JP2002299098A - Ｘ線発生装置 - Google Patents
Ｘ線発生装置Info
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
- H05G1/34—Anode current, heater current or heater voltage of X-ray tube
-
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- H05G—X-RAY TECHNIQUE
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-
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 使用条件によらないでＸ線管を効率的に運転
することにより、より長期にわたってしかも安定的にＸ
線を得ることが可能なＸ線発生装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ線発生装置１は、カソード部１６、グ
リッド電極１５及びターゲット２２を有するＸ線管１１
と、カソード部１６及びグリッド電極１５に印加する電
圧を制御する電圧制御装置２７，３２と、Ｘ線発生装置
１及びＸ線出射のオン・オフを操作するスイッチ３３，
３４とを備える。電圧制御装置２７，３２は、Ｘ線発生
装置１のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、
カソード部１６に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共
に、負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッド電極１５に印加
する。また、Ｘ線発生装置１のオン信号とＸ線出射のオ
ン信号とに基づいて、カソード部１６に待機電圧Ｖf1よ
りも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加すると共に、カッ
トオフ電圧Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリ
ッド電極１５に印加する。
することにより、より長期にわたってしかも安定的にＸ
線を得ることが可能なＸ線発生装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ線発生装置１は、カソード部１６、グ
リッド電極１５及びターゲット２２を有するＸ線管１１
と、カソード部１６及びグリッド電極１５に印加する電
圧を制御する電圧制御装置２７，３２と、Ｘ線発生装置
１及びＸ線出射のオン・オフを操作するスイッチ３３，
３４とを備える。電圧制御装置２７，３２は、Ｘ線発生
装置１のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、
カソード部１６に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共
に、負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッド電極１５に印加
する。また、Ｘ線発生装置１のオン信号とＸ線出射のオ
ン信号とに基づいて、カソード部１６に待機電圧Ｖf1よ
りも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加すると共に、カッ
トオフ電圧Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリ
ッド電極１５に印加する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を発生させる
Ｘ線発生装置に関する。
Ｘ線発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかるＸ線発生装置としては、例えば特
開平７−２９５３２号公報に開示されたものがある。こ
のＸ線発生装置は、熱電子を放出するカソード部と、カ
ソード部から放出された熱電子を制御するグリッド電極
と、熱電子が衝突することでＸ線を発生するターゲット
と、これらカソード部及びグリッド電極に印加する電圧
を制御する電圧制御装置とを備えている。カソード部
は、多孔質タングステンにＢａＯなどの易電子放射物質
が含浸されたカソードと、このカソードを加熱して熱電
子を放出させるためのヒータとを備えている。
開平７−２９５３２号公報に開示されたものがある。こ
のＸ線発生装置は、熱電子を放出するカソード部と、カ
ソード部から放出された熱電子を制御するグリッド電極
と、熱電子が衝突することでＸ線を発生するターゲット
と、これらカソード部及びグリッド電極に印加する電圧
を制御する電圧制御装置とを備えている。カソード部
は、多孔質タングステンにＢａＯなどの易電子放射物質
が含浸されたカソードと、このカソードを加熱して熱電
子を放出させるためのヒータとを備えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のＸ線発
生装置では、図８（ａ）〜（ｅ）に示すように、Ｘ線発
生装置のメイン電源（図中、駆動ＳＷと示す）をオンに
することで、電圧制御装置によってカソード部、すなわ
ちカソードを加熱するためのヒータに所定の電圧が印加
されると共に、熱電子がターゲットに到達しないような
カットオフ電圧がグリッド電極に印加される。このよう
に予めヒータに所定の電圧を印加すること（すなわち、
ヒータの予熱）は、Ｘ線出射のオン信号が入力されたと
同時に所望の安定したＸ線を出射するために重要であ
る。そして、Ｘ線出射のスイッチ（図中、Ｘ線ＳＷと示
す）によりＸ線出射のオン信号が入力されると、ターゲ
ットに衝突する熱電子の量が所定値となるような動作電
圧がグリッド電極に印加され、これにより熱電子がター
ゲットに衝突してＸ線が発生する。
生装置では、図８（ａ）〜（ｅ）に示すように、Ｘ線発
生装置のメイン電源（図中、駆動ＳＷと示す）をオンに
することで、電圧制御装置によってカソード部、すなわ
ちカソードを加熱するためのヒータに所定の電圧が印加
されると共に、熱電子がターゲットに到達しないような
カットオフ電圧がグリッド電極に印加される。このよう
に予めヒータに所定の電圧を印加すること（すなわち、
ヒータの予熱）は、Ｘ線出射のオン信号が入力されたと
同時に所望の安定したＸ線を出射するために重要であ
る。そして、Ｘ線出射のスイッチ（図中、Ｘ線ＳＷと示
す）によりＸ線出射のオン信号が入力されると、ターゲ
ットに衝突する熱電子の量が所定値となるような動作電
圧がグリッド電極に印加され、これにより熱電子がター
ゲットに衝突してＸ線が発生する。
【０００４】従来のＸ線発生装置では、Ｘ線出射のオン
信号が入力されると同時に所望の安定したＸ線を出射す
るために、カソード部のヒータには熱電子の放出に必要
な電圧が常に印加されていた。ところで、Ｘ線発生装置
では、使用条件によってはメイン電源がオン状態でＸ線
出射がオフの状態である待機時間、すなわちヒータの予
熱状態が圧倒的に長い状態となることがあった。この待
機時間中にもカソード部のヒータには熱電子の放出に必
要な電圧が印加されているので、Ｘ線を出射しなくとも
カソードは消耗することになる。このように、使用条件
によってはＸ線管の非効率な運転が行われることにな
り、その結果、カソードの寿命が短くなって、ひいては
Ｘ線管の寿命が短くなるという問題があった。
信号が入力されると同時に所望の安定したＸ線を出射す
るために、カソード部のヒータには熱電子の放出に必要
な電圧が常に印加されていた。ところで、Ｘ線発生装置
では、使用条件によってはメイン電源がオン状態でＸ線
出射がオフの状態である待機時間、すなわちヒータの予
熱状態が圧倒的に長い状態となることがあった。この待
機時間中にもカソード部のヒータには熱電子の放出に必
要な電圧が印加されているので、Ｘ線を出射しなくとも
カソードは消耗することになる。このように、使用条件
によってはＸ線管の非効率な運転が行われることにな
り、その結果、カソードの寿命が短くなって、ひいては
Ｘ線管の寿命が短くなるという問題があった。
【０００５】そこで本発明は、使用条件によらないでＸ
線管を効率的に運転することにより、より長期にわたっ
てしかも安定的にＸ線を得ることが可能なＸ線発生装置
を提供することを目的とする。
線管を効率的に運転することにより、より長期にわたっ
てしかも安定的にＸ線を得ることが可能なＸ線発生装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るＸ線発生装
置は、（１）熱電子を放出するカソード部、カソード部
から放出された熱電子を制御するグリッド電極、及び熱
電子が衝突することによりＸ線を発生させるターゲット
を有するＸ線管と、（２）カソード部及びグリッド電極
に印加する電圧を制御する電圧制御装置と、（３）Ｘ線
発生装置のオン・オフ及びＸ線出射のオン・オフを操作
するスイッチと、を備え、電圧制御装置は、スイッチを
介するＸ線発生装置のオン信号とＸ線出射のオフ信号と
に基づいて、カソード部に正の待機電圧Ｖf1 を印加す
ると共に、カソード部から放出された熱電子がターゲッ
トに到達しないような負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッ
ド電極に印加し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン
信号とＸ線出射のオン信号とに基づいて、カソード部に
待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加す
ると共に、カソード部から放出された熱電子がターゲッ
トに到達するようなカットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリ
ッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極に印加する、ことを特
徴とする。
置は、（１）熱電子を放出するカソード部、カソード部
から放出された熱電子を制御するグリッド電極、及び熱
電子が衝突することによりＸ線を発生させるターゲット
を有するＸ線管と、（２）カソード部及びグリッド電極
に印加する電圧を制御する電圧制御装置と、（３）Ｘ線
発生装置のオン・オフ及びＸ線出射のオン・オフを操作
するスイッチと、を備え、電圧制御装置は、スイッチを
介するＸ線発生装置のオン信号とＸ線出射のオフ信号と
に基づいて、カソード部に正の待機電圧Ｖf1 を印加す
ると共に、カソード部から放出された熱電子がターゲッ
トに到達しないような負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッ
ド電極に印加し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン
信号とＸ線出射のオン信号とに基づいて、カソード部に
待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加す
ると共に、カソード部から放出された熱電子がターゲッ
トに到達するようなカットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリ
ッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極に印加する、ことを特
徴とする。
【０００７】このＸ線発生装置では、Ｘ線発生装置のス
イッチがオンでＸ線出射のスイッチがオフの状態では、
Ｘ線出射のスイッチがオンのときに印加されるカソード
動作電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がカソード部に印
加される。よって、Ｘ線発生装置のスイッチがオンの状
態でカソード部に常にカソード動作電圧Ｖf2が印加され
る従来のＸ線発生装置と比べて、カソード部が消耗する
までの期間が長くなり、しかもＸ線出射のスイッチをオ
ンにしたと同時に所望の安定したＸ線を出射することが
できる。このように、このＸ線発生装置によれば、使用
条件によらないでＸ線管を効率的に運転することによ
り、より長期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能
となる。
イッチがオンでＸ線出射のスイッチがオフの状態では、
Ｘ線出射のスイッチがオンのときに印加されるカソード
動作電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がカソード部に印
加される。よって、Ｘ線発生装置のスイッチがオンの状
態でカソード部に常にカソード動作電圧Ｖf2が印加され
る従来のＸ線発生装置と比べて、カソード部が消耗する
までの期間が長くなり、しかもＸ線出射のスイッチをオ
ンにしたと同時に所望の安定したＸ線を出射することが
できる。このように、このＸ線発生装置によれば、使用
条件によらないでＸ線管を効率的に運転することによ
り、より長期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能
となる。
【０００８】また本発明に係るＸ線発生装置は、（１）
熱電子を放出するカソード部、カソード部から放出され
た熱電子を制御するグリッド電極、及び熱電子が衝突す
ることによりＸ線を発生させるターゲットを有するＸ線
管と、（２）カソード部及びグリッド電極に印加する電
圧を制御する電圧制御装置と、（３）Ｘ線発生装置のオ
ン・オフ、カソード部のオン・オフ、及びＸ線出射のオ
ン・オフを操作するスイッチと、を備え、電圧制御装置
は、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号とカソー
ド部のオフ信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カ
