JP2002033374A - プローブステーション用チャック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストを受ける装置を迅速、正確に角度割出
しするコンパクトなプローブステーション用チャックを
提供する。 【解決手段】 このチャック１２はプローブステーショ
ン１０に取り付けられたベース１６、５６と、このベー
スに回転するように取り付けられた軸５２と、この軸と
共に回転するようにこの軸に固着された装置取付け部材
５０とを具える。装置取付け部材に対する軸の方向には
実質的に無関係に、ベースに対する平面の方向を装置取
付け部材は有する。ベースと、装置取付け部材との間
に、大径の０リング７６を設け、０リング７６によっ
て、軸５２の垂直性に無関係に、装置取付け部材を支持
し、その一貫する水平性を維持する。また、このように
装置取付け部材を支持することにより、軸の長さを減少
させ、チャックの高さと、容積とを減少させ、プローブ
ステーションもコンパクトにすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプローブを使用して
テストを行うプローブステーションにおいて、テストを
受ける装置を保持するプローブステーション用チャック
に関するものであり、また特に、プローブステーション
において、テストを受ける装置を取り付けるため、この
装置を割出し、回転できる回転チャックに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】集積回路は半導体材料、又はウエハを化
学的に腐食して形成されたマイクロ回路を具える。単一
のウエハ上に、数個の集積回路を製造し、次に、ウエハ
プローブステーションにおいて、性能と、機能とをテス
トした後、個々の回路に分離するのが普通である。この
集積回路を複合装置に組み込んだ後、集積回路の性能
と、機能とをテストするためにも、プローブステーショ
ンが使用されている。

【０００３】一般に、プローブステーションは包囲室を
具え、性能や機能のテストを受ける装置（以下、ＤＵＴ
(device under test) と略称する）を取り付け、位置決
めするためのチャックと、ＤＵＴ上のテスト点を機器に
接続する１個、又はそれ以上の個数のプローブと、集積
回路のテスト点を設置してプローブによるテストを行う
操作者を助ける光学装置とを上記包囲室内に収容する。
包囲室は電気的障害、及び周囲からの障害に対し脆弱な
プローブと、ＤＵＴとを保護する。チャックはＤＵＴを
取り付け、位置決めするための機構となる。また、チャ
ックは加熱、冷却性能、及び付加的電磁界分離性のよう
な局部的な作動条件を更に制御する手段を有することが
できる。装置をテストするため、プローブステーション
の操作者は顕微鏡下に、この装置を試験し、更に、チャ
ック、及びプローブのための位置決め機構を使用して、
ＤＵＴのテスト点にプローブ先端を接触させる。集積回
路のテスト点は、通常、長方形のグリッド座標に沿って
位置し、プローブカード上の多数のプローブにより、又
は東西南北に配置された単一プローブにより、集積回路
のテスト点はテストを受ける。同様に、複合装置内の集
積回路は、通常、長方形の座標に沿って配置される。

【０００４】プローブの先端と、ＤＵＴのテスト点とを
相関位置決めするのを容易にするため、プローブと、チ
ャックとの両方が数個の方向に移動できるようにする。
通常、チャックは移動可能なステージ上に取り付けら
れ、水平方向（Ｘ軸線方向、及びＹ軸線方向）、及び垂
直方向（Ｚ軸線方向）に並進運動を行うことができる。
更に、このステージはＺ軸線の周りの回転、即ち「θ
角」の調整を行い、プローブの先端と、集積回路のテス
ト点との平行な配列を容易にする。通常、プローブの取
付け部によって、マイクロメータの精度で、プローブの
Ｘ軸線、Ｙ軸線、及びＺ軸線の運動を行わせることがで
きる。

【０００５】通常、テスト点は集積回路上に長方形のグ
リッド配置に配設され、テストの手順には、同一のＸ軸
線、及びＹ軸線に沿って配置されていないテスト点を複
数回にわたり、プローブによりテストすることが必要で
ある。例え、集積回路のテスト点をプローブによるテス
トに有効なように配置したいと思っても、多数の集積回
路を含む装置のテスト点は好都合に配置され難い。その
結果、テストと、テストとの間で、ＤＵＴをチャック上
で回転しなければならないか、又は、プローブカードを
取り外して、回転し、プローブの先端の方向を再設定し
なければならない。ＤＵＴ、又はプローブカードの方向
の再設定を行うのに必要な時間と、努力に加えて、プロ
ーブの方向の再設定には、取り付けられた機器の再較正
が必要であり、この再較正には時間を要する。垂直軸線
（Ｚ軸線）の周りにチャックを回転（θ回転）できるよ
うにすることによって、プローブ、及びテスト点の方向
の再設定に必要な時間を減少させることができる。

