JP2002036017A - 単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単結晶ダイヤモンドドリルにおいて、加工性
と４角錐の稜線切れ刃の耐摩耗性を考慮したドリル頂を
加工する技術を提供すること更に、リーミング効果と寸
法出しの効果を得ることを課題とする。 【解決手段】 単結晶ダイヤモンド（６面体ダイヤモン
ド１）の先端部は、４角錐面を有しており、この４角錐
の中心線は単結晶ダイヤモンドの一つの結晶軸及びドリ
ル軸と一致しており、ドリル軸の軸直角平面へ投影され
たとき、上記４角錐の稜線の投影像は残る２つの結晶軸
に対して４５度±５度の角度をなしており、更に４角錐
の対稜角は９０度±１０度の範囲である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はその先端に単結晶ダ
イヤモンドを有しているドリルに関し、硬脆性材、例え
ば、石英ガラス、シリコン、マシナブルセラミックス又
はＩＣ基板等の孔あけに適したドリルに関する。更に、
通常の大きさの孔のためのドリルのみならず小径のドリ
ルあるいは更に細い極細孔に対して有用な、いわゆる、
マイクロドリルの技術の分野に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣパッケージを実装する多層基板にお
いて、層間の接続にバイアホールが多用される。このバ
イアホールの径は製造技術の許す限り小径であることが
望まれている。

【０００３】従来、バイアホールその他の孔あけには、
弦巻状の刃溝を有する超硬合金製のマイクロドリル、又
は、このマイクロドリルの超硬合金の刃部の表面に多数
の微細ダイヤモンドをメッキ法により被覆して耐摩耗層
を設けたマイクロドリル、あるいは、弦巻状の刃溝を備
えた超硬合金製の軸とこの先端にロウ付けされた多結晶
ダイヤモンドを有したマイクロドリルが使用される。

【０００４】これらのマイクロドリルは、弦巻状の刃溝
（ねじれ溝）を有するため、その径が小さくなると、製
造が困難になるだけでなく、ねじれ溝が設けられている
分、ドリルの断面積が減少するので、強度の低下を来た
し、使用上の限界に至っている。

【０００５】上記ねじれ溝は、ドリル先端部で発生した
切り屑を排出するため、先端切れ刃部からシャンク手前
までにわたって設けられる。このようなねじれ溝は、従
来必須のものと考えられ、例えば、ガンドリルや芯残し
ドリルのような特別な切り屑排出構造を持つドリルを除
きほとんど設けられていた。

【０００６】また、ドリル先端にはチゼルエッジが形成
されており、チゼルエッジは中心からの距離がほとんど
ない又は０であるので、この点における周速はほとんど
ないか０である。一方では、ドリルの軸方向の前進速度
は回転中心からの距離によらずどこでも等しいので、理
論上すくい角が負になり、チゼルエッジでは切削作用が
ほとんど又は全く生じない。

【０００７】更に、従来、チゼルエッジは、ドリル中心
（チゼルポイント）に向かって次第に高くなる２つの稜
線を有しているが、この２つの稜線のなす角度が鋭く形
成されていないため、ドリルの先端（すなわちチゼルポ
イント）が被加工物に食いつく際の位置が被加工物の表
面の僅かなゆがみ、被加工物材料の局所的なバラツキ、
ドリルの軸ぶれ等不測の条件により僅かながら中心から
ずれることがある。このような食い付き位置の微妙なず
れは、あけた孔の最終位置に大きく影響を及ぼす。

【０００８】また、意図したとおりの位置にドリルが被
加工物に食い付いたとしても、穿孔の途中でドリル先端
の進行方向が変化し孔が曲がるような現象が生じること
がある。

【０００９】このため、極細マイクロドリルのような強
度の弱いドリルでは、横方向の力が加わるためドリルが
折損する、ないしは、折損しないまでも穿けられた孔
（表開口円又は裏開口円）の中心が意図した位置からず
れるといった現象が生じる。

【００１０】また、多結晶ダイヤモンドドリルで石英ガ
ラス、シリコン板又はマシナブルセラミックスなどの硬
脆性材を対象とした孔あけではドリル寿命が短命であっ
たり、意図した位置への食い付きが悪いことが原因とな
る軸折れの問題もある。

【００１１】このような鋭くないドリル先端の弊害を避
けるため、また、ねじれ溝による強度低下を避けるた
め、先端を角錐体とし、ねじれ溝を持たないドリルが考
えられている。

