JP2001031241A - 部品搬送装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複雑な移載機構を用いることなく、部品供給
路から回転体に対して高速に部品を移載することができ
るとともに回転体によって部品を搬送している途中でも
容易に部品の検査を行うことができる部品搬送装置を提
供し、また、このような搬送装置を簡単に且つ低コスト
で製造することができる構造を実現する。 【解決手段】 インデックステーブル２０Ｒには、閉鎖
板、吸着板及び通気板が積層固定されている。吸着板の
外周部には周回方向に配列された多数のスリットが形成
される。このスリットの内端の通気開口部２１４は通気
板の連通開口部に連通する。この連通開口部を排気経路
に接続し、排気することにより、各スリットを介してそ
の外端の外縁開口部２１６によって構成される部品吸引
口２０Ｄから空気が吸引され、電子部品１００が吸着保
持されるようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は部品搬送装置及びそ
の製造方法に係り、特に、電子部品の外観を検査する工
程を含む部品の搬送ラインに用いるのに好適な部品搬送
装置の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、電子部品の搬送装置としては、
容器若しくは搬送経路に振動を与えて電子部品を所定の
搬送経路に沿って移動させていく振動式搬送装置が用い
られている。この振動式搬送装置としては、椀状の容器
内に電子部品を収容し、容器の内周面に螺旋状の搬送経
路を形成した振動式バーツフィーダや、電子部品を一つ
ずつ同じ姿勢で直線状に搬送していく振動式リニアフィ
ーダなどが用いられている。これらの部品搬送装置に
は、電子部品を搬送する機能の他に、電子部品を一定の
姿勢で供給する整列機能を有するものがあり、また、搬
送経路の途中で電子部品の外観（形状、色、印字内容な
ど）や電気特性などを検査する検査機能を付加したもの
もある。

【０００３】また、電子部品を位置決めしたり、搬送方
向を変更したりするためにインデックステーブルなどの
回転体を備えた搬送装置を用いる場合がある。一般的な
インデックステーブルは回転可能に構成された円盤状の
ものであり、その外周部の盤面上に電子部品を位置決め
するための凹部が形成され、この凹部に電子部品を収容
した状態で所定回転角度位置へと回動し、電子部品を別
の搬送経路に受け渡したり、特定の検査装置によって電
子部品の検査を実施したりするようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインデックステーブルを用いた部品搬送装置におい
ては、連続して電子部品が搬送されてくる部品供給路上
からインデックステーブルの外周部盤面上に形成された
凹部に電子部品を移載するのに、電子部品を一つずつ分
離して凹部に移動させるという複雑な動作を行う移載機
構（ロボットハンド等）を設ける必要があるため、部品
の搬送速度の高速化を図ることが困難であるとともに、
部品搬送装置が複雑になるという問題点がある。

【０００５】また、インデックステーブルの凹部に電子
部品が収容されるため、電子部品の露出面が限定されて
しまい、電子部品に対するアクセスが困難であるため、
電子部品の検査が難しいという問題点もある。従来、電
子部品の外観検査を行うためにインデックステーブル自
体を透明材料によって構成し、インデックステーブルを
介して外観検査を行う方法も提案されているが、インデ
ックステーブルの構造が複雑になり、テーブル材料も限
定されてしまうことから、装置構成が困難になるという
問題点がある。

【０００６】そこで本発明は上記問題点を解決するため
に、複雑な移載機構を用いることなく、部品供給路から
回転体に対して高速に部品を移載することができるとと
もに、回転体によって部品を搬送している途中でも容易
に部品の検査を行うことができる部品搬送装置を提供す
るに際して好適な回転体の部品保持態様を実現すること
にある。また、このような搬送装置を低コストで製造す
る場合に好適な回転体構造を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の部品搬送装置は、回転可能に設けられた回
転体を備え、該回転体の外周端面に複数の部品吸引口が
周回方向に配列形成され、供給される部品を前記部品吸
引口に吸着保持し、前記回転体の回転動作によって前記
部品を搬送するように構成されている部品搬送装置であ
って、前記回転体には、前記部品吸引口を構成する外縁
開口部から内周側へ延長した形状を有する複数のスリッ
トが形成された吸着部材と、該吸着部材の表面に密着
し、前記部品吸引口における吸引作用を生じさせるため
の排気経路に対して前記スリットの内部を連通させる連
通開口部を備えるとともに、該連通開口部以外において
前記スリットを閉鎖するように構成された通気部材とが
積層配置されていることを特徴とする。

【０００８】この発明によれば、回転体の外周端面に設
けられた部品吸引口に部品を吸着保持させて搬送するよ
うに構成されていることにより、吸引保持された部品の
部品吸引口に吸着保持されている部分以外の表面部を外
部へ露出した状態とすることができるので、部品に対す
る検査を容易に行うことができる。また、スリットを有
する吸着部材と、吸着部材に密着配置される通気部材と
によって回転体を構成していることにより、回転体を構
成する部品形状を加工容易な簡易なものとすることがで
き、製造コストを低減することができる。さらに、吸着
部材の厚さや積層数及びスリット幅を変えることによっ
て部品吸引口の開口形状を容易に変更することができる
ので、種々の搬送部品に柔軟に対応することが可能にな
る。

【０００９】本発明において、前記通気部材が前記吸着
部材の一側に密着配置され、前記スリットを完全に覆う
ように閉鎖する閉鎖部材が前記吸着部材の他側に密着配
置されていることが好ましい。回転体の構造としては、
例えば、回転体の表裏両面に共に通気部材を密着配置
し、スリットの両側にそれぞれの連通開口部を介して排
気経路を接続することも可能であるが、吸着部材の一側
に通気部材を密着配置し、他側に閉鎖部材を密着配置す
ることによって、片側の通気部材にのみ排気経路を接続
すればよいので、回転体の構造及び回転体の周囲構造を
簡易なものとすることができる。

【００１０】本発明において、前記吸着部材及び前記通
気部材がそれぞれ薄板状に形成されていることが好まし
い。吸着部材と通気部材が共に薄板状に形成されている
ことにより、スリットや連通開口部を形成加工すること
が容易になるとともに、回転体を薄型化することができ
る。

【００１１】本発明において、前記回転体の回転動作を
許容するように前記通気部材に摺接するベース体を有
し、該ベース体には、前記連通開口部に連通する通気部
が設けられ、該通気部が前記排気経路に接続されている
ことが好ましい。回転体の回転動作を許容するように通
気部材に摺接したベース体の通気部を介して回転体に排
気経路が接続されているので、回転体を回転させた場合
でも固定された排気経路に沿って排気を行うことが可能
になり、これによって通気部から連通開口部及びスリッ
トを介してスリットの外縁開口部により構成される部品
吸引口にて部品を吸引することが可能になる。

【００１２】本発明において、前記通気部材には、前記
スリットにそれぞれ対応する複数の前記連通開口部が周
回方向に配列形成され、前記通気部が前記連通開口部の
配列する前記周回方向に伸びた形状に形成されているこ
とが好ましい。通気部が連通開口部の配列する周回方向
に伸びた形状に形成されていることによって、複数の連
通開口部を介して複数のスリットに対して排気経路を連
通させることができる。また、通気部の形成範囲を限定
することによって、常に一定の回転角度範囲に位置する
部品収容口にのみ吸着保持力を生ぜしめることができ
る。ここで、より具体的な構造としては、例えば、連通
開口部が円弧状に配列されている場合には通気部が円弧
状に形成されていることが望ましい。

