JP2002031762A - 顕微鏡用照明装置 - Google Patents
顕微鏡用照明装置Info
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- JP2002031762A JP2002031762A JP2000214527A JP2000214527A JP2002031762A JP 2002031762 A JP2002031762 A JP 2002031762A JP 2000214527 A JP2000214527 A JP 2000214527A JP 2000214527 A JP2000214527 A JP 2000214527A JP 2002031762 A JP2002031762 A JP 2002031762A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対物レンズを介して標本を照明するに当たっ
て、標本への照明光の入射角を高精度かつ容易に調整で
きる顕微鏡用照明装置を提供すること。 【解決手段】 対物レンズ21の光軸O3に対し交差す
る方向O2に沿って集光光を射出する射出手段11〜1
5と、集光光を光軸O3に沿って対物レンズ21の方向
に反射し、標本31からの観察光を透過する光学部材1
7とを備える。射出手段11〜15と光学部材16と
は、集光光の集光点が対物レンズ21の後側焦点面に一
致するように配置される。射出手段11〜15は、レー
ザ光源11と拡大光学系12,13と反射光学系14と
集光光学系15とで構成される。集光光学系15の光軸
は上記した方向O2に平行である。反射光学系14は、
集光光学系15の光軸と拡大光学系12,13の光軸と
に垂直な軸のまわりに回転可能である。
て、標本への照明光の入射角を高精度かつ容易に調整で
きる顕微鏡用照明装置を提供すること。 【解決手段】 対物レンズ21の光軸O3に対し交差す
る方向O2に沿って集光光を射出する射出手段11〜1
5と、集光光を光軸O3に沿って対物レンズ21の方向
に反射し、標本31からの観察光を透過する光学部材1
7とを備える。射出手段11〜15と光学部材16と
は、集光光の集光点が対物レンズ21の後側焦点面に一
致するように配置される。射出手段11〜15は、レー
ザ光源11と拡大光学系12,13と反射光学系14と
集光光学系15とで構成される。集光光学系15の光軸
は上記した方向O2に平行である。反射光学系14は、
集光光学系15の光軸と拡大光学系12,13の光軸と
に垂直な軸のまわりに回転可能である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、標本を観察する顕
微鏡に組み込まれ、光の全反射を利用して標本を照明す
る顕微鏡用照明装置に関する。
微鏡に組み込まれ、光の全反射を利用して標本を照明す
る顕微鏡用照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、照明光を屈折率の高い媒質か
ら入射させて、屈折率の低い媒質との境界面で全反射さ
せることにより、屈折率の低い媒質中の標本を照明する
顕微鏡用照明装置(一種の暗視野照明装置)が知られて
いる。屈折率の低い媒質中には境界面から光が染み出す
ため、この染み出した光によって標本を照明することが
できる。
ら入射させて、屈折率の低い媒質との境界面で全反射さ
せることにより、屈折率の低い媒質中の標本を照明する
顕微鏡用照明装置(一種の暗視野照明装置)が知られて
いる。屈折率の低い媒質中には境界面から光が染み出す
ため、この染み出した光によって標本を照明することが
できる。
【0003】このような顕微鏡用照明装置の一例とし
て、図4に示す構成、すなわち、標本51を挟んで対物
レンズ52の反対側に配置されたコンデンサレンズ53
を用いる構成について説明する(例えば、八鹿寛二著
「生物顕微鏡の基礎」P.88-89,培風館(1973))。こ
の照明装置では、コンデンサレンズ53の中心部が遮へ
いされ、周辺部にスリット54が設けられている。スリ
ット54を通過した光L11は、コンデンサレンズ53
を通過したのち(光L12)、オイル55とスライドガ
ラス56とを介して水57に入射しようとする。ここ
で、スライドガラス56の方が水57よりも屈折率が高
いため、光L12の入射角が臨界角以上の場合には、ス
ライドガラス56と水57との境界面で全反射する(光
L13)。
て、図4に示す構成、すなわち、標本51を挟んで対物
レンズ52の反対側に配置されたコンデンサレンズ53
を用いる構成について説明する(例えば、八鹿寛二著
「生物顕微鏡の基礎」P.88-89,培風館(1973))。こ
の照明装置では、コンデンサレンズ53の中心部が遮へ
いされ、周辺部にスリット54が設けられている。スリ
ット54を通過した光L11は、コンデンサレンズ53
を通過したのち(光L12)、オイル55とスライドガ
ラス56とを介して水57に入射しようとする。ここ
で、スライドガラス56の方が水57よりも屈折率が高
いため、光L12の入射角が臨界角以上の場合には、ス
ライドガラス56と水57との境界面で全反射する(光
L13)。
【0004】そして、境界面から水57に染み出した光
によって標本51が照明される。標本51で乱反射した
光や蛍光は、対物レンズ52が油浸対物レンズの場合、
水57とカバーガラス58とオイル59とを介して対物
レンズ52に入射する。この照明装置によれば、スライ
ドガラス56と水57との境界面で全反射した光L13
は再びコンデンサレンズ53を通過し、標本51から発
生した光のみが対物レンズ52に入射するため、標本5
1からの乱反射光や蛍光のみを観察することができる。
によって標本51が照明される。標本51で乱反射した
光や蛍光は、対物レンズ52が油浸対物レンズの場合、
水57とカバーガラス58とオイル59とを介して対物
レンズ52に入射する。この照明装置によれば、スライ
ドガラス56と水57との境界面で全反射した光L13
は再びコンデンサレンズ53を通過し、標本51から発
生した光のみが対物レンズ52に入射するため、標本5
1からの乱反射光や蛍光のみを観察することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
照明装置(図4)では、水57を介して標本51を観察
するため、収差が大きく鮮明な像が得られないという問
題があった。また、スライドガラス56と水57との境
界面から水57に染み出した光が標本51を透過した場