【０００６】「微細」なθ角調整の形の回転運動は通
常、プローブステーションのチャックにおいて、行われ
る。この「微細」なθ角調整を使用すれば、一連のＤＵ
ＴをプローブステーションのＸ軸線、及びＹ軸線に対
し、確実に配列することができ、更に調整を行うこと無
く、プローブを装置から、装置に、段歩的に動かすこと
ができる。通常、微細なθ角の回転は約±7.5 度に限定
され、顕微鏡的プローブ先端と、テスト点との配列を容
易にするため、回転速度は比較的遅い。従って、微細な
θ角の調整機構は順次のテストのためのテスト点の方向
の再設定に適合させるため、９０度、又はそれ以上の大
きな角度にわたり、ＤＵＴを回転させるのに、十分でな
く、又は便利でない。

【０００７】Rochに与えられた米国特許第3936743 号の
発明の名称「高速精密チャック組立体」の発明はウエハ
プローブステーション用の回転チャックを開示してい
る。このチャックはハウジングの孔内の軸受内に、回転
するように配置されたステム部を有するプラットホーム
を具える。このチャックは調整ノブと、取り付けられた
ウオーム歯車とを回転することによって、手動で回転す
ることができる。このウオーム歯車はチャックの回転す
るプラットホームに取り付けられた平歯車に噛合する。
この機構はチャックの表面を回転して、ＤＵＴの方向の
再設定を容易にするが、ウオーム歯車の駆動はチャック
の大きさを増大し、ステージの位置決め機構の摩耗と損
傷とを増大し、ステージによる正確な位置決めを一層、
困難にしてしまう。更に、この取付け面の平坦性は支持
ステム、及び対応する支持構造の孔の垂直性によって定
まる。

【０００８】顕微鏡下にＤＵＴを観察しながら、ＤＵＴ
の位置決めを行うから、平面の方向、即ち平坦性が僅か
にずれていても、プローブによる検査のため、ＤＵＴを
位置決めしている間、既定の手順として、光学装置を再
フォーカスする必要性を生ずる。また、ウオーム歯車機
構はチャックの高さを増大させるから、プローブステー
ションのステージ、光学装置、及び包囲室は回転するチ
ャックを受け入れるため、特別な設計を必要とする。更
に、ウオーム歯車駆動系は精密な再配列のため、ＤＵＴ
を連続的に回転させるが、新たなテスト位置にＤＵＴを
迅速、便利に位置決めすることは生産的なプローブによ
る検査に重要であるにも関わらず、そのようなＤＵＴの
迅速で、便利な位置決めはこのウオーム歯車駆動系では
達成されない。

【０００９】Boucher 等に与えられた米国特許第567636
0 号の発明の名称「工作機械の回転テーブルロック装
置」の発明は上記のものとは異なるウオーム歯車で駆動
される回転テーブルを開示している。このテーブルはダ
イシングソーに使用するのに適合している。このテーブ
ルの表面の平面の方向はテーブルを回転させる軸のこの
表面に対する方向によって定まっている。その結果、回
転するようにテーブルを支持している軸受は広く離間し
ており、そのため、テーブルの高さが増大する。選択さ
れた回転位置にテーブルをロックするため、このテーブ
ルは制動装置を組み込んでいる。流体圧力は円形ピスト
ンを押圧して、回転テーブルの周縁の立縁に、この円形
ピストンを押しつける。このピストンはテーブルのベー
スに対し、任意の位置を自由に占めることができるか
ら、制動を加えても、テーブルを安定化せず、テーブル
の平面の方向に効果をもたらさない。更に、テーブルの
周縁に、制動力を加えた際のテーブルの撓みを防ぐた
め、一層、大きなテーブルが必要になる欠点がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従って、剛強で、容積
が小さく、正確な平坦性を維持することができると共
に、集積回路のテスト点の順次のプローブによるテスト
のため、大きな角度にわたり、ＤＵＴの迅速、正確な回
転を容易に行うことができるコンパクトな回転チャック
が待望される。

