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JP2001068769A - Laser device - Google Patents

Laser device

Info

Publication number
JP2001068769A
JP2001068769A JP24307199A JP24307199A JP2001068769A JP 2001068769 A JP2001068769 A JP 2001068769A JP 24307199 A JP24307199 A JP 24307199A JP 24307199 A JP24307199 A JP 24307199A JP 2001068769 A JP2001068769 A JP 2001068769A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser device
optical fiber
laser
amplifier
excitation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24307199A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ichiro Kobayashi
一郎 小林
Kazuhiko Hara
一彦 原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP24307199A priority Critical patent/JP2001068769A/en
Publication of JP2001068769A publication Critical patent/JP2001068769A/en
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部からのレーザ光の照射で光ファイバーが
破損することを防止できる。 【解決手段】 同位体分離用のレーザ装置は、複数の固
体レーザ装置1と、この各固体レーザ装置1から出射さ
れた励起レーザ光2を伝送する複数本の光ファイバー3
と、1個の発振器5、及び各光ファイバー3から出射し
た励起レーザ光2が照射される複数個の増幅器6,7,
8を有する色素レーザ装置4と、固体レーザ装置1と色
素レーザ装置4との間に内部に光ファイバー3を配置し
て設けられたダクト40とを備えたものである。
(57) [Summary] [PROBLEMS] An optical fiber can be prevented from being damaged by external laser light irradiation. A laser device for isotope separation includes a plurality of solid-state laser devices 1 and a plurality of optical fibers 3 for transmitting excitation laser light 2 emitted from each of the solid-state laser devices 1.
A plurality of amplifiers 6, 7, 7, which are irradiated with one oscillator 5 and the excitation laser light 2 emitted from each optical fiber 3.
And a duct 40 in which the optical fiber 3 is provided between the solid-state laser device 1 and the dye laser device 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばレーザ同
位体分離に利用される高出力でかつ発振波長が可変でき
るレーザ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser device having a high output and a variable oscillation wavelength used for, for example, laser isotope separation.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ同位体分離に利用されるレーザ装
置は、対象とする同位体に固有の波長に精密に同調させ
る必要があるため、発振波長が可変できる色素レーザ装
置を備えている。この色素レーザ装置は狭いスペクトル
幅、小さい波面歪みなどの高いビーム品質が要求される
と同時に、数kWの高いレーザ出力が要求される。この
ため、レーザ同位体分離に利用される色素レーザ装置
は、高い品質のビームを発生させる発振器と、このビー
ムを高いパワーに順次増幅していく複数個の増幅器とを
直列に接続したMOPA(Master Oscilator Power Am
plifiers)と呼ばれるものを採用している。
2. Description of the Related Art A laser device used for laser isotope separation is provided with a dye laser device whose oscillation wavelength can be varied because it is necessary to precisely tune a wavelength specific to a target isotope. This dye laser device is required to have high beam quality such as a narrow spectrum width and small wavefront distortion, and at the same time, a high laser output of several kW. For this reason, a dye laser device used for laser isotope separation has a MOPA (Master) in which an oscillator for generating a high-quality beam and a plurality of amplifiers for sequentially amplifying the beam to a high power are connected in series. Oscilator Power Am
plifiers).

【0003】多段増幅器である色素レーザ装置では、励
起用レーザ装置で発生した励起レーザ光が照射されるこ
とにより、レーザ光は、発振し、また増幅される。この
励起用レーザ装置として、銅蒸気レーザ装置(MOP
A)や固体レーザ装置が採用されている。
In a dye laser device which is a multistage amplifier, the laser light oscillates and is amplified by being irradiated with the excitation laser light generated by the excitation laser device. As this excitation laser device, a copper vapor laser device (MOP)
A) and a solid-state laser device are employed.

【0004】図6は、例えば特開平5−218540号
公報に記載された従来の同位体分離用のレーザ装置の概
略図である。図6において、1は、例えば、レーザ媒質
としてネオジウムをドープしたYAG(構造式:Y3Al5O
12)結晶を用いた固体レーザ装置、3は励起用レーザ装
置である固体レーザ装置1からの励起レーザ光を伝送す
る光ファイバー、5は色素レーザ装置4の発振器、6は
内部にレーザ媒質である色素溶液が収納された第1番目
の第1の増幅器、7は第2番目の第2の増幅器、8は第
3番目の第3の増幅器である。なお、発振器5、第1の
増幅器6、第2の増幅器7、第3の増幅器8により多段
増幅器である色素レーザ装置4が構成され、この色素レ
ーザ装置4から色素レーザ光9が出射される。
FIG. 6 is a schematic view of a conventional laser apparatus for isotope separation described in, for example, JP-A-5-218540. In FIG. 6, reference numeral 1 denotes, for example, YAG doped with neodymium as a laser medium (structural formula: Y 3 Al 5 O
12 ) A solid-state laser device using a crystal, 3 is an optical fiber for transmitting an excitation laser beam from the solid-state laser device 1 which is an excitation laser device, 5 is an oscillator of the dye laser device 4, and 6 is a dye inside which is a laser medium. A first first amplifier in which a solution is stored, 7 is a second second amplifier, and 8 is a third third amplifier. The oscillator 5, the first amplifier 6, the second amplifier 7, and the third amplifier 8 constitute a dye laser device 4 which is a multistage amplifier, and the dye laser device 4 emits a dye laser beam 9.

【0005】次に、上記構成の同位体分離用のレーザ装
置の動作について説明する。固体レーザ装置1では、半
導体レーザ光で励起されると、発振波長1064nmの
基本波と呼ばれるレーザ光が発生する。この基本波をK
TP(構造式:KTiOPO4)等の波長変換用の光学結晶を用
いて、光周波数を2倍に、即ち発振波長を半分の532
nmに変換し、励起レーザ光として出射する。固体レー
ザ装置1における励起レーザ光の出力は、30W〜50
Wである。
Next, the operation of the laser apparatus for isotope separation having the above configuration will be described. In the solid-state laser device 1, when excited by a semiconductor laser beam, a laser beam called a fundamental wave having an oscillation wavelength of 1064 nm is generated. This fundamental wave
Using an optical crystal for wavelength conversion such as TP (structural formula: KTiOPO 4 ), the optical frequency is doubled, that is, the oscillation wavelength is reduced to 532
nm and emit as excitation laser light. The output of the excitation laser light in the solid-state laser device 1 is 30W to 50W.
W.