【００１３】本発明において、相互に前記スリットが重
なるように複数の前記吸着部材が積層されており、相互
に重なる前記スリット内の所定位置に、少なくとも一の
前記吸着部材を除いて、前記スリットにおける前記周回
方向に対向する開口縁部間を接続するブリッジ部が形成
されていることが好ましい。スリット内にブリッジ部が
形成されていることによって、部品吸引口を構成する外
縁開口部の両側にある開口縁部の剛性を高めることがで
きるとともに、相互に重なるスリット内の所定位置にお
いては、少なくとも一の前記吸着部材にブリッジ部が存
在しないので、ブリッジ部を形成しても部品吸引口の吸
着保持力が失われないように構成することができる。

【００１４】本発明において、一の前記吸着部材に設け
られたブリッジ部と、他の前記吸着部材に設けられた前
記ブリッジ部とが相互に重ならない異なる位置に形成さ
れていることが好ましい。ブリッジ部の位置が吸着部材
間で相互に重ならないように、異なる位置に形成されて
いることにより、積層配置されている全ての吸着部材に
ブリッジ部を形成しても、部品吸引口までの排気通路を
確保して部品吸引口の吸着保持力が失われないように構
成することができる。したがって、部品吸引口の剛性を
さらに高めることができる。

【００１５】上記の発明において、前記ベース体には、
前記部品吸引口に吸着保持されている部品を前記部品吸
引口から離脱させるために前記部品吸引口に内部から圧
力を加える加圧経路が接続されるとともに前記連通開口
部に連通する加圧部が設けられていることが好ましい。
加圧部には加圧経路から通気部材の連通開口部及びスリ
ットを介して部品吸引口を内部から加圧することができ
るので、単に排気経路の排気作用を解除する場合に較べ
て、部品吸引口に吸着保持されていた部品を確実に離脱
させることが可能になる。また、部品が吸着されていな
い状態で部品吸引口を内部から加圧することにより、部
品吸引口内に入り込んだ塵埃等を排除することもでき
る。ここで、加圧部は、上記通気部と同様に、連通開口
部の配列する周回方向に伸びた形状に形成されているこ
とが好ましい。例えば、回転体の周回方向に見た通気部
の終端部に隣接した位置に上記加圧部を設けることによ
って、回転体の所定回転角度範囲において部品が吸着保
持され、周回方向に搬送された後、加圧部が設けられた
所定回転角度位置において部品が回転体から確実に離脱
するように構成することができる。

【００１６】次に、本発明の部品搬送装置の製造方法
は、回転可能に設けられた回転体を備え、該回転体の外
周端面に複数の部品吸引口が周回方向に配列形成され、
供給される部品を前記部品吸引口に吸着保持し、前記回
転体の回転動作によって前記部品を搬送するように構成
されている部品搬送装置の製造方法であって、前記回転
体には、前記部品吸引口を構成する外縁開口部から内周
側へ延長された形状を有する複数のスリットが形成され
た吸着部材と、該吸着部材の表面に密着し、前記部品吸
引口における吸引作用を生じさせるための排気経路に前
記スリット内を連通させる連通開口部を備えるととも
に、該連通開口部以外において前記スリットを閉鎖する
ように構成された通気部材とを積層配置して前記回転体
を構成することを特徴とする。

【００１７】本発明において、前記吸着部材と前記通気
部材とをエッチング加工によって形成することが好まし
い。吸着部材と通気部材をエッチング加工によって形成
することにより、スリットや連通開口部の加工が容易に
なるとともに、複雑形状や微細形状のスリットや連通開
口部なども簡単に形成することが可能であるため、細か
な部品を吸着保持する部品吸引口を形成することもでき
るなど、状況に対する対応性を高めることができる。

【００１８】本発明において、前記通気部材を前記吸着
部材の一側に密着配置し、前記スリットを完全に覆うよ
うに閉鎖する閉鎖部材を前記吸着部材の他側に密着配置
することが好ましい。

【００１９】本発明の具体的態様としては、基台と、該
基台の表面上を回転可能に摺接する回転体とを備え、該
回転体は、部品をその外周端面に設けられた部品吸引口
に吸着保持して回転するように構成されている部品搬送
装置であって、前記回転体は、前記基台の表面上に摺接
する通気部材と、該通気部材における前記基台の反対側
の表面に密着された吸着部材と、該吸着部材における前
記通気部材の反対側の表面に密着された閉鎖部材とを積
層固定して成り、前記吸着部材には、前記部品吸引口を
形成する外縁開口部から内側へ伸び、その内端に通気開
口部を有するスリットが、前記回転体の周回方向に複数
形成され、前記通気部材には、前記基台の通気部と前記
吸着部材の前記通気開口部とを連通させる連通開口部が
前記回転体の周回方向に複数形成されているものであ
る。この構成によれば、基台に摺接した回転体の通気路
は基台に対する摺接面にて開口し、基台側に形成された
通気部に連通しているため、回転体の通気路に対して気
体を供給したり排気したりするために用いる給排気路の
接続構造を簡易に構成できる。また、回転体の部品吸引
口を構成するためのスリットを有する吸着部材と、この
吸着部材のスリットの通気開口部と基台の通気部とを連
通させる連通開口部を有する通気部材と、吸着部材のス
リットを閉鎖する閉鎖部材とを積層させて構成すること
によって、部品の形状などに合せて吸着部材のみを変更
して対応することも可能であり、或いは、吸着部材を複
数重ね合わせて対応することも可能であるため、状況に
対する対応性を高めることができる。

【００２０】本発明において、略円筒状の外周端面を備
えた回転体と、該回転体の前記外周端面に部品を供給す
るように構成された部品供給路とを有し、前記外周端面
には前記回転体の周回方向に配列形成された複数の部品
吸引口が設けられ、該部品供給路が前記外周端面の略接
線方向に前記部品を供給し、供給された前記部品が前記
部品吸引口に吸着保持された状態で前記回転体が回転し
て前記部品を搬送するように構成されていることが好ま
しい。略円筒状の外周端面に複数の部品吸引口を配列形
成し、部品吸引口に部品を吸着保持させて搬送するよう
に構成した回転体に対して、部品が外周端面に向けて略
接線方向から搬送されてくるように部品供給路を構成す
ることにより、回転体に対する部品の供給をスムーズに
行うことができ、部品を迅速に移載することができる。
また、部品を略円筒状の外周端面に吸着保持するように
構成したことによって、回転体の盤面（回転平面とほぼ
平行な表面）上に凹凸を形成する必要がなくなり、ま
た、部品の多くの表面が露出した状態で吸着保持される
ため、検査が容易になる。

【００２１】また、本明細書に記載された部品搬送装置
としては、部品供給路と、略円筒状の外周端面を備え、
該外周端面に沿って前記部品供給路から略接線方向に部
品が供給されるように配置された回転体とを有し、前記
回転体の内部には複数の通気路が形成され、前記外周端
面には、各通気路の末端部に設けられた部品吸引口が前
記回転体の周回方向に複数配設され、前記回転体は、前
記部品供給路から供給される部品を前記部品吸引口に吸
着保持して回転するように構成されているものである。
略円筒状の外周端面に部品を吸着させて搬送するように
構成した回転体に対して、部品が外周端面に向けて略接
線方向から搬送されてくるように部品供給路を構成する
ことによって回転体に対する部品の供給をスムーズに行
うことができ、部品を迅速に搬送していくことができ
る。また、部品を略円筒状の外周端面に吸着保持するよ
うに構成したことによって、回転体の回転平面上に凹凸
を形成する必要がなくなり、また、部品の多くの表面が
露出した状態で吸着保持されるため、検査が容易にな
る。

【００２２】上記構成において、前記外周端面に対する
前記部品供給路の下流側に、前記回転体の外周端面に沿
って部品を案内する供給側案内部を備えていることが好
ましい。部品供給路の下流側に回転体の外周端面に沿っ
て部品を案内する供給側案内部が形成されていることに
よって、部品供給路の出口位置まで到達した部品はその
後、供給側案内部によって回転体の外周端面に沿って案
内されるので、部品供給路の出口位置の近傍で吸着保持
されなかった部品が存在したとしても外周端面に沿って
案内されている間に部品吸引口に吸着させることができ
るので、回転体の部品吸引口に対する部品の吸着不良を
防止できる。

