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JP2001007121A - Horizontal high voltage junction type transistor - Google Patents

Horizontal high voltage junction type transistor

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Publication number
JP2001007121A
JP2001007121A JP11170918A JP17091899A JP2001007121A JP 2001007121 A JP2001007121 A JP 2001007121A JP 11170918 A JP11170918 A JP 11170918A JP 17091899 A JP17091899 A JP 17091899A JP 2001007121 A JP2001007121 A JP 2001007121A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
drain
jfet
high breakdown
breakdown voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11170918A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Hamamatsu
伸到 濱松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
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  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a cut-off voltage that depends on a drain voltage by forming a plurality of high breakdown voltage JFETs, connecting the drain and the source of the transistors in series, and at the same time grounding each gate. SOLUTION: Two high breakdown voltage JFETs (junction-type transistor) are formed closely, connection is made by wiring at a connection point M of the source electrode of the high breakdown voltage JFET at the upper stage and the drain electrode of the high breakdown voltage JFET at the lower stage, and each gate 5a is connected to the ground G. Then, when a voltage of 100-700 V is applied to the high breakdown voltage JFET at the higher stage, most of the voltage is absorbed by the high breakdown voltage JFET at the first stage, and only 50 V or less is applied to the drain side of the high breakdown voltage JFET at the second stage, thus reducing a cut-off voltage depending on a drain voltage.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、PWM方式のスイ
ッチング電源の制御用ICの起動回路部上流の素子に用
いて好適な横形高耐圧接合型トランジスタに関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lateral high withstand voltage junction type transistor suitable for use as an element upstream of a starting circuit section of a PWM type switching power supply control IC.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来の横形高耐圧接合型トランジ
スタ(以下、単に高耐圧JFETという)の構成例を示
す平面図(a)及び(a)図のA−B断面(b)である。こ
れらの図において、1は基板(p-)、2は基板1上に形成
されたn-層である。3はn-層2の一部に表面から基板
に達するように形成されたn-層である。
2. Description of the Related Art FIGS. 5A and 5B are plan views (a) and (b) of FIG. 5 (a) showing an example of the structure of a conventional lateral high voltage junction type transistor (hereinafter simply referred to as a high voltage JFET). . In these figures, 1 is a substrate (p ), and 2 is an n layer formed on the substrate 1. 3 n - n formed from the surface portion of the layer 2 to reach the substrate - a layer.

【0003】このn-層の上方にはpn接合型ゲートと
して機能するためのp層4が形成されている。また、こ
のp層4の上部にはコンタクト層としてのp+層5が形
成されており、このp+層5に接触してゲート電極5a
が形成されている。
Above the n - layer, a p layer 4 for functioning as a pn junction type gate is formed. Also, this is on top of the p layer 4, a p + layer 5 as a contact layer, a gate electrode 5a in contact with the p + layer 5
Are formed.

【0004】8はn-層3から80μm程度離してn-
2上に形成されたn+層で、このn+層はドレイン電極と
して機能する。8aはドレイン電極である。なお、ゲート
電極5aとドレイン電極8aの間は絶縁部材としての厚
い酸化膜9により隔離されており、この間はドリフトチ
ャネル層Dと呼ばれている。
[0004] Reference numeral 8 denotes an n + layer formed on the n layer 2 at a distance of about 80 μm from the n layer 3, and this n + layer functions as a drain electrode. 8a is a drain electrode. The gate electrode 5a and the drain electrode 8a are separated from each other by a thick oxide film 9 as an insulating member, and this space is called a drift channel layer D.

【0005】10はn-層3から酸化膜9を介して僅か
に離して形成されたn+層でこのn+層10はソースとし
て機能する。10aはn+層10に接して形成されたソ
ース電極、13は絶縁層間膜、14は保護膜である。
[0005] Reference numeral 10 denotes an n + layer formed slightly apart from the n - layer 3 via the oxide film 9, and the n + layer 10 functions as a source. 10a is a source electrode formed in contact with the n + layer 10, 13 is an insulating interlayer film, and 14 is a protective film.

