JP2002080279A - Method of manufacturing dielectric ceramic composition and method of manufacturing electronic component - Google Patents
Method of manufacturing dielectric ceramic composition and method of manufacturing electronic componentInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば積層型セ
ラミックコンデンサの誘電体層などとして用いられる誘
電体磁器組成物の製造方法と、その誘電体磁器組成物を
誘電体層として用いる電子部品の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a dielectric ceramic composition used as a dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor, and an electronic component using the dielectric ceramic composition as a dielectric layer. About the method.
【0002】[0002]
【従来の技術】電子部品の一例である積層型セラミック
コンデンサは、所定の誘電体磁器組成物からなるグリー
ンシート上に導電ペーストを印刷し、該導電ペーストを
印刷した複数枚のグリーンシートを積層し、グリーンシ
ートと内部電極とを一体的に焼成し、形成されている。2. Description of the Related Art A multilayer ceramic capacitor, which is an example of an electronic component, is formed by printing a conductive paste on a green sheet made of a predetermined dielectric ceramic composition, and laminating a plurality of green sheets printed with the conductive paste. The green sheet and the internal electrode are integrally fired and formed.
【0003】従来の誘電体磁器組成物は、低酸素分圧で
ある中性または還元性雰囲気下で焼成すると還元され、
半導体化する性質を有していた。このため、積層型セラ
ミックコンデンサを製造するに際しては、高酸素分圧で
ある酸化性雰囲気下で焼成することを余儀なくされてい
た。これに伴い、誘電体磁器組成物と同時に焼成される
内部電極材料としては、該誘電体磁器組成物が焼結する
温度で溶融せず、酸化性雰囲気下で焼成しても酸化され
ない高価な貴金属(たとえばパラジウムや白金など)を
用いる必要があり、製造される積層型セラミックコンデ
ンサの低価格化に対して大きな妨げとなっていた。A conventional dielectric porcelain composition is reduced when fired in a neutral or reducing atmosphere having a low oxygen partial pressure,
It had the property of becoming a semiconductor. For this reason, when manufacturing a multilayer ceramic capacitor, it has been necessary to perform firing in an oxidizing atmosphere having a high oxygen partial pressure. Accordingly, as an internal electrode material that is fired simultaneously with the dielectric ceramic composition, an expensive noble metal that does not melt at the temperature at which the dielectric ceramic composition sinters and is not oxidized even when fired in an oxidizing atmosphere. (For example, palladium or platinum) must be used, which has been a great obstacle to reducing the price of the manufactured multilayer ceramic capacitor.
【0004】これに対して、安価な卑金属(たとえばニ
ッケルや銅など)を内部電極の材料として用いるために
は、中性または還元性雰囲気下において低温で焼成して
も半導体化せず、すなわち耐還元性に優れ、焼成後には
十分な比誘電率と優れた誘電特性(たとえば容量温度変
化率が小さいなど)とを有する誘電体磁器組成物を開発
することが必要である。On the other hand, in order to use an inexpensive base metal (for example, nickel or copper) as a material for an internal electrode, it does not become a semiconductor even when fired at a low temperature in a neutral or reducing atmosphere. It is necessary to develop a dielectric porcelain composition that has excellent reducibility, has a sufficient relative dielectric constant after firing, and has excellent dielectric properties (for example, a small rate of change in capacitance with temperature).
【0005】従来、内部電極の材料として卑金属を用い
ることができる誘電体磁器組成物として種々の提案がな
されている。Hitherto, various proposals have been made as dielectric ceramic compositions in which a base metal can be used as a material for an internal electrode.
【0006】たとえば、特開昭63−224108号公
報では、(Sr1−x Cax ) m (Ti1−y
Zry )O3 で示される組成の誘電体酸化物(ただ
し、0.30≦x≦0.50、0.03≦y≦0.2
0、0.95≦m≦1.08)を主成分とし、この主成
分100重量部に対して、副成分として、MnをMnO
2 換算で0.01〜2.00重量部、SiO2 を
0.10〜4.00重量部含有する誘電体磁器組成物が
開示してある。For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-224108
In the report, (Sr1-xCax) m(Ti1-y
Zry) O3Dielectric oxide of composition shown by
0.30 ≦ x ≦ 0.50, 0.03 ≦ y ≦ 0.2
0, 0.95 ≦ m ≦ 1.08) as a main component.
Mn as MnO
20.01 to 2.00 parts by weight in conversion, SiO2To
0.10 to 4.00 parts by weight of the dielectric porcelain composition
It has been disclosed.
【0007】また、特開昭63−224109号公報で
は、前記主成分に対し、前記MnおよびSiO2 に加
えて、さらにZnOを0.01〜1.00重量部含有す
る誘電体磁器組成物が開示してある。Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-224109 discloses a dielectric porcelain composition containing 0.01 to 1.00 parts by weight of ZnO in addition to the above-mentioned main component, in addition to the above-mentioned Mn and SiO 2. It has been disclosed.
【0008】さらに、特開平4−206109号公報で
は、(Sr1−x Cax )m(Ti1−y Zr
y )O3 で示される組成の誘電体酸化物(ただし、
0.30≦x≦0.50、0.00≦y≦0.20、
0.95≦m≦1.08)を主成分とし、その粉末粒径
を0.1〜1.0μmの範囲にしてある誘電体磁器組成
物が開示してある。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-206109 discloses that (Sr 1-x Ca x ) m (Ti 1-y Zr
y ) a dielectric oxide having a composition represented by O 3 (however,
0.30 ≦ x ≦ 0.50, 0.00 ≦ y ≦ 0.20,
(0.95 ≦ m ≦ 1.08) as a main component, and a dielectric ceramic composition having a powder particle size in a range of 0.1 to 1.0 μm is disclosed.
【0009】さらにまた、特公昭62−24388号公
報では、(MeO)k TiO2で示される組成の誘電
体酸化物(ただし、MeはSr、CaおよびSr+Ca
から選択された金属、kは1.00〜1.04)を主成
分とし、この主成分100重量部に対して、ガラス成分
として、Li2 O、M(ただし、MはBaO、CaO
およびSrOから選択される少なくとも1種の金属酸化
物)およびSiO2 を所定のモル比で用いたものを0.
2〜10.0重量部含有する誘電体磁器組成物が開示し
てある。Further, Japanese Patent Publication No. 62-24388
In the report, (MeO)kTiO2Dielectric of composition shown by
Body oxides (where Me is Sr, Ca and Sr + Ca
A metal selected from the group consisting of 1.00 and 1.04).
And a glass component with respect to 100 parts by weight of the main component.
As Li2O, M (where M is BaO, CaO
At least one metal oxide selected from and SrO
Product) and SiO2 Is used at a predetermined molar ratio.
A dielectric porcelain composition containing from 2 to 10.0 parts by weight is disclosed.
It is.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の公報記載の誘電体磁器組成物を、通常の方法で製造し
た場合には、何れも焼成後の絶縁抵抗の加速寿命が不十
分であり、該誘電体磁器組成物を用いてニッケルなどの
卑金属製内部電極を有する積層型セラミックコンデンサ
を製造した場合には、得られる積層型セラミックコンデ
ンサの信頼性が低くなるといった問題があった。なお、
本発明者らは、モル比mが比較的低い、{(Sr
1−x Cax )O}m ・(Ti1−y Z
ry )O2 で表される組成系において、絶縁抵抗の
加速寿命を高めるために、イットリウムなどの希土類成
分を添加することを提案している(特願2000−18
7800号)。ところが、通常の方法で製造する場合に
は、モル比mが0.995≦m<1.08と比較的高い
範囲では、希土類成分を添加しても長寿命化は困難であ
った。However, when the dielectric ceramic compositions described in these publications are manufactured by an ordinary method, the accelerated life of the insulation resistance after firing is insufficient in any case. When a multilayer ceramic capacitor having an internal electrode made of a base metal such as nickel is manufactured using a dielectric ceramic composition, there is a problem that the reliability of the obtained multilayer ceramic capacitor is reduced. In addition,
We have found that the molar ratio m is relatively low, {(Sr
1-x Ca x ) O} m · (Ti 1-y Z
In r y) composition system expressed by O 2, in order to enhance the accelerated lifetime of insulation resistance, it is proposed to add a rare earth component such as yttrium (Japanese Patent Application No. 2000-18
No. 7800). However, in the case of manufacturing by a usual method, it is difficult to extend the life even if a rare earth component is added, when the molar ratio m is relatively high in the range of 0.995 ≦ m <1.08.
【0011】本発明の目的は、焼成時の耐還元性に優
れ、焼成後には優れた容量温度特性を有し、しかも絶縁
抵抗の加速寿命を向上できる誘電体磁器組成物の製造方
法、および信頼性が高められたチップコンデンサなどの
電子部品の製造方法を提供することである。An object of the present invention is to provide a method for producing a dielectric ceramic composition which has excellent resistance to reduction during firing, has excellent capacity-temperature characteristics after firing, and can improve the accelerated life of insulation resistance. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an electronic component such as a chip capacitor with improved performance.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法は、組成
式{(Sr1−x Cax )O}m ・(Ti
1−y Zry )O2 で表され、前記組成式中のモ
ル比mが0.94<m<1.08であり、記号xが0≦
x≦1.00であり、記号yが0≦y≦0.20である
主成分と、Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、L
a、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、T
b、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuから選択
される少なくとも1つ)を含む第4副成分とを有する誘
電体磁器組成物を製造する方法であって、主成分原料に
対して第4副成分原料の少なくとも一部を予め反応させ
た組成物原料を用いて、前記誘電体磁器組成物を製造す
ることを特徴とする。To achieve the above object, according to the Invention The production method of a dielectric ceramic composition according to the present invention, a composition formula {(Sr 1-x Ca x ) O} m · (Ti
1-y Zr y) is represented by O 2, the molar ratio m is 0.94 <m <1.08 in the composition formula, the symbol x is 0 ≦
a main component in which x ≦ 1.00 and the symbol y satisfies 0 ≦ y ≦ 0.20, and an oxide of R (where R is Sc, Y, L
a, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, T
b, at least one selected from Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu). The dielectric ceramic composition is manufactured using a composition raw material in which at least a part of the four subcomponent raw materials is reacted in advance.
【0013】本発明に係る電子部品の製造方法は、組成
式{(Sr1−x Cax )O} m ・(Ti
1−y Zry )O2 で表され、前記組成式中のモ
ル比mが0.94<m<1.08であり、記号xが0≦
x≦1.00であり、記号yが0≦y≦0.20である
主成分と、Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、L
a、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、T
b、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuから選択
される少なくとも1つ)を含む第4副成分とを有する誘
電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有する電子部
品を製造する方法であって、主成分原料に対して第4副
成分原料の少なくとも一部を予め反応させた組成物原料
を用いて、前記誘電体磁器組成物を製造することを特徴
とする。[0013] The method for manufacturing an electronic component according to the present invention is characterized in that the composition
Equation {(Sr1-xCax) O} m・ (Ti
1-yZry) O2Represented by the formula in the above formula.
Is 0.94 <m <1.08, and the symbol x is 0 ≦
x ≦ 1.00, and the symbol y is 0 ≦ y ≦ 0.20
A main component and an oxide of R (where R is Sc, Y, L
a, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, T
Select from b, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu
Having at least one of the following:
Electronic part having dielectric layer composed of dielectric ceramic composition
A method of manufacturing a product, wherein a fourth sub
Composition raw material in which at least a part of the component raw materials are reacted in advance
Using the above to produce the dielectric ceramic composition
And
【0014】前記主成分原料に対して前記第4副成分原
料の少なくとも一部を予め反応させることにより、本焼
成後の第4副成分の分布がより均一(固溶状態)になる
と考えられる。好ましくは、前記第4副成分に含まれる
Rの酸化物が、Sc、Y、Ce、Dy、Ho、Er、T
m、YbおよびLuの少なくとも一つの酸化物である。By preliminarily reacting at least a part of the fourth subcomponent material with the main component material, it is considered that the distribution of the fourth subcomponent after the main firing becomes more uniform (solid solution state). Preferably, the oxide of R contained in the fourth subcomponent is Sc, Y, Ce, Dy, Ho, Er, T
It is at least one oxide of m, Yb and Lu.
【0015】反応させるための方法としては、仮焼き法
などの固相法に限らず、しゅう酸塩法、水熱合成法、ゾ
ルゲル法などの液相合成法でもよい。なお、「少なくと
も一部」とは、最終組成に含まれることになる第4副成
分の全量に対応する第4副成分原料の少なくとも一部と
いう意味である。ただし、最終組成に含まれることにな
る第4副成分の全量を反応させることが好ましい。The reaction method is not limited to a solid phase method such as a calcining method, but may be a liquid phase synthesis method such as an oxalate method, a hydrothermal synthesis method or a sol-gel method. In addition, "at least a part" means at least a part of the fourth subcomponent raw material corresponding to the total amount of the fourth subcomponent to be included in the final composition. However, it is preferable to react the entire amount of the fourth subcomponent to be included in the final composition.
