JP2002115690A

JP2002115690A - 真空ポンプにおける冷却構造

Info

Publication number: JP2002115690A
Application number: JP2000311858A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Morita; 健一森田; Tomoji Hashimoto; 友次橋本; Hitoshi Shoji; 仁正路
Original assignee: Toyota Industries Corp
Current assignee: Toyota Industries Corp
Priority date: 2000-10-12
Filing date: 2000-10-12
Publication date: 2002-04-19

Abstract

(57)【要約】【課題】真空ポンプ内の冷却対象を冷却する油を効率良
く冷却する。【解決手段】ギヤハウジング３３内に突出する回転軸１
９，２０の突出端部には歯車３４，３５が互いに噛合し
た状態で止着されている。回転軸１９，２０は、歯車３
４，３５によって同期して回転される。歯車３４，３５
を収容するギヤハウジング３３の周壁４７の底壁４７２
には放熱用孔４７３が貫通して設けられている。放熱用
孔４７３は、冷却器５０によって被覆されている。冷却
器５０には熱伝達用フィン５０３が一体に設けられてい
る。熱伝達用フィン５０３は、放熱用孔４７３に入り込
んでいる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける冷却構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】特開平２−１５７４９０号広報、特開平
６−１０１６７４号公報に開示される真空ポンプでは、
隣合って２個で組をなすロータが噛合した状態で回転さ
れる。噛合しながら回転する２個のロータの回転動作
は、ガスを移送する。ロータの回転軸のうちの一方は、
モータから駆動力を得ており、他方の回転軸は歯車機構
を介して前記一方の回転軸から駆動力を得ている。

【０００３】歯車機構を収容するハウジング内には潤滑
油が貯留されており、この貯留油が歯車機構を潤滑す
る。この潤滑油がポンプ室へ洩れ出ないようにするた
め、歯車機構の収容室とポンプ室とを隔てるハウジング
壁を貫通する回転軸の貫通部位とハウジング壁との間に
リップシールが設けられている。

【０００４】真空ポンプでは排ガスを圧縮する行程で熱
が発生し、この発生熱によって真空ポンプの本体が高温
化する。リップシールは、高温環境に晒されると劣化
し、リップシールのシール機能が低下する。そこで、歯
車機構を潤滑するための油によってリップシールを直接
冷却したり、あるいは前記油によって回転軸を冷却して
リップシールを間接的に冷却する対策が図られる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】リップシールあるいは
回転軸のような冷却対象を継続的に冷却するため、冷却
対象から熱を奪った油から熱を奪って真空ポンプの本体
の外部に放出する必要がある。即ち、冷却対象を冷却し
た油を冷却する必要がある。この熱放出は、歯車機構を
収容するハウジングの外壁に油から熱を伝えることによ
って行われる。しかし、歯車機構を収容するハウジング
の外壁は厚く、前記外壁における熱伝達効率は良くな
い。そのため、油を冷却する効率が悪く、冷却対象を効
率良く冷却することができない。このような冷却効率の
悪さは、リップシールの早期の劣化をもたらす。

【０００６】本発明は、真空ポンプ内の冷却対象を冷却
する油を効率良く冷却することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、冷却用の油の存在領域を形成するオイルハウジン
グ内の油存在領域に前記回転軸を突出させ、外部に露出
する前記オイルハウジングの外壁に熱伝達用フィンを設
けた。

【０００８】オイルハウジング内の油の熱は、オイルハ
ウジングの外壁の内面から外面へ伝って外部へ移行す
る。オイルハウジングの外壁の壁面の面積を増やせば、
オイルハウジングの外壁における熱伝達性能が向上し、
オイルハウジング内の油の冷却の効率が向上する。熱伝
達用フィンは、オイルハウジングの壁面の面積を増や
し、オイルハウジング内の油が効率良く冷却される。

【０００９】請求項２の発明では、請求項１において、
前記熱伝達用フィンは、前記油を溜める前記オイルハウ
ジングの底部の底壁に設けた。オイルハウジング内の油
は、底壁に向かい易い。従って、底壁に熱伝達用フィン
を設けた構成は、油を冷却する効率の向上に最適であ
る。

【００１０】請求項３の発明では、請求項１及び請求項
２のいずれか１項において、前記熱伝達用フィンは、前
記外壁の内面に設けた。熱伝達用フィンは、オイルハウ
ジング内の油存在領域に露出してオイルハウジングの外
壁の内面の面積を増やす。オイルハウジング内の油の熱
は、熱伝達用フィンの表面も直接経由してオイルハウジ
ングの外壁の外部へ移行する。

