JP2002038195A

JP2002038195A - 洗浄剤、この洗浄剤の製造方法、この洗浄剤の製造装置、及び、この洗浄剤を用いた洗浄方法

Info

Publication number: JP2002038195A
Application number: JP2000226433A
Authority: JP
Inventors: Koji Sotoe; 浩司外江; Akira Narita; 章成田
Original assignee: CLOSS CO Ltd; STARTACK KK
Current assignee: CLOSS CO Ltd; STARTACK KK
Priority date: 2000-07-27
Filing date: 2000-07-27
Publication date: 2002-02-06

Abstract

(57)【要約】【課題】工業用の洗浄剤において、高い安全性を確保
すると共に、洗浄能力の極めて優れた洗浄剤を提供す
る。【解決手段】本願発明に係る洗浄剤は、電解補助剤添
加装置１５にて、純水にクエン酸を加えた後、電圧を掛
けて得た電解水を有することを特徴とする。これにて、
人体に対する安全性の面での問題が完全に払拭され、特
に、金属イオン（アルカリ金属）の混入を極端に嫌う半
導体の研磨装置などの洗浄においても、そのような影響
を完全に排除したものであり、その上で、極めて高い洗
浄力を獲得した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、洗浄剤と、この
洗浄剤の製造方法と、この洗浄剤の製造装置と、この洗
浄剤を用いた洗浄方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、高温で溶融金属を噴射さ
せる溶射装置の銅製のノズル部分は、循環冷却水と常に
接しており、この部分には作動時間と共に必ずカーボン
状の黒い皮膜が付着してくる。この皮膜がノズルの冷却
能力を低下させ、延いてはノズルの寿命を短くしてい
る。このカーボン状の皮膜は、通常の洗浄では落ちず、
その除去には労力と手間が掛かるものとなっていた。更
に、半導体の研磨装置などの洗浄に際して、研磨装置に
付着したスラリーの除去は、簡単に行えるものではな
く、従来多大な労力を要求されるものとなっていた。特
に、このような半導体を扱う装置については、ナトリウ
ムやカリウムなどの金属イオン（特にアルカリ金属）の
混入が嫌われ、洗浄に使用できる洗浄剤も制限された。

【０００３】一方、強酸を洗浄液として、洗浄すること
も場合によっては行われるが、劇薬を使用することは、
作業者の安全面の確保や、洗浄後に生じる廃液の処理な
ど、環境保全の面で、大きな手間とコストを要求される
ものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の状況を鑑み、本
願発明は、上記の各洗浄に適した洗浄剤の提供を図り、
上記の課題の解決を図る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本願の第１の発明に係る
洗浄剤は、クエン酸、アスコルビン酸、シュウ酸、酢
酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを含む電解補
助剤を加えた水に、電圧を掛けて得た電解水を有するこ
とを特徴とする。尚、ここでいう洗浄剤とは、洗剤を指
すことは勿論、洗浄の補助剤即ち洗剤と共に使用されそ
の洗浄効果を促進する洗浄促進剤を含む。この点につい
て以下同様である。

【０００６】このような構成を採ることにより、本願第
１の発明に係る洗浄剤は、水に対して、人体に及ぼす影
響の少ないクエン酸、アスコルビン酸、シュウ酸、酢
酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを含む電解補
助剤を加えると共に、電圧を掛けることにて、洗浄能力
を高めた。即ち、安全性の高い酸を用いると共に、この
ような酸を加えた水に電圧を掛けることにて、高い洗浄
能力を獲得した。

【０００７】本願第２の発明に係る洗浄剤は、純水にク
エン酸を加えた後、電圧を掛けて得た電解水を有するこ
とを特徴とする。

【０００８】本願第２の発明に係る洗浄剤は、とりわ
け、天然の果実などの食品などにも含まれ人体に入って
も害を及ぼすことないクエン酸を、純水に加えて、電圧
を掛けて得たものであるため、人体に対する安全性の面
での問題が完全に払拭された。特に、金属イオン（特に
アルカリ金属）の混入を極端に嫌う半導体の研磨装置な
どの洗浄においても、そのような影響を完全に排除した
ものであり、その上で、極めて高い洗浄力を発揮するも
のである。

【０００９】本願第３の発明に係る洗浄剤の製造方法
は、水に、クエン酸、アスコルビン酸、シュウ酸、酢
酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを含む電解補
助剤を添加し、電圧を掛けて電解水を得、少なくともこ
の電解水を成分として含有させることを特徴とする。

