JP2002033580A - Multilayer wiring board and producing method therefor - Google Patents
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Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップを搭
載する多層配線板に関し、層間の電気的接続と接着を同
時に行う多層配線板およびその製造方法に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer wiring board on which a semiconductor chip is mounted, and more particularly to a multilayer wiring board for simultaneously performing electrical connection and bonding between layers and a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年の電子機器の高機能化並びに軽薄短
小化の要求に伴い、電子部品の高密度集積化、さらには
高密度実装化が進んできており、これらの電子機器に使
用される半導体パッケージは、従来にも増して、益々、
小型化かつ多ピン化が進んできている。2. Description of the Related Art In recent years, with the demand for higher functionality and lighter, thinner and smaller electronic devices, high-density integration and high-density mounting of electronic components have been progressing. Semiconductor packages are becoming more and more
The size and the number of pins have been reduced.
【0003】従来の回路基板はプリント配線板と呼ば
れ、ガラス繊維の織布にエポキシ樹脂を含浸させた積層
板からなるガラスエポキシ板に貼り付けられた銅箔をパ
ターニング後、複数枚重ねて積層接着し、ドリルで貫通
穴を開けて、この穴の壁面に銅メッキを行ってビアを形
成し層間の電気接続を行った配線基板の使用が主流であ
った。しかし、搭載部品の小型化、高密度化が進み、上
記の配線基板では配線密度が不足して部品の搭載に問題
が生じるようになってきている。[0003] A conventional circuit board is called a printed wiring board, and after patterning copper foil adhered to a glass epoxy board made of a laminated board made of glass fiber woven fabric impregnated with epoxy resin, a plurality of sheets are stacked. The mainstream was to use a wiring board in which a through hole was formed by bonding and drilling, a via was formed by performing copper plating on the wall surface of the hole, and a via was formed to perform electrical connection between layers. However, the mounting components have been reduced in size and density, and the wiring density of the above-described wiring boards has become insufficient, and problems have arisen in mounting components.
【0004】このような背景により、近年、ビルドアッ
プ多層配線板が採用されている。ビルドアップ多層配線
板は、樹脂のみで構成される絶縁層と導体とを積み重ね
ながら成形される。層間接続方法としては、従来のドリ
ル加工に代わって、レーザ法、プラズマ法やフォト法
等、多岐にわたり、小径のビアホールを自由に配置する
ことで高密度化を達成するものである。ビルドアップ多
層配線板の製法は、絶縁層にビアを形成してから層間接
続する方法と、層間接続部を形成してから絶縁層を積層
する方法とに大別される。また、層間接続部は、ビアホ
ールをメッキで形成する場合と、導電性ペースト等で形
成する場合とに分けられ、使用される絶縁材料やビア形
成方法により、さらに細分化される。その中でも、プリ
プレグに層間接続用の微細ビアをレーザーで形成し、ビ
ア内を銅ペーストなどの導電性接着剤で穴埋めし、この
導電性接着剤により電気的接続を得る方法では、ビアの
上にビアを形成するスタックドビアが可能なため、高密
度化はもちろんのこと配線設計も非常に簡易化すること
ができる。しかしながら、この方法では、層間の電気的
接続を導電性接着剤で行っているため、信頼性が十分で
はない。また、微細なビアに導電性接着剤を埋め込む高
度な技術も必要となり、さらなる微細化に対応すること
が困難である。[0004] Against this background, recently, build-up multilayer wiring boards have been adopted. The build-up multilayer wiring board is formed while stacking an insulating layer made of only a resin and a conductor. As the interlayer connection method, high-density is achieved by freely arranging small-diameter via holes in various ways such as a laser method, a plasma method, and a photo method instead of the conventional drilling. Manufacturing methods of the build-up multilayer wiring board are roughly classified into a method of forming vias in an insulating layer and then connecting layers, and a method of forming an interlayer connecting portion and then stacking insulating layers. Further, the interlayer connection portion is divided into a case where a via hole is formed by plating and a case where the via hole is formed by a conductive paste or the like, and is further subdivided depending on an insulating material and a via forming method used. Among them, a method of forming fine vias for interlayer connection on a prepreg with a laser, filling the vias with a conductive adhesive such as copper paste, and obtaining an electrical connection with the conductive adhesive, a method of forming an electrical connection on the via Since stacked vias for forming vias are possible, not only high density but also wiring design can be greatly simplified. However, in this method, the electrical connection between the layers is performed using a conductive adhesive, and thus the reliability is not sufficient. In addition, an advanced technology for embedding a conductive adhesive in a fine via is required, and it is difficult to cope with further miniaturization.
【0005】特開平8−195560号公報では、「両
面又は片面に導電体回路層を有する絶縁体層と導電体回
路層を有しない絶縁体層とを所定数積み重ねた積層体と
を、加圧・成形し、同時に所定の少なくとも上下二つの
導電体回路層を電気的に接続させるプリント回路基板の
製造方法において、絶縁体層をいずれもガラス繊維を含
まないシート状の絶縁体樹脂層で形成し、導電体回路層
の所定場所上に導電体回路層間の電気的接続用の導電体
からなる突起(金属塊)を設けておき、積層体をプレス
治具板を用いて、プレスを行うものであり、プレス圧力
によって絶縁体樹脂層を突起が突き破り、対向する導電
体回路層に当接・圧着させる製造方法」が記載されてい
る。また、「さらに突起の先端部に、絶縁体樹脂層の樹
脂硬化温度より高い溶融温度を有する半田層を設けてお
き熱及び圧力で絶縁体樹脂層を突起で突き破り半田層を
導電体回路層に接続させた後、この状態で温度を半田の
溶融温度まで上昇し半田層を溶融させて突起を導電体回
路層に接続させた後、冷却して半田層を固化させる製造
方法」が記載されている。しかしながら、上記の前者の
方法では、電気的接続が物理的接触だけであり、信頼性
が低いことが予想される。後者の方法では、突起先端の
半田層と導電体回路層の表面が十分に清浄化、すなわ
ち、表面酸化膜の除去や還元がされていないと、半田が
濡れ拡がることができないため、半田接合することは不
可能である。Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-195560 discloses that “a laminate in which a predetermined number of insulator layers having conductor circuit layers on both sides or one side and insulator layers having no conductor circuit layers are stacked is pressurized. In a method of manufacturing a printed circuit board for forming and simultaneously electrically connecting at least two predetermined upper and lower conductive circuit layers, the insulating layers are formed of a sheet-shaped insulating resin layer containing no glass fiber. A protrusion (metal block) made of a conductor for electrical connection between the conductor circuit layers is provided on a predetermined location of the conductor circuit layer, and the laminate is pressed using a pressing jig plate. And a manufacturing method in which a protrusion breaks through an insulating resin layer by pressing pressure, and abuts and presses against an opposing conductive circuit layer. In addition, `` In addition, a solder layer having a melting temperature higher than the resin curing temperature of the insulating resin layer is provided at the tip of the protrusion, and the insulating resin layer is pierced by the protrusion with heat and pressure, and the solder layer is turned into a conductor circuit layer. After the connection, the temperature is raised to the melting temperature of the solder in this state, the solder layer is melted, the projections are connected to the conductor circuit layer, and then the manufacturing method is cooled and the solder layer is solidified. '' I have. However, in the former method, electrical connection is only physical contact, and it is expected that reliability is low. In the latter method, the solder layer at the tip of the protrusion and the surface of the conductor circuit layer are sufficiently cleaned, that is, if the surface oxide film is not removed or reduced, the solder cannot spread and wet, so the solder joint is performed. It is impossible.
【0006】特開平11−251703号公報では、
「導電性組成物によって充填された貫通孔を有する絶縁
体層と、導電組成物の一方または両方の面の上に形成さ
れた導電性のバッファー層と、導電性のバッファー層上
に形成された配線パターンとを備え、導電性のバッファ
ー層は、導電性組成物、配線パターンのいずれか一方ま
たは、両方と合金または金属間化合物を形成している回
路基板」が記載されいる。この方法においても、金属間
化合物を形成する導電性バッファー層、導電性組成物、
配線パターンの表面が、十分に清浄化されていないと、
導電性バッファー層が濡れ拡がることができず、金属接
合が不十分になり、信頼性の高い電気的接続が得られな
い。In JP-A-11-251703,
`` An insulator layer having a through hole filled with a conductive composition, a conductive buffer layer formed on one or both surfaces of the conductive composition, and a conductive buffer layer formed on the conductive buffer layer A circuit board having a wiring pattern and a conductive buffer layer forming an alloy or an intermetallic compound with either or both of the conductive composition and the wiring pattern. Also in this method, a conductive buffer layer forming an intermetallic compound, a conductive composition,
If the surface of the wiring pattern is not sufficiently cleaned,
The conductive buffer layer cannot wet and spread, metal bonding becomes insufficient, and a highly reliable electrical connection cannot be obtained.
