JP2003048168A - Resin binder thin blade abrasive tool - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】研削比が大きい樹脂結合材薄刃砥粒工具を提供
する。
【解決手段】平均粒子径５μｍのダイヤモンド砥粒１０
体積％と、平均粒子径０．６μｍの球状アルミナ３０体
積％と、径０．０１〜０．０２μｍ、長さ０．２〜２μ
ｍの酸化スズウィスカー１．５体積％とを、樹脂結合材
５８．５体積％で保持した薄板状の砥粒保持部を有する
樹脂結合材薄刃砥粒工具。
(57) [Summary] (with correction) [PROBLEMS] To provide a resin binder thin blade abrasive tool having a high grinding ratio. SOLUTION: Diamond abrasive grains 10 having an average particle diameter of 5 μm.
% By volume, 30% by volume of spherical alumina having an average particle diameter of 0.6 μm, a diameter of 0.01 to 0.02 μm, and a length of 0.2 to 2 μm.
A resin-bonded material thin blade abrasive tool having a thin plate-shaped abrasive grain holding portion that holds 1.5% by volume of tin oxide whiskers of 5 m in 58.5% by volume of a resinous binder.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂結合材薄刃砥
粒工具に関する。より詳細には、超砥粒と無機質充填材
を樹脂結合材で保持した薄板状の砥粒保持部を有する樹
脂結合材薄刃砥粒工具に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin bond thin blade abrasive grain tool. More specifically, the present invention relates to a resin-bonded thin blade abrasive grain tool having a thin plate-shaped abrasive grain holding portion that holds superabrasive grains and an inorganic filler with a resin binder.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シリコンウェハ・水晶・石英などの硬質
脆性材料、金属材料などを切断加工するために、厚み寸
法が例えば１ｍｍ以下の比較的小さな薄刃砥石が用いら
れている。例えば、半導体ウェハにおいてマトリックス
状に配列された半導体素子を結晶方位に拘わらず垂直面
でペレットに分割するためのダイシング工程において用
いられる切断工具がそれである。2. Description of the Related Art In order to cut and process hard and brittle materials such as silicon wafers, quartz and quartz, and metallic materials, a relatively small-sized grindstone having a thickness of 1 mm or less is used. For example, it is a cutting tool used in a dicing process for dividing semiconductor elements arranged in a matrix on a semiconductor wafer into pellets on a vertical surface regardless of the crystal orientation.
【０００３】従来、このような切断工具としては、ダイ
ヤモンド、ｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）などの超砥粒と
充填材を樹脂結合材で保持した薄い円盤状のブレードで
ある樹脂結合材薄刃砥粒工具が用いられていた。充填材
としては、材質がアルミナ、ＳｉＣなどの一般砥粒を用
いることがほとんどである。充填材は、工具の性能向
上、弾性率・強度など機械的物性を向上させる等の目的
で混入される。充填材の粒径は工具の性能・強度を向上
させるため細かい方が望ましいが、微粒になるほど分散
が難しく成形性も悪くなることから、超砥粒の粒径に対
し８０％以下程度にすることが多い。超砥粒の平均粒子
径を例えば１０μｍ程度とした場合、平均粒子径８μｍ
程度の充填材を用いることになる。Conventionally, as such a cutting tool, a resin-bonding material thin blade abrasive grain which is a thin disk-shaped blade in which a super-abrasive grain such as diamond or cBN (cubic boron nitride) and a filler are held by a resin-bonding material is used. Tools were being used. Most of the fillers used are general abrasives such as alumina and SiC. The filler is mixed for the purpose of improving the performance of the tool and improving mechanical properties such as elastic modulus and strength. It is desirable that the particle size of the filler is fine in order to improve the performance and strength of the tool, but the finer the particle, the more difficult it is to disperse and the worse the formability. There are many. When the average particle diameter of superabrasive grains is, for example, about 10 μm, the average particle diameter is 8 μm.
Some filler will be used.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の樹
脂結合材薄刃砥粒工具は、研削比が小さいという問題点
を有していた。本発明は、このような問題点に鑑みてな
されたものであり、本発明の目的は、研削比が大きい樹
脂結合材薄刃砥粒工具を提供することである。However, the conventional resin-bonded material thin blade abrasive grain tool has a problem that the grinding ratio is small. The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a resin-bonded material thin blade abrasive grain tool having a large grinding ratio.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、超砥粒
と前記超砥粒よりも硬度が小さい有効量の無機質充填材
を樹脂結合材で保持した薄板状の砥粒保持部を有する樹
脂結合材薄刃砥粒工具であって、前記無機質充填材は、
平均粒子径が前記超砥粒の平均粒子径よりも小さい球形
ないし略球形の無機質粒子と、短径ｄが前記超砥粒の平
均粒子径Ｄよりも小さくｄ／Ｄの値が０．８以下の強化
繊維である樹脂結合材薄刃砥粒工具により、上記目的を
達成することができる。According to the present invention, there is provided a thin plate-like abrasive grain holding portion in which a super-abrasive grain and an effective amount of an inorganic filler having a hardness smaller than that of the super-abrasive grain are retained by a resin binder. A resin binder thin blade abrasive tool, wherein the inorganic filler is
Spherical or substantially spherical inorganic particles having an average particle size smaller than the average particle size of the superabrasive grains, and a minor axis d smaller than the average particle size D of the superabrasive grains and a d / D value of 0.8 or less. The above object can be achieved by the resin-bonded thin blade abrasive grain tool which is the reinforced fiber.
【０００６】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具では、次
のようにすることができる。前記砥粒保持部における前
記超砥粒と前記無機質充填材の合計の体積率は、２５〜
７０体積％にすることができる。前記砥粒保持部におけ
る前記球形ないし略球形の無機質粒子の体積率は、５体
積％以上（好ましくは２０体積％以上）にすることがで
きる。前記砥粒保持部における前記強化繊維の体積率
は、０．２〜８体積％（好ましくは０．５〜５体積％、
より好ましくは１〜３体積％）にすることができる。The resin-bonded thin blade abrasive grain tool of the present invention can be arranged as follows. The total volume ratio of the superabrasive grains and the inorganic filler in the abrasive grain holding portion is 25 to 25.
It can be 70% by volume. The volume ratio of the spherical or substantially spherical inorganic particles in the abrasive grain holding portion can be 5% by volume or more (preferably 20% by volume or more). The volume ratio of the reinforcing fibers in the abrasive grain holding portion is 0.2 to 8% by volume (preferably 0.5 to 5% by volume,
It is more preferably 1 to 3% by volume).