【００１０】上記の構造を採る本願第３の発明に係る洗
浄剤の製造方法にて、本願第１の発明に係る洗浄剤を得
ることを可能とした。

【００１１】本願第４の発明に係る洗浄剤の製造装置
は、水に対して、クエン酸、アスコルビン酸、シュウ
酸、酢酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを含む
電解補助剤を添加する添加装置１５と、電解補助剤添加
後の水に電解電圧を掛けることが可能な電力供給装置と
を備えたことを特徴とする。

【００１２】上記の構成を採る本願第４の発明に係る洗
浄剤の製造装置は、上記本願第３の発明を実施する具体
的手段を提供し、且つ、上記本願第１の発明に係る洗浄
剤を得る具体的手段を提供したものである。

【００１３】本願第５の発明に係る洗浄剤を用いた洗浄
方法は、被洗浄物に対して、洗浄剤を接触させた後、或
いは接触させると共に、物理的な力を加えるものであ
り、上記の洗浄剤は、水に、クエン酸、アスコルビン
酸、シュウ酸、酢酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも
１つを含む電解補助剤を添加し電圧を掛けて得た電解水
を含むものであることを特徴とする。

【００１４】上記の構成を採る本願第５の発明に係る洗
浄剤を用いた洗浄方法は、上記本願第１の発明に係る洗
浄剤の効果をより好ましい方法にて、洗浄に適応せしめ
たものであり、高い洗浄効果を得ることを可能とした。
即ち、洗浄剤にて、除去使用とする対象物の付着能力を
低下させた上で、物理的な力を付与することにより、効
果的に洗浄を行うことを可能としたものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について説明する。この洗浄剤の製造方法は、水
に、クエン酸、アスコルビン酸、シュウ酸、酢酸、ギ
酸、グリコール酸の少なくとも１つを含む電解補助剤を
添加し、電圧を掛けて電解水を得、少なくともこの電解
水を成分として含有させるものである。ここでは、クエ
ン酸を電解補助剤として用いる場合を代表として、洗浄
剤の製造方法について説明する。

【００１６】先ず、第１の工程において、前処理水を作
る。この前処理水は、純水に対して、クエン酸を、添加
することによって生成する。この添加にて、クエン酸の
濃度は、０．３〜０．８重量％とするのが好ましく、と
りわけ、０．５〜５重量％とするのが、望ましい（水２
リットルに対して、クエン酸１０〜１００ｇ）。そし
て、第２の工程において、第１の工程でクエン酸を添加
することにて得た前処理水に、陰極と陽極の、２つの電
極を差込み、前処理水に電圧を加えて、電解を行う。陰
極と陽極の双方で生じる電解水の夫々は、そのまま単独
で使用しても洗浄剤としての効果が得られるが、陰極と
陽極の双方で生じる電解水を混合することによって、よ
り洗浄能力の高い洗浄剤を得ることができる。上記陰極
と陽極にて生じた電解水を同量混合することによって得
る洗浄剤として、ｐＨ値が１．５〜３．０であり、ＯＲ
Ｐ（酸化還元電位）が−１００ｍＶ〜５０ｍＶの特性を
有するものが適当である。とりわけ、ｐＨ値１．９〜
２．７のものが、洗浄剤として好ましい。

【００１７】半導体の研磨装置の洗浄剤として適したも
のを製造する場合、上記の通り、クエン酸を純水に加え
る必要があるが、このような用途以外に用いる場合は、
コスト面から、蒸留水や或いは、通常の水道水などを純
水に代えて用いることが可能である。また水道水などの
一般上水の他、地下水を用いることも可能である。

【００１８】また、上記において、電解補助剤として、
クエン酸を用いるものとしたが、この他、アスコルビン
酸、シュウ酸、酢酸、ギ酸或いはグリコール酸を用いる
ことが可能である。但し、得られる洗浄剤の洗浄能力と
安全性の面について、クエン酸が電解補助剤として最も
効果的である。また、クエン酸と共に、アスコルビン
酸、シュウ酸、酢酸、ギ酸或いはグリコール酸の少なく
とも一種を含んだ水溶液を電解補助剤として用いること
も可能である。更には、アスコルビン酸、シュウ酸、酢
酸、ギ酸のいずれか二種以上を混合した水溶液を、電解
補助剤として用いることも可能である。

