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JP2002130114A - アクチュエータ装置 - Google Patents

アクチュエータ装置

Info

Publication number
JP2002130114A
JP2002130114A JP2000321356A JP2000321356A JP2002130114A JP 2002130114 A JP2002130114 A JP 2002130114A JP 2000321356 A JP2000321356 A JP 2000321356A JP 2000321356 A JP2000321356 A JP 2000321356A JP 2002130114 A JP2002130114 A JP 2002130114A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shape memory
memory alloy
movable
elastic member
movable part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000321356A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Sadamoto
敦史 貞本
Hajime Sudo
肇 須藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2000321356A priority Critical patent/JP2002130114A/ja
Publication of JP2002130114A publication Critical patent/JP2002130114A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小形で駆動範囲の大きい形状記憶合金アクチ
ュエータを提供する。 【解決手段】 可動部51と固定部52は弾性部材53
で接続されている。弾性部材53は可動部51の主な運
動方向を可動方向59に規制するように、平行に配置さ
れた板ばね構成としている。形状記憶合金54を可動部
51と固定部56の間に張り、形状記憶合金54を通電
加熱により収縮させ、可動部を駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、小形の機械要素お
よび光学要素の駆動手段として用いられる形状記憶合金
を駆動原理としたアクチュエータ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】小形カメラのレンズなどを駆動する手段
として用いられるアクチュエータにおいて、形状記憶合
金を駆動原理に用いたものとしては、例えば特開平6−
230457などが知られている。
【0003】図18は従来の形状記憶合金アクチュエー
タの例を示す。駆動を要する負荷例えばレンズ181を
内包した可動体182が、摺動面183によりそのおも
な運動方向が光軸に規制されている。可動体182は、
ピン185を介して連結棒184と接続されている。連
結棒184はピン186を介して固定面と接続されてい
る。連結棒184には形状記憶合金187、188が取
り付けられている。形状記憶合金187に電流を流すな
どして加熱すると、形状記憶合金187は収縮し、連結
棒184はピン186まわりに反時計方向に回転し、こ
れにより可動体182は摺動面183に沿って紙面左方
向に移動する。逆に形状記憶合金188に電流を流すな
どして加熱すると、形状記憶合金188は収縮し、連接
棒184はピン186まわりに時計方向に回転し、これ
により可動体182は摺動面183に沿って紙面右方向
に移動する。形状記憶合金の繰り返し変形量は寿命を考
慮すると全長の約3%程度にする必要があり、可動体1
82に直接形状記憶合金を取り付けると、十分な駆動ス
トロークが得られない場合がある。そこで、この例では
連結棒184を用いて形状記憶合金の変位を拡大し、可
動体182を駆動している。形状記憶合金187、18
8が対向して取り付けられている理由は、動作の応答性
を高めるため、一方の形状記憶合金の冷却中にもう一方
の形状記憶合金を加熱するというような駆動を行うため
である。応答性は損なわれるが、制御の簡略化のため、
一方の形状記憶合金をばねに置き換えても駆動すること
ができる。
【0004】図19は従来の形状記憶合金アクチュエー