【００２３】一方、上記構成において、前記部品供給路
の下流側に搬送機能を有しない供給側案内部を介して前
記回転体に前記部品が受け渡されるように構成されてい
る場合もある。この場合には、部品供給路の出口に搬送
機能を有しない供給側案内部が接続され、この供給側案
内部から回転体に部品が渡されるので、部品は供給側搬
送部において後続する部品がない限り滞留し、その滞留
状態で部品吸引口に吸着保持される。したがって、部品
吸引口に対する吸着ミスを低減することができる。

【００２４】上記構成において、前記部品供給路の下流
側に供給側案内部を介して部品が回転体に受け渡される
ように構成し、前記部品供給路は振動によって部品を搬
送可能に構成され、前記供給側案内部は前記部品供給路
から直接振動を受けないように構成されていることが好
ましい。振動型フィーダのように振動によって部品供給
路に沿って部品が搬入される場合に、供給側案内部が部
品供給路から直接振動を受けないように構成されている
ことにより、部品供給路を搬送されてきた部品が供給側
案内部に沿って移動を始めると、部品の振動が減少する
とともに、部品の能動的な進行動作がなくなり、部品が
停止したり、或いは後続の部品に押し出されることによ
ってのみ進んだりするようになるので、部品が滞留し、
回転体の部品吸引口に吸着され易くなるため、部品供給
路から回転体へと確実に部品を移載することができる。

【００２５】上記構成において、前記回転体の前記外周
端面の平均周速度は前記部品供給路上の部品の平均供給
速度よりも早くなるように設定されていることが好まし
い。これによれば、部品供給路から回転体の外周端面に
供給された部品の平均供給速度（部品によって速度ばら
つきが存在する場合、或いは、時間的な速度変動がある
場合においてはそれらを平均した供給速度であり、一定
の供給速度である場合にはその供給速度そのものであ
る。）が外周端面の平均周速度（例えば間欠回転で回転
体を駆動する場合、また、連続回転でも回転速度に変動
がある場合には時間的に平均化した周速度である。）よ
り小さいので、供給された部品が外周端面に沿って移動
してくる部品吸引口に追い付かれ、取り上げられるよう
にして吸着保持され、回転体の回転方向に搬送されてい
く。したがって、部品の吸着不良を回避することができ
るとともに、より高速に部品を移載し、搬送することが
できる。

【００２６】上記構成において、前記外周端面に接する
ように設けられ、前記回転体から部品を受け取って前記
外周端面の略接線方向に排出する部品排出路が構成され
ていることが好ましい。

【００２７】上記構成において、前記部品排出路の上流
側に、前記回転体の外周端面に沿って部品を案内する排
出側案内部を備えていることが好ましい。

【００２８】上記構成において、前記部品排出路は振動
によって部品を搬送可能に構成され、前記排出側案内部
は前記部品排出路に接続されて振動を受けるように構成
されていることが望ましい。

【００２９】上記構成において、前記部品排出路若しく
は前記排出側案内部に対向する前記回転体の部品吸引口
へ、回転体の内部の通気路から流体圧を加えるように構
成されていることが好ましい。流体圧は気体圧であるこ
とが望ましい。部品排出路若しくは排出側案内部に対向
する部分で部品吸引口に流体圧が加わることにより、部
品吸引口に吸着保持されていた部品は流体圧によって強
制的に回転体の外周端面から離脱され、部品排出路若し
くは排出側案内部へと送り出されるため、部品を確実に
排出することができる。

【００３０】上記構成において、前記回転体は基台の表
面上を回転可能に摺接し、前記基台には、前記回転体に
対する摺接面に開口した表面開口部を備えた通気部が形
成され、前記部品吸引口に繋がる前記回転体内の通気路
は、前記回転体の前記基台に対する摺接面に開口した連
通開口部を有し、該連通開口部は前記回転体内の通気路
に連通していることが好ましい。この発明によれば、回
転体内の通気路は基台に対する摺接面に開口する連通開
口部を経て基台側に形成された通気部に連通しているた
め、回転体の通気路を排気したり通気路に流体圧を加え
たりするために用いる排気経路或いは加圧経路の接続構
造を簡易に構成できる。

【００３１】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る部品搬送装置の実施形態について詳細に説明す
る。この実施形態はチップ状の半導体集積回路、実装用
の脚部を備えた電気素子などの各種の電子部品を搬送す
るための部品搬送装置である。

【００３２】図１は本実施形態の部品搬送装置の使用状
態を示す概略平面図である。ボウル型の振動式パーツフ
ィーダ１０の出口部は直線状の振動式リニアフィーダ１
３に接続され、この振動式リニアフィーダ１３は、円盤
状のインデックステーブル２０Ｒを備えた回転搬送装置
２０に接続されている。この回転搬送装置２０は、振動
式リニアフィーダ１３の反対側に配置された振動式リニ
アフィーダ１４にも接続されている。

【００３３】振動式パーツフィーダ１０は、ボウル型の
容器を図示しない振動装置によって回転方向に振動させ
るように構成されている。この容器は、内部中央に円形
の部品収容部１１を有し、この部品収容部１１の周囲に
は、螺旋状の部品搬送路１２が形成されている。この部
品搬送路１２は、電子部品を略平坦な案内面に沿って移
動させていくものであってもよく、また、内側の部品収
容部１１に向けて傾斜した傾斜面の上端に形成された段
差によって構成されていてもよい。後者の場合、電子部
品は、その段差に全体若しくは頭部（脚部を有するもの
の場合）を引っ掛けた状態で搬送されていく。螺旋状の
部品搬送路１２は外周側に伸びるに従って次第にボウル
形状の内面を上方へ登っていくように構成されている。

【００３４】部品搬送路１２の最外周部分は、上記の振
動式リニアフィーダ１３の入口に接続されている。振動
式リニアフィーダ１３には図示しない振動装置が設けら
れるとともに、直線状に伸びる凹溝１３ａが形成され、
この凹溝１３ａは電子部品がちょうど嵌合するように構
成されている。この振動式リニアフィーダ１３において
は、振動装置が発生する振動により、凹溝１３ａに沿っ
て電子部品が一定の姿勢で直線的に搬送されるようにな
っている。

【００３５】振動式リニアフィーダ１３の出口はインデ
ックステーブル２０Ｒの外周部に隣接するように配置さ
れている。すなわち、上記の凹溝１３ａの延長方向に伸
びる仮想的な直線は、インデックステーブル２０Ｒの外
周の接線にほぼ一致するように、振動式リニアフィーダ
１３及びインデックステーブル２０Ｒが相互に配置され
ている。振動式リニアフィーダ１３の出口に隣接し、イ
ンデックステーブル２０Ｒの外周に沿って円弧状に伸び
る案内部材１５が回転搬送装置２０に取り付けられてお
り、この案内部材１５には、インデックステーブル２０
Ｒの外縁に沿って形成された片溝１５ａが形成されてい
る。この片溝１５ａは、インデックステーブル２０Ｒの
外周端面との間に電子部品を収容し、通過させることが
できる寸法に構成されている。

【００３６】振動式リニアフィーダ１４は、振動式リニ
アフィーダ１３と同様に、インデックステーブル２０Ｒ
の外周に隣接するように配置されている。この振動式リ
ニアフィーダ１４にも図示しない振動装置が設けられる
とともに上記と同様の凹溝１４ａが形成され、振動装置
の振動によって、凹溝１４ａ内の電子部品が一定姿勢で
搬送されていくように構成されている。また、振動式リ
ニアフィーダ１４の入口に隣接し、インデックステーブ
ル２０Ｒの外周端面に沿って円弧状に伸びる案内部材１
６が回転搬送装置２０に取り付けられており、この案内
部材１６には、インデックステーブル２０Ｒの外周端面
に沿って形成された片溝１６ａが形成されている。この
片溝１６ａは、インデックステーブル２０Ｒの外周端面
との間に電子部品を収容し、通過させることができる寸
法に構成されている。

