JP2002323037A - 流体軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 軸受の焼き付きや潤滑剤の漏洩を低減して安
定した回転を実現できる流体軸受装置を提供する。 【解決手段】 軸２とこの軸２によって回転自在に支持
された軸受体との間に潤滑剤１０を充填する。潤滑剤１
０と接するハブ５の内面に軸受体の磨耗を抑制する皮膜
１２ａを形成する。潤滑剤１０にはフッ素系潤滑剤を用
い、このフッ素系潤滑剤の表面張力と皮膜１２ａの臨界
表面張力との差を５ｍＮ／ｍ以下とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
のスピンドルモータなどに用いられる動圧型の流体軸受
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の流体軸受装置を図４に示す。外周
面に動圧発生溝４ａ，４ｂが形成された固定軸２の一端
がベース１に圧入され、他端にはスラストプレート３が
固定されて軸部が形成されている。磁気ディスク等を取
り付ける為のハブ６の内周面にはスリーブ５が圧入され
ており、このスリーブ５の一端にスラストフランジ１１
が取り付けられて軸受体が形成されている。そして、ス
ラストフランジ１１とスラストプレート３とが対向する
ように固定軸２にスリーブ５が装着され、軸部と軸受体
との間隙に潤滑剤１０が充填される。

【０００３】ベース１に形成された壁１ａにはステータ
コイル９が設けられ、ステータコイル９と対向するハブ
６の内周面にはロータヨーク８を介してロータマグネッ
ト７が取り付けられて、モータ駆動部が構成される。

【０００４】このモータ駆動部によりスリーブ５及びハ
ブ６が回転駆動すると、固定軸２に形成された動圧発生
溝４ａ，４ｂのポンピング作用により潤滑剤１０に動圧
が発生し、軸受体が軸部から浮上して、軸部と軸受体と
が非接触で回転自在に支持される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た流体軸受装置において、固定軸２とスリーブ５の内周
面との間隙、スリーブ５とスラストフランジ１１および
スラストプレート３との間隙に充填される潤滑剤１０に
は、近年の軸受の高速回転化に伴う摩擦熱やモータ部の
発熱の増大によって、耐熱性や化学安定性の高いフッ素
系潤滑剤を使用することが望まれている。

【０００６】しかし、フッ素系潤滑剤は、軸受表面への
吸着性や反応性に乏しく、境界潤滑性が低いという性質
を有している。そのため、十分な動圧が発生しない回転
の起動時や停止時に、スリーブ５及びスラストフランジ
１１が固定軸２及びスラストプレート３と接触して摩耗
しやすく、軸受の回転精度が低下するという課題があっ
た。

【０００７】そこで特公平８−３０４９０号公報には、
軸受体の内面にポリフルオロアルキル重合体やフルオロ
ポリエーテル重合体などのフッ素系皮膜を形成して、軸
部および軸受体の摩耗を低減する方法が提案されてい
る。

【０００８】しかし、低い表面エネルギーを持つフッ素
系皮膜は潤滑剤をはじきやすいため、軸受を組み立てる
際に軸部と軸受体との間隙に潤滑剤１０を注入すること
が困難であり、潤滑剤１０の注入量にばらつきが発生し
て軸受性能が安定しないという問題がある。

【０００９】また、この流体軸受装置を回転させると、
皮膜と潤滑剤の濡れ性が低いため油膜切れによる軸受の
焼き付きを引き起こしたり、軸受の内部に気泡が発生し
て、この気泡の熱膨張等により潤滑剤が軸受から漏洩し
やすくなる恐れがある。

【００１０】本発明は前記問題点を解決し、軸受の焼き
付きや潤滑剤の漏洩を低減して安定した回転を実現でき
る流体軸受装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の流体軸受装置
は、フッ素系潤滑剤の表面張力と皮膜の臨界表面張力の
差を適正な範囲に設定したことを特徴とする。

【００１２】この本発明によると、皮膜と潤滑剤の濡れ
性が向上するため軸受内部に潤滑剤を均一に充填でき、
軸受の焼き付きや潤滑剤の軸受からの漏洩を低減して安
定した回転を行え、信頼性の高い流体軸受装置を実現で
きる。

