[go: up one dir, main page]

JP2002114759A - ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法 - Google Patents

ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法

Info

Publication number
JP2002114759A
JP2002114759A JP2000308806A JP2000308806A JP2002114759A JP 2002114759 A JP2002114759 A JP 2002114759A JP 2000308806 A JP2000308806 A JP 2000308806A JP 2000308806 A JP2000308806 A JP 2000308806A JP 2002114759 A JP2002114759 A JP 2002114759A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bis
mercaptomethyl
benzene
chemical formula
benzene derivative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000308806A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Kai
義昭 貝
Noriyasu Echigo
紀康 越後
Kazuyoshi Honda
和義 本田
Masaru Odagiri
優 小田桐
Hisaaki Tachihara
久明 立原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2000308806A priority Critical patent/JP2002114759A/ja
Publication of JP2002114759A publication Critical patent/JP2002114759A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Low-Molecular Organic Synthesis Reactions Using Catalysts (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品に好適な誘電体膜を形成できる樹脂
モノマー、およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 以下の化学式(1)で表されるビス(メ
ルカプトメチル)ベンゼン誘導体。 【化1】 (式(1)中、3つのベンゼン環が置換されている位置
は、それぞれ独立に、メタ位またはパラ位である)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ビス(メルカプト
メチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、コンデンサなどに用いられる
誘電体膜には、樹脂膜が用いられている。このような誘
電体膜は、特公昭63−32929号、特開平11−1
47272号公報およびUSP5,125,138号に
示されるように、基板に蒸着した樹脂モノマーに電子線
や紫外線を照射し、前記樹脂モノマーを硬化させること
によって形成されている。
【0003】上記誘電体膜を形成するための樹脂モノマ
ーとしては、たとえば、以下の化学式(A)で表される
ジメチロールトリシクロデカンジアクリレートや、以下
の化学式(B)で表される1,9−ノナンジオールジア
クリレートなどのアクリル酸エステル化合物が用いられ
てきた。
【0004】
【化5】
【0005】
【化6】
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記樹
脂モノマーによって形成された誘電体膜を用いた電子部
品は、特性が十分でないという問題があった。すなわ
ち、上記樹脂モノマー分子中のエステル基は吸湿性(親
水性)であるため、上記樹脂モノマーによって形成され
た誘電体膜を用いた電子部品は、高湿度下での特性が十
分でないという問題があった。また、上記樹脂モノマー
分子中の直鎖炭化水素基や脂環式炭化水素基は高温時に
酸化分解しやすいため、上記樹脂モノマーによって形成
された誘電体膜を用いた電子部品は、高温度下での特性
が十分でないという問題があった。
【0007】上記問題を解決するため、本発明は、電子
部品に好適な誘電体膜を形成できる樹脂モノマー、およ
びその製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、鋭意検討した結果、本発明者らは、新たな樹脂モノ
マーを見出した。すなわち、本発明の樹脂モノマーは、
以下の化学式(1)で表されるビス(メルカプトメチ
ル)ベンゼン誘導体(α,α’−キシレンジチオール誘
導体)である。
【0009】
【化7】
【0010】(式(1)中、3つのベンゼン環が置換さ
れている位置は、それぞれ独立に、メタ位またはパラ位
である) 上記本発明のビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体
は、電子部品に用いられる誘電体膜を形成する樹脂モノ
マーとして好適である。
【0011】また、本発明のビス(メルカプトメチル)
ベンゼン誘導体の製造方法は、以下の化学式(2)で表
されるm−クロロメチルスチレン(メタ−クロロメチル
スチレン)およびp−クロロメチルスチレン(パラ−ク
ロロメチルスチレン)から選ばれる少なくとも1つと、
以下の化学式(3)で表されるm−ビス(メルカプトメ
チル)ベンゼンおよびp−ビス(メルカプトメチル)ベ
ンゼンから選ばれる少なくとも1つとを反応させる工程
を含むことを特徴とする。
【0012】
【化8】
【0013】
【化9】
【0014】上記本発明のビス(メルカプトメチル)ベ
ンゼン誘導体の製造方法によれば、上記化学式(1)で
表されるビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体を容
易に製造できる。
【0015】上記製造方法では、上記反応が、塩基触媒
であるアルカリ金属炭酸塩の存在下で行われることが好
ましい。上記構成によれば、上記化学式(1)で表され
るビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体を生産性よ
く製造できる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
