JP2002111110A - Optical communication module - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤボンディング長を高周波特性に悪影響
を与えない程度まで短くすることができる光通信モジュ
ールを提供する。
【解決手段】 発光素子が設けられた第1の基板と、先
端がテーパー形状となっており、その先端まで延出した
コープレーナ電極構造のデータ伝送線路が表面に形成さ
れた第2の基板とからなる光通信モジュールが示されて
いる。そして、前記テーパー形状の先端が前記発光素子
の表面上方に近接するように、前記第2の基板は前記第
1の基板に対して位置決めされ、相対的に固定されてお
り、前記テーパー形状の先端で前記データ伝送線路と前
記発光素子とがワイヤで接続されている。
(57) [Problem] To provide an optical communication module capable of shortening a wire bonding length to a level that does not adversely affect high-frequency characteristics. SOLUTION: A first substrate provided with a light emitting element and a second substrate having a tapered tip at the tip and having a coplanar electrode structure data transmission line extending to the tip formed on the surface are provided. An optical communication module is shown. The second substrate is positioned and fixed relative to the first substrate such that the tapered tip is close to above the surface of the light emitting element, and the tapered tip is And the data transmission line and the light emitting element are connected by a wire.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信システムに
用いられる光通信モジュールに関し、特に2.4Gbi
t/s以上の通信速度に用いられる電界吸収型変調器付
き分布帰還型レーザダイオードを搭載した光通信モジュ
ールに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical communication module used in an optical communication system, and more particularly to a 2.4 Gbi optical communication module.
The present invention relates to an optical communication module equipped with a distributed feedback laser diode with an electro-absorption modulator used for a communication speed of t / s or more.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、光通信システムの小型化・高速化
にともない小型で高速性能を有する通信用光源モジュー
ルの開発に期待が集まっている。図に、データ伝送線路
にマイクロストリップラインを用いた従来例の発光素子
の平面図及び正面図を示す。ここでは、発光素子として
電界吸収型変調器付発光素子を用いた例について説明す
る。2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization and speeding-up of optical communication systems, development of a communication light source module having a small size and high-speed performance is expected. FIG. 1 shows a plan view and a front view of a conventional light emitting device using a microstrip line as a data transmission line. Here, an example in which a light-emitting element with an electro-absorption modulator is used as a light-emitting element will be described.
【0003】電界吸収型変調器付発光素子11は、変調
器12と半導体レーザ13を集積化した高速の発光素子
である。半導体レーザ13が共振すると、光強度一定の
放出光が導波路に沿って破線の方向に伝播する。変調器
12が、このレーザ光導波路に垂直に高周波信号を印加
することで光の吸収と透過を行い光強度変調を得ること
ができる。A light emitting element with an electroabsorption modulator 11 is a high-speed light emitting element in which a modulator 12 and a semiconductor laser 13 are integrated. When the semiconductor laser 13 resonates, emitted light having a constant light intensity propagates along the waveguide in the direction of the broken line. The modulator 12 applies a high-frequency signal perpendicularly to the laser light waveguide to absorb and transmit light, thereby obtaining light intensity modulation.
【0004】Siサブマウント22上に形成された電界
吸収型変調器付発光素子11には、インピーダンスマッ
チング用終端抵抗14が設けられている。又、半導体レ
ーザ13へのバイアス電流を印加するための配線がセラ
ミック基板上にパターニングされ裏面に半田接着用のメ
ッキが施された配線用基板23も、図示したようにベー
ス部品21上に半田接着されている。[0004] The light emitting element 11 with an electroabsorption modulator formed on the Si submount 22 is provided with a terminating resistor 14 for impedance matching. A wiring substrate 23 in which wiring for applying a bias current to the semiconductor laser 13 is patterned on a ceramic substrate and plated on the back surface for solder bonding is also solder-bonded on the base component 21 as shown in the figure. Have been.
