JP2003068858A - トリミング回路 - Google Patents
トリミング回路Info
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- JP2003068858A JP2003068858A JP2001251032A JP2001251032A JP2003068858A JP 2003068858 A JP2003068858 A JP 2003068858A JP 2001251032 A JP2001251032 A JP 2001251032A JP 2001251032 A JP2001251032 A JP 2001251032A JP 2003068858 A JP2003068858 A JP 2003068858A
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- Japan
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- circuit
- switch
- trimming
- zener zap
- diode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 トリミング回路の読み出し動作時の消費電流
を削減する。 【解決手段】 ツェナーザップトランジスタZ11〜Z
13とDA変換抵抗R10a〜R10dを直接接続し、
トリミング後の読み出し動作時にはプリ調整用のビット
設定スイッチトランジスタQ11〜Q13を全てOF
F、また、ザッピング用スイッチトランジスタQ17〜
Q19を全てON状態にする。
を削減する。 【解決手段】 ツェナーザップトランジスタZ11〜Z
13とDA変換抵抗R10a〜R10dを直接接続し、
トリミング後の読み出し動作時にはプリ調整用のビット
設定スイッチトランジスタQ11〜Q13を全てOF
F、また、ザッピング用スイッチトランジスタQ17〜
Q19を全てON状態にする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、アナログ半導体
集積回路のオンチップによる、トリミング回路に関す
る。
集積回路のオンチップによる、トリミング回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】 アナログ集積回路の製造精度の限界に
より生ずる素子誤差を、製造工程の最終段階で補正する
一つの手段として、「ツェナーザップトリミング」とい
うオンチップトリミングの調整方法が知られている。こ
れはツェナーザップダイオードに対し逆方向にある一定
エネルギー以上の電気パルスを印加したとき、そのダイ
オードは破壊(ザッピング)され永久的に短絡するとい
う現象を利用した、いわば1回限り書き込み可能な不揮
発性のON/OFFスイッチを用いるものである。
より生ずる素子誤差を、製造工程の最終段階で補正する
一つの手段として、「ツェナーザップトリミング」とい
うオンチップトリミングの調整方法が知られている。こ
れはツェナーザップダイオードに対し逆方向にある一定
エネルギー以上の電気パルスを印加したとき、そのダイ
オードは破壊(ザッピング)され永久的に短絡するとい
う現象を利用した、いわば1回限り書き込み可能な不揮
発性のON/OFFスイッチを用いるものである。
【0003】このようなツェナーザップダイオードを、
予め回路中にいくつか配置しておき、ザッピングしない
場合はダイオードが順方向に導通せず、逆方向にツェナ
ー電圧以上の電圧が加わらないようにバイアス条件の下
にOFF(開放)状態としておく。そしてトリミング時
に回路誤差をモニタしながら、ツェナーザップダイオー
ドに対して適当な組み合わせでザッピング、すなわちO
N(短絡)し、回路素子の接続を変更することで回路定
数を調整しモニタ結果が所望の値に近づくようにするこ
とで前記素子誤差を補正するものである。
予め回路中にいくつか配置しておき、ザッピングしない
場合はダイオードが順方向に導通せず、逆方向にツェナ
ー電圧以上の電圧が加わらないようにバイアス条件の下
にOFF(開放)状態としておく。そしてトリミング時
に回路誤差をモニタしながら、ツェナーザップダイオー
ドに対して適当な組み合わせでザッピング、すなわちO
N(短絡)し、回路素子の接続を変更することで回路定
数を調整しモニタ結果が所望の値に近づくようにするこ
とで前記素子誤差を補正するものである。
【0004】従来のツェナーザップトリミングの応用例
としてDA変換回路を用い、これに入力するデータをツ
ェナーザップトリミングによってセットできるように構
成し、DA変換出力でトリミング対象回路を調整すると
いうトリミング方法がある。例えば調整可能なフィルタ
回路や発振器を時定数調整などに用いる場合、時定数の
ばらつきが問題となるいくつかの回路を、共通に調整す
ることが容易に可能なため、このような用途に適してい
る。
としてDA変換回路を用い、これに入力するデータをツ
ェナーザップトリミングによってセットできるように構
成し、DA変換出力でトリミング対象回路を調整すると
いうトリミング方法がある。例えば調整可能なフィルタ
回路や発振器を時定数調整などに用いる場合、時定数の
ばらつきが問題となるいくつかの回路を、共通に調整す
ることが容易に可能なため、このような用途に適してい
る。
【0005】また、集積回路のアセンブリ後(パッケー
ジ封止後)のツェナーザップ方式によるトリミングは以
下の理由により要求が強い。先ず第1に、ウエハー状態
でトリミングを行った場合、アセンブリ時のマウント上
での応力や樹脂モールド封入時のICチップと樹脂間応
力によるピエゾ効果の影響で、トリミングによる補正が
ずれてしまいトリミング精度が上げられない。第2に、
ダイソーターテスト直後にウエハー状態でツェナーザッ
プトリミングを行う場合、アセンブリ後のテストで不良
になるICに対しては無駄なトリミングを行ったことに
なる。第3に、ICを動作状態にして信号チェックを行
いながらトリミングを行う場合、ウエハー状態では複雑
で精度良いができない。単なる抵抗値のトリミングなら
ばウエハー状態でのザッピングによるトリミングでも十
分であるが、実際にはかなり大規模な回路での周波数特
性や振幅特性を見ながら総合的に合わせ込むケースがお
おい。このような場合には単なるDCテストでなくAC
テストにて精度良い測定と高度な判別を行う必要があ
り、ウエハー状態で行うダイソータの汎用的な設備では
不十分であるケースが多い。この点で設備的にも操作的
