JP2002368065A - 位置合わせ装置 - Google Patents
位置合わせ装置Info
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- JP2002368065A JP2002368065A JP2001173471A JP2001173471A JP2002368065A JP 2002368065 A JP2002368065 A JP 2002368065A JP 2001173471 A JP2001173471 A JP 2001173471A JP 2001173471 A JP2001173471 A JP 2001173471A JP 2002368065 A JP2002368065 A JP 2002368065A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ウエハにゴミを付着させることなく位置合わせ
する装置の提供。 【解決手段】ベース５の中央部には高圧空気をウエハ６
に向かって噴出しベルヌーイ効果によりウエハ６を非接
触保持する非接触保持器Ｇが設けられており、非接触保
持器Ｇの周辺にはウエハ６の外形よりやや大きい位置に
中心方向に移動可能な移動具１５に取り付けられたモー
タ３に駆動される駆動ローラ１とで校正された回転具
Ｋ、移動可能な移動具１５に取り付けられた支持ローラ
２、およびウエハ６のオリフラ、ノッチ等のマークを検
出するセンサー４とにより構成する。
する装置の提供。 【解決手段】ベース５の中央部には高圧空気をウエハ６
に向かって噴出しベルヌーイ効果によりウエハ６を非接
触保持する非接触保持器Ｇが設けられており、非接触保
持器Ｇの周辺にはウエハ６の外形よりやや大きい位置に
中心方向に移動可能な移動具１５に取り付けられたモー
タ３に駆動される駆動ローラ１とで校正された回転具
Ｋ、移動可能な移動具１５に取り付けられた支持ローラ
２、およびウエハ６のオリフラ、ノッチ等のマークを検
出するセンサー４とにより構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハを回転させオリ
フラあるいはノッチのウエハに形成されたマークを検出
し、ウエハの位置合わせを行う位置合わせ装置に関す
る。
フラあるいはノッチのウエハに形成されたマークを検出
し、ウエハの位置合わせを行う位置合わせ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】回路形成処理を終わったウエハは、方向
が一定でないため次行程に入る前に方向をそろえる必要
がある。
が一定でないため次行程に入る前に方向をそろえる必要
がある。
【０００３】そのため位置合わせ装置にウエハを搭載
し、ウエハを回転させてウエハに形成されたオリフラあ
るいはノッチ等のマークを検出し、位置合わせを行って
いる。
し、ウエハを回転させてウエハに形成されたオリフラあ
るいはノッチ等のマークを検出し、位置合わせを行って
いる。
【０００４】従来の位置合わせ装置は、ウエハを回転さ
せる保持具に真空吸着させ、保持具を回転させて位置合
わせを行っている。
せる保持具に真空吸着させ、保持具を回転させて位置合
わせを行っている。
【０００５】従ってウエハ裏面は保持具に強力に密着す
る。
る。
【０００６】このためウエハ裏面にゴミが付着し、汚染
される。
される。
【０００７】また強力に吸着するため、ウエハにストレ
スを生じさせる。
スを生じさせる。
【０００８】そのうえ薄いウエハでは破損する場合があ
る。
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、 （１）ウエハにゴミの付着による汚染をなくす。
点は、 （１）ウエハにゴミの付着による汚染をなくす。
【００１０】（２）ウエハにストレスを生じさせない。
【００１１】（３）ウエハを破損させない。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
【００１３】ウエハを回転させて位置合わせする装置に
おいて、ウエハを非接触にて支持する非接触保持器と、
前記非接触保持器に支持されたウエハを回転させる回転
具とで構成される位置合わせ装置により解決が可能であ
