JP2003005835A - ２次元位置決め装置 - Google Patents
２次元位置決め装置Info
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- JP2003005835A JP2003005835A JP2001184573A JP2001184573A JP2003005835A JP 2003005835 A JP2003005835 A JP 2003005835A JP 2001184573 A JP2001184573 A JP 2001184573A JP 2001184573 A JP2001184573 A JP 2001184573A JP 2003005835 A JP2003005835 A JP 2003005835A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ２次元方向に移動するスライダの移動方向先
端に蓄積する埃をオーバートラベル位置を検出した際に
自動的に取り除くようにする。 【解決手段】 四角形状に形成したプラテン上をＸ軸及
びＹ軸方向に移動できるスライダと、このスライダの動
きを制御するサーボドライバと、プラテンのＸ軸及びＹ
軸方向端部のそれぞれに設けたＸ軸／Ｙ軸ストッパーに
スライダのオーバートラベルを検出するＸ軸／Ｙ軸ＯＴ
位置検出部と、からなる２次元位置決め装置であって、
Ｘ軸／Ｙ軸ストッパーに、前記スライダに付着している
埃を除去する手段を備え、スライダがＸ軸／Ｙ軸ＯＴ位
置検出部で検出されたときに、埃を除去手段に接触させ
て埃を取り除くと共に、この埃をスライダを移動させて
プラテンのコーナーに移動させる、Ｘ軸／Ｙ軸ＯＴ位置
検出部で検出した位置を基準にして原点復帰動作をす
る。
端に蓄積する埃をオーバートラベル位置を検出した際に
自動的に取り除くようにする。 【解決手段】 四角形状に形成したプラテン上をＸ軸及
びＹ軸方向に移動できるスライダと、このスライダの動
きを制御するサーボドライバと、プラテンのＸ軸及びＹ
軸方向端部のそれぞれに設けたＸ軸／Ｙ軸ストッパーに
スライダのオーバートラベルを検出するＸ軸／Ｙ軸ＯＴ
位置検出部と、からなる２次元位置決め装置であって、
Ｘ軸／Ｙ軸ストッパーに、前記スライダに付着している
埃を除去する手段を備え、スライダがＸ軸／Ｙ軸ＯＴ位
置検出部で検出されたときに、埃を除去手段に接触させ
て埃を取り除くと共に、この埃をスライダを移動させて
プラテンのコーナーに移動させる、Ｘ軸／Ｙ軸ＯＴ位置
検出部で検出した位置を基準にして原点復帰動作をす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、メンテナンスの向
上を図った２次元位置決め装置に関する。
上を図った２次元位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術における２次元位置決め装置
は、図４に示すように、四角形状をした平面を形成する
プラテン１１と、このプラテン１１と平面モータを形成
し、プラテン１１上をＸ軸及びＹ軸方向に移動できるス
ライダ１２と、このスライダ１２の動きを制御するサー
ボドライバ１３と、プラテン１１のＸ軸方向及びＹ軸方
向の両端部に設けた一対のＸ軸第１及び第２のストッパ
ー１４，１５及びＹ軸第１及び第２のストッパー１６，
１７と、このＸ軸第１及び第２のストッパー１４，１５
並びにＹ軸第１及び第２のストッパー１６，１７にプラ
テン１１上を動くスライダ１２のＸ軸及びＹ軸方向のリ
ミットを示すＯＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０を形成す
るＸ軸／Ｙ軸ＯＴ（オーバートラベル）位置検出部２
１、２２とから構成されている。
は、図４に示すように、四角形状をした平面を形成する
プラテン１１と、このプラテン１１と平面モータを形成
し、プラテン１１上をＸ軸及びＹ軸方向に移動できるス
ライダ１２と、このスライダ１２の動きを制御するサー
ボドライバ１３と、プラテン１１のＸ軸方向及びＹ軸方
向の両端部に設けた一対のＸ軸第１及び第２のストッパ
