JP2002021775A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターボ分子ポンプ内での固化物の付着を効果
的に防止する。 【解決手段】 ロータ６が回転すると、動翼５及び静翼
４とねじ溝ポンプ段９の作用により、ガスは吸気口２か
ら吸引されガス流路を通って排気口３から排気される。
ガス流路のうち下流側には放熱板２０が配置されてお
り、この放熱板２０には、電気ヒータ１４の熱が熱良導
体１７を介して供給される。このため、放熱板２０によ
りガス流路の下流側を加熱することができ、この部分で
の固化物の付着を防止している。更に、熱伝導部２０ａ
により、放熱板２０をスペーサ１９に接触させて、下流
側の静翼４ｂを加熱して、下流側のガス流路を効果的に
加熱している。しかも、断熱スペーサ１８ａ，１８ｂを
介装することにより、ケーシング１を不要に加熱するこ
とを防止している。
的に防止する。 【解決手段】 ロータ６が回転すると、動翼５及び静翼
４とねじ溝ポンプ段９の作用により、ガスは吸気口２か
ら吸引されガス流路を通って排気口３から排気される。
ガス流路のうち下流側には放熱板２０が配置されてお
り、この放熱板２０には、電気ヒータ１４の熱が熱良導
体１７を介して供給される。このため、放熱板２０によ
りガス流路の下流側を加熱することができ、この部分で
の固化物の付着を防止している。更に、熱伝導部２０ａ
により、放熱板２０をスペーサ１９に接触させて、下流
側の静翼４ｂを加熱して、下流側のガス流路を効果的に
加熱している。しかも、断熱スペーサ１８ａ，１８ｂを
介装することにより、ケーシング１を不要に加熱するこ
とを防止している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、軸方向に交互に配
列された複数の動翼（回転翼）及び静翼（固定翼）によ
って、吸気口から吸引したガスを排気口へ真空排気する
ターボ分子ポンプに関するものである。特に本発明で
は、ガス分圧が高くなると固化が生じるガスを吸引する
場合であっても、ターボ分子ポンプ内での固化物の付着
を効果的に防止できるように工夫したものである。
列された複数の動翼（回転翼）及び静翼（固定翼）によ
って、吸気口から吸引したガスを排気口へ真空排気する
ターボ分子ポンプに関するものである。特に本発明で
は、ガス分圧が高くなると固化が生じるガスを吸引する
場合であっても、ターボ分子ポンプ内での固化物の付着
を効果的に防止できるように工夫したものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来のターボ分子ポンプの縦断
面図を示すものである。同図に示すようにケーシング１
（ポンプ本体）には、ガスの吸気口２及び排気口３が設
けられ、その間には、静翼（固定翼）４がスペーサ１９
によってその位置が固定されて取り付けられている。
面図を示すものである。同図に示すようにケーシング１
（ポンプ本体）には、ガスの吸気口２及び排気口３が設
けられ、その間には、静翼（固定翼）４がスペーサ１９
によってその位置が固定されて取り付けられている。
【０００３】ロータ６には動翼（回転翼）５とねじ溝ポ
ンプ段９が取付けられ、回転軸７によって回転される。
そして、複数の動翼５と複数の静翼４とが軸方向に交互
に配設されている。
ンプ段９が取付けられ、回転軸７によって回転される。
そして、複数の動翼５と複数の静翼４とが軸方向に交互
に配設されている。
【０００４】回転軸７と、この回転軸７の周りに配置さ
れたステータ８との間には、ロータ６を高速回転させる
ために、上部の磁気軸受１０と下部の磁気軸受１１と軸
方向軸受としての磁気軸受１２とモータ１３が設けられ
ている。
れたステータ８との間には、ロータ６を高速回転させる
ために、上部の磁気軸受１０と下部の磁気軸受１１と軸
方向軸受としての磁気軸受１２とモータ１３が設けられ
ている。
【０００５】ケーシング１の外に位置する加熱部１５
は、加熱用電気ヒータ１４によって加熱され、熱良導体
１７を介して放熱板２０へ熱を伝えている。
は、加熱用電気ヒータ１４によって加熱され、熱良導体
１７を介して放熱板２０へ熱を伝えている。
【０００６】加熱部１５とケーシング１との間には断熱
スペーサ１８が介装され、ケーシング１及びステータ８
は、加熱部１５，熱良導体１７及び放熱板２０から熱隔
離されている。また、放熱板２０の外周面とケーシング
１の内側のスペーサ１９との間の空間には、熱遮蔽板２
１が装設されており、この熱遮蔽板２１により、放熱板
２０からの放射熱をスペーサ１９及びケーシング１側へ
伝えないように遮蔽している。
スペーサ１８が介装され、ケーシング１及びステータ８
は、加熱部１５，熱良導体１７及び放熱板２０から熱隔
離されている。また、放熱板２０の外周面とケーシング
１の内側のスペーサ１９との間の空間には、熱遮蔽板２
１が装設されており、この熱遮蔽板２１により、放熱板
２０からの放射熱をスペーサ１９及びケーシング１側へ
伝えないように遮蔽している。
【０００７】また、放熱板２０とケーシング１側の間に
は、ガスがバイパスしないように、Ｏリング２３により
シールがされている。
は、ガスがバイパスしないように、Ｏリング２３により
シールがされている。
【０００８】ケーシング１には、冷却用の冷却通路２２
が設けられており、この冷却通路２２を通過する冷却水
によってケーシング１が冷却され、アルミ合金材料によ
り構成されたロータ６の温度が許容温度以下に抑えられ
るようになっている。
が設けられており、この冷却通路２２を通過する冷却水
によってケーシング１が冷却され、アルミ合金材料によ
り構成されたロータ６の温度が許容温度以下に抑えられ
るようになっている。
【０００９】以上のターボ分子ポンプでは、動翼５と回
転軸７とを持つロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスは、ガス吸気口２から動翼５，静翼４及びね
じ溝ポンプ段９のガス流路を経て排気口３の方向へ流れ
て真空排気され、吸気口２が高真空になると共に排気口
３が低真空となる。
転軸７とを持つロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスは、ガス吸気口２から動翼５，静翼４及びね
じ溝ポンプ段９のガス流路を経て排気口３の方向へ流れ
