JP2002088140A - エポキシ樹脂組成物、プリプレグ及びそれを用いた銅張積層板 - Google Patents
エポキシ樹脂組成物、プリプレグ及びそれを用いた銅張積層板Info
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Abstract
性を有し、かつ耐熱性、寸法安定性に優れたエポキシ樹
脂組成物、プリプレグ及びそれを用いた銅張積層板を提
供するものである。 【解決手段】 (A)1分子中に3個以上のエポキシ基
を有するエポキシ樹脂、(B)1分子中に3個以上のフ
ェノール性水酸基を有するフェノール樹脂系硬化剤、
(C)9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキシド、(D)トリアリー
ルホスフィンオキサイド、及び(E)カップリング剤で
予め表面処理された平均粒径2μm以下の球状溶融シリ
カを必須成分とすることを特徴とするエポキシ樹脂組成
物、プリプレグ及びそれを用いた銅張積層板。
Description
を使用せずとも優れた難燃性を有し、かつ優れた耐熱
性、寸法安定性を発現するエポキシ樹脂組成物、プリプ
レグ及びそれを用いた銅張積層板に関するものである。
特にICパッケージのリジッドインターポーザ用途に好
適な銅張積層板に関するものである。
から従来の面実装からエリア実装に移行していくトレン
ドが進行し、BGAやCSPなど新しいパッケージが登
場、増加しつつある。そのため以前にもましてインター
ポーザ用リジッド基板が注目されるようになり、高耐
熱、低熱膨張基板の要求が高まってきた。一般に基板の
熱膨張係数を低減するためには、無機充填材、特に溶融
シリカを使うことは広く行われていることではあるが、
従来使用されてきた粗粒の溶融シリカでは、基板を構成
するガラス基材と銅箔の狭い間隙に粗い充填材が挟まっ
て形成する空間に水分が滞留し半田耐熱性が低下する問
題が起こることを本発明者らは確認した。一方、細粒溶
融シリカを使用した場合、上記の問題は解消されるが、
シリカ凝集の問題が生じる。この凝集が発生した場合
も、外観不良が発生したり、凝集物が形成する空間に水
分が滞留し半田耐熱性が低下する問題が起こる。特開平
9−272155公報では微粒である0.3〜5μmの
球状シリカを用いる技術が開示されているが、インター
ポーザ用基材に最適な樹脂組成の記載はなく、凝集の問
題への言及もない。本発明者らによれば、たとえ球状シ
リカであっても、凝集が発生すれば外観不良が発生した
り、凝集物が形成する空間に水分が滞留し半田耐熱性が
低下する問題が起こる。一方、これら半導体に用いられ
る樹脂部材は難燃性が求められることが多い。従来この
難燃性を付与するため、エポキシ樹脂においては臭素化
エポキシなどのハロゲン系難燃剤を用いることが一般的
であった。しかし、ハロゲン含有化合物からダイオキシ
ンが発生するおそれがあることから、昨今の環境問題の
深刻化とともに、ハロゲン系難燃剤を使用することが回
避されるようになり、広く産業界にハロゲンフリーの難
燃化システムが求められるようになった。このような時
代の要求によってリン系難燃剤が脚光を浴び、リン酸エ
ステルや赤リンが検討されたが、これらの従来のリン系
難燃剤は加水分解しやすく樹脂との反応に乏しいため、
耐半田性が低下したり、ガラス転移温度が低下するとい
う問題があった。
題を解決するべくなされたもので、ハロゲンフリーで優
れた難燃性を有し、高耐熱、低熱膨張、低吸水性によっ
て優れた半田耐熱性を有するリジッドインターポーザに
好適なエポキシ樹脂組成物、及びそれを用いたプリプレ
グ、銅張積層板を提供するものである。
する多官能エポキシ樹脂及びフェノール樹脂系硬化剤、
難燃性や優れた耐加水分解性を有する特定構造のリン化
合物、及び低熱膨張性や低吸水性を実現し、凝集をおこ
さない特定の球状シリカを必須成分として含有するイン
ターポーザ用銅張積層板に好適なエポキシ樹脂組成物を
主たる技術骨子とするものであり、かかる組成、プロセ
スにより上記目的を達成するに至った。
エポキシ基を有するエポキシ樹脂、(B)1分子中に3
個以上のフェノール性水酸基を有するフェノール樹脂系