【0006】次に、複数の固体レーザ装置1から出射さ
れた励起レーザ光は、光ファイバー3を介して発振器
5、第1の増幅器6、第2の増幅器7、第3の増幅器8
に伝送され、各増幅器6、7、8内にあるレーザ媒質で
ある色素溶液に照射し、色素を励起する。後段ほど多く
の励起パワーを必要とするため、発振器5<第1の増幅
器6<第2の増幅器7<第3の増幅器8の順で、接続さ
れる光ファイバー3の本数が多くなる。一般に使用され
ている高出力レーザ光伝送用の光ファイバーのコア径は
0.44〜1.2mmである。
Next, the pump laser light emitted from the plurality of solid-state laser devices 1 is supplied to the oscillator 5, the first amplifier 6, the second amplifier 7, and the third amplifier 8 via the optical fiber 3.
And irradiates the dye solution as a laser medium in each of the amplifiers 6, 7, 8 to excite the dye. Since more pumping power is required at a later stage, the number of optical fibers 3 to be connected increases in the order of the oscillator 5 <the first amplifier 6 <the second amplifier 7 <the third amplifier 8. The core diameter of a commonly used optical fiber for transmitting high-power laser light is 0.44 to 1.2 mm.

【0007】また、色素レーザ装置4を構成する発振器
5は低出力(1W以下)ではあるが、色素レーザ光の発
振波長を可変できるように、発振器5内に設けたエタロ
ン等の波長選択素子により高精度に発振波長が制御され
る。また、発振器5の色素レーザ光は複数の増幅器6、
7、8で高効率に光増幅されるため、高品質なレーザ光
が発生する。発振器5から出射された色素レーザ光は、
第1の増幅器6、第2の増幅器7、第3の増幅器8を経
て順次光増幅され、最終的にはkWオーダーの高パワー
の色素レーザ光9となって出射される。この際、上記光
増幅で、波長精度等のビームの品質は、元のまま維持さ
れるので、高出力であるとともに高品質な色素レーザ光
9を得ることができる。
Although the oscillator 5 constituting the dye laser device 4 has a low output (1 W or less), a wavelength selecting element such as an etalon provided in the oscillator 5 is provided in the oscillator 5 so that the oscillation wavelength of the dye laser light can be varied. The oscillation wavelength is controlled with high precision. The dye laser light from the oscillator 5 is supplied to a plurality of amplifiers 6,
Since the light is amplified with high efficiency in steps 7 and 8, high-quality laser light is generated. The dye laser light emitted from the oscillator 5 is
The light is sequentially amplified through a first amplifier 6, a second amplifier 7, and a third amplifier 8, and finally emitted as a high-power dye laser light 9 on the order of kW. At this time, the beam quality such as wavelength accuracy is maintained as it is by the optical amplification, so that the dye laser beam 9 having high output and high quality can be obtained.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
同位体分離用のレーザ装置は、多数の固体レーザ装置1
から構成されており、一つの固体レーザ装置1に対し
て、必ず1本の光ファイバー3が接続され、この光ファ
イバー3は、色素レーザ装置4を構成する発振器5、第
1の増幅器6、第2の増幅器7、第3の増幅器8までそ
れぞれ敷設する必要がある。この光ファイバー3は外部
に露出しているため、何らかの理由で外部からレーザ光
を照射され、そのレーザ光で光ファイバー3が破損して
しまうという問題点があった。
As described above, a conventional laser device for isotope separation is composed of a large number of solid-state laser devices.
, One optical fiber 3 is always connected to one solid-state laser device 1, and this optical fiber 3 is composed of an oscillator 5, a first amplifier 6, and a second It is necessary to lay the amplifier 7 and the third amplifier 8 respectively. Since the optical fiber 3 is exposed to the outside, there is a problem that a laser beam is irradiated from the outside for some reason, and the optical fiber 3 is damaged by the laser beam.

【0009】また、光ファイバー3は石英ガラスの全反
射角を利用してレーザ光を伝送するので、光ファイバー
3が許容角度以上に曲がると全反射角から外れ、レーザ
光の一部が光ファイバー3から漏れてしまい、光ファイ
バー3の伝送効率が低下したり、光ファイバー3を敷設
や交換作業時に鋭角に曲げてしまい光ファイバー3が破
損してしまうという問題点もあった。
Further, since the optical fiber 3 transmits laser light using the total reflection angle of quartz glass, if the optical fiber 3 bends beyond an allowable angle, the optical fiber 3 deviates from the total reflection angle and a part of the laser light leaks from the optical fiber 3. As a result, the transmission efficiency of the optical fiber 3 is reduced, and the optical fiber 3 is bent at an acute angle at the time of laying or exchanging work, so that the optical fiber 3 is damaged.

【0010】本発明は、上記のような問題点を解決する
ことを課題とするものであって、外部からのレーザ光の
照射で光ファイバーが破損することを防止できるととも
に、光ファイバーの敷設や交換作業時に起こる破損も防
止でき、また光ファイバー伝送効率が向上したレーザ装
置を得ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is possible to prevent the optical fiber from being damaged by external laser light irradiation, and to lay and replace the optical fiber. It is an object of the present invention to obtain a laser device that can prevent breakage that occurs sometimes and that has improved optical fiber transmission efficiency.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
るレーザ装置は、複数の励起用レーザ装置と、この各励
起用レーザ装置から出射された励起レーザ光を伝送する
複数本の光ファイバーと、各前記光ファイバーから出射
した前記励起レーザ光が照射される複数個の増幅器を有
する多段増幅器と、前記励起用レーザ装置と前記多段増
幅器との間に内部に前記光ファイバーを配置して設けら
れたダクトとを備えたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser apparatus comprising: a plurality of excitation laser apparatuses; and a plurality of optical fibers for transmitting excitation laser light emitted from each of the excitation laser apparatuses. A multistage amplifier having a plurality of amplifiers to which the excitation laser light emitted from each of the optical fibers is irradiated, and a duct provided with the optical fiber disposed inside between the excitation laser device and the multistage amplifier It is provided with.