合には、この透過光も対物レンズ52に入射してしまう
ため、コントラストの良い像が得られない。
照明装置(図4)では、水57を介して標本51を観察
するため、収差が大きく鮮明な像が得られないという問
題があった。また、スライドガラス56と水57との境
界面から水57に染み出した光が標本51を透過した場
合には、この透過光も対物レンズ52に入射してしまう
ため、コントラストの良い像が得られない。
【0006】これに対して、対物レンズ側から対物レン
ズを介して照明光を導き、標本を照明する顕微鏡用照明
装置が近年提案されている。例えば、M.Tokunaga et a
l, Biochemical and Biophysical Research Communicat
ions 235,p.49(1997)に示された照明装置では、図5に
示すように、レーザ光源(YAG532)から射出された光がN
Dフィルタ,レンズ(L1),λ/4板,アパーチャ
(A),レンズ(L2),ミラー(M),ダイクロイックミラ
ー(DM),対物レンズ(OL)を介して標本に導かれる。
ズを介して照明光を導き、標本を照明する顕微鏡用照明
装置が近年提案されている。例えば、M.Tokunaga et a
l, Biochemical and Biophysical Research Communicat
ions 235,p.49(1997)に示された照明装置では、図5に
示すように、レーザ光源(YAG532)から射出された光がN
Dフィルタ,レンズ(L1),λ/4板,アパーチャ
(A),レンズ(L2),ミラー(M),ダイクロイックミラ
ー(DM),対物レンズ(OL)を介して標本に導かれる。
【0007】この照明装置によれば、水を介さずに標本
を観察でき、また、水に染み出した光が標本を透過して
も対物レンズ(OL)に入射することはない。しかし、対
物レンズ(OL)を通過して標本側に導かれる光の入射角
をミラー(M)の平行移動によって調整するため、微妙な
調整が難しいという問題があった。本発明の目的は、対
物レンズを介して標本を照明するに当たって、標本への
照明光の入射角を高精度かつ容易に調整できる顕微鏡用
照明装置を提供することにある。
を観察でき、また、水に染み出した光が標本を透過して
も対物レンズ(OL)に入射することはない。しかし、対
物レンズ(OL)を通過して標本側に導かれる光の入射角
をミラー(M)の平行移動によって調整するため、微妙な
調整が難しいという問題があった。本発明の目的は、対
物レンズを介して標本を照明するに当たって、標本への
照明光の入射角を高精度かつ容易に調整できる顕微鏡用
照明装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡用照明装
置は、対物レンズの光軸に対し交差する所定方向に沿っ
て集光光を射出する射出手段と、射出手段から射出され
た集光光を対物レンズの光軸に沿って対物レンズの方向
に反射し、標本から発生して対物レンズを通過した観察
光を透過する光学部材とを備えたものである。さらに、
射出手段と光学部材とは、集光光の集光点が対物レンズ
の後側焦点面に一致するように配置される。
置は、対物レンズの光軸に対し交差する所定方向に沿っ
て集光光を射出する射出手段と、射出手段から射出され
た集光光を対物レンズの光軸に沿って対物レンズの方向
に反射し、標本から発生して対物レンズを通過した観察
光を透過する光学部材とを備えたものである。さらに、
射出手段と光学部材とは、集光光の集光点が対物レンズ
の後側焦点面に一致するように配置される。
【0009】また、射出手段には、レーザ光源と、該レ
ーザ光源から射出される光の径を拡大する拡大光学系
と、該拡大光学系によって径が拡大された光を反射する
反射光学系と、該反射光学系によって反射された光を集
光する集光光学系とが設けられる。射出手段の集光光学
系の光軸は上記した所定方向に平行である。反射光学系
は、集光光学系の光軸と拡大光学系の光軸とに垂直な軸
のまわりに回転可能である。
ーザ光源から射出される光の径を拡大する拡大光学系
と、該拡大光学系によって径が拡大された光を反射する
反射光学系と、該反射光学系によって反射された光を集
光する集光光学系とが設けられる。射出手段の集光光学
系の光軸は上記した所定方向に平行である。反射光学系
は、集光光学系の光軸と拡大光学系の光軸とに垂直な軸
のまわりに回転可能である。
【0010】この顕微鏡用照明装置によれば、反射光学
系の回転によって集光光の集光点を対物レンズの後側焦
点面内で移動させるので、対物レンズを通過して標本側
に導かれた光の入射角を精度良く簡単に調整することが
できる。
系の回転によって集光光の集光点を対物レンズの後側焦
点面内で移動させるので、対物レンズを通過して標本側
に導かれた光の入射角を精度良く簡単に調整することが
できる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
形態を詳細に説明する。
形態を詳細に説明する。
【0012】本実施形態は、請求項1〜請求項4に対応
する。本実施形態の顕微鏡用照明装置10は、図1に示
すように、レーザ光源11と、ファイバ12と、コリメ
ートレンズ13と、ミラー14(反射光学系)と、集光
レンズ15(集光光学系)と、ダイクロイックミラー1
6(光学部材)と、バンドパスフィルタ17とで構成さ
れている。ファイバ12およびコリメートレンズ13
は、請求項の「拡大光学系」に対応する。
する。本実施形態の顕微鏡用照明装置10は、図1に示
すように、レーザ光源11と、ファイバ12と、コリメ
ートレンズ13と、ミラー14(反射光学系)と、集光
レンズ15(集光光学系)と、ダイクロイックミラー1
6(光学部材)と、バンドパスフィルタ17とで構成さ
れている。ファイバ12およびコリメートレンズ13
は、請求項の「拡大光学系」に対応する。
【0013】レーザ光源11は、波長488nmの平行
光を射出するアルゴンレーザである。ファイバ12は、
直径50μmのシングルモードファイバである。コリメ
ートレンズ13は、ファイバ12の端面12aからコリ
メートレンズ13の焦点距離d1(100mm)だけ離
れた地点に配置される。
光を射出するアルゴンレーザである。ファイバ12は、
直径50μmのシングルモードファイバである。コリメ
ートレンズ13は、ファイバ12の端面12aからコリ
メートレンズ13の焦点距離d1(100mm)だけ離
れた地点に配置される。
【0014】ミラー14は、平面反射鏡である。ミラー