ー１４，１５及びＹ軸第１及び第２のストッパー１６，
１７と、このＸ軸第１及び第２のストッパー１４，１５
並びにＹ軸第１及び第２のストッパー１６，１７にプラ
テン１１上を動くスライダ１２のＸ軸及びＹ軸方向のリ
ミットを示すＯＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０を形成す
るＸ軸／Ｙ軸ＯＴ（オーバートラベル）位置検出部２
１、２２とから構成されている。
【０００３】Ｘ軸ＯＴ位置検出部２１は、Ｙ軸方向の一
対のＹ軸第１及び第２のストッパー１６、１７のうち、
左側のＹ軸第２のストッパー１７の一方端部近傍に設
け、光を発射すると共に、その反射光を受光するＯＴＸ
センサ２３、反対側のＹ軸第１のストッパー１６にこの
光を反射するＯＴＸセンサ反射板２４を備えた構成とな
っている。
対のＹ軸第１及び第２のストッパー１６、１７のうち、
左側のＹ軸第２のストッパー１７の一方端部近傍に設
け、光を発射すると共に、その反射光を受光するＯＴＸ
センサ２３、反対側のＹ軸第１のストッパー１６にこの
光を反射するＯＴＸセンサ反射板２４を備えた構成とな
っている。
【０００４】Ｙ軸ＯＴ位置検出部２２は、Ｘ軸方向の一
対のＸ軸第１及び第２のストッパー１４、１５のうち、
図において左側のＸ軸第２のストッパー１５の一方端部
近傍に設け、光を発射すると共に、その反射光を受光す
るＯＴＹセンサ２５、反対側のＸ軸第１のストッパー１
４にこの光を反射するＯＴＹセンサ反射板２６を備えた
構造となっている。
対のＸ軸第１及び第２のストッパー１４、１５のうち、
図において左側のＸ軸第２のストッパー１５の一方端部
近傍に設け、光を発射すると共に、その反射光を受光す
るＯＴＹセンサ２５、反対側のＸ軸第１のストッパー１
４にこの光を反射するＯＴＹセンサ反射板２６を備えた
構造となっている。
【０００５】このようにプラテン１１上には、サーボド
ライバ１３により駆動制御されるスライダ１２が左右方
向に移動する構造となっている。
ライバ１３により駆動制御されるスライダ１２が左右方
向に移動する構造となっている。
【０００６】このような構成からなる２次元位置決め装
置において、スライダ１２がプラテン１１上を動いて、
ＯＴＸセンサ２３とＯＴＸセンサ反射板２４を結ぶ線上
のＯＴＸライン１９を横切ると、ＯＴＸセンサ反射板２
４の反射光がＯＴＸセンサ２３に戻らなくなるので、Ｏ
ＴＸセンサ２３のセンサ信号が変わる。サーボドライバ
１３はこの変化した信号を捕らえてこの時のモータ位置
を元に原点復帰動作を行う。以上がＸ軸方向のモータ制
御であるが、Ｙ軸方向についても同様にしてＯＴ位置
（ＯＴＹライン２０）を検出して行う。
置において、スライダ１２がプラテン１１上を動いて、
ＯＴＸセンサ２３とＯＴＸセンサ反射板２４を結ぶ線上
のＯＴＸライン１９を横切ると、ＯＴＸセンサ反射板２
４の反射光がＯＴＸセンサ２３に戻らなくなるので、Ｏ
ＴＸセンサ２３のセンサ信号が変わる。サーボドライバ
１３はこの変化した信号を捕らえてこの時のモータ位置
を元に原点復帰動作を行う。以上がＸ軸方向のモータ制
御であるが、Ｙ軸方向についても同様にしてＯＴ位置
（ＯＴＹライン２０）を検出して行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スライ
ダを構成する平面モータが長時間埃の多い環境に放置さ
れた後で稼働させられると、プラテン上の埃がスライダ
の縁に溜まる。これによって、ＯＴ検出位置がずれ、原
点復帰ができなくなるという問題がある。
ダを構成する平面モータが長時間埃の多い環境に放置さ
れた後で稼働させられると、プラテン上の埃がスライダ
の縁に溜まる。これによって、ＯＴ検出位置がずれ、原
点復帰ができなくなるという問題がある。
【０００８】ちなみに、求められるＯＴ検出位置の再現
精度は、０.５ｍｍ程度であるが、かなり劣悪な環境に
長時間報知されなければ現実的には起こらない。又、稼
働時のスライダとプラテンの隙間は１０〜１５μｍであ
り、そこからは空気が噴出しているために埃は入り込ま
ない。
精度は、０.５ｍｍ程度であるが、かなり劣悪な環境に
長時間報知されなければ現実的には起こらない。又、稼