【0017】(実施形態1)実施形態1では、本発明の
ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体について説明
する。
【0018】本発明のビス(メルカプトメチル)ベンゼ
ン誘導体は、以下の化学式(1)で表される。
【0019】
【化10】
【0020】上記化学式(1)のビス(メルカプトメチ
ル)ベンゼン誘導体は、実施形態2で説明する方法によ
って製造できる。
【0021】上記化学式(1)のビス(メルカプトメチ
ル)ベンゼン誘導体は、電子部品に用いられる誘電体膜
を形成する樹脂モノマーとして用いることができる。こ
の樹脂モノマーを用いて誘電体膜を形成する場合には、
まず、樹脂モノマーを含む薄膜を形成し、この薄膜に電
子線や紫外線を照射すればよい。この樹脂モノマーを用
いることによって、電子部品に好適な誘電体膜を形成す
ることができる。特に、この樹脂モノマーを用いて、コ
ンデンサの誘電体膜を形成することにより、高湿度下お
よび高温度下においても優れた特性のコンデンサが得ら
れる。
【0022】(実施形態2)実施形態2では、実施形態
1で説明した化学式(1)で表されるビス(メルカプト
メチル)ベンゼン誘導体の製造方法について説明する。
【0023】実施形態2の製造方法では、以下の化学式
(2)で表されるm−クロロメチルスチレンおよびp−
クロロメチルスチレンから選ばれる少なくとも1つと、
以下の化学式(3)で表されるm−ビス(メルカプトメ
チル)ベンゼンおよびp−ビス(メルカプトメチル)ベ
ンゼンから選ばれる少なくとも1つとを反応させる。こ
のとき、両者を、たとえば、塩基触媒の存在下で60℃
〜120℃で4〜8時間反応させる。
【0024】
【化11】
【0025】
【化12】
【0026】この反応によって、上述した化学式(1)
で表されるビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体を
容易に製造できる。
【0027】上記化学式(2)で表される化合物は、セ
イミケミカル株式会社から、CMS-P(メタ体50%、
パラ体50%)、およびCMS-14(メタ体5%、パラ
体95%)という商品名で販売されている。
【0028】また、上記化学式(3)で表されるm−ビ
ス(メルカプトメチル)ベンゼンおよびp−ビス(メル
カプトメチル)ベンゼンは、それぞれ、淀化学株式会社
からm−キシレンジチオールおよびp−キシレンジチオ
ールという商品名で販売されている。
【0029】上記塩基触媒には、Na2CO3やK2CO3
などのアルカリ金属炭酸塩、CaCO3やMgCO3など
のアルカリ土類金属炭酸塩、アルカリ金属のアルコキシ
ドなどが適している。また、上記反応の溶媒としては、
メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケ
トン類や、テトラヒドロフラン、ジオキサンなどのエー
テル類が適している。
【0030】
【実施例】以下、実施例を用いて本発明をさらに詳細に
説明する。
【0031】(実施例1)実施例1では、化学式(1)
で表されるビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体の
うち、1,3−ビス(ビニルベンジルチオメチル)ベン
ゼンを作製した一例について説明する。
【0032】上述したCMS-P(メタ体50%、パラ体
50%のクロロメチルスチレン)30.5g(0.20
モル)と、上述したm−キシレンジチオール17.0g
(0.10モル)と、炭酸カリウム27.6g(0.2
0モル)と、メチルイソブチルケトン300mlとを、
容量が1リットルのフラスコに採取し、還流下で6時間
撹拌を続けることによって反応させた。反応終了後、得
られた溶液に5%の塩酸水50mlを撹拌しながら徐々
に加え、その後さらにトルエン300mlを加えた。こ
うして得られた溶液を、pHが7になるまで蒸留水を用
いて繰り返し洗浄した。次に、洗浄後の溶液を、無水硫
酸ナトリウムで乾燥させたのち、重合禁止剤であるp−
メトキシフェノール0.015g(CMS-Pに対して
10000分の5重量部)を加え、溶媒を留去して淡黄
色透明の液体38gを得た。この液体について、赤外分
光分析(IR)、およびゲルパーミエーションクロマト
グラフィ(GPC)の測定を行った。
【0033】IRの測定結果を図1に示す。図1から明
らかなように、ビニル基に基づく1630cm-1の吸収
ピークと芳香環に基づく1510cm-1、1580cm
-1および1600cm-1の吸収ピークが見られる。ま
た、GPCでは、原料および副生成物は検出されなかっ
た。以上のことから、最終的に得られた液体は、以下の
化学式(4a)、(4b)および(4c)(以下、これ
ら3つの化学式をまとめて化学式(4)という場合があ
る)で表される1,3−ビス(ビニルベンジルチオメチ
ル)ベンゼンであることが判明した。
【0034】
【化13】
【0035】なお、本実施例では、化学式(1)で表さ
れるビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体のうち、
1,3−ビス(ビニルベンジルチオメチル)ベンゼンを
作製した一例について説明したが、m−キシレンジチオ
ールに代えてp−キシレンジチオールを用いることによ
り、1,4−ビス(ビニルベンジルチオメチル)ベンゼ
ンについても同様に作製できる。また、CMS-Pに代
えてCMS-14を用いることにより、1,3−ビス
(p−ビニルベンジルチオメチル)ベンゼンを同様に作
製できる。m−キシレンジチオールとCMS-Pに代え
てp−キシレンジチオールとCMS-14を用いること
により、1,4−ビス(p−ビニルベンジルチオメチ
ル)ベンゼンを同様に作製できる。
【0036】(実施例2)実施例2では、本発明のビス
(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体を用いて、コンデ
ンサを作製した一例について説明する。
【0037】実施例2におけるコンデンサの製造工程
を、図2に示す。図2(a)を参照して、まず、厚さ2
5μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)基板1
1を用意し、このPET基板11上に、アルミからなる
下部電極膜12(厚さ30nm)を、100nm/秒の
堆積速度で蒸着した。
【0038】その後、下部電極膜12上に、樹脂モノマ
ーを蒸着することによって、樹脂モノマーからなる薄膜
13a(厚さ200nm)を形成した(図2(b)参
照)。具体的には、図3に示すような容器32に樹脂モ
ノマー31として、本発明の化学式(4)で表される
1,3−ビス(ビニルベンジルチオメチル)ベンゼンを