【００１９】上記の電解処理は、電解装置を用いて行う
のが適当である。電解装置には、有隔膜電解装置と、無
隔膜電解装置とがある。有隔膜電解とは、陽極と陰極と
の間に隔膜を置くものであり、無隔膜電解とは、両極間
にそのような隔膜を置かないものである。また、上記の
いずれの装置にも、溜め置き式（バッチ式）と、連続式
の２種類の装置がある。溜め置き式は、電解を掛ける水
を槽に溜めて、洗浄剤を製造するものであり、生成の度
に前処理水を入れ換えるものである。連続式は、流水に
対して、電解処理を行うものであり、連続的に、目的の
洗浄剤を生成することができる。

【００２０】以下、バッチ式有隔膜電解装置を用いて、
電解処理を行う場合について説明する。この装置は、図
１へ示す通り、前処理水を収容する槽１と、槽１内に配
された陽極２と陰極３の、２つの電極板と、両極２，３
に接続され直流電流を供給する電源装置４とを備える。
図１に示す通り、上記の槽１は、隔膜６によって、２つ
に区画されている。槽１の区画された一方は、陽極室１
ａとして陽極２となる電極板を備え、区画された他方
は、陰極室１ｂとして陰極３となる電極板を備える。こ
の槽１の、陽極室１ａと陰極室１ｂの夫々には、吐出口
７ａ，７ｂが設けられている。槽１の上部は開放されて
おり、槽１上方から、槽１内に所定量の前処理水を投入
することができる。電解によって、得られた電解水は、
この吐出口７ａ，７ｂから、槽１外へ吐出することがで
きる。図１の８ａ，８ｂは、夫々吐出口７ａ，７ｂの開
閉を行うバルブを示している。図１中５は、電解時間を
設定するタイマを示している。

【００２１】このように、電解槽１内の２つの電極（陽
極２、陰極３）の間に隔膜を置き、上記の水に電解補助
剤を添加し、所定の条件により電気分解することによ
り、陽極側に酸性電解水が、また、陰極側にも酸性電解
水が生成される。この電解時間は３〜１５分とするのが
好ましく、処理水２リットル（各極室に１リットル）当
たり電流０．５〜３Ａ（好ましくは、０．８〜１．５
Ａ）程度、電圧９〜２０Ｖ程度で電解を行うのが適当で
ある。電解処理後は、上記のバルブ８ａ，８ｂを開い
て、吐出口７ａ，７ｂから、電解水を取り出せばよい。

【００２２】上記の電極２，３には、白金被膜、フェラ
イト、炭素、ステンレス、チタンなどを用いるのが適当
である。特に、白金被膜電極が好ましく、またコスト面
では、炭素、ステンレスの電極が有利である。この白金
被膜電極は、チタン板に、白金やイリジウム、パラジウ
ム、ロジウムなどの白金族をめっき或いは焼成して被膜
を形成したもので、必要に応じて、金属酸化物を微量加
えたものである。隔膜６には、陶磁器、樹脂、ガラス繊
維膜にて、形成されたものを用いて実施することが可能
である。特に、基材にポリエステル、ガラス繊維の不織
布に、０．２〜２００μｍの孔径の樹脂被膜処理をし、
更に親水性を付加した、バッテリやメンブレンフィルタ
に用いられる一般的な素材にて実施することができる。

【００２３】従来、一般的な、電解質としては、ＮａＣ
ｌや、ＫＣｌ，ＨＣｌを用いるのであるが、本願発明に
おいては、このような電解質に代えて、クエン酸を用い
る。電解補助剤に例えば食塩（ＮａＣｌ）を用いる一般
的な電解の場合、上記の陽極には、強酸性電解水が生成
し、陰極には、強アルカリ性の電解水が生成する。一
方、電解補助剤としてクエン酸を用いる本願発明におい
ては、上記の陽極と陰極の何れにも酸性の電解水が生成
される（陽極室１ａと陰極室１ｂの何れにおいても、酸
性の電解水が生成される）。このため、本願発明におい
て、陰陽両極において生成する電解水を洗浄剤として使
用することかでき、上記の一般的な食塩を用いる電解の
ように一方の電解水を破棄するといった無駄が生じず、
能率的に洗浄剤を生成することができる。