【００１１】本発明の目的は上記の従来技術の欠点を除
去し、コンパクトで、剛強で、正確な平坦性を維持し、
テストを受ける装置を迅速、正確に、大きな角度にわた
り回転し、容易に順次のテストを行うことができるプロ
ーブステーション用チャックを得るにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明プローブステーション用チャックはプローブ
ステーションに取り付けられたベースと、このベース内
に回転するように取り付けられた軸と、この軸と共に回
転するようにこの軸に固着された装置取付け部材とを具
え、この装置取付け部材に対する前記軸の方向とは実質
的に無関係に前記ベースに対する平面の方向を前記装置
取付け部材が有することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の一実施例では、ベース
と、装置取付け部材との間に、大径の弾性シールを設
け、この大径の弾性シールによって、軸の配列とは無関
係に、装置取付け部材を支持し、装置取付け部材の剛強
性と、一貫する平坦性とを増進する。更に、このように
して支持することは軸の長さを減らし、従って、回転チ
ャックの高さと、容積とを減少させ、プローブステーシ
ョン自体をもコンパクトな構造にすることができる。

【００１４】更に、本発明の他の実施例では、この回転
チャックに釈放可能な回転停止装置を設ける。これによ
り、装置取付け部材を新たなテスト位置に割り出すこと
ができる。他の実施例のプローブステーション用チャッ
クはプローブステーションに取り付けられたベースと、
ベースに対し回転するように、ベースによって拘束され
る装置取付け部材とを具える。図面に付き、本発明の実
施例を詳細に説明する。

【００１５】

【実施例】図１において、プローブステーション１０内
に、テストを受ける装置（ＤＵＴ）をチャック１２に取
り付ける。ステーションベース１６上に取り付けた移動
ステージ１４上に、このチャック１２は取り付けられて
いる。プローブ（図示せず）はプラテン１８によって、
チャックの上方に支持される。このプローブには水平軸
線（Ｘ軸線、及びＹ軸線）に沿って、位置決めするため
の制御装置を設け、プラテン１８を垂直方向（Ｚ軸線方
向）に調整し、ＤＵＴの集積回路のテスト点に、プロー
ブを接触させる。プローブの位置設定と、位置決めとを
容易にするため、光学装置用ブリッジ２２に取り付けた
顕微鏡台２０に取り付けた顕微鏡（図示せず）をプロー
ブステーション１０に設ける。包囲ハウジング（図示せ
ず）をプローブステーション１０に設け、ＤＵＴ、及び
プローブを塵埃、及び周囲からの障害に対し、防護す
る。

【００１６】ＤＵＴ、及びプローブの相対位置決めを容
易にするため、移動ステージ１４によって、チャック１
２の並進運動、及び限定された回転運動（θ角運動）を
生ぜしめる。図１に示すプローブステーション１０にお
いては、ステージ１４を動かすためのリニアアクチュエ
ータ２８、３０をそれぞれ駆動するＸ軸線モータ２４、
及びＹ軸線モータ２６によって、チャック１２の水平並
進運動を達成する。同様の機構（図示せず）によって、
チャック１２の垂直並進運動を行わせる。回転運動用モ
ータ３２、及びそれに取り付けたリニアアクチュエータ
３４によって、垂直軸線の周りの回転運動、即ち、微細
なθ角調整を行う。この微細なθ角調整を行うことによ
って、プローブ先端と、テスト点との平行化を容易にす
る。通常、回転は約１５度（±7.5 °）に限定される。
回転速度を比較的遅くし、顕微鏡プローブ先端と、テス
ト点との配列を容易にする。１個、又はそれ以上のリニ
アエンコーダ３６は上記のステージ位置決めモータのた
めの制御装置にフィードバックする。

【００１７】図２において、本発明のチャック１２は装
置取付け部材５０を具え、ベース５６の孔内に設置され
たブッシュ５４内に回転するように取り付けられた軸５
２に、この装置取付け部材５０を取り付ける。保持リン
グ５７によって、軸５２をブッシュ５４内に取り付け
る。ベース５６を平坦板５８に取りつけ、図１に示すよ
うなプローブステーション１０の移動ステージ１４に、
この平坦板５８を取り付ける。取付けねじ６０と、それ
ぞれ取付けねじ６０によって保持される複数個のばね座
金６２との構成によって、ベース５６を平坦板５８に取
り付ける。ばね座金６２はベース５６と、平坦板５８と
の間に介挿され、ベース５６と、平坦板５８とを分離さ
せる力を作用させている。プローブステーション１０の
構造に対する装置取付け部材５０の上面の平坦性は１
個、又はそれ以上の数の取付けねじ６０を緩め、又は締
め付けることによって、調整することができる。

