[go: up one dir, main page]

JP2002155140A - Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material - Google Patents

Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material

Info

Publication number
JP2002155140A
JP2002155140A JP2001251095A JP2001251095A JP2002155140A JP 2002155140 A JP2002155140 A JP 2002155140A JP 2001251095 A JP2001251095 A JP 2001251095A JP 2001251095 A JP2001251095 A JP 2001251095A JP 2002155140 A JP2002155140 A JP 2002155140A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polyamic acid
mol
polyimide film
film
polyimide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001251095A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Uhara
賢治 鵜原
Masabumi Yasuda
巨文 安田
Koichi Sawazaki
孔一 沢崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Du Pont Toray Co Ltd
Original Assignee
Du Pont Toray Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Du Pont Toray Co Ltd filed Critical Du Pont Toray Co Ltd
Priority to JP2001251095A priority Critical patent/JP2002155140A/en
Publication of JP2002155140A publication Critical patent/JP2002155140A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Moulding By Coating Moulds (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide film having an excellent high elastic modulus, low thermal expansion coefficient, alkali etching properties, and film-forming properties when the polyimide film is applied to a metallic wiring plate base for a flexible printing circuit applying a metallic wiring to its surface, CSP, BGA, or a TAB tape, and to provide a manufacturing method of the polyimide film, and a metallic wiring circuit plate using the film as a base. SOLUTION: The polyimide film is obtained by copolymerizing pyromellitic dianhydride, phenylenediamine, methylene-dianiline, and 3,4'-oxy-dianiline at a specified mole ratio thereof.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、その表面に金属配
線を施してなる可撓性の印刷回路またはテープ自動化接
合(Tape Automated Bonding)テープ(以下TABテープ
と称する)用の金属配線板基材として使用される場合
に、高弾性率、低熱膨張係数、アルカリエッチング性、
さらにに製膜性に優れたポリイミドフィルム、その製造
方法及び前記ポリイミドフィルムを基材とする可撓性の
印刷回路またはTABテープ用の金属配線板に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal wiring board substrate for a flexible printed circuit or a tape automated bonding tape (hereinafter referred to as a TAB tape) having a metal wiring on the surface thereof. When used as, high elastic modulus, low coefficient of thermal expansion, alkali etching properties,
Furthermore, the present invention relates to a polyimide film having excellent film-forming properties, a method for producing the same, and a metal wiring board for a flexible printed circuit or TAB tape using the polyimide film as a base material.

【0002】[0002]

【従来の技術】TABテープは、基材である耐熱性フィ
ルムの表面上に極細い金属配線を施し、基材に集積回路
チップ(IC)を搭載するための「窓」が開口されてお
り、更にTABテープの両端近傍にはTABテープを精
密に送るためのスプロケットが設けられて構成されてい
る。
2. Description of the Related Art A TAB tape is provided with a very thin metal wiring on the surface of a heat-resistant film as a base material, and has a "window" for mounting an integrated circuit chip (IC) on the base material. Further, sprockets for precisely feeding the TAB tape are provided near both ends of the TAB tape.

【0003】上記TABテープは、ICをTABテープ
に開口された「窓」に填め込み、TABテープの表面に
施された金属配線と接合した後、ICを搭載したTAB
テープを電子機器配線用の印刷回路に接合することによ
って、ICを電子回路に実装する工程を自動化し、工程
を簡素化するとともに、生産性を向上させ、ICを実装
された電子機器の電気特性を改良するために使用されて
いる。
In the above TAB tape, an IC is inserted into a "window" opened in the TAB tape, joined to metal wiring provided on the surface of the TAB tape, and then mounted on the TAB tape.
By joining the tape to the printed circuit for wiring electronic devices, the process of mounting the IC on the electronic circuit is automated, the process is simplified, the productivity is improved, and the electrical characteristics of the electronic device on which the IC is mounted are improved. Has been used to improve.

【0004】そして、TABテープには、耐熱性基材フ
ィルムの表面に、ポリエステルベース、アクリルベー
ス、エポキシベース或いはポリイミドベース等の接着剤
を介して導電性の金属箔を積層する三層構造のものと、
耐熱性基材フィルムの表面に、接着剤を介することな
く、導電性の金属層を直接積層する二層構造のものとが
使用されている。
[0004] The TAB tape has a three-layer structure in which a conductive metal foil is laminated on the surface of a heat-resistant base film via an adhesive such as a polyester base, an acrylic base, an epoxy base or a polyimide base. When,
One having a two-layer structure in which a conductive metal layer is directly laminated on the surface of a heat-resistant base film without using an adhesive is used.

【0005】したがって、TABテープの基材フィルム
には、耐熱性が要求され、特にICとTABテープ上の
金属配線との接合や、ICを搭載したTABテープと電
子機器配線用の印刷回路との接合の時に基材フィルムに
かかるハンダ溶接等の高温に耐えられるように、従来か
らポリイミドフィルムが使用されてきた。
[0005] Therefore, the base film of the TAB tape is required to have heat resistance. In particular, the bonding between the IC and the metal wiring on the TAB tape and the connection between the TAB tape mounting the IC and the printed circuit for electronic equipment wiring are required. Conventionally, a polyimide film has been used so as to withstand high temperatures such as solder welding applied to a base film at the time of joining.

【0006】しかるに、ポリイミドフィルムと金属箔ま
たは金属層とを積層し、金属箔または金属層をケミカル
エッチングして金属配線を形成する際に、受ける熱によ
るポリイミドフィルムと金属との寸法変化の違いに起因
するTABテープの変形が大きい場合には、ICを搭載
する時やICを搭載したTABテープを電子機器配線用
の印刷回路に接合する時に、作業性を著しく阻害した
り、時にはその作業を不能ならしめることになるため、
ポリイミドフィルムの熱膨張係数を金属と近似せしめ
て、TABテープの変形を小さくすることが要求され
る。
However, when a polyimide film and a metal foil or a metal layer are laminated and a metal wiring is formed by chemical etching of the metal foil or the metal layer, the difference in dimensional change between the polyimide film and the metal due to the heat received. If the deformation of the TAB tape is large, the workability is significantly impaired or sometimes impossible when mounting the IC or joining the TAB tape mounting the IC to the printed circuit for wiring the electronic device. Because it will be
It is required that the thermal expansion coefficient of the polyimide film be approximated to that of metal to reduce the deformation of the TAB tape.

【0007】さらに、ICを搭載し、電子機器配線用の
印刷回路に接合されたTABテープにかかる引張力や圧
縮力による寸法変化を小さくすることも、金属配線の細
密化、金属配線への歪み負荷軽減および搭載されたIC
の歪み負荷軽減のためには重要であり、基材であるポリ
イミドフィルムには一層の高弾性率が要求される。
Further, it is possible to reduce a dimensional change due to a tensile force or a compressive force applied to a TAB tape mounted on an IC and bonded to a printed circuit for wiring an electronic device, to make the metal wiring finer and to distort the metal wiring. Load reduction and mounted IC
This is important for reducing the strain load on the substrate, and a higher elastic modulus is required for the polyimide film as the base material.

【0008】ポリマーアロイまたはポリマーブレンドの
定義(「ポリマーアロイの新展望と実用化:高分子の高
付加価値シリーズ」、監修;秋山三郎、伊澤眞一、出
版;(株)シーエムシー、発行年;1997年4月)な
どによると、ポリマーの高弾性率化については、ブロッ
ク共重合、ブレンド、混交(IPN 、Interpenetrating-p
olymer-network) 、グラフト重合などがその範疇に入っ
ているとされる。
Definition of polymer alloy or polymer blend ("New perspectives and practical application of polymer alloy: high value-added series of polymer", supervision; Saburo Akiyama, Shinichi Izawa, publishing; CMC Corporation, publication year; 1997 According to the report, April 2014), regarding the high modulus of polymers, block copolymerization, blending, and blending (IPN, Interpenetrating-p
olymer-network), graft polymerization, etc., are considered to be in the category.

【0009】そして、特にポリイミドの高弾性率化につ
いては、三田ら(J.Polym.Sci.,Part C:Polym.Lett.,26
(5),215-223)が、モレキュラー・コンポジット効果によ
り、同一原料での比較においては、共重合ポリイミドよ
りも、ポリイミド同士のブレンドの方が、高弾性率化し
易いことを提案している。しかしながら、ポリイミド分
子は分子凝集力が大きいことから、単なるブレンドでは
相分離構造をとりやすいため、相分離を抑制するために
何らかの物理的な結合が必要である。
In particular, with respect to increasing the elastic modulus of polyimide, Mita et al. (J. Polym. Sci., Part C: Polym. Lett., 26
(5), 215-223) proposes that a blend of polyimides is more likely to have a higher modulus of elasticity than a copolymerized polyimide when compared using the same raw material due to the molecular composite effect. However, since polyimide molecules have a large molecular cohesion, a mere blend tends to have a phase-separated structure. Therefore, some physical bonding is required to suppress phase separation.

【0010】そのために提案されているポリマーが、、
由井ら(「機能性超分子の設計と将来展望:新材料・新
素材シリーズ」、監修;緒方直哉、寺野稔、由井伸彦、
出版;(株)シーエムシー、発行年;1998年6月)
によるInterpenetrating-network-polymer(以下混交ポ
リマーと称する)である。
[0010] The polymer proposed for that purpose is
Yui et al. ("Design and Future Prospects of Functional Supramolecules: New Materials and New Materials Series", supervised by Naoya Ogata, Minoru Terano, Nobuhiko Yui,
(Publishing: CMC Co., Ltd., Publication year: June 1998)
Interpenetrating-network-polymer (hereinafter referred to as mixed polymer).

【0011】従来の混合による具体例としては、特開昭
63−175025号公報に、ピロメリット酸および
4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとのポリアミド
酸(A)と、ピロメリット酸およびフェニレンジアミン
とのポリアミド酸(B)とのポリアミド酸組成物(C)
が提案されている。さらに、特開昭63−175025
号公報には、上記ポリアミド酸組成物(C)より製造さ
れるポリイミドが提案されている。
As a specific example of the conventional mixing, JP-A-63-175025 discloses that a polyamic acid (A) with pyromellitic acid and 4,4'-diaminodiphenyl ether and a polyamic acid (A) with pyromellitic acid and phenylenediamine are disclosed. Polyamic acid composition (C) with polyamic acid (B)
Has been proposed. Further, JP-A-63-175025
Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-216, proposes a polyimide produced from the polyamic acid composition (C).