【0012】この発明の請求項2に係るレーザ装置で
は、ダクトにおいて、励起レーザ光の入口部及び励起レ
ーザ光の出口部の少なくとも一方に設けられ光ファイバ
ーを保持した支持具を備えたものである。
According to a second aspect of the present invention, in the duct, the duct is provided with a support provided at at least one of the entrance of the excitation laser beam and the exit of the excitation laser beam to hold the optical fiber.

【0013】この発明の請求項3に係るレーザ装置で
は、ダクトには、内部に複数本の光ファイバーを束ねた
各バンドルファイバーをそれぞれ仕切る間仕切り板が設
けられている。
In the laser device according to a third aspect of the present invention, the duct is provided with a partition plate for partitioning each bundle fiber in which a plurality of optical fibers are bundled.

【0014】この発明の請求項4に係るレーザ装置で
は、励起用レーザ装置に固定され励起用レーザ装置に接
続された光ファイバーを保持した支持具を備えたもので
ある。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a laser device having a support fixed to the excitation laser device and holding an optical fiber connected to the excitation laser device.

【0015】この発明の請求項5に係るレーザ装置で
は、支持具は、内部に光ファイバーが設けられた曲管
と、この曲管の一端部に設けられ前記光ファイバーを保
持するクランプとを備えたものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the laser device, the supporting member includes a curved tube provided with an optical fiber therein, and a clamp provided at one end of the curved tube for holding the optical fiber. It is.

【0016】この発明の請求項6に係るレーザ装置で
は、曲管は、その曲率半径が250mm以上である。
In the laser device according to claim 6 of the present invention, the curved tube has a radius of curvature of 250 mm or more.

【0017】この発明の請求項7に係るレーザ装置で
は、クランプは、光ファイバーを弾性挟持する弾性体を
備えたものである。
In the laser device according to claim 7 of the present invention, the clamp has an elastic body for elastically holding the optical fiber.

【0018】この発明の請求項8に係るレーザ装置で
は、多段増幅器は、色素レーザ装置である。
In the laser device according to claim 8 of the present invention, the multistage amplifier is a dye laser device.

【0019】この発明の請求項9に係るレーザ装置で
は、励起用レーザ装置は、YAG結晶を用いた固体レー
ザ装置である。
In the laser device according to the ninth aspect of the present invention, the excitation laser device is a solid-state laser device using a YAG crystal.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明の
実施の形態1の同位体分離用のレーザ装置について説明
する。図1はこの発明の実施の形態1の同位体分離用の
レーザ装置の概略図である。図において、1は、例えば
レーザ媒質としてネオジウムをドープしたYAG(構造
式:Y3Al5O12)結晶を用いた固体レーザ装置、3は励起
用レーザ装置である固体レーザ装置1からの励起レーザ
光2を伝送する石英ガラスで構成された光ファイバーで
ある。5は発振器、6は内部にレーザ媒質である色素溶
液が収納された第1番目の第1の増幅器、7は第2番目
の第2の増幅器、8は第3番目の第3の増幅器であり、
発振器5、第1の増幅器6、第2の増幅器7、第3の増
幅器8により色素レーザ装置4が構成され、この色素レ
ーザ装置4から色素レーザ光9が出射される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 Hereinafter, a laser apparatus for isotope separation according to Embodiment 1 of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic diagram of a laser apparatus for isotope separation according to Embodiment 1 of the present invention. In the figure, 1 is a solid-state laser device using, for example, a neodymium-doped YAG (structural formula: Y 3 Al 5 O 12 ) crystal as a laser medium, and 3 is a pump laser from the solid-state laser device 1 which is a pump laser device. This is an optical fiber made of quartz glass for transmitting light 2. Reference numeral 5 denotes an oscillator, 6 denotes a first first amplifier in which a dye solution as a laser medium is stored, 7 denotes a second second amplifier, and 8 denotes a third third amplifier. ,
The oscillator 5, the first amplifier 6, the second amplifier 7, and the third amplifier 8 constitute the dye laser device 4, and the dye laser device 4 emits dye laser light 9.

【0021】10は複数本の光ファイバー3を接着剤で
接着、束ねたバンドルファイバー、11はバンドルファ
イバー10の出射口、12はバンドルファイバー10の
出射口11から出射されたレーザ光、13はレーザ光1
2を第1の増幅器6に照射するための転写光学系であ
る。以上の機構は、上下対称にそれぞれ設けられてい
る。なお、第2の増幅器7、第3の増幅器8にレーザ光
が照射される機構についても第1の増幅器6と同様の機
構であるので、説明を省略する。
Reference numeral 10 denotes a bundle fiber obtained by bonding and bundling a plurality of optical fibers 3 with an adhesive, 11 denotes an output port of the bundle fiber 10, 12 denotes a laser beam emitted from the output port 11 of the bundle fiber 10, and 13 denotes a laser beam. 1
2 is a transfer optical system for irradiating 2 to the first amplifier 6. The above mechanisms are provided symmetrically in the vertical direction. Note that the mechanism for irradiating the second amplifier 7 and the third amplifier 8 with laser light is the same as that of the first amplifier 6, and a description thereof will be omitted.

