JP2001060312A - Magnetic recording media - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録に用いら
れる垂直磁気異方性を有する磁気記録媒体に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium having perpendicular magnetic anisotropy used for magnetic recording.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ディスクなどの磁気記録装置
においては、高密度、高記憶容量化の要求が強くなって
いる。このような記録密度の向上に伴ない、記録ビット
が微細化して、薄膜磁気記録媒体を構成する結晶粒の寸
法に近づくようになり、そのために各結晶粒が単磁区的
に振る舞う程度に結晶粒間の磁気的分離を促進させる必
要がある。さらに、1ビットに含まれる結晶粒の数が減
少するとノイズが増えるため、記録密度の向上に伴っ
て、結晶粒径も小さくする必要がある。しかしながら、
結晶粒が微細化しすぎると、熱揺らぎによる磁化の不安
定性を招くことになる。2. Description of the Related Art In recent years, there has been an increasing demand for higher density and higher storage capacity in magnetic recording devices such as magnetic disks. With such an increase in recording density, the size of recording bits has become smaller and closer to the dimensions of the crystal grains constituting the thin-film magnetic recording medium, and as a result, the crystal grains have such a size that they behave like a single magnetic domain. It is necessary to promote magnetic separation between them. Further, when the number of crystal grains included in one bit decreases, noise increases. Therefore, it is necessary to reduce the crystal grain size as the recording density increases. However,
When the crystal grains are too fine, instability of magnetization due to thermal fluctuations is caused.
【0003】記録磁化の熱的安定性について、マイクロ
マグネティックス・モデルに基づいて計算機シミュレー
ションで検討した結果が報告されている(「垂直記録媒
体、長手記録媒体の熱揺らぎのモンテカルロシミュレー
ション」上坂保太郎他 信学技報 MR96−37 1
996−11)。[0003] The results of a computer simulation study of the thermal stability of recording magnetization based on a micromagnetics model have been reported ("Monte Carlo simulation of thermal fluctuations in perpendicular recording media and longitudinal recording media", Yasutarou Uesaka et al. IEICE Technical Report MR96-37 1
996-11).
【0004】これによると、面内磁気記録、垂直磁気記
録のいずれの記録方式でも、熱的安定性の指標KuV/
kTが100以下となると、記録磁化の減少が起こると
されている。ただし、Kuは磁気異方性エネルギー、V
は磁化が反転する単位となる活性化体積、kはボルツマ
ン定数、Tは絶対温度である。従って、記録磁化の熱揺
らぎによる劣化に対しては、媒体膜厚を大きくとれる垂
直磁気記録媒体の方が有利であると予想されている。According to this, in both the longitudinal magnetic recording and the perpendicular magnetic recording, the thermal stability index KuV /
It is said that when kT becomes 100 or less, the recording magnetization decreases. Where Ku is the magnetic anisotropic energy, V
Is the activation volume that is the unit of magnetization reversal, k is the Boltzmann constant, and T is the absolute temperature. Therefore, it is expected that a perpendicular magnetic recording medium, which can have a large medium thickness, is more advantageous for deterioration due to thermal fluctuation of recording magnetization.
【0005】上記の報告結果に基づき、CoCrPtお
よびCoCrPtTa合金の垂直磁気記録媒体につい
て、記録密度特性や媒体ノイズ特性等の検討結果が報告
されており(「MRヘッドと単層垂直媒体を用いた高密
度磁気記録」二本正昭他 日本応用磁気学会誌 Vo
l.21 No.6 pp950−958 199
7)、記録密度が30〜40Gb/in2では、KuV
/kTの値は、面内磁気記録の40程度に対して、垂直
磁気記録では130程度と増加している。[0005] Based on the above reported results, the results of studies on recording density characteristics, medium noise characteristics, and the like have been reported for perpendicular magnetic recording media of CoCrPt and CoCrPtTa alloy. Density Magnetic Recording ”Masaaki Nihon et al. Journal of the Japan Society of Applied Magnetics Vo
l. 21 No. 6 pp950-958 199
7) When the recording density is 30 to 40 Gb / in 2 , KuV
The value of / kT increases to about 130 in perpendicular magnetic recording, while it increases to about 40 in longitudinal magnetic recording.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、臨界値
の100を考慮すると、更なる改善が必要とされる。ま
た、KuV/kTの値を求める際に、Kuの値は単結晶
磁性薄膜を用いて実験で決定された値が使用されている
が、活性化体積Vについては結晶粒径と媒体の膜厚から
推定した値が使用されており、上記の値の信頼性は不十
分と考えられる。また、面内磁気記録媒体及び垂直磁気
記録媒体のいずれにおいても、結晶質材料を使用してい
る限り、媒体ノイズを低下させるために結晶粒径を低減
させると、熱揺らぎの影響が増加するという問題は本質
的に回避することが困難である。However, further considerations are needed in view of the critical value of 100. In determining the value of KuV / kT, the value of Ku is determined by an experiment using a single crystal magnetic thin film, but the activation volume V is determined by the crystal grain size and the film thickness of the medium. Are used, and the reliability of the above values is considered to be insufficient. Further, in both the longitudinal magnetic recording medium and the perpendicular magnetic recording medium, as long as a crystalline material is used, if the crystal grain size is reduced to reduce the medium noise, the influence of thermal fluctuation increases. Problems are inherently difficult to avoid.
