・アレイの調製も可能でなる。なお、この手法で
は、逐次伸長反応によりＤＮＡを合成する際、４種の塩
基（Ａ，Ｔ，Ｃ，Ｇ）毎に、それぞれ専用のフォトマス
クを用いてフォトリソグラフイー工程をおこない、アレ
イの所定箇所に何れかの塩基を選択的に伸長させること
で、所望の塩基配列を有する複数種のＤＮＡを所定の配
列で担体上に合成する。従って、ＤＮＡの鎖長が長くな
ると、調製に要するコストは高くなり、また、長時間を
要する。加えて、各伸長段階における、ヌクレオチド合
成の効率は１００％ではないため、設計した塩基配列に
欠損を生じたＤＮＡの比率も小さくない。さらに、合成
の際、光分解性の保護基を用いる場合、通常の酸分解性
の保護基を用いる場合と比べて合成効率が落ちるため、
最終的に得られるアレイにおいて、設計した塩基配列通
りのＤＮＡの占める割合が小さくなるという問題もあ
る。

【０００７】また、担体上で直接合成した生成物をその
まま使用するものであるため、設計した塩基配列通りの
ＤＮＡから欠損のある塩基配列を有するＤＮＡを精製分
別により取り除くことは勿論不可能である。その他に、
最終的に得られるアレイにおいて、担体上に合成されて
いるＤＮＡの塩基配列を確認することができないという
問題を秘めている。これは仮に、工程上のミスなどによ
り、ある伸長段階で所定の塩基の伸長がほとんどなされ
てなく、全くの不良品であった場合、この不良品プロー
ブ・アレイを用いたスクリーニングは、誤った結果を与
えるが、それを未然に防止する術が全くないことを意味
している。この塩基配列を確認することができないとい
うことが、この手法における最大かつ本質的な問題であ
る。

【０００８】前記の手法とは別な方法として、プローブ
用のＤＮＡを予め合成、精製し、場合によってはその塩
基長を確認した上で、各ＤＮＡをマイクロディスペンサ
ーのようなデバイスにより担体上に付与し、プローブ・
アレイを調製する手法も提案されている。ＰＣＴ公開公
報ＷＯ９５／３５５Ｏ５号には、キャピラリーを用い
て、ＤＮＡをメンブラン上へ付与する手法が記載されて
いる。この手法を適用すると、原理的には、１ｃｍ２当
たり１０００個程度のＤＮＡアレイの調製が可能であ
る。基本的には、各プローブ毎に一本のキヤピラリー状
ディスペンス・デバイスでプローブ溶液を担体上の所定
位置へ付与し、その作業を繰り返すことで、プローブ・
アレイを調製する手法である。各プローブ毎に専用のキ
ヤピラリーを用意すれば、問題はないが、仮に、少数の
キヤピラリーを用いて、同じ作業を行おうとすれば、相
互汚染を防止するため、プローブ種を入れ替える際、キ
ャピラリーを十分に洗浄する必要がある。また、付与す
る位置もその度毎に制御する必要がある。従って、多種
類のプローブを高密度に配列するアレイの調製に適して
いる手法とはいえない。加えて、プローブ溶液の担体へ
の付与は、キヤピラリー先端を担体にタッピングして行
うため、再現性・信頼性も完全とはいえない。

【０００９】その他の手法として、担体上においてＤＮ
Ａの固相合成を行う際、各伸長段階毎に、インクジェッ
ト法により合成に必要な物質の溶液を担体上に付与する
手法も提案されている。例えば、欧州特許公告公報ＥＰ
０ ７０３ ８２５Ｂ１号には、ＤＮＡの固相合成に
おいて利用される、ヌクレオチドモノマー、ならびに、
アクティベ−ターをそれぞれ別のピエゾ・ジェット・ノ
ズルより付与することにより、それぞれ所定の塩基配列
を有するＤＮＡ複数種を固相合成する方法が記載されて
いる。このインクジェット法による付与（塗布）は、上
記キャピラリーを用いた溶液の付与（塗布）に比べ、付
与量の再現性など信頼性も高く、また、ノズルの構造も
微細化が可能なものであり、プローブ・アレイの高密度
化には適した特徴を有している。しかしながら、この手
法も、基本的には、担体上でのＤＮＡの逐次伸長反応を
応用するものなので、先に述べた米国特許ＵＳＰ ５，
４２４，１８６号公報に記載される手法における最大の
課題である、担体上に合成されているＤＮＡの塩基配列
を確認することができないなどの問題点は依然として残
っている。各伸長段階毎に、専用のマスクを用いるフォ
トリソグラフィーの工程を行うという煩雑さは解消され
るものの、プローブ・アレイに不可欠な要件である、各
ポイントに所定のプローブが固定されているという点
に、若干の問題を含むものである。なお、前記ＥＰ
０，７０３，８２５Ｂ１号公報には、単独に形成された
ピエゾ・ジェット・ノズルを複数個使用する方法しか記
載されておらず、この少数のノズルを用いる際には、前
述のキャピラリーを用いる手法と同様に、高密度のプロ
ーブ・アレイ調製には必ずしも適しているとはいえな
い。

【００１０】また、特開平１１−１８７９００号公報に
は、プローブを含む液体をサーマルインクジェットヘッ
ドにより液滴として固相に付着させて、プローブを含む
スポットを固相上に形成する方法が開示されている。

【００１１】インクジェット方式を利用したプローブ・
アレイ調製では、高密度化の観点からは診断等の検出効
率を向上させるため、また検体の量を多く用意しないた
めにも、一定範囲内にできるだけ多種のプローブを固定
することが望まれる。また、高信頼性の観点からは特定
のプローブが所望する位置に付与される必要がある。診
断時等のエラーを防止するためにも、プローブ担体上の
所定の場所には所望のプローブのみが固定されているこ
とが望ましい。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、今後さ
らに高密度にプローブを固定するためには、より一層の
位置制御が求められてくる。しかしながら、従来のイン
クジェット方式を用いたプローブの固定方法において
は、目視において担体全体を確認しながら担体とヘッド
との位置を調整し、吐出を行っていたため、所望の位置
に液体を付与することができない場合があった。

【００１３】さらに、従来の複数回に分けてインクジェ
ット方式によりプローブ担体を製造する場合は、担体と
ヘッドのアライメントを毎回取る場合がある。この場合
は、実際にプローブ担体の吐出を行った後に付与された
プローブの全体の位置を確認した後に、再度吐出する方
法がとられる。しかしながら、最初に担体上に付与され
たプローブ溶液が乾燥してしまうと担体上のどの位置で
プローブが付与されているのか分からないため、プロー
ブ溶液が乾燥しない間に目視により確認した後に再度プ
ローブ溶液の吐出を行わなければならない等の不都合が
ある。また、この方法であると、人の目で行うためアラ
イメントに時間がかかる、測定点が多く取れないため正
確でない等の不都合が生じる。さらに、プローブ担体製
造の際にプローブ担体がヘッドに対して表裏逆向きにセ
ットされている場合、担体が透明な場合には担体だけか
らでは判定できず、検査工程においてもこの見間違いを
見落としてしまう可能性がある。

【００１４】また、特開平１１−０９９０００号公報に
は、プローブ担体において、蛍光等による検出における
コントラストを高めるために、担体上にフォトリソグラ
フィ法等を用いて遮光層の隔壁（ブラックマトリクスと
いう）を形成することにより、所望の位置に固定化する
ことが開示されている。しかし、本発明者らの鋭意研究
によって、ヘッドがプローブ担体に対して精密に位置合
わせできていないと、インクジェット方式によりプロー
ブを吐出した際、隣接する隔壁の開口部（ウエル）にプ
ローブ溶液が相互に混じり合い（混液という）、所望の
位置に所望のプローブを付与することができず、プロー
ブ担体としての特性をそこねてしまう場合があることが
わかった。また、吐出位置がずれるとウエル内のプロー
ブ溶液の広がりに偏りが生じて担体表面が多く露出して
しまい、検出のムラ、定量性の困難、白色輝点（「白抜
け」という）、非特定的な結合の増加など、さらなる課
題も生じることがわかった。「白抜け」は、吐出された
プローブ溶液が隔壁によって囲まれた領域内において十
分に濡れ拡がらないために発生する不良であり、担体上
に付与されたプローブのムラを生ずる。このムラは、Ｄ
ＮＡ等の検体とのハイブリダイゼーションを行った際
に、担体上に固定されている特定の塩基配列を持つプロ
ーブのみとの結合のみならず、白抜け部分に露出した基
板（例えばガラス）への付着も発生し、計測時の蛍光コ
ントラスト低下の原因となる。図３にその概念図を示
す。図３中、３１は透明基板、３２は隔壁、３３はプロ
ーブ溶液、３４は白抜け部分である。また、（ｂ）は
（ａ）におけるＡ−Ｂ断面図である。「白抜け」は、図
３に示したように、複雑なコーナー部位や開口部幅が狭
小な部位ではプローブ溶液３３が濡れ拡がりにくいた
め、また、隔壁３２近傍部においてプローブ溶液３３の
厚みが薄くなるため他の部位と比べて色が白くなるため
発生する問題である。白抜けはプローブ溶液付与量が多
くなるに従い少なくなるものの、完全に消失することは
ない。

【００１５】隔壁３２の形成には通常フォトレジストが
用いられ、隔壁３２の開口部内にはフォトレジストに含
有される種々の成分が付着残留している場合がある。こ
の付着残留物がプローブ溶液の濡れ拡がりを妨げる場合
がある。したがって、より高信頼性、高精細のプローブ
担体を得るために、また、より歩留まりの良いプローブ
担体を得るための改善が望まれている。

【００１６】さらに、アライメント時にかかる時間の短
縮は、チップ製造時間短縮における重要な課題であり、
目視による位置調整や、検出器を用いてブラックマトリ
クスの全体形状を確認してアライメントを行う方法で
は、非常に時間がかかり、チップ一枚あたりにかかるコ
ストの上昇を招いていた。

【００１７】本発明はかかる新たな技術課題の認定に基
づきなされたものであって、その目的はプローブ固定領
域内にプローブ溶液を付与する際に、プローブ溶液の吐
出位置がずれることやプローブ溶液の濡れ広がりが不十
分であることにより生ずる隣接するプローブ固定領域間
での混液や白抜け等の課題を解決したプローブ担体を提
供することである。

【００１８】より具体的には、インクジェット方式によ
るプローブ固定用担体への吐出に際し、吐出ヘッドを担
体に対して正確かつ迅速に位置決めすること、または標
的物質の検出や定量を行う際に標的物質の位置を正確か
つ迅速に位置決めすることのできるプローブ固定用担体
およびプローブ担体を提供することである。

【００１９】さらに、信頼性の高いプローブ担体を歩留
まり良く提供するために、隔壁で囲まれたプローブ固定
領域内にプローブ溶液を付与する際に、隣接するプロー
ブ固定領域間での混液を防止し、且つ、該領域内でプロ
ーブ溶液を十分に拡散させて白抜けのないプローブ担体
を形成することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】したがって、上記課題を
解決するために、本発明の第１の態様において、担体上
に標的物質と特異的に結合可能な複数種のプローブが異
なる特定の位置に固定されたプローブ担体を製造する方
法であって、前記本発明の態様において、前記担体上の
前記特定の位置を除く部分に指標を設ける工程と、前記
指標の位置を基準として、前記プローブを含む溶液を前
記担体上の前記特定の位置に付与する工程と、前記プロ
ーブを前記担体上に固定する工程と、を有することを特
徴とするプローブ担体の製造方法を提供する。