【0012】しかしながら、これらの従来の混合方法で
は、予めポリアミド酸を重合した後混合するため充分な
物理的な絡み合い(混交)ができないため、ポリアミド
酸をイミド化する段階で相分離することがあり、場合に
よってはやや白濁したポリイミドフィルムしか得られな
いという問題を生じることがあった。
However, in these conventional mixing methods, since the polyamic acid is polymerized in advance and then mixed, sufficient physical entanglement (mixing) cannot be performed, so that phase separation may occur at the stage of imidizing the polyamic acid. In some cases, there is a problem that only a slightly cloudy polyimide film can be obtained.

【0013】また、特開平1−131241号公報、特
開平1−131242号公報、USP5081229お
よび特開平3−46292号公報には、ピロメリット酸
二無水物、パラフェニレンジアミンおよび4,4’−ジ
アミノジフェニルエーテルからなるブロック共重合ポリ
アミド酸から製造されたブロック共重合ポリイミドフィ
ルムが提案され、さらに途中の工程でジアミンと酸二無
水物とを非当量で反応させることにより、実質的に等モ
ル組成のブロック成分共重合ポリアミド酸フィルムを製
造する方法が提案されている。
JP-A-1-131241, JP-A-1-131242, US Pat. No. 5,081,229 and JP-A-3-46292 disclose pyromellitic dianhydride, paraphenylenediamine and 4,4'-diamino. A block copolymerized polyimide film produced from a block copolymerized polyamic acid composed of diphenyl ether has been proposed, and furthermore, a diamine and an acid dianhydride are reacted in non-equivalent amounts in an intermediate step, whereby a block having a substantially equimolar composition is obtained. A method for producing a component copolymerized polyamic acid film has been proposed.

【0014】しかしながら、これらの従来方法では、ポ
リアミド酸ブレンド溶液は相分離を起こしにくいもの
の、モレキュラーコンポジット効果が不十分で高剛性化
が不満足となる場合があった。また、分子鎖を制御した
ブロック成分を共重合成分とするポリマーを製造するた
めに、反応工程が煩雑になること、反応時間が長時間に
なること、および反応性末端が過剰に存在する工程を経
るため、途中工程のポリアミド酸が不安定で粘度変化し
やすく、ゲル化することなどの製造上の問題があった。
またこの方法では高ヤング率化が不十分な場合があっ
た。
However, in these conventional methods, although the polyamic acid blend solution hardly causes a phase separation, the molecular composite effect is insufficient and the high rigidity is sometimes unsatisfactory. In addition, in order to produce a polymer having a block component having a controlled molecular chain as a copolymer component, the reaction step becomes complicated, the reaction time becomes long, and the step in which the reactive terminal is excessively present is required. Therefore, the polyamic acid in the middle of the process is unstable and the viscosity easily changes, and there is a problem in production such as gelation.
In addition, this method may not be sufficient to increase the Young's modulus.

【0015】加えて、接着剤の密着力を向上させるた
め、基材であるポリイミドフィルム表面をアルカリ液で
エッチングし粗面化して使用されることがある。また配
線するための穴(スルーホール)をアルカリエッチング
で形成する場合がある。このためアルカリエッチング性
の優れたポリイミドフィルムへの要望が高まっている。
In addition, in order to improve the adhesive strength of the adhesive, the surface of the polyimide film as a substrate may be roughened by etching with an alkali solution. In some cases, holes (through holes) for wiring are formed by alkali etching. For this reason, a demand for a polyimide film having excellent alkali etching properties is increasing.

【0016】また、加工工程での取り扱い性を良くする
ため平面性の良好なフィルムが望まれる。製膜時の延伸
倍率を大きくすることによりフィルムの平面性が改良さ
れるが、このため高倍率延伸可能なフィルム組成が好ま
れる。
Further, a film having good flatness is desired in order to improve the handleability in the processing step. By increasing the draw ratio during film formation, the flatness of the film is improved. For this reason, a film composition that can be drawn at a high draw ratio is preferred.

【0017】これらの要求特性を満たすポリイミドフィ
ルムを得ることを目的とした従来方法としては、特開平
1−131241号公報、特開平1−131242号公
報および特開平3−46292号公報には、ピロメリッ
ト酸二無水物、パラフェニレンジアミン及び44’−ジ
アミノジフェニルエ−テルからなるポリアミド酸から製
造されたポリイミドフィルムが提案され、さらに途中の
工程でジアミンと酸二無水物とを非当量で反応させブロ
ック成分ポリアミド酸フィルムを製造する方法が提案さ
れている。
As a conventional method for obtaining a polyimide film satisfying these required characteristics, JP-A-1-131241, JP-A-1-131242 and JP-A-3-46292 disclose a conventional method. A polyimide film produced from a polyamic acid consisting of melitic dianhydride, paraphenylenediamine and 44'-diaminodiphenyl ether has been proposed, and furthermore, a diamine and an acid dianhydride are reacted in non-equivalent amounts in a further step. A method for producing a block component polyamic acid film has been proposed.

【0018】しかしながら、上記の従来方法では、金属
配線板基材として使用される場合に、高弾性率、低熱膨
張係数、アルカリエッチング性および製膜性を均衡して
高度に満たすポリイミドフィルムを得ることができず、
さらなる改良が求められていた。
However, in the above-mentioned conventional method, when used as a metal wiring board base material, a polyimide film satisfying a high degree of elasticity, a low coefficient of thermal expansion, an alkali etching property and a film forming property is obtained. Not be able to
Further improvements were required.

【0019】[0019]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した従
来技術における問題点の解決を課題として検討した結果
達成されたものであり、その表面に金属配線を施してな
る可撓性の印刷回路、CSP、BGAまたはTABテー
プ用の金属配線板基材に適用した場合に、高弾性率、低
熱膨張係数、アルカリエッチング性、および製膜性に優
れたポリイミドフィルム、その製造方法及びそれを基材
としてなる金属配線回路板を提供することを目的とする
ものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been achieved as a result of studying the above-mentioned problems in the prior art as a problem. A flexible printed circuit having metal wiring on the surface thereof has been achieved. Film having high elastic modulus, low coefficient of thermal expansion, alkali etching property, and film forming property when applied to metal wiring board base material for CSP, BGA or TAB tape, method for producing the same, and base material using the same It is an object of the present invention to provide a metal wiring circuit board as follows.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のポリイミドフィルムは、ピロメリット酸
二無水物、並びにフェニレンジアミン、メチレンジアニ
リン、及び3,4’−オキシジアニリンからなるポリア
ミド酸から製造され、かつ(1−a)〜(1−c)式を
満足することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the polyimide film of the present invention is composed of pyromellitic dianhydride, phenylenediamine, methylene dianiline, and 3,4'-oxydianiline. Characterized by satisfying the formulas (1-a) to (1-c).

【0021】 10モル%≦X≦60モル% ・・・(1−a)式 20モル%≦Y≦80モル% ・・・(1−b)式 10モル%≦Z≦70モル% ・・・(1−c)式 但し、Xは全ジアミン量を基準としたフェニレンジアミ
ンのモル% Yは全ジアミン量を基準としたメチレンジアニリンのモ
ル% Zは全ジアミン量を基準とした3,4’−オキシジアニ
リンのモル% また全酸無水物と全ジアミンとのモル比は約0.9から
1.1である。
10 mol% ≦ X ≦ 60 mol% Formula (1-a) 20 mol% ≦ Y ≦ 80 mol% Formula (1-b) 10 mol% ≦ Z ≦ 70 mol% Formula (1-c) where X is mol% of phenylenediamine based on total diamine amount Y is mol% of methylene dianiline based on total diamine amount Z is 3,4 based on total diamine amount The molar ratio of all anhydrides to all diamines is about 0.9 to 1.1.

【0022】また、本発明のポリイミドフィルムは、ブ
ロック成分または混交ポリマー成分を有するポリアミド
酸から製造されたことを特徴とする。
Further, the polyimide film of the present invention is characterized by being manufactured from a polyamic acid having a block component or a mixed polymer component.

【0023】なお、本発明のポリイミドフィルムにおい
ては、前記フェニレンジアミンがp−フェニレンジアミ
ンであることが好ましい条件であり、これらの条件を適
用することにより、更に優れた効果の取得を期待するこ
とができる。
In the polyimide film of the present invention, it is preferable that the phenylenediamine is p-phenylenediamine. By applying these conditions, it is expected that a more excellent effect can be obtained. it can.

【0024】また、本発明のポリイミドフィルムはポリ
イミドの一般的な製造方法を組み合わせることにより得
ることが出来るが、本発明を容易に得る事の出来る好ま
しい製造方法は、下記工程(A)〜(E)を順次行うこ
とを特徴とする。
The polyimide film of the present invention can be obtained by combining a general method for producing polyimide. Preferred production methods for easily obtaining the present invention include the following steps (A) to (E). ) Are sequentially performed.

【0025】(A)ピロメリット酸二無水物、フェニレ
ンジアミン、メチレンジアニリン及び3,4’−オキシ
ジアニリンを、不活性な溶剤中で、フェニレンジアミン
及びピロメリット酸二無水物とのブロック成分または混
交ポリマー成分を有するポリアミド酸を形成するよう
に、少なくともピロメリット酸二無水物、またはジアミ
ンを全使用量の1〜99重量%使用し反応させる工程、
(B)前記工程(A)からのポリアミド酸ポリマーに残
りの原料を追加使用し、最終的に全使用量の全量を使用
し反応させる工程、(C)前記工程(B)からのポリア
ミド酸溶液に、ポリアミド酸をポリイミドに転化するこ
とのできる転化用薬剤を混合する工程、(D)前記工程
(C)からの混合物を平滑面上にキャストまたは押出し
て、ポリアミド酸−ポリイミドゲルフィルムを形成する
工程、および(E)前記工程(D)からのゲルフィルム
を、200〜500℃の温度で加熱してポリアミド酸を
ポリイミドに変換する工程。
(A) Block component of pyromellitic dianhydride, phenylenediamine, methylene dianiline and 3,4'-oxydianiline in an inert solvent with phenylenediamine and pyromellitic dianhydride Or a step of reacting using at least pyromellitic dianhydride or a diamine in an amount of 1 to 99% by weight of the total amount to form a polyamic acid having a mixed polymer component,
(B) a step in which the remaining raw materials are additionally used in the polyamic acid polymer from the step (A), and finally a reaction is carried out by using all of the used amount; (C) a polyamic acid solution from the step (B) Mixing a conversion agent capable of converting polyamic acid to polyimide, and (D) casting or extruding the mixture from step (C) on a smooth surface to form a polyamic acid-polyimide gel film. And (E) heating the gel film from the step (D) at a temperature of 200 to 500 ° C. to convert the polyamic acid to polyimide.