【0007】そこで、本発明は、このような状況に対し
て、熱揺らぎの影響が小さく、従来の磁気記録媒体の記
録密度の限界を越えることを可能にする磁気記録媒体を
提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium in which the influence of thermal fluctuation is small in such a situation and the recording density of a conventional magnetic recording medium can be exceeded. And
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、非晶質の垂直磁気記録媒体に着目した。非晶質材
料では結晶粒が存在しないため、活性化体積Vは粒径に
は支配されなくなる。従って、大きな活性化体積Vを持
つことが可能であり、結晶質材料に比べて、熱揺らぎの
影響を受け難いと予想されるからである。In order to solve the above problems, attention has been paid to an amorphous perpendicular magnetic recording medium. Since the amorphous material has no crystal grains, the activation volume V is not controlled by the particle size. Therefore, it is possible to have a large activation volume V, and it is expected that the material is less likely to be affected by thermal fluctuation as compared with a crystalline material.
【0009】非晶質の垂直磁気記録媒体としては、光磁
気記録媒体がよく知られている。しかしながら、光磁気
記録媒体では、重希土類金属と3d遷移金属の合金が用
いられており、室温付近に補償温度を調整して保磁力H
cを発散させ、記録を保持している。そのため、室温で
は、重希土類金属と3d遷移金属の磁気モーメントは打
ち消しあい、飽和磁化Msは小さく、磁気ヘッドで記録
再生する磁気記録媒体には使用できない。これは、磁気
ヘッドで記録再生される磁気記録媒体では、大きな飽和
磁化を有し、室温である程度の保磁力を有するものでな
ければならないからである。A magneto-optical recording medium is well known as an amorphous perpendicular magnetic recording medium. However, in the magneto-optical recording medium, an alloy of a heavy rare earth metal and a 3d transition metal is used, and the coercive force H is adjusted by adjusting the compensation temperature to around room temperature.
c diverges and keeps record. Therefore, at room temperature, the magnetic moments of the heavy rare earth metal and the 3d transition metal cancel each other out, and the saturation magnetization Ms is small, so that the magnetic recording medium cannot be used for recording and reproduction with a magnetic head. This is because a magnetic recording medium recorded and reproduced by a magnetic head must have a large saturation magnetization and a certain coercive force at room temperature.
【0010】一方、軽希土類金属と3d遷移金属の合金
では、磁気モーメントが平行に結合するため、大きな飽
和磁化Msが得られる。このような例として特開平5−
54358号公報の実施例にNd15Co85非晶質合金膜
が報告されている。しかしながら、このような合金薄膜
を使用すると、媒体ノイズが低下することは報告されて
いるが、熱揺らぎの影響については記載されていない。
また、明細書には明確な記載はないが、記載されている
媒体ノイズの原因及び上記の合金組成から、面内磁気記
録媒体と推測される。On the other hand, in an alloy of a light rare earth metal and a 3d transition metal, a large saturation magnetization Ms is obtained because the magnetic moments are coupled in parallel. Japanese Patent Application Laid-Open No.
An Nd 15 Co 85 amorphous alloy film is reported in an example of Japanese Patent No. 54358. However, although it has been reported that the use of such an alloy thin film reduces the medium noise, it does not describe the effect of thermal fluctuation.
Although there is no clear description in the specification, it is presumed to be an in-plane magnetic recording medium from the cause of the medium noise and the alloy composition described above.
