JP2001341640A - 無人搬送車システム - Google Patents
無人搬送車システムInfo
- Publication number
- JP2001341640A JP2001341640A JP2000167281A JP2000167281A JP2001341640A JP 2001341640 A JP2001341640 A JP 2001341640A JP 2000167281 A JP2000167281 A JP 2000167281A JP 2000167281 A JP2000167281 A JP 2000167281A JP 2001341640 A JP2001341640 A JP 2001341640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guided vehicle
- automatic guided
- berth
- station
- traveling path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 走行路2の外側にバース10を設けて、その
前後にステーション8,9を設ける。無人搬送車2に
は、車体前後方向に物品を移載するように移載装置を設
け、入庫ステーション8へ物品を荷下ろしした後、同じ
バース10で出庫ステーション9から物品を荷積みす
る。 【効果】 ステーション横に停止中の無人搬送車を追い
越すための車線が不要で、1つのバースで荷下ろしと荷
積みの2つの作業ができる。
前後にステーション8,9を設ける。無人搬送車2に
は、車体前後方向に物品を移載するように移載装置を設
け、入庫ステーション8へ物品を荷下ろしした後、同じ
バース10で出庫ステーション9から物品を荷積みす
る。 【効果】 ステーション横に停止中の無人搬送車を追い
越すための車線が不要で、1つのバースで荷下ろしと荷
積みの2つの作業ができる。
Description
【0001】
【発明の利用分野】この発明は無人搬送車システムに関
し、特に無人搬送車の走行路の幅をカットしながら、高
い搬送能力を得ることに関する。
し、特に無人搬送車の走行路の幅をカットしながら、高
い搬送能力を得ることに関する。
【0002】
【従来技術】無人搬送車は工場や倉庫などで物品を搬送
するためのもで、走行路には例えば無人搬送車の2車線
分、あるいは3車線分の幅を割り当てるのが普通であ
る。例えば走行路が一方通行の場合、ステーション横に
停止中の無人搬送車を追い越すために追加の1車線が必
要で、合計2車線が必要となる。また走行路を双方向の
対面交通とすると、ステーション横に停止中の無人搬送
車を追い越すために、中央に少なくとも1車線の追い越
し車線が必要で、合計3車線以上となる。
するためのもで、走行路には例えば無人搬送車の2車線
分、あるいは3車線分の幅を割り当てるのが普通であ
る。例えば走行路が一方通行の場合、ステーション横に
停止中の無人搬送車を追い越すために追加の1車線が必
要で、合計2車線が必要となる。また走行路を双方向の
対面交通とすると、ステーション横に停止中の無人搬送
車を追い越すために、中央に少なくとも1車線の追い越
し車線が必要で、合計3車線以上となる。
【0003】
【従来技術の問題点】無人搬送車システムをクリーンル
ームなどに設ける場合、床面積当たりのコストが大きい
ため、走行路に追い越し用の車線を設けることは大きな
負担となる。
ームなどに設ける場合、床面積当たりのコストが大きい
ため、走行路に追い越し用の車線を設けることは大きな
負担となる。
【0004】
【発明の課題】この発明の基本的課題は、無人搬送車の
走行車線の数をカットしながら、無人搬送車システムの
搬送能力を維持することにある(請求項1〜3)。請求
項2の発明での追加の課題は、小さなバースに無人搬送
車が進入し得るようにすることにある。請求項3の発明
での追加の課題は、1つのバース内で、物品の荷下ろし
と荷積みの両方ができるようにすることにある。
走行車線の数をカットしながら、無人搬送車システムの
搬送能力を維持することにある(請求項1〜3)。請求
項2の発明での追加の課題は、小さなバースに無人搬送
車が進入し得るようにすることにある。請求項3の発明
での追加の課題は、1つのバース内で、物品の荷下ろし
と荷積みの両方ができるようにすることにある。
【0005】
【発明の構成】この発明の無人搬送車システムは、無人
搬送車の走行路の外側に、走行路と平行に無人搬送車を
横付けするためのバースを設けて、走行路とバースとの
間で無人搬送車が出入り自在にし、かつバースの前後の
少なくとも一方の端に、無人搬送車が物品を移載するた
めのステーションを設けたものである(請求項1)。
搬送車の走行路の外側に、走行路と平行に無人搬送車を
横付けするためのバースを設けて、走行路とバースとの
間で無人搬送車が出入り自在にし、かつバースの前後の
少なくとも一方の端に、無人搬送車が物品を移載するた
めのステーションを設けたものである(請求項1)。
【0006】好ましくは、走行路から見た前記バースの
開口の長さを無人搬送車の車体の長さ以下とし、かつ前
記ステーションの底部を空きスペースとして、無人搬送
車の車体の端部が進入し得るようする(請求項2)。
開口の長さを無人搬送車の車体の長さ以下とし、かつ前
記ステーションの底部を空きスペースとして、無人搬送
車の車体の端部が進入し得るようする(請求項2)。