【0022】14は床面50に設置され固体レーザ装置
1を例えば10段の段積みにし、1段当たり複数台の固
体レーザ装置1を配置する架台、40は固体レーザ装置
1と色素レーザ装置4との間に設置され内部に光ファイ
バー3が収納されたアルミニウム製のダクト、20Aは
固体レーザ装置1に接続された光ファイバー3の接続部
に設けられ光ファイバー3を保持する第1の支持具、2
0Bはダクト40の一端部に固定され光ファイバー3を
保持する第2の支持具、20Cはダクト40の中間部に
固定され第1のバインドファイバー10を保持する第3
の支持具である。
Reference numeral 14 denotes a gantry on which the solid-state laser devices 1 are mounted on the floor surface 50, for example, and the solid-state laser devices 1 are stacked in ten stages, and a plurality of solid-state laser devices 1 are arranged per stage. 20A is a first support which is provided at a connection portion of the optical fiber 3 connected to the solid-state laser device 1 and holds the optical fiber 3.
0B is a second support fixed to one end of the duct 40 and holding the optical fiber 3, and 20C is fixed to an intermediate part of the duct 40 and holds a third bind fiber 10.
It is a support tool.

【0023】図2は図1の点線で囲った領域Aを示した
図である。図において、15は架台14に設けられた光
ファイバー着脱用の扉、16は励起レーザ光2を光ファ
イバー3に入射するための結合器、21aは架台14に
固定されたリング状のネジ穴付きの取付金具、22aは
取付金具21aに接続され中心点0からの曲率半径が2
50mm以上の曲管であり、光ファイバー3を配置する
経路の方向を向いている。30aは曲管22aに接続さ
れ曲管22a内を通る光ファイバー3を固定するクラン
プである。なお、取付金具21a、曲管22a及びクラ
ンプ30aにより第1の支持具20Aを構成している。
FIG. 2 is a diagram showing an area A surrounded by a dotted line in FIG. In the drawing, reference numeral 15 denotes a door for attaching and detaching an optical fiber provided on a base 14, reference numeral 16 denotes a coupler for allowing the excitation laser light 2 to enter the optical fiber 3, and reference numeral 21a denotes a mounting with a ring-shaped screw hole fixed to the base 14. The fitting 22a is connected to the mounting fitting 21a and has a radius of curvature of 2 from the center point 0.
It is a curved tube of 50 mm or more and faces the direction of the path on which the optical fiber 3 is arranged. A clamp 30a is connected to the curved tube 22a and fixes the optical fiber 3 passing through the curved tube 22a. The first support 20A is constituted by the mounting metal 21a, the curved tube 22a, and the clamp 30a.

【0024】クランプ30aは、外枠31aと、外枠3
1a内にはめ込まれたウレタンゴム等の弾性体32a
と、外枠31aを回転自在に支持する蝶番33aと、外
枠31aを閉じた状態で固定するボルト34a及びナッ
ト35aを備えている。図3は、クランプ30aで光フ
ァイバー3を固定したときの断面図である。弾性体32
aで光ファイバー3を挟持した際には間隙36が形成さ
れており、この間隙36の幅は光ファイバー3の直径よ
り小さめに設定されている。
The clamp 30a includes an outer frame 31a and an outer frame 3
Elastic body 32a such as urethane rubber fitted in 1a
And a hinge 33a for rotatably supporting the outer frame 31a, and a bolt 34a and a nut 35a for fixing the outer frame 31a in a closed state. FIG. 3 is a sectional view when the optical fiber 3 is fixed by the clamp 30a. Elastic body 32
A gap 36 is formed when the optical fiber 3 is sandwiched by a, and the width of the gap 36 is set to be smaller than the diameter of the optical fiber 3.

【0025】図4は図1の点線で囲った領域Bを示した
図である。図において、41はダクトカバー、42は断
面コ字状の下枠、43はバンドルファイバー10を分け
て配置するための間仕切り板である。複数の光ファイバ
ー3を束ねて構成されたバンドルファイバー10は、第
2の支持具20Bの付近までは間仕切り板43で仕切ら
れているが、それ以後は、個々の光ファイバー3に分離
されている。なお、ダクトカバー41、下枠42及び間
仕切り板43でダクト40を構成している。
FIG. 4 is a diagram showing a region B surrounded by a dotted line in FIG. In the figure, 41 is a duct cover, 42 is a lower frame having a U-shaped cross section, and 43 is a partition plate for arranging the bundle fibers 10 separately. The bundle fiber 10 configured by bundling the plurality of optical fibers 3 is partitioned by the partition plate 43 up to the vicinity of the second support 20B, but thereafter separated into individual optical fibers 3. The duct 40 includes the duct cover 41, the lower frame 42, and the partition plate 43.

【0026】21bはダクト40に固定(図4では固定
されるべきダクトの壁面が省略されている。)されたリ
ング状のネジ穴付きの取付金具、22bは取付金具21
bに接続された曲率半径が250mm以上の曲管であ
り、光ファイバー3を配置する経路の方向を向いてい
る。30bは曲管22bに接続され曲管22b内を通る
複数本の光ファイバー3を固定するクランプである。な
お、取付金具21b、曲管22b及びクランプ30bに
より第2の支持具20Bを構成している。また、クラン
プ30bの構成は第1の支持具20Aのクランプ30a
と同一である
Reference numeral 21b denotes a mounting bracket with a ring-shaped screw hole fixed to the duct 40 (the wall surface of the duct to be fixed is omitted in FIG. 4), and reference numeral 22b denotes the mounting bracket 21.
b is a curved tube having a radius of curvature of 250 mm or more, which faces the direction in which the optical fiber 3 is arranged. A clamp 30b is connected to the curved tube 22b and fixes a plurality of optical fibers 3 passing through the curved tube 22b. In addition, the second support 20B is configured by the fitting 21b, the curved tube 22b, and the clamp 30b. The structure of the clamp 30b is the same as that of the clamp 30a of the first support 20A.
Is the same as

