JP2002110768A - ウェハ搬送用ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェハ搬送用ロボットの筐体内に設けるウェハ
吸引用の配管が、ウェハ保持具のウェハ吸引孔から吸い
込まれた塵埃により詰まるのを防止する。 【解決手段】ロボットの筐体１の上部を覆う防滴カバー
１５の上にエアクリーナ２０を固定する。ウェハ保持具
８に設けたウェハ吸引孔８Ｃを可撓管１１を通してエア
クリーナ２０のエア流入口に接続する。エアクリーナ２
０のエア流出口を筐体１に設けた筐体側配管１２を通し
て真空ポンプに接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、塵埃が存在する雰
囲気中で使用するのに適したウェハ搬送用ロボットに関
し、特に、半導体ウェハを研磨する工程においてウェハ
をアンロードする際に用いるのに好適なウェハ搬送用ロ
ボットに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置を製造する際に行われる各工
程において、半導体ウェハを加工装置にロードしたり、
加工装置からアンロードしたりするために、ウェハ搬送
用ロボットが用いられている。

【０００３】半導体ウェハを搬送するために用いるロボ
ットは、ウェハ保持具を有する搬送機構を備えていて、
ウェハ保持具に設けられたウェハ保持面上にウェハを載
せた状態で搬送するように構成されている。

【０００４】この種のロボットにおいては、真空吸引手
段に接続されるウェハ吸引孔をウェハ保持具に設けて、
該ウェハ吸引口を通してウェハに吸引力を作用させるこ
とにより、搬送中のウェハがウェハ保持具から脱落する
のを防止している。

【０００５】ウェハ吸引孔は、ウェハ保持部の変位に伴
って変形して該ウェハ保持部の変位を許容する可撓管
と、ロボットの機構部等を収容する筐体（フレームを兼
ねるケース）内に設けられた配管とを通して真空ポンプ
などの真空吸引手段に接続される。

【０００６】また水が使用される工程では、防滴仕様の
ウェハ搬送用ロボットが用いられている。例えば、半導
体ウェハを研磨する工程においては、ウェハをロボット
により搬送して研磨装置にロードした後研磨を行い、研
磨が終了したウェハを純水により洗浄する。洗浄が終了
した後、ウェハをウェハ搬送ロボットにより研磨装置か
らアンロードするが、この際にロボットに水がかかるお
それがある。

【０００７】そのため、半導体ウェハの研磨工程でウェ
ハをアンロードする際に用いられるロボットには筐体を
覆うカバーを設ける等の防滴対策が講じられ、ロボット
に多少の水がかかっても支障がないようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ウェハの研磨工程で用
いるロボットのように、塵埃と水とが存在する環境下で
使用されるウェハ搬送用ロボットでは、ウェハを真空吸
着する際に、塵埃（ウェハの研磨屑や研磨粉など）を含
んだ水がウェハ吸引孔を通して吸い込まれることがあ
る。ウェハ吸引孔から塵埃を含んだ水が吸い込まれる
と、ロボットの筐体内に設けられた配管の内部に塵埃が
蓄積されて固まるため、やがて配管が詰まってウェハを
真空吸着する機能が失われてしまう。

【０００９】従って、この種のウェハ搬送用ロボットで
は、比較的頻繁に保守点検を行って、筐体内の配管の清
掃を行う必要があるが、従来のこの種のロボットでは、
清掃を行う際にロボットを分解して配管を取り外す必要
があったため、その作業がはなはだ面倒であった。

【００１０】本発明の目的は、ロボットの筐体内の配管
に塵埃を含んだ水が侵入することがないようにしたウェ
ハ搬送用ロボットを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、ウェハを載せ
て保持するウェハ保持面と該ウェハ保持面に一端が開口
したウェハ吸引孔とを有するウェハ保持具と、筐体に支
持されていてウェハ保持具を筐体の上方でウェハの搬送
方向に移動させる搬送機構とを備えたウェハ搬送用ロボ
ットを対象とする。この種のロボットでは、ウェハ保持
具に設けられたウェハ吸引孔の他端に一端が接続された
可撓管と筐体側に設けられた筐体側配管とを有する吸引
用管路を通してウェハ吸引孔が真空吸引手段に接続され
る。