タのもう一つの例である。レンズや絞りなどの負荷19
1を内包した可動体192がピン193により回転自在
に取り付けられており、また、可動体192には形状記
憶合金194、195が取り付けられている。形状記憶
合金194に電流を流すなどして加熱すると、形状記憶
合金194は収縮し、可動体192はピン193回りに
反時計方向に回転する。逆に形状記憶合金195に電流
を流すなどして加熱すると、形状記憶合金195は収縮
し、可動体192はピン193回りに時計方向に回転す
る。この原理のアクチュエータを紙面に垂直な光軸を有
する光学系に適用すると、レンズや絞りなどの負荷19
1を光軸に挿入したり、挿入しないようにすることがで
き、光学的な特性、例えば焦点距離や絞り、を変化させ
ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の形状記憶合金ア
クチュエータは、可動部の運動を摺動面によってその方
向を規制することが多く、潤滑が十分に行えない環境で
の使用、同様の構造で非常に小形なアクチュエータを製
作する場合、摺動面での摩擦がその他の力に比して大き
くなって、十分な出力が得られない。また、形状記憶合
金の変位を拡大する手段として、てこなどの変位拡大機
構を用いた構造は、寸法が制約される小形のアクチュエ
ータには向かない、という問題があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】摺動面の摩擦の問題を解
決するため、可動部を板ばねなどの弾性部材で支持す
る。また、可動部の主な運動方向を一つの軌道上に制限
するために、たとえば1組以上の板ばねを平行に間隔を
あけて配置した弾性部材により、可動部を支持する。可
動部を駆動する手段として、形状記憶合金の細線または
ばねを固定部と可動部の間に取り付け、形状記憶合金に
通電もしくは外部からの加熱手段により加熱し、形状記
憶合金を変形させることで、所望の駆動範囲を得る。ま
た、形状記憶合金の動作を可動部に伝達する手段に流体
を用いることで、摺動摩擦の発生やてこ機構等を回避
し、限られた空間内で大きな可動部変位を得ることがで
きる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。
【0008】図1は第1および第2の請求項に対応した
本発明の一実施形態を示している。可動部1と固定部2
があり、可動部1と固定部2は板ばね状の弾性部材3に
より連結されている。弾性部材3は可動方向8に薄肉で
あり、可動方向8に撓みやすくなっている。1つの弾性
部材3のみを考えると、自由端(可動部1側)に力を加
えたとき、可動部1の動きは片持ちはりの自由端の動き
と同様に、変位と回転を伴ったものになる。本実施例で
は、可動部1の可動方向18に直交した方向の変位や可
動部1の回転が、可動部1の可動方向18への並進に比
べ無視できるものにするため、少なくとも一組の弾性部
材3を板厚方向に平行に配置し、可動部1が固定部2に
対しほぼ並進するようにしている。細線状の形状記憶合
金4が取付部5と取付部6の間に張られている。
【0009】可動部の駆動原理の概略は次の通りであ
る。形状記憶合金4を通電などにより相変化が生じる温
度(例えば100℃)まで加熱すると、形状記憶合金4
が収縮し可動部1を牽引し、可動方向9へ変位する。形
状記憶合金4への加熱をやめ、温度が室温(例えば20
℃)に戻ると、弾性部材3の力により形状記憶合金4が
伸ばされ、可動部1は元の位置に戻る。
【0010】駆動原理について図2を用いて、より詳細
に説明する。図2は弾性部材3と形状記憶合金4の力と
変位の関係を表した図で、横軸が変位、縦軸が力であ
る。なお、変位の符号は図1で可動方向9の上向きを正
にとっている。図2において、特性21は弾性部材3の
力と変位の関係であり、直線に近似した場合の傾きkは
ばね定数に相当する。特性22および特性23は、形状
記憶合金4の低温状態および高温状態における力と変位
の関係を示している。低温時において、動作点は特性2
1と特性22の交点24で表され、このときの力は
、変位はdである。高温時において、動作点は特
性21と特性23の交点25で表され、このときの力は
、変位はdである。形状記憶合金を加熱・冷却す
ることにより、d−dの範囲で可動部1が変位する
ことを示している。なお、形状記憶合金の温度による力
と変位の関係は、特性21と特性23の間で連続的に変
化するので、可動部1の変位はdとdの間で連続的
に制御することができる。形状記憶合金は例えばTi−
Ni合金が利用でき、ひずみは最大で10%を得ること