硬化剤、(C)9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10
−ホスファフェナントレン−10−オキシド、(D)ト
リアリールホスフィンオキサイド、及び(E)カップリ
ング剤で予め表面処理された平均粒径2μ以下の球状溶
融シリカ、を必須成分とすることを特徴とするエポキシ
樹脂組成物と、それらを繊維基材に含浸、乾燥してなる
ことを特徴とするプリプレグ、さらにはプリプレグを得
るにあたり、平均粒径2μ以下の球状溶融シリカを特定
のプロセスで表面処理して用いることを特徴とするプリ
プレグ。並びにこのプリプレグを用いて加熱成形してな
る銅張積層板である。
に3個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂として
は、オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノ
ールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラ
ックエポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂、ト
リスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂および対
応する芳香族環がアルキル化されたエポキシ樹脂などの
誘導体、1,1,2,2−テトラキスヒドロキシフェニ
ルエタンのグリシジルエーテル化物、およびその2量
体、3量体などのテトラキスヒドロキシフェニルエタン
型エポキシ樹脂、などが例示される。エポキシ樹脂は、
後述する反応性リン化合物である、9,10−ジヒドロ
−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−
オキシドがエポキシ基と反応して樹脂中のエポキシ基が
減少することから、ガラス転移温度を高い状態に保つた
めには、3官能以上のエポキシ樹脂であることが必須で
ある。
ノボラック型エポキシ樹脂(A1)及び、トリスヒドロ
キシフェニルメタン型エポキシ樹脂とテトラキスヒドロ
キシフェニルエタン型エポキシ樹脂から選ばれる少なく
とも1種のエポキシ樹脂(A2)を組み合わせた場合、
トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂又はテ
トラキスヒドロキシフェニルエタン型エポキシ樹脂(A
2)で架橋密度を高くしてガラス転移温度を高くでき、
一方ノボラック型エポキシ樹脂(A1)によって、前記
(A2)のエポキシ樹脂の欠点である吸水性の大きさや
架橋密度が過度に高くなることによる脆さ、密着性の低
下などを防ぐすることができる。特にノボラック型エポ
キシ樹脂(A1)の中でもオルソクレゾールノボラック
エポキシ樹脂が吸水性を低減できるので好ましい。
占める(A)成分の割合は10〜50重量%が好まし
い。10重量%未満では、結合剤成分が少なくなり、耐
熱性特にICパッケージのインターポーザとしての耐半
田クラック性が低下するようになる。50重量%を越え
ると、充填材の割合が低下し、熱膨張、吸水率が増加し
ICパッケージのインターポーザとしての耐半田クラッ
ク性が低下するので好ましくない。ここで、インターポ
ーザとしての耐半田クラック性とは、リジッドインター
ポーザを使用したBGAやCSP等において行われるJ
EDEC実装ランク条件に準じた耐半田クラック試験に
おいて、インターポーザに起因するか、または間接的に
インターポーザの特性が影響を与えて発生するクラッ
ク、または界面剥離に対する耐性を意味する。なお、エ
ポキシ樹脂として、(A)成分以外のエポキシ樹脂、例
えばビスフェノールA型のエポキシ樹脂をエポキシ樹脂
全体の30重量%以下配合してもよい。
ノール性水酸基を有するフェノール樹脂系硬化剤として
は、フェノールノボラック、ビスフェノールAノボラッ
ク、フェノールアラルキル樹脂等が例示されるが、フェ
ノール性水酸基当量が比較的小さく、低官能のモノマー
を容易に除去できるフェノールノボラックが好ましい。
