JP2001105368A - 吸着装置及び吸着方法 - Google Patents
吸着装置及び吸着方法Info
- Publication number
- JP2001105368A JP2001105368A JP28118199A JP28118199A JP2001105368A JP 2001105368 A JP2001105368 A JP 2001105368A JP 28118199 A JP28118199 A JP 28118199A JP 28118199 A JP28118199 A JP 28118199A JP 2001105368 A JP2001105368 A JP 2001105368A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- film
- slit
- sucked
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄膜シートを確実に安定した姿勢で吸着把持
できる吸着装置を得ること。 【解決手段】 中央部から周辺部に穿設された多数の小
孔２０ｅ又は、スリット孔２０ｓを有すると共に、フィ
ルム１を吸着及び解放するほぼ平な吸着部１５と、小孔
２０ｅ又はスリット孔２０ｓが設けられた中央部から周
辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることによりフィル
ム１を吸着部１５に吸着又は解放する流体部１００とを
備えたものである。
できる吸着装置を得ること。 【解決手段】 中央部から周辺部に穿設された多数の小
孔２０ｅ又は、スリット孔２０ｓを有すると共に、フィ
ルム１を吸着及び解放するほぼ平な吸着部１５と、小孔
２０ｅ又はスリット孔２０ｓが設けられた中央部から周
辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることによりフィル
ム１を吸着部１５に吸着又は解放する流体部１００とを
備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、薄膜シートを吸
着搬送する吸着装置及び吸着方法の改良に関するもので
ある。
着搬送する吸着装置及び吸着方法の改良に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来の吸着装置を特開平７−１７８６９
１号公報によって説明する。該公報によれば、吸着装置
（吸着パッド）は複数の小孔を吸引する吸引孔と、この
小孔の周囲にリング状に設けられたスリット孔を吸引す
るスリット吸引孔と、上記吸引孔連通された第１の真空
溜と、該スリット吸引孔に連通されると共に、第１の真
空溜よりも容量の少ない第２の真空溜と、周縁に設けら
れると共に、内側周囲よりも一段高く形成されたゴムな
どからなるリップ部とを備えており、該吸着装置はフィ
ルムなどの被吸着シートを小孔とスリット孔とで吸引し
て、第１及び第２の真空溜の減圧に時間差、又は減圧中
に他方を解放することによりフィルムなどを吸着及び解
放する技術が開示されている。かかる技術によれば、第
１及び第２の真空溜を設けて、減圧容量を大きくしてフ
ィルムの吸着を確実にするものである。
１号公報によって説明する。該公報によれば、吸着装置
（吸着パッド）は複数の小孔を吸引する吸引孔と、この
小孔の周囲にリング状に設けられたスリット孔を吸引す
るスリット吸引孔と、上記吸引孔連通された第１の真空
溜と、該スリット吸引孔に連通されると共に、第１の真
空溜よりも容量の少ない第２の真空溜と、周縁に設けら
れると共に、内側周囲よりも一段高く形成されたゴムな
どからなるリップ部とを備えており、該吸着装置はフィ
ルムなどの被吸着シートを小孔とスリット孔とで吸引し
て、第１及び第２の真空溜の減圧に時間差、又は減圧中
に他方を解放することによりフィルムなどを吸着及び解
放する技術が開示されている。かかる技術によれば、第
１及び第２の真空溜を設けて、減圧容量を大きくしてフ
ィルムの吸着を確実にするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成された吸着装置は、第１及び第２の真空溜を
利用して吸引孔，スリット吸引孔から同時に吸引してフ
ィルムなどを吸着すると、先に、容量の少ない第２の空
気溜に空気が充填してから、容量の大きい第１の真空溜
に空気が充填する。よって、先に周辺部のスリット吸引
孔によりフィルムを吸引してから、次に中央部の小孔か
らフィルムを吸引するので、フィルムの周囲から中央部
にかけて順に吸着することになりフィルムにしわが生じ
易くなる。さらに、上記吸着装置は、真空溜に空気を充
填して該真空溜の空気圧が大気圧よりも低くなってから
フィルムを吸引するので、該空気圧が低くなるまでの時
間だけ吸引が遅れるという問題点があった。
ように構成された吸着装置は、第１及び第２の真空溜を
利用して吸引孔，スリット吸引孔から同時に吸引してフ
ィルムなどを吸着すると、先に、容量の少ない第２の空
気溜に空気が充填してから、容量の大きい第１の真空溜
に空気が充填する。よって、先に周辺部のスリット吸引
孔によりフィルムを吸引してから、次に中央部の小孔か
らフィルムを吸引するので、フィルムの周囲から中央部
にかけて順に吸着することになりフィルムにしわが生じ
易くなる。さらに、上記吸着装置は、真空溜に空気を充
填して該真空溜の空気圧が大気圧よりも低くなってから
フィルムを吸引するので、該空気圧が低くなるまでの時
間だけ吸引が遅れるという問題点があった。
【０００４】加えて、吸着装置はリブ部が吸引部よりも
一段と高く形成されているために、フィルムが波を打つ
ように吸引される。よって、平行なフィルムを積層する
ような用途には適さないという問題点があった。
一段と高く形成されているために、フィルムが波を打つ
ように吸引される。よって、平行なフィルムを積層する
ような用途には適さないという問題点があった。
【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、薄膜シートを確実に安定した姿勢で吸着把持でき
る吸着装置及び吸着方法を提供することを目的としてい