入れ、これを500nm/秒の蒸着速度となるように加
熱し、下部電極膜12の一部が露出する位置に薄膜13
aを形成した。
【0039】その後、−15kVの加速電子を50μA
/cm2の密度で2秒間、薄膜13aに照射することに
よって、薄膜13a中の樹脂モノマーを重合させ、誘電
体膜13を形成した(図2(c)参照)。
【0040】その後、誘電体膜13の上方であって下部
電極膜12と接触しない位置に、アルミからなる上部電
極膜14を、100nm/秒の堆積速度で蒸着した(図
2(d)参照)。このようにして作製したコンデンサ1
0を、実施サンプル1とした。
【0041】また、比較例として、化学式(A)および
化学式(B)で表される樹脂モノマーを用いたコンデン
サを作製し、比較サンプル1および2とした。
【0042】以上の3種類のコンデンサについて、特性
の評価を行った。具体的には、吸湿容量変化率と、
高温負荷容量変化率と、素子を温水に浸漬した時の素
子厚の変化を調べた(測定方法の詳細については後述す
る)。実施サンプル1、比較サンプル1および比較サン
プル2のコンデンサについての上記評価結果を表1に示
す。
【0043】
【表1】
【0044】表1から明らかなように、本発明の化学式
(4)の樹脂モノマーを用いた実施サンプル1のコンデ
ンサは、〜のいずれの評価においても、比較サンプ
ルよりも優れた特性を示した。すなわち、本発明のビス
(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体からなる樹脂モノ
マーを用いて、コンデンサの誘電体膜を形成することに
より、高湿度下および高温度下においても優れた特性の
コンデンサが得られる。
【0045】なお、誘電正接(tanδ)についても、
実施サンプル1のコンデンサは比較サンプル1および2
のコンデンサよりも優れた特性を示した。
【0046】以下、表1に示した評価の方法について詳
述する。
【0047】吸湿容量変化率については、以下の様に
評価した。まず、コンデンサを105℃の環境下で10
時間乾燥させ、初期容量C11を測定した。容量は、周波
数1kHz、電圧1Vrmsの正弦波をコンデンサに加
えて測定した。その後、温度60℃、湿度95%Rhの
環境下でコンデンサを100時間放置し、放置後の容量
(吸湿時の容量)C12を、初期容量と同様の条件で測定
した。吸湿容量変化率は、(C12−C11)/C11×10
0(%)で表される値である。吸湿容量変化率の絶対値
が小さいほど、湿度環境下における容量安定性が高く、
製品として好ましい。したがって、この吸湿容量変化率
の絶対値ができるだけ小さいことが特に重要である。
【0048】高温負荷容量変化率については、以下の
ように評価した。まず、コンデンサを105℃の環境下
で10時間乾燥させ、初期容量C21を測定した。容量
は、周波数1kHz、電圧1Vrmsの正弦波をコンデ
ンサに加えて測定した。その後、温度105℃の環境下
でコンデンサに16Vの直流電圧を印加した状態で50
000時間放置し、放置後の容量C22を、初期容量と同
様の条件で測定した。高温負荷容量変化率は、(C22
21)/C21×100(%)で表される値である。高温
負荷容量変化率の絶対値が小さいほど、高温時に酸化し
にくいことを示しており、製品として好ましい。特に、
近年はCPUの高速化などに伴う電子部品の耐高温性が
重要になってきており、高温負荷容量変化率の絶対値が
小さいことが、コンデンサの評価の重要な指標となる。
【0049】温水に浸漬したときの厚さの変化は、以
下の様に評価した。まず、コンデンサの厚さを測定し
た。次に、コンデンサを90℃の温水中に3.5時間浸
漬し、その後コンデンサを温水から取り出して再度厚さ
を測定した。そして、温水浸漬前の厚さと浸漬後の厚さ
とを比較した。この厚さの変化が大きいほど、誘電体膜
が吸湿し、金属からなる電極膜との密着性が低下してい
ることを示している。したがって、厚さの変化が小さい
ほど、誘電体膜と電極膜との密着性が高く、製品として
好ましい。
【0050】なお、誘電正接(tanδ)については、
周波数1kHz、電圧1Vrmsの正弦波をコンデンサ
に加えて測定した。誘電正接が小さいほど、コンデンサ
自体で消費する電力がより小さく、製品として好まし
い。
【0051】以上、本発明の実施の形態について例を挙
げて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定され
ず本発明の技術的思想に基づき他の実施形態に適用する
ことができる。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、上記化
学式(1)で表される新規なビス(メルカプトメチル)
ベンゼン誘導体を提供する。本発明のビス(メルカプト
メチル)ベンゼン誘導体は、電子部品、特にたとえばコ
ンデンサ、コイル、抵抗、容量性電池などに有用であ
る。本発明のビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体
を用いて誘電体膜を形成し、これを電子部品に用いるこ
とによって、高湿度下および高温度下においても優れた
特性の電子部品が得られる。
【0053】また、本発明のビス(メルカプトメチル)
ベンゼン誘導体の製造方法によれば、上記化学式(1)
で表されるビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体を
容易に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のビス(メルカプトメチル)ベンゼン
誘導体の一例についてIRスペクトルを示す図である。
【図2】 本発明のビス(メルカプトメチル)ベンゼン
誘導体を用いてコンデンサを製造する場合について製造
工程の一例を示す図である。
【図3】 図2に示した製造工程の一過程を示す図であ
る。
【符号の説明】
10 コンデンサ(電子部品) 11 PET基板 12 下部電極膜 13 誘電体膜 13a 薄膜 14 上部電極膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本田 和義 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 小田桐 優 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 立原 久明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 4H006 AA01 AA02 AB46 AC63 BA02 BA32 TA04 TB72 4H039 CA61 CD10 CD20 4J100 AB15P BA51P BC43P CA01 DA55 JA43