【0007】特開平11−204939号公報では、
「絶縁シートの少なくとも片面に配線パターンを有し、
絶縁シートの表裏面を貫通して導電性のビアホールを有
し、そのビアホールと電気的に接続された表裏面の任意
の場所に接続用電極を設けた回路基板どうしを絶縁層を
介して複数枚積層した構造の多層回路基板であって、前
記複数の互いに隣接する回路基板どうしを結合する絶縁
層を、100〜300℃の温度に加熱すると粘度が10
00ポアズ以下に低下し、前記温度域に10分放置する
と少なくとも70〜80%が硬化する熱硬化性接着剤の
硬化層で構成してなる多層回路基板」が記載されてい
る。この方法においても、接続用電極として導電性接着
剤を用いたり、接続用電極表面にAuやSn等を形成し
Au−Sn合金などで接続を試みたりしているが、導電
性接着剤では前述したように信頼性が低く、Au−Sn
合金での接続では、Sn表面を清浄化していないため金
属間の濡れ性が悪く、接合が十分に形成されない。実際
に、「テープ状フィルムの一括積層方式による多層配線
板の開発」(エレクトロニクス実装学会誌、vol.
1、No.2(1998))の文献で示されているよう
に、Au−Sn合金が全面に濡れ拡がらないため、Au
−Snの間に熱硬化性接着剤を挟んだ部分的な接合とな
り、接続信頼性が十分ではない。ここで、熱硬化性接着
剤の硬化層をエポキシ系接着剤で設けられているが、具
体的にはエポキシ樹脂としてビスフェノールA型もしく
はクレゾールノボラック型であり、硬化剤として、フェ
ノールノボラック樹脂とあるが、その機能は層間接着の
みであり、金属表面の酸化膜の除去や、還元といった金
属表面の清浄化機能に関する記載はない。また、特開平
11−204939号公報では、「接続用電極として、
Sn−Pbはんだ等、Snを主成分とする合金を用いて
300℃以下の温度で、電気的な接続を行う方法」が記
載されているが、接合表面を清浄化しないと、半田接合
することは不可能である。In Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-204939,
`` Having a wiring pattern on at least one side of the insulating sheet,
A plurality of circuit boards having conductive via holes penetrating the front and back surfaces of the insulating sheet, and having connection electrodes provided at arbitrary locations on the front and back surfaces electrically connected to the via holes, via an insulating layer. A multi-layer circuit board having a laminated structure, wherein the insulating layer connecting the plurality of adjacent circuit boards has a viscosity of 10 to 100 ° C. when heated to a temperature of 100 to 300 ° C.
A multilayer circuit board comprising a cured layer of a thermosetting adhesive, which is reduced to not more than 00 poise and cured at least 70 to 80% when left in the temperature range for 10 minutes, is described. Also in this method, a conductive adhesive is used as a connection electrode, or Au or Sn is formed on the surface of the connection electrode and a connection is attempted with an Au-Sn alloy or the like. As shown, the reliability is low, and Au-Sn
In the connection using an alloy, the Sn surface is not cleaned, so that the wettability between metals is poor, and a sufficient bond is not formed. In fact, "Development of multilayer wiring board by batch lamination method of tape-like film" (Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, vol.
1, No. 2 (1998)), since the Au—Sn alloy does not spread over the entire surface,
-Sn is a partial joining with a thermosetting adhesive interposed therebetween, and the connection reliability is not sufficient. Here, the cured layer of the thermosetting adhesive is provided with an epoxy-based adhesive. Specifically, the epoxy resin is a bisphenol A type or a cresol novolak type, and the curing agent is a phenol novolak resin. Its function is only interlayer adhesion, and there is no description regarding a metal surface cleaning function such as removal of an oxide film on a metal surface or reduction. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-204939 states that “as a connection electrode,
A method of making an electrical connection at a temperature of 300 ° C. or less using an alloy containing Sn as a main component such as Sn—Pb solder ”is described, but soldering must be performed unless the bonding surface is cleaned. Is impossible.
【0008】一般に、半田接合のためには、半田表面と
相対する電極の、金属表面の酸化物などの汚れを除去す
ると共に、半田接合時の金属表面の再酸化を防止して、
半田の表面張力を低下させ、金属表面に溶融半田が濡れ
易くする、半田付け用フラックスが使用される。このフ
ラックスとしては、ロジンなどの熱可塑性樹脂系フラッ
クスに、酸化膜を除去、還元する活性剤等を加えたフラ
ックスが用いられている。しかしながら、このフラック
スが残存していると、高温、多湿時に熱可塑性樹脂が溶
融し、活性剤中の活性イオンも遊離するなど、電気絶縁
性の低下やプリント配線の腐食などの問題が生じる。そ
のため現在は、半田接合後の残存フラックスを洗浄除去
しなければならない。よって、前述の特開平8−195
560号公報、特開平11−251703号公報、特開
平11−204939号公報で記載された多層プリント
基板、回路基板、多層回路基板の金属接合のために、こ
の様な半田付け用のフラックスを用いても、確実に金属
接合はできるが、絶縁信頼性を得ることができない。[0008] In general, for solder bonding, dirt such as oxides on the metal surface of the electrode facing the solder surface is removed, and reoxidation of the metal surface during solder bonding is prevented.
A soldering flux is used, which lowers the surface tension of the solder and makes the molten solder more likely to wet the metal surface. As the flux, a flux obtained by adding an activator or the like for removing and reducing an oxide film to a thermoplastic resin flux such as rosin is used. However, if this flux remains, the thermoplastic resin melts at high temperature and high humidity, and the active ions in the activator are also released, causing problems such as a decrease in electrical insulation and corrosion of printed wiring. Therefore, at present, it is necessary to wash and remove the residual flux after soldering. Therefore, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No.
Such a soldering flux is used for metal bonding of a multilayer printed circuit board, a circuit board, and a multilayer circuit board described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 560, JP-A-11-251703 and JP-A-11-204939. Even though metal bonding can be performed reliably, insulation reliability cannot be obtained.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体チッ
プを搭載する多層配線板における、層間接続のこのよう
な現状の問題点に鑑み、確実に層間接続でき、且つ信頼
性の高い多層配線板を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problem of interlayer connection in a multilayer wiring board on which a semiconductor chip is mounted. The purpose is to provide.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、層間接続用の
導体ポストと、該導体ポストと接続するためのパッドを
有する配線パターンと、該導体ポストと該パッドとを接
合するための接合用金属材料層と、層間に存在する絶縁
層を具備した多層配線板であって、該絶縁層の少なくと
も一部が金属接合接着剤からなり、層間接続が金属接合
であることを特徴とする多層配線板である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a conductor post for interlayer connection, a wiring pattern having a pad for connection with the conductor post, and a bonding pattern for bonding the conductor post and the pad. A multilayer wiring board comprising a metal material layer and an insulating layer existing between the layers, wherein at least a part of the insulating layer is made of a metal bonding adhesive, and the interlayer connection is metal bonding. It is a board.
【0011】本発明の多層配線板の接合用金属材料層
は、好ましくは、半田からなり、さらには、導体ポスト
は、銅からなることが好ましい。The joining metal material layer of the multilayer wiring board of the present invention is preferably made of solder, and the conductor posts are preferably made of copper.
【0012】本発明の多層配線板の金属接合接着剤は、
好ましくは、少なくとも1つ以上のフェノール性水酸基
を有する樹脂(A)と、その硬化剤として作用する樹脂
(B)とを必須成分としてなり、さらには、前記フェノ
ール性水酸基を有する樹脂(A)が、フェノールノボラ
ック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、レゾー
ル樹脂、クレゾールノボラック樹脂及び、ポリビニルフ
ェノール樹脂から選ばれた、少なくとも1種であること
が好ましく、また、前記フェノール性水酸基を有する樹
脂(A)が、金属接合接着剤中に、20wt%以上80
wt%以下で含まれることが好ましい。The metal bonding adhesive for a multilayer wiring board of the present invention is:
Preferably, the resin (A) having at least one or more phenolic hydroxyl groups and the resin (B) acting as a curing agent thereof are essential components, and the resin (A) having the phenolic hydroxyl group is further included. Phenol novolak resin, alkylphenol novolak resin, resol resin, cresol novolak resin, and polyvinyl phenol resin, and it is preferable that the resin (A) having a phenolic hydroxyl group is metal-bonded. 20 wt% or more in the adhesive 80
It is preferably contained in an amount of not more than wt%.
【0013】また、本発明の多層配線板の金属接合接着
剤は、好ましくは、エポキシ樹脂(C)と、イミダゾー
ル環を有し且つエポキシ樹脂(C)の硬化剤として作用
する化合物(D)とを、必須成分としてなり、さらに
は、前記硬化剤として作用する化合物(D)が、金属接
合接着剤中に1wt%以上10wt%以下で含まれるこ
とが好ましい。The metal bonding adhesive for a multilayer wiring board of the present invention preferably comprises an epoxy resin (C) and a compound (D) having an imidazole ring and acting as a curing agent for the epoxy resin (C). Is an essential component, and the compound (D) acting as a curing agent is preferably contained in the metal bonding adhesive at 1 wt% to 10 wt%.