る。
あり、薄膜シートを確実に安定した姿勢で吸着把持でき
る吸着装置及び吸着方法を提供することを目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る吸着装
置は、中央部から周辺部に穿設された多数の小孔又は、
スリット孔を有すると共に、被吸着シートを吸着及び解
放するほぼ平な吸着部と、上記小孔又は上記スリット孔
が設けられた上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸
引又は吹出しすることにより上記被吸着シートを上記吸
着部に吸着又は解放する吸引吹出し手段と、備えたこと
を特徴とするものである。
置は、中央部から周辺部に穿設された多数の小孔又は、
スリット孔を有すると共に、被吸着シートを吸着及び解
放するほぼ平な吸着部と、上記小孔又は上記スリット孔
が設けられた上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸
引又は吹出しすることにより上記被吸着シートを上記吸
着部に吸着又は解放する吸引吹出し手段と、備えたこと
を特徴とするものである。
【０００７】第２の発明に係る吸着装置は、吸引吹出し
手段は、上記中央部の空気を吸引する第１の吸引手段
と、上記中央部の周辺部の空気を吸引する第２の吸引手
段とを備え、上記第１の吸引手段による吸引圧力が所定
値になることを検出する圧力検出手段と、この圧力検出
手段の動作により上記第２の吸引手段を動作させる制御
手段と、を備えたことを特徴とするものである。
手段は、上記中央部の空気を吸引する第１の吸引手段
と、上記中央部の周辺部の空気を吸引する第２の吸引手
段とを備え、上記第１の吸引手段による吸引圧力が所定
値になることを検出する圧力検出手段と、この圧力検出
手段の動作により上記第２の吸引手段を動作させる制御
手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】第３の発明に係る吸着装置の吸着部には、
上下方向に移動可能な可動部と、移動しない固定部とか
ら成っており、上記可動部及び上記固定部には、上記小
孔又はスリット孔が穿設されており、上記可動部が上昇
又は下降することにより上記可動部又は上記固定部の上
記小孔又はスリット孔のみから空気を吸引する制御手段
と、を備えたことを特徴とするものである。
上下方向に移動可能な可動部と、移動しない固定部とか
ら成っており、上記可動部及び上記固定部には、上記小
孔又はスリット孔が穿設されており、上記可動部が上昇
又は下降することにより上記可動部又は上記固定部の上
記小孔又はスリット孔のみから空気を吸引する制御手段
と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】第４の発明に係る吸着方法は、中央部から
周辺部に穿設された多数の小孔又は、スリット孔を有す
ると共に、被吸着シートを吸着及び解放するほぼ平な吸
着部を備え、上記小孔又は上記スリット孔が設けられた
上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸引又は吹出し
て上記被吸着シートを上記吸着部に吸引又は解放するこ
とを特徴とするものである。
周辺部に穿設された多数の小孔又は、スリット孔を有す
ると共に、被吸着シートを吸着及び解放するほぼ平な吸
着部を備え、上記小孔又は上記スリット孔が設けられた
上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸引又は吹出し
て上記被吸着シートを上記吸着部に吸引又は解放するこ
とを特徴とするものである。
【００１０】第５の発明に係る吸着方法は、中央部から
周辺部に穿設された多数の小孔又は、スリット孔を有す
る吸着部を備え、上記小孔又は上記スリット孔が設けら
れた上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸引して上
記被吸着シートを上記吸着部に吸引した後に、上記小孔
又は上記スリット孔が設けられた上記中央部から上記周
辺部の順に空気を吹出して上記被吸着シートを上記吸着
部から解放する、ことを特徴とするものである。
周辺部に穿設された多数の小孔又は、スリット孔を有す
る吸着部を備え、上記小孔又は上記スリット孔が設けら
れた上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸引して上
記被吸着シートを上記吸着部に吸引した後に、上記小孔
又は上記スリット孔が設けられた上記中央部から上記周
辺部の順に空気を吹出して上記被吸着シートを上記吸着
部から解放する、ことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明の一実施
の形態を図１及び図２によって説明する。図１は、この
発明の実施形態である吸着装置の斜視図と制御ブロック
図、図２は図１の吸着装置の分解斜視図、図３は吸着装
置の吸着部とフィルムの側面図で、（ａ）がフィルムを
吸引に移行する状態を示し、（ｂ）がフィルムを解放に
移行する状態を示している。図１及び図２において、吸
着装置１０は、被吸着シートとして例えばフィルム１を
吸引・解放する吸着部１５と、この吸着部１５から吸引
・吹出しする空気を制御などする吸引吹出し手段として
の流体部１００とから成っており、吸着部１５は、表面
が平らな四角形状の表側プレート２０と、この表側プレ
ート２０に対向して重ね合わせられると共に、表側プレ
ート２０よりも厚い四角形状の凹部４０ｄを有する裏側
プレート４０とから成っている。
の形態を図１及び図２によって説明する。図１は、この
発明の実施形態である吸着装置の斜視図と制御ブロック
図、図２は図１の吸着装置の分解斜視図、図３は吸着装
置の吸着部とフィルムの側面図で、（ａ）がフィルムを
吸引に移行する状態を示し、（ｂ）がフィルムを解放に
移行する状態を示している。図１及び図２において、吸
着装置１０は、被吸着シートとして例えばフィルム１を
吸引・解放する吸着部１５と、この吸着部１５から吸引
・吹出しする空気を制御などする吸引吹出し手段として
の流体部１００とから成っており、吸着部１５は、表面