【0026】なお、本発明のポリイミドフィルムの製造
方法においては、前記ポリアミド酸の(1)式が、 20モル%≦X≦50モル% ・・・(2−a)式 30モル%≦Y≦70モル% ・・・(2−b)式 10モル%≦Z≦50モル% ・・・(2−c)式 また全酸無水物と全ジアミンとのモル比は約0.98か
ら1.02である。更に、前記フェニレンジアミンがp
−フェニレンジアミンであることが好ましい条件であ
り、これらの条件を適用することにより、更に優れた効
果の取得を期待することができる。
In the method for producing a polyimide film of the present invention, the formula (1) of the polyamic acid is represented by the following formula: 20 mol% ≦ X ≦ 50 mol% (2-a) formula 30 mol% ≦ Y ≦ 70 mol% Formula (2-b) 10 mol% ≦ Z ≦ 50 mol% Formula (2-c) The molar ratio of all acid anhydrides to all diamines is about 0.98 to 1. 02. Further, the phenylenediamine is p
-Phenylenediamine is a preferable condition, and by applying these conditions, it is possible to expect a further excellent effect.

【0027】さらに、本発明の可撓性の印刷回路または
テープ自動化接合テープ用の金属配線板は、上記のポリ
イミドフィルムを基材として、その表面に金属配線を施
してなることを特徴とする。
Further, a metal wiring board for a flexible printed circuit or a tape automated bonding tape according to the present invention is characterized in that the above-mentioned polyimide film is used as a base material and metal wiring is provided on the surface thereof.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成及び効果につ
いて詳述する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration and effects of the present invention will be described below in detail.

【0029】本発明のフィルムを構成するポリイミド
は、ブロックポリマーか又はランダムポリマーか又は混
交ポリマーのいずれかであり得る。
The polyimide constituting the film of the present invention may be either a block polymer, a random polymer, or a mixed polymer.

【0030】好ましいブロック成分または混交ポリマー
成分は、フェニレンジアミン及びピロメリット酸二無水
物からなるポリアミド酸、または3,4’−オキシジア
ニリン及びピロメリット酸二無水物から成るポリアミド
酸であり、これらのブロック成分または混交ポリマー成
分を含有するポリアミド酸を形成後、イミド転化してブ
ロック成分または混交ポリマー成分を含有するポリイミ
ドとするものである。
The preferred block component or mixed polymer component is a polyamic acid composed of phenylenediamine and pyromellitic dianhydride, or a polyamic acid composed of 3,4'-oxydianiline and pyromellitic dianhydride. After forming a polyamic acid containing a block component or a mixed polymer component, the polyimide is converted to imide to obtain a polyimide containing a block component or a mixed polymer component.

【0031】ポリアミド酸を形成する反応は少なくとも
2回に分割して実行され、ブロック成分または混交ポリ
マー成分を含有するポリアミド酸を形成し、イミド転化
することによりポリイミド分子鎖に組み込まれる。
The reaction for forming the polyamic acid is carried out at least in two parts, and a polyamic acid containing a block component or a mixed polymer component is formed and incorporated into a polyimide molecular chain by imide conversion.

【0032】本発明のポリイミドフィルムにより、可撓
性の印刷回路、CSP、BGAまたはTABテープ用の
金属配線板基材に適用した場合に、高弾性率、低熱膨張
係数、アルカリエッチング性。製膜性を同時に満たすポ
リイミドフィルムを実現することができる。
When the polyimide film of the present invention is applied to a flexible printed circuit, a metal wiring board base material for CSP, BGA or TAB tape, it has a high elastic modulus, a low coefficient of thermal expansion, and alkali etching property. A polyimide film that satisfies film-forming properties at the same time can be realized.

【0033】そして、ポリイミドポリマにさらにブロッ
ク成分または混交ポリマー成分を組み込むことにより、
上記各特性をより好ましい範囲にすることができる。こ
の場合に特に好ましいブロック成分または混交ポリマー
成分は、フェニレンジアミン及びピロメリット酸二無水
物との反応により得られるものである。
By further incorporating a block component or a mixed polymer component into the polyimide polymer,
Each of the above characteristics can be set in a more preferable range. Particularly preferred block components or mixed polymer components in this case are those obtained by reaction with phenylenediamine and pyromellitic dianhydride.

【0034】本発明において使用されるジアミンには、
フェニレンジアミンのような直線性のジアミンと、3,
4’−オキシジアニリンのような擬直線性のジアミン
と、メチレンジアニリンのような屈曲性のジアミンがあ
る。本発明に置いてフェニレンジアミンはフィルムの弾
性率を高める作用をする。本発明の目的を阻害しない添
加量の範囲で他のジアミン類を併用できる。
The diamine used in the present invention includes:
A linear diamine, such as phenylenediamine, and 3,
There are pseudo-linear diamines such as 4'-oxydianiline and flexible diamines such as methylene dianiline. In the present invention, phenylenediamine acts to increase the modulus of the film. Other diamines can be used in combination within the range of the addition amount which does not inhibit the object of the present invention.

【0035】本発明に使用されるフェニレンジアミンに
は、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン
及びo−フェニレンジアミン等の他に、一部に置換基を
有するフェニレンジアミンを用いることができ、特に好
ましくはp−フェニレンジアミンが使用される。フィニ
レンジアミン量が10モル%未満では剛性が不足し、6
0モル%超過ではフィルム伸度が低い。メチレンジアニ
リンは比較的大量生産されているため入手が容易で安価
な芳香族ジアミンであり、柔軟性を付与する作用があ
る。メチレンジアニリン量が20モル%未満ではフィル
ム原価が高くなり、80モル%超過ではフィルム伸度が
不足する。本発明に置いて3,4’−オキシジアニリン
はフィルムの伸度を大きくし、製膜性を良好にする作用
をする。3,4’−オキシジアニリンが10モル%未満
ではフィルム伸度が不足する。又、90モル%超過では
ガラス転移温度が低くなり耐熱性が劣り、特に熱収縮率
が大きくなる。
As the phenylenediamine used in the present invention, in addition to p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine and the like, a phenylenediamine partially having a substituent can be used, and particularly preferred. Is p-phenylenediamine. If the amount of phenylenediamine is less than 10 mol%, the rigidity is insufficient, and 6
If it exceeds 0 mol%, the film elongation is low. Methylene dianiline is an aromatic diamine that is easily available and inexpensive because it is produced in relatively large quantities, and has the effect of imparting flexibility. When the amount of methylene dianiline is less than 20 mol%, the cost of the film increases, and when it exceeds 80 mol%, the elongation of the film becomes insufficient. According to the present invention, 3,4'-oxydianiline acts to increase the elongation of the film and improve the film forming property. When 3,4′-oxydianiline is less than 10 mol%, the film elongation becomes insufficient. On the other hand, if it exceeds 90 mol%, the glass transition temperature becomes low, the heat resistance becomes poor, and the heat shrinkage becomes particularly large.

【0036】本発明において使用されるテトラカルボン
酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物であるが、本発
明の目的を阻害しない添加量の範囲でテトラカルボン酸
二無水物他を併用できる。例えばビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物またはベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物などを50モル%未満添加することも可能であ
る。得られたポリアミド酸をイミド転化して製造され
る。
The tetracarboxylic dianhydride used in the present invention is pyromellitic dianhydride, but tetracarboxylic dianhydride and the like can be used in combination within a range of an addition amount which does not inhibit the object of the present invention. For example, less than 50 mol% of biphenyltetracarboxylic dianhydride or benzophenonetetracarboxylic dianhydride can be added. It is produced by imid conversion of the obtained polyamic acid.

【0037】ポリイミドフィルムの弾性率は、ポリアミ
ド酸を製造する際に使用するジアミン成分におけるフェ
ニレンジアミンおよび3,4’−オキシジアニリン成分
の使用比率によって調整できる。フェニレンジアミン成
分を多く使用すると、高弾性率及び寸法安定性が向上す
る反面、吸水率が高くなるという欠点がある。メチレン
ジアニリン成分を多く使用するとフィルムの伸度が小さ
くなり製膜性が悪くなる場合がある。したがって、それ
ぞれの特性値をバランスするために、各成分のモル比を
注意深く調製する必要がある。
The modulus of elasticity of the polyimide film can be adjusted by the use ratio of phenylenediamine and 3,4'-oxydianiline component in the diamine component used in producing polyamic acid. When a large amount of phenylenediamine component is used, high elastic modulus and dimensional stability are improved, but there is a disadvantage that water absorption is increased. If a large amount of methylene dianiline component is used, the elongation of the film becomes small, and the film-forming property may be deteriorated. Therefore, it is necessary to carefully adjust the molar ratio of each component in order to balance each characteristic value.

【0038】本発明のポリアミド酸は、175℃以下、
好ましくは90℃以下の温度で、上記テトラカルボン酸
二無水物成分とジアミン成分を、モル比を約0.90か
ら1.10、好ましくは0.95から1.05、更に好
ましくは0.98から1.02とし、それぞれの成分と
非反応性の有機溶剤中で反応させることにより製造され
る。
The polyamic acid of the present invention is 175 ° C. or less,
Preferably, at a temperature of 90 ° C. or lower, the above-mentioned tetracarboxylic dianhydride component and diamine component are mixed at a molar ratio of about 0.90 to 1.10, preferably 0.95 to 1.05, more preferably 0.98 to 0.98. From 1.02 to 1.02, and reacted with each component in a non-reactive organic solvent.

【0039】上記それぞれの成分は、単独で順次有機溶
剤中に供給してもよいし、同時に供給してもよく、また
混合した成分に有機溶剤を供給してもよいが、均一な反
応を行わせるためには、有機溶剤中に各成分を順次添加
することが好ましい。
Each of the above components may be independently and sequentially supplied to an organic solvent, or may be simultaneously supplied. Alternatively, an organic solvent may be supplied to a mixed component. In order to achieve this, it is preferable to sequentially add each component to the organic solvent.

【0040】それぞれの成分を順次供給する場合の供給
順序は、ブロック成分または混交ポリマー成分となるジ
アミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とを優先し
て供給することが好ましい。すなわち、ブロック成分ま
たは混交ポリマー成分を含有するポリアミド酸を製造す
るために、その反応を少なくとも2回に分割して実行さ
せ、まずブロック成分または混交ポリマー成分を含有す
るポリアミド酸を得てから、これをイミド転化すること
により、得られるポリイミドにブロック成分または混交
ポリマー成分を組み込ませるのである。
When the respective components are sequentially supplied, it is preferable to supply the diamine component and the tetracarboxylic dianhydride component, which are block components or mixed polymer components, in preference to the supply components. That is, in order to produce a polyamic acid containing a block component or a mixed polymer component, the reaction is carried out at least twice, and first, a polyamic acid containing a block component or a mixed polymer component is obtained. Is converted into imide, thereby incorporating a block component or a mixed polymer component into the obtained polyimide.