本発明では(B)成分は、エポキシ樹脂のエポキシ基
と、(B)成分のフェノール性水酸基およびその他の活
性水素の合計との当量比が0.8以上1.2以下となる
よう添加することが好ましい。この範囲外ではガラス転
移温度の低下や吸水率の増加で特にICパッケージのイ
ンターポーザとしての耐半田クラック性の低下やICの
耐湿信頼性の低下が生じることがある。
(C)9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキシドは、リンに結合して
いる水素がエポキシ基と反応する反応性リン化合物であ
り、従来のリン酸エステルや赤リンのように加水分解し
て吸水性を高めたり、密着性を低下させたりすることが
なく極めて優れたリン系難燃剤である。しかしこの化合
物は一方で樹脂の硬化性を遅らせる作用があるため、プ
レス成形時間を短縮した場合に硬化性に問題が出ること
がある。
リアリールホスフィンオキサイドは、マトリックス樹脂
と反応しないかまたは反応性が小さいと考えられるが、
耐加水分解性に優れており、加えて成分(C)9,10
−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレ
ン−10−オキシドのように硬化性に影響を与えない。
したがって成分(C)と(D)を併用すると難燃性と硬
化性を維持しながら吸水性や密着性の悪化がなく良好な
ICパッケージのインターポーザの耐半田耐熱性を実現
できる。
4〜4:1が好ましい。この範囲をはずれると併用効果
が薄れる場合がある。本発明の(C)と(D)の合計添
加量は、エポキシ樹脂組成物全体に対して、0.5〜1
0重量%が好ましい。0.5重量%未満では難燃効果が
低下するおそれがあり、10重量%を越えるとガラス転
移温度の低下や吸水率の増加で特にICパッケージのイ
ンターポーザとしての耐半田クラック性の低下やICの
耐湿信頼性の低下が生じることがある。(D)トリアリ
ールホスフィンオキサイドとしては、トリフェニルホス
フィンオキサイド、トリスヒドロキシフェニルホスフィ
ンオキサイド、ビス(ヒドロキシフェニル)フェニルホ
スフィンオキサイド、トリスアミノフェニルホスフィン
オキサイド、ビス(アミノフェニル)フェニルホスフィ
ンオキサイドが例示できるが、トリアリールホスフィン
オキサイドのアリール基が無置換であっても、何らかの
置換基を有していてもよい。
予め表面処理された平均粒径2μm以下の球状溶融シリ
カである。多量に充填材を添加し低熱膨張性と樹脂の流
動性を両立させるには球状溶融シリカが他の充填材に勝
っており最適である。平均粒径2μm以下の微細な球状
シリカは凝集しやすく、この凝集物が樹脂、ガラスクロ
ス、銅箔などの界面に空間を形成し半田耐熱性を悪化さ
せることがあるが、本発明の球状溶融シリカはカップリ
ング剤で予め表面処理されているため、そのような問題
が起こらない。
生しない方法であれば特に限定するものではなく、従来
行われている湿式法、すなわち溶剤等にカップリング剤
を希釈して充填材を混合する方法、あるいはその後乾燥
する方法、さらには乾式法、すなわちミキサーで充填材
を撹拌しつつカップリング剤を噴霧する方法等が実施さ
れる。このなかで、エポキシ樹脂組成物を溶剤に溶解し
てワニスとし、繊維基材に塗布し乾燥してプリプレグを
得る工程において、ワニス調製時に、カップリング剤で
表面処理された球状溶融シリカとして、平均粒径2μm
以下の球状溶融シリカとカップリング剤と溶剤を混合し
加熱反応してなるスラリー状物を配合すると球状溶融シ
リカの表面処理が極めて効果的に行われる。
粒径2μm以下の球状溶融シリカにおけるカップリング
剤は、シランカップリング剤、シロキサン結合の繰り返
し単位を2個以上有し、かつアルコキシ基を有するシリ
コーンオイル型カップリング剤等のケイ素系カップリン
グ剤やチタネート系カップリング剤等が挙げられるが、
エポキシ樹脂と溶融球状シリカの表面の塗れ性向上の点
で、ケイ素系カップリング剤が好ましい。具体的にはエ
ポキシシランカップリング剤、アミノシランカップリン
グ剤、ウレイドシランカップリング剤、メルカプトシラ
ンカップリング剤、ジシラザン、シロキサン結合の繰り