【００２１】前記本発明の態様において、前記担体は、
前記特定の位置を区画するための隔壁を有し、前記指標
は、前記隔壁の所定位置にあることが好ましい。

【００２２】前記本発明の態様において、前記担体上に
前記特定の位置を区画するための隔壁を形成する工程
と、少なくともフッ素原子を含有するガスの雰囲気下で
前記担体にプラズマを照射するプラズマ照射工程と、前
記特定の位置に付着した前記ガス成分を除去する工程
と、をさらに有することが好ましい。

【００２３】前記本発明の態様において、前記ガス成分
の除去工程は、前記プラズマ照射した担体の表面に水を
接触させて前記ガス成分を洗い流す水洗工程であること
が好ましい。

【００２４】前記本発明の態様において、前記隔壁がフ
ォトリソグラフィ法により形成されることが好ましい。

【００２５】前記本発明の態様において、前記フォトリ
ソグラフィ法は、前記担体表面に感光性樹脂層を形成
し、前記感光性樹脂層を前記隔壁に対応するようにパタ
ーン状に露光し、現像して前記隔壁を形成する工程を有
し、かつ前記隔壁を、前記プラズマ照射工程に先立っ
て、更に焼成する工程を含むことが好ましい。

【００２６】前記本発明の態様において、前記水洗工程
において、前記担体を水に接触させた後、１００℃以下
で乾燥することが好ましい。

【００２７】前記本発明の態様において、前記隔壁の所
定の位置に前記指標を有することが好ましい。

【００２８】前記本発明の態様において、前記プローブ
を含む溶液を前記特定の位置に付与する工程は、前記溶
液を空間を飛翔させて付与することが好ましい。

【００２９】本発明の第２の態様において、担体上に標
的物質と特異的に結合可能な複数種のプローブを異なる
特定の位置に固定するためのプローブ固定用担体を製造
する方法であって、前記担体上に領域を区画するための
隔壁を形成する工程と、少なくともフッ素原子を含有す
るガス雰囲気下で前記担体にプラズマ照射するプラズマ
照射工程と、前記プラズマ照射を施した担体の表面に水
を接触させて前記ガス成分を洗い流す水洗工程とを有す
ることを特徴とするプローブ固定用担体の製造方法を提
供する。

【００３０】本発明の第３の態様において、上記方法で
製造されたプローブ固定用担体に前記プローブを含む溶
液を前記担体上の前記特定の位置に付与し前記プローブ
を固定することを特徴とするプローブ担体の製造方法を
提供する。

【００３１】本発明の第４の態様において、標的物質と
特異的に結合可能な複数種のプローブが異なる特定の位
置に固定されたプローブ担体であって、前記担体上の前
記特定の位置を除く部分に指標を有することを特徴とす
るプローブ担体を提供する。

【００３２】前記本発明の態様において、前記担体は、
前記特定の位置を区画するための隔壁を有し、前記指標
は、前記隔壁の所定位置にあることが好ましい。

【００３３】前記本発明の態様において、前記指標は、
前記隔壁に設けられた凹部であることが好ましい。

【００３４】前記本発明の態様において、前記隔壁は、
遮光性であることが好ましい。

【００３５】前記本発明の態様において、前記隔壁がカ
ーボンブラックを含む樹脂組成物で形成されていること
が好ましい。

【００３６】前記本発明の態様において、前記隔壁は撥
水性であって、前記隔壁の純水に対する接触角が１２０
°以上であり、かつ前記プローブの固定領域は親水性で
あって、前記プローブの固定領域の純水に対する接触角
が３０°以下である、ことが好ましい。

【００３７】前記本発明の態様において、前記隔壁の断
面の下底から隔壁最上部の高さの８０〜１００％の間の
高さにおける隔壁断面上部の前記基板に平行な方向の長
さの平均値ａと前記隔壁の断面における下底の長さｂと
の関係が、式１．３≧ａ／ｂ≧０．７で示される形状を
有することが好ましい。

【００３８】本発明の第５の態様において、標的物質と
特異的に結合可能な複数種のプローブを異なる特定の位
置に固定するためのプローブ固定用担体であって、前記
担体上の前記特定の位置を除く部分に指標を有すること
を特徴とするプローブ固定用担体を提供する。

【００３９】前記本発明の態様において、前記担体は、
前記特定の位置を区画するための隔壁を有し、前記指標
は、前記隔壁の所定位置にあることが好ましい。

【００４０】前記本発明の態様において、前記指標は、
前記隔壁に設けられた凹部であることが好ましい。

【００４１】前記本発明の態様において、前記隔壁は、
遮光性を有することが好ましい。

【００４２】前記本発明の態様において、前記隔壁は、
カーボンブラックを含む樹脂組成物で形成されているこ
とが好ましい。

【００４３】前記本発明の態様において、前記隔壁が撥
水性であって、前記隔壁の純水に対する接触角が１２０
°以上であり、かつ前記プローブの固定領域が親水性で
あって、前記プローブの固定領域の純水に対する接触角
が３０°以下である、ことが好ましい。

【００４４】前記本発明の態様において、前記隔壁の断
面の下底から隔壁最上部の高さの８０〜１００％の間の
高さにおける隔壁断面上部の前記基板に平行な方向の長
さの平均値ａと前記隔壁の断面における下底の長さｂと
の関係が、式１．３≧ａ／ｂ≧０．７で示される形状を
有することが好ましい。

【００４５】本発明の第６の態様において、担体上に担
持されている、標的物質と結合可能な複数種のプローブ
に前記標的物質を付与することにより前記標的物質と特
異的に結合したプローブの位置を特定する方法であっ
て、前記複数種のプローブが担持されている特定の位置
とは異なる位置に設けられている指標を基準として、前
記標的物質と特異的に結合したプローブの位置を特定す
ることを特徴とする特定方法を提供する。

【００４６】前記本発明の態様において、前記指標およ
び前記標的物質は、放射性標識により標識されているこ
とが好ましい。

【００４７】前記本発明の態様において、前記指標およ
び前記標的物質は、蛍光標識により標識されていること
が好ましい。

【００４８】前記本発明の態様において、前記担体は、
光透過性の板状体からなる担体であり、かつ、前記担体
の一方の面に前記複数種のプローブが固定されている特
定の位置を区画するための隔壁を有し、前記放射性標識
が発した前記担体を貫通する蛍光を前記担体の他方の面
で検知することが好ましい。

【００４９】本発明は、特にインクジェット方式により
指標を利用してプローブ溶液を担体上の特定の位置に付
与するプローブ担体の製造方法、およびその製造方法に
より製造されたプローブ担体、さらには上記指標を利用
して該プローブ担体上でプローブと結合した標的物質の
位置を特定する方法に関する。

【００５０】

【発明の実施の形態】以下に本発明を図面を用いて詳細
に説明する。

【００５１】図１は、指標が形成された本発明のプロー
ブ担体またはプローブ固定用担体の一実施態様を例示し
た図である。図１において、１１は指標、１２はブラッ
クマトリクス、１３は開口部（ウエル）であり、１４は
各チップ、１５はチップ周辺部であり、図１では該指標
１１はブラックマトリクス１２に囲まれて、凹状の開口
部を形成している。図１は例示であり、以下に本発明に
係るプローブ担体製造方法に使用される指標について詳
細に説明する。

【００５２】本発明に係わるプローブ担体の製造の際に
利用される指標は、典型的にはプローブ固定時に、担体
とプローブ付与手段との位置調節のアライメントに使用
されるものである。本実施形態では、前記の指標をプロ
ーブを含有するプローブ溶液を吐出ヘッドから担体上に
吐出し、プローブ担体にプローブを吐出するいわゆるイ
ンクジェット方式でのプローブの固定の際にアライメン
トマークとして使用することにより、液体吐出位置を正
確に特定することができ、かつ素早くアライメントマー
ク調整が可能になるという顕著な効果を有するが、この
構成に限るものではない。固定時に担体と、プローブ付
与手段との位置調整を必要とする方法であればどのよう
な手段を用いても構わない。また、さらに、前記指標は
検出時の走査画像のアライメント、または検出時の複数
のプローブ位置のアドレス情報を得るための点として用
いてもよい。さらに、本願発明では、これらの組み合わ
せに関しても顕著な効果を有する。例えば、プローブ固
定時の担体と付与手段とのアライメントマークとして用
いた後、該指標をプローブ検出のためのアライメントと
して用いて、且つ該指標により各プローブのアドレス情
報を得るという、すべての作業に用いることができると
いう効果も本願発明の特徴である。

【００５３】上記指標は、担体に対して凸状または凹
状、さらに担体中に形成されたものでもよい。例えば、
担体上に凹状の突起物などを設けることができ、該突起
物は樹脂材料等を用いてフォトリグラフィーなどにより
所望の形態に形成することができる。また、担体がガラ
ス基板などの場合には、レーザーカッティングまたはダ
イヤモンドカッターなどにより担体に直接指標を形成し
てもよい。ただし、検出の観点から前者の方が好まし
い。好ましくは、上記指標は、担体上に形成された隔壁
の開口部を形成していることである。

【００５４】また、複数のプローブが２次元的に並んで
固定されたチップである場合には、このような隔壁で区
画された固定領域を図１に示すようにマトリクス状に配
列させる構成が好ましい。この場合、本発明の指標を、
隔壁を形成する部材とは別形状で非固定領域に設けるこ
とにより、該指標による正確な位置調整と、該隔壁によ
り、気流の流れ等による吐出液の不慮の位置変化によ
る、被吐出位置でのはみだしを抑え、確実な開口部への
溶液の付与が可能となる。そして、指標として存在する
部分のみを検知手段などによって、検出すればよいた
め、チップ全体の位置情報を検出した上で（例えば目視
や、隔壁の形状をＣＣＤなどで検知する）アライメント
を行う方法等に比較して、より時間が短縮されたアライ
メント調整を行うことができ、よりチップの製造時間短
縮という顕著な効果が得られる。

【００５５】隔壁は、樹脂組成物または金属組成物から
成ることが好ましく、さらに樹脂組成物または金属組成
物は遮光性であることが好ましい。このような隔壁を有
する指標の製造方法は詳細に後述する。

【００５６】上記指標は、各プローブアレイにつき、少
なくとも１つ設ける。ＤＮＡチップはこれらの各プロー
ブアレイをいくつか集合させて形成される。また、イン
クジェット方式によるプローブ溶液の吐出の際に行うヘ
ッドと担体との位置合わせ、および正確かつ迅速な標的
物質の位置検出等の観点から、上記指標は各チップ上に
複数個設けた方が好ましい。２つ以上の指標を走査する
ことにより、チップ上の二次元情報がより正確に得られ
るほか、吐出ヘッドが担体に対して正確でない傾きであ
る場合に該吐出ヘッドと傾きの調整も行うことも可能と
なる。また、指標を複数個設ける場合にはすべて同じ形
状とする必要はなく、別の形状の指標を複数個用いても
良い。

【００５７】各プローブアレイの指標を形成する位置
は、図１に示すように、プローブ固定領域（プローブを
固定する担体上の特定の場所をいう）以外であればいず
れにも設けることができる。図１のように、チップ周辺
部分に設けることもよいし、隣接するプローブ−プロー
ブ間領域または担体上に隔壁がある場合には開口部（ウ
エル）−開口部（ウエル）間の隔壁に設けても良い。隣
接するプローブ−プローブ間領域に設けた場合には、チ
ップ周辺部にもプローブ固定領域を広げることができ、
より多くのプローブを各チップ上に載せることができ高
密度化が図れる。また、指標を各チップ周辺部分に形成
する場合、正確な位置決めの観点から、プローブ固定領
域にできるだけ近い周辺部分に指標を形成することが好
ましい。