働時のスライダとプラテンの隙間は１０〜１５μｍであ
り、そこからは空気が噴出しているために埃は入り込ま
ない。
【０００９】このため、ユーザーは稼働前にプラテン上
の埃を取り除かなければならないが，平面モータが装置
に組み込まれている状況では、この清掃作業はユーザー
に強いることになりメンテナンスに時間がかかるという
問題がある。
の埃を取り除かなければならないが，平面モータが装置
に組み込まれている状況では、この清掃作業はユーザー
に強いることになりメンテナンスに時間がかかるという
問題がある。
【００１０】従って、平面モータであるスライダに溜ま
る埃等を清掃できる構成に解決しなければならない課題
を有する。
る埃等を清掃できる構成に解決しなければならない課題
を有する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る２次元位置決め装置は、次に示す構成
にすることである。
に、本発明に係る２次元位置決め装置は、次に示す構成
にすることである。
【００１２】（１） 四角形状に形成したプラテンと、
該プラテンと平面モータを形成し、前記プラテン上をＸ
軸及びＹ軸方向に移動できるスライダと、該スライダの
動きを制御するサーボドライバと、前記プラテンのＸ軸
及びＹ軸方向端部のそれぞれに設けたＸ軸／Ｙ軸ストッ
パーに前記スライダのオーバートラベルを検出するため
のＯＴＸ／ＯＴＹラインを形成するＸ軸／Ｙ軸ＯＴ位置
検出部と、前記ＯＴＸ／ＯＴＹライン側のストッパーで
あって、ＯＴＸラインとＯＴＹラインとが交差する原点
復帰位置よりも遠い位置に、前記スライダに付着してい
る埃を除去する埃除去部と、を備えた２次元位置決め装
置であって、前記スライダが前記Ｘ軸／Ｙ軸ＯＴ位置検
出部で検出されたときに、該スライダに付着している埃
を、前記埃除去部に接触させて取り除くと共に、スライ
ダの移動方向前端部で前記取り除かれた埃を押して前記
プラテンのコーナーに移動させる動作を行うようにした
ことを特徴とする２次元位置決め装置。 （２） 上記埃除去部はブラシで形成したことを特徴と
する請求項１に記載の２次元位置決め装置。
該プラテンと平面モータを形成し、前記プラテン上をＸ
軸及びＹ軸方向に移動できるスライダと、該スライダの
動きを制御するサーボドライバと、前記プラテンのＸ軸
及びＹ軸方向端部のそれぞれに設けたＸ軸／Ｙ軸ストッ
パーに前記スライダのオーバートラベルを検出するため
のＯＴＸ／ＯＴＹラインを形成するＸ軸／Ｙ軸ＯＴ位置
検出部と、前記ＯＴＸ／ＯＴＹライン側のストッパーで
あって、ＯＴＸラインとＯＴＹラインとが交差する原点
復帰位置よりも遠い位置に、前記スライダに付着してい
る埃を除去する埃除去部と、を備えた２次元位置決め装
置であって、前記スライダが前記Ｘ軸／Ｙ軸ＯＴ位置検
出部で検出されたときに、該スライダに付着している埃
を、前記埃除去部に接触させて取り除くと共に、スライ
ダの移動方向前端部で前記取り除かれた埃を押して前記
プラテンのコーナーに移動させる動作を行うようにした
ことを特徴とする２次元位置決め装置。 （２） 上記埃除去部はブラシで形成したことを特徴と
する請求項１に記載の２次元位置決め装置。
【００１３】このように、スライダがオーバートラベル
ライン位置にいることが検出されたときに、スライダに
付着している埃をブラシで拭き取ると共に、その拭き取
った埃をプラテンのコーナーに移動させる動作を行うよ
うにしたことにより、平面モータであるスライダ及びプ
ラテンの埃を清掃する作業が簡単又は不要にすることが
可能になる。
ライン位置にいることが検出されたときに、スライダに
付着している埃をブラシで拭き取ると共に、その拭き取
った埃をプラテンのコーナーに移動させる動作を行うよ
うにしたことにより、平面モータであるスライダ及びプ
ラテンの埃を清掃する作業が簡単又は不要にすることが
可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の２次元位置決め装
置の実施形態について図面を参照して説明する。尚、従
来技術で説明したものと同様のものには同一符号を付与
して説明する。