14の反射面14aには、コリメートレンズ13の光軸
O1と集光レンズ15の光軸O2との交点C1が含まれ
る。このミラー14は、光軸O1,O2に垂直で交点C
1を含む軸のまわりに回転可能である。ミラー14の回
転角は、不図示のねじ機構によって高精度に調整でき
る。集光レンズ15は、ミラー14の反射面14a(交
点C1)から距離d2だけ離れた地点に配置される。こ
の距離d2は、集光レンズ15の焦点距離(160m
m)に等しい。集光レンズ15の光軸O2は、コリメー
トレンズ13の光軸O1に対して垂直である。また、集
光レンズ15の光軸O2は、顕微鏡(不図示)の対物レン
ズ21の光軸O3に対しても垂直である。集光レンズ1
5から対物レンズ21の光軸O3までの距離をd3とす
る。この距離d3は、集光レンズ15の焦点距離d2よ
り小さい。
14の反射面14aには、コリメートレンズ13の光軸
O1と集光レンズ15の光軸O2との交点C1が含まれ
る。このミラー14は、光軸O1,O2に垂直で交点C
1を含む軸のまわりに回転可能である。ミラー14の回
転角は、不図示のねじ機構によって高精度に調整でき
る。集光レンズ15は、ミラー14の反射面14a(交
点C1)から距離d2だけ離れた地点に配置される。こ
の距離d2は、集光レンズ15の焦点距離(160m
m)に等しい。集光レンズ15の光軸O2は、コリメー
トレンズ13の光軸O1に対して垂直である。また、集
光レンズ15の光軸O2は、顕微鏡(不図示)の対物レン
ズ21の光軸O3に対しても垂直である。集光レンズ1
5から対物レンズ21の光軸O3までの距離をd3とす
る。この距離d3は、集光レンズ15の焦点距離d2よ
り小さい。
【0015】ダイクロイックミラー16は、レーザ光源
11から射出される光の波長領域(488nm付近)に
含まれる光を反射し、この波長領域(488nm付近)
よりも長い波長領域(515nm〜550nm)に含ま
れる光を透過する。ダイクロイックミラー16の反射面
16aには、集光レンズ15の光軸O2と対物レンズ2
1の光軸O3との交点C2が含まれる。
11から射出される光の波長領域(488nm付近)に
含まれる光を反射し、この波長領域(488nm付近)
よりも長い波長領域(515nm〜550nm)に含ま
れる光を透過する。ダイクロイックミラー16の反射面
16aには、集光レンズ15の光軸O2と対物レンズ2
1の光軸O3との交点C2が含まれる。
【0016】このダイクロイックミラー16は、光軸O
2,O3から45°傾けて配置される。ダイクロイック
ミラー16の反射面16a(交点C2)から対物レンズ
21の後側焦点面21aまでの距離をd4とする。この
距離d4と上記距離d3との和(d3+d4)は、集光
レンズ15の焦点距離(d2)に等しい。バンドパスフ
ィルタ17は、波長領域(488nm付近)に含まれる
光を遮断し、波長領域(515nm〜550nm)に含
まれる光を透過する。バンドパスフィルタ17は、上記
ダイクロイックミラー16を挟んで、対物レンズ21と
は反対側に配置される。
2,O3から45°傾けて配置される。ダイクロイック
ミラー16の反射面16a(交点C2)から対物レンズ
21の後側焦点面21aまでの距離をd4とする。この
距離d4と上記距離d3との和(d3+d4)は、集光
レンズ15の焦点距離(d2)に等しい。バンドパスフ
ィルタ17は、波長領域(488nm付近)に含まれる
光を遮断し、波長領域(515nm〜550nm)に含
まれる光を透過する。バンドパスフィルタ17は、上記
ダイクロイックミラー16を挟んで、対物レンズ21と
は反対側に配置される。
【0017】上記のように構成された顕微鏡用照明装置
10において、レーザ光源11から射出された平行光
は、ファイバ12の一方の端面に集光され、ファイバ1
2を伝搬したのち他方の端面12aから射出される(拡
散光L1)。そして、拡散光L1は、コリメートレンズ
13によって集光され、平行光L2となる。このよう
に、ファイバ12とコリメートレンズ13とを通過する
ことで、レーザ光源11から射出された平行光の径が拡
大される。
10において、レーザ光源11から射出された平行光
は、ファイバ12の一方の端面に集光され、ファイバ1
2を伝搬したのち他方の端面12aから射出される(拡
散光L1)。そして、拡散光L1は、コリメートレンズ
13によって集光され、平行光L2となる。このよう
に、ファイバ12とコリメートレンズ13とを通過する
ことで、レーザ光源11から射出された平行光の径が拡
大される。
【0018】ファイバ12およびコリメートレンズ13
によって径が拡大された平行光L2は、ミラー14に導
かれて反射面14aで反射する(平行光L3)。ミラー
14で反射した平行光L3の進行方向は、ミラー14の
回転角によって決まる。本実施形態において、平行光L
3の進行方向は、光軸O2から光軸O1側に傾いてい
る。
によって径が拡大された平行光L2は、ミラー14に導
かれて反射面14aで反射する(平行光L3)。ミラー
14で反射した平行光L3の進行方向は、ミラー14の
回転角によって決まる。本実施形態において、平行光L
3の進行方向は、光軸O2から光軸O1側に傾いてい
る。
【0019】平行光L3は、集光レンズ15によって集
光され、集光光L4となる。ここで、ミラー14の反射
面14a(交点C1)から集光レンズ15までの距離d
2が集光レンズ15の焦点距離に等しいため、集光レン
ズ15を透過して得られた集光光L4の光路は、集光レ
ンズ15の光軸O2に平行となる。すなわち、集光光L
4は、集光レンズ15の光軸O2に平行な方向(所定方
向)に沿って射出される。
光され、集光光L4となる。ここで、ミラー14の反射
面14a(交点C1)から集光レンズ15までの距離d
2が集光レンズ15の焦点距離に等しいため、集光レン
ズ15を透過して得られた集光光L4の光路は、集光レ
ンズ15の光軸O2に平行となる。すなわち、集光光L
4は、集光レンズ15の光軸O2に平行な方向(所定方
向)に沿って射出される。
【0020】そして、集光光L4は、ダイクロイックミ
ラー16に導かれて反射面16aで対物レンズ21の方
向に反射する(集光光L5)。ダイクロイックミラー1
6で反射した集光光L5の進行方向は、対物レンズ21
の光軸O3に平行である。ここで、集光レンズ15から
交点C2までの距離d3と交点C2から対物レンズ21
の後側焦点面21aまでの距離d4との和(d3+d
4)が集光レンズ15の焦点距離に等しく、かつ、ダイ
クロイックミラー16が光軸O2,O3から45°傾け