【0016】好ましくは、100モルの前記主成分原料
に対して、酸化物中のR換算で、0.02モル以上2モ
ル未満の前記第4副成分原料が予め反応させてある組成
物原料を用いる。Preferably, a composition raw material in which 0.04 mol or more and less than 2 mol, in terms of R in the oxide, of the fourth subcomponent raw material is previously reacted with 100 mol of the main component raw material is used. Used.
【0017】好ましくは、前記主成分原料が、組成式
{(Sr1−x Cax )O}m’・(Ti1−y
Zry )O2 で表され、前記組成式中のモル比m’
が、最終組成のモル比mに対して、m’≦mである。Preferably, the main component material has a composition formula {(Sr 1-x Ca x ) O} m ′ · (Ti 1-y
Zr y) is represented by O 2, the molar ratio in the composition formula m '
Is m ′ ≦ m with respect to the molar ratio m of the final composition.
【0018】好ましくは、前記組成物原料にSrおよび
Caの少なくとも1つの元素を含む物質を添加した後
に、より好ましくはTiを含む物質を添加せずにSrお
よびCaの少なくとも1つの元素を含む物質を添加した
後に焼成する。Preferably, after adding a substance containing at least one element of Sr and Ca to the composition raw material, more preferably, a substance containing at least one element of Sr and Ca without adding a substance containing Ti Is added and then fired.
【0019】好ましくは、前記主成分原料における組成
式中のモル比m’が0.9<m’である。Preferably, the molar ratio m 'in the composition formula of the main component material is 0.9 <m'.
【0020】[0020]
【作用】組成式{(Sr1−x Cax )O}m ・
(Ti1−y Zry )O2 で表され、特に前記組成
式中のモル比mが比較的高い(0.995≦m<1.0
8)主成分と、特定の第4副成分とを有する誘電体磁器
組成物を、通常の方法で製造した場合には、絶縁抵抗の
加速寿命(高温負荷寿命)を向上させることが困難であ
ることが本発明者らにより明らかにされている。その原
因は、焼成後の誘電体磁器組成物中の粒界部分や三重点
に第4副成分原料中のRまたはRの酸化物が多く偏析
し、粒内で均一に分布していないからであると考えられ
る。[Function] Composition formula {(Sr1-xCax) O}m・
(Ti1-yZry) O2 In particular, the composition
The molar ratio m in the formula is relatively high (0.995 ≦ m <1.0
8) Dielectric porcelain having a main component and a specific fourth subcomponent
If the composition is manufactured in the usual way, the insulation resistance
It is difficult to improve accelerated life (high temperature load life)
Have been clarified by the present inventors. That field
The cause is the grain boundary and triple point in the dielectric ceramic composition after firing.
Segregation of a large amount of R or R oxides in the fourth subcomponent raw material
Is not distributed uniformly in the grains.
You.
【0021】本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法
では、主成分原料に対して第4副成分原料の少なくとも
一部を予め反応させた組成物原料を用いて、前記誘電体
磁器組成物を製造することにより、焼成時の耐還元性に
優れ、焼成後には優れた容量温度特性を有し、しかも焼
成後の誘電体磁器組成物中の粒界内に第4副成分原料の
RまたはRの酸化物が均一に分布されるため、絶縁抵抗
の加速寿命(たとえば200℃,DC8V/μm)が向
上した誘電体磁器組成物を製造できる。特に焼成後のモ
ル比mより小さいモル比m’をもつ組成式{(Sr
1−x Cax )O}m’・(Ti1−y Z
ry )O2 で表される主成分原料を用いた場合に
は、焼成後の誘電体磁器組成物中に第4副成分原料のR
またはRの酸化物がより均一に分布されやすくなり、こ
れにより、得られる誘電体磁器組成物の絶縁抵抗の加速
寿命がより一層向上する。なお、前記組成式中のモル比
mが比較的低い(0.94<m<0.995)範囲で
は、主成分原料に対して第4副成分原料を予め反応させ
なくても、焼成後の誘電体磁器組成物では、第4副成分
が主成分の粒内にほぼ均一に分布することが本発明者ら
により明らかにされている。しかしながら、こうしたモ
ル比mが比較的低い範囲でも、主成分原料に対して第4
副成分原料を予め反応させた組成物原料を用いて前記誘
電体磁器組成物を製造することにより、主成分原料に対
して第4副成分原料を予め反応させずに、すなわち主成
分原料に対して第4副成分原料を後添加した原料を用い
た場合と比較して、第4副成分が主成分の粒内により一
層均一に分布されやすくなる。その結果、絶縁抵抗の加
速寿命の一層の向上が期待できる。In the method for producing a dielectric porcelain composition according to the present invention, the dielectric porcelain composition is obtained by using a composition raw material in which at least a part of a fourth subcomponent raw material is previously reacted with a main component raw material. By the production of, the excellent resistance to reduction during firing, has excellent capacity temperature characteristics after firing, and furthermore, R or R of the fourth subcomponent material in the grain boundaries in the dielectric ceramic composition after firing Since the oxides of R are uniformly distributed, it is possible to manufacture a dielectric ceramic composition having an improved accelerated life of insulation resistance (for example, 200 ° C., 8 V DC / μm). In particular, the composition formula (Sr) having a molar ratio m ′ smaller than the molar ratio m after firing.
1-x Ca x ) O} m ′ · (Ti 1-y Z
r y ) When the main component material represented by O 2 is used, the fourth subcomponent material, R, is added to the fired dielectric ceramic composition.
Alternatively, the oxide of R is more likely to be distributed more uniformly, whereby the accelerated life of the insulation resistance of the obtained dielectric ceramic composition is further improved. In addition, in the range where the molar ratio m in the composition formula is relatively low (0.94 <m <0.995), even if the fourth subcomponent material is not previously reacted with the main component material, the calcination after firing is not required. The present inventors have found that in the dielectric ceramic composition, the fourth subcomponent is almost uniformly distributed in the grains of the main component. However, even in such a range where the molar ratio m is relatively low, the fourth
By producing the dielectric porcelain composition using the composition raw material in which the sub-component raw materials are pre-reacted, the fourth sub-component raw material is not preliminarily reacted with the main raw material, that is, with respect to the main raw material. As a result, the fourth subcomponent is more likely to be more uniformly distributed in the grains of the main component as compared with the case where the raw material to which the fourth subcomponent raw material is added later is used. As a result, a further improvement in the accelerated life of the insulation resistance can be expected.
【0022】本発明に係る電子部品の製造方法では、優
れた容量温度特性を有するとともに、絶縁抵抗の加速寿
命が向上され、信頼性が向上したチップコンデンサなど
の電子部品を製造できる。According to the method of manufacturing an electronic component according to the present invention, it is possible to manufacture an electronic component such as a chip capacitor having excellent capacitance temperature characteristics, an improved accelerated life of insulation resistance, and improved reliability.
【0023】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施
形態に基づき説明する。図1は本発明の一実施形態に係
る積層セラミックコンデンサの断面図である。本発明に
係る誘電体磁器組成物の製造方法について説明する前
に、まず、積層セラミックコンデンサについて説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention. Before describing the method for producing the dielectric ceramic composition according to the present invention, first, a multilayer ceramic capacitor will be described.
【0024】積層セラミックコンデンサ 図1に示されるように、本発明の一実施形態に係る電子
部品としての積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層
2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデン
サ素子本体10を有する。[0024] As shown in multilayer ceramic capacitors Figure 1, a multilayer ceramic capacitor 1 as an electronic device according to an embodiment of the present invention, comprised of dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 stacked alternately It has a capacitor element body 10.
【0025】このコンデンサ素子本体10の両端部に
は、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層
3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コ
ンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通
常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限は
なく、用途に応じて適当な寸法とすればよいが、通常、
(0.6〜5.6mm)×(0.3〜5.0mm)×
(0.3〜1.9mm)程度である。A pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 so as to be electrically connected to the internal electrode layers 3 alternately arranged inside the element body 10. The shape of the capacitor element body 10 is not particularly limited, but is generally a rectangular parallelepiped. The dimensions are not particularly limited, and may be appropriately determined according to the application.
(0.6-5.6mm) x (0.3-5.0mm) x
(0.3 to 1.9 mm).
【0026】内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子
本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するよう
に積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子
本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電
極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成
する。The internal electrode layers 3 are laminated so that each end face is alternately exposed on the surfaces of the two opposing ends of the capacitor element body 10. The pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 and connected to the exposed end faces of the alternately arranged internal electrode layers 3 to form a capacitor circuit.
【0027】誘電体層2 誘電体層2は、本発明の製造方法により得られる誘電体
磁器組成物を含有する。こうした誘電体磁器組成物は、
組成式{(Sr1−x Cax )O}m ・(Ti
1−y Zry )O2 で表される主成分を有する。
この際、酸素(O)量は、上記式の化学量論組成から若
干偏倚してもよい。 Dielectric Layer 2 The dielectric layer 2 contains the dielectric ceramic composition obtained by the manufacturing method of the present invention. Such a dielectric porcelain composition,
Composition formula {(Sr 1-x Ca x ) O} m · (Ti
Having a principal component represented by 1-y Zr y) O 2 .
At this time, the amount of oxygen (O) may slightly deviate from the stoichiometric composition of the above formula.
【0028】上記式中、記号xは、0≦x≦1.00、
好ましくは0.30≦x≦0.50である。xはCa原
子数を表し、x、すなわちCa/Sr比を変えることで
結晶の相転移点を任意にシフトさせることが可能とな
る。そのため、容量温度係数や比誘電率を任意に制御す
ることができる。xを上記範囲とすると、結晶の相転移
点が室温付近に存在し、静電容量の温度特性を向上させ
ることができる。ただし、本発明においては、SrとC
aとの比率は任意であり、一方だけを含有するものであ
ってもよい。In the above formula, the symbol x is 0 ≦ x ≦ 1.00,
Preferably, 0.30 ≦ x ≦ 0.50. x represents the number of Ca atoms, and it is possible to arbitrarily shift the phase transition point of the crystal by changing x, that is, the Ca / Sr ratio. Therefore, the capacitance temperature coefficient and the relative permittivity can be arbitrarily controlled. When x is in the above range, the phase transition point of the crystal exists near room temperature, and the temperature characteristics of the capacitance can be improved. However, in the present invention, Sr and C
The ratio with a is arbitrary, and may contain only one.
【0029】上記式中、記号yは、0≦y≦0.20、
好ましくは0≦y≦0.10である。yを0.20以下
とすることにより比誘電率の低下が防止される。yはZ
r原子数を表すが、TiO2 に比べ還元されにくいZ
rO2 を置換していくことにより耐還元性がさらに増
していく傾向がある。ただし、本発明においては、必ず
しもZrを含まなくてもよく、Tiだけを含有するもの
であってもよい。In the above formula, the symbol y is 0 ≦ y ≦ 0.20,
Preferably, 0 ≦ y ≦ 0.10. By setting y to 0.20 or less, a decrease in the relative dielectric constant is prevented. y is Z
represents the number of r atoms, but is harder to reduce than TiO 2
Substitution of rO 2 tends to further increase the reduction resistance. However, in the present invention, Zr does not necessarily have to be contained, and may contain only Ti.
【0030】上記式中、モル比mは、0.94より大き
ければよく、好ましくは0.995≦m<1.08であ
る。mを0.94より大きくすることで還元雰囲気下で
の焼成に対して半導体化を生じることが防止され、特に
mを0.995以上とすることで焼成時の酸素分圧をよ
り低くすることにより長寿命化が図られ、mを1.08
未満にすることで焼成温度を高くしなくても緻密な焼結
体を得ることができる。In the above formula, the molar ratio m should be larger than 0.94, preferably 0.995 ≦ m <1.08. By setting m to be larger than 0.94, it is possible to prevent the semiconductor from being converted into a semiconductor during firing in a reducing atmosphere. In particular, when m is set to 0.995 or more, the oxygen partial pressure during firing can be further reduced. , The life is extended, and m is set to 1.08
By setting it to less than 1, a dense sintered body can be obtained without raising the firing temperature.