【００１１】請求項４の発明では、請求項１乃至請求項
３のいずれか１項において、前記オイルハウジングの前
記外壁に放熱用孔を貫通して設け、前記放熱用孔を冷却
器で被覆して前記冷却器を前記外壁の一部とし、前記冷
却器に前記熱伝達用フィンを設けた冷却器は油存在領域
に露出するため、オイルハウジング内の油を冷却する効
率が高まる。

【００１２】請求項５の発明では、請求項４において、
前記冷却器は、前記オイルハウジングの材質よりも熱伝
達性能の高い材質で形成した。通常、オイルハウジング
は鉄系の材質製である。冷却器の材質として鉄系の材質
よりも熱伝達性能の高い材質を用いる構成は、オイルハ
ウジング内の油を冷却する効率の向上に有効である。

【００１３】請求項６の発明では、請求項１乃至請求項
５のいずれか１項において、前記油存在領域は、隔壁に
よって前記ポンプ室から隔てられ、前記回転軸は、前記
隔壁を貫通して前記油存在領域に突出し、前記回転軸と
前記隔壁との間には軸シール用の接触型シール手段を介
在した。

【００１４】熱による接触型シール手段の劣化は、油に
よって接触型シール手段を直接冷却したり、あるいは前
記油によって回転軸を冷却して接触型シール手段を間接
的に冷却することによって抑制される。

【００１５】請求項７の発明では、請求項１乃至請求項
６のいずれか１項において、前記真空ポンプは、複数の
前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上に
ロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み
合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組と
して収容する複数のポンプ室を前記回転軸の軸線方向へ
配列した多段真空ポンプであり、前記複数のポンプ室の
容積は、前記回転軸の軸線方向に沿って前記隔壁に近づ
く順に小さくなってゆき、前記ガスは、前記容積が小さ
くなってゆく順に前記複数のポンプ室を経由して移送さ
れ、前記油存在領域に隣接するポンプ室は最小容積のポ
ンプ室とした。

【００１６】このような真空ポンプは、本発明の適用対
象として好適である。請求項８の発明では、請求項７に
おいて、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期し
て回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容す
る領域とし、前記油存在領域には前記歯車機構を潤滑す
るための油が貯留されており、前記歯車機構を潤滑可能
に貯留油をかき上げるための油かき上げ手段が前記油存
在領域に設けられているようにした。

【００１７】歯車機構を潤滑するための油が冷却に利用
される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明
する。

【００１９】図１（ａ）に示すように、多段ルーツポン
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１
２の後端には隔壁としてのリヤハウジング１４が接合さ
れている。ロータハウジング１２、フロントハウジング
１３及びリヤハウジング１４は、いずれも鉄系の材質製
である。ロータハウジング１２は、シリンダブロック１
５と複数の室形成壁１６とからなる。図２（ｂ）に示す
ように、シリンダブロック１５は、一対のブロック片１
７，１８からなり、室形成壁１６は一対の壁片１６１，
１６２からなる。図１（ａ）に示すように、フロントハ
ウジング１３と室形成壁１６との間の空間、隣合う室形
成壁１６の間の空間、及びリヤハウジング１４と室形成
壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，
４１，４２，４３となっている。

【００２０】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには一対の回転軸１９，２０が軸受けであるラジ
アルベアリング２１，３７，２２，３８を介して回転可
能に支持されている。両回転軸１９，２０は互いに平行
に配置されている。回転軸１９，２０は室形成壁１６に
通されている。

【００２１】回転軸１９にはガス移送体としての複数の
ロータ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されて
おり、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，
３１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２
は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見
て同形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２
５，２６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくよう
にしてあり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚
みも同様にこの順に小さくなってゆくようにしてある。
ロータ２３，２８は僅かの隙間を保って互いに噛合した
状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２４，２
９も同様に互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容さ
れている。以下同様にしてロータ２５，３０はポンプ室
４１に、ロータ２６，３１はポンプ室４２に、ロータ２
７，３２はポンプ室４３にそれぞれ収容されている。

