JP2001242031A - 気密式の圧力変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 信頼性を向上し、さらに価格が比較的安価な
圧力変換器を提供する。また、可撓性の回路組立体を組
み込んだ電子パッケージを組み立てる改良された方法を
提供する。 【解決手段】 抵抗線歪みゲージセンサー２２が取り付
けられるダイヤフラム１２ａを形成する閉じた受け止め
端によってポート取り付け部１２が形成される。支持部
材１６は受け止め端に受け止められ、センサーと整合さ
れた開口１６ｃを有する平坦な端壁１６ａを備えて形成
される。可撓性の回路組立体２４ａの一部は平坦な端壁
に結合される。電子装置チャンバが連結部１８に形成さ
れ、連結部は反転されて支持部材の平坦な端壁の近くの
選ばれた高さ位置に保持されて、連結部のターミナル２
０に対する可撓性の回路の、および可撓性の回路に対す
る電子素子のはんだ付けを容易にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は一般に圧力変換器に
係わり、特に、圧力変化を検出して、その変化に関係す
る電気信号を発生するために抵抗線歪みゲージ（ストレ
イン・ゲージ）の技術を使用した、またその信号を処理
および増幅するために電子装置を使用した変換器に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】流体圧力の変化を関係する電気信号に変
化するために抵抗線歪みゲージの技術を使用することは
周知であるが、さらに簡単に製造でき、信頼性の向上さ
れた変圧器を提供するという必要性は残っている。与え
られた応用例にそれらをさらに経済的に使用できるよう
にして製造量を増大し、大量生産技術での節約を達成す
るように、変換器の製造費を最小限に抑えることも必要
である。例えば、抵抗線歪みゲージの技術は、監視すべ
き圧力に対して露出されるダイヤフラム部材に１７−４
ステンレス鋼を使用している。しかしながら、この材料
は比較的高価で機械加工が困難であり、従ってそのよう
な材料で形成されることが必要な部材は、必要とされる
材料の量、機械加工時間および廃材量が最小限となるよ
うに設計することが望ましい。他の問題はＯ−リングの
使用に関するものであり、それは緊縮（ｃｒｉｍｐｉｎ
ｇ）過程でシール面を均等に保持することが困難だから
である。

【０００３】変換器のターミナル、電子素子およびセン
サー部材の間の電気的連結に関しては、典型的に１つ以
上の中間連結部材が使用され、その連結には個々の部材
ならびに中間連結部材のはんだ付けが必要であり、各々
のはんだ付け作業は不具合発生の可能性を増大し、信頼
性を低下させる。抵抗線歪みゲージの技術も抵抗線歪み
ゲージのセンサー部材と変換器回路との間にワイヤー結
合の使用を必要としており、可撓性の回路が使用される
場合には、振動を伴うために超音波結合で生じる問題は
可撓性回路に対する信頼性の高い連結を達成することの
妨げとなり、そのために中間連結装置を使用する方向に
促進されることになるが、これは再び述べるが工程段階
を増加し、不具合の発生し得る箇所を増大する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、信頼
性を向上され、さらに価格が比較的安価な圧力変換器を
提供することである。他の目的は、従来技術での上述し
た制限を受けない圧力変換器を提供することである。本
発明のさらに他の目的は、可撓性の回路組立体を組み込
んだ電子パッケージを組み立てる改良された方法を提供
することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】要約すれと、本発明によ
れば、一端に流体受け入れ開口を、また反対側の受け止
め（ペデスタル）端に閉じた一体形成されたダイヤフラ
ムを有する管状のポート取り付け部は、角度配向構成部
と、受け止め端における選ばれた角度配向で支持部材を
受け入れて固定するための固定構成部とを有する。支持
部材はダイヤフラム部分に受け止められた開口の形成さ
れた平坦な端壁面を有し、その開口はダイヤフラム部分
に結合された抵抗線歪みゲージのセンサー部材のガラス
と整合される。可撓性の回路組立体は集積回路を含む電
子素子を取り付けるローブ部分を有する。ローブ部分は
開口を有する支持部材の堅い平坦な端面に結合され、そ
の開口は先に述べた平坦面の開口と整合される。可撓性
の回路組立体の第２のローブ部分は、平坦な端壁面に対
して最適なレベル位置に保持された隣接の反転された連
結部の座面の上に配置され、座面が配置されている電子
装置のチャンバ内に延在する自由先端を備えたターミナ
ルを連結部は有する。自由先端は第２のローブ部分の開
口を通って受け入れられ、可撓性の回路組立体の選ばれ
た部分における電子装置のはんだ付けとともに、第２の
ローブ部分のそれぞれの回路パッドに対してはんだ付け
される。その後抵抗線歪みゲージのセンサー部材と、可
撓性の回路組立体の結合されたローブ部分の回路パッド
との両方に対してワイヤーが超音波結合され、その後シ
リコーン・ゲルによって包み込まれる。

【０００６】第１の実施例の特徴によれば、カップ形状
のＥＭＣシールドは連結部の電子装置チャンバの中に受
け入れられる。このシールドはタブを備えており、タブ
は連結部の側壁の開口を通り、連結部の壁の外側周縁を
超えて外方へ延在している。その後連結部は反転され、
ローブ部分の間を延在する可撓性の回路組立体の中間部
分は絶対的にＵ形状となるように折り曲げられ、連結部
の壁部は支持部材上に固定される。第１の実施例の特徴
によれば、半径方向に延在する取り付けフランジはポー
ト取り付け部に対して気密状態に溶接され、六角形の金
属ハウジング部材が連結部の本体に受け止められ、ＥＭ
Ｃシールド・タブはハウジング部材と電気的連結状態を
確立するようにばね押圧され、ハウジング部材は連結部
本体の側壁に形成されている円周方向に延在する溝内に
配置されたＯ−リングに対して選ばれた荷重を加え、ハ
ウジングは下部周縁に沿って支持フランジに溶接されて
流体シールを形成し、Ｏ−リングに作用する荷重を保持
する。

【０００７】第２の実施例の特徴によれば、下面にはん
だ瘤を有するフリップ−チップＩＣが使用され、このＩ
Ｃは、好ましくは選ばれた電子素子およびターミナルが
リフロー処理などにより連結部に配置された第２のロー
ブ部分の回路パッドに対してはんだ付けされるときに同
時に、可撓性の回路組立体の第１のローブ部分のパッド
に対してはんだ付けされる。その後、エポキシが集積回
路の近くに供給されてＩＣの下側を流動され、硬化する
ことで可撓性の回路組立体とフリップ−チップＩＣダイ
との間に改良された結合を形成する。

【０００８】本発明の付随的な目的、特徴および方法は
以下の説明で一部記載され、一部はその記載から明白と
なるであろう。本発明の目的および利点は、特許請求の
範囲で特に指摘される装置、組み合わせおよび方法によ
って実現され、達成される。