【0011】また、軽希土類金属と3d遷移金属の合金
で、非晶質の垂直磁気記録媒体としては、PrCoの例
が報告されている(「MAGNETIZATION、
CURIE TEMPERATURE AND PER
PENDICULAR MAGNETIC ANISO
TROPY OF EVAPORATED Co−RA
RE EARTH AMORPHOUS ALLOY
FILMS」M.TAKAHASHI et al.
J.MAGNETIZM AND MAGNETIC
MATERIALS Vol.75 pp252−26
2 1988)。しかしながら、上記のPrCoについ
て、実際に磁気記録媒体を作成して特性を測定したとこ
ろ、非晶質でかつ垂直磁気異方性を示す全組成領域にお
いて、保磁力Hcが約200Oeと小さく、磁気記録媒
体として使用することができなかった。As an amorphous perpendicular magnetic recording medium made of an alloy of a light rare earth metal and a 3d transition metal, PrCo has been reported as an example (“MAGNETIZATION,
CURIE TEMPERATURE AND PER
PENDICULAR MAGNETIC ANISO
TROPY OF EVAPORATED Co-RA
RE EARTH AMORPHOUS ALLOY
FILMS "M. TAKAHASHI et al.
J. MAGNETIZM AND MAGNETIC
MATERIALS Vol. 75 pp252-26
2 1988). However, when a magnetic recording medium was actually prepared and the characteristics of PrCo described above were measured, the coercive force Hc was as small as about 200 Oe in the entire composition region that was amorphous and exhibited perpendicular magnetic anisotropy. It could not be used as a medium.
【0012】このような状況に対して、更に検討を行っ
た結果、他の特性を低化させること無く、保磁力Hcを
増大する方法を見出した。As a result of further study on such a situation, a method for increasing the coercive force Hc without lowering other characteristics was found.
【0013】すなわち、本発明は、基板上に少なくとも
磁気記録層が設けられた磁気記録媒体であって、前記磁
気記録層が、垂直磁気異方性を有し、かつ、軽希土類金
属と重希土類金属と3d遷移金属とから構成される非晶
質合金からなることを特徴とする。That is, the present invention relates to a magnetic recording medium having at least a magnetic recording layer provided on a substrate, wherein the magnetic recording layer has perpendicular magnetic anisotropy, and comprises a light rare earth metal and a heavy rare earth. It is characterized by comprising an amorphous alloy composed of a metal and a 3d transition metal.
【0014】さらに、本発明は、前記磁気記録層がPr
TbCo合金からなることを特徴とする。Further, according to the present invention, the magnetic recording layer may include Pr
It is characterized by being made of a TbCo alloy.
【0015】さらに、本発明は、前記PrTbCo合金
の組成は (Pr(1-x)Tbx)(1-y)Coy (0.4≦x≦0.8、0.77≦y≦0.85) となることを特徴とする。Furthermore, the present invention, the composition of the PrTbCo alloy (Pr (1-x) Tb x) (1-y) Co y (0.4 ≦ x ≦ 0.8,0.77 ≦ y ≦ 0 .85).
【0016】また、本発明は、前記基板と前記磁気記録
層との間に、軟磁性層を形成することを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that a soft magnetic layer is formed between the substrate and the magnetic recording layer.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
【0018】[実施例1]本実施例では、軽希土類金属
としてPrを用い、重希土類金属としてTbを用い、3
d遷移金属としてCoを用いた。[Embodiment 1] In this embodiment, Pr is used as a light rare earth metal, Tb is used as a heavy rare earth metal,
Co was used as d transition metal.