【0027】図5は図1の点線で囲った領域Cを示した
図である。21cはダクト40の開口部44に固定され
たリング状のネジ穴付きの取付金具、22cは取付金具
21cに接続された曲率半径が250mm以上の曲管、
30cは曲管22cに接続され曲管22c内を通るバン
ドルファイバー10を固定するクランプである。なお、
取付金具21c、曲管22c及びクランプ30cにより
第3の支持具20Cを構成している。クランプ30c
は、外枠31cと、外枠31c内にはめ込まれたウレタ
ンゴム等の弾性体32cと、外枠31cを回転自在に支
持する蝶番33cと、外枠31cを閉じた状態で固定す
るボルト34c及びナット35cを備えている。なお、
第2の増幅器7、第3の増幅器8にレーザ光12が照射
される機構についても第1の増幅器6と同様の機構であ
るので、説明を省略する。
FIG. 5 is a diagram showing a region C surrounded by a dotted line in FIG. 21c is a mounting fitting with a ring-shaped screw hole fixed to the opening 44 of the duct 40, 22c is a curved pipe having a radius of curvature of 250 mm or more connected to the mounting fitting 21c,
A clamp 30c is connected to the curved tube 22c and fixes the bundle fiber 10 passing through the curved tube 22c. In addition,
A third support 20C is configured by the fitting 21c, the curved tube 22c, and the clamp 30c. Clamp 30c
Are an outer frame 31c, an elastic body 32c such as urethane rubber fitted in the outer frame 31c, a hinge 33c rotatably supporting the outer frame 31c, a bolt 34c for fixing the outer frame 31c in a closed state, and A nut 35c is provided. In addition,
The mechanism for irradiating the second amplifier 7 and the third amplifier 8 with the laser beam 12 is also the same as that of the first amplifier 6, and the description is omitted.

【0028】上記構成の同位体分離用のレーザ装置で
は、kW級の色素レーザ光9を発生する場合、色素レー
ザ装置4を構成する各増幅器6、7、8における励起レ
ーザ光の出力割合は、大体、第1の増幅器6での出力を
1とした場合、第2の増幅器7は2、第3の増幅器8は
4となる。ここで、例えば、色素レーザ光の出力を2k
Wとした場合、色素レーザ装置4の変換効率(色素レー
ザ光9の出力/励起レーザ光2の出力)は約40%であ
るので、励起レーザ光の出力は5kW必要になる。
In the laser apparatus for isotope separation having the above structure, when the kW-class dye laser light 9 is generated, the output ratio of the excitation laser light in each of the amplifiers 6, 7, and 8 constituting the dye laser apparatus 4 is as follows. In general, when the output of the first amplifier 6 is 1, the second amplifier 7 is 2 and the third amplifier 8 is 4. Here, for example, the output of the dye laser light is 2 k
In the case of W, the conversion efficiency of the dye laser device 4 (output of the dye laser light 9 / output of the excitation laser light 2) is about 40%, so that the output of the excitation laser light needs to be 5 kW.

【0029】図1のように増幅器6,7,8の両側から
レーザ光12を照射する場合、片側から照射されるレー
ザ光12の出力は2.5kWである。励起レーザ装置と
して固体レーザ装置1を用いており、1台の固体レーザ
装置1の出力は50W程度であるので、固体レーザ装置
1の台数は50台(=2.5kW/0.05kW)となる。よ
って、各増幅器6,7,8における固体レーザ装置1の
台数は、第1の増幅器6で約7台(=50台/7)、第2
の増幅器7で約14台(=50台×2/7)、第3の増幅器
8で約28台(=50台×4/7)である。
When the laser light 12 is irradiated from both sides of the amplifiers 6, 7, 8 as shown in FIG. 1, the output of the laser light 12 irradiated from one side is 2.5 kW. Since the solid-state laser device 1 is used as an excitation laser device and the output of one solid-state laser device 1 is about 50 W, the number of the solid-state laser devices 1 is 50 (= 2.5 kW / 0.05 kW). Therefore, the number of solid-state laser devices 1 in each of the amplifiers 6, 7, and 8 is about seven (= 50/7) in the first amplifier 6, and
The number of amplifiers 7 is about 14 (= 50 × 2/7), and that of the third amplifier 8 is about 28 (= 50 × 4/7).

【0030】この実施の形態では、1台の固体レーザ装
置1に1本の光ファイバー3が接続されており、第1の
増幅器6の片側には7本の光ファイバー3を束ねたバン
ドルファイバー10が1本必要である。また、第2の増
幅器7の片側には7本の光ファイバー3を束ねたバンド
ルファイバー10が2本、第3の増幅器8には7本の光
ファイバー3を束ねたバンドルファイバー10が4本必
要である。
In this embodiment, one optical fiber 3 is connected to one solid-state laser device 1, and a bundle fiber 10 in which seven optical fibers 3 are bundled is provided on one side of the first amplifier 6. I need a book. The second amplifier 7 requires two bundled fibers 10 on which one optical fiber 3 is bundled on one side, and the third amplifier 8 requires four bundled fibers 10 on which seven optical fibers 3 are bundled. .

【0031】固体レーザ装置1と色素レーザ装置4との
間に設けられたダクト40は、光ファイバー3を色素レ
ーザ装置4の増幅器6,7,8まで敷設する。図1で
は、上側の5段の固体レーザ装置1からの複数の光ファ
イバー3が上側に設けたダクト40に、下側の5台の固
体レーザ装置1からの複数の光ファイバー3が下側に設
けたダクト40に配置されている。
A duct 40 provided between the solid-state laser device 1 and the dye laser device 4 extends the optical fiber 3 to the amplifiers 6, 7, and 8 of the dye laser device 4. In FIG. 1, a plurality of optical fibers 3 from the lower five solid-state laser devices 1 are provided on a lower side of a duct 40 provided with a plurality of optical fibers 3 from the upper five-stage solid-state laser devices 1. It is arranged in the duct 40.