ができる。繰り返しひずみによる形状記憶効果の低下を
考慮すると、通常は3%のひずみを使用範囲とする。低
温時に変形に要する応力は約20MPaで、高温時に形
状回復で生じる応力は約100MPaである。ここに記
述した形状記憶合金の組成および特性値はあくまで一例
で、形状記憶効果がある材料であればどんなものでも利
用できる。
【0011】形状記憶合金4は取付部5と取付部6との
間に直線状に取り付けられるだけでなく、可動部1が駆
動可能であればどんな取付方法にしても良い。
【0012】例えば図1では形状記憶合金4は取付部5
と取付部7の間に固定され、取付部6は形状記憶合金4
を折り曲げる役目をしている。こうすることで、形状記
憶合金4の長さを長くでき、同じひずみでも可動部1の
大きな変位量が得られる。
【0013】形状記憶合金に通電して加熱を行う場合、
形状記憶合金へ通電するための電気的接点は機械的な固
定部と同一であっても良いし、別に設けても良い。例え
ば図1では、取付部7に通電用のリード線8が接続され
ており、もう一方のリード線は取付部5に接続してもよ
いし、形状記憶合金4を反対側の面まで可動部1に沿わ
せて延長し、取付部7と反対側の面にある取付部に接続
している。
【0014】使用する形状記憶合金の形状は図1のよう
に細線状の他に、図3のようにコイルばね31を用いた
り、図4のようなねじりコイルばね41を用いても良
い。
【0015】第3の請求項に対応する実施例について図
5を用いて説明する。図5は細線状の形状記憶合金を用
いた場合にその取付方法により、形状記憶合金の変位量
よりも大きい可動部変位が得られるという特長を有する
実施例を示している。細線状の形状記憶合金54が取付
部55と取付部56の間に張られており、通電加熱によ
り形状記憶合金54が収縮すると、弾性部材53によっ
て規制された方向に可動部51が変位する。このとき、
形状記憶合金54が弾性部材53に対しある角度θ(6
0)をなして取り付けられているため、形状記憶合金5
4のひずみ量よりも大きい変位を可動部51に与えるこ
とが可能になっている。これを図6および図7を用いて
説明する。図6は図5の構造を単純化したモデルを示し
ている。図5で弾性部材53により規制された可動部5
1は、図6のばね要素63と、可動部の変位を1自由度
の並進に規制するためのリニアガイド68で近似でき
る。低温時の形状記憶合金64を角度θ(66)で取
り付けたとすると、高温時は形状記憶合金65の位置ま
で可動部61が変位し、角度はθ(67)となる。図
6で可動部61の変位量d(69)は形状記憶合金64
の取付角度θ(66)が90°に近いほど大きくな
る。図7は取付角度θ(71)と変位量d(72)の関
係を説明する図である。図7のεは形状記憶合金のひず
みを表しており、高温時のεが一定の場合を考える。長
さLの細線状形状記憶合金は高温時には収縮してεLの
長さとなり、低温時と高温時の長さの差は、(1−ε)
Lである。これと、可動部の変位量dとの比を拡大率と
定義して、取付角度θとの関係を図示すると、図7のよ
うになる。例えば1−εが繰り返し使用を考慮して3%
とした場合、最大の拡大率は低温時の取付角をθ=75
°とした場合で、5.6倍である。(なお、上限は高温
時のθが90°以上にならないことで決まる。発生力の
観点からするとθが90°の時、弾性部材を変形させる
ための形状記憶合金の発生力は無限大になってしまうの
で、実際には90°未満の値であり、好適にはθ=75
°以下にする必要がある。)形状記憶合金は発生力が大
きいことが特長であり、取付角度θ=60°〜70°で
得られる拡大率2倍〜3倍程度であれば弾性部材の適切
な板厚設計により、容易に駆動することができる。形状
記憶合金の取付角度θ=0°(可動部分の変位方向と形
状記憶合金の変位方向が平行)の場合、2倍から3倍の
変位を得るためには、形状記憶合金の長さは2倍から3
倍必要になる。これに対して、図5のように、同じ長さ
の形状記憶合金を取付角度θ=60°〜70°にするだ
けで2倍から3倍の変位量が得られることは、スペース
が制限されたアクチュエータの構造として大変有利であ
る。
【0016】第4の請求項に対応する実施例について図
8を用いて説明する。図8では、板状の形状記憶合金8
1を用いて弾性部材を兼ねた構造になっている。このよ
うな構造にすることで、組立を容易にし、コストの低下
がはかられる。板状形状記憶合金81は低温時と高温時
の両方の形状を記憶している双方向性素子であり、加熱
・冷却によって可動部の変位が得られるものである。な