【００３７】上記のように構成された部品搬送路におい
て、部品は、図１に矢印にて示すように、振動式パーツ
フィーダ１０から部品供給路を構成する振動式リニアフ
ィーダ１３を通って回転搬送装置２０に移載され、イン
デックステーブル２０Ｒの回転とともにほぼ半円弧状の
軌跡を移動し、部品排出路を構成する振動式リニアフィ
ーダ１４へと移載される。このように、インデックステ
ーブル２０Ｒを備えた回転搬送装置２０は、一つの部品
搬送路から方向を変えて他の部品搬送路へと部品を移載
する機能を有し、さらに、インデックステーブル２０Ｒ
は、その回転移動中に後述するように電子部品を位置決
めする機能をも有する。

【００３８】図５及び図６には、上記のインデックステ
ーブル２０Ｒを備えた回転搬送装置２０の概略断面（透
視）図を示す。インデックステーブル２０Ｒの下方位置
には、ステップモータなどからなる駆動モータ２１が支
柱２２によって支持され、駆動モータ２１の出力軸は、
下端においてラジアル方向及びスラスト方向に軸受さ
れ、上端においてはインデックステーブル２０Ｒに対し
て回転方向に結合されている。なお、駆動モータの出力
軸にはインデックステーブル２０Ｒを回転方向に結合さ
せるための複数の部品が取り付けられており、これらの
部品は回転組立体２３を構成している。

【００３９】また、支柱２２の上部には中継フランジ２
４が固定され、この中継フランジ２４の上部にインデッ
クスベース２５が固定されている。インデックスベース
２５には後述するリング状のエア中継板２６が上方から
嵌合され、固定されている。エア中継板２６はポリアミ
ド系合成樹脂などの低摩擦で他部材に対する摺動性の優
れた樹脂などによって形成されることが好ましい。イン
デックスベース２５及びエア中継板２６の上面にはイン
デックステーブル２０Ｒの下面が摺動可能に接してい
る。なお、上記回転組立体２３におけるインデックステ
ーブル２０Ｒよりも下側に配置された部分は中継フラン
ジ２４の内部において回転自在に収容されている。

【００４０】駆動モータ２１の出力軸の下部には、多数
のスリット孔を軸線周りに備えた光スリット板２７が取
り付け固定されており、この光スリット板２７によって
光学センサ２８が駆動モータ２１により駆動されるイン
デックステーブル２０Ｒの回転角度、回転速度などを検
出できるように構成されている。

【００４１】図示しない真空排気装置に接続された排気
管３１（接続部のみ示す。）はインデックスベース２５
の下面に取り付けられ、図示しない給気装置に接続され
た給気管３２（接続部のみ示す。）もまたインデックス
ベース２５の下面に取り付けられている。

【００４２】さらに、図５に示すように、インデックス
ベース２５の下面の外縁部にはコ字状の取付金具３３の
下端部が接続され、この取付金具３３によってインデッ
クステーブル２０Ｒの上側に吹付ノズル３４が支持固定
されている。吹付ノズル３４はインデックステーブル２
０Ｒの外周部に向けて斜め内側上方から圧縮空気を吹付
けることができるように構成されている。また、図６に
示すように、インデックスベース２５の下面の外周部に
はコ字状の取付金具３５が接続され、この取付金具３５
によって、インデックステーブル２０Ｒの外周縁の上下
に光学センサ３６の発光部及び検出部がそれぞれ取り付
け固定されている。

【００４３】図３はインデックステーブル２０Ｒの構成
部品を示す平面図である。インデックステーブル２０Ｒ
は、それぞれがステンレス板にて形成された、図３
（ａ）に示す閉鎖板２０Ａと、図３（ｂ）に示す吸着板
２０Ｂと、図３（ｃ）に示す通気板２０Ｃとから構成さ
れ、上から閉鎖板２０Ａ、吸着板２０Ｂ、通気板２０Ｃ
の順に重ね合され（積層され）相互に固定されている。
ここで、吸着保持される電子部品の形状寸法に応じて適
宜の枚数の吸着板２０Ｂが重ね合されてもよく、単一の
吸着板２０Ｂのみが用いられていてもよい。

【００４４】閉鎖板２０Ａには、周縁部において周回方
向に配列された多数の固定孔２０１が形成されていると
ともに、中央部に軸孔２０２及びその周囲に形成された
固定孔２０３が設けられている。固定孔２０１は後述す
るように閉鎖板２０Ａの周縁部を吸着板２０Ｂ及び通気
板２０Ｃに固定するための固定ネジを挿通するためのも
のである。また、軸孔２０２は駆動モータ２１の出力軸
を挿通するためのものであり、固定孔２０３は上記の回
転組立体２３に閉鎖板２０Ａの中心部を取り付け固定す
るためのボルトを挿通するためのものである。

【００４５】吸着板２０Ｂには、上記閉鎖板２０Ａと同
様に、周縁部において複数の固定孔２１１が形成されて
いるとともに中心部において軸孔２１２及び固定孔２１
３が形成されている。これらの複数の固定孔２１１、軸
孔２１２及び固定孔２１３は上記閉鎖板２０Ａに形成さ
れているものと同様に、それぞれ、閉鎖板２０Ａ及び通
気板２０Ｃに対して固定するための固定ネジを挿通する
目的、駆動モータ２１の出力軸を挿通する目的、及び、
回転組立体２３に中心部を取り付け固定するためのボル
トを挿通する目的で設けられているものである。また、
この吸着板２０Ｂの周縁部には、周回方向に配列された
複数（図示例では１００個）のスリットが設けられ、こ
れらのスリットにおいては、内端部に通気開口部２１４
が形成され、この通気開口部２１４から外側に細幅の通
気スリット部２１５が伸び、通気スリット部２１５の先
端は吸着板２０Ｂの外縁に形成された外縁開口部２１６
となっている。通気開口部２１４は後述する通気板の連
通開口部に合致して通気路の一部を構成するものであ
り、細幅の通気スリット部２１５は通気開口部２１４と
外縁開口部２１６との間を接続するものである。外縁開
口部２１６は、インデックステーブル２０の外周端面に
形成される部品吸引口を、単独で、或いは、複数枚の吸
着板２０Ｂを積層する場合には他の吸着板に形成された
１又は複数の外縁開口部２１６とともに構成するもので
ある。

【００４６】通気板２０Ｃには、その周縁部に形成され
た固定孔２２１と、中心部に形成された軸孔２２２及び
固定孔２２３とが設けられている。これらの固定孔２２
１、軸孔２２２及び固定孔２２３は上記閉鎖板２０Ａや
吸着板２０Ｂに形成されているものと同様の目的で造ら
れたものであり、それらと対応した位置にそれぞれ形成
されている。また、通気板２０Ｃの周縁部には周回方向
に配列された複数（図示例では１００個）の連通開口部
２２４が形成されている。これらの連通開口部２２４は
吸着板２０Ｂの通気開口部２１４に対応する位置に形成
されている。