【0005】そして、データ伝送線路24が、伝送線路
支持部材25上に設けられており、変調器12の電極ボ
ンディングパッドと、ワイヤ31で結線されている。こ
こで、ワイヤ31を短くするように、変調器12の電極
ボンディングパッドと伝送線路支持部材25上の電極ボ
ンディングパッドは同じ高さにそろえられている。[0005] A data transmission line 24 is provided on the transmission line support member 25, and is connected to an electrode bonding pad of the modulator 12 by a wire 31. Here, the electrode bonding pads of the modulator 12 and the electrode bonding pads on the transmission line support member 25 are arranged at the same height so that the wires 31 are shortened.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】発光素子の高速性能を
向上させるためには、発光素子の電極ボンディングパッ
ドを小さくする必要がある一方、発光素子の幅を狭くす
るにはその製造過程において限界がある。つまり、発光
素子を実装する場合には、発光素子の電極パッドとデー
タ伝送線路間を配線するワイヤボンディングを利用して
いるが、これが発光素子の幅を狭くすることの障害とな
っている。In order to improve the high-speed performance of the light emitting device, it is necessary to reduce the size of the electrode bonding pad of the light emitting device. However, to reduce the width of the light emitting device, there is a limit in the manufacturing process. is there. In other words, when mounting the light emitting element, wire bonding for wiring between the electrode pad of the light emitting element and the data transmission line is used, but this is an obstacle to reducing the width of the light emitting element.
【0007】即ち、ワイヤボンディングの長さは素子の
幅と電極の位置により決まり、短く配線することが困難
であり、そのインダクタンス成分が高周波特性に悪影響
を及ぼしている。このため、発光素子の高速性能が十分
に出せないでいた。That is, the length of the wire bonding is determined by the width of the element and the position of the electrode, and it is difficult to make the wiring short, and the inductance component has a bad influence on the high frequency characteristics. For this reason, the high speed performance of the light emitting element cannot be sufficiently achieved.
【0008】従って、本発明は、上述の如き従来の問題
点を解決するためになされたもので、その目的は、発光
素子の幅や電極ボンディングパッドの位置によらずワイ
ヤボンディング長を高周波特性に悪影響を与えない程度
まで短くすることができる光通信モジュールを提供する
ことである。Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a wire bonding length having a high frequency characteristic regardless of the width of a light emitting element and the position of an electrode bonding pad. An object of the present invention is to provide an optical communication module that can be shortened to a level that does not adversely affect the optical communication module.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明(請求項1)は、
発光素子が設けられた第1の基板と、先端がテーパー形
状となっており、その先端まで延出したコープレーナ電
極構造のデータ伝送線路が表面に形成された第2の基板
とからなり、前記テーパー形状の先端が前記発光素子の
表面上方に近接するように、前記第2の基板は前記第1
の基板に対して位置決めされ、相対的に固定されてお
り、前記テーパー形状の先端で前記データ伝送線路と前
記発光素子とがワイヤで接続されていることを特徴とす
る光通信モジュールを提供する。Means for Solving the Problems The present invention (claim 1) provides:
A first substrate on which a light emitting element is provided, and a second substrate having a tapered tip at a surface and a data transmission line having a coplanar electrode structure extending to the tip formed on a surface thereof; The second substrate is mounted on the first substrate so that the tip of the shape is close to above the surface of the light emitting element.
An optical communication module, wherein the data transmission line and the light emitting element are connected to each other by a wire at the tapered tip.
【0010】本発明(請求項2)は、上記請求項1にお
いて、前記発光素子へ電力を供給する配線が設けられて
いる第3の基板を更に有することを特徴とする光通信モ
ジュールを提供する。The present invention (claim 2) provides the optical communication module according to claim 1, further comprising a third substrate provided with a wiring for supplying power to the light emitting element. .
【0011】本発明(請求項3)は、上記請求項1にお
いて、前記第1の基板と前記第2の基板は、段差の設け
られいるベース部品に設けられていることを特徴とする
光通信モジュールを提供する。According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, the first substrate and the second substrate are provided on a base component having a step. Provide a module.