お、板状形状記憶合金81の一部は弾性部材(板ばね)
であってもよい。この場合、板状形状記憶合金81は加
熱時の形状を記憶した一方向性の素子であってもよく、
低温時は弾性部材の力で板状形状記憶合金81が変形さ
れる。また、一組以上の平行板ばね構造とは別に、可動
部の駆動素子として板状形状記憶合金が用いられていて
も良い。
【0017】以上に挙げた実施例は、可動部に光学素子
を搭載することで、光学特性の調節手段として利用でき
る。図9にその一例を示す。可動部93に図中の光軸方
向97に光軸をもつレンズ91が搭載されており、光軸
と垂直な面に平行に固定部94上に撮像素子92が設置
されている。形状記憶合金96を通電などにより加熱す
ることにより、レンズが光軸方向に変位し、撮像素子と
レンズとの距離を短くすることができる。加熱をやめて
形状記憶合金96が常温に戻ると、レンズはもとの位置
に戻る。光軸方向のレンズ変位は、レンズを通して撮像
素子上に結像する画像のピント調節に用いることができ
る。図9の配置では、形状記憶合金96を加熱しない状
態では遠方にある被写体にピントが合っており、加熱時
にレンズに近接した被写体にピントが合う構成である。
これとは逆に、形状記憶合金96を加熱した場合に遠方
の被写体にピントが合う構成にしても良い。なお、図9
に示した形状記憶合金の形状および取付方法は一例であ
り、これまでに実施例として挙げたどのような形態であ
っても、光学特性の調整手段、例えば撮像を目的とした
焦点調節機構に応用できる。
【0018】次に、本発明の形状記憶合金アクチュエー
タをデジタルカメラの焦点調節機構に応用した場合の制
御系の構成について述べる。図10は形状記憶合金アク
チュエータを用いた焦点調節機構の基本構成である。被
写体からの光線はレンズ102を通って撮像素子103
上に結像する。被写体までの距離に応じてピントを調節
する手段として、レンズ102を光軸方向に変位させる
形状記憶合金アクチュエータ101が用いられる。形状
記憶合金アクチュエータ101は制御回路106が出力
する制御信号107で駆動される。ピントの自動調節は
画像の輝度が最大になるようにアクチュエータを制御す
ることで実現される。そのための手段として、カメラコ
ントロールユニット104から画像の輝度信号105を
制御装置106へ入力している。制御装置106の内部
では、輝度信号105が最大となるように形状記憶合金
アクチュエータ101を駆動するためのアルゴリズムが
内蔵されている。なお、ピントの調節は使用者が画像を
見ながら手動で行えるモードを備えていてもよい。その
場合、制御装置106は輝度信号105は無視して、図
示していない使用者からの駆動指令信号に従い制御信号
107を出力する。
【0019】図11はレンズ112の位置決め精度の向
上および動作の高速化を目的として、形状記憶合金アク
チュエータ111の状態変数を制御装置116へフィー
ドバックする場合の構成である。形状記憶合金の状態変
数の一つである抵抗値は形状記憶合金の相変化の状態に
応じて変化するため、相変化に起因するアクチュエータ
可動部の変位量との間で大きな相関がある。そこで、抵
抗値を制御装置へフィードバックすることで、位置セン
サを別に設けることなく、位置決め精度の向上および動
作の高速化が行える。フィードバック信号118は形状
記憶合金の抵抗値を表す信号もしくは形状記憶合金への
印加電圧および電流を表す信号である。制御装置116
は形状記憶合金の抵抗値もしくはその逆数であるコンダ
クタンスを用いて制御信号117を出力する。
【0020】レンズの変位は変位センサにより測定して
も良い。図12はその場合の構成図である。変位センサ
128がレンズ112光軸方向の変位を測定するのに適
当な位置に設置されており、変位を表す信号129が制
御装置126へフィードバックされる。
【0021】被写体までの距離は距離センサにより測定
しても良い。図13はその場合の構成図である。距離セ
ンサ138が被写体までの距離を測定するのに適当な位
置に設置されており、距離信号139が制御回路136
へ入力される。制御回路136は、自動にピントを調節
するための信号として、輝度信号135と距離信号13
9を併用して制御を行うか、被写体の光学的な条件や使
用者からの指令に従い、輝度信号135もしくは距離信
号139を選択して制御を行う。
【0022】図10〜図13で挙げた機能を一時的にで
も組み合わせた制御系を構成することもできる。また、
形状記憶合金アクチュエータは使用環境の温度により特
性が変化するので、温度センサを設けて温度を計測し、