【0031】本発明に係る誘電体磁器組成物では、上記
組成式で表される主成分の他、Rの酸化物(ただし、R
は、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、
Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Ybおよ
びLuから選択される少なくとも1つ)を含む第4副成
分も有する。この第4副成分は、高温負荷寿命(絶縁抵
抗の加速寿命)を改善する効果の他、誘電体を薄層化
(たとえば4μm程度)した際の初期絶縁抵抗(IR)
の不良率を改善する効果をも有する。この不良率改善の
観点(初期IRの良品率が、好ましくは15%以上)か
らは、Sc、Y、Ce、Dy、Ho、Er、Tm、Yb
およびLuの少なくとも一つの酸化物を含有させること
がより好ましい。主成分のモル比mが比較的高い0.9
95≦m<1.08の範囲でも、後述するタイミングで
第4副成分を所定量添加することにより、誘電特性を劣
化させることなく、しかも誘電体層2の絶縁抵抗の加速
寿命(高温負荷寿命)を向上でき、得られる積層型セラ
ミックコンデンサ1の信頼性を大幅に向上できる。な
お、主成分のモル比mが比較的低い0.94<m<0.
995の範囲でも、後述するタイミングで第4副成分を
所定量添加することにより、後述するタイミングで第4
副成分を添加しない場合と比較して、誘電体層2の絶縁
抵抗の加速寿命(高温負荷寿命)の向上が見られる。In the dielectric ceramic composition according to the present invention, in addition to the main component represented by the above composition formula, an oxide of R (however, R
Are Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm,
And at least one selected from the group consisting of Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu). This fourth subcomponent has the effect of improving the high-temperature load life (the accelerated life of the insulation resistance) and the initial insulation resistance (IR) when the dielectric is made thin (for example, about 4 μm).
It also has the effect of improving the defective rate. From the viewpoint of the improvement of the defective rate (the good rate of the initial IR is preferably 15% or more), Sc, Y, Ce, Dy, Ho, Er, Tm, and Yb
And at least one oxide of Lu. The molar ratio m of the main component is relatively high 0.9
Even in the range of 95 ≦ m <1.08, by adding a predetermined amount of the fourth subcomponent at a timing described later, the dielectric characteristics are not deteriorated, and the accelerated life of the insulation resistance of the dielectric layer 2 (high-temperature load life) ) Can be improved, and the reliability of the obtained multilayer ceramic capacitor 1 can be greatly improved. Note that the molar ratio m of the main component is relatively low, 0.94 <m <0.
Even in the range of 995, by adding a predetermined amount of the fourth subcomponent at the timing described later, the fourth subcomponent is added at the timing described later.
As compared with the case where no subcomponent is added, the accelerated life (high-temperature load life) of the insulation resistance of the dielectric layer 2 is improved.
【0032】主成分100モルに対する第4副成分の比
率は、酸化物中のR換算で、0.02モル≦第4副成分
<2モル、好ましくは0.02≦第4副成分≦0.6で
ある。第4副成分の比率をこのような範囲にすることに
より、主成分のモル比mが比較的高い範囲での絶縁抵抗
の加速寿命を、特に向上できる。The ratio of the fourth subcomponent with respect to 100 mol of the main component is 0.02 mol ≦ the fourth subcomponent <2 mol, preferably 0.02 ≦ the fourth subcomponent ≦ 0, as R in the oxide. 6. By setting the ratio of the fourth subcomponent in such a range, the accelerated life of the insulation resistance in a range where the molar ratio m of the main component is relatively high can be particularly improved.
【0033】本発明では、前記第4副成分に含まれるR
の酸化物が、粒内に略均一に分布している粒子を含有す
ることが好ましい。本発明では、前記主成分に対して所
定量の第4副成分を含有するものであるが、特に前記第
4副成分におけるRまたはRの酸化物が粒内に略均一に
分布している粒子を含有することにより、絶縁抵抗の加
速寿命を向上させるのに一層効果的である。In the present invention, the R component contained in the fourth subcomponent
It is preferable that the oxide contains particles that are substantially uniformly distributed in the grains. In the present invention, a predetermined amount of the fourth subcomponent is contained with respect to the main component. In particular, particles in which R or an oxide of R in the fourth subcomponent is substantially uniformly distributed in the grains. Is more effective in improving the accelerated life of insulation resistance.
【0034】なお、誘電体層2を構成する本発明の製造
方法により得られる誘電体磁器組成物には、V、Nb、
W、TaおよびMoの酸化物および/または焼成後にこ
れらの酸化物になる化合物から選ばれる少なくとも1つ
を含む第1副成分が所定量添加してあってもよい。こう
した第1副成分を所定量添加することにより、誘電特性
を劣化させることなく低温焼成が可能となり、誘電体層
を薄層化した場合でも絶縁抵抗の加速寿命(高温負荷寿
命)を向上しうる。第1副成分を添加する場合におい
て、前記主成分100モルに対する第1副成分の比率
は、酸化物中の金属元素換算で、0.01モル≦第1副
成分<2モル、好ましくは0.04モル≦第1副成分≦
0.6モルである。The dielectric ceramic composition obtained by the method of the present invention for forming the dielectric layer 2 includes V, Nb,
A first subcomponent containing at least one selected from oxides of W, Ta and Mo and / or compounds that become these oxides after firing may be added in a predetermined amount. By adding the first subcomponent in a predetermined amount, low-temperature sintering can be performed without deteriorating the dielectric characteristics, and the accelerated life of the insulation resistance (high-temperature load life) can be improved even when the dielectric layer is thinned. . When the first subcomponent is added, the ratio of the first subcomponent to 100 mol of the main component is 0.01 mol ≦ first subcomponent <2 mol, preferably 0.1 mol, in terms of metal element in the oxide. 04 mol ≦ first subcomponent ≦
0.6 mol.
【0035】また、誘電体磁器組成物には、Mnの酸化
物(たとえばMnO)および/または焼成によりMnの
酸化物になる化合物(たとえばMnCO3 )を含む第
2副成分がさらに添加してあってもよい。この第2副成
分は、焼結を促進する効果と高温負荷寿命を改善する効
果を有し、しかも誘電体層2をたとえば4μm程度に薄
層化したときの初期絶縁抵抗(IR)不良率を低下させ
る効果も有する。第2副成分を添加する場合において、
前記主成分100モルに対する第2副成分の比率は、酸
化物中の金属元素換算で、0モル≦第2副成分<4モ
ル、好ましくは0.05モル≦第2副成分≦1.4モル
である。The dielectric porcelain composition further includes a second subcomponent containing an oxide of Mn (for example, MnO) and / or a compound (for example, MnCO 3 ) which becomes an oxide of Mn by firing. You may. The second subcomponent has the effect of promoting sintering and the effect of improving the high-temperature load life, and reduces the initial insulation resistance (IR) failure rate when the dielectric layer 2 is thinned to, for example, about 4 μm. It also has the effect of lowering. When adding the second subcomponent,
The ratio of the second subcomponent with respect to 100 mol of the main component is 0 mol ≦ second subcomponent <4 mol, preferably 0.05 mol ≦ second subcomponent ≦ 1.4 mol, in terms of the metal element in the oxide. It is.
【0036】さらに、誘電体磁器組成物には、SiO
2 、MO(ただし、Mは、Ba、Ca、SrおよびM
gから選ばれる少なくとも1つの元素)、Li2 Oお
よびB 2 O3 から選ばれる少なくとも1つを含む第
3副成分が所定量添加してあってもよい。この第3副成
分は、主として焼結助剤として作用する。第3副成分を
添加する場合において、前記主成分100モルに対する
前記第3副成分の比率は、酸化物換算で、0モル<第3
副成分<15モル、好ましくは0.2モル≦第3副成分
≦6モルである。Further, the dielectric ceramic composition includes SiO 2
2, MO (where M is Ba, Ca, Sr and M
g), Li2O
And B 2O3A number that includes at least one selected from
A prescribed amount of the three subcomponents may be added. This third by-product
The component acts mainly as a sintering aid. The third subcomponent
In the case of adding, based on 100 moles of the main component
The ratio of the third subcomponent is 0 mol <third in terms of oxide.
Subcomponent <15 mol, preferably 0.2 mol ≦ third subcomponent
≦ 6 mol.
【0037】なお、図1に示す誘電体層2の積層数や厚
み等の諸条件は、目的や用途に応じ適宜決定すればよ
い。また、誘電体層2は、グレインと粒界相とで構成さ
れ、誘電体層2のグレインの平均粒子径は、1〜5μm
程度あることが好ましい。この粒界相は、通常、誘電体
材料あるいは内部電極材料を構成する材質の酸化物や、
別途添加された材質の酸化物、さらには工程中に不純物
として混入する材質の酸化物を成分とし、通常ガラスな
いしガラス質で構成されている。Note that various conditions such as the number of layers and the thickness of the dielectric layer 2 shown in FIG. 1 may be appropriately determined according to the purpose and application. The dielectric layer 2 is composed of grains and a grain boundary phase, and the average grain size of the grains of the dielectric layer 2 is 1 to 5 μm.
It is preferable that there is a degree. This grain boundary phase is usually an oxide of a material constituting the dielectric material or the internal electrode material,
An oxide of a material separately added, or an oxide of a material mixed as an impurity during the process is used as a component and is usually made of glass or glass.
【0038】内部電極層3 内部電極層3に含有される導電材は、特に限定されない
が、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑
金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属
としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金と
しては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1
種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi
含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、
NiまたはNi合金中には、P,Fe,Mg等の各種微
量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。内
部電極層の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよい
が、通常、0.5〜5μm、特に1〜2.5μm程度で
あることが好ましい。 Internal Electrode Layer 3 The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but a base metal can be used because the constituent material of the dielectric layer 2 has reduction resistance. As the base metal used as the conductive material, Ni or a Ni alloy is preferable. The Ni alloy is selected from Mn, Cr, Co and Al.
An alloy of at least one kind of element and Ni is preferable.
The content is preferably at least 95% by weight. In addition,
Ni or Ni alloy may contain various trace components such as P, Fe, and Mg in an amount of about 0.1% by weight or less. The thickness of the internal electrode layer may be appropriately determined according to the application and the like, but is usually preferably 0.5 to 5 μm, particularly preferably about 1 to 2.5 μm.
【0039】外部電極4 外部電極4に含有される導電材は、特に限定されない
が、通常、CuやCu合金あるいはNiやNi合金等を
用いる。なお、AgやAg−Pd合金等も、もちろん使
用可能である。なお、本実施形態では、安価なNi,C
uや、これらの合金を用いる。外部電極の厚さは用途等
に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜50μ
m程度であることが好ましい。 External Electrode 4 The conductive material contained in the external electrode 4 is not particularly limited, but usually Cu or Cu alloy, Ni or Ni alloy or the like is used. Incidentally, Ag, Ag-Pd alloy or the like can of course be used. In this embodiment, inexpensive Ni, C
u and their alloys are used. The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the application and the like.
m is preferable.
【0040】積層セラミックコンデンサの製造方法 本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法を用いて製造
される積層セラミックコンデンサ1は、ペーストを用い
た通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製
し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して
焼成することにより製造される。以下、製造方法につい
て具体的に説明する。誘電体層用ペースト、内部電極用
ペースト、外部電極用ペーストをそれぞれ製造する。The multilayer ceramic capacitor 1 produced by using a production method of a dielectric ceramic composition according to the production method the present invention of a multilayer ceramic capacitor is produced by producing a green chip by a normal printing method or sheet method using a paste After firing, this is manufactured by printing or transferring an external electrode and firing. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described. A paste for a dielectric layer, a paste for an internal electrode, and a paste for an external electrode are respectively manufactured.
【0041】誘電体層用ペースト まず、誘電体層用ペーストに含まれる誘電体磁器組成物
原料を準備する。本発明では、誘電体磁器組成物原料に
は、主成分原料に対して第4副成分原料を予め反応させ
た組成物原料が含まれる。なお、この組成物原料の主成
分原料中には、第4副成分原料が固溶された状態にある
と考えられる。The dielectric layer paste is prepared first the dielectric ceramic composition material included in the dielectric layer paste. In the present invention, the dielectric ceramic composition raw material includes a composition raw material obtained by previously reacting a fourth subcomponent raw material with a main component raw material. It is considered that the fourth subcomponent raw material is in a solid solution in the main component raw material of the composition raw material.
【0042】第4副成分原料としては、Rの酸化物(た
だし、Rは、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、P
m、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、T
m、YbおよびLuから選択される少なくとも1つ)が
挙げられる。不良率改善の観点からは、Sc、Y、C
e、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なく
とも一つの酸化物を含有させることがより好ましい。As the fourth subcomponent material, an oxide of R (where R is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, P
m, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, T
m, Yb, and Lu). From the viewpoint of improving the defect rate, Sc, Y, C
It is more preferable to contain at least one oxide of e, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu.