【０００９】この明細書に組み込まれてその一部を成す
添付図面は、本発明の好ましい実施例を示しており、説
明とともに本発明の目的、利点および原理を説明する働
きを有する。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１〜図２５を参照して、本発明
の第１の実施例に従って作られた圧力変換器を説明す
る。図１および図２は組み立てられた変換器１０を示し
ており、この変換器１０は、一体形成されたダイヤフラ
ム部分１２ａを有する第１の閉じた受け止め端と、細長
い開いた連結端１２ｂとを有する金属製の管状のポート
取り付け部１２を含む。支持フランジ１４は、受け止め
端と連結端との中間で気密溶接などによってポートフィ
ッティングに固定的に取り付けられている。支持部材１
６は受け止め端の上に配置され、支持フランジ上に受け
止められている。支持部材１６は、ダイヤフラム部分の
中央部と整合される開口１６ｃの形成された平坦面１６
ｂを有する端壁１６ａを備えている。電気的絶縁材で形
成された連結部１８が支持部材上に配置されており、そ
の連結部と支持部材との間に回路または電子装置を受け
入れるチャンバ１８ａが形成され、またその空所内にＥ
ＭＣシールド２６が受け入れられている。連結部に形成
されたシール溝の中にＯ−リング２８が受け入れられて
おり、金属製のハウジング部材３０が支持フランジに溶
接され、Ｏ−リングには選ばれたシール荷重が与えられ
ている。

【００１１】さらに詳細に説明すれば、図３，図４およ
び図４ａに最もよく見られるように、ポート取り付け部
１２は開いた連結端１２ｂが流体圧を受け止めるチャン
バ１２ｃを形成し、このチャンバ１２ｃは受け止め端に
一体形成されているダイヤフラム部分１２ａまで延在し
ている。ねじ１２’のような適当な取り付け手段が細長
い連結端に形成されている。ダイヤフラム部分１２ａの
外側の平坦面に取り付けられたセンサー組立体２２は、
図４ａに示されるようにガラス材料２２ｂによってダイ
ヤフラム部分に取り付けられており、従来の抵抗線歪み
ゲージの技術に従ってガラス材料は抵抗線歪みゲージ部
材とダイヤフラム面との両方に対して結合されている。
この技術は、所望の材料特性、およびガラス材料とダイ
ヤフラムとの結合を得るために、ダイヤフラムに１７−
７ステンレス鋼を使用することを好ましいとする。

【００１２】１７−４ステンレス鋼の機械加工は困難
で、またその材料は高価であるので、本発明によれば、
フィッティングの環状の棚部１２ｄ上に受け止められて
気密シールを形成するようにその周縁の全周に沿って１
２ｅの位置で溶接される別体の半径方向外方へ延在する
支持フランジ１４を使用することが好ましい。ＡＩＳＩ
３０４ステンレス鋼のようないずれの適当な材料も支持
フランジ１４に使用できる。溶接するフランジを使用し
た結果、一体部品設計の場合には加工の難しさおよび除
去しなければならない材料の量に係わる大費用に対し
て、支持フランジを有する安価なポート取り付け具が達
成される。

【００１３】ポート取り付け部１２の受け止め端は支持
部材１６を配置するために、長手方向に延在する平坦面
１２ｆを含んで成る角度配向構成部を備えており、この
平坦面は本来ならば円筒形である形状を、説明すべき支
持フランジ１４の補完形座面を受け入れるための非円形
形状に変化させている。支持フランジ１４のための半径
方向外方へ延在する環状リップ１２ｈとされた固定手段
も受け止め端に形成されており、また環状リップ１２ｈ
もポート取り付け部１２の平坦面１２ｆと同じ角度位置
に平坦部１２ｋを形成されることが好ましい。

【００１４】図５〜図８に最もよく見られるように、支
持部材１６は、例えばガラスを３０％充填されたＵＴＥ
Ｍ２３１０のような適当な金属またはプラスチック材料
で形成され、実質的に平坦で堅い支持面１６ｂを有する
端壁１６ａを有し、支持面１６ｂは端壁１６ａを貫通す
る一般に長円形の開口１６ｃを備えている。受け止め座
は不連続の内壁部材１６ｄ，１６ｅ，１６ｆで形成され
ている。２つの対向する部材１６ｄ、および部材１６ｅ
が円筒形の一部を形成する一方、部材１６ｆは受け止め
座の平坦面１２ｆに対して補完形である平坦面を含む。
対向する部材１６ｄは、リップ１２ｈ上に受け止められ
る自由先端に半径方向内方へ向かって突出するキャッチ
１６ｉを備えて形成された脚として作用する。傾斜した
カム面１６ｇ（図６）は、支持部材が受け止め端上に配
置されてカム面１６ｇがリップ１２ｈに押圧されたと
き、脚部材１６ｄを外方へ移動させるカム作用が生じる
ように、それぞれのキャッチ１６ｉに連続する面を有し
て自由先端に形成されるのが好ましい。支持部材１６は
荷重を支持する外側壁１６ｈも備えており、この外側壁
１６ｈは端壁１６ａの外周縁から延在している。外側壁
１６ｈは壁部材１６ｄ，１６ｅ，１６ｆよりも僅かに長
い。反対両側の長手方向に延在する溝１６ｋが外側壁１
６ｈに形成されて反対両側に棚部１６ｍが残されてお
り、この棚部１６ｍは説明すべき連結部１８の固定機構
として作用する。支持部材１６の外周縁は複数の長手方
向に延在するリブとされた連結部の配置に関する角度配
向機構も備えており、２つのリブ１６ｎは第１の幅を、
３番目のリブ１６ｏは第２の幅を有し、それらの幅は相
違されている。

【００１５】支持部材１６はポート取り付け部１２の受
け止め端上に配置され、荷重を支持する外側壁１６ｈは
支持フランジ１４で受け止められ、受け止め端は壁部材
１６ｄ，１６ｅ，１６ｆで形成された座に受け止められ
て、開口１６ｃをダイヤフラム部分１２ａの中央部に整
合させて開口１６ｃに対して選ばれた角度配向で固定さ
れる。

【００１６】図９〜図１２を特に参照すれば、ガラスを
３０％充填したＧＥノリル８３０ＧＴＸのような適当な
電気的絶縁材で形成された連結部１８は本体部分１８ｂ
を含んで成り、本体部分１８ｂは複数の細長い導電ター
ミナル２０を互いに引き離した状態に取り付けている。
ターミナルは図２で見て符号１，２，３のように本体部
分１８ｂ上で区別されている。ターミナルは本体部分１
８ｂを通って延在し、説明すべき可撓性の回路組立体２
４に対して連結するための先端部分２０ａを備えてい
る。側壁１８ｃは本体部分１８ｂから長手方向の一方向
へ延在し、露出されているターミナル部材を取り囲むシ
ュラウドを形成している。連結部の外周縁には本体部分
の近くで円形Ｏ−リングが装着される溝１８ｄも形成さ
れており、溝を形成している連結部の外側すなわちシュ
ラウド側の面１８ｅは反対側の面１８ｆより小さな直径
を有して、以下にさらに詳細に説明するように、溝内に
配置されたＯ−リングの選ばれた表面積を露出するよう
になっている。