て真空排気され、吸気口２が高真空になると共に排気口
３が低真空となる。
【００１０】このとき、加熱部１５を電気ヒータ１４等
の加熱手段により加熱し、加熱部１５の熱を熱良導体１
７を経て放熱板２０に伝え、同放熱板２０を加熱し、ね
じ溝ポンプ段９，回転体及びその周辺部のガス温度を上
げて固化物の付着を防止している。
の加熱手段により加熱し、加熱部１５の熱を熱良導体１
７を経て放熱板２０に伝え、同放熱板２０を加熱し、ね
じ溝ポンプ段９，回転体及びその周辺部のガス温度を上
げて固化物の付着を防止している。
【００１１】ここで「固化物の付着」について説明す
る。このターボ分子ポンプは、例えば、半導体製造装置
を真空引きする場合に使用されており、この場合には、
塩化アルミガスを吸引することがある。この塩化アルミ
の昇華特性は、図４に示すようになっており、ガス圧が
高くなるにつれて昇華温度も高くなり、グラフ線から下
が固体になる範囲を示している。ターボ分子ポンプで
は、吸気口２側が高真空（分圧が低い）で排気口３側が
低真空（分圧が高い）となるため、排気口３側のねじ溝
ポンプ段９側において分圧が高くなり固化が発生し易
い。このため分圧の高い排気口３側において加熱して、
固化物の付着を防いでいるのである。
る。このターボ分子ポンプは、例えば、半導体製造装置
を真空引きする場合に使用されており、この場合には、
塩化アルミガスを吸引することがある。この塩化アルミ
の昇華特性は、図４に示すようになっており、ガス圧が
高くなるにつれて昇華温度も高くなり、グラフ線から下
が固体になる範囲を示している。ターボ分子ポンプで
は、吸気口２側が高真空（分圧が低い）で排気口３側が
低真空（分圧が高い）となるため、排気口３側のねじ溝
ポンプ段９側において分圧が高くなり固化が発生し易
い。このため分圧の高い排気口３側において加熱して、
固化物の付着を防いでいるのである。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】従来のターボ分子ポン
プは、ガスを排気する際、ポンプ内部の発熱により、回
転体が高温になるため、回転体材料に使用されているア
ルミ合金材料がクリープや強度低下を起こす原因になっ
ており、この対策としてケーシング（ポンプ本体）１が
冷却水等の冷却手段により冷却されている。
プは、ガスを排気する際、ポンプ内部の発熱により、回
転体が高温になるため、回転体材料に使用されているア
ルミ合金材料がクリープや強度低下を起こす原因になっ
ており、この対策としてケーシング（ポンプ本体）１が
冷却水等の冷却手段により冷却されている。
【００１３】しかしながら、ケーシング１を冷却する
と、ケーシング１内の温度が、排気するガスの昇華温度
以下になり、ガス流路の内部に固化物が付着し、ポンプ
の性能低下や接触による故障等を引き起こすので、ねじ
溝ポンプ段９〜ガス出口周りのガス流路に放熱板２０を
設けて電気ヒータ等の加熱手段によって加熱し、ガス温
度を固化温度以上に加熱していたが、加熱温度が十分に
届かない部分の排気口３に近い下流側の静翼４の近傍に
は、固化物が付着してしまう現象が起きていた。
と、ケーシング１内の温度が、排気するガスの昇華温度
以下になり、ガス流路の内部に固化物が付着し、ポンプ
の性能低下や接触による故障等を引き起こすので、ねじ
溝ポンプ段９〜ガス出口周りのガス流路に放熱板２０を
設けて電気ヒータ等の加熱手段によって加熱し、ガス温
度を固化温度以上に加熱していたが、加熱温度が十分に
届かない部分の排気口３に近い下流側の静翼４の近傍に
は、固化物が付着してしまう現象が起きていた。
【００１４】このため、固化物を定期的に取り除くメン
テナンス作業が必要となり、ターボ分子ポンプの操業が
低下するという問題があった。
テナンス作業が必要となり、ターボ分子ポンプの操業が
低下するという問題があった。
【００１５】またケーシング１を冷却すると、ケーシン
グ１内の温度が、排気するガスの昇華温度以下になり、
ガス流路の内部に固化物が付着し、ポンプの性能低下や
接触による故障等を引き起こすので、ねじ溝ポンプ段９
〜ガス出口周りのガス流路に放熱板２０を設けて外部か
らの電気ヒータ等の加熱手段によって加熱し、ガス温度
を固化温度以上に加熱するためには、電気ヒータの容量
を大きくする必要があった。
グ１内の温度が、排気するガスの昇華温度以下になり、
ガス流路の内部に固化物が付着し、ポンプの性能低下や
接触による故障等を引き起こすので、ねじ溝ポンプ段９
〜ガス出口周りのガス流路に放熱板２０を設けて外部か
らの電気ヒータ等の加熱手段によって加熱し、ガス温度
を固化温度以上に加熱するためには、電気ヒータの容量
を大きくする必要があった。
【００１６】本発明は、上記従来技術の問題を解消する
ために提案するものであり、放熱板を下流側の静翼また
はスペーサに接触させることで、ガス温度を昇華温度以
上に加熱して固化物の付着を防止し、ケーシング内部の
洗浄等のメンテナンス作業を不要にできるターボ分子ポ
ンプを提供することを目的としている。
ために提案するものであり、放熱板を下流側の静翼また
はスペーサに接触させることで、ガス温度を昇華温度以
上に加熱して固化物の付着を防止し、ケーシング内部の
洗浄等のメンテナンス作業を不要にできるターボ分子ポ
ンプを提供することを目的としている。
【００１７】また本発明は、上記従来技術の問題を解消
するために提案するものであり、放熱板にコイルを埋め
込んだ良熱伝導体を取付け、同コイルに高周波電流を流
すよう構成し、コイル及び良熱伝導体の発熱及び放熱板
自身の損失により直接放熱板を加熱させ、少ない電力で
放熱板をガスの昇華温度以上に加熱できるターボ分子ポ
ンプを提供することを目的としている。
するために提案するものであり、放熱板にコイルを埋め
込んだ良熱伝導体を取付け、同コイルに高周波電流を流
すよう構成し、コイル及び良熱伝導体の発熱及び放熱板
自身の損失により直接放熱板を加熱させ、少ない電力で
放熱板をガスの昇華温度以上に加熱できるターボ分子ポ
ンプを提供することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、ケーシング内に、軸方向に交互に配列され
た複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼相互を
軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並んで配
置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及び前記
静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から供給さ
れた熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポンプに
おいて、前記放熱板から、前記静翼のうち少なくとも最
下流の静翼に熱を伝導する熱伝導部と、前記熱伝導部よ
りも下流側に配置されており、熱が前記ケーシングに伝
わるのを防止する下流側の断熱スペーサと、前記熱伝導
部よりも上流側に位置しつつ前記スペーサに介装された
上流側の断熱スペーサとを設けたことを特徴とする。
明の構成は、ケーシング内に、軸方向に交互に配列され
た複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼相互を
軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並んで配
置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及び前記
静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から供給さ
れた熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポンプに
おいて、前記放熱板から、前記静翼のうち少なくとも最
下流の静翼に熱を伝導する熱伝導部と、前記熱伝導部よ
りも下流側に配置されており、熱が前記ケーシングに伝
わるのを防止する下流側の断熱スペーサと、前記熱伝導
部よりも上流側に位置しつつ前記スペーサに介装された
上流側の断熱スペーサとを設けたことを特徴とする。
【００１９】また本発明の構成は、上流側の断熱スペー
サの位置は、ケーシング内でのガス圧力とガス固化温度
と動翼温度により決定されていることを特徴とする。
サの位置は、ケーシング内でのガス圧力とガス固化温度
と動翼温度により決定されていることを特徴とする。
【００２０】また本発明の構成は、ケーシング内に、軸
方向に交互に配列された複数の動翼及び複数の静翼と、
前記複数の静翼相互を軸方向に離間しつつ位置固定する
ため軸方向に並んで配置されたスペーサと、ガス流路の
うち前記動翼及び前記静翼よりも下流側に位置するガス
流路を外部から供給された熱で加熱する放熱板とを備え
たターボ分子ポンプにおいて、前記放熱板を直接加熱す
る加熱手段を前記ケーシング内に設置したことを特徴と
する。
方向に交互に配列された複数の動翼及び複数の静翼と、
前記複数の静翼相互を軸方向に離間しつつ位置固定する
ため軸方向に並んで配置されたスペーサと、ガス流路の
うち前記動翼及び前記静翼よりも下流側に位置するガス
流路を外部から供給された熱で加熱する放熱板とを備え
たターボ分子ポンプにおいて、前記放熱板を直接加熱す
る加熱手段を前記ケーシング内に設置したことを特徴と
する。
【００２１】また本発明の構成は、前記加熱手段として
コイルを用いることを特徴とする。また前記コイルを密
閉したことを特徴とする。更に、前記コイルに高周波電
流を流すことを特徴とする。
コイルを用いることを特徴とする。また前記コイルを密
閉したことを特徴とする。更に、前記コイルに高周波電
流を流すことを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。なお従来技術と同一部分には
同一符号を付して説明をする。
に基づき詳細に説明する。なお従来技術と同一部分には
同一符号を付して説明をする。
【００２３】＜第１の実施の形態＞図１は、本発明の第
１の実施の形態にかかるターボ分子ポンプの縦断面図を
示すものである。同図に示すようにケーシング１（ポン
プ本体）には、ガスの吸気口２及び排気口３が設けら
れ、その間には、静翼（固定翼）４がスペーサ１９によ
ってその位置が固定されて取り付けられている。
１の実施の形態にかかるターボ分子ポンプの縦断面図を
示すものである。同図に示すようにケーシング１（ポン
プ本体）には、ガスの吸気口２及び排気口３が設けら
れ、その間には、静翼（固定翼）４がスペーサ１９によ
ってその位置が固定されて取り付けられている。
【００２４】ロータ６には動翼（回転翼）５とねじ溝ポ
ンプ段９が取付けられ、回転軸７によって回転される。
そして、複数の動翼５と複数の静翼４とが軸方向に交互
に配設されている。結局、吸気口２から排気口３に至る
ガス流路には、交互配置された複数の動翼５及び複数の
静翼４と、ねじ溝ポンプ段９が、ガスの流れ方向に沿い
順に設置されている。
ンプ段９が取付けられ、回転軸７によって回転される。
そして、複数の動翼５と複数の静翼４とが軸方向に交互
に配設されている。結局、吸気口２から排気口３に至る
ガス流路には、交互配置された複数の動翼５及び複数の
静翼４と、ねじ溝ポンプ段９が、ガスの流れ方向に沿い
順に設置されている。
【００２５】回転軸７と、この回転軸７の周りに配置さ
れたステータ８との間には、ロータ６を高速回転させる
ために、上部の磁気軸受１０と下部の磁気軸受１１と軸
方向軸受としての磁気軸受１２とモータ１３が設けられ
ている。
れたステータ８との間には、ロータ６を高速回転させる
ために、上部の磁気軸受１０と下部の磁気軸受１１と軸
方向軸受としての磁気軸受１２とモータ１３が設けられ
ている。
【００２６】ケーシング１の外に位置する加熱部１５
は、加熱用電気ヒータ１４によって加熱され、熱良導体
１７を介して放熱板２０へ熱を伝えている。この放熱板
２０は、ねじ溝ポンプ段９が位置するガス流路を加熱す
る、即ち、ガス流路のうち動翼５及び静翼４よりも下流
側に位置するガス流路を加熱する。
は、加熱用電気ヒータ１４によって加熱され、熱良導体
１７を介して放熱板２０へ熱を伝えている。この放熱板
２０は、ねじ溝ポンプ段９が位置するガス流路を加熱す
る、即ち、ガス流路のうち動翼５及び静翼４よりも下流
側に位置するガス流路を加熱する。
【００２７】加熱部１５とケーシング１との間には断熱
スペーサ１８が介装され、ケーシング１及びステータ８