る。
おいて、ウエハを非接触にて支持する非接触保持器と、
前記非接触保持器に支持されたウエハを回転させる回転
具とで構成される位置合わせ装置により解決が可能であ
る。
【００１４】本発明の位置合わせ装置にあって、ウエハ
を保持する非接触保持器は空気を噴出することによりウ
エハを非接触にて保持する。
を保持する非接触保持器は空気を噴出することによりウ
エハを非接触にて保持する。
【００１５】
【実施例１】以下、本発明の実施例の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の一実施形態である位置合
わせ装置Ａの側面断面図を、図２はその平面図を、図５
に非接触保持器Ｇをしめす。
わせ装置Ａの側面断面図を、図２はその平面図を、図５
に非接触保持器Ｇをしめす。
【００１７】ベース５の中央部には非接触保持器Ｇ設け
られており、該非接触保持器Ｇの周辺にはウエハの外形
よりやや大きい位置に中心方向に移動可能な移動具１５
に取り付けられたモータ３に駆動される駆動ローラ１と
で構成される回転具Ｋ、移動可能な移動具１５に取り付
けられた支持ローラ２、およびウエハのオリフラ、ノッ
チ等のマークを検出するセンサー４とで位置合わせ装置
Ａは構成されている。
られており、該非接触保持器Ｇの周辺にはウエハの外形
よりやや大きい位置に中心方向に移動可能な移動具１５
に取り付けられたモータ３に駆動される駆動ローラ１と
で構成される回転具Ｋ、移動可能な移動具１５に取り付
けられた支持ローラ２、およびウエハのオリフラ、ノッ
チ等のマークを検出するセンサー４とで位置合わせ装置
Ａは構成されている。
【００１８】図５に示す非接触保持器Ｇは、円筒状の基
体１５の上面の周辺部をウエハを非接触にて保持するフ
ランジ状の保持面１８となし、また基体１５の上面に開
口する円筒状の空間のクッション室１７を設け、クッシ
ョン室１７の下面には高圧空気Ｐを噴出するノズル１６
を設けて形成される。
体１５の上面の周辺部をウエハを非接触にて保持するフ
ランジ状の保持面１８となし、また基体１５の上面に開
口する円筒状の空間のクッション室１７を設け、クッシ
ョン室１７の下面には高圧空気Ｐを噴出するノズル１６
を設けて形成される。
【００１９】高圧空気Ｐがノズル１６からクッション室
１７を通り、保持面１８に近接して置かれたウエハ６に
向かって噴出し、保持面１８とウエハ６との間隙に流れ
る。
１７を通り、保持面１８に近接して置かれたウエハ６に
向かって噴出し、保持面１８とウエハ６との間隙に流れ
る。
【００２０】この間、保持面１８とウエハ６とで形成さ
れる間隙は、エゼクタのデフューザの機能を、クッショ
ン室１７は真空室の機能を、ノズル１６はノズルの機能
を果たす。
れる間隙は、エゼクタのデフューザの機能を、クッショ
ン室１７は真空室の機能を、ノズル１６はノズルの機能
を果たす。
【００２１】従ってクッション室１７の圧力は低下する
とともに、前記間隙も高速流体によるベルヌーイ効果に
より静圧が低下する。
とともに、前記間隙も高速流体によるベルヌーイ効果に
より静圧が低下する。
【００２２】この圧力の低下がウエハ６に対する吸引力
となり、ウエハ６を引き寄せる。
となり、ウエハ６を引き寄せる。
【００２３】一方、ウエハ６が引き寄せられ前記間隙ｈ
が小になれば、クッション室１７は圧力式エアクッショ
ンの機能を果たし、クッション室１７の圧力は上昇し、
ウエハ６を引き離し、ウエハ６が保持面１８に接触する
のを防止する。
が小になれば、クッション室１７は圧力式エアクッショ
ンの機能を果たし、クッション室１７の圧力は上昇し、
ウエハ６を引き離し、ウエハ６が保持面１８に接触する
のを防止する。
【００２４】上記の構成の位置合わせ装置Ａの空気を噴
出している非接触保持器Ｇの保持面１６上にウエハ６を
搬入すると、ウエハ６は非接触状態にて保持面１６上に
吸引保持される。
出している非接触保持器Ｇの保持面１６上にウエハ６を
搬入すると、ウエハ６は非接触状態にて保持面１６上に
吸引保持される。
【００２５】回転具Ｋの回転ローラ１および支持ローラ
２が中心方向に移動し、ウエハ６の端面を狭持する。
２が中心方向に移動し、ウエハ６の端面を狭持する。
【００２６】回転ローラ１ がモータ３により回転する
