JP2002018454A - オゾン溶解水の供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子材料のウェット洗浄工程や、表面処理工程
などにおいて、超純水の純度を実質的に損なうことな
く、オゾン溶解水を長距離送給しても、送給中における
溶存オゾン濃度の低下が少なく、ユースポイントに一定
した濃度のオゾン溶解水を容易に供給することができる
オゾン溶解水の供給装置を提供する。 【解決手段】オゾンを被溶解水に溶解する溶解装置、溶
解装置に被溶解水を供給する給水管及び溶解装置からオ
ゾン溶解水を送出する送出管を有するオゾン溶解水の供
給装置において、給水管から送出管までの任意の位置
に、亜硝酸、亜硝酸塩、炭酸、炭酸塩、重炭酸塩、亜硫
酸、亜硫酸塩、重亜硫酸塩及びヒドラジンからなる群か
ら選ばれる１又は２以上のオゾン分解抑制剤を供給する
薬剤供給装置を設けてなることを特徴とするオゾン溶解
水の供給装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン溶解水の供
給装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、電子材料
のウェット洗浄工程や、表面処理工程などにおいて、オ
ゾン溶解水を長距離送給しても、送給中における溶存オ
ゾン濃度の低下が少なく、ユースポイントに一定した濃
度のオゾン溶解水を容易に供給することができるオゾン
溶解水の供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】オゾン溶解水は、その極めて高い酸化力
によって、被洗浄物表面から有機物や金属汚染物を酸化
し、低分子化やイオン化して除去する機能を有すること
から、近年ウェット洗浄工程で広く適用されるようにな
ってきた。オゾン溶解水の製造装置としては、耐オゾン
性に優れた膜モジュールを用いる方法の他に、エジェク
ターや溶解ポンプによる気液直接接触溶解方式などが実
用化されている。気液直接接触溶解方式においては、気
液分離する前の送液段階では、気液混合状態で送給配管
中に流れる余剰のオゾンが、一緒に流れるオゾン溶解水
に溶解するので、オゾンの自己分解による溶存オゾン濃
度の低下を抑制することができる。しかし、この方法に
おいても、水に溶解したオゾンの自己分解を防ぐことは
できず、送給距離を伸ばすほどにオゾン溶解水は低濃度
化していく。水に溶解したオゾンの自己分解を抑制する
方法としては、冷却によって飽和濃度を高めるととも
に、分子運動を不活発にする方法がある。しかし、冷却
したオゾン溶解水をそのまま使うと、常温と同等の洗浄
効果が得られにくいという問題があり、冷却装置も必要
であることから、実用的とは言い難かった。また、ある
程度の酸を添加し、オゾンの分解を促進するヒドロキシ
ルイオンＯＨ^-を減らすと、溶存オゾン濃度を維持しや
すいことが分かっているが、このためにはppmオーダー
の酸の添加が必要であり、無薬注のオゾン溶解水とは呼
べない水になる点に問題があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、電子材料の
ウェット洗浄工程や、表面処理工程などにおいて、超純
水の純度を実質的に損なうことなく、オゾン溶解水を長
距離送給しても、送給中における溶存オゾン濃度の低下
が少なく、ユースポイントに一定した濃度のオゾン溶解
水を容易に供給することができるオゾン溶解水の供給装
置を提供することを目的としてなされたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、オゾン溶解水
に、亜硝酸、炭酸、亜硫酸若しくはこれらの塩又はヒド
ラジンを添加することにより、オゾンの分解を抑制し、
溶存オゾン濃度の低下を防止し得ることを見いだし、こ
の知見に基づいて本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は、（１）オゾンを被溶解水に溶解する溶解
装置、溶解装置に被溶解水を供給する給水管及び溶解装
置からオゾン溶解水を送出する送出管を有するオゾン溶
解水の供給装置において、給水管から送出管までの任意
の位置に、亜硝酸、亜硝酸塩、炭酸、炭酸塩、重炭酸
塩、亜硫酸、亜硫酸塩、重亜硫酸塩及びヒドラジンから
なる群から選ばれる１又は２以上のオゾン分解抑制剤を
供給する薬剤供給装置を設けてなることを特徴とするオ
ゾン溶解水の供給装置、及び、（２）薬剤供給装置が、
亜硝酸形、炭酸形、重炭酸形、亜硫酸形、重亜硫酸形又
はヒドラジン形のイオン交換樹脂を充填したイオン交換
装置である第１項記載のオゾン溶解水の供給装置、を提
供するものである。さらに、本発明の好ましい態様とし
て、（３）オゾン分解抑制剤の供給量が、オゾン溶解水
中の濃度として１mg／Ｌ以下である第１項記載のオゾン
溶解水の供給装置、及び、（４）パラジウム担持アニオ
ン交換樹脂充填容器を備えてなる第１項又は第２項記載
のオゾン溶解水の供給装置、を挙げることができる。