【００１２】本発明においては、搬送機構を支持する筐
体の外側に分解可能なエアクリーナを配置して、該エア
クリーナを筐体に対して支持し、可撓管の他端をエアク
リーナを通して筐体側配管の一端に接続する。真空吸引
手段は、筐体側配管の他端に、適当な外部の配管を通し
て接続する。

【００１３】上記のように可撓管と筐体側配管との間に
エアクリーナを設けておくと、ウェハ吸引孔から吸い込
まれた塵埃をエアクリーナにより除去して、該塵埃が筐
体側配管に流入するのを防ぐことができる。従って、筐
体側配管の清掃はほとんど行う必要がなくなる。

【００１４】またエアクリーナは分解可能に構成され
て、筐体の外側に配置されるため、該エアクリーナの清
掃は容易に行うことができる。

【００１５】上記エアクリーナとしては、外部に開口し
たエア流入口及びエア流出口をそれぞれ一端側及び他端
側に有し、エア流入口側からエア流出口側につづら折り
状に折れ曲った状態で伸びるエア流路を内部に有するチ
ャンバーと、実質的にエアのみを通過させるように形成
されてエア流路のエア流出口側に配置されたフィルタと
を備えたものを用いるのが好ましい。

【００１６】この場合、可撓管の他端をエアクリーナの
エア流入口に接続し、筐体側配管の一端をエアクリーナ
のエア流出口に接続する。

【００１７】このようにエアクリーナを構成すると、エ
ア流入口からクリーナ内に流入したエアは折れ曲ったエ
ア流路の内面に衝突しながら流れるため、エアがエア流
路を流れる過程でエアに含まれる塵埃のほとんどが下方
に落下させられて除去される。エア流路を通過する過程
で除去されなかった塵埃は、エア流出口側に設けられた
フィルタにより除去される。

【００１８】上記エアクリーナを容易に分解し得るよう
にするため、上記チャンバーは、互いに整合する合せ面
を有する第１のチャンバー構成部材と第２のチャンバー
構成部材とに２分割し得るように構成して、該第１のチ
ャンバー構成部材と第２のチャンバー構成部材の合せ面
をシール部材を介して気密に接続する構造にするのが好
ましい。

【００１９】本発明の好ましい実施形態では、エアクリ
ーナのチャンバーを上記のように第１のチャンバー構成
部材と第２のチャンバー構成部材とに分割した上で、各
部が下記のように構成される。

【００２０】即ち、上記第１のチャンバー構成部材の一
端側のほぼ半部の内側には、前記エア流路の一部を構成
する第１の空所が、該第１のチャンバー構成部材の合せ
面側に開口した状態で設けられて、第１の空所が第１の
仕切壁によりエアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切ら
れる。

【００２１】また第１のチャンバー構成部材の他端側の
ほぼ半部には、第２のチャンバー構成部材側に突出した
中空の凸部が設けられて、該凸部の中空部の一端が第２
のチャンバー構成部材側に開口させられるとともに、該
中空部の他端に一端側が連通し他端が第１の空所のエア
流れ方向の下流側の最端部の領域に隣接する位置で合せ
面側に開口したエア流通孔が設けられる。

【００２２】第２のチャンバー構成部材の一端側のほぼ
半部には、第１の空所とともにエア流路を構成する第２
の空所が合せ面側に開口した状態で設けられて、第１の
仕切壁に対してエアの流れ方向の下流側に位置をずらし
た状態で設けられた第２の仕切壁により、第２の空所が
エアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切られる。

【００２３】また第２のチャンバー構成部材の他端側の
ほぼ半部には凸部嵌合穴が形成されて、該嵌合穴に、第
１のチャンバー構成部材の凸部が嵌合される。

【００２４】エア流入口は、第１のチャンバー構成部材
の一端側の壁部の第１の仕切壁に対向する部分を貫通し
た状態で設けられ、エア流出口は、第２のチャンバー構
成部材の他端寄りの下部に設けられて第１のチャンバー
構成部材の凸部の中空部の一端に連通させられる。