ソード部に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、カソ
ード部から放出された熱電子がターゲットに到達しない
ような負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッド電極に印加
し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号とカソー
ド部のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カ
ソード部に待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖ
f2を印加すると共に、グリッド電極にカットオフ電圧Ｖ
c1を印加し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号
とカソード部のオン信号とＸ線出射のオン信号とに基づ
いて、カソード部にカソード動作電圧Ｖf2を印加すると
共に、カソード部から放出された熱電子が前記ターゲッ
トに到達するようなカットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリ
ッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極に印加する、ことを特
徴とする。
熱電子を放出するカソード部、カソード部から放出され
た熱電子を制御するグリッド電極、及び熱電子が衝突す
ることによりＸ線を発生させるターゲットを有するＸ線
管と、（２）カソード部及びグリッド電極に印加する電
圧を制御する電圧制御装置と、（３）Ｘ線発生装置のオ
ン・オフ、カソード部のオン・オフ、及びＸ線出射のオ
ン・オフを操作するスイッチと、を備え、電圧制御装置
は、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号とカソー
ド部のオフ信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カ
ソード部に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、カソ
ード部から放出された熱電子がターゲットに到達しない
ような負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッド電極に印加
し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号とカソー
ド部のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カ
ソード部に待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖ
f2を印加すると共に、グリッド電極にカットオフ電圧Ｖ
c1を印加し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号
とカソード部のオン信号とＸ線出射のオン信号とに基づ
いて、カソード部にカソード動作電圧Ｖf2を印加すると
共に、カソード部から放出された熱電子が前記ターゲッ
トに到達するようなカットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリ
ッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極に印加する、ことを特
徴とする。
【０００９】このＸ線発生装置では、Ｘ線発生装置のス
イッチがオンでカソード部のスイッチがオフの状態で
は、カソード部のスイッチがオンのときに印加されるカ
ソード動作電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がカソード
部に印加される。よって、Ｘ線発生装置のスイッチがオ
ンの状態でカソード部に常にカソード動作電圧Ｖf2が印
加される従来のＸ線発生装置と比べて、カソード部が消
耗するまでの期間が長くなり、しかもＸ線出射のスイッ
チをオンにしたと同時に所望の安定したＸ線を出射する
ことができる。このように、使用条件によらないでＸ線
管を効率的に運転することにより、より長期にわたって
しかも安定的にＸ線を得ることが可能となる。特に、こ
のＸ線発生装置では、カソード部のオン・オフを操作す
るスイッチにより、カソード部に印加する電圧を待機電
圧Ｖf1とカソード動作電圧Ｖf2との間で自由に操作でき
るようになっている。よって、Ｘ線の出射を開始する前
にカソード部のスイッチをオンにし、カソード部に印加
する電圧を待機電圧Ｖf1からカソード動作電圧Ｖf2に切
り替えておくことで、Ｘ線出射のスイッチのオンにより
Ｘ線の出射に瞬時に対応して、Ｘ線出射の初期状態から
より安定した特性のＸ線を出射することが可能となる。
イッチがオンでカソード部のスイッチがオフの状態で
は、カソード部のスイッチがオンのときに印加されるカ
ソード動作電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がカソード
部に印加される。よって、Ｘ線発生装置のスイッチがオ
ンの状態でカソード部に常にカソード動作電圧Ｖf2が印
加される従来のＸ線発生装置と比べて、カソード部が消
耗するまでの期間が長くなり、しかもＸ線出射のスイッ
チをオンにしたと同時に所望の安定したＸ線を出射する
ことができる。このように、使用条件によらないでＸ線
管を効率的に運転することにより、より長期にわたって
しかも安定的にＸ線を得ることが可能となる。特に、こ
のＸ線発生装置では、カソード部のオン・オフを操作す
るスイッチにより、カソード部に印加する電圧を待機電
圧Ｖf1とカソード動作電圧Ｖf2との間で自由に操作でき
るようになっている。よって、Ｘ線の出射を開始する前
にカソード部のスイッチをオンにし、カソード部に印加
する電圧を待機電圧Ｖf1からカソード動作電圧Ｖf2に切
り替えておくことで、Ｘ線出射のスイッチのオンにより
Ｘ線の出射に瞬時に対応して、Ｘ線出射の初期状態から
より安定した特性のＸ線を出射することが可能となる。
【００１０】また本発明に係るＸ線発生装置は、（１）
熱電子を放出するカソード部、カソード部から放出され
た熱電子を制御するグリッド電極、及び熱電子が衝突す
ることによりＸ線を発生させるターゲットを有するＸ線
管と、（２）カソード部及びグリッド電極に印加する電
圧を制御する電圧制御装置と、（３）Ｘ線発生装置のオ
ン・オフ、カソード部のオン・オフ、及びＸ線出射のオ
ン・オフを操作するスイッチと、を備え、電圧制御装置
は、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号とカソー
ド部のオフ信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カ
ソード部へ電圧を印加しないと共に、グリッド電極へ電
圧を印加せず、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信
号とカソード部のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基
づいて、カソード部へ正の待機電圧Ｖf1 を印加すると
共に、グリッド電極にカソード部から放出された熱電子
がターゲットに到達しないような負のカットオフ電圧Ｖ
c1を印加し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号
とカソード部のオン信号とＸ線出射のオン信号とに基づ
いて、カソード部へ待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動
作電圧Ｖf2を印加すると共に、カソード部から放出され
た熱電子がターゲットに到達するようなカットオフ電圧
Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極に
印加する、ことを特徴とする。
熱電子を放出するカソード部、カソード部から放出され
た熱電子を制御するグリッド電極、及び熱電子が衝突す
ることによりＸ線を発生させるターゲットを有するＸ線
管と、（２）カソード部及びグリッド電極に印加する電
圧を制御する電圧制御装置と、（３）Ｘ線発生装置のオ
ン・オフ、カソード部のオン・オフ、及びＸ線出射のオ
ン・オフを操作するスイッチと、を備え、電圧制御装置
は、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号とカソー
ド部のオフ信号とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カ
ソード部へ電圧を印加しないと共に、グリッド電極へ電
圧を印加せず、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信
号とカソード部のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基
づいて、カソード部へ正の待機電圧Ｖf1 を印加すると
共に、グリッド電極にカソード部から放出された熱電子
がターゲットに到達しないような負のカットオフ電圧Ｖ
c1を印加し、スイッチを介するＸ線発生装置のオン信号
とカソード部のオン信号とＸ線出射のオン信号とに基づ
いて、カソード部へ待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動
作電圧Ｖf2を印加すると共に、カソード部から放出され
た熱電子がターゲットに到達するようなカットオフ電圧
Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極に
印加する、ことを特徴とする。
【００１１】このＸ線発生装置では、Ｘ線発生装置のス
イッチがオンで、カソード部のスイッチがオフのときは
カソード部に電圧が印加されず、Ｘ線発生装置のスイッ
チがオンで、カソード部のスイッチがオンで、Ｘ線出射
のスイッチがオフの状態では、Ｘ線出射のスイッチがオ
ンのときに印加されるカソード動作電圧Ｖf2よりも低い
待機電圧Ｖf1がカソード部に印加される。よって、Ｘ線
発生装置のスイッチがオンの状態でカソード部に常にカ
ソード動作電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線発生装置と
比べて、カソード部が消耗するまでの期間が長くなり、
しかもＸ線出射のスイッチをオンにしたと同時に所望の
安定したＸ線を出射することができる。このように、使
用条件によらないでＸ線管を効率的に運転することによ
り、より長期にわたってしかも安定的にＸ線を得ること
が可能となる。特に、本実施形態に係るＸ線発生装置
は、カソード部のオン・オフを操作するスイッチによ
り、カソード部に印加する電圧を電圧印加停止と待機電
圧Ｖf1との間で自由に操作できるようになっている。よ
って、Ｘ線発生装置のスイッチがオンの状態であって
も、カソード部への電圧印加を停止することが可能とな
り、カソード部が短期間で消耗することがより一層抑制
され、Ｘ線管をより効率的に運転することにより、より
長期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能となる。
イッチがオンで、カソード部のスイッチがオフのときは
カソード部に電圧が印加されず、Ｘ線発生装置のスイッ
チがオンで、カソード部のスイッチがオンで、Ｘ線出射
のスイッチがオフの状態では、Ｘ線出射のスイッチがオ
ンのときに印加されるカソード動作電圧Ｖf2よりも低い
待機電圧Ｖf1がカソード部に印加される。よって、Ｘ線
発生装置のスイッチがオンの状態でカソード部に常にカ
ソード動作電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線発生装置と
比べて、カソード部が消耗するまでの期間が長くなり、
しかもＸ線出射のスイッチをオンにしたと同時に所望の
安定したＸ線を出射することができる。このように、使
用条件によらないでＸ線管を効率的に運転することによ
り、より長期にわたってしかも安定的にＸ線を得ること
が可能となる。特に、本実施形態に係るＸ線発生装置
は、カソード部のオン・オフを操作するスイッチによ
り、カソード部に印加する電圧を電圧印加停止と待機電
圧Ｖf1との間で自由に操作できるようになっている。よ
って、Ｘ線発生装置のスイッチがオンの状態であって
も、カソード部への電圧印加を停止することが可能とな
り、カソード部が短期間で消耗することがより一層抑制
され、Ｘ線管をより効率的に運転することにより、より
長期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能となる。
【００１２】本発明に係るＸ線発生装置では、電圧制御
装置は、カソード部への待機電圧Ｖ f1 の印加時間が連
続して所定の時間以上継続したとき、カソード部のオン
・オフを制御するスイッチをオフにして、カソード部へ
の電圧の印加を停止することを特徴としてもよい。この
ようにすれば、カソード部のスイッチを消し忘れたと
き、カソード部への電圧の印加が自動的に停止されるこ
とにより、カソード部が短期間で消耗することが更に抑
制され、Ｘ線管を更に効率的に運転することにより、更
に長期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能とな
る。
装置は、カソード部への待機電圧Ｖ f1 の印加時間が連
続して所定の時間以上継続したとき、カソード部のオン
・オフを制御するスイッチをオフにして、カソード部へ
の電圧の印加を停止することを特徴としてもよい。この
ようにすれば、カソード部のスイッチを消し忘れたと
き、カソード部への電圧の印加が自動的に停止されるこ
とにより、カソード部が短期間で消耗することが更に抑
制され、Ｘ線管を更に効率的に運転することにより、更