【0043】本実施形態では、主成分原料として組成式
{(Sr1−x Cax )O}m ’・(Ti1−y
Zry )O2 で表される原料を用いる。また本実施
形態では、前記組成式中のモル比m’を、組成式{(S
r1−x Cax )O}m ・(Ti1−y Z
ry )O2 で表される焼成後の誘電体磁器組成物に
おける組成式中の酸化物のモル比mより小さくなるよう
にしてある(m’<m)。ただし、本発明では、原料段
階でのモル比m’と焼成後の誘電体磁器組成物中のモル
比mとを同じに設定してもよい(m’=m)。原料段階
でのモル比m’を焼成後のモル比mより小さく設定して
おくことで、誘電体層2を構成する焼成後の誘電体磁器
組成物中の粒界内に第4副成分原料のRまたはRの酸化
物がより一層均一に分布しやすくなり、これによって得
られる誘電体磁器組成物の絶縁抵抗の加速寿命をより一
層向上できる。モル比m’の下限は、半導体化防止の理
由から、好ましくは0.9より大きくなるように設定
し、より好ましくは0.92≦m’≦1.06、さらに
好ましくは0.92≦m’≦1.02、特に好ましくは
0.94≦m’≦1.00である。In this embodiment, the composition formula is
{(Sr1-xCax) O}m '・ (Ti1-y
Zry) O2Is used. In addition, this implementation
In the embodiment, the molar ratio m ′ in the composition formula is determined by the composition formula {(S
r1-xCax) O}m ・ (Ti1-yZ
ry) O2The fired dielectric porcelain composition represented by
Less than the molar ratio m of the oxide in the composition formula
(M '<m). However, in the present invention, the raw material stage
The molar ratio m 'in the floor and the molar in the dielectric ceramic composition after firing
The ratio m may be set to be the same (m '= m). Raw material stage
The molar ratio m 'in the above is set smaller than the molar ratio m after firing.
In this case, the fired dielectric ceramic constituting the dielectric layer 2
Oxidation of R or R of the fourth subcomponent raw material in the grain boundary in the composition
Objects are easier to distribute more evenly,
The accelerated life of insulation resistance of the dielectric ceramic composition
Layer can be improved. The lower limit of the molar ratio m 'is based on the principle of preventing semiconductor conversion.
For this reason, preferably set to be greater than 0.9
And more preferably 0.92 ≦ m ′ ≦ 1.06, furthermore
0.92 ≦ m ′ ≦ 1.02, particularly preferably
0.94 ≦ m ′ ≦ 1.00.
【0044】このような組成式{(Sr1−x Ca
x )O}m’・(Ti1−y Zr y )O2 で表
される主成分原料は、いわゆる固相法の他、いわゆる液
相法により得られるものであってもよい。固相法は、た
とえば、SrCO3 、CaCO3 、TiO2 、Z
rO2 を出発原料として用いる場合、これらを所定量
秤量して混合、仮焼き、粉砕することにより、原料を得
る方法である。液相合成法としては、しゅう酸塩法、水
熱合成法、ゾルゲル法などが挙げられる。なお、aモル
のSrt TiO3 と、bモルのCat’TiO3
と、cモルのSr t’’ ZrO3 と、dモルのCa
t’’’ZrO3 を組み合わせて原料を調合する場合
には、m’は、m’=(at+bt’+ct’’+d
t’’’)/(a+b+c+d)で求めることができ
る。The composition formula {(Sr1-xCa
x) O}m '・ (Ti1-yZr y) O2In table
The main component materials used are not only the so-called solid phase method, but also the so-called liquid
It may be obtained by a phase method. The solid phase method
For example, SrCO3, CaCO3, TiO2, Z
rO2When using as starting materials
Raw materials are obtained by weighing, mixing, calcining, and pulverizing.
It is a method. The liquid phase synthesis methods include the oxalate method, water
Examples include a thermal synthesis method and a sol-gel method. In addition, a mole
SrtTiO3And b moles of Cat 'TiO3
And c moles of Sr t ''ZrO3And d moles of Ca
t '''ZrO3To mix raw materials
, M ′ is m ′ = (at + bt ′ + ct ″ + d
t "") / (a + b + c + d)
You.
【0045】こうした主成分原料に対して第4副成分原
料を反応させるには、前記主成分原料を製造する際に、
前記出発原料に第4副成分原料を混合しておき、固相法
や液相法などにより前記組成物原料を得ることとしても
よく、また一旦、前記主成分原料を固相法や液相法など
により製造しておき、これに第4副成分原料を添加する
ことにより前記組成物原料を得ることとしてもよい。い
ずれにしても、100モルの主成分原料に対して、酸化
物中のR換算で、好ましくは0.02モル以上2モル未
満、より好ましくは0.02モル以上0.6モル以下の
範囲で、前記第4副成分原料を予め反応させて組成物原
料を得る。第4副成分原料の含有量をこのような範囲に
することにより、得られる誘電体磁器組成物の絶縁抵抗
の加速寿命を向上できる。In order to react the fourth subcomponent raw material with such a main component raw material, when producing the main component raw material,
The starting material may be mixed with a fourth subcomponent material, and the composition material may be obtained by a solid phase method, a liquid phase method, or the like. Alternatively, the composition raw material may be obtained by adding the fourth subcomponent raw material thereto. In any case, the amount of R in the oxide is preferably 0.02 mol or more and less than 2 mol, more preferably 0.02 mol or more and 0.6 mol or less, based on 100 mol of the main component raw material. The composition raw material is obtained by previously reacting the fourth subcomponent raw material. By setting the content of the fourth subcomponent material in such a range, the accelerated life of insulation resistance of the obtained dielectric ceramic composition can be improved.
【0046】以下、固相法により主成分原料を製造する
際に、第4副成分原料を反応させて組成物原料を得る方
法を例に採り説明する。Hereinafter, a method of obtaining a composition raw material by reacting the fourth subcomponent raw material when producing the main component raw material by the solid phase method will be described as an example.
【0047】まず、所定のm’となるように、たとえば
SrCO3 、CaCO3 、TiO2 、ZrO2
などの各主成分原料の他、たとえばY2 O3 などの
第4副成分原料を所定量秤量して混合、乾燥することに
より、仮焼き前原料を準備する。First, SrCO 3 , CaCO 3 , TiO 2 , ZrO 2
A pre-calcining raw material is prepared by weighing a predetermined amount of a fourth sub-component raw material such as Y 2 O 3 in addition to each main raw material such as Y 2 O 3 , mixing and drying.
【0048】次いで、準備された仮焼前粉体を仮焼きす
る。仮焼き条件は、特に限定されないが、次に示す条件
で行うことが好ましい。昇温速度は、好ましくは50〜
400℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時
間である。保持温度は、好ましくは500〜1200
℃、より好ましくは700〜1100℃である。温度保
持時間は、好ましくは0.5〜6時間、より好ましくは
1〜3時間である。処理雰囲気は、空気中、窒素中およ
び還元雰囲気中の何れでも構わない。Next, the prepared powder before calcining is calcined. The calcination conditions are not particularly limited, but are preferably performed under the following conditions. The heating rate is preferably 50 to
400 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. The holding temperature is preferably between 500 and 1200
° C, more preferably 700 to 1100 ° C. The temperature holding time is preferably 0.5 to 6 hours, more preferably 1 to 3 hours. The treatment atmosphere may be any of air, nitrogen and a reducing atmosphere.
【0049】次いで、仮焼きされた仮焼済粉末は、アル
ミナロールなどにより粗粉砕された後、最終製品の組成
式{(Sr1−x Cax )O}m ・(Ti
1−y Zry )O2 を達成するための原料粉末と
混合される。この際、必要に応じて第1〜第3副成分原
料を添加してもよい。ただし、第1〜第3副成分原料
は、仮焼き前に添加してもよい。第1副成分原料として
は、V、Nb、W、TaおよびMoの酸化物および/ま
たは焼成後にこれらの酸化物になる化合物から選ばれる
1種類以上の単一酸化物または複合酸化物が用いられ
る。第2副成分原料としては、Mnの酸化物および/ま
たは焼成によりMnの酸化物になる化合物の単一酸化物
または複合酸化物が用いられる。第3副成分原料として
は、SiO2 、MO(ただし、Mは、Ba、Ca、S
rおよびMgから選ばれる少なくとも1つの元素)、L
i2 OおよびB2 O3 から選ばれる少なくとも1
つが用いられる。Next, the calcined calcined powder is coarsely pulverized by an alumina roll or the like, and then the composition formula {(Sr 1-x Ca x ) O} m · (Ti
1-y Zr y) is mixed with raw material powders to achieve O 2. At this time, the first to third subcomponent raw materials may be added as necessary. However, the first to third subcomponent raw materials may be added before calcining. As the first subcomponent raw material, one or more single oxides or composite oxides selected from oxides of V, Nb, W, Ta, and Mo and / or compounds that become these oxides after firing are used. . As the second subcomponent material, a single oxide or a composite oxide of a compound of Mn and / or a compound which becomes a Mn oxide by firing is used. As the third subcomponent raw material, SiO 2 , MO (where M is Ba, Ca, S
at least one element selected from r and Mg), L
at least one selected from i 2 O and B 2 O 3
One is used.
【0050】本実施形態では、m’<m(ただし、本発
明ではm’=mでもよい)なので、最終製品の組成式を
達成するための原料粉末としては、Tiおよび/または
ZrよりもSrおよび/またはCaを多く含む物質の粉
末である。より好ましくはTiおよび/またはZrを含
まず、Srおよび/またはCaを含む物質である。In the present embodiment, since m ′ <m (however, m ′ = m may be used in the present invention), the raw material powder for achieving the composition formula of the final product is Sr rather than Ti and / or Zr. And / or powder of a substance rich in Ca. More preferably, it is a substance that does not contain Ti and / or Zr but contains Sr and / or Ca.
【0051】その後、この混合粉末を、必要に応じて、
ボールミルなどによって混合し、乾燥することによっ
て、本発明の組成を持つ誘電体磁器組成物原料を得るこ
とができる。Thereafter, this mixed powder is added, if necessary,
By mixing and drying with a ball mill or the like, a dielectric ceramic composition raw material having the composition of the present invention can be obtained.
【0052】すなわち、本発明では、主成分原料に対し
て、第4副成分原料の少なくとも一部を予め反応させた
組成物原料が含まれる誘電体磁器組成物原料を用いて、
後述する焼成に供することにより、焼成後の誘電体磁器
組成物中の粒界部分や三重点に、第4副成分原料中のR
またはRの酸化物が偏析せず、粒内で均一に分布される
結果、絶縁抵抗の加速寿命を向上できる。That is, in the present invention, a dielectric ceramic composition raw material containing a composition raw material obtained by previously reacting at least a part of the fourth subcomponent raw material with the main component raw material is used.
By subjecting it to the calcination described below, the R in the fourth subcomponent material is added to the grain boundary portion and the triple point in the baked dielectric ceramic composition.
Alternatively, as a result of the oxide of R not being segregated and being uniformly distributed in the grains, the accelerated life of insulation resistance can be improved.
【0053】特に本実施形態では、主成分原料のモル比
m’を焼成後のモル比mより小さく設定しておき、この
段階で第4副成分原料の少なくとも一部を反応させて組
成物原料を製造し、その後、最終組成に対して不足して
いる所定量の原料を後添加し、最終組成に調整して誘電
体磁器組成物原料を得ている。このように調製された原
料を焼成することにより、焼成後の誘電体磁器組成物中
の粒界内に第4副成分原料のRが一層均一に分布されや
すくなり、これにより、得られる誘電体磁器組成物の絶
縁抵抗の加速寿命が一層向上する。In particular, in the present embodiment, the molar ratio m 'of the main component raw material is set to be smaller than the molar ratio m after firing, and at this stage, at least a part of the fourth subcomponent raw material is reacted to form the composition raw material. After that, a predetermined amount of raw material that is insufficient with respect to the final composition is post-added to adjust the final composition to obtain a dielectric ceramic composition raw material. By firing the raw material thus prepared, R of the fourth subcomponent raw material is more likely to be distributed more uniformly in the grain boundaries in the fired dielectric porcelain composition. The accelerated life of the insulation resistance of the porcelain composition is further improved.
【0054】なお、焼成により酸化物になる化合物とし
ては、例えば炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、有機金属化
合物等が例示される。もちろん、酸化物と、焼成により
酸化物になる化合物とを併用してもよい。誘電体磁器組
成物原料中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘
電体磁器組成物の組成となるように決定すればよい。塗
料化する前の状態で、誘電体磁器組成物粉末の粒径は、
通常、平均粒子径0.0005〜5μm程度である。Examples of the compound which becomes an oxide upon firing include carbonates, nitrates, oxalates, and organometallic compounds. Of course, an oxide and a compound which becomes an oxide by firing may be used in combination. The content of each compound in the raw material of the dielectric ceramic composition may be determined so as to have the above-described composition of the dielectric ceramic composition after firing. Before coating, the particle size of the dielectric ceramic composition powder is
Usually, the average particle size is about 0.0005 to 5 μm.