使用温度に応じて最適な条件で制御を行うようなアルゴ
リズムが制御装置に備えられていてもよいし、温度補償
を行うアナログ的な回路が制御装置内に備えられていて
もよい。
【0023】次に第5の請求項の実施例について図14
(a)を用いて説明する。円筒形状の弾性部材141が
その両端部が固定部150、151に接するように取り
付けられている。弾性部材141には、細線状の形状記
憶合金142が巻き付けられている。弾性部材141、
固定部149、150、151によって囲まれた空間1
43は流路145を除いては密閉された空間である。空
間143には、気体もしくは液体が入っている。この説
明では空気が入っていることにする。固定部151に
は、シリンダ148が取り付けられている。シリンダ1
48には、その内径よりも僅かに小さい外径をもつ可動
部147が挿入されている。可動部147、シリンダ1
48、固定部151、149で囲まれた空間146があ
る。空間146は流路145、シリンダ148と可動部
147の隙間を除いては密閉された空間である。空間1
43と空間146は流路145によってつながってい
る。
【0024】可動部の動作は次の通りである。形状記憶
合金142は通電などに加熱すると収縮し、弾性部材1
41が変形し、空間143の容積が小さくる。これによ
り空間143を占めていた空気の一部が流路145を通
り空間146側へ押し出される。空間146に流入した
空気の一部はシリンダ148と可動部147の隙間を通
って外部に漏れ出るが、そのほとんどが可動部147を
前方に押し出す仕事をする。図14(b)は形状記憶合
金142の収縮時を示した図である。形状記憶合金14
2の加熱をやめると、弾性部材141の回復力により、
空間143の容積が大きくなり、空気が空間146から
空間143へ移動して、可動部147は空間146の容
積が小さくなる方向に移動する。この実施例は、形状記
憶合金の動作を空気を介して可動部に伝えることが特徴
で、限られたスペースを有効に利用できる駆動手段であ
る。弾性部材141の形状や、シリンダ147の形状を
変えることにより、任意に変位拡大率(形状記憶合金の
変形量と可動部の移動量の比)を設定できる。空気を介
して駆動するため、形状記憶合金と可動部が離れていて
も良い。シリンダ148と可動部147の間の隙間によ
る空気の漏れを防ぐために、隙間に液体を注入しておい
ても良い。空間に満たされた流体が液体の場合は、表面
張力が漏れを防ぐこともできる。また、漏れを完全に無
くすために、シリンダ148と可動部147の間に弾性
部材(金属ベローズ等)を使用することもできる。
【0025】この構造は、小型カメラのピント調節機構
等の光学系の調節手段に応用できる。図14では可動部
147の中にレンズを入れ、固定部149に撮像素子が
搭載された例を示している。光学系以外にも可動部の往
復の変位が必要である用途に利用できる。また、形態は
図1に示したものに限らず、形状記憶合金で駆動される
弾性部材で一部が囲まれた空間と可動部の動きにより容
積が変化する空間があり、2つの空間が流路でつながっ
ている構造が本質的なものである。なお、流路は小さい
径の管である必要は無く、形状記憶合金の収縮により容
積が変化する空間と、可動部の動きにより容積が変化す
る空間は一つの空間であってもよい。
【0026】図14に示した実施例において、形状記憶
合金を通電により加熱する場合の通電方法は電圧制御も
しくはPWM制御が用いられる。電圧制御の場合、形状
記憶合金に印加する電圧を制御し、変位量をアナログ的
に制御する。PWM制御の場合、一定振幅の電圧のパル
スで通電する。デューティー比で形状記憶合金への電力
を制御する。PWM制御は駆動回路が比較的簡単である
ため、アクチュエータを情報機器へ応用する場合有利で
ある。また、振幅が一定であるため、供給できる電力の
上限が決まっており、電力の過剰供給による破損を防止
することができる。
【0027】図14について上記で説明した駆動原理に
おいては、内容の流体が移動する際の抵抗や、可動部に
おける流体の漏れは無視できる程小さいことが望まし
い。流体抵抗や漏れが無視できない程大きい構造の場
合、逆にこれを利用した駆動方法もとれる。図15、図
16を用いて説明する。図15は、可動部に流体の漏れ
がある場合の動作を説明するためのモデルである。空間
153は形状記憶合金によって駆動される弾性部材15
1,152の動きに起因してその内圧が変化する。可動
部154とシリンダ156の間には相対運動に抵抗を与
える固体摩擦成分155がある。シリンダ156と可動