【0019】図1は本発明の磁気記録媒体の構成を示す
図である。図1に示すように、磁気記録媒体は基板1上
に磁気記録層2、酸化防止層3を順に積層したものであ
る。基板1としてはガラス基板(コーニング社製:#7
059)を用い、0.4μTorr以下まで排気後、同
一真空中で磁気記録層2となるPrTbCo合金膜と酸
化防止層3となるTa膜とを順に成膜して形成する。こ
のとき、磁気記録層2となるPrTbCo合金膜の形成
には、Coターゲット上にPr及びTbのペレットを配
置した複合ターゲットを用いる。PrTbCo合金膜と
Ta膜は、いずれもDCマグネトロンスパッタ法を用
い、Arガス圧=5mTorrとして、PrTbCo合
金膜はPower=620mW/cm2、Ta膜はPo
wer=86mW/cm2の成膜条件で形成した。膜厚
はそれぞれ500Å、100Åに設定した。なお、基板
1は水冷して成膜した。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the magnetic recording medium of the present invention. As shown in FIG. 1, the magnetic recording medium is obtained by sequentially laminating a magnetic recording layer 2 and an antioxidant layer 3 on a substrate 1. As the substrate 1, a glass substrate (Corning: # 7)
059), and after evacuation to 0.4 μTorr or less, a PrTbCo alloy film to be the magnetic recording layer 2 and a Ta film to be the antioxidant layer 3 are sequentially formed in the same vacuum. At this time, for the formation of the PrTbCo alloy film to be the magnetic recording layer 2, a composite target in which Pr and Tb pellets are arranged on a Co target is used. Both the PrTbCo alloy film and the Ta film are formed by DC magnetron sputtering, and the Ar gas pressure is 5 mTorr, the PrTbCo alloy film is Power = 620 mW / cm 2 , and the Ta film is Po.
The film was formed under a film forming condition of wer = 86 mW / cm 2 . The film thickness was set at 500 ° and 100 °, respectively. The substrate 1 was formed by water cooling.
【0020】上記の方法で得られたPrTbCo合金膜
は非晶質であるため、熱的安定性の指標KuV/kTを
評価する上で、活性化体積Vを従来のように結晶粒径か
ら評価することができない。そこで、レマネンス保持力
の磁場印加時間依存から求められる揺らぎ場Hfを用い
て熱的安定性を評価した。なお、これについては、「C
oCrTaおよびCoCrPt薄膜媒体の磁気粘性とノ
イズ特性」 山中一助他 信学技報 MR95−13
1995−06 に記載されている。揺らぎ場Hfの場
合は、熱的安定性の指標KuV/kTの場合とは逆に、
値が低いほど熱的安定性が優れていると考えられる。こ
れによれば、結晶粒径のようなミクロな測定を必要とせ
ず、マクロな磁気特性の測定から直接Hfを決定できる
という利点がある。Since the PrTbCo alloy film obtained by the above method is amorphous, the activation volume V is evaluated from the crystal grain size as in the prior art in evaluating the index of thermal stability KuV / kT. Can not do it. Therefore, the thermal stability was evaluated using the fluctuation field Hf obtained from the dependency of the remanence retention force on the time of applying a magnetic field. For this, "C
Magnetic Viscosity and Noise Characteristics of oCrTa and CoCrPt Thin-Film Media ”Kazusuke Yamanaka et al.
1995-06. In the case of the fluctuation field Hf, contrary to the case of the thermal stability index KuV / kT,
It is considered that the lower the value, the better the thermal stability. According to this, there is an advantage that Hf can be directly determined from measurement of macro magnetic characteristics without requiring micro measurement such as crystal grain size.
【0021】まず、PrCo合金のCoの組成を83原
子%と一定にし、PrをTbで置換していった場合につ
いて説明する。First, the case where the composition of Co of the PrCo alloy is fixed at 83 atomic% and Pr is replaced by Tb will be described.
【0022】図2に揺らぎ場Hfの変化を示し、図3に
飽和磁化Msの変化を示し、図4に保磁力Hcの変化を
示す。また、図5に垂直磁気異方性エネルギーK⊥の変
化と、Ku(=K⊥+2πMs2(反磁場エネルギ
ー))の変化を示す。ここでは、Tb組成比を希土類元
素中のTbの組成比率で表している。FIG. 2 shows a change in the fluctuation field Hf, FIG. 3 shows a change in the saturation magnetization Ms, and FIG. 4 shows a change in the coercive force Hc. FIG. 5 shows a change in perpendicular magnetic anisotropy energy K⊥ and a change in Ku (= K⊥ + 2πMs 2 (demagnetizing field energy)). Here, the Tb composition ratio is represented by the composition ratio of Tb in the rare earth element.
【0023】図2の揺らぎ場Hfの変化において、比較
のために従来の結晶質媒体であるCo0.76Cr0.16Ta
0.03Pt0.05膜について同様の測定を行った結果、Hf
=19Oeという値が得られた。図2と比較すると、T
b組成比が0.7以下で、従来の結晶質媒体よりも熱的
安定性が優れていることがわかる。In the variation of the fluctuation field Hf shown in FIG. 2, for comparison, a conventional crystalline medium, Co 0.76 Cr 0.16 Ta, was used for comparison.
