JP2002075170A - ゲッター材料ならびにそれを用いたフラットディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フラットディスプレイパネル（ＦＤＰ）の製
造に伴う不純物ガスの影響を抑制し、低コストで品質の
高いＦＤＰを提供する。 【解決手段】 セラミックスおよびガラスよりなる群か
ら選ばれた少なくともいずれかの材料とガス吸収能力を
有する合金との混合物を主成分とするペースト状または
シート状のゲッター材料をＦＤＰの製造に使用する。こ
のゲッター材料を使用して製造されたＦＤＰは、前面パ
ネル材１１ｆ、背面パネル材１１ｒおよびそれらの間に
設けられる隔壁２ａおよび２ｂを有し、隔壁２ａおよび
２ｂは、セラミックスおよびガラスよりなる群から選ば
れた少なくともいずれかの材料からなるマトリックス中
にガス吸収能力を有する合金が分散された複合材料によ
り形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定の系において
不純物を除去または不活性化するための材料であるゲッ
ター材料、ならびにそれを用いたフラットディスプレイ
パネル（ＦＤＰ）およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＦＤＰの代表例であるプラズマディスプ
レイパネル（ＰＤＰ）は、たとえば、２枚のガラス基板
で多数の隔壁を挟む構造を有し、その構造に蛍光体や電
極が配置され、表示セルが形成されている。このセル内
で放電・発光させることにより画像が表示される。図１
はＡＣ型ＰＤＰの一例を示している。ＰＤＰ１におい
て、前面ガラス基板１１ｆ上には表示電極１３、誘電体
層１４および保護膜１５が設けられている。背面ガラス
基板１１ｒには、アドレス用電極１６および誘電体層１
７が設けられている。前面ガラス基板１１ｆと背面ガラ
ス基板１１ｒとの間には、隔壁２ａおよび２ｂが設けら
れ、これらの隔壁によって仕切られた空間内には、特定
の色（たとえば緑）のための蛍光体層８Ｇが収容され
る。隔壁２ａと２ｂとの間にあり、蛍光体層８Ｇ、表示
電極１３およびアドレス用電極１６が設けられた部分
は、特定の色（たとえば緑）のためのプラズマ放電セル
１０Ｇを構成する。ＰＤＰ１ではこのようなプラズマ放
電セルが隔壁を介して多数配列される。たとえば、隔壁
２ａを介してプラズマ放電１０Ｇの隣には、特定の色
（たとえば赤）のための蛍光体層８Ｒを収容する赤色表
示用のプラズマ放電セル１０Ｒが設けられる。隔壁２ｂ
を介してプラスマ放電セル１０Ｇの隣には、青色用の蛍
光体層８Ｂを収容する青色用プラズマ放電セル１０Ｂが
設けられる。

【０００３】ＰＤＰの隔壁製造方法に関し、たとえば特
開平２−１１４４３０号公報は、前面ガラス板上にガラ
スペーストを厚膜スクリーン印刷し、焼成することによ
って隔壁を形成する方法を開示している。

【０００４】特開平６−３６６８３号公報は、ガラス基
板上に隔壁用ペースト、耐サンドブラストペーストを順
に付与した後、サンドブラスト処理によって不要部分を
除去した後、焼成する方法を開示している。同様の製造
方法として、予めシート形状とした隔壁材料をガラス基
板に貼り付けた後、サンドブラスト処理により不要部分
を除去する方法や、感光性樹脂を利用した方法も知られ
ている。