【0006】なお、 図(a)で示すようにソース電極1
0aから引き出されてソースパッド10bが形成されて
おり、ドレイン電極8aの上にはドレインパッド8bが
形成されている。ゲート電極5aは最外周に形成された
グランドGに接続されている(図5bではグランド電極
は省略)。
Note that, as shown in FIG.
A source pad 10b is formed to be drawn from 0a, and a drain pad 8b is formed on the drain electrode 8a. The gate electrode 5a is connected to a ground G formed on the outermost periphery (the ground electrode is omitted in FIG. 5b).

【0007】図7は電源制御用ICの構成部品の一つで
ある横形パワーMOSFETの構成を示す断面図である
(図5と同一要素には同一符号を付している)。 図7に示す横形パワーMOSFETはp-基板1上にド
リフトチャネル層D、LOCOS酸化膜9aを積層し、これ
らの層を挟んでゲート電極5aとドレイン電極8aを有
しており、図5に示すJFETと比較して良く似た構成
となっている。
FIG. 7 is a sectional view showing the configuration of a lateral power MOSFET which is one of the components of the power supply control IC (the same elements as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals). The horizontal power MOSFET shown in FIG. 7 has a drift channel layer D and a LOCOS oxide film 9a stacked on a p substrate 1 and has a gate electrode 5a and a drain electrode 8a with these layers interposed therebetween, as shown in FIG. The configuration is very similar to that of the JFET.

【0008】即ち、両者の違いは、高耐圧JFETが拡
散PN接合によるゲート構造を有するのに対して、横型
パワーMOSFETの方はゲート酸化膜を介して電圧を
加える絶縁型のゲート構造を持つ点である(丸で囲った
部分)。
That is, the difference between the two is that the high breakdown voltage JFET has a gate structure by a diffusion PN junction, whereas the lateral power MOSFET has an insulating gate structure in which a voltage is applied via a gate oxide film. (Circled part).

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで図5に示すよ
うな高耐圧JFETのソース電位とJFETを流れる電
流及びカットオフ電圧の関係は図6に示すようなものと
なる。
The relationship between the source potential of the high breakdown voltage JFET as shown in FIG. 5, the current flowing through the JFET, and the cutoff voltage is as shown in FIG.

【0010】即ち、VD=100Vのときには、35V
程度でカットOFFするのに対し、VD=700Vでは
カットOFF電圧値45V以上となっている。高耐圧J
FETは、高耐圧化に関しては、横型パワーMOSFE
Tの技術を踏襲できるため問題ないが、カットOFF特
性は結果的に大きなドレイン電圧(VD)依存性を持っ
ていて、下流の素子に不安定な電圧を供給することとな
る。
That is, when VD = 100V, 35V
On the other hand, the cut-off voltage value is 45 V or more when VD = 700 V. High pressure resistance J
For the FET, a lateral power MOSFET is used to increase the breakdown voltage.
Although there is no problem since the technique of T can be followed, the cut-off characteristic eventually has a large drain voltage (VD) dependency, and an unstable voltage is supplied to downstream elements.

【0011】このドレイン電圧依存性は、高耐圧JFE
T下流の高耐圧化していない素子(MOSFETやBJ
T=Bipolar Junction Transistor等)に負担をかける
という問題がある。本発明は上記従来技術の問題点を解
決するためになされたもので、ドレイン電圧(VD)に
依存するカットオフ電圧を小さくしたPWM方式のスイ
ッチング電源を提供することを目的とする。
This drain voltage dependency is due to the high breakdown voltage JFE
Devices that do not have a high breakdown voltage downstream of T (MOSFETs and BJs)
T = Bipolar Junction Transistor). SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the related art, and has as its object to provide a PWM type switching power supply in which a cutoff voltage depending on a drain voltage (VD) is reduced.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、請求項1においては、PWM方式
のスイッチング電源制御用ICの起動回路部上流の素子
として用いられる高耐圧JFETにおいて、前記高耐圧
JFETを複数個形成し、それらトランジスタのドレイ
ンとソースを直列に接続すると共にそれぞれのゲートを
接地したことを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a high withstand voltage JFET used as an element upstream of a starting circuit of a PWM type switching power supply control IC. A plurality of the high-withstand-voltage JFETs are formed, the drains and the sources of the transistors are connected in series, and the respective gates are grounded.