【0014】また、本発明は、導体ポストを形成する工
程と、前記導体ポストと接続するためのパッドを有する
配線パターンを形成する工程と、前記導体ポストと前記
パッドの少なくとも一方に接合用金属材料層を形成する
工程と、絶縁層を形成する工程と、前記導体ポストが、
前記絶縁層の少なくとも金属接合接着剤層部分を介し
て、前記接合用金属材料層により前記パッドと接合する
工程、加熱により前記金属接合接着剤層を硬化させる工
程、とを含んでなることを特徴とする多層配線板の製造
方法である。The present invention also provides a step of forming a conductor post, a step of forming a wiring pattern having a pad for connecting to the conductor post, and a step of forming a bonding metal material on at least one of the conductor post and the pad. A step of forming a layer, a step of forming an insulating layer, and the conductor post,
A step of bonding to the pad with the bonding metal material layer via at least a metal bonding adhesive layer portion of the insulating layer, and a step of curing the metal bonding adhesive layer by heating. This is a method for manufacturing a multilayer wiring board.
【0015】更に、本発明は、前記製造方法により得ら
れることを特徴とする多層配線板である。Further, the present invention is a multilayer wiring board obtained by the above manufacturing method.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明するが、本発明はこれによって何ら
限定されるものではない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
【0017】図1は、本発明の実施形態である多層配線
板およびその製造方法の例を説明するための図で、図1
(g)は本発明で得られる多層配線板の構造を示す断面
図である。本発明の多層配線板は、層間接続用の導体ポ
スト104が、層間に存在する絶縁層109の少なくと
も一部を形成する金属接合接着剤層108を介して、導
体ポスト104の先端に設けられた接合用金属材料層1
05により、被接続配線板111のパッド106aと接
合し、接続配線板110の非接合面上には、配線パター
ン107とパッド106が形成された構造となってい
る。絶縁層は、金属接合接着剤層の一層構造であって
も、絶縁膜層と金属接合接着剤層の二層構造等であって
も良い。FIG. 1 is a view for explaining an example of a multilayer wiring board according to an embodiment of the present invention and a method of manufacturing the same.
(G) is a sectional view showing the structure of the multilayer wiring board obtained by the present invention. In the multilayer wiring board of the present invention, the conductor post 104 for interlayer connection is provided at the tip of the conductor post 104 via the metal bonding adhesive layer 108 forming at least a part of the insulating layer 109 existing between the layers. Metallic material layer 1 for joining
05, the wiring pattern 107 and the pad 106 are formed on the non-bonded surface of the connection wiring board 110 by bonding to the pad 106a of the connected wiring board 111. The insulating layer may have a single-layer structure of a metal bonding adhesive layer, a two-layer structure of an insulating film layer and a metal bonding adhesive layer, or the like.
【0018】本発明の多層配線板の製造方法のとして
は、まず、絶縁膜101付き導体102を、絶縁膜10
1シート上に導体箔を加熱加圧しラミネートするか、導
体箔上に絶縁膜用樹脂ワニスを均一に塗工し乾燥するな
どして用意し、この絶縁膜101にビア103を形成す
る(図1(a))。ビア103の形成方法としては、レ
ーザーによる方法、感光性絶縁膜のイメージングによる
方法等がある。In the method for manufacturing a multilayer wiring board of the present invention, first, a conductor 102 with an insulating film 101 is
A conductive foil is laminated on one sheet by heating and pressing, or a resin varnish for an insulating film is uniformly applied on the conductive foil and dried to form a via 103 in the insulating film 101 (FIG. 1). (A)). Examples of a method for forming the via 103 include a method using a laser, a method using imaging of a photosensitive insulating film, and the like.
【0019】次いで、ビア103に層間接続用の導体ポ
スト104を形成する(図1(b))。導体ポスト10
4の形成方法としては、無電解メッキ及び/または電解
メッキ等の方法が挙げられる。あるいは、導体をエッチ
ングにより形成しても良い。導体をエッチングして形成
する例としては、予め導体の片側をエッチングして導体
ポストを形成後、形成した導体ポストを被覆するように
絶縁膜を形成し、その絶縁膜を研磨して導体ポスト先端
を露出させる方法等がある。Next, conductive posts 104 for interlayer connection are formed in the vias 103 (FIG. 1B). Conductor post 10
Examples of the method for forming 4 include methods such as electroless plating and / or electrolytic plating. Alternatively, the conductor may be formed by etching. As an example of forming a conductor by etching, a conductor post is formed by etching one side of the conductor in advance, then an insulating film is formed so as to cover the formed conductor post, and the insulating film is polished to polish the tip of the conductor post. And the like.
【0020】次に、導体ポスト104上に接合用金属材
料を施し、接合用金属材料層105を形成する(図1
(c))。接合用金属材料層105を形成する方法とし
ては、電解メッキ、無電解メッキ、接合用金属材料ペー
ストを印刷する方法等が挙げられる。接合用金属材料層
は、導体ポスト104上、もしくは、導体ポストと接続
される図1(f)に示す被接続配線板111のパッド1
06a上のいずれに形成しても良い。Next, a joining metal material is applied on the conductor posts 104 to form a joining metal material layer 105.
(C)). Examples of a method for forming the bonding metal material layer 105 include electrolytic plating, electroless plating, and a method of printing a bonding metal material paste. The bonding metal material layer is formed on the conductor post 104 or the pad 1 of the connected wiring board 111 shown in FIG.
06a.
【0021】次に、導体102をエッチングすることに
より、層間接続用のパッド106を有する配線パターン
107を形成する(図1(d))。配線パターン107
を形成する方法は、導体をエッチングして形成する方法
の他に、無電解銅メッキまたは/および電解銅メッキ等
のアディテブ工法が挙げられる。なお、図1(f)に示
す被接続配線板111は、図1(a)〜(d)に示す工
程と同様な工程により得ることができる。Next, a wiring pattern 107 having a pad 106 for interlayer connection is formed by etching the conductor 102 (FIG. 1D). Wiring pattern 107
In addition to the method of forming the conductor by etching, an additional method such as electroless copper plating and / or electrolytic copper plating may be used. The connected wiring board 111 shown in FIG. 1F can be obtained by the same steps as those shown in FIGS. 1A to 1D.
【0022】さらに、接合用金属材料層105が形成さ
れた面に金属接合接着剤層108を形成して、接続配線
板110を得る(図1(e))。この実施の形態の例で
は、絶縁膜101および金属接合接着剤層108の二層
が、絶縁層109を形成している。金属接合接着剤層1
08は、例えば、金属接合接着剤を、溶剤を用いてワニ
スとした後、接合用金属材料層105が形成された面
に、印刷、カーテンコート、バーコート等の方法で直接
塗布する方法、ドライフィルムタイプの金属接合接着剤
をロールラミネートでラミネートする方法等で形成され
る。金属接合接着剤層を形成する面は、図1(f)に示
す被接続配線板111のパッド106a側でも構わな
い。Further, a metal bonding adhesive layer 108 is formed on the surface on which the bonding metal material layer 105 is formed, and a connection wiring board 110 is obtained (FIG. 1E). In the example of this embodiment, two layers of the insulating film 101 and the metal bonding adhesive layer 108 form the insulating layer 109. Metal bonding adhesive layer 1
08 is, for example, a method of applying a metal bonding adhesive to a varnish using a solvent, and then directly applying a varnish to the surface on which the bonding metal material layer 105 is formed by printing, curtain coating, bar coating, or the like; It is formed by a method such as laminating a film type metal bonding adhesive by roll lamination. The surface on which the metal bonding adhesive layer is formed may be on the pad 106a side of the connected wiring board 111 shown in FIG.
【0023】上記で得た、接続配線板110の導体ポス
ト104の接続用金属材料層105と被接続配線板11
1のパッド106aとを位置合わせをする(図1
(f))。位置合わせは、各層の配線パターンに、予め
形成されている位置決めマークを、画像認識装置により
読み取り位置合わせする方法、位置合わせ用のピン等で
位置合わせする方法等を用いることができる。被接続配
線板111は、図1(a)〜(d)に示す工程と同様な
工程により得られるものであっても、ビルドアップ多層
配線板のコア基板として一般的に用いられるガラスエポ
キシ銅張積層板であっても良い。The above-obtained connection metal material layer 105 of the conductor post 104 of the connection wiring board 110 and the connection wiring board 11
The first pad 106a is aligned (FIG. 1).
(F)). The alignment can be performed by a method in which a positioning mark formed in advance on the wiring pattern of each layer is read and aligned by an image recognition device, or a method in which alignment is performed using a positioning pin or the like. The connected wiring board 111 may be obtained by the same steps as those shown in FIGS. 1A to 1D, but may be made of glass epoxy copper clad generally used as a core substrate of a build-up multilayer wiring board. It may be a laminated plate.