【０００５】

【発明の実施の形態】本発明のオゾン溶解水の供給装置
は、オゾンを被溶解水に溶解する溶解装置、溶解装置に
被溶解水を供給する給水管及び溶解装置からオゾン溶解
水を送出する送出管を有するオゾン溶解水の供給装置に
おいて、給水管から送出管までの任意の位置に、亜硝
酸、亜硝酸塩、炭酸、炭酸塩、重炭酸塩、亜硫酸、亜硫
酸塩、重亜硫酸塩及びヒドラジンからなる群から選ばれ
る１又は２以上のオゾン分解抑制剤を供給する薬剤供給
装置を設けてなる装置である。本発明において、炭酸、
亜硫酸などは、水に溶解して炭酸、亜硫酸などを生成す
る炭酸ガス、亜硫酸ガスなどを含むものである。図１
は、本発明装置の一態様の工程系統図である。本態様の
装置は、オゾンを被溶解水に溶解する溶解装置として気
体透過膜モジュール１を有し、気体透過膜モジュールに
被溶解水を供給する給水管２と、気体透過膜モジュール
からオゾン溶解水を送出する送出管３が接続されてい
る。本態様においては、気体透過膜モジュールが用いら
れているが、本発明装置において、オゾンを被溶解水に
溶解するオゾン溶解装置に特に制限はなく、気体透過膜
モジュールのほか、例えば、エジェクター、ガス溶解用
ポンプ、バブリング装置などを挙げることができる。

【０００６】図１に示す態様においては、被溶解水は送
給ポンプ４により給水管２に送出される。送給ポンプに
特に制限はなく、例えば、ピストンポンプ、プランジャ
ーポンプ、ブースターポンプ、タービンポンプ、ボリュ
ートポンプなどを挙げることができる。これらの中で、
ブースターポンプを好適に用いることができる。被溶解
水の送給圧力が十分高い場合には、送給ポンプを用いな
くてもよい。オゾン溶解水の供給装置においては、被溶
解水を加圧することが好ましい。エジェクターを用いて
オゾン含有ガスを被溶解水通水配管に引き込む場合に
は、供給水圧を高めておくことが必要であり、装置入口
に被溶解水の水圧を高めるための送給ポンプを設置する
ことが好ましい。送給される被溶解水の圧力は、０.２
〜０.５MPaであることが好ましい。本発明装置において
は、オゾン発生器を用いて調製したオゾン含有ガスをオ
ゾン溶解装置に供給して、オゾンを被溶解水に溶解させ
ることが好ましい。使用するオゾン発生器に特に制限は
なく、例えば、水を電解してオゾンと酸素ガスの混合ガ
スを生成する装置、酸素ガスを原料として無声放電や沿
面放電などによりオゾンと酸素ガスの混合ガスを生成す
る装置などを挙げることができる。高純度のオゾン溶解
水を得るためには、オゾン発生器とオゾン溶解装置の間
に、オゾン含有ガス中の微粒子を捕捉するフィルターを
装着することが好ましい。図１に示す態様においては、
オゾン発生器５において調製されたオゾン含有ガスが、
気体透過膜モジュール１の気相側に供給され、気体透過
膜を透過して被溶解水内に溶解し、オゾン溶解水が生成
する。