【００１３】また、本発明の流体軸受装置は、皮膜の臨
界表面張力を潤滑剤の気液界面側よりも軸受の内部側を
高くするよう設定したことを特徴とする。この本発明に
よると、潤滑剤が軸受内部に引き付けられるため潤滑剤
の軸受からの漏洩を低減できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の流体軸受
装置は、一方が他方に対して回転自在に支持された軸部
と軸受体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接する
前記軸部の外面または前記軸受体の内面の少なくとも一
方の面に前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮膜を
形成した流体軸受装置であって、前記潤滑剤がフッ素系
潤滑剤であり、前記フッ素系潤滑剤の表面張力と前記皮
膜の臨界表面張力との差が５ｍＮ／ｍ以下であることを
特徴とする。

【００１５】この構成によると、フッ素系潤滑剤の表面
張力と皮膜の臨界表面表力との差を適正な範囲とするこ
とで潤滑剤と皮膜との濡れ性を向上し、軸部と軸受体と
の間の微小な隙間への潤滑剤の注入量が一定となって軸
受性能が安定するだけでなく、回転時には、皮膜と潤滑
剤の界面での気泡の発生を低減でき、油膜切れによる軸
受の焼き付きや気泡の熱膨張などによる潤滑剤の漏洩を
低減できる。

【００１６】本発明の請求項２記載の流体軸受装置は、
一方が他方に対して回転自在に支持された軸部と軸受体
との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接する前記軸部
の外面または前記軸受体の内面の少なくとも一方の面に
前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮膜を形成した
流体軸受装置であって、前記潤滑剤がフッ素系潤滑剤で
あり、前記フッ素系潤滑剤の気液界面付近に形成された
皮膜の臨界表面張力よりも軸受の内部側に形成された皮
膜の臨界表面張力が大きいことを特徴とする。

【００１７】この構成によると、潤滑剤は相対的に皮膜
の表面エネルギー即ち臨界表面張力が大きい軸受内部の
方向へ引きつけられるため、軸受からの潤滑剤の漏洩を
低減できる。

【００１８】本発明の請求項３記載の流体軸受装置は、
一方が他方に対して回転自在に支持された軸部と軸受体
との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接する前記軸部
の外面または前記軸受体の内面の少なくとも一方の面に
前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮膜を形成した
流体軸受装置であって、前記潤滑剤がフッ素系潤滑剤で
あり、前記フッ素系潤滑剤の表面張力と前記皮膜の臨界
表面張力との差が５ｍＮ／ｍ以下であり、前記フッ素系
潤滑剤の気液界面付近に形成された皮膜の臨界表面張力
よりも軸受の内部側に形成された皮膜の臨界表面張力が
大きいことを特徴とする。

【００１９】この構成によると、皮膜と潤滑剤との濡れ
性がよくなり、油膜切れによる軸受の焼き付き防止や気
泡の熱膨張などによる潤滑剤の漏洩をより確実に低減で
きる。

【００２０】本発明の請求項４記載の流体軸受装置は、
請求項１から請求項３のいずれか１項において、前記皮
膜がフッ素含有物であることを特徴とする。この構成に
よると、フッ素含有物である皮膜は、フッ素系潤滑剤と
同種類の化合物であるため親和力による吸着作用によっ
て潤滑剤を保持しやすく、また低摩擦特性を有するため
潤滑性を向上できる。

【００２１】本発明の請求項５記載の流体軸受装置は、
請求項４において、前記フッ素含有物が樹脂であること
を特徴とする。この構成によると、樹脂皮膜は、樹脂成
分を溶解させたコーティング液を塗布、乾燥させること
などにより形成されるため、形成時に高温となる金属や
セラミックスなどより軸受母材の熱による寸法変化も小
さく寸法安定性に優れ、かつ低コストで実現できる。

【００２２】本発明の請求項６記載の流体軸受装置は、
請求項１から請求項３のいずれかにおいて、前記フッ素
系潤滑剤が、パーフルオロポリエーテルまたはパーフル
オロポリエーテル誘導体の少なくとも一方を含むことを
特徴とする。