に長期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能とな
る。
【００１３】本発明に係るＸ線発生装置では、カソード
部は、カソードとカソードを加熱するためのヒータとを
有する傍熱タイプのカソード部であることを特徴として
もよい。このようにすれば、ヒータに印加する電圧を制
御することによりカソードが消耗するまでの期間が長く
なる。
部は、カソードとカソードを加熱するためのヒータとを
有する傍熱タイプのカソード部であることを特徴として
もよい。このようにすれば、ヒータに印加する電圧を制
御することによりカソードが消耗するまでの期間が長く
なる。
【００１４】本発明に係るＸ線発生装置では、カソード
部は、フィラメントを有する直熱タイプのカソード部で
あることを特徴としてもよい。このようにすれば、フィ
ラメントに印加する電圧を制御することによりフィラメ
ントが消耗するまでの期間が長くなる。
部は、フィラメントを有する直熱タイプのカソード部で
あることを特徴としてもよい。このようにすれば、フィ
ラメントに印加する電圧を制御することによりフィラメ
ントが消耗するまでの期間が長くなる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明に係るＸ線発生装置の好適な実施形態について説明
する。なお、図面において同一の要素には同一の符号を
付し、重複する説明を省略する。
発明に係るＸ線発生装置の好適な実施形態について説明
する。なお、図面において同一の要素には同一の符号を
付し、重複する説明を省略する。
【００１６】ここで、以下に説明する第１〜３の実施形
態に係るＸ線発生装置は、基本構成が同一であるため、
Ｘ線発生装置の基本構成について最初にまとめて説明す
る。
態に係るＸ線発生装置は、基本構成が同一であるため、
Ｘ線発生装置の基本構成について最初にまとめて説明す
る。
【００１７】図１は、第１〜３の実施形態に係るＸ線発
生装置の構成を模式的に示す図である。図１に示すよう
に、Ｘ線発生装置１はＸ線を発生するＸ線管ユニット１
０と、このＸ線管ユニット１０を制御する制御ユニット
３０とを備えている。
生装置の構成を模式的に示す図である。図１に示すよう
に、Ｘ線発生装置１はＸ線を発生するＸ線管ユニット１
０と、このＸ線管ユニット１０を制御する制御ユニット
３０とを備えている。
【００１８】Ｘ線管ユニット１０は、Ｘ線管１１を有し
ている。Ｘ線管１１は、エンドウィンドウタイプとサイ
ドウィンドウタイプのいずれも用いることが可能である
が、本実施形態ではエンドウィンドウタイプのＸ線管１
１について説明する。
ている。Ｘ線管１１は、エンドウィンドウタイプとサイ
ドウィンドウタイプのいずれも用いることが可能である
が、本実施形態ではエンドウィンドウタイプのＸ線管１
１について説明する。
【００１９】図２に示すように、Ｘ線管１１はマイクロ
フォーカスＸ線管であり、金属製の外囲器１２とガラス
製の外囲器１３とを組み合わせて構成されている。外囲
器１２の一端にはセラミック製のステム１４がはめ込ま
れており、ステム１４には後述するグリッド電極１５や
カソード部１６に電圧を供給するための複数のピン１７
が挿通されている。また、この外囲器１２の側面にはベ
リリウム製のＸ線出射窓１８が形成されている。
フォーカスＸ線管であり、金属製の外囲器１２とガラス
製の外囲器１３とを組み合わせて構成されている。外囲
器１２の一端にはセラミック製のステム１４がはめ込ま
れており、ステム１４には後述するグリッド電極１５や
カソード部１６に電圧を供給するための複数のピン１７
が挿通されている。また、この外囲器１２の側面にはベ
リリウム製のＸ線出射窓１８が形成されている。
【００２０】外囲器１２，１３の内部には、外囲器１２
側に電子銃２０が配置され、外囲器１３側に無酸素銅な
どからなるターゲット基体２１が配置されている。電子
銃２０は、カソード部１６、グリッド電極１５、及びフ
ォーカス電極１９を有している。また、ターゲット基体
２１の先端には、タングステンのターゲット２２が銀で
ロウ付けされている。
側に電子銃２０が配置され、外囲器１３側に無酸素銅な
どからなるターゲット基体２１が配置されている。電子
銃２０は、カソード部１６、グリッド電極１５、及びフ
ォーカス電極１９を有している。また、ターゲット基体
２１の先端には、タングステンのターゲット２２が銀で
ロウ付けされている。
【００２１】ターゲット２２は、熱電子がターゲット２
２に向かう軌道に垂直な面に対して２５度傾けて配置さ
れている。このように、ターゲット２２が傾けられて配
置されているため、発生したＸ線の多くがＸ線出射窓１
８から外部に出射される。
２に向かう軌道に垂直な面に対して２５度傾けて配置さ
れている。このように、ターゲット２２が傾けられて配
置されているため、発生したＸ線の多くがＸ線出射窓１
８から外部に出射される。
【００２２】図３は、電子銃２０の構造を示す断面図で
ある。図３に示すように、カソード部１６、グリッド電
極１５、及びフォーカス電極１９は、アルミナ又はサフ
ァイヤの支柱２３に取り付けられている。グリッド電極
１５とフォーカス電極１９の材質は、耐熱性及び放熱性
に優れたモリブデンを使用することができる。グリッド
電極１５とフォーカス電極１９の支柱２３への接着は、
非結晶性ガラスまたは銀２４によるロウ付けにより行わ
れている。カソード部１６は、ヒータ２５とカソード２
６とを含み、ヒータ２５の熱によりカソード２６を加熱
する傍熱タイプである。なお、カソード部１６はフィラ
メントを有し、このフィラメントに電圧を印加すること
で熱電子が放出される直熱タイプであってもよい。本実
施形態では、傍熱タイプのカソード部１６について説明
する。
ある。図３に示すように、カソード部１６、グリッド電
極１５、及びフォーカス電極１９は、アルミナ又はサフ
ァイヤの支柱２３に取り付けられている。グリッド電極
１５とフォーカス電極１９の材質は、耐熱性及び放熱性
に優れたモリブデンを使用することができる。グリッド
電極１５とフォーカス電極１９の支柱２３への接着は、
非結晶性ガラスまたは銀２４によるロウ付けにより行わ
れている。カソード部１６は、ヒータ２５とカソード２
６とを含み、ヒータ２５の熱によりカソード２６を加熱
する傍熱タイプである。なお、カソード部１６はフィラ
メントを有し、このフィラメントに電圧を印加すること
で熱電子が放出される直熱タイプであってもよい。本実
施形態では、傍熱タイプのカソード部１６について説明
する。
【００２３】カソード２６は含浸型カソードが用いられ
ている。含浸型カソードは多孔質タングステンにＢａ
Ｏ，ＣａＯ，Ａｌ2Ｏ3などの易電子放射物質を含浸させ
たものであり、その電子放斜面がＯｓ（オスミウム），
Ｉｒ（イリジウム），Ｏｓ／Ｒｕ（ルテニウム）などで
被覆されている。この被覆により、動作温度が低減され
カソード２６の長寿命化が図られる。
ている。含浸型カソードは多孔質タングステンにＢａ
Ｏ，ＣａＯ，Ａｌ2Ｏ3などの易電子放射物質を含浸させ
たものであり、その電子放斜面がＯｓ（オスミウム），
Ｉｒ（イリジウム），Ｏｓ／Ｒｕ（ルテニウム）などで
被覆されている。この被覆により、動作温度が低減され
カソード２６の長寿命化が図られる。
【００２４】外囲器１２は、ニッケル・銅合金により形
成されている。ニッケル・銅合金は、熱伝導性、加工性
（特に溶接性）に優れ、ガス放出の少ない金属である。
このように、外囲器１２は熱伝導性の高い合金により形
成されるため、Ｘ線管１１の内部で発生する熱を効率よ
く外部に運び去ることができ、熱によるダメージを軽減
してＸ線管１１の寿命を延ばすことができる。
成されている。ニッケル・銅合金は、熱伝導性、加工性
（特に溶接性）に優れ、ガス放出の少ない金属である。
このように、外囲器１２は熱伝導性の高い合金により形
成されるため、Ｘ線管１１の内部で発生する熱を効率よ
く外部に運び去ることができ、熱によるダメージを軽減
してＸ線管１１の寿命を延ばすことができる。
【００２５】また外囲器１２は導電性を有し、常にグラ
ンド電位に維持されている。フォーカス電極１９はこの
外囲器１２と接続されているため、フォーカス電極１９
も常にグランド電位に維持される。これにより、ターゲ
ット２２の電位が変化しても、フォーカス電極１９の周
囲に形成される電子レンズの形状は常に一定となり、安
定した微小Ｘ線焦点を保つことができる。さらに、グラ
ンド電位に維持された外囲器１２によって、電子銃１０
及びターゲット２２が囲まれているため、外部の影響に
より外囲器１２内部の電界分布の乱れが抑制されてい
る。
ンド電位に維持されている。フォーカス電極１９はこの
外囲器１２と接続されているため、フォーカス電極１９
も常にグランド電位に維持される。これにより、ターゲ
ット２２の電位が変化しても、フォーカス電極１９の周
囲に形成される電子レンズの形状は常に一定となり、安
定した微小Ｘ線焦点を保つことができる。さらに、グラ
ンド電位に維持された外囲器１２によって、電子銃１０
及びターゲット２２が囲まれているため、外部の影響に
より外囲器１２内部の電界分布の乱れが抑制されてい
る。
【００２６】またＸ線管ユニット１０は、グリッド電極
１５、ターゲット２２、及びカソード部１６に印加する
電圧を発生する電圧発生回路２７を有している。ここで
本明細書において「カソード部に印加する電圧」とは、
上記した傍熱タイプのカソード部１６についてはヒータ
２５に印加する電圧のことを指し、直熱タイプのカソー
ド部１６についてはフィラメントに印加する電圧のこと
を指す。この電圧発生回路２７は、グリッド電極１５、
ターゲット２２、及びカソード部１６について共通のも
のとして図示するが、これらグリッド電極１５、ターゲ
ット２２、及びカソード部１６は電圧発生回路をそれぞ
れ有していてもよい。
１５、ターゲット２２、及びカソード部１６に印加する
電圧を発生する電圧発生回路２７を有している。ここで
本明細書において「カソード部に印加する電圧」とは、
上記した傍熱タイプのカソード部１６についてはヒータ
２５に印加する電圧のことを指し、直熱タイプのカソー
ド部１６についてはフィラメントに印加する電圧のこと
を指す。この電圧発生回路２７は、グリッド電極１５、
ターゲット２２、及びカソード部１６について共通のも
のとして図示するが、これらグリッド電極１５、ターゲ
ット２２、及びカソード部１６は電圧発生回路をそれぞ
れ有していてもよい。
【００２７】このＸ線管ユニット１０では、カソード部
１６のヒータ２５に電圧が印加されて発熱することによ
りカソード２６が加熱されると、一定の温度でカソード
２６の表面から熱電子が放出される。放出された熱電子
は、グリッド電極１５により加速され、フォーカス電極
１９により集束されて、ターゲット２２に衝突する。衝
突により、熱電子はＸ線と熱に変換され、発生したＸ線
はＸ線出射窓１８から外部に出射する。また発生した熱
は熱伝導性の高いターゲット基体２１を通って外部に放
出される。
１６のヒータ２５に電圧が印加されて発熱することによ
りカソード２６が加熱されると、一定の温度でカソード
２６の表面から熱電子が放出される。放出された熱電子
は、グリッド電極１５により加速され、フォーカス電極
１９により集束されて、ターゲット２２に衝突する。衝
突により、熱電子はＸ線と熱に変換され、発生したＸ線
はＸ線出射窓１８から外部に出射する。また発生した熱
は熱伝導性の高いターゲット基体２１を通って外部に放
出される。
【００２８】制御ユニット３０は、図１に示すように、
操作部３１と制御部３２とを有している。操作部３１に
は、Ｘ線発生装置１自体のオン・オフを操作するスイッ
チ３３と、Ｘ線出射のオン・オフを操作するスイッチ３
４が設けられている。第２及び第３の実施形態に係るＸ
線発生装置１では、操作部３１には更にカソード部１６
のオン・オフを操作するスイッチ３５が設けられてい
る。
操作部３１と制御部３２とを有している。操作部３１に
は、Ｘ線発生装置１自体のオン・オフを操作するスイッ
チ３３と、Ｘ線出射のオン・オフを操作するスイッチ３
４が設けられている。第２及び第３の実施形態に係るＸ
線発生装置１では、操作部３１には更にカソード部１６
のオン・オフを操作するスイッチ３５が設けられてい
る。
【００２９】制御部３２には、電圧発生回路２７を制御
するためのプログラムが記憶されたメモリ３６と、Ｘ線
発生装置１０全体の動作をつかさどる演算手段としての
ＣＰＵ３７が設けられている。なお、この制御部３２と
電圧発生回路２７とにより本実施形態に係る電圧制御装
置が構成される。
するためのプログラムが記憶されたメモリ３６と、Ｘ線
発生装置１０全体の動作をつかさどる演算手段としての
ＣＰＵ３７が設けられている。なお、この制御部３２と
電圧発生回路２７とにより本実施形態に係る電圧制御装
置が構成される。
【００３０】上記のような基本構成を有するＸ線発生装
置１において、第１〜３の実施形態では制御部３２の構
成がそれぞれ相違する。よって、以下に説明する各実施
形態においては、主に制御部３２の相違点について詳述
する。
置１において、第１〜３の実施形態では制御部３２の構
成がそれぞれ相違する。よって、以下に説明する各実施
形態においては、主に制御部３２の相違点について詳述
する。
【００３１】（第１の実施形態）第１の実施形態に係る
Ｘ線発生装置１では、制御ユニット３０の制御部３２の
メモリ３７には、Ｘ線管ユニット１０の電圧発生回路２
７を以下のように制御するためのプログラムが記憶され
ている。
Ｘ線発生装置１では、制御ユニット３０の制御部３２の
メモリ３７には、Ｘ線管ユニット１０の電圧発生回路２
７を以下のように制御するためのプログラムが記憶され
ている。
【００３２】すなわち、図４（ａ）〜（ｅ）に示すよう
に、Ｘ線発生装置１のスイッチ（図中、駆動ＳＷと示
す）３３がオフにされているとき（Ｘ線出射のスイッチ
３４は必然的にオフである）、グリッド電極１５及びカ
ソード部１６のヒータ２５のいずれにも電圧を印加しな
い。そして、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ（図中、Ｘ線ＳＷと示す）３４