【００４７】本実施形態の場合、上記の閉鎖板２０Ａ及
び通気板２０Ｃは約１ｍｍ程度の厚さのステンレス鋼板
で形成され、吸着板２０Ｂは約０．１ｍｍ程度の厚さの
ステンレス鋼板で形成されている。吸着板２０Ｂは例え
ば１０枚程度積層されて閉鎖板２０Ａと通気板２０Ｃと
の間に密着性良く挟みこまれ、上記固定孔を用いてネジ
止めすることによって中心部と周縁部とが相互に密着さ
れ、且つ、回転方向に固定されている。これらの閉鎖板
２０Ａ、吸着板２０Ｂ、通気板２０Ｃはいずれもステン
レス鋼板をエッチングによって図示のようなパターンに
形成したものであり、微細なパターンであっても容易に
形成できる。また、簡単に形成できるため、様々な電子
部品に対応するようにパターン形状が変更されても容易
に対応することができる。また、吸着板２０Ｂの積層枚
数を変更することによって、部品吸引口の高さを容易に
変更することができる。特に吸着板２０Ｂには図示のよ
うに微細なスリットを多数形成する必要があるので、こ
のように微細で複雑なパターンでも容易に、しかも高精
度に形成できるようにするために吸着板２０Ｂを薄く形
成することが望ましい。

【００４８】図４には、ベース体を構成するインデック
スベース２５及びエア中継板２６の構造を説明するため
の、エア中継板２６の平面図（ａ）、インデックスベー
ス２５の平面図（ｂ）、及び、エア中継板２６の構造と
インデックステーブル２０Ｒ内の通気路の構造との関係
を示す説明図（ｃ）を示す。図４（ａ）に示すように、
エア中継板２６はリング状に形成され、上方に開口する
とともに周回方向に円弧状に伸びる凹部として形成され
た通気部２６Ａを備え、この通気部２６Ａの内部に周回
方向に配列された複数の排気孔２６ａと、給気孔２６ｂ
とが形成されている。また、エア中継板２６には通気部
２６Ａに対して周回方向に隣接し、凹部として形成され
た通気部（加圧部）２６Ｂが形成され、この通気部２６
Ｂには一つの給排気孔２６ｄが形成されている。通気部
２６Ａ及び通気部２６Ｂはエア中継板２６の周回方向の
ほぼ１８０度に達する範囲に亘って形成されており、通
気部２６Ｂは、エア中継板２６を時計廻りに見たとき、
円弧状に長く形成された通気部２６Ａの後方に隣接し
て、５〜３０度の短い角度範囲に亘って形成されてい
る。また、通気部２６Ａ及び通気部２６Ｂの形成された
部分以外の場所に、さらに３つの給気孔２６ｃが形成さ
れている。なお、上記の排気孔２６ａ、給気孔２６ｂ、
給気孔２６ｃ及び給排気孔２６ｄはいずれもネジ孔とな
っている。

【００４９】図４（ｂ）に示すように、インデックスベ
ース２５は、上記エア中継板２６よりも幅広に形成され
たリング形状を備え、もっとも内側には図５および図６
に示す支柱の上部に固定された固定板に取り付けるため
の複数の取付孔を有する内側フランジ部２５Ａが形成さ
れ、その周囲に上記エア中継板２６に合致した半径を有
する環状溝２５Ｂが形成されている。環状溝２５Ｂに
は、周回方向に配列された複数の排気孔２５ａ、給気孔
２５ｂ、給気孔２５ｃ及び給排気孔２５ｄが形成され、
これらは上記エア中継板２６の複数の排気孔２６ａ、給
気孔２６ｂ、給気孔２６ｃ及び給排気孔２６ｄに対応し
た位置に形成されている。さらに、環状溝２５Ｂの外側
には、複数の小孔２５ｅが周回方向に配列形成されてい
る。これらの複数の小孔２５ｅは、上記の案内部材１５
を取り付けたり、取付金具３３や取付金具３５を取り付
けたりするためのものである。

【００５０】環状溝２５Ｂには上方から上記のエア中継
板２６が嵌合され、この状態でインデックスベース２５
の下方から排気孔２５ａに上記の排気管３１が挿入さ
れ、エア中継板２６の排気孔２６ａに螺合している。ま
た、給気孔２５ｂ及び給気孔２５ｃには上記の給気管３
２が挿入され、エア中継板２６の給気孔２６ｂ及び給気
孔２６ｃに螺合している。したがって、エア中継板２６
は排気管３１及び給気管３２を介してインデックスベー
ス２５に対して回転方向に固定されている。

【００５１】図４（ｃ）には、上記のエア中継板２６に
形成された通気構造と、上記通気板２０Ｃに形成された
連通開口部２２４との位置関係を示す。インデックステ
ーブル２０Ｒが図示時計廻りに回転すると、通気板２０
Ｃの連通開口部２２４は周回方向に移動し、例えば、通
気部２６Ａの上を通過して通気部２６Ｂの上を通り、さ
らに給気孔２６ｃを順次に通過して再び元に戻る。した
がって、インデックステーブル２０Ｒが回転すると、連
通開口部２２４、通気開口部２１４、通気スリット部２
１５を経て外縁開口部２１６まで伸びるインデックステ
ーブル２０Ｒ内の通気路は、エア中継板２６上の連通開
口部２２４の位置に応じて、排気されたり、給気された
りを繰り返す。

【００５２】例えば、或る通気路の連通開口部２２４が
通気部２６Ａ上にくると、通常は通気路内の空気が排気
され、その結果、外縁開口部２１６によって構成される
部品吸引口から通気路内に空気が吸い込まれる。また、
或る通気路の連通開口部２２４が通気部２６Ａ上ではあ
っても、給気孔２６ｂの直上位置に連通開口部が来たと
きには、給気孔２６ｂから放出される弱いエアによって
外縁開口部２１６によって構成される部品吸引口の吸引
力が低減されるようになっている。さらに、或る通気路
の連通開口部２２４が給気孔２６ｃの上方位置にくる
と、給気孔２６ｃから供給されるエアが通気路内に流入
し、外縁開口部２１６によって構成される部品吸引口か
らエアが噴出して、部品吸引口から塵埃等を排出するよ
うになっている。

【００５３】また、通気部２６Ｂ内に形成された給排気
孔２６ｄは、インデックステーブル２０に吸着保持され
た電子部品の離れ具合に応じて、図示しない排気装置と
給気装置のいずれかに切換操作によって接続できるよう
に構成されている。すなわち、例えば切換弁によって排
気装置に接続された状態、給気装置に接続された状態を
任意に選べるように構成される。したがって、給排気孔
２６ｄから上記排気孔２６ａと同様に通気路のエアを排
気したり、給気孔２６ｂと同様に通気路にエアを供給し
たりすることができるようになっている。なお、給排気
孔２６ｄに接続された配管には、排気装置又は給気装置
との間の配管接続部の開口径を増減する調整弁、減圧
弁、レギュレータなどの圧力調整手段を取り付けること
により、排気や給気の強さを適宜に調整できるように構
成することが好ましい。このようにすると、或る通気路
の連通開口部２２４が通気部２６Ｂの上方にくると、上
記のように調整制御された排気作用若しくは給気作用が
その通気路の外縁開口部２１６によって構成される部品
吸引口に生ずる。

【００５４】さらに、或る通気路の連通開口部２２４が
通気部２６Ｂを過ぎてしまうと、その通気路の外縁開口
部２１６には排気も給気も生じなくなり、連通開口部２
２４が給気孔２６ｃの直上位置に来たときだけ、上述の
ように外縁開口部２１６からエアが噴出される。

【００５５】次に、図２を参照して、以上説明した構造
を備えた本実施形態の動作について以下に詳細に説明す
る。この実施形態では、振動式リニアフィーダ１３は電
子部品１００を凹溝１３ａ内にて平均搬送速度Ｖ１で搬
送する。そして、搬送されてきた電子部品１００はやが
て凹溝１３ａの出口１３ｂに到達し、インデックステー
ブル２０Ｒの外周端面に臨む位置に配置される。ここ
で、インデックステーブル２０Ｒの外周端面は平均周速
度Ｖ２で間欠的に若しくは連続的に回転する。凹溝１３
ａの出口に存在するインデックステーブル２０Ｒの部品
吸引口２０Ｄは、既に図４（ａ）に示すエア中継板２６
の通気部２６Ａを介して空気を吸引しており、順次搬送
されてきた電子部品１００は次々とインデックステーブ
ル２０Ｒの外周端面に形成された部品吸引口２０Ｄに吸
い付けられ、インデックステーブル２０Ｒの回転ととも
に搬送されていく。