が平らな四角形状の表側プレート２０と、この表側プレ
ート２０に対向して重ね合わせられると共に、表側プレ
ート２０よりも厚い四角形状の凹部４０ｄを有する裏側
プレート４０とから成っている。
【００１２】表側プレート２０には、空気を吸引・吹出
しせしめる多数の穿設された小孔２０ｅと、同様の目的
で、周辺部に小孔２０ｅと同じ幅を有する四角形でリン
グ状のスリット孔２０ｓとが形成されており、裏側プレ
ート４０の凹部４０ｄには、空気の漏れを防ぐためのシ
リコンラバーから成る四角形の小、中、大の三種のリン
グ５２，５４，５６が固着されることにより、表側プレ
ート２０と裏側プレート４０との間には、四角形状の隙
間５２ｄ，四角形のリング状の隙間５４ｄ，５６ｄの三
つが形成されている。
しせしめる多数の穿設された小孔２０ｅと、同様の目的
で、周辺部に小孔２０ｅと同じ幅を有する四角形でリン
グ状のスリット孔２０ｓとが形成されており、裏側プレ
ート４０の凹部４０ｄには、空気の漏れを防ぐためのシ
リコンラバーから成る四角形の小、中、大の三種のリン
グ５２，５４，５６が固着されることにより、表側プレ
ート２０と裏側プレート４０との間には、四角形状の隙
間５２ｄ，四角形のリング状の隙間５４ｄ，５６ｄの三
つが形成されている。
【００１３】そして、隙間５２ｄからの空気を吸引・吹
出しする小孔２０ｅにより第１の吸引部としての中央吸
引部６０が形成され、隙間５４ｄからの空気を吸引・吹
出しする小孔２０ｅにより第２の吸引部としてのリング
吸引部７０が形成され、隙間５６ｄからの空気を吸引・
吹出しする小孔２０ｅとほぼ同じ幅を有するスリット孔
２０ｓにより第３の吸引部としてのスリット吸引部８０
が形成されている。中央吸引部６０，リング吸引部７
０，スリット吸引部８０の各流路が裏側プレート４０の
側面に設けられた継手６３，７３，８３に接続されてい
る。
出しする小孔２０ｅにより第１の吸引部としての中央吸
引部６０が形成され、隙間５４ｄからの空気を吸引・吹
出しする小孔２０ｅにより第２の吸引部としてのリング
吸引部７０が形成され、隙間５６ｄからの空気を吸引・
吹出しする小孔２０ｅとほぼ同じ幅を有するスリット孔
２０ｓにより第３の吸引部としてのスリット吸引部８０
が形成されている。中央吸引部６０，リング吸引部７
０，スリット吸引部８０の各流路が裏側プレート４０の
側面に設けられた継手６３，７３，８３に接続されてい
る。
【００１４】流体部１００は、制御部１０３を備えてお
り、該各継手６３，７３，８３に配管６５，７５，８５
が接続されて半導体圧力センサを内蔵した圧力検出部Ａ
６７，圧力検出部Ｂ７７，圧力検出部Ｃ８７を介して真
空発生器及び大気圧よりも高い圧力を発生する高圧力発
生器を内蔵した吸引吹出し部発生部Ａ６９，吸引吹出し
発生部Ｂ７９，吸引吹出し発生部Ｃ７９に接続されてい
る。制御部１０３は周知のＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭなど
から成り、入力にスタートスイッチ１０５が接続されて
おり、圧力検出部Ａ６７，圧力検出部Ｂ７７，圧力検出
部Ｃ８７の圧力検出値を検出することにより吸引吹出し
発生部Ａ６９，吸引吹出し発生部Ｂ７９，吸引吹出し発
生部Ｃ８９を制御するように構成されている。
り、該各継手６３，７３，８３に配管６５，７５，８５
が接続されて半導体圧力センサを内蔵した圧力検出部Ａ
６７，圧力検出部Ｂ７７，圧力検出部Ｃ８７を介して真
空発生器及び大気圧よりも高い圧力を発生する高圧力発
生器を内蔵した吸引吹出し部発生部Ａ６９，吸引吹出し
発生部Ｂ７９，吸引吹出し発生部Ｃ７９に接続されてい
る。制御部１０３は周知のＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭなど
から成り、入力にスタートスイッチ１０５が接続されて
おり、圧力検出部Ａ６７，圧力検出部Ｂ７７，圧力検出
部Ｃ８７の圧力検出値を検出することにより吸引吹出し
発生部Ａ６９，吸引吹出し発生部Ｂ７９，吸引吹出し発
生部Ｃ８９を制御するように構成されている。
【００１５】上記のように構成された吸着装置１０の吸
引動作を図１から図３（ａ）によって説明する。吸着装
置１の吸着部１５よりも僅かに小さい四角形のフィルム
１に、吸着部１５の表面を接近し、スタートスイッチ１
０５をオンすると、制御部１０３は吸引吹出し発生部Ａ
６９から配管６５を介して継手６３を通じて中央吸引部
６０の小孔２０ｅから空気を吸引して吸着部１５の表面
（表側プレート２０）に図３（ａ）の一点鎖線１ａに示
すようにフィルム１の中央部が吸引される。該吸引によ
り吸着部１５の表面とフィルム１の中央部との隙間がな
くなり、圧力検出部Ａ６７が大気圧よりも低い気圧（以
下、負圧という）を検出することにより制御部１０３は
吸引吹出し発生部Ｂ７９を吸引動作せしめ、吸引吹出し
発生部Ｂ７９から配管７５を介して継手７３を通じてリ
ング吸引部７０の小孔２０ｅから空気を吸引して、フィ
ルム１におけるリング吸引部７０との対向部分を図３
（ａ）の点線１ｂのように吸着部１５の表面に吸引す
る。なお、吸引吹出し発生部Ｂ７９が吸引動作している
時は、吸引吹出し発生部Ａ６９も吸引動作している。
引動作を図１から図３（ａ）によって説明する。吸着装
置１の吸着部１５よりも僅かに小さい四角形のフィルム
１に、吸着部１５の表面を接近し、スタートスイッチ１
０５をオンすると、制御部１０３は吸引吹出し発生部Ａ
６９から配管６５を介して継手６３を通じて中央吸引部
６０の小孔２０ｅから空気を吸引して吸着部１５の表面
（表側プレート２０）に図３（ａ）の一点鎖線１ａに示
すようにフィルム１の中央部が吸引される。該吸引によ
り吸着部１５の表面とフィルム１の中央部との隙間がな
くなり、圧力検出部Ａ６７が大気圧よりも低い気圧（以
下、負圧という）を検出することにより制御部１０３は
吸引吹出し発生部Ｂ７９を吸引動作せしめ、吸引吹出し
発生部Ｂ７９から配管７５を介して継手７３を通じてリ
ング吸引部７０の小孔２０ｅから空気を吸引して、フィ
ルム１におけるリング吸引部７０との対向部分を図３
（ａ）の点線１ｂのように吸着部１５の表面に吸引す
る。なお、吸引吹出し発生部Ｂ７９が吸引動作している