【００１８】装置取付け部材５０を便利に手動回転させ
るため、装置取付け部材５０に、ハンドル（図示せず）
を設置することができる。ベース５６と、回転する装置
取付け部材５０とに、回転角を示す対応するマークを設
けることができる。手動回転によって、装置取付け部材
５０を迅速、確実に回転させることができるが、モー
タ、及び適切な駆動系（図示せず）により、動力で回転
させることもできる。動力による装置取付け部材５０の
位置決めは既知のモータ制御器、及び回転位置決めフィ
ードバック装置によって、制御することができる。

【００１９】図２のチャック１２の実施例では、テスト
を受ける装置（ＤＵＴ）６４をクランプ装置６８によっ
て、取付け具６６に取り付ける。装置取付け部材５０の
蟻溝に整合する鳩尾部によって、取付け具６６を装置取
付け部材５０に取り付ける。ＤＵＴ６４を取り付ける他
の方法も使用することができる。例えば、真空手段によ
って、チャックの表面にウエハを保持することもある。
回転ユニオン（図示せず）と、装置取付け部材５０、及
び軸５２の通路とを通じて、装置取付け部材５０の上面
に設けた孔（図示せず）を真空源（図示せず）に連結す
ることができる。真空源をこの通路に連結した時、空気
圧によって、装置取付け部材５０の上面にＤＵＴを保持
する。

【００２０】通常、集積回路のテスト点は長方形の座標
に沿って、配置されているから、テスト中、ＤＵＴを９
０度回転すること、即ち１／４回転づつ回転させること
が通常、必要である。本発明の発明者等はプローブと、
接触点とを配列させるため、正確な概略のθ角の迅速な
ＤＵＴの回転の次に、θ角の微細な調整を行えば、プロ
ーブステーションの生産性を著しく向上させることがで
きるという結論に達した。本発明チャック１２は装置取
付け部材５０を新たな位置に、迅速、精密に回転させる
機械的割出し装置を有する。釈放可能な回転停止装置を
設け、装置取付け部材５０の回転を割り出す。手動で操
作する割出しピン７０を装置取付け部材５０の孔に摺動
させて掛合させ、ばね７２によって、この割出しピン７
０を突出位置に押圧する。この突出位置では、割出しピ
ン７０は複数個の孔７４の一つに、又はベース５６の他
の表面の一つに掛合する。

【００２１】装置取付け部材５０を回転させるために
は、ベース５８の孔７４から割出しピン７０を後退さ
せ、装置取付け部材５０が自由に回転できるようにす
る。割出しピン７０の１／４回転のような第２運動によ
って、割出しピン７０を後退位置に保持し、割出し操作
無しにチャックを回転させてもよい。集積回路上にテス
ト点を一直線に配置することにより、多くの用途で便利
な９０度の回転、即ち１／４回転づつの回転を行うこと
ができるが、ベース５６における他の位置、即ち付加的
位置に、ピン収容孔７４を設けることによって、他の角
度づつの割出しを行うこともできる。チャック１２の１
個の素子に移動可能に取り付けられ、チャック１２の他
の素子に掛合する回転停止部材を具える他の形状になる
よう、上記の釈放可能な回転停止装置を形成することが
できる。代案として、装置取付け部材５０、軸５２、及
びベース５６の一部に掛合するフリップアップアーム、
又はばね負荷プランジャ、又はボール留め金を設けても
よい。

【００２２】また、本発明の回転チャック１２に回転制
動安定システムを設ける。このシステムは無数の回転位
置に、装置取付け部材５０をロックすることができる。
更に、テスト中、このシステムはＤＵＴ６４の安定性
と、平坦性とを増進する。これにより、必要な顕微鏡の
調整を減らし、プローブステーションの生産性を増進す
る。装置取付け部材５０の下面のＯリング溝内に、大径
のＯリング真空シール７６を設置する。弾性Ｏリング７
６はベース５６の上面に接触し、装置取付け部材５０
と、ベース５６との間に分離する力を作用させる。回転
中、装置取付け部材５０の直径の大部分にわたり、大径
のＯリング７６によって、支持し、ＤＵＴ６４のための
安定した取付け部となるようにする。更に、装置取付け
部材５０の平面の方向、即ち傾きは取付け軸５２の方向
とは無関係である。長い距離を置いて配置される軸受
や、長い軸は必要でなく、従って、チャック１２の高さ
を低くすることができる。