返し単位を2個以上有し、かつアルコキシ基を有するシ
リコーンオイル型カップリング剤からなる群から少なく
とも1種選ばれるものなどが挙げられる。特にエポキシ
シランカップリング剤、アミノシランカップリング剤
と、シロキサン結合の繰り返し単位を2個以上有し、か
つアルコキシ基を有するシリコーンオイル型カップリン
グ剤を併用した場合、シリカ表面へカップリング剤が効
率よく定着する。これらの場合のカップリング剤の割合
は球状溶融シリカ100部(以下、すべて「部」は重量
部を表す)に対し0.1部以上10部以下が一般的であ
る。
と溶剤を混合し加熱反応してスラリーとする場合、加熱
温度は50℃から120℃の間が好ましい。この範囲の
温度で加熱反応させると、シリカ表面のシラノールとカ
ップリング剤の反応が選択的に起こる。この範囲より低
い温度では反応が遅くなり、この範囲より高いとカップ
リング剤相互の縮合反応や、揮発が生じ好ましくない。
球状溶融シリカ、カップリング剤、溶剤の混合比は任意
に設定できるが、通常重量比で球状溶融シリカ100部
に対し、カップリング剤が0.1部以上10部以下、溶
剤は10部以上200部以下である。この範囲外では表
面処理の効率が低下する場合がある。表面処理完了後の
スラリーを一旦濾過して乾燥する前に異なる溶剤に再分
散したり、デカンテーションで溶剤を減らすことも必要
に応じて実施できる。ただし、この方法を用いる場合、
再凝集を防ぐため表面処理済みの球状溶融シリカのスラ
リーは乾燥しないで他の成分と混合することが好まし
い。
リング剤を用いる場合にカップリング剤とシリカのシラ
ノールの反応を促進するために、必要に応じて水や酸、
アルカリなどを用いることは本発明に含まれる。平均粒
径2μm以下の球状溶融シリカはエポキシ樹脂組成物中
50重量%以上を占めると熱膨張、吸水率が小さくなる
ので好ましい。ただし、90重量%を越えるとエポキシ
樹脂組成物中の無機充填材の割合が大きすぎて含浸等の
操作が困難となる。また必要に応じて特性を妨げない範
囲で他の充填材を使用してもよい。この場合、本発明の
カップリング剤で予め表面処理された平均粒径2μm以
下の球状溶融シリカ以外の球状シリカをはじめとして従
来公知の充填材を、半田耐熱性等の特性を悪化させない
程度において、任意に使用可能である。
て、上記成分以外の添加剤を特性を損なわない範囲で添
加することができる。本発明のエポキシ樹脂組成物は溶
剤を用いてワニスとして、または無溶剤にて基材に塗布
しプリプレグを得ることができる。基材としてはガラス
織布、ガラス不織布、その他有機基材などを用いること
ができる。本発明のエポキシ樹脂組成物は繊維基材に含
浸、乾燥することによりプリプレグが得られ、このプリ
プレグの1枚又は複数枚を銅箔とともに加熱成形して銅
張積層板が得られる。これらのプリプレグ及び銅張積層
板も本発明に含まれるものである。
ルミキサーに投入、攪拌しながらγ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン0.5部及びシリコーンオイル
型カップリング剤A(日本ユニカー製MAC2101)
0.1部を少しずつ添加した。添加終了後5分攪拌し取
り出した。オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂
(大日本インキ化学製エピクロンN−665)24部、
フェノールノボラック(軟化点105℃)10部、9,
10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナン
トレン−10−オキシド(三光化学製HCA)2.5
部、トリフェニルホスフィンオキサイド3部およびエポ
キシ樹脂と硬化剤量の合計100部に対し2−フェニル
−4−メチルイミダゾールを0.05部をメチルエチル
ケトンとメチルセロソルブの混合溶剤に溶解した後、こ
の溶液に先にカップリング剤で表面処理した平均粒径
0.5μの球状溶融シリカをいかり型撹拌羽根で撹拌し
ながら少しずつ添加した。全成分を混合したところで高
速攪拌機を用いて10分撹拌した。作製したワニスを用
いてガラスクロス(厚さ180μm、日東紡績製)に含