【0032】発振器5で発生する色素レーザ光は、固体
レーザ装置1の出力(50W程度)と比較して出力が小
さい(1W以下)ので、低出力(5W程度)専用の固体
レーザ装置1を用いて発生する。この際、この色素レー
ザ光の発振波長を可変できるように、発振器5内に設け
たエタロン等の波長選択素子により高精度に発振波長が
制御される。また、発振器5の色素レーザ光を複数の増
幅器6,7,8で高効率に光増幅するため、高品質な色
素レーザ光9が発生する。
Since the output of the dye laser light generated by the oscillator 5 is smaller (less than 1 W) than the output of the solid-state laser device 1 (about 50 W), the solid-state laser device 1 dedicated to low output (about 5 W) is used. Occur. At this time, the oscillation wavelength is controlled with high accuracy by a wavelength selection element such as an etalon provided in the oscillator 5 so that the oscillation wavelength of the dye laser light can be varied. Further, since the dye laser light of the oscillator 5 is highly efficiently amplified by the plurality of amplifiers 6, 7, and 8, high-quality dye laser light 9 is generated.

【0033】次に、光ファイバー3の敷設作業について
手順に従い説明する。バンドルファイバー10は直径1
m程度の同心円状に巻かれている。この一本のバンドル
ファイバー10を第1の増幅器6の上側に敷設する際、
ダクトカバー41を取り外し、バンドルファイバー10
の出射口11をダクト40の下枠42に設けた開口部4
4を通じて第3の支持具20Cの曲管22cの片端から
所定の長さ引き出す。その後、クランプ30cの中央に
バンドルファイバー10をセットした後に外枠31cを
閉じて、ボルト34c及びナット35cにより外枠31
を締める。バンドルファイバー10は弾性体32cによ
り弾性支持されるので、バンドルファイバー10が自重
によって変位することはない。一方、同心円状に巻かれ
たバンドルファイバー10をほどきながらダクト40の
下枠42に配置し、固体レーザ装置1に向けて敷設す
る。この敷設の際には、間仕切り板43により、バンド
ルファイバー10が交錯するようにことはない。
Next, the work of laying the optical fiber 3 will be described according to the procedure. The bundle fiber 10 has a diameter of 1
It is wound concentrically about m. When laying this single bundle fiber 10 above the first amplifier 6,
Remove the duct cover 41 and remove the bundle fiber 10
Opening 4 in which exit port 11 is provided in lower frame 42 of duct 40
4, a predetermined length is pulled out from one end of the curved tube 22c of the third support 20C. Then, after setting the bundle fiber 10 at the center of the clamp 30c, the outer frame 31c is closed, and the outer frame 31 is fixed by bolts 34c and nuts 35c.
Tighten. Since the bundle fiber 10 is elastically supported by the elastic body 32c, the bundle fiber 10 is not displaced by its own weight. On the other hand, the bundle fiber 10 wound concentrically is arranged on the lower frame 42 of the duct 40 while unwinding, and laid toward the solid-state laser device 1. At the time of this laying, the partition fibers 43 do not cause the bundle fibers 10 to intersect.

【0034】バンドルファイバー10を間仕切り板43
の端部近くまで敷設した後、バンドルファイバー10を
図4に示すように7本の光ファイバー3に分ける(図に
おいては、光ファイバー3の全数は示されていな
い。)。なお、ダクト40の端部まで間仕切り板43を
設けると、バンドルファイバー10を固体レーザ装置1
に向けて上下、左右に敷設したときにバンドルファイバ
ー10が間仕切り板43の端面に当たり、光ファイバー
3が破壊することが起こりうるので、間仕切り板43は
ダクト40の端部より数100mm〜1000mm程度奥側
に入り込んで設けられている。
The bundle fiber 10 is divided into partition plates 43
After laying up to the vicinity of the end, the bundle fiber 10 is divided into seven optical fibers 3 as shown in FIG. 4 (in the figure, the total number of optical fibers 3 is not shown). When the partition plate 43 is provided up to the end of the duct 40, the bundle fiber 10 is
When the bundle fiber 10 hits the end face of the partition plate 43 when it is laid up, down, left and right, the optical fiber 3 may be broken, so the partition plate 43 is several hundred mm to 1000 mm deeper than the end of the duct 40. It is provided to penetrate.

【0035】その後、7本の光ファイバー3単位で先端
を各第2の支持具20Bの曲管22bにそれぞれ通した
後、クランプ30bを用いて7本の光ファイバー3を第
2の支持具20Bに固定する。このとき、各光ファイバ
ー3はクランプ30bの弾性体で間隔をおいて弾性支持
されているので、光ファイバー3は曲管22b内で交錯
せずに敷設できる。最後に、第2の支持具20Bの曲管
22b内の7本の光ファイバー3をそれぞれ架台14に
配置された7台の固体レーザ装置1に接続する。それに
は、各第1の支持具20Aの曲管22aに所定の光ファ
イバー3を1本づつ通し、またその光ファイバー3をク
ランプ30aで固定する。その後、取付金具21aをネ
ジで架台14に固定して第1の支持具20Aを取り付け
る。次に、扉15を開けて、光ファイバー3を結合器1
6に接続し、接続を終えた後、扉15を閉める。なお、
交換時に光ファイバー3を取り外すには、上記と逆の手
順で行う。
Thereafter, the tips of the three optical fibers 3 are passed through the curved pipes 22b of the respective second supports 20B, and then the seven optical fibers 3 are fixed to the second supports 20B using the clamps 30b. I do. At this time, since each optical fiber 3 is elastically supported at an interval by an elastic body of the clamp 30b, the optical fibers 3 can be laid without intersecting in the curved tube 22b. Finally, the seven optical fibers 3 in the curved tube 22b of the second support 20B are connected to the seven solid-state laser devices 1 arranged on the mount 14, respectively. To this end, predetermined optical fibers 3 are passed one by one through the curved tubes 22a of each first support 20A, and the optical fibers 3 are fixed by clamps 30a. After that, the mounting bracket 21a is fixed to the gantry 14 with screws, and the first support 20A is mounted. Next, the door 15 is opened, and the optical fiber 3 is connected to the coupler 1.
6 and, after completing the connection, the door 15 is closed. In addition,
To remove the optical fiber 3 at the time of replacement, the procedure is reversed.