【００５８】指標の形状は、任意の形状とすることがで
きるが、該指標を利用して正確かつ迅速にプローブ吐出
の際のヘッドと担体の位置合わせおよび標的物質の位置
検出の目的を果たすものがよい。十字形、円形、正方
形、長方形、二等辺三角形、蝶々形等のいずれを用いる
ことができる。十字形は中心点の位置を容易に分かると
ともに、製造において形成が容易であることから好まし
い。横線幅３０μｍ、長さ１５０μｍと縦線幅３０μ
ｍ、長さ１５０μｍからなる十字の指標が好ましい。

【００５９】指標の大きさは、位置決めや位置検出の精
度に依存して適宜変更することができる。担体上に隔壁
を設けた場合、指標の大きさは、典型的には各開口部
（ウエル）の占める面積と同程度の大きさとすることが
できる。また、指標の厚さは、隔壁と同時に形成する場
合には該隔壁と同じ厚さになり、望ましくは０．５μｍ
〜１００μｍの範囲から選択することができる。

【００６０】本発明のプローブ担体の製造方法に使用さ
れる上記アライメントは、１個の指標で少なくともプロ
ーブ担体作製の際のヘッドと担体の位置合わせおよび標
的物質の検出の際に位置決めの双方の用途に使用でき、
両者の用途それぞれのための指標を形成する必要はな
く、この限りでプローブ非固定領域の削減が図れる。ま
た、上記指標は、上記担体の表裏を確認するためのマー
クとして使用することもできる。

【００６１】また、この場合、プローブの固定に関して
は、必ずしもすべてのウエルにプローブを付与する必要
はなく、使用する用途に応じてプローブの数、種類、位
置を適宜変更することができる。この際の固定化した場
所に関する情報が、この指標により確認することがされ
うる構成も好ましい。例えば、固定化するプローブの
数、種類に応じて、指標の形状、個数等の変更を行い、
検出時のプローブ位置情報を得る構成にすることも好ま
しい態様である。

【００６２】また、担体上に隔壁を設けた場合、隔壁を
形成する部材が遮光性であり、指標は隔壁の開口部であ
ると、蛍光検出などによる検出の際、隔壁部の遮光がな
され、暗室等での測定の場合であっても、指標としての
機能を十分に維持することができる。さらに、遮光性部
材の開口部に蛍光体等を塗布するなど、測定条件に適し
た材料を開口部上に有する構成にすることにより、調整
環境を選ばないアライメント調整が可能となる。

【００６３】以下に、図面を参照して、特にプローブ非
固定領域が隔壁を有する場合の本発明のプローブ固定用
担体およびプローブを担持したプローブ担体と、これら
の製造方法について実施形態を挙げて説明する。

【００６４】図２は本発明に係るプローブ担体の製造方
法を模式的に示す工程図である。以下に各工程について
説明する。図２において、１１は指標、１２は指標を有
する隔壁、１３はウエル、２１は担体、２２は好ましく
は樹脂組成物または金属組成物からなる隔壁層、２３は
フォトレジストマスク、２４はプローブ溶液吐出ヘッ
ド、および２５はプローブ溶液である。図１（ａ）は、
本実施態様の一例であり、該指標１１は十字形を有し、
隔壁１２に囲まれて、凹状の開口部を形成している。ま
た、図１（ａ）では、便宜的に十字の中心と開口部の中
心が重なるように記載しているが、これらに限定される
ものではない。

【００６５】工程（ａ）：プローブアレイ用担体 プローブ固定用担体２１を用意する（図２（ｂ）図参
照）。プローブアレイ用の「担体」とは上記プローブを
担持するものであり、プローブを保持することができ、
かつ、標的物質の検出を妨げるものでなければ特に限定
されるものではない。担体には、ガラス基板の他、シリ
コン基板、金属基板、アクリル、樹脂基板のほか、中空
体や管状担体も含まれ、また、表面を親水化するなどの
適当な表面処理をしたそれぞれの担体でも構わない。反
応を光学的に検出する場合に用いる基板としては、光学
的に透明な基板、また、場合によっては光学的に黒色の
基板が望ましい。このような望ましい担体としては、合
成石英、溶融石英等のガラス基板、シリコンウェハー、
また、アクリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、塩
化ビニール等の樹脂基板、また、これらに黒色の顔料、
染料を混入した基板が利用できる。黒色の顔料として
は、カーボンブラック、あるいは、有機黒色顔料を用い
ることができる。担体表面には、プローブに導入される
各種有機官能基と反応して共有結合を形成する構造や、
有機官能基を導入する処理を予め行っておくことが望ま
しい。プローブ末端に導入された官能基と、該官能基と
結合できる担体表面に導入された官能基との好ましい組
み合わせとして、チオール（−ＳＨ）（核酸プローブ末
端）とマレイミド基（担体表面）との組み合わせ、アミ
ノ基（核酸プローブ末端）とエポキシ基（担体表面）と
の組合わせなどが挙げられる。

【００６６】また、担体２１の表面に対しては、プラズ
マ処理、ＵＶ処理、カップリング処理、アルブミン処理
等の表面処理を施しても良い。

【００６７】工程（ｂ）：樹脂組成物層の作製 次に、担体２１上に、開口部であるウエル１３および指
標１１を形成する隔壁１２を形成するための隔壁層２２
を形成する（図２（ｂ）図参照）。かかる隔壁１２は、
黒色の遮光層である場合にブラックマトリクスという。

【００６８】隔壁１２は、隣接するプローブ固定領域間
を遮光する遮光層とすることが好ましく、その場合、上
記のようにブラックマトリクスとするか、或いは、ブラ
ックストライプとすることもできる。遮光層とすること
で、担体上でのプローブと標的物質とのハイブリダイゼ
イションを光学的に検出（例えば蛍光の検出）するよう
な場合の検出精度（ＳＮ比）をより一層向上させること
ができる。

【００６９】隔壁層２２の構成材料としては、例えば、
クロム、アルミ、金等の金属であっても構わない。特に
ブラッククロムの場合は遮光性が高いので、透明基板と
の組合せにおいて光学的検出を行う場合におけるの信頼
性の面からみると望ましい。ただし、金属の場合には、
どちらかといえば親水性が高く、また、膜厚等の均一性
を考慮して、蒸着等の手段で成膜する際には、数千オン
グストロームの膜厚が一般的なので、この点を考慮して
利用するとよい。

【００７０】また、隔壁層２２の好適な構成材料として
は、基板に比較して相対的に疎水性が高い材料が好適で
あり、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリ
アミドイミドを含むポリイミド系樹脂、ウレタン系樹
脂、ポリエステル系樹脂、ポリビニル系樹脂などの感光
性または非感光性の樹脂材料を用いることができる。２
５０℃以上の耐熱性を有することが好ましく、その点か
ら、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹
脂が好ましく用いられる。

【００７１】また、かかる隔壁１２を好適な遮光層とす
る場合には、上記樹脂組成物中に、遮光剤を分散せしめ
た黒色樹脂組成物を用いて樹脂組成物層２２を形成す
る。該遮光剤としては、後述するように、隔壁１２の高
い撥水性及び適度な表面粗さを得る上でカーボンブラッ
クを用いることが望ましく、該カーボンブラックとして
は、チャネルブラック、ローラーブラック、ディスクブ
ラックと呼ばれているコンタクト法で製造されたもの、
ガスファーネストブラック、オイルファーネストブラッ
クと呼ばれているファーネスト法で製造されたもの、サ
ーマルブラック、アセチレンブラックと呼ばれているサ
ーマル法で製造されたものなどを用いることができる
が、特に、チャネルブラック、ガスファーネストブラッ
ク、オイルファーネストブラックが好ましい。黒色有機
顔料を含有させたものでもよい。また、一般に市販され
ている黒色レジストを用いることもできる。

【００７２】隔壁層２２は、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコート、或
いは印刷法等の方法により形成することができる。

【００７３】なお、担体上に隔壁１２を形成しない場合
には、この形成工程は省略される。

【００７４】工程（ｃ）：隔壁およびアラインメントの
作製 指標１１およびウエル１３を形成する隔壁１２はフォト
リソグラフィ法により同時に形成される（図２（ｃ）参
照）。

【００７５】隔壁１２および指標１１のパターンを形成
する一つの方法としては、上記工程（ｂ）において担体
２１の表面にコートした樹脂上に、ウエル１３および指
標１１のパターンを有するフォトレジストマスク２３を
用いて選択的に露光し、現像することによりパターンニ
ングし、プローブ固定領域である複数のウエル１３と凹
状の指標の形状を有する隔壁１２を形成する方法があげ
られる。指標１１の形状、配置、個数などの詳細は上述
してあるが、このような指標に対応するフォトレジスト
マスクを用いることにより、上記指標を作製することが
できる。また、感光性の樹脂であれば、樹脂そのものを
フォトマスクとして用いたフォトリソグラフィーのプロ
セスによりパターニングすることも可能となる。そのよ
うな感光性の樹脂としてはＵＶレジスト、ＤＥＥＰ−Ｕ
Ｖレジスト、紫外線硬化樹脂等を用いることができる。
ＵＶレジストとしては、環化ポリイソプレン−芳香族ビ
スアジド系レジスト、フェノール樹脂−芳香族アジド化
合物系レジスト等のネガレジスト、ノボラック樹脂−ジ
アゾナフトキノン系レジスト等のポジレジストをあげる
ことができる。なお、該ブラックマトリクスの隔壁に
は、パターニング後、後述のドライエッチング等を行う
などして、撥水性をもたせることが好ましい。樹脂組成
物層２２として感光性材料を用いた場合には、該樹脂層
２２のパターニングによって形成したパターンを、更に
焼成して、隔壁１２の撥水性を向上させることもでき
る。撥水性をもたせることにより、プローブ溶液の開口
部への付与にあたって多少の位置ずれが生じたとしても
所望のウェルにスムーズにプローブ溶液を付与すること
ができる。なお、開口部１３は通常ウェルとして形成さ
れる。

【００７６】プローブ固定領域に相当する隔壁開口部１
３の形状は、形成する際の容易性、取扱性、検出を行う
場合には検出における操作性等を考慮して選択すること
ができ、各種多角形状、楕円形等など限定されないが、
正方形、長方形、円形などの単純な形状が望ましく、担
体上における該開口部の配置も所望に応じて適宜変更可
能である。

【００７７】一つの開口部（ウエル）１３に塗布される
プローブ溶液の占める面積は、０．０１（例えば０．１
μｍ×０．１μｍ）μｍ２〜４００００（例えば２００
μｍ×２００μｍ）μｍ２とするのが一般的であるが、
該面積は、アレイ自体の大きさ、アレイ・マトリクスの
密度により決まる。したがって、プローブ溶液の占める
面積により１つの開口部（ウエル）の大きさ及び容量を
設定することができる。開口部（ウエル）の深さについ
ては、開口部（ウエル）を製造する方法にもよるが、望
ましくは、０．５μｍ〜１００μｍの範囲から選択する
ことができる。これら開口部（ウエル）の面積と深さか
ら体積が決まる。このような開口部（ウエル）の製造方
法は、例えば特開平１１−０９９０００号公報に記載の
方法をそのまま用いることができる。

【００７８】隔壁１２は、図４のように、隔壁断面が方
形であってもよいし（隔壁４２）、図５（ａ）のように
隔壁断面が台形状の形状であってもよい（隔壁５２）。
図５（ｂ）は図５（ａ）の隔壁断面の一部を拡大した図
である。また、図６のように、隔壁断面が逆台形状の形
状を有していても良い（隔壁６２）。

【００７９】図５（ｂ）の隔壁断面図において、Ａ１お
よびＡ２は、隔壁断面の下底から隔壁最上部の高さの８
０〜１００％の高さにおける隔壁、Ｂ１およびＢ２は隔
壁断面と担体の接触する部分を示す。Ｌ１は、Ａ１とＡ
２の間隔であり、Ｌ２はＢ１とＢ２の間隔であり、Ｔは
隔壁最上部の高さであり、Ｔ’は隔壁最上部の高さの８
０〜１００％の高さである。また、Ａ１とＢ１、および
Ａ２とＢ２の区間を本発明における隔壁側面とする。