【０００５】蛍光体層の形成には、隔壁と同様にスクリ
ーン印刷法やサンドブラスト法が用いられる。

【０００６】このような方法により隔壁や蛍光体層を形
成した背面ガラス基板と、表示電極、誘電体層および保
護膜などを形成した前面ガラス基板とは低融点のガラス
を挟んで組み立てた後、熱処理を施すことにより封着一
体化される。その後、パネル内を真空排気し、たとえば
Ｈｅ−ＸｅやＮｅ−Ｘｅなどの放電ガスを、たとえば２
００〜５００Ｔｏｒｒの圧力で封入することによりＰＤ
Ｐが得られる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記の方法により製造
されるＰＤＰ内部には、放電ガス中に含まれている不純
物ガスや、隔壁などに含まれるガラスや残留樹脂成分、
誘電体層、電極などから微量ながら放出されるガスが存
在する。これらのガスの具体例として、水蒸気、酸素、
窒素、炭酸ガスなどが挙げられ、これらが、パネル内に
存在すると放電ガスのエネルギーを吸収したり、あるい
は電極を酸化するなどして、プラズマ放電を不安定にし
たり、放電セルの寿命を縮めるといった問題があった。
さらにパネル製造後長時間使用しない場合、たとえば組
み込みまでのパネル保管期間が長期にわたるような場合
には、パネル中の不純物ガス量が増加するために、プラ
ズマ放電が発生せず放電機能そのものが消失してしまう
こともある。

【０００８】また、上記のパネル内排気工程において
は、狭い空間内に多数の隔壁が設けられているため、排
気抵抗が大きく、長時間を要するために生産性が悪いと
いった問題や、不純物ガスを完全に排気することができ
ないため上記のような問題を起こすことがあった。

【０００９】ＰＤＰ以外のＦＤＰとして、たとえばプラ
ズマアドレス液晶ディスプレイ（ＰＡＬＣＤ）は、液晶
ディスプレイのアドレスにプラズマ放電を利用したもの
で、ＰＤＰと同様に隔壁や電極を形成したディスプレイ
である。そのため不純物ガスがパネル内に存在すると上
記のＰＤＰと同様の問題がある。

【００１０】またフィールドエミッションディスプレイ
（ＦＥＤ）は、ＣＲＴと同じ電子線励起蛍光体発光を利
用したディスプレイであり、２枚の基板に挟まれた真空
空間中に多数の電子源と蛍光体が配置される。このディ
スプレイにおいては電子ビームを発生させるために真空
保持が必要であり、ＰＤＰなどと同様にパネル内部の不
純物ガスを除去する必要がある。

【００１１】本発明の目的は、上記問題点を解決するこ
とであり、具体的には、ＦＤＰ等の装置に伴う不純物ガ
スの影響を抑制するための技術を提供することである。

【００１２】本発明のさらなる目的は、低コストで品質
の高いＦＤＰを提供することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明者は、ＦＤＰのよ
うに減圧あるいは希ガス雰囲気が封入された装置中に配
置することで、装置の性能向上や長寿命化が可能となる
ゲッター機能を持つ材料について検討した。その結果、
ガラス成分および／またはセラミックス成分とゲッタリ
ング機能を有するガス吸収合金とを組合せた材料が、装
置空間内にゲッタリング機能を有する構造物を容易にか
つ効果的に形成するのに有用であることを見出した。

【００１４】また本発明者は、ＦＤＰの内部において、
前面パネルと背面パネルとを支持する隔壁またはスペー
サを、そのようなゲッター材料によって形成すること
で、パネル内部の不純物ガスを吸収したり、真空度を保
つことが容易になり、低コストに性能の安定したＦＤＰ
が得られることを見出した。

【００１５】かくして、本発明により、セラミックスお
よびガラスよりなる群から選ばれた少なくともいずれか
の材料とガス吸収能力を有する合金との混合物を主成分
とするペースト状またはシート状のゲッター材料が提供
される。このゲッター材料で、該混合物における該合金
の含有量は１質量％〜１０質量％であることが好まし
い。特に、本発明によるゲッター材料は、ＦＤＰ製造用
とすることができる。

【００１６】さらに本発明により、前面パネル材、背面
パネル材およびそれらの間に設けられる隔壁またはスペ
ーサーを有するフラットディスプレイパネルが提供さ
れ、該フラットディスプレイパネルは、隔壁またはスペ
ーサーが、セラミックスおよびガラスよりなる群から選
ばれた少なくともいずれかの材料からなるマトリックス
中にガス吸収能力を有する合金が分散された複合材料に
より形成されているものである。典型的に、該複合材料
は焼結体である。