時は、吸引吹出し発生部Ａ６９も吸引動作している。
【００１６】フィルム１の吸引によりリング吸引部７０
の表面とフィルム１との隙間がなくなり、圧力検出部Ｂ
７７が負圧を検出することにより吸引吹出し発生部Ｃ８
９を動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｃ８９から配管８５
を介して継手８３を通じてスリット吸引部８０のスリッ
ト孔２０ｓから空気を吸引してフィルム１のスリット吸
引部８０との当接部分をプレート２０に吸引してフィル
ム１全体を吸引する。なお、吸引吹出し発生部Ｃ８９が
吸引動作をしている時は、吸引吹出し発生部Ａ６９，吸
引吹出し発生部Ｂ７９も吸引動作をしている。
の表面とフィルム１との隙間がなくなり、圧力検出部Ｂ
７７が負圧を検出することにより吸引吹出し発生部Ｃ８
９を動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｃ８９から配管８５
を介して継手８３を通じてスリット吸引部８０のスリッ
ト孔２０ｓから空気を吸引してフィルム１のスリット吸
引部８０との当接部分をプレート２０に吸引してフィル
ム１全体を吸引する。なお、吸引吹出し発生部Ｃ８９が
吸引動作をしている時は、吸引吹出し発生部Ａ６９，吸
引吹出し発生部Ｂ７９も吸引動作をしている。
【００１７】次に、吸着装置１００の吹出し動作につい
て図１から図３（ｂ）によって説明する。図３（ｂ）に
示すように吸着部１５が下方に水平に向いており、吸着
部１５全体にフィルム１が吸引された状態、即ち、吸引
吹出し発生部Ａ，Ｂ，Ｃ６９，７９，８９が吸引してい
る状態において、制御部１０３は吸引吹出し発生部Ａ６
９から配管６５を介して継手６３を通じて中央吸引部６
０の小孔２０ｅから空気を吹出して吸着部１５の中央部
からフィルム１を図３（ｂ）に示す一点鎖線１ｅのよう
に解放して台１５０の上に載せる。
て図１から図３（ｂ）によって説明する。図３（ｂ）に
示すように吸着部１５が下方に水平に向いており、吸着
部１５全体にフィルム１が吸引された状態、即ち、吸引
吹出し発生部Ａ，Ｂ，Ｃ６９，７９，８９が吸引してい
る状態において、制御部１０３は吸引吹出し発生部Ａ６
９から配管６５を介して継手６３を通じて中央吸引部６
０の小孔２０ｅから空気を吹出して吸着部１５の中央部
からフィルム１を図３（ｂ）に示す一点鎖線１ｅのよう
に解放して台１５０の上に載せる。
【００１８】フィルム１の吹出しにより吸着部１５の中
央部表面とフィルム１との隙間が生じ、圧力検出部Ａ６
７が大気圧よりも高い圧力（以下、正圧という）を検出
することにより制御部１０３は吸引吹出し発生部Ｂ７９
を動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｂ７９から配管７５を
介して継手７３を通じてリング吸引部７０の小孔２０ｅ
から空気を吹出してリング吸引部７０とフィルム１との
吸着部分を、図３（ｂ）に示す一点鎖線１ｆのように解
放して台１５０の上に載せる。なお、吸引吹出し発生部
Ｂ７９が吹出し動作をしている時は、吸引吹出し発生部
Ａ６９も吹出し動作をしている。
央部表面とフィルム１との隙間が生じ、圧力検出部Ａ６
７が大気圧よりも高い圧力（以下、正圧という）を検出
することにより制御部１０３は吸引吹出し発生部Ｂ７９
を動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｂ７９から配管７５を
介して継手７３を通じてリング吸引部７０の小孔２０ｅ
から空気を吹出してリング吸引部７０とフィルム１との
吸着部分を、図３（ｂ）に示す一点鎖線１ｆのように解
放して台１５０の上に載せる。なお、吸引吹出し発生部
Ｂ７９が吹出し動作をしている時は、吸引吹出し発生部
Ａ６９も吹出し動作をしている。
【００１９】該解放により吸着部１５のリング吸引部７
０とフィルム１との隙間が生じることにより、圧力検出
部Ｂ７７が正圧を検出して制御部１０３は吸引吹出し発
生部Ｃ８９を吹出し動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｃ８
９から配管８５を介して継手８３を通じてスリット吸引
部８０のスリット孔２０ｓから空気を吹出してフィルム
１のスリット吸引部８０との当接部分を表側プレート２
０に吹出してフィルム１全体を解放して台１５０の上に
載せる。なお、吸引吹出し発生部Ｃ８９が吹出し動作を
している時は、吸引吹出し発生部Ａ６９，吸引吹出し発
生部Ｂ７９も吹出し動作をしている。
０とフィルム１との隙間が生じることにより、圧力検出
部Ｂ７７が正圧を検出して制御部１０３は吸引吹出し発
生部Ｃ８９を吹出し動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｃ８
９から配管８５を介して継手８３を通じてスリット吸引
部８０のスリット孔２０ｓから空気を吹出してフィルム
１のスリット吸引部８０との当接部分を表側プレート２
０に吹出してフィルム１全体を解放して台１５０の上に
載せる。なお、吸引吹出し発生部Ｃ８９が吹出し動作を
している時は、吸引吹出し発生部Ａ６９，吸引吹出し発
生部Ｂ７９も吹出し動作をしている。
【００２０】以上のように、吸着装置１０はフィルム１
の中央部から順に周辺部を吸着して吸着領域を順に拡大
することにより、フィルム１が中央部から順にしわなど
を押し広げるながら吸着するので、吸着面とフィルム１
との隙間に空気が溜まることがなくなる。加えて、吸着
装置１０は真空溜を有していないので、吸引吹出し発生
部Ａ，Ｂ，Ｃ６９，７９，８９からの吸引により小孔２
０ｅ、スリット孔２０ｓから遅れ時間が短く、フィルム
１を吸引できる。更に、吸着装置１０の吸着面はリップ
部などがなく、平面に形成されているので、該吸着面に
フィルム１に凹凸をつけることなく吸着できる。しか
も、吸着装置１０によりフィルム１をほぼ平面に維持し
て台に載せることができる。
の中央部から順に周辺部を吸着して吸着領域を順に拡大
することにより、フィルム１が中央部から順にしわなど
を押し広げるながら吸着するので、吸着面とフィルム１
との隙間に空気が溜まることがなくなる。加えて、吸着
装置１０は真空溜を有していないので、吸引吹出し発生