【００２３】この構成によると、これらはフッ素系潤滑
剤の中でもより耐熱性、化学安定性に優れ、動粘度の温
度変化が小さい特性を有するため、高温域での使用に耐
え、温度によるトルク変動の小さな流体軸受装置が実現
できる。

【００２４】以下、本発明の各実施の形態を図１〜図３
を用いて説明する。なお、従来例を示す図４と同様の構
成をなすものについては同一の符号を用いて説明する。

【００２５】（実施の形態１）図１と図２は、本発明の
実施の形態１を示す。図１に示すように、図４と同様に
構成された流体軸受装置において、潤滑剤１０には、高
速回転にも対応できるよう耐熱性や化学安定性の高いフ
ッ素系潤滑剤が使用されている。また、このフッ素系潤
滑剤は軸受表面への吸着性や反応性に乏しく、境界潤滑
性が低いため、軸部および軸受体の摩耗を低減するよう
スリーブ５の内面には、皮膜１２ａが形成されている。

【００２６】この実施の形態１では、皮膜１２ａと潤滑
剤１０の濡れ性の向上を図るために、皮膜１２ａの濡れ
性の指標として固有の物性である臨界表面張力に着目
し、潤滑剤１０の表面張力と皮膜１２ａの臨界表面張力
の差を適正値に設定した点で上記従来例とは異なる。

【００２７】ここで、皮膜１２ａの濡れ性の指標として
臨界表面張力が用いられているのは、一般に、固液界面
において固体の表面エネルギー即ち臨界表面張力が液体
の表面張力より小さい場合に、固体は液体に濡れにくい
性質を持ち、固体の表面張力は測定が困難なためであ
る。なお、臨界表面張力は、固体面上で有機液体化合物
の同族列が示す接触角をθ、その液体の表面張力をγと
すると、cosθとγの関係は直線関係が得られ、その時
のθ＝０即ちcosθ＝１に相当するγの値となる。

【００２８】潤滑剤１０の表面張力と皮膜１２ａの臨界
表面張力との関係を調べるために、皮膜１２ａの上に一
定量のフッ素系の潤滑剤１０を滴下し、一定時間が経過
した時の潤滑剤１０と皮膜１２ａの接触角と、フッ素系
潤滑剤１０の表面張力と皮膜１２ａの臨界表面張力との
差を２０℃雰囲気下で測定した。潤滑剤１０にはフッ素
系潤滑剤を用い、皮膜１２ａにはフッ素系皮膜を用い
た。

【００２９】得られた測定結果を図２に示す。グラフか
ら明らかなように、フッ素系潤滑剤の表面張力とフッ素
系皮膜の臨界表面張力との差が５ｍＮ／ｍより大きいと
潤滑剤１０は皮膜１２ａにはじかれ、フッ素系潤滑剤の
表面張力とフッ素系皮膜の臨界表面張力との差が大きい
ほど高い接触角を示す傾向となった。一方、両者の差が
５ｍＮ／ｍ以下となると、潤滑剤１０は濡れ広がり、接
触角を示さなくなった。また、ここでは図示されていな
いが、皮膜１２ａの臨界表面張力が潤滑剤１０の表面張
力よりも大きい場合、すなわちフッ素系潤滑剤の表面張
力とフッ素系皮膜の臨界表面張力との差がマイナスとな
る場合にも潤滑剤１０は濡れ広がり、接触角を示さなか
った。

【００３０】なお、フッ素系以外の皮膜１２ａ、例えば
シリコーン系についても同様の傾向が得られた。そこ
で、フッ素系潤滑剤として２０℃の表面張力が２３ｍＮ
／ｍのパーフルオロポリエーテルを用い、皮膜１２ａを
臨界表面張力が１９ｍＮ／ｍの市販のフッ素系樹脂にて
形成し、図１に示す流体軸受装置を作成したところ、フ
ッ素系潤滑剤１０は皮膜１２ａとなるフッ素系樹脂の上
で十分に濡れ広がり、軸受内に充填する際には、皮膜１
２ａにはじかれることなく、また軸受内に気泡の発生な
どを生じることなく規定量の潤滑剤１０を充填できた。