【0012】本発明(請求項4)は、上記請求項3にお
いて、前記ベース部品は導電性の部品であり、前記デー
タ伝送線路には接地線が設けられており、前記第2の基
板に設けられたスルーホールにより、前記接地線が前記
ベース部品に接地されていることを特徴とする光通信モ
ジュールを提供する。According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect, the base component is a conductive component, the data transmission line is provided with a ground line, and the data transmission line is provided on the second substrate. The optical communication module is characterized in that the ground wire is grounded to the base component by the provided through hole.
【0013】本発明(請求項5)は、上記請求項3にお
いて、前記ベース部品は導電性の部品であり、前記デー
タ伝送線路には接地線が設けられており、前記第2の基
板の側面メタライズにより、前記接地線が前記ベース部
品に接地されていることを特徴とする光通信モジュール
を提供する。According to a fifth aspect of the present invention, in the third aspect, the base component is a conductive component, the data transmission line is provided with a ground line, and a side surface of the second substrate is provided. An optical communication module is provided, wherein the ground wire is grounded to the base component by metallization.
【0014】本発明(請求項6)は、上記請求項1にお
いて、前記発光素子は、電界吸収型変調器付き半導体レ
ーザとインピーダンスマッチング用終端抵抗とを備えて
いることを特徴とする光通信モジュールを提供する。According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect, the light emitting device includes a semiconductor laser with an electro-absorption modulator and a terminating resistor for impedance matching. I will provide a.
【0015】本発明(請求項7)は、上記請求項3にお
いて、前記ベース部品は、高熱伝導のCuWであるるこ
とを特徴とする光通信モジュールを提供する。The present invention (claim 7) provides the optical communication module according to claim 3, wherein the base component is CuW having high thermal conductivity.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】(1)実施例1 図1(a)、図1(b)、図1(c)は、本発明による光
通信モジュールの一実施例の平面図、正面図及び側面図
である。又、図1(d)は、本発明による光通信モジュ
ールの一実施例の光強度変調が行われている部分を示す
拡大図である。本実施例では、発光素子として電界吸収
型変調器付発光素子を用いた例について説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (1) Embodiment 1 FIGS. 1 (a), 1 (b) and 1 (c) are a plan view, a front view and a side view of an embodiment of an optical communication module according to the present invention. FIG. FIG. 1D is an enlarged view showing a portion of the optical communication module according to the embodiment of the present invention where light intensity modulation is performed. In this embodiment, an example in which a light-emitting element with an electro-absorption modulator is used as a light-emitting element will be described.
【0017】電界吸収型変調器付発光素子101は、変
調器102と半導体レーザ103を集積化した高速の発
光素子である。半導体レーザ103が共振すると、光強
度一定の放出光が導波路に沿って破線の方向に伝播す
る。変調器102が、このレーザ光導波路に垂直に高周
波信号を印加することで光の吸収と透過を行い光強度変
調を得ることができる。The light emitting device with an electro-absorption modulator 101 is a high-speed light emitting device in which a modulator 102 and a semiconductor laser 103 are integrated. When the semiconductor laser 103 resonates, the emitted light having a constant light intensity propagates along the waveguide in the direction of the broken line. The modulator 102 absorbs and transmits light by applying a high-frequency signal vertically to the laser optical waveguide, thereby obtaining light intensity modulation.
【0018】このため従来の半導体レーザ直接変調に比
べ放出光の光スペクトラムの広がりが抑えられ、長距離
でも数十ギガビット/秒の高速・大容量光通信か可能と
なる。As a result, the spread of the optical spectrum of the emitted light is suppressed as compared with the conventional semiconductor laser direct modulation, and high-speed, large-capacity optical communication of several tens of gigabits / second is possible even over long distances.
【0019】本実施例の発光素子は、ベース部品201
上に形成されている。ベース部品201は、高熱伝導を
有する金属、例えばCuWからなっており、その全面
に、半田接着が可能で電気特性にも優れた導電膜が設け
られている。導電膜は、例えば、Auメッキによって形
成することができる。The light emitting device of this embodiment is a base component 201
Is formed on. The base component 201 is made of a metal having high thermal conductivity, for example, CuW, and a conductive film that can be soldered and has excellent electric characteristics is provided on the entire surface. The conductive film can be formed by, for example, Au plating.