【００５６】ここで、部品吸引口２０Ｄの位置が凹溝１
３ａの出口１３ｂに来るタイミングと、電子部品１００
が凹溝１３ａの出口１３ｂに供給されるタイミングとが
合わないと、電子部品１００が部品吸引口２０Ｄに吸い
付けられないまま、インデックステーブル２０Ｒの回転
方向（図示例では時計廻り）に向けて、インデックステ
ーブル２０Ｒに吸着保持された後続の電子部品に押し出
されてしまう場合がある。このような事態が発生するこ
とを防止するために、本実施形態では凹溝１３ａの出口
に引き続いて案内部材１５を配置し、その片溝１５ａに
沿って電子部品１００を案内することによって、電子部
品１００が片溝１５ａに沿って案内されている間に最寄
りの部品吸引口に吸着保持されるようにしている。特
に、本実施形態では接線方向に電子部品１００を供給し
ているため、一旦、インデックステーブル２０Ｒの外周
端面の部品吸引口に吸着されようとした電子部品１００
がインデックステーブル２０Ｒの回転による遠心力の作
用によって振り落とされてしまう確率が大きくなる。こ
れに対処するために、本実施形態では、凹溝１３ａの出
口１３ｂからさらにインデックステーブル２０Ｒの外周
に沿って伸びる案内部材１５によって電子部品１００が
部品吸引口から大きく離れることなく案内されている間
に電子部品１００が部品吸引口にしっかりと吸着される
ようにしている。

【００５７】また、本実施形態では、より確実に、且
つ、より高速に電子部品１００を振動式リニアフィーダ
１３からインデックステーブル２０Ｒへと移載するため
に、インデックステーブル２０Ｒの外周端面の平均周速
度Ｖ２を振動式リニアフィーダ１３による平均搬送速度
Ｖ１よりも若干大きくしている。このようにすると、凹
溝１３ａに沿って搬送されてきた電子部品が出口に到達
したとき、インデックステーブル２０Ｒの周速の方が電
子部品１００の移動速度よりも大きくなっているので、
電子部品１００はインデックステーブル２０Ｒの外周端
面に形成された部品吸引口に追いつかれる状態で部品吸
引口が接近し、部品吸引口が当該電子部品１００に並ん
だときに吸着されることになる。その結果、供給された
電子部品１００は必ず部品吸引口に最接近する機会を与
えられることになるため、電子部品１００の吸着不良を
低減することができるとともに、電子部品１００の搬送
速度を全体として高めることが可能になる。ここで、両
平均搬送速度の差Ｖ２−Ｖ１は、インデックステーブル
２０Ｒの部品吸引口と、部品との相対的な速度に相当す
るので、部品を部品吸引口に吸着されやすくするにはＶ
２−Ｖ１が小さいほど良い。また、Ｖ２−Ｖ１が小さい
ほどインデックステーブル２０Ｒの搬送効率が高くな
る。

【００５８】本実施形態では、電子部品１００をインデ
ックステーブル２０Ｒの外周部に対して接線方向から供
給しているため、電子部品１００をインデックステーブ
ル２０Ｒに向けて供給する速度を高めることができると
ともに、案内部材１５を設けることによって確実に電子
部品１００を部品吸引口２０Ｄに吸着させることができ
る。本実施形態では、案内部材１５を振動式リニアフィ
ーダ１３とは別に取付支持し、しかも、案内部材１５が
振動式リニアフィーダ１３に接しないようにわずかな間
隔を開けて取り付けることによって、振動式リニアフィ
ーダ１３の発する振動を直接に受けないように構成され
ている。このため、振動式リニアフィーダ１３から押し
出されて案内部材１５上に乗り移った電子部品１００
は、案内部材１５から強い振動を受けることがないとと
もに、後続の電子部品１００によって前方へ順次に押し
出されるものの自らは進行しようとはしない。したがっ
て、案内部材１５の片溝１５ａに沿って移動している電
子部品１００は振動式リニアフィーダ１３上の電子部品
１００に較べて振動が少なく、しかも、複数の電子部品
１００が相連続してゆっくりと片溝１５ａ上を移動する
ことになるため、片溝１５ａに沿って配置される部品吸
引口２０Ｄに吸い付けられ易くなる。

【００５９】また、本実施形態では、上記のようにイン
デックステーブル２０の平均周速度Ｖ２を振動式リニア
フィーダ１３の平均搬送速度Ｖ１よりも若干速めに設定
し、しかも、上記の案内部材１５を設けることによっ
て、インデックステーブル２０Ｒの外周端面に凹部など
の電子部品１００を位置決め、規制する構造を設けなく
ても、確実に部品吸引口２０Ｄに電子部品１００を吸着
保持できるようになっている。このため、電子部品１０
０はインデックステーブル２０Ｒの略円筒面状に形成さ
れた外周端面に吸着するように構成できるので、電子部
品１００の部品吸引口２０Ｄに吸着されている面以外は
全て観察したり、直接にアクセスしたりすることができ
る。もっとも、本発明において、部品吸引口２０Ｄの形
成されたインデックステーブル２０Ｒの外周端面に、上
記のような部品の位置決めや規制を行うための凹部を設
けても構わない。

【００６０】本実施形態では、図２に示すように、例え
ばＣＣＤカメラ３７によって部品の外観を撮影し、所定
の基準画像と比較することによって外観検査を行うこと
ができるように構成できる。また、本実施形態の場合に
は、電子部品１００が部品吸引口２０Ｄに吸着されてい
る吸着面を除き、他の面、すなわち、上面、下面及び吸
着面を除いた他の周面が全て外部に露出しているため、
外観検査などを従来よりも格段に容易に行うことができ
るとともに、何らかの接触試験（部品に接触して行う試
験）を行う際にも部品へのアクセスがきわめて容易であ
る。

【００６１】本実施形態では、図示のようにインデック
ステーブル２０Ｒの径方向外側からＣＣＤカメラ３７に
よって外観を観察し、その後、上記の光学センサ３６に
よって電子部品の有無を部品吸引口２０Ｄ毎に確認した
後、外観検査に適合しなかった不良品に向けて吹付ノズ
ル３４からエアを吹付け、部品吸引口２０Ｄから離反さ
せ、廃棄するように構成されている。このとき、吹付ノ
ズル３４によるエアで排除しようとする電子部品を吸着
保持する部品吸引口２０Ｄには上記給気孔２５ｂ，２６
ｂを介して弱いエアが供給されるように構成され、吸引
力が低下した状態となっている。したがって、吹付ノズ
ル３４からのエアによって容易に上記の電子部品１００
のみを外周端面から離脱させることができる。

【００６２】やがて、インデックステーブル２０Ｒに吸
着保持されたまま約半周近く回転方向に搬送された電子
部品１００は、案内部材１６の片溝１６ａ内に導入され
る。電子部品１００が案内部材１６上に位置するとき、
当該電子部品１００を吸着している部品吸引口２０Ｄを
構成する外縁開口部２１６の内側に構成された通気路に
おいては、その連通開口部２２４が通気部２６Ｂ上に配
置されるようになっている。このため、通気部２６Ｂ内
に開口する給排気孔２６ｄからの排気量を通気部２６Ａ
内の排気孔２６ａからの排気量よりも低減し、或いは、
排気そのものを停止し、さらには、逆に給排気孔２６ｄ
からエアを噴出させるようにすることによって電子部品
１００を部品吸引口２０Ｄから離反させることができ
る。このように電子部品１００を振動式リニアフィーダ
１４に到達する前に既に部品吸引口２０Ｄから引き離し
ておくことによって、誤って電子部品１００が部品吸引
口２０Ｄに吸着されたまま振動式リニアフィーダ１４を
乗り越えて回転してしまう事態を防止できる。