がオフにされているとき、Ｘ線発生装置１のオン信号
と、Ｘ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６
のヒータ２５に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、
カソード部１６のカソード２６から放出された熱電子が
ターゲット２２に到達しないような負のカットオフ電圧
Ｖc1をグリッド電極１５に印加する。
に、Ｘ線発生装置１のスイッチ（図中、駆動ＳＷと示
す）３３がオフにされているとき（Ｘ線出射のスイッチ
３４は必然的にオフである）、グリッド電極１５及びカ
ソード部１６のヒータ２５のいずれにも電圧を印加しな
い。そして、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ（図中、Ｘ線ＳＷと示す）３４
がオフにされているとき、Ｘ線発生装置１のオン信号
と、Ｘ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６
のヒータ２５に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、
カソード部１６のカソード２６から放出された熱電子が
ターゲット２２に到達しないような負のカットオフ電圧
Ｖc1をグリッド電極１５に印加する。
【００３３】また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオンにされている
とき、Ｘ線発生装置１のオン信号とＸ線出射のオン信号
とに基づいて、カソード部１６のヒータ２５に待機電圧
Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加すると共
に、カソード部１６のカソード２６から放出された熱電
子がターゲット２２に到達するような、カットオフ電圧
Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極１
５に印加する。
ンにされ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオンにされている
とき、Ｘ線発生装置１のオン信号とＸ線出射のオン信号
とに基づいて、カソード部１６のヒータ２５に待機電圧
Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加すると共
に、カソード部１６のカソード２６から放出された熱電
子がターゲット２２に到達するような、カットオフ電圧
Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリッド電極１
５に印加する。
【００３４】かかる構成を有する本実施形態に係るＸ線
発生装置１を動作させるためには、図４（ａ）に示すよ
うに、まずＸ線発生装置１のスイッチ３３をオンにす
る。すると、図４（ｄ）に示すように、カソード部１６
のヒータ２５に３ボルト程度の正の待機電圧Ｖf1 が印
加される。これによりカソード２６が暖められ、Ｘ線出
射にすばやく対応できるよう待機状態に入る。この待機
電圧Ｖf1 は可能な限り小さいと好ましい。これと同時
に、図４（ｃ）に示すように、カソード２６から放出さ
れた熱電子がターゲット２２に到達しないような−２０
０ボルト程度の負のカットオフ電圧Ｖc1がグリッド電極
１５に印加される。これにより、待機状態においてカソ
ード２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達
することが抑制される。
発生装置１を動作させるためには、図４（ａ）に示すよ
うに、まずＸ線発生装置１のスイッチ３３をオンにす
る。すると、図４（ｄ）に示すように、カソード部１６
のヒータ２５に３ボルト程度の正の待機電圧Ｖf1 が印
加される。これによりカソード２６が暖められ、Ｘ線出
射にすばやく対応できるよう待機状態に入る。この待機
電圧Ｖf1 は可能な限り小さいと好ましい。これと同時
に、図４（ｃ）に示すように、カソード２６から放出さ
れた熱電子がターゲット２２に到達しないような−２０
０ボルト程度の負のカットオフ電圧Ｖc1がグリッド電極
１５に印加される。これにより、待機状態においてカソ
ード２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達
することが抑制される。
【００３５】そして、Ｘ線の出射を開始したいときは、
図４（ｂ）に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオ
ンにする。すると、図４（ｄ）に示すように、カソード
部１６のヒータ２５に待機電圧Ｖf1よりも高い６．３ボ
ルト程度のカソード動作電圧Ｖf2 が印加される。これ
によりカソード２６が高温に熱せられ、カソード２６か
ら多くの熱電子が放出される。これと同時に、図４
（ｃ）に示すように、カソード２６から放出された熱電
子がターゲット２２に到達するようなカットオフ電圧Ｖ
c1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2がグリッド電極１５
に印加される。このグリッド動作電圧Ｖc2は、カソード
２６から放出されてターゲット２２に衝突する熱電子の
量が所定値となるように調整される。これにより、カソ
ード２６から放出された熱電子がグリッド電極１５によ
り加速され、集束電極１９により集束されてターゲット
２２に衝突する。そして、生成されたＸ線は、Ｘ線出射
窓１９から外部に出射される（図４（ｅ））。
図４（ｂ）に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオ
ンにする。すると、図４（ｄ）に示すように、カソード
部１６のヒータ２５に待機電圧Ｖf1よりも高い６．３ボ
ルト程度のカソード動作電圧Ｖf2 が印加される。これ
によりカソード２６が高温に熱せられ、カソード２６か
ら多くの熱電子が放出される。これと同時に、図４
（ｃ）に示すように、カソード２６から放出された熱電
子がターゲット２２に到達するようなカットオフ電圧Ｖ
c1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2がグリッド電極１５
に印加される。このグリッド動作電圧Ｖc2は、カソード
２６から放出されてターゲット２２に衝突する熱電子の
量が所定値となるように調整される。これにより、カソ
ード２６から放出された熱電子がグリッド電極１５によ
り加速され、集束電極１９により集束されてターゲット
２２に衝突する。そして、生成されたＸ線は、Ｘ線出射
窓１９から外部に出射される（図４（ｅ））。
【００３６】Ｘ線の出射を停止するときは、図４（ｂ）
に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにする。
すると、図４（ｄ）に示すように、カソード部１６のヒ
ータ２５に待機電圧Ｖf1が印加されると共にカットオフ
電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加され、再び待機状態
に入る。
に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにする。
すると、図４（ｄ）に示すように、カソード部１６のヒ
ータ２５に待機電圧Ｖf1が印加されると共にカットオフ
電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加され、再び待機状態
に入る。
【００３７】Ｘ線の出射を再開するときは、再びＸ線出
射のスイッチ３４をオンにすることで上記したようにし
てＸ線が出射され、Ｘ線の出射を停止するときはＸ線出
射のスイッチ３４をオフにすることで上記したようにし
てＸ線の出射が停止される。そして、Ｘ線発生装置１の
使用を終了するときは、図４（ａ）に示すように、Ｘ線
発生装置１のスイッチ３３をオフにする。すると、図４
（ｃ）、（ｄ）に示すように、カソード部１６のヒータ
２５への電圧の印加が停止され、またグリッド電極１５
への電圧の印加が停止されて、Ｘ線発生装置１の動作が
完全に停止される。
射のスイッチ３４をオンにすることで上記したようにし
てＸ線が出射され、Ｘ線の出射を停止するときはＸ線出
射のスイッチ３４をオフにすることで上記したようにし
てＸ線の出射が停止される。そして、Ｘ線発生装置１の
使用を終了するときは、図４（ａ）に示すように、Ｘ線
発生装置１のスイッチ３３をオフにする。すると、図４
（ｃ）、（ｄ）に示すように、カソード部１６のヒータ
２５への電圧の印加が停止され、またグリッド電極１５
への電圧の印加が停止されて、Ｘ線発生装置１の動作が
完全に停止される。
【００３８】以上、本実施形態に係るＸ線発生装置１で
は、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンでＸ線出射の
スイッチ３４がオフの状態では、Ｘ線出射のスイッチ３
４がオンのときに印加されるカソード動作電圧Ｖf2より
も低い待機電圧Ｖf1がカソード部１６のヒータ２５に印
加される。よって、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンの状態でカソード部２６のヒータ２５に常にカソード
動作電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線発生装置と比べ
て、カソード部１６のカソード２６が消耗するまでの期
間が長くなる。このように、使用条件によらないでＸ線
管１１を効率的に運転することにより、このＸ線発生装
置１ではより長期にわたってしかも安定的にＸ線を得る
ことが可能となる。
は、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンでＸ線出射の
スイッチ３４がオフの状態では、Ｘ線出射のスイッチ３
４がオンのときに印加されるカソード動作電圧Ｖf2より
も低い待機電圧Ｖf1がカソード部１６のヒータ２５に印
加される。よって、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンの状態でカソード部２６のヒータ２５に常にカソード
動作電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線発生装置と比べ
て、カソード部１６のカソード２６が消耗するまでの期
間が長くなる。このように、使用条件によらないでＸ線
管１１を効率的に運転することにより、このＸ線発生装
置１ではより長期にわたってしかも安定的にＸ線を得る
ことが可能となる。
【００３９】（第２実施形態）第２の実施形態に係るＸ
線発生装置１では、制御ユニット３０の制御部３２のメ
モリ３７には、Ｘ線管ユニット１０の電圧発生回路２７
を以下のように制御するためのプログラムが記憶されて
いる。
線発生装置１では、制御ユニット３０の制御部３２のメ
モリ３７には、Ｘ線管ユニット１０の電圧発生回路２７
を以下のように制御するためのプログラムが記憶されて
いる。
【００４０】すなわち、図５（ａ）〜（ｆ）に示すよう
に、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオフにされている
とき（Ｘ線出射のスイッチ３４及びカソード部１６のス
イッチ３５は必然的にオフである）、グリッド電極１５
及びカソード部１６のヒータ２５のいずれにも電圧を印
加しない。そして、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、カソード部１６のスイッチ（図中、カソード
部ＳＷと示す）３５がオフにされ、Ｘ線出射のスイッチ
３４がオフにされているとき、Ｘ線発生装置１のオン信
号とカソード部１６のオフ信号とＸ線出射のオフ信号と
に基づいて、カソード部１６のヒータ２５に正の待機電
圧Ｖf1 を印加すると共に、カソード部１６のカソード
２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達しな
いような負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッド電極１５に
印加する。
に、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオフにされている
とき（Ｘ線出射のスイッチ３４及びカソード部１６のス
イッチ３５は必然的にオフである）、グリッド電極１５
及びカソード部１６のヒータ２５のいずれにも電圧を印
加しない。そして、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、カソード部１６のスイッチ（図中、カソード
部ＳＷと示す）３５がオフにされ、Ｘ線出射のスイッチ
３４がオフにされているとき、Ｘ線発生装置１のオン信
号とカソード部１６のオフ信号とＸ線出射のオフ信号と
に基づいて、カソード部１６のヒータ２５に正の待機電
圧Ｖf1 を印加すると共に、カソード部１６のカソード
２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達しな
いような負のカットオフ電圧Ｖc1をグリッド電極１５に
印加する。
【００４１】また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオフにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５に待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧
Ｖf2を印加すると共に、グリッド電極１５に上記したカ
ットオフ電圧Ｖc1を印加する。
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオフにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５に待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧
Ｖf2を印加すると共に、グリッド電極１５に上記したカ
ットオフ電圧Ｖc1を印加する。
【００４２】また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオンにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオン信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５に上記したカソード動作電圧Ｖf2を印加する
と共に、カソード部１６のカソード２６から放出された
熱電子がターゲット２２に到達するような、カットオフ
電圧Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリッド電
極１５に印加する。
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオンにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオン信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５に上記したカソード動作電圧Ｖf2を印加する
と共に、カソード部１６のカソード２６から放出された
熱電子がターゲット２２に到達するような、カットオフ
電圧Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2をグリッド電
極１５に印加する。
【００４３】かかる構成を有する本実施形態に係るＸ線
発生装置１を動作させるためには、図５（ａ）に示すよ
うに、まずＸ線発生装置１のスイッチ３３をオンにす
る。すると、図５（ｅ）に示すように、カソード部１６
のヒータ２５に３ボルト程度の正の待機電圧Ｖf1 が印
加される。これによりカソード２６が暖められ、Ｘ線出
射にすばやく対応できるよう待機状態に入る。この待機
電圧Ｖf1 は可能な限り小さいと好ましい。これと同時
に、図５（ｄ）に示すように、カソード２６から放出さ
れた熱電子がターゲット２２に到達しないような−２０
０ボルト程度の負のカットオフ電圧Ｖc1がグリッド電極
１５に印加される。これにより、待機状態においてカソ
ード２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達
することが抑制される。
発生装置１を動作させるためには、図５（ａ）に示すよ
うに、まずＸ線発生装置１のスイッチ３３をオンにす
る。すると、図５（ｅ）に示すように、カソード部１６
のヒータ２５に３ボルト程度の正の待機電圧Ｖf1 が印
加される。これによりカソード２６が暖められ、Ｘ線出
射にすばやく対応できるよう待機状態に入る。この待機
電圧Ｖf1 は可能な限り小さいと好ましい。これと同時
に、図５（ｄ）に示すように、カソード２６から放出さ
れた熱電子がターゲット２２に到達しないような−２０
０ボルト程度の負のカットオフ電圧Ｖc1がグリッド電極
１５に印加される。これにより、待機状態においてカソ
ード２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達
することが抑制される。
【００４４】そして、Ｘ線の出射を開始したいときは、
まず図５（ｂ）に示すように、カソード部１６のスイッ
チ３５をオンにする。すると、図５（ｅ）に示すよう
に、カソード部１６のヒータ２５に６．３ボルト程度の
カソード動作電圧Ｖf2が印加される。これにより、待機
状態にあったカソード２６がヒータ２５により熱せられ
て動作状態に入り、Ｘ線出射の信号に瞬時に対応できる
状態となる。このとき、グリッド電極１５にはカットオ
フ電圧Ｖc1が印加されているため、カソード２６から放
出された熱電子がターゲット２２に到達することが抑制
されている。次に、図５（ｃ）に示すように、Ｘ線出射
のスイッチ３４をオンにする。すると、図５（ｄ）に示
すように、カソード２６から放出された熱電子がターゲ
ット２２に到達するような、カットオフ電圧Ｖc1よりも
高いグリッド動作電圧Ｖc2がグリッド電極１５に印加さ
れる。このグリッド動作電圧Ｖc2は、カソード２６から
放出されてターゲット２２に衝突する熱電子の量が所定
値となるように調整される。これにより、カソード２６
から放出された熱電子がグリッド電極１５により加速さ
れ、集束電極１９により集束されてターゲット２２に衝
突する。そして、生成されたＸ線は、Ｘ線出射窓１９か
ら外部に出射される（図５（ｆ））。
まず図５（ｂ）に示すように、カソード部１６のスイッ
チ３５をオンにする。すると、図５（ｅ）に示すよう
に、カソード部１６のヒータ２５に６．３ボルト程度の
カソード動作電圧Ｖf2が印加される。これにより、待機
状態にあったカソード２６がヒータ２５により熱せられ
て動作状態に入り、Ｘ線出射の信号に瞬時に対応できる
状態となる。このとき、グリッド電極１５にはカットオ
フ電圧Ｖc1が印加されているため、カソード２６から放
出された熱電子がターゲット２２に到達することが抑制
されている。次に、図５（ｃ）に示すように、Ｘ線出射
のスイッチ３４をオンにする。すると、図５（ｄ）に示
すように、カソード２６から放出された熱電子がターゲ
ット２２に到達するような、カットオフ電圧Ｖc1よりも
高いグリッド動作電圧Ｖc2がグリッド電極１５に印加さ
れる。このグリッド動作電圧Ｖc2は、カソード２６から
放出されてターゲット２２に衝突する熱電子の量が所定
値となるように調整される。これにより、カソード２６
から放出された熱電子がグリッド電極１５により加速さ
れ、集束電極１９により集束されてターゲット２２に衝
突する。そして、生成されたＸ線は、Ｘ線出射窓１９か
ら外部に出射される（図５（ｆ））。
【００４５】Ｘ線の出射を停止するときは、図５（ｃ）
に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにする。
すると、図５（ｄ）に示すように、上記したカットオフ
電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。
に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにする。
すると、図５（ｄ）に示すように、上記したカットオフ
電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。
【００４６】Ｘ線の出射を再開するときは、再びＸ線出
射のスイッチ３４をオンにすることで、上記したように
してＸ線が出射され、またＸ線の出射を停止するとき
は、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにすることで、上記
したようにしてＸ線の出射が停止される。待機状態に入
るときは、図５（ｂ）に示すように、カソード部１６の
スイッチ３５をオフにする。すると、図５（ｄ）、
（ｅ）に示すように、カソード部１６のヒータ２５に上
記した待機電圧Ｖf1が印加されると共に、上記したカッ
トオフ電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。そし
て、Ｘ線発生装置１の使用を終了するときは、図５
（ａ）に示すように、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３を
オフにする。すると、図５（ｄ）、（ｅ）に示すよう
に、カソード部１６のヒータ２５への電圧の印加が停止
され、またグリッド電極１５への電圧の印加が停止され
て、Ｘ線発生装置１の動作が完全に停止される。
射のスイッチ３４をオンにすることで、上記したように
してＸ線が出射され、またＸ線の出射を停止するとき
は、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにすることで、上記
したようにしてＸ線の出射が停止される。待機状態に入
るときは、図５（ｂ）に示すように、カソード部１６の
スイッチ３５をオフにする。すると、図５（ｄ）、
（ｅ）に示すように、カソード部１６のヒータ２５に上
記した待機電圧Ｖf1が印加されると共に、上記したカッ
トオフ電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。そし
て、Ｘ線発生装置１の使用を終了するときは、図５
（ａ）に示すように、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３を
オフにする。すると、図５（ｄ）、（ｅ）に示すよう
に、カソード部１６のヒータ２５への電圧の印加が停止
され、またグリッド電極１５への電圧の印加が停止され
て、Ｘ線発生装置１の動作が完全に停止される。
【００４７】以上、本実施形態に係るＸ線発生装置１で
は、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンでカソード部
１６のスイッチ３５がオフの状態では、カソード部１６
のスイッチ３５がオンのときに印加されるカソード動作
電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がヒータ２５に印加さ
れる。よって、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンの
状態でカソード部１６のヒータ２５に常にカソード動作
電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線発生装置と比べて、カ
ソード部１６のカソード２６が消耗するまでの期間が長
くなる。このように、使用条件によらないでＸ線管１１
を効率的に運転することにより、このＸ線発生装置１に
よればより長期にわたってしかも安定的にＸ線を得るこ
とが可能となる。
は、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンでカソード部
１６のスイッチ３５がオフの状態では、カソード部１６
のスイッチ３５がオンのときに印加されるカソード動作
電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がヒータ２５に印加さ
れる。よって、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンの
状態でカソード部１６のヒータ２５に常にカソード動作
電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線発生装置と比べて、カ
ソード部１６のカソード２６が消耗するまでの期間が長
くなる。このように、使用条件によらないでＸ線管１１
を効率的に運転することにより、このＸ線発生装置１に
よればより長期にわたってしかも安定的にＸ線を得るこ
とが可能となる。
【００４８】特に、本実施形態に係るＸ線発生装置１で
は、カソード部１６のオン・オフを操作するスイッチ３
５により、カソード部１６のヒータ２５に印加する電圧
を待機電圧Ｖf1とカソード動作電圧Ｖf2との間で自由に
操作できるようになっている。よって、Ｘ線の出射を開
始する前にカソード部１６のスイッチ３５をオンにし、
カソード部１６のヒータ２５に印加する電圧を待機電圧
Ｖf1からカソード動作電圧Ｖf2に切り替えておくこと
で、Ｘ線出射のスイッチ３４のオンによりＸ線の出射に
瞬時に対応して、Ｘ線出射の初期状態からより安定した
特性のＸ線を出射することが可能となる。
は、カソード部１６のオン・オフを操作するスイッチ３
５により、カソード部１６のヒータ２５に印加する電圧
を待機電圧Ｖf1とカソード動作電圧Ｖf2との間で自由に
操作できるようになっている。よって、Ｘ線の出射を開
始する前にカソード部１６のスイッチ３５をオンにし、
カソード部１６のヒータ２５に印加する電圧を待機電圧
Ｖf1からカソード動作電圧Ｖf2に切り替えておくこと
で、Ｘ線出射のスイッチ３４のオンによりＸ線の出射に
瞬時に対応して、Ｘ線出射の初期状態からより安定した
特性のＸ線を出射することが可能となる。
【００４９】（第３の実施形態）第３の実施形態に係る
Ｘ線発生装置１では、制御ユニット３０の制御部３２の
メモリ３７には、Ｘ線管ユニット１０の電圧発生回路２
７を以下のように制御するためのプログラムが記憶され
ている。
Ｘ線発生装置１では、制御ユニット３０の制御部３２の
メモリ３７には、Ｘ線管ユニット１０の電圧発生回路２
７を以下のように制御するためのプログラムが記憶され
ている。
【００５０】すなわち、図６（ａ）〜（ｆ）に示すよう
に、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオフにされている
とき（Ｘ線出射のスイッチ３４及びカソード部１６のス
イッチ３５は必然的にオフである）、グリッド電極１５
及びカソード部１６のヒータ２５のいずれにも電圧を印
加しない。また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオン
にされ、カソード部１６のスイッチ３５がオフにされ、
Ｘ線出射のスイッチ３４がオフにされているときも、Ｘ
線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオフ信号と
Ｘ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６のヒ
ータ２５へ電圧を印加しないと共に、グリッド電極１５
へ電圧を印加しない。
に、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオフにされている
とき（Ｘ線出射のスイッチ３４及びカソード部１６のス
イッチ３５は必然的にオフである）、グリッド電極１５
及びカソード部１６のヒータ２５のいずれにも電圧を印
加しない。また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオン
にされ、カソード部１６のスイッチ３５がオフにされ、