【0020】ベース部品201には段差が設けられてお
り、Siサブマウント202が、図示したように、ベー
ス部品201上に半田接着されている。発光素子のサブ
マウントとしてよく用いられるのは、全面にAuメッキ
が施されているSiのバルクである。ここでも、Siサ
ブマウント202には、そのSiの全面にAuメッキが
施され、電界吸収型変調器付発光素子101とインピー
ダンスマッチング用終端抵抗104が設けられている。
この、インピーダンスマッチング用終端抵抗104は、
セラミック基板の表面に形成された例えば50Ωの抵抗
パターンと電極パターンと、セラミック基板の裏面に形
成された半田接着用のメッキからなっている。又、半導
体レーザ103へのバイアス電流を印加するための配線
が表面にパターニングされ、裏面に半田接着用のメッキ
が施されたセラミック基板からなる配線用基板203
が、図示したように、ベース部品201上に半田接着さ
れている。配線用基板203は、発光素子へ電力を供給
する配線が設けられている。The base component 201 is provided with a step, and the Si submount 202 is soldered on the base component 201 as shown in the figure. A common example of a submount of a light emitting element is a bulk of Si having an entire surface plated with Au. Also in this case, the Si submount 202 is provided with Au plating on the entire surface of the Si, and the light emitting element 101 with the electroabsorption modulator and the terminating resistor 104 for impedance matching are provided.
This terminating resistor 104 for impedance matching is
It is composed of, for example, a resistance pattern of 50Ω and an electrode pattern formed on the surface of the ceramic substrate, and plating for solder bonding formed on the back surface of the ceramic substrate. In addition, a wiring substrate 203 made of a ceramic substrate in which wiring for applying a bias current to the semiconductor laser 103 is patterned on the front surface and plated on the back surface for solder bonding.
Are soldered onto the base component 201 as shown. The wiring substrate 203 is provided with wiring for supplying power to the light emitting element.
【0021】そして、コープレーナ電極構造を有し、例
えば特性インピーダンスを50Ωとしたデータ伝送線路
204が、伝送線路支持部材205上に設けられ、マイ
クロストリップラインデータ伝送線路構造を形成してい
る。データ伝送線路204を支持する伝送線路支持部材
205は、窒化アルミニウムやアルミナ等のセラミック
基板からなり、予め一端がダイヤモンドソー等でカット
され、テーパー部205aがもうけられている。このテ
ーパー部205aは、ワイヤの長さを十分に短縮する効
果があれば良く、必ずしも、ここに示されているように
完全に鋭角にする必要は無い。又、データ伝送線路20
4の両側には、1対の接地線206が設けられている。
接地線206は、伝送線路支持部材205の側面メタラ
イズによりベース部品に接地されている。A data transmission line 204 having a coplanar electrode structure and having a characteristic impedance of, for example, 50Ω is provided on the transmission line support member 205 to form a microstrip line data transmission line structure. The transmission line support member 205 for supporting the data transmission line 204 is made of a ceramic substrate such as aluminum nitride or alumina, and has one end previously cut with a diamond saw or the like, and has a tapered portion 205a. The tapered portion 205a only needs to have an effect of sufficiently reducing the length of the wire, and does not necessarily need to have a completely acute angle as shown here. Also, the data transmission line 20
A pair of grounding lines 206 are provided on both sides of 4.
The ground line 206 is grounded to the base component by metallizing the side surface of the transmission line support member 205.
【0022】伝送線路支持部材205は、ベース部品2
01の支持台部201aに、正確に位置合わせを行って
接着されている。位置合わせは、伝送線路支持部材20
5のテーパー部205aが、変調器102の電極ボンデ
ィングパッドの上方にせり出して、データ伝送線路20
4の端部が変調器102の電極ボンディングパッドに接
触しない程度に、最も接近するように行われる。従っ
て、変調器102の電極ボンディングパッドとデータ伝
送線路204は、極めて短いワイヤ301で結線するこ
とが可能となった。The transmission line supporting member 205 is a base component 2
No. 01 is accurately adhered to the support 201a. The alignment is performed by the transmission line support member 20.