【００８０】ここで、前記隔壁５２の断面の下底から隔
壁最上部の高さＴの８０〜１００％の間の高さＴ’にお
ける隔壁断面上部の前記基板に平行な方向の長さＬ１の
平均値をａとし、前記隔壁５２の断面における下底の長
さＬ２をｂとした場合、ａとｂとの関係が式１．３≧ａ
／ｂ≧０．７で示される形状が好ましい。ａ／ｂが０．
７未満となるとプローブ溶液のプローブにムラができ、
プローブの均一性の観点から好ましくなく、また白抜け
の問題も発生する。一方、図６に示したように、式ａ／
ｂが１より大きくすることもでき、隔壁６２の断面が逆
台形となる。この場合、プローブ溶液が隔壁６２のかさ
部分に入りこむため、検出の際には「白抜け」部分の面
積が狭くなりより好ましい。ただし、式ａ／ｂが大きく
なると構造が不安定になり好ましくない。式ａ／ｂは
１．３以下が好ましい。

【００８１】また、隔壁３の担体１の表面からの高さ
は、隔壁の形成方法や開口部の容量、供給する反応系溶
液の量等を勘案して、望ましくは、０．５μｍ〜１００
μｍの範囲から選択することができる。特に隔壁３をフ
ォトリソグラフィで形成する場合には、２０μｍ以下で
あることが望ましい。

【００８２】なお、担体上に隔壁１２を形成しない場合
には、この形成工程を省き、所望の指標を作製すればよ
い。上記のように、樹脂材料等を用いてフォトリグラフ
ィー法などを用いて担体上に凹状の突起物などを設けて
もよいし、担体２１がガラス基板などの場合には、レー
ザーカッティングまたはダイヤモンドカッターなどによ
り担体に直接凹状の指標を形成することができる。

【００８３】工程（ｄ）：ドライエッチング処理 隔壁１２を形成した担体２１にドライエッチング処理を
施すことが望ましい。（図２（ｄ）図参照）即ち、酸
素、アルゴン、ヘリウムのうちから選択される少なくと
も１種を含むガスを導入し、減圧雰囲気下或いは大気圧
雰囲気下で担体１にプラズマ照射を行なう減圧プラズマ
処理や大気圧プラズマ処理を行なう。

【００８４】当該ドライエッチング処理を行なうことに
よって、隔壁１２の形成工程において担体２１表面に付
着した汚染物を除去し、該表面を清浄化して後工程にお
けるプローブ溶液２５に対する親和性を向上し、後工程
で実施する水処理工程により開口部１３内でプローブ溶
液２５をより良好に拡散させることができるようにな
る。さらに、当該ドライエッチング処理によって、隔壁
１２表面が粗面化され、撥水性が向上する。

【００８５】工程（ｅ）：プラズマ処理 必要に応じてドライエッチング処理を施した担体２１
に、少なくともフッ素原子を含有するガス雰囲気下でプ
ラズマ照射するプラズマ処理を行なう。（図２（ｅ）図
参照）当該プラズマ処理により、導入ガス中のフッ素ま
たはフッ素化合物が隔壁１２表層に入り込み、隔壁１２
表層の撥水性が増大する。

【００８６】特に、隔壁１２をカーボンブラックを含む
樹脂組成物で構成した場合には、非常に高い撥水性が発
現する。その理由としては、先の工程（ｄ）におけるド
ライエッチング処理によって隔壁１２表面にカーボンブ
ラックが露出し、本工程のプラズマ処理によってフッ素
またはフッ素化合物が該カーボンブラックと結合するた
めと考えられる。よって、本発明においては、隔壁１２
にカーボンブラックを含ませておくことが望ましい。

【００８７】本工程において導入する、少なくともフッ
素原子を含有するガスとしては、ＣＦ_４、ＣＨＦ_３、Ｃ
_２Ｆ_６、ＳＦ_６、Ｃ３Ｆ_８、Ｃ_５Ｆ_８から選択されるハ
ロゲンガスを１種以上用いることが好ましい。特に、Ｃ
_５Ｆ_８（オクタフルオロシクロペンテン）は、オゾン破
壊能が０であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べ
て（ＣＦ_４：５万年、Ｃ_４Ｆ_８：３２００年）０．９８
年と非常に短い。従って、地球温暖化係数が９０（ＣＯ
_２＝２とした１００年積算値）と、従来のガスに比べて
（ＣＦ_４：６５００、Ｃ_４Ｆ_８：８７００）非常に小さ
く、オゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発
明で使用する上で望ましい。

【００８８】さらに、導入ガスとしては、必要に応じて
酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用しても良い。
本発明においては、上記ＣＦ_４、ＣＨＦ_３、Ｃ２Ｆ_６、
ＳＦ _６、Ｃ_３Ｆ_８、Ｃ_５Ｆ_８から選択されるハロゲンガ
スを１種以上とＯ_２との混合ガスを用いると、本工程に
よる撥水性の程度を制御することが可能になる。但し、
当該混合ガスにおいて、Ｏ_２の混合比率が３０％を超え
るとＯ_２による酸化反応が支配的になり、撥水性向上効
果が妨げられるため、また、Ｏ_２混合比率が３０％を超
えると樹脂に対するダメージが顕著になるため、当該混
合ガスを用いる場合にはＯ_２の混合比率が３０％以下の
範囲で使用する必要がある。

【００８９】本工程及び先のドライエッチング処理工程
におけるプラズマの発生方法としては、低周波放電、高
周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いることがで
き、プラズマ照射の際の圧力、ガス流量、放電周波数、
処理時間等の条件は、任意に設定することができる。

【００９０】図７、図８に、本発明のドライエッチング
処理工程及びプラズマ処理工程に用いることが可能なプ
ラズマ発生装置の模式図を示す。図中、７１は上部電
極、７２は下部電極、７３は被処理担体、７４は高周波
電源である。当該装置は平行平板の２極電極に高周波電
圧を印加して、プラズマを発生させる。図７はカソード
カップリング方式、図８はアノードカップリング方式の
装置を示し、どちらの方式においても、圧力、ガス流
量、放電周波数、処理時間等の条件によって、隔壁１２
表面の撥水性、表面粗さ、担体２１表面の親プローブ溶
液性を所望の程度とすることができる。

【００９１】図７、図８に示したプラズマ発生装置にお
いて、図７のカソードカップリング方式はドライエッチ
ング処理時間を短くすることが可能であり、当該処理工
程に有利である。また、図８のアノードカップリング方
式では、必要以上に担体２１にダメージを与えることが
ない点で有利である。よって、ドライエッチング処理工
程及びプラズマ処理工程に用いるプラズマ発生装置は、
担体２１や隔壁１２の材料に応じて選択すればよい。

【００９２】該工程により、隔壁１２の開口部１３に露
出した担体２１表面に存在するフッ素化合物量は１／２
以下に低減され、また、該表面の表面粗さも当該工程前
に比較して大きくなる。

【００９３】尚、当該工程において、担体２１を水を接
触させた後、１００℃を超える高温で加熱乾燥させた場
合には、プローブ溶液拡がり性が低下する場合があるた
め、当該乾燥工程は１００℃以下の温度で行うことが望
ましい。

【００９４】工程（ｆ）：水処理 プラズマ処理を施した担体２１表面に水を接触させる水
処理工程を行い、隔壁１２の開口部１３内のプローブ溶
液拡がり性の改善を行う。（図２（ｆ）図参照）これに
より、微量のプローブ溶液を付与した場合であってもプ
ローブ溶液が開口部１３内に十分に拡がるようになる。

【００９５】本工程において使用する水としては、純水
であることが好ましい。また、支持担体２１を水と接触
させる方法としては、水への浸漬、水洗等、水と担体２
１を完全に接触させる方法であれば特に制約はない。し
かし、支持担体２１上のパターンが複雑なパターン形状
の場合、特に、隔壁１２と開口部１３の境界部、コーナ
ー部といった微細な箇所での水との接触を十分に行なう
ため、支持担体２１を水中に浸漬し、同時に超音波を照
射する、もしくは微細で高圧な水滴による水洗が好まし
い。

【００９６】さらに、担体２１に接触させる水の温度と
しては、開口部１３の表面改質を効果的に行なう観点よ
り高温の方が好ましいが、水を加熱する経済効果を考慮
すると、２０〜６０℃の範囲が好ましい。

【００９７】以下に上記工程処理後の隔壁およびプロー
ブ固定領域（開口部）の撥水性および親水性について記
載する。本発明においては、隔壁をカーボンブラックを
含む樹脂組成物で形成し、プラズマ処理及び水処理工程
後において、隔壁表面の撥水性を１２０°以上と高くす
ることが可能であり、本発明にかかる隔壁１２表面の、
水処理工程後の撥水性の程度は、純水によって測定した
接触角が１２０°以上、好ましくは１３５°以上、より
好ましくは１５０°以上、最も好ましくは１８０°であ
る。当該接触角が１２０°未満では混液が生じやすく、
多量のプローブ溶液量を付与することができない。特
に、プローブ担体を製造する場合には、色純度の高いプ
ローブ担体の製造が難しくなる。従来の方法において
は、隔壁表面の撥水性を接触角１２０°以上にすること
は難しく、高撥水性の材料として用いられているＰＴＦ
Ｅ（ポリテトラフルオロエチレン）においても１１０°
弱であった。上記隔壁表面の撥水性を接触角１２０°以
上とすることで、効果的にプローブ溶液の混液を防止す
ることができる。

【００９８】また、担体２１の開口部１３の親水性につ
いて、純水によって測定した接触角が３０°以下である
ことが好ましい。プローブ溶液に対する接触角を３０°
以下とすることによって、先の工程（ｄ）におけるドラ
イエッチング処理によって開口部１３に露出した担体２
１表面に付着した汚染物が除去され、後工程で実施する
水処理によるインク拡がり性改善効果を十分に得ること
ができる。特に、２０°以下とすることが望ましい。

【００９９】以上のようにして作製された本発明のプロ
ーブ固定用担体２１の開口部１３のプローブ溶液に対す
る隔壁の撥水性およびプローブ固定領域の親和性に関
し、それぞれのプローブ溶液に対する接触角は該プロー
ブ溶液に含まれる溶媒により異なる。プローブ溶液の溶
媒として好適に用いられる溶液は、グリセリン７．５ｗ
ｔ％、尿素７．５ｗｔ％、チオジグリコール７．５ｗｔ
％、一般式（ＩＶ）：

【０１００】

【化１】

【０１０１】で示されるアセチレンアルコール１ｗｔ％
を含む水溶液が好適に用いられる。（上記式（Ｉ）中、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４はアルキル基、具体的には例
えば炭素数１〜４の直鎖状または分岐鎖状のアルキル基
を表わし、ｍ及びｎは各々整数を表わし、ｍ＝０且つｎ
＝０、もしくは１≦ｍ＋ｎ≦３０であって、ｍ＋ｎ＝１
の場合はｍまたはｎは０である。）。上記プローブ溶液
を用いた場合の隔壁１２のプローブ溶液に対する撥水性
に関して、隔壁１２をカーボンブラックを含む樹脂組成
物で形成し、ドライエッチング処理を施した上でプラズ
マ処理を施すことによって製造した本発明に係るプロー
ブ固定用アレイでは、プローブ溶液に対する接触角を９
０°以上とすることができ、該範囲ではプローブ溶液に
対して十分な撥水性を有し、混液や白抜けを効果的に防
止することができる。１００°以上であることがより好
ましく、１１５°以上であることがより好ましく、１３
０°以上であることがより好ましい。また、隔壁１２の
プローブ溶液に対する親和性に関して、該プローブ溶液
に対する接触角が３０°以下であることが好ましい。該
範囲では水処理によるインク拡がり性改善効果を十分に
得ることができる。特に、２０°以下であることが望ま
しい。