【００１７】さらに本発明によりフラットディスプレイ
パネルの製造方法が提供され、該製造方法は、上記ゲッ
ター材料を使用して背面パネル材上に隔壁またはスペー
サーのパターンを形成する工程、背面パネル材上に形成
されたパターンを不活性雰囲気中で焼成する工程、必要
な最高温度でのパターンの焼成により得られた隔壁また
はスペーサーを冷却する過程において、不活性雰囲気中
に酸素を導入して、隔壁または前記スペーサーを酸化す
る工程、隔壁またはスペーサーを挟んで、背面パネル材
に前面パネル材を接合し、それらの間の空間を不活性雰
囲気または真空にする工程、および接合されたパネル材
を加熱して、隔壁またはスペーサーのゲッタリング機能
を活性化させる工程を有する。

【００１８】特に、本発明によるゲッター材料は、真空
や希ガス雰囲気が封入された表示装置等の内部構造を形
成するのに適したものであり、とりわけ、ＣＲＴに代わ
る薄型または大型ディスプレイとして期待されるＰＤ
Ｐ、ＰＡＬＣＤ、ＦＥＤなどのＦＤＰ、およびその他の
装置、たとえば高輝度ランプなどの内部構造を形成する
のに適したものである。

【００１９】本発明によるゲッター材料を使用してＦＤ
Ｐの前面基板と背面基板を支持する隔壁やスペーサーを
形成すれば、ＦＤＰの動作に悪影響を及ぼす可能性のあ
る水素、水蒸気、酸素、一酸化炭素、二酸化炭素、窒素
などの不純物ガスをゲッタリングしたり、あるいは、Ｆ
ＤＰ内部の真空度を維持することができる。このような
作用効果は、パネルの性能向上や長寿命化につながる。
また、本発明によるゲッター材料を使用すれば、パネル
製造工程における排気時間を短縮することも可能であ
る。以下、本発明をさらに詳細に説明する。

【００２０】

【発明の実施の形態】たとえばＰＤＰの場合、ガラス基
板上の放電セルを隔てる隔壁は、上記ペースト状あるい
はシート形状のゲッター材料をパターニングし、焼結す
ることによって形成することができる。この場合、ＰＤ
Ｐ内部に封入した放電ガスに不純物ガスが含まれていた
り、パネル内部に含まれるガラスや残留樹脂成分、誘電
体層、電極などからガスが放出されたり、また排気が不
十分であるために不純物ガスが残留したとしても、隔壁
にガス吸収合金が含有されているため、不純物ガスを隔
壁中に吸収させることが可能となり、プラズマ放電が安
定し、放電セルの長寿命化が可能となる。また放電セル
の内部に存在する隔壁にガス吸収合金が含有されるた
め、パネル全体において均一に不純物ガスを除去するこ
とができ、たとえばパネルの外周部にゲッタリング機能
を有する素材を配置した場合のようにパネル内で局所的
に放電が不安定になるといった問題が発生しにくくな
る。

【００２１】本発明に用いることができるガス吸収合金
としては、水蒸気、酸素、窒素、炭酸ガスについて不可
逆的なガス吸収性を持ち、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｘｅなどの不活
性ガスを吸収しないものが適している。そのような合金
としてたとえばジルコニウム合金が好ましい。ジルコニ
ウム合金の具体例には、Ｚｒ−Ｎｉ系合金たとえばＺｒ
₂Ｎｉ、Ｚｒ−Ａｌ系合金たとえばＺｒ₂Ａｌ、Ｚｒ−Ｖ
−Ｎｉ系合金たとえばＺｒ₃₀Ｖ₅₀Ｎｉ₂₀、Ｚｒ−Ｎｉ−
Ｆｅ系合金たとえばＺｒ₂₅Ｎｉ₁₅Ｆｅ₆₀、Ｚｒ−Ｆｅ−
Ｖ系合金たとえばＺｒ₇₀Ｆｅ₅Ｖ₂₅、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ−
Ｎｉ系合金たとえばＺｒ₅₀Ｖ₃₀Ｆｅ₁₉Ｎｉ₁などがあ
る。

【００２２】本発明によるゲッター材料の主成分である
ガラスやセラミックスに特に制限はないが、たとえばガ
ラスには鉛系ガラスや亜鉛系ガラスなどの一般的な低融
点ガラスが利用でき、またセラミックスにはシリカ、ア
ルミナ、ジルコニアなど比較的高強度の材料を用いるこ
とができる。また、低融点のガラスと高強度セラミック
スとの複合組成とすることで、５００℃程度の低温焼結
で機械的強度の高い緻密な構造物を得ることができ、た
とえば隔壁の焼結時に共に熱処理されるガラス基板が軟
化し変形するといった悪影響を抑制できる。