部Ａ，Ｂ，Ｃ６９，７９，８９からの吸引により小孔２
０ｅ、スリット孔２０ｓから遅れ時間が短く、フィルム
１を吸引できる。更に、吸着装置１０の吸着面はリップ
部などがなく、平面に形成されているので、該吸着面に
フィルム１に凹凸をつけることなく吸着できる。しか
も、吸着装置１０によりフィルム１をほぼ平面に維持し
て台に載せることができる。
【００２１】実施の形態２．この発明の他の実施の形態
を図４及び図５によって説明する。図４は、この発明の
他の実施形態である吸着装置の斜視図と制御ブロック
図、図５は図４の矢視Ｖ−Ｖを示す断面図である。図４
及び図５において図１及び図２と同一符号は同一又は相
当部分を示し説明を省略する。図４及び図５において、
吸着装置２００は、被吸着シートとして例えばフィルム
１を吸引・解放する吸着部２１０と、この吸着部２１０
から吸引・吹出す空気を発生したり制御などする流体部
１００とから成っており、吸着部２１０は、周囲に固定
される固定部３００と、固定部３００に摺動係合される
と共に、底面がシリンダーのロッド４００に結合されロ
ッド４００の上下動に伴ない、上下移動する可動部２２
０とから成っている。
を図４及び図５によって説明する。図４は、この発明の
他の実施形態である吸着装置の斜視図と制御ブロック
図、図５は図４の矢視Ｖ−Ｖを示す断面図である。図４
及び図５において図１及び図２と同一符号は同一又は相
当部分を示し説明を省略する。図４及び図５において、
吸着装置２００は、被吸着シートとして例えばフィルム
１を吸引・解放する吸着部２１０と、この吸着部２１０
から吸引・吹出す空気を発生したり制御などする流体部
１００とから成っており、吸着部２１０は、周囲に固定
される固定部３００と、固定部３００に摺動係合される
と共に、底面がシリンダーのロッド４００に結合されロ
ッド４００の上下動に伴ない、上下移動する可動部２２
０とから成っている。
【００２２】可動部２２０は、多数の穿設された空気を
吸引せしめる小孔２２０ｅを有すると共に、表面が平ら
な四角形状の表側プレート２２２と、空気の漏れを防ぐ
ためのシリコンラバーから成る四角形の小、大の二種の
リング２５２，２５４と、表側プレート２２２に対向し
てリング２５２，２５４を介して重ね合わせられると共
に、両側面に水平な一対の突起部２４２ｘを有する裏側
プレート２４２とから成っている。
吸引せしめる小孔２２０ｅを有すると共に、表面が平ら
な四角形状の表側プレート２２２と、空気の漏れを防ぐ
ためのシリコンラバーから成る四角形の小、大の二種の
リング２５２，２５４と、表側プレート２２２に対向し
てリング２５２，２５４を介して重ね合わせられると共
に、両側面に水平な一対の突起部２４２ｘを有する裏側
プレート２４２とから成っている。
【００２３】可動部２２０には、四角形状の隙間２５２
ｄ，四角のリング状の隙間２５４ｄの二つが形成されて
いる。そして、隙間２５２ｄからの空気を吸い込む小孔
２２０ｅにより第１の吸引部としての中央吸引部２６０
が形成され、隙間２５４ｄからの空気を吸い込む小孔２
２０ｅにより第２の吸引部としてのリング吸引部２７０
が形成されている。
ｄ，四角のリング状の隙間２５４ｄの二つが形成されて
いる。そして、隙間２５２ｄからの空気を吸い込む小孔
２２０ｅにより第１の吸引部としての中央吸引部２６０
が形成され、隙間２５４ｄからの空気を吸い込む小孔２
２０ｅにより第２の吸引部としてのリング吸引部２７０
が形成されている。
【００２４】固定部３００は、四角形の固定プレート３
０１と、四角状リングから成るシリコンラバー３５０，
３５２を介して固定プレート３０１の表面側に固定され
ると共に、小孔２２０ｅとほぼ同じ幅を有するリング状
のスリット孔３０３ｓを有する四角状のリングプレート
３０３とから成っている。固定プレート３０１には、四
角状の凹部３０１ｄを有しており、凹部３０１ｄの側面
には、一対の切り欠き部３０１ｘが設けられており、該
切り欠き部３０１ｘには、可動部２２０の裏側プレート
２４２の突起部２４２ｘが挿入されて、可動部２２０の
上下動により裏側プレート２４２の突起部２４２ｘが切
り欠き部３０１ｘ内を上下に移動するように形成されて
いる。なお、スリット孔３０３ｓにより第３の吸引部と
してのスリット吸引部が形成されている。
０１と、四角状リングから成るシリコンラバー３５０，
３５２を介して固定プレート３０１の表面側に固定され
ると共に、小孔２２０ｅとほぼ同じ幅を有するリング状
のスリット孔３０３ｓを有する四角状のリングプレート
３０３とから成っている。固定プレート３０１には、四
角状の凹部３０１ｄを有しており、凹部３０１ｄの側面
には、一対の切り欠き部３０１ｘが設けられており、該
切り欠き部３０１ｘには、可動部２２０の裏側プレート
２４２の突起部２４２ｘが挿入されて、可動部２２０の
上下動により裏側プレート２４２の突起部２４２ｘが切
り欠き部３０１ｘ内を上下に移動するように形成されて
いる。なお、スリット孔３０３ｓにより第３の吸引部と
してのスリット吸引部が形成されている。
【００２５】上記のように構成された吸着装置２００の
動作を図４及び図５によって説明する。フィルム１の周
辺部を除く中央部に接着剤が塗布されている場合、シリ
ンダーのロッド４００を下降して可動部２２０を下降せ
しめ、図５に示すように吸着装置２００の吸着部２１０
に凹部を形成する。
動作を図４及び図５によって説明する。フィルム１の周
辺部を除く中央部に接着剤が塗布されている場合、シリ
ンダーのロッド４００を下降して可動部２２０を下降せ
しめ、図５に示すように吸着装置２００の吸着部２１０
に凹部を形成する。
【００２６】かかる状態において、スタートスイッチ１
０５をオンすると、制御部１０３は、吸引吹出し発生部
Ｃ８９を動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｃ８９から配管
８５を介して継手８３を通じてスリット孔３０３ｓ（ス
リット吸引部）から空気を吸引してフィルム１をリング
プレート３０３の表面に吸引する。よって、吸着部２０
０はフィルム１に塗布された接着剤に触れることなくフ
ィルム１を吸着できる。
０５をオンすると、制御部１０３は、吸引吹出し発生部