【０１０２】工程（ｇ）：担体上へのプローブ溶液の付
与および固定 担体上へのプローブ溶液の付与および固定は、担体に対
するヘッドの位置調整（描画アライメント）を行った
後、インクジェット方式の吐出装置を用いて、インクジ
ェットヘッド２４よりプローブ溶液２５を隔壁１２のウ
エル１３内に付与する（図２（ｇ）参照）。以下、担体
上へのプローブ溶液の付与および固定に関する好適な一
実施形態について詳細に説明する。

【０１０３】（描画アライメント）描画アライメントで
は、上記のように作製した指標を、レーザ光等を光源と
してＣＣＤカメラなどの撮像手段で撮像し、画像処理装
置で処理して認識してその位置座標を検出した結果によ
り、液体吐出装置に備わっているＸＹθステージを調整
して、ヘッドと担体との位置合わせ（アライメント）を
行う。上記指標の大きさを小さくしたり、指標の線幅を
狭くした場合には、位置決めの際に利用されるＣＣＤカ
メラのエリアセンサの画素数が多いセンサにしたり、エ
リアセンサを複数配置したＣＣＤカメラを利用してアラ
イメントを行えばよい。

【０１０４】（液体吐出装置）本発明方法に用いられる
プローブ担体製造装置は、プローブ溶液をインクジェッ
ト方式による吐出のために用いられる液体吐出手段を具
え、プローブ非固定領域内に指標を有するプローブ固定
用担体上の特定の位置に前記指標の位置を基準としてプ
ローブを含む溶液を付与することができるプローブ担体
の製造装置である。

【０１０５】より具体的には、本発明方法に用いられる
プローブ担体製造装置は、プローブ溶液をインクジェッ
ト方式による吐出のために用いられる液体吐出手段を具
えているが、該液体吐出機構として、プローブ溶液を収
納する液体収納部と、該液体収納部の各々に対応して設
けられた吐出口と、該液体収納部と吐出口を共通に連通
させる液路と、該吐出口の各々に対応して設けられ、該
吐出口の各々による独立したプローブ溶液の吐出を可能
とする吐出エネルギー発生手段と、を有する液体吐出部
を、少なくとも前記複数種のプローブ溶液に対応する個
数備えた構成を具え、さらに、上記指標の位置を検出で
きる構成を具え、上記指標を基準として上記ヘッドと担
体を所望の位置に合わせた後に、前記プローブの配置位
置にそれぞれ対応する凹部を表面に有する前記担体に対
して相対的に移動させながら、該液体吐出装置から前記
配置位置に関する情報に基づいて前記複数種のプローブ
の溶液の各々を吐出させて担体上に付与できることが好
ましい。上記指標の位置を検出できる構成としては、プ
ローブアレイ担体表面を撮像するためのＣＣＤカメラ等
の撮像手段、画像処理手段、および描画アラインメント
による位置調整を行うためのＸＹθステージを有するこ
とが好ましい。

【０１０６】図９はプローブ担体製造装置１０１の制御
コントローラの構成図である。９５はティーチングペン
ダント９２とのデータの受け渡しを行うインタフェー
ス、９６はプローブ担体製造装置１０１の制御及び画像
処理等を行うＣＰＵ、９７はＣＰＵ９６を動作させるた
めの制御プログラムを記憶しているＲＯＭ、９８は異常
情報等を記憶するＲＡＭ、９９はプローブ溶液の吐出を
制御する吐出制御部、１００はカラーフィルタ製造装置
１０１のＸＹステージ（不図示）の動作を制御するステ
ージ制御部、７０はコントローラ９１に接続され、その
指示に従って動作するプローブ担体製造装置を示してい
る。

【０１０７】（プローブ溶液吐出ヘッド）本発明の方法
に用いられる上記液体吐出ヘッドは、熱エネルギーを利
用して前記プローブ溶液を吐出するヘッドであって、前
記プローブ溶液に与える熱エネルギーを発生するための
熱エネルギー発生体を備えていることが好ましい。プロ
ーブ担体の製造において用いることのできるインクジェ
ット方式には、ヒータ等の電気熱変換体やレーザ光等か
ら発生する熱エネルギーを利用して気泡（バブル）を発
生させることにより液体の吐出を行うサーマルジェット
方式（バブルジェット（登録商標）方式）と、ピエゾ素
子に電圧を印可して生じる素子の変形により液体の吐出
を行うピエゾインクジェット方式があるが、本発明の方
法にはいずれも用いることができる。これらのうち、サ
ーマルジェット方式のためのヘッドはピエゾインクジェ
ット方式のためのヘッドと比較して構造が簡単であり、
ヘッドの小型化や多ノズル化に向いており、また上記の
ように、サーマルジェット方式の場合、担体への結合反
応が短時間で完了し、またＤＮＡの二次構造も熱により
解消されるため、次に続くハイブリダイゼーション反応
の効率をも上昇させることができるという点でも、サー
マルジェット方式は本発明にとってより好適に用いられ
るインクジェット方式である。

【０１０８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されているインク記録分野での基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は所
謂オンデマンド型，コンティニュアス型のいずれにも適
用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液
体（インク）が保持されているシートや液路に対応して
配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応してい
て核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも１
つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に
熱エネルギを発生せしめ、記録ヘッド（液体吐出ヘッ
ド）の熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆
動信号に一対一で対応した液体（インク）内の気泡を形
成できるので有効である。この気泡の成長、収縮により
吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少な
くとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状
とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、
特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、
より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米
国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２
号明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【０１０９】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も、本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッド
（液体吐出ヘッド）の形態がどのようなものであって
も、本発明によればプローブのスポッティングを確実に
効率よく行うことができるようになるからである。

【０１１０】さらに、液体吐出装置がスポッティングで
きる担体の最大幅に対応した長さを有するフルラインタ
イプの液体吐出ヘッドに対しても本発明は有効に適用で
きる。そのような液体吐出ヘッドとしては、複数のヘッ
ドの組合せによってその長さを満たす構成や、一体的に
形成された１個のヘッドとしての構成のいずれでもよ
い。

【０１１１】加えて、シリアルタイプのものでも、装置
本体に固定されたヘッド、あるいは装置本体に装着され
ることで装置本体との電気的な接続や装置本体からのプ
ローブ溶液の付与が可能になる交換自在のチップタイプ
の液体吐出ヘッド、あるいは液体吐出ヘッド自体に一体
的に溶液リザーバーが設けられたカートリッジタイプの
ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【０１１２】また、液体吐出装置の構成として、ヘッド
の吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加することは
本発明の効果を一層安定できるので、好ましいものであ
る。これらを具体的に挙げれば、液体吐出ヘッドに対し
てのクリーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの
組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、スポッテ
ィングとは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げること
ができる。

【０１１３】上述した溶液に対して最も有効なものは、
上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【０１１４】（プローブ溶液）以下に、本発明のプロー
ブ固定用担体プローブ担体を製造する場合に用いるプロ
ーブ溶液の組成や吐出方法について詳細に説明する。

【０１１５】本発明において、担体に固定されるプロー
ブは、特定の標的物質に対して特異的に結合可能なもの
である。更に、このプローブには、特定の標的によって
認識され得るオリゴヌクレオチドやポリヌクレオチド、
あるいはその他のポリマーなどが含まれる。用語「プロ
ーブ」は、個々のポリヌクレオチド分子などのプローブ
機能を有するプローブ分子そのものを意味する場合と、
分散した位置に表面固定された同じ配列のポリヌクレオ
チドなどの同じプローブ機能を有するプローブ分子の集
団を意味する場合があり、しばしばリガンドと呼ばれる
分子も含まれる。また、プローブおよび標的は、しばし
ば交換可能に使用され、プローブは、リガンド−抗リガ
ンド（レセプターと呼ぶこともある）対の一部として標
的と結合し得るか、または結合するようになり得るもの
である。本発明におけるプローブ及び標的は、天然にお
いて見出されるような塩基、またはその類似物を含み得
る。

【０１１６】また、担体上に支持されるプローブの一例
としては、標的核酸とハイブリダイゼーション可能な塩
基配列よりなるオリゴヌクレオチドの一部にリンカーを
介して担体との結合部を有するもので、担体との結合部
において担体表面に連結された構造を有するものを挙げ
ることができる。なお、このような構成の場合における
担体と結合部のオリゴヌクレオチドの分子内での位置
は、所望とするハイブリダイゼーション反応を損なわな
い範囲において限定されない。

【０１１７】また、本発明の方法により製造されるプロ
ーブ担体に採用されるプローブは、その使用目的に応じ
て、適宜選択されるものであるが、本発明の方法を好適
に実施する上では、プローブとしては、ＤＮＡ、ＲＮ
Ａ、ｃＤＮＡ（コンプリメンタリーＤＮＡ）、ＰＮＡ、
オリゴヌクレオチド、ポリヌクレオチド、その他の核
酸、オリゴペプチド、ポリペプチド、タンパク質、酵
素、酵素に対する基質、抗体、抗体に対するエピトー
プ、抗原、ホルモン、ホルモンレセプター、リガンド、
リガンドレセプター、オリゴ糖、ポリ糖のいずれかであ
ることが好ましく、必要に応じてこれらの２種以上を組
合せて用いることができる。

【０１１８】本発明においては、これらのプローブの複
数種を、それぞれ独立した領域、例えばドット状スポッ
トとして担体表面（中空体や管状担体の内壁面の表面を
含む）に固定したものをプローブ担体といい、所定の間
隔で配列されたものをプローブアレイという。

【０１１９】一方、プローブは担体表面に結合可能な構
造を有しており、担体上へのプローブの固定がこの結合
可能な構造を介して行われていることが望ましい。その
際、プローブが有する担体表面に結合可能な構造は、ア
ミノ基、メルカプト基、カルボキシル基、水酸基、酸ハ
ライド化物（ハロホルミル基；−ＣＯＸ）、ハライド化
物（−Ｘ）、アジリジン、マレイミド基、スクシイミド
基、イソチオシアネート、スルフォニルクロリド（−Ｓ
Ｏ_２Ｃｌ）基、アルデヒド（ホルミル基；−ＣＨＯ）
基、ヒドラジン、ヨウ化アセトアミドなどの有機官能基
を導入する処理により形成されたものであることが好ま
しい。また、プローブ側担体への結合に必要な構造に応
じて、上記のように担体の表面に必要とされる処理を施
してもよい。

【０１２０】上記のような担体上にインクジェット法に
よってプローブを含むプローブ溶液を付与する場合、担
体上で不必要に液滴が広がることなく、所定の箇所にと
どまるようきに液組成を調製することが好ましい。そし
てその液組成は、該プローブ本来の性能を損なわず、ま
た該プローブに導入した担体表面の官能基との反応性を
損なうようなものでないことが好ましい。

【０１２１】またインクジェット法を用いる場合、担体
表面に付与される液滴が微小であるので、付与後蒸発乾
燥してしまうことを防ぐ為に、反応中には保湿容器のよ
うな反応容器に担体を保存しておくことは好ましい方法
であるが、吐出する液体に保湿剤を含ませておく方法も
有効である。特にサーマルジェット法においては、吐出
時に温度上昇をともなうので、保湿成分、表面張力調製
成分の存在は重要である。そのようなマーカー物質、あ
るいは、プローブを担体表面に付与する溶媒としては、
尿素を５〜１０ｗｔ％、グリセリンを５〜１０ｗｔ％、
チオジグリコールを５〜１０ｗｔ％、及び、アセチレン
アルコールを１ｗｔ％を含んでいるものを好適に用いる
ことができる。