【0007】また好ましくは、バースの前後両端にステ
ーションを設ける(請求項3)。
ーションを設ける(請求項3)。
【0008】
【発明の作用と効果】この発明では、無人搬送車の走行
路の外側に、走行路との間で無人搬送車が出入り自在に
バースを設け、無人搬送車をバースに走行路と平行に横
付けさせる。そしてバースの前後少なくとも一方の端に
ステーションを設ける。このようにすると、無人搬送車
の走行路には、ステーション横で停止中の無人搬送車を
追い越すための追い越し車線が不要になり、例えば2車
線分の走行路で従来の3車線分の走行路の走行能力が得
られ、1車線分の走行路で従来の2車線分の走行路の走
行能力が得られる。ステーションはバースの前後一方の
端に設けるので、ステーションを走行路から奥まった場
所に設ける必要はなく、バースの部分だけの面積を確保
できれば良い(請求項1)。
路の外側に、走行路との間で無人搬送車が出入り自在に
バースを設け、無人搬送車をバースに走行路と平行に横
付けさせる。そしてバースの前後少なくとも一方の端に
ステーションを設ける。このようにすると、無人搬送車
の走行路には、ステーション横で停止中の無人搬送車を
追い越すための追い越し車線が不要になり、例えば2車
線分の走行路で従来の3車線分の走行路の走行能力が得
られ、1車線分の走行路で従来の2車線分の走行路の走
行能力が得られる。ステーションはバースの前後一方の
端に設けるので、ステーションを走行路から奥まった場
所に設ける必要はなく、バースの部分だけの面積を確保
できれば良い(請求項1)。
【0009】請求項2の発明では、走行路から見たバー
スの開口の長さを、無人搬送車の車体の長さ以下とす
る。そしてステーションの底部を空きスペースとして、
バースに無人搬送車の車体中心部を進入させ、ステーシ
ョンの底部に無人搬送車の車体の端部を進入させる。こ
のようにすれば、小さな面積のバースに無人搬送車を進
入させることができる(請求項2)。
スの開口の長さを、無人搬送車の車体の長さ以下とす
る。そしてステーションの底部を空きスペースとして、
バースに無人搬送車の車体中心部を進入させ、ステーシ
ョンの底部に無人搬送車の車体の端部を進入させる。こ
のようにすれば、小さな面積のバースに無人搬送車を進
入させることができる(請求項2)。
【0010】請求項3の発明では、バースの前後両端に
ステーションを設けるので、無人搬送車から一方のステ
ーションに物品を荷下ろしした後、同じバース内で他方
のステーションから物品を荷積みすることができる。こ
のため無人搬送車システムでの荷積みや荷下ろしの能力
が向上する。
ステーションを設けるので、無人搬送車から一方のステ
ーションに物品を荷下ろしした後、同じバース内で他方
のステーションから物品を荷積みすることができる。こ
のため無人搬送車システムでの荷積みや荷下ろしの能力
が向上する。
【0011】
【実施例】図1〜図3に、実施例の無人搬送車システム
を示す。無人搬送車システムはクリーンルーム内に設け
られ、半導体ウエハや液晶基板等の搬送に用いるものと
し、2は走行路で、4は無人搬送車で、走行路2はここ
では2車線で、追い越し車線を設けていないのが特徴で
ある。
を示す。無人搬送車システムはクリーンルーム内に設け
られ、半導体ウエハや液晶基板等の搬送に用いるものと
し、2は走行路で、4は無人搬送車で、走行路2はここ
では2車線で、追い越し車線を設けていないのが特徴で
ある。
【0012】走行路2に沿って多数の処理装置6を配列
し、処理装置6には走行路2の付近に入庫ステーション
8と出庫ステーション9とを設ける。そしてステーショ
ン8,9の間をバース10とする。図1から明らかなよ
うに、バース10の間口は無人搬送車4の車体長以下
で、据え切りや急カーブ等により、無人搬送車4が走行
路2からバース10内に進入するようにしてある。また
ステーション8,9の底部は空きスペースで、無人搬送
車4はその前後の端部をステーション8,9の底部に進
入させる。
し、処理装置6には走行路2の付近に入庫ステーション
8と出庫ステーション9とを設ける。そしてステーショ
ン8,9の間をバース10とする。図1から明らかなよ
うに、バース10の間口は無人搬送車4の車体長以下
で、据え切りや急カーブ等により、無人搬送車4が走行
路2からバース10内に進入するようにしてある。また
ステーション8,9の底部は空きスペースで、無人搬送
車4はその前後の端部をステーション8,9の底部に進
入させる。
【0013】ここでは走行路2に沿って処理装置6を配
列したが、処理装置6ではなくストッカにステーション
を設ける場合も同様である。またステーション8,9は
一方を入庫専用、他方を出庫専用としたが、入出庫兼用
でも良い。さらに実施例では、バース10の前後両端に
ステーション8,9を設けたが、前後一方の端のみに設
けても良い。なお12は無人搬送車4の中央部に設けた
シールドで、その内部にシャッタを介して出し入れ自在
に、半導体や液晶基板等のカセットが収容してある。
列したが、処理装置6ではなくストッカにステーション
を設ける場合も同様である。またステーション8,9は
一方を入庫専用、他方を出庫専用としたが、入出庫兼用
でも良い。さらに実施例では、バース10の前後両端に
ステーション8,9を設けたが、前後一方の端のみに設
けても良い。なお12は無人搬送車4の中央部に設けた
シールドで、その内部にシャッタを介して出し入れ自在