【０００７】図１に示す態様においては、薬剤タンク６
及び薬注ポンプ７からなる薬剤供給装置が設けられ、亜
硝酸、亜硝酸塩、炭酸、炭酸塩、重炭酸塩、亜硫酸、亜
硫酸塩、重亜硫酸塩及びヒドラジンからなる群から選ば
れる１又は２以上のオゾン分解抑制剤が供給される。図
１に示す態様においては、薬剤供給装置は給水管に設け
られているが、本発明装置においては、薬剤供給装置は
給水管から送出管までの任意の位置に設けることがで
き、例えば、薬剤供給装置を気体透過膜モジュールに設
けて、気体透過膜モジュールの水相側にオゾン分解抑制
剤を供給することができ、あるいは、薬剤供給装置を送
出管に設けて、オゾン溶解装置において調製されたオゾ
ン溶解水にオゾン分解抑制剤を供給することもできる。
本発明装置において、薬剤供給装置により供給するオゾ
ン分解抑制剤の供給量は、オゾン溶解水中の濃度として
１mg／Ｌ以下であることが好ましく、１〜１００μｇ／
Ｌであることがより好ましい。オゾン分解抑制剤が水溶
性化合物である場合は、オゾン分解抑制剤の水溶液とし
て供給することが好ましい。本発明装置を用いてオゾン
分解抑制剤を供給することにより、オゾン溶解水中の溶
存オゾンの分解が効果的に抑制され、オゾン溶解水を長
距離送給しても、ユースポイントにおいて必要な濃度を
維持したオゾン溶解水を使用することができる。本発明
装置に用いるオゾン分解抑制剤は、１〜１００μｇ／Ｌ
のように極めて微量で効果を発揮するので、本発明装置
により供給されるオゾン溶解水は、実質的に高純度の無
薬注オゾン溶解水としての性能を有する。オゾン分解抑
制剤の添加により、オゾンの分解が抑制される詳細な機
構は明らかではないが、オゾン分解抑制剤が、溶存オゾ
ンの分解を促進するヒドロキシルラジカルと迅速に反応
し、オゾン分解の連鎖反応を停止するためと推定され
る。

【０００８】図２は、本発明のオゾン溶解水の供給装置
の他の態様の工程系統図である。本態様においては、ガ
ス容器８及び気体透過膜モジュール９からなる薬剤供給
装置が設けられ、ガス状のオゾン分解抑制剤が、気体透
過膜モジュールにおいて被溶解水に供給される。本態様
においては、気体透過膜モジュールを用いて被溶解水に
ガス状のオゾン分解抑制剤を供給しているが、気体透過
膜モジュールの代わりに、エジェクターなどを給水管又
は送出管に設けて薬剤供給装置とし、ガス状のオゾン分
解抑制剤を供給することもできる。ガス状のオゾン分解
抑制剤としては、例えば、炭酸ガス、亜硫酸ガスなどを
挙げることができる。図３は、本発明のオゾン溶解水の
供給装置の他の態様の工程系統図である。本態様におい
ては、ガス容器８からなる薬剤供給装置が設けられ、ガ
ス状のオゾン分解抑制剤の供給管が、オゾン含有ガスの
供給管に接続され、ガス状のオゾン分解抑制剤とオゾン
含有ガスの混合ガスが気体透過膜モジュール１の気相側
に供給される。

【０００９】本発明のオゾン溶解水の供給装置において
は、薬剤供給装置として、亜硝酸形、炭酸形、重炭酸
形、亜硫酸形若しくは重亜硫酸形のアニオン交換樹脂又
はヒドラジン形のカチオン交換樹脂を充填したイオン交
換装置を用いることができる。使用するアニオン交換樹
脂に特に制限はなく、例えば、強塩基性、中塩基性及び
弱塩基性のいずれのアニオン交換樹脂も用いることがで
きる。アニオン交換樹脂の交換基の対イオンとなってい
る亜硝酸イオンなどが、被溶解水の通水によって溶出
し、あるいは、ヒドロキシルイオンとのイオン交換によ
って脱離して、数μｇ／Ｌ程度被溶解水中に溶出するよ
うに、アニオン交換樹脂の種類と量を選定することがで
きる。一般的に、弱塩基性アニオン交換樹脂の方が、被
溶解水の通水により捕捉していたイオンを溶出しやすい
傾向にある。