【０１２２】上記プローブ溶液には、該液体のインクジ
ェット吐出特性、液体中及びサーマルジェット（バブル
ジェット（登録商標））吐出時のプローブの安定性を考
慮すると、液体中には例えば２ｍｅｒ〜５０００ｍｅ
ｒ、特には２ｍｅｒ〜６０ｍｅｒの核酸プローブを、
０．０５〜５００μＭ、特には２〜５０μＭの濃度で含
有させることが好ましい。

【０１２３】プローブ溶液の液体特性として、サーマル
ジェットヘッド（バブルジェット（登録商標）ヘッド）
からの吐出性という観点からは、例えば、その粘度が１
〜１５ｃｐｓ、表面張力が３０ｄｙｎ／ｃｍ以上が好ま
しい。また粘度を１〜５ｃｐｓ、表面張力を３０〜５０
ｄｙｎ／ｃｍとした場合、担体上での着弾位置が極めて
正確なものとなり特に好適に用いられる。

【０１２４】なお、担体表面に、液体吐出ヘッドで担体
上に付与した液体が、該担体上で広がり、そして隣接す
るスポットとの間で混合してしまうのを防ぐような、ウ
ェルのような構造を設けた場合には、液体の粘度や表面
張力、更には核酸プローブの塩基長や濃度も上記の範囲
外であっても用いることができる。

【０１２５】（吐出態様）一度に一個のノズルから吐出
されるプローブ溶液の量は、プローブ担体における各プ
ローブスポットの面密度に応じて適宜選択されるもので
あるが、プローブ溶液の粘度、プローブ溶液と担体の親
和性、プローブと担体との反応性などの種々の要素を考
慮の上で、形成されるアレイのドットサイズや形状に応
じて選択される。その際の１回の吐出液量は、０．１〜
１００ｐｌ（ピコリットル）、好ましくは０．１〜５０
ｐｌの範囲から選択することができる。プローブの高密
度化には１回で吐出される量はできるだけ最小であるこ
とが好ましいが、極端に吐出量が少なくなると空気抵抗
により担体へ到達しなくなる。１回の吐出液量は、好ま
しくは０．１〜１０ｐｌであり、より好ましくは０．１
〜５ｐｌであり、その液量に合わせてノズル径などを設
計・調製することが好ましい。

【０１２６】核酸プローブの担体上での密度を上記の値
（例えば１インチ各に１００００個以上のスポット、上
限としては１×１０６個程度）にするためには、各々の
核酸プローブのスポット直径は例えば２０〜１００μｍ
程度であることが好ましく、またスポットがそれぞれ互
いに独立していることが好ましい。そしてこのようなス
ポットは、バブルジェット（登録商標）ヘッドから吐出
される液体の特性、及び該液体が付着する担体の表面特
性等によって決定される。

【０１２７】本発明ではこれらプローブ担体にプローブ
と特異的に結合可能な標的物質の溶液を供給し、適当な
反応条件に置き、結合を行なう。個別のスポットに異な
る標的物質の溶液を供給する必要がある場合には、プロ
ーブ担体の複数のスポットのそれぞれに、プローブに結
合させるべき少なくとも１種の標的物質が溶解した溶液
を少なくとも１種供給する。また、これら標的物質の供
給にも、上述のように、液体吐出によるプローブ担体へ
の付与を行えば、微量な液量を、定量的に供給可能とな
る上に、基板と吐出ヘッドのアライメント調整にも上述
の指標を基準として用いることができ、好ましい。

【０１２８】以下に、上記指標を基準として、上記のよ
うにして製造された本発明に係るプローブ担体上に固定
されているプローブと特異的に結合した標的物質の位置
を検出する方法を説明する。

【０１２９】指標および標的物質は放射性標識または蛍
光標識により標識されていることが好ましく、標的物質
の位置検出には、特に担体が隔壁および開口部（ウエ
ル）を有する場合は、プローブと特異的に結合した標的
物質に関連した蛍光標識が発する蛍光を検出することに
より行うことが好ましい。

【０１３０】検出時の走査画像のアラインメントでは、
レーザ光等を光源としてＣＣＤカメラなどの撮像手段で
撮像し、画像処理装置で処理して認識して上記指標の位
置座標を検出し、該位置座標を基準とし、蛍光標識が発
生する蛍光の位置を検出することで、あらかじめ該指標
位置座標を基準に形成した各プローブの中から蛍光を発
したプローブを同定することが出来る。上記指標が小さ
かったり、指標の線幅が狭い場合には、位置決めの際に
利用されるＣＣＤカメラのエリアセンサの画素数が多い
センサにしたり、エリアセンサを複数配置したＣＣＤカ
メラを利用してアライメントを行えばよい。

【０１３１】検出時には、ブラックマトリクス上に残留
している不要な物質の情報が検出されない方法を採用す
ることで、アルブミン処理等の表面処理の工程の簡略化
をはかることが可能となり、好ましい。例えば、担体の
裏面からレーザ光などの光源から光を照射して蛍光物質
からの蛍光を検出する方法、または、蛍光物質からの蛍
光を裏面から蛍光を検出する方法が挙げられる。より具
体的には、担体が、光透過性の板状体からなる担体であ
り、かつ、担体の一方の面に複数種のプローブが固定さ
れている特定の位置を区画するための隔壁を有し、所定
の条件下で放射性標識が発した担体を貫通する蛍光を前
記担体の他方の面で検知することにより、好適にプロー
ブの固定位置を特定することができる。

【０１３２】

【実施例】（実施例１）ガラス基板（コーニング製「１
７３７」）上に、カーボンブラックを含有する黒色レジ
スト（富士フイルムオーリン製「ＣＫ−Ａ１４３Ｂレジ
スト」）を塗布し、ＵＶ露光装置による所定の露光、無
機アルカリ水溶液による現像、クリーンオーブン中で２
２０℃、６０分で加熱してポストベーク処理を行って、
膜厚２μｍ、１００μｍ×２００μｍの長方形の開口部
を有するブラックマトリクスパターン（隔壁）を作製し
た。また、ブラックマトリクスパターンとともに、横線
幅３０μｍ、長さ１５０μｍと縦線幅３０μｍ、長さ１
５０μｍからなる十字の指標をチップ周辺部の２隅に２
個形成した（図１参照）。

【０１３３】次いで、蛍光色素ローダミンＢを、液体吐
出ヘッドで吐出するための溶媒、すなわち、グリセリン
７．５ｗｔ％、尿素７．５ｗｔ％、チオジグリコール
７．５ｗｔ％、一般式（ＩＶ）：

【０１３４】

【化２】

【０１３５】で示されるアセチレンアルコール（例え
ば、商品名：アセチレノールＥＨ 川研ファインケミカ
ル株式会社）１ｗｔ％を含む水溶液に、１０μＭの濃度
で溶解させた。この色素溶液をインクジェット用ヘッド
の各ノズルに連接されて形成された液体リザーバーに一
個おきに注入した。ローダミンＢ液を注入しなかったリ
ザーバーには同様に溶液化した蛍光色素アミノＦＩＴＣ
（濃度１０μＭ）を注入した。次に、上記十字の指標を
基準として描画アライメントを行った。描画アライメン
トでは、上記２個の十字形の指標を、レーザ光等を光源
としてＣＣＤカメラで撮像し、画像処理装置で処理して
認識してその位置座標を検出した結果により、液体吐出
装置に備わっているＸＹθステージを調整して、ヘッド
と担体との位置合わせした。この液体吐出ヘッドの各ノ
ズルから上記二種の色素の溶液を上記洗浄済みのガラス
基板上に吐出し付与した。なお、各リザーバー、ノズル
は予め上記溶媒と各色素溶液で洗浄、真空吸引による液
体の除去を適宜繰り返した。一個の液滴（主的）の量は
１０ｐｌであり、この場合、担体上に吐出された液滴
（ドット）が占める面積は約直径５０μｍであり、ドッ
トの間隔は約１００μｍである。

【０１３６】ニコン蛍光顕微鏡ＥＣＬＩＰＳＥ Ｅ８０
０（株式会社ニコン）に２０倍対物レンズ（プランアポ
クロマート）と蛍光フイルタ（Ｂ−２Ａ：ローダミンＢ
用、Ｂ−２Ｅ／Ｃ：アミノＦＩＴＣ用、いずれもニコ
ン）をセットし２００倍の倍率にて、付与された各色素
水溶液の状態を蛍光にて観察したところ、混色のない水
溶液の付与が可能であった。また、各ドットは整然と配
列され、よれ、あるいは、ミスト等に由来する汚れも観
察されなかった。

【０１３７】（実施例２） （ハイブリダイゼーションによる混色評価）実施例１と
同様にガラス基板を洗浄した。ついで、減圧蒸留して精
製した、下記式（Ｉ）：

【０１３８】

【化３】 （ＣＨ_３Ｏ）_３ＳｉＣ_３Ｈ_６ＮＨＣ_２Ｈ_４ＮＨ_２ （Ｉ）

【０１３９】のアミノシランカップリング剤（ＫＢＭ−
６０３：化合物Ｉ 信越化学工業株式会社製）を１％の
濃度で含む水溶液を室温下、１時間攪拌し、メトキシ基
部分を加水分解させた。次に、上記基板を洗浄後速やか
に前記シランカップリング剤水溶液に浸し、室温下、１
時間浸漬した。その後、流水（超純水）洗浄し、窒素ガ
スを吹きつけて乾燥させ、次いで、１２０℃のオーブン
中で１時間加熱定着させた。

【０１４０】冷却後、下記式（ＩＩ）：

【０１４１】

【化４】

【０１４２】のＮ−（６−マレイミドカプロキシ）スク
シイミド（ＥＭＣＳ；化合物ＩＩ）の０．３％溶液（エ
タノール：ジメチルスルホキシド＝１：１）に基板を室
温下、２時間浸漬し、 ＥＭＣＳをアミノシランカップ
リング剤のアミノ基に反応させた。反応終了後、エタノ
ール：ジメチルスルホキシド＝１：１で１回、エタノー
ルで３回洗浄し、窒素ガスを吹きつけて乾燥させた。 ５’−ＡＴＧＡＡＣＣＧＧＡＧＧＣＣＣＡＴＣ−３’ ３’−ＴＡＣＴＴＧＧＣＣＴＣＣＧＧＧＴＡＧ−５’ ５’−ＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡ−３’ ３’−ＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴ−５’ 上記する、の塩基配列にそれぞれ相補的な塩基配列
である、、の塩基配列を有し、かつ、５’末端にリ
ンカーを介して上記基板表面に最終的に精製したマレイ
ミド基と反応結合可能なメルカプト基（ＳＨ基：スルフ
ィドリル基ともいう）を有するオリゴヌクレオチド（化
合物ＩＩＩ、ＩＶ： ベックス株式会社）を本実施例の
検証に用いるオリゴヌクレオチドプローブに利用した。
式（ＩＩＩ、ＩＶ）：

【０１４３】

【化５】 ３’−ＴＡＣＴＴＧＧＣＣＴＣＣＧＧＧＴＡＧ−ＯＰ（Ｏ_２）Ｏ−（ＣＨ_２）_６ −５’ 化合物ＩＩＩ ３’−ＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴＴ−ＯＰ（Ｏ_２）Ｏ −（ＣＨ_２）_６−５’ 化合物ＩＶ