て配置されるため、集光光L5の集光点P1は、対物レ
ンズ21の後側焦点面21aに一致する。
ラー16に導かれて反射面16aで対物レンズ21の方
向に反射する(集光光L5)。ダイクロイックミラー1
6で反射した集光光L5の進行方向は、対物レンズ21
の光軸O3に平行である。ここで、集光レンズ15から
交点C2までの距離d3と交点C2から対物レンズ21
の後側焦点面21aまでの距離d4との和(d3+d
4)が集光レンズ15の焦点距離に等しく、かつ、ダイ
クロイックミラー16が光軸O2,O3から45°傾け
て配置されるため、集光光L5の集光点P1は、対物レ
ンズ21の後側焦点面21aに一致する。
【0021】また、ミラー14で反射した平行光L3の
進行方向を光軸O2から光軸O1側に傾けたため、集光
光L5の集光点P1は、対物レンズ21の後側焦点面2
1aの中で、光軸O3から距離d(図2参照)だけ離れ
た周辺部に位置する。ちなみに、後側焦点面21aにお
ける集光光L5のスポット径は、ファイバ12を射出し
た光束の径に、集光レンズ15の焦点距離とコリメート
レンズ13の焦点距離の比を乗じたものとなる。ファイ
バ12の径が50μm、コリメートレンズ13の焦点距
離が100mm、集光レンズ15の焦点距離が160m
mの場合、集光光L5のスポット径は80μmとなる。
進行方向を光軸O2から光軸O1側に傾けたため、集光
光L5の集光点P1は、対物レンズ21の後側焦点面2
1aの中で、光軸O3から距離d(図2参照)だけ離れ
た周辺部に位置する。ちなみに、後側焦点面21aにお
ける集光光L5のスポット径は、ファイバ12を射出し
た光束の径に、集光レンズ15の焦点距離とコリメート
レンズ13の焦点距離の比を乗じたものとなる。ファイ
バ12の径が50μm、コリメートレンズ13の焦点距
離が100mm、集光レンズ15の焦点距離が160m
mの場合、集光光L5のスポット径は80μmとなる。
【0022】このように、本実施形態の顕微鏡用照明装
置10によって対物レンズ21の後側焦点面21aに集
光された光(集光光L5)は、対物レンズ21を介して
標本31側に導かれ、標本31を照明する平行光とな
る。つまり、標本31は、対物レンズ21を通過した平
行光によって照明される。ここで、標本31は、図2に
示すように、カバーガラス35とスライドガラス33と
の間に保持された水34の中に浸されている。このよう
な標本31を観察するに当たって、対物レンズ21に
は、オイル32(d線587nmにおける屈折率1.5
2)による油浸対物レンズが用いられる。ちなみに、対
物レンズ21の開口数NAは1.4であり、倍率は60
倍または100倍である。
置10によって対物レンズ21の後側焦点面21aに集
光された光(集光光L5)は、対物レンズ21を介して
標本31側に導かれ、標本31を照明する平行光とな
る。つまり、標本31は、対物レンズ21を通過した平
行光によって照明される。ここで、標本31は、図2に
示すように、カバーガラス35とスライドガラス33と
の間に保持された水34の中に浸されている。このよう
な標本31を観察するに当たって、対物レンズ21に
は、オイル32(d線587nmにおける屈折率1.5
2)による油浸対物レンズが用いられる。ちなみに、対
物レンズ21の開口数NAは1.4であり、倍率は60
倍または100倍である。
【0023】したがって、対物レンズ21を通過した平
行光L6は、オイル32を介して、スライドガラス33
から水34へ入射しようとする。しかし、スライドガラ
ス33の屈折率(1.52)の方が水34の屈折率
(1.33)より高いため、平行光L6の入射角θが臨
界角よりも大きい場合、平行光L6はスライドガラス3
3と水34との境界面で全反射する。
行光L6は、オイル32を介して、スライドガラス33
から水34へ入射しようとする。しかし、スライドガラ
ス33の屈折率(1.52)の方が水34の屈折率
(1.33)より高いため、平行光L6の入射角θが臨
界角よりも大きい場合、平行光L6はスライドガラス3
3と水34との境界面で全反射する。
【0024】一般に、平行光L6がスライドガラス33
と水34との境界面で全反射するときの入射角θの条件
は、次の式(1)で表される。ただし、n1はスライドガ
ラス33の屈折率(1.52)、n2は水34の屈折率
(1.33)である。 n1・sinθ>n2 …… (1) 本実施形態では、開口数NA(=n1・sinα)が1.4
の対物レンズ21を用いたため、平行光L6の入射角θ
が次の関係式(2)を満足するとき、スライドガラス33
と水34との境界面で全反射を起こすことができる。
と水34との境界面で全反射するときの入射角θの条件
は、次の式(1)で表される。ただし、n1はスライドガ
ラス33の屈折率(1.52)、n2は水34の屈折率
(1.33)である。 n1・sinθ>n2 …… (1) 本実施形態では、開口数NA(=n1・sinα)が1.4
の対物レンズ21を用いたため、平行光L6の入射角θ
が次の関係式(2)を満足するとき、スライドガラス33
と水34との境界面で全反射を起こすことができる。
【0025】 1.33<(n1・sinθ)<1.4 …… (2) ところで、平行光L6の入射角θは、対物レンズ21の
後側焦点面21aにおける集光点P1の位置(光軸O3
からの距離d)に応じて一意的に決まる。入射角θと距
離dとの関係は次の式(3)で表される。ただし、n1は
スライドガラス33の屈折率(1.52)、fは対物レ
ンズ21の焦点距離である。
後側焦点面21aにおける集光点P1の位置(光軸O3
からの距離d)に応じて一意的に決まる。入射角θと距
離dとの関係は次の式(3)で表される。ただし、n1は
スライドガラス33の屈折率(1.52)、fは対物レ
ンズ21の焦点距離である。
【0026】n1・sinθ=d/f …… (3) したがって、平行光L6をスライドガラス33と水34
との境界面で全反射させるには、集光点P1の位置を対
物レンズ21の後側焦点面21aの中で移動させ、光軸
O3からの距離dが次の関係式(4)を満足するように調
整すればよい。 1.33f < d < 1.4f …… (4) ちなみに、上記の関係式(4)を満足する範囲は、対物レ
ンズ21の後側焦点面21aの中の周辺部(径方向の幅
は0.15mm程度)である。上述したように、対物レ
ンズ21の後側焦点面21aにおける集光光L5のスポ
ット径は80μm程度であるため、この集光光L5の集
光点P1を上記関係式(4)を満足する範囲内に調整する
には高い精度が要求される。