As a result of performing the same measurement on the 0.03 Pt 0.05 film, Hf
= 19 Oe was obtained. As compared with FIG.
It can be seen that when the b composition ratio is 0.7 or less, the thermal stability is superior to that of the conventional crystalline medium.
【0024】また、図3および図4から、PrをTbで
置換していくと、飽和磁化Msは減少するが、保磁力H
cは増加している。さらに、図5に示すように、作成し
た媒体はいずれもK⊥が正であり、垂直磁気記録媒体と
して使用可能である。3 and 4, when Pr is replaced by Tb, the saturation magnetization Ms decreases, but the coercive force H
c is increasing. Further, as shown in FIG. 5, each of the prepared media has a positive K⊥, and can be used as a perpendicular magnetic recording medium.
【0025】上記の測定結果をもとに、従来の結晶質媒
体の場合と同様に、KuV/kTの値を求める。例え
ば、(Pr0.53Tb0.47)0.17Co0.83膜について、揺
らぎ場Hf(図2参照)、飽和磁化Ms(図3参照)の
測定値より、活性化体積V(=kT/HfMs)を求
め、磁気異方性エネルギーKu(図5参照)の測定値を
使用して、KuV/kTの値を求めると、4000以上
という非常に大きな値が得られる。このことからも、熱
的安定性が非常に優れていると言える。Based on the above measurement results, the value of KuV / kT is determined as in the case of the conventional crystalline medium. For example, with respect to the (Pr 0.53 Tb 0.47 ) 0.17 Co 0.83 film, the activation volume V (= kT / HfMs) is obtained from the measured values of the fluctuation field Hf (see FIG. 2) and the saturation magnetization Ms (see FIG. 3). When the value of KuV / kT is determined using the measured value of the anisotropic energy Ku (see FIG. 5), a very large value of 4000 or more is obtained. From this, it can be said that the thermal stability is very excellent.
【0026】磁気記録媒体は、磁気ヘッドにて外部磁界
を加えることにより情報が記録され、残留した磁化より
発生する磁界を磁気ヘッドで検出して情報が再生され
る。従って、磁気記録媒体として好ましいのは、飽和磁
化Msが200emu/cc程度以上、保磁力Hcが5
00Oe程度以上であり、図3および図4からTb組成
比が約0.4〜0.8の範囲でこの条件を満足する。ま
た、高い記録密度が得られるという点でさらに好ましい
のは、飽和磁化Msが300emu/cc程度以上、保
磁力Hcが1000Oe程度以上であり、同様にTb組
成比が約0.41〜0.65の範囲でこの条件を満足す
る。In the magnetic recording medium, information is recorded by applying an external magnetic field with a magnetic head, and the information is reproduced by detecting the magnetic field generated from the residual magnetization with the magnetic head. Therefore, it is preferable that the magnetic recording medium has a saturation magnetization Ms of about 200 emu / cc or more and a coercive force Hc of 5 emu / cc.
3 and FIG. 4 satisfies this condition when the Tb composition ratio is in the range of about 0.4 to 0.8. Further, in terms of obtaining a high recording density, it is more preferable that the saturation magnetization Ms is about 300 emu / cc or more, the coercive force Hc is about 1000 Oe or more, and the Tb composition ratio is about 0.41 to 0.65. Satisfies this condition.
【0027】また、Tbが少なすぎると、保磁力Hcが
低下し、十分小さな磁化反転領域を形成することができ
なくなり、Tbが多すぎると、飽和磁化Msが減少し、
特に記録密度が高くなった時に、十分な再生出力が得ら
れなくなる。On the other hand, if Tb is too small, the coercive force Hc decreases, and a sufficiently small magnetization reversal region cannot be formed. If Tb is too large, the saturation magnetization Ms decreases.
In particular, when the recording density increases, a sufficient reproduction output cannot be obtained.
【0028】なお、上記の範囲において、図5から明ら
かなように、Ku及びK⊥は両方とも垂直磁気記録媒体
として十分大きな値が得られている。特に、Tb組成比
が約0.4〜0.6の範囲においては、1×107er
g/cc以上の非常に大きな垂直磁気異方性を示してい
る。In the above range, as is apparent from FIG. 5, both Ku and K⊥ have sufficiently large values for a perpendicular magnetic recording medium. In particular, when the Tb composition ratio is in the range of about 0.4 to 0.6, 1 × 10 7 er
It shows a very large perpendicular magnetic anisotropy of g / cc or more.