は、加熱部１５，熱良導体１７及び放熱板２０から熱隔
離されている。また、放熱板２０の外周面とケーシング
１の内側のスペーサ１９との間の空間には、熱遮蔽板２
１が装設されており、この熱遮蔽板２１により、放熱板
２０からの放射熱をスペーサ１９及びケーシング１側へ
伝えないように遮蔽している。
スペーサ１８が介装され、ケーシング１及びステータ８
は、加熱部１５，熱良導体１７及び放熱板２０から熱隔
離されている。また、放熱板２０の外周面とケーシング
１の内側のスペーサ１９との間の空間には、熱遮蔽板２
１が装設されており、この熱遮蔽板２１により、放熱板
２０からの放射熱をスペーサ１９及びケーシング１側へ
伝えないように遮蔽している。
【００２８】また、放熱板２０とケーシング１側の間に
は、ガスがバイパスしないように、Ｏリング２３により
シールがされている。
は、ガスがバイパスしないように、Ｏリング２３により
シールがされている。
【００２９】ケーシング１には、冷却用の冷却通路２２
が設けられており、この冷却通路２２を通過する冷却水
によってケーシング１が冷却され、アルミ合金材料によ
り構成されたロータ６の温度が許容温度以下に抑えられ
るようになっている。
が設けられており、この冷却通路２２を通過する冷却水
によってケーシング１が冷却され、アルミ合金材料によ
り構成されたロータ６の温度が許容温度以下に抑えられ
るようになっている。
【００３０】ここまでの構成は従来技術と同一である
が、本実施の形態では更に、次の様な新規な構成が採用
されている。
が、本実施の形態では更に、次の様な新規な構成が採用
されている。
【００３１】即ち、複数のスペーサ１９は、複数の静翼
４を軸方向に離間しつつ位置固定するため、軸方向に並
んで配置されている。放熱板２０は、ねじ溝ポンプ段９
とスペーサ１９の間のガス流路、即ち、ガス流路のうち
動翼５及び静翼４よりも下流側に位置するガス流路に装
設されると共に、排気口３に近い下流側の静翼４ｂに熱
を伝達させるため、熱伝導部２０ａを介して、複数のス
ペーサ１９のうち下流側の静翼４ｂの下方に位置するス
ペーサ１９に面接触している。なお、放熱板２０を下流
側の静翼４ｂに接触させるように構成してもよい。
４を軸方向に離間しつつ位置固定するため、軸方向に並
んで配置されている。放熱板２０は、ねじ溝ポンプ段９
とスペーサ１９の間のガス流路、即ち、ガス流路のうち
動翼５及び静翼４よりも下流側に位置するガス流路に装
設されると共に、排気口３に近い下流側の静翼４ｂに熱
を伝達させるため、熱伝導部２０ａを介して、複数のス
ペーサ１９のうち下流側の静翼４ｂの下方に位置するス
ペーサ１９に面接触している。なお、放熱板２０を下流
側の静翼４ｂに接触させるように構成してもよい。
【００３２】また、排気口３に近い下流側の静翼４ｂと
吸気口２に近い上流側の静翼４ａとの間に断熱スペーサ
１８ａを設け、また、熱伝導部２０ａを介して放熱板２
０が接触しているスペーサ１９と熱伝導部２０ａの直下
のケーシング１との間にも断熱スペーサ１８ｂを設けて
熱隔離をしている。
吸気口２に近い上流側の静翼４ａとの間に断熱スペーサ
１８ａを設け、また、熱伝導部２０ａを介して放熱板２
０が接触しているスペーサ１９と熱伝導部２０ａの直下
のケーシング１との間にも断熱スペーサ１８ｂを設けて
熱隔離をしている。
【００３３】なお断熱スペーサ１８ａの位置は、ケーシ
ング１内でのガス圧力とガス固化温度と動翼５の温度を
考慮して決定している。具体的には、(1) ガス圧力が高
い場合には、断熱スペーサ１８ａの位置を、更に上流側
に設定することができ、(2) ガス固化温度が高い場合に
は、断熱スペーサ１８ａの位置を、更に下流側に設定す
ることができ、(3) 動翼温度が高い場合には、断熱スペ
ーサ１８ａの位置を、更に下流側に設定することができ
る。
ング１内でのガス圧力とガス固化温度と動翼５の温度を
考慮して決定している。具体的には、(1) ガス圧力が高
い場合には、断熱スペーサ１８ａの位置を、更に上流側
に設定することができ、(2) ガス固化温度が高い場合に
は、断熱スペーサ１８ａの位置を、更に下流側に設定す
ることができ、(3) 動翼温度が高い場合には、断熱スペ
ーサ１８ａの位置を、更に下流側に設定することができ
る。
【００３４】以上のターボ分子ポンプでは、動翼５と回
転軸７とを持つロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスは、ガス吸気口２から動翼５，静翼４及びね
じ溝ポンプ段９のガス流路を経て排気口３の方向へ流れ
て真空排気され、吸気口２が高真空になると共に排気口
３が低真空となる。
転軸７とを持つロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスは、ガス吸気口２から動翼５，静翼４及びね
じ溝ポンプ段９のガス流路を経て排気口３の方向へ流れ
て真空排気され、吸気口２が高真空になると共に排気口
３が低真空となる。
【００３５】このとき、加熱部１５を電気ヒータ１４等
の加熱手段により加熱し、加熱部１５の熱を熱良導体１
７を経て放熱板２０に伝え、同放熱板２０を加熱し、ね
じ溝ポンプ段９、回転体及びその周辺部のガス温度を上
げて固化物の付着を防止している。
の加熱手段により加熱し、加熱部１５の熱を熱良導体１
７を経て放熱板２０に伝え、同放熱板２０を加熱し、ね
じ溝ポンプ段９、回転体及びその周辺部のガス温度を上
げて固化物の付着を防止している。
【００３６】このとき、放熱板２０からの放熱温度は、
アルミ合金材からなる回転体等の強度に影響しない範囲
で、ガスの昇華温度より高い温度となるように、加熱部
１５を加熱する電気ヒータ１４が制御されている。
アルミ合金材からなる回転体等の強度に影響しない範囲
で、ガスの昇華温度より高い温度となるように、加熱部
１５を加熱する電気ヒータ１４が制御されている。
【００３７】一方、ロータ６で発生した熱は、動翼５→
上流側の静翼４ａ→スペーサ１９→ケーシング１に伝わ
り、ケーシング１の対流で冷却される経路と、ロータ６
→ステータ８→ケーシング１に伝わり、冷却通路２２の
冷却水で冷却される経路とで、回転体の温度上昇を許容
温度以下に抑えている。
上流側の静翼４ａ→スペーサ１９→ケーシング１に伝わ
り、ケーシング１の対流で冷却される経路と、ロータ６
→ステータ８→ケーシング１に伝わり、冷却通路２２の