にも自由度が大きいアセンブリ後のトリミング不可欠で
ある。第4に、IC単体の自己完調型のトリミングでは
なく、ICユーザーである機器メーカー側がオンセット
でセットのばらつきまで含めた総合特性のトリミングが
可能となる。
ジ封止後)のツェナーザップ方式によるトリミングは以
下の理由により要求が強い。先ず第1に、ウエハー状態
でトリミングを行った場合、アセンブリ時のマウント上
での応力や樹脂モールド封入時のICチップと樹脂間応
力によるピエゾ効果の影響で、トリミングによる補正が
ずれてしまいトリミング精度が上げられない。第2に、
ダイソーターテスト直後にウエハー状態でツェナーザッ
プトリミングを行う場合、アセンブリ後のテストで不良
になるICに対しては無駄なトリミングを行ったことに
なる。第3に、ICを動作状態にして信号チェックを行
いながらトリミングを行う場合、ウエハー状態では複雑
で精度良いができない。単なる抵抗値のトリミングなら
ばウエハー状態でのザッピングによるトリミングでも十
分であるが、実際にはかなり大規模な回路での周波数特
性や振幅特性を見ながら総合的に合わせ込むケースがお
おい。このような場合には単なるDCテストでなくAC
テストにて精度良い測定と高度な判別を行う必要があ
り、ウエハー状態で行うダイソータの汎用的な設備では
不十分であるケースが多い。この点で設備的にも操作的
にも自由度が大きいアセンブリ後のトリミング不可欠で
ある。第4に、IC単体の自己完調型のトリミングでは
なく、ICユーザーである機器メーカー側がオンセット
でセットのばらつきまで含めた総合特性のトリミングが
可能となる。
【0006】以上の理由により、DA変換回路を用いた
複数ビットのツェナーザップトリミングをアセンブリ後
にできる回路として、図5に示すような回路方式が特開
平6−140512公報に掲載されている。
複数ビットのツェナーザップトリミングをアセンブリ後
にできる回路として、図5に示すような回路方式が特開
平6−140512公報に掲載されている。
【0007】このトリミングの対象回路は、オペアンプ
B10、トランジスタQ10と抵抗R10a〜R10d
及び調整スイッチとして第2のスイッチトランジスタQ
11〜Q13とで構成する3ビットの電流出力型のDA
変換回路101の例であり、Q10のコレクタ電流を出
力としてこの電流で対象となる回路を調整する。抵抗R
10a〜R10dの値は2nづつ重みづけして、出力電
流がデジタルの設定データに対して線形に変わるように
なっている。DA変換回路はさらに抵抗R11〜R16
で第2のスイッチトランジスタQ11〜Q13にバイア
スを供給しつつ、ツェナーザップダイオードZ11〜Z
13と第1のスイッチトランジスタQ17〜Q19によ
り、第2のスイッチトランジスタのON/OFFを決め
ている。各ビット設定スイッチの制御端を分離するため
に前記ツェナーザップダイオードの各カソード端子にダ
イオードQ14〜Q16を設けている。これらのダイオ
ードのアノード端子はザッピングパルス印加用の共通端
子P10となっている。
B10、トランジスタQ10と抵抗R10a〜R10d
及び調整スイッチとして第2のスイッチトランジスタQ
11〜Q13とで構成する3ビットの電流出力型のDA
変換回路101の例であり、Q10のコレクタ電流を出
力としてこの電流で対象となる回路を調整する。抵抗R
10a〜R10dの値は2nづつ重みづけして、出力電
流がデジタルの設定データに対して線形に変わるように
なっている。DA変換回路はさらに抵抗R11〜R16
で第2のスイッチトランジスタQ11〜Q13にバイア
スを供給しつつ、ツェナーザップダイオードZ11〜Z
13と第1のスイッチトランジスタQ17〜Q19によ
り、第2のスイッチトランジスタのON/OFFを決め
ている。各ビット設定スイッチの制御端を分離するため
に前記ツェナーザップダイオードの各カソード端子にダ
イオードQ14〜Q16を設けている。これらのダイオ
ードのアノード端子はザッピングパルス印加用の共通端
子P10となっている。
【0008】次に図5の回路動作について説明する。ト
リミング前はザッピングされていないツェナーザップダ
イオードZ11〜Z13はすべて開放状態なので、DA
変換回路のビット設定は第2のスイッチトランジスタQ
11〜Q13のON/OFF、すなわち第2の制御スイ
ッチS11〜S13により決まり、この場合、スイッチ
がONのビットは「0」、OFFのビットは「1」であ
る。S11〜S13の状態はバスデコーダで制御できる
ので、プリ調整段階ではトリミング対象をモニタしなが
ら、S11〜S13によるビット設定を順次変えていく
ことによりモニタ値が所望値に最も近づくビット設定を
求めることができる。
リミング前はザッピングされていないツェナーザップダ
イオードZ11〜Z13はすべて開放状態なので、DA
変換回路のビット設定は第2のスイッチトランジスタQ
11〜Q13のON/OFF、すなわち第2の制御スイ
ッチS11〜S13により決まり、この場合、スイッチ
がONのビットは「0」、OFFのビットは「1」であ
る。S11〜S13の状態はバスデコーダで制御できる
ので、プリ調整段階ではトリミング対象をモニタしなが
ら、S11〜S13によるビット設定を順次変えていく
ことによりモニタ値が所望値に最も近づくビット設定を
求めることができる。
【0009】トリミング時には、上述で求めた所望値に
近づいたビット設定をスイッチS17〜S19にセット
して共通端子P10にザッピングパルスを印加すること
により、セットしたビットのツェナーザップダイオード
のみがザッピングされて短絡する。例えば、ツェナーザ
ップダイードZ12のみザッピングさせる場合、ザッピ
ングの制御データは、T11、T12よりデータとクロ
ックとして入力される。この入力はバスデコーダB11
によってデコードされ、ツェナーザップダイオードZ1
2に対応した第1のスイッチトランジスタQ18のみを
ONさせ、他の第1のスイッチトランジスタQ17とQ
19はOFFさせる。すなわち、第1の制御スイッチS
18のみONし、S17とS19はOFFさせる。この
場合、第2のスイッチトランジスタQ11〜Q13は全
てOFFにされている。この状態で共通端子P10にザ
ッピングパルスを印加すれば、電流はP10→Q15→
Q12→Q18→GND(基準電位)という経路で流
れ、ツェナーザップダイオードZ12が短絡する。
近づいたビット設定をスイッチS17〜S19にセット
して共通端子P10にザッピングパルスを印加すること
により、セットしたビットのツェナーザップダイオード
のみがザッピングされて短絡する。例えば、ツェナーザ