5 protrudes above the electrode bonding pad of the modulator 102 and the data transmission line 20.
4 so as to be closest to the electrode bonding pad of the modulator 102 without contact. Therefore, the electrode bonding pad of the modulator 102 and the data transmission line 204 can be connected with an extremely short wire 301.
【0023】一般に、発光素子の高速動作を可能とする
ためにボンディングパッドを小さくし素子容量を小さく
することが必要となるが素子の幅は熱的にも構造的にも
限界があり、ワイヤによるインダクタンスが問題とな
る。しかし、このような構造では、ワイヤによるインダ
クタンスの問題は略回避できる。In general, it is necessary to reduce the bonding pad and the element capacitance in order to enable the light emitting element to operate at high speed. However, the width of the element is limited both thermally and structurally. Inductance becomes a problem. However, with such a structure, the problem of inductance due to wires can be substantially avoided.
【0024】図1(d)に示されているように、変調器
102のボンディングパッド102aは、レーザ光導波
路LPを横切って設けられている。しかし、ワイヤボン
ディングを行うことは、レーザ光導波路LPに対して、
機械的にも熱的にもダメージを与える為、レーザ光導波
路LPのすぐ上方に行うことができない。従って、実際
のワイヤボンディングは、レーザ光導波路LPの上方を
避けて、その両側の位置に行うことになる。As shown in FIG. 1D, the bonding pad 102a of the modulator 102 is provided across the laser light waveguide LP. However, performing wire bonding requires the laser light waveguide LP
Since it causes mechanical and thermal damage, it cannot be performed immediately above the laser light waveguide LP. Therefore, the actual wire bonding is performed at positions on both sides of the laser light guide LP, avoiding the upper part.
【0025】従来は発光素子と伝送線路間のワイヤ長が
発光素子の幅役300μmに制約を受け約500μm程
度必要であったが、本発明によれば発光素子に被さるよ
うに伝送線路が配置できると共に、伝送線路がテーパー
状であることから伝送線路の厚みによるワイヤ長の制約
を受けることがなくボンディング長を短くすることが可
能となる。Conventionally, the wire length between the light emitting element and the transmission line was limited to about 300 μm in width of the light emitting element and required about 500 μm. According to the present invention, the transmission line can be arranged so as to cover the light emitting element. In addition, since the transmission line is tapered, the bonding length can be reduced without being restricted by the wire length due to the thickness of the transmission line.
【0026】本実施例の簡単な等価回路を図3に示す。
L1は伝送線路−発光素子間のワイヤ301によるイン
ダクタンス、L2は発光素子−終端抵抗間のワイヤ30
2によるインダクタンス、L3は終端抵抗−接地間のワ
イヤ303によるインダクタンス、Rohm は変調器10
2の内部抵抗、Cpnは変調器102の容量である。FIG. 3 shows a simple equivalent circuit of this embodiment.
L1 is the inductance of the wire 301 between the transmission line and the light emitting element, and L2 is the wire 30 between the light emitting element and the terminating resistor.
2, L3 is the inductance of the wire 303 between the terminating resistor and the ground, and Rohm is the modulator 10
The internal resistance 2 and Cpn is the capacitance of the modulator 102.
【0027】従来例では伝送線路−発光素子間のワイヤ
の長さは500μm程度必要であった。この場合、ワイ
ヤによるインダクタンス0.5nHとなる。本発明によ
る実施例では100μm程度までワイヤ長を短くするこ
とが可能となり、0.1nHまでワイヤによるインダク
タンス0を小さくすることができる。以上の数値に加
え、その他の数値は、L2=0.5nH、L3=0.0
5nH、R=50Ω、Rohm=10Ω、Cpn=0.