との境界面で全反射させるには、集光点P1の位置を対
物レンズ21の後側焦点面21aの中で移動させ、光軸
O3からの距離dが次の関係式(4)を満足するように調
整すればよい。 1.33f < d < 1.4f …… (4) ちなみに、上記の関係式(4)を満足する範囲は、対物レ
ンズ21の後側焦点面21aの中の周辺部(径方向の幅
は0.15mm程度)である。上述したように、対物レ
ンズ21の後側焦点面21aにおける集光光L5のスポ
ット径は80μm程度であるため、この集光光L5の集
光点P1を上記関係式(4)を満足する範囲内に調整する
には高い精度が要求される。
【0027】本実施形態の顕微鏡用照明装置10(図
1)では、ミラー14の回転角に応じて平行光L3の進
行方向を変え、平行光L3の進行方向に応じて、集光光
L4がダイクロイックミラー16に入射する地点P2を
移動させることができる。さらに、ダイクロイックミラ
ー16に入射する集光光L4の地点P2が移動すると、
ダイクロイックミラー16で反射した集光光L5の光路
も移動する。
1)では、ミラー14の回転角に応じて平行光L3の進
行方向を変え、平行光L3の進行方向に応じて、集光光
L4がダイクロイックミラー16に入射する地点P2を
移動させることができる。さらに、ダイクロイックミラ
ー16に入射する集光光L4の地点P2が移動すると、
ダイクロイックミラー16で反射した集光光L5の光路
も移動する。
【0028】ミラー14の回転軸が光軸O1,O2に垂
直なため、ダイクロイックミラー16における地点P2
の移動は、対物レンズ21の径方向に沿ったものとな
る。このため、ダイクロイックミラー16で反射した集
光光L5の光路も径方向に移動する。
直なため、ダイクロイックミラー16における地点P2
の移動は、対物レンズ21の径方向に沿ったものとな
る。このため、ダイクロイックミラー16で反射した集
光光L5の光路も径方向に移動する。
【0029】なお、平行光L3の進行方向が変わって
も、集光光L4は常に集光レンズ15の光軸O2に沿っ
て射出される。このため、ダイクロイックミラー16で
反射した集光光L5も常に対物レンズ21の光軸O3に
沿って進行する。このように、本実施形態の顕微鏡用照
明装置10では、ミラー14の回転角を調整することに
より、対物レンズ21の後側焦点面21aにおける集光
光L5の集光点P1を径方向に移動させることができ
る。
も、集光光L4は常に集光レンズ15の光軸O2に沿っ
て射出される。このため、ダイクロイックミラー16で
反射した集光光L5も常に対物レンズ21の光軸O3に
沿って進行する。このように、本実施形態の顕微鏡用照
明装置10では、ミラー14の回転角を調整することに
より、対物レンズ21の後側焦点面21aにおける集光
光L5の集光点P1を径方向に移動させることができ
る。
【0030】したがって、ミラー14の回転角の調整に
より、集光光L5の集光点P1を上記関係式(4)を満足
する範囲内に、すなわち、対物レンズ21の後側焦点面
21aの中の周辺部(径方向の幅は0.15mm程度)
に精度良く位置決めすることができる。このとき、対物
レンズ21を通過して標本31側に導かれた平行光L6
(図2)は、スライドガラス33と水34との境界面で
全反射し、再び対物レンズ21を通過して(戻り光L
7)、ダイクロイックミラー16の方へ進行する。
より、集光光L5の集光点P1を上記関係式(4)を満足
する範囲内に、すなわち、対物レンズ21の後側焦点面
21aの中の周辺部(径方向の幅は0.15mm程度)
に精度良く位置決めすることができる。このとき、対物
レンズ21を通過して標本31側に導かれた平行光L6
(図2)は、スライドガラス33と水34との境界面で
全反射し、再び対物レンズ21を通過して(戻り光L
7)、ダイクロイックミラー16の方へ進行する。
【0031】一方、スライドガラス33と水34との境
界面のうち、平行光L6が全反射した箇所では、一部の
光が境界面から水34側に染み出している。水34に浸
された標本31は、この染み出した光によって照明され
る。ちなみに、照明範囲は、対物レンズ21の倍率が6
0倍の場合、160μm程度である。全反射する平行光
L6を用いて照明された標本31は、四方八方に蛍光を
発生する。標本31からの蛍光の波長は、平行光L6の
波長(488nm)よりも長く、515nm〜550n
m程度である。標本31からの蛍光は、対物レンズ21
を通過して集光され、平行な観察光L8(図1)とな
る。
界面のうち、平行光L6が全反射した箇所では、一部の
光が境界面から水34側に染み出している。水34に浸
された標本31は、この染み出した光によって照明され
る。ちなみに、照明範囲は、対物レンズ21の倍率が6
0倍の場合、160μm程度である。全反射する平行光
L6を用いて照明された標本31は、四方八方に蛍光を
発生する。標本31からの蛍光の波長は、平行光L6の
波長(488nm)よりも長く、515nm〜550n
m程度である。標本31からの蛍光は、対物レンズ21
を通過して集光され、平行な観察光L8(図1)とな
る。
【0032】この観察光L8は、ダイクロイックミラー
16を透過したのち、バンドパスフィルタ17に導か
れ、このバンドパスフィルタ17も透過して、顕微鏡
(不図示)の結像レンズ23に至る。したがって、像面3
1Aには標本31から発生した蛍光(観察光L8)によ
る像(標本像)が形成される。
16を透過したのち、バンドパスフィルタ17に導か
れ、このバンドパスフィルタ17も透過して、顕微鏡
(不図示)の結像レンズ23に至る。したがって、像面3
1Aには標本31から発生した蛍光(観察光L8)によ
る像(標本像)が形成される。
【0033】ちなみに、対物レンズ21を通過した戻り
光L7は、ダイクロイックミラー16で反射する。さら
に、ダイクロイックミラー16を透過してしまった戻り
光L7の成分が存在してもバンドパスフィルタ17で遮
断される。このように、本実施形態の顕微鏡用照明装置
10では、標本31から発生した蛍光(観察光L8)の
光路中にダイクロイックミラー16およびバンドパスフ
ィルタ17を設けて波長選択するので、標本31の照明
に用いられた戻り光L7やレンズ表面における反射光が
微弱な観察光L8に混じって結像レンズ23に到達する
ことはない。したがって、像面31Aには、S/N比が
大きく、非常にコントラストの良い標本像が得られる。
光L7は、ダイクロイックミラー16で反射する。さら
に、ダイクロイックミラー16を透過してしまった戻り
光L7の成分が存在してもバンドパスフィルタ17で遮