ップダイードZ12のみザッピングさせる場合、ザッピ
ングの制御データは、T11、T12よりデータとクロ
ックとして入力される。この入力はバスデコーダB11
によってデコードされ、ツェナーザップダイオードZ1
2に対応した第1のスイッチトランジスタQ18のみを
ONさせ、他の第1のスイッチトランジスタQ17とQ
19はOFFさせる。すなわち、第1の制御スイッチS
18のみONし、S17とS19はOFFさせる。この
場合、第2のスイッチトランジスタQ11〜Q13は全
てOFFにされている。この状態で共通端子P10にザ
ッピングパルスを印加すれば、電流はP10→Q15→
Q12→Q18→GND(基準電位)という経路で流
れ、ツェナーザップダイオードZ12が短絡する。
【0010】上述のトリミング終了後、実際にICを動
作させて読み出す際には、各ビット設定スイッチのON
/OFFはツェナーザップダイオードが短絡しているか
否かのみで決まらなければならないので、第1のスイッ
チトランジスタQ17〜Q19は全てON状態、第2の
スイッチトランジスタQ11〜Q13は全てOFF状態
にする必要がある。
作させて読み出す際には、各ビット設定スイッチのON
/OFFはツェナーザップダイオードが短絡しているか
否かのみで決まらなければならないので、第1のスイッ
チトランジスタQ17〜Q19は全てON状態、第2の
スイッチトランジスタQ11〜Q13は全てOFF状態
にする必要がある。
【0011】ここで、上述の例ではツェナーザップダイ
オードZ12のみが短絡され、また、第1のスイッチト
ランジスタQ18がONされているので、抵抗R15と
R12で供給されるバイアス電流は、全てZ12とQ1
8とでGNDにバイパスされる。一方、他のツェナーザ
ップダイオードZ11及びZ13は開放状態なので、抵
抗R11とR14並びにR13とR16で供給されるバ
イアス電流はそれぞれ第2のスイッチトランジスタQ1
1並びにQ13のベース端に流れて、これらのトランジ
スタをONさせる。このようにしてトリミング後は調整
値として(101)というビット設定が常に読み出され
ることになる。
オードZ12のみが短絡され、また、第1のスイッチト
ランジスタQ18がONされているので、抵抗R15と
R12で供給されるバイアス電流は、全てZ12とQ1
8とでGNDにバイパスされる。一方、他のツェナーザ
ップダイオードZ11及びZ13は開放状態なので、抵
抗R11とR14並びにR13とR16で供給されるバ
イアス電流はそれぞれ第2のスイッチトランジスタQ1
1並びにQ13のベース端に流れて、これらのトランジ
スタをONさせる。このようにしてトリミング後は調整
値として(101)というビット設定が常に読み出され
ることになる。
【0012】次に図6に示す他のトリミング回路につい
て説明する。図6において、上述した図5の回路構成と
異なる部分は、第2の制御スイッチにつながる電流源I
11〜I13をVccからの供給し、また、第2のスイ
ッチトランジスタQ11〜Q13のバイアス抵抗R14
〜R16を取り除いた点である。また、図6の回路にお
いてもトリミングのプリ調整段階では第2のスイッチト
ランジスタQ11〜Q13のON/OFF、すなわち第
2の制御スイッチS11〜S13で決まるが、前記第2
の制御スイッチはVccと接続されているため、スイッ
チがONで「1」、OFFで「0」となり、図5の回路
動作と逆になる。
て説明する。図6において、上述した図5の回路構成と
異なる部分は、第2の制御スイッチにつながる電流源I
11〜I13をVccからの供給し、また、第2のスイ
ッチトランジスタQ11〜Q13のバイアス抵抗R14
〜R16を取り除いた点である。また、図6の回路にお
いてもトリミングのプリ調整段階では第2のスイッチト
ランジスタQ11〜Q13のON/OFF、すなわち第
2の制御スイッチS11〜S13で決まるが、前記第2
の制御スイッチはVccと接続されているため、スイッ
チがONで「1」、OFFで「0」となり、図5の回路
動作と逆になる。
【0013】図6の回路におけるトリミング時の設定は
図5と同様にすることができる。すなわち、第2のスイ
ッチトランジスタQ11〜Q13でプリ調整を行い最適
値を求め、その最適値を第1のスイッチトランジスタQ
17〜Q19にセットしてザッピングパルスを共通端子
P10から印加し、ツェナーザップダイオードをザッピ
ングする。
図5と同様にすることができる。すなわち、第2のスイ
ッチトランジスタQ11〜Q13でプリ調整を行い最適
値を求め、その最適値を第1のスイッチトランジスタQ
17〜Q19にセットしてザッピングパルスを共通端子
P10から印加し、ツェナーザップダイオードをザッピ
ングする。
【0014】なお、トリミング終了後、実際にICを動
作させて読み出す際には、図5のようにバイアス抵抗R
14〜R16がないため、第2のスイッチトランジスタ
Q11〜Q13はビット設定用のバイアスとして全てO
Nとする必要がある。第1のスイッチトランジスタQ1
7〜Q19の全てをONさせるのは図5と同様である。
作させて読み出す際には、図5のようにバイアス抵抗R
14〜R16がないため、第2のスイッチトランジスタ
Q11〜Q13はビット設定用のバイアスとして全てO
Nとする必要がある。第1のスイッチトランジスタQ1
7〜Q19の全てをONさせるのは図5と同様である。
【0015】このようなザッピング手順により、最適な
調整データに対応したビットのザッピングを行うこと
で、DA変換回路の出力電流をツェナーザップダイオー
ドの個数分のビット数で決まる、ある分解能で制御する
ことができる。図5及び図6の回路では3個のツェナー
ザップダイオードから構成されていたので、制御対象と
なるデータの調整後の誤差は調整しない場合の1/8以
下にすることが可能となる。
調整データに対応したビットのザッピングを行うこと
で、DA変換回路の出力電流をツェナーザップダイオー
ドの個数分のビット数で決まる、ある分解能で制御する
ことができる。図5及び図6の回路では3個のツェナー
ザップダイオードから構成されていたので、制御対象と
なるデータの調整後の誤差は調整しない場合の1/8以
下にすることが可能となる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】 しかし詳述した従来
の技術では、トリミング後において第1のスイッチトラ
ンジスタの全てをONさせることから、これらのトラン
ジスタの駆動電流に加えて、各ビット設定のため各ビッ
ト毎にそのON/OFFに関わらず常にバイアス電流を
流しておく必要がある。例えば図5の回路において、第