部154は流体の漏れがない状態で相対運動すると仮定
し、別途設けた流路157を通じて外部への漏れが生じ
ているとする。流路157の断面積はシリンダに比べ十
分小さく、漏れ流の流速v(158)のほぼ2乗に比例
した抵抗が生じる。形状記憶合金の変形速度が小さく流
速vが小さい場合、流路157における抵抗は小さく、
空間153の内圧Pと外部の圧力Pはほとんど等しく
なる。形状記憶合金の変形速度が大きく流速vが大きい
場合、流路157における抵抗は大きく、内圧Pは外部
の圧力P差は大きくなる。可動部154に加わる駆動
力は内圧Pと外部の圧力Pの差であり、固体摩擦成分
155の作用により、可動部154が動き出すための圧
力Pはあるしきい値をもったものになる。すなわち形状
記憶合金の変形速度を制御することにより、可動部15
4が動き出すか動き出さないかを制御することができ
る。この動作方法には、形状記憶合金に通電していない
場合でも任意の位置に可動部を止めておくことができる
という利点がある。
【0028】図16に駆動波形の一例を示す。図16
(a)は可動部154が左向き(内部から外部に向かう
方向)に動く場合、図16(b)は可動部154が右向
き(外部から内部に向かう方向)に動く場合、をそれぞ
れ示している。161は形状記憶合金への印加電圧波形
であり、立ち上がりが急峻な鋸波である。162は空間
153内の圧力変化を示しており、Pは外部の圧力、
は可動部が左に動くための圧力のしきい値で、P
は可動部が右に動くための圧力のしきい値である。圧力
Pは電圧の立ち上がり直後にPを超え、可動部は左に
動く(163参照)。電圧の立ち下がりは緩やかで、P
はPを下回らないため、電圧印加をやめての可動部の
位置は保持される。これを繰り返し、可動部は徐々に左
へ動いていく。可動部を右に動かす場合は164のよう
に立ち下がりが急峻な鋸波形の電圧を印加する。立ち上
がり時は、電圧の変化が緩やかであるため、圧力PはP
を上回らない(165参照)。電圧の立ち下がりは急
峻で、この直後にPはPを下回り、可動部は右に動く
(166参照)。これを繰り返し、可動部は右に動いて
いく。
【0029】圧力波形162と165が時間軸と圧力軸
で対称の形にならないのは、形状記憶合金の動作速度が
縮む場合と伸びる場合で等しくないからである。これ
は、加熱は通電により温度が上昇し、冷却は形状記憶合
金の表面からの放熱によるためである。一般的に形状記
憶合金を通電により加熱する方法で駆動する場合、加熱
時に比して冷却時における動作の応答が問題になるが、
単位体積当たりの表面積が大きい形状(例えば細線形
状)を用いることで、放熱が促進され、動作の応答を早
めることができる。また、形状記憶合金に空気を吹き付
けるなど、強制冷却をすることで、さらに応答性を改善
できる。このような動作の応答性の改善方は、本発明の
全ての実施例について適用できる。
【0030】図15を用いて説明した駆動方法では、可
動部の位置ぎめを行うための変位センサを用いてもよ
い。変位センサやその他の測定手段を用いない場合、可
動部を往復させる動作を何度も行うと、誤差が累積して
可動部の現在位置が分からなくなる場合がある。これを
解決する方法として、可動部の駆動範囲を制限する機械
的なストッパをあらかじめ設けておき、電圧波形161
もしくは164において、電圧の振幅を大きくした一つ
の波形を形状記憶合金に印加した時の可動部変位が駆動
範囲にわたるように設計しておけば、現在位置によらず
確実に可動部をストッパにあてた状態にすることができ
るので、これを可動部位置の初期化動作とすることがで
きる。
【0031】前述した駆動電圧波形は、電圧制御の場合
に用いられるものである。PWM制御を行う場合は、電
圧波形はデューディー比の時間変化に相当する。本発明
の全ての構造及び駆動方法はPWM制御の場合でも適用
可能である。
【0032】PWM制御と抵抗値フィードバックを行う
場合に、形状記憶合金の抵抗値を測定する方法の一例に
ついて図17を用いて説明する。形状記憶合金に印加さ
れる電圧波形174は制御信号171により生成され
る。制御信号171において、TはPWMの搬送周期、
t/Tはデューティー比である。形状記憶合金に流れる
電流は電流波形176である。電流は電圧波形175の
ONの時間に流れOFFの時間において電流はほとんど
0である。抵抗値は電圧がONの時間の印加電圧と電流
から演算して求まるが、演算のタイミングをPWMの搬
送周期と合わせなければならず、システム的に不都合と
なる場合がある。そこで、制御信号171から立ち上が