置の実施形態について図面を参照して説明する。尚、従
来技術で説明したものと同様のものには同一符号を付与
して説明する。
【００１５】２次元位置決め装置は、図１に示すよう
に、四角形状をした平面を形成するプラテン１１と、こ
のプラテン１１と平面モータを形成し、プラテン１１上
をＸ軸及びＹ軸方向に移動できるスライダ１２と、この
スライダ１２の動きを制御するサーボドライバ１３と、
このプラテン１１のＸ軸方向及びＹ軸方向の両端部に設
けた一対のＸ軸第１及び第２のストッパー１４、１５及
びＹ軸第１及び第２のストッパー１６、１７と、このＸ
軸第１及び第２のストッパー１４、１５並びにＹ軸第１
及び第２のストッパー１６、１７にプラテン１１上を動
くスライダ１２のＸ軸及びＹ軸方向のリミットを示すＯ
ＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０を形成するＸ軸及びＹ軸
ＯＴ（オーバートラベル）位置検出部２１、２２と、Ｏ
ＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０側のＸ軸／Ｙ軸第１のス
トッパー１４、１６であって、ＯＴＸライン１９とＯＴ
Ｙライン２０とが交差する原点復帰位置よりも遠い位置
に、スライダ１２に付着している埃を除去するＸ軸／Ｙ
軸埃除去部２７、２８と、を備えた構造となっている。
このようにプラテン１１上には、サーボドライバ１３に
より駆動制御されるスライダ１２が左右方向に移動する
構造となっている。
に、四角形状をした平面を形成するプラテン１１と、こ
のプラテン１１と平面モータを形成し、プラテン１１上
をＸ軸及びＹ軸方向に移動できるスライダ１２と、この
スライダ１２の動きを制御するサーボドライバ１３と、
このプラテン１１のＸ軸方向及びＹ軸方向の両端部に設
けた一対のＸ軸第１及び第２のストッパー１４、１５及
びＹ軸第１及び第２のストッパー１６、１７と、このＸ
軸第１及び第２のストッパー１４、１５並びにＹ軸第１
及び第２のストッパー１６、１７にプラテン１１上を動
くスライダ１２のＸ軸及びＹ軸方向のリミットを示すＯ
ＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０を形成するＸ軸及びＹ軸
ＯＴ（オーバートラベル）位置検出部２１、２２と、Ｏ
ＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０側のＸ軸／Ｙ軸第１のス
トッパー１４、１６であって、ＯＴＸライン１９とＯＴ
Ｙライン２０とが交差する原点復帰位置よりも遠い位置
に、スライダ１２に付着している埃を除去するＸ軸／Ｙ
軸埃除去部２７、２８と、を備えた構造となっている。
このようにプラテン１１上には、サーボドライバ１３に
より駆動制御されるスライダ１２が左右方向に移動する
構造となっている。
【００１６】Ｘ軸ＯＴ位置検出部２１は、Ｙ軸方向の一
対のＹ軸第１及び第２のストッパー１６、１７のうち、
図において左側のＹ軸第２のストッパー１７の端部近傍
に設け、光を発射すると共に、その反射光を受光するＯ
ＴＸセンサ２３、反対側のＹ軸第１のストッパー１６に
この光を反射するＯＴＸセンサ反射板２４を備えた構造
となっている。
対のＹ軸第１及び第２のストッパー１６、１７のうち、
図において左側のＹ軸第２のストッパー１７の端部近傍
に設け、光を発射すると共に、その反射光を受光するＯ
ＴＸセンサ２３、反対側のＹ軸第１のストッパー１６に
この光を反射するＯＴＸセンサ反射板２４を備えた構造
となっている。
【００１７】Ｙ軸ＯＴ位置検出部２２は、Ｙ軸方向の一
対のＸ軸第１及び第２のストッパー１４、１５のうち、
図において右側のＸ軸第２のストッパー１５の端部近傍
に設け、光を発射すると共に、その反射光を受光するＯ
ＴＹセンサ２５、反対側のＸ軸第１のストッパー１４に
この光を反射するＯＴＹセンサ反射板２６を備えた構造
となっている。
対のＸ軸第１及び第２のストッパー１４、１５のうち、
図において右側のＸ軸第２のストッパー１５の端部近傍
に設け、光を発射すると共に、その反射光を受光するＯ
ＴＹセンサ２５、反対側のＸ軸第１のストッパー１４に