【0013】請求項2においては、請求項1記載の高耐
圧JFETにおいて、高耐圧JFETのドレインに高電
圧を印加しソースから減圧された電圧を出力させるよう
にしたことを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the high breakdown voltage JFET according to the first aspect, a high voltage is applied to a drain of the high breakdown voltage JFET and a reduced voltage is output from a source.

【0014】請求項3においては、請求項1又は2記載
の高耐圧JFETにおいて、ドレインに印加された電圧
が数100Vであるときソース下流の電圧を減圧された
電圧を数10V程度にすることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the high breakdown voltage JFET according to the first or second aspect, when the voltage applied to the drain is several hundred volts, the voltage downstream of the source is reduced to about several tens of volts. Features.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1(a),(b)は本発明の実施形態の1例を
示す図であり、図(a)は平面図、図(b)は図(a)の断
面図である。これらの図において図5と同一要素には同
一符号を付している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. 1 (a) and 1 (b) are views showing an example of an embodiment of the present invention, wherein FIG. 1 (a) is a plan view and FIG. 1 (b) is a sectional view of FIG. 1 (a). In these figures, the same elements as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals.

【0016】図(a)は図5に示す2つの高耐圧JFET
を近接して形成し、この2つの高耐圧JFETのソース
電極とドレイン電極を配線22bにより接続した状態を
示し、高耐圧JFETが直列に接続された場合である。
また、図では省略するが、ゲート電極5aはグランドG
に接続されている(図1bではグランド電極は省略)。
FIG. 5A shows two high breakdown voltage JFETs shown in FIG.
Are formed close to each other, and the source electrode and the drain electrode of these two high-breakdown-voltage JFETs are connected by the wiring 22b, in which the high-breakdown-voltage JFETs are connected in series.
Although not shown in the figure, the gate electrode 5a is connected to the ground G
(The ground electrode is omitted in FIG. 1b).

【0017】図2は図1に示す2つの高耐圧JFETを
等価回路に記号化したものである。ここで、M点は上段
の高耐圧JFETのソース電極と下段の高耐圧JFET
のドレイン電極の接続点であり、それそれのゲート5a
はグランドGに接地されている。このような構成におい
て、カットオフ電圧のドレイン電圧依存性を小さくでき
る理由は、2つの高電圧JFETで2段階にドレイン電
圧をレギュレートしているためである。
FIG. 2 is a diagram in which the two high breakdown voltage JFETs shown in FIG. 1 are symbolized in an equivalent circuit. Here, the point M is the source electrode of the upper high-voltage JFET and the lower high-voltage JFET.
And the gate 5a of each
Is grounded to the ground G. In such a configuration, the drain voltage dependency of the cut-off voltage can be reduced because the drain voltage is regulated in two stages by two high-voltage JFETs.

【0018】例えば、上段のJFETに100〜700
Vの電圧VDが掛かったとき、そのほとんどは1段目の
高電圧JFETで吸収され、2段目のJFETのドレイ
ン側(すなわち1段目JFETのソース側)は50V以
下しか掛からない。従って、2段目の下流から見るカッ
トOFF特性はドレイン電圧依存性が十分小さく見える
ことになる。
For example, 100 to 700
When the voltage VD of V is applied, most of the voltage is absorbed by the high-voltage JFET of the first stage, and only 50 V or less is applied to the drain side of the second-stage JFET (that is, the source side of the first-stage JFET). Therefore, the cut-off characteristics viewed from the downstream of the second stage appear to have sufficiently small drain voltage dependence.