【００６３】この場合、案内部材１６を振動式リニアフ
ィーダ１４に直接接続固定しておくことによって、振動
式リニアフィーダ１４の振動が案内部材１６に直接に伝
わり、その振動によって電子部品１００の部品吸引口２
０Ｄからの離脱を促進させることができる。なお、電子
部品１００はインデックステーブル２０Ｒの回転によっ
て遠心力を受けているので、一般的には通気路を介した
排気を停止することにより容易にインデックステーブル
２０から離反する。したがって、上記給気孔などのエア
の供給手段は必ずしも必須のものではない。

【００６４】以上説明した実施形態を用いて搬送路を構
成する場合の構成例を図７に示す。図７（ａ）に示すも
のは、図１に示すボウル型の振動式パーツフィーダ１
０、振動式リニアフィーダ１３、インデックステーブル
２０、振動式リニアフィーダ１４の先にさらにもう一つ
のインデックステーブル４０を接続し、さらに別の振動
式リニアフィーダ１７を接続したものである。インデッ
クステーブル４０は上述のインデックステーブル２０に
対して構造及び回転方向が左右反転しているだけで基本
的にはまったく同構造のものである。このように構成す
ると、インデックステーブル２０とインデックステーブ
ル４０とに挟まれた振動式リニアフィーダ１４におい
て、上流側（振動式パーツフィーダ１０側）の部品供給
速度のばらつきを吸収して下流側（振動式リニアフィー
ダ１７側）へ部品をインデックステーブル４０の回転速
度に対応した一定速度で送ることができ、逆に、上流側
（振動式パーツフィーダ１０側）からの部品供給速度を
ばらつかせて下流側（振動式リニアフィーダ１７側）の
部品排出速度のばらつきに合せて部品を送り出すことも
可能になる。

【００６５】図７（ｂ）に示すものは、振動式パーツフ
ィーダ１０、振動式リニアフィーダ１３、インデックス
テーブル２０を順次接続し、このインデックステーブル
２０に対してインデックステーブル４０を隣接配置した
ものである。部品は振動式パーツフィーダ１０から振動
式リニアフィーダ１３を経てインデックステーブル２０
に移載された後、インデックステーブル２０から直接に
インデックステーブル４０に移載される。

【００６６】上記の２つの構成例の場合には、いずれ
も、部品のインデックステーブル２０に対する吸着面を
インデックステーブル４０に移載したときに外周側に露
出させることができるので、部品の全周に亘って外観を
検査したり、アクセスしたりする必要がある場合に好都
合である。

【００６７】以上説明した本実施形態では、電子部品１
００を毎分１２００個と極めて高速に搬送することがで
きる。これは、移載機構（部品を一つずつインデックス
テーブルに送る機構）を用いる場合には不可能な速度で
ある。また、案内部材１５を設けることによって部品の
吸着ミスがほとんど発生せず、上記のように高速に搬送
してもこの点は変わらない。

【００６８】次に、図８を参照して、上記実施形態の変
形例について説明する。上記実施形態において、供給側
案内部である案内部材１５は部品供給路である振動式リ
ニアフィーダ１３の出口に隣接して、その下流側に向け
て回転体であるインデックステーブル２０Ｒの外周に沿
って伸びるように形成されている。すなわち、図８
（ａ）〜（ｃ）に示すように、部品供給路Ａの下流側に
回転体Ｂの外周に沿って配置された供給側案内部Ｃを設
けることにより、部品供給路ＡからワークＤを回転体Ｂ
の外周端面に受け渡す際の補助作用を供給側案内部Ｃが
果たすように構成できる。この場合、図８（ａ）に示す
ものは、部品供給路Ａの出口が回転体Ｂの外周端面に臨
んだ状態となっており、供給側案内部ＣはワークＤを回
転体Ｂの外周端面に沿って下流側へ案内するように構成
されている。また、図８（ｂ）に示すものは、部品供給
路Ａの出口が回転体Ｂの外周端面からやや離れた位置に
設けられ、供給側案内部Ｃは部品供給路Ａの出口から回
転体Ｂの外周端面に遭遇する位置までワークＤを案内す
るようになっている。さらに、図８（ｃ）に示すもの
は、部品供給路Ａの出口が回転体Ｂの外周端面からやや
離れた位置に設けられ、供給側案内部Ｃは部品供給路Ａ
の出口から回転体Ｂの外周端面に遭遇する位置までワー
クＤを案内するとともに、当該位置からさらに回転体Ｂ
の外周端面に沿って下流側へ延伸し、ワークＤを回転体
Ｂの外周端面に沿って案内するように構成されている。

【００６９】供給側案内部Ｃとしては、図８（ａ）及び
（ｃ）に示す場合のように、部品供給路Ａに沿って供給
されるワークＤが回転体Ｂの外周端面に遭遇した後、し
ばらく当該外周端面から離れないように案内する機能を
有する。すなわち、当初はワークＤが完全に部品吸引口
に吸着保持されていなくても、ワークＤが供給側案内部
Ｃによって回転体Ｂの外周端面に臨んだ状態で下流側へ
案内されている間に部品吸引口に吸着保持されるように
することができる。

【００７０】一方、図８（ｂ）及び（ｃ）に示すよう
に、部品供給路Ａの出口が回転体Ｂの外周端面から離れ
ている場合（部品供給路Ａから出たときにワークＤが回
転体Ｂの外周端面に未だ接触しないように構成されてい
る場合）、部品供給路Ａに沿って搬送されてくるワーク
Ｄを搬送能力のない供給側案内部Ｃにおいて滞留させ、
無搬送状態のワークＤを確実に部品吸引口に遭遇させる
機能をも有する。すなわち、ワークＤは無振動の供給側
案内部Ｃに案内された状態で初めて回転体Ｂの外周端面
に接触するので、部品吸引口に遭遇したときにワークＤ
には強い振動が付与されていないことになるから、振動
によって生ずるワークＤの部品吸引口に対する吸着ミス
が防止される。これらの供給側案内部Ｃの機能によっ
て、図８（ａ）〜（ｃ）のいずれの構造を備えている場
合であっても、ワークＤは確実に回転体Ｂの外周端面上
の部品吸引口に遭遇させられ、確実に吸着保持される。

【００７１】最後に、図９及び図１０を参照して、上記
実施形態における吸着板２０Ｂ及びインデックステーブ
ル２０Ｒの変形例について説明する。図９（ａ）は吸着
板２０１Ｂの外周部分を拡大して示す部分拡大図であ
り、図９（ｂ）は吸着板２０２Ｂの部分拡大図である。
この変形例においては、上記実施形態のインデックステ
ーブル２０Ｒにおいて、上記吸着板２０Ｂの代わりに吸
着板２０１Ｂと２０２Ｂとを一枚ずつ積層するか、或い
は、それぞれ複数枚ずつの吸着板２０１Ｂと２０２Ｂと
を交互に積層する。図１０には、吸着板２０１Ｂと２０
２Ｂとを２枚ずつ交互に積層し、これらを閉鎖板２０Ａ
と通気板２０Ｃとによって挟持してなるインデックステ
ーブル２０Ｒの断面構造を示す。

【００７２】この変形例においては、図９に示すよう
に、吸着板２０１Ｂ，２０２Ｂの外周近傍に、上記と同
様の通気開口部２１４１，２１４２、通気スリット部２
１５１，２１５２、及び、外縁開口部２１６１，２１６
２を備えた多数のスリットが周回方向に形成されてい
る。これらのスリット内には、各スリットにおける対向
縁部間を接続するブリッジ部２１７１，２１７２が設け
られている。これらのブリッジ部２１７１，２１７２
は、周回方向に配列形成された複数のスリットの形成に
よって生ずる、吸着板における外縁開口部の開口縁部に
おける周回方向の剛性低下を抑制するためのものであ
る。