【００１２】このような中で、先端の強度を高めるた
め、ドリルの先端部（切れ刃部及びガイド部）を単結晶
ダイヤモンドにて構成しようとするアイデアが実開平５
−９８１４号（実願平３−８３５８５号）公報、及びそ
のＣＤ−ＲＯＭ明細書に開示されている。ここには、４
角柱のガイド部とこれに連続する先端を対稜角６０度か
ら９０度の４角推を単結晶ダイヤモンドにて構成するこ
とが記載されている。

【００１３】広く知られているようにダイヤモンドはこ
の世で最も硬い物質であり、しかも、宝飾用、工業用と
きわめて広い用途を有している。ダイヤモンド合成の技
術の発展により近年比較的安価な工業用ダイヤモンドが
供給されるようになったが、やはり高価であることは否
めない。

【００１４】上記公報のドリルでは、先端からガイド部
までもが単結晶ダイヤモンドにて構成されるため、大粒
の単結晶ダイヤモンドが必要となり、非常に高価になり
実用的ではない。更に、この公報には、単結晶ダイヤモ
ンドを加工する際の結晶軸の方向、及び、ドリル軸へ取
付る際の結晶面について、配慮も開示もなされていな
い。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】天然、合成にかかわら
ず供給されるダイヤモンドの形状（外形）、寸法は合成
時の偶然に支配されて様々である。このため、これを加
工するに当たっては供給されたダイヤモンドの一つ一つ
について個別の工夫がなされなければならない。

【００１６】すなわち、ダイヤモンドは、その硬度が高
いだけに加工が難しく、通常、回転する鋳鉄製の円盤上
にダイヤモンドパウダーを塗りつけ、これに押し付ける
形で行われる。そして、ダイヤモンドが結晶構造を有す
ることから、結晶方向によってその物理的、化学的性質
について異方性を示し、加工性についてもその例外では
ない。

【００１７】ダイヤモンドよりも硬い素材は存在しない
から、加工を施す材料として選択できる素材はダイヤモ
ンド以上のものはなく、したがって、ダイヤモンド単結
晶を任意の方向に自由に加工することは現実的にあるい
は実質的に不可能である。

【００１８】図１は、ダイヤモンド結晶の結晶面を示
す。ダイヤモンドは立方晶系に属する結晶構造を有して
おり、この図に示されるような３種の結晶面が結晶体に
現れる。

【００１９】図１において（ａ）は｛１００｝面を、ま
た、この面だけから構成された結晶体を示している。結
晶軸ｘ、ｙ、ｚに関してそれぞれ｛１００｝面が現れ
（｛１００｝面、｛１０１｝面、｛００１｝面はそれぞ
れ互いに等価である。）、結晶体の肉側（内側）と空間
側を分ける面がそれぞれ表にあるか裏にあるかに応じ
て、見かけ上合計６つの面がある。この６つの面だけで
構成された場合が同図に示される６面体結晶である。

【００２０】（ｂ）は｛１１０｝面を、また、この面だ
けから構成された結晶体を示している。（ａ）と同様に
考えて、見かけ上合計１２の面がある。この１２の面だ
けで構成された場合が同図に示される１２面体結晶であ
る。更に、（ｃ）は｛１１１｝面を、また、この面だけ
から構成された結晶体を示している。同様に、見かけ上
合計８の面がある。この８つの面だけで構成された場合
が同図に示される８面体結晶である。

【００２１】これらの３種の面が普通は複合されて現れ
る。図２は、これら３種の結晶面の全てが現れたダイヤ
モンド単結晶の一例を示す図であるが、この図のように
ほぼ球形に近い均整のとれた形になることは稀である。

【００２２】加工性が結晶面によって大きく異なること
は先に述べたが、図３は結晶方位と摩耗（加工性）の関
係を示し、方位により加工性が異なることを示したグラ
フである。実験は水平に保たれた鋳鉄板上で、これに予
め決められた研磨角度にセットされたダイヤモンドを当
てて、一定の荷重及び一定の時間だけ研磨することによ
り行われたものである。結晶軸に平行な方向の研磨角度
を０度とし、８面体面｛１１１｝面だけは任意の方向が
選定されて実験されたものである。

【００２３】図３のグラフからわかるように、１２面体
面｛１１０｝面が最も加工性が高く、６面体面｛１０
０｝面がこれに続く。一方、８面体面｛１１１｝面につ
いては、ほとんど摩耗が発生せず実質的に研磨できなか
った。