浸し、150℃の加熱炉で6分乾燥してワニス固形分
(プリプレグ中、ガラスクロスを除く成分)が約50重
量%のプリプレグを得た。このプリプレグを所定枚数重
ね、両面に厚み12μmの銅箔を重ねて、圧力40kg
f/cm2 、温度190℃で60分加熱加圧成形を行い
両面銅張積層板を得た。
ラブルフラスコにγ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン1部、平均粒径1.5μmの球状溶融シリカ7
0部を入れ、室温で3時間攪拌しその後加圧ろ過により
溶剤を除去した。得られた固形分をバットに広げ防爆型
乾燥機で2時間乾燥した後、ボールミルで3時間処理し
て凝集物を砕いた。次にフェノールノボラックエポキシ
樹脂(大日本インキ化学製エピクロンN−775)1
2.5部、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂
(軟化点70℃、エポキシ当量201)5部、フェノー
ルノボラック(軟化点105℃)8部、9,10−ジヒ
ドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−1
0−オキシド(三光化学製HCA)2.5部、ビス(ヒ
ドロキシフェニル)フェニルホスフィンオキサイド1.
5部およびエポキシ樹脂と硬化剤量の合計100部に対
し2−フェニル−4−メチルイミダゾールを0.05部
をメチルエチルケトンとメチルセロソルブの混合溶剤に
溶解した後、先にカップリング剤で表面処理した平均粒
径1.5μmの球状溶融シリカをいかり型撹拌羽根で撹
拌しながら少しずつ添加した。全成分を混合したところ
で高速攪拌機を用いて10分撹拌しワニスを調製した。
作製したワニスを用いてガラスクロス(厚さ180μ
m、日東紡績製)に含浸し、150℃の加熱炉で6分乾
燥してワニス固形分(プリプレグ中、ガラスクロスを除
く成分)が約50重量%のプリプレグを得た。このプリ
プレグを所定枚数重ね、両面に厚み12μmの銅箔を重
ねて、圧力40kgf/cm2 、温度190℃で60分
加熱加圧成形を行い両面銅張積層板を得た。
ラブルフラスコに、γ−(2−アミノエチル)アミノプロ
ピルトリメトキシシラン0.5部及びシリコーンオイル
型カップリング剤A(日本ユニカー製MAC2101)
0.1部、平均粒径0.5μmの球状溶融シリカ80部
を入れ、90℃、1時間攪拌しスラリーを得た。次にテ
トラキスヒドロキシフェニルエタン型エポキシ樹脂(油
化シェルエポキシ製エピコートE1031S)12.5
部、フェノールノボラック(軟化点105℃)5.5
部、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファ
フェナントレン−10−オキシド(三光化学製HCA)
1部、トリフェニルホスフィンオキアイド0.5部およ
びエポキシ樹脂と硬化剤量の合計100部に対し2−フ
ェニル−4−メチルイミダゾールを0.05部をメチル
エチルケトンとメチルセロソルブの混合溶剤に溶解した
後、先に準備した球状シリカを含むスラリーをいかり型
撹拌羽根で撹拌しながら少しずつ添加した。全成分を混
合したところで高速攪拌機を用いて10分撹拌しワニス
を調製した。作製したワニスを用いてガラスクロス(厚
さ180μm、日東紡績製)に含浸し、150℃の加熱
炉で6分乾燥してワニス固形分(プリプレグ中、ガラス
クロスを除く成分)が約50重量%のプリプレグを得
た。このプリプレグを所定枚数重ね、両面に厚み12μ
mの銅箔を重ねて、圧力40kgf/cm2 、温度19
0℃で60分加熱加圧成形を行い両面銅張積層板を得
た。
同様の方法で両面銅張積層板を得た。ただし、シリカの
表面処理方法は実施例1と同様のものはA、実施例2と
同様のものはB、実施例3と同様のものはCで表した。
評価方法は下記の通りである。評価結果を表1及び表2
の下欄に示す。
に、BGAの評価方法を、に示す。 ガラス転移温度 厚さ0.6mmの両面銅張積層板を全面エッチングし、
得られた積層板から10mm×60mmのテストピース
を切り出し、動的粘弾性測定装置を用いて3℃/分で昇