【００２３】軸５２のＯリング溝内に、付加的Ｏリング
真空シール７８、８０を設置し、軸５２と、ブッシュ５
４との間をシールする。Ｏリング真空シール７６、７
８、８０は装置取付け部材５０と、ベース５６との間
に、シールされた室８２を形成する。ベース５６内の通
路８４はシールされた室８２を真空源（図示せず）に連
結する。制御弁（図示せず）を作動させた時、シールさ
れた室８２から空気を排気し、装置取付け部材５０に作
用する空気圧により、この装置取付け部材５０を押圧し
て、ベース５６に接触させる。言い換えれば、装置取付
け部材５０、ベース５６、及びシール７８、８０、７６
は流体圧力の変化に応動するアクチュエータを形成して
いる。装置取付け部材５０、Ｏリングシール７６、及び
ベース５６の間の摩擦は装置取付け部材５０の回転を防
止し、装置取付け部材５０を所定位置にロックする。装
置取付け部材５０と、ベース５６とを合体、押圧するか
ら、弾性Ｏリングを圧縮し、制動力を加えた時、装置取
付け部材５０をその表面の広い部分にわたり、支持す
る。

【００２４】平坦板５８上にベースを支持するねじ６０
によって、ベース５６の上面の平面の方向、即ち傾きを
調整する。ねじ６０によって正しく調整した後は、装置
取付け部材５０の上面の平面の方向、即ち平坦性は装置
取付け部材５０の上面と、下面との平行性によって決定
され、装置取付け部材５０に対する軸５２の方向とは無
関係である。その結果、テストを受ける装置のための取
付け部の平面の方向の偏向は装置取付け部材５０の上下
面の平行性を制御する能力によって、即ち加工の際の精
度のみによって最少にされ、装置取付け部材５０を取り
付けるのに、比較的短い軸５２を使用することができる
から、回転チャックの高さを最少にすることができる。
装置取付け部材５０の平面の方向の偏向が最少になれ
ば、ＤＵＴを回転し、並進運動させる際、光学装置の再
フォーカスを繰り返して行わなくともよいようになる。
回転チャックの高さが最少になることによって、非回転
チャックのため設計されたプローブステーション内に、
チャック１２を設定することが可能になる。

【００２５】図３において、代案の構造では、チャック
９０の装置取付け部材９２をベース９４の表面によっ
て、直接、支持する。ベース９４の突出部のＯリング溝
内に取り付けたＯリングシール９６は装置取付け部材９
２を回転するように、支承する。回転中、装置取付け部
材９２はその直径にわたり、ベース９４によって、支持
されており、剛固な支持が得られると共に、装置取付け
部材９２の上面の平面の方向が安定する。第２Ｏリング
９８は装置取付け部材９２の上面と、ベース９４の突出
部との間の環状容積をシールする。シールされたこの環
状容積に、通路１００を通じて、真空を加えた時、装置
取付け部材９２はベース９４の突出部に向け、上方に吸
引され、第２Ｏリング９８を圧縮する。

【００２６】その結果、装置取付け部材９２の上面のほ
ぼ直径にわたる環状区域に、制動圧力が加わり、装置取
付け部材９２の平坦性はこの表面の平坦性によって決定
される。装置取付け部材９２の下面の凹凸に接触するよ
うにボール１０４を押圧するばね１０２を具えるボール
掛止め装置によって、装置取付け部材９２の回転の概略
の割出しを行うことができる。更に、円錐端を有する設
置ピン１０６を装置取付け部材９２の孔内に摺動するよ
うに配置する。スナップリング１１０によって保持され
るばね１０８により、設置ピン１０６は後退位置に保持
される。設置ピン１０６はＯリング１１２によって、シ
ールされる。装置取付け部材９２と、ベース９４とによ
って形成される室に真空を加えた時、設置ピン１０６は
装置取付け部材９２の円錐形凹所１１４に接触するよう
に、吸引され、装置取付け部材９２の最終的な回転によ
る配列を達成する。