【００２４】上記のバッチ式（溜め置き式）以外の電解
装置として、連続式電解装置を用いることが可能であ
る。これは、上記のバッチ式の装置と異なり、流水に対
して、電解を行うものである。この装置を用いる場合、
上記のように事前に前処理水を生成することは不要であ
る。

【００２５】以下、図２を用いて、有隔膜連続式装置を
用いて電解処理を行う他の実施の形態について説明す
る。この装置は、一般水道水、または地下水やタンク内
の溜め置きした純水や蒸留水などの水を水源として、こ
のような水源に接続されて、電気分解する原水（処理前
の水）を得るものである。原水は、水源から圧送ポンプ
等にて一定量が自動供給される。従って、この装置によ
れば、毎時間一定量の電解水を生成することができる。

【００２６】詳しくは、この電解装置は、陽極２と陰極
３が設けられた槽１と、槽１に接続され水源より水を槽
１へ導く導水路１０と、上記両極に電解電圧を供給する
電源装置４と、導水路１０より槽１へ水を圧送するポン
プ１４と、調圧弁などの通水量調整装置１１と、電解補
助剤添加装置１５と、制御装置１６と、各種センサとを
備える。この槽１内は、隔膜６にて、陽極２が配置され
る陽極２側と、陰極３が配置される陰極３側とが隔てら
れており、陽極２側と陰極３側の夫々に、入水口９ａ，
９ｂと、吐出口７ａ，７ｂが設けられている。上記の入
水口９ａ，９ｂは、電解しようとする水を槽１に導く上
記の導水路１０に接続されている。導水路１０の一端
は、２つに枝分かれし、枝分かれした夫々が、入水口９
ａ，９ｂに接続されているのである。そして、導水路１
０の他端１３（以下接続端１３という。）は、水道など
の水源に接続される。上記の通水量調整装置１１は、こ
の導水路１０に設けられたストレーナである。導水路１
０には、上記のポンプ１４が設けられている。このポン
プ１４を介して、導水路１０には、電解補助剤添加装置
１５が接続されている。この電解補助剤添加装置１５
は、電解補助剤供給用のタンクである（クエン酸を供給
する場合、クエン酸水溶液供給タンクである。以下単に
タンク１５という）。このタンク１５内には、水位セン
サ１８が設けられている。水位センサ１８は、制御部１
６へ接続され、検知結果を制御部１６に送る。また、導
水路１０には、電気伝導度センサ、ｐＨセンサなどの検
知センサ１７が設けられている。この検知センサ１７
は、制御部１６へデータを送る。

【００２７】上記の装置において、ポンプ１４により、
水道などの水源から得た原水を、接続端１３から導水路
１０内へ導き、槽１に向けて原水を移動させる。導入す
る水量については、導水路１０の途中にある通水量調整
装置１１即ちストレーナの弁の開閉によって、調整する
ことができる。また、制御部１６は、水位センサ１８
と、上記の検知センサ１７からの情報を得て、タンク１
５の弁（図示しない。）の開閉を制御して、水源からの
水に投入する電解補助剤（クエン酸）の量を調整するこ
とができる。導水路１０内を圧送されて来る水は、上記
の入水口９ａ，９ｂにて、槽１内の陽極２側と陰極３側
の夫々に、連続的に導入される。そして、槽１内におい
て、陽極２側と陰極３側の夫々にて生成された電解水
は、吐出口７ａ，７ｂから他へ放出される。処理水量
は、毎分１リットル乃至３０リットル（各両電極水０．
５〜１５リットル）程度とするのが好ましく、この場
合、電解電力は処理水２リットル（各両極水１リット
ル）当たり電流５〜２０Ａ（好ましくは１０〜２０Ａ）
程度、電圧１２〜３５Ｖ程度で電解を行うのが適当であ
る。

【００２８】この図２へ示す装置において、電解する水
の供給の仕方や、上記の前処理水の事前の生成を不要と
する構成以外の構成については、上記図１に示す実施の
形態と同様である。但し、槽１については、図１のバッ
チ式のものでは、段階する水を溜める必要から、所定の
容量を備えていれば、特に形状については、制約がな
く、一方、上記の図２に示すものでは、水の移動を行い
易くするために、円筒形などの形状が好ましい。