【０００７】前記超砥粒は、平均粒子径５０μｍ以下
（好ましくは１０μｍ以下）のダイヤモンド砥粒及び立
方晶窒化ホウ素砥粒のうちの１種以上にすることができ
る。前記球形ないし略球形の無機質粒子は、平均粒子径
１μｍ以下で球形ないし略球形のシリカ粒子及びアルミ
ナ粒子のうちの１種以上にすることができる。前記強化
繊維は、径を１μｍ以下（好ましくは０．１μｍ以下）
にすることができる。The superabrasive grains may be one or more of diamond grains and cubic boron nitride grains having an average grain size of 50 μm or less (preferably 10 μm or less). The spherical or substantially spherical inorganic particles may be one or more of spherical or substantially spherical silica particles and alumina particles having an average particle diameter of 1 μm or less. The reinforcing fiber has a diameter of 1 μm or less (preferably 0.1 μm or less).
Can be
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具
は、好ましくは、超砥粒と、有効量の無機質充填材が樹
脂結合材中に分散して保持されている薄板状の砥粒保持
部（一般的には、回転軸に取り付けるための厚さ方向に
貫通する貫通孔を中央部に有する薄い円盤状の砥粒保持
部）を有するものにすることができる。本発明における
超砥粒は、硬度がｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）と同等以
上の砥粒である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The resin-bonded thin blade abrasive grain tool of the present invention is preferably a thin plate-like abrasive in which superabrasive grains and an effective amount of an inorganic filler are dispersed and retained in the resin-bonded material. It may have a grain holding portion (generally, a thin disc-shaped abrasive grain holding portion having a through hole penetrating in the thickness direction for attachment to the rotary shaft in the central portion). The superabrasive grains in the present invention are abrasive grains having a hardness equal to or higher than that of cBN (cubic boron nitride).
【０００９】本発明における無機質充填材は、併用する
超砥粒よりも硬度が小さいものであり、アルミナ砥粒等
の一般砥粒も含まれる。また、無機質充填材は、併用す
る超砥粒の平均粒子径よりも平均粒子径が小さい球形な
いし略球形の無機質粒子と、併用する超砥粒の平均粒子
径Ｄよりも短径（太さ）ｄが小さくｄ／Ｄの値が０．８
以下の強化繊維である。強化繊維の材質は、好ましく
は、セラミックス、金属、金属化合物等である。前記ｄ
／Ｄの値は、好ましくは０よりも大きく０．７以下（よ
り好ましくは０．６５以下）にする。強化繊維の短径
（太さ）ｄは、好ましくは、０．００５μｍ以上であ
る。強化繊維の長さは、好ましくは５０μｍ以下（より
好ましくは４０μｍ以下、さらに好ましくは３０μｍ以
下）である。The inorganic filler in the present invention has a hardness lower than that of the superabrasive grains used in combination, and includes general abrasive grains such as alumina abrasive grains. Further, the inorganic filler is a spherical or substantially spherical inorganic particle having an average particle size smaller than the average particle size of the superabrasive grains used in combination, and a shorter diameter (thickness) than the average particle size D of the superabrasive grains used in combination. d is small and d / D is 0.8
The following reinforcing fibers. The material of the reinforcing fiber is preferably ceramics, metal, metal compound or the like. The d
The value of / D is preferably greater than 0 and 0.7 or less (more preferably 0.65 or less). The minor axis (thickness) d of the reinforcing fiber is preferably 0.005 μm or more. The length of the reinforcing fiber is preferably 50 μm or less (more preferably 40 μm or less, further preferably 30 μm or less).
【００１０】前記砥粒保持部における前記球形ないし略
球形の無機質粒子の体積率は、５体積％以上６５体積％
以下（好ましくは１０体積％以上６０体積％以下、より
好ましくは１５体積％以上５５体積％以下、さらに好ま
しくは２０体積％以上５０体積％以下、特に好ましくは
２５体積％以上４５体積％以下）にすることができる。
前記砥粒保持部における樹脂結合材の体積率は、３０〜
７５体積％にすることができる。The volume ratio of the spherical or substantially spherical inorganic particles in the abrasive grain holding portion is from 5% by volume to 65% by volume.
(Preferably 10% by volume or more and 60% by volume or less, more preferably 15% by volume or more and 55% by volume or less, further preferably 20% by volume or more and 50% by volume or less, particularly preferably 25% by volume or more and 45% by volume or less) can do.
The volume ratio of the resin binder in the abrasive grain holding portion is 30 to
It can be 75% by volume.
【００１１】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具における
砥粒保持部の部分は、例えば、超砥粒と無機質充填材を
分散した未硬化の流動性樹脂結合材を硬化させて形成す
ることができる。以下、本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工
具についてより詳細に説明する。The portion of the abrasive grain holding portion in the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention can be formed, for example, by curing an uncured fluid resin binder in which superabrasive grains and an inorganic filler are dispersed. it can. Hereinafter, the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention will be described in more detail.
【００１２】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具では、工
具の寿命を確保するため、超砥粒を用いている。超砥粒
の種類としては、材質がダイヤモンド、ｃＢＮ（立方晶
窒化ホウ素）などの砥粒がある。本発明における超砥粒
としては、ダイヤモンド砥粒及びｃＢＮ砥粒のうちの１
種以上を用いることができる。The resin-bonded thin blade abrasive grain tool of the present invention uses superabrasive grains in order to secure the life of the tool. The types of superabrasive grains include abrasive grains made of diamond, cBN (cubic boron nitride), or the like. As the superabrasive grain in the present invention, one of diamond grain and cBN grain
More than one species can be used.
【００１３】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具の砥粒保
持部における超砥粒の体積率は、３体積％以上５０体積
％以下が望ましい。前記体積率が３体積％よりも少なす
ぎると加工ができない傾向があり、前記体積率が５０体
積％よりも多すぎると超砥粒の保持強度が確保できない
傾向があるからである。前記体積率は、より好ましく
は、５体積％以上４５体積％以下、さらに好ましくは７
体積％以上４０体積％以下、が望ましい。The volume ratio of superabrasive grains in the abrasive grain holding portion of the resin-bonded thin blade abrasive grain tool of the present invention is preferably 3% by volume or more and 50% by volume or less. This is because if the volume ratio is less than 3% by volume, processing tends to be impossible, and if the volume ratio is more than 50% by volume, the holding strength of the superabrasive grains tends to be insufficient. The volume ratio is more preferably 5% by volume or more and 45% by volume or less, further preferably 7% by volume.
It is desirable that the content is at least 40% by volume.
【００１４】超砥粒の粒径は、平均粒子径１μｍ以上５
０μｍ以下が望ましい。超砥粒の平均粒子径が１μｍ未
満の場合には、無機質充填材を併用する時に、超砥粒の
径に応じて無機質充填材を細かくする必要があり、製造
時における樹脂結合材への分散が実質的に難しくなるか
らである。なお、超砥粒は、粒径が異なるものを必要に
応じて混合して使用しても良い。例えば、平均粒子径１
０μｍのダイヤモンド砥粒と、平均粒子径３μｍのダイ
ヤモンド砥粒を混合することも可能である。The grain size of the superabrasive grains is 5 μm or more in average grain size.