【００２５】フィルタは、第１のチャンバー構成部材の
凸部と第２のチャンバー構成部材の凸部嵌合穴の底部と
の間に挟み込まれた状態で保持される。

【００２６】そして、第１のチャンバー構成部材の合せ
面と第２のチャンバー構成部材の合せ面とを合わせて両
チャンバー構成部材を接続した状態で、第１のチャンバ
ー構成部材に設けられた第１の空所の複数の領域と、第
２のチャンバー構成部材に設けられた第２の空所の複数
の領域とにより、前記つづら折り状に折れ曲ったエア流
路が構成され、該エア流路の下流側の端部が第１のチャ
ンバー構成部材に設けられたエア流通孔と第１のチャン
バー構成部材の凸部の中空部とを通して第２のチャンバ
ー構成部材に設けられたエア流出口に接続される。

【００２７】本発明に係わるロボットでは、ウェハ保持
具の変位を妨げないようにするために、ウェハ保持部の
ウェハ吸引孔とエアクリーナとの間を接続する管として
可撓管を用いて、この可撓管をウェハ保持具の変位に伴
って変形させることにより、ウェハ保持具の変位を許容
するようにしている。この場合可撓管を自由に変形させ
るようにしておくと、該可撓管が搬送機構と干渉して搬
送機構の動きを妨げたり、可撓管が損傷したりするおそ
れがある。このような問題が生じるのを防ぐためには、
ウェハ保持部の変位に伴って変位する可撓管を搬送機構
と干渉させないようにガイドする可撓管ガイドを筐体の
上部に取り付けておくのが好ましい。

【００２８】

【発明の実施の形態】図１ないし図８は、本発明に係わ
るウェハ搬送用ロボットの構成例を示したもので、図１
は駆動軸を支持した旋回部材が下降した状態を示した正
面図、図２は図１の上面図、図３は旋回部材が上昇させ
られた状態を示した正面図、図４（Ａ）ないし（Ｃ）は
それぞれ同ロボットの動作の異なる過程を示した上面図
である。また図５は図１のウェハ搬送用ロボットの要部
の拡大図、図６（Ａ）は図１のウェハ搬送用ロボットの
要部の拡大断面図、図６（Ｂ）は同図（Ａ）の要部の上
面図である。更に図７はエアクリーナと筐体との接続構
造の一例を示した要部の上面図、図８はエアクリーナと
筐体との他の接続構造を示した要部の上面図である。

【００２９】図１ないし図４において、１はシリンダ状
に形成されてその軸線を垂直方向に向けた状態で配置さ
れた筐体（フレームを兼ねるケーシング）である。筐体
１内には旋回部材２がその軸線を垂直方向に向けた状態
で回転自在かつ上下動可能に支持されていて、該旋回部
材２の軸心部に、該旋回部材と軸線を共有する第１の駆
動軸３が回転自在に支持されている。筐体１内には、旋
回部材２を回転させる旋回部材駆動機構と、該旋回部材
２を第１の駆動軸３とともに上下動させる旋回軸上下動
機構と、第１の駆動軸３を回転させる駆動軸回転駆動機
構とが収納されている。

【００３０】第１の駆動軸３の上端には、中空の第１の
アーム４の後端部が固定され、駆動軸３の回転に伴って
第１のアーム４が回動させられるようになっている。第
１のアーム４の先端部には第２の駆動軸５が回転自在に
支持され、該第２の駆動軸５に中空の第２のアーム６の
後端部が固定されている。また第２のアーム６の先端部
に第３の駆動軸７が回転自在に支持され、該第３の駆動
軸７にウェハ保持具８の後端部が固定されている。

【００３１】第１のアーム４内には、第１の駆動軸３の
回転を第２の駆動軸５に伝達して該第２の駆動軸５を第
１の駆動軸３と反対方向に回転させる第１の回転運動伝
達機構が収納され、第１の駆動軸３が一方向に回転駆動
されて第１のアーム４が一方向に回動させられた時に、
第２のアーム６が第１のアーム４と反対方向に回動させ
られるようになっている。

【００３２】また第２のアーム６内には、第２の駆動軸
５の回転を第３の駆動軸７に伝達して該第３の駆動軸７
を第２の駆動軸５と反対方向に回転させる第２の回転運
動伝達機構が収納され、第２の駆動軸５が一方向に回転
駆動されて第２のアーム６が一方向に回動させられた時
に、ウェハ保持具８が第２のアーム６と反対方向に回動
させられるようになっている。