【００１７】連結部は、変換器の取り付けを用意するた
めに、本体部分１８ｂのシュラウドとは反対側に六角形
のような選ばれた非円形の外周形状の少なくとも一部分
を備え、またそこから延在する複数の脚部分を備えて形
成されることが好ましい。対向する脚部分１８ｈは、Ｅ
ＭＣシールドの着座する棚１８ｋおよび半径方向内方へ
突出するキャッチ１８ｍを有して形成される。脚１８ｎ
は、連結部が組み付けられるとき、可撓性の回路組立体
２４を受け入れる、およびそれらの脚の間に支持部材１
６のリブ１６ｎ，１６ｏを受け入れる通路を形成するた
めに、ならびに以下に詳細に説明するように、連結部を
超えてばねタブ２６ｄが伸長できるようにするために、
互いに十分に引き離されている。組み立てられるとき、
端壁１６ａの外周部分は棚１８ｋに受け止められ、また
キャッチ１８ｍは棚部１６ｍを超えて受け入れられて、
連結部を支持部材およびポート取り付け部に対して選ば
れた角度配向位置に固定する。

【００１８】図１３および図１４において、ＡＩＳＩ３
０４ステンレス鋼のような適当な金属材料で形成された
ＥＭＣシールド２６は端壁２６ａおよび端壁から垂下す
る側壁２６ｂを有して全体的にカップ形状をしており、
側壁は半径方向外方へ延在するフランジ２６ｃを有して
形成されており、フランジから複数のばねタブ２６ｄが
突出している。切欠き部分２６ｅは可撓性の回路組立体
２４がそれを通って電子回路キャビティすなわちチャン
バ１８ａへ挿入できるようにするために備えられてい
る。１つの切欠き部分２６ｅしか必要とされないが、そ
のような部分を１２０゜間隔で備えることで連結部内に
シールドを適当に配向させることが容易になる。可撓性
の回路組立体が以下に説明するように取り付けられるま
では、シールド２６は変換器組立体内に配置されない。

【００１９】図１５で可撓性の回路組立体２４は、中間
ストリップ部分２４ｃで相互に連結された第１および第
２のローブ部分２４ａ，２４ｂを含む可撓性の基板を含
んで成り、この基板はポリイミドのような適当な電気的
絶縁材で形成されている。ローブ部分２４ａ，２４ｂは
追加されたポリイミド層のような補強材料を含むことが
好ましく、ローブ部分２４ａがピラルックスＬＦ０２０
０のような接着剤を含む場合にはこの層材料に対して基
板材料が結合される。銅製の、好ましくはニッケルおよ
び金でメッキした適当な回路トレース２４ｄが基板に付
与される。

【００２０】一般に長円形の開口２４ｅを支持部材の開
口１６ｃに整合させてローブ部分２４ａは支持部材１６
の平坦面１６ｂに結合される。

【００２１】図１６、図１６ａおよび図１７を参照すれ
ば、可撓性の回路組立体２４のローブ部分２４ａが支持
部材１６に結合されて成る支持部材１６を含む部分組立
体が、図１６に示されるように取り上げ／配置機構（図
示せず）による等の方法で適当な支持部材４上に配置さ
れる。図１に示されるように、支持部材に対して一旦組
み立てられて最終的な配向に対し逆にされた連結部１８
が支持部材４上の部分組立体に隣接されて配置され、ロ
ーブ部分２４ｂは連結部の座面１８ｒ上に受け止めら
れ、導電ターミナル２０の先端部分２０ａはローブ部分
２４ｂのそれぞれの開口２４ｅを通って延在され、中間
部分２４ｃは連結部の脚１８ｎの間に収められる。連結
部の座面１８ｒおよび支持部材の座面１６ｂが実質的に
同一平面内に位置され、可撓性の回路組立体が実質的に
平坦な状態で延在して、リフローはんだ付けなどによっ
てローブ部分２４ｂ上のそれぞれの導電パッドならびに
一体化された回路Ｕ１に対する先端部分２０ａのはんだ
付け、およびそれぞれの回路トレード２４ｄに対するキ
ャパシタＣのような各種の電子素子のはんだ付けを容易
にできるように、支持部材１６および連結部１８は配置
される。従って、上述の手順を使用することで、変換器
１０の全てのはんだ付けは１度に行われ、可撓性の回路
とセンサー部材との間の中間的な連結は以下に説明する
ワイヤー・ボンディング作業を除いて行われない。

【００２２】これに代えて、望まれるならば上述したは
んだ付け作業は図１６ａに示されるように、支持部材１
６が既にポート取り付け部１２にスナップ式に取り付け
られて固定され、連結部１８、および支持部材１６が固
定されたポート取り付け部１２の副組立体を部材４’が
支持した状態で、遂行できる。

【００２３】はんだ付け作業に続いて図１６の手順が続
くならば、副組立体の支持部材１６はポート取り付け部
１２の検出端部に配置されてそれに固定される。

【００２４】図１８および図１９を参照すれば、その後
支持部材１６の開口１６ｃおよび可撓性の回路組立体の
切欠き２４ｅを通してセンサー部材２２ａが、超音波結
合が好ましいが適当な取り付け方法により、アルミニウ
ムのような適当な材料で形成された導電ワイヤー２２ｂ
によってローブ部分２４ａのそれぞれの回路パッドに対
して連結される。可撓性の回路組立体２４に対する超音
波結合は、結合過程で与えられる振動が結合に悪影響を
及ぼさないように、支持部材１６の平坦で堅い表面１６
ｂにローブ部分２４ａを結合することで実行される。さ
らに、ダイヤフラム部分に対する所定の角度配向で可撓
性の回路ローブがワイヤー連結によって結合された支持
部材１６は、ワイヤー結合にいかなる捩り力も伝わるこ
とを防止する。可撓性の回路組立体２４にセンサー部材
２２ａを結合するワイヤー・ボンディング作業の後、ワ
イヤー２２ｂ、ワイヤーの結合部、センサー部材２２
ａ、ならびに開口１６ｃおよび開口２４ｃは図２０〜図
２３に見られるようにできて絶縁材のシリコーン・ゲル
２２ｄのような適当なゲルによって包み込まれる。