【0041】ポリアミド酸のブロック成分または混交ポ
リマー成分を生成するために必要な時間は、反応温度と
ブロック成分または混交ポリマー成分のポリアミド酸中
における比率で決定すればよいが、経験的には約1分か
ら約20時間程度が適当である。
The time required to form the polyamic acid block component or mixed polymer component may be determined by the reaction temperature and the ratio of the block component or mixed polymer component in the polyamic acid. About 20 minutes to about 20 hours is appropriate.

【0042】このとき後述するようにブロック成分を含
有するポリマーを形成するためには(A)反応工程中で
ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とは実質
的に非等モルである。また混交ポリマー成分を形成する
ためには反応工程中でジアミン成分とテトラカルボン酸
二無水物成分とは実質的に等モルであること、またはジ
アミン過剰の反応工程を経る場合はジカルボン酸無水物
で末端を封鎖する。ジアミン成分とテトラカルボン酸二
無水物成分とが実質的に等モルであること、またはジア
ミン過剰の反応工程でジカルボン酸無水物で末端を封鎖
することは、これらの反応工程で形成された第1番目の
ポリマー成分が化学的に不活性で後工程の反応で形成さ
れるポリイミドポリマーが第1番目のポリマー末端に組
み込まれないことを意味する。しかるに混交ポリマーの
第1成分の反応とその後のポリイミドを形成する反応と
が同一反応槽で行われることにより、モレキューラーコ
ンポジット(異なる分子同士の複合体)が形成され易く
なり第1番目の混交ポリマー成分の特徴がより発現でき
るのである。
At this time, as described later, in order to form a polymer containing a block component, the diamine component and the tetracarboxylic dianhydride component are substantially non-equimolar in the reaction step (A). Further, in order to form a mixed polymer component, the diamine component and the tetracarboxylic dianhydride component are substantially equimolar in the reaction step, or the dicarboxylic acid anhydride is used when the diamine excess reaction step is performed. Block ends. The fact that the diamine component and the tetracarboxylic dianhydride component are substantially equimolar, or that the terminal is blocked with a dicarboxylic anhydride in the reaction step in which the diamine is excess, is due to the first formed in these reaction steps. This means that the second polymer component is chemically inert and the polyimide polymer formed in the subsequent reaction is not incorporated at the first polymer end. However, since the reaction of the first component of the mixed polymer and the subsequent reaction of forming the polyimide are performed in the same reaction vessel, a molecular composite (composite of different molecules) is easily formed, and the first mixing is performed. The characteristics of the polymer component can be further exhibited.

【0043】具体的に、テトラカルボン酸二無水物成分
としてピロメリット酸二無水物(PMDA)、ジアミン
成分として、p−フェニレンジアミン(PDA)、メチ
レンジアニリン(MDA)と3,4’−オキシジアニリ
ン(34’ODA)を使用し、PMDAとPDAとから
なるブロック成分または混交ポリマー成分を含有するポ
リイミドポリマの製造例を以下に説明する。
Specifically, pyromellitic dianhydride (PMDA) is used as a tetracarboxylic dianhydride component, p-phenylenediamine (PDA), methylene dianiline (MDA) is used as a diamine component, and 3,4'-oxygen. A production example of a polyimide polymer using dianiline (34'ODA) and containing a block component or a mixed polymer component composed of PMDA and PDA will be described below.

【0044】まず、有機溶剤としてのジメチルアセトア
ミド(DMAc)に、PDAを溶解し、PMDAを加
え、ブロック成分または混交ポリマー成分の反応を完了
させる。次いで、溶液にMDAおよび34’ODAを加
え溶解した後、溶液にPMDAを加えて反応させること
により、PDAとPMDAとのブロック成分または混交
ポリマー成分を含有する4成分ポリアミド酸溶液が得ら
れる。
First, PDA is dissolved in dimethylacetamide (DMAc) as an organic solvent, and PMDA is added to complete the reaction of the block component or the mixed polymer component. Next, after adding and dissolving MDA and 34'ODA to the solution, PMDA is added to the solution and reacted to obtain a four-component polyamic acid solution containing a block component or a mixed polymer component of PDA and PMDA.

【0045】この場合に、最初に供給するPDAに微量
の34’ODAを添加したり、最初に反応させるPDA
とPMDAとのモル比を非等量にし、過剰量のジアミン
成分と十分に反応させる量の末端封止剤を添加すること
により、ブロック成分または混交ポリマー成分の大きさ
を制御することも可能であるが、ブロック成分または混
交ポリマー成分の効果を有効にするためには、PDAと
PMDAとのモル比を実質的に等量とする混交ポリマー
とすることが好ましい。
In this case, a small amount of 34 ′ ODA is added to the PDA supplied first, or the PDA to be reacted first is added.
It is also possible to control the size of the block component or mixed polymer component by making the molar ratio between PMDA and PMDA unequal, and adding an amount of an endcapping agent that sufficiently reacts with the excess diamine component. However, in order to make the effect of the block component or the mixed polymer component effective, it is preferable to use a mixed polymer in which the molar ratio between PDA and PMDA is substantially equal.

【0046】用いる末端封止剤は無水ジカルボン酸、シ
リル化剤などの末端封止剤を固形分(ポリマー濃度)に
対して0.001〜2%の範囲で添加することも好まし
く行うことが出来る。この無水ジカルボン酸として無水
酢酸または無水フタル酸、シリル化剤として非ハロゲン
系であるヘキサメチルジシラザン、N,O−(ビストリ
メチルシリル)アセトアミド、N,N−ビス(トリメチ
ルシリル)ウレアが特に好ましく用いられる。
The terminal capping agent to be used can be preferably added by adding a terminal capping agent such as dicarboxylic anhydride or silylating agent in the range of 0.001 to 2% based on the solid content (polymer concentration). . Acetic anhydride or phthalic anhydride is used as the dicarboxylic anhydride, and non-halogen hexamethyldisilazane, N, O- (bistrimethylsilyl) acetamide, and N, N-bis (trimethylsilyl) urea are particularly preferably used as the silylating agent. .

【0047】ポリアミド酸の製造は、その溶液のポリア
ミド酸濃度と溶液の粘度とでその終了点を決定される。
終了点の溶液の粘度を精度良く決定するためには、最後
に供給する成分の一部を、反応に使用する有機溶剤の溶
液として添加することは有効であるが、ポリアミド酸濃
度をあまり低下させないような調節が必要である。
The end point of the production of polyamic acid is determined by the polyamic acid concentration of the solution and the viscosity of the solution.
In order to accurately determine the viscosity of the solution at the end point, it is effective to add a part of the finally supplied component as a solution of an organic solvent used in the reaction, but it does not significantly reduce the polyamic acid concentration. Such adjustment is necessary.

【0048】溶液中のポリアミド酸濃度は、5ないし4
0重量%、好ましくは10ないし30重量%である。
The polyamic acid concentration in the solution is 5 to 4
0% by weight, preferably 10 to 30% by weight.

【0049】上記有機溶剤としては、それぞれの成分お
よび重合生成物であるポリアミド酸と非反応性であり、
成分の1つから全てを溶解でき、ポリアミド酸を溶解す
るものから選択するのが好ましい。
The organic solvent is non-reactive with the respective components and the polyamic acid as a polymerization product,
It is preferred to select from those which can dissolve all of the components and dissolve the polyamic acid.

【0050】望ましい有機溶剤としては、N,N−ジメ
チルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホル
ムアミド、N−メチル−2−ピロリドン等が挙げられ、
これらは単独でまたは混合使用することができ、場合に
よってはベンゼン等の貧溶媒と併用することも可能であ
る。
Preferred organic solvents include N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide,
N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, and the like,
These can be used alone or as a mixture, and in some cases, can be used in combination with a poor solvent such as benzene.

【0051】本発明のポリイミドフィルムを製造するに
際しては、かくして得られたポリアミド酸溶液を押出機
やギヤポンプで加圧して、ポリアミド酸フィルムの製造
工程に送液する。
In producing the polyimide film of the present invention, the polyamic acid solution thus obtained is pressurized by an extruder or a gear pump and sent to a polyamic acid film production step.

【0052】ポリアミド酸溶液は、原料に混入していた
り、重合工程で生成した異物、固形物及び高粘度の不純
物等を除去するためにフィルターされ、フィルム成形用
の口金やコーチングヘッドを通してフィルム状に成形さ
れ、回転または移動する支持体上に押出され、支持体か
ら加熱されて、ポリアミド酸が一部イミド転化したポリ
アミド酸−ポリイミドゲルフィルムが生成され、このゲ
ルフィルムが自己支持性となり、支持体から剥離可能と
なった時に支持体から剥離され、乾燥機に導入され、乾
燥機で加熱されて、溶剤を乾燥し、イミド転化を完了す
ることにより、ポリイミドフィルムが製造される。
The polyamic acid solution is filtered to remove foreign substances, solids, high-viscosity impurities and the like mixed in the raw materials or generated in the polymerization step, and formed into a film through a die for forming a film or a coating head. Molded, extruded onto a rotating or moving support, heated from the support to produce a polyamic acid-polyimide gel film in which the polyamic acid is partially imidized, and the gel film becomes self-supporting, The polyimide film is peeled off from the support when it can be peeled off from the support, introduced into a drier, heated by the drier to dry the solvent, and the imide conversion is completed to produce a polyimide film.

【0053】このとき、20μmカットの金属繊維焼結
フィルター用いることは、途中で生成されたゲル物の除
去に効果的である。更に好ましくは10μmカットの金
属繊維焼結フィルターであり、最も好ましくは1μmカ
ットの金属繊維焼結フィルターである。
At this time, the use of a 20 μm-cut sintered metal fiber filter is effective for removing the gel formed on the way. More preferred is a 10 μm cut metal fiber sintered filter, and most preferred is a 1 μm cut metal fiber sintered filter.