温し、tanδのピーク位置をガラス転移温度とした。 線膨張係数 厚さ1.2mmの両面銅張積層板を全面エッチングし、
得られた積層板から2mm×2mmのテストピースを切
り出し、TMAを用いてZ方向の線膨張係数を5℃/分
で測定した。 難燃性 厚さ0.6mmの両面銅張積層板を全面エッチングし、
得られた積層板からUL−94規格、垂直法により測定
した。 半田耐熱性 厚さ0.4mmの両面銅張積層板を作製し、JISC6
481に準じた方法でテストピースを8枚作製し、プレ
ッシャークッカー125℃、8時間吸湿処理を行った
後、260℃の半田槽に120秒浸漬して外観異常が現
れた数を調べた。
GA用に回路加工した。この回路基板(リジッドインタ
ーポーザ)と封止材料に住友ベークライト製EME−7
720を用いて、金型温度180℃、注入圧力75kg
/cm2 、硬化時間2分で225pBGA(パッケージ
サイズは24×24mm、厚さ1.17mm、シリコン
チップはサイズ9×9mm、厚さ0.35mm、チップ
と回路基板のボンディングパッドとを25μm径の金線
でボンディングしている。)を成形し、175℃、8時
間で後硬化した。室温に冷却後、パッケージのゲート部
から対角線方向に、パッケージ上面の高さの変位を表面
粗さ計により測定し、ゲート部を基準とした最大の変位
値を反り量とした。単位はμm。 BGA耐半田クラック性 と同様の方法で得たパッケージ8個を、85℃、相対
湿度60%の環境下で240時間放置した後、JEDE
Cの方法に準じてIRリフロー処理を行った。処理後の
内部の剥離、及びクラックの有無を超音波探傷機で観察
し、不良パッケージの個数を数えた。不良パッケージの
個数がn個であるとき、n/8と表示する。
れた銅張積層板は、ハロゲン化合物を使用していないに
もかかわらず優れた難燃性を有し、積層板単体及びIC
パッケージでの評価において優れた半田耐熱性を示し、
加えて成形後の反りも極めて小さい。
A、実施例2と同様のものはB、実施例3と同様のもの
はCで表した。 2)シリコーンオイル型カップリング剤A:日本ユニカ
ー製MAC21013)シリコーンオイル型カップリン
グ剤B:日本ユニカー製MAC2301 4)オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂:大日本
インキ化学製エピクロN−665 5)フェノールノボラックエポキシ樹脂:大日本インキ
化学製エピクロンN−775 6)テトラキスヒドロキシフェニルエタン型エポキシ樹
脂:油化シェルエポキシ製エピコートE1031S 7)トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂:
油化シェルエポキシ製エピコートE1032 8)ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂:軟化点
70℃、エポキシ当量201 9)ビスフェノールA型エポキシ樹脂:エポキシ当量2
50 10)フェノールノボラック:軟化点105℃、水酸基
当量104 11)ビスフェノールAノボラック:軟化点115℃、
水酸基当量129 12)フェノールアラルキル樹脂:三井化学製XL−2
25 13)9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキシド(三光化学製HC
A) 14)2−フェニル−4−メチルイミダゾール:配合量
はエポキシ樹脂と硬化剤の合計量100部に対する量
ン系難燃剤を使用せずとも優れた難燃性を有し、高耐
熱、低熱膨張の特性を有している。従って、本発明のエ
ポキシ樹脂組成物から得られた銅張積層板は半田耐熱性
に優れ、反りの小さいICパッケージのリジッドインタ
ーポーザを提供でき、関連産業に大きく寄与することが
できる。
Claims (14)
- 【請求項1】 (A)1分子中に3個以上のエポキシ基
を有するエポキシ樹脂、(B)1分子中に3個以上のフ
ェノール性水酸基を有するフェノール樹脂系硬化剤、
(C)9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキシド、(D)トリアリー
ルホスフィンオキサイド、及び(E)カップリング剤で