【００２５】電子装置の取り付けが完了した後、ＥＭＣ
シールド２６は図２３および図回路組立体２４に示すよ
うに連結部１８内に配置され、環状リップ２６ｃは棚１
８ｋに受け止められ、ばねタブ２６ｄは壁部分１８ｎ，
１８ｎの間を壁部外周を超えて外方へ延在される。可撓
性の回路組立体の中間ストリップ部分２４ｃは切欠き部
分２６ｅの１つと整合される。その後、図２６に見られ
るように連結部１８は反転され、脚部分１８ｈのキャッ
チ１８ｍは棚部１６ｍに対してスナップ式に取り付けら
れる。その後、Ｏ−リング２８がＯ−リング座すなわち
溝１８ｄに挿入され、図２５の金属製のハウジング３０
が図１に見られるように連結部１８の上に配置される。
ハウジング３０はＡＩＳＩ３０４のような適当な金属材
料で形成された端部が開口した管状部材で、第１の端部
に円形の外径を有する外方へ向かって延在する環状フラ
ンジ３０ａを有して形成されており、反対側の円形の第
２の端部３０ｂは連結部の本体の部分１８ｅよりも僅か
に大きい内径を有する。円形端部３０ｂで形成された小
さな直径を有する截頭円錐形の傾斜面３０ｃは、以下に
説明するようにシール／力伝達面として作用する。組み
合わされる連結部の非円形部分１８ｇと同じ形状である
のが好ましい側壁３０ｄは、フランジ３０ａから連結部
の部分１８ｆよりも僅かに大きい内径を有する中間の円
形の壁部３０ｅまで延在しており、壁部３０ｅは截頭円
錐壁３０ｃの大きな直径の端部と相互に連結される。ハ
ウジング部材のフランジ３０ａはその全周に沿って支持
フランジ１４に溶接されて気密シールを形成する（図１
参照）。截頭円錐壁３０ｃとハウジング部材３０の第１
の端部との間隔距離は、選ばれた荷重がＯ−リングに作
用して、効果的な流体密シールを形成するとともに、部
材のスタック全体の軸線方向の荷重を保持するように選
ばれる。Ｏ−リングを経てハウジング部材３０に作用す
る荷重は、棚１８ｋを経て伝えられた力によって可撓性
の回路組立体２４のアース・トレースとＥＭＣシールド
２６のフランジ２６ｃとの完全な電気的連結の保持を助
成する。図２３および図２４に示されるように、連結部
１８の側壁部材を超えて外方へ延在するＥＭＣシールド
のタブ２６ｄは、ハウジング部材３０の内側壁と効果的
な電気的係合を確立するようにばね押圧される。

【００２６】図２７〜図４０に示される第２の実施例
は、例えば車輌のブレーキ圧力変換器の応用例に使用さ
れる場合のように、使用空間を特に制限される或る種の
応用例に有用な最小化が図られた変換器の製造を特に可
能にする構造を含んで成る。第２の実施例により作られ
た変換器４０は、図２７〜図２９に見られるように、一
端から受け止め端４２ｃのダイヤフラム部分４２ｂへ延
在する穴４２ａを有する管状のポート取り付け部４２を
含んで成る。抵抗線歪みゲージのセンサー部材は第１の
実施例と同様にダイヤフラム部分４２ｂに取り付けられ
る。支持部材４４は受け止め端４２ｃに受け止められ、
電気的絶縁材で作られた連結部４６は支持部材４４に受
け止められる。金属製の管状のハウジング部材５０は連
結部の本体部分の上に配置され、ポート取り付け部４２
の環状の取り付け棚へ延在する。ばねリング５２および
ガスケット５４は、ポート取り付け部４２の外周面に形
成されているそれぞれの環状溝に受け入れられる。適当
なプラグ５６がポート取り付け部４２の穴４２ａに受け
入れられる。回路チャンバ４６ｂは連結部４６に形成さ
れ、可撓性の回路組立体５８と複数のターミナルとを受
け入れる。ターミナルは間隔を隔てた状態で連結部を通
して延在し、それぞれ円形の接触部分４８ｈ，４８ｆ，
４８ｄを有しており、これらの接触部分は順次に小さく
なる直径を有しており、全体的にテーパーを付された細
長い連結部の露出した表面上の長手方向に間隔を隔てた
箇所に配置されている。

【００２７】図３３〜図３６に最もよく見られるよう
に、支持部材４４は第１の実施例の支持部材１６と似て
おり、支持部材１６に使用されるようないずれかの適当
な金属で作られる。支持部材４４は端壁４４ａを有し、
この端壁はダイヤフラム部分４２ｂに取り付けられた抵
抗線歪みゲージのセンサー部材と整合される長円形の開
口４４ｃを形成された堅い平坦な端面４４ｂを有する。
管状の側壁４４ｄは端壁４４ａから延在し、ある程度の
可撓性を与えるために壁の自由端から長手方向へ延在す
るスロット４４ｅを形成されている。外側の長手方向へ
延在するクラッシュ・リブ４４ｍは、製造時の補助を目
的としてハウジング部材５０と締り嵌めを形成する。ク
ラッシュ・リブ４４ｍはハウジングを支持部材に保持
し、以下に説明するようにハウジング部材をポート取り
付け部４２に溶接する前に連結部を所定位置に保持する
ことを助成する。半径方向内方へ延在する固定用キャッ
チ４４ｆは側壁の先端部の対向する位置に配置される。
長手方向に延在する平坦面４４ｇも側壁内側に形成され
て、非円形の角度配向構成部を形成する。この平坦面４
４ｇは第１の実施例と同じようにポート取り付け部の受
け止め端の平坦面と協働する。この受け止め端の平坦面
は、選ばれた配向でダイヤフラム部分４２ｂに抵抗線歪
みゲージのセンサー部材を配置するための基準面として
も使用される。支持部材４４は、図２９に示されるよう
に、環状の半径方向外方へ延在するフランジ４２ｄに受
け止められる。

【００２８】適当な電気的絶縁材で形成された連結部４
６は細長いターミナル取り付け部４６ａを有し、このタ
ーミナル取り付け部には３つの導電ターミナル４８が間
隔を隔てた状態で取り付けられている。接触面を間隔を
隔てて引き離すために、各接触面は次第に直径が減少す
る円筒部分を有する。図２９および図３２を参照すれ
ば、ターミナル４８ａはターミナル取り付け部４６ａの
外径の小さい端部に配置された円筒形の接触部分４８ｄ
を含み、その接触部分から細長い部分４８ｅが取り付け
部４６ａを通って回路チャンバ４６ｂ内へ延在してい
る。隣の円筒形の接触部分４８ｆ僅かに大きい外径を有
し、接触部分４８ｄから長手方向へ間隔を隔てられてい
る。接触部分４８ｆは取り付け部４６ａを通って回路チ
ャンバ４６ｂ内へ延在する細長い部分４８ｇ（図２９）
を有する。隣の円筒形の接触部分４８ｈはさらに小さい
外径を有し、接触部分４８ｆから長手方向へ間隔を隔て
られ、また取り付け部４６ａを通って回路チャンバ４６
ｂ内へ延在する細長い部分（図示せず）を有する。アー
ス・リング４８ｍは半径方向外方へ延在する環状の棚４
６ｃ上に配置される。側壁４６ｄは突起４６ｅを含み、
この突起は支持部材４４の凹部４４ｋに受け入れられる
（図３３）。開口４６ｆは側壁すなわち連結部４６に形
成され、可撓性の回路組立体５８のための壁を通しての
アクセスを可能にする。