【００７３】吸着板２０１Ｂのスリットに設けられたブ
リッジ部２１７１と、吸着板２０２Ｂのスリットに設け
られたブリッジ部２１７２とは、吸着板２０１Ｂと２０
２Ｂとが積層された状態で相互に重ならない、異なる
（ずれた）位置に配置されるように、ブリッジ部２１７
１の方がブリッジ部２１７２よりも外周側に形成されて
いる。したがって、図１０に示すように、インデックス
テーブルにおいて、連通開口部２２４に連通する上記通
気開口部２１４１，２１４２と、外縁開口部２１６１，
２１６２によって構成される部品吸引口２０Ｄとの間
は、図示矢印に示すようにブリッジ部２１７１と２１７
２との間の位置ずれによって通気性が確保されている。

【００７４】この変形例においては、ブリッジ部２１７
１，２１７２が形成されていることによって吸着板２０
１Ｂ，２０２Ｂの外周部の剛性が確保されているので、
部品の吸着、離脱時における衝撃等によって生ずる部品
吸引口の変形を抑制することができる。また、上記のよ
うに吸着板の積層方向にずれた位置にブリッジ部を形成
することにより、排気経路や給気経路と部品吸引口との
間の通気性を確保することができる。この場合、吸着板
の外周部の剛性を高めるためには、ブリッジ部をスリッ
トにおける半径方向の中間点よりも外周側に設けること
が好ましい。

【００７５】尚、本発明の部品搬送装置は、上述の図示
例にのみ限定されるものではなく、例えば、電子部品以
外にも種々の物品の搬送に用いることができ、また、イ
ンデックステーブルに接続された部品供給路や部品排出
路の構成も振動式リニアフィーダに限定されることな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更
を加え得ることは勿論である。

【００７６】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
スリットを有する吸着部材と連通開口部を有する通気部
材を積層配置することにより、外周端面に部品を吸着保
持する回転体が構成されていることにより、搬送性能の
高い搬送装置を容易に製造することが可能になり、製造
コストを低減することができるとともに、部品の形状や
寸法に対する対応性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る部品搬送装置の実施形態の使用態
様を示す概略平面構成図である。

【図２】同実施形態の構造を拡大して示す拡大平面図で
ある。

【図３】同実施形態のインデックステーブルの各構成部
品を示す部品平面図（ａ）〜（ｃ）である。

【図４】同実施形態の基台の各構成部品を示す部品平面
図（ａ）及び（ｂ）、及び、基台の平面構造とインデッ
クステーブルの平面構造との関係を示す説明図（ｃ）で
ある。

【図５】同実施形態におけるインデックステーブル及び
その駆動機構の概略断面透視図である。

【図６】図５に示す方向とは直交する方向から見た概略
断面透視図である。

【図７】同実施形態の具体的構成例を示す概略構成図
（ａ）及び（ｂ）である。

【図８】上記実施形態における部品供給路（振動式リニ
アフィーダ）及び供給側案内部（案内部材）の構造に関
する変形例を模式的に示す概略平面図（ａ）〜（ｃ）で
ある。

【図９】上記実施形態における吸着板のスリット構造の
変形例を示す部分拡大図（ａ）及び（ｂ）である。

【図１０】図９に示す構造を有する吸着板を用いた回転
体の断面構造を示す部分拡大断面図である。

【符号の説明】

１３…振動式リニアフィーダ １３ａ…凹溝 １４…振動式リニアフィーダ １４ａ…凹溝 １５…案内部材 １５ａ…片溝 １６…案内部材 １６ａ…片溝 ２０…インデックステーブル ２０Ａ…閉鎖板 ２０Ｂ…吸着板 ２０Ｃ…通気板 ２１…駆動モータ ２３…回転組立体 ２４…中継フランジ ２５…インデックスベース ２６…エア中継板 ２６Ａ…通気部 ２６Ｂ…通気部 ２６ａ…排気孔 ２６ｂ…給気孔 ２６ｃ…給気孔 ２６ｄ…給排気孔 ３１…排気管 ３２…給気管 １００…電子部品 ２１４…通気開口部 ２１５…通気スリット部 ２１６…外縁開口部 ２２１…固定孔 ２２２…軸孔 ２２３…固定孔 ２２４…連通開口部

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Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転可能に設けられた回転体を備え、該
   回転体の外周端面に複数の部品吸引口が周回方向に配列
   形成され、供給される部品を前記部品吸引口に吸着保持
   し、前記回転体の回転動作によって前記部品を搬送する
   ように構成されている部品搬送装置であって、 前記回転体には、前記部品吸引口を構成する外縁開口部
   から内周側へ延長された形状を有する複数のスリットが
   形成された吸着部材と、該吸着部材の表面に密着し、前
   記部品吸引口において吸引作用を生じさせるための排気
   経路に対して前記スリットの内部を連通させる連通開口
   部を備えるとともに、該連通開口部以外において前記ス
   リットを閉鎖するように構成された通気部材とが積層配
   置されていることを特徴とする部品搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記通気部材が前記
   吸着部材の一側に密着配置され、前記スリットを完全に
   覆うように閉鎖する閉鎖部材が前記吸着部材の他側に密
   着配置されていることを特徴とする部品搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、前記吸
   着部材及び前記通気部材がそれぞれ薄板状に形成されて
   いることを特徴とする部品搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３において、前記回
   転体の回転動作を許容するように前記通気部材に摺接す
   るベース体を有し、該ベース体には、前記連通開口部に
   連通する通気部が設けられ、該通気部が前記排気経路に
   接続されていることを特徴とする部品搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に
   おいて、前記通気部材には、前記スリットにそれぞれ対
   応する複数の前記連通開口部が周回方向に配列形成さ
   れ、前記通気部が前記連通開口部の配列する前記周回方
   向に伸びた形状に形成されていることを特徴とする部品
   搬送装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項５のいずれか１項に
   おいて、相互に前記スリットが重なるように複数の前記
   吸着部材が積層されており、相互に重なる前記スリット
   内の所定位置に、少なくとも一の前記吸着部材を除い
   て、前記スリットにおける前記周回方向に対向する開口
   縁部間を接続するブリッジ部が形成されていることを特
   徴とする部品搬送装置。
7. 【請求項７】 請求項６において、一の前記吸着部材に
   設けられたブリッジ部と、他の前記吸着部材に設けられ
   た前記ブリッジ部とが相互に重ならない異なる位置に形
   成されていることを特徴とする部品搬送装置。
8. 【請求項８】 回転可能に設けられた回転体を備え、該
   回転体の外周端面に複数の部品吸引口が周回方向に配列
   形成され、供給される部品を前記部品吸引口に吸着保持
   し、前記回転体の回転動作によって前記部品を搬送する
   ように構成されている部品搬送装置の製造方法であっ
   て、 前記回転体には、前記部品吸引口を構成する外縁開口部
   から内周側へ延長された形状を有する複数のスリットが
   形成された吸着部材と、該吸着部材の表面に密着し、前
   記部品吸引口における吸引作用を生じさせるための排気
   経路に前記スリット内を連通させる連通開口部を備える
   とともに、該連通開口部以外において前記スリットを閉
   鎖するように構成された通気部材とを積層配置して前記
   回転体を構成することを特徴とする部品搬送装置の製造
   方法。
9. 【請求項９】 請求項８において、前記吸着部材と前記
   通気部材とをエッチング加工によって形成することを特
   徴とする部品搬送装置の製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項８又は請求項９において、前記
    通気部材を前記吸着部材の一側に密着配置し、前記スリ
    ットを完全に覆うように閉鎖する閉鎖部材を前記吸着部
    材の他側に密着配置することを特徴とする部品搬送装置
    の製造方法。