It is preferably 0 μm or less. When the average particle size of the superabrasive grains is less than 1 μm, it is necessary to make the inorganic filler finer according to the diameter of the superabrasive grains when the inorganic filler is also used, and the dispersion in the resin binder during production is required. Is practically difficult. The superabrasive grains having different grain sizes may be mixed and used as needed. For example, average particle size 1
It is also possible to mix 0 μm diamond abrasive grains and diamond abrasive grains having an average particle diameter of 3 μm.
【００１５】無機質充填材の材質としては、次のような
ものが望ましい。即ち、前記材質としては、併用する超
砥粒よりも硬度が小さく、研磨剤として使用可能なもの
（例えば、ＳｉＣ、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、Ｃｒ
２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｆｅ２Ｏ３、Ｂ ４Ｃ、Ｓｉ３Ｎ４、
ＳｉＯ２等）は全て用いることができる。The material of the inorganic filler is as follows.
Things are desirable. That is, as the above-mentioned material,
Harder than abrasive grains and usable as an abrasive
(For example, SiC, AlTwoOThree, ZrOTwo, Cr
TwoOThree, CeOTwo, FeTwoOThree, B FourC, SiThreeNFour,
SiOTwoEtc.) can all be used.
【００１６】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具における
砥粒保持部を、光硬化性樹脂を含有する未硬化の流動性
樹脂結合材に超砥粒と無機質充填材を分散させて硬化し
て形成する場合の無機質充填材は、光の吸収・反射など
がないことが望ましく、材質としては、Ａｌ２Ｏ３、Ｓ
ｉＯ２が望ましい。中でもＡｌ２Ｏ３は硬度の面でＳｉ
Ｏ２に対して優れるため望ましい。The abrasive grain holding portion of the resin-bonded material thin blade abrasive grain tool of the present invention is cured by dispersing superabrasive grains and an inorganic filler in an uncured fluid resin binder containing a photocurable resin. In the case of forming the inorganic filler, it is desirable that the inorganic filler does not absorb or reflect light, and the materials include Al 2 O 3 and S.
iO 2 is preferred. Among them, Al 2 O 3 is Si in terms of hardness.
It is desirable because it is superior to O 2 .
【００１７】無機質充填材は２種以上のものを組み合わ
せて使用することも可能である。例えば、平均粒子径５
μｍのＧＣ砥粒（炭化珪素系砥粒）と平均粒子径０．５
μｍのＳｉＯ２粉末を組み合わせて使用することができ
る。It is also possible to use two or more kinds of inorganic fillers in combination. For example, average particle size 5
μm GC abrasive grains (silicon carbide type abrasive grains) and average particle size 0.5
A combination of μm SiO 2 powders can be used.
【００１８】無機質充填材の平均粒子径は、併用する超
砥粒の平均粒子径の８０％以下が望ましく、より好まし
くは７０％以下、さらに好ましくは６５％以下である。
無機質充填材の平均粒子径が、併用する超砥粒の平均粒
子径の８０％よりも大きいと超砥粒の脱落を促し加工時
の工具の摩耗量が大きくなる傾向があるからである。無
機質充填材の平均粒子径は、例えば、１０μｍ以下にす
ることができる。The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 80% or less of the average particle diameter of the superabrasive grains used in combination, more preferably 70% or less, and further preferably 65% or less.
This is because if the average particle size of the inorganic filler is larger than 80% of the average particle size of the superabrasive grains used together, the removal of the superabrasive grains is promoted, and the amount of wear of the tool during machining tends to increase. The average particle diameter of the inorganic filler can be, for example, 10 μm or less.
【００１９】特に、併用する超砥粒の平均粒子径が１０
μｍ以下の場合、超砥粒が脱落しやすく、かつ、突き出
し量を確保しにくい傾向があることから、無機質充填材
の粒径はできる限り細かいことが望ましい。ただし、無
機質充填材の粒径は、細かいほど樹脂結合材に分散させ
にくいことから、０．１μｍ以上が望ましい。In particular, the average particle size of the superabrasive grains used in combination is 10
If it is less than μm, the superabrasive grains tend to fall off and the protrusion amount tends to be difficult to secure, so it is desirable that the particle size of the inorganic filler be as small as possible. However, the finer the particle size of the inorganic filler, the more difficult it is to disperse it in the resin binder, so 0.1 μm or more is desirable.
【００２０】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具における
砥粒保持部に含有させる無機質充填材である、球形ない
し略球形の無機質粒子は、砥粒保持部への充填量を増や
すことができかつ製造時における硬化前の流動性樹脂結
合材の粘度を下げることができる。また、強化繊維のよ
うにアスペクト比の高いものは樹脂の補強材として好ま
しいが、製造時における硬化前の流動性樹脂結合材の粘
度を上げないようにするという点から、本発明の樹脂結
合材薄刃砥粒工具の砥粒保持部における添加量は好まし
くは８体積％以下、より好ましくは５体積％以下とす
る。The spherical or substantially spherical inorganic particles, which are the inorganic fillers contained in the abrasive grain holding portion in the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention, can increase the filling amount in the abrasive grain holding portion and The viscosity of the fluid resin binder before curing during production can be reduced. In addition, those having a high aspect ratio such as reinforced fibers are preferable as a reinforcing material for the resin, but from the viewpoint of not increasing the viscosity of the fluid resin binder before curing during production, the resin binder of the present invention is used. The amount of addition in the abrasive holding portion of the thin blade abrasive tool is preferably 8% by volume or less, more preferably 5% by volume or less.
【００２１】無機質充填材は複数の種類のものを用いる
ことができる。無機質充填材の一種が強化繊維（例え
ば、ウィスカー）の場合、強化繊維の短径（太さ）の大
きさは、併用する超砥粒の平均粒子径の８０％以下（よ
り好ましくは７０％以下、さらに好ましくは６５％以
下）が好ましい。なお、細かいものでは長径が１μｍ程
度の強化繊維も存在するが、製造時において強化繊維を
分散させた樹脂が流動性を損なわない範囲で添加するこ
とは有効であるし、使用する樹脂の選択によって可能で
ある。例えば、強化繊維表面が親水性であれば、樹脂の
構造にＯＨなどの親水基を含むもの（例えば、ＰＥＴ
Ａ：ペンタエリスリトールトリアクリレート）を選択す
ると樹脂への分散に効果がある。A plurality of types of inorganic fillers can be used. When one type of inorganic filler is a reinforcing fiber (for example, whiskers), the size of the minor axis (thickness) of the reinforcing fiber is 80% or less (more preferably 70% or less) of the average particle diameter of the superabrasive grains used in combination. , And more preferably 65% or less). It should be noted that although a fine fiber has a reinforcing fiber with a major axis of about 1 μm, it is effective to add a resin in which the reinforcing fiber is dispersed during production so long as it does not impair the fluidity. It is possible. For example, if the surface of the reinforcing fiber is hydrophilic, the structure of the resin contains a hydrophilic group such as OH (for example, PET).