【００１０】図４は、本発明装置の他の態様の工程系統
図である。本態様の装置においては、被溶解水が送給ポ
ンプ４により、給水管２を経由して亜硝酸形アニオン交
換樹脂塔１０に送られ、亜硝酸形アニオン交換樹脂塔の
流出水は、限外ろ過膜モジュール１１に送られる。被溶
解水を亜硝酸形アニオン交換樹脂塔に通水することによ
り、数μｇ／Ｌ程度の亜硝酸イオンが被溶解水中に溶出
し、オゾン分解抑制剤としての機能を発揮する。また、
亜硝酸形アニオン交換樹脂塔の後段に限外ろ過膜モジュ
ールを設けることにより、アニオン交換樹脂から脱離し
た微粒子などを捕捉して除去することができる。限外ろ
過膜モジュールに代えて、精密ろ過膜モジュールを用い
ることもできる。限外ろ過膜モジュールの透過水は、エ
ジェクター１２に送られ、オゾン発生器で調製されたオ
ゾン含有ガスが吸い込まれて、気液混合状態となってオ
ゾン溶解水が生成する。エジェクターは装置が簡便であ
り、耐オゾン性の優れた材料を用いて容易に構成するこ
とができるので、好適に用いることができる。エジェク
ターの後段にインラインミキサーなどを設け、気泡の微
細化を行うことにより、オゾンの溶解を促進することが
できる。気液混合状態のオゾン溶解水は、気液分離器１
３に送られ、気泡を含まないオゾン溶解水となって送出
管３に送り出される。

【００１１】本発明のオゾン溶解水の供給装置において
は、パラジウムを担持したアニオン交換樹脂充填容器を
設けることができる。図５は、本発明装置の他の態様の
工程系統図である。本態様の装置においては、被溶解水
が送給ポンプ４により、給水管２を経由してパラジウム
担持アニオン交換樹脂と亜硝酸形アニオン交換樹脂との
混床塔１４に送られ、混床塔の流出水は、Ｈ型のカチオ
ン交換樹脂塔１５に送られ、カチオン交換樹脂塔の流出
水は、さらに限外ろ過膜モジュール１１に送られる。被
溶解水をパラジウム担持アニオン交換樹脂と接触させる
ことにより、被溶解水中に含まれるオゾンの分解を促進
する微量物質を除去し、オゾン溶解水の溶存オゾン残存
率を各段に高めることができる。オゾンの分解を促進す
る微量物質としては、例えば、被溶解水である超純水の
製造システム中の紫外線照射装置で発生する水の分解生
成物であるヒドロキシルラジカル、水素ラジカルなどが
考えられる。また、被溶解水を亜硝酸形アニオン交換樹
脂と接触させることにより、数μｇ／Ｌ程度の亜硝酸イ
オンが被溶解水中に溶出し、オゾン分解抑制剤としての
機能を発揮する。本発明装置に用いるパラジウム担持ア
ニオン交換樹脂に特に制限はないが、パラジウムの担持
量が０.１〜１０重量％であることが好ましい。パラジ
ウムを担持したアニオン交換樹脂は、少ないパラジウム
の担持量で優れた効果を発揮する。パラジウム担持アニ
オン交換樹脂は、アニオン交換樹脂を反応塔に充填し、
塩化パラジウムの酸性溶液を通水することなどにより調
製することができる。さらに、この反応塔にホルマリン
などの還元剤を加えて還元することにより、金属パラジ
ウムを担持した樹脂とすることができる。