Ｃ８９を動作せしめ、吸引吹出し発生部Ｃ８９から配管
８５を介して継手８３を通じてスリット孔３０３ｓ（ス
リット吸引部）から空気を吸引してフィルム１をリング
プレート３０３の表面に吸引する。よって、吸着部２０
０はフィルム１に塗布された接着剤に触れることなくフ
ィルム１を吸着できる。
【００２７】
【発明の効果】第１又は第４の発明によれば、吸引吹出
し手段により小孔又はスリット孔が設けられた中央部か
ら周辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることにより吸
着シートを吸着部に吸着又は解放したので、フィルム等
が中央部から順にしわなどを押し広げながら吸着できる
から、吸着面とフィルム等との隙間に空気が溜まること
がなくなり、フィルム等にしわが生じにくいという効果
がある。
し手段により小孔又はスリット孔が設けられた中央部か
ら周辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることにより吸
着シートを吸着部に吸着又は解放したので、フィルム等
が中央部から順にしわなどを押し広げながら吸着できる
から、吸着面とフィルム等との隙間に空気が溜まること
がなくなり、フィルム等にしわが生じにくいという効果
がある。
【００２８】第２の発明によれば、第１の発明の効果に
加え、中央部の空気を吸引する第１の吸引手段と、周辺
部の空気を吸引する第２の吸引手段とを備え、第１の吸
引手段による吸引圧力が所定値になることを検出する圧
力検出手段と、この圧力検出手段の動作により第２の吸
引手段を動作させる制御手段とを備えたので、フィルム
等の中央領域の吸着を確認した後、フィルム等の周辺部
を吸引するので、より一層、吸着面とフィルム等との隙
間に空気が溜まることがなくなるという効果がある。
加え、中央部の空気を吸引する第１の吸引手段と、周辺
部の空気を吸引する第２の吸引手段とを備え、第１の吸
引手段による吸引圧力が所定値になることを検出する圧
力検出手段と、この圧力検出手段の動作により第２の吸
引手段を動作させる制御手段とを備えたので、フィルム
等の中央領域の吸着を確認した後、フィルム等の周辺部
を吸引するので、より一層、吸着面とフィルム等との隙
間に空気が溜まることがなくなるという効果がある。
【００２９】第３の発明によれば、第１の発明の効果に
加え、吸着部内には、上下方向に移動可能な可動部と、
移動しない固定部とから成っており、可動部及び固定部
には、多数の小孔又は、スリット孔が穿設されており、
可動部が上昇又は下降することにより可動部又は固定部
の小孔又はスリット孔のみから空気を吸引する制御手段
とを備えたので、フィルム等に接着剤が塗布されている
個所を除いて、フィルム等を簡易に吸引できるという効
果がある。
加え、吸着部内には、上下方向に移動可能な可動部と、
移動しない固定部とから成っており、可動部及び固定部
には、多数の小孔又は、スリット孔が穿設されており、
可動部が上昇又は下降することにより可動部又は固定部
の小孔又はスリット孔のみから空気を吸引する制御手段
とを備えたので、フィルム等に接着剤が塗布されている
個所を除いて、フィルム等を簡易に吸引できるという効
果がある。
【００３０】第５の発明によれば、小孔又はスリット孔
が設けられた中央部から周辺部の順に空気を吸引して被
吸着シートを吸着部に吸引した後に、小孔又はスリット
孔が設けられた中央部から周辺部の順に空気を吹出して
被吸着シートを吸着部から解放したので、フィルム等を
吸着部から解放する時も、フィルム等を吸着面からしわ
をつけることなく簡易に解放できるという効果がある。
が設けられた中央部から周辺部の順に空気を吸引して被
吸着シートを吸着部に吸引した後に、小孔又はスリット
孔が設けられた中央部から周辺部の順に空気を吹出して
被吸着シートを吸着部から解放したので、フィルム等を
吸着部から解放する時も、フィルム等を吸着面からしわ
をつけることなく簡易に解放できるという効果がある。
【図１】 この発明の一実施形態である吸着装置の斜視
図と制御ブロック図である。
図と制御ブロック図である。
【図２】 図２は図１の吸着装置の分解斜視図である。
【図３】 図１の吸着装置の吸着部とフィルムの側面図
で、（ａ）がフィルムを吸引に移行する状態を示し、
（ｂ）がフィルムを解放に移行する状態を示している。
で、（ａ）がフィルムを吸引に移行する状態を示し、
（ｂ）がフィルムを解放に移行する状態を示している。
【図４】 この発明の他の実施形態である吸着装置の斜
視図と制御ブロック図である。
視図と制御ブロック図である。
【図５】 図４の矢視Ｖ−Ｖを示す断面図である。
１ 被吸着シート（フィルム）、１５，２１０ 吸着
部，２０ｅ，２２０ｅ小孔、２０ｓ，３０３ｓ スリッ
ト孔、６７，７７，８７ 圧力検出部（圧力検出手
段）、６９ 吸引吹出し発生部Ａ（第１の吸入手段），
７９ 吸引吹出し発生部Ｂ（第２の吸入手段）、１００
吸引吹出し手段（流体部）、１０３ 制御部（制御手
段）、２２０ 可動部、３００ 固定部。
部，２０ｅ，２２０ｅ小孔、２０ｓ，３０３ｓ スリッ
ト孔、６７，７７，８７ 圧力検出部（圧力検出手
段）、６９ 吸引吹出し発生部Ａ（第１の吸入手段），
７９ 吸引吹出し発生部Ｂ（第２の吸入手段）、１００
吸引吹出し手段（流体部）、１０３ 制御部（制御手
段）、２２０ 可動部、３００ 固定部。
フロントページの続き (72)発明者 笹森 覚嗣 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 村田 憲弘 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 春日 芳夫 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 富永 孝介 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 岡村 将光 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 山本 和幸 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 DS01 FT11 FU00 FU04 GU03 NS09 NS11 3F061 AA01 CB05 CC00 CC13 DB00 DB04 DC03 3F343 FA09 FB01 JB03 JB15 JB16 JB17 JB19 JB24 JB25 MA03 MA09 MA40 MB03 MB09 MC13 MC21