【００２２】リヤハウジング１４には鉄系の材質製であ
る、オイルハウジングとしてののギヤハウジング３３が
ねじ４６（図３に図示）の締め付けによって接合されて
いる。リヤハウジング１４の端面と、ギヤハウジング３
３の周壁４７の端縁４７１との間にはシールリング４８
が介在されている。回転軸１９，２０は、リヤハウジン
グ１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出してお
り、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，３５
が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジン
グ３３の端壁４９には電動モータＭが組み付けられてい
る。電動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回
転軸１９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによ
って図２（ａ），（ｂ），（ｃ）の矢印Ｒ１の方向に回
転される。回転軸２０は、歯車３４，３５を介して電動
モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０は図２
（ａ），（ｂ），（ｃ）の矢印Ｒ２で示すように回転軸
１９とは逆方向に回転する。

【００２３】図３に示すように、歯車３４，３５からな
る歯車機構を収容するギヤ収容室３３１の底部には潤滑
油Ｙが貯留されており、歯車３４，３５の下方を浸して
いる。潤滑油Ｙは、歯車３４，３５の回転動作によって
かき上げられる。歯車３４，３５からなる歯車機構は、
貯留油をかき上げるための油かき上げ手段となる。潤滑
油Ｙは、歯車３４，３５、ラジアルベアリング３７，３
８を潤滑する。リヤハウジング１４は、油存在領域とな
るギヤ収容室３３１と、ポンプ室４３とを隣合わせに隔
てる隔壁となる。潤滑油Ｙは、回転軸１９，２０の突出
端部１９２，２０２を冷却する。

【００２４】図２（ｂ）に示すように、室形成壁１６内
には通路１６３が形成されている。室形成壁１６には通
路１６３の入口１６４及び出口１６５が形成されてい
る。隣合うポンプ室３９，４０，４１，４２，４３は、
通路１６３を介して連通している。

【００２５】図２（ａ）に示すように、ブロック片１８
には導入口１８１がポンプ室３９に連通するように形成
されている。図２（ｃ）に示すように、ブロック片１７
には排出口１７１がポンプ室４３に連通するように形成
されている。導入口１８１からポンプ室３９に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって室形成壁１
６の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５よ
り隣のポンプ室４０へ移送される。以下、同様にガス
は、ポンプ室の容積が小さくなる順、即ちポンプ室４
０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３
へ移送されたガスは、排出口１７１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。

【００２６】図１（ａ），（ｂ）に示すように、回転軸
１９，２０の突出端部付近には接触型シール手段となる
ゴム製のリップシール４４，４５が配置されている。リ
ップシール４４，４５は、回転軸１９，２０の突出部位
となる突出端部付近の周面に摺接してシール作用をもた
らす。歯車３４，３５でかき上げられた潤滑油Ｙは、ラ
ジアルベアリング３７，３８の内輪と外輪との間隙を経
由してリップシール４４，４５まで到達する。リップシ
ール４４，４５は、潤滑油Ｙによって潤滑されると共
に、冷却される。

【００２７】図３及び図４に示すように、回転軸１９，
２０の軸線１９１，２０１を包囲する周壁４７の底壁４
７２には放熱用孔４７３が貫通して設けられている。底
壁４７２は、多段ルーツポンプ１１の本体の外部に露出
する外壁の一部となる。放熱用孔４７３は、周壁４７の
端縁４７１付近、及び端壁４９を外すように設けられて
いる。

【００２８】底壁４７２の外面には冷却器５０がねじ５
１の締め付けによって固定されている。冷却器５０は、
放熱用孔４７３を被覆しており、冷却器５０と底壁４７
２の外面との間にはシールリング５２が介在されてい
る。シールリング５２は放熱用孔４７３を包囲してい
る。シールリング５２は、ギヤハウジング３３内の潤滑
油Ｙが冷却器５０と底壁４７２の外面との間から洩れる
ことを防止する。放熱用孔４７３を被覆する冷却器５０
は、ギヤハウジング３３の外壁の一部となっている。

【００２９】冷却器５０は、アルミニウム系もしくは真
鍮の材質で形成されている。冷却器５０には供給管５０
１及び排出管５０２が接続されている。供給管５０１
は、図示しない冷却液供給源から冷却液を冷却器５０へ
送り、排出管５０２は、冷却器５０を通過した冷却液を
前記冷却液供給源へ還流する。冷却器５０内を通過する
冷却液は、冷却器５０の表面に接触する接触対象を冷却
する。

【００３０】冷却器５０の上面には複数の熱伝達用フィ
ン５０３（本実施の形態では３つ）が一体形成されてい
る。熱伝達用フィン５０３は、放熱用孔４７３を通って
ギヤ収容室３３１内に突出している。各熱伝達用フィン
５０３は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１と直
交する方向に沿って長い板形状をしている。