【００３３】したがって、図示のウェハ搬送用ロボット
においては、例えば図４（Ａ）に示すように、第１のア
ーム４と第２のアーム６とウェハ保持具８とが一直線状
に整列した状態から、図４（Ｂ）及び（Ｃ）に示すよう
に第１のアーム４が反時計方向に回動させられると、第
２のアーム６が第１のアーム４に対して時計方向に回動
させられ、ウェハ保持具８が第２のアーム６に対して反
時計方向に回動させられて、ウェハ保持具８が旋回部材
２の径方向に直線的に移動させられる。旋回部材２を旋
回させて、その向きを変えることにより、ウェハ保持具
８の移動方向を適宜に変更することができる。また第１
の駆動軸３を支持した旋回部材２を駆動軸３とともに上
下動させることにより、ウェハ保持具８を上下に変位さ
せることができる。

【００３４】上記旋回部材２と、該旋回部材２を回転さ
せる旋回部材駆動機構と、第１の駆動軸３と、旋回部材
２を第１の駆動軸３とともに上下動させる旋回軸上下動
機構と、第１の駆動軸３を回転駆動する駆動軸回転駆動
機構と、第１のアーム４と、第２の駆動軸５と、第１の
アーム内に配置された第１の回転運動伝達機構と、第２
のアーム６と、第３の駆動軸７と、第２のアーム内に配
置された第２の回転運動伝達機構とにより、ウェハ保持
具８を筐体１の上方でウェハの搬送方向に移動させる搬
送機構１０が構成されている。

【００３５】ウェハ保持具８は、図２に示したように、
第３の駆動軸７に固定された後端部８Ａと、フォーク状
に形成された先端部８Ｂとを有する板状の部材で、先端
部８Ｂの上面が、半導体ウェハＳを載せて保持するウェ
ハ保持面８ｂとなっている。ウェハ保持具８には、ウェ
ハ保持面８ｂに一端が開口したウェハ吸引孔８Ｃが設け
られ、該ウェハ吸引孔８Ｃの他端に可撓管１１の一端が
接続されている。ウェハ吸引孔８Ｃは、可撓管１１と、
筐体１内に設けられた筐体側配管１２とからなる吸引用
管路を通して真空ポンプなどからなる真空吸引手段（図
示せず。）に接続され、ウェハ保持具８のウェハ保持面
８ｂ上に載せられた半導体ウェハは、このウェハ吸引孔
を通して作用する吸引力により吸着されてウェハ保持具
８から脱落しないように保持される。

【００３６】筐体側配管１２は、筐体１内を上下に伸び
るように設けられていて、該配管１２の一端（図示の例
では上端）は筐体１の上端から突出した旋回部材２の上
部側面に開口させられている。また筐体内配管１２の他
端（下端）は、筐体１の下部側面に取り付けられた制御
箱１３内に導入されて、該制御箱１３に取り付けられた
管継手１４に接続されている。旋回部材２の回転と上下
動とを可能にするため、筐体側配管１２としては可撓性
を有し、長さに余裕を持たせたものが用いられている。

【００３７】ロボットに防滴性を持たせる（筐体内に水
が侵入するのを防ぐ）ため、旋回部材２の上端に、カッ
プを伏せた形状の防滴カバー１５が取り付けられ、この
防滴カバー１５により筐体１の上部が覆われている。

【００３８】図５に示したように、本発明においては、
筐体１の上方にエアクリーナ２０が配置されている。エ
アクリーナ２０は、搬送機構１０と干渉しない位置に配
置されて、防滴カバー１５の上に固定され、ウェハ保持
具８のウェハ吸引孔８Ｃが、可撓管１１とエアクリーナ
２０とを通して筐体内配管１２の一端に接続されてい
る。

【００３９】エアクリーナ２０は、図６に示すように、
外部に開口したエア流入口２１及びエア流出口２２をそ
れぞれ一端側及び他端側に有し、エア流入口２１側から
エア流出口２２側につづら折り状に折れ曲った状態で伸
びるエア流路２３を内部に有するチャンバー２４と、実
質的にエアのみを通過させるように形成されてエア流出
口２２の手前に配置されたフィルタ２５とを備えてい
る。