A: Pentaerythritol triacrylate) is effective for dispersion in the resin.
【００２２】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具の砥粒保
持部における無機質充填材の体積率は、弾性率・強度・
耐熱性を確保するのに１０体積％以上（より好ましくは
１５体積％以上、さらに好ましくは２０体積％以上）が
望ましい。The volume ratio of the inorganic filler in the abrasive grain holding portion of the resin-bonded material thin blade abrasive grain tool of the present invention is the elastic modulus, strength, and
In order to secure heat resistance, 10% by volume or more (more preferably 15% by volume or more, further preferably 20% by volume) is desirable.
【００２３】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具の砥粒保
持部における超砥粒と無機質充填材の合計の体積率は、
２５体積％以上７０体積％以下（より好ましくは３０体
積％以上６５体積％以下、さらに好ましくは３５体積％
以上６０体積％以下）が望ましい。さらに、本発明の樹
脂結合材薄刃砥粒工具の砥粒保持部には、無機質充填材
とは別に、性能の調整用、導電性の付与を目的として、
グラファイトや金属粉末等を３０体積％以下で混入する
ことができる。The total volume ratio of the superabrasive grains and the inorganic filler in the abrasive grain holding portion of the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention is
25 volume% or more and 70 volume% or less (more preferably 30 volume% or more and 65 volume% or less, further preferably 35 volume%
60% by volume or less) is desirable. Furthermore, the abrasive grain holding portion of the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention, apart from the inorganic filler, for the purpose of adjusting the performance and imparting conductivity,
It is possible to mix graphite, metal powder, etc. in an amount of 30% by volume or less.
【００２４】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具における
前記砥粒保持部の樹脂結合材は、少なくとも２種類の流
動性樹脂の混合物の硬化部を含有することができる。前
記少なくとも２種類の流動性樹脂は、一部の種類の流動
性樹脂のみを選択的に硬化させることができるように、
少なくとも２種類の流動性樹脂が組み合わされているも
のにすることができる。The resin binder in the abrasive grain holding portion in the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention may contain a hardened portion of a mixture of at least two kinds of fluid resins. The at least two types of fluid resins are such that only some types of fluid resins can be selectively cured,
It may be a combination of at least two kinds of fluid resins.
【００２５】前記少なくとも２種類の流動性樹脂の混合
物の硬化部は、光硬化性樹脂と熱硬化性樹脂の混合物の
硬化部にすることができる。また、前記少なくとも２種
類の流動性樹脂の混合物の硬化部は、ラジカル重合樹脂
（好ましくは、アクリル樹脂）とカチオン重合樹脂（好
ましくは、エポキシ樹脂）の混合物の硬化部にすること
ができる。前記砥粒保持部の樹脂結合材中に占める硬化
したラジカル重合樹脂の含有率は、５０重量％以上９５
重量％以下にすることができる。The hardened part of the mixture of at least two kinds of fluid resins can be a hardened part of the mixture of photocurable resin and thermosetting resin. Further, the cured part of the mixture of at least two kinds of fluid resins can be a cured part of a mixture of radical polymerization resin (preferably acrylic resin) and cationic polymerization resin (preferably epoxy resin). The content of the hardened radical-polymerized resin in the resin binder of the abrasive grain holding portion is 50% by weight or more and 95% or more.
It can be up to wt%.
【００２６】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具における
樹脂結合材の部分の形成に好適に用いることのできる流
動性樹脂結合材としては、少なくとも２種類の流動性樹
脂を含有する流動性樹脂結合材であって、前記少なくと
も２種類の流動性樹脂は、一部の種類の流動性樹脂のみ
を選択的に硬化させることができるように、少なくとも
２種類の流動性樹脂が組み合わされているものがある。The resinous binder which can be preferably used for forming the resinous binder portion in the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention is a fluidic resin bond containing at least two kinds of fluidic resins. In the material, the at least two kinds of fluid resins are a combination of at least two kinds of fluid resins so that only some kinds of fluid resins can be selectively cured. is there.
【００２７】前記流動性樹脂結合材は、前記少なくとも
２種類の流動性樹脂として、光硬化性樹脂（好ましく
は、アクリル樹脂）と熱硬化性樹脂（好ましくは、エポ
キシ樹脂）を含有することができる。前記流動性樹脂結
合材がラジカル重合樹脂（例えば、アクリル樹脂）とカ
チオン重合樹脂（例えば、エポキシ樹脂）を含有する場
合、前記流動性樹脂結合材は、硬化触媒として、ラジカ
ル重合開始剤とカチオン重合開始剤を含有することがで
きる。The fluid resin binder may contain a photocurable resin (preferably an acrylic resin) and a thermosetting resin (preferably an epoxy resin) as the at least two kinds of fluid resins. . When the fluid resin binder contains a radical polymerization resin (for example, an acrylic resin) and a cationic polymerization resin (for example, an epoxy resin), the fluid resin binder serves as a curing catalyst and a radical polymerization initiator and a cationic polymerization resin. It may contain an initiator.
【００２８】前記流動性樹脂結合材は、前記ラジカル重
合樹脂のうちの１０重量％以下は一官能アクリル酸エス
テルであり、前記ラジカル重合樹脂のうちの５０重量％
以上は三官能以上の官能基を持つアクリル酸エステルで
あり、前記カチオン重合樹脂のうちの５０重量％以上は
脂環式エポキシ樹脂であるようにすることができる。In the fluid resin binder, 10% by weight or less of the radical polymerized resin is a monofunctional acrylic ester, and 50% by weight of the radical polymerized resin.
The above is an acrylic ester having a trifunctional or higher functional group, and 50% by weight or more of the cationically polymerized resin can be an alicyclic epoxy resin.
【００２９】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具における
硬化した樹脂結合材の部分は、未硬化の流動性樹脂結合
材を硬化させて形成することができる。このような流動
性樹脂結合材としては、例えばアクリル酸エステルなど
のラジカル重合樹脂と、エポキシ樹脂などのカチオン重
合樹脂がある。この場合、前記樹脂の硬化触媒として、
ラジカル重合触媒とカチオン重合触媒の両者を使用する
ことができる。このように重合方式の異なる流動性樹脂
を用いることで、次のようなメリットがある。The hardened resin binder portion of the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention can be formed by hardening an uncured fluid resin binder. Examples of such fluid resin binders include radical polymerization resins such as acrylic acid esters and cationic polymerization resins such as epoxy resins. In this case, as a curing catalyst for the resin,
Both radical polymerization catalysts and cationic polymerization catalysts can be used. The use of fluid resins having different polymerization methods in this way has the following advantages.