【0024】位置合わせ後、金属接合が可能な温度に加
熱して、導体ポスト104が、金属接合接着剤層108
を介して、接合用金属材料105により被接続配線板1
11のパッド106aと接合するまで加圧し、更に加熱
して金属接合接着剤層108を硬化させて層間を接着す
ることにより、接続配線板110および被接続配線板1
11を積層する(図1(g))。各層を積層する方法
は、真空プレス等の方法を用いることができる。After the alignment, the conductor post 104 is heated to a temperature at which metal bonding is possible, and the conductor post 104 is brought into contact with the metal bonding adhesive layer 108.
To be connected to the wiring board 1 by the joining metal material 105
11 until the bonding to the pad 106a, and further heating to cure the metal bonding adhesive layer 108 and bond the layers, thereby connecting the wiring board 110 and the wiring board 1 to be connected.
11 are laminated (FIG. 1 (g)). As a method of laminating each layer, a method such as a vacuum press can be used.
【0025】以上の工程により、各層の配線パターンと
導体ポストとを接合用金属材料にて金属接合し、各層間
を金属接合接着剤にて接着した多層配線板を製造するこ
とができる。Through the above steps, a multilayer wiring board can be manufactured in which the wiring patterns of each layer and the conductor posts are metal-bonded with a bonding metal material and the respective layers are bonded with a metal bonding adhesive.
【0026】本発明に用いる接合用金属材料層は、半田
からなることが好ましい。半田接合を用いることで、A
u−Au接合等の超音波を用いたシングルポイントボン
ディング法と比較し、一括して金属接合可能であるた
め、生産性が高く、低コスト化が可能である。また、半
田接合は、銅ペーストや銀ペーストを用いた接続方法、
導体ポストとパッドの物理的接触による接続方法と比較
しても信頼性が高い。使用する半田の例として、Snや
In、もしくはSn、Ag、Cu、Zn、Bi、Pd、
Sb、Pb、In、Auの少なくとも二種からなる半田
を用いることができる。より好ましくは、環境に優しい
Pbフリー半田である。The joining metal material layer used in the present invention is preferably made of solder. By using solder bonding, A
Compared with a single point bonding method using ultrasonic waves such as u-Au bonding, metal bonding can be performed at once, so that productivity is high and cost can be reduced. In addition, soldering is a connection method using copper paste or silver paste,
The reliability is higher than the connection method by physical contact between the conductor post and the pad. Examples of the solder used include Sn, In, or Sn, Ag, Cu, Zn, Bi, Pd,
Solder made of at least two kinds of Sb, Pb, In, and Au can be used. More preferably, it is an environment-friendly Pb-free solder.
【0027】本発明に用いる導体ポストは、銅、アルミ
ニウム、銀、ニッケル、錫等の金属であれば種類を問わ
ない。より好ましくは、導体ポストは銅からなる。銅を
用いることで、低電気抵抗で安定した電気的接続が得ら
れる。導体ポストの形成方法として、銅箔をエッチング
して形成、または無電解メッキもしくは電解メッキによ
り形成する方法等がある。エッチングで導体ポストを形
成する利点としては、導体ポスト間の高さが均一に揃う
ことである。一方、メッキにより導体ポストを形成する
利点は、形成した導体ポストの先端の形状を自由に制御
できる点にある。The type of the conductor post used in the present invention is not limited as long as it is a metal such as copper, aluminum, silver, nickel and tin. More preferably, the conductor posts are made of copper. By using copper, stable electric connection with low electric resistance can be obtained. As a method of forming the conductor post, there is a method of forming by etching a copper foil, or a method of forming by electroless plating or electrolytic plating. An advantage of forming the conductor posts by etching is that the heights between the conductor posts are uniform. On the other hand, the advantage of forming the conductor post by plating is that the shape of the tip of the formed conductor post can be freely controlled.
【0028】本発明に用いる金属接合接着剤は、表面清
浄化機能を有し、且つ絶縁信頼性の高い接着剤であるこ
とが好ましい。表面清浄化機能としては、例えば、接合
用金属材料層表面や被接続金属表面に存在する酸化膜の
除去機能や、酸化膜の還元機能である。この金属接合接
着剤の表面清浄化機能により、接合用金属材料層と接続
するための表面との濡れ性が十分に高まる。そのため、
金属接合接着剤は、金属表面を清浄化するために、接合
用金属材料層と接続するための表面とに、必ず、接触し
ている必要がある。両表面を清浄化することで、接合用
金属材料層が、被接合表面に対して濡れ拡がろうとする
力が働き、その接合用金属材料層の濡れ拡がりの力によ
り、金属接合部における金属接合接着剤が排除される。
これより、金属接合接着剤を用いた金属接合には、樹脂
残りが発生しにくく、且つその電気的接続信頼性は高い
ものとなる。The metal bonding adhesive used in the present invention is preferably an adhesive having a surface cleaning function and high insulation reliability. The surface cleaning function includes, for example, a function of removing an oxide film present on the surface of the bonding metal material layer and the surface of the metal to be connected, and a function of reducing the oxide film. Due to the surface cleaning function of the metal bonding adhesive, wettability with the surface for connection with the bonding metal material layer is sufficiently enhanced. for that reason,
In order to clean the metal surface, the metal bonding adhesive must be in contact with the surface for connection with the bonding metal material layer. By cleaning both surfaces, the force of the joining metal material layer to wet and spread on the surface to be joined works, and the force of the wetting and spreading of the joining metal material layer causes the metal joining at the metal joining portion. The adhesive is eliminated.
As a result, in the metal bonding using the metal bonding adhesive, resin residue is less likely to be generated, and the electrical connection reliability is high.
【0029】本発明に用いる第1の好ましい金属接合接
着剤は、少なくとも1つ以上のフェノール性水酸基を有
する樹脂(A)と、その硬化剤として作用する樹脂
(B)とを必須成分としており、フェノール性水酸基を
有する樹脂(A)の、フェノール性水酸基は、その表面
清浄化機能により、接合用金属材料層および金属表面の
酸化物などの汚れの除去あるいは、酸化物を還元し、金
属接合のフラックスとして作用する。更に、その硬化剤
として作用する樹脂(B)により、良好な硬化物を得る
ことができるため、金属接合後の洗浄除去が必要なく、
高温、多湿雰囲気でも電気絶縁性を保持し、接合強度、
信頼性の高い金属接合を可能とする。The first preferred metal bonding adhesive used in the present invention comprises, as essential components, a resin (A) having at least one or more phenolic hydroxyl groups and a resin (B) acting as a curing agent thereof. The phenolic hydroxyl group of the resin (A) having a phenolic hydroxyl group removes dirt such as an oxide on a bonding metal material layer and a metal surface or reduces oxides by its surface cleaning function, thereby reducing the metal bonding. Acts as a flux. Further, since a good cured product can be obtained by the resin (B) acting as a curing agent, cleaning and removal after metal bonding is not required.
Maintains electrical insulation even in a high-temperature, high-humidity atmosphere,
Enables highly reliable metal bonding.
【0030】本発明において第1の好ましい金属接合接
着剤に用いる、少なくとも1つ以上のフェノール性水酸
基を有する樹脂(A)としては、フェノールノボラック
樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、レゾール樹
脂、クレゾールノボラック樹脂及び、ポリビニルフェノ
ール樹脂から選ばれるのが好ましく、これらの1種以上
を用いることができる。The resin (A) having at least one phenolic hydroxyl group used in the first preferred metal bonding adhesive in the present invention includes a phenol novolak resin, an alkylphenol novolak resin, a resole resin, a cresol novolak resin, It is preferably selected from polyvinylphenol resins, and one or more of these can be used.
【0031】本発明において第1の好ましい金属接着剤
に用いる、フェノール性水酸基を有する樹脂(A)の、
硬化剤として作用する樹脂(B)としては、エポキシ樹
脂やイソシアネート樹脂などが用いられる。具体的には
いずれも、ビスフェノール系、フェノールノボラック
系、アルキルフェノールノボラック系、ビフェノール
系、ナフトール系やレソルシノール系などのフェノール
ベースのものや、脂肪族、環状脂肪族や不飽和脂肪族な
どの骨格をベースとして変性されたエポキシ化合物やイ
ソシアネート化合物が挙げられる。The resin (A) having a phenolic hydroxyl group used for the first preferred metal adhesive in the present invention comprises:
As the resin (B) acting as a curing agent, an epoxy resin, an isocyanate resin, or the like is used. Specifically, all are based on phenol-based compounds such as bisphenol, phenol novolak, alkylphenol novolak, biphenol, naphthol and resorcinol, and skeletons such as aliphatic, cycloaliphatic and unsaturated aliphatic. Examples thereof include modified epoxy compounds and isocyanate compounds.