【００１２】本態様の装置において、パラジウム担持ア
ニオン交換樹脂と亜硝酸形アニオン交換樹脂との混床塔
の流出水を、Ｈ型のカチオン交換樹脂塔に通水すること
により、混床塔において金属イオンが溶出した場合であ
っても、金属イオンをカチオン交換樹脂塔において捕捉
することができる。また、カチオン交換樹脂塔の後段に
限外ろ過膜モジュールを設けることにより、混床塔及び
カチオン交換樹脂塔で混入した微粒子などを除去するこ
とができる。限外ろ過膜モジュールの透過水は、エジェ
クター１２に送られ、オゾン発生器で調製されたオゾン
含有ガスが吸い込まれて、気液混合状態でオゾン溶解水
が生成する。気液混合状態のオゾン溶解水は、気液分離
器１３に送られ、気泡を含まないオゾン溶解水となって
送出管３に送り出される。本発明装置においては、パラ
ジウム担持アニオン交換樹脂を亜硝酸形、炭酸形、重炭
酸形、亜硫酸形、重亜硫酸形などとしたアニオン交換樹
脂を用い、被溶解水をこのようなアニオン交換樹脂と接
触させることにより、パラジウム担持アニオン交換樹脂
及び亜硝酸形、炭酸形、重炭酸形、亜硫酸形、重亜硫酸
形などのアニオン交換樹脂と接触させるのと同様な効果
を得ることができる。

【００１３】図６は、本発明装置の他の態様の工程系統
図である。本態様の装置においては、被溶解水が送給ポ
ンプ４により、給水管２を経由してパラジウム担持アニ
オン交換樹脂塔１６に送られ、パラジウム担持アニオン
交換樹脂塔の流出水は、亜硝酸形アニオン交換樹脂塔１
０に送られ、亜硝酸形アニオン交換樹脂塔の流出水は、
さらに限外ろ過膜モジュール１１に送られる。被溶解水
をパラジウム担持アニオン交換樹脂と接触させることに
より、被溶解水中に含まれるオゾンの分解を促進する微
量物質を除去し、亜硝酸形アニオン交換樹脂と接触させ
ることにより、数μｇ／Ｌ程度の亜硝酸イオンが被溶解
水中に溶出し、オゾン分解抑制剤としての機能を発揮す
る。また、亜硝酸形アニオン交換樹脂塔の後段に限外ろ
過膜モジュールを設けることにより、パラジウム担持ア
ニオン交換樹脂及び亜硝酸形アニオン交換樹脂から脱離
した微粒子などを捕捉して除去することができる。限外
ろ過膜モジュールの透過水は、気体透過膜モジュール１
に送られ、オゾン発生器５において調製されたオゾン含
有ガスが、気体透過膜モジュールの気相側に供給され、
気体透過膜を透過して被溶解水に溶解し、生成したオゾ
ン溶解水が送出管３に送り出される。

【００１４】薬剤供給装置が、亜硝酸形、炭酸形、重炭
酸形、亜硫酸形、重亜硫酸形又はヒドラジン形のイオン
交換樹脂を充填したイオン交換装置である本発明のオゾ
ン溶解水の供給装置は、薬剤タンクへの薬剤の補給や、
薬注ポンプの運転管理などの日常的な管理を必要として
ないので、容易かつ簡便に使用することができる。被溶
解水中に微量の亜硝酸イオンなどが溶出すると、樹脂に
捕捉された亜硝酸イオンなどが減少するが、通常は再生
操作を行うことなく数カ月ないし１年以上の連続運転が
可能である。したがって、亜硝酸形などのイオン交換樹
脂は、設備の定期修理点検の際に、亜硝酸イオンを高濃
度に含む水溶液を用いて再生し、あるいは、あらかじめ
準備された調整ずみの樹脂カラムと交換することができ
る。本発明のオゾン溶解水の供給装置によれば、簡便な
装置を用いて、実質的に超純水と変わらない高純度を維
持しつつ、溶存オゾンの分解を抑制して、溶存オゾンの
残留率を格段に向上させることができる。