【００２９】上記の電解装置は、何れも、隔膜を備えた
ものであったが、この他、両極２，３間に隔壁６を置か
ずに電解を行う無隔膜電解装置を用いて実施することも
可能である（図示しない）。これは、無隔膜連続生成装
置の隔膜を無くし、陰極と陽極で作られた溶液が混ざっ
て生成されるものである。この場合、槽１内への水の入
口（入水口）と出口（吐出口）を夫々２つ設ける必要は
なく、いずれも１本にして実施すればよい。無隔膜電解
装置についても、バッチ式無隔膜電解装置と、連続式無
隔膜電解装置とがあり、何れを用いても実施することが
可能である。

【００３０】図３（Ａ）に上記のバッチ式無隔膜電解装
置の例を示す。これは、図１に示す実施の形態におい
て、隔膜６を排除し槽１を区画しないものであり、バル
ブ８を備えた１つの吐出口７にて、生成した電解水（洗
浄剤）を放出するものである。他の構成については、図
１に示す実施の形態と同様である。

【００３１】また、図３（Ｂ）に、上記の連続式無隔膜
電解装置の例を示す。これは、図２の実施の形態におい
て、隔膜６を排除し槽１を区画しないものであり、入水
口９を１つとし、同様に、吐出口７を１つとしたもので
ある。図３（Ｂ）において、槽１のみ示すが、槽１以外
の他の構成については、図２に示す実施の形態と同様で
ある。

【００３２】連続式の装置は、有隔膜・無隔膜のいずれ
の場合も、第２工程となる電解処理のみでなく、第１工
程を含めた、洗浄剤生成の全工程を連続して遂行するこ
とが可能な、洗浄剤の製造装置である。即ち、図２及び
図３（Ｂ）に示す装置は、水源の水に対して、クエン
酸、アスコルビン酸、シュウ酸、酢酸、ギ酸、グリコー
ル酸の少なくとも１つを含む電解補助剤を添加する添加
装置（電解補助剤添加装置１５）と、電解補助剤添加後
の水に電解電圧を掛けることが可能な電力供給装置（陰
陽両電極２，３と電源装置４）とを備えた製造装置であ
る。

【００３３】図１及び図２に示す、有隔膜の何れの装置
（バッチ式、連続式）を用いる場合も、生成された陰
極、陽極の電解水を同量混合することにより、最も洗浄
能力の高い洗浄液を生成することができる。有隔膜式の
電解装置で生成した陰極・陽極夫々の電解水を、洗浄を
行う直前に混合して、洗浄剤とすることができる。ま
た、上記図３に示す無隔膜の装置（バッチ式、連続式）
を用いる場合は、陰極と陽極で作られた溶液が混ざって
生成される。従って、混合を行う必要がなく、直接目的
とする洗浄液を生成することができる。

【００３４】既述の通り、食塩を用いた従来の一般的な
電解水は、通常アルカリ性と酸性、＋と−に分かれる
が、クエン酸を使用する場合、＋と−に分かれるがどち
らも酸性水ができる。そこで、＋側と−側の水を混ぜて
も酸性水として使用できる。特に、＋側と−側に生じた
電解水を混合することによって、＋側と−側の夫々の単
独の電解水よりも、より高い洗浄能力の電解水とするこ
とができる。これは、このような混合液は、＋イオンと
−イオンが混合したラジカルで非常に不安定な液にとな
るため、この際に電気的に安定になろうとする力が、洗
浄能力をより高めるものであると考えられる。上記の混
合液をそのまま放置しておけば、時間がたつにつれ、イ
オンのバランスは安定してきて効果は薄くなる。しか
し、実験によれば、製造後３ヶ月でも、洗浄剤として、
十分な効果を得ることができる。従って、製造時に＋側
と−側の水を混ぜることによって、洗浄剤を製造して
も、商品として十分な有効期間を確保することができ
る。また、＋側と−側の液を独立して保管し、３ヶ月後
に混合液にした場合は、ほとんど製造直後の液と効果は
代わらない。従って、初期の効果を出すためには＋側と
−側の液を独立して保管し使用直前で混合液にすること
が有効である。具体的には、上記の＋側と−側の水を別
々に、収容したものをセットとして商品化（２液式洗浄
剤として販売）し、使用時に、需要者が混合するものと
すれば、最も高い洗浄能力を得ることができる。