【0032】本発明において第1の好ましい金属接合接
着剤に用いる、フェノール性水酸基を有する樹脂(A)
は、接着剤中に、20wt%以上80wt%以下で含ま
れることが好ましい。更に好ましい上限値は、60wt
%である。20wt%未満であると、金属表面を清浄化
する作用が低下し、金属接合できなくなる恐れがある。
また、80wt%より多いと、十分な硬化物が得られな
くなる恐れがあり、その場合、接合強度と信頼性が低下
する。一方、硬化剤として作用する樹脂(B)は、接着
剤中に、20wt%以上80wt%以下で含まれること
が好ましい。また、金属接合接着剤に用いる樹脂に、着
色料や、硬化触媒、無機充填材、各種のカップリング
剤、溶媒などを添加しても良い。The resin (A) having a phenolic hydroxyl group used in the first preferred metal bonding adhesive in the present invention.
Is preferably contained in the adhesive in an amount of 20 wt% or more and 80 wt% or less. A more preferred upper limit is 60 wt.
%. If the content is less than 20 wt%, the effect of cleaning the metal surface is reduced, and there is a possibility that metal bonding cannot be performed.
On the other hand, if it is more than 80% by weight, a sufficient cured product may not be obtained, in which case the bonding strength and the reliability are reduced. On the other hand, the resin (B) acting as a curing agent is preferably contained in the adhesive in an amount of 20 wt% or more and 80 wt% or less. Further, a colorant, a curing catalyst, an inorganic filler, various coupling agents, a solvent, and the like may be added to the resin used for the metal bonding adhesive.
【0033】本発明に用いる第2の好ましい金属接合接
着剤は、エポキシ樹脂(C)と、イミダゾール環を有し
且つエポキシ樹脂(C)の硬化剤として作用する化合物
(D)とを、必須成分としており、化合物(D)のイミ
ダゾール環は、三級アミンの不対電子に起因する表面清
浄化機能により、接合用金属材料層および金属表面の酸
化物などの汚れの除去あるいは、酸化膜を還元し、金属
接合のフラックスとして作用する。更に、イミダゾール
環は、エポキシ樹脂(C)をアニオン重合する際の硬化
剤としても作用するため、良好な硬化物を得ることがで
き、半田接合後の洗浄除去が必要なく、高温、多湿雰囲
気でも電気絶縁性を保持し、接合強度、信頼性の高い金
属接合を可能とする。The second preferred metal bonding adhesive used in the present invention comprises an epoxy resin (C) and a compound (D) having an imidazole ring and acting as a curing agent for the epoxy resin (C) as essential components. The imidazole ring of compound (D) removes dirt such as oxide on the bonding metal material layer and the metal surface or reduces the oxide film by the surface cleaning function caused by the unpaired electrons of the tertiary amine. And acts as a flux for metal bonding. Further, since the imidazole ring also acts as a curing agent when anionically polymerizing the epoxy resin (C), it is possible to obtain a good cured product, and it is not necessary to remove and wash after soldering. Maintains electrical insulation and enables metal bonding with high bonding strength and high reliability.
【0034】本発明において第2の好ましい金属接合接
着剤に用いる化合物(D)の添加量は、1wt%以上1
0wt%以下であることが好ましい。より好ましい上限
値としては5wt%である。化合物(D)の添加量が1
wt%未満では表面清浄化機能が弱く、また、エポキシ
樹脂(C)を充分に硬化させることができなくなる恐れ
がある。また、化合物(D)の添加量が10wt%より
多い場合は、硬化反応が急激に進行し、金属接合時にお
ける金属接合接着剤層の流動性が低下し、金属接合を阻
害する恐れがある。さらに、得られる硬化物が脆くな
り、十分な強度の金属接合部が得られなくなる恐れがあ
る。In the present invention, the amount of the compound (D) used for the second preferable metal bonding adhesive is 1 wt% or more and 1 wt% or more.
The content is preferably 0% by weight or less. A more preferred upper limit is 5 wt%. When the amount of compound (D) added is 1
If it is less than wt%, the surface cleaning function is weak, and the epoxy resin (C) may not be sufficiently cured. If the amount of the compound (D) is more than 10% by weight, the curing reaction proceeds rapidly, the fluidity of the metal bonding adhesive layer during metal bonding is reduced, and metal bonding may be hindered. Further, the obtained cured product may become brittle, and a metal joint having sufficient strength may not be obtained.
【0035】本発明において第2の好ましい金属接合接
着剤で、化合物(D)と組合わせて用いるエポキシ樹脂
(C)としては、ビスフェノール系、フェノールノボラ
ック系、アルキルフェノールノボラック系、ビフェノー
ル系、ナフトール系やレソルシノール系などの、フェノ
ールベースのエポキシ樹脂や、脂肪族、環状脂肪族や不
飽和脂肪族などの骨格をベースとして変性されたエポキ
シ化合物が挙げられる。The epoxy resin (C) used in combination with the compound (D) in the second preferred metal bonding adhesive of the present invention includes bisphenol, phenol novolak, alkylphenol novolak, biphenol, naphthol and the like. Examples thereof include a phenol-based epoxy resin such as a resorcinol-based resin and an epoxy compound modified based on a skeleton of an aliphatic, cycloaliphatic, or unsaturated aliphatic group.
【0036】本発明において第2の好ましい金属接合接
着剤で用いるイミダゾール環を有し且つエポキシ樹脂
(C)の硬化剤として作用する化合物(D)としては、
イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−
4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、
1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ウンデシ
ルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾー
ル、ビス(2−エチル−4−メチル−イミダゾール)、
2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミ
ダゾール、2−フェニル−4、5−ジヒドロキシメチル
イミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メ
チルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミ
ダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾー
ル、あるいはトリアジン付加型イミダゾール等が挙げら
れる。また、これらをエポキシアダクト化したものや、
マイクロカプセル化したものも使用できる。これらは単
独で使用しても2種類以上を併用しても良い。The compound (D) having an imidazole ring and acting as a curing agent for the epoxy resin (C) used in the second preferred metal bonding adhesive in the present invention includes:
Imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-
4-methylimidazole, 2-phenylimidazole,
1-benzyl-2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, bis (2-ethyl-4-methyl-imidazole),
2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1- Examples thereof include cyanoethyl-2-phenylimidazole and triazine-added imidazole. In addition, these are made into epoxy adducts,
Microencapsulated ones can also be used. These may be used alone or in combination of two or more.
【0037】本発明において第2の好ましい金属接合接
着剤に用いるエポキシ樹脂(C)の配合量は、金属接合
接着剤全体の30〜99wt%が好ましい。30wt%
未満であると、十分な硬化物が得られなくなる恐れがあ
る。エポキシ樹脂(C)とその硬化剤として作用する化
合物(D)以外の成分としては、金属接合接着剤に用い
る樹脂に、シアネート樹脂、アクリル酸樹脂、メタクリ
ル酸樹脂、マレイミド樹脂等の熱硬化性樹脂や熱可塑性
樹脂を配合しても良い。また、金属接合接着剤に用いる
樹脂に、着色料や、硬化触媒、無機充填材、各種のカッ
プリング剤、溶媒などを添加しても良い。In the present invention, the blending amount of the epoxy resin (C) used for the second preferable metal bonding adhesive is preferably 30 to 99% by weight of the whole metal bonding adhesive. 30wt%
If the amount is less than the above range, a sufficient cured product may not be obtained. Components other than the epoxy resin (C) and the compound (D) acting as a curing agent thereof include resins used for metal bonding adhesives, and thermosetting resins such as cyanate resins, acrylic resins, methacrylic resins, and maleimide resins. Or a thermoplastic resin. Further, a colorant, a curing catalyst, an inorganic filler, various coupling agents, a solvent, and the like may be added to the resin used for the metal bonding adhesive.