【0054】ポリアミド酸のイミド転化の方法は、加熱
のみによる熱転化法と、イミド転化薬剤を混合したポリ
アミド酸を加熱処理したり、またはポリアミド酸をイミ
ド転化薬剤の浴に浸漬する化学転化法のいずれも採用す
ることができるが、本発明においては、化学転化法が熱
転化法に比べて、可撓性の印刷回路、CSP、BGAま
たはTABテープ用の金属配線板基材にに適用した場合
に、高弾性率、低熱膨張係数、アルカリエッチング性よ
び製膜性を同時に実現するのに好適である。
Polyimides can be converted into imides by a thermal conversion method using only heating, a chemical conversion method in which a polyamic acid mixed with an imide conversion agent is heated, or a polyamic acid is immersed in a bath of an imide conversion agent. Although any of them can be adopted, in the present invention, the chemical conversion method is applied to a flexible printed circuit, a CSP, a metal wiring board base material for a BGA or TAB tape as compared with the thermal conversion method. In addition, it is suitable for simultaneously realizing a high elastic modulus, a low coefficient of thermal expansion, an alkali etching property and a film forming property.

【0055】しかも、化学転化法によってポリアミド酸
にイミド転化薬剤を混合し、フィルム状に成形後加熱処
理する方法は、イミド転化に要する時間が短く、均一に
イミド転化が行える等の利点に加え、支持体からの剥離
が容易であり、さらには、臭気が強く、隔離を必要とす
るイミド転化用薬剤を密閉系で取り扱える等の利点を有
することから、ポリアミド酸フィルム成形後に転化用薬
剤や脱水剤の浴に浸漬する方法に比べて好ましく採用さ
れる。
Further, the method of mixing a polyamic acid with an imidizing agent by a chemical conversion method, forming the film into a film, and performing a heat treatment is advantageous in that the time required for the imidization is short and the imidization can be performed uniformly. It is easy to peel off from the support, and furthermore, it has advantages such as strong odor and the ability to handle the imide conversion agent requiring isolation in a closed system. It is preferably employed as compared with the method of immersing in a bath.

【0056】本発明においては、イミド転化用薬剤とし
て、イミド転化を促進する3級アミン類と、イミド転化
で生成する水分を吸収する脱水剤とを併用する。3級ア
ミン類は、ポリアミド酸とほぼ等モルないしやや過剰に
添加混合され、脱水剤は、ポリアミド酸の約2倍モル量
ないしやや過剰に添加されるが、支持体からの剥離点を
調整するために適当に調整される。
In the present invention, a tertiary amine which promotes imidization and a dehydrating agent which absorbs water generated by imidization are used in combination as imidizing agents. The tertiary amines are added and mixed in an approximately equimolar or slightly excessive amount with the polyamic acid, and the dehydrating agent is added in an amount about 2 times the molar amount or slightly in excess of the polyamic acid. Adjusted appropriately for

【0057】そして、イミド転化用薬剤は、ポリアミド
酸を重合完了した時点から、ポリアミド酸溶液がフィル
ム成形用口金やコーチングヘッドに達するいかなる時点
で添加してもよいが、送液途中におけるイミド転化を防
止する意味では、フィルム成形用口金またはコーチング
ヘッドに到達する少し前に添加し、混合機で混合するの
が好ましい。
The imide conversion agent may be added at any time after the completion of the polymerization of the polyamic acid and the polyamic acid solution reaches the film forming die or the coating head. From the viewpoint of prevention, it is preferable to add the mixture shortly before reaching the film forming die or the coating head and mix the mixture with a mixer.

【0058】3級アミンとしては、ピリジンまたはβ−
ピコリンが好適であるが、α−ピコリン、4−メチルピ
リジン、イソキノリン、トリエチルアミン等も使用する
ことができる。使用量は、それぞれの活性によって調整
する。
As the tertiary amine, pyridine or β-
Although picoline is preferred, α-picoline, 4-methylpyridine, isoquinoline, triethylamine and the like can also be used. The amount used is adjusted according to the respective activity.

【0059】脱水剤としては、無水酢酸が最も一般的に
使用されるが、プロピオン酸無水物、酪酸無水物、安息
香酸、蟻酸無水物等も使用することができる。
As the dehydrating agent, acetic anhydride is most generally used, but propionic anhydride, butyric anhydride, benzoic acid, formic anhydride and the like can also be used.

【0060】イミド転化薬剤を含有するポリアミド酸フ
ィルムは、支持体上で支持体および反対面空間から受け
る熱により、イミド転化が進み、一部イミド転化したポ
リアミド酸−ポリイミドゲルフィルムとなり、支持体か
ら剥離される。
The polyamic acid film containing the imidization agent is converted into an imidized polyamic acid-polyimide gel film by heat received from the support and the space on the opposite side of the support. Peeled off.

【0061】この場合に、支持体および反対面空間から
与える熱量は多いほどイミド転化が促進されて、速く剥
離するが、熱量が多すぎると支持体とゲルフィルムの間
の有機溶剤のガスがゲルフィルムを変形させ、フィルム
の欠点となるので、剥離点の位置とフィルム欠点を勘案
して、熱量を決定することが望ましい。
In this case, the larger the amount of heat applied from the support and the space on the opposite surface, the more the imide conversion is promoted and the faster the exfoliation occurs. Since the film is deformed and becomes a defect of the film, it is desirable to determine the amount of heat in consideration of the position of the peeling point and the defect of the film.

【0062】支持体から剥離されたゲルフィルムは、乾
燥機に導入され、溶剤の乾燥およびイミド転化の完了が
なされる。
The gel film peeled from the support is introduced into a drier, and the solvent is dried and the imidization is completed.

【0063】このゲルフィルムは、多量の有機溶剤を含
有しており、その乾燥過程において体積が大幅に減少す
る。したがって、この体積減少による寸法収縮を厚さ方
向に集中させるために、ゲルフィルムの両端をテンター
クリップで把持し、このテンタークリップの移動により
ゲルフィルムを乾燥機(テンター)に導入し、テンター
内で加熱して、溶剤の乾燥とイミド転化とを一貫して実
施するのが一般的である。
This gel film contains a large amount of an organic solvent, and its volume is greatly reduced during the drying process. Therefore, in order to concentrate the dimensional shrinkage due to the volume reduction in the thickness direction, both ends of the gel film are gripped with a tenter clip, and the gel film is introduced into a dryer (tenter) by the movement of the tenter clip. It is common practice to heat and consistently perform solvent drying and imidization.

【0064】この乾燥及びイミド転化は、200〜50
0℃の温度で行われる。乾燥温度とイミド転化温度は同
一温度でもよいし、異なる温度でもよいが、溶剤を大量
に乾燥する段階では、低めの温度として溶剤の突沸を防
ぎ、溶剤の突沸のおそれがなくなったら、高温にしてイ
ミド転化を促進するように、段階的に高温にすることが
好ましい。
The drying and imidization are carried out at 200 to 50
It is performed at a temperature of 0 ° C. The drying temperature and the imide conversion temperature may be the same temperature or different temperatures, but in the stage of drying a large amount of the solvent, prevent the bumping of the solvent as a lower temperature, and when there is no possibility of bumping of the solvent, raise the temperature to a higher temperature. Preferably, the temperature is increased stepwise so as to promote imide conversion.

【0065】なお、テンター内において、フィルム両端
のテンタークリップの距離を拡大または縮小して、延伸
またはリラックスをおこなうことができる。延伸倍率と
して機械軸方向は1.0〜1.3倍である。幅方向の延
伸倍率は0.9〜1.3倍である。
In the tenter, the distance between the tenter clips at both ends of the film can be expanded or reduced to stretch or relax. The stretching ratio is 1.0 to 1.3 times in the machine axis direction. The stretching ratio in the width direction is 0.9 to 1.3 times.

【0066】好ましくはブロック成分または混交ポリマ
ー成分を含有し、化学転化法によりイミド転化して得ら
れるカットシート状のポリイミドフィルムは、上記のよ
うに製造した連続したフィルムから切り取って製造する
ことができるが、少量のフィルムを製造するには、後述
の実施例で示しているように、樹脂製やガラス製のフラ
スコ内で、好ましくはブロック成分または混交ポリマー
成分を含有するポリアミド酸を製造し、このポリアミド
酸溶液に化学転化薬剤を混合して得られる混合溶液を、
ガラス板等の支持体上にキャストし、加熱して、一部イ
ミド転化した自己支持性のポリアミド酸−ポリイミドゲ
ルフィルムとして、支持体から剥離し、金属製の固定枠
等に固定して寸法変化を防止しながら加熱して、溶剤の
乾燥およびイミド転化する方法により製造することがで
きる。
A cut sheet-like polyimide film preferably containing a block component or a mixed polymer component and obtained by imide conversion by a chemical conversion method can be produced by cutting from the continuous film produced as described above. However, to produce a small amount of film, as shown in Examples below, in a resin or glass flask, preferably to produce a polyamic acid containing a block component or mixed polymer component, A mixed solution obtained by mixing a chemical conversion agent with a polyamic acid solution,
Cast onto a support such as a glass plate, heat it, peel off from the support as a partially imidized self-supporting polyamic acid-polyimide gel film, fix it on a metal fixing frame, etc. and change the dimensions Can be produced by a method in which the solvent is dried and imide conversion is carried out by heating while preventing the occurrence of the solvent.

【0067】このようにして、化学転化法によりイミド
転化して得られる本発明のポリイミドフィルムは、熱転
化法により得られるポリイミドフィルムに比しても、可
撓性の印刷回路、CSP、BGAまたはTABテープ用
の金属配線板基材に適用した場合に、高弾性率、低熱膨
張係数、低吸湿膨張係数、低吸水率を同時に実現するの
に好適であり、なおかつ優れたアルカリエッチング性を
有するものである。
Thus, the polyimide film of the present invention obtained by the imide conversion by the chemical conversion method is more flexible than the polyimide film obtained by the thermal conversion method. When applied to a metal wiring board substrate for TAB tape, it is suitable for simultaneously realizing a high elastic modulus, a low coefficient of thermal expansion, a low coefficient of hygroscopic expansion, and a low water absorption, and has excellent alkali etching properties. It is.

【0068】したがって、本発明のポリイミドフィルム
を基材として、その表面に金属配線を施してなる可撓性
の印刷回路、CSP、BGAまたはTABテープ用の金
属配線板は、高弾性率、低熱膨張係数、アルカリエッチ
ング性、および製膜性を同時に満たすという高性能な特
性を発現するものである。
Therefore, a flexible printed circuit, a metal wiring board for CSP, BGA or TAB tape formed by applying a metal wiring on the surface of the polyimide film of the present invention as a base material, has a high elastic modulus and low thermal expansion. It expresses a high-performance characteristic that simultaneously satisfies a coefficient, an alkali etching property, and a film forming property.