この光を反射するＯＴＹセンサ反射板２６を備えた構造
となっている。
【００１８】スライダ１２に付着している埃を除去する
Ｘ軸／Ｙ軸埃除去部２７、２８は、所謂、Ｘ軸／Ｙ軸第
１のストッパー１４、１６に取り付けたブラシ２９で形
成され、その大きさはＸ軸／Ｙ軸第１のストッパー１
４、１６からＯＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０までに収
まる大きさに設計されている。
Ｘ軸／Ｙ軸埃除去部２７、２８は、所謂、Ｘ軸／Ｙ軸第
１のストッパー１４、１６に取り付けたブラシ２９で形
成され、その大きさはＸ軸／Ｙ軸第１のストッパー１
４、１６からＯＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０までに収
まる大きさに設計されている。
【００１９】このような構成からなる２次元位置決め装
置において、２次元方向に移動するスライダ１２がプラ
テン１１上を動いて、Ｘ軸ＯＴ位置検出部２１のＯＴＸ
センサ２３とＯＴＸセンサ反射板２４を結ぶ線上、即
ち、ＯＴＸライン１９を横切ると、ＯＴＸセンサ反射板
２４の反射光がＯＴＸセンサ２３に戻らなくなるので、
ＯＴＸセンサ２３のセンサ信号が、例えば、オフからオ
ンに変わる。
置において、２次元方向に移動するスライダ１２がプラ
テン１１上を動いて、Ｘ軸ＯＴ位置検出部２１のＯＴＸ
センサ２３とＯＴＸセンサ反射板２４を結ぶ線上、即
ち、ＯＴＸライン１９を横切ると、ＯＴＸセンサ反射板
２４の反射光がＯＴＸセンサ２３に戻らなくなるので、
ＯＴＸセンサ２３のセンサ信号が、例えば、オフからオ
ンに変わる。
【００２０】サーボドライバ１３は、この変化した信号
を捕らえて、埃除去動作を行った後に原点復帰動作を行
うように制御する。この点について、図２及び図３を参
照して、以下詳細に説明する。
を捕らえて、埃除去動作を行った後に原点復帰動作を行
うように制御する。この点について、図２及び図３を参
照して、以下詳細に説明する。
【００２１】先ず、図２（Ａ）に示すように、スライダ
１２がＯＴＸライン１９で検出される（この検出はスラ
イダ１２に付着した埃３０によるものも含まれる）と、
原点復帰位置から遠ざかる方向であるＹ軸第２のストッ
パー１７方向に動かして、Ｘ軸埃除去部２７を通過さ
せ、更に、Ｙ軸第２のストッパー１７側に移動させた
後、再度、Ｘ軸方向のＯＴＸライン１９による位置決め
を行う。
１２がＯＴＸライン１９で検出される（この検出はスラ
イダ１２に付着した埃３０によるものも含まれる）と、
原点復帰位置から遠ざかる方向であるＹ軸第２のストッ
パー１７方向に動かして、Ｘ軸埃除去部２７を通過さ
せ、更に、Ｙ軸第２のストッパー１７側に移動させた
後、再度、Ｘ軸方向のＯＴＸライン１９による位置決め
を行う。
【００２２】次に、図２（Ｂ）に示すように、規定量だ
けＸ軸第１のストッパー１４方向に向けてスライダ１２
を近づける。このときの規定量とは、ＯＴＸセンサ２３
位置とＸ軸埃除去部２７のブラシ２９先端の間の距離＋
数ミリ（実施例において５ミリ）の位置に位置決めす
る。
けＸ軸第１のストッパー１４方向に向けてスライダ１２
を近づける。このときの規定量とは、ＯＴＸセンサ２３
位置とＸ軸埃除去部２７のブラシ２９先端の間の距離＋
数ミリ（実施例において５ミリ）の位置に位置決めす
る。
【００２３】次に、図２（Ｃ）に示すように、スライダ
１２をＹ軸方向に動かしてスライダに付着している埃３
１をブラシ２９で拭き取る。
１２をＹ軸方向に動かしてスライダに付着している埃３
１をブラシ２９で拭き取る。
【００２４】次に、図３（Ａ）に示すように、スライダ
１２に付着している埃３１を拭き取ったスライダ１２
は、Ｘ軸第１のストッパー１４から離れる方向に移動し
てＯＴＸライン１９の位置に位置決めする（このときの
スライダ１２の位置決めはスライダ１２に付着している
埃３０が拭き取られた正確な位置決めとなる）。
１２に付着している埃３１を拭き取ったスライダ１２
は、Ｘ軸第１のストッパー１４から離れる方向に移動し
てＯＴＸライン１９の位置に位置決めする（このときの
スライダ１２の位置決めはスライダ１２に付着している