冷却水で冷却される経路とで、回転体の温度上昇を許容
温度以下に抑えている。
【００３８】上記のターボ分子ポンプでは、吸気口２か
らのガス圧力は、動翼５，静翼４及びねじ溝ポンプ段９
を経て次第に圧力が高くなり、排気口３から排気され
る。このガス圧力の変化に対応して、ガス圧力が高くな
り昇華温度も高くなる位置へ放熱板２０を配置し、ガス
の昇華温度より高くなるように放熱温度が設定されてい
る。
らのガス圧力は、動翼５，静翼４及びねじ溝ポンプ段９
を経て次第に圧力が高くなり、排気口３から排気され
る。このガス圧力の変化に対応して、ガス圧力が高くな
り昇華温度も高くなる位置へ放熱板２０を配置し、ガス
の昇華温度より高くなるように放熱温度が設定されてい
る。
【００３９】しかも、放熱板２０を下流側の静翼４ｂま
たは下流側のスペーサ１９に接触させているので、放熱
板２０はねじ溝ポンプ段９及び下流側の静翼４ｂのガス
流路のガス温度を昇華温度以上に加熱して固化物の付着
を防止することができる。このため、ケーシング１内部
の洗浄等のメンテナンス作業を不要にでき、連続運転が
可能となる。
たは下流側のスペーサ１９に接触させているので、放熱
板２０はねじ溝ポンプ段９及び下流側の静翼４ｂのガス
流路のガス温度を昇華温度以上に加熱して固化物の付着
を防止することができる。このため、ケーシング１内部
の洗浄等のメンテナンス作業を不要にでき、連続運転が
可能となる。
【００４０】更に、加熱したい下流側の静翼４ｂとロー
タ温度を冷却するための伝熱経路となる上流側の静翼４
ａの間に断熱スペーサ１８ａを入れているのでロータの
全体温度を上昇させることなく昇華温度の高い下流側の
ガス流路のみを昇温することが可能となった。これによ
り回転体のクリープや強度低下することなくプロセスガ
スの固化付着を防止することができる。
タ温度を冷却するための伝熱経路となる上流側の静翼４
ａの間に断熱スペーサ１８ａを入れているのでロータの
全体温度を上昇させることなく昇華温度の高い下流側の
ガス流路のみを昇温することが可能となった。これによ
り回転体のクリープや強度低下することなくプロセスガ
スの固化付着を防止することができる。
【００４１】以上のとおり第１の実施の形態では、放熱
板２０によってガス流路の温度を上昇させて、アルミ合
金材料からなる回転体等の強度に影響しない温度範囲
で、かつ、ガスの昇華温度より高くしたので、ガス流路
への固化物の付着が防止される効果がある。なお第１の
実施の形態ではねじ溝ポンプ段のあるターボ分子ポンプ
を説明したが、本発明は、ねじ溝ポンプ段のないターボ
分子ポンプにも適用することができる。
板２０によってガス流路の温度を上昇させて、アルミ合
金材料からなる回転体等の強度に影響しない温度範囲
で、かつ、ガスの昇華温度より高くしたので、ガス流路
への固化物の付着が防止される効果がある。なお第１の
実施の形態ではねじ溝ポンプ段のあるターボ分子ポンプ
を説明したが、本発明は、ねじ溝ポンプ段のないターボ
分子ポンプにも適用することができる。
【００４２】＜第２の実施の形態＞図２は、本発明の第
２の実施の形態にかかるターボ分子ポンプの縦断面図を
示すものである。同図に示すようにケーシング１（ポン
プ本体）には、ガスの吸気口２及び排気口３が設けら
れ、その間には、静翼（固定翼）４がスペーサ１９によ
ってその位置が固定されて取り付けられている。
２の実施の形態にかかるターボ分子ポンプの縦断面図を
示すものである。同図に示すようにケーシング１（ポン
プ本体）には、ガスの吸気口２及び排気口３が設けら
れ、その間には、静翼（固定翼）４がスペーサ１９によ
ってその位置が固定されて取り付けられている。
【００４３】ロータ６には動翼（回転翼）５とねじ溝ポ
ンプ段９が取付けられ、回転軸７によって回転される。
そして、複数の動翼５と複数の静翼４とが軸方向に交互
に配設されている。結局、吸気口２から排気口３に至る
ガス流路には、交互配置された複数の動翼５及び複数の
静翼４と、ねじ溝ポンプ段９が、ガスの流れ方向に沿い
順に設置されている。
ンプ段９が取付けられ、回転軸７によって回転される。
そして、複数の動翼５と複数の静翼４とが軸方向に交互
に配設されている。結局、吸気口２から排気口３に至る
ガス流路には、交互配置された複数の動翼５及び複数の
静翼４と、ねじ溝ポンプ段９が、ガスの流れ方向に沿い
順に設置されている。
【００４４】回転軸７と、この回転軸７の周りに配置さ
れたステータ８との間には、ロータ６を高速回転させる
ために、上部の磁気軸受１０と下部の磁気軸受１１と軸
方向軸受としての磁気軸受１２とモータ１３が設けられ
ている。
れたステータ８との間には、ロータ６を高速回転させる
ために、上部の磁気軸受１０と下部の磁気軸受１１と軸
方向軸受としての磁気軸受１２とモータ１３が設けられ
ている。
【００４５】ケーシング１の外に位置する加熱部１５
は、加熱用電気ヒータ１４によって加熱され、熱良導体
１７を介して放熱板２０へ熱を伝えている。この放熱板
２０は、ねじ溝ポンプ段９が位置するガス流路を加熱す
る、即ち、ガス流路のうち動翼５及び静翼４よりも下流
側に位置するガス流路を加熱する。
は、加熱用電気ヒータ１４によって加熱され、熱良導体
１７を介して放熱板２０へ熱を伝えている。この放熱板
２０は、ねじ溝ポンプ段９が位置するガス流路を加熱す
る、即ち、ガス流路のうち動翼５及び静翼４よりも下流
側に位置するガス流路を加熱する。
【００４６】加熱部１５とケーシング１との間には断熱
スペーサ１８が介装され、ケーシング１及びステータ８
は、加熱部１５，熱良導体１７及び放熱板２０から熱隔
離されている。また、放熱板２０の外周面とケーシング
１の内側のスペーサ１９との間の空間には、熱遮蔽板２
１が装設されており、この熱遮蔽板２１により、放熱板
２０からの放射熱をスペーサ１９及びケーシング１側へ
伝えないように遮蔽している。
スペーサ１８が介装され、ケーシング１及びステータ８
は、加熱部１５，熱良導体１７及び放熱板２０から熱隔
離されている。また、放熱板２０の外周面とケーシング
１の内側のスペーサ１９との間の空間には、熱遮蔽板２
１が装設されており、この熱遮蔽板２１により、放熱板
２０からの放射熱をスペーサ１９及びケーシング１側へ
伝えないように遮蔽している。
【００４７】また、放熱板２０とケーシング１側の間に
は、ガスがバイパスしないように、Ｏリング２３により