【００２４】図４は単結晶ダイヤモンドの代表的な結晶
面から近接する結晶面に傾けたときの研磨難易度を示し
たGrozinskyのステレオ投影図である。矢印は研磨方位
と研磨が容易なことを示し、点線は困難なことを示す。

【００２５】図１（ａ）に示す立方体ダイヤモンドから
研磨によって４角錐を得る場合、側面にある４つの６面
体面｛１００｝から上面の６面体面｛１００｝に傾きを
もって研磨すれば、この傾きが４５度になった時、１２
面体面｛１１０｝からなる４角錐が得られる。

【００２６】図４では、６面体面｛１００｝から１２面
体面｛１１０｝へ傾けた研磨方位は研磨が難しいことを
示している。しかしながら、図３からもわかるとおり、
各々の結晶面上では研磨方位によって摩耗傾向を異にし
ているため、研磨方位が問題となる。従って、１２面体
面｛１１０｝の近くで角度を傾けたときは、研磨方位を
選ぶことで研磨が容易となる。

【００２７】また、このとき得られた４角錐の稜線は図
４が示す耐摩耗性の切れ刃を構成する。

【００２８】本発明は、このような加工性と４角錐の稜
線切れ刃の耐摩耗性を考慮したドリル頂を加工する技術
を提供すること、更に、リーミング効果と寸法出しの効
果を得ることを課題とするものである。

【００２９】

【課題を解決するための手段】上記課題は以下の手段に
よって解決される。すなわち、 「第１番目の発明の解決手段」第１番目の発明の解決手
段は、単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリルで
あって、この単結晶ダイヤモンドの先端部は、４角錐面
を有しており、この４角錐の中心線は単結晶ダイヤモン
ドの一つの結晶軸及びドリル軸と一致しており、更に、
ドリル軸の軸直角平面へ投影されたとき、上記４角錐の
稜線の投影像は残る２つの結晶軸に対して４５度±５度
の角度をなしているものである。

【００３０】「第２番目の発明の解決手段」第２番目の
発明の解決手段は、第１番目の発明の単結晶ダイヤモン
ドをその先端に有したドリルにおいて、上記４角錐の対
稜角を９０度±１０度の範囲としたものである。

【００３１】「第３番目の発明の解決手段」第３番目の
発明の解決手段は、第１番目又は第２番目の発明の単結
晶ダイヤモンドをその先端に有したドリルにおいて、上
記単結晶ダイヤモンドを、６面体面｛１００｝から構成
された６面体ダイヤモンドとしたもので、これらの形態
は人工的に成長させたものを含め、大きな結晶体からレ
ーザ切断などで得ることが可能である。

【００３２】「第４番目の発明の解決手段」第１番目か
ら第３番目までの発明の単結晶ダイヤモンドをその先端
に有したドリルにおいて、上記単結晶ダイヤモンドを
｛１００｝面によってドリル軸にロウ付けしたものであ
る。

【００３３】「第５番目の発明の解決手段」第５番目の
発明の解決手段は、第１番目から第４番目までの発明の
単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリルにおい
て、ドリルの中心軸と稜線を含む面に対して６５度から
８５度までの範囲の角度をなす面によって落とされた逃
げ角が形成されているものである。

【００３４】「第６番目の発明の解決手段」第６番目の
発明の解決手段は、第１番目から第５番目までの発明の
単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリルにおい
て、上記単結晶ダイヤモンドの４角錐の底辺角部には、
ドリル軸と平行な面であって、ドリルの中心軸と稜線を
含む面に対して６５度から８５度の範囲の角度をなす面
によって落とされた負のすくい角が形成されているもの
である。

【００３５】「第７番目の発明の解決手段」第７番目の
発明の解決手段は、第１番目から第６番目までの単結晶
ダイヤモンドをその先端に有したドリルにおいて、この
ドリルを小径ドリルおよびマイクロドリルを含むドリル
としたものである。

【００３６】更に、本明細書には、第１番目から第７番
目までの単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル
において、ドリル軸の材料を超硬合金とすること、ドリ
ル軸の材料を鋼とすること、ドリル軸の円筒面を微細ダ
イヤモンドの耐摩耗層を有するようにすること、及び、
単結晶ダイヤモンドのドリル軸へのロウ付けを不活性ガ
ス中で行うことが開示されている。