【００２９】図３８で、ＡＩＳＩ３０４Ｌステンレス鋼
のような電気的絶縁材で形成された開いた管状部材であ
るハウジング５０は、一端に取り付けフランジ５０ａを
有し、反対端５０ｃに複数の内方且つ下方へ突出したタ
ブ５０ｂを有する。図２９に見られるように、ハウジン
グ部材は連結部４６および支持部材４４の上に受け止め
られ、取り付けフランジ５０ａはポート取り付け部４２
のショルダ４２ｅ上に受け止められ、タブ５０ｂは導電
性の接触リングすなわちアース・リング４８ｍに対して
押圧される。ハウジングは溶接などによってポート取り
付け部４２に適当に取り付けられる。端部５０ｃは一般
に平坦面に形成されて変換器を設置するための工具の受
け入れを容易にし、またブレーキ装置等の取り付け部に
挿入するために必要とされる力に耐えるように作られ
る。

【００３０】ポート取り付け部４２は、変換器を流体圧
力源に取り付けるのに使用されるばねリング５２を受け
入れるための円周方向に延在する環状溝、および流体シ
ールを形成するためにＯ−リング５４を受け入れるため
のＯ−リング溝４２ｇを形成されている。プラグ５６は
ポート取り付け部の穴４２ａ内に配置されて盲穴の体積
のほとんどを占め、また監視する流体がセンサーのダイ
ヤフラム部分を加圧すできるようにする通路を備えてい
る。プラグ５６は弾性材料のような適当な材料で形成さ
れ、また半径方向に延在するグリップ・ノブ５６ａ（図
３７）を備えてポート取り付け部と効果的に相互固定す
るために半径方向の締り嵌めを形成する一方、穴の内部
に通路を形成する。望まれるならば、適当な係合手段お
よび長手方向に延在する通路を有するプラスチックまた
は金属のような他の材料も使用できる。留意されること
は、ダイヤフラムの直径を定める内側の穴部分と、内径
の軸線方向長さと軸線方向の長さが等しいか長い外側の
直径部分とを有して穴４２ａが形成され、切断流体の流
れおよび機械加工チップの除去を可能にすることで機械
加工を容易にすることである。

【００３１】第１の実施例の変換器１０と同じように、
支持部材４４をポート取り付け部４２の受け止め端にス
ナップ式に取り付けることで、変換器４０は組み立られ
る。可撓性の回路組立体５８のローブ部分５８ａは支持
部材の堅い平坦面４４ｂに固定的に結合され、部分組立
体は第１の実施例の場合と同じように逆の状態の連結部
４８に隣接して配置される。また図３９および図４０に
示されるように、ローブ部分５８ａ，５８ｂの座面は基
本的に同一平面に位置される。可撓性の回路組立体５８
は可撓性の回路組立体２４と同様に形成され、ポリイミ
ドのような補強材料で形成されたローブ部分５８ａ，５
８ｂは支持部材４４に取り付けるための接着剤の下層を
さらに有す。上述した第１の実施例の場合と同様に支持
部材の開口４４ｃおよびダイヤフラム部分４２ｂに結合
された抵抗線歪みゲージのセンサー部材（図示せず）と
整合されるように長円形の開口５８ｄがローブ部分５８
ａに形成されている。可撓性の回路組立体は選ばれた回
路トレースおよび結合パッド６０を備えている。選ばれ
た電子装置、例えばキャパシタＣ１，Ｃ２，Ｃ４，Ｃ
５，Ｃ６はローブ部分５８ｂに配置され、下面にはんだ
瘤を有するフリップ−チップ集積回路Ｕ１はローブ部分
５８ａのそれぞれの結合面に配置されてリフロー手順に
よる等の方法ではんだ付けされる。エポキシ材料が例え
ばフリップ−チップＵ１’の２つの反対両縁に沿って集
積回路に隣接して付与されて、その材料がダイの下側を
はんだ瘤の間で流動し、可撓性の回路組立体に対する連
結を向上させることが好ましい。第１の実施例のように
適当なワイヤー、例えばアルミニウム、が抵抗線歪みゲ
ージのセンサー部材の間に結合され、シリコーンのよう
な適当なゲルによって包み込まれる。

【００３２】連結部４６はその後反転され、可撓性の回
路組立体の中間部分５８ｃはＵ形状となるように折り曲
げられ、連結部の脚４６ｅは支持部材の凹部４４ｋに受
け入れられる。その後、ハウジング部材５０は連結部お
よび支持部材の上に配置されてポート取り付け部４２に
溶接され、プラグ５６が挿入されて組立体が完成され
る。

【００３３】従って上述から本発明により作られた変換
器は、センサー部材を支持し、意図される応用例に関し
て周囲からの適当な保護を行い、また与えられる費用で
製造できるパッケージを有することが分かるであろう。
第１の実施例に関して保護とは、外気の侵入を防止する
シール、ＥＭＩに対するシールド、および、例えば自動
車のボンネット内の環境に係わるその他の共通の条件に
耐えることを含む。このパッケージは簡単な取り付け、
さらには大きな組み立てトルクに対する抵抗を可能にす
る。第２の実施例では、パッケージを所定位置に押圧す
ることだけで取り付けられる。第１の実施例に関して
は、フランジはねじの形成されたポートに溶接され、こ
のことは、１体部品の設計の場合には除去される材料の
体積が生じるので、１体部品に比較して安価な部品を提
供する。１７−４ステンレス鋼の機械加工は困難で、材
料は比較的高価である。両実施例で、本発明ははんだ付
けおよびワイヤー結合のために適当な高さおよび配向で
可撓性の回路を所定位置に保持する相互固定機構を使用
した支持部材の特徴を提供する。支持部材における相互
固定機構はまた、取り付けられた可撓性回路の動きを最
小限に抑え、それ故にワイヤー結合が損傷する可能性を
減少させる。

【００３４】スナップ式に連結部／支持部材を固定する
特徴は、連結部を支持部材の上にスナップ式に取り付け
られるようにして、その両者の重ね合わせ体すなわちス
タックが互いに保持されてその後の処理を容易に行える
ようにする。これは、可撓性の回路が連結部をスプリン
グ・バックさせてＯ−リングの自動的な取り付けを阻害
し、六角形のハウジング部材の追加をさらに困難にさせ
るような状況が発生するのを回避する。