断される。このように、本実施形態の顕微鏡用照明装置
10では、標本31から発生した蛍光(観察光L8)の
光路中にダイクロイックミラー16およびバンドパスフ
ィルタ17を設けて波長選択するので、標本31の照明
に用いられた戻り光L7やレンズ表面における反射光が
微弱な観察光L8に混じって結像レンズ23に到達する
ことはない。したがって、像面31Aには、S/N比が
大きく、非常にコントラストの良い標本像が得られる。
【0034】さらに、本実施形態の顕微鏡用照明装置1
0では、ミラー14の回転によって集光光L5の集光点
P1を対物レンズ21の後側焦点面21a内で移動させ
る(すなわち対物レンズ21を通過した平行光L6の入
射角θを調整する)ので、高精度な位置決め(調整)を
簡単に行うことができる。通常、倍率の異なる対物レン
ズ21は焦点距離も異なるので、対物レンズ21を倍率
の異なるものに交換した場合には、平行光L6の全反射
条件(上記の関係式(4))に応じて、集光光L5の集光
点P1(平行光L6の入射角θ)を改めて調整し直さな
ければならない。
0では、ミラー14の回転によって集光光L5の集光点
P1を対物レンズ21の後側焦点面21a内で移動させ
る(すなわち対物レンズ21を通過した平行光L6の入
射角θを調整する)ので、高精度な位置決め(調整)を
簡単に行うことができる。通常、倍率の異なる対物レン
ズ21は焦点距離も異なるので、対物レンズ21を倍率
の異なるものに交換した場合には、平行光L6の全反射
条件(上記の関係式(4))に応じて、集光光L5の集光
点P1(平行光L6の入射角θ)を改めて調整し直さな
ければならない。
【0035】本実施形態の顕微鏡用照明装置10では、
ミラー14の回転によって簡単に高精度な調整を行うこ
とができるため、対物レンズ21の倍率交換にも容易に
対応でき、全反射する平行光L6を用いた標本31の照
明が容易に実現する。なお、対物レンズ21の交換は胴
付面22を基準面として行われる。次に、上記の顕微鏡
用照明装置10を組み込んだ倒立顕微鏡20について簡
単に説明する。図3に示すように、倒立顕微鏡20で
は、結像レンズ23と像面31Aとの間にミラー24が
配置される。このミラー24を介して像面31Aに形成
された標本像は、リレー光学系25を介して像面31B
または像面31Cに導かれる。像面31Bに形成された
リレー像は、撮像管(イメージインテンシファイヤ付き
の高感度の撮像管)26またはTVカメラによって撮像
される。像面31Cに形成されたリレー像は、双眼部2
7によって目視観察することができる。
ミラー14の回転によって簡単に高精度な調整を行うこ
とができるため、対物レンズ21の倍率交換にも容易に
対応でき、全反射する平行光L6を用いた標本31の照
明が容易に実現する。なお、対物レンズ21の交換は胴
付面22を基準面として行われる。次に、上記の顕微鏡
用照明装置10を組み込んだ倒立顕微鏡20について簡
単に説明する。図3に示すように、倒立顕微鏡20で
は、結像レンズ23と像面31Aとの間にミラー24が
配置される。このミラー24を介して像面31Aに形成
された標本像は、リレー光学系25を介して像面31B
または像面31Cに導かれる。像面31Bに形成された
リレー像は、撮像管(イメージインテンシファイヤ付き
の高感度の撮像管)26またはTVカメラによって撮像
される。像面31Cに形成されたリレー像は、双眼部2
7によって目視観察することができる。
【0036】なお、倒立顕微鏡20には、標本31を挟
んで対物レンズ21の反対側に、標本31を透過照明す
る別の照明装置40が配置されている。この照明装置4
0は、ランプ光源41と、コレクターレンズ42と、拡
散板43と、絞り44と、コンデンサレンズ45とで構
成される。照明装置40を用いて標本31を透過照明す
る際、標本31を落射照明する本実施形態の顕微鏡用照
明装置10は、観察光L8の光路から除外される。
んで対物レンズ21の反対側に、標本31を透過照明す
る別の照明装置40が配置されている。この照明装置4
0は、ランプ光源41と、コレクターレンズ42と、拡
散板43と、絞り44と、コンデンサレンズ45とで構
成される。照明装置40を用いて標本31を透過照明す
る際、標本31を落射照明する本実施形態の顕微鏡用照
明装置10は、観察光L8の光路から除外される。
【0037】上記した実施形態では、ダイクロイックミ
ラー16とバンドパスフィルタ17とで戻り光L7を遮
断したが、戻り光L7の光路上にストッパーを設けて遮
断しても良い。その場合、ダイクロイックミラー16に
代えて、ハーフミラー(半透鏡)を用いることもでき
る。また、バンドパスフィルタ17を省略することもで
きる。
ラー16とバンドパスフィルタ17とで戻り光L7を遮
断したが、戻り光L7の光路上にストッパーを設けて遮
断しても良い。その場合、ダイクロイックミラー16に
代えて、ハーフミラー(半透鏡)を用いることもでき
る。また、バンドパスフィルタ17を省略することもで
きる。
【0038】さらに、上記した実施形態では、ダイクロ
イックミラー16とバンドパスフィルタ17とで戻り光
L7を遮断したが、高性能なバンドパスフィルタ17を
用意できればダイクロイックミラー16の代わりにハー
フミラーを用いても良く、高性能なダイクロイックミラ
ー16を用意できればバンドパスフィルタ17を省略し
ても良い。
イックミラー16とバンドパスフィルタ17とで戻り光
L7を遮断したが、高性能なバンドパスフィルタ17を
用意できればダイクロイックミラー16の代わりにハー
フミラーを用いても良く、高性能なダイクロイックミラ
ー16を用意できればバンドパスフィルタ17を省略し
ても良い。
【0039】また、上記した実施形態では、標本31の
蛍光観察を目的とした構成(ダイクロイックミラー1
6,バンドパスフィルタ17を有する)を説明したが、
標本31で乱反射した光を観察する場合には、ダイクロ
イックミラー16に代えてハーフミラーを用いれば良
い。また、バンドパスフィルタ17を省略することもで
きる。
蛍光観察を目的とした構成(ダイクロイックミラー1
6,バンドパスフィルタ17を有する)を説明したが、
標本31で乱反射した光を観察する場合には、ダイクロ
イックミラー16に代えてハーフミラーを用いれば良
い。また、バンドパスフィルタ17を省略することもで
きる。
【0040】さらに、上記した実施形態では、レーザ光
源11からの平行光をファイバ12によって拡散させた
が、ファイバ12に代えて拡散板を用いることもでき