【００４０】エアクリーナの分解を容易にするため、チ
ャンバー２４は、互いに整合する合せ面３１ａ，３２ａ
を有する第１のチャンバー構成部材３１と第２のチャン
バー構成部材３２とに２分割し得るように構成されてい
て、第１のチャンバー構成部材３１の合わせ面３１ａと
第２のチャンバー構成部材３２の合せ面３２ａとがシー
ル部材であるＯリング３３を介して当接され、両チャン
バー構成部材３１及び３２がボルト３４により締結され
て、両者の合わせ面が気密に接続されている。

【００４１】なお、図６では、第１のチャンバー構成部
材３１の合わせ面３１ａと第２のチャンバー構成部材３
２の合わせ面３２ａとを気密に接続するために、シール
部材としてＯリングを使用したが、シール部材はＯリン
グに限定されるものではなく、例えば、Ｕパッキン、Ｖ
パッキン、Ｗパッキンでもよい。要するに、シール部材
は、第１のチャンバー構成部材３１の合わせ面３１ａと
第２のチャンバー構成部材３２の合わせ面３２ａとを気
密に接続できるものであればよい。

【００４２】更に詳細に説明すると、第１のチャンバー
構成部材３１及び第２のチャンバー構成部材３２はほぼ
直方体状を呈するブロックからなっていて、第１のチャ
ンバー構成部材３１の長手方向の一端側のほぼ半部の内
側には、エア流路２３の一部を構成する第１の空所３１
Ａが合せ面３１ａ側に開口した状態で設けられ、該第１
の空所３１Ａが第１の仕切壁３１ｂによりエアの流れ方
向に並ぶ複数の領域（図示の例では２つの領域）３１A1
及び３１A2に仕切られている。

【００４３】第１のチャンバー構成部材３１の長手方向
の他端側のほぼ半部には、第２のチャンバー構成部材３
２側に突出した中空の凸部３１Ｂが設けられ、該凸部３
１Ｂの中空部３１B1の一端が第２のチャンバー構成部材
３２側に開口させられている。第１のチャンバー構成部
材３１の他端側のほぼ半部にはまた、凸部３１Ｂの中空
部３１B1の他端に一端３１C1が連通し他端３１C2が第１
の空所３１Ａのエア流れ方向の下流側の最端部の領域３
１A2に隣接する位置で合せ面３１ａ側に開口したエア流
通孔３１Ｃが設けられている。

【００４４】第２のチャンバー構成部材３２の長手方向
の一端側のほぼ半部には、第１の空所３１Ａとともにエ
ア流路２３を構成する第２の空所３２Ａが合せ面３２ａ
側に開口した状態で設けられて、第１の仕切壁３１ｂに
対してエアの流れ方向の下流側に位置をずらした状態で
設けられた第２の仕切壁３２ｂにより、第２の空所３２
Ａがエアの流れ方向に並ぶ複数の領域３２A1及び３２A2
に仕切られている。

【００４５】第２のチャンバー構成部材３２の長手方向
の他端側のほぼ半部には、第１のチャンバー構成部材３
１の凸部３１Ｂを嵌合させる凸部嵌合穴３２Ｂが形成さ
れ、凸部３１Ｂと凸部嵌合穴３２Ｂの底部との間にフィ
ルタ２５が挟み込まれた状態で保持されている。

【００４６】エア流入口２１は、第１のチャンバー構成
部材３１の一端側の壁部の第１の仕切壁３１ｂに対向す
る部分を貫通した状態で（第１の仕切壁３１ｂに対向す
る状態で）設けられ、エア流入口２１からチャンバー内
に流入したエアが仕切壁３１ｂに衝突するようになって
いる。

【００４７】またエア流出口２２は、第２のチャンバー
構成部材３２の他端寄りの下部に設けられて、フィルタ
２５を通して第１のチャンバー構成部材３１の凸部３１
Ｂの中空部３１B1の一端に連通させられている。