【００３５】上述の方法によって得られた洗浄剤を、配
管内部に付着した固着物（スケール）等を除去するのに
用いれば固着物の除去を効果的に行える。特に、付着し
た固着物（スケール）等により劣化した冷却水配管につ
いて、冷却水の循環にて生じた配管内付着物（スケー
ル）を除去し、その内表面性能を元の状態に復元するの
に効果的である。また、洗浄剤を、定期的に流すように
すれば、配管固着物（スケール）等の生成防止し、配管
の詰まりや劣化を防止することができる。

【００３６】上記の配管の場合、固着物として、主なも
のは、酸化カルシウム、シリカ、酸化鉄などであり、本
願発明に係る洗浄剤を用いることにより、上記の通り、
固着物同士の結合、及び固着物と配管内表面との結合
を、引き離すことができるのである。

【００３７】また研磨装置周辺について、研磨時に飛散
・固着したスラリー等についても、本願発明に係る上記
の洗浄剤を用いることにより、その除去を効果的に行う
ことができ、特に、この洗浄剤は、ＣＭＰ（Chemical M
echanical Polishing ）装置周辺に・固着したスラリー
等の除去に適する。ガラス研磨の場合、空気で固まる酸
化セリウムとガラス粉と研磨の摩擦により生じるスラリ
ー等の除去が必要になるが、このような除去にも、本願
発明に係る洗浄剤は、最適である。特に、半導体ウエハ
ーの製造過程で出るスラリー等の除去では、金属イオン
（特にアルカリ金属）の混入が嫌われるが、本願発明に
係る洗浄剤では、そのような問題がなく、高い洗浄効果
を得ることができる。

【００３８】以下、種々の洗浄において、上記の洗浄水
を用いて洗浄を行うのに適した、実施の形態について説
明する。

【００３９】上記の配管内のスケール等を除去する場合
に適した洗浄方法としては、配管などの被洗浄物に対し
て、上記の洗浄剤を接触させた後、或いは接触させると
共に、物理的な力を加えるのが好ましい。具体的には、
配管内に本願発明に係る洗浄剤を注入し、一定時間以上
配管内を洗浄剤で満たしておく。その後排水を行い、ジ
ェット流水洗浄装置のジェット噴流等を注入し物理力を
加えて付着物を剥離、流出させる。この他、配管内、タ
ンク等に、洗浄剤を注入し、循環ポンプ等にて一定時間
循環させてから排出する。この場合も、ポンプによる圧
送にて、物理的な力を加えることができる。上記のジェ
ット噴流等の注入や循環ポンプ等の利用が不可能な場合
は、発泡剤を加え泡による物理的な力を加えて、付着物
等を剥離させることができる。但し状況によって、上記
のいずれの物理的な力を加えることができない場合は、
洗浄剤を配管内に注入し（物理的な力を加える場合より
も）長時間配管内を洗浄剤で満たした後、排水して洗浄
を行えばよい。

【００４０】ＣＭＰを始めとする、研磨装置周辺につい
て、研磨時に飛散・固着したスラリー等を除去する場
合、周知の一般的に洗浄剤と本願発明に係る洗浄剤とを
併用（混合）して、洗浄を行っても効果的である。この
ように一般的な洗浄剤と本願発明に係る洗浄剤とを併用
する場合も、本願発明に係る洗浄剤単独で用いる場合
も、洗浄剤を装置に流し、ヘラなどで擦ることにて物理
的な力を加えて、装置の洗浄を行うのが効果的である。
特に、溶射装置の銅製のノズル部分について、循環冷却
水との接触により、付着した皮膜は、この洗浄剤に約１
時間浸漬すると、歯ブラシで簡単に落とせるようにな
る。この場合、浸漬時間が長いほど皮膜の除去が簡単に
行える。また、対象物が小さい場合は、洗浄剤を溜めた
容器や槽などに、対象物を浸漬し、必要に応じて物理的
な力を加えて、洗浄を行えばよい。