【0029】さらに、(Pr0.53Tb0.47)0.17Co
0.83合金膜の磁化曲線を測定した結果、残留磁化Mrと
Msの比である角型比はほとんど1であった。従って、
高密度記録時においても、残留磁化が大きく、大きな再
生出力を得ることができる。Further, (Pr 0.53 Tb 0.47 ) 0.17 Co
As a result of measuring the magnetization curve of the 0.83 alloy film, the squareness ratio, which is the ratio between the residual magnetization Mr and Ms, was almost 1. Therefore,
Even during high-density recording, the residual magnetization is large, and a large reproduction output can be obtained.
【0030】次に、希土類元素中の組成比率を、Pr=
0.4,Tb=0.6に一定とし、希土類元素とCoと
組成を変化させていった場合について説明する。Next, the composition ratio in the rare earth element is expressed as Pr =
The case where the composition is changed to 0.4 and Tb = 0.6 and the rare earth element and Co are changed will be described.
【0031】図6に揺らぎ場Hfの変化を示し、図7に
飽和磁化Msの変化を示し、図8に保磁力Hcの変化を
示す。また、図9に垂直磁気異方性エネルギーK⊥の変
化と、Ku(=K⊥+2πMs2(反磁場エネルギ
ー))の変化を示す。FIG. 6 shows a change in the fluctuation field Hf, FIG. 7 shows a change in the saturation magnetization Ms, and FIG. 8 shows a change in the coercive force Hc. FIG. 9 shows a change in perpendicular magnetic anisotropy energy K⊥ and a change in Ku (= K⊥ + 2πMs2 (demagnetizing field energy)).
【0032】図6の揺らぎ場Hfの変化において、従来
の結晶質媒体であるCo0.76Cr0. 16Ta0.03Pt0.05
膜の揺らぎ場Hf=19Oeと比較すると、Co組成が
0.77以上で、従来の結晶質媒体よりも熱的安定性が
優れていることがわかる。[0032] In variation of the fluctuation field Hf in FIG. 6, Co 0.76 Cr 0. 16 Ta 0.03 Pt 0.05 a conventional crystalline media
Compared with the fluctuation field Hf = 19 Oe of the film, it can be seen that the Co composition is 0.77 or more and the thermal stability is superior to the conventional crystalline medium.
【0033】また、図7および図8から、希土類元素に
対してCoを増加させると、飽和磁化Msは単調に増加
するが、保磁力Hcは一旦増加後減少している。また、
図9に示すように、作成した媒体はいずれもK⊥が正で
あり、垂直磁気記録媒体として使用可能である。As shown in FIGS. 7 and 8, when Co is increased with respect to the rare earth element, the saturation magnetization Ms monotonously increases, but the coercive force Hc once decreases and then decreases. Also,
As shown in FIG. 9, all of the created media have a positive K⊥ and can be used as a perpendicular magnetic recording medium.
【0034】磁気記録媒体は、磁気ヘッドにて外部磁界
を加えることにより情報が記録され、残留した磁化より
発生する磁界を磁気ヘッドで検出して情報が再生され
る。従って、磁気記録媒体として好ましいのは、飽和磁
化Msが200emu/cc程度以上、保磁力Hcが5
00Oe程度以上であり、図7および図8からCo組成
が0.77〜0.85の範囲でこの条件を満足する。ま
た、高い記録密度が得られるという点でさらに好ましい
のは、飽和磁化Msが300emu/cc程度以上、保
磁力Hcが1000Oe程度以上であり、同様にCo組
成が0.79〜0.83の範囲でこの条件を満足する。In the magnetic recording medium, information is recorded by applying an external magnetic field with a magnetic head, and information is reproduced by detecting a magnetic field generated from the residual magnetization with the magnetic head. Therefore, it is preferable that the magnetic recording medium has a saturation magnetization Ms of about 200 emu / cc or more and a coercive force Hc of 5 emu / cc.
It is about 00 Oe or more, and from FIGS. 7 and 8, this condition is satisfied when the Co composition is in the range of 0.77 to 0.85. Further, from the viewpoint that a high recording density can be obtained, it is more preferable that the saturation magnetization Ms is about 300 emu / cc or more, the coercive force Hc is about 1000 Oe or more, and the Co composition is in the range of 0.79 to 0.83. Satisfies this condition.