【００４８】第１のチャンバー構成部材３１に設けられ
た第１の空所３１Ａの複数の領域３１A1，３１A2と、第
２のチャンバー構成部材３２に設けられた第２の空所３
２Ａの複数の領域３２A1，３２A2とによりつづら折り状
に折れ曲ったエア流路２３が構成され、このエア流路２
３の下流側の端部が第１のチャンバー構成部材３１に設
けられたエア流通孔３１Ｃと凸部３１Ｂの中空部３１B1
とを通して第２のチャンバー構成部材に設けられたエア
流出口２２に接続されている。

【００４９】エアクリーナ２０のエア流入口２１には、
ウェハ保持具８のウェハ吸引孔８Ｃに一端が接続された
可撓管１１の他端が管継手３５を介して接続され、エア
流出口２２は、カバー１５を貫通して該エア流出口２２
内に挿入された継手３６を通して、カバー１５の下面に
添わせた接続管３７の一端に接続されている。接続管３
７は断面が矩形状を呈する角形の管からなっていて、該
接続管３７の他端は、カバー１５の内側で旋回部材２の
上端付近の側面に開口した筐体側配管１２の一端に接続
されている。

【００５０】図示の例では、図７に示すように、旋回部
材２の上端部寄りの側面にＶ字形の切欠き２Ａが形成さ
れ、該切欠き２Ａ内に筐体側配管１２の一端が開口させ
られている。接続管３７はエアクリーナ２０の長手方向
（エアの流れ方向）に対して傾斜した状態で配置されて
その他端が切欠き２Ａに嵌合され、接続管３７の他端側
の開口部が適宜の継手を介して筐体側配管１２の一端に
接続されている。

【００５１】なお図７に示した例では、接続管３７をエ
アクリーナの長手方向に対して傾斜した状態で設けてい
るが、接続管３７の設け方はこの例に限られるものでは
なく、例えば図８に示すように、接続管３７をエアクリ
ーナの長手方向に対して直角な方向に向けた状態で、筐
体側配管１２の一端に接続するようにしてもよい。

【００５２】図示のロボットにおいて、可撓管１１は、
ウェハ保持具８の変位に伴って変形する。この場合、可
撓管１１の自由な変形を許容すると、可撓管１１がアー
ム４または５と干渉して、損傷するおそれがある。そこ
で、図示の例では、ウェハ保持具８の変位方向と平行に
伸びるチャンネル形の部材からなる可撓管ガイド３８を
カバー１５に取り付けて、可撓管１１の一部をこの可撓
管ガイド３８の溝内に沿わせて変形させることにより、
可撓管１１がアーム４または５と干渉するのを防ぐよう
にしている。

【００５３】上記のようにエアクリーナ２０を構成する
と、エア流入口２１からチャンバー２４内に流入したエ
アは、仕切壁３１ｂや３２ｂに衝突しながらつづら折り
状に折れ曲がったエア流路２３を流れ、エアが仕切壁に
衝突する毎にエアに含まれている塵埃が下方に落下させ
られて、エア中から除去される。エアが仕切壁に衝突し
た際に除去されなかった塵埃は、最終的にフィルタ２５
により除去されるため、筐体側配管１２には塵埃が含ま
れない清浄なエアのみが流入する。

【００５４】このようなエアクリーナ２０を設けておく
と、筐体側配管内に塵埃が水分とともに侵入して、該配
管内で固まるのを防ぐことができるため、ウェハの研磨
工程において、研磨を完了したウェハをアンロードする
際のように、ウェハ吸引孔を通して研磨粉や研磨屑等の
塵埃が吸い込まれるおそれがある場合であっても、筐体
側配管内に塵埃が侵入するのを防ぐことができ、筐体を
分解して筐体側配管１２の清掃を行う面倒な保守作業を
不要とすることができる。

【００５５】エアクリーナ２０は、筐体の外側に配置さ
れていて、分解し得るように構成されているため、該エ
アクリーナの清掃作業は簡単に行うことができる。

【００５６】エアクリーナ２０の清掃は、チャンバー２
４を構成しているチャンバー構成部材３１及び３２の結
合を解いた後、それぞれの内部をバキュームクリーナに
より吸引して、内部に溜まった塵埃を取り除くことによ
り行うことができる。