【０１４４】化合物ＩＩＩ、ＩＶをそれぞれ実施例１と
同様の吐出用溶媒に吸光度が１．０になるように溶解さ
せ、実施例１と同様に液体吐出ヘッドからガラス基板上
に一個おきに付与した。なお、各リザーバー、ノズルは
予め上記溶媒とオリゴヌクレオチドの溶液で洗浄、真空
吸引による液体の除去を適宜繰り返した。その後上記の
基板上にオリゴヌクレオチド溶液を吐出した。液滴量、
ドットサイズ、ドット間隔、吐出のパターン、吐出回
数、イオナイザーによる帯電およびミスト吸着部の帯電
は実施例１と同様である。また、上記溶媒は保湿性が高
く、リザーバー内、および、基板上でのオリゴヌクレオ
チド溶液の乾燥を防ぐことができる。

【０１４５】このように化合物ＩＩＩ、ＩＶの溶液を吐
出した基板を、湿度１００％の保湿チャンバー内に室温
下で１時間反応させた後、流水（超純水）中で約３０秒
洗浄した。次に、上記基板をＢＳＡ（牛血清アルブミン
シグマアルドリッチジャパン）を２％の濃度で含む５
０ｍＭ リン酸緩衝液（ｐＨ＝７．０、１Ｍ ＮａＣｌ
を含む）に１時間浸漬した後、上記緩衝液で適宜洗浄
し、この緩衝液中で保存した。

【０１４６】（ハイブリダイゼーション）モデル標的Ｄ
ＮＡとして実施例の、の配列を有し、５’末端にテ
トラメチルローダミンを結合した化合物Ｖ、ＶＩ（ベッ
クス株式会社より購入）をハイブリダイゼーションに用
いた。

【０１４７】モデル標的ＤＮＡとして、式（Ｖ、Ｖ
Ｉ）：（Ｖのみ図示、ＶＩはＤＮＡ部分がＡ２５）

【０１４８】

【化６】

【０１４９】のＤＮＡ分子、上記、の配列を有し、
蛍光指標としてテトラメチルローダミンを５’末端に結
合した化合物Ｖ、ＶＩ（べックス株式会社より購入）を
用いて、調製された基板上のプローブとのハイブリダイ
ゼーション反応を行った。

【０１５０】このハイブリダイゼーション反応は、二枚
の基板を化合物Ｖ、ＶＩをそれぞれ５ｎＭの濃度で含む
リン酸緩衝液（１０ｍＭリン酸緩衝液ｐＨ＝７．０、５
０ｍＭのＮａＣｌを含む）２ｍｌを用い、ハイブリパッ
ク中で別個に行った。基板をモデル標的ＤＮＡ溶液とと
もにハイブリパック中に封じ、恒温槽内で７０℃まで加
熱し、その後、５０℃まで冷却し、その状態で１０時間
放置した。

【０１５１】次に、基板をハイブリパックから取り出
し、未反応の標的ＤＮＡを除去する目的で、ハイブリダ
イゼーション用の緩衝液で洗浄した。洗浄後、緩衝液で
覆われた状態でスライドグラス上に基板を置き、カバー
ガラスで覆って、裏面からレーザー光を照射することで
蛍光指標からの蛍光を基準として蛍光位置を観察した。
この観察に使用した蛍光顕微鏡は、ＥＣＬＩＰＳＥ Ｅ
８００（株式会社ニコン）に２０倍対物レンズ（プラン
アポクロマート）と蛍光フイルタ（Ｙ−２Ｅ／Ｃ）をセ
ットしたものである。各基板の標的ＤＮＡに相補的なプ
ローブが存在するべき部分からのみ蛍光が観察された。
各ドットは整然と配列されていた。

【０１５２】（実施例３）本実施例では、ブラックマト
リクスからなる隔壁を形成し、次いでドライエッチング
処理、プラズマ処理、および水処理したプローブ固定用
担体を作製した後、混色や白抜けについての評価を行っ
た。具体的には以下のように行った。

【０１５３】〔ブラックマトリクスの形成〕ガラス基板
（コーニング製「１７３７」）上に、カーボンブラック
を含有する黒色レジスト（富士フイルムオーリン製「Ｃ
Ｋ−Ａ１４３Ｂレジスト」）を塗布し、ＵＶ露光装置に
よる所定の露光、無機アルカリ水溶液による現像、クリ
ーンオーブン中で２２０℃、６０分で加熱してポストベ
ーク処理を行って、膜厚２μｍ、１００μｍ×２００μ
ｍの長方形の開口部を有するブラックマトリクスパター
ン（隔壁）を作製した。隔壁の長さａは２０μｍとし
た。

【０１５４】〔表面粗さの評価〕ブラックマトリクスの
形成に用いたガラス基板の表面粗さを、Ｄｉｇｉｔａｌ
Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ社製「ＮａｎｏＳｃｏｐｅＩＩＩ
ａＡＦＭ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３０００ステージシステ
ム」を用い、ブラックマトリクスを形成する前に任意の
箇所にて測定した。その結果、ガラス基板表面の平均粗
さ（Ｒａ）は３ｎｍであった。

【０１５５】〔ドライエッチング処理〕ブラックマトリ
クスを形成した前記ガラス基板（ブラックマトリクス基
板）に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ
処理装置を用いて、以下の条件にてプラズマ処理を行っ
た。

【０１５６】 使用ガス ：Ｏ_２ ガス流量 ：８０ｓｃｃｍ 圧力 ：８Ｐａ ＲＦパワー ：０．１５ＫＷ 処理時間 ：３０ｓｅｃ

【０１５７】〔プラズマ処理〕上記ドライエッチング処
理終了後、同じ装置内で、ブラックマトリクス基板に対
して、以下の条件にてプラズマ処理を施した。 使用ガス ：ＣＦ_４ ガス流量 ：３３０ｓｃｃｍ 圧力 ：４４Ｐａ ＲＦパワー ：１．２ＫＷ 処理時間 ：１３０ｓｅｃ

【０１５８】〔水処理〕プラズマ処理後のブラックマト
リクス基板に対して、水処理を施した。具体的には、上
記ブラックマトリクス基板を超音波純水浴中に浸漬し
た。処理条件は以下の通りとした。 純水温度：５０〜６０℃ 超音波周波数：４０ｋＨｚ 処理時間：５ｍｉｎ 乾燥：引き上げ乾燥、６０℃、５分

【０１５９】〔撥水性の評価〕協和界面社製自動液晶ガ
ラス洗浄・処理検査装置「ＬＣＤ−４００Ｓ」を用い
て、上記水処理工程まで行った後のブラックマトリクス
基板について、純水に対する接触角を測定した。ブラッ
クマトリクス表面については微細パターンの周囲に設け
られた幅５ｍｍの額縁上にて測定を行ない、ガラス基板
表面については該額縁のさらに外側のブラックマトリク
スパターンの設けられていない箇所にて測定を行った。
各々の純水に対する接触角は、 ガラス基板表面：１２° ブラックマトリクス表面：１２５° であった。

【０１６０】［インクジェット法による担体への水系溶
液の供給］次いで、蛍光色素ローダミンＢを、液体吐出
ヘッドで吐出するための溶媒、すなわち、グリセリン
７．５ｗｔ％、尿素７．５ｗｔ％、チオジグリコール
７．５ｗｔ％、一般式（ＩＶ）：

【０１６１】

【化７】

【０１６２】で示されるアセチレンアルコール（例え
ば、商品名：アセチレノールＥＨ 川研ファインケミカ
ル株式会社）１ｗｔ％を含む水溶液に、１０μＭの濃度
で溶解させた。次いで、このローダミンＢ水溶液を、イ
ンクジェット装置により、各々の開口部に、２０ｐｌ供
給した。次に、別のインクジェットヘッドから１０μＭ
のアミノＦＩＴＣの水溶液２０ｐｌを他の第１の領域に
供給した。ローダミンＢ、アミノＦＩＴＣを用いたの
は、水溶性であること、また、蛍光により供給された液
の状態、クロスコンタミネーションの状態を観察するた
めである。

【０１６３】協和界面社製自動液晶ガラス洗浄・処理検
査装置「ＬＣＤ−４００Ｓ」を用いて、上記ブラックマ
トリクス基板について、上記プローブ溶液に対する接触
角を測定した。ブラックマトリクス表面については微細
パターンの周囲に設けられた幅５ｍｍの額縁上にて測定
を行ない、ガラス基板表面については該額縁のさらに外
側のブラックマトリクスパターンの設けられていない箇
所にて測定を行った。各々のプローブ溶液に対する接触
角は、 ガラス基板表面：１７° ブラックマトリクス表面：１１５° であった。

【０１６４】ニコン蛍光顕微鏡にＧ励起フィルター（ロ
ーダミンＢ用）、Ｂ励起フィルター（アミノＦＩＴＣ
用）を装着し、１００倍にて、供給された各水溶液の状
態を蛍光にて観察した。各水溶液とも、液滴を形成する
ことなく第１の領域内に均一に供給されていた。また、
それぞれの色素が供給されるべき第１の領域からは他の
色素の蛍光は観察されず、各々の第１の領域へのクロス
コンタミネーションのない水溶液の供給が可能であっ
た。また、付与した液滴の径を光学顕微鏡で観察したと
ころ、上記溶液は十分に開口部内に濡れ拡がり、液滴端
部を見出すことは難しく、本例の全てのプローブ担体に
おいて白抜けは観察されなかった。

【０１６５】（比較例１）プラズマ処理および水処理を
行わない以外は実施例３と同様にして、プローブ担体を
作製した。ブラックマトリクス基板の純水に対する接触
角は、 ガラス基板表面：８０° ブラックマトリクス表面：８０° であった。

【０１６６】水処理を行わない以外は実施例１と同様に
して、プローブ担体を作製した。ブラックマトリクス基
板の純水に対する接触角は、 ガラス基板表面：１５° ブラックマトリクス表面：１３０° であった。

【０１６７】溶液の拡がり性についても評価したとこ
ろ、２０ｐｌのプローブ溶液でプローブ溶液は濡れ拡が
ることなく、プローブ担体において全開口部部に白抜け
が観察された。

【０１６８】（実施例４）担体上にプローブ溶液を付与
する前処理として実施例３と同様のドライエッチング処
理、プラズマ処理、水処理を行ったことを除き、実施例
１と同様の方法でプローブ担体を作製した。

【０１６９】ニコン蛍光顕微鏡ＥＣＬＩＰＳＥ Ｅ８０
０（株式会社ニコン）に２０倍対物レンズ（プランアポ
クロマート）と蛍光フイルタ（Ｂ−２Ａ：ローダミンＢ
用、Ｂ−２Ｅ／Ｃ：アミノＦＩＴＣ用、いずれもニコ
ン）をセットし２００倍の倍率にて、付与された各色素
水溶液の状態を蛍光にて観察したところ、混色のない水
溶液の付与が可能であった。また、各ドットは整然と配
列され、よれ、あるいは、ミスト等に由来する汚れも観
察されず、さらに、溶液は十分に開口部内に濡れ拡が
り、液滴端部を見出すことは難しく、本例の全てのプロ
ーブ担体において白抜けは観察されなかった。したがっ
て、本実施例のプローブ担体では、指標を設けることに
より、該指標を基準として描画アライメントを行った際
に、より正確に所望の位置にプローブ溶液を付与するこ
とができることに加え、プラズマ処理、脱フッ素処理、
および水処理を担体に施すことにより水系プローブ溶液
に対して高い撥水性を発揮する隔壁および高い親水性を
発揮するプローブ固定領域を有するプローブ担体を作製
することで、僅かな付与位置のズレが生じてしまった場
合があっても、隔壁の有する撥水性により隣接する隔壁
の開口部（ウエル）においてプローブ溶液が混じり合う
ことなく、また濡れ広がりにより白抜けを生じることも
なく、非常に信頼性の高いプローブ担体を達成できた。