【0019】図3は図2に示す高電圧JFETを用いて
ソース電位と高電圧JFETを流れる電流及びカットオ
フ電圧の関係を示すものである。即ち、VD=100Vの
ときには、30V程度でカットOFFするのに対し、V
D=700VでもカットOFF電圧値は31V程度とな
っており、カットオフ電圧のドレイン電圧依存性が小さ
くなっていることが分かる。
FIG. 3 shows the relationship between the source potential, the current flowing through the high-voltage JFET, and the cutoff voltage using the high-voltage JFET shown in FIG. That is, when VD = 100V, the cut-off is performed at about 30V,
Even when D = 700 V, the cut-off voltage value is about 31 V, which indicates that the drain voltage dependence of the cut-off voltage is small.

【0020】図4(a),(b)は他の実施例を示すもの
で、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)のA-B断面
図である。この例においては円の中心にドレイン38を
形成し、このドレイン38の周りに第1ドリフトチャネ
ルD1を介して第1ゲート26が形成されている。
FIGS. 4 (a) and 4 (b) show another embodiment. FIG. 4 (a) is a plan view, and FIG. 4 (b) is a sectional view taken along a line AB in FIG. 4 (a). . In this example, the drain 38 is formed at the center of the circle, and the first gate 26 is formed around the drain 38 via the first drift channel D1.

【0021】更に、第2ドリフトチャネルD2を介して
第2ゲート36が形成され、ソース22、グランドGが
順次形成されている。そして、第1,第2ゲートは連結
線40によりグランド(図bでは省略)に接続されてい
る。また、ソース22からはグランドGとは絶縁されて円
の外部に引き出されソースパッド22aが形成される。
Further, a second gate 36 is formed via a second drift channel D2, and a source 22 and a ground G are sequentially formed. The first and second gates are connected to a ground (omitted in FIG. B) by a connection line 40. The source 22 is insulated from the ground G and is drawn out of the circle to form a source pad 22a.

【0022】このような構成においても、図2に示す等
価回路と同様な回路となりほぼ同じような結果が得られ
る。この実施例では図1に示す実施例の高耐圧JFET
よりも面積を70%程度小さくすることができる。
Even in such a configuration, a circuit similar to the equivalent circuit shown in FIG. 2 is obtained, and almost the same result is obtained. In this embodiment, the high breakdown voltage JFET of the embodiment shown in FIG.
Area can be reduced by about 70%.

【0023】本発明の以上の説明は、説明および例示を
目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。し
たがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、
変形をなし得ることは当業者に明らかである。特許請求
の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲は、そ
の範囲内の変更、変形を包含するものとする。
The foregoing description of the present invention has been presented by way of illustration and example only and in certain preferred embodiments. Accordingly, the present invention has many modifications, without departing from its essence,
It will be apparent to those skilled in the art that variations can be made. The scope of the present invention, which is defined by the description in the appended claims, is intended to cover alterations and modifications within the scope.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電源制御用ICの起動回路部上流の素子として用いられ
る高電圧JFETにおいて、前記高電圧JFETを複数
個形成し、それらトランジスタのドレインとソースを直
列に接続すると共にそれぞれのゲートを接地したので、
ドレイン電圧(VD)に依存するカットオフ電圧を小さ
くしたPWM方式のスイッチング電源用高電圧JFET
を実現することができる。
As described above, according to the present invention,
In the high-voltage JFET used as an element upstream of the start-up circuit section of the power supply control IC, a plurality of the high-voltage JFETs were formed, and the drains and sources of the transistors were connected in series and the respective gates were grounded.
High voltage JFET for switching power supply of PWM system with reduced cut-off voltage depending on drain voltage (VD)
Can be realized.

【0025】[0025]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のPWM方式のスイッチング電源に使用
する横形高耐圧接合型トランジスタ(高耐圧JFET)
の一例を示す図である。
FIG. 1 is a lateral high withstand voltage junction type transistor (high withstand voltage JFET) used in a PWM switching power supply of the present invention.
It is a figure showing an example of.

【図2】本発明のPWM方式のスイッチング電源に使用
する横形高耐圧接合型トランジスタの等価回路を示す説
明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an equivalent circuit of a lateral high voltage junction type transistor used in a PWM switching power supply of the present invention.