【００３１】また、この流体軸受装置を搭載したモータ
を高温環境下にて連続回転させたところ、安定した性能
が得られ、軸受の焼き付きや潤滑剤の漏洩も確認されな
かった。

【００３２】この実施の形態１で使用される皮膜１２ａ
としては、軸受の摩耗を低減できる材料であれば特に限
定されるものではなく、金属含有物、セラミックス、炭
素材料、樹脂など種類に関わらず、潤滑性、摩耗性、耐
熱性、硬度、導電性、コスト等を考慮して便宜選択でき
る。中でも、フッ素系潤滑剤と親和性を持たせ、吸着作
用によって軸受内に潤滑剤１０を保持しやすくするため
には、フッ素元素を含むフッ素含有物が好ましく、中で
もフッ素系樹脂がより好ましい。

【００３３】フッ素系樹脂としては、ポリテトラフルオ
ロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶ
ＤＦ）ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、エチレン／テトラ
フルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、エチレン／ク
ロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポ
リクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、テトラ
フルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテ
ル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキ
サフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）などが挙げら
れ、その一部は水酸基、カルボキシル基、アミノ基、イ
ソシアネート基、エポキシ基などの官能基で置換されて
いてもよく、これらを単独もしくは混合もしくは共重合
させて用いることができる。また、市販品として、住友
スリーエム社製フロラードＦＣやサカタインクス社製の
スミフルノンＦＰ、旭ガラス社製のサイトップなどのフ
ッ素化合物であれば同様の効果が得られる。

【００３４】これらのフッ素系樹脂からなる皮膜１２ａ
は、フッ素系樹脂を溶解あるいは分散したコーティング
液を皮膜１２ａの形成面に塗布した後、常温もしくは加
熱により乾燥するだけで容易に形成でき、比較的低温で
の膜形成が行えるため、金属やセラミックスなどのよう
に形成時に高温となるものよりも軸受母材の熱による寸
法変化が小さく寸法安定性に優れ、しかも低コストでの
実現が可能となるため、好適に使用できる。コーティン
グ液の塗布方法は、スピンコート、ディツプコート、ス
プレーコート、転写コート、ポッティングコート、刷毛
塗りなど、部材の大きさや形状に応じて任意に選択でき
る。

【００３５】なお、皮膜１２ａをフッ素元素を含有しな
い樹脂にて形成する場合には、樹脂にて皮膜を形成した
後、フッ素化プラズマ処理、フッ素イオン注入などして
フッ素化してもよいが、コスト面からフッ素系樹脂を使
用することが好ましい。なお、皮膜の濡れ性をあげるた
め、フッ素系樹脂を形成後プラズマ処理やコロナ処理な
どの表面改質処理を行ってもよい。

【００３６】フッ素系潤滑剤としては、パーフルオロポ
リエーテル、パーフルオロポリエーテル誘導体、フルオ
ロエステルなどが挙げられ、中でも、耐熱性がよく、動
粘度の温度変化が小さいパーフルオロポリエーテルまた
はそれらの誘導体が好適に使用できる。パーフルオロポ
リエーテルの市販品として、アウジモント社製のフォン
ブリンＹ，Ｍ，Ｚ、ダイキン工業社製のデムナムＳなど
が用いられる。また、その一部を水酸基、カルボキシル
基、イソシアネート基、エステル基などの官能基で変成
させた誘導体を単独、混合して用いることができる。な
お、潤滑剤１０はその表面張力により軸受に保持されて
いるため、表面張力が高い方が軸受からの漏れや滲みを
防ぐには望ましい。また、潤滑剤１０の性能向上や補完
を目的として、その特性を損なわない程度であれば、極
圧剤、防錆剤、帯電付与剤など市販の添加剤を任意の組
み合わせで添加しても良い。