【0069】なお、本発明のポリイミドフィルムにおい
ては、弾性率としては4GPa以上が好ましく、熱膨張
係数としては10〜20ppm/℃が好ましく、吸水率
は2%以下、特に好ましくは1%以下である。アルカリ
エッチング性についてはフィルムが溶解することが好ま
しい条件である。評価方法は下記するがアルカリ条件で
評価し表面の浸食速度で評価できる。アルカリエッチン
グ速度が早いと、CSPまたはBGAのスルーホール加
工の生産性が良い。
In the polyimide film of the present invention, the elastic modulus is preferably 4 GPa or more, the thermal expansion coefficient is preferably 10 to 20 ppm / ° C., and the water absorption is 2% or less, particularly preferably 1% or less. . With respect to the alkali etching property, it is a preferable condition that the film is dissolved. Although the evaluation method is described below, the evaluation can be performed under alkaline conditions and the erosion rate of the surface can be evaluated. When the alkali etching rate is high, the productivity of through hole processing of CSP or BGA is good.

【0070】半田浴工程を経る際300℃近い高温にフ
ィルムが晒されるため、熱収縮率は小さい方がよい。熱
収縮率が1%を超えると使用しにくい場合がある。好ま
しくは1%以下で、より好ましくは0.1%以下であ
る。
Since the film is exposed to a high temperature near 300 ° C. during the solder bath process, the smaller the heat shrinkage, the better. If the heat shrinkage exceeds 1%, it may be difficult to use. It is preferably at most 1%, more preferably at most 0.1%.

【0071】[0071]

【実施例】以下、実施例により、本発明を具体的に説明
するが、本発明は、これら実施例に限定されるものでは
ない。なお各フィルム特性値は、下記の方法で測定した
ものである。
EXAMPLES The present invention will now be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, each film characteristic value is measured by the following method.

【0072】また、下記の実施例中で、略号DMAcは
ジメチルアセトアミドを、PMDAはピロメリット酸二
無水物を、PDAはp−フェニレンジアミンを、MDA
はメチレンジアニリンを、また、34’ODAは3,
4’−オキシジアニリンを示す略記である。 (1)弾性率および破断伸度 弾性率は、JISK7113に準じて、室温でORIE
NREC社製のテンシロン型引張試験器により、引張速
度300mm/分にて得られる張力−歪み曲線の初期立
ち上がり部の勾配から求めた。
In the following examples, the abbreviations DMAc are dimethylacetamide, PMDA is pyromellitic dianhydride, PDA is p-phenylenediamine, and MDA is
Is methylene dianiline, and 34 'ODA is 3,
Abbreviation for 4'-oxydianiline. (1) Modulus of elasticity and elongation at break The modulus of elasticity was measured at room temperature according to JIS K7113 at room temperature.
It was determined from the slope of the initial rising portion of the tension-strain curve obtained at a tensile speed of 300 mm / min using a Tensilon type tensile tester manufactured by NREC.

【0073】破断伸度は試料が破断するときの伸度を取
った。 (2)熱膨張係数 熱膨張係数は、島津製作所社製のTMAー50型熱機械
分析装置を用い、10℃/分の昇温速度、5℃/分の降
温速度で、2回目の昇(降)温時の50℃から200℃
の間の寸法変化から求めた。 (3)吸水率 吸水率は、25℃で、95%RHに調湿した恒温恒湿機
(STPH−101、タバイエスペック(株)社製)中
に、48時間置いた後、乾燥状態との重量差を百分率で
求めた。 (4)アルカリエッチング性 アルカリエッチング性は、ポリイミドフィルムの一表面
を、容積比80/20のエタノール/水混合液中の1N
の水酸化カリウム溶液に、40℃で120分間接触させ
た前後のフィルムの厚さを、ミツトヨ社製のLITEM
ATIC型厚さ計で測定して求めた。評価基準は厚み変
化率に応じて以下のように判定した。
The elongation at break was taken as the elongation at break of the sample. (2) Coefficient of thermal expansion The coefficient of thermal expansion was measured using a TMA-50 thermomechanical analyzer manufactured by Shimadzu Corporation at a temperature rising rate of 10 ° C./min and a temperature decreasing rate of 5 ° C./min for the second time ( Fall) 50 ° C to 200 ° C at the time of temperature
It was determined from the dimensional change during. (3) Water Absorption The water absorption was measured in a constant temperature and humidity chamber (STPH-101, manufactured by Tabai Espec Corp.) at 25 ° C. and adjusted to 95% RH for 48 hours. The weight difference was determined as a percentage. (4) Alkali etching property The alkali etching property is as follows. One surface of the polyimide film is treated with a 1 / N solution of ethanol / water mixed solution having a volume ratio of 80/20.
The thickness of the film before and after contacting it with a potassium hydroxide solution at 40 ° C. for 120 minutes was measured using a Mitutoyo LITEM.
It was determined by measuring with an ATIC thickness gauge. Evaluation criteria were determined as follows according to the thickness change rate.

【0074】 ○ 厚さ変化率 5%以上 △ 厚さ変化率 1%以上5%未満 × 厚さ変化率 1%未満。○ Thickness change rate 5% or more △ Thickness change rate 1% or more and less than 5% × Thickness change rate less than 1%.

【0075】○レベルはポリイミドフィルムのアルカリ
エッチング処理工程でスルーホール加工速度が早く、良
好な生産性を示す。△レベルはスルーホール加工速度は
早くないが、実用レベルである。×レベルはスルーホー
ル加工速度が遅く、実用レベルでない。 (5)金属積層板の反り量評価 ポリイミドフィルムにポリイミドベースの接着剤を塗布
し、この上に銅箔を250℃の温度で貼り合わせた。そ
の後最高温度300℃まで昇温し接着剤を硬化させ、得
られた金属積層板を35mm×120mmのサンプルサ
イズにカットし、25℃、60RH%雰囲気中で24時
間放置した後、それぞれのサンプルの反りを測定した。
反りはサンプルをガラス平板に置き、四隅の高さを測定
平均化した。評価基準は反り量に応じて以下のように判
定した。
At the level ○, the through-hole processing speed was high in the alkaline etching step of the polyimide film, indicating good productivity. The △ level is a practical level, though the through hole processing speed is not fast. At the × level, the through-hole processing speed is low, which is not a practical level. (5) Evaluation of the amount of warpage of the metal laminate A polyimide-based adhesive was applied to the polyimide film, and a copper foil was bonded thereon at a temperature of 250 ° C. Thereafter, the temperature was raised to a maximum temperature of 300 ° C. to cure the adhesive, and the obtained metal laminate was cut into a sample size of 35 mm × 120 mm, left at 25 ° C. and 60% RH in an atmosphere for 24 hours. Warpage was measured.
For the warpage, the sample was placed on a glass plate, and the heights of the four corners were measured and averaged. The evaluation criteria were determined as follows according to the amount of warpage.

【0076】 ○ 反り量 1mm未満 △ 反り量 1mm以上3mm未満 × 反り量 3mm以上 ×レベルは金属配線回路板として用いる場合、後工程の
搬送時に取り扱いが困難となるレベルである。 (6)製膜性 用意したフィルムを研究用高分子フィルム二軸延伸装置
(BIX−703、(株)岩本製作所社製)により、4
00℃で両軸当速度二軸延伸方式により延伸させフィル
ム破断面積を求めた。予熱時間60秒、片側延伸速度1
0cm/min、 ◎ 極めて良好 破断延伸面倍率が1.3倍
を超える。
○ The amount of warpage is less than 1 mm △ The amount of warpage is 1 mm or more and less than 3 mm × The amount of warpage is 3 mm or more × When using as a metal wiring circuit board, the level is a level at which handling becomes difficult when transported in a post-process. (6) Film-forming property The prepared film was converted into a polymer film by a biaxial stretching apparatus for research (BIX-703, manufactured by Iwamoto Seisakusho Co., Ltd.).
The film was stretched at 00 ° C. by a biaxial stretching method at a biaxial equivalence to determine a film breaking area. Preheating time 60 seconds, unilateral stretching speed 1
0 cm / min, extremely good The stretch ratio at break exceeds 1.3 times.

【0077】○ 良好 破断延伸面倍
率が1.1倍〜1.2倍。
Good The stretch ratio at break is 1.1 to 1.2 times.

【0078】△ 実用上問題ない 破断延伸面倍
率が1倍〜1.1倍。
(2) No problem in practical use.

【0079】× 製膜困難 破断延伸面倍
率が1倍以下。 (7)熱収縮率 JIS−C2318に従って、300℃、1時間後の加
熱前後の寸法変化率を測定する。
× Difficult to form a film: The stretch-to-break area ratio was 1 or less. (7) Heat Shrinkage The dimensional change before and after heating at 300 ° C. for 1 hour is measured according to JIS-C2318.

【0080】熱収縮率C(%)=100(A−B)/A 但し、A・・・加熱前のフィルム寸法 B・・・加熱後のフィルム寸法 ○ 0.05%以下 △ 0.05%〜0.1%以下 × 0.1%を超える。 [実施例1]500ccのガラス製フラスコに、DMA
c150mlを入れ、PDAをDMAc中に供給して溶
解させ、続いて、MDA、34’ODA及びPMDAを
順次供給し、室温で、約1時間攪拌する。最終的にテト
ラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分が約100モ
ル%化学量論で表1に示す組成の成分からなるポリアミ
ド酸濃度20重量%の溶液を調製した。
Heat shrinkage C (%) = 100 (A−B) / A, where A: film size before heating B: film size after heating ○ 0.05% or less △ 0.05% ~ 0.1% or less × Exceeds 0.1%. [Example 1] DMA was placed in a 500 cc glass flask.
Add 150 ml of c, feed PDA into DMAc to dissolve, then feed MDA, 34'ODA and PMDA sequentially and stir at room temperature for about 1 hour. Finally, a solution having a polyamic acid concentration of 20% by weight comprising a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component having a stoichiometry of about 100 mol% and a composition shown in Table 1 was prepared.

【0081】このポリアミド酸溶液30gを、12.7
mlのDMAc、3.6mlの無水酢酸及び3.6ml
のβ−ピコリンと混合した混合溶液を調製し、この混合
溶液をガラス板上にキャストした後、150℃に加熱し
たホットプレート上で約4分間加熱して、自己支持性の
ポリアミド酸−ポリイミドゲルフィルムを形成し、これ
をガラス板から剥離した。
30 g of this polyamic acid solution was added to 12.7
ml of DMAc, 3.6 ml of acetic anhydride and 3.6 ml
A mixed solution prepared by mixing with β-picoline was prepared, and the mixed solution was cast on a glass plate, and then heated on a hot plate heated to 150 ° C. for about 4 minutes to form a self-supporting polyamic acid-polyimide gel. A film was formed and peeled from the glass plate.