2のスイッチトランジスタQ11で設定される最下位ビ
ットの場合、第1のスイッチトランジスタQ17をON
状態にしておくための電流I17の他に、制御バイアス
抵抗R14を介して、ビット「0」の場合R14→Z1
1→Q17という経路で電流が流れ、また、ビット
「1」の場合R14→R11→Q11という経路で電流
が流れる。R14を介して流れるのに相当する電流はッ
ト設定に関わらず必ずビット数分だけ流れるためその総
量を無視することはできない。また、図6の回路におい
ても最下位ビットの場合、Q17をON状態にしておく
ための電流I17の他に、ビット「1」の場合I11→
S11→Z11→Q17という経路で電流が流れ、ビッ
ト「0」の場合I11→S11→R11→Q11という
経路で電流が流れる。しがたって、図6においてもビッ
ト設定に関わらず全ビット分だけ流れることになる。
の技術では、トリミング後において第1のスイッチトラ
ンジスタの全てをONさせることから、これらのトラン
ジスタの駆動電流に加えて、各ビット設定のため各ビッ
ト毎にそのON/OFFに関わらず常にバイアス電流を
流しておく必要がある。例えば図5の回路において、第
2のスイッチトランジスタQ11で設定される最下位ビ
ットの場合、第1のスイッチトランジスタQ17をON
状態にしておくための電流I17の他に、制御バイアス
抵抗R14を介して、ビット「0」の場合R14→Z1
1→Q17という経路で電流が流れ、また、ビット
「1」の場合R14→R11→Q11という経路で電流
が流れる。R14を介して流れるのに相当する電流はッ
ト設定に関わらず必ずビット数分だけ流れるためその総
量を無視することはできない。また、図6の回路におい
ても最下位ビットの場合、Q17をON状態にしておく
ための電流I17の他に、ビット「1」の場合I11→
S11→Z11→Q17という経路で電流が流れ、ビッ
ト「0」の場合I11→S11→R11→Q11という
経路で電流が流れる。しがたって、図6においてもビッ
ト設定に関わらず全ビット分だけ流れることになる。
【0017】そこで本発明は、ツェナーザップ方式によ
るトリミング後の読み出し動作時の電流値が抑えられる
トリミング回路を提案することを目的とする。
るトリミング後の読み出し動作時の電流値が抑えられる
トリミング回路を提案することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】 上記課題は、複数のツ
ェナーザップダイオードと、このツェナーザップダイオ
ードの第1の電極端子と基準電位間のオンオフ状態を制
御する第1のスイッチ回路群と、前記ツェナーザップダ
イオードの第2の電極端子と基準電位間のオンオフ状態
を制御する第2のスイッチ回路群と、前記ツェナーザッ
プダイオードの第2の電極端子と第1の電極端子が接続さ
れたダイオード群と、このダイオード群の第2の電極端
子が共通に接続された1つの共通端子と、前記第1のス
イッチ回路群及び前記第2のスイッチ回路群のオンオフ
状態を設定するデコーダ回路と、前記第2のスイッチ回
路群で入力となるビット設定が決まり、アナログ回路を
調整するための電圧または電流を出力するDA変換回路
とを具備し、前記共通端子から前記ツェナーザップダイ
オードに対してザッピングパルスを印加することを特徴
とするトリミング回路により解決する。
ェナーザップダイオードと、このツェナーザップダイオ
ードの第1の電極端子と基準電位間のオンオフ状態を制
御する第1のスイッチ回路群と、前記ツェナーザップダ
イオードの第2の電極端子と基準電位間のオンオフ状態
を制御する第2のスイッチ回路群と、前記ツェナーザッ
プダイオードの第2の電極端子と第1の電極端子が接続さ
れたダイオード群と、このダイオード群の第2の電極端
子が共通に接続された1つの共通端子と、前記第1のス
イッチ回路群及び前記第2のスイッチ回路群のオンオフ
状態を設定するデコーダ回路と、前記第2のスイッチ回
路群で入力となるビット設定が決まり、アナログ回路を
調整するための電圧または電流を出力するDA変換回路
とを具備し、前記共通端子から前記ツェナーザップダイ
オードに対してザッピングパルスを印加することを特徴
とするトリミング回路により解決する。
【0019】上記手段によって、トリミング後のビット
設定がツェナーザップダイオードの短絡の有無のみによ
り決定するので、第2のスイッチ回路群に電流が流れる
ことない等、消費電流を抑えた読み出し動作することが
できる。
設定がツェナーザップダイオードの短絡の有無のみによ
り決定するので、第2のスイッチ回路群に電流が流れる
ことない等、消費電流を抑えた読み出し動作することが
できる。
【0020】
【発明の実施の形態】 本発明の第1の実施例を図1に
示す。
示す。
【0021】トリミングの対象回路は、オペアンプB1
0、トランジスタQ10と抵抗R10a〜R10d及び
プリ調整スイッチとして第2のスイッチトランジスタQ
11〜Q13とで構成する3ビットの電流出力型のDA
変換回路1であり、トランジスタQ10のコレクタ電流
を出力としてこの電流で対象となる回路を調整する。抵
抗R10a〜R10dの値は2nづつ重みづけして、出
力電流がデジタルの設定データに対して線形に変るよう
にしている。DA変換回路1は、ツェナーザップダイオ
ードZ11〜Z13とザッピング用の第1のスイッチト
ランジスタQ17〜Q19の組み合わせと、第2のスイ
ッチトランジスタQ11〜Q13との論理和で各ビット
のON/OFFを決めている。なお、第2のスイッチト
ランジスタQ11〜Q13は抵抗R11〜R13からな
る回路によってバイアス電流が供給される。
0、トランジスタQ10と抵抗R10a〜R10d及び
プリ調整スイッチとして第2のスイッチトランジスタQ
11〜Q13とで構成する3ビットの電流出力型のDA
変換回路1であり、トランジスタQ10のコレクタ電流
を出力としてこの電流で対象となる回路を調整する。抵
抗R10a〜R10dの値は2nづつ重みづけして、出
力電流がデジタルの設定データに対して線形に変るよう
にしている。DA変換回路1は、ツェナーザップダイオ
ードZ11〜Z13とザッピング用の第1のスイッチト
ランジスタQ17〜Q19の組み合わせと、第2のスイ
ッチトランジスタQ11〜Q13との論理和で各ビット
のON/OFFを決めている。なお、第2のスイッチト
ランジスタQ11〜Q13は抵抗R11〜R13からな
る回路によってバイアス電流が供給される。
【0022】また、各ビット設定スイッチの出力端を分
離するために前記ツェナーザップダイオードZ11〜Z
13の各カソード端子にダイオードQ14〜Q16を設