【0035】また、Co組成がこれより多い場合には、
保磁力Hcが低下し、十分小さな磁化反転領域を形成す
ることができなくなり、Co組成が上記の範囲より減少
すると、飽和磁化Msが減少し、特に記録密度が高くな
った時に、十分な再生出力が得られなくなる。When the Co composition is more than this,
When the coercive force Hc decreases and a sufficiently small magnetization reversal region cannot be formed, and the Co composition decreases from the above range, the saturation magnetization Ms decreases, and especially when the recording density increases, sufficient reproduction output is obtained. Can not be obtained.
【0036】なお、上記の範囲において、図9から明ら
かなように、Ku及びK⊥は両方とも垂直磁気記録媒体
として十分大きな値が得られている。In the above range, as is apparent from FIG. 9, both Ku and K⊥ have sufficiently large values for a perpendicular magnetic recording medium.
【0037】[実施例2]本実施例では、軽希土類金属
としてCeを用い、重希土類金属としてTbを用い、3
d遷移金属としてCoを用いた。[Embodiment 2] In this embodiment, Ce is used as the light rare earth metal, and Tb is used as the heavy rare earth metal.
Co was used as d transition metal.
【0038】本実施例の磁気記録層であるCeTbCo
合金膜は、Coターゲット上にTbおよびCeのペレッ
トを配置した複合ターゲットを用い、その組成がCe
6.5Tb7.2Co86.3のものを作成した。なお、本実施例
の磁気記録層としてこの組成に限定されるものではな
い。The magnetic recording layer of this embodiment, CeTbCo
The alloy film uses a composite target in which Tb and Ce pellets are arranged on a Co target, and has a composition of Ce.
6.5 Tb 7.2 Co 86.3 was prepared. The composition of the magnetic recording layer of this embodiment is not limited to this composition.
【0039】その他、磁気記録媒体の構成、層形成条件
等は実施例1と同様であるので、ここでは詳細を省略す
る。In addition, since the configuration of the magnetic recording medium, layer forming conditions, and the like are the same as those in the first embodiment, the details are omitted here.
【0040】次に、表1に、CeTbCo合金膜の飽和
磁化Ms、保磁力Hc、垂直磁気異方性エネルギーK
⊥、角型比Mr/Msおよび、ゆらぎ場Hfについて示
す。なお、表中には比較のために、(Pr0.53T
b0.47)0.17Co0.83合金膜の各特性についても示し
た。Next, Table 1 shows the saturation magnetization Ms, coercive force Hc, and perpendicular magnetic anisotropy energy K of the CeTbCo alloy film.
⊥, squareness ratio Mr / Ms, and fluctuation field Hf are shown. In the table, (Pr 0.53 T
b 0.47 ) Each characteristic of the 0.17 Co 0.83 alloy film is also shown.
【0041】[0041]
【表1】 表1より、軽希土類金属をPrからCeに変えた場合に
おいても、飽和磁化Msが200emu/cc程度以
上、保持力Hcが500Oe程度以上の条件を満たして
おり、磁気記録媒体として使用可能であることが分か
る。[Table 1] From Table 1, it can be seen that even when the light rare earth metal is changed from Pr to Ce, the condition that the saturation magnetization Ms is about 200 emu / cc or more and the coercive force Hc is about 500 Oe or more is satisfied, and the magnetic recording medium can be used. You can see that.
【0042】また、垂直磁気異方性エネルギーK⊥の値
は正であり、垂直磁気記録媒体として使用可能である。The value of the perpendicular magnetic anisotropy energy K⊥ is positive, and can be used as a perpendicular magnetic recording medium.
【0043】また、残留磁化Mrと飽和磁化Msの比で
ある角型比Mr/Msはほとんど1であり、高密度記録
時においても、残留磁化が大きく、大きな再生出力を得
ることができる。Further, the squareness ratio Mr / Ms, which is the ratio of the residual magnetization Mr to the saturation magnetization Ms, is almost 1. Even during high-density recording, the residual magnetization is large, and a large reproduction output can be obtained.