【００３５】第１の実施例では、回路と六角形のハウジ
ング部材（ケースＧＮＤ）との間の電気的連結が、ハウ
ジング部材に対して押圧されるばね荷重式ＥＭＣシール
ドを使用して津強欲行われる。六角形のハウジング部材
は納得の行く価格のステンレス鋼材料で作ることがで
き、従来のメッキした鋼に比較して環境に対するかなり
良好な抵抗を与える一方、比較的高価なメッキ段階を回
避する。スタンプ加工によってハウジング部材を六角形
の形状に形成することは、対応する形状の連結部ととも
に使用できる六角形の内部形状を与え、これにより配向
ならびに回転防止と、取り付けのためのトルク付与手段
を与える。最終的な組み立て部材として六角形のハウジ
ングを使用することは組立体を反転して、抵抗線歪みゲ
ージ部材に対するアクセスを阻害する部材壁のない状態
を得ることを可能にする。この方法は、可撓性の回路お
よび連結部がはんだ付けおよびワイヤー取り付けの間に
完全に折り曲げのない状態となることを可能にし、この
状態はワイヤー結合を助成する。別の六角形部材の設計
は、Ｏ−リングがＲＴＶまたは他のシーラントよりも環
境シールを形成するのに使用できるようにする。１体部
品の六角形本体は典型的に緊縮して、Ｏ−リング・シー
ルの使用を困難にする。ポート取り付け部または本体と
別個の六角形部材を備えることは、受け止め端が六角形
の高さを増すことなくポート取り付け部の１体部分とし
て機械加工できるようにする。六角形の本体を使用する
ことは、受け止め部が溶接されるか、受け止め部が六角
形本体の頂部に機械加工されねばならないことを要求
し、従って背の高いパッケージほど多量の鋼を要求する
ことになる。壁および受け止め部を備えた１体部品の六
角形の本体を作ることは実際的でなく、ならびに費用が
掛かりすぎることになる。

【００３６】本発明は特定の好ましい実施例に関して説
明されたが、変形例および変更例が当業者に明白となる
であろう。例えば、フリップ−チップＩＣを堅い支持部
材に結合された可撓性の回路の一部にリフロー式にはん
だ付けすることは、圧力変換器以外で電子パッケージに
使用できる。同様に、超音波結合方法では振動が与えら
れるので、結合した連結部に対する悪影響を防止するた
めに堅い表面に結合された可撓性の回路の一部に対して
ワイヤー結合する特徴は、さまざまな電子パッケージで
使用できる。それ故に、特許請求の範囲はそのような変
形例および変更例の全てを含むように従来技術の観点か
ら可能な限り広く解釈されることが意図される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例により作られた変換器
の、図２の線１−１における横断面図である。

【図２】図１の変換器の頂平面図である。

【図３】図１に示されたポート取り付け部および支持フ
ランジの横断面図である。

【図４】図３のポート取り付け部および支持フランジの
頂平面図である。

【図４ａ】図４の線４ａ−４ａに沿う細長い横断面図で
ある。

【図５】図１の変換器の支持部材の頂平面図である。

【図６】図５の線６−６に沿う横断面図である。

【図７】図５の線７−７に沿う横断面図である。

【図８】図１の変換器の支持部材の底平面図である。

【図９】図１の変換器の連結部の頂平面図である。

【図１０】図９の線１０−１０に沿う横断面図である。

【図１１】図１の変換器の連結部の底平面図である。

【図１２】図９の線１２−１２に沿う横断面図である。

【図１３】図１の変換器のＥＭＣシールドの平面図であ
る。

【図１４】図１３の線１４−１４に沿う横断面図であ
る。

【図１５】平坦で曲がりのない状態で示された図１の変
換器の可撓性の回路組立体の頂平面図である。

【図１６】好ましい組み立て方法を説明するために使用
された部分的に組み立てられた変換器の横断面図であ
る。

【図１６ａ】図１６と同様な、好ましい変更された組み
立て方法を説明するのに使用される、部分的に組み立て
られた変換器の図１７の線１６ａ−１６ａの横断面図で
ある。