【００３７】

【発明の実施の形態】先に、図１及び図２において、産
出あるいは合成されるダイヤモンドの外形の例を示し、
このような均整のとれた形状になることは希である旨を
説明した。ダイヤモンドの合成法によって合成された単
結晶ダイヤモンドは図５に示すような面｛１００｝と面
｛１１１｝からなる切頭（角に面｛１１１｝が現れてい
る）６面体である。この大きい結晶体のものは結晶面方
位を定め、レーザによって所定の寸法に切断され、面
｛１００｝からなる６面体（４角柱）ダイヤモンドとな
る（図８参照）。

【００３８】なお、図５には、切頭６面体ダイヤモンド
１が取り付けられるドリル軸２の一部が点線にて示され
ている。また、理解を容易にするため、図５には切頭６
面体ダイヤモンド１のうちの均整のとれたものが示され
ているが、実際使用されるものは、多少歪なもの（上下
の｛１００｝面の大きさが異なる等）も許容される。た
だし、この場合にあっても、結晶の性質から各結晶面の
方向は一定である。

【００３９】図６には、上記切頭６面体ダイヤモンド１
の上面図、３方向からの側面図が示されており、それぞ
れ（ａ）はｚ軸方向からみた上面図、（ｂ）はｙ軸方向
から見た側面図、（ｃ）は、ｘ軸方向から見た側面図、
（ｄ）は、（ａ）において４５度方向から見た側面図で
ある。

【００４０】本発明実施例において、ドリル先端の切頭
６面体ダイヤモンド又は面｛１００｝からなる６面体
（４角柱）ダイヤモンドは、その下方の｛１００｝面に
よってドリル軸２にロウ付けされる。このダイヤモンド
は（ｂ）に示す研磨面ｐ１によってｚ軸（ドリル中心
軸）周りに９０度ずつ割り出されて研磨される。この例
では研磨面ｐ１とｚ軸の傾きは３５度１６分にとられて
いる。

【００４１】こうして形成された４角錐は、ドリル軸と
同じ軸を有するドリルの先端となり、その４つの稜は３
つの結晶軸に対して平行な方向を持たず耐摩耗性方位を
示している。

【００４２】この例では、対面角は７０度３２分（上記
研磨面ｐ１に対するｚ軸との傾き３５度１６分の２倍）
であることから、図６（ｄ）に示されるように、形成さ
れた４角錐の対稜角は８面体結晶の対稜角と等しい９０
度になる。なお、稜線は、図６（ａ）でみたとき、点線
で示したｘ軸及びｙ軸に対し４５度方向にあらわれる。

【００４３】上記ドリル対稜角は、９０度に限られるも
のではなく、９０度±１０度の範囲に選ぶことができ
る。対稜角をこの範囲に選ぶ理由は、ドリル対稜角が１
００度を超えるとドリルの食い付きが悪くなり、あけた
穴の中心位置の精度が悪化するからであり、また、８０
度以下では最先端部が欠けやすくなり寿命が短命化する
からである。つまり、寿命と精度のバランスを考慮して
決められた範囲である。

【００４４】図７には、こうして創成された４角錐面に
加工されたダイヤモンド１とこれが固着されたドリル軸
２とが示されている。

【００４５】上記４角錐は、別な表現をすれば、この４
角錐の中心線が単結晶ダイヤモンドの一つの結晶軸及び
ドリル軸と一致しており、更に、ドリル軸の軸直角平面
へ投影されたとき、上記４角錐の稜線の投影像は残る２
つの結晶軸に対して４５度であるが、場合によりこの角
度から±５度の範囲にとることができる。

【００４６】ドリル軸２は、ドリル把持のために通常の
シャンク１５（図１５参照）を有しており、本発明実施
例では、この状態でドリルとして使用可能である。しか
しながら、加工孔の径を定める稜は軸心から等距離にあ
るとは限らず、また、角部を形成するので、ドリル加工
孔の内側面の面が荒く仕上げられる。そこで、ドリル加
工される孔の直径を調整するために、図７の囲み部分５
の角８（錐体底部の角部）がドリル軸に平行な２つの平
面によって落とされる。