【0055】次いで、この誘電体磁器組成物原料を塗料
化して、誘電体層用ペーストを調整する。誘電体層用ペ
ーストは、誘電体磁器組成物原料と有機ビヒクルとを混
練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であっ
てもよい。Next, this dielectric ceramic composition raw material is made into a paint to prepare a dielectric layer paste. The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric ceramic composition raw material and an organic vehicle, or may be an aqueous paint.
【0056】有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中
に溶解したものであり、有機ビヒクルに用いられるバイ
ンダは、特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニ
ルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すれ
ばよい。また、このとき用いられる有機溶剤も特に限定
されず、印刷法やシート法等利用する方法に応じてテル
ピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン
等の有機溶剤から適宜選択すればよい。The organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from ordinary various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. In addition, the organic solvent used at this time is not particularly limited, and may be appropriately selected from organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene depending on a method such as a printing method or a sheet method.
【0057】また、水溶系塗料とは、水に水溶性バイン
ダ、分散剤等を溶解させたものであり、水溶系バインダ
は、特に限定されず、ポリビニルアルコール、セルロー
ス、水溶性アクリル樹脂、エマルジョン等から適宜選択
すればよい。The water-based paint is obtained by dissolving a water-soluble binder, a dispersant, and the like in water. The water-soluble binder is not particularly limited, and may be polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, emulsion, or the like. May be selected as appropriate.
【0058】内部電極用ペースト,外部電極用ペースト 内部電極用ペーストは、上述した各種導電性金属や合金
からなる導電材料あるいは焼成後に上述した導電材料と
なる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上
述した有機ビヒクルとを混練して調製される。また、外
部電極用ペーストも、この内部電極用ペーストと同様に
して調製される。 Internal electrode paste and external electrode paste The internal electrode paste is made of a conductive material made of the above-mentioned various conductive metals or alloys or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. which become the above-mentioned conductive material after firing. And the above-mentioned organic vehicle. The external electrode paste is also prepared in the same manner as the internal electrode paste.
【0059】上述した各ペーストの有機ビヒクルの含有
量は、特に限定されず、通常の含有量、たとえば、バイ
ンダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度
とすればよい。また、各ペースト中には必要に応じて各
種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添
加物が含有されても良い。The content of the organic vehicle in each of the above-mentioned pastes is not particularly limited, and may be a usual content, for example, about 1 to 5% by weight of a binder and about 10 to 50% by weight of a solvent. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like, as necessary.
【0060】印刷法を用いる場合は、誘電体ペーストお
よび内部電極用ペーストをポリエチレンテレフタレート
等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断したのち基板
から剥離することでグリーンチップとする。これに対し
て、シート法を用いる場合は、誘電体ペーストを用いて
グリーンシートを形成し、この上に内部電極ペーストを
印刷したのちこれらを積層してグリーンチップとする。When the printing method is used, a dielectric chip and an internal electrode paste are laminated and printed on a substrate such as polyethylene terephthalate, cut into a predetermined shape, and then peeled off from the substrate to obtain a green chip. On the other hand, when the sheet method is used, a green sheet is formed using a dielectric paste, an internal electrode paste is printed thereon, and these are laminated to form a green chip.
【0061】次に、このグリーンチップを脱バインダ処
理および焼成する。Next, the green chip is subjected to binder removal treatment and firing.
【0062】脱バインダ処理 脱バインダ処理は、通常の条件で行えばよいが、特に内
部電極層の導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用
いる場合には、空気雰囲気において、昇温速度を5〜3
00℃/時間、より好ましくは10〜100℃/時間、
保持温度を180〜400℃、より好ましくは200〜
300℃、温度保持時間を0.5〜24時間、より好ま
しくは5〜20時間とする。The binder removal treatment may be performed under ordinary conditions. In particular, when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material of the internal electrode layer, the temperature increase rate is set to 5 in an air atmosphere. ~ 3
00 ° C / hour, more preferably 10 to 100 ° C / hour,
The holding temperature is 180 to 400 ° C, more preferably 200 to 400 ° C.
The temperature is kept at 300 ° C. for 0.5 to 24 hours, more preferably 5 to 20 hours.
【0063】焼成 グリーンチップの焼成雰囲気は、内部電極層用ペースト
中の導電材の種類に応じて適宜決定すればよいが、導電
材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合には、
焼成雰囲気の酸素分圧を好ましくは10−10 〜10
−3Paとし、より好ましくは10−10 〜6×10
−5Paとする。焼成時の酸素分圧が低すぎると内部電
極の導電材が異常焼結を起こして途切れてしまい、酸素
分圧が高すぎると内部電極が酸化されるおそれがある。
特に酸素分圧を10−10 〜6×10−5Paに調整
して焼成を行うことにより、優れた容量温度特性を有
し、しかも絶縁抵抗の加速寿命が向上され、得られる積
層型セラミックコンデンサ1の信頼性を高めることがで
きる。The firing atmosphere of the fired green chip may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material,
The oxygen partial pressure of the firing atmosphere is preferably 10 −10 to 10
-3 Pa, more preferably 10 -10 to 6 × 10
-5 Pa. If the oxygen partial pressure at the time of firing is too low, the conductive material of the internal electrode will be abnormally sintered and will be interrupted. If the oxygen partial pressure is too high, the internal electrode may be oxidized.
In particular, by sintering by adjusting the oxygen partial pressure to 10 −10 to 6 × 10 −5 Pa, the obtained multilayer ceramic capacitor has excellent capacity-temperature characteristics, and has an improved accelerated life of insulation resistance. 1 can be improved.
【0064】焼成の保持温度は、1000〜1400
℃、より好ましくは1200〜1380℃である。保持
温度が低すぎると緻密化が不充分となり、保持温度が高
すぎると内部電極の異常焼結による電極の途切れまたは
内部電極材質の拡散により容量温度特性が悪化するから
である。The holding temperature for firing is 1000 to 1400
° C, more preferably from 1200 to 1380 ° C. If the holding temperature is too low, the densification becomes insufficient, and if the holding temperature is too high, the capacitance-temperature characteristics deteriorate due to the interruption of the electrodes due to abnormal sintering of the internal electrodes or the diffusion of the internal electrode material.
【0065】これ以外の焼成条件としては、昇温速度を
50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300
℃/時間、温度保持時間を0.5〜8時間、より好まし
くは1〜3時間、冷却速度を50〜500℃/時間、よ
り好ましくは200〜300℃/時間とし、焼成雰囲気
は還元性雰囲気とすることが望ましく、雰囲気ガスとし
てはたとえば、窒素ガスと水素ガスとの混合ガスを加湿
して用いることが望ましい。Other firing conditions include a heating rate of 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C.
° C / hour, the temperature holding time is 0.5-8 hours, more preferably 1-3 hours, the cooling rate is 50-500 ° C / hour, more preferably 200-300 ° C / hour, and the firing atmosphere is a reducing atmosphere. It is desirable to use, for example, a wet mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas as the atmosphere gas.
【0066】還元性雰囲気で焼成した場合は、コンデン
サチップの焼結体にアニール(熱処理)を施すことが望
ましい。When firing in a reducing atmosphere, it is desirable to perform annealing (heat treatment) on the sintered body of the capacitor chip.
【0067】アニール(熱処理) アニールは誘電体層を再酸化するための処理であり、こ
れにより絶縁抵抗を増加させることができる。アニール
雰囲気の酸素分圧は、好ましくは10−4Pa以上、よ
り好ましくは10−1〜10Paである。酸素分圧が低
すぎると誘電体層2の再酸化が困難となり、酸素分圧が
高すぎると内部電極層3が酸化されるおそれがある。 Annealing (Heat Treatment) Annealing is a process for reoxidizing the dielectric layer, and can increase the insulation resistance. The oxygen partial pressure of the annealing atmosphere is preferably 10 −4 Pa or more, more preferably 10 −1 to 10 Pa. If the oxygen partial pressure is too low, reoxidation of the dielectric layer 2 becomes difficult, and if the oxygen partial pressure is too high, the internal electrode layer 3 may be oxidized.
【0068】アニールの際の保持温度は、1100℃以
下、より好ましくは500〜1100℃である。保持温
度が低すぎると誘電体層の再酸化が不充分となって絶縁
抵抗が悪化し、その加速寿命も短くなる。また、保持温
度が高すぎると内部電極が酸化されて容量が低下するだ
けでなく、誘電体素地と反応してしまい、容量温度特
性、絶縁抵抗およびその加速寿命が悪化する。なお、ア
ニールは昇温行程および降温行程のみから構成すること
もできる。この場合には、温度保持時間はゼロであり、
保持温度は最高温度と同義である。The holding temperature at the time of annealing is 1100 ° C. or less, more preferably 500 to 1100 ° C. If the holding temperature is too low, the reoxidation of the dielectric layer becomes insufficient, the insulation resistance is deteriorated, and the accelerated life is shortened. On the other hand, if the holding temperature is too high, not only is the internal electrode oxidized to lower the capacity, but also reacts with the dielectric substrate, which deteriorates the capacity temperature characteristic, insulation resistance and accelerated life thereof. Note that the annealing may be constituted by only the temperature raising step and the temperature lowering step. In this case, the temperature holding time is zero,
The holding temperature is synonymous with the maximum temperature.
【0069】これ以外のアニール条件としては、温度保
持時間を0〜20時間、より好ましくは6〜10時間、
冷却速度を50〜500℃/時間、より好ましくは10
0〜300℃/時間とし、アニールの雰囲気ガスとして
は、たとえば、窒素ガスを加湿して用いることが望まし
い。Other annealing conditions include a temperature holding time of 0 to 20 hours, more preferably 6 to 10 hours,
The cooling rate is 50 to 500 ° C./hour, more preferably 10 to 500 ° C./hour.
The temperature is set to 0 to 300 ° C./hour, and as an atmosphere gas for annealing, for example, it is desirable to use a wetted nitrogen gas.
【0070】なお、上述した焼成と同様に、前記脱バイ
ンダ処理およびアニール工程において、窒素ガスや混合
ガスを加湿するためには、たとえばウェッター等を用い
ることができ、この場合の水温は5〜75℃とすること
が望ましい。As in the case of the above-described firing, a wetter or the like can be used to humidify the nitrogen gas or the mixed gas in the binder removal treatment and the annealing step. It is desirable to be set to ° C.
【0071】また、これら脱バインダ処理、焼成および
アニールは連続して行っても互いに独立して行っても良
い。これらを連続して行う場合には、脱バインダ処理の
のち冷却することなく雰囲気を変更し、続いて焼成の際
の保持温度まで昇温して焼成を行い、続いて冷却してア
ニールの保持温度に達したら雰囲気を変更してアニール
処理を行うことがより好ましい。一方、これらを独立し
て行う場合には、焼成に関しては脱バインダ処理時の保
持温度まで窒素ガスあるいは加湿した窒素ガス雰囲気下
で昇温したのち、雰囲気を変更してさらに昇温を続ける
ことが好ましく、アニールの保持温度まで冷却したのち
は、再び窒素ガスまたは加湿した窒素ガス雰囲気に変更
して冷却を続けることが好ましい。また、アニールに関
しては窒素ガス雰囲気下で保持温度まで昇温したのち雰
囲気を変更しても良く、アニールの全工程を加湿した窒
素ガス雰囲気としても良い。The binder removal processing, firing and annealing may be performed continuously or independently of each other. In the case where these steps are continuously performed, the atmosphere is changed without cooling after the binder removal processing, the temperature is raised to the holding temperature at the time of firing, and firing is performed. When the temperature reaches the above, it is more preferable to change the atmosphere and perform the annealing treatment. On the other hand, when these are performed independently, it is necessary to raise the temperature in the nitrogen gas or humidified nitrogen gas atmosphere to the holding temperature at the time of the binder removal treatment, and then change the atmosphere and continue the temperature increase. Preferably, after cooling to the holding temperature for annealing, it is preferable to change to a nitrogen gas or humidified nitrogen gas atmosphere again and continue cooling. Further, regarding the annealing, the atmosphere may be changed after the temperature is raised to the holding temperature in the nitrogen gas atmosphere, or the entire annealing process may be performed in a humidified nitrogen gas atmosphere.