シールがされている。
は、ガスがバイパスしないように、Ｏリング２３により
シールがされている。
【００４８】ケーシング１には、冷却用の冷却通路２２
が設けられており、この冷却通路２２を通過する冷却水
によってケーシング１が冷却され、アルミ合金材料によ
り構成されたロータ６の温度が許容温度以下に抑えられ
るようになっている。
が設けられており、この冷却通路２２を通過する冷却水
によってケーシング１が冷却され、アルミ合金材料によ
り構成されたロータ６の温度が許容温度以下に抑えられ
るようになっている。
【００４９】ここまでの構成は従来技術と同一である
が、本実施の形態では更に、次の様な新規な構成が採用
されている。
が、本実施の形態では更に、次の様な新規な構成が採用
されている。
【００５０】即ち、放熱板２０の下端面には、良熱伝導
体２４が取付けられている。この良熱伝導体２４の端面
（上端面）には、コイル２５を埋め込むためのドーナツ
状の溝が形成されており、同溝にコイル２５が埋め込ま
れている。また、同溝はコイルを埋め込んだ状態で腐食
性ガスの侵入を防ぐため耐蝕性，絶縁性および気密性に
優れた材料であるエポキシ系樹脂等でモールドされて密
閉されている。
体２４が取付けられている。この良熱伝導体２４の端面
（上端面）には、コイル２５を埋め込むためのドーナツ
状の溝が形成されており、同溝にコイル２５が埋め込ま
れている。また、同溝はコイルを埋め込んだ状態で腐食
性ガスの侵入を防ぐため耐蝕性，絶縁性および気密性に
優れた材料であるエポキシ系樹脂等でモールドされて密
閉されている。
【００５１】コネクタ２６は、外部からコイル２５に高
周波電流を供給するものであり、ポンプ内部の真空を維
持できるよう気密性のすぐれたものを使用している。こ
のコネクタ２６のピンにはコイル２５につながるリード
線が接続されると共に、外部に配置したインバータ等の
高周波電源２７が接続されている。このため、高周波電
源２７から出力された高周波電流が、コネクタ２６を介
してコイル２５に供給されるようになっている。
周波電流を供給するものであり、ポンプ内部の真空を維
持できるよう気密性のすぐれたものを使用している。こ
のコネクタ２６のピンにはコイル２５につながるリード
線が接続されると共に、外部に配置したインバータ等の
高周波電源２７が接続されている。このため、高周波電
源２７から出力された高周波電流が、コネクタ２６を介
してコイル２５に供給されるようになっている。
【００５２】以上のターボ分子ポンプでは、動翼５と回
転軸７とを持つロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスは、ガス吸気口２から動翼５，静翼４及びね
じ溝ポンプ段９のガス流路を経て排気口３の方向へ流れ
て真空排気され、吸気口２が高真空になると共に排気口
３が低真空となる。
転軸７とを持つロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスは、ガス吸気口２から動翼５，静翼４及びね
じ溝ポンプ段９のガス流路を経て排気口３の方向へ流れ
て真空排気され、吸気口２が高真空になると共に排気口
３が低真空となる。
【００５３】このとき、ポンプ内部に設けられた放熱板
２０に取付けられた良熱伝導体２４に埋め込まれたコイ
ル２５に、インバータ等の高周波電源２７で高周波電流
を流すことにより、コイル２５に発生する銅損、及び、
良熱伝導帯２４で発生する鉄損により良熱伝導体２４が
加熱され、良熱伝導体２４に直結している放熱板２０に
熱を伝え、同放熱板２０を加熱する。このようにして加
熱された放熱板２０はガス流路を加熱するため、ねじ溝
ポンプ段９、下流側静翼４ｂ、回転体及びその周辺部へ
の固化物の付着を防止する。なお前述した「銅損」は、
コイル２５のコイル巻数，高周波電流値及び高周波電流
の周波数に比例し、前述した「鉄損」は、コイル２５の
巻数，高周波電流値に比例し及び高周波電流の周波数の
約２乗に比例する。
２０に取付けられた良熱伝導体２４に埋め込まれたコイ
ル２５に、インバータ等の高周波電源２７で高周波電流
を流すことにより、コイル２５に発生する銅損、及び、
良熱伝導帯２４で発生する鉄損により良熱伝導体２４が
加熱され、良熱伝導体２４に直結している放熱板２０に
熱を伝え、同放熱板２０を加熱する。このようにして加
熱された放熱板２０はガス流路を加熱するため、ねじ溝
ポンプ段９、下流側静翼４ｂ、回転体及びその周辺部へ
の固化物の付着を防止する。なお前述した「銅損」は、
コイル２５のコイル巻数，高周波電流値及び高周波電流
の周波数に比例し、前述した「鉄損」は、コイル２５の
巻数，高周波電流値に比例し及び高周波電流の周波数の
約２乗に比例する。
【００５４】放熱板２０からの放熱温度は、アルミ合金
材からなる回転体等の強度に影響しない範囲で、ガスの
昇華温度より高い温度となるように、高周波電流値又は
周波数が制御されている。なお高周波電源２７は、電流
値が２〜３Ａで、周波数が２０００〜３０００Ｈｚの高
周波電流をコイル２５に供給する
材からなる回転体等の強度に影響しない範囲で、ガスの
昇華温度より高い温度となるように、高周波電流値又は
周波数が制御されている。なお高周波電源２７は、電流
値が２〜３Ａで、周波数が２０００〜３０００Ｈｚの高
周波電流をコイル２５に供給する
【００５５】更に、排気口３での固化物の付着を防止す
るために、排気口３のポンプ外部に設けられた加熱部１
５を電気ヒータ１４により加熱し、加熱部１５の熱をポ
ンプ内部の熱良導体１７を経て良熱伝導体２４に伝え、
放熱板２０を加熱する構造も併用することができる。図
２は本機構を併用した事例を示す。
るために、排気口３のポンプ外部に設けられた加熱部１
５を電気ヒータ１４により加熱し、加熱部１５の熱をポ
ンプ内部の熱良導体１７を経て良熱伝導体２４に伝え、
放熱板２０を加熱する構造も併用することができる。図
２は本機構を併用した事例を示す。
【００５６】なお、この場合もアルミ合金材からなる回
転体等の強度に影響しない範囲で、ガスの昇華温度より
高い温度となるように、加熱部１５を加熱する電気ヒー
タ１４が制御されている。
転体等の強度に影響しない範囲で、ガスの昇華温度より
高い温度となるように、加熱部１５を加熱する電気ヒー
タ１４が制御されている。
【００５７】上記のターボ分子ポンプでは、吸気口２か