と、回転ローラ１に接触しているウエハ６が回転を開始
する。
と、回転ローラ１に接触しているウエハ６が回転を開始
する。
【００２７】回転しているウエハ６の上方に設けられて
いるセンサー４によりウエハ６のマークを検出し、所定
の位置までウエハを回転させて回転ローラ１を停止し、
位置合わせを終止する。
いるセンサー４によりウエハ６のマークを検出し、所定
の位置までウエハを回転させて回転ローラ１を停止し、
位置合わせを終止する。
【００２８】本発明に用いる非接触保持器Ｇは、上記例
の非接触保持器Ｇに限らず、空気を噴出することにより
負圧を生じウエハを非接触にて保持する機構の非接触保
持具、あるいは単に空気を噴出しウエハを浮上させ非接
触にて保持する保持具であればよい。
の非接触保持器Ｇに限らず、空気を噴出することにより
負圧を生じウエハを非接触にて保持する機構の非接触保
持具、あるいは単に空気を噴出しウエハを浮上させ非接
触にて保持する保持具であればよい。
【００２９】また回転具Ｋは、上記の例に限らずウエハ
に回転運動を与えるものであればよく例えば図３に示す
ように、ウエハの回転を空気ノズル８より空気噴流をウ
エハに当てることにより回転させる回転具も好例であ
る。
に回転運動を与えるものであればよく例えば図３に示す
ように、ウエハの回転を空気ノズル８より空気噴流をウ
エハに当てることにより回転させる回転具も好例であ
る。
【００３０】
【実施例２】本発明の他の位置合わせ装置Ｃの側面断面
図を図４に示す。
図を図４に示す。
【００３１】ベース１８の中央部に設けられた、モータ
２２の駆動により歯車１０および９により回転する非接
触保持器Ｈの上面の保持面１７に突部１１を設け、非接
触保持器Ｈの上方にウエハのマークを検出するセンサー
４を設けて位置合わせ装置Ｃを構成する。
２２の駆動により歯車１０および９により回転する非接
触保持器Ｈの上面の保持面１７に突部１１を設け、非接
触保持器Ｈの上方にウエハのマークを検出するセンサー
４を設けて位置合わせ装置Ｃを構成する。
【００３２】上記の構成により、搬入されたウエハ６は
突部６上に置かれ非接触保持器Ｈより空気を噴出するこ
とにより吸引され突部１１に押着される。
突部６上に置かれ非接触保持器Ｈより空気を噴出するこ
とにより吸引され突部１１に押着される。
【００３３】この状態にてモータ２２の駆動にて非接触
保持器Ｈは回転し、ウエハ６を回転させ、センサー４に
よりウエハ６のマークを検出し位置合わせを行う。
保持器Ｈは回転し、ウエハ６を回転させ、センサー４に
よりウエハ６のマークを検出し位置合わせを行う。
【００３４】
【実施例３】図６に本発明の位置合わせシステムをしめ
す。
す。
【００３５】本発明は、ウエハ６を搭載したテーブル２
０と、位置合わせ装置Ａおよび前記テーブル２０と位置
合わせ装置Ａとの間を往復運動する非接触吸着Ｊを装着
したアーム１４をそなえた移動装置１３とにより構成さ
れる。
０と、位置合わせ装置Ａおよび前記テーブル２０と位置
合わせ装置Ａとの間を往復運動する非接触吸着Ｊを装着
したアーム１４をそなえた移動装置１３とにより構成さ
れる。
【００３６】非接触吸着具Ｊは、前記非接触保持器Ｇと
同様の構造のものであり、空気を噴出することによりウ
エハを非接触にて懸垂保持する。
同様の構造のものであり、空気を噴出することによりウ
エハを非接触にて懸垂保持する。
【００３７】上記の構成にて、テーブル２０上のウエハ
６にアーム１４に装着されている非接触吸着具Ｊが近接
した時点で、より空気を噴出することによりテーブル２
０上のウエハ６を非接触状態にて懸垂保持する。
６にアーム１４に装着されている非接触吸着具Ｊが近接
した時点で、より空気を噴出することによりテーブル２
０上のウエハ６を非接触状態にて懸垂保持する。
【００３８】非接触吸着具Ｊに懸垂保持されたウエハ６
はガイド２１により水平移動が規制され、アーム１４の
移動により位置合わせ装置Ａの空気を噴出している非接
触保持器Ｇ上に搬入され、回転ローラ１により回転し、
センサー４によりマークを検出し位置合わせを完了し、
非接触吸着具Ｊにより吸着され所定の場所に搬出され
る。
はガイド２１により水平移動が規制され、アーム１４の
移動により位置合わせ装置Ａの空気を噴出している非接