【0072】以上のようにして得られたコンデンサ焼成
体に、たとえば、バレル研磨やサンドブラストにより端
面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写し
て焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペースト
の焼成条件は、たとえば、加湿した窒素ガスと水素ガス
との混合ガス中で600〜800℃にて10分〜1時間
程度とすることが好ましい。そして、必要に応じて外部
電極4の表面にメッキ等により被覆層(パッド層)を形
成する。The end body is polished by, for example, barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the external electrode 4. The firing conditions for the external electrode paste are preferably, for example, about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas. Then, if necessary, a coating layer (pad layer) is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.
【0073】このようにして製造された本実施形態の積
層セラミックコンデンサ1は、優れた容量温度特性を有
するとともに、絶縁抵抗の加速寿命が向上され、信頼性
が向上する。The multilayer ceramic capacitor 1 of the present embodiment manufactured as described above has excellent capacitance-temperature characteristics, an improved accelerated life of insulation resistance, and improved reliability.
【0074】また、このようにして製造された積層セラ
ミックコンデンサ1は、はんだ付け等によってプリント
基板上に実装され、各種電子機器に用いられる。The multilayer ceramic capacitor 1 manufactured as described above is mounted on a printed circuit board by soldering or the like, and is used for various electronic devices.
【0075】以上、本発明の実施形態について説明して
きたが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において
種々なる態様で実施し得ることは勿論である。Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments at all, and may be implemented in various modes without departing from the gist of the present invention. Of course.
【0076】たとえば、本発明に係る製造方法により得
られる誘電体磁器組成物は、積層セラミックコンデンサ
のみに使用されるものではなく、誘電体層が形成される
その他の電子部品に使用されても良い。For example, the dielectric porcelain composition obtained by the manufacturing method according to the present invention is not limited to being used only for multilayer ceramic capacitors, but may be used for other electronic parts on which a dielectric layer is formed. .
【0077】[0077]
【実施例】次に、本発明の実施の形態をより具体化した
実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。但し、
本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではな
い。Next, the present invention will be described in more detail by way of examples which embody the embodiments of the present invention. However,
The present invention is not limited to only these examples.
【0078】実施例1 本実施例では、以下に示す手順で積層セラミックコンデ
ンサのサンプルを作製した。まず、下記の各ペーストを
調製した。 Example 1 In this example, a sample of a multilayer ceramic capacitor was manufactured in the following procedure. First, the following pastes were prepared.
【0079】誘電体層用ペースト まず、誘電体材料を作製するための出発原料として、そ
れぞれ平均粒径0.1〜1μmの主成分原料(SrCO
3 、CaCO3 、TiO2 )および第1〜第4副
成分原料を用意した。本実施例では、MnOの原料には
炭酸塩(第2副成分:MnCO3 )を用い、他の原料
には酸化物(第1副成分:V2 O5、第3副成分:S
iO2 +CaO、第4副成分:Y2 O3 )を用い
た。 Dielectric Layer Paste First, as a starting material for producing a dielectric material, a main component material (SrCO) having an average particle size of 0.1 to 1 μm was used.
3 , CaCO 3 , TiO 2 ) and first to fourth subcomponent raw materials. In this embodiment, a carbonate (second sub-component: MnCO 3 ) is used as a raw material of MnO, and an oxide (first sub-component: V 2 O 5 , third sub-component: S) is used as another raw material.
iO 2 + CaO, fourth subcomponent: Y 2 O 3 ) was used.
【0080】次いで、表1〜表4に示すm’となるよう
に所定量秤量された主成分原料(SrCO3 、CaC
O3 およびTiO2 )と、所定量のY2 O3 と
を混合、乾燥することにより、仮焼き前粉体を得た。な
お、表1〜表4に示すY2O3 の添加量は、Y換算の
モル数であり、かつ主成分の最終組成100モルに対す
るモル数である。Next, the main component raw materials (SrCO 3 , CaC
O 3 and TiO 2 ) and a predetermined amount of Y 2 O 3 were mixed and dried to obtain a powder before calcining. The addition amount of Y 2 O 3 shown in Tables 1 to 4 is the number of moles in terms of Y and the number of moles based on 100 moles of the final composition of the main component.
【0081】次いで、この仮焼き前粉体を仮焼きして得
られた材料をアルミナロールで粉砕して、仮焼き済粉体
(組成物原料)を得た。仮焼きは、昇温速度が300℃
/時間、保持温度が1100℃、温度保持時間が2時
間、空気雰囲気中で行った。Next, the material obtained by calcining the powder before calcining was pulverized with an alumina roll to obtain calcined powder (composition raw material). For calcination, the heating rate is 300 ° C.
/ Hour, holding temperature was 1100 ° C., and temperature holding time was 2 hours in an air atmosphere.
【0082】次いで、この仮焼き済粉体に対して、V
2 O5 、MnCO3 、(SiO 2 +CaO)お
よびY2 O3 を所定量加え、さらにSrCO3 、
CaCO3 およびTiO2 を所定量加えて、{(S
r0.64Ca0.36)O} m ・TiO2 (主成
分)+V2 O5 (第1副成分)+MnCO3 (第
2副成分)+(SiO2 +CaO)(第3副成分)+
Y2 O3 (第4副成分)において、焼成後の組成が
表1〜表4の各試料に示す配合比になるように秤量し
た。その後、これらをそれぞれボールミルにより16時
湿式混合した後に乾燥し、最終組成の誘電体磁器組成物
原料を得た。Next, with respect to the calcined powder,
2O5, MnCO3, (SiO 2+ CaO)
And Y2O3Is added in a predetermined amount, and SrCO3,
CaCO3And TiO2Is added by a predetermined amount, and {(S
r0.64Ca0.36) O} m・ TiO2(Master
Min) + V2O5(First subcomponent) + MnCO3(No.
2 subcomponents) + (SiO2+ CaO) (third subcomponent) +
Y2O3In the (fourth subcomponent), the composition after firing is
Weigh so as to have the compounding ratio shown in each sample of Tables 1 to 4.
Was. After that, each of these was mixed at 16:00 with a ball mill.
After wet mixing and drying, the final dielectric ceramic composition
Raw material was obtained.
【0083】このようにして得られた誘電体磁器組成物
原料100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部と、塩
化メチレン40重量部と、酢酸エチル20重量部と、ミ
ネラルスピリット6重量部と、アセトン4重量部とをボ
ールミルで混合してペースト化し、誘電体層用ペースト
を得た。100 parts by weight of the dielectric ceramic composition raw material thus obtained, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 40 parts by weight of methylene chloride, 20 parts by weight of ethyl acetate, and 6 parts by weight of mineral spirit And 4 parts by weight of acetone were mixed with a ball mill to form a paste, thereby obtaining a dielectric layer paste.
【0084】内部電極層用ペースト 次いで、平均粒径0.2〜0.8μmのNi粒子100
重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース8重量部を
ブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)40重
量部と、ブチルカルビトール10重量部とを3本ロール
により混練してペースト化し、内部電極層用ペーストを
得た。 Paste for Internal Electrode Layer Next, Ni particles 100 having an average particle size of 0.2 to 0.8 μm
Parts by weight, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and 10 parts by weight of butyl carbitol are kneaded with a three-roll mill to form a paste, which is used for an internal electrode layer. A paste was obtained.
【0085】外部電極用ペースト 次いで、平均粒径0.5μmのCu粒子100重量部
と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブ
チルカルビトール92重量部に溶解したもの)35重量
部およびブチルカルビトール7重量部とを混練してペー
スト化し、外部電極用ペーストを得た。 External electrode paste Next, 100 parts by weight of Cu particles having an average particle size of 0.5 μm, 35 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and butyl carbitol 7 parts by weight and kneaded to obtain a paste for an external electrode.
【0086】グリーンチップの作製 次いで、上記誘電体層用ペーストを用いてPETフィル
ム上に、厚さ6μmのグリーンシートを形成し、この上
に内部電極層用ペーストを印刷したのち、PETフィル
ムからグリーンシートを剥離した。Preparation of Green Chip Next, a 6 μm-thick green sheet was formed on a PET film using the above-mentioned dielectric layer paste, and an internal electrode layer paste was printed thereon. The sheet was peeled off.
【0087】次いで、これらのグリーンシートと保護用
グリーンシート(内部電極層用ペーストを印刷しないも
の)とを積層、圧着してグリーンチップを得た。内部電
極を有するシートの積層数は4層とした。Next, these green sheets and protective green sheets (without printing the internal electrode layer paste) were laminated and pressed to obtain a green chip. The number of stacked sheets having internal electrodes was four.
【0088】次いで、グリーンチップを所定サイズに切
断し、脱バインダ処理、焼成およびアニール(熱処理)
を行った脱バインダ処理は、昇温時間15℃/時間、保
持温度280℃、保持時間8時間、空気雰囲気の条件で
行った。また、焼成は、昇温速度200℃/時間、保持
温度1200〜1380℃、保持時間2時間、冷却速度
300℃/時間、加湿したN2 +H2 混合ガス雰囲
気(酸素分圧は、試料4,4−1,4−2,5,5−
1,19,19−1〜19−13が1×10−6Pa、
その他の試料が5×10−6Pa)の条件で行った。ア
ニールは、保持温度900℃、温度保持時間9時間、冷
却速度300℃/時間、加湿したN2 ガス雰囲気(酸
素分圧は3.54×10−2Pa)の条件で行った。な
お、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、
水温を35℃としたウェッターを用いた。Next, the green chip is cut into a predetermined size, the binder is removed, baked, and annealed (heat treatment).
Was performed under the conditions of a heating time of 15 ° C./hour, a holding temperature of 280 ° C., a holding time of 8 hours, and an air atmosphere. The firing was performed at a heating rate of 200 ° C./hour, a holding temperature of 1200 to 1380 ° C., a holding time of 2 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a humidified N 2 + H 2 mixed gas atmosphere (the oxygen partial pressure was 4-1, 4-2, 5, 5-
1, 19, 19-1 to 19-13 are 1 × 10 −6 Pa,
Other samples were performed under the conditions of 5 × 10 −6 Pa). Annealing was performed under the conditions of a holding temperature of 900 ° C., a temperature holding time of 9 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a humidified N 2 gas atmosphere (oxygen partial pressure is 3.54 × 10 −2 Pa). The humidification of the atmosphere gas during firing and annealing includes:
A wetter with a water temperature of 35 ° C. was used.
【0089】次いで、積層セラミック焼成体の端面をサ
ンドブラストにて研磨したのち、外部電極用ペーストを
端面に転写し、加湿したN2 +H2 雰囲気中におい
て、800℃にて10分間焼成して外部電極を形成し、
図1に示す構成の積層セラミックコンデンサ1のサンプ
ルを得た。Next, after polishing the end face of the laminated ceramic fired body by sand blasting, the external electrode paste was transferred to the end face, and fired at 800 ° C. for 10 minutes in a humidified N 2 + H 2 atmosphere to be fired. To form
A sample of the multilayer ceramic capacitor 1 having the configuration shown in FIG. 1 was obtained.
【0090】このようにして得られた各サンプルのサイ
ズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内
部電極層に挟まれた誘電体層の数は4、その厚さは4μ
mであり、内部電極層の厚さは1.5μmであった。各
サンプルについて下記特性の評価を行った。The size of each sample thus obtained was 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the number of dielectric layers sandwiched between the internal electrode layers was 4, and the thickness was 4 μm.
m, and the thickness of the internal electrode layer was 1.5 μm. The following characteristics were evaluated for each sample.
【0091】比誘電率(εr)、絶縁抵抗(IR) コンデンサのサンプルに対し、基準温度25℃でデジタ
ルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数
1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条
件下で、静電容量を測定した。そして、得られた静電容
量と、コンデンササンプルの電極寸法および電極間距離
とから、比誘電率(単位なし)を算出した。その後、絶
縁抵抗計(アドバンテスト社製R8340A)を用い
て、25℃においてDC50Vを、コンデンササンプル
に60秒間印加した後の絶縁抵抗IRを測定し、この測
定値と、コンデンササンプルの電極面積および厚みとか
ら、比抵抗ρ(単位はΩcm)を計算で求めた。結果を
表1〜表4に示す。評価として、比誘電率εrは、小型
で高誘電率のコンデンサを作成するために重要な特性で
あり、180以上、より好ましくは200以上を良好と
した。比抵抗値は1×1012Ωcm以上を良好とし
た。比誘電率εrの値は、コンデンサの試料数n=10
個を用いて測定した値の平均値から求めた。比抵抗ρの
値は、良品10個の比抵抗の平均値とした。A sample of a dielectric constant (εr) and an insulation resistance (IR) capacitor was measured at a reference temperature of 25 ° C. using a digital LCR meter (4274A manufactured by YHP) at a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1 Vrms. Under the conditions, the capacitance was measured. Then, a relative dielectric constant (no unit) was calculated from the obtained capacitance, the electrode dimensions of the capacitor sample, and the distance between the electrodes. Thereafter, the insulation resistance IR after applying DC 50 V to the capacitor sample at 25 ° C. for 60 seconds at 25 ° C. was measured using an insulation resistance meter (R8340A manufactured by Advantest), and the measured value, the electrode area and the thickness of the capacitor sample were measured. , The specific resistance ρ (unit: Ωcm) was obtained by calculation. The results are shown in Tables 1 to 4. As an evaluation, the relative dielectric constant εr is an important characteristic for producing a small-sized and high-dielectric-constant capacitor, and is set to 180 or more, more preferably 200 or more. A specific resistance value of 1 × 10 12 Ωcm or more was determined to be good. The value of the relative permittivity εr is determined by the number of capacitor samples n = 10
It was determined from the average value of the values measured using the test pieces. The value of the specific resistance ρ was an average value of the specific resistances of 10 good products.