らのガス圧力は、動翼５，静翼４及びねじ溝ポンプ段９
を経て次第に圧力が高くなり、排気口３から排気され
る。このガス圧力の変化に対応して、ガス圧力が高くな
り昇華温度も高くなる位置へ放熱板２０を配置し、ガス
の昇華温度より高くなるように放熱温度が設定されてい
る。
らのガス圧力は、動翼５，静翼４及びねじ溝ポンプ段９
を経て次第に圧力が高くなり、排気口３から排気され
る。このガス圧力の変化に対応して、ガス圧力が高くな
り昇華温度も高くなる位置へ放熱板２０を配置し、ガス
の昇華温度より高くなるように放熱温度が設定されてい
る。
【００５８】しかも、コイル２５に高周波電流を流して
放熱板２０を直接加熱する方法としたので、従来のケー
シング１による伝熱損失を削除でき、低電力で目標温度
に昇温することが可能となった。つまり、ケーシング１
全体を加熱することなく、放熱板２０をうず電流により
直接加熱するため、ガス流路のうち固化が生じやすい部
分のみをねらって効果的な加熱ができるのである。ま
た、コイル２５に通電する高周波電流の周波数を高くす
れば更に小型化できる。
放熱板２０を直接加熱する方法としたので、従来のケー
シング１による伝熱損失を削除でき、低電力で目標温度
に昇温することが可能となった。つまり、ケーシング１
全体を加熱することなく、放熱板２０をうず電流により
直接加熱するため、ガス流路のうち固化が生じやすい部
分のみをねらって効果的な加熱ができるのである。ま
た、コイル２５に通電する高周波電流の周波数を高くす
れば更に小型化できる。
【００５９】更に、内部で放熱板２０を直接昇温させる
構造としたので加熱機構を簡素化でき、低電力化できる
ことでも加熱部の小型化に寄与できた。
構造としたので加熱機構を簡素化でき、低電力化できる
ことでも加熱部の小型化に寄与できた。
【００６０】以上のとおり第２の実施の形態では、放熱
板２０によってガス流路の温度を上昇させて、アルミ合
金材料からなる回転体等の強度に影響しない温度範囲
で、かつ、低電力、小型、簡素機構でガス流路への固化
物の付着が防止される効果がある。なお第２の実施の形
態ではねじ溝ポンプ段のあるターボ分子ポンプを説明し
たが、本発明は、ねじ溝ポンプ段のないターボ分子ポン
プにも適用することができる。
板２０によってガス流路の温度を上昇させて、アルミ合
金材料からなる回転体等の強度に影響しない温度範囲
で、かつ、低電力、小型、簡素機構でガス流路への固化
物の付着が防止される効果がある。なお第２の実施の形
態ではねじ溝ポンプ段のあるターボ分子ポンプを説明し
たが、本発明は、ねじ溝ポンプ段のないターボ分子ポン
プにも適用することができる。
【００６１】
【発明の効果】以上実施の形態と共に具体的に説明した
ように本発明では、ケーシング内に、軸方向に交互に配
列された複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼
相互を軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並
んで配置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及
び前記静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から
供給された熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポ
ンプにおいて、前記放熱板から、前記静翼のうち少なく
とも最下流の静翼に熱を伝導する熱伝導部と、前記熱伝
導部よりも下流側に配置されており、熱が前記ケーシン
グに伝わるのを防止する下流側の断熱スペーサと、前記
熱伝導部よりも上流側に位置しつつ前記スペーサに介装
された上流側の断熱スペーサとを設けた構成とした。ま
た本発明では、上流側の断熱スペーサの位置は、ケーシ
ング内でのガス圧力とガス固化温度と動翼温度により決
定されている構成とした。
ように本発明では、ケーシング内に、軸方向に交互に配
列された複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼
相互を軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並
んで配置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及
び前記静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から
供給された熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポ
ンプにおいて、前記放熱板から、前記静翼のうち少なく
とも最下流の静翼に熱を伝導する熱伝導部と、前記熱伝
導部よりも下流側に配置されており、熱が前記ケーシン
グに伝わるのを防止する下流側の断熱スペーサと、前記
熱伝導部よりも上流側に位置しつつ前記スペーサに介装
された上流側の断熱スペーサとを設けた構成とした。ま
た本発明では、上流側の断熱スペーサの位置は、ケーシ
ング内でのガス圧力とガス固化温度と動翼温度により決
定されている構成とした。
【００６２】このような構成にしたため、放熱板はねじ
溝ポンプ段及び下流側静翼のガス流路のガス温度を昇華
温度以上に加熱して固化物の付着を防止しケーシング内
部の洗浄等のメンテナンス作業を不要にでき、連続運転
が可能となるので、ターボ分子ポンプの操業度を一段と
高める効果を奏したものであり産業上極めて有益なもの
である。さらに、加熱したい下流側静翼とロータ温度を
冷却するための伝熱経路となる上流側静翼の間に断熱ス
ペーサを入れているのでロータの全体温度を上昇させる
ことなく昇華温度の高い下流側のガス流路のみを昇温す
ることが可能となった。これにより回転体のクリープや
強度低下することなくプロセスガスの固化付着を防止す
ることができる。
溝ポンプ段及び下流側静翼のガス流路のガス温度を昇華
温度以上に加熱して固化物の付着を防止しケーシング内
部の洗浄等のメンテナンス作業を不要にでき、連続運転
が可能となるので、ターボ分子ポンプの操業度を一段と
高める効果を奏したものであり産業上極めて有益なもの
である。さらに、加熱したい下流側静翼とロータ温度を