【００２３】本発明によるゲッター材料は、ガラスおよ
び／またはセラミックス、ならびにガス吸収合金の他、
ペースト状またはシート状の形態を保持するための成
分、たとえば、樹脂等の結合剤、溶剤、分散剤、増粘剤
などを含有することができる。好ましい態様において、
本発明によるゲッター材料は、上記ガラスと上記セラミ
ックスを重量比でたとえば１：１程度の割合で混合して
得られる粉末に、ガス吸収能力を有する合金をたとえば
５質量％添加し、次いでこの混合粉末に樹脂としてポリ
ビニルブチラールなどをたとえば１０質量％程度添加
し、テレピネオールなどの適量の溶剤と、必要に応じて
分散剤などを添加および混合することでペースト状のも
のを得ることができる。また、上記セラミックスと上記
ガラスの混合粉末に、１０質量％程度のポリビニルブチ
ラールなどの樹脂と、トルエンやブタノールなどの溶剤
を添加することによりスラリーを調製し、これをドクタ
ーブレード法などによってシート形状とすることができ
る。

【００２４】本発明のゲッター材料に含まれる樹脂に
は、ポリビニルブチラール以外に、４００〜５００℃程
度の熱処理で焼失するアクリル樹脂、ポリオレフイン樹
脂、フッ素系樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることがで
き、不活性雰囲気中での熱分解性に優れるアクリル樹脂
はより好ましい材料である。

【００２５】本発明のゲッター材料においてガス吸収能
力を有する合金の配合比を大きくし過ぎると、構造物の
機械的強度を低下させたり、絶縁性を低下させる場合が
ある。また、合金の配合比を小さくし過ぎると十分なガ
ス吸収効果が得られない。そのような観点から好ましい
添加量は、ガラスおよび／またはセラミックスと該合金
の混合物に対し、１質量％〜１０質量％程度である。ま
た本発明のゲッター材料において、セラミックスおよび
／またはガラスとガス吸収合金とができるだけ均一に混
合されていることが望ましい。セラミックスとガラスが
どのような比率であっても本発明の効果を損なうもので
はないが、ＦＤＰの隔壁としての機能を確保する観点か
らは、質量比でセラミックス：ガラス＝２０：８０〜６
０：４０が好ましい混合比である。ガラスの比率が８０
％を超えると隔壁としての機械的強度が不足することが
あり、またガラスの比率が４０％を下回ると一般的な隔
壁焼結温度の５５０℃〜６００℃での緻密化が不十分と
なり、機械的強度が不足したり絶縁性が不足することが
ある。

【００２６】本発明によるＦＤＰの製造方法では、たと
えば、上述したゲッター材料を、隔壁またはスペーサー
を形成するため、背面パネルを構成するガラス基板の表
面にパターニングする。次いでパターニングしたゲッタ
ー材料を不活性雰囲気中で焼成し、その冷却課程の少な
くとも一部において不活性雰囲気中に酸素を導入する。
この酸素導入により、ゲッター材料の焼成により形成さ
れた隔壁またはスペーサーの表面を酸化させる。次い
で、背面パネルと前面パネルを接合し、その間の空間を
不活性雰囲気または真空に封止すればよい。次いで、隔
壁またはスペーサーのゲッタリング機能を活性化させる
ために、隔壁またはスペーサーを加熱する。

【００２７】さらにＰＤＰを例に取りより詳細に製造方
法を説明する。まず、ＰＤＰの背面ガラス基板の表面に
印刷法や蒸着法などでアドレス電極や誘電体層を予め形
成しておく。次いで本発明のゲッタリング材料であるペ
ーストまたはシートをガラス基板上に付与する。ペース
トであれば、スクリーン印刷法などで隔壁またはスペー
サーに対応するパターンに塗布することができる。シー
トであれば、ガラス基板に熱圧着法で圧着したり、ある
いは一般的な接着剤によって接着することができ、次い
で隔壁またはスペーサーの形状にするために、良く知ら
れているサンドブラスト法などによって不要部分を除去
してやればよい。さらに赤、青、緑用の蛍光体材料を隔
壁またはスペーサーを形成するゲッタリング材料の表面
にスクリーン印刷法などによって形成した後、たとえば
Ａｒ雰囲気などの不活性雰囲気中でゲッタリング材料お
よび蛍光体層を焼成すればよい。焼成により、セラミッ
クスおよび／またはガラスからなるマトリックス中にガ
ス吸収合金が分散された複合材料からなる隔壁またはス
ペーサーが得られる。一般に該複合材料は焼結体であ
る。焼成工程により、隔壁またはスペーサー上に蛍光体
層が形成された構造が得られる。