4pFと共通の数値を用い、上記の等価回路を用いて計
算を行った。従来例の計算結果を図4に、本発明の計算
結果を図3に示す。従来例では16.4GHzの周波数
応答特性が本発明によれば18GHz以上に改善される
ことがわかる。In the conventional example, the length of the wire between the transmission line and the light emitting element needs to be about 500 μm. In this case, the inductance of the wire is 0.5 nH. In the embodiment according to the present invention, the wire length can be reduced to about 100 μm, and the inductance 0 due to the wire can be reduced to 0.1 nH. In addition to the above values, other values are L2 = 0.5 nH, L3 = 0.0
5nH, R = 50Ω, Rohm = 10Ω, Cpn = 0.
The calculation was performed using the above equivalent circuit using a common numerical value of 4 pF. FIG. 4 shows a calculation result of the conventional example, and FIG. 3 shows a calculation result of the present invention. It can be seen that the frequency response characteristic of 16.4 GHz is improved to 18 GHz or more according to the present invention in the conventional example.
【0028】図5は、本発明による発光素子の上記実施
例の変形例を示す平面図及び正面図である。ここでは、
伝送線路支持部材205に空けられたスルーホール20
5aによって、接地線206が支持台部201に接続さ
れており、接地がより効果的に行われる。FIG. 5 is a plan view and a front view showing a modification of the above embodiment of the light emitting device according to the present invention. here,
Through hole 20 opened in transmission line support member 205
The ground wire 206 is connected to the support base 201 by 5a, so that the grounding is more effectively performed.
【0029】なお、実施例では電界吸収型変調器付発光
素子を基に本発明の説明を行ったが、発光素子は直接変
調を行う半導体レーザでよく、終端抵抗は必ずしもサブ
マウント上に位置しなければいけないものでもない。In the embodiment, the present invention has been described based on the light emitting element with an electroabsorption modulator. However, the light emitting element may be a semiconductor laser which performs direct modulation, and the terminating resistor is not necessarily located on the submount. It is not a must.
【0030】[0030]
【発明の効果】データ伝送線路をコープレーナ電極構造
を用いて発光素子側をテーパー形状とすることによりデ
ータ伝送線路の厚さを無くし、ワイヤボンディング長を
短くできる。これにより、高周波特性の改善を行うこと
が可能となる。According to the present invention, the thickness of the data transmission line can be eliminated and the wire bonding length can be reduced by forming the data transmission line with a tapered shape on the light emitting element side using a coplanar electrode structure. This makes it possible to improve high-frequency characteristics.
【図1】本発明による電界吸収型変調器付発光素子を示
し、(a)が平面図、(b)が正面図、(c)が側面
図、(d)が光強度変調が行われている部分を示す拡大
図である。FIG. 1 shows a light emitting device with an electroabsorption modulator according to the present invention, wherein (a) is a plan view, (b) is a front view, (c) is a side view, and (d) is light intensity modulated. FIG.
【図2】本発明による電界吸収型変調器付発光素子の簡
単な等価回路。FIG. 2 is a simple equivalent circuit of a light emitting device with an electroabsorption modulator according to the present invention.
【図3】本発明による電界吸収型変調器付発光素子に関
する、図2の等価回路の周波数応答特性の計算結果。FIG. 3 is a calculation result of a frequency response characteristic of the equivalent circuit of FIG. 2 for the light emitting device with an electroabsorption modulator according to the present invention.
【図4】従来例による電界吸収型変調器付発光素子に関
する、図2の等価回路の周波数応答特性の計算結果。4 is a calculation result of a frequency response characteristic of the equivalent circuit of FIG. 2 for a light emitting element with an electro-absorption modulator according to a conventional example.
【図5】本発明による電界吸収型変調器付発光素子を示
した図である。FIG. 5 is a view showing a light emitting device with an electroabsorption modulator according to the present invention.
【図6】従来例の電界吸収型変調器付発光素子を示した
図である。FIG. 6 is a view showing a conventional light emitting device with an electroabsorption modulator.