冷却するための伝熱経路となる上流側静翼の間に断熱ス
ペーサを入れているのでロータの全体温度を上昇させる
ことなく昇華温度の高い下流側のガス流路のみを昇温す
ることが可能となった。これにより回転体のクリープや
強度低下することなくプロセスガスの固化付着を防止す
ることができる。
【００６３】また本発明では、ケーシング内に、軸方向
に交互に配列された複数の動翼及び複数の静翼と、前記
複数の静翼相互を軸方向に離間しつつ位置固定するため
軸方向に並んで配置されたスペーサと、ガス流路のうち
前記動翼及び前記静翼よりも下流側に位置するガス流路
を外部から供給された熱で加熱する放熱板とを備えたタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記放熱板を直接加熱する加
熱手段を前記ケーシング内に設置した構成とした。また
本発明では、前記加熱手段としてコイルを用いたり、前
記コイルを密閉したり、前記コイルに高周波電流を流す
構成とした。
に交互に配列された複数の動翼及び複数の静翼と、前記
複数の静翼相互を軸方向に離間しつつ位置固定するため
軸方向に並んで配置されたスペーサと、ガス流路のうち
前記動翼及び前記静翼よりも下流側に位置するガス流路
を外部から供給された熱で加熱する放熱板とを備えたタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記放熱板を直接加熱する加
熱手段を前記ケーシング内に設置した構成とした。また
本発明では、前記加熱手段としてコイルを用いたり、前
記コイルを密閉したり、前記コイルに高周波電流を流す
構成とした。
【００６４】このような構成としたため、放熱板はねじ
溝ポンプ段及び下流側静翼のガス流路のガス温度を昇華
温度以上に加熱して固化物の付着を防止しケーシング内
部の洗浄等のメンテナンス作業を不要にでき、連続運転
が可能となるので、ターボ分子ポンプの操業度を一段と
高める効果を奏したものであり産業上極めて有益なもの
である。更に、内部で放熱板を直接昇温させる構造とし
たので加熱機構を簡素化でき、低電力化できることでも
加熱部の小型化に寄与できることが可能となった。
溝ポンプ段及び下流側静翼のガス流路のガス温度を昇華
温度以上に加熱して固化物の付着を防止しケーシング内
部の洗浄等のメンテナンス作業を不要にでき、連続運転
が可能となるので、ターボ分子ポンプの操業度を一段と
高める効果を奏したものであり産業上極めて有益なもの
である。更に、内部で放熱板を直接昇温させる構造とし
たので加熱機構を簡素化でき、低電力化できることでも
加熱部の小型化に寄与できることが可能となった。
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるターボ分子
ポンプを示す縦断面図。
ポンプを示す縦断面図。
【図２】本発明の第２の実施の形態にかかるターボ分子
ポンプを示す縦断面図。
ポンプを示す縦断面図。
【図３】従来のターボ分子ポンプを示す縦断面図。
【図４】塩化アルミ（ＡｌＣｌ3 ）の分圧と昇華温度の
関係を示すグラフ。
関係を示すグラフ。
１ ケーシング ２ 吸気口 ３ 排気口 ４ 静翼 ５ 動翼 ６ ロータ ７ 回転軸 ８ ステータ ９ ねじ溝ポンプ段 １０，１１，１２ 磁気軸受 １３ モータ １４ 加熱用電気ヒータ １５ 加熱部 １７ 熱良導体 １８，１８ａ，１８ｂ 断熱スペーサ １９ スペーサ ２０ 放熱板 ２１ 熱遮蔽板 ２２ 冷却通路 ２３ Ｏリング ２４ 良熱伝導体 ２５ コイル ２６ コネクタ ２７ 高周波電源
Claims (6)
- 【請求項１】 ケーシング内に、軸方向に交互に配列さ
れた複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼相互
を軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並んで
配置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及び前
記静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から供給
された熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポンプ
において、 前記放熱板から、前記静翼のうち少なくとも最下流の静
翼に熱を伝導する熱伝導部と、 前記熱伝導部よりも下流側に配置されており、熱が前記
ケーシングに伝わるのを防止する下流側の断熱スペーサ
と、 前記熱伝導部よりも上流側に位置しつつ前記スペーサに
介装された上流側の断熱スペーサとを設けたことを特徴
とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 上流側の断熱スペーサの位置は、ケー
シング内でのガス圧力とガス固化温度と動翼温度により
決定されていることを特徴とする請求項１のターボ分子
ポンプ。 - 【請求項３】 ケーシング内に、軸方向に交互に配列さ
れた複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼相互
を軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並んで
配置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及び前
記静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から供給
された熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポンプ
において、 前記放熱板を直接加熱する加熱手段を前記ケーシング内
に設置したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記加熱手段としてコイルを用いること
を特徴とする請求項３のターボ分子ポンプ。 - 【請求項５】 前記コイルを密閉したことを特徴とする
請求項４のターボ分子ポンプ。 - 【請求項６】 前記コイルに高周波電流を流すことを特
徴とする請求項４または請求項５のターボ分子ポンプ。
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