【００３０】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具の製造工
程において、流動性樹脂結合材の硬化工程を二回にわけ
ることができる。具体的には、例えば、アクリル樹脂と
エポキシ樹脂を混合した流動性樹脂を用い、光ラジカル
重合でアクリル樹脂部分を、熱カチオン重合でエポキシ
樹脂部分を硬化させることができる。このようにすれ
ば、架橋密度の高い、例えば三官能以上のアクリル酸エ
ステルを用いても、光硬化過程でエポキシ樹脂部分は硬
化しないため、光硬化しただけの半硬化物はある程度の
柔軟性を残すことになる。よって、シート状に硬化され
た半硬化物の形状を整えることが容易となる。その後、
半硬化物を板等で挟み熱硬化を行うことで、必要とされ
る耐熱性を確保するとともに、収縮を原因とする変形を
防止することが可能となる。よって、製造容易性と加工
性能の両立を達成することが可能となる。In the manufacturing process of the resin binder thin blade abrasive grain tool of the present invention, the hardening process of the fluid resin binder can be divided into two steps. Specifically, for example, a fluid resin obtained by mixing an acrylic resin and an epoxy resin can be used to cure the acrylic resin portion by photoradical polymerization and the epoxy resin portion by thermal cationic polymerization. By doing so, even if an acrylic ester having a high crosslinking density, for example, a trifunctional or higher functional ester, is used, the epoxy resin portion does not cure during the photocuring process, so the semi-cured product just photocured has some flexibility. I will leave. Therefore, it becomes easy to arrange the shape of the semi-cured product cured into a sheet. afterwards,
By sandwiching the semi-cured product with a plate or the like and performing heat curing, it becomes possible to secure the required heat resistance and prevent deformation due to shrinkage. Therefore, it becomes possible to achieve both the ease of manufacturing and the processing performance.
【００３１】ここでラジカル重合樹脂は、炭素二重結合
を多く含む多官能樹脂を多く含むことが好ましい。例え
ば、多官能樹脂としては、三官能のアクリル酸エステル
であるＴＭＰＴＡ（トリメチロールプロパントリアクリ
レート）及びその変性品などがある（東亜合成、日本化
薬ほか）。また、強度・接着性を向上させる樹脂とし
て、例えば、ポリヒドロキシアクリルエステル（昭和高
分子ほか）を含むことができる。一分子あたりの官能基
の数であるが、二官能以上のものが望ましい。一官能の
樹脂は粘度を下げるのに非常に大きな効果があるが耐熱
性を著しく損なう傾向があるため、含ませたとしてもラ
ジカル重合樹脂中の好ましくは１０重量％以下にとどめ
ておくべきである。Here, the radical-polymerized resin preferably contains a large amount of a polyfunctional resin containing a large number of carbon double bonds. For example, polyfunctional resins include TMPTA (trimethylolpropane triacrylate), which is a trifunctional acrylic ester, and modified products thereof (Toagosei, Nippon Kayaku, etc.). Further, as the resin for improving the strength / adhesiveness, for example, polyhydroxy acrylic ester (Showa Polymer Co., Ltd.) can be included. The number of functional groups per molecule is preferably bifunctional or higher. A monofunctional resin has a very large effect in reducing the viscosity, but it tends to significantly impair the heat resistance. Therefore, even if it is contained, it should preferably be kept at 10% by weight or less in the radical polymerization resin. .
【００３２】次にカチオン重合樹脂は例えば、カチオン
重合性に優れる脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学ほ
か）を主に用いることが望ましい。他に強度向上などを
目的にビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（旭電化工業ほ
か）や、耐熱性向上を目的に多官能エポキシ樹脂（ナガ
セ化成工業ほか）を混入させることができる。ここで
も、エポキシ樹脂一分子あたりのエポキシ基の数は２以
上のものが望ましく、一官能の樹脂は１０重量％以下に
することが望ましい。Next, as the cationically polymerized resin, it is desirable to mainly use, for example, an alicyclic epoxy resin (Daicel Chemical Co., Ltd.) which is excellent in cationically polymerizable property. In addition, a bisphenol A type epoxy resin (Asahi Denka Kogyo etc.) may be mixed for the purpose of improving strength, and a polyfunctional epoxy resin (Nagase Kasei Kogyo etc.) may be mixed for the purpose of improving heat resistance. Also in this case, the number of epoxy groups per molecule of the epoxy resin is preferably 2 or more, and the monofunctional resin is preferably 10% by weight or less.
【００３３】流動性樹脂として少なくともラジカル重合
樹脂とカチオン重合樹脂を使用する場合において、ラジ
カル重合樹脂とカチオン重合樹脂の重量比は、好ましく
は５０：５０〜９５：５、より好ましくは６０：４０〜
９０：１０、さらに好ましくは６５：３５〜８５：１５
である。When at least a radical polymerization resin and a cationic polymerization resin are used as the fluid resin, the weight ratio of the radical polymerization resin to the cationic polymerization resin is preferably 50:50 to 95: 5, more preferably 60:40 to.
90:10, more preferably 65:35 to 85:15
Is.
【００３４】使用する流動性樹脂がラジカル重合樹脂と
カチオン重合樹脂の場合において、全樹脂分に占めるラ
ジカル重合樹脂の配合比率は、例えば、５０重量％以上
９５重量％未満が望ましい。前記配合比率が５０重量％
よりも少なすぎるとラジカル重合後の硬化が不十分とな
り取り扱いが不能となる傾向があり、９５重量％よりも
多すぎるとラジカル重合後の硬化が十分すぎてラジカル
重合後の取り扱いが難しくなる傾向があるからである。
前記配合比率は、より好適には６０重量％以上９０重量
％未満、さらに好適には、６５重量％以上８５重量％未
満、が望ましい。When the fluid resin used is a radical polymerization resin and a cationic polymerization resin, the mixing ratio of the radical polymerization resin to the total resin content is preferably 50% by weight or more and less than 95% by weight. The blending ratio is 50% by weight
If the amount is too small, the curing after the radical polymerization tends to be insufficient and the handling tends to be impossible. If the amount is more than 95% by weight, the curing after the radical polymerization tends to be excessive and the handling after the radical polymerization tends to be difficult. Because there is.
The blending ratio is more preferably 60% by weight or more and less than 90% by weight, and further preferably 65% by weight or more and less than 85% by weight.