【００３７】このように、潤滑剤１０としてフッ素系潤
滑剤を用い、このフッ素系潤滑剤の表面張力と皮膜１２
ａの臨界表面張力との差を５ｍＮ／ｍ以下に設定するこ
とで、潤滑剤１０と皮膜１２ａとの濡れ性が向上し、軸
受を組み立てる際に軸部と軸受体との間隙に潤滑剤１０
を容易にしかも均一に注入でき、安定した軸受性能が得
られる。また、油膜切れによる軸受の焼き付きを低減で
き、回転時には軸受の内部に気泡が発生しにくくなるた
め気泡の熱膨張等による潤滑剤の軸受からの漏洩を低減
でき、信頼性の高い軸受装置が実現できる。

【００３８】（実施の形態２）図２は、本発明の実施の
形態２を示す。この実施の形態２では、軸受内の３箇所
にそれぞれ臨界表面張力の異なる皮膜を形成した点で、
上記実施の形態とは異なる。

【００３９】具体的には、図１と同様に構成された流体
軸受装置において、潤滑剤１０と接するスリーブ５の内
周面に皮膜１２ａが形成され、スラストフランジ１１の
表面に皮膜１２ｂが形成され、固定軸２の表面に皮膜１
２ｃが形成されている。皮膜１２ａと皮膜１２ｃは臨界
表面張力１９ｍＮ／ｍのフッ素系樹脂からなり、皮膜１
２ｂは臨界表面張力２５ｍＮ／ｍのフッ素系樹脂からな
る。フッ素系潤滑剤１０ａはパーフルオロポリエーテル
とパーフルオロポリエーテル誘導体の混合物であり、２
０℃の表面張力は２１ｍＮ／ｍである。

【００４０】このような構成によっても、上記実施の形
態と同様にフッ素系潤滑剤の表面張力と皮膜１２ａの臨
界表面張力との差が５ｍＮ／ｍ以下に設定されているた
め、フッ素系潤滑剤はフッ素系樹脂の上で十分に濡れ広
がり、油膜切れによる軸受の焼き付きを低減でき、気泡
の熱膨張等による潤滑剤の軸受からの漏洩を低減でき
る。

【００４１】また、フッ素系潤滑剤の気液界面側に形成
された皮膜１２ａ，１２ｃの臨界表面張力よりも軸受の
内部側に形成された皮膜１２ｂの臨界表面張力が高く設
定されているため、潤滑剤１０はエネルギー値の高い皮
膜１２ｂの側へ引きつけられ、よりスムーズで、確実な
潤滑剤１０の充填が可能となる。

【００４２】このように構成された流体軸受装置のモー
タを高温環境下にて、連続回転させたところ、消費電流
や回転精度など安定した性能が得られ、軸受の焼き付き
や潤滑剤の漏洩も確認されなかった。

【００４３】なお、上記説明では、皮膜を軸部と軸受体
の両方の側に設けたが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、性能やコストに応じて単数あるいは複数設け
てもよい。また、その形成場所も特に限定されるもので
はない。

【００４４】また、上記説明では軸部に形成された皮膜
１２ｃと軸受体に形成された皮膜１２ａ，１２ｂにおい
て、皮膜１２ａと皮膜１２ｂの臨界表面張力に差を設け
たが、軸部のみあるいは軸受体のみに皮膜を形成し、こ
の皮膜の臨界表面張力が潤滑剤１０の気液界面側よりも
軸受の内部側で大きくなるよう構成してもよい。あるい
は、軸部に形成した皮膜と軸受体に形成した皮膜に臨界
表面張力の差をつけてもよい。

【００４５】なお、上記各実施の形態では、軸部２の基
端部をベース１に固定した軸固定型の流体軸受装置を例
に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、軸部２の両端を固定したものや、軸回転型の流
体軸受装置や、スリーブの内径穴を両側開放させたも
の、スラスト方向にピポット軸受が形成されたものなど
に適用しても同様の効果が得られる。