【0092】静電容量の温度特性 コンデンサのサンプルに対し、LCRメータを用いて、
1kHz、1Vの電圧での静電容量を測定し、基準温度
を20℃としたとき、20〜85℃の温度範囲内で、温
度に対する静電容量変化率が−2000〜0ppm/℃
を満足するかどうかを調べ、満足する場合を○、満足し
ない場合を×とした。結果を表1〜表4に示す。 The temperature characteristic of the capacitance was measured using a LCR meter for a sample of the capacitor.
The capacitance at a voltage of 1 kHz and 1 V is measured, and when the reference temperature is set to 20 ° C., the capacitance change rate with respect to the temperature is −2000 to 0 ppm / ° C. within a temperature range of 20 to 85 ° C.
Was checked to determine whether or not the condition was satisfied, and the case where the condition was satisfied was evaluated as ○, and the case where the condition was not satisfied was evaluated as ×. The results are shown in Tables 1 to 4.
【0093】高温負荷寿命(絶縁抵抗の加速寿命) コンデンサのサンプルに対し、200℃で8V/μmの
直流電圧の印加状態に保持することにより、高温負荷寿
命を測定した。この高温負荷寿命は、10個のコンデン
ササンプル(誘電体層の厚み4μm)について行い、平
均寿命時間を測定することにより評価した。結果を表1
〜表4に示す。評価として、高温負荷寿命は、誘電体層
を薄層化する際に特に重要となるものであり、印加開始
から抵抗が一桁落ちるまでの時間を寿命と定義した。 High-Temperature Load Life (Accelerated Life of Insulation Resistance ) The high-temperature load life of a capacitor sample was measured by maintaining a DC voltage of 8 V / μm at 200 ° C. This high-temperature load life was evaluated for ten capacitor samples (dielectric layer thickness 4 μm) and the average life time was measured. Table 1 shows the results
To Table 4 below. As an evaluation, the high-temperature load life is particularly important when the thickness of the dielectric layer is reduced, and the time from the start of application until the resistance drops by one digit is defined as the life.
【0094】[0094]
【表1】 [Table 1]
【0095】[0095]
【表2】 [Table 2]
【0096】[0096]
【表3】 [Table 3]
【0097】[0097]
【表4】 [Table 4]
【0098】表1〜表4中における主成分の後添加分の
モル数、および第1〜第4副成分のモル数は、主成分の
最終組成100モルに対する比率である。さらに表1〜
表4中における比抵抗(ρ)の数値において、「mE+
n」は「m×10+n」を意味する。The number of moles of the post-addition of the main component and the number of moles of the first to fourth subcomponents in Tables 1 to 4 are ratios with respect to 100 moles of the final composition of the main component. Table 1
In the numerical values of the specific resistance (ρ) in Table 4, “mE +
“n” means “m × 10 + n ”.
【0099】表1に示される結果から、第4副成分の添
加時期に関し、以下のことが確認できた。試料1〜2で
は、いずれも{(Sr0.64Ca0.36)O}m’
・TiO2 (主成分原料)の調合時、すなわち主成分
原料の仮焼き前にY2 O3 (第4副成分原料)を添加
し、主成分原料に対して第4副成分原料を予め反応させ
た組成物原料を得た後、V2 O5 、MnCO3 お
よび(SiO2 +CaO)(第1〜第3副成分原料)
を添加して焼成を行っている。これに対し、試料3で
は、主成分原料の調合後、すなわち主成分原料の仮焼き
後に第1〜第3副成分原料とともに第4副成分原料を添
加して焼成を行っている。試料1と試料3との対比にお
いて、試料3のように第4副成分原料を主成分原料の仮
焼き後に添加すると、高温負荷寿命(絶縁抵抗の加速寿
命)が不十分である。これに対し、試料1のように第4
副成分原料を主成分原料の仮焼き前に添加し、予め反応
させておくと、十分な比誘電率と絶縁抵抗(比抵抗)と
を有し、還元雰囲気での焼成においても還元されず、ま
た内部電極材料であるニッケルも酸化せず、耐還元性に
優れた誘電体磁器組成物が得られていることが確認でき
た。また、容量温度特性が優れており、しかも高温負荷
寿命(絶縁抵抗の加速寿命)を試料3に対して約3倍程
度に向上できることが確認できた。試料1と試料2との
対比において、主成分の最終mが原料m’に対してm’
<mとなる試料2では、最終m=原料m’である試料1
に対してさらに約1.5倍程度(ちなみに、試料3に対
しては約5倍程度)、高温負荷寿命(絶縁抵抗の加速寿
命)を向上できることが確認できた。From the results shown in Table 1, the addition of the fourth subcomponent was
Regarding the timing of addition, the following was confirmed. In samples 1-2
Is {(Sr0.64Ca0.36) O}m '
・ TiO2At the time of mixing (main ingredient material),
Before calcining raw materials2O3 (4th sub ingredient material)
And reacting the fourth sub-component material with the main component material in advance.
After obtaining the composition raw material,2O5, MnCO3You
And (SiO2+ CaO) (first to third subcomponent raw materials)
And baking is performed. In contrast, sample 3
After the preparation of the main ingredient material,
Later, the fourth subcomponent material is added together with the first to third subcomponent materials.
In addition, firing is performed. In comparison between sample 1 and sample 3,
Thus, as in sample 3, the fourth subcomponent raw material is temporarily used as the main component raw material.
If added after baking, high temperature load life (accelerated life of insulation resistance)
Life) is inadequate. On the other hand, the fourth
Add the sub ingredient material before calcining the main ingredient material and react in advance
If you keep it, enough relative dielectric constant and insulation resistance (specific resistance)
Is not reduced by firing in a reducing atmosphere.
Nickel, which is the internal electrode material, does not oxidize,
It was confirmed that an excellent dielectric ceramic composition was obtained.
Was. In addition, it has excellent capacity-temperature characteristics and high temperature load.
Life time (accelerated life of insulation resistance) is about 3 times that of sample 3.
It was confirmed that it could be improved every time. Between sample 1 and sample 2
In comparison, the final m of the main component is m ′ with respect to the raw material m ′.
In sample 2 where <m, sample 1 where final m = raw material m ′
About 1.5 times more (by the way,
About 5 times), high temperature load life (accelerated life of insulation resistance)
Life) can be improved.
【0100】表2に示される結果から、主成分の最終m
値につき、以下のことが確認できた。試料4のようにm
=0.94の場合は、第4副成分原料を主成分原料に対
し予め反応させても、還元雰囲気下における焼成で誘電
体が還元され、十分な絶縁抵抗がとれなかった。また試
料7のようにm=1.08であると、第4副成分原料を
主成分原料に対し予め反応させても、1380℃(高
温)で焼成しても、緻密な焼結体が得られなかった。こ
れに対し、試料5と試料5−1との対比において、試料
5のごときm=0.995と比較的高くても、第4副成
分原料を主成分原料に対し予め反応させた原料を用いる
ことにより、粒内にYまたはY2 O3 が均一に分布
される結果、試料5−1に対して高温負荷寿命が約1.
5倍程度に向上した。試料6と試料6−1との対比にお
いて、試料6のごときm=1.005と比較的高くて
も、第4副成分原料を主成分原料に対し予め反応させた
原料を用いることにより、粒内にYまたはY2 O3
が均一に分布され、試料6−1に対して高温負荷寿命が
約4倍程度に向上した。試料2と試料2−1との対比に
おいて、試料6のごときm=1.02と比較的高くて
も、第4副成分原料を主成分原料に対し予め反応させた
原料を用いることにより、同様に試料2−1に対して高
温負荷寿命が約5倍程度に向上した。From the results shown in Table 2, the final m
The following can be confirmed for the values. M as in sample 4
In the case of = 0.94, the dielectric was reduced by firing in a reducing atmosphere even if the fourth subcomponent raw material was previously reacted with the main component raw material, and sufficient insulation resistance could not be obtained. When m = 1.08 as in Sample 7, a dense sintered body can be obtained even if the fourth subcomponent material is reacted with the main component material in advance or fired at 1380 ° C. (high temperature). I couldn't. On the other hand, even if the sample 5 and the sample 5-1 are compared with each other, even if m = 0.995, which is relatively high as in the case of the sample 5, a material obtained by previously reacting the fourth subcomponent material with the main component material is used. As a result, Y or Y 2 O 3 is uniformly distributed in the grains, so that the high-temperature load life of the sample 5-1 is about 1.
It has improved about five times. In comparison between Sample 6 and Sample 6-1, even if m = 1.005, which is relatively high as in Sample 6, the use of a raw material in which the fourth subcomponent raw material is reacted in advance with the main component raw material, Y or Y 2 O 3 in
Were uniformly distributed, and the high-temperature load life was improved to about four times that of the sample 6-1. Even if the comparison between Sample 2 and Sample 2-1 is relatively high, such as Sample 6, with m = 1.02, the same can be obtained by using a material obtained by reacting the fourth subcomponent material with the main component material in advance. In addition, the high-temperature load life was improved to about 5 times that of the sample 2-1.
【0101】なお、試料5および試料5−1では、第4
副成分原料の添加のタイミングこそ異なるが、いずれも
主成分の原料m’=0.985であり、主成分の最終m
=0.995である。試料6および試料6−1では、い
ずれも主成分の原料m’=0.985であるが、主成分
の最終m=1.005である。試料2および試料2−1
では、いずれも主成分の原料m’=0.985である
が、主成分の最終m=1.02である。すなわち、(試
料2および試料2−1)、(試料6および試料6−
1)、(試料5および試料5−1)の順で、より主成分
の最終m値が大きくなっている。この違いにより、試料
5では、試料5−1に対して高温負荷寿命が約1.5倍
程度向上しているが、試料6では、試料6−1に対して
高温負荷寿命が約3倍程度向上し、試料2では、試料2
−1に対して高温負荷寿命が約5倍程度に向上してい
る。このことから、第4副成分原料を主成分原料の仮焼
き前に添加して予め反応させた試料(試料5、試料6お
よび試料2)でも、主成分の最終m値が大きい方が、寿
命向上の効果が顕著であることも確認できた。Note that in Samples 5 and 5-1, the fourth
Although the timing of addition of the auxiliary component raw materials is different, the raw material m 'of the main component is 0.985 and the final m
= 0.995. In Sample 6 and Sample 6-1, the raw material m 'of the main component is 0.985, but the final m of the main component is 1.005. Sample 2 and Sample 2-1
In each case, the raw material m 'of the main component is 0.985, but the final m of the main component is 1.02. That is, (Sample 2 and Sample 2-1), (Sample 6 and Sample 6-
In the order of 1) and (Sample 5 and Sample 5-1), the final m value of the main component becomes larger. Due to this difference, the high-temperature load life of Sample 5 is about 1.5 times longer than that of Sample 5-1. However, the high-temperature load life of Sample 6 is about 3 times that of Sample 6-1. Sample 2
The high-temperature load life is about five times as long as -1. Therefore, even in the samples (Sample 5, Sample 6, and Sample 2) in which the fourth subcomponent material was added before the main component material was calcined and reacted in advance, the larger the final m value of the main component was, the longer the life was. It was also confirmed that the effect of improvement was remarkable.
【0102】また、試料4−1と試料4−2との対比に
おいて、試料4−2のごときm=0.985と比較的低
くても、第4副成分原料を主成分原料に対し予め反応さ
せた原料を用いることにより、粒内にYまたはY2 O
3 がより一層均一に分布される結果、試料4−1に対
して高温負荷寿命が約3倍以上に向上した。このことか
ら、主成分の最終mが比較的低くても、第4副成分原料
を主成分原料に対し予め反応させた原料を用いた方が、
高温負荷寿命の向上に効果的であることが確認できた。Further, in the comparison between Sample 4-1 and Sample 4-2, even if m = 0.885 as in Sample 4-2, the fourth subcomponent raw material reacts in advance with the main component raw material. By using the raw material thus mixed, Y or Y 2 O
3 results are more evenly distributed, high temperature load lifetime was improved more than about three times the sample 4-1. From this, even if the final m of the main component is relatively low, it is better to use the raw material obtained by reacting the fourth subcomponent raw material with the main component raw material in advance.