【0038】金属接合接着剤の調製方法は、例えば、固
形のフェノール性水酸基を有する樹脂(A)と固形の硬
化剤として作用する樹脂(B)を溶媒に溶解して調製す
る方法、固形のフェノール性水酸基を有する樹脂(A)
を液状の硬化剤として作用する樹脂(B)に溶解して調
製する方法、固形の硬化剤として作用する樹脂(B)を
液状のフェノール性水酸基を有する樹脂(A)に溶解し
て調製する方法、固形のエポキシ樹脂(C)を溶媒に溶
解した溶液に、イミダゾール環を有し且つエポキシ樹脂
(C)の硬化剤として作用する化合物(D)を分散もし
くは溶解する方法、液状のエポキシ樹脂(C)にイミダ
ゾール環を有し且つエポキシ樹脂(C)の硬化剤として
作用する化合物(D)を分散もしくは溶解する方法等が
挙げられる。使用する溶媒としては、アセトン、メチル
エチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサ
ノン、トルエン、メシチレン、キシレン、ヘキサン、イ
ソブタノール、n−ブタノール、1−メトキシ,2−プ
ロパノールアセテート、ブチルセルソルブ、エチルセル
ソルブ、メチルセルソルブ、セルソルブアセテート、乳
酸エチル、酢酸エチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジ
エチル、フタル酸ジブチル、ジエチレングリコール、安
息香酸−n−ブチル、N−メチルピロリドン、N,N−
ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン、γ−ブチ
ルラクトン、アニソール等が挙げられる。好ましくは、
沸点が200℃以下の溶媒である。The method for preparing the metal bonding adhesive includes, for example, a method in which a resin (A) having a solid phenolic hydroxyl group and a resin (B) acting as a solid curing agent are dissolved in a solvent, and a method in which a solid phenol is prepared. Resin having a functional hydroxyl group (A)
And a method of dissolving the resin in a resin (B) acting as a liquid curing agent, and a method of dissolving the resin (B) acting as a solid curing agent in a resin (A) having a liquid phenolic hydroxyl group. A method of dispersing or dissolving a compound (D) having an imidazole ring and acting as a curing agent for the epoxy resin (C) in a solution in which the solid epoxy resin (C) is dissolved in a solvent; )), A method of dispersing or dissolving a compound (D) having an imidazole ring and acting as a curing agent for the epoxy resin (C). As a solvent to be used, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, toluene, mesitylene, xylene, hexane, isobutanol, n-butanol, 1-methoxy, 2-propanol acetate, butyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl cello Solve, Cellsolve acetate, ethyl lactate, ethyl acetate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, diethylene glycol, n-butyl benzoate, N-methylpyrrolidone, N, N-
Examples include dimethylformamide, tetrahydrofuran, γ-butyllactone, anisole and the like. Preferably,
A solvent having a boiling point of 200 ° C. or less.
【0039】[0039]
【実施例】以下、実施例により更に具体的に説明する
が、本発明はこれによって何ら限定されるものではな
い。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples, but it should not be construed that the invention is limited thereto.
【0040】実施例1 [金属接合接着剤ワニスの作製]m,p−クレゾールノボ
ラック樹脂(日本化薬(株)製PAS−1、OH当量12
0)100gと、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(日
本化薬(株)製RE−404S、エポキシ当量165)1
40gを、シクロヘキサノン60gに溶解し、硬化触媒
としてトリフェニルフォスフィン(北興化学工業(株)
製)0.2gを添加し、金属接合接着剤ワニスを作製し
た。Example 1 [Preparation of a metal bonding adhesive varnish] m, p-cresol novolak resin (PAS-1, Nippon Kayaku Co., Ltd., OH equivalent: 12)
0) 100 g and bisphenol F type epoxy resin (RE-404S, Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent: 165) 1
40 g was dissolved in 60 g of cyclohexanone, and triphenylphosphine (Hokuko Chemical Co., Ltd.) was used as a curing catalyst.
Was added to produce a metal bonding adhesive varnish.
【0041】[多層配線板の作製]12μm厚みの銅箔
(導体102)上の25μm厚みのポリイミド樹脂膜
(絶縁膜101)に、50μm径のビア(ビア103)
をUV−YAGレーザーにより形成した。電解銅メッキ
によりビアを銅で充填し、銅ポスト(導体ポスト10
4)を形成した。形成した銅ポスト上にSn−Pb共晶
半田(接合用金属材料105)を電解メッキにより形成
した。銅箔面側にエッチングマスクを形成し、線幅/線
間=40μm/40μmの配線パターン(配線パターン
107)およびパッド(パッド106)を形成した。バ
ーコートにより、上記で得られた金属接合接着剤ワニス
を、Sn−Pb共晶半田メッキが施された面に塗布後、
80℃で20分乾燥し、15μm厚みの金属接合接着剤
層(金属接合接着剤層108)を形成し、接続配線板
(接続配線板110)を得た。各層の配線パターンに、
予め形成されている位置決めマークを、画像認識装置に
より読み取り、12μm厚みの配線パターンとパッド
(パッド206)が形成されたFR−5相当のガラスエ
ポキシコア基板(201)からなる被接続配線板(被接
続配線板211)と、金属接合接着剤層が形成された接
続配線板の配線パターンとを位置合わせし、100℃の
温度で仮圧着した。この工程によりガラスエポキシコア
基板の両面に、接続配線板を貼り合わせた。これを、真
空プレスにより、220℃の温度で加熱加圧して、銅ポ
スト(104)が、金属接合接着剤層(108)を介し
て、被接続配線板のパッド(106a)と半田接合し、
さらに、これを180℃で60分熱処理して、金属接合
接着剤層を硬化し、ガラスエポキシコア基板と接続配線
板とを金属接合接着剤により接着させ、温度サイクル試
験用の多層配線板を得た。[Preparation of Multilayer Wiring Board] A 50 μm diameter via (via 103) is formed on a 25 μm thick polyimide resin film (insulating film 101) on a 12 μm thick copper foil (conductor 102).
Was formed by a UV-YAG laser. The via is filled with copper by electrolytic copper plating, and the copper post (conductor post 10) is filled.
4) was formed. On the formed copper post, Sn-Pb eutectic solder (joining metal material 105) was formed by electrolytic plating. An etching mask was formed on the copper foil side, and a wiring pattern (wiring pattern 107) and a pad (pad 106) having a line width / line space of 40 μm / 40 μm were formed. After applying the metal bonding adhesive varnish obtained above on the surface on which the Sn-Pb eutectic solder plating has been applied by bar coating,
After drying at 80 ° C. for 20 minutes, a metal bonding adhesive layer (metal bonding adhesive layer 108) having a thickness of 15 μm was formed, and a connection wiring board (connection wiring board 110) was obtained. In the wiring pattern of each layer,
A positioning mark formed in advance is read by an image recognition device, and a wiring board to be connected (a wiring board) made of a glass epoxy core substrate (201) equivalent to FR-5 on which a wiring pattern of 12 μm thickness and a pad (pad 206) are formed. The connection wiring board 211) was aligned with the wiring pattern of the connection wiring board on which the metal bonding adhesive layer was formed, and was temporarily pressed at a temperature of 100 ° C. In this step, connection wiring boards were bonded to both surfaces of the glass epoxy core substrate. This is heated and pressed by a vacuum press at a temperature of 220 ° C., and the copper post (104) is soldered to the pad (106a) of the wiring board to be connected via the metal bonding adhesive layer (108).
Further, this is heat-treated at 180 ° C. for 60 minutes to cure the metal bonding adhesive layer, and bond the glass epoxy core substrate and the connection wiring board with the metal bonding adhesive to obtain a multilayer wiring board for a temperature cycle test. Was.
【0042】得られた多層配線板は、図2に示すよう
に、温度サイクル試験用に両面に各々60個の金属接合
部が直列につながるように回路設計されている。また、
その多層配線板には、絶縁抵抗試験用に線幅/線間=4
0μm/40μmのくし形配線パターンも形成されてい
る。As shown in FIG. 2, the obtained multilayer wiring board is designed to have a circuit in which 60 metal joints are connected in series on both sides for a temperature cycle test. Also,
The multilayer wiring board has a line width / line interval = 4 for an insulation resistance test.
A comb wiring pattern of 0 μm / 40 μm is also formed.
【0043】上記で得られた多層配線板について、温度
サイクル試験、金属接合部断面観察および絶縁抵抗試験
を行い、評価結果は、まとめて表1に示した。The multilayer wiring board obtained above was subjected to a temperature cycle test, a cross-section observation of a metal joint, and an insulation resistance test. The evaluation results are shown in Table 1.
【0044】実施例2 実施例1において、金属接合接着剤ワニスの作製で用い
た、m,p−クレゾールノボラック樹脂100gに代え
て、ビスフェノールA型ノボラック樹脂(大日本インキ
化学工業(株)製LF4781、OH当量120)100
gを用いた以外は、実施例1と同様にして、金属接合接
着剤ワニス及び多層配線板を作製し、評価した。Example 2 In Example 1, a bisphenol A type novolak resin (LF4781 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) was used in place of 100 g of the m, p-cresol novolak resin used in the preparation of the metal bonding adhesive varnish in Example 1. , OH equivalent 120) 100
Except for using g, a metal bonding adhesive varnish and a multilayer wiring board were prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.
【0045】実施例3 実施例1において、金属接合接着剤ワニスの作製に用い
た、m,p−クレゾールノボラック樹脂100gに代え
て、ポリビニルフェノール樹脂(丸善石油化学(株)製マ
ルカリンカ−M、OH当量120)100gを用いた以
外は、実施例1と同様にして、金属接合接着剤ワニス及
び多層配線板を作製し、評価した。Example 3 In Example 1, instead of 100 g of m, p-cresol novolak resin used for preparing the metal bonding adhesive varnish, polyvinyl phenol resin (Marukalinker M, OH manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) was used. A metal bonding adhesive varnish and a multilayer wiring board were prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 100 g of the equivalent 120) was used.