【００３１】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。（１-1）オイルハウジングであるギヤハウジング３３内
の潤滑油Ｙの熱は、ギヤハウジング３３の外壁の内面か
ら外面へ伝って外部へ移行する。ギヤハウジング３３の
外壁の内面の面積を増やせば、ギヤハウジング３３の外
壁における熱伝達性能が向上し、ギヤハウジング３３内
の潤滑油Ｙの冷却の効率が向上する。熱伝達用フィン５
０３は、ギヤハウジング３３の外壁の内面の面積を増や
し、ギヤハウジング３３内の潤滑油Ｙが効率良く冷却さ
れる。ギヤハウジング３３内の油を冷却する効率の向上
は、軸シール用の接触型シール手段であるリップシール
４４，４５の効率の良い冷却をもたらし、リップシール
４４，４５の寿命が延びる。

【００３２】（１-2）熱伝達用フィン５０３を立設した
冷却器５０の表面の一部は、油存在領域であるギヤ収容
室３３１に露出し、冷却器５０はギヤハウジング３３の
一部となる。熱伝達用フィン５０３を立設した冷却器５
０の表面は、ギヤハウジング３３の底壁４７２の内面と
なる。熱伝達用フィン５０３を立設した冷却器５０の表
面の一部をギヤ収容室３３１に露出させた構成は、冷却
器５０とギヤ収容室３３１との間に壁を介在する構成に
比べ、熱伝達効率に関して優れている。従って、放熱用
孔４７３を被覆する冷却器５０の部位における熱伝達効
率は、放熱用孔４７３のない周壁４７の他の部位におけ
る熱伝達効率よりも高くなる。周壁４７の一部における
熱伝達効率の向上は、オイルハウジングとなるギヤハウ
ジング３３内の油を冷却する効率を高める。

【００３３】（１-3）ギヤハウジング３３は鉄系の材質
製であり、冷却器５０はアルミニウム系もしくは真鍮の
材質製である。アルミニウム系や真鍮の材質は、鉄系の
材質よりも熱伝達性能に優れている。冷却器５０の材質
として鉄系の材質よりも熱伝達性能の高いアルミニウム
系等の材質を用いる構成は、潤滑油Ｙの熱を冷却器５０
内の冷却液に伝達する効率の向上に非常に適している。
冷却器５０の材質として鉄系の材質よりも熱伝達性能の
高い材質を用いる構成は、ギヤハウジング３３内の潤滑
油Ｙを冷却する効率の向上に有効である。特に、アルミ
ニウム系の材質は、軽量化、コストの点も考慮すると冷
却器５０の材質として最適である。

【００３４】（１-4）放熱用孔４７３は、周壁４７の一
部である底壁４７２にのみ設けられている。放熱用孔４
７３は、ギヤハウジング３３の全体の一部に限られてい
るため、ギヤハウジング３３の必要な強度確保も容易で
ある。

【００３５】（１-5）ギヤハウジング３３内の潤滑油Ｙ
は、ギヤ収容室３３１の底部、即ち放熱用孔４７３内、
及び放熱用孔４７３の周囲の底壁４７２の内面上に溜ま
る。放熱用孔４７３内に溜まる潤滑油Ｙは、熱伝達用フ
ィン５０３に接触し、貯留油の熱が直接冷却器５０に伝
達する。従って、貯留油の存在する放熱用孔４７３を冷
却器５０で被覆すると共に、熱伝達用フィン５０３をギ
ヤ収容室３３１の底部に配置した構成は、潤滑油Ｙを冷
却する効率の向上に最適である。

【００３６】（１-6）隔壁であるリヤハウジング１４と
回転軸１９，２０との間に介在されるリップシール４
４，４６の熱による劣化は、潤滑油Ｙによってリップシ
ール４４，４６を直接冷却したり、あるいは潤滑油Ｙに
よって回転軸１９，２０の突出端部を冷却してリップシ
ール４４，４５を間接的に冷却することによって抑制さ
れる。

【００３７】（１-7）ゴム製のリップシール４４，４５
は、回転軸１９，２０の周面に対する密接性に非常に優
れているが、潤滑油Ｙによる潤滑がないと耐久性が極端
に低下する。潤滑油Ｙによって潤滑を受けると共に、冷
却作用を受けるゴム製のリップシール４４，４５は、高
い耐久性及び高いシール性能の確保できる接触型シール
手段である。