Ｘ線出射のスイッチ３４がオフにされているときも、Ｘ
線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオフ信号と
Ｘ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６のヒ
ータ２５へ電圧を印加しないと共に、グリッド電極１５
へ電圧を印加しない。
【００５１】また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオフにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、グ
リッド電極１５にカソード部１６のカソード２６から放
出された熱電子がターゲット２２に到達しないような負
のカットオフ電圧Ｖc1を印加する。
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオフにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオフ信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５に正の待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、グ
リッド電極１５にカソード部１６のカソード２６から放
出された熱電子がターゲット２２に到達しないような負
のカットオフ電圧Ｖc1を印加する。
【００５２】また、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオ
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオンにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオン信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５へ上記した待機電圧Ｖf1よりも高いカソード
動作電圧Ｖf2を印加すると共に、カソード部１６のカソ
ード２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達
するような、カットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリッド動
作電圧Ｖc2をグリッド電極１５に印加する。
ンにされ、カソード部１６のスイッチ３５がオンにさ
れ、Ｘ線出射のスイッチ３４がオンにされているとき、
Ｘ線発生装置１のオン信号とカソード部１６のオン信号
とＸ線出射のオン信号とに基づいて、カソード部１６の
ヒータ２５へ上記した待機電圧Ｖf1よりも高いカソード
動作電圧Ｖf2を印加すると共に、カソード部１６のカソ
ード２６から放出された熱電子がターゲット２２に到達
するような、カットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリッド動
作電圧Ｖc2をグリッド電極１５に印加する。
【００５３】かかる構成を有する本実施形態に係るＸ線
発生装置１を動作させるためには、図６（ａ）に示すよ
うに、まずＸ線発生装置１のスイッチ３３をオンにす
る。この状態では、図６（ｄ），（ｅ）に示すように、
グリッド電極１５、カソード部１６のヒータ２６のいず
れにも電圧が印加されない。
発生装置１を動作させるためには、図６（ａ）に示すよ
うに、まずＸ線発生装置１のスイッチ３３をオンにす
る。この状態では、図６（ｄ），（ｅ）に示すように、
グリッド電極１５、カソード部１６のヒータ２６のいず
れにも電圧が印加されない。
【００５４】そして、Ｘ線の出射を開始したいときは、
まず図６（ｂ）に示すように、カソード部１６のスイッ
チ３５をオンにする。すると、図６（ｅ）に示すよう
に、カソード部１６のヒータ２５に３ボルト程度の待機
電圧Ｖf1が印加される。これにより、カソード２６がヒ
ータ２５により暖められ、Ｘ線の出射にすばやく対応で
きる状態となる。これと同時に、図６（ｄ）に示すよう
に、カソード２６から放出された熱電子がターゲット２
２に到達しないような−２００ボルト程度の負のカット
オフ電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。これに
より、カソード２６から放出された熱電子がターゲット
２２に到達することが抑制される。
まず図６（ｂ）に示すように、カソード部１６のスイッ
チ３５をオンにする。すると、図６（ｅ）に示すよう
に、カソード部１６のヒータ２５に３ボルト程度の待機
電圧Ｖf1が印加される。これにより、カソード２６がヒ
ータ２５により暖められ、Ｘ線の出射にすばやく対応で
きる状態となる。これと同時に、図６（ｄ）に示すよう
に、カソード２６から放出された熱電子がターゲット２
２に到達しないような−２００ボルト程度の負のカット
オフ電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。これに
より、カソード２６から放出された熱電子がターゲット
２２に到達することが抑制される。
【００５５】次に、図６（ｃ）に示すように、Ｘ線出射
のスイッチ３４をオンにする。すると、図６（ｅ）に示
すように、カソード部１６のヒータ２５に６．３ボルト
程度のカソード動作電圧Ｖf2が印加される。これにより
カソード２６が高温に熱せられ、カソード２６から多く
の熱電子が放出される。これと同時に、図６（ｄ）に示
すように、カソード２６から放出された熱電子がターゲ
ット２２に到達するような、カットオフ電圧Ｖc1よりも
高いグリッド動作電圧Ｖc2がグリッド電極１５に印加さ
れる。このグリッド動作電圧Ｖc2は、カソード２６から
放出されてターゲット２２に衝突する熱電子の量が所定
値となるように調整される。これにより、カソード２６
から放出された熱電子がグリッド電極１５により加速さ
れ、集束電極１９により集束されてターゲット２２に衝
突する。そして、生成されたＸ線は、Ｘ線出射窓１９か
ら外部に出射される（図６（ｆ））。
のスイッチ３４をオンにする。すると、図６（ｅ）に示
すように、カソード部１６のヒータ２５に６．３ボルト
程度のカソード動作電圧Ｖf2が印加される。これにより
カソード２６が高温に熱せられ、カソード２６から多く
の熱電子が放出される。これと同時に、図６（ｄ）に示
すように、カソード２６から放出された熱電子がターゲ
ット２２に到達するような、カットオフ電圧Ｖc1よりも
高いグリッド動作電圧Ｖc2がグリッド電極１５に印加さ
れる。このグリッド動作電圧Ｖc2は、カソード２６から
放出されてターゲット２２に衝突する熱電子の量が所定
値となるように調整される。これにより、カソード２６
から放出された熱電子がグリッド電極１５により加速さ
れ、集束電極１９により集束されてターゲット２２に衝
突する。そして、生成されたＸ線は、Ｘ線出射窓１９か
ら外部に出射される（図６（ｆ））。
【００５６】Ｘ線の出射を停止するときは、図６（ｃ）
に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにする。
すると、図６（ｄ），（ｅ）に示すように、カソード部
１６のヒータ２５に待機電圧Ｖf1が印加されると共に、
カットオフ電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。
に示すように、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにする。
すると、図６（ｄ），（ｅ）に示すように、カソード部
１６のヒータ２５に待機電圧Ｖf1が印加されると共に、
カットオフ電圧Ｖc1がグリッド電極１５に印加される。
【００５７】Ｘ線の出射を再開するときは、再びＸ線出
射のスイッチ３４をオンにすることで、上記したように
してＸ線が出射され、またＸ線の出射を停止するとき
は、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにすることで、上記
したようにしてＸ線の出射が停止される。待機状態に入
るときは、図６（ｂ）に示すように、カソード部１６の
スイッチ３５をオフにする。すると、図６（ｄ），
（ｅ）に示すように、カソード部１６のヒータ２５への
電圧の印加が停止されると共に、グリッド電極１５への
電圧の印加が停止される。そして、Ｘ線発生装置１の使
用を終了するときは、図６（ａ）に示すように、Ｘ線発
生装置１のスイッチ３３をオフにする。すると、Ｘ線発
生装置１の動作が完全に停止される。
射のスイッチ３４をオンにすることで、上記したように
してＸ線が出射され、またＸ線の出射を停止するとき
は、Ｘ線出射のスイッチ３４をオフにすることで、上記
したようにしてＸ線の出射が停止される。待機状態に入
るときは、図６（ｂ）に示すように、カソード部１６の
スイッチ３５をオフにする。すると、図６（ｄ），
（ｅ）に示すように、カソード部１６のヒータ２５への
電圧の印加が停止されると共に、グリッド電極１５への
電圧の印加が停止される。そして、Ｘ線発生装置１の使
用を終了するときは、図６（ａ）に示すように、Ｘ線発
生装置１のスイッチ３３をオフにする。すると、Ｘ線発
生装置１の動作が完全に停止される。
【００５８】以上、本実施形態に係るＸ線発生装置１で
は、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンで、カソード
部１６のスイッチ３５がオフのときはカソード部１６の
ヒータ２５に電圧が印加されず、Ｘ線発生装置１のスイ
ッチ３３がオンで、カソード部１６のスイッチ３５がオ
ンで、Ｘ線出射のスイッチ３４がオフの状態では、Ｘ線
出射のスイッチ３４がオンのときに印加されるカソード
動作電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がカソード部１６
のヒータ２５に印加される。よって、Ｘ線発生装置１の
スイッチ３３がオンの状態でカソード部１６のヒータ２
５に常にカソード動作電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線
発生装置と比べて、カソード部１６のカソード２６が消
耗するまでの期間が長くなる。このように、使用条件に
よらないでＸ線管１１を効率的に運転することにより、
より長期にわたってしかも安定的にＸ線を得ることが可
能となる。
は、Ｘ線発生装置１のスイッチ３３がオンで、カソード
部１６のスイッチ３５がオフのときはカソード部１６の
ヒータ２５に電圧が印加されず、Ｘ線発生装置１のスイ
ッチ３３がオンで、カソード部１６のスイッチ３５がオ
ンで、Ｘ線出射のスイッチ３４がオフの状態では、Ｘ線
出射のスイッチ３４がオンのときに印加されるカソード
動作電圧Ｖf2よりも低い待機電圧Ｖf1がカソード部１６
のヒータ２５に印加される。よって、Ｘ線発生装置１の
スイッチ３３がオンの状態でカソード部１６のヒータ２
５に常にカソード動作電圧Ｖf2が印加される従来のＸ線
発生装置と比べて、カソード部１６のカソード２６が消
耗するまでの期間が長くなる。このように、使用条件に
よらないでＸ線管１１を効率的に運転することにより、
より長期にわたってしかも安定的にＸ線を得ることが可
能となる。
【００５９】特に、本実施形態に係るＸ線発生装置１で
は、カソード部１６のオン・オフを操作するスイッチ３
５により、カソード部１６のヒータ２５に印加する電圧
を電圧印加停止と待機電圧Ｖf1との間で自由に操作でき
るようになっている。よって、Ｘ線発生装置１のスイッ
チ３３がオンの状態であっても、カソード部１６のヒー
タ２５への電圧印加を停止することが可能となり、カソ
ード２６が短期間で消耗することがより一層抑制され、
Ｘ線管１１をより効率的に運転することにより、より長
期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能となる。
は、カソード部１６のオン・オフを操作するスイッチ３
５により、カソード部１６のヒータ２５に印加する電圧
を電圧印加停止と待機電圧Ｖf1との間で自由に操作でき
るようになっている。よって、Ｘ線発生装置１のスイッ
チ３３がオンの状態であっても、カソード部１６のヒー
タ２５への電圧印加を停止することが可能となり、カソ
ード２６が短期間で消耗することがより一層抑制され、
Ｘ線管１１をより効率的に運転することにより、より長
期にわたって安定的にＸ線を得ることが可能となる。
【００６０】なお、本実施形態に係るＸ線発生装置１で
は、図７（ａ）〜（ｆ）に示すように、カソード部１６
への待機電圧Ｖf1 の印加時間ｔが連続して所定の時間
ｔm以上、例えば３０分以上継続したとき、カソード部
１６のスイッチ３５を自動的にオフにして、カソード部
１６への電圧の印加を停止するように電圧発生装置２７
を制御するためのプログラムが、制御部３２のメモリ３
７に記憶されていてもよい。このようにすれば、カソー
ド部１６のスイッチ３５を消し忘れた場合でも、カソー
ド部１６への電圧の印加が自動的に停止されることによ
り、カソード部１６のカソード２６が短期間で消耗する
ことが更に抑制され、Ｘ線管１１を更に効率的に運転す
ることにより、更により長期にわたって安定的にＸ線を
得ることが可能となる。
は、図７（ａ）〜（ｆ）に示すように、カソード部１６
への待機電圧Ｖf1 の印加時間ｔが連続して所定の時間
ｔm以上、例えば３０分以上継続したとき、カソード部
１６のスイッチ３５を自動的にオフにして、カソード部
１６への電圧の印加を停止するように電圧発生装置２７
を制御するためのプログラムが、制御部３２のメモリ３
７に記憶されていてもよい。このようにすれば、カソー
ド部１６のスイッチ３５を消し忘れた場合でも、カソー
ド部１６への電圧の印加が自動的に停止されることによ
り、カソード部１６のカソード２６が短期間で消耗する
ことが更に抑制され、Ｘ線管１１を更に効率的に運転す
ることにより、更により長期にわたって安定的にＸ線を
得ることが可能となる。
【００６１】なお、本発明は上記した実施形態に限定さ