【００５７】上記の例では、第１及び第２のアームを備
えた搬送機構を用いるロボットを例にとったが、本発明
は、ウェハ吸引孔を有するウェハ保持具を備えたウェハ
搬送用ロボットに広く適用することができ、本発明が対
象とするウェハ搬送用ロボットにおいて、ウェハ保持具
を搬送方向に移動させるための搬送機構の構成は任意で
ある。

【００５８】なおエアクリーナ２０の構成は上記の例に
限られるものではなく、上記の例で用いたエアクリーナ
に代えて、エア中から塵埃を除去する機能を有する適宜
の構成のエアクリーナを用いることができる。

【００５９】例えばエア流路２３に設ける仕切壁３１
ｂ，３２ｂの数を上記の例よりも多くして、つづら折り
状のエア流路の長さを長くしたり、第１及び第２の仕切
壁３１ｂ及び３２ｂがエアの流れ方向に対向した部分を
持つように、第１及び第２の仕切壁の少なくとも一方の
長さを長くしたりして、塵埃がエア流路の内面に衝突す
る機会を増やすようにすることができる。

【００６０】上記のように、エア流路をつづら折り状に
形成しておくと、エアが仕切り壁に衝突する毎にエア中
の塵埃が落下させられて除去されるため、フィルタに到
達する塵埃の量を少なくすることができる。したがって
フィルタにかかる負担を軽くすることができ、フィルタ
の清掃を行う周期を長くしたり、フィルタの寿命を長く
したりすることができる。

【００６１】しかしながら、エアクリータは、上記のよ
うにつづら折り状のエア流路を有するものに限定される
ものではなく、フィルタのみにより塵埃を除去するよう
にしたエアクリーナを用いることもできる。

【００６２】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ロボッ
トの筐体の外側にエアクリーナを配置して可撓管をエア
クリーナを通して筐体側配管の一端に接続するようにし
たので、ウェハ吸引孔から吸い込まれた塵埃をエアクリ
ーナにより除去して、該塵埃が筐体側配管に流入するの
を防ぐことができる。またエアクリーナは分解し得るよ
うに構成されているため、該エアクリーナの清掃作業は
簡単に行うことができる。

【００６３】従って、本発明によれば、筐体側配管の面
倒な清掃作業をほとんど不要にすることができ、半導体
ウェハの研磨工程においてウェハを研磨装置からアンロ
ードするロボットのように、多くの塵埃が存在する環境
下で用いられるロボットの保守点検作業を簡単にするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるウェハ搬送用ロボットにおい
て、駆動軸を支持した旋回部材が下降した状態を示した
正面図である。