【0046】実施例4 フェノールノボラック樹脂(住友デュレズ(株)製PR−
51470、OH当量105)100gと、ジアリルビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製RE−
810NM、エポキシ当量220)210gを、シクロ
ヘキサノン80gに溶解し、硬化触媒として2−フェニ
ル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化
成工業(株)製2PHZ−PW)0.3gを添加し、金
属接合接着剤ワニスを作製し、次いで、実施例1と同様
の方法にて、多層配線板を作製し、評価した。Example 4 Phenol novolak resin (PR-produced by Sumitomo Durez Co., Ltd.)
51470, OH equivalent 105) 100 g, diallyl bisphenol A type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. RE-
210 g of 810 NM, epoxy equivalent 220) was dissolved in 80 g of cyclohexanone, and 0.3 g of 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole (2PHZ-PW manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.) was added as a curing catalyst, followed by metal bonding. An adhesive varnish was prepared, and then a multilayer wiring board was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.
【0047】実施例5 ビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製RE
−404S、エポキシ当量165)30gと、クレゾー
ルノボラックエポキシ樹脂(EOCN−1020−6
5、日本化薬(株)製、エポキシ当量200)70gを、
シクロヘキサノン60gに溶解し、硬化剤として2−フ
ェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾー
ル(四国化成工業(株)製2P4MHZ−PW、融点1
92℃〜197℃)1.5g添加し、金属接合接着剤ワ
ニスを作製し、次いで、実施例1と同様の方法にて、多
層配線板を作製し、評価した。Example 5 Bisphenol F type epoxy resin (RE manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
-404S, epoxy equivalent 165) 30 g, and cresol novolak epoxy resin (EOCN-1020-6).
5, 70 g of Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 200)
Dissolved in 60 g of cyclohexanone, and used as a curing agent 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole (2P4MHZ-PW manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., melting point 1)
(92 ° C. to 197 ° C.) 1.5 g was added to prepare a metal bonding adhesive varnish, and then a multilayer wiring board was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.
【0048】実施例6 実施例5に用いた、2−フェニル−4−メチル−5−ヒ
ドロキシメチルイミダゾール1.5gに代えて、2−フ
ェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾー
ル3gを用いた以外は、実施例5と同様にして、金属接
合接着剤ワニスを作製した。Example 6 In place of 1.5 g of 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole used in Example 5, 3 g of 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole was used. Except for the above, a metal joining adhesive varnish was produced in the same manner as in Example 5.
【0049】実施例7 実施例5に用いた、2−フェニル−4−メチル−5−ヒ
ドロキシメチルイミダゾール1.5gに代えて、2−フ
ェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾー
ル5gを用いた以外は、実施例5と同様にして、金属接
合接着剤ワニスを作製し、次いで、実施例1と同様の方
法にて、多層配線板を作製し、評価した。Example 7 In place of 1.5 g of 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole used in Example 5, 5 g of 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole was used. Except for the above, a metal bonding adhesive varnish was produced in the same manner as in Example 5, and then a multilayer wiring board was produced and evaluated in the same manner as in Example 1.
【0050】実施例8 m,p−クレゾールノボラック樹脂(日本化薬(株)製P
AS−1、OH当量120)100gと、ビスフェノー
ルF型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製RE−404S、
エポキシ当量165)140gを、シクロヘキサノン6
0gに溶解し、金属接合接着剤ワニスを作製した。次い
で、多層配線板の作製については、金属接合接着剤層を
硬化条件を180℃で60分、200℃で60分熱処理
した以外は、実施例1と同様の方法にて行い、評価し
た。Example 8 m, p-cresol novolak resin (Nippon Kayaku Co., Ltd.
AS-1, OH equivalent 120) and bisphenol F type epoxy resin (RE-404S, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
140 g of epoxy equivalent 165) was added to cyclohexanone 6
0 g to prepare a metal bonding adhesive varnish. Next, a multilayer wiring board was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the metal bonding adhesive layer was heat-treated at 180 ° C. for 60 minutes and at 200 ° C. for 60 minutes under the curing conditions.
【0051】実施例9 フェノールノボラック樹脂(住友デュレズ(株)製PR−
HF−3、OH当量106)106gと、ジアリルビス
フェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製RE−8
10NM、エポキシ当量220)35gと、ジシクロペ
ンタジエン型ノボラックエポキシ樹脂(日本化薬(株)製
XD−1000L、エポキシ当量250)210gを、
メチルエチルケトン100gに溶解し、金属接合接着剤
ワニスを作製した。次いで、多層配線板の作製について
は、金属接合接着剤層を硬化条件を180℃で60分、
200℃で60分熱処理した以外は、実施例1と同様の
方法にて行い、評価した。Example 9 Phenol novolak resin (PR-produced by Sumitomo Durez Co., Ltd.)
106 g of HF-3, OH equivalent 106) and diallyl bisphenol A type epoxy resin (RE-8 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
35 g of 10NM, epoxy equivalent 220) and 210 g of dicyclopentadiene type novolak epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. XD-1000L, epoxy equivalent 250)
It was dissolved in 100 g of methyl ethyl ketone to produce a metal bonding adhesive varnish. Next, regarding the production of the multilayer wiring board, the metal bonding adhesive layer was cured at 180 ° C. for 60 minutes.
Except that the heat treatment was performed at 200 ° C. for 60 minutes, the evaluation was performed and performed in the same manner as in Example 1.
【0052】実施例10 フェノールノボラック樹脂(住友デュレズ(株)製PR−
53647、OH当量106)106gと、ジアリルビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製RE−
810NM、エポキシ当量220)35gと、ジシクロ
ペンタジエン型ノボラックエポキシ樹脂(日本化薬(株)
製XD−1000L、エポキシ当量250)210g
を、メチルエチルケトン100gに溶解し、金属接合接
着剤ワニスを作製した。次いで、多層配線板の作製につ
いては、金属接合接着剤層を硬化条件を180℃で60
分、200℃で60分熱処理した以外は、実施例1と同
様の方法にて行い、評価した。Example 10 Phenol novolak resin (PR-produced by Sumitomo Durez Co., Ltd.)
53647, OH equivalent 106), 106 g, and diallyl bisphenol A type epoxy resin (RE-Nippon Kayaku Co., Ltd.)
810 NM, epoxy equivalent 220) 35 g and dicyclopentadiene type novolak epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd.)
XD-1000L, epoxy equivalent 250) 210g
Was dissolved in 100 g of methyl ethyl ketone to prepare a metal bonding adhesive varnish. Next, for the production of the multilayer wiring board, the metal bonding adhesive layer was cured at 180 ° C. for 60 hours.
And a heat treatment at 200 ° C. for 60 minutes was performed in the same manner as in Example 1, and evaluated.
【0053】実施例11 ビスフェノールA型ノボラック樹脂(住友デュレズ(株)
製LF4871、OH当量120)120gと、ジアリ
ルビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製R
E−810NM、エポキシ当量220)35gと、ジシ
クロペンタジエン型ノボラックエポキシ樹脂(日本化薬
(株)製XD−1000L、エポキシ当量250)210
gを、メチルエチルケトン100gに溶解し、金属接合
接着剤ワニスを作製した。次いで、多層配線板の作製に
ついては、金属接合接着剤層を硬化条件を180℃で6
0分、200℃で60分熱処理した以外は、実施例1と
同様の方法にて行い、評価した。Example 11 Bisphenol A type novolak resin (Sumitomo Durez Co., Ltd.)
120 g of LF4871 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and 120 g of diallyl bisphenol A type epoxy resin
35 g of E-810NM, epoxy equivalent 220) and dicyclopentadiene type novolak epoxy resin (Nippon Kayaku
XD-1000L, epoxy equivalent 250) 210
g was dissolved in 100 g of methyl ethyl ketone to prepare a metal bonding adhesive varnish. Next, regarding the production of the multilayer wiring board, the metal bonding adhesive layer was cured at 180 ° C. for 6 hours.
Except for 0 minute and heat treatment at 200 ° C. for 60 minutes, the same method as in Example 1 was performed and evaluated.
【0054】[評価方法] 1.温度サイクル試験 上記で得られた多層配線板の初期導通を確認後、−40
℃で30分、125℃で30分を1サイクルとする温度
サイクル試験を実施した。投入した10個の多層配線板
の、温度サイクル試験1000サイクル後の断線不良数
の結果をまとめて表1に示した。[Evaluation Method] Temperature cycle test After confirming the initial conduction of the multilayer wiring board obtained above, -40
A temperature cycle test was performed in which one cycle was 30 ° C. and 30 minutes at 125 ° C. Table 1 summarizes the results of the number of disconnection failures after 1000 cycles of the temperature cycle test for the ten inserted multilayer wiring boards.
【0055】2.金属接合部断面観察 上記で得られたの多層配線板の金属接合部の断面を電子
顕微鏡(SEM)により観察し、金属接合状態を評価し
た。その結果をまとめて表1に示した。2. Observation of Cross Section of Metal Joint The cross section of the metal joint of the multilayer wiring board obtained above was observed with an electron microscope (SEM) to evaluate the state of the metal joint. The results are summarized in Table 1.