It was confirmed that it was effective in improving the high temperature load life.
【0103】表3に示される結果から、第4副成分原料
の添加量につき、以下のことが確認できた。試料8のよ
うにYをまったく添加せず、また試料13のようにYの
添加量が2モルであると、高温負荷寿命(絶縁抵抗の加
速寿命)の改善は見られなかった。これに対し、第4副
成分を所定量含有する試料2〜6のサンプルでは、m=
1.02と比較的高くても、十分な比誘電率と絶縁抵抗
(比抵抗)とを有し、還元雰囲気での焼成においても還
元されず、また内部電極材料であるニッケルも酸化せ
ず、耐還元性に優れた誘電体磁器組成物が得られた。ま
た、容量温度特性が優れており、しかも高温負荷寿命
(絶縁抵抗の加速寿命)も向上した。From the results shown in Table 3, the following can be confirmed with respect to the added amount of the fourth subcomponent raw material. When Y was not added at all as in Sample 8, and when the addition amount of Y was 2 mol as in Sample 13, improvement in high temperature load life (accelerated life of insulation resistance) was not observed. On the other hand, in samples 2 to 6 containing a predetermined amount of the fourth subcomponent, m =
Even if it is relatively high as 1.02, it has a sufficient relative dielectric constant and insulation resistance (specific resistance), is not reduced even when fired in a reducing atmosphere, and does not oxidize nickel as an internal electrode material. A dielectric ceramic composition having excellent reduction resistance was obtained. Further, the capacitance-temperature characteristics were excellent, and the high-temperature load life (accelerated life of insulation resistance) was also improved.
【0104】表4に示される結果から、主成分の原料
m’値につき、以下のことが確認できた。試料14のよ
うにm’=0.9の場合は、第4副成分原料を主成分原
料に対し予め反応させても、還元雰囲気下における焼成
で誘電体が還元され、十分な絶縁抵抗がとれなかった。
また試料18のようにm’=1.08であると、第4副
成分原料を主成分原料に対し予め反応させても、高温負
荷寿命向上の効果が見られなかった。なお、試料15〜
17および試料1では、いずれも主成分の最終m=1.
02であるが、主成分の原料m’値は試料1、試料1
7、試料16および試料15の順で小さくなって行って
いる。これに対し、高温負荷寿命時間は試料1、試料1
7、試料16および試料15の順で大きくなって行って
いる。このことから、第4副成分原料を主成分原料の仮
焼き前に添加して予め反応させた試料でも、主成分の原
料m’値が小さくなるほど、すなわち最終m値との差が
大きくなるほど、寿命時間が向上していくことも確認で
きた。From the results shown in Table 4, the following can be confirmed for the raw material m 'value of the main component. In the case where m ′ = 0.9 as in Sample 14, even if the fourth sub-component material is preliminarily reacted with the main component material, the dielectric is reduced by firing in a reducing atmosphere, and sufficient insulation resistance can be obtained. Did not.
Further, when m ′ = 1.08 as in Sample 18, even if the fourth subcomponent raw material was previously reacted with the main component raw material, the effect of improving the high temperature load life was not observed. Samples 15 to
17 and Sample 1, both of the final components m = 1.
02, but the raw material m 'value of the main component was Sample 1, Sample 1
7, sample 16 and sample 15 are reduced in this order. On the other hand, the high-temperature load life time of Sample 1, Sample 1
7, sample 16 and sample 15 increase in order. From this, even in a sample in which the fourth sub-component material was added and reacted before calcining of the main component material, as the raw material m 'value of the main component became smaller, that is, as the difference from the final m value became larger, It was also confirmed that the lifetime was improved.
【0105】実施例2 第1副成分(V換算)のモル数=0.2モル、第2副成
分(Mn換算)のモル数=0.37モル、第3副成分の
モル数=(2.5+2.5)モルとした以外には、第4
副成分としてのRの種類を、表5に示すように変化させ
て、これらを仮焼き前粉体に、酸化物中の希土類元素換
算で0.07モル添加して仮焼きを行った。また、アニ
ール温度を1100℃、保持時間を3時間とした。こう
してコンデンササンプルを複数個作製し、これらサンプ
ルの初期絶縁抵抗(IR)の不良発生率を算出した。結
果を表5に示す。 Example 2 The number of moles of the first subcomponent (in terms of V) = 0.2 mole, the number of moles of the second subcomponent (in terms of Mn) = 0.37 mole, and the number of moles of the third subcomponent = (2 .5 + 2.5) mole,
The kind of R as a sub-component was changed as shown in Table 5, and these were added to the powder before calcining in an amount of 0.07 mol in terms of the rare earth element in the oxide, and calcined. The annealing temperature was 1100 ° C. and the holding time was 3 hours. In this way, a plurality of capacitor samples were manufactured, and the defect occurrence rate of the initial insulation resistance (IR) of these samples was calculated. Table 5 shows the results.
【0106】[0106]
【表5】 [Table 5]
【0107】表5に示される結果から、Y、Sc、C
e、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの酸化物
を添加した場合(試料19〜試料19−8)には、T
b、Gd、Eu、SmおよびLaの酸化物を添加した場
合(試料19−9〜試料19−13)に比べて、初期絶
縁抵抗(IR)の良品率が向上し、すなわち薄層化(層
間4μm)した場合の初期IRの不良率を著しく低減で
きることが確認できた。From the results shown in Table 5, Y, Sc, C
When oxides of e, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu are added (Samples 19 to 19-8), T
Compared with the case where oxides of b, Gd, Eu, Sm and La were added (samples 19-9 to 19-13), the yield rate of the initial insulation resistance (IR) was improved, that is, thinning (interlayer) 4 μm), it was confirmed that the defective rate of the initial IR can be significantly reduced.
【0108】[0108]
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、焼成時の耐還元性に優れ、焼成後には優れた容量温
度特性を有し、しかも絶縁抵抗の加速寿命を向上できる
誘電体磁器組成物の製造方法、および信頼性が高められ
たチップコンデンサなどの電子部品の製造方法を提供す
ることができる。As described above, according to the present invention, a dielectric material which is excellent in reduction resistance during firing, has excellent capacity temperature characteristics after firing, and can improve the accelerated life of insulation resistance. A method for producing a porcelain composition and a method for producing an electronic component such as a chip capacitor with improved reliability can be provided.
【図1】 図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミ
ックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
1… 積層セラミックコンデンサ 10… コンデンサ素子本体 2… 誘電体層 3… 内部電極層 4… 外部電極 REFERENCE SIGNS LIST 1 multilayer ceramic capacitor 10 capacitor element body 2 dielectric layer 3 internal electrode layer 4 external electrode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01G 4/12 418 H01G 4/12 418 (72)発明者 福井 隆史 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 高橋 三喜夫 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 4G031 AA04 AA05 AA07 AA08 AA09 AA11 AA12 BA09 GA02 5E001 AB03 AE01 AH01 AH09 AJ01 AJ02 5G303 AA01 AB01 AB06 AB11 AB14 AB20 BA12 CA01 CB06 CB08 CB15 CB22 CB26 CB32 CB35 CB39 CB40 CB41 CB43 DA06──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification FI FI Theme Court ゛ (Reference) H01G 4/12 418 H01G 4/12 418 (72) Inventor Takashi Fukui 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo No. TDC Corporation (72) Inventor Mikio Takahashi 1-13-1, Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo FTD term (reference) 4G031 AA04 AA05 AA07 AA08 AA09 AA11 AA12 BA09 GA02 5E001 AB03 AE01 AH01 AH09 AJ01 AJ02 5G303 AA01 AB01 AB06 AB11 AB14 AB20 BA12 CA01 CB06 CB08 CB15 CB22 CB26 CB32 CB35 CB39 CB40 CB41 CB43 DA06
Claims (7)
m ・(Ti1−y Zry )O2 で表され、前記組
成式中のモル比mが0.94<m<1.08であり、記
号xが0≦x≦1.00であり、記号yが0≦y≦0.
20である主成分と、 Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、La、Ce、P
r、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、H
o、Er、Tm、YbおよびLuから選択される少なく
とも1つ)を含む第4副成分とを有する誘電体磁器組成
物を製造する方法であって、 主成分原料に対して第4副成分原料の少なくとも一部を
予め反応させた組成物原料を用いて、前記誘電体磁器組
成物を製造することを特徴とする誘電体磁器組成物の製
造方法。1. Composition formula {(Sr1-xCax) O}
m・ (Ti1-y Zry) O2Represented by the group
The molar ratio m in the formula is 0.94 <m <1.08.
The symbol x is 0 ≦ x ≦ 1.00, and the symbol y is 0 ≦ y ≦ 0.
20 and an oxide of R (where R is Sc, Y, La, Ce, P
r, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, H
o, Er, Tm, Yb and Lu
Dielectric ceramic composition having a fourth subcomponent containing
A method for producing a product, wherein at least a part of a fourth subcomponent material is added to a main component material.
Using the composition material reacted in advance, the dielectric ceramic set
Production of a dielectric porcelain composition characterized by producing a product
Construction method.
が、Sc、Y、Ce、Dy、Ho、Er、Tm、Ybお
よびLuの少なくとも一つの酸化物である請求項1記載
の誘電体磁器組成物の製造方法。2. The dielectric according to claim 1, wherein the oxide of R contained in the fourth subcomponent is at least one oxide of Sc, Y, Ce, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu. A method for producing a body porcelain composition.
酸化物中のR換算で、0.02モル以上2モル未満の前
記第4副成分原料が予め反応させてある請求項1または
2記載の誘電体磁器組成物の製造方法。3. With respect to 100 moles of the main component material,
The method for producing a dielectric porcelain composition according to claim 1 or 2, wherein 0.04 mol or more and less than 2 mol of the fourth subcomponent material are converted in advance in terms of R in the oxide.
1−x Cax )O} m’・(Ti1−y Z
ry )O2 で表され、前記組成式中のモル比m’
が、最終組成のモル比mに対して、m’≦mである請求
項1〜3のいずれかに記載の誘電体磁器組成物の製造方
法。4. The method according to claim 1, wherein the main component material has a composition formula {(Sr
1-xCax) O} m '・ (Ti1-yZ
ry) O2And the molar ratio m 'in the composition formula
Satisfies m ′ ≦ m with respect to the molar ratio m of the final composition.
Item 4. A method for producing the dielectric ceramic composition according to any one of Items 1 to 3.
Law.
なくとも1つの元素を含む物質を添加した後に焼成する
ことで前記誘電体磁器組成物を製造する請求項4記載の
誘電体磁器組成物の製造方法。5. The dielectric porcelain composition according to claim 4, wherein a material containing at least one element of Sr and Ca is added to the composition raw material, followed by firing to produce the dielectric porcelain composition. Production method.
m ・(Ti1−y Zry )O2 で表され、前記組
成式中のモル比mが0.94<m<1.08であり、記
号xが0≦x≦1.00であり、記号yが0≦y≦0.
20である主成分と、 Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、La、Ce、P
r、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、H
o、Er、Tm、YbおよびLuから選択される少なく
とも1つ)を含む第4副成分とを有する誘電体磁器組成
物で構成してある誘電体層を有する電子部品を製造する
方法であって、 主成分原料に対して第4副成分原料の少なくとも一部を
予め反応させた組成物原料を用いて、前記誘電体磁器組
成物を製造することを特徴とする電子部品の製造方法。6. The composition formula {(Sr1-xCax) O}
m・ (Ti1-y Zry) O2Represented by the group
The molar ratio m in the formula is 0.94 <m <1.08.
The symbol x is 0 ≦ x ≦ 1.00, and the symbol y is 0 ≦ y ≦ 0.
20 and an oxide of R (where R is Sc, Y, La, Ce, P
r, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, H
o, Er, Tm, Yb and Lu
Dielectric ceramic composition having a fourth subcomponent containing
Of electronic components having a dielectric layer composed of an object
A method, wherein at least a portion of the fourth subcomponent material is based on the main component material.
Using the composition material reacted in advance, the dielectric ceramic set
A method for producing an electronic component, comprising producing a product.
が、Sc、Y、Ce、Dy、Ho、Er、Tm、Ybお
よびLuの少なくとも一つの酸化物である請求項6記載
の電子部品の製造方法。7. The electron according to claim 6, wherein the oxide of R contained in the fourth subcomponent is at least one oxide of Sc, Y, Ce, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu. The method of manufacturing the part.
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