に、半導体や液晶基板等のカセットが収容してある。
【0014】図2は変形例のバース11を設けた処理装
置7を示し、ここではバース11の間口が無人搬送車4
の車体長とほぼ等しくしてある。バース11の走行路2
から見た間口をより長くすれば、バースへの無人搬送車
の出入り自体は容易になる。ただしバースの面積が増す
のと、バース内で車体を動かさずに荷下ろしと荷積みの
双方の作業を行うのが難しくなる。
置7を示し、ここではバース11の間口が無人搬送車4
の車体長とほぼ等しくしてある。バース11の走行路2
から見た間口をより長くすれば、バースへの無人搬送車
の出入り自体は容易になる。ただしバースの面積が増す
のと、バース内で車体を動かさずに荷下ろしと荷積みの
双方の作業を行うのが難しくなる。
【0015】図1に戻り、無人搬送車4は、走行路2を
通常は白抜き矢印の向きに走行し、バース10へ進入す
る場合、据え切りや急カーブ等により、黒抜き矢印のよ
うに進入する。バース10の間口は無人搬送車4の車体
長よりも短いが、ステーション8,9の底部は空きスペ
ースなので、ここに無人搬送車4の車体の前後を進入さ
せると、狭いバース10に進入できる。これらのため、
走行路2に追い越し車線が不要になり、ステーション
8,9は従前通り走行路2に面した位置に配置できるの
で、処理装置6側のデッドスペースが小さく、バース1
0に割り当てるスペースは、ステーション8,9間のス
ペースのみである。
通常は白抜き矢印の向きに走行し、バース10へ進入す
る場合、据え切りや急カーブ等により、黒抜き矢印のよ
うに進入する。バース10の間口は無人搬送車4の車体
長よりも短いが、ステーション8,9の底部は空きスペ
ースなので、ここに無人搬送車4の車体の前後を進入さ
せると、狭いバース10に進入できる。これらのため、
走行路2に追い越し車線が不要になり、ステーション
8,9は従前通り走行路2に面した位置に配置できるの
で、処理装置6側のデッドスペースが小さく、バース1
0に割り当てるスペースは、ステーション8,9間のス
ペースのみである。
【0016】図3にバース10内の無人搬送車4を示す
と、14は走行車輪で、無人搬送車4に3輪あるいは4
輪設け、走行モータ16で駆動し、レース18により車
体フレームに取り付けられて、車軸の向きを変えること
ができる。このため、無人搬送車4では、各車輪の車軸
の向きをレース18を用いて急激に変えることができ、
据え切りや急カーブが容易である。無人搬送車4の中央
部にはシールド12があり、20は無人搬送車4の前後
双方に設けた一対のシャッタで、22はシャッタ20を
巻き上げるための巻き上げ部である。シールド12の内
部にはスカラーアーム24があり、スカラーアーム24
の先端のハンドには例えばターンテーブル26を設け
て、液晶基板や半導体ウエハ等を収容したカセット28
を、ステーション8,9との間で移載できるようにして
ある。なおスカラアーム24に代えてスライドフォーク
等でも良く、ターンテーブル26はステーション8上と
9上とでカセット28の向きを変えるもので、特に設け
なくても良い。
と、14は走行車輪で、無人搬送車4に3輪あるいは4
輪設け、走行モータ16で駆動し、レース18により車
体フレームに取り付けられて、車軸の向きを変えること
ができる。このため、無人搬送車4では、各車輪の車軸
の向きをレース18を用いて急激に変えることができ、
据え切りや急カーブが容易である。無人搬送車4の中央
部にはシールド12があり、20は無人搬送車4の前後
双方に設けた一対のシャッタで、22はシャッタ20を
巻き上げるための巻き上げ部である。シールド12の内
部にはスカラーアーム24があり、スカラーアーム24
の先端のハンドには例えばターンテーブル26を設け
て、液晶基板や半導体ウエハ等を収容したカセット28
を、ステーション8,9との間で移載できるようにして
ある。なおスカラアーム24に代えてスライドフォーク
等でも良く、ターンテーブル26はステーション8上と
9上とでカセット28の向きを変えるもので、特に設け
なくても良い。
【0017】図3に示すように、無人搬送車4がバース
10内で停止すると、移載作業1で、入庫ステーション
8へカセット28を荷下ろしする。そして無人搬送車4
の車体を固定したまま、移載作業2で出庫ステーション
9からカセット28を受け取り、据え切りや急カーブに
より走行路へと出発する。このようにすればバース10
に1回停止する毎に、入庫ステーション8と出庫ステー
ション9との間で2回の移載を行うことができる。処理
装置6の側から見ると、1つのバース10に対して入庫
ステーションと出庫ステーションとをその両側に設ける
ことができ、処理前のカセットを受け取った後に処理済
みのカセットを引き渡すことができ、極めて効率的であ
る。
10内で停止すると、移載作業1で、入庫ステーション
8へカセット28を荷下ろしする。そして無人搬送車4
の車体を固定したまま、移載作業2で出庫ステーション
9からカセット28を受け取り、据え切りや急カーブに
より走行路へと出発する。このようにすればバース10
に1回停止する毎に、入庫ステーション8と出庫ステー
ション9との間で2回の移載を行うことができる。処理
装置6の側から見ると、1つのバース10に対して入庫
ステーションと出庫ステーションとをその両側に設ける
ことができ、処理前のカセットを受け取った後に処理済
みのカセットを引き渡すことができ、極めて効率的であ
る。