【００３５】ラジカル重合樹脂の重合方法としては、光
重合あるいは熱重合のどちらも可能である。カチオン重
合樹脂の重合方法としては、熱重合が好ましい。従っ
て、流動性樹脂結合材がラジカル重合樹脂とカチオン重
合樹脂を含有する場合には、光重合（例えば、紫外線に
よる光ラジカル重合）によりラジカル重合樹脂を硬化さ
せ、熱重合（例えば、１５０℃の熱カチオン重合）によ
りカチオン重合樹脂を硬化させることができ、また、比
較的低温での熱重合（例えば、１００℃の熱ラジカル重
合）によりラジカル重合樹脂を硬化させ、前記ラジカル
重合樹脂を硬化させた温度よりも高温での熱重合（例え
ば、１５０℃の熱カチオン重合）によりカチオン重合樹
脂を硬化させることができる。The radical polymerization resin can be polymerized by either photopolymerization or thermal polymerization. As a method for polymerizing the cationically polymerized resin, thermal polymerization is preferred. Therefore, when the fluid resin binder contains a radical polymerization resin and a cationic polymerization resin, the radical polymerization resin is cured by photopolymerization (for example, photoradical polymerization by ultraviolet rays) and heat polymerization (for example, heat treatment at 150 ° C.) is performed. The cationic polymerization resin can be cured by (cationic polymerization), and the radical polymerization resin can be cured by thermal polymerization at a relatively low temperature (for example, thermal radical polymerization at 100 ° C.), and the temperature at which the radical polymerization resin is cured. The cationic polymerization resin can be cured by thermal polymerization at a higher temperature (for example, thermal cationic polymerization at 150 ° C.).
【００３６】熱ラジカル重合開始剤としては、例えば、
パーオキサイド系（日本油脂）、アゾ系（大塚化学）が
ある。光ラジカル重合開始剤としては、例えば、ベンジ
ルジメチルケタール、ビスアシルフォスフィンオキサイ
ド（チバの商品名イルガキュアシリーズ）がある。カチ
オン重合開始剤としては、例えば、スルホニウム塩系
（旭電化工業、三新化学）、シラノール系等がある。Examples of the thermal radical polymerization initiator include:
There are peroxide type (NOF Corporation) and azo type (Otsuka Chemical). Examples of the photoradical polymerization initiator include benzyl dimethyl ketal and bisacylphosphine oxide (Ciba's trade name Irgacure series). Examples of the cationic polymerization initiator include sulfonium salt type (Asahi Denka Kogyo, Sanshin Chemical Co., Ltd.), silanol type and the like.
【００３７】流動性樹脂結合材の流動性樹脂には、必要
に応じて、増感材、レベリング剤、可塑剤、消泡剤等を
混入することができる。If necessary, a sensitizer, a leveling agent, a plasticizer, an antifoaming agent, etc. can be mixed with the fluid resin of the fluid resin binder.
【００３８】[0038]
【実施例】本発明の一実施例として、流動性樹脂結合材
として光硬化樹脂を用いた場合の樹脂結合材薄刃砥粒工
具の製造方法を示し、製造した工具をソーダガラスの溝
入加工に適用した場合の実験結果について説明する。な
お、図面の図１〜２は、それぞれ、本発明の工具の製造
方法の概略を説明するための図である。図２における混
合物は、流動性砥石材料を示す。EXAMPLE As an example of the present invention, a method for manufacturing a resin-bonded material thin-edged abrasive grain tool when a photocurable resin is used as a fluid resin-bonded material is shown, and the manufactured tool is used for grooving soda glass. The experimental results when applied will be described. 1 to 2 of the drawings are views for explaining the outline of the method for manufacturing a tool of the present invention. The mixture in FIG. 2 represents a flowable stone material.
【００３９】［製造方法］
（１）下記原料を下記表１に示す割合で攪拌・混合
し、未硬化の流動性砥石材料を作成する。
次に流動性砥石材料を図２に示すような中央部に孔を
有する環状の型の環状端面に均一に塗布する。型の寸法
は外径φ５３ｍｍ、内径φ４０．５ｍｍである。なお、
型の環状端面にはあらかじめ離型性フィルム等をはって
おく。[Production Method] (1) The following raw materials are stirred and mixed at the ratios shown in Table 1 below to prepare an uncured fluid whetstone material. Next, the fluid grindstone material is uniformly applied to the annular end surface of the annular mold having a hole in the center as shown in FIG. The mold has an outer diameter of 53 mm and an inner diameter of 40.5 mm. In addition,
A release film or the like is preliminarily applied to the annular end surface of the mold.
【００４０】前記型の流動性砥石材料（図２の混合
物）の上にポリテトラフルオロエチレン（米国ｄｕ Ｐ
ｏｎｔ社のテフロン(登録商標)）樹脂シート、ガラス製
円盤、さらに均一に荷重がかかるように重しを載せる。
重しの重量は、約５ｋｇとした。
重しを載せることによって流動性砥石材料を均一に伸
ばした後、光（紫外線）照射（２４００Ｗ／ｃｍ２）を
行い硬化させる。光源には例えばメタルハライドランプ
等を用いる。光は、流動性砥石材料の塗布部に均一に当
たるようにし、光照射時間は１２０秒とした。
硬化後ガラス製円盤及び重しを取り除き、光硬化させ
た硬化体のバリとりを行う。Polytetrafluoroethylene (US du P
An ont Teflon (registered trademark) resin sheet, a glass disk, and a weight are placed so that a uniform load is applied.
The weight of the weight was about 5 kg. A fluid grindstone material is uniformly spread by placing a weight, and then light (ultraviolet) irradiation (2400 W / cm 2 ) is applied to cure the material. A metal halide lamp or the like is used as the light source. The light was made to uniformly hit the application part of the fluid grindstone material, and the light irradiation time was 120 seconds. After curing, the glass disk and weight are removed, and the photocured cured product is deburred.
【００４１】（２）工具を製造するために必要な厚みが
得られるまで上記〜を繰り返して（通常は３回、一
層の厚みは約７０μｍ）、２層の外層の間に少なくとも
１層の内層が存在する少なくとも３層の積層構造のシー
トを得る。
（３）得られた積層構造のシートを型からカッターナイ
フ等でとりはずす。
（４）得られた積層構造のシートの両側にポリテトラフ
ルオロエチレン樹脂シートを介してガラス製円盤等で挟
み、重しを載せ乾燥炉にて１２０℃で１２０分と２００
℃で１２０分のアフタキュアを行いブレードを得る。(2) The above steps (1) to (2) are repeated until the thickness required to manufacture the tool is obtained (usually 3 times, the thickness of one layer is about 70 μm), and at least one inner layer is formed between two outer layers. To obtain a sheet having a laminated structure of at least 3 layers. (3) Remove the obtained laminated sheet from the mold with a cutter knife or the like. (4) Both sides of the obtained laminated structure sheet are sandwiched by a glass disk or the like with a polytetrafluoroethylene resin sheet interposed therebetween, and a weight is placed on the sheet and dried in a drying oven at 120 ° C. for 120 minutes and 200 minutes.