【００４７】図８はドリル軸方向から見た平面図であっ
て、この図に示すように、単結晶ダイヤモンドの４角錐
の４つの底辺角部には、ドリル軸と平行な面であって、
ドリルの中心軸と稜線を含む面に対して６５度から８５
度までの範囲の角度をなす面（研磨面ｐ２）によって落
とされた逃げ角と、ドリルの中心軸と稜線を含む面に対
して６５度から８５度の範囲の角度をなす面（研磨面ｐ
３）によって落とされた負のすくい角が形成される。図
９にはこうして逃げ角とすくい角が形成されたドリルの
先端近傍を示す。この２面によって形成された新たな稜
２０は軸心と平行であって、加工孔の径を定めるととも
に、孔の面粗度を改善する。

【００４８】別の例、すなわち、６面体ダイヤモンド
（つまり、切頭６面体でない単結晶ダイヤモンド）か
ら、本発明にかかるドリルを製造する過程を図１０、図
１１、図１２、及び、図１３に示し、それぞれ、図５、
図６、図７及び図９に対応するものである。この過程は
上に説明した切頭６面体ダイヤモンドの場合とほとんど
同じであるので省略する。ただ、４角錐面を形成した段
階で、はじめから存在している６面体ダイヤモンドの稜
の一部が図１２に稜２１として示されるように残されて
いる。この稜２１はドリル軸と平行であり、このままで
も一応リーミング作用をするものであるが、孔径の寸法
を出すため、先の例（図８）と同様に図１３に示すよう
にドリル軸に平行な２つの面で落とされて稜２０（図１
３）が形成される。

【００４９】図１４は、本発明実施例の完成した単結晶
ダイヤモンドを先端に有したドリルの全体図である。先
端部以外は通常のドリル例えばマイクロドリルと同様の
寸法、形状の構成とすることができる。ドリル軸２はそ
の材料として超硬を使用し、切り粉によって削られドリ
ル軸がやせ細ることを防止するようにすることができ
る。一方、超硬はもろいため折損しやすいことから、ド
リル軸を靭性の高い鋼材とし、この場合に生じ易い切り
粉によるやせ細りを防止するため、ドリル軸表面に微細
ダイヤモンドを付着させることにより耐摩耗層を設ける
ようにすることが可能である。この耐摩耗層はドリル軸
を超硬とした場合にも設けることができる。

【００５０】材料の６面体ダイヤモンド１は予めドリル
軸２に固着（ロウ付け）した後、これを上に述べたよう
にして４角錐に加工することも、６面体ダイヤモンド１
を別の軸に取付て４角錐に加工した後、これを取り外し
てドリル軸に固着するようにすることも可能である。前
者の場合は、後者のようなドリル先端とシャンクとの調
芯性を確保するための厳密な位置あわせが必要なくなる
ので生産性が向上する。また、ロウ付けは不活性ガス中
で行う方がよい。

【００５１】更に、本発明実施例のドリルは、先端が鋭
く尖っているので被加工物に食い付く際に、中心から外
れることが少なく、位置精度のよい孔加工が可能とな
る。

【００５２】

【発明の効果】本発明に依れば、ドリル先端の単結晶ダ
イヤモンド４角錐の稜線は結晶的に耐摩耗性を付与し、
寿命を長くすることができるという効果を奏する。更
に、上記錐体底部の角部を落とすことにより、ドリルの
加工半径の調整と、リーミング効果がえられるため、本
発明のドリルに依れば、径精度の高い、また、内面粗度
のよい孔をあけることができる。

【００５３】本発明のドリルは、先端を４角錐としたの
で食い付きが良く、位置精度の高い孔をあけることがで
き、更に、ドリル軸が耐摩耗性の高い微小ダイヤモンド
層を有するので、使用中にドリル軸がやせ細るという問
題が発生しにくいという効果を奏する。本発明の一つは
ドリル軸を鋼としているので、靭性が高く折損すること
が少ないという効果を奏する。

【００５４】本発明では、単結晶ダイヤモンドとドリル
軸とのロウ付けは不活性ガス中で行われる。このため、
空気中の影響を受けてロウ付け強度が低下するようなこ
とがないという効果を奏する。

【００５５】本発明では、４角錐底部の角部にリーミン
グ用のドリル軸に平行なエッジ（稜線）が形成されてい
るので、これにより孔の径を調整するとともに、あけた
穴の内側面を良好に加工することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ダイヤモンド結晶の結晶面とこの面によって構
成される結晶外形を示す説明図である。