け、さらに、このダイオードのアノード端子にはザッピ
ングパルス印加用の共通端子P10が接続されている。
離するために前記ツェナーザップダイオードZ11〜Z
13の各カソード端子にダイオードQ14〜Q16を設
け、さらに、このダイオードのアノード端子にはザッピ
ングパルス印加用の共通端子P10が接続されている。
【0023】電流源I11〜I13と第2のスイッチS
11〜S13はザッピング調整値を決めるためのプリ調
整を行うために用いられる。トリミング前はツェナーザ
ップダイオードZ11〜Z13は全てOFFなので、D
A変換回路1のビット設定は第2のスイッチS11〜S
13のON/OFFで決まる。すなわち、スイッチS1
1〜S13をONすると、第2のスイッチトランジスタ
Q11〜Q13のベース端にはバイアス電流が供給され
てこのトランジスタはON状態となり、各ビットは
「1」となる。逆に第2のスイッチS11〜S13がO
FFとなると、第2のスイッチトランジスタQ11〜Q
13へはバイアス電流が供給されずOFF状態となり各
ビットは「0」となる。このスイッチS11〜S13は
ビット毎に設定でき、また、これらの第2のスイッチは
デコーダ回路B11によってバス入力端子T11とT1
2からデータとクロックを入力しバス制御することがで
きる。トリミングのプリ調整段階ではトリミング対象の
データをモニタしながら、デコーダ回路1によって第2
のスイッチS11〜S13のビット設定を順次変え、モ
ニタ値が所望値に最も近づくビット設定、すなわちザッ
ピング調整値を求めることができる。
11〜S13はザッピング調整値を決めるためのプリ調
整を行うために用いられる。トリミング前はツェナーザ
ップダイオードZ11〜Z13は全てOFFなので、D
A変換回路1のビット設定は第2のスイッチS11〜S
13のON/OFFで決まる。すなわち、スイッチS1
1〜S13をONすると、第2のスイッチトランジスタ
Q11〜Q13のベース端にはバイアス電流が供給され
てこのトランジスタはON状態となり、各ビットは
「1」となる。逆に第2のスイッチS11〜S13がO
FFとなると、第2のスイッチトランジスタQ11〜Q
13へはバイアス電流が供給されずOFF状態となり各
ビットは「0」となる。このスイッチS11〜S13は
ビット毎に設定でき、また、これらの第2のスイッチは
デコーダ回路B11によってバス入力端子T11とT1
2からデータとクロックを入力しバス制御することがで
きる。トリミングのプリ調整段階ではトリミング対象の
データをモニタしながら、デコーダ回路1によって第2
のスイッチS11〜S13のビット設定を順次変え、モ
ニタ値が所望値に最も近づくビット設定、すなわちザッ
ピング調整値を求めることができる。
【0024】次に、上述で求めたビット設定を第1のス
イッチS17〜S19にセットし、第2のスイッチS1
1〜S13は全てOFFにする。ここで、第2のスイッ
チと第1のスイッチの関係は、S11はS17、S12
はS18、S13はS19にそれぞれ対応する。
イッチS17〜S19にセットし、第2のスイッチS1
1〜S13は全てOFFにする。ここで、第2のスイッ
チと第1のスイッチの関係は、S11はS17、S12
はS18、S13はS19にそれぞれ対応する。
【0025】次に、第1及び第2のスイッチをセット
後、ザッピングパルス印加用の共通端子P10にザッピ
ングパスルを印加すると、ONに設定された第1のスイ
ッチに対応したツェナーザップトランジスタのみがザッ
ピングされ、短絡する。例えば、トリミングのプリ調整
においてビット設定が(010)と決定された場合、第
1のスイッチはS18のみをONとし、残りのS17と
S19はOFFにする。この場合、第2のスイッチS1
1〜S13は当然に全てOFFにする。第1のスイッチ
S18がONされることによって第1のスイッチトラン
ジスタQ18のベース端にはバイアス電流が供給されこ
のトランジスタはON状態となり、ツェナーザップダイ
オードZ12のカソードと基準電位(GND)が導通し
た状態となる。一方、第1のスイッチS17とS19は
OFFなので、これらのスイッチに対応した第1のスイ
ッチトランジスタQ17とQ19はOFFであり、ツェ
ナーザップダイオードとGNDは開放状態となってお
り、共通端子P10からザッピングパルスを印加された
としても電流は流れない。したがって、このような状況
の下、共通端子P10より高エネルギーのザッピングパ
スルを印加すると、電流はQ15→Z12→Q18→G
NDという経路で流れツェナーザップダイオードZ12
のみが短絡状態に変わり、トリミングは終了する。
後、ザッピングパルス印加用の共通端子P10にザッピ
ングパスルを印加すると、ONに設定された第1のスイ
ッチに対応したツェナーザップトランジスタのみがザッ
ピングされ、短絡する。例えば、トリミングのプリ調整
においてビット設定が(010)と決定された場合、第
1のスイッチはS18のみをONとし、残りのS17と
S19はOFFにする。この場合、第2のスイッチS1
1〜S13は当然に全てOFFにする。第1のスイッチ
S18がONされることによって第1のスイッチトラン
ジスタQ18のベース端にはバイアス電流が供給されこ
のトランジスタはON状態となり、ツェナーザップダイ
オードZ12のカソードと基準電位(GND)が導通し
た状態となる。一方、第1のスイッチS17とS19は
OFFなので、これらのスイッチに対応した第1のスイ
ッチトランジスタQ17とQ19はOFFであり、ツェ
ナーザップダイオードとGNDは開放状態となってお
り、共通端子P10からザッピングパルスを印加された
としても電流は流れない。したがって、このような状況
の下、共通端子P10より高エネルギーのザッピングパ
スルを印加すると、電流はQ15→Z12→Q18→G
NDという経路で流れツェナーザップダイオードZ12
のみが短絡状態に変わり、トリミングは終了する。
【0026】トリミング後の読み出し状態にあるとき、
各ビット設定スイッチのON/OFFはツェナーザップ
ダイオードが短絡しているか否かだけで決めなければな
らない。したがって、ザッピング用の第1のスイッチト
ランジスタQ17〜Q19は全てON、すなわち、第1
のスイッチS17〜S19は全てON状態にする。ま
た、第2のスイッチトランジスタQ11〜Q13は全て
OFF、すなわち、第2のスイッチS11〜S13は全
てOFF状態にする必要がある。このように設定するこ
とによって、ツェナーザップダイオードが短絡したビッ
トは常に「1」、その他のビットは常に「0」となる。
上述の例では、ツェナーザップダイオードZ12のみが