【0056】3.絶縁抵抗試験 上記で得られた多層配線板の初期絶縁抵抗を測定した
後、85℃/相対湿度85%の雰囲気中で、直流電圧
5.5Vを印加し、1000時間経過後の絶縁抵抗を測
定した。測定時の印加電圧は100Vで1分とし、初期
絶縁抵抗および処理後絶縁抵抗をまとめて表1にした。3. Insulation Resistance Test After measuring the initial insulation resistance of the multilayer wiring board obtained above, apply a DC voltage of 5.5 V in an atmosphere of 85 ° C./85% relative humidity, and measure the insulation resistance after a lapse of 1000 hours. did. The applied voltage at the time of measurement was 100 V for 1 minute, and the initial insulation resistance and the insulation resistance after treatment were summarized in Table 1.
【0057】[0057]
【表1】 [Table 1]
【0058】表1に示した評価結果から分かるように、
本発明の多層配線板および本発明の多層配線板の製造方
法により製造された多層配線板は、確実に金属接合で
き、温度サイクル試験では、断線不良の発生はなく、絶
縁抵抗試験でも絶縁抵抗が低下しなかった。As can be seen from the evaluation results shown in Table 1,
The multilayer wiring board of the present invention and the multilayer wiring board manufactured by the method of manufacturing a multilayer wiring board of the present invention can be reliably metal-bonded, and in a temperature cycle test, there is no disconnection failure, and the insulation resistance is low even in an insulation resistance test. Did not drop.
【0059】[0059]
【発明の効果】本発明は、確実に層間接続でき、且つ信
頼性の高い多層配線板およびその製造方法を提供するこ
とができ、特に、金属表面の清浄化機能を有し、且つ絶
縁信頼性の高い金属接合接着剤を用いるので、より一
層、層間接続の信頼性の高い多層配線板を得ることがで
きる。According to the present invention, it is possible to provide a highly reliable multilayer wiring board and a method for manufacturing the same, which can surely make interlayer connections and, in particular, have a metal surface cleaning function and an insulation reliability. The use of a metal bonding adhesive having a high degree of adhesion makes it possible to obtain a multilayer wiring board with even higher interlayer connection reliability.
【図1】本発明の多層配線板とその製造方法を説明する
ための断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining a multilayer wiring board of the present invention and a method for manufacturing the same.
【図2】金属接合部が直列につながれた回路設計を説明
するための多層配線板の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a multilayer wiring board for explaining a circuit design in which metal joints are connected in series.
101 絶縁膜 102 導体 103 ビア 104 導体ポスト 105 接合用金属材料層 106,106a,206 パッド 107 配線パターン 108 金属接合接着剤層 109 絶縁層 110 接続配線板 111、211 被接続配線板 201 ガラスエポキシコア基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Insulating film 102 Conductor 103 Via 104 Conductor post 105 Bonding metal material layer 106, 106a, 206 Pad 107 Wiring pattern 108 Metal bonding adhesive layer 109 Insulating layer 110 Connection wiring board 111, 211 Connection wiring board 201 Glass epoxy core substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08G 59/62 C08G 59/62 C09J 161/04 C09J 161/04 163/00 163/00 201/06 201/06 H05K 3/38 H05K 3/38 E (72)発明者 岡田 亮一 東京都品川区東品川2丁目5番8号 住友 ベークライト株式会社内 Fターム(参考) 4J036 AC01 AC05 AD07 AD08 AF06 AF07 AJ08 CD04 DC40 DC41 FB07 FB08 JA06 JA07 JA08 4J040 EB031 EB041 EC031 EC032 EC041 EC042 EC061 EC062 EC071 EC092 EC291 EC292 EF262 GA05 HC24 JB02 KA16 LA09 LA11 MA02 NA20 5E343 AA02 AA16 AA18 BB24 BB67 BB71 CC01 CC06 CC17 EE21 EE52 GG02 5E346 AA05 AA12 AA15 AA16 AA22 AA32 AA38 AA43 AA51 CC02 CC08 CC10 CC32 CC41 DD02 DD12 DD22 DD32 DD44 EE09 EE12 FF07 FF14 GG15 GG17 GG18 GG22 GG25 GG28 HH11 HH13 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) C08G 59/62 C08G 59/62 C09J 161/04 C09J 161/04 163/00 163/00 201/06 201 / 06 H05K 3/38 H05K 3/38 E (72) Inventor Ryoichi Okada 2-5-8 Higashishinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sumitomo Bakelite Co., Ltd. F-term (reference) 4J036 AC01 AC05 AD07 AD08 AF06 AF07 AJ08 CD04 DC40 DC41 FB07 FB08 JA06 JA07 JA08 4J040 EB031 EB041 EC031 EC032 EC041 EC042 EC061 EC062 EC071 EC092 EC291 EC292 EF262 GA05 HC24 JB02 KA16 LA09 LA11 MA02 NA20 5E343 AA02 AA16 AA18 BB24 BB67 A12 A12 A12 CCA CCA CC12 CC CC02 CC08 CC10 CC32 CC41 DD02 DD12 DD22 DD32 DD44 EE09 EE12 FF07 FF14 GG15 GG17 GG18 GG22 GG25 GG28 HH11 HH13
Claims (10)
トと接続するためのパッドを有する配線パターンと、該
導体ポストと該パッドとを接合するための接合用金属材
料層と、層間に存在する絶縁層を具備した多層配線板で
あって、該絶縁層の少なくとも一部が金属接合接着剤か
らなり、層間接続が金属接合であることを特徴とする多
層配線板。1. A conductor post for interlayer connection, a wiring pattern having a pad for connecting to the conductor post, a joining metal material layer for joining the conductor post and the pad, A multilayer wiring board provided with an insulating layer, wherein at least a part of the insulating layer is made of a metal bonding adhesive, and the interlayer connection is metal bonding.
を特徴とする請求項1記載の多層配線板。2. The multilayer wiring board according to claim 1, wherein the bonding metal material layer is made of solder.
する請求項1または請求項2記載の多層配線板。3. The multilayer wiring board according to claim 1, wherein the conductor posts are made of copper.
のフェノール性水酸基を有する樹脂(A)と、その硬化
剤として作用する樹脂(B)とを必須成分とすることを
特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の
多層配線板。4. A metal bonding adhesive comprising a resin (A) having at least one or more phenolic hydroxyl groups and a resin (B) acting as a curing agent thereof as essential components. The multilayer wiring board according to any one of claims 1 to 3.
が、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノ
ボラック樹脂、レゾール樹脂、クレゾールノボラック樹
脂及び、ポリビニルフェノール樹脂から選ばれる、少な
くとも1種であることを特徴とする、請求項4記載の多
層配線板。5. A resin (A) having a phenolic hydroxyl group.
5. The multilayer wiring board according to claim 4, wherein at least one selected from the group consisting of a phenol novolak resin, an alkylphenol novolak resin, a resole resin, a cresol novolak resin, and a polyvinyl phenol resin. 6.
が、金属接合接着剤中に、20wt%以上80wt%以
下で含むことを特徴とする、請求項4または請求項5記
載の多層配線板。6. A resin (A) having a phenolic hydroxyl group.
The multilayer wiring board according to claim 4, wherein the metal bonding adhesive contains 20 wt% or more and 80 wt% or less in the metal bonding adhesive.
と、イミダゾール環を有し且つエポキシ樹脂(C)の硬
化剤として作用する化合物(D)とを、必須成分とする
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに
記載の多層配線板。7. The metal bonding adhesive is an epoxy resin (C).
The multilayer wiring according to any one of claims 1 to 3, wherein a compound (D) having an imidazole ring and acting as a curing agent for the epoxy resin (C) is an essential component. Board.
金属接合接着剤中に、1wt%以上10wt%以下で含
むことを特徴とする、請求項7記載の多層配線板。8. The compound (D) acting as a curing agent,
The multilayer wiring board according to claim 7, wherein the metal bonding adhesive contains 1 wt% or more and 10 wt% or less.
ポストと接続するためのパッドを有する配線パターンを
形成する工程と、前記導体ポストと前記パッドの少なく
とも一方に接合用金属材料層を形成する工程と、絶縁層
を形成する工程と、前記導体ポストが、前記絶縁層の少
なくとも金属接合接着剤層部分を介して、前記接合用金
属材料層により前記パッドと接合する工程、加熱により
前記金属接合接着剤層を硬化させる工程、とを含んでな
ることを特徴とする多層配線板の製造方法。9. A step of forming a conductor post, a step of forming a wiring pattern having a pad for connecting to the conductor post, and forming a bonding metal material layer on at least one of the conductor post and the pad. Forming an insulating layer, bonding the conductor post to the pad by the bonding metal material layer via at least a metal bonding adhesive layer portion of the insulating layer, and heating the metal bonding. Curing the adhesive layer.
たことを特徴とする多層配線板。10. A multilayer wiring board obtained by the manufacturing method according to claim 9.
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