【０１７０】

【発明の効果】本発明によれば、プローブ非固定領域内
に指標を有する担体を用い、該指標の位置を基準とし
て、前記プローブを含む溶液を前記担体上の特定の位置
に付与しプローブを固定することにより、正確かつ迅速
に、プローブ溶液の混液や白抜けのない高信頼性および
高密度化プローブ担体を製造することができる。また、
該指標を基準として上記製造方法で製造されたプローブ
担体上に固定されたプローブと特異的に結合した標的化
合物の位置を正確かつ迅速に検出することができる。さ
らに、プラズマ処理、脱フッ素処理、および水処理等の
ガス除去処理を担体に施すことにより水系プローブ溶液
に対して高い撥水性を発揮する隔壁および高い親水性を
発揮するプローブ固定領域を有するプローブ担体を作製
でき、プローブ溶液の混液や白抜けをより効果的に防止
することができる。

【０１７１】

【配列表】SEQUENCE LISTING <110> CANON INC. <120> Probe carrier, Method and Apparatus for prod
ucing Probe carrier <130> 4705007 <150>JP2001/133697 <151>2001-04-27 <150>JP2001/133698 <151>2001-04-27 <160> 4 <210> 1 <211> 18 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide to be hybridized wi
th the designed oligonucleotide "gatgggcctccggttca
t" <400> 1 atgaaccgga ggcccatc 18 <210> 2 <211> 18 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide used as a probe to
be stabilized on a carrier <400> 2 gatgggcctc cggttcat 18 <210> 3 <211> 25 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide to be hybridized wi
th the designed oligonucleotide "tttttttttttttttt
ttttttttt" <400> 3 aaaaaaaaaa aaaaaaaaaa aaaaa 25 <210> 4 <211> 25 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide used as a probe to
be stabilized on a surface of a carrier <400> 4 tttttttttt tttttttttt ttttt 25

【図面の簡単な説明】

【図１】指標が形成された本発明に係るプローブ担体ま
たはプローブ固定用担体の一実施態様を例示した図であ
る。

【図２】本発明に係るプローブ担体の製造方法を模式的
に示す工程図である

【図３】インクジェット方式によるプローブ担体の製造
方法において発生する白抜けの概念図である。

【図４】本発明のプローブ担体の一実施形態であるプロ
ーブ担体の一例の断面模式図である。

【図５】本発明のプローブ担体の一実施形態であるプロ
ーブ担体の一例の断面模式図である。

【図６】本発明のプローブ担体の一実施形態であるプロ
ーブ担体の一例の断面模式図である。

【図７】本発明の製造方法において用いうるプラズマ発
生装置の構成の一例を示す模式図である。

【図８】本発明の製造方法において用いうるプラズマ発
生装置の他の構成を示す模式図である。

【図９】プローブ担体製造装置の制御コントローラの構
成図である。

【符号の説明】

１１ 指標 １２ 隔壁 １３ ウエル １４ チップ １５ チップ周辺部 ２１ 担体 ２２ 隔壁層 ２３ フォトレジストマスク ２４ プローブ溶液吐出ヘッド ２５ プローブ溶液 ３１ 担体 ３２ 隔壁 ３３ プローブ溶液 ３４ 白抜け部分 ４１ 担体 ４２ 隔壁 ４３ プローブ溶液 ５１ 担体 ５２ 隔壁 ５３ プローブ溶液 ６１ 担体 ６２ 隔壁 ６３ プローブ溶液 ７１ 上部電極 ７２ 下部電極 ７３ 被処理担体 ７４ 高周波電源 ９１ コントローラ ９２ ティーチングペンダント ９３ 操作部 ９４ 表示部 ９５ インタフェース ９６ ＣＰＵ ９７ ＲＯＭ ９８ ＲＡＭ ９９ 吐出制御部 １００ ステージ制御部 １０１ プローブ担体製造装置

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 37/00 １０２ Ｃ１２Ｎ 15/00 ＺＮＡＦ (72)発明者 岡本 尚志 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 4B024 AA20 CA01 CA09 CA11 HA14 HA19 4B063 QA13 QQ42 QQ52 QR32 QR35 QR55 QR84 QS34

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 担体上に標的物質と特異的に結合可能な
   複数種のプローブが異なる特定の位置に固定されたプロ
   ーブ担体を製造する方法であって、 前記担体上の前記特定の位置を除く部分に指標を設ける
   工程と、 前記指標の位置を基準として、前記プローブを含む溶液
   を前記担体上の前記特定の位置に付与する工程と、 前記プローブを前記担体上に固定する工程と、を有する
   ことを特徴とするプローブ担体の製造方法。
2. 【請求項２】 前記担体上に前記特定の位置を区画する
   ための隔壁を形成する工程をさらに有することを特徴と
   する請求項１記載のプローブ担体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記担体上に前記特定の位置を区画する
   ための隔壁を形成する工程と、 少なくともフッ素原子を含有するガスの雰囲気下で前記
   担体にプラズマを照射するプラズマ照射工程と、 前記特定の位置に付着した前記ガス成分を除去する工程
   と、をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の
   プローブ担体の製造方法。
4. 【請求項４】 前記ガス成分の除去工程は、前記プラズ
   マ照射した担体の表面に水を接触させて前記ガス成分を
   洗い流す水洗工程であることを特徴とする請求項３に記
   載のプローブ担体の製造方法。
5. 【請求項５】 前記隔壁がフォトリソグラフィ法により
   形成されることを特徴とする請求項２から４のいずれか
   １項に記載のプローブ担体の製造方法。
6. 【請求項６】 前記フォトリソグラフィ法は、前記担体
   表面に感光性樹脂層を形成し、前記感光性樹脂層を前記
   隔壁に対応するようにパターン状に露光し、現像して前
   記隔壁を形成する工程を有し、かつ前記隔壁を、前記プ
   ラズマ照射工程に先立って、更に焼成する工程を含むこ
   とを特徴とする請求項５に記載のプローブ担体の製造方
   法。
7. 【請求項７】 前記水洗工程において、前記担体を水に
   接触させた後、１００℃以下で乾燥することを特徴とす
   る請求項４から６のいずれか１項に記載のプローブ担体
   の製造方法。
8. 【請求項８】 前記隔壁の所定の位置に前記指標を有す
   ることを特徴とする請求項２から７のいずれか１項に記
   載のプローブ担体の製造方法。
9. 【請求項９】 前記プローブを含む溶液を前記特定の位
   置に付与する工程は、前記溶液を空間を飛翔させて付与
   することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に
   記載のプローブ担体の製造方法。
10. 【請求項１０】 担体上に標的物質と特異的に結合可能
    な複数種のプローブを異なる特定の位置に固定するため
    のプローブ固定用担体を製造する方法であって、 前記担体上に領域を区画するための隔壁を形成する工程
    と、 少なくともフッ素原子を含有するガス雰囲気下で前記担
    体にプラズマ照射するプラズマ照射工程と、 前記プラズマ照射を施した担体の表面に水を接触させて
    前記ガス成分を洗い流す水洗工程と、を有することを特
    徴とするプローブ固定用担体の製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の方法で製造された
    プローブ固定用担体に前記プローブを含む溶液を前記担
    体上の前記特定の位置に付与し前記プローブを固定する
    ことを特徴とするプローブ担体の製造方法。
12. 【請求項１２】 標的物質と特異的に結合可能な複数種
    のプローブが異なる特定の位置に固定されたプローブ担
    体であって、前記担体上の前記特定の位置を除く部分に
    指標を有することを特徴とするプローブ担体。
13. 【請求項１３】 前記担体は、前記特定の位置を区画す
    るための隔壁を有し、前記指標は、前記隔壁の所定位置
    にあることを特徴とする請求項１２に記載のプローブ担
    体。
14. 【請求項１４】 前記指標は、前記隔壁に設けられた凹
    部であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ
    担体。
15. 【請求項１５】 前記隔壁は、遮光性であることを特徴
    とする請求項１３または１４に記載のプローブ担体。
16. 【請求項１６】 前記隔壁は、カーボンブラックを含む
    樹脂組成物で形成されていることを特徴とする請求項１
    ５に記載のプローブ担体。
17. 【請求項１７】 前記隔壁は撥水性であって、前記隔壁
    の純水に対する接触角が１２０°以上であり、かつ前記
    プローブの固定領域は親水性であって、前記プローブの
    固定領域の純水に対する接触角が３０°以下である、こ
    とを特徴とする請求項１３から１６のいずれか１項に記
    載のプローブ担体。
18. 【請求項１８】 前記隔壁の断面の下底から隔壁最上部
    の高さの８０〜１００％の間の高さにおける隔壁断面上
    部の前記基板に平行な方向の長さの平均値ａと前記隔壁
    の断面における下底の長さｂとの関係が、式１．３≧ａ
    ／ｂ≧０．７で示される形状を有することを特徴とする
    請求項１３から１７のいずれか１項に記載のプローブ担
    体。
19. 【請求項１９】 標的物質と特異的に結合可能な複数種
    のプローブを異なる特定の位置に固定するためのプロー
    ブ固定用担体であって、前記担体上の前記特定の位置を
    除く部分に指標を有することを特徴とするプローブ固定
    用担体。
20. 【請求項２０】 前記担体は、前記特定の位置を区画す
    るための隔壁を有し、前記指標は、前記隔壁の所定位置
    にあることを特徴とする請求項１９に記載のプローブ固
    定用担体。
21. 【請求項２１】 前記指標は、前記隔壁に設けられた凹
    部であることを特徴とする請求項２０に記載のプローブ
    固定用担体。
22. 【請求項２２】 前記隔壁は、遮光性を有することを特
    徴とする請求項２０または２１に記載のプローブ固定用
    担体。
23. 【請求項２３】 前記隔壁は、カーボンブラックを含む
    樹脂組成物で形成されていることを特徴とする請求項２
    ２に記載のプローブ固定用担体。
24. 【請求項２４】 前記隔壁が撥水性であって、前記隔壁
    の純水に対する接触角が１２０°以上であり、かつ前記
    プローブの固定領域が親水性であって、前記プローブの
    固定領域の純水に対する接触角が３０°以下である、こ
    とを特徴とする請求項２０から２３のいずれか１項に記
    載のプローブ固定用担体。
25. 【請求項２５】 前記隔壁の断面の下底から隔壁最上部
    の高さの８０〜１００％の間の高さにおける隔壁断面上
    部の前記基板に平行な方向の長さの平均値ａと前記隔壁
    の断面における下底の長さｂとの関係が、式１．３≧ａ
    ／ｂ≧０．７で示される形状を有することを特徴とする
    請求項２０から２４のいずれか１項に記載のプローブ固
    定用担体。
26. 【請求項２６】 担体上に担持されている、標的物質と
    結合可能な複数種のプローブに前記標的物質を付与する
    ことにより前記標的物質と特異的に結合したプローブの
    位置を特定する方法であって、 前記複数種のプローブが担持されている特定の位置とは
    異なる位置に設けられている指標を基準として、前記標
    的物質と特異的に結合したプローブの位置を特定するこ
    とを特徴とする特定方法。
27. 【請求項２７】 前記指標および前記標的物質は、放射
    性標識により標識されていることを特徴とする請求項２
    ６に記載の特定方法。
28. 【請求項２８】 前記指標および前記標的物質は、蛍光
    標識により標識されていることを特徴とする請求項２６
    に記載の特定方法。
29. 【請求項２９】 前記担体は、光透過性の板状体からな
    る担体であり、かつ、前記担体の一方の面に前記複数種
    のプローブが固定されている特定の位置を区画するため
    の隔壁を有し、前記放射性標識が発した前記担体を貫通
    する蛍光を前記担体の他方の面で検知することを特徴と
    する請求項２８に記載の特定方法。