【0082】このゲルフィルムを、多数のピンを備えた
金属製の固定枠に固定し、250℃から330℃に昇温
しながら30分間、その後400℃で約5分間加熱し、
厚さ約25μmのポリイミドフィルムを得た。
This gel film was fixed to a metal fixing frame provided with a large number of pins, and was heated for 30 minutes while raising the temperature from 250 ° C. to 330 ° C., and then heated at 400 ° C. for about 5 minutes.
A polyimide film having a thickness of about 25 μm was obtained.

【0083】得られたポリイミドフィルムの特性値評価
結果を表1に示した。 [実施例2〜4]500ccのガラス製フラスコに、D
MAc150mlを入れ、PDAをDMAc中に供給し
て溶解させ、続いてPMDAを供給し、室温で約1時間
攪拌した。このポリアミド酸溶液にMDAおよび34’
ODAを供給し、完全に溶解させた後室温で約1時間攪
拌した。引き続きジアミン成分に対して1モル%の無水
フタル酸を添加し更に約1時間攪拌し、テトラカルボン
酸二無水物成分とジアミン成分が約100モル%化学量
論で表1に示す組成の成分からなるポリアミド酸濃度2
0重量%の溶液を調製した。
Table 1 shows the evaluation results of the characteristic values of the obtained polyimide film. [Examples 2 to 4] In a 500 cc glass flask, D was added.
150 ml of MAc was charged, and PDA was supplied and dissolved in DMAc, followed by supply of PMDA, followed by stirring at room temperature for about 1 hour. MDA and 34 'were added to this polyamic acid solution.
After supplying ODA and completely dissolving, the mixture was stirred at room temperature for about 1 hour. Subsequently, 1 mol% of phthalic anhydride with respect to the diamine component is added, and the mixture is further stirred for about 1 hour. Polyamic acid concentration 2
A 0% by weight solution was prepared.

【0084】このポリアミド酸濃度20重量%の溶液を
実施例1と同じ方法で処理して、厚さ約25μmのポリ
イミドフィルムを得た。
The solution having a polyamic acid concentration of 20% by weight was treated in the same manner as in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of about 25 μm.

【0085】得られたポリイミドフィルムの特性値評価
結果を表1に併せて示した。
The results of evaluating the characteristic values of the obtained polyimide film are also shown in Table 1.

【0086】[0086]

【表1】 [実施例5〜7]500ccのガラス製フラスコに、D
MAc150mlを入れ、PDAをDMAc中に供給
し、溶解させ、続いてPMDAを供給し、室温で、約1
時間攪拌した。引き続きジアミン成分に対して1モル%
の無水酢酸を添加し更に約1時間攪拌し(第一ポリマー
の重合完了)、このポリアミド酸溶液にMDAおよび3
4’ODAを供給し、完全に溶解させた後、PMDAを
供給し、室温で約1時間攪拌し(第二ポリマーの重合完
了)、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分が
約100モル%化学量論で表2に示す組成の成分からな
るポリアミド酸濃度23重量%の溶液を調製した。
[Table 1] [Examples 5 to 7] In a 500 cc glass flask, D was added.
Add 150 ml of MAc, feed and dissolve PDA in DMAc, then feed PMDA, at room temperature about 1
Stirred for hours. Subsequently, 1 mol% based on the diamine component
Acetic anhydride was added and stirred for about 1 hour (polymerization of the first polymer was completed).
After 4 ′ ODA was supplied and completely dissolved, PMDA was supplied, and the mixture was stirred at room temperature for about 1 hour (polymerization of the second polymer was completed), and the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component were about 100 mol%. A stoichiometric solution having a polyamic acid concentration of 23% by weight was prepared from components having the compositions shown in Table 2.

【0087】このポリアミド酸溶液を、実施例1と同じ
方法で処理して、厚さ約50μmのポリイミドフィルム
を得た。
This polyamic acid solution was treated in the same manner as in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of about 50 μm.

【0088】得られたポリイミドフィルムの特性値評価
結果を表2に示した。
Table 2 shows the evaluation results of the characteristic values of the obtained polyimide film.

【0089】[0089]

【表2】 [比較例1]500ccのガラス製フラスコに、DMA
c150mlを入れ、MDAおよび34’ODAをDM
Ac中に供給して溶解させ、PMDAを溶解させ、室温
で、約1時間攪拌し、テトラカルボン酸二無水物成分と
ジアミン成分が約100モル%化学量論で表3に示す組
成の成分からなるポリアミド酸濃度20重量%の溶液を
調製した。
[Table 2] [Comparative Example 1] DMA was placed in a 500 cc glass flask.
c 150 ml, add MDA and 34 'ODA to DM
Ac and dissolve it in Ac, dissolve PMDA, and stir at room temperature for about 1 hour. The tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component have a composition of about 100 mol% stoichiometry shown in Table 3 A solution having a polyamic acid concentration of 20% by weight was prepared.

【0090】このポリアミド酸溶液を、実施例1と同じ
方法で処理して、厚さ約25μmのポリイミドフィルム
を得た。
This polyamic acid solution was treated in the same manner as in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of about 25 μm.

【0091】得られたポリイミドフィルムの特性値評価
結果を表3に示した。 [比較例2〜6]比較例1に準じて、500ccのガラ
ス製フラスコに、DMAc150mlを入れ、表3に示
す原料およびその組成物をDMAc中に順次供給して溶
解させ、室温で約1時間攪拌し、テトラカルボン酸二無
水物成分とジアミン成分が約100モル%化学量論で表
3に示す組成の成分からなるポリアミド酸濃度またはポ
リアミド酸濃度20重量%の溶液を調製した。
Table 3 shows the characteristic value evaluation results of the obtained polyimide film. [Comparative Examples 2 to 6] In accordance with Comparative Example 1, 150 ml of DMAc was placed in a 500 cc glass flask, and the raw materials and compositions shown in Table 3 were sequentially supplied and dissolved in DMAc, and the resulting mixture was allowed to stand at room temperature for about 1 hour. Stirring was performed to prepare a solution having a polyamic acid concentration or a polyamic acid concentration of 20% by weight in which the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component had a stoichiometric composition of about 100 mol% and a composition shown in Table 3.

【0092】このポリアミド酸溶液またはポリアミド酸
溶液を、実施例1と同じ方法で処理して、厚さ約25μ
mのポリイミドフィルムを得た。
This polyamic acid solution or polyamic acid solution was treated in the same manner as in Example 1 to a thickness of about 25 μm.
m was obtained.

【0093】得られたポリイミドフィルムの特性値評価
結果を表3に併せて示した。
Table 3 also shows the evaluation results of the characteristic values of the obtained polyimide film.

【0094】[0094]

【表3】 表1、表2および表3に記載された結果から明らかなよ
うに、PMDA、PPDおよび34’ODAからなる化
学転化法で得られた本発明のランダムポリイミドフィル
ムおよびブロックポリイミドフィルムは、2成分ポリイ
ミドフィルムに比較して、高弾性率、低熱膨張係数、ア
ルカリエッチング性、および製膜性を同時に満足してお
り、可撓性の印刷回路,CSP,BGAまたはTABテ
ープ用の金属配線板基材としての好適な性能を有するも
のである。
[Table 3] As is clear from the results shown in Tables 1, 2 and 3, the random polyimide film and block polyimide film of the present invention obtained by the chemical conversion method comprising PMDA, PPD and 34 'ODA are two-component polyimide. Compared with film, it has high elastic modulus, low coefficient of thermal expansion, alkali etching property, and film forming property at the same time, and is used as a metal substrate for flexible printed circuit, CSP, BGA or TAB tape. It has a suitable performance.

【0095】[0095]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のポリイミ
ドフィルムは、熱転化法により得られるポリイミドフィ
ルムに比しても、可撓性の印刷回路,CSP,BGAま
たはTABテープ用の金属配線板基材に適用した場合
に、高弾性率、低熱膨張係数、アルカリエッチング性、
および優れた製膜性を有するものである。
As described above, the polyimide film of the present invention is more flexible than a polyimide film obtained by a thermal conversion method, because it is a flexible printed circuit, a metal wiring board for CSP, BGA or TAB tape. When applied to a substrate, high elastic modulus, low coefficient of thermal expansion, alkali etching property,
And has excellent film-forming properties.

【0096】したがって、本発明のポリイミドフィルム
を基材として、その表面に金属配線を施してなる可撓性
の印刷回路,CSP,BGAまたはTABテープ用の金
属配線板は、高弾性率、低熱膨張係数、低吸湿膨張係
数、低吸水率及びアルカリエッチング性を同時に満たす
という高性能な特性を発現する。
Therefore, a flexible printed circuit, a metal wiring board for CSP, BGA or TAB tape formed by applying a metal wiring to the surface of the polyimide film of the present invention as a base material, has a high elastic modulus and a low thermal expansion. A high-performance characteristic that simultaneously satisfies a coefficient, a low coefficient of hygroscopic expansion, a low water absorption and an alkali etching property.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B29K 79:00 B29K 79:00 B29L 7:00 B29L 7:00 C08L 79:08 C08L 79:08 A (72)発明者 沢崎 孔一 愛知県東海市新宝町31番地6 東レ・デュ ポン株式会社東海事業場内 Fターム(参考) 4F071 AA60 AF20 AF62 AG28 AH13 BB02 BB06 BC01 4F205 AA40A AC05 GA07 GB02 GE24 GW06 GW31 4J043 PA05 PA08 PA09 PA19 PB21 PB22 PB23 QB26 QB31 RA35 SB04 TA22 TB01 TB02 UA121 UA122 UA131 UA132 UB011 UB121 UB152 VA012 VA041 VA052 XA16 XA19 XB35 YA06 YA08 ZA04 ZA23 ZA32 ZA33 ZA60 ZB11 ZB50 5F044 MM03 MM06 MM48 Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) // B29K 79:00 B29K 79:00 B29L 7:00 B29L 7:00 C08L 79:08 C08L 79:08 A (72) Inventor Koichi Sawazaki 31-6, Shintakara-cho, Tokai-shi, Aichi Prefecture F-term (reference) 4F071 AA60 AF20 AF62 AG28 AH13 BB02 BB06 BC01 4F205 AA40A AC05 GA07 GB02 GE24 GW06 GW31 4J043 PA05 PA08 PA09 PA09 PB21 PB22 PB23 QB26 QB31 RA35 SB04 TA22 TB01 TB02 UA121 UA122 UA131 UA132 UB011 UB121 UB152 VA012 VA041 VA052 XA16 XA19 XB35 YA06 YA08 ZA04 ZA23 ZA32 ZA33 ZA60 ZB11 ZB50 5F046MM48