【００３８】（１-8）ポンプ室４３は、隔壁となるリヤ
ハウジング１４を介してギヤ収容室３３１に隣合う最小
容積のポンプ室である。最小容積のポンプ室４３は最も
温度の高くなる箇所である。従って、リヤハウジング１
４及び回転軸１９，２０の突出端部付近の温度も高くな
り易く、リップシール４４，４５は，過酷な高温環境に
晒される。そのため、リップシール４４，４５の冷却
は、極めて重要であり、本発明は、重要な冷却対象であ
るリップシール４４，４５を備えた多段ルーツポンプ１
１への適用に特に好適である。

【００３９】次に、図５（ａ），（ｂ）の第２の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が付してある。ギヤハウジング３３の周壁４７の
底壁４７２の内面には複数の熱伝達用フィン４７４（本
実施の形態では３つ）が一体に設けられている。底壁４
７２の外面にはアルミニウム系もしくは真鍮の材質製の
冷却器５０Ａが取り付けられている。

【００４０】第３の実施の形態では、第１の実施の形態
における（１-1）項、（１-3）項、（１-6）項〜（１-
8）項と同じ効果が得られる。次に、図６の第３の実施
の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には
同じ符号が付してある。

【００４１】冷却器５０Ｂには熱伝達用フィン５０４が
立設されている。熱伝達用フィン５０４内には冷却通路
５０５が形成されており、冷却液が冷却通路５０５を流
通する。熱伝達用フィン５０３は、ギヤハウジング３３
の底部に配置されている。

【００４２】第２の実施の形態では、第１の実施の形態
と同じ効果が得られる。又、ギヤ収容室３３１内に入り
込んでいる熱伝達用フィン５０４内を冷却液が流通する
ため、ギヤハウジング３３内の潤滑油Ｙの冷却の効率が
第１の実施の形態の場合よりも一層向上する。

【００４３】次に、図７の第４の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。放熱用孔４７３は、アルミニウム系の材質製の
カバー５３によって被覆されている。カバー５３の両面
には熱伝達用フィン５３１，５３２が一体に立設されて
いる。熱伝達用フィン５３１は、ギヤハウジング３３の
底部に配置されている。ギヤ収容室３３１の潤滑油Ｙの
熱は、熱伝達用フィン５３１、カバー５３の板部及び熱
伝達用フィン５３２を伝ってギヤハウジング３３の外部
へ放熱される。

【００４４】第４の実施の形態における冷却効率は、冷
却液を利用した冷却方式ほどではないが、熱伝達用フィ
ン５３１，５３２を介した熱伝達は、ギヤハウジングの
平板な壁を介して壁厚方向に熱伝達させる場合よりも向
上する。

【００４５】次に、図８（ａ），（ｂ）の第５の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が付してある。ギヤハウジング３３の底壁４７２
の内面には複数の熱伝達用フィン４７５が一体に立設さ
れており、底壁４７２の外面には複数の熱伝達用フィン
４７６が一体に立設されている。底壁４７２の外面には
アルミニウム系もしくは真鍮の材質製の冷却器５０Ｃが
取り付けられている。冷却器５０Ｃの上面には複数の凹
部５０６が設けられており、凹部５０６には熱伝達用フ
ィン４７６が嵌合されている。凹部５０６と熱伝達用フ
ィン４７６とは、互いに密接している。

【００４６】ギヤ収容室３３１の潤滑油Ｙの熱は、熱伝
達用フィン４７５、底壁４７２及び熱伝達用フィン４７
６を介して冷却器５０Ｃに伝わる。第５の実施の形態で
は、第１の実施の形態における（１-1）項、（１-3）
項、（１-6）項〜（１-8）項と同じ効果が得られる。
又、複数の熱伝達用フィン４７６と、複数の凹部５０６
とを密接させた構成は、ギヤハウジング３３の外壁の外
面から冷却器５０Ｃに熱伝達するための接触面積を増や
す。このような接触面積の増大は、熱伝達効率の向上に
寄与する。

【００４７】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。（１）ギヤハウジング３３の周壁４７の側壁に放熱用孔
を設け、この放熱用孔を冷却器で被覆すると共に、放熱
用孔に入り込む熱伝達用フィンを冷却器に設けること。（２）ギヤハウジング３３の周壁４７の上壁に放熱用孔
を設け、この放熱用孔を冷却器で被覆すると共に、放熱
用孔に入り込む熱伝達用フィンを冷却器に設けること。（３）ギヤハウジング３３の外壁に複数の放熱用孔を設
け、各放熱用孔を単一の冷却器、又は別々の冷却器で被
覆すること。