短絡しているので、実際にICを動作させて読み出す場
合、DA変換抵抗R10a〜R10dのうちR10cに
だけ、Q10→R10c→Z12→Q18→GNDとい
う経路で電流が流れ、トランジスタQ10のコレクタか
ら端子T10にV10/R10cという調整電流が出力
される。
各ビット設定スイッチのON/OFFはツェナーザップ
ダイオードが短絡しているか否かだけで決めなければな
らない。したがって、ザッピング用の第1のスイッチト
ランジスタQ17〜Q19は全てON、すなわち、第1
のスイッチS17〜S19は全てON状態にする。ま
た、第2のスイッチトランジスタQ11〜Q13は全て
OFF、すなわち、第2のスイッチS11〜S13は全
てOFF状態にする必要がある。このように設定するこ
とによって、ツェナーザップダイオードが短絡したビッ
トは常に「1」、その他のビットは常に「0」となる。
上述の例では、ツェナーザップダイオードZ12のみが
短絡しているので、実際にICを動作させて読み出す場
合、DA変換抵抗R10a〜R10dのうちR10cに
だけ、Q10→R10c→Z12→Q18→GNDとい
う経路で電流が流れ、トランジスタQ10のコレクタか
ら端子T10にV10/R10cという調整電流が出力
される。
【0027】以上より、トリミング終了後の通常読み出
し時に図1のトリミング回路に流れるバイアス電流は、
第1のスイッチトランジスタQ17〜Q19をONさせ
ておくための電流とトリミング結果として調整電流とな
る電流(トランジスタQ10のコレクタ電流)以外は流
れることはない。したがって、従来のトリミング回路よ
りも通常読み出し動作時の消費電流を抑えることができ
る。
し時に図1のトリミング回路に流れるバイアス電流は、
第1のスイッチトランジスタQ17〜Q19をONさせ
ておくための電流とトリミング結果として調整電流とな
る電流(トランジスタQ10のコレクタ電流)以外は流
れることはない。したがって、従来のトリミング回路よ
りも通常読み出し動作時の消費電流を抑えることができ
る。
【0028】ところで一般にザッピングのために印加す
る電流パルスは、数十ミリアンペアもの集積回路として
は大電流を必要とする。一方デコーダ回路やバスデコー
ダ回路側の制御回路はI2LやCMOSなどの回路が用
いられるため、あまり大きな駆動電流を取出せないこと
が多い。そこで実際には図1の第1のスイッチトランジ
スタQ17〜Q19は、複数段のダーリントン構成の組
み合わせトランジスタを用いたりする。
る電流パルスは、数十ミリアンペアもの集積回路として
は大電流を必要とする。一方デコーダ回路やバスデコー
ダ回路側の制御回路はI2LやCMOSなどの回路が用
いられるため、あまり大きな駆動電流を取出せないこと
が多い。そこで実際には図1の第1のスイッチトランジ
スタQ17〜Q19は、複数段のダーリントン構成の組
み合わせトランジスタを用いたりする。
【0029】図2は、この発明の第2の実施例を示し、
図1のツェナーザップ制御回路のうち第1のスイッチト
ランジスタQ17〜Q19を、トランジスタQ17a〜
Q17c、Q18a〜Q18c、Q19a〜Q19cか
らなる3段のダーリントン構成のトランジスタに置き換
えたものである。この場合、第3のスイッチトランジス
タQ17c〜Q19cのON/OFFを制御する第3の
スイッチS17c〜S19cはトリミング時は全てOF
Fし、第1のスイッチS17a〜S19aをONさせる
と、第1のスイッチS17a〜S19aから第1のスイ
ッチトランジスタQ17a〜Q19aに流れる駆動電流
が小さくとも大きな電流パルスのスイッチングが可能と
なる。なお、トリミングを終了後の読み出し時は、第1
のスイッチS11a〜S13aを全てOFFし、第3の
スイッチS17c〜S19cをONさせることによって
3段のダーリントン構成のトランジスタは最終段のQ1
7c〜Q19cのみの制御になるようにする。
図1のツェナーザップ制御回路のうち第1のスイッチト
ランジスタQ17〜Q19を、トランジスタQ17a〜
Q17c、Q18a〜Q18c、Q19a〜Q19cか
らなる3段のダーリントン構成のトランジスタに置き換
えたものである。この場合、第3のスイッチトランジス
タQ17c〜Q19cのON/OFFを制御する第3の
スイッチS17c〜S19cはトリミング時は全てOF
Fし、第1のスイッチS17a〜S19aをONさせる
と、第1のスイッチS17a〜S19aから第1のスイ
ッチトランジスタQ17a〜Q19aに流れる駆動電流
が小さくとも大きな電流パルスのスイッチングが可能と
なる。なお、トリミングを終了後の読み出し時は、第1
のスイッチS11a〜S13aを全てOFFし、第3の
スイッチS17c〜S19cをONさせることによって
3段のダーリントン構成のトランジスタは最終段のQ1
7c〜Q19cのみの制御になるようにする。
【0030】このような3段のダーリントン構成のスイ
ッチを使用する場合も、これを構成するトランジスタの
耐圧が問題となるケースでは、各スイッチを図3に示す
ようにトランジスタQa〜Qcのダーリントン接続に、
さらにトランジスタQd〜Qgを縦続構成で用いること
により、この問題が解決できる。
ッチを使用する場合も、これを構成するトランジスタの
耐圧が問題となるケースでは、各スイッチを図3に示す
ようにトランジスタQa〜Qcのダーリントン接続に、
さらにトランジスタQd〜Qgを縦続構成で用いること
により、この問題が解決できる。
【0031】次に本発明の第3の実施例を図4に示す。
図4は、図1のツェナーザップダイオードZ11〜Z1
3をヒューズ抵抗H11〜H13に置き換えたもので、
他の構成は全く同じである。しかし、ツェナーザップダ
イオードの場合トリミング前は開放状態になっており、
ザッピングしたもののみが短絡状態になるに対して、ヒ
ューズ抵抗の場合トリミング前は短絡状態でザッピング
したものが開放状態となる。したがって、プリ調整によ
って得た最適値を第1のスイッチS17〜S19にセッ
トする場合は逆となるので注意する必要がある。
図4は、図1のツェナーザップダイオードZ11〜Z1
3をヒューズ抵抗H11〜H13に置き換えたもので、
他の構成は全く同じである。しかし、ツェナーザップダ
イオードの場合トリミング前は開放状態になっており、
ザッピングしたもののみが短絡状態になるに対して、ヒ
ューズ抵抗の場合トリミング前は短絡状態でザッピング
したものが開放状態となる。したがって、プリ調整によ
って得た最適値を第1のスイッチS17〜S19にセッ
トする場合は逆となるので注意する必要がある。
【0032】例えば、プリ調整においてビット設定が