【００１５】

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。なお、実施例及び比較例におい
ては、高度に不純物が除去された比抵抗１８.２ＭΩ・cm
の超純水を原水として用いた。オゾン溶解水の溶存オゾ
ン濃度は、オゾン水濃度計［荏原実業(株)、ＷＬ−５０
０］を用いて測定した。オゾン発生器として、無声放電
式オゾン発生装置［住友精密工業(株)、ＳＧ−０１ＣＨ
Ｕ］を用い、高純度酸素ガス１ＮＬ／分と高純度窒素ガ
ス４ＮmL／分を供給し、オゾン発生器の電流を０.６Ａ
としてオゾン含有ガスを調製した。オゾン含有ガス中の
オゾン濃度は、２００ｇ／Ｎｍ³であった。オゾン溶解
装置として、オゾン溶解膜モジュール［ジャパンゴアテ
ックス(株)］を用い、原水５Ｌ／分とオゾン含有ガス１
Ｌ／分を供給した。オゾン溶解装置から内径１２mmの配
管１０ｍを通水した位置でオゾン溶解水をサンプリング
し、溶存オゾン濃度を測定した。 比較例１ 原水又はオゾン溶解水に薬剤を添加することなく、オゾ
ン溶解水を製造し、送給した。サンプリングしたオゾン
溶解水の溶存オゾン濃度は、５.０mg／Ｌであった。 実施例１ 原水に亜硝酸の高純度試薬を溶解した水溶液を、亜硝酸
イオン濃度が１μｇ／Ｌになるように薬注ポンプを用い
て注入し、オゾン溶解水を製造して送給した。サンプリ
ングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃度は、８.５mg／
Ｌであった。 実施例２ 亜硝酸イオン濃度を５μｇ／Ｌとした以外は、実施例１
と同じ操作を行った。 サンプリングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃度は、１
２.４mg／Ｌであった。 実施例３ 亜硝酸イオン濃度を１００μｇ／Ｌとした以外は、実施
例１と同じ操作を行った。サンプリングしたオゾン溶解
水の溶存オゾン濃度は、１４.８mg／Ｌであった。 実施例４ 原水に高純度炭酸ガスを、重炭酸イオン濃度が１００μ
ｇ／Ｌになるように注入し、オゾン溶解水を製造して送
給した。サンプリングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃
度は、１２.０mg／Ｌであった。 実施例５ 原水に亜硫酸の高純度試薬を溶解した水溶液を、重亜硫
酸イオン濃度が１００μｇ／Ｌになるように注入し、オ
ゾン溶解水を製造して送給した。サンプリングしたオゾ
ン溶解水の溶存オゾン濃度は、９.２mg／Ｌであった。 実施例６ 原水にヒドラジンの高純度試薬を溶解した水溶液を、ヒ
ドラジン濃度が１００μｇ／Ｌになるように注入し、オ
ゾン溶解水を製造して送給した。サンプリングしたオゾ
ン溶解水の溶存オゾン濃度は、８.１mg／Ｌであった。
比較例１及び実施例１〜６の結果を、第１表に示す。

【００１６】

【表１】

【００１７】第１表に見られるように、亜硝酸、炭酸、
亜硫酸又はヒドラジンを添加した原水を用いると、溶存
オゾンの分解が抑制され、溶存オゾンの残存率が向上す
ることが分かる。また、ごく僅かな添加量で、非常に高
い効果が得られることも確認された。 実施例７ 原水を亜硝酸形に調整したアニオン交換樹脂充填容器に
ＳＶ２０ｈ^-1で通水し、オゾン溶解水を製造して送給し
た。サンプリングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃度
は、１４.０mg／Ｌであった。 実施例８ 亜硝酸形に調整したアニオン交換樹脂充填容器への通水
速度をＳＶ２００ｈ^-1とした以外は、実施例７と同様に
して、オゾン溶解水を製造して送給した。サンプリング
したオゾン溶解水の溶存オゾン濃度は、１２.４mg／Ｌ
であった。 実施例９ 亜硝酸形に調整したアニオン交換樹脂充填容器への通水
速度をＳＶ２,０００ｈ^-1とした以外は、実施例７と同
様にして、オゾン溶解水を製造して送給した。サンプリ
ングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃度は、８.２mg／
Ｌであった。 実施例１０ 原水を炭酸形に調整したアニオン交換樹脂充填容器にＳ
Ｖ２０ｈ^-1で通水し、オゾン溶解水を製造して送給し
た。サンプリングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃度
は、１１.７mg／Ｌであった。 実施例１１ 原水を亜硫酸形に調整したアニオン交換樹脂充填容器に
ＳＶ２０ｈ^-1で通水し、オゾン溶解水を製造して送給し
た。サンプリングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃度
は、９.６mg／Ｌであった。 実施例１２ 原水をヒドラジン形に調整したカチオン交換樹脂充填容
器にＳＶ２０ｈ^-1で通水し、オゾン溶解水を製造して送
給した。サンプリングしたオゾン溶解水の溶存オゾン濃
度は、８.９mg／Ｌであった。 実施例１３ 原水をパラジウムを担持したアニオン交換樹脂充填容器
にＳＶ２００ｈ^-、続いて亜硝酸形に調整したアニオン
交換樹脂充填容器にＳＶ２００ｈ^-1で通水し、オゾン溶
解水を製造して送給した。サンプリングしたオゾン溶解
水の溶存オゾン濃度は、１８.９mg／Ｌであった。 実施例１４ 原水を亜硝酸形に調整したパラジウム担持アニオン交換
樹脂充填容器にＳＶ２００ｈ^-で通水し、オゾン溶解水
を製造して送給した。サンプリングしたオゾン溶解水の
溶存オゾン濃度は、１８.５mg／Ｌであった。比較例１
及び実施例７〜１４の結果を、第２表に示す。