【0036】以下、同様に、第2の増幅器7、第3の増
幅器8への光ファイバー3の敷設作業も同様の手順で行
われる。
Hereinafter, similarly, the work of laying the optical fiber 3 on the second amplifier 7 and the third amplifier 8 is performed in the same procedure.

【0037】なお、上記実施の形態では、発振器5に用
いる励起用レーザ装置として専用の固体レーザ装置1を
用いたが、架台14に配置された固体レーザ装置1から
出射される励起レーザ光2を用いてもよい。また、多段
増幅器である色素レーザ装置として、3つの増幅器6,
7,8と発振器とを備えたものについているが、色素レ
ーザ光の必要なレーザ出力に応じて、増幅器の台数を増
減できる。また、レーザ装置として同位体分離用レーザ
装置について説明したが、この発明は、例えば、レーザ
加工装置やレーザ医療装置であってもよく、複数の励起
用レーザ装置を並列運転し、励起レーザ光を光ファイバ
ーにより伝送するレーザ装置であれば、適用することが
できる。また、支持具は、ダクト40において、励起レ
ーザ光の入口部または励起レーザ光の出口部の一方だけ
に設けてもよい。
In the above embodiment, the dedicated solid-state laser device 1 is used as the excitation laser device used for the oscillator 5, but the excitation laser light 2 emitted from the solid-state laser device 1 arranged on the gantry 14 is used. May be used. As a dye laser device which is a multi-stage amplifier, three amplifiers 6,
Although the apparatus includes the oscillators 7 and 8 and the oscillator, the number of amplifiers can be increased or decreased according to the required laser output of the dye laser light. Although the isotope separation laser device has been described as a laser device, the present invention may be, for example, a laser processing device or a laser medical device, in which a plurality of excitation laser devices are operated in parallel to generate excitation laser light. The present invention can be applied to any laser device that transmits by an optical fiber. Further, the support may be provided at only one of the entrance of the excitation laser light and the exit of the excitation laser light in the duct 40.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
1に係るレーザ装置によれば、複数の励起用レーザ装置
と、この各励起用レーザ装置から出射された励起レーザ
光を伝送する複数本の光ファイバーと、1個の発振器、
及び各前記光ファイバーから出射した前記励起レーザ光
が照射される複数個の前記増幅器を有する多段増幅器
と、前記励起用レーザ装置と前記多段増幅器との間に内
部に前記光ファイバーを配置して設けられたダクトとを
備えたので、外部からのレーザ光の照射で光ファイバー
が破損することを防止することができる。また、光ファ
イバーはダクトで保持される。
As described above, according to the laser device of the first aspect of the present invention, a plurality of excitation laser devices and a plurality of excitation laser beams transmitted from the respective excitation laser devices are transmitted. One optical fiber and one oscillator,
And a multi-stage amplifier having a plurality of amplifiers to which the excitation laser light emitted from each of the optical fibers is irradiated, and the optical fiber disposed and provided between the excitation laser device and the multi-stage amplifier. The provision of the duct makes it possible to prevent the optical fiber from being damaged by external laser light irradiation. The optical fiber is held by a duct.

【0039】また、この発明の請求項2に係るレーザ装
置では、ダクトにおいて、励起レーザ光の入口部及び励
起レーザ光の出口部の少なくとも一方に設けられ光ファ
イバーを保持した支持具を備えたので、光ファイバーの
敷設および交換時における、複数本の光ファイバーの交
錯を防止でき作業性が向上するとともに、破損を防止で
きる。
Further, in the laser device according to the second aspect of the present invention, since the duct has the support member provided at at least one of the entrance of the excitation laser beam and the exit of the excitation laser beam and holding the optical fiber, When laying and exchanging optical fibers, crossover of a plurality of optical fibers can be prevented, workability can be improved, and breakage can be prevented.

【0040】また、この発明の請求項3に係るレーザ装
置では、ダクトには、内部に複数本の光ファイバーを束
ねた各バンドルファイバーをそれぞれ仕切る間仕切り板
が設けられているので、光ファイバーの敷設及び交換時
において、各バンドルファイバーが交錯するのを防止で
きる。
Further, in the laser device according to the third aspect of the present invention, since the duct is provided with partition plates for partitioning each bundle fiber in which a plurality of optical fibers are bundled, the laying and replacement of the optical fibers are performed. At times, it is possible to prevent the bundle fibers from intermingling.

【0041】また、この発明の請求項4に係るレーザ装
置では、励起用レーザ装置に固定され励起用レーザ装置
に接続された光ファイバーを保持した支持具を備えたの
で、励起用レーザ装置に対する光ファイバーの取付、ま
たは交換時に、光ファイバーの破損を防止できる。
Further, in the laser device according to the fourth aspect of the present invention, since the support device holding the optical fiber fixed to the excitation laser device and connected to the excitation laser device is provided, the optical fiber for the excitation laser device is provided. At the time of installation or replacement, damage to the optical fiber can be prevented.

【0042】また、この発明の請求項5に係るレーザ装
置では、支持具は、内部に光ファイバーが設けられた曲
管と、この曲管の一端部に設けられ前記光ファイバーを
保持するクランプとを備えたので、光ファイバーの伝送
効率の低下が抑制され、出力が向上する。
Further, in the laser device according to the fifth aspect of the present invention, the support member includes a curved tube having an optical fiber provided therein, and a clamp provided at one end of the curved tube for holding the optical fiber. Therefore, a decrease in the transmission efficiency of the optical fiber is suppressed, and the output is improved.

【0043】また、この発明の請求項6に係るレーザ装
置では、曲管は、その曲率半径が250mm以上である
ので、光ファイバーは推奨曲率半径以下に曲げられるよ
うなことはなく、光ファイバーの伝送効率の低下が抑制
され、出力が向上する。
Further, in the laser device according to claim 6 of the present invention, since the radius of curvature of the curved tube is 250 mm or more, the optical fiber is not bent below the recommended radius of curvature, and the transmission efficiency of the optical fiber is reduced. Is suppressed, and the output is improved.