【００２７】ウエハ、及びその他のＤＵＴをチャックに
取り付けるために、真空を使用することが多いから、こ
の制動安定システムを作動させるための真空は便利なエ
ネルギー源である。しかし、制動安定システムを作動さ
せるのに、高い流体圧力を使用することもできる。図４
に示すように、ベース５６の周縁に固着されたシールリ
ング１２２内に、大径のＯリングシール１２０を設置す
ることができる。第２Ｏリング１２４を使用して、シー
ルリング１２２と、ベース５６との間をシールすること
ができる。軸（図示せず）のシールに組み合わせてシー
ル１２０、１２４によって、装置取付け部材５０と、ベ
ース５６との間に、シールされた流体室１２６を形成す
る。加圧流体を室１２６に指向させた時、装置取付け部
材５０の上面はシール１２０、及びシールリング１２２
に向け、上方に押圧される。このように構成した場合、
装置取付け部材５０の上面の平坦性はこの上面の平坦さ
によって決定される。

【００２８】本明細書中に記載した先行技術、及び先行
技術として記載した刊行物の内容を本明細書の一部とし
て援用する。本明細書中に採用した語、及び表現は単
に、記載の表現のため使用されたもので、そのような
語、及び表現の使用に当たり、図示し、記載したものの
均等物を除外するものでなく、本発明の範囲は特許請求
の範囲に明瞭である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のチャック、及びプローブステーショ
ンの斜視図である。

【図２】 割出しを行う回転可能な本発明チャックの断
面図である。

【図３】 本発明の他の実施例の割出しを行う回転可能
なチャックの断面図である。

【図４】 加圧流体によって制動するように配置された
本発明の更に他の実施例の割出しを行う回転可能なチャ
ックの部分断面図である。

【符号の説明】

１０ プローブステーション １２、９０ チャック １４ 移動ステージ １６ ５６、９４ ステーションベース、ベース １８ プラテン ２０ 顕微鏡台 ２２ 光学装置用ブリッジ ２４ Ｘ軸線モータ ２６ Ｙ軸線モータ ２８、３０、３４ リニアアクチュエータ ３２ 回転運動用モータ ３６ リニアエンコーダ ５０、９２ 装置取付け部材 ５２ 軸 ７０ 割出しピン ７２、１０２、１０８ ばね ７４ 孔 ７６、７８、８０、９６、１１２、１２０、１２４ Ｏ
リングシール ８４、１００ 通路 ９８、１２４ 第２Ｏリング １０４ ボール １０６ 設置ピン １１０ スナップリング １１４ 円錐形凹所 １２２ シールリング ８２、１２６ シールされた室、シールされた流体室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ピーター アール マッキャン アメリカ合衆国 オレゴン州 97007 ビ ーバートン サウスウェスト 第165 コ ート 5910 Ｆターム(参考） 2G003 AA10 AG12 AG16 AH04 AH05 AH07 2G132 AA00 AE03 AE04 AL03 AL11 AL35 4M106 AA01 BA01 DD01 DD05 DJ04 DJ06 DJ07 5F031 CA02 CA13 CA20 HA01 MA21 PA30