Claims (5)
- 【請求項１】 中央部から周辺部に穿設された多数の小
孔又は、スリット孔を有すると共に、被吸着シートを吸
着及び解放するほぼ平な吸着部と、 上記小孔又は上記スリット孔が設けられた上記中央部か
ら上記周辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることによ
り上記被吸着シートを上記吸着部に吸着又は解放する吸
引吹出し手段と、を備えたことを特徴とする吸着装置。 - 【請求項２】 上記吸引吹出し手段は、上記中央部の空
気を吸引する第１の吸引手段と、 上記中央部の周辺部の空気を吸引する第２の吸引手段と
を備え、 上記第１の吸引手段による吸引圧力が所定値になること
を検出する圧力検出手段と、 この圧力検出手段の動作により上記第２の吸引手段を動
作させる制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項
１に記載の吸着装置。 - 【請求項３】 上記吸着部には、上下方向に移動可能な
可動部と、 移動しない固定部とから成っており、 上記可動部及び上記固定部には、上記小孔又は上記スリ
ット孔が穿設されており、 上記可動部が上昇又は下降することにより上記可動部又
は上記固定部の上記小孔又は上記スリット孔のみから空
気を吸引する制御手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。 - 【請求項４】 中央部から周辺部に穿設された多数の小
孔又は、スリット孔を有すると共に、被吸着シートを吸
着及び解放するほぼ平な吸着部を備え、 上記小孔又は上記スリット孔が設けられた上記中央部か
ら上記周辺部の順に空気を吸引又は吹出して上記被吸着
シートを上記吸着部に吸引又は解放することを特徴とす
る吸着方法。 - 【請求項５】 中央部から周辺部に穿設された多数の小
孔又は、スリット孔を有する吸着部を備え、 上記小孔又は上記スリット孔が設けられた上記中央部か
ら上記周辺部の順に空気を吸引して上記被吸着シートを
上記吸着部に吸引した後に、 上記小孔又は上記スリット孔が設けられた上記中央部か
ら上記周辺部の順に空気を吹出して上記被吸着シートを
上記吸着部から解放する、 ことを特徴とする吸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28118199A JP2001105368A (ja) | 1999-10-01 | 1999-10-01 | 吸着装置及び吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28118199A JP2001105368A (ja) | 1999-10-01 | 1999-10-01 | 吸着装置及び吸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001105368A true JP2001105368A (ja) | 2001-04-17 |
Family
ID=17635482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28118199A Pending JP2001105368A (ja) | 1999-10-01 | 1999-10-01 | 吸着装置及び吸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001105368A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004039712A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Meidensha Corp | ハンドリング治具及びこれを備えたハンドリング装置 |
| JP2004102215A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-04-02 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板組立装置 |
| JP2005306582A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Murata Mfg Co Ltd | カード状シートの受け渡し方法および受け渡し装置 |
| JP2005326873A (ja) * | 2002-07-19 | 2005-11-24 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板組立装置 |
| JP2010088958A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
| JP2010253900A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Toppan Forms Co Ltd | フィルム吸着装置およびこれを用いたフィルム吸着方法 |
| JP2011177855A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Toppan Forms Co Ltd | フィルム加工装置 |
| JP2012130974A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Amada Co Ltd | 板状ワークの取扱方法 |
| KR101315497B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2013-10-07 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 기판 분리 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 |