After-curing is performed at 120 ° C. for 120 minutes to obtain a blade.
【００４２】 ［原材料の説明］ 結合材 ： 樹脂とこれに応じた重合開始剤を混合したもの 充填材 ： 平均粒子径０．６μｍの球状アルミナ 強化繊維 ： 酸化スズウィスカー、径０．０１〜０．０２μｍ、長さ０． ２〜２μｍ 砥粒 ： 平均粒子径５μｍのダイヤモンド砥粒[0042] [Description of raw materials] Binder: A mixture of resin and corresponding polymerization initiator Filler: Spherical alumina with an average particle size of 0.6 μm Reinforcing fiber: tin oxide whiskers, diameter 0.01 to 0.02 μm, length 0. 2 to 2 μm Abrasive grains: Diamond grains with an average particle size of 5 μm
【００４３】［調合内容］実施例及び比較例の調合内容
を表１に示す。なお、表１の中の数字の単位は体積％で
ある。[Preparation Contents] Table 1 shows the preparation contents of Examples and Comparative Examples. The unit of the numbers in Table 1 is% by volume.
【００４４】[0044]
【表１】 [Table 1]
【００４５】さらに、比較例２としては、ダイヤモンド
砥粒（平均粒子径５μｍ）の集中度が４０（１０体積
％）の市販品のブレードを用いた。Further, as Comparative Example 2, a commercially available blade having a diamond abrasive grain (average particle diameter of 5 μm) concentration of 40 (10% by volume) was used.
【００４６】樹脂内容は次のとおりである。即ち、結合
材は、表２のラジカル重合樹脂と表３のエポキシ樹脂を
重量％で８：２の比で混合した混合品である。なお、下
記表２〜３においては、樹脂本体の合計を１００ｗｔ％
とし、触媒は樹脂本体の合計を１００ｗｔ％として外添
加したものとして表している。The resin contents are as follows. That is, the binder is a mixed product in which the radical-polymerized resin of Table 2 and the epoxy resin of Table 3 are mixed in a weight ratio of 8: 2. In addition, in the following Tables 2 and 3, the total of the resin main body is 100 wt%.
In addition, the catalyst is expressed as an external addition with the total of the resin main body being 100 wt%.
【００４７】[0047]
【表２】 [Table 2]
【００４８】[0048]
【表３】 [Table 3]
【００４９】［製造結果］実施例１〜２、及び比較例１
は、問題なく製造できた。[Manufacturing Results] Examples 1 and 2 and Comparative Example 1
Was manufactured without any problems.
【００５０】 ［実験条件］ 加工装置 ：ディスコダイサー ＤＡＣ５５２ 被加工物 ：ソーダガラス（径φ１２０ｍｍ×厚み１ｍｍ） スピンドル回転速度：３００００ｒｐｍ 送り速度 ：試験条件２ｍｍ／ｓ、試験条件０．５ｍｍ／ｓ 切り込み深さ ：試験条件０．１ ｍｍ 、試験条件０．２ｍｍ クーラント ：水（２．５リットル／min） 切断距離 ：１２０ｍｍ、１カットを３回 ブレードサイズ ：外径φ５２×厚み０．２×内径φ４０（ｍｍ） ツルーイング砥石 ：ＷＡ８００Ｂ（樹脂結合材一般砥石） ドレス砥石 ：ＷＡ４０００Ｂ（樹脂結合材一般砥石） ドレス条件 ：送り１ｍｍ／ｓ、 切り込み０．２ｍｍ、１００ｍｍ[0050] [Experimental conditions] Processing equipment: Disco dicer DAC552 Workpiece: Soda glass (diameter φ120 mm x thickness 1 mm) Spindle rotation speed: 30000 rpm Feed rate: Test condition 2 mm / s, test condition 0.5 mm / s Depth of cut: test condition 0.1 mm, test condition 0.2 mm Coolant: Water (2.5 l / min) Cutting distance: 120mm, 1 cut 3 times Blade size: Outer diameter φ52 × thickness 0.2 × inner diameter φ40 (mm) Truing grindstone: WA800B (resin binding material general grindstone) Dress grindstone: WA4000B (resin binding material general grindstone) Dressing condition: Feed 1mm / s, Cut 0.2mm, 100mm
【００５１】［試験結果］実施例１〜２及び比較例１〜
２の各ブレードについて、上記試験条件を選択した場
合の上記実験条件による試験結果を表４に示す。加工面
の面品位はいずれも同等であった。[Test Results] Examples 1-2 and Comparative Examples 1--2
Table 4 shows the test results under the above-mentioned experimental conditions when the above-mentioned test conditions were selected for each blade of No. 2. The surface quality of the processed surface was the same.
【００５２】[0052]
【表４】 [Table 4]
【００５３】実施例１〜２及び比較例１〜２の各ブレー
ドについて、上記試験条件を選択した場合の上記実験
条件による試験結果を表５に示す。加工面の面品位はい
ずれも同等であった。Table 5 shows the test results of the blades of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 under the above experimental conditions when the above test conditions were selected. The surface quality of the processed surface was the same.
【００５４】[0054]
【表５】 [Table 5]
【００５５】なお、研削比概算値は、研削比概算値＝
（切込量）×（距離）×（本数）／（（外周）×（半径
摩耗量））の式から計算した。また、負荷電流値は、負
荷電流（Ａ）＝（加工時電流）−（無負荷電流）の式か
ら計算した。表４〜５によれば、試験条件及びの双
方とも各実施例は、それぞれ、加工面の面品位を維持し
つつ研削比が大きいという優れた加工性能を示している
ことがわかる。The estimated value of the grinding ratio is the estimated value of the grinding ratio =
It was calculated from the formula of (cut amount) × (distance) × (number of pieces) / ((outer circumference) × (radial wear amount)). The load current value was calculated from the formula of load current (A) = (current during processing) − (no-load current). According to Tables 4 to 5, it can be seen that both of the test conditions and the respective examples show excellent processing performance that the grinding ratio is large while maintaining the surface quality of the processed surface.