【００４１】

【実施例】以下、洗浄剤の好ましい実施例について、比
較例との対比において、説明する。但し、この実施例
は、本願発明に係る洗浄剤の効果（洗浄能力）につい
て、より理解を深めるために掲げるものであり、実施を
このような実施例に限定するものではない。表１に、実
施例１〜４と比較例１の、洗浄能力についての実験結果
を示す。実施例１〜４及び比較例の夫々は、図１に示す
バッチ式有隔膜電解装置を用い、処理時間をタイマ５に
て１０分に設定し、電解電圧１００Ｖ、電流０．７Ａに
て得られたものである。実施例１は、クエン酸１％水溶
液に電解電圧を加えて得た、陽極側の電解水と陰極側の
電解水とを混合した洗浄剤である。実施例２は、クエン
酸１％水溶液に電解電圧を加えて得た、陽極側の電解水
を洗浄剤としたものである。実施例３は、クエン酸１％
水溶液に電解電圧を加えて得た、陰極側の電解水を洗浄
剤としたものである。実施例４は、アスコルビン酸１％
水溶液に電解電圧を加えて得た、陽極側の電解水と陰極
側の電解水とを混合した洗浄剤である。上記の比較例１
は、食塩１％水溶液に電解電圧を加えて得た、陽極側の
電解水である。テスト片として、空気中に置かれ表面が
完全に茶褐色の酸化皮膜に覆われた銅板を用いた。上記
の実施例１〜４及び比較例の夫々に対して、このテスト
片を浸漬し、テスト片表面の経時の変化を肉眼により観
察した。

【００４２】

【表１】経過時間５分１０分１時間１日実施例１やや褐色光沢完全な金属光沢完全な金属光沢実施例２褐色やや褐色光沢完全な金属光沢実施例３褐色褐色光沢完全な金属光沢実施例４褐色褐色やや褐色やや褐色比較例１褐色褐色やや褐色光沢

【００４３】その結果、上記の表１に示す通り、実施例
１は、最もテスト片の酸化皮膜を除去する効果が顕著で
あり、１時間の浸漬で完全な金属光沢を取り戻した。実
施例１に次いで、高い除去能力を示したのが、実施例２
である。そして、実施例２に次いで、実施例３が高い除
去能力を示した。実施例１〜３については、比較例１に
比して、極めて高い除去能力が認められる。また、実施
例４についても、一定の除去能力が見られた。この結果
から、クエン酸水溶液の電解水について陰陽両極混合し
たものが最も高い洗浄効果を有し、次いでクエン酸水溶
液の陽極側の電解水が高い洗浄効果を有し、更にこれに
次いでクエン酸水溶液の陰極側の電解水が高い洗浄効果
を有し、アスコルビン酸水溶液の電解水について陰陽両
極混合したものも洗浄効果を有することが分かる。特
に、クエン酸水溶液の電解水の場合は、陽極側の電解水
単独、陰極側の電解水単独、両極混合した電解水のいず
れも、食塩水を電解したものに比して、高い洗浄能力を
有することが分かる。一方、食塩水の陽極側の電解水
も、洗浄能力が認められるが、金属イオン（特にアルカ
リ金属）を嫌う用途では、使用することができない。こ
の点、洗浄能力について食塩水を用いた電解水と同程度
であるアスコルビン酸水溶液を用いた電解水も、クエン
酸水溶液の電解水と共に、そのような問題がなく、食塩
水を用いた電解水に対し有利である。

【００４４】上記の表１に示す実施例１は、電解してす
ぐ陰極側と陽両側の電解水とを混合し、直ちに実験を開
始したものである。次に、表２へ、このような製造直後
に使用された実施例１と、製造後（混合後）３ケ月経過
した実施例５と、電解して陽極・陰極側の夫々の電解水
を単独で保管し３カ月経過した後試験直前に両電解水を
混合した実施例６とに対し、テスト片を浸漬し、テスト
片表面の経時の変化を肉眼により観察した結果を示す。
実施例５，６のいずれも、図１の装置を用い表１の実験
と同じ条件で、クエン酸１％水溶液に電解電圧を加えて
得たものであり、テスト片についても、表１との実験と
同様の銅板を用いた。

【００４５】

【表２】経過時間５分１０分１時間１日実施例１やや褐色光沢完全な金属光沢完全な金属光沢実施例５褐色やや褐色光沢完全な金属光沢実施例６やや褐色光沢完全な金属光沢完全な金属光沢

【００４６】この結果、実施例５は、実施例１に劣るも
のの、高い除去能力が認められた。また、実施例６は実
施例１とほぼ同様の効果を持つことが分かった。このこ
とから、電解して直ぐ陰極側と陽両側の電解水とを混合
したものを３ケ月経って使用しても十分な洗浄能力が得
られること、また、電解して３ケ月経過した後、陰極側
と陽両側の電解水を混合して使用したものについては、
電解して混合し直ちに使用したものとほぼ同じ洗浄効果
が得られることが分かる。