(010)と決定された場合、第1のスイッチS17と
S19はON、S18はOFFとし、共通端子P10か
らザッピングパルスを印加すると、共通端子P10から
は、P10→Q14→H11→Q17及び、P10→Q
16→H13→Q19という経路で電流が流れ、ヒュー
ズ抵抗H11及びH13がザッピングされて開放状態と
なり、トリミングは終了する。
(010)と決定された場合、第1のスイッチS17と
S19はON、S18はOFFとし、共通端子P10か
らザッピングパルスを印加すると、共通端子P10から
は、P10→Q14→H11→Q17及び、P10→Q
16→H13→Q19という経路で電流が流れ、ヒュー
ズ抵抗H11及びH13がザッピングされて開放状態と
なり、トリミングは終了する。
【0033】トリミング後の読み出し時の第1及び第2
のスイッチ設定は第1の実施例と同様で、第1のスイッ
チは全てON、第2のスイッチは全てOFFとする。こ
のように設定することによって、ヒューズ抵抗がザッピ
ングされたビットは常に「0」、ザッピングされていな
いビットは常に「1」となる。上述の例では、ヒューズ
抵抗H12のみがザッピングされなく短絡状態を保って
いるので、実際にICを動作させて読み出す場合、DA
変換抵抗R10a〜R10dのうちR10cにだけ、Q
10→R10c→Z12→Q18→GNDという経路で
電流が流れ、トランジスタQ10のコレクタから端子T
10にV10/R10cという調整電流が出力される。
したがって、トリミング時の第1のスイッチ設定が逆に
しなければならないが、その他は図1に示す第1の実施
例と同様である。
のスイッチ設定は第1の実施例と同様で、第1のスイッ
チは全てON、第2のスイッチは全てOFFとする。こ
のように設定することによって、ヒューズ抵抗がザッピ
ングされたビットは常に「0」、ザッピングされていな
いビットは常に「1」となる。上述の例では、ヒューズ
抵抗H12のみがザッピングされなく短絡状態を保って
いるので、実際にICを動作させて読み出す場合、DA
変換抵抗R10a〜R10dのうちR10cにだけ、Q
10→R10c→Z12→Q18→GNDという経路で
電流が流れ、トランジスタQ10のコレクタから端子T
10にV10/R10cという調整電流が出力される。
したがって、トリミング時の第1のスイッチ設定が逆に
しなければならないが、その他は図1に示す第1の実施
例と同様である。
【0034】以上説明した実施例では、スイッチトラン
ジスタをバイポーラ・トランジスタを用いたが、これに
代えてMOSトランジスタ等のその他のスイッチ機能を
果たすスイッチ回路を用いることも可能である。
ジスタをバイポーラ・トランジスタを用いたが、これに
代えてMOSトランジスタ等のその他のスイッチ機能を
果たすスイッチ回路を用いることも可能である。
【0035】また、DA変換回路のビット数は実施例の
3ビットに限らず、2ビットにすることによってトリミ
ング回路が実施例より簡易に、また、4ビット以上のす
ることによって実施例よりもより高精度のトリミングが
可能となる。
3ビットに限らず、2ビットにすることによってトリミ
ング回路が実施例より簡易に、また、4ビット以上のす
ることによって実施例よりもより高精度のトリミングが
可能となる。
【0036】また、図2又は図3におけるダーリントン
構成のトランジスタは3段に限らず、2段又は4段以上
からなるダーリントン構成でも当然に実施可能である。
構成のトランジスタは3段に限らず、2段又は4段以上
からなるダーリントン構成でも当然に実施可能である。
【0037】したがって、本発明は、かかる特定の実施
例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載し
た要旨内において様々な変形・変更が可能である。
例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載し
た要旨内において様々な変形・変更が可能である。
【0038】
【発明の効果】 以上詳述したように本発明によれば、
従来よりもトリミング後の読み出し動作時の電流値を抑
えたトリミング回路を構成することができる。
従来よりもトリミング後の読み出し動作時の電流値を抑
えたトリミング回路を構成することができる。
【図1】 本発明の第1の実施例のトリミング回路を示
す図である。
す図である。
【図2】 本発明の第2の実施例のトリミング回路を示
す図である。
す図である。
【図3】 図2のダーリントン構成をさらに耐圧用のト
ランジスタを縦続接続した状態を示す回路を示す図であ
る。
ランジスタを縦続接続した状態を示す回路を示す図であ
る。
【図4】 本発明の第3の実施例のトリミング回路を示
す図である。
す図である。
【図5】 従来のツェナーザップダイオードを用いたト
リミング回路を示す図である。
リミング回路を示す図である。
【図6】 他の従来のツェナーザップダイオードを用い
たトリミング回路を示す図である。
たトリミング回路を示す図である。
Z11〜Z13…ツェナーザップダイオード、Q10〜
Q13、Q17〜Q19…バイポーラ・トランジスタ
(Q11〜Q13…第2のスイッチトランジスタ、Q1
7〜Q19…第1のスイッチトランジスタ)、Q14〜
Q16…ダイオード、R10a〜R10d…DA変換抵
抗、B10…オペアンプ、V10…電源、I11〜I
3、I17〜I17…電流源、R11〜R13…抵抗、
S11〜S13…第2のスイッチ、S17〜S19…第
1のスイッチ、S17a〜S19a…第1のスイッチ、
S17c〜S19c…第3のスイッチ、Q17a〜Q1
9c…バイポーラ・トランジスタ、Qa〜Qg…バイポ
ーラ・トランジスタ、B11…デコーダ回路、P10…
ザッピングパルス印加用の共通端子、T10…トリミン
グ調整電流出力端子、T11、T12…デコーダ回路入
力端子、H11〜H13…ヒューズ抵抗、1…DA変換
回路
Q13、Q17〜Q19…バイポーラ・トランジスタ
(Q11〜Q13…第2のスイッチトランジスタ、Q1
7〜Q19…第1のスイッチトランジスタ)、Q14〜
Q16…ダイオード、R10a〜R10d…DA変換抵
抗、B10…オペアンプ、V10…電源、I11〜I
3、I17〜I17…電流源、R11〜R13…抵抗、
S11〜S13…第2のスイッチ、S17〜S19…第
1のスイッチ、S17a〜S19a…第1のスイッチ、
S17c〜S19c…第3のスイッチ、Q17a〜Q1
9c…バイポーラ・トランジスタ、Qa〜Qg…バイポ
ーラ・トランジスタ、B11…デコーダ回路、P10…
ザッピングパルス印加用の共通端子、T10…トリミン