りのトリガ信号を抽出し、遅延回路を用いてトリガ信号
173を作る。トリガ信号173を用いてサンプルホー
ルド回路のホールド動作を行い、ON時間の電圧、電流
値をホールドする(波形175,波形177参照)。コ
ントローラはホールドされた信号を任意のタイミングで
サンプリングすることで、抵抗値、コンダクタンスを演
算できる。
【0033】
【発明の効果】本発明によれば、形状記憶合金アクチュ
エータの高出力化、小形化、及び製造コストの低減が実
現でき、小形の機械要素または光学素子の駆動手段とし
て応用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1および第2の請求項に係わる形状
記憶合金アクチュエータの構成を示す斜視図。
【図2】本発明に係わる形状記憶合金アクチュエータの
動作原理を示す概念図。
【図3】本発明において、コイルばね状の形状記憶合金
を用いた場合の構成図。
【図4】本発明において、ねじりコイルばね状の形状記
憶合金を用いた場合の構成図。
【図5】本発明の第3の請求項に係わる形状記憶合金ア
クチュエータの構成を示す斜視図。
【図6】図5の実施例の動作原理を説明するためのモデ
ル。
【図7】図5の実施例の効果を説明するための図。
【図8】本発明の第4の請求項に係わる形状記憶合金ア
クチュエータの構成を示す斜視図。
【図9】本発明に係わる形状記憶合金アクチュエータを
撮像素子に応用した実施例。
【図10】本発明に係わる形状記憶合金アクチュエータ
の制御方法の実施例。
【図11】本発明に係わる形状記憶合金アクチュエータ
の制御方法の実施例。
【図12】本発明に係わる形状記憶合金アクチュエータ
の制御方法の実施例。
【図13】本発明に係わる形状記憶合金アクチュエータ
の制御方法の実施例。
【図14】本発明の第5の請求項に係わる形状記憶合金
アクチュエータの構成を示す概念図。
【図15】図14に示した実施例の駆動原理の一形態を
説明するための図。
【図16】図14に示した実施例の駆動動作を説明する
ための波形図。
【図17】形状記憶合金の抵抗値を測定する方法を説明
するための図。
【図18】形状記憶合金アクチュエータの従来例。
【図19】形状記憶合金アクチュエータの従来例。
【符号の説明】
1…可動部 2…固定部 3…弾性部材 4…形状記憶合金 5,6,7…取付部 8…リード線 9…可動方向
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 5/225 G03B 3/00 A Fターム(参考) 2H011 AA03 CA12 2H044 BE01 BE06 BE10 DA01 DB00 DC02 DD00 2H051 AA00 FA01 5C022 AA13 AB12 AB21 AB44 AC42 AC54

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可動部と固定部があり、前記可動部は弾
    性部材により前記固定部より支持され、さらに前記可動
    部は前記固定部との間には、前記弾性部材を変形可能と
    なる様に形状記憶合金が設置されていることを特徴とす
    るアクチュエータ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のアクチュエータ装置にお
    いて、可動部の主な運動方向が、一つの軌道にそった往
    復運動となるように弾性部材が取り付けられていること
    を特徴とするアクチュエータ装置。
  3. 【請求項3】 形状記憶合金の変形方向が、前記可動部
    の運動方向に対し角度を為して取り付けられ、前記可動
    部の変位が形状記憶合金の変形量よりも大きいことを特
    徴とする、請求項1もしくは請求項2記載のアクチュエ
    ータ装置。
  4. 【請求項4】 板状の形状記憶合金が用いられ、前記形
    状記憶合金が、前記可動部の運動方向を規制する機能を
    兼ねていることを特徴とする、請求項1もしくは請求項
    2記載のアクチュエータ装置。
  5. 【請求項5】 形状記憶合金によって駆動される弾性部
    材と、前記弾性部材と固定部と可動部によって囲まれた
    空間と、前記空間に満たされた流体があり、前記形状記
    憶合金の変形により生じる弾性部材の変形に起因して、
    前記流体の移動が起こり、前記可動部を変位させること
    を特徴とするアクチュエータ装置。
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