【００４７】

【発明の効果】本願第１の発明の実施によって、人体に
対して安全性の高く、なお且つ、洗浄能力の極めて高
い、洗浄剤を提供し得た。従って、本願発明に係る洗浄
剤を用いることにより、工業製品などの洗浄において、
洗浄作業者の安全性の確保に腐心する必要なく、極めて
効果的な洗浄を行うことを可能とした。

【００４８】本願第２の発明の実施によって、特に、体
内に入っても、安全性の高い洗浄剤を提供可能としたも
のであり、また、半導体の研磨装置などの、金属イオン
（特にアルカリ金属）の混入を極端に嫌う、工業製品の
洗浄においても、そのような影響を及ぼすことなく、極
めて高い洗浄能力を奏する洗浄剤を提供し得たものであ
る。

【００４９】本願第３の発明の実施によって、本願第１
の発明に係る洗浄剤を得る、好ましい製造方法を提供し
得た。

【００５０】本願第４の発明の実施によって、本願第３
の発明を実施する具体的手段を提供し得たものであり、
本願第１の洗浄剤を提供するに適した製造装置を提供可
能としたものである。

【００５１】本願第５の発明の実施によって、本願第１
の発明に係る洗浄剤の、効果的な使用方法を、提供可能
としたものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施の形態に係る製造装置の説明
図である。

【図２】他の実施の形態に係る製造装置の説明図であ
る。

【図３】（Ａ）は又他の実施の形態に係る製造装置の説
明図であり、（Ｂ）は更に他の実施の形態に係る製造装
置の説明図である。

【符号の説明】

１槽２陽極３陰極４電源装置５タイマ６隔膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ０２Ｆ 5/00 ６２０Ｃ０２Ｆ 5/00 ６２０Ｃ６２０ＤＣ１１Ｄ 7/60 Ｃ１１Ｄ 7/60 11/00 11/00 17/08 17/08 Ｃ２３Ｇ 1/02 Ｃ２３Ｇ 1/02 Ｃ２５Ｂ 1/04 Ｃ２５Ｂ 1/04 Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｑ (72)発明者成田章神戸市東灘区本庄町２丁目５番12−1104号スタータック株式会社内Ｆターム(参考） 3B201 AA03 AA13 AB51 BB05 BB21 BB88 BB89 BB90 BB92 BB93 BB96 CC21 4D061 DA03 DB07 EA02 EB01 EB04 EB12 EB14 EB37 EB39 EC01 EC02 ED12 GA22 GA23 GC02 4H003 BA12 CA15 DA09 DA15 DC04 EB07 EB08 ED02 FA01 FA03 4K021 AA01 AB25 BA02 BA19 DA09 DB05 DB12 DB18 DB28 DC15 4K053 PA06 QA01 RA07 RA45 RA46 RA47 RA48 SA05 TA15 YA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クエン酸、アスコルビン酸、シュウ酸、
酢酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを含む電解
補助剤を加えた水に、電圧を掛けて得た電解水を有する
ことを特徴とする洗浄剤。
【請求項２】純水にクエン酸を加えた後、電圧を掛け
て得た電解水を有することを特徴とする洗浄剤。
【請求項３】水に、クエン酸、アスコルビン酸、シュ
ウ酸、酢酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを含
む電解補助剤を添加し、電圧を掛けて電解水を得、少な
くともこの電解水を成分として含有させることを特徴と
する洗浄剤の製造方法。
【請求項４】水に対して、クエン酸、アスコルビン
酸、シュウ酸、酢酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも
１つを含む電解補助剤を添加する添加装置と、電解補助
剤添加後の水に電解電圧を掛けることが可能な電力供給
装置とを備えたことを特徴とする洗浄剤の製造装置。
【請求項５】被洗浄物に対して、洗浄剤を接触させた
後、或いは接触させると共に、物理的な力を加えるもの
であり、上記の洗浄剤は、水に、クエン酸、アスコルビン酸、シ
ュウ酸、酢酸、ギ酸、グリコール酸の少なくとも１つを
含む電解補助剤を添加し電圧を掛けて得た電解水を含む
ものであることを特徴とする洗浄剤を用いた洗浄方法。