埃３０が拭き取られた正確な位置決めとなる）。
【００２５】正確に位置決めされたスライダ１２は、図
３（Ｂ）に示すように、再度、Ｘ軸第１のストッパー１
４方向に移動し、ＯＴＸセンサ２３位置とＸ軸埃除去部
２７のブラシ２９先端の間の距離＋数ミリの位置まで移
動する（Ｐ１の位置）。この位置まで移動したスライダ
１２は、Ｙ軸第２のストッパー１７方向に移動（Ｐ２の
位置）し、移動方向前端部でブラシ２９で拭き取った埃
３１を押してプラテン１１のコーナー（端）まで押しや
り、一連の埃除去動作は終了する。尚、図示していない
が、この埃除去動作が終了後に原点復帰動作を行う。
３（Ｂ）に示すように、再度、Ｘ軸第１のストッパー１
４方向に移動し、ＯＴＸセンサ２３位置とＸ軸埃除去部
２７のブラシ２９先端の間の距離＋数ミリの位置まで移
動する（Ｐ１の位置）。この位置まで移動したスライダ
１２は、Ｙ軸第２のストッパー１７方向に移動（Ｐ２の
位置）し、移動方向前端部でブラシ２９で拭き取った埃
３１を押してプラテン１１のコーナー（端）まで押しや
り、一連の埃除去動作は終了する。尚、図示していない
が、この埃除去動作が終了後に原点復帰動作を行う。
【００２６】以上がＸ軸方向の埃取り動作であり、Ｙ軸
方向に対しても同様にして、ストッパ側のスライダ面に
ついている埃を除去すればよい。
方向に対しても同様にして、ストッパ側のスライダ面に
ついている埃を除去すればよい。
【００２７】このようにして、とりあえずＯＴＸ／ＯＴ
Ｙライン１９，２０位置で検出されたスライダ１２に対
して、Ｘ軸／Ｙ軸埃除去部２７、２８のブラシ２９でス
ライダ１２に付着している埃３０を取り去ると共にプラ
テン１１のコーナーに拭き取った埃３１を押しやる動作
をすることによって、ＯＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０
でのスライダ１２の検出が正確に行うことができると共
に、拭き取った埃３１をプラテン１１のコーナーに押し
やることで、次のＯＴＸ／ＯＴＹライン１９，２０での
検出動作に支障をきたすことが防止され、プラテン１１
上をクリーニングするというメンテナンスが簡略化又は
その時間を短縮することができるのである。
Ｙライン１９，２０位置で検出されたスライダ１２に対
して、Ｘ軸／Ｙ軸埃除去部２７、２８のブラシ２９でス
ライダ１２に付着している埃３０を取り去ると共にプラ
テン１１のコーナーに拭き取った埃３１を押しやる動作
をすることによって、ＯＴＸ／ＯＴＹライン１９、２０
でのスライダ１２の検出が正確に行うことができると共
に、拭き取った埃３１をプラテン１１のコーナーに押し
やることで、次のＯＴＸ／ＯＴＹライン１９，２０での
検出動作に支障をきたすことが防止され、プラテン１１
上をクリーニングするというメンテナンスが簡略化又は
その時間を短縮することができるのである。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プラテンのストッパの位置に埃を除去するブラシを取り
付けた構造にしてスライダ自身をブラシに摺り寄せるよ
うにして埃を取る構成にしたことにより、ユーザーによ
るプラテン上の埃取り作業が軽減できるばかりでなく、
ユーザーがスライダ動作可動範囲に入る必要性を減少さ
せることができるため安全性の面で向上させることがで
きるという効果がある。
プラテンのストッパの位置に埃を除去するブラシを取り
付けた構造にしてスライダ自身をブラシに摺り寄せるよ
うにして埃を取る構成にしたことにより、ユーザーによ
るプラテン上の埃取り作業が軽減できるばかりでなく、
ユーザーがスライダ動作可動範囲に入る必要性を減少さ
せることができるため安全性の面で向上させることがで
きるという効果がある。
【図１】本発明の２次元位置決め装置を略示的に示した
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明の動作説明図である。
【図３】本発明の動作説明図である。
【図４】従来の２次元位置決め装置を略示的に示した説
明図である。
明図である。
１１ プラテン
１２ スライダ
１３ サーボドライバ
１４ Ｘ軸第１のストッパー