グ調整電流出力端子、T11、T12…デコーダ回路入
力端子、H11〜H13…ヒューズ抵抗、1…DA変換
回路
Claims (8)
- 【請求項1】 複数のツェナーザップダイオードと、 前記複数のツェナーザップダイオードの各第1の電極端
子と基準電位間との間に接続された第1のスイッチ回路
群と、 前記複数のツェナーザップダイオードの各第2の電極端
子と前記基準電位間との間に接続された第2のスイッチ
回路群と、 前記複数のツェナーザップダイオードの各第2の電極端
子に一端が接続されたダイオード群と、 このダイオード群の他端に接続された1つの共通端子
と、 前記第1のスイッチ回路群及び前記第2のスイッチ回路
群に接続し、かつ前記第1のスイッチ回路群及び第2の
スイッチ回路群のオンオフを制御するデコーダ回路と、 前記複数のツェナーザップダイオードの各第2の電極端
子が対応した各DA変換抵抗に接続されたDA変換回路
とを具備することを特徴とするトリミング回路。 - 【請求項2】 第1及び第2のツェナーザップダイオード
と、 前記第1及び第2のツェナーザップダイオードの各第1の
電極端子と基準電位との間にそれぞれ接続された第1及
び第2のスイッチ回路と、 前記第1及び第2のツェナーザップダイオードの各第2の
電極端子と前記基準電位との間にそれぞれ接続された第
3及び第4のスイッチ回路と、 前記第1及び第2のツェナーザップダイオードの各第2の
電極端子に一端がそれぞれ接続された第1及び第2のダ
イオードと、 前記第1及び第2のダイオードの他端に接続された1つ
の共通端子と、 前記第1乃至第4のスイッチ回路に接続し、かつ前記第
1乃至第4のスイッチ回路のオンオフを制御するデコー
ダ回路と、 前記第1及び第2のツェナーザップダイオードの各第2
の電極端子が対応した各DA変換抵抗に接続されたDA
変換回路とを具備することを特徴とするトリミング回
路。 - 【請求項3】 前記DA変換回路は、前記第1及び第2
のツェナーザップダイオードの短絡の有無、若しくは、
前記第3及び第4のスイッチ回路のオンオフ状態により
入力となるビット設定がきまり、アナログ回路を調整す
るための電圧又は電流を出力することを特徴とする請求
項2記載のトリミング回路。 - 【請求項4】 前記デコーダ回路は、シリアルバスデコ
ーダ回路を用い、前記第1のスイッチ回路群と前記第2
のスイッチ回路群のオンオフの設定をシリアルデータで
制御することを特徴とする請求項1記載のトリミング回
路。 - 【請求項5】 前記デコーダ回路は、前記ツェナーザッ
プダイオードのザッピング調整値を求めるプリ調整時に
は前記第2のスイッチ回路のオンオフ状態を順次切り換
えることにより最適調整値を求め、 前記ツェナーザップダイオードのザッピング時には前記
第1のスイッチ回路が前記最適調整値に対応したオンオ
フ状態にセットし、 前記ツェナーザップダイオードのザッピング後には前記
第1のスイッチ回路群を全てオン状態、前記第2のスイ
ッチ回路群の全てがオフ状態に設定することを特徴とす
る請求項1記載のトリミング回路。 - 【請求項6】 前記第1のスイッチ回路群としてダーリ
ントン接続した複数トランジスタで構成し、そのベース
電流を供給するか否かによってオンオフを制御すること
を特徴とする請求項1記載のトリミング回路。 - 【請求項7】 前記第1のスイッチ回路群の構成法とし
て前記ダーリントン接続の複数トランジスタをさらに縦
積みして接続したものを用い、これらを連動制御してな
ることを特徴とする請求項6記載のトリミング回路。 - 【請求項8】 前記ツェナーザップダイオードの代わり
にヒューズ抵抗に置き換えてトリミングを行うことを特
徴とする請求項1記載のトリミング回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001251032A JP2003068858A (ja) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | トリミング回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001251032A JP2003068858A (ja) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | トリミング回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003068858A true JP2003068858A (ja) | 2003-03-07 |
Family
ID=19079745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001251032A Pending JP2003068858A (ja) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | トリミング回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003068858A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005043549A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Infineon Technologies Ag | Zener-zap memory |
| JP2006216676A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
-
2001
- 2001-08-22 JP JP2001251032A patent/JP2003068858A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005043549A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Infineon Technologies Ag | Zener-zap memory |
| US7417839B2 (en) | 2003-10-30 | 2008-08-26 | Infineon Technologies Ag | Zener-zap memory |
| JP2006216676A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
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