101 電界吸収型変調器付発光素子 102 電界吸収型変調器付発光素子の変調器部分 103 電界吸収型変調器付発光素子のレーザダイオー
ド部分 104 終端抵抗 21、201 ベース部品 22、202 サブマウント 23、203 配線用基板 24、204 コープレーナ型データ伝送線路 301,302,303 ボンディングワイヤ 205 伝送線路支持部材101 Light Emitting Element with Electroabsorption Modulator 102 Modulator Portion of Light Emitting Element with Electroabsorption Modulator 103 Laser Diode Portion of Light Emitting Element with Electroabsorption Modulator 104 Terminating Resistance 21, 201 Base Component 22, 202 Submount 23, 203 Wiring board 24, 204 Coplanar type data transmission line 301, 302, 303 Bonding wire 205 Transmission line support member
Claims (7)
端がテーパー形状となっており、その先端まで延出した
コープレーナ電極構造のデータ伝送線路が表面に形成さ
れた第2の基板とからなり、前記テーパー形状の先端が
前記発光素子の表面上方に近接するように、前記第2の
基板は前記第1の基板に対して位置決めされ、相対的に
固定されており、前記テーパー形状の先端で前記データ
伝送線路と前記発光素子とがワイヤで接続されているこ
とを特徴とする光通信モジュール。1. A first substrate provided with a light emitting element, and a second substrate having a tapered tip end and a coplanar electrode structure data transmission line formed on the surface extending to the tip end. The second substrate is positioned and fixed relative to the first substrate such that the tip of the tapered shape approaches above the surface of the light emitting element, and the second substrate is fixed to the first substrate. An optical communication module, wherein the data transmission line and the light emitting element are connected by a wire at a tip.
けられている第3の基板を更に有することを特徴とする
請求項1に記載の光通信モジュール。2. The optical communication module according to claim 1, further comprising a third substrate provided with a wiring for supplying electric power to said light emitting element.
差の設けられいるベース部品に設けられていることを特
徴とする請求項1に記載の光通信モジュール。3. The optical communication module according to claim 1, wherein the first substrate and the second substrate are provided on a base component having a step.
前記データ伝送線路には接地線が設けられており、前記
第2の基板に設けられたスルーホールにより、前記接地
線が前記ベース部品に接地されていることを特徴とする
請求項3に記載の光通信モジュール。4. The base component is a conductive component,
4. The data transmission line according to claim 3, wherein a ground line is provided on the data transmission line, and the ground line is grounded to the base component by a through hole provided in the second substrate. Optical communication module.
前記データ伝送線路には接地線が設けられており、前記
第2の基板の側面メタライズにより、前記接地線が前記
ベース部品に接地されていることを特徴とする請求項3
に記載の光通信モジュール。5. The base component is a conductive component,
4. The data transmission line is provided with a ground line, and the ground line is grounded to the base component by side metallization of the second substrate.
An optical communication module according to item 1.
半導体レーザとインピーダンスマッチング用終端抵抗と
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の光通信
モジュール。6. The optical communication module according to claim 1, wherein the light emitting element includes a semiconductor laser with an electro-absorption modulator and a terminating resistor for impedance matching.
あるることを特徴とする請求項3に記載の光通信モジュ
ール。7. The optical communication module according to claim 3, wherein the base component is made of CuW having high thermal conductivity.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000295249A JP2002111110A (en) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | Optical communication module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000295249A JP2002111110A (en) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | Optical communication module |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002111110A true JP2002111110A (en) | 2002-04-12 |
Family
ID=18777705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000295249A Pending JP2002111110A (en) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | Optical communication module |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002111110A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004146777A (en) * | 2002-08-26 | 2004-05-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Semiconductor laser module and semiconductor laser device |
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| WO2020162217A1 (en) * | 2019-02-06 | 2020-08-13 | 日本電信電話株式会社 | Optical transmitter |
| JP7433545B1 (en) * | 2023-03-13 | 2024-02-19 | 三菱電機株式会社 | Laser beam emitting device and optical module |
-
2000
- 2000-09-27 JP JP2000295249A patent/JP2002111110A/en active Pending
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