１５ Ｘ軸第２のストッパー
１６ Ｙ軸第１のストッパー
１７ Ｙ軸第２のストッパー
１９ ＯＴＸライン
２０ ＯＴＹライン
２１ Ｘ軸ＯＴ位置検出部
２２ Ｙ軸ＯＴ位置検出部
２３ ＯＴＸセンサ
２４ ＯＴＸセンサ反射板
２５ ＯＴＹセンサ
２６ ＯＴＹセンサ反射板
２７ Ｘ軸埃除去部
２８ Ｙ軸埃除去部
２９ ブラシ
３０ 埃
３１ 埃
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5H303 AA01 AA04 BB02 BB07 BB12
CC03 DD01 EE03 EE07 FF01
GG02 GG11 HH01 KK08
Claims (2)
- 【請求項１】 四角形状に形成したプラテンと、該プラ
テンと平面モータを形成し、前記プラテン上をＸ軸及び
Ｙ軸方向に移動できるスライダと、該スライダの動きを
制御するサーボドライバと、前記プラテンのＸ軸及びＹ
軸方向端部のそれぞれに設けたＸ軸／Ｙ軸ストッパーに
前記スライダのオーバートラベルを検出するためのＯＴ
Ｘ／ＯＴＹラインを形成するＸ軸／Ｙ軸ＯＴ位置検出部
と、 前記ＯＴＸ／ＯＴＹライン側のストッパーであって、Ｏ
ＴＸラインとＯＴＹラインとが交差する原点復帰位置よ
りも遠い位置に、前記スライダに付着している埃を除去
する埃除去部と、を備えた２次元位置決め装置であっ
て、前記スライダが前記Ｘ軸／Ｙ軸ＯＴ位置検出部で検
出されたときに、該スライダに付着している埃を、前記
埃除去部に接触させて取り除くと共に、スライダの移動
方向前端部で前記取り除かれた埃を押して前記プラテン
のコーナーに移動させる動作を行うようにしたことを特
徴とする２次元位置決め装置。 - 【請求項２】 上記埃除去部はブラシで形成したことを
特徴とする請求項１に記載の２次元位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001184573A JP2003005835A (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | ２次元位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001184573A JP2003005835A (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | ２次元位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003005835A true JP2003005835A (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=19024312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001184573A Pending JP2003005835A (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | ２次元位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003005835A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039543A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Yokogawa Electric Corp | 平面位置決め装置 |
-
2001
- 2001-06-19 JP JP2001184573A patent/JP2003005835A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039543A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Yokogawa Electric Corp | 平面位置決め装置 |
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