【００２８】ここで、ガス吸収合金の表面は通常酸化物
や窒化物などの不活性な表面被膜に覆われているが、上
記のように不活性雰囲気中で加熱すると、表面不活性層
を形成していた酸化物や窒化物などが合金内部に拡散し
ガス吸収が開始される。このようにガス吸収合金の表面
層が活性化されると、大気中などでの取り扱いができな
くなるため、パネル製造工程に支障を来すことがある。
これを防止するため、上記焼成工程における最高温度で
の加熱後の冷却工程において、不活性雰囲気中に少量の
酸素を導入し、ガス吸収合金の表面部分に酸化層を形成
すればよい。表面が酸化されたガス吸収合金は大気中に
曝されてもガスを吸収することがないため、以後のパネ
ル製造工程を大気中で行うことが可能になる。酸素の導
入を開始する温度は、ガス吸収合金の種類にもよるが１
００℃程度でよく、また酸素濃度は、たとえば１０００
ｐｐｍ程度でよい。

【００２９】以上の方法により形成された隔壁またはス
ペーサーおよび蛍光体層を有する背面ガラス基板と、所
定のパターンの表示電極、誘電体層および保護膜を形成
した前面ガラス基板とをガラスペーストなどを用いて封
着した後、両ガラス基板間の空間を真空排気し、そこに
放電ガスを充填する。

【００３０】封着されたガラス基板間に放電ガスが充填
されて以後は、ガス吸収合金が大気に曝されることがな
い。そこで、この真空排気工程もしくは放電ガスの充填
工程と同時に、もしくはその後に、たとえば４００℃以
上に加熱することでガス吸収合金の表面を活性化し、ガ
ス吸収を開始させることができる。

【００３１】ガス吸収合金の活性化処理は、合金の種
類、パネル内部の雰囲気、気圧、熱処理時間などに依存
するものではあるが、おおよそには２５０℃〜５００℃
で１０分〜１時間程度の処理で活性化効果を得ることが
でる。以上の工程により図１に示すような構造のＰＤＰ
を得ることができる。得られたＰＤＰにおいて、前面ガ
ラス基板と背面ガラス基板との間に設けられている隔壁
またはスペーサーは、セラミックスおよび／またはガラ
スからなるマトリックス中にガス吸収合金が分散された
複合材料からなる。

【００３２】

【実施例】以下のプロセスにより、図１に示すような構
造のＰＤＰを製造した。まず、市販のソーダガラス基板
表面に所定のパターンで表示電極、誘電体層および保護
膜を形成し前面パネルとした。

【００３３】次いで粒径１０μｍ以下に粉砕したＺｒ−
Ｖ−Ｆｅ合金（組成：Ｚｒ₇₀Ｖ₂₅Ｆｅ₅）、市販の鉛系
ガラス粉末、シリカ粉末、およびアルミナ粉末を混合し
た後、アクリル樹脂２０質量％テレピネオール溶液を１
５質量％添加、混合し、表１に示す隔壁用ペーストを調
製した。なお、表１中の％は質量％を示す。比較例とし
て鉛系ガラス粉末、シリカ粉末、およびアルミナ粉末を
混合した後、アクリル樹脂溶液を添加、混合した隔壁用
ペーストを調製した。ソーダガラス基板にあらかじめア
ドレス用電極および誘電体層を形成しておき、スクリー
ン印刷法によって上記ペーストを所定の形状に塗布した
後、乾燥した。印刷と乾燥とを数回繰り返すことにより
隔壁形状を得た後、Ａｒ雰囲気中５５０℃で焼成し、そ
の冷却工程において１００℃から酸素を１０００ｐｐｍ
導入した。得られたガラス基板上の隔壁側面およびセル
底面にスクリーン印刷法により蛍光体層を形成した後、
Ａｒ雰囲気中で焼成し、同様に冷却時に酸素を導入する
ことにより背面パネルを得た。背面パネルに形成された
隔壁は、鉛系ガラス、シリカおよびアルミナからなるマ
トリックス中にＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金が分散された複合焼
結体からなっていた。