れることなく、種々の変更が可能である。例えば、上記
した実施形態では、カソード部１６はヒータ２５とカソ
ード２６とを含み、ヒータ２５の熱によりカソード２６
を加熱する傍熱タイプのＸ線管１１について説明した
が、カソード部１６はフィラメントを有し、このフィラ
メントに電圧を印加することで熱電子が放出される直熱
タイプのＸ線管１１であってもよい。直熱タイプのＸ線
管１１では、カソード部１６のフィラメントに印加する
電圧を制御することで、フィラメントが消耗するまでの
期間が長くなり、使用条件によらないでＸ線管１１を効
率的に運転することで、より長期にわたってしかも安定
的にＸ線を得ることが可能となる。
れることなく、種々の変更が可能である。例えば、上記
した実施形態では、カソード部１６はヒータ２５とカソ
ード２６とを含み、ヒータ２５の熱によりカソード２６
を加熱する傍熱タイプのＸ線管１１について説明した
が、カソード部１６はフィラメントを有し、このフィラ
メントに電圧を印加することで熱電子が放出される直熱
タイプのＸ線管１１であってもよい。直熱タイプのＸ線
管１１では、カソード部１６のフィラメントに印加する
電圧を制御することで、フィラメントが消耗するまでの
期間が長くなり、使用条件によらないでＸ線管１１を効
率的に運転することで、より長期にわたってしかも安定
的にＸ線を得ることが可能となる。
【００６２】
【発明の効果】本発明によれば、使用条件によらないで
Ｘ線管を効率的に運転することにより、より長期にわた
ってしかも安定的にＸ線を得ることが可能なＸ線発生装
置が提供される。
Ｘ線管を効率的に運転することにより、より長期にわた
ってしかも安定的にＸ線を得ることが可能なＸ線発生装
置が提供される。
【図１】実施形態に係るＸ線発生装置の構成を模式的に
示す図である。
示す図である。
【図２】エンドウィンドウタイプのＸ線管の構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】電子銃の構造を示す断面図である。
【図４】第１の実施形態に係るＸ線発生装置の動作を説
明するための図である。
明するための図である。
【図５】第２の実施形態に係るＸ線発生装置の動作を説
明するための図である。
明するための図である。
【図６】第３の実施形態に係るＸ線発生装置の動作を説
明するための図である。
明するための図である。
【図７】第３の実施形態に係るＸ線発生装置の変形例の
動作を説明するための図である。
動作を説明するための図である。
【図８】従来のＸ線発生装置の動作を説明するための図
である。
である。
１…Ｘ線発生装置、１０…Ｘ線管ユニット、１１…Ｘ線
管、１５…グリッド電極、１６…カソード部、２０…電
子銃、２２…ターゲット、２５…ヒータ、２６…カソー
ド、２７…電圧発生回路、３０…制御ユニット、３１…
操作部、３２…制御部、３３…Ｘ線発生装置のスイッ
チ、３４…Ｘ線出射のスイッチ、３５…カソード部のス
イッチ、３６…ＣＰＵ、３７…メモリ、Ｖc1…カットオ
フ電圧、Ｖ c2…グリッド動作電圧、Ｖf1…待機電圧、Ｖ
f2…カソード動作電圧。
管、１５…グリッド電極、１６…カソード部、２０…電
子銃、２２…ターゲット、２５…ヒータ、２６…カソー
ド、２７…電圧発生回路、３０…制御ユニット、３１…
操作部、３２…制御部、３３…Ｘ線発生装置のスイッ
チ、３４…Ｘ線出射のスイッチ、３５…カソード部のス
イッチ、３６…ＣＰＵ、３７…メモリ、Ｖc1…カットオ
フ電圧、Ｖ c2…グリッド動作電圧、Ｖf1…待機電圧、Ｖ
f2…カソード動作電圧。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ２１Ｋ 5/02 Ｇ２１Ｋ 5/02 Ｘ Ｆターム(参考） 4C092 AA01 AB19 CE06 CE12 CF11 CF15
Claims (6)
- 【請求項１】 熱電子を放出するカソード部、前記カソ
ード部から放出された熱電子を制御するグリッド電極、
及び熱電子が衝突することによりＸ線を発生させるター
ゲットを有するＸ線管と、 前記カソード部及び前記グリッド電極に印加する電圧を
制御する電圧制御装置と、 当該Ｘ線発生装置のオン・オフ及びＸ線出射のオン・オ
フを操作するスイッチと、を備え、 前記電圧制御装置は、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号とＸ
線出射のオフ信号とに基づいて、前記カソード部に正の
待機電圧Ｖf1 を印加すると共に、前記カソード部から
放出された熱電子が前記ターゲットに到達しないような
負のカットオフ電圧Ｖc1を前記グリッド電極に印加し、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号とＸ
線出射のオン信号とに基づいて、前記カソード部に前記
待機電圧Ｖf1よりも高いカソード動作電圧Ｖf2を印加す
ると共に、前記カソード部から放出された熱電子が前記
ターゲットに到達するような前記カットオフ電圧Ｖc1よ
りも高いグリッド動作電圧Ｖc2を前記グリッド電極に印
加する、ことを特徴とするＸ線発生装置。 - 【請求項２】 熱電子を放出するカソード部、前記カソ
ード部から放出された熱電子を制御するグリッド電極、
及び熱電子が衝突することによりＸ線を発生させるター
ゲットを有するＸ線管と、 前記カソード部及び前記グリッド電極に印加する電圧を
制御する電圧制御装置と、 当該Ｘ線発生装置のオン・オフ、前記カソード部のオン
・オフ、及びＸ線出射のオン・オフを操作するスイッチ
と、を備え、 前記電圧制御装置は、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号と前
記カソード部のオフ信号とＸ線出射のオフ信号とに基づ
いて、前記カソード部に正の待機電圧Ｖf1 を印加する
と共に、前記カソード部から放出された熱電子が前記タ
ーゲットに到達しないような負のカットオフ電圧Ｖc1を
前記グリッド電極に印加し、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号と前
記カソード部のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基づ
いて、前記カソード部に前記待機電圧Ｖf1よりも高いカ
ソード動作電圧Ｖf2を印加すると共に、前記グリッド電
極に前記カットオフ電圧Ｖc1を印加し、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号と前
記カソード部のオン信号とＸ線出射のオン信号とに基づ
いて、前記カソード部に前記カソード動作電圧Ｖf2を印
加すると共に、前記カソード部から放出された熱電子が
前記ターゲットに到達するような前記カットオフ電圧Ｖ
c1よりも高いグリッド動作電圧Ｖc2を前記グリッド電極
に印加する、ことを特徴とするＸ線発生装置。 - 【請求項３】 熱電子を放出するカソード部、前記カソ
ード部から放出された熱電子を制御するグリッド電極、
及び熱電子が衝突することによりＸ線を発生させるター
ゲットを有するＸ線管と、 前記カソード部及び前記グリッド電極に印加する電圧を
制御する電圧制御装置と、 当該Ｘ線発生装置のオン・オフ、前記カソード部のオン
・オフ、及びＸ線出射のオン・オフを操作するスイッチ
と、を備え、 前記電圧制御装置は、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号と前
記カソード部のオフ信号とＸ線出射のオフ信号とに基づ
いて、前記カソード部へ電圧を印加しないと共に、前記
グリッド電極へ電圧を印加せず、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号と前
記カソード部のオン信号とＸ線出射のオフ信号とに基づ
いて、前記カソード部へ正の待機電圧Ｖf1 を印加する
と共に、前記グリッド電極に前記カソード部から放出さ
れた熱電子が前記ターゲットに到達しないような負のカ
ットオフ電圧Ｖc1を印加し、 前記スイッチを介する当該Ｘ線発生装置のオン信号と前
記カソード部のオン信号とＸ線出射のオン信号とに基づ
いて、前記カソード部へ前記待機電圧Ｖf1よりも高いカ
ソード動作電圧Ｖf2を印加すると共に、前記カソード部
から放出された熱電子が前記ターゲットに到達するよう
な前記カットオフ電圧Ｖc1よりも高いグリッド動作電圧
Ｖc2を前記グリッド電極に印加する、ことを特徴とする
Ｘ線発生装置。 - 【請求項４】 前記電圧制御装置は、 前記カソード部への前記待機電圧Ｖf1 の印加時間が連
続して所定の時間以上継続したとき、該カソード部のオ
ン・オフを制御する前記スイッチをオフにして、該カソ
ード部への電圧の印加を停止することを特徴とする請求
項３に記載のＸ線発生装置。 - 【請求項５】 前記カソード部は、カソードと該カソー
ドを加熱するためのヒータとを有する傍熱タイプのカソ
ード部であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか
に記載のＸ線発生装置。 - 【請求項６】 前記カソード部は、フィラメントを有す
る直熱タイプのカソード部であることを特徴とする請求
項１〜４のいずれかに記載のＸ線発生装置。
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|---|---|---|---|
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| PCT/JP2002/003091 WO2002080631A1 (en) | 2001-03-29 | 2002-03-28 | X-ray generator |
| US10/473,178 US7133495B2 (en) | 2001-03-29 | 2002-03-28 | X-ray generator |
| KR1020037012706A KR100916404B1 (ko) | 2001-03-29 | 2002-03-28 | Ｘ선 발생 장치 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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| TW (1) | TW544708B (ja) |
| WO (1) | WO2002080631A1 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080818A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Siemens Ag | Ｘ線放射器 |
| JP2011049108A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Toshiba Corp | Ｘ線管及びそれを用いたｘ線ｃｔ装置 |
| JP2011198712A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | Ｘ線発生装置及びその制御方法 |
| WO2012063379A1 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-18 | 株式会社ライフ技術研究所 | 電界放射装置及び携帯型非破壊検査装置 |
| JP2012109106A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Canon Inc | Ｘ線発生装置及びｘ線管の駆動方法 |
| KR101552318B1 (ko) * | 2015-04-09 | 2015-09-10 | 주식회사 쎄크 | X선 발생장치, 이를 구비한 ct 시스템 및 그 제어방법 |
| CN108076578A (zh) * | 2016-11-15 | 2018-05-25 | 西门子保健有限责任公司 | X光成像中产生x光脉冲的方法、计算机程序产品和设备 |
| JP2019186093A (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| KR20200063775A (ko) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 주식회사 레메디 | 추출기를 가지는 소형 엑스레이 튜브 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1496726A4 (en) * | 2002-04-05 | 2009-09-02 | Hamamatsu Photonics Kk | X-RAY TUBE CONTROL DEVICE AND X-RAY TUBE METHOD |
| JP4954526B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2012-06-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| JP4954525B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2012-06-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| US7720199B2 (en) * | 2005-10-07 | 2010-05-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube and X-ray source including same |
| JP4786285B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-10-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| EP1983546A1 (en) * | 2007-04-20 | 2008-10-22 | PANalytical B.V. | X-ray cathode and tube |