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 以下の化学式(1)で表されるビス(メ
    ルカプトメチル)ベンゼン誘導体。 【化1】 (式(1)中、3つのベンゼン環が置換されている位置
    は、それぞれ独立に、メタ位またはパラ位である)
  2. 【請求項2】 以下の化学式(2)で表されるm−クロ
    ロメチルスチレンおよびp−クロロメチルスチレンから
    選ばれる少なくとも1つと、以下の化学式(3)で表さ
    れるm−ビス(メルカプトメチル)ベンゼンおよびp−
    ビス(メルカプトメチル)ベンゼンから選ばれる少なく
    とも1つとを反応させることによって、以下の化学式
    (1)で表されるビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘
    導体を製造する工程を含むことを特徴とするビス(メル
    カプトメチル)ベンゼン誘導体の製造方法。 【化2】 【化3】 【化4】 (式(1)中、3つのベンゼン環が置換されている位置
    は、それぞれ独立に、メタ位またはパラ位である)
  3. 【請求項3】 前記反応が、塩基触媒であるアルカリ金
    属炭酸塩の存在下で行われる請求項2に記載のビス(メ
    ルカプトメチル)ベンゼン誘導体の製造方法。
JP2000308806A 2000-10-10 2000-10-10 ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法 Pending JP2002114759A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000308806A JP2002114759A (ja) 2000-10-10 2000-10-10 ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000308806A JP2002114759A (ja) 2000-10-10 2000-10-10 ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002114759A true JP2002114759A (ja) 2002-04-16