【図１７】図１６ａの部分的に組み立てられた変換器の
頂平面図である。

【図１８】図１６ａと同様であるが、異なる組み立て段
階において示された部分的に組み立てられた変換器の横
断面図である。

【図１９】図１７と同様であるが、異なる組み立て段階
において示された部分的に組み立てられた変換器の頂平
面図である。

【図２０】図１６ａと同様であるが、異なる組み立て段
階において示された部分的に組み立てられた変換器の横
断面図である。

【図２１】図１７と同様であるが、異なる組み立て段階
において示された部分的に組み立てられた変換器の頂平
面図である。

【図２２】図２０の断片の拡大した断面図である。

【図２３】図１６ａと同様であるが、異なる組み立て段
階において示された部分的に組み立てられた変換器の横
断面図である。

【図２４】図１７と同様であるが、異なる組み立て段階
において示された部分的に組み立てられた変換器の頂平
面図である。

【図２５】図１の構造の金属製の外側ハウジング部材を
通る長手方向の横断面図である。

【図２６】外側ハウジング部材を除いた変換器組み立の
図１と同様な横断面図である。

【図２７】本発明の第２の実施例に従って作られた変換
器の前立面図である。

【図２８】本発明の第２の実施例に従って作られた変換
器の頂平面図である。

【図２９】図２８の線２９−２９に沿う横断面図であ
る。

【図３０】第２の実施例の連結部の前立面図である。

【図３１】第２の実施例の連結部の頂平面図である。

【図３２】図３１の線３２−３２に沿う横断面図であ
る。

【図３３】第２の実施例のポート取り付け部の受け止め
端に受け止められた支持部材の頂平面図である。

【図３４】図３３の線３４−３４に沿う横断面図であ
る。

【図３５】図３３の線３５−３５に沿う横断面における
側立面図である。

【図３６】第２の実施例のポート取り付け部の受け止め
端に受け止められた支持部材の底平面図である。

【図３７】第２の実施例のポート取り付け部に受け入れ
られたプラグ部材の立面図である。

【図３８】第２の実施例の外側ハウジング部材の長手方
向の横断面図である。

【図３９】第２の実施例にして作られた部分的に組み立
てられた変換器の立面図である。

【図４０】第２の実施例にして作られた部分的に組み立
てられた変換器の頂平面図である。

【符号の説明】

１０ 圧力変換器 １２ ポート取り付け部 １２ａ ダイヤフラム部分 １２ｂ 連結端 １２ｃ 流体圧受け止めチャンバ １２ｄ 棚部 １２ｆ 平坦面 １２ｈ 環状リップ １２ｋ 平坦部 １４ 支持フランジ １６ 支持部材 １６ａ 端壁 １６ｂ 平坦面すなわち座面 １６ｃ 開口 １６ｄ，１６ｅ，１６ｆ 壁部材 １６ｇ カム面 １６ｈ 外側壁 １６ｉ キャッチ １６ｍ 棚部 １６ｎ リブ １８ 連結部 １８ａ 電子装置受け入れチャンバすなわちキャビティ １８ｂ 本体部分 １８ｃ 側壁 １８ｄ 溝 １８ｅ シュラウド側の面 １８ｆ 反対側の面 １８ｇ 非円形部分 １８ｈ 脚部分 １８ｋ 棚 １８ｍ キャッチ １８ｎ 脚 １８ｒ 座面 ２０ 導電ターミナル ２０ａ 先端部分 ２２ センサー組立体 ２２ａ センサー部材 ２２ｂ ガラス材料 ２４ 可撓性の回路組立体 ２４ａ，２４ｂ ローブ部分 ２４ｃ 中間ストリップ部分 ２４ｄ 回路トレード ２４ｅ 開口 ２６ ＥＭＣシールド ２６ａ，２６ｂ 端壁 ２６ｃ フランジ ２６ｄ タブ ２６ｅ 切欠き部分 ２８ Ｏ−リング ３０ ハウジング部材 ３０ａ フランジ ３０ｂ 円形端部 ３０ｃ 傾斜面 ３０ｄ 側壁 ３０ｅ 壁部 ４０ 変換器 ４２ ポート取り付け部 ４２ａ 穴 ４２ｂ ダイヤフラム部分 ４２ｃ 受け止め端 ４２ｄ フランジ ４４ 支持部材 ４４ａ 端壁 ４４ｂ 端面 ４４ｃ 開口 ４４ｄ 側壁 ４４ｅ スロット ４４ｆ キャッチ ４４ｇ 平坦面 ４６ 連結部 ４６ａ ターミナル取り付け部 ４６ｂ 回路チャンバ ４６ｃ 棚 ４６ｄ 側壁 ４６ｆ 開口 ４８ ターミナル ５０ ハウジング部材 ５０ａ 取り付けフランジ ５０ｂ タブ ５０ｃ 端部 ５２ ばねリング ５４ Ｏ−リング ５６ プラグ ５６ａ グリップ・ノブ ５８ 回路組立体 ５８ａ，５８ｂ ローブ部分 ５８ｃ 中間部分 ５８ｄ 開口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トマス アール、マハー アメリカ合衆国 マサチューセッツ、ルホ ボス、メイプル レーン 25