【００３４】得られた前面パネルと背面パネルとを、隔
壁を挟んで市販のガラスペーストにより一体化・封着し
た後、真空ポンプを接続し、１０^-3Ｐａまで排気した。
一旦真空排気を停止した後、４００℃で３０分間加熱し
た。次いで、再度真空排気し、１０^-4Ｐａまでの到達時
間を測定した。また１０^-4Ｐａに到達後、加熱および排
気を停止し、その後パネル内の不純物ガス発生に伴う真
空度の変化を測定した。

【００３５】表２に示すように、本発明による実施例に
おいては、従来のＰＤＰである比較例に比べ排気時間が
短縮された。また表３に示すように、本発明の実施例に
おいては、パネル内で不純物ガスが発生してもそれが隔
壁部により吸収されるため真空度の低下がほとんど認め
られなかった。

【００３６】

【表１】

【００３７】

【表２】

【００３８】

【表３】

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空や希ガス雰囲気が封入された表示装置などについ
て、高性能化、長寿命化が可能となる。特に、本発明に
よるゲッター材料は、従来と同等の製造プロセスで、低
コストに高性能および長寿命のＦＤＰをもたらすことが
でき、その工業的利用価値は大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 ＰＤＰの構造を示す概略断面図である。

【符号の説明】

１ ＰＤＰ、２ａ，２ｂ 隔壁、１１ｆ 前面ガラス基
板、１１ｒ 背面ガラス基板、１３ 表示電極、１４
誘電体層、１５ 保護膜、１６ アドレス用電極、１７
誘電体層。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 善久 兵庫県尼崎市扶桑町１番８号 住友金属工 業株式会社エレクトロニクス技術研究所内 (72)発明者 上仲 秀哉 兵庫県尼崎市扶桑町１番８号 住友金属工 業株式会社エレクトロニクス技術研究所内 Ｆターム(参考） 5C012 AA09 5C027 AA09 5C035 JJ11 5C040 FA01 GF19 HA08 KA02 MA26 MA30 5C058 AA11 AB06 BA35

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックスおよびガラスよりなる群か
   ら選ばれた少なくともいずれかの材料とガス吸収能力を
   有する合金との混合物を主成分とするペースト状または
   シート状のゲッター材料。
2. 【請求項２】 前記混合物における前記合金の含有量が
   １質量％〜１０質量％である請求項１に記載のゲッター
   材料。
3. 【請求項３】 前面パネル材、背面パネル材およびそれ
   らの間に設けられる隔壁またはスペーサーを有するフラ
   ットディスプレイパネルであって、 前記隔壁または前記スペーサーが、セラミックスおよび
   ガラスよりなる群から選ばれた少なくともいずれかの材
   料からなるマトリックス中にガス吸収能力を有する合金
   が分散された複合材料により形成されているフラットデ
   ィスプレイパネル。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のフラットディスプレイ
   パネルの製造方法であって、 請求項１または２に記載のゲッター材料を使用して背面
   パネル材上に隔壁またはスペーサーのパターンを形成す
   る工程、 前記背面パネル材上に形成された前記パターンを不活性
   雰囲気中で焼成する工程、 必要な最高温度での前記パターンの焼成により得られた
   隔壁またはスペーサーを冷却する過程において、前記不
   活性雰囲気中に酸素を導入して、前記隔壁または前記ス
   ペーサーを酸化する工程、 前記隔壁または前記スペーサーを挟んで、前記背面パネ
   ル材に前面パネル材を接合し、それらの間の空間を不活
   性雰囲気または真空にする工程、および接合された前記
   パネル材を加熱して、前記隔壁または前記スペーサーの
   ゲッタリング機能を活性化させる工程を有するフラット
   ディスプレイパネルの製造方法。