| US8755488B2 (en) * | 2008-08-08 | 2014-06-17 | Koninklijke Philips N.V. | Voltage modulated x-ray tube |
| DE102009011642A1 (de) * | 2009-03-04 | 2010-09-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenröhre mit Multikathode |
| CN103077874B (zh) * | 2011-10-25 | 2015-09-02 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 空间x射线通信系统及方法 |
| JP5580843B2 (ja) * | 2012-03-05 | 2014-08-27 | 双葉電子工業株式会社 | Ｘ線管 |
| CN102592927B (zh) * | 2012-03-29 | 2014-10-15 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种任意波形x射线发生装置及产生方法 |
| WO2014034912A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 株式会社 東芝 | Ｘ線コンピュータ断層撮影装置、高電圧発生装置、及び放射線画像診断装置 |
| TWI489912B (zh) * | 2013-11-04 | 2015-06-21 | Delta Electronics Inc | X光管電源系統及其控制方法 |
| KR101648063B1 (ko) * | 2015-03-31 | 2016-08-12 | 주식회사 쎄크 | X선 발생장치 및 그 제어방법 |
| DE102016215378B4 (de) * | 2016-08-17 | 2023-05-11 | Siemens Healthcare Gmbh | Röntgenröhre und ein Röntgenstrahler mit der Röntgenröhre |
| US12382569B2 (en) * | 2023-10-10 | 2025-08-05 | GE Precision Healthcare LLC | Remote control of cathode width voltage |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5673894A (en) * | 1979-11-16 | 1981-06-18 | Shimadzu Corp | X-ray motion picture picking-up device |
| JPH04229993A (ja) * | 1990-07-05 | 1992-08-19 | Picker Internatl Inc | 電源回路 |
| JPH07272892A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線テレビジョン装置 |
| JPH10134991A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Shimadzu Corp | Ｘ線高電圧装置 |
| JPH10228994A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-25 | Philips Electron Nv | 圧電性変圧器を含むｘ線装置 |
| JP2000252095A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-09-14 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線発生装置、ｘ線撮像装置及びｘ線検査システム |
| JP2000260594A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線管のフィラメント加熱装置 |
| JP2001284096A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Toshiba Fa Syst Eng Corp | Ｘ線発生装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3783287A (en) * | 1972-05-18 | 1974-01-01 | Picker Corp | Anode current stabilization circuit x-ray tube having stabilizer electrode |
| JPS5745000A (en) | 1980-08-29 | 1982-03-13 | Toshiba Corp | Capacitor type x-ray apparatus |
| US4631742A (en) * | 1985-02-25 | 1986-12-23 | General Electric Company | Electronic control of rotating anode microfocus x-ray tubes for anode life extension |
| JPS62246300A (ja) | 1986-04-18 | 1987-10-27 | Morita Mfg Co Ltd | Ｘ線診断装置 |
| JPH02244600A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Shimadzu Corp | Ｘ線管装置 |
| JPH0362500A (ja) | 1989-07-31 | 1991-03-18 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線透視撮影装置 |
| JPH05314935A (ja) * | 1992-05-13 | 1993-11-26 | Hitachi Medical Corp | 回転陽極ｘ線管およびそれを使用したｘ線装置 |
| JP3211415B2 (ja) * | 1992-09-30 | 2001-09-25 | 株式会社島津製作所 | 回転陽極ｘ線管装置 |
| JP2634369B2 (ja) * | 1993-07-15 | 1997-07-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線装置 |
| JPH09266094A (ja) | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線制御装置 |
| DE19835450A1 (de) * | 1997-08-18 | 1999-02-25 | Siemens Ag | Verfahren zur Steuerung des Elektronenstroms in einer Röntgenröhre, sowie Röntgeneinrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| DE19800766C1 (de) * | 1998-01-12 | 1999-07-29 | Siemens Ag | Elektronenstrahlröhre mit hoher Lebensdauer bei höchsten Strömen |
-
2001
- 2001-03-29 JP JP2001096181A patent/JP4889871B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-28 US US10/473,178 patent/US7133495B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-28 KR KR1020037012706A patent/KR100916404B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-28 WO PCT/JP2002/003091 patent/WO2002080631A1/ja not_active Ceased
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- 2002-03-29 TW TW091106334A patent/TW544708B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5673894A (en) * | 1979-11-16 | 1981-06-18 | Shimadzu Corp | X-ray motion picture picking-up device |
| JPH04229993A (ja) * | 1990-07-05 | 1992-08-19 | Picker Internatl Inc | 電源回路 |
| JPH07272892A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線テレビジョン装置 |
| JPH10134991A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Shimadzu Corp | Ｘ線高電圧装置 |
| JPH10228994A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-25 | Philips Electron Nv | 圧電性変圧器を含むｘ線装置 |
| JP2000252095A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-09-14 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線発生装置、ｘ線撮像装置及びｘ線検査システム |
| JP2000260594A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線管のフィラメント加熱装置 |
| JP2001284096A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Toshiba Fa Syst Eng Corp | Ｘ線発生装置 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080818A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Siemens Ag | Ｘ線放射器 |
| JP2011049108A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Toshiba Corp | Ｘ線管及びそれを用いたｘ線ｃｔ装置 |
| JP2011198712A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | Ｘ線発生装置及びその制御方法 |
| CN103262202A (zh) * | 2010-11-08 | 2013-08-21 | 微X射线日本株式会社 | 场致发射装置及便携型非破坏检查装置 |
| WO2012063379A1 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-18 | 株式会社ライフ技術研究所 | 電界放射装置及び携帯型非破壊検査装置 |
| US8774364B2 (en) | 2010-11-17 | 2014-07-08 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray generating apparatus and method of driving X-ray tube |
| JP2012109106A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Canon Inc | Ｘ線発生装置及びｘ線管の駆動方法 |
| KR101552318B1 (ko) * | 2015-04-09 | 2015-09-10 | 주식회사 쎄크 | X선 발생장치, 이를 구비한 ct 시스템 및 그 제어방법 |
| CN108076578A (zh) * | 2016-11-15 | 2018-05-25 | 西门子保健有限责任公司 | X光成像中产生x光脉冲的方法、计算机程序产品和设备 |
| CN108076578B (zh) * | 2016-11-15 | 2019-12-13 | 西门子保健有限责任公司 | X光成像中产生x光脉冲的方法、计算机程序产品和设备 |
| JP2019186093A (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| JP7044615B2 (ja) | 2018-04-12 | 2022-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| KR20200063775A (ko) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 주식회사 레메디 | 추출기를 가지는 소형 엑스레이 튜브 |
| KR102448410B1 (ko) * | 2018-11-28 | 2022-09-28 | 주식회사 레메디 | 추출기를 가지는 소형 엑스레이 튜브 |
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