| KR101400089B1 (ko) * | 2012-03-02 | 2014-05-28 | 주식회사 성진하이메크 | 기판 고정용 진공 흡착판 |
-
1999
- 1999-10-01 JP JP28118199A patent/JP2001105368A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004039712A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Meidensha Corp | ハンドリング治具及びこれを備えたハンドリング装置 |
| JP2004102215A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-04-02 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板組立装置 |
| JP2005326873A (ja) * | 2002-07-19 | 2005-11-24 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板組立装置 |
| JP2005306582A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Murata Mfg Co Ltd | カード状シートの受け渡し方法および受け渡し装置 |
| JP2010088958A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
| JP2010253900A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Toppan Forms Co Ltd | フィルム吸着装置およびこれを用いたフィルム吸着方法 |
| JP2011177855A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Toppan Forms Co Ltd | フィルム加工装置 |
| JP2012130974A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Amada Co Ltd | 板状ワークの取扱方法 |
| KR101315497B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2013-10-07 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 기판 분리 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 |
| KR101400089B1 (ko) * | 2012-03-02 | 2014-05-28 | 주식회사 성진하이메크 | 기판 고정용 진공 흡착판 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001105368A (ja) | 吸着装置及び吸着方法 | |
| JP5538613B1 (ja) | 接合装置及び接合システム | |
| JP6382769B2 (ja) | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
| JP5776213B2 (ja) | フィルム吸着装置 | |
| WO2007108343A1 (ja) | 吸着装置及びこの吸着装置を用いた吸着方法 | |
| JP2014135310A (ja) | チャック装置、及びチャック方法 | |
| JP3825695B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
| JPS58206335A (ja) | 真空ワ−クピ−スホルダ− | |
| JP2012176852A (ja) | 真空チャック | |
| JP2001328233A (ja) | スクリーン印刷装置 | |
| TW200903186A (en) | Ploting device | |
| JPH05299492A (ja) | ウエハの位置決め装置 | |
| JPS5813352B2 (ja) | シンクウラミネ−トホウ | |
| JP4211387B2 (ja) | 吸着支持装置 | |
| JP2005014460A (ja) | スクリーン印刷機 | |
| EP4252977B1 (en) | Suction board | |
| JP2002144270A (ja) | 吸着ジグ及び被搬送物の搬送方法 | |
| JP2005014470A (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
| JP2003171146A (ja) | ガラス基板位置決め装置 | |
| TWI727837B (zh) | 取膜裝置及取膜方法 | |
| CN115332140A (zh) | 一种大翘曲基片承载装置 | |
| CN210052725U (zh) | 传输装置 | |
| JPH06270087A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JP2754817B2 (ja) | ウエーハハンドリング装置 | |
| CN218172884U (zh) | 一种取纸装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040628 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040713 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040910 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050405 |