触保持器Ｇ上に搬入され、回転ローラ１により回転し、
センサー４によりマークを検出し位置合わせを完了し、
非接触吸着具Ｊにより吸着され所定の場所に搬出され
る。
【００３９】上述のごとく、本発明の位置合わせシステ
ムでは、ウエハ６の表面および裏面に接触することなく
操作することができる。
ムでは、ウエハ６の表面および裏面に接触することなく
操作することができる。
【００４０】
【発明の効果】本願に開示される発明のうち、代表的な
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。
【００４１】（１）ウエハを非接触にて保持するため、
ウエハの裏面および表面にゴミ、汚れを付着させること
なく位置合わせが可能である。
ウエハの裏面および表面にゴミ、汚れを付着させること
なく位置合わせが可能である。
【００４２】（２）ウエハを強力に吸着保持しないた
め、ウエハにストレスを生じさせない。
め、ウエハにストレスを生じさせない。
【００４３】（３）同様に薄いウエハを破損、損傷させ
ない。
ない。
【００４４】（４）ウエハの位置合わせ装置への搬入お
よび搬出までの全操作を非接触にて行うため、ウエハの
汚染損傷が無くなった。
よび搬出までの全操作を非接触にて行うため、ウエハの
汚染損傷が無くなった。
【００４５】（５）上記効果によりウエハ製造工程の歩
留まりの向上が可能になった。
留まりの向上が可能になった。
【図１】本発明の位置合わせ装置の側面図である。
【図２】本発明の位置合わせ装置の平面図である。
【図３】本発明の他の位置合わせ装置側面図である。
【図４】本発明のもう一つの位置合わせ装置の側面図で
ある。
ある。
【図５】非接触保持器の側面断面図である。
【図６】本発明の位置合わせシステム図である。
１ 回転ローラ ２ 支持ローラ ３ モータ ４ センサー ５ ベース ６ ウエハ １３ 移動装置 Ａ，Ｂ，Ｃ 位置合わせ装置 Ｇ、Ｌ 非接触保持器 Ｊ 非接触吸着具 Ｋ 回転具 Ｐ 高圧空気
Claims (3)
- 【請求項１】ウエハを回転させて位置合わせする装置に
おいて、ウエハを非接触にて支持する非接触保持器と、
前記非接触保持器に支持されたウエハを回転させる回転
具とで構成される位置合わせ装置。 - 【請求項２】＜請求項１＞の非接触保持器の上面に突部
を設け、該突部にウエハを押接させて支持し、前記非接
触保持器を回転させることにより位置合わせする位置合
わせ装置。 - 【請求項３】ウエハを移載具に装着された非接触吸着具
により＜請求項１＞および＜請求項２＞の記載の位置合
わせ装置に搬入し位置合わせ行い、搬出を行う位置合わ
せシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001173471A JP2002368065A (ja) | 2001-06-08 | 2001-06-08 | 位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001173471A JP2002368065A (ja) | 2001-06-08 | 2001-06-08 | 位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002368065A true JP2002368065A (ja) | 2002-12-20 |
Family
ID=19014917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001173471A Pending JP2002368065A (ja) | 2001-06-08 | 2001-06-08 | 位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002368065A (ja) |
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-
2001
- 2001-06-08 JP JP2001173471A patent/JP2002368065A/ja active Pending
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