【図1】 実施例の無人搬送車システムでの、走行路と
ステーションとのレイアウトを示す平面図
ステーションとのレイアウトを示す平面図
【図2】 ステーション間隔を拡げた変形例の平面図
【図3】 実施例でのバース内の無人搬送車とステーシ
ョンとを示す、一部切り欠き部付き側面図
ョンとを示す、一部切り欠き部付き側面図
2 走行路 4 無人搬送車 6,7 処理装置 8 入庫ステーション 9 出庫ステーション 10,11 バース 12 シールド 14 走行車輪 16 走行モータ 18 レース 20 シャッタ 22 巻き上げ部 24 スカラーアーム 26 ターンテーブル 28 カセット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/68 H01L 21/68 A // G05D 1/02 G05D 1/02 T
Claims (3)
- 【請求項1】 無人搬送車の走行路の外側に、走行路と
平行に無人搬送車を横付けするためのバースを設けて、
走行路とバースとの間で無人搬送車が出入り自在にし、
かつ前記バースの前後の少なくとも一方の端に、無人搬
送車との間で物品を移載するためのステーションを設け
た、無人搬送車システム。 - 【請求項2】 走行路から見た前記バースの開口の長さ
を無人搬送車の車体の長さ以下とし、かつ前記ステーシ
ョンの底部を空きスペースとして、無人搬送車の車体の
端部が進入し得るようにしたことを特徴とする、請求項
1の無人搬送車システム。 - 【請求項3】 前記バースの前後両端にステーションを
設けたことを特徴とする、請求項1または2の無人搬送
車システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000167281A JP2001341640A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 無人搬送車システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000167281A JP2001341640A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 無人搬送車システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001341640A true JP2001341640A (ja) | 2001-12-11 |
Family
ID=18670458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000167281A Pending JP2001341640A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 無人搬送車システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001341640A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501592A (ja) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | “カット”・トランスポート・ゲー・エム・ベー・ハー | 物品の搬送方法およびこの方法を実施する装置 |
| CN101850883A (zh) * | 2009-03-30 | 2010-10-06 | 株式会社Ihi | 行进车系统 |
| KR101202268B1 (ko) * | 2007-07-05 | 2012-11-19 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송 시스템, 반송 방법 및 반송차 |
| WO2021017778A1 (zh) * | 2019-07-30 | 2021-02-04 | 深圳蓝胖子机器人有限公司 | 货物分拣方法、装置和系统 |
-
2000
- 2000-06-05 JP JP2000167281A patent/JP2001341640A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501592A (ja) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | “カット”・トランスポート・ゲー・エム・ベー・ハー | 物品の搬送方法およびこの方法を実施する装置 |
| KR101202268B1 (ko) * | 2007-07-05 | 2012-11-19 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송 시스템, 반송 방법 및 반송차 |
| CN101850883A (zh) * | 2009-03-30 | 2010-10-06 | 株式会社Ihi | 行进车系统 |
| CN102556664A (zh) * | 2009-03-30 | 2012-07-11 | 株式会社Ihi | 行进车系统 |
| WO2021017778A1 (zh) * | 2019-07-30 | 2021-02-04 | 深圳蓝胖子机器人有限公司 | 货物分拣方法、装置和系统 |
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