予め表面処理された平均粒径2μm以下の球状溶融シリ
カを必須成分とすることを特徴とするエポキシ樹脂組成
物。 - 【請求項2】 カップリング剤が、エポキシシランカ
ップリング剤、アミノシランカップリング剤、ウレイド
シランカップリング剤、メルカプトシランカップリング
剤、ジシラザン、シロキサン結合の繰り返し単位を2個
以上有し、かつアルコキシ基を有するシリコーンオイル
型カップリング剤からなる群から少なくとも1種選ばれ
るカップリング剤である請求項1記載のエポキシ樹脂組
成物 - 【請求項3】 成分(A)がトリスヒドロキシフェニル
メタン型エポキシ樹脂、テトラキスヒドロキシフェニル
エタン型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂から
なる群から選ばれる少なくとも1種のエポキシ樹脂であ
る請求項1記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項4】 成分(A)において、ノボラック型エポ
キシ樹脂(A1)及び、トリスヒドロキシフェニルメタ
ン型エポキシ樹脂とテトラキスヒドロキシフェニルエタ
ン型エポキシ樹脂からなる群から少なくとも1種選ばれ
るエポキシ樹脂(A2)が必須であることを特徴とする
請求項1記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項5】 成分(B)がフェノールノボラックであ
る請求項1乃至4記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項6】 成分(D)が、平均粒径2μm以下の球
状溶融シリカ、カップリング剤及び溶剤を混合し加熱反
応してなるスラリー状物にて配合されてなる請求項1乃
至5のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれかに記載のエポ
キシ樹脂組成物を繊維基材に含浸、乾燥してなることを
特徴とするプリプレグ。 - 【請求項8】 請求項7記載のプリプレグを加熱成形し
てなることを特徴とする銅張積層板。 - 【請求項9】(A)1分子中に3個以上のエポキシ基を
有するエポキシ樹脂、(B)1分子中に3個以上のフェ
ノール性水酸基を有するフェノール樹脂系硬化剤、
(C)9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキシド、(D)トリアリー
ルホスフィンオキサイド、及び(E)平均粒径2μm以
下の球状溶融シリカ、カップリング剤及び溶剤を混合・
加熱反応してなるスラリーを必須成分とする樹脂ワニス
を基材に塗布、乾燥してなることを特徴とするプリプレ
グ。 - 【請求項10】 カップリング剤がエポキシシランカッ
プリング剤、アミノシランカップリング剤、ウレイドシ
ランカップリング剤、メルカプトシランカップリング
剤、ジシラザン、シロキサン結合の繰り返し単位を2個
以上有し、かつアルコキシ基を有するシリコーンオイル
型カップリング剤からなる群から少なくとも1種選ばれ
ることを特徴とする請求項8記載のプリプレグ。 - 【請求項11】 成分(A)がトリスヒドロキシフェニ
ルメタン型エポキシ樹脂、テトラキスヒドロキシフェニ
ルエタン型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂か
らなる群から選ばれる少なくとも1種のエポキシ樹脂で
ある請求項8記載のプリプレグ。 - 【請求項12】 成分(A)において、ノボラック型エ
ポキシ樹脂(A1)及び、トリスヒドロキシフェニルメ
タン型エポキシ樹脂とテトラキスヒドロキシフェニルエ
タン型エポキシ樹脂からなる群から少なくとも1種選ば
れるエポキシ樹脂(A2)が必須であることを特徴とす
る請求項8記載のプリプレグ。 - 【請求項13】 成分(B)がフェノールノボラックで
ある請求項8乃至11記載のプリプレグ。 - 【請求項14】 請求項8乃至12記載のプリプレグを
加熱成形してなることを特徴とする銅張積層板。
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