【図２】図１の上面図である。

【図３】図１に示したロボットにおいて旋回部材を上昇
させた状態を示した正面図である。

【図４】（Ａ）ないし（Ｃ）はそれぞれ図１ないし図３
に示したウェハ搬送用ロボットの動作の異なる過程を示
した上面図である。

【図５】図１のウェハ搬送用ロボットの要部の拡大図で
ある。

【図６】（Ａ）は図１のウェハ搬送用ロボットの要部の
拡大断面図、（Ｂ）は（Ａ）の要部の上面図である。

【図７】エアクリーナと筐体との接続構造の一例を示し
た要部の上面図である。

【図８】エアクリーナと筐体との他の接続構造を示した
要部の上面図である。

【符号の説明】

１…筐体、２…旋回部材、３…第１の駆動軸、４…第１
のアーム、５…第２の駆動軸、６…第２のアーム、７…
第３の駆動軸、８…ウェハ保持具、１１…可撓管、１２
…筐体側配管、２０…エアクリーナ、２３…エア流路、
２４…チャンバー、２５…フィルタ、３１…第１のチャ
ンハー構成部材、３２…第２のチャンバー構成部材。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハを載せて保持するウェハ保持面と
   該ウェハ保持面に一端が開口したウェハ吸引孔とを有す
   るウェハ保持具と、筐体に支持されていて前記ウェハ保
   持具を前記筐体の上方でウェハの搬送方向に移動させる
   搬送機構とを備え、前記ウェハ吸引孔は、該ウェハ吸引
   孔の他端に一端が接続された可撓管と前記筐体側に設け
   られた筐体側配管とを有する吸引用管路を通して真空吸
   引手段に接続されるウェハ搬送用ロボットにおいて、 前記筐体の外側に分解可能なエアクリーナが配置され
   て、該エアクリーナが前記筐体に対して支持され、 前記可撓管の他端が前記エアクリーナを通して前記筐体
   側配管の一端に接続されているウェハ搬送用ロボット。
2. 【請求項２】 前記エアクリーナは、外部に開口したエ
   ア流入口及びエア流出口をそれぞれ一端側及び他端側に
   有し、前記エア流入口側からエア流出口側につづら折り
   状に折れ曲った状態で伸びるエア流路を内部に有するチ
   ャンバーと、実質的にエアのみを通過させるように形成
   されて前記エア流路の前記エア流出口側に配置されたフ
   ィルタとを備え、 前記可撓管の他端及び前記筐体側配管の一端がそれぞれ
   前記エアクリーナのエア流入口及びエア流出口に接続さ
   れている請求項１に記載のウェハ搬送用ロボット。
3. 【請求項３】 前記エアクリーナのチャンバーは、互い
   に整合する合せ面を有する第１のチャンバー構成部材と
   第２のチャンバー構成部材とに２分割し得るように構成
   されていて、前記第１のチャンバー構成部材と第２のチ
   ャンバー構成部材の合せ面がシール部材を介して気密に
   接続されている請求項２に記載のウェハ搬送用ロボッ
   ト。
4. 【請求項４】 前記第１のチャンバー構成部材の一端側
   のほぼ半部の内側には、前記エア流路の一部を構成する
   第１の空所が前記合せ面側に開口した状態で設けられ
   て、該第１の空所が第１の仕切壁によりエアの流れ方向
   に並ぶ複数の領域に仕切られ、 前記第１のチャンバー構成部材の他端側のほぼ半部に
   は、前記第２のチャンバー構成部材側に突出した中空の
   凸部が設けられて、該凸部の中空部の一端が前記第２の
   チャンバー構成部材側に開口させられるとともに、該中
   空部の他端に一端側が連通し他端が前記第１の空所のエ
   ア流れ方向の下流側の最端部の領域に隣接する位置で前
   記合せ面側に開口したエア流通孔が設けられ、 前記第２のチャンバー構成部材の一端側のほぼ半部に
   は、前記第１の空所とともに前記エア流路を構成する第
   ２の空所が前記合せ面側に開口した状態で設けられて、
   前記第１の仕切壁に対してエアの流れ方向の下流側に位
   置をずらした状態で設けられた第２の仕切壁により、前
   記第２の空所がエアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切
   られ、 前記第２のチャンバー構成部材の他端側のほぼ半部に
   は、前記第１のチャンバー構成部材の凸部を嵌合させる
   凸部嵌合穴が形成され、 前記エア流入口は、前記第１のチャンバー構成部材の一
   端側の壁部の前記第１の仕切壁に対向する部分を貫通し
   た状態で設けられ、 前記エア流出口は、前記第２のチャンバー構成部材の他
   端寄りの下部に設けられて、前記第１のチャンバー構成
   部材の凸部の中空部の一端に連通させられ、 前記フィルタは、前記第１のチャンバー構成部材の凸部
   と前記第２のチャンバー構成部材の前記凸部嵌合穴の底
   部との間に挟み込まれた状態で保持され、 前記第１のチャンバー構成部材に設けられた第１の空所
   の複数の領域と、前記第２のチャンバー構成部材に設け
   られた第２の空所の複数の領域とにより前記つづら折り
   状に折れ曲ったエア流路が構成され、 前記エア流路の下流側の端部が前記第１のチャンバー構
   成部材に設けられた前記エア流通孔と前記凸部の中空部
   とを通して前記第２のチャンバー構成部材に設けられた
   エア流出口に接続されている請求項３に記載のウェハ搬
   送用ロボット。
5. 【請求項５】 前記ウェハ保持部の変位に伴って変位す
   る前記可撓管を前記搬送機構と干渉させないようにガイ
   ドする可撓管ガイドが前記筐体の上部に支持されている
   請求項１ないし４のいずれか１つに記載のウェハ搬送用
   ロボット。