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ピロメリット酸二無水物、並びにフェニ
レンジアミン、メチレンジアニリン、及び3,4’−オ
キシジアニリンからなるポリアミド酸から製造され、か
つ(1−a)〜(1−c)式を満足することを特徴とす
るポリイミドフィルム。 10モル%≦X≦60モル% ・・・(1−a)式 20モル%≦Y≦80モル% ・・・(1−b)式 10モル%≦Z≦70モル% ・・・(1−c)式 但し、Xは全ジアミン量を基準としたフェニレンジアミ
ンのモル% Yは全ジアミン量を基準としたメチレンジアニリンのモ
ル% Zは全ジアミン量を基準とした3,4’−オキシジアニ
リンのモル% また全酸無水物と全ジアミンとのモル比は約0.9から
1.1である。
1. A polymer prepared from pyromellitic dianhydride and a polyamic acid comprising phenylenediamine, methylene dianiline and 3,4'-oxydianiline, and represented by the formulas (1-a) to (1-c): A polyimide film characterized by satisfying the following. 10 mol% ≦ X ≦ 60 mol% Formula (1-a) Formula 20 mol% ≦ Y ≦ 80 mol% Formula (1-b) Formula 10 mol% ≦ Z ≦ 70 mol% (1) Where X is the mole% of phenylenediamine based on the total amount of diamine, Y is the mole% of methylene dianiline based on the total amount of diamine, and Z is 3,4′-oxy based on the total amount of diamine. Mole% of dianiline The molar ratio of total anhydride to total diamine is about 0.9 to 1.1.
【請求項2】 ブロック成分または混交ポリマー成分を
有するポリアミド酸から製造されたことを特徴とする請
求項1に記載のポリイミドフィルム。
2. The polyimide film according to claim 1, wherein the polyimide film is produced from a polyamic acid having a block component or a mixed polymer component.
【請求項3】 前記フェニレンジアミンがp−フェニレ
ンジアミンであることを特徴とする請求項1〜2のいず
れか1項に記載のポリイミドフィルム。
3. The polyimide film according to claim 1, wherein the phenylenediamine is p-phenylenediamine.
【請求項4】 下記工程(A)〜(E)を順次行うこと
を特徴とするブロック成分または混交ポリマー成分を有
するポリイミドフィルムの製造方法。 (A)ピロメリット酸二無水物、フェニレンジアミン、
メチレンジアニリン及び3,4’−オキシジアニリン
を、不活性な溶剤中で、フェニレンジアミン及びピロメ
リット酸二無水物とのブロック成分または混交ポリマー
成分を有するポリアミド酸を形成するように、少なくと
もピロメリット酸二無水物、またはジアミンを全使用量
の1〜99重量%使用し反応させる工程、 (B)前記工程(A)からのポリアミド酸ポリマーに残
りの原料を追加使用し、最終的に全使用量の全量を使用
し反応させる工程、 (C)前記工程(B)からのポリアミド酸溶液に、ポリ
アミド酸をポリイミドに転化することのできる転化用薬
剤を混合する工程、 (D)前記工程(C)からの混合物を平滑面上にキャス
トまたは押出して、ポリアミド酸−ポリイミドゲルフィ
ルムを形成する工程、および (E)前記工程(D)からのゲルフィルムを、200〜
500℃の温度で加熱してポリアミド酸をポリイミドに
変換する工程。
4. A method for producing a polyimide film having a block component or a mixed polymer component, which comprises sequentially performing the following steps (A) to (E). (A) pyromellitic dianhydride, phenylenediamine,
Methylene dianiline and 3,4'-oxydianiline are combined in an inert solvent with at least pyrroleic acid to form a polyamic acid having a block component or a mixed polymer component with phenylenediamine and pyromellitic dianhydride. A step of using 1 to 99% by weight of the total amount of melitic dianhydride or diamine to cause a reaction, and (B) adding the remaining raw materials to the polyamic acid polymer from the step (A), (C) mixing the polyamic acid solution from the step (B) with a conversion agent capable of converting a polyamic acid into a polyimide, and (D) the step (D) Casting or extruding the mixture from C) onto a smooth surface to form a polyamic acid-polyimide gel film; and The gel film from a), 200
Converting polyamic acid to polyimide by heating at a temperature of 500 ° C.
【請求項5】請求項1に記載のポリイミドフィルムを、
請求項4に記載の方法で製造することを特徴とするポリ
イミドフィルムの製造方法。
5. The polyimide film according to claim 1,
A method for producing a polyimide film, which is produced by the method according to claim 4.
【請求項6】 前記ポリアミド酸の(1−a)〜(1−
c)式が、下記(2−a)〜(2−c)であることを特
徴とする請求項5に記載のポリイミドフィルムの製造方
法。 20モル%≦X≦50モル% ・・・(2−a)式 30モル%≦Y≦70モル% ・・・(2−b)式 10モル%≦Z≦50モル% ・・・(2−c)式 また全酸無水物と全ジアミンとのモル比は約0.98か
ら1.02である。
6. The polyamic acids (1-a) to (1-a)
The method for producing a polyimide film according to claim 5, wherein c) the following formulas (2-a) to (2-c). 20 mol% ≦ X ≦ 50 mol% Formula (2-a) 30 mol% ≦ Y ≦ 70 mol% Formula (2-b) Formula 10 mol% ≦ Z ≦ 50 mol% (2 -C) Formula The molar ratio of all anhydrides to all diamines is about 0.98 to 1.02.
【請求項7】 請求項1〜6のいずれか1項に記載のポ
リイミドフィルムを基材として、その表面に金属配線を
施してなることを特徴とする可撓性の印刷回路またはテ
ープ自動化接合テープ用の金属配線板。
7. A flexible printed circuit or tape automated bonding tape, comprising a polyimide film according to claim 1 as a base material and metal wiring applied to the surface thereof. For metal wiring board.
JP2001251095A 2000-08-24 2001-08-22 Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material Pending JP2002155140A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001251095A JP2002155140A (en) 2000-08-24 2001-08-22 Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000253421 2000-08-24
JP2000-253421 2000-08-24
JP2001251095A JP2002155140A (en) 2000-08-24 2001-08-22 Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002155140A true JP2002155140A (en) 2002-05-28

Family

ID=26598353

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001251095A Pending JP2002155140A (en) 2000-08-24 2001-08-22 Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002155140A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003206353A (en) * 2002-01-10 2003-07-22 Du Pont Toray Co Ltd Polyimide film and metal wiring board using the same as a base material
WO2007083909A1 (en) * 2006-01-20 2007-07-26 Kolon Industries, Inc. Polyimide film
JP2007201441A (en) * 2005-12-27 2007-08-09 Du Pont Toray Co Ltd Chip on film
WO2008010409A1 (en) * 2006-07-18 2008-01-24 Kaneka Corporation Polyimide film
KR101301759B1 (en) 2005-12-27 2013-08-30 듀폰 도레이 컴파니, 리미티드 Chip on film
JPWO2015166783A1 (en) * 2014-04-30 2017-04-20 富士フイルム株式会社 Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module, and method of manufacturing thermoelectric conversion element
JP2021500464A (en) * 2017-10-23 2021-01-07 ピーアイ アドヴァンスド マテリアルズ カンパニー リミテッドPI Advanced Materials CO., Ltd. Polyimide film for roll type graphite sheet

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003206353A (en) * 2002-01-10 2003-07-22 Du Pont Toray Co Ltd Polyimide film and metal wiring board using the same as a base material
JP2007201441A (en) * 2005-12-27 2007-08-09 Du Pont Toray Co Ltd Chip on film
KR101301759B1 (en) 2005-12-27 2013-08-30 듀폰 도레이 컴파니, 리미티드 Chip on film
WO2007083909A1 (en) * 2006-01-20 2007-07-26 Kolon Industries, Inc. Polyimide film
WO2008010409A1 (en) * 2006-07-18 2008-01-24 Kaneka Corporation Polyimide film
JPWO2015166783A1 (en) * 2014-04-30 2017-04-20 富士フイルム株式会社 Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module, and method of manufacturing thermoelectric conversion element
JP2021500464A (en) * 2017-10-23 2021-01-07 ピーアイ アドヴァンスド マテリアルズ カンパニー リミテッドPI Advanced Materials CO., Ltd. Polyimide film for roll type graphite sheet

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1182222B1 (en) Polyimide film, method of manufacture, and metal interconnect board with polyimide film substrate
US6908685B2 (en) Polyimide film, method of manufacture, and metal interconnect board with polyimide film substrate
EP1184407B1 (en) Polyimide film, method of manufacture, and metal interconnect board with polyimide film substrate
JP4260530B2 (en) Method for producing polyimide film
JP5362752B2 (en) Polyamic acid composition, polyimide, polyimide film and method for producing them
JP2004068002A (en) Method for producing polyimide mixed film and metal wiring circuit board using the same
JP2000119521A (en) Copolymerized polyimide film, method for producing the same, and metal wiring circuit board using the same as a base material
JP2003335874A (en) Polyimide film
JP2003176370A (en) Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material
JP2002138152A (en) Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material
JP2002155140A (en) Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material
JP3687044B2 (en) Copolymerized polyimide film and method for producing the same
JP2000119419A (en) Copolymerized polyimide film, method for producing the same, and metal wiring circuit board using the same as a base material
JP2000080178A (en) Copolymerized polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material
JP2000080165A (en) Copolymerized polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same as a base material
JP2003073473A (en) Polyimide film, its production method and use
JP3944874B2 (en) Polyimide film, method for producing the same, and metal wiring board using the same
JPH10298286A (en) Copolymerized polyimide film having block component, method for producing the same, and metal wiring circuit board using the same as base material
JP2002053818A (en) Adhesive composition
JP7101352B2 (en) Polyimide, polyimide film, polyimide metal laminate, and polyamic acid
JP5754692B2 (en) Method for producing polyimide film
JP2003206353A (en) Polyimide film and metal wiring board using the same as a base material
JP2000119418A (en) Polyimide blend film, method for producing the same, and metal wiring circuit board using the same as a base material
JP2004143234A (en) Polyamic acid composition, polyimide blend film, method for producing the same, and metal wiring circuit board using the same as a base material
JP5196344B2 (en) Method for improving adhesion of polyimide film