【００４８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明では、冷却用
の油の存在領域を形成するオイルハウジング内の油存在
領域に前記回転軸を突出させ、外部に露出する前記オイ
ルハウジングの外壁に熱伝達用フィンを設けたので、真
空ポンプ内の冷却対象を冷却する油を効率良く冷却し得
るという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は多段ルーツ
ポンプ１１全体の平断面図。（ｂ）はリップシール４
４，４５の拡大平断面図。

【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１
のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。

【図３】図１のＤ−Ｄ線断面図。

【図４】図３のＥ−Ｅ線断面図。

【図５】第２の実施の形態を示し、（ａ）は要部側断面
図。（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図。

【図６】第３の実施の形態を示す要部側断面図。

【図７】第４の実施の形態を示す要部側断面図。

【図８】第５の実施の形態を示し、（ａ）は要部側断面
図。（ｂ）は分解斜視図。

【符号の説明】

１１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１４…隔壁
となるリヤハウジング。１９，２０…回転軸。１９１，
２０１…軸線。１９２，２０２…回転軸の突出端部。２
３〜３２…ガス移送体となるロータ。３３…オイルハウ
ジングとなるギヤハウジング。３３１…油存在領域とな
るギヤ収容室。３４，３５…歯車機構を構成する歯車。
３９〜４３…ポンプ室。４４，４５…接触型シール手段
となるリップシール。４７…外壁の一部である周壁。４
７２…底壁。４７３…放熱用孔。４７４，４７５，４７
６，５０３，５０４…熱伝達用フィン。５０，５０Ａ，
５０Ｂ，５０Ｃ…冷却器。Ｙ…潤滑油。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｆ０４Ｃ 27/02 Ｆ０４Ｃ 27/02 29/02 29/02 Ｄ (72)発明者正路仁愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地株式会社豊田自動織機製作所内Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA18 AA21 AB02 BB01 BB12 BB16 CC02 CC09 CC16 CC19 CC47 CC48

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス
移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを
移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、冷却用の油の存在領域を形成するオイルハウジング内の
油存在領域に前記回転軸を突出させ、外部に露出する前
記オイルハウジングの外壁に熱伝達用フィンを設けた真
空ポンプにおける冷却構造。
【請求項２】前記熱伝達用フィンは、前記油を溜める前
記オイルハウジングの底部の底壁に設けられる請求項１
に記載の真空ポンプにおける冷却構造。
【請求項３】前記熱伝達用フィンは、前記外壁の内面に
設けられている請求項１及び請求項２のいずれか１項に
記載の真空ポンプにおける冷却構造。
【請求項４】前記オイルハウジングの前記外壁に放熱用
孔を貫通して設け、前記放熱用孔を冷却器で被覆して前
記冷却器を前記外壁の一部とし、前記冷却器に前記熱伝
達用フィンを設けた請求項１乃至請求項３のいずれか１
項に記載の真空ポンプにおける冷却構造。
【請求項５】前記冷却器は、前記オイルハウジングの材
質よりも熱伝達性能の高い材質で形成されている請求項
４に記載の真空ポンプにおける冷却構造。
【請求項６】前記油存在領域は、隔壁によって前記ポン
プ室から隔てられ、前記回転軸は、前記隔壁を貫通して
前記油存在領域に突出し、前記回転軸と前記隔壁との間
には軸シール用の接触型シール手段を介在した請求項１
乃至請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけ
る冷却構造。
【請求項７】前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平
行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置
し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互い
に噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する
複数のポンプ室を前記回転軸の軸線方向へ配列した多段
真空ポンプであり、前記複数のポンプ室の容積は、前記
回転軸の軸線方向に沿って前記隔壁に近づく順に小さく
なってゆき、前記ガスは、前記容積が小さくなってゆく
順に前記複数のポンプ室を経由して移送され、前記油存
在領域に隣接するポンプ室は最小容積のポンプ室である
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の真空ポン
プにおける冷却構造。
【請求項８】複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同
期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収
容する領域とし、前記油存在領域には前記歯車機構を潤
滑するための油が貯留されており、前記歯車機構を潤滑
可能に貯留油をかき上げるための油かき上げ手段が前記
油存在領域に設けられている請求項７に記載の真空ポン
プにおける冷却構造。