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 全体的に１平面内に位置するダイヤフラ
   ム部分で形成された閉じた受け止め端、および監視すべ
   き流体圧力源に変換器を取り付けるための細長い連結部
   分を含む全体的に管状のポート取り付け部であり、前記
   受け止め端が固定構成部および角度配向構成部を有して
   形成され、受け止め端と連結部分との中間にてポート取
   り付け部から半径方向外方へ支持フランジが延在された
   前記ポート取り付け部と、 受け止め端に受け止められる支持部材にして、受け止め
   端に対して支持部材の選ばれた角度配向を与えるため
   に、角度配向構成部を形成された外側壁、および受け止
   め端の角度配向構成部と補完形の角度配向構成部を形成
   された受け止め座とを有する支持部材であって、ポート
   取り付け部の固定構成部と協働してポート取り付け部お
   よび支持部材を互いに固定するために固定構成部の形成
   された支持部材から内側脚が延在しており、ダイヤフラ
   ムが位置する平面と全体的に平行な平面内に位置すると
   共に、そこを通りダイヤフラム部分の中央部と整合され
   る開口を形成されている平坦で比較的堅い表面を有する
   前記支持部材と、 互いに間隔を隔てて複数の導電ターミナルを取り付ける
   本体を有する電気的絶縁材で形成された連結部であっ
   て、各ターミナルは可撓性の回路組立体を受け止める本
   体部分の座を通って延在する端部を有し、複数の脚が本
   体部分から延在し、脚は角度配向構成部および固定構成
   部を有し、脚は支持部材に対して選ばれた連結部の角度
   配向で支持部材に固定的に受け止められる前記連結部
   と、 中間ストリップ部分で互いに連結された第１および第２
   の部分を有する可撓性の回路組立体であって、第１の部
   分は支持部材の平坦で比較的堅い表面に結合され、第１
   の部分は支持部材の平坦面の開口と整合される開口を有
   し、第２の部分は連結部における可撓性の回路組立体の
   座に受け止められ、ターミナルにはんだ付けされた導電
   トレースを有し、電子素子が第１の部分の導電トレース
   にはんだ付けされている前記可撓性の回路組立体と、 ダイヤフラム部分に配置され、センサー部材および第１
   の部分の導電トレースの間を延在してそれらに結合され
   たワイヤーを有する前記センサー部材と、を含んで成る
   圧力変換器。
2. 【請求項２】 支持フランジがポート取り付け部に溶接
   された請求項１に記載された圧力変換器。
3. 【請求項３】 ポート取り付け部の連結部分がスクリュ
   ーねじで連接された請求項１に記載された圧力変換器。
4. 【請求項４】 ポート取り付け部の連結部分が開口端を
   有する穴を形成され、流体通路内を長手方向に延在する
   プラグがその穴に受け入れられた請求項１に記載された
   圧力変換器。
5. 【請求項５】 プラグが弾性材料で形成され、実質的に
   穴を充満している請求項４に記載された圧力変換器。
6. 【請求項６】 連結部はＯ−リング座である溝を形成さ
   れ、そのＯ−リング座である溝にＯ−リングが配置され
   ており、また長手方向の軸線を有し、ほぼ円形の反対両
   端部を有する管状のハウジング部材を含み、一方の端部
   はＯ−リング座である溝に受け入れられたＯ−リングと
   整合された截頭円錐面を有し、他端部はポート取り付け
   部の支持フランジに固定的に取り付けられた半径方向に
   延在するフランジを有し、ハウジング部材を支持フラン
   ジに取り付けることで選ばれた荷重が截頭円錐面を経て
   Ｏ−リングに作用するように、ハウジング部材の反対両
   側の２つの端部の長手方向の間隔距離が選ばれる請求項
   １に記載された圧力変換器。
7. 【請求項７】 ハウジング部材が金属製で、ハウジング
   部材の反対両端の中間の位置における長手方向軸線に直
   角な横断面が多角形である請求項６に記載された圧力変
   換器。
8. 【請求項８】 自由先端および底壁とを備えた管状の側
   壁を有し、一般にカップ形状の金属製のシールドが可撓
   性の回路組立体の一部の上に配置された回路框体を形成
   する連結部に受け入れられ、自由先端は第１の部分と係
   合し、少なくとも１つのタブが側壁から外方へ延在して
   管状のハウジング部材に対して押圧される請求項６に記
   載された圧力変換器。
9. 【請求項９】 可撓性の回路組立体がアース導電トレー
   スを含み、シールドの管状の側壁の自由先端はアース導
   電トレースと整合され、係合状態となるように押圧され
   る請求項８に記載された圧力変換器。
10. 【請求項１０】 連結部は本体に形成された半径方向外
    方へ延在する棚を含み、本体はその棚の上にターミナル
    層を備えており、金属製の開口端を有する管状ハウジン
    グは内方へ延在するタブを一端に有しており、ハウジン
    グは連結部および支持部材の上に受け止められてタブが
    棚の上のターミナル層に対して押圧される請求項１に記
    載された圧力変換器。
11. 【請求項１１】 平坦な比較的堅い表面を有する支持部
    材と、 支持部材と相互に連結され、両者間に電子装置受け入れ
    チャンバを形成する電気的絶縁材で形成された連結部で
    あって、複数の導電ターミナルを互いに間隔を隔てて取
    り付ける本体部分を有し、電子装置受け入れチャンバ内
    で本体部分の可撓性回路組立体を受け止める座へ向かっ
    て延在する端部を各ターミナルが有している前記連結部
    と、 中間ストリップ部分によって連結された第１および第２
    の部分を有する可撓性の回路組立体であって、第１の部
    分は支持部材の平坦で比較的堅い表面に結合され、第２
    の部分は可撓性回路組立体を受け止める座に受け止めら
    れ、ターミナルに対してはんだ付けされた導電トレース
    を有している前記可撓性の回路組立体と、 可撓性の回路組立体の導電トレースに対してはんだ付け
    された電子部材とを含んで成る電子パッケージ。
12. 【請求項１２】 電子部材がフリップ−チップＩＣを含
    む請求項１１に記載された電子パッケージ。
13. 【請求項１３】 電子部材がワイヤー結合ＩＣを含む請
    求項１１に記載された電子パッケージ。
14. 【請求項１４】 ダイヤフラム部分で形成された閉じた
    受け止め端、および流体圧力源を有する本体にポート取
    り付け部を取り付けるための細長い連結部分を有する一
    般に管状の金属製のポート取り付け部であり、受け止め
    端は外方へ延在する固定フランジおよび非円形の外周縁
    を有して形成され、受け止め端と連結部分との中間にて
    ポート取り付け部から半径方向外方へ支持フランジが延
    在された前記ポート取り付け部と、 受け止め端の外周縁と補完形の非円形の周縁を有して形
    成された受け止め座を有し、長手方向に延在する内側脚
    はポート取り付け部の固定フランジと固定的に係合する
    半径方向内方へ延在するキャッチの形成された自由先端
    を有している支持部材であって、ダイヤフラム部分の中
    央部分と整合される開口の形成された平坦面を備えた壁
    を有する前記支持部材と、 支持部材の平坦面に連結され、支持部材の平坦面の穴と
    整合される穴を有して形成されている第１の部分を有す
    る可撓性の回路組立体であって、可撓性の回路基板は支
    持部材から離れる方向へ延在するターミナル取り付け部
    分、ポート取り付け部の受け止め端のダイヤフラム部分
    に取り付けられた抵抗線歪みゲージのセンサー部材、お
    よび抵抗線歪みゲージのセンサー部材に結合され、可撓
    性回路組立体へ向かって延在されて結合されたワイヤー
    ・リードを有している前記可撓性の回路組立体と、 互いに間隔を隔てて複数の導電ターミナルを取り付ける
    本体を有する電気的絶縁材で形成された連結部であっ
    て、可撓性の回路組立体のターミナル取り付け部分は一
    般にＵ形状に曲げ戻されてターミナル部材に対して取り
    付けられる前記連結部とを含んで成る圧力変換器。
15. 【請求項１５】 支持フランジがポート取り付け部に溶
    接された請求項１４に記載された圧力変換器。
16. 【請求項１６】 Ｏ−リング座である溝が連結部の本体
    の外周面に形成されており、またそのＯ−リング座であ
    る溝に受け入れられたＯ−リング、およびＯ−リングと
    整合された角度を付された面を有する外側ハウジング部
    材を含み、外側ハウジング部材はポート取り付け部の支
    持フランジに固定的に取り付けられて、角度を付された
    面がＯ−リングに圧縮力を作用させる請求項１４に記載
    された圧力変換器。
17. 【請求項１７】 抵抗線歪みゲージ式の変換器を製造す
    る方法であって、 貫通形成された穴を備えた平坦面を有する支持部材を準
    備する段階と、 貫通する開口を形成された第１の部分、および第１の部
    分から延在する第２のターミナル取り付け部分を準備す
    る段階と、 開口を穴に整合させて可撓性の回路組立体の第１の部分
    を支持部材の平坦面に結合する段階と、 平坦面が上方へ向くように支持部上に支持部材を配置す
    る段階と、 電気的絶縁材で作られた連結部を配置する段階であっ
    て、複数の電気ターミナルが本体および支持部材に隣接
    されて間隔を隔てて取り付けられ、連結部は支持部材に
    取り付けられるときはその配向を反転され、連結部部材
    は各ターミナル突起の先端が通過する表面を有してお
    り、連結部部材は支持部材の平坦面および各ターミナル
    突起の先端が通過する連結部の表面が実質的に共通した
    平面内に位置するように配置される段階と、 ターミナルを可撓性の回路組立体のターミナル取り付け
    部にはんだ付けし、また電子部材を可撓性の回路組立体
    にはんだ付けする段階と、 平坦面を備えたダイヤフラムを有する本体を準備する段
    階と、 平坦面に抵抗線歪みゲージのセンサー部材を取り付ける
    段階と、 本体を準備し、抵抗線歪みゲージのセンサー部材を備え
    たダイヤフラムが支持部材の穴と整合するように本体を
    支持部材に取り付ける段階と、 抵抗線歪みゲージのセンサー部材および可撓性の回路組
    立体の第１の部分にワイヤーを結合する段階と、連結部
    部材を反転し、反転した連結部部材を支持部材に取り付
    ける段階とを含んで成る製造方法。
18. 【請求項１８】 電子パッケージを組み立てる方法であ
    って、 第１の電子装置取り付け部分、およびその部分から延在
    する第２の部分を有する可撓性の回路組立体を準備する
    段階と、 第２の部分を可撓性の状態のままにして、可撓性の回路
    組立体の第１の部分を平坦な比較的堅い基板に結合する
    段階と、 電子部材を可撓性の回路組立体の第１の部分にはんだ付
    けする段階とを含んで成る組み立て方法。
19. 【請求項１９】 電子部材が底面にはんだ瘤を有するフ
    リップ−チップＩＣを含み、またフリップ−チップＩＣ
    に隣接して可撓性回路組立体の上にエポキシを付与し、
    エポキシをはんだ瘤の間でフリップ−チップＩＣの下側
    に流してフリップ−チップＩＣと可撓性の回路組み立と
    の間の結合強度を高める段階を含む請求項１８に記載さ
    れた方法。
20. 【請求項２０】 比較的堅い基板に結合された可撓性の
    回路組立体の第１の電子装置取り付け部分に対して超音
    波によりワイヤーを結合させる段階をさらに含む請求項
    １８に記載された方法。
21. 【請求項２１】 電子部材が可撓性の回路組立体の第２
    の部分にはんだ付けされる請求項１８に記載された方
    法。