る。この場合、拡散板を端面12aに配置することで、
コリメートレンズ13から径の拡大された平行光L2を
射出できる。また、ファイバ12(拡散板)およびコリ
メートレンズ13に代えて、ビームエキスパンダーを用
い、レーザ光源11からの平行光の径を拡大しても良
い。平行光L2の径が大きいほど標本31に対する照明
範囲を広くすることができる。
源11からの平行光をファイバ12によって拡散させた
が、ファイバ12に代えて拡散板を用いることもでき
る。この場合、拡散板を端面12aに配置することで、
コリメートレンズ13から径の拡大された平行光L2を
射出できる。また、ファイバ12(拡散板)およびコリ
メートレンズ13に代えて、ビームエキスパンダーを用
い、レーザ光源11からの平行光の径を拡大しても良
い。平行光L2の径が大きいほど標本31に対する照明
範囲を広くすることができる。
【0041】また、上記した実施形態では、標本31を
水34の中に浸した状態で観察する顕微鏡に顕微鏡用照
明装置10を組み込んだ例を説明したが、顕微鏡用照明
装置10は、標本31を空気中においた状態で観察する
顕微鏡にも適用できる。その場合、平行光L6の全反射
条件(上記の関係式(4))は、水34の屈折率に相当す
る1.33を空気の屈折率に相当する1.0に置き換えれ
ばよい。油浸対物レンズに限らず水浸対物レンズにも本
発明は適用できる(油浸対物レンズと水浸対物レンズと
を総じて液浸対物レンズと言う)。
水34の中に浸した状態で観察する顕微鏡に顕微鏡用照
明装置10を組み込んだ例を説明したが、顕微鏡用照明
装置10は、標本31を空気中においた状態で観察する
顕微鏡にも適用できる。その場合、平行光L6の全反射
条件(上記の関係式(4))は、水34の屈折率に相当す
る1.33を空気の屈折率に相当する1.0に置き換えれ
ばよい。油浸対物レンズに限らず水浸対物レンズにも本
発明は適用できる(油浸対物レンズと水浸対物レンズと
を総じて液浸対物レンズと言う)。
【0042】さらに、本実施形態の顕微鏡用照明装置1
0を倒立顕微鏡20に組み込む例を説明した(図3)
が、正立顕微鏡に組み込むこともできる。また、構成を
簡略化するためにコリメートレンズ13と集光レンズ1
5との間を平行系としたが、非平行系で構成することも
できる。
0を倒立顕微鏡20に組み込む例を説明した(図3)
が、正立顕微鏡に組み込むこともできる。また、構成を
簡略化するためにコリメートレンズ13と集光レンズ1
5との間を平行系としたが、非平行系で構成することも
できる。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1から請求
項4に記載した顕微鏡用照明装置によれば、対物レンズ
の後側焦点面内における集光光の集光点の位置を反射光
学系の回転によって調整するので、対物レンズを通過し
て標本側に導かれた光(標本への照明光)の入射角を高
精度かつ容易に調整することができる。
項4に記載した顕微鏡用照明装置によれば、対物レンズ
の後側焦点面内における集光光の集光点の位置を反射光
学系の回転によって調整するので、対物レンズを通過し
て標本側に導かれた光(標本への照明光)の入射角を高
精度かつ容易に調整することができる。
【図1】本実施形態の顕微鏡用照明装置10の構成を示
す図である。
す図である。
【図2】顕微鏡用照明装置10によって対物レンズ21
の後側焦点面21aに集光された光(L5)が対物レンズ
21を介して標本31側に導かれる様子、および、全反
射する平行光(L6)を用いた標本31の照明を説明する
図である。
の後側焦点面21aに集光された光(L5)が対物レンズ
21を介して標本31側に導かれる様子、および、全反
射する平行光(L6)を用いた標本31の照明を説明する
図である。
【図3】倒立顕微鏡20の構成、および、顕微鏡用照明
装置10を倒立顕微鏡20に組み込んだ状態を示す図で
ある。
装置10を倒立顕微鏡20に組み込んだ状態を示す図で
ある。
【図4】従来の照明装置の一例を示す図である。
【図5】従来の照明装置の別の例を示す図である。
10 顕微鏡用照明装置 11 レーザ光源 12 ファイバ 13 コリメートレンズ 14,24 ミラー 15 集光レンズ 16 ダイクロイックミラー 17 バンドパスフィルタ 20 倒立顕微鏡 21 対物レンズ 22 胴付面 23 結像レンズ 31 標本 32 オイル 33 スライドガラス 34 水 35 カバーガラス
Claims (4)
- 【請求項1】 対物レンズの光軸に対し交差する所定方
向に沿って集光光を射出する射出手段と、 前記射出手段から射出された前記集光光を前記対物レン
ズの光軸に沿って前記対物レンズの方向に反射し、標本
から発生して前記対物レンズを通過した観察光を透過す
る光学部材とを備え、 前記射出手段と前記光学部材とは、前記集光光の集光点
が前記対物レンズの後側焦点面に一致するように配置さ
れ、 前記射出手段は、レーザ光源と、該レーザ光源から射出
される光の径を拡大する拡大光学系と、該拡大光学系に
よって径が拡大された光を反射する反射光学系と、該反
射光学系によって反射された光を集光する集光光学系と
を有し、 前記集光光学系は、光軸が前記所定方向に平行であり、 前記反射光学系は、前記集光光学系の光軸と前記拡大光
学系の光軸とに垂直な軸のまわりに回転可能であること
を特徴とする顕微鏡用照明装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の顕微鏡用照明装置にお
いて、 前記光学部材は、前記集光光の波長領域の光を反射する
と共に該波長領域よりも長い波長領域の光を透過するダ
イクロイックミラーと、であることを特徴とする顕微鏡
用照明装置。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の顕微鏡
用照明装置において、 前記光学部材を透過した前記観察光の光路中に、前記集
光光の波長領域の光を遮断するバンドパスフィルターを
設けたことを特徴とする顕微鏡用照明装置。 - 【請求項4】 請求項1から請求項3の何れか1項に記
載の顕微鏡用照明装置において、 前記反射光学系から前記集光光学系までの距離は、前記
集光光学系の焦点距離に等しいことを特徴とする顕微鏡