【図3】ソース電位と高耐圧JFETを流れる電流及び
カットオフ電圧の関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a source potential, a current flowing through a high breakdown voltage JFET, and a cutoff voltage.

【図4】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図5】従来の横形高耐圧トランジスタの1例を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing an example of a conventional horizontal high voltage transistor.

【図6】ソース電位とJFETを流れる電流及びカット
オフ電圧の関係を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a source potential, a current flowing through a JFET, and a cutoff voltage.

【図7】横形MOSFETの一般構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a general configuration of a lateral MOSFET.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2,3 n-層 4 p層 5 p+層 5a ゲート電極 8,10 n+層 8a ドレイン電極 8b ドレインバット゛ 9 酸化膜 10a ソース電極 13 絶縁膜 14 保護膜Reference Signs List 1 substrate 2, 3 n - layer 4 p layer 5 p + layer 5 a gate electrode 8, 10 n + layer 8 a drain electrode 8 b drain butt 9 oxide film 10 a source electrode 13 insulating film 14 protective film

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】電源制御用ICの起動回路部上流の素子と
して用いられる横形高耐圧接合型トランジスタにおい
て、前記横形高耐圧接合型トランジスタを複数個形成
し、それらトランジスタのドレインとソースを直列に接
続すると共にそれぞれのゲートを接地したことを特徴と
する横形高耐圧接合型トランジスタ。
1. A horizontal high-voltage junction type transistor used as an element upstream of a start-up circuit section of a power supply control IC, a plurality of said horizontal high-voltage junction type transistors are formed, and a drain and a source of these transistors are connected in series. A lateral high-voltage junction transistor, wherein each gate is grounded.
【請求項2】横形高耐圧接合型トランジスタのドレイン
に高電圧を印加しソースから減圧された電圧を出力させ
るようにしたことを特徴とする請求項1記載の横形高耐
圧接合型トランジスタ。
2. The lateral high withstand voltage junction transistor according to claim 1, wherein a high voltage is applied to a drain of the lateral high withstand voltage junction transistor and a reduced voltage is output from a source.
【請求項3】ドレインに印加された電圧が数100Vで
あるときソース下流の電圧を減圧された電圧を数10V
程度にすることを特徴とする請求項1又は2記載の横形
高耐圧接合型トランジスタ。
3. When the voltage applied to the drain is several hundred volts, the voltage downstream of the source is reduced to several tens of volts.
3. The lateral high withstand voltage junction type transistor according to claim 1, wherein:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7982248B2 (en) 2006-03-24 2011-07-19 Fuji Electric Systems Co., Ltd. Junction field effect transistor, integrated circuit for switching power supply, and switching power supply
US8680622B2 (en) 2006-11-20 2014-03-25 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device, integrated circuit including the semiconductor device, control IC for switching power supply and the switching power supply
WO2014203487A1 (en) * 2013-06-20 2014-12-24 富士電機株式会社 Semiconductor device, control ic for switching power supply, and switching power supply device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7982248B2 (en) 2006-03-24 2011-07-19 Fuji Electric Systems Co., Ltd. Junction field effect transistor, integrated circuit for switching power supply, and switching power supply
US8283705B2 (en) 2006-03-24 2012-10-09 Fuji Electric Co., Ltd. Junction field effect transistor, integrated circuit for switching power supply, and switching power supply
US9461115B2 (en) 2006-03-24 2016-10-04 Fuji Electric Co., Ltd. Junction field effect transistor, integrated circuit for switching power supply, and switching power supply
US8680622B2 (en) 2006-11-20 2014-03-25 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device, integrated circuit including the semiconductor device, control IC for switching power supply and the switching power supply
US8860145B2 (en) 2006-11-20 2014-10-14 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device, integrated circuit including the semiconductor device, control IC for switching power supply and the switching power supply
WO2014203487A1 (en) * 2013-06-20 2014-12-24 富士電機株式会社 Semiconductor device, control ic for switching power supply, and switching power supply device
US11276683B2 (en) 2013-06-20 2022-03-15 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device, switching power supply control IC, and switching power supply device

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