【００１８】

【表２】

【００１９】第２表に見られるように、亜硝酸形、炭酸
形若しくは亜硫酸形に調整したアニオン交換樹脂充填容
器又はヒドラジン形に調整したカチオン交換樹脂充填容
器に通水した原水を用いると、溶存オゾンの分解が抑制
され、溶存オゾンの残存率が向上することが分かる。さ
らに、パラジウムを担持したアニオン交換樹脂充填容器
と亜硝酸形アニオン交換樹脂充填容器との組み合わせ、
又は、亜硝酸形に調整したパラジウム担持アニオン交換
樹脂充填容器に通水した原水を用いると、溶存オゾンの
残存率は一層向上する。

【００２０】

【発明の効果】本発明のオゾン溶解水の供給装置によれ
ば、実質的にオゾン溶解水の純度を損なうことなく、溶
存オゾンの自己分解を抑制し、溶存オゾンの残存率を格
段に高めることができる。これによって、所定の濃度の
オゾン溶解水を得るために必要なオゾンガス量を低減す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明装置の一態様の工程系統図であ
る。

【図２】図２は、本発明装置の他の態様の工程系統図で
ある。

【図３】図３は、本発明装置の他の態様の工程系統図で
ある。

【図４】図４は、本発明装置の他の態様の工程系統図で
ある。

【図５】図５は、本発明装置の他の態様の工程系統図で
ある。

【図６】図６は、本発明装置の他の態様の工程系統図で
ある。

【符号の説明】

１ 気体透過膜モジュール ２ 給水管 ３ 送出管 ４ 送給ポンプ ５ オゾン発生器 ６ 薬剤タンク ７ 薬注ポンプ ８ ガス容器 ９ 気体透過膜モジュール １０ 亜硝酸形アニオン交換樹脂塔 １１ 限外ろ過膜モジュール １２ エジェクター １３ 気液分離器 １４ 混床塔 １５ カチオン交換樹脂塔 １６ パラジウム担持アニオン交換樹脂塔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井田 純一 東京都新宿区西新宿三丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 (72)発明者 塚本 和己 東京都新宿区西新宿三丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 Ｆターム(参考） 4D025 AA10 BA12 BA13 BB07 BB09 DA10 4D050 AA20 AB11 BB02 BC10 BD06 CA08 4G035 AA01 4G042 CA01 CE01

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】オゾンを被溶解水に溶解する溶解装置、溶
   解装置に被溶解水を供給する給水管及び溶解装置からオ
   ゾン溶解水を送出する送出管を有するオゾン溶解水の供
   給装置において、給水管から送出管までの任意の位置
   に、亜硝酸、亜硝酸塩、炭酸、炭酸塩、重炭酸塩、亜硫
   酸、亜硫酸塩、重亜硫酸塩及びヒドラジンからなる群か
   ら選ばれる１又は２以上のオゾン分解抑制剤を供給する
   薬剤供給装置を設けてなることを特徴とするオゾン溶解
   水の供給装置。
2. 【請求項２】薬剤供給装置が、亜硝酸形、炭酸形、重炭
   酸形、亜硫酸形、重亜硫酸形又はヒドラジン形のイオン
   交換樹脂を充填したイオン交換装置である請求項１記載
   のオゾン溶解水の供給装置。