【0044】また、この発明の請求項7に係るレーザ装
置では、クランプは、光ファイバーを弾性挟持する弾性
体を備えたので、光ファイバーは破損することなく保持
される。
Further, in the laser device according to claim 7 of the present invention, since the clamp has the elastic body for elastically holding the optical fiber, the optical fiber is held without being damaged.

【0045】また、この発明の請求項8に係るレーザ装
置では、多段増幅器は、色素レーザ装置であるので、高
品質、高出力のレーザ光を発生させることができる。
Further, in the laser device according to claim 8 of the present invention, since the multistage amplifier is a dye laser device, it is possible to generate high-quality, high-output laser light.

【0046】また、この発明の請求項9に係るレーザ装
置では、励起用レーザ装置は、YAG結晶を用いた固体
レーザ装置であるので、高品質、高出力の励起用レーザ
光を発生させることができる。
In the laser device according to the ninth aspect of the present invention, since the excitation laser device is a solid-state laser device using a YAG crystal, it is possible to generate high-quality, high-output excitation laser light. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1の同位体分離用のレ
ーザ装置の配置図である。
FIG. 1 is a layout diagram of a laser device for isotope separation according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 図1の点線で囲った領域Aの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a region A surrounded by a dotted line in FIG.

【図3】 図1の第1の支持具の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the first support of FIG. 1;

【図4】 図1の点線で囲った領域Bの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a region B surrounded by a dotted line in FIG.

【図5】 図1の点線で囲った領域Cの斜視図である。5 is a perspective view of a region C surrounded by a dotted line in FIG.

【図6】 従来の同位体分離用のレーザ装置の構成図で
ある。
FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional laser apparatus for isotope separation.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 励起レーザ光、3 光ファイバー、5 発振器、6
第1の増幅器、7第2の増幅器、8 第3の増幅器、
9 色素レーザ光、10 バンドルファイバー、11
バンドルファイバーの出射口、12 レーザ光13 転
写光学系、20A 第1の支持具、20B 第2の支持
具、20C 第3の支持具、22a,22b,22c、
曲管 30a,30b,30c クランプ、32a,3
2c弾性体、40 ダクト、43 間仕切り板。
2 Excitation laser light, 3 optical fiber, 5 oscillator, 6
First amplifier, 7 second amplifier, 8 third amplifier,
9 dye laser beam, 10 bundle fiber, 11
Outlet of bundle fiber, 12 laser beam 13 transfer optical system, 20A first support, 20B second support, 20C third support, 22a, 22b, 22c,
Curved pipe 30a, 30b, 30c Clamp, 32a, 3
2c elastic body, 40 duct, 43 partition plate.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の励起用レーザ装置と、 この各励起用レーザ装置から出射された励起レーザ光を
伝送する複数本の光ファイバーと、 各前記光ファイバーから出射した前記励起レーザ光が照
射される複数個の増幅器を有する多段増幅器と、 前記励起用レーザ装置と前記多段増幅器との間に内部に
前記光ファイバーを配置して設けられたダクトと、を備
えたレーザ装置。
1. A plurality of excitation laser devices, a plurality of optical fibers for transmitting excitation laser light emitted from each of the excitation laser devices, and a plurality of irradiation with the excitation laser light emitted from each of the optical fibers. A laser device comprising: a multi-stage amplifier having a plurality of amplifiers; and a duct in which the optical fiber is provided between the pump laser device and the multi-stage amplifier.
【請求項2】 ダクトにおいて、励起レーザ光の入口部
及び励起レーザ光の出口部の少なくとも一方に設けられ
光ファイバーを保持した支持具を備えた請求項1に記載
のレーザ装置。
2. The laser device according to claim 1, further comprising: a support provided at at least one of an entrance of the excitation laser beam and an exit of the excitation laser beam in the duct to hold an optical fiber.
【請求項3】 ダクトには、内部に複数本の光ファイバ
ーを束ねた各バンドルファイバーをそれぞれ仕切る間仕
切り板が設けられた請求項1または請求項2に記載のレ
ーザ装置。
3. The laser device according to claim 1, wherein the duct is provided with a partition plate for partitioning each bundle fiber in which a plurality of optical fibers are bundled.
【請求項4】 励起用レーザ装置に固定され励起用レー
ザ装置に接続された光ファイバーを保持した支持具を備
えた請求項1ないし請求項3の何れかに記載のレーザ装
置。
4. The laser device according to claim 1, further comprising a support fixed to the excitation laser device and holding an optical fiber connected to the excitation laser device.
【請求項5】 支持具は、内部に光ファイバーが設けら
れた曲管と、この曲管の一端部に設けられ前記光ファイ
バーを保持するクランプとを備えた請求項2ないし請求
項4の何れかに記載のレーザ装置。
5. The supporting tool according to claim 2, further comprising: a bent tube having an optical fiber provided therein; and a clamp provided at one end of the bent tube and holding the optical fiber. A laser device according to claim 1.
【請求項6】 曲管は、その曲率半径が250mm以上
である請求項5に記載のレーザ装置。
6. The laser device according to claim 5, wherein the curved tube has a radius of curvature of 250 mm or more.
【請求項7】 クランプは、光ファイバーを弾性挟持す
る弾性体を備えた請求項5または請求項6に記載のレー
ザ装置。
7. The laser device according to claim 5, wherein the clamp has an elastic body for elastically holding the optical fiber.
【請求項8】 多段増幅器は、色素レーザ装置である請
求項1ないし請求項7の何れかに記載のレーザ装置。
8. The laser device according to claim 1, wherein the multistage amplifier is a dye laser device.
【請求項9】 励起用レーザ装置は、YAG結晶を用い
た固体レーザ装置である請求項1ないし請求項8の何れ
かに記載のレーザ装置。
9. The laser device according to claim 1, wherein the excitation laser device is a solid-state laser device using a YAG crystal.
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