【００４６】

【発明の効果】以上のように本発明の流体軸受装置によ
ると、一方が他方に対して回転自在に支持された軸部と
軸受体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接する前
記軸部の外面または前記軸受体の内面の少なくとも一方
の面に前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮膜を形
成した流体軸受装置であって、前記潤滑剤がフッ素系潤
滑剤であり、前記フッ素系潤滑剤の表面張力と前記皮膜
の臨界表面張力との差を５ｍＮ／ｍ以下とすることで、
潤滑剤と皮膜との濡れ性が向上し、軸部と軸受体との間
の微小な隙間への潤滑剤の注入量が一定となって軸受性
能が安定するだけでなく、回転時には、油膜切れによる
軸受の焼き付きを低減でき、皮膜と潤滑剤の界面での気
泡の発生を低減できるため気泡の熱膨張などによる潤滑
剤の漏洩を低減できる。

【００４７】また、皮膜を、フッ素系潤滑剤の気液界面
付近に形成された皮膜の臨界表面張力よりも軸受の内部
側に形成された皮膜の臨界表面張力が大きくなるよう形
成することで、潤滑剤は相対的に皮膜の表面エネルギー
即ち臨界表面張力が大きい軸受内部の方向へ引きつけら
れるため、軸受からの潤滑剤の漏洩を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の（実施の形態１）における流体軸受装
置の縦断面図

【図２】同実施の形態における潤滑剤の表面張力と撥油
膜の臨界表面張力の関係を示す測定図

【図３】本発明の（実施の形態２）における流体軸受装
置の縦断面図

【図４】従来の流体軸受装置の縦断面図

【符号の説明】

２ 固定軸 ４ａ，４ｂ 動圧発生溝 ５ スリーブ １０ 潤滑剤 １２ａ〜１２ｃ 皮膜

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｋ 7/08 Ｈ０２Ｋ 7/08 Ａ // Ｃ１０Ｎ 20:00 Ｃ１０Ｎ 20:00 Ｚ 30:06 30:06 40:02 40:02 50:08 50:08 Ｆターム(参考） 3J011 BA06 CA02 JA02 KA01 KA04 MA02 QA05 SC04 4H104 CD01A CD02A CD04A EA01A LA03 PA01 QA11 5H605 AA04 BB05 BB14 BB19 CC04 DD05 EB03 EB06 EB15 EB39 5H607 AA04 BB01 BB14 BB17 BB25 CC01 GG03 GG09 GG12 GG15 KK10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方が他方に対して回転自在に支持された
   軸部と軸受体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接
   する前記軸部の外面または前記軸受体の内面の少なくと
   も一方の面に前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮
   膜を形成した流体軸受装置であって、 前記潤滑剤がフッ素系潤滑剤であり、前記フッ素系潤滑
   剤の表面張力と前記皮膜の臨界表面張力との差が５ｍＮ
   ／ｍ以下である流体軸受装置。
2. 【請求項２】一方が他方に対して回転自在に支持された
   軸部と軸受体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接
   する前記軸部の外面または前記軸受体の内面の少なくと
   も一方の面に前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮
   膜を形成した流体軸受装置であって、 前記潤滑剤がフッ素系潤滑剤であり、 前記フッ素系潤滑剤の気液界面付近に形成された皮膜の
   臨界表面張力よりも軸受の内部側に形成された皮膜の臨
   界表面張力が大きい流体軸受装置。
3. 【請求項３】一方が他方に対して回転自在に支持された
   軸部と軸受体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤と接
   する前記軸部の外面または前記軸受体の内面の少なくと
   も一方の面に前記軸部および軸受体の摩耗を低減する皮
   膜を形成した流体軸受装置であって、 前記潤滑剤がフッ素系潤滑剤であり、 前記フッ素系潤滑剤の表面張力と前記皮膜の臨界表面張
   力との差が５ｍＮ／ｍ以下であり、 前記フッ素系潤滑剤の気液界面付近に形成された皮膜の
   臨界表面張力よりも軸受の内部側に形成された皮膜の臨
   界表面張力が大きい流体軸受装置。
4. 【請求項４】前記皮膜がフッ素含有物である請求項１か
   ら請求項３のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
5. 【請求項５】前記フッ素含有物が樹脂である請求項４に
   記載の流体軸受装置。
6. 【請求項６】前記フッ素系潤滑剤が、パーフルオロポリ
   エーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体の少な
   くとも一方を含む請求項１から請求項３のいずれか１項
   に記載の流体軸受装置。