【図２】３種の結晶面の全てが現れたダイヤモンド単結
晶の一例を示す鳥瞰図である。

【図３】結晶方位と摩耗（加工性）の関係を示し、方位
により加工性が異なることを示したグラフである。

【図４】単結晶ダイヤモンドの代表的な結晶面から近接
する結晶面に傾けたときの研磨難易度を示したGrozinsk
yのステレオ投影図である。

【図５】切頭６面体ダイヤモンドとこれが取り付けられ
るドリル軸の一部を示す鳥瞰図である。

【図６】切頭６面体ダイヤモンド１の上面図、３方向か
らの側面図を示すものであり、それぞれ（ａ）はｚ軸方
向からみた上面図、（ｂ）はｙ軸方向から見た側面図、
（ｃ）は、ｘ軸方向からみた側面図、（ｄ）は、（ａ）
において４５度方向から見た側面図である。

【図７】４角錐面が創成された切頭６面体ダイヤモンド
とこれが固着されたドリル軸とを示す鳥瞰図である。

【図８】ドリル軸方向から見た平面図である。

【図９】逃げ角とすくい角が形成されたドリル先端近傍
を示す図である。

【図１０】６面体ダイヤモンド（切頭でない６面体ダイ
ヤモンド単結晶）とこれが取り付けられたドリル軸の一
部を示す鳥瞰図である。

【図１１】６面体ダイヤモンドの上面図、３方向から見
た側面図を示すものであり、それぞれ（ａ）はｚ軸方向
から見た上面図、（ｂ）はｙ軸方向から見た側面図、
（ｃ）はｘ軸方向から見た側面図、（ｄ）は（ａ）にお
いて４５度方向から見た側面図である。

【図１２】４角錐面が創成された６面体ダイヤモンドと
これが固着されたドリル軸とを示す鳥瞰図である。

【図１３】逃げ角とすくい角が形成されたドリル先端近
傍を示す図である。

【図１４】本発明実施例の完成した単結晶ダイヤモンド
を先端に有したドリルの全体図である。

【符号の説明】

１ （切頭）６面体ダイヤモンド ２ ドリル軸 ２０、２１ 稜 １５ シャンク ｐ１、ｐ２、ｐ３ 研磨面

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 単結晶ダイヤモンドをその先端に有した
   ドリルであって、この単結晶ダイヤモンドの先端部は、
   ４角錐面を有しており、この４角錐の中心線は単結晶ダ
   イヤモンドの一つの結晶軸及びドリル軸と一致してお
   り、更に、ドリル軸の軸直角平面へ投影されたとき、上
   記４角錐の稜線の投影像は、残る２つの結晶軸に対して
   ４５度±５度の角度をなしていることを特徴とする単結
   晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された、単結晶ダイヤモ
   ンドをその先端に有したドリルにおいて、上記４角錐の
   対稜角は９０度±１０度の範囲であることを特徴とする
   単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載された、単
   結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリルにおいて、 上記単結晶ダイヤモンドは、６面体面｛１００｝から構
   成された４角柱の６面体ダイヤモンド、又は、切頭６面
   体ダイヤモンドから研磨されたものであることを特徴と
   する単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれかに
   記載された、単結晶ダイヤモンドをその先端に有したド
   リルにおいて、 上記単結晶ダイヤモンドは｛１００｝面によってドリル
   軸にロウ付けされていることを特徴とする単結晶ダイヤ
   モンドをその先端に有したドリル。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４までのいずれかに
   記載された、単結晶ダイヤモンドをその先端に有したド
   リルにおいて、 上記単結晶ダイヤモンドの４角錐の底辺角部には、ドリ
   ル軸と平行な面であって、ドリルの中心軸と稜線を含む
   面に対して６５度から８５度までの範囲の角度をなす面
   によって落とされた逃げ角が形成されていることを特徴
   とする単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５までのいずれかに
   記載された、単結晶ダイヤモンドをその先端に有したド
   リルにおいて、 上記単結晶ダイヤモンドの４角錐の底辺角部には、ドリ
   ル軸と平行な面であって、ドリルの中心軸と稜線を含む
   面に対して６５度から８５度の範囲の角度をなす面によ
   って落とされた負のすくい角が形成されていることを特
   徴とする単結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリ
   ル。
7. 【請求項７】 請求項１から請求項６までのいずれかに
   記載された、単結晶ダイヤモンドをその先端に有したド
   リルにおいて、このドリルは小径ドリル及びマイクロド
   リルを含むドリルであることを特徴とする単結晶ダイヤ
   モンドをその先端に有したドリル。