【００５６】[0056]
【発明の効果】本発明の樹脂結合材薄刃砥粒工具は、超
砥粒と前記超砥粒よりも硬度が小さい有効量の無機質充
填材を樹脂結合材で保持した薄板状の砥粒保持部を有す
る樹脂結合材薄刃砥粒工具であって、前記無機質充填材
は、平均粒子径が前記超砥粒の平均粒子径よりも小さい
球形ないし略球形の無機質粒子と、短径ｄが前記超砥粒
の平均粒子径Ｄよりも小さくｄ／Ｄの値が０．８以下の
強化繊維であるので、加工面の面品位を維持しつつ研削
比が大きいという優れた加工性能を示す。The resin-bonded thin blade abrasive grain tool of the present invention is a thin plate-shaped abrasive grain holding portion in which superabrasive grains and an effective amount of an inorganic filler having a hardness smaller than that of the superabrasive grains are held by the resin binder. A resin binder thin blade abrasive grain tool having, wherein the inorganic filler is spherical or substantially spherical inorganic particles having an average particle diameter smaller than the average particle diameter of the superabrasive particles, and a short diameter d of the superabrasive. Since the reinforcing fiber has a d / D value smaller than the average particle diameter D of the particles and a value of d / D of 0.8 or less, it exhibits excellent processing performance such that the grinding ratio is large while maintaining the surface quality of the processed surface.
【図１】図１は、本発明の実施例の樹脂結合材薄刃砥粒
工具の製造方法の一例の概略を説明するための図であ
る。FIG. 1 is a diagram for explaining an outline of an example of a method for manufacturing a resin-bonded material thin blade abrasive grain tool according to an embodiment of the present invention.
【図２】図２は、本発明の実施例の樹脂結合材薄刃砥粒
工具の製造方法の一例の概略を説明するための図であ
る。FIG. 2 is a view for explaining the outline of an example of a method for manufacturing a resin-bonded material thin blade abrasive grain tool according to an embodiment of the present invention.
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｄ 3/28 Ｂ２４Ｄ 3/28 (72)発明者 藤井 剛志 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 谷 泰弘 東京都世田谷区宮坂３丁目47番12号 Ｆターム(参考） 3C063 AA02 AB03 BA02 BB02 BB03 BB07 BB19 BB20 BC03 BD01 BD04 BD09 CC19 CC24 EE31 FF08 FF23 Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) B24D 3/28 B24D 3/28 (72) Inventor Takeshi Fujii No. 1-36 Noritake Shinmachi, Nishi-ku, Aichi Prefecture Nagoya Co., Ltd. Noritake Company Limited (72) Inventor Yasuhiro Tani 3-47-12 Miyazaki, Setagaya-ku, Tokyo F-term (reference) 3C063 AA02 AB03 BA02 BB02 BB03 BB07 BB19 BB20 BC03 BD01 BD04 BD09 CC19 CC24 EE31 FF08 FF23
Claims (5)
効量の無機質充填材を樹脂結合材で保持した薄板状の砥
粒保持部を有する樹脂結合材薄刃砥粒工具であって、 前記無機質充填材は、平均粒子径が前記超砥粒の平均粒
子径よりも小さい球形ないし略球形の無機質粒子と、短
径ｄが前記超砥粒の平均粒子径Ｄよりも小さくｄ／Ｄの
値が０．８以下の強化繊維であることを特徴とする樹脂
結合材薄刃砥粒工具。1. A resin-bonded thin blade abrasive grain tool having a thin plate-shaped abrasive grain holding portion in which a super-abrasive grain and an effective amount of an inorganic filler having a hardness smaller than that of the super-abrasive grain are held by a resin binder. The inorganic filler is a spherical or substantially spherical inorganic particle having an average particle size smaller than the average particle size of the superabrasive grains, and a minor axis d is smaller than the average particle size D of the superabrasive grains d / D. Is a reinforced fiber having a value of 0.8 or less.
無機質充填材の合計の体積率は、２５〜７０体積％であ
り、 前記砥粒保持部における前記球形ないし略球形の無機質
粒子の体積率は、５体積％以上であり、 前記砥粒保持部における前記強化繊維の体積率は、０．
２〜８体積％であることを特徴とする請求項１に記載の
樹脂結合材薄刃砥粒工具。2. The volume ratio of the total of the superabrasive grains and the inorganic filler in the abrasive grain holding portion is 25 to 70% by volume, and the spherical or substantially spherical inorganic particles in the abrasive grain holding portion. The volume ratio is 5% by volume or more, and the volume ratio of the reinforcing fibers in the abrasive grain holding portion is 0.
It is 2-8 volume%, The resin-bonding material thin blade abrasive grain tool of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
球形の無機質粒子の体積率は、２０体積％以上であり、 前記砥粒保持部における前記強化繊維の体積率は、０．
５〜５体積％であることを特徴とする請求項１〜２のい
ずれか一に記載の樹脂結合材薄刃砥粒工具。3. The volume ratio of the spherical or substantially spherical inorganic particles in the abrasive grain holding portion is 20% by volume or more, and the volume ratio of the reinforcing fibers in the abrasive grain holding portion is 0.
It is 5 to 5 volume%, The resin-bonding material thin blade abrasive grain tool as described in any one of Claims 1-2.
ダイヤモンド砥粒及び立方晶窒化ホウ素砥粒のうちの１
種以上であり、 前記球形ないし略球形の無機質粒子は、平均粒子径１μ
ｍ以下で球形ないし略球形のシリカ粒子及びアルミナ粒
子のうちの１種以上であり、 前記強化繊維は、径が１μｍ以下、長さが３０μｍ以下
であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一に記
載の樹脂結合材薄刃砥粒工具。4. The superabrasive grain is one of a diamond abrasive grain and a cubic boron nitride abrasive grain having an average particle diameter of 50 μm or less.
More than one kind, and the spherical or substantially spherical inorganic particles have an average particle diameter of 1 μm.
4. One or more of spherical or substantially spherical silica particles and alumina particles of m or less, and the reinforcing fibers have a diameter of 1 μm or less and a length of 30 μm or less. The resin-bonded material thin blade abrasive grain tool according to any one of claims.
ダイヤモンド砥粒及び立方晶窒化ホウ素砥粒のうちの１
種以上であり、 前記球形ないし略球形の無機質粒子は、平均粒子径１μ
ｍ以下で球形ないし略球形のシリカ粒子及びアルミナ粒
子のうちの１種以上であり、 前記強化繊維は、径が１μｍ以下、長さが３０μｍ以下
であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一に記
載の樹脂結合材薄刃砥粒工具。5. The superabrasive grain is one of a diamond grain and a cubic boron nitride grain having an average grain size of 10 μm or less.
More than one kind, and the spherical or substantially spherical inorganic particles have an average particle diameter of 1 μm.
5. One or more of spherical or substantially spherical silica particles and alumina particles of m or less, wherein the reinforcing fiber has a diameter of 1 μm or less and a length of 30 μm or less. The resin-bonded material thin blade abrasive grain tool according to any one of claims.
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| JP (1) | JP2003048168A (en) |
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