Family

ID=18789060

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000308806A Pending JP2002114759A (ja) 2000-10-10 2000-10-10 ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002114759A (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57140421A (en) * 1981-02-25 1982-08-31 Shimizu Constr Co Ltd Construction of large-diameter in-situ cast pile
JPH01309002A (ja) * 1988-06-08 1989-12-13 Mitsubishi Gas Chem Co Inc プラスチックレンズ
JPH03184951A (ja) * 1989-12-14 1991-08-12 Nippon Oil & Fats Co Ltd 有機硫黄化合物の製造法
JPH05271348A (ja) * 1992-03-24 1993-10-19 Nippon Oil & Fats Co Ltd 光学材料用組成物及び光学用材料
JPH11147272A (ja) * 1997-11-18 1999-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層体、コンデンサ、及び積層体の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57140421A (en) * 1981-02-25 1982-08-31 Shimizu Constr Co Ltd Construction of large-diameter in-situ cast pile
JPH01309002A (ja) * 1988-06-08 1989-12-13 Mitsubishi Gas Chem Co Inc プラスチックレンズ
JPH03184951A (ja) * 1989-12-14 1991-08-12 Nippon Oil & Fats Co Ltd 有機硫黄化合物の製造法
JPH05271348A (ja) * 1992-03-24 1993-10-19 Nippon Oil & Fats Co Ltd 光学材料用組成物及び光学用材料
JPH11147272A (ja) * 1997-11-18 1999-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層体、コンデンサ、及び積層体の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101158151B1 (ko) 혼성 금속 산화물질을 합성하는 방법 및 이의 어플리케이션
Connal et al. Fabrication of reversibly crosslinkable, 3‐dimensionally conformal polymeric microstructures
JPS61151197A (ja) チタノセン類およびこれらのチタノセン類を含有する照射重合開始剤
JP5382711B2 (ja) 光照射によって誘電率が変化する膜を用いた電子デバイス
JPH0242392B2 (ja)
JP2025111686A (ja) 高分子化合物、成形用組成物、フィルム及びコンデンサ
KR100556214B1 (ko) 비스(4-머캅토페닐)술피드 유도체 및 그 제조방법, 및전자부품
JP6053721B2 (ja) 電解質およびその製造方法、電解質を形成するのに用いる組成物、ならびにそれを含むコンデンサ
JP2002114759A (ja) ビス(メルカプトメチル)ベンゼン誘導体およびその製造方法
TW200415157A (en) Multifunctional monomers and their use in making cross-linked polymers and porous films
JP2003082105A (ja) 気相重合法による伝導性高分子の合成方法及びその製造物
JP2002114760A (ja) ビス(ビニルベンジル)スルフィドおよびその製造方法
JPH10249985A (ja) 有機/金属酸化物複合薄膜の製造方法
DK164357B (da) Lagdelt element og fremgangsmaade til fremstilling heraf samt dette elements anvendelse
JP2002037770A (ja) ビス(4−メルカプトフェニル)スルフィド誘導体およびその製造方法
JPH0426337B2 (ja)
JP2003286283A (ja) 新規チオエーテル誘導体およびその製造方法
JP3441425B2 (ja) コンデンサ
Röben et al. Immobilization of oligostyrene-prolinol conjugates into polystyrene via electrospinning and applications of these fibers in catalysis
JP4472148B2 (ja) 電子部品
JP2003282354A (ja) 電子部品
JP2005179275A (ja) ビス(ビニルフェニルチオ)メタン
JP2002338541A (ja) 誘電体形成物質及び誘電体フィルム
JP4384903B2 (ja) コンデンサおよびその製造方法
TWI637906B (zh) 形成多層結構之方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070413

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100819

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110127