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）プローブステーションに取り付け
   られたベースと、 （ｂ）前記ベース内に回転するように取り付けられた軸
   と、 （ｃ）前記軸と共に回転するようにこの軸に固着された
   装置取付け部材とを具え、この装置取付け部材に対する
   前記軸の方向に実質的に無関係に、前記ベースに対する
   平面の方向を前記装置取付け部材が有することを特徴と
   するプローブステーション用チャック。
2. 【請求項２】 前記装置取付け部材の回転を制限する釈
   放可能な停止装置を更に具える請求項１のチャック。
3. 【請求項３】 前記装置取付け部材と、前記ベースとの
   いずれか一方に移動可能に取り付けられ、前記装置取付
   け部材と、前記ベースとの残りの他方の表面に選択的に
   掛合するように配置された止め部材を前記釈放可能な停
   止装置が具える請求項２のチャック。
4. 【請求項４】 前記装置取付け部材の回転を１／４回転
   づつ制限するように、前記釈放可能な停止装置を配置し
   た請求項２のチャック。
5. 【請求項５】 （ａ）前記ベースと、前記装置取付け部
   材と共に、流体室を画成するシールと、 （ｂ）前記装置取付け部材と、前記ベースとの間を押圧
   接触させる作用を有する前記流体室内の流体圧力を変化
   させるための流体圧力制御装置とを更に具える請求項１
   のチャック。
6. 【請求項６】 前記ベースに対する前記装置取付け部材
   の平面の方向を画成する弾性部材を更に具える請求項１
   のチャック。
7. 【請求項７】 （ａ）プローブステーションに取り付け
   られたベースと、 （ｂ）前記ベースに回転するように取り付けられた装置
   取付け部材と、 （ｃ）前記ベースに対する前記装置取付け部材の回転を
   釈放可能に制限する回転停止装置とを具えることを特徴
   とするプローブステーション用チャック。
8. 【請求項８】 前記装置取付け部材と、前記ベースとの
   いずれか一方に移動可能に取り付けられ、前記装置取付
   け部材と、前記ベースとの残りの他方の表面に選択的に
   掛合するように配置された止め部材を前記回転停止装置
   が具える請求項７のチャック。
9. 【請求項９】 （ａ）流体圧力を変化させる制御装置
   と、 （ｂ）前記流体圧力の変動に応動して、前記装置取付け
   部材と、前記ベースとを押圧して接触させるアクチュエ
   ータとを前記回転停止装置が具える請求項７のチャッ
   ク。
10. 【請求項１０】 （ａ）前記装置取付け部材の表面と、 （ｂ）前記ベースの表面と、 （ｃ）前記装置取付け部材と、前記ベースとの間に流体
    室を画成するシールとから前記アクチュエータを構成し
    た請求項９のチャック。
11. 【請求項１１】 （ａ）プローブステーションに取り付
    けられたベースと、 （ｂ）前記ベースに回転するように取り付けられた装置
    取付け部材と、 （ｃ）前記ベースと、前記装置取付け部材とに接触して
    いる弾性部材とを具えることを特徴とするプローブステ
    ーション用回転チャック。
12. 【請求項１２】 前記ベースと、前記装置取付け部材と
    のいずれか一方に移動可能に取り付けられ、前記ベース
    と、前記装置取付け部材との残りの他方に釈放可能に掛
    合する回転停止装置を更に具える請求項１１の回転チャ
    ック。
13. 【請求項１３】 前記装置取付け部材の回転を１／４回
    転づつ制限するように、前記回転停止装置を配置した請
    求項１２の回転チャック。
14. 【請求項１４】 （ａ）プローブステーションに取り付
    けられたベースと、 （ｂ）前記ベースに回転するように取り付けられた装置
    取付け部材と、 （ｃ）前記ベースと、前記装置取付け部材とに接触して
    おり、前記装置取付け部材の表面の寸法のほぼ大部分に
    わたる横断面を有する室をシールしている弾性シール部
    材と、 （ｄ）前記ベースと、前記装置取付け部材とを押圧接触
    させる作用を有する前記流体室内の流体圧力を変化させ
    るための流体圧力制御装置と、 （ｅ）前記ベースと、前記装置取付け部材との相対回転
    を制限する釈放可能な回転停止装置とを具えることを特
    徴とするプローブステーション用回転チャック。
15. 【請求項１５】 前記装置取付け部材の回転を１／４回
    転づつ制限するように、前記回転停止装置を配置した請
    求項１４の回転チャック。
16. 【請求項１６】 （ａ）プローブステーションに取り付
    けられたベースと、 （ｂ）前記ベースに対し回転するように、前記ベースに
    よって拘束される装置取付け部材とを具えることを特徴
    とするプローブステーション用チャック。
17. 【請求項１７】 前記装置取付け部材の回転を制限する
    釈放可能な停止装置を更に具える請求項１６のチャッ
    ク。
18. 【請求項１８】 前記装置取付け部材と、前記ベースと
    のいずれか一方に移動可能に取り付けられ、前記装置取
    付け部材と、前記ベースとの残りの他方の表面に選択的
    に掛合するように配置された止め部材を前記釈放可能な
    停止装置が具える請求項１７のチャック。
19. 【請求項１９】 前記装置取付け部材の回転を１／４回
    転づつ制限するように、前記釈放可能な停止装置を配置
    した請求項１７のチャック。
20. 【請求項２０】 （ａ）前記ベースと、前記装置取付け
    部材と共に、流体室を画成するシールと、 （ｂ）前記装置取付け部材と、前記ベースとの間を押圧
    接触させる作用を有する前記流体室内の流体圧力を変化
    させるための流体圧力制御装置とを更に具える請求項１
    ６のチャック。
21. 【請求項２１】 前記ベースに対する前記装置取付け部
    材の平面の方向を画成する弾性部材を更に具える請求項
    １６のチャック。