用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000214527A JP2002031762A (ja) | 2000-07-14 | 2000-07-14 | 顕微鏡用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000214527A JP2002031762A (ja) | 2000-07-14 | 2000-07-14 | 顕微鏡用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002031762A true JP2002031762A (ja) | 2002-01-31 |
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ID=18710091
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|---|---|---|---|
| JP2000214527A Pending JP2002031762A (ja) | 2000-07-14 | 2000-07-14 | 顕微鏡用照明装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2002031762A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004295122A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Olympus Corp | 照明切換装置及びその方法 |
| US7170676B2 (en) | 2003-03-13 | 2007-01-30 | Olympus Corporation | Illumination switching apparatus and method |
| US7369308B2 (en) | 2004-02-09 | 2008-05-06 | Olympus Corporation | Total internal reflection fluorescence microscope |
| JP2011082298A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ光吸収装置及びその固体レーザ装置 |
| EP2720075A1 (en) | 2012-10-12 | 2014-04-16 | Spectral Applied Research Inc. | Total internal reflectance fluorescence (TIRF) microscopy across multiple wavelengths simultaneously |
| JP2016174758A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社トプコン | 細隙灯顕微鏡 |
| CN106949383A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-07-14 | 杭州有人光电技术有限公司 | 一种利用激光诱导荧光的照明系统 |
| DE10229935B4 (de) * | 2002-07-04 | 2018-02-08 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskopschieber zur Einkopplung von Licht in ein Mikroskop |
-
2000
- 2000-07-14 JP JP2000214527A patent/JP2002031762A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10229935B4 (de) * | 2002-07-04 | 2018-02-08 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskopschieber zur Einkopplung von Licht in ein Mikroskop |
| JP2004295122A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Olympus Corp | 照明切換装置及びその方法 |
| US7170676B2 (en) | 2003-03-13 | 2007-01-30 | Olympus Corporation | Illumination switching apparatus and method |
| US7369308B2 (en) | 2004-02-09 | 2008-05-06 | Olympus Corporation | Total internal reflection fluorescence microscope |
| JP2011082298A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ光吸収装置及びその固体レーザ装置 |
| EP2720075A1 (en) | 2012-10-12 | 2014-04-16 | Spectral Applied Research Inc. | Total internal reflectance fluorescence (TIRF) microscopy across multiple wavelengths simultaneously |
| US9500847B2 (en) | 2012-10-12 | 2016-11-22 | Spectral Applied Research Inc. | Total internal reflectance fluorescence (TIRF) microscopy across multiple wavelengths simultaneously |
| JP2016174758A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社トプコン | 細隙灯顕微鏡 |
| CN106949383A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-07-14 | 杭州有人光电技术有限公司 | 一种利用激光诱导荧光的照明系统 |
| CN106949383B (zh) * | 2017-04-01 | 2023-03-21 | 安徽仁和光电科技有限公司 | 一种利用激光诱导荧光的照明系统 |
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