【0044】さらに、ゆらぎ場Hfの値も9.4Oeと
従来の結晶質媒体であるCo0.76Cr0.16Ta0.03Pt
0.05膜のHf=19Oeに比べて非常に小さく、従来の
結晶質媒体よりも熱的安定性に優れていることがわか
る。Further, the value of the fluctuation field Hf is 9.4 Oe, which is Co 0.76 Cr 0.16 Ta 0.03 Pt which is a conventional crystalline medium.
The Hf of the 0.05 film is very small compared to 19Oe, and it is understood that the thermal stability is superior to that of the conventional crystalline medium.
【0045】[実施例3]本実施例では、軽希土類金属
としてNdを用い、重希土類金属としてTbを用い、3
d遷移金属としてCoを用いた。Embodiment 3 In this embodiment, Nd is used as a light rare earth metal, and Tb is used as a heavy rare earth metal.
Co was used as d transition metal.
【0046】本実施例の磁気記録層であるNdTbCo
合金膜は、Coターゲット上にTbおよびNdのペレッ
トを配置した複合ターゲットを用い、その組成がNd
7.2Tb7.8Co85.0のものを作成した。なお、本実施例
の磁気記録層としてこの組成に限定されるものではな
い。The magnetic recording layer of this embodiment, NdTbCo
The alloy film uses a composite target in which pellets of Tb and Nd are arranged on a Co target and has a composition of Nd.
7.2 Tb 7.8 Co 85.0 was prepared. The composition of the magnetic recording layer of this embodiment is not limited to this composition.
【0047】その他、磁気記録媒体の構成、層形成条件
等は実施例1と同様であるので、ここでは詳細を省略す
る。In addition, the configuration of the magnetic recording medium, layer forming conditions, and the like are the same as those in the first embodiment, and therefore, the details are omitted here.
【0048】次に、表2に、NdTbCo合金膜の飽和
磁化Ms、保磁力Hc、垂直磁気異方性エネルギーK
⊥、角型比Mr/Msおよび、ゆらぎ場Hfについて示
す。なお、表中には比較のために、(Pr0.53T
b0.47)0.17Co0.83合金膜の各特性についても示し
た。Next, Table 2 shows the saturation magnetization Ms, coercive force Hc, and perpendicular magnetic anisotropy energy K of the NdTbCo alloy film.
⊥, squareness ratio Mr / Ms, and fluctuation field Hf are shown. In the table, (Pr 0.53 T
b 0.47 ) Each characteristic of the 0.17 Co 0.83 alloy film is also shown.
【0049】[0049]
【表2】 表2より、軽希土類金属をPrからNdに変えた場合に
おいても、飽和磁化Msが200emu/cc程度以
上、保持力Hcが500Oe程度以上の条件を満たして
おり、磁気記録媒体として使用可能であることが分か
る。[Table 2] From Table 2, it can be seen that even when the light rare earth metal is changed from Pr to Nd, the condition that the saturation magnetization Ms is about 200 emu / cc or more and the coercive force Hc is about 500 Oe or more is satisfied, and the magnetic recording medium can be used. You can see that.
【0050】また、垂直磁気異方性エネルギーK⊥の値
は正であり、垂直磁気記録媒体として使用可能である。The value of the perpendicular magnetic anisotropy energy K⊥ is positive, and can be used as a perpendicular magnetic recording medium.
【0051】また、残留磁化Mrと飽和磁化Msの比で
ある角型比Mr/Msはほとんど1であり、高密度記録
時においても、残留磁化が大きく、大きな再生出力を得
ることができる。The squareness ratio Mr / Ms, which is the ratio between the residual magnetization Mr and the saturation magnetization Ms, is almost 1. Even during high-density recording, the residual magnetization is large, and a large reproduction output can be obtained.
【0052】さらに、ゆらぎ場Hfの値も6.2Oeと
従来の結晶質媒体であるCo0.76Cr0.16Ta0.03Pt
0.05膜のHf=19Oeに比べて非常に小さく、従来の
結晶質媒体よりも熱的安定性に優れていることがわか
る。Further, the value of the fluctuation field Hf is 6.2 Oe, which is Co 0.76 Cr 0.16 Ta 0.03 Pt which is a conventional crystalline medium.
The Hf of the 0.05 film is very small compared to 19Oe, and it is understood that the thermal stability is superior to that of the conventional crystalline medium.
【0053】[実施例4]本実施例では、軽希土類金属
としてSmを用い、重希土類金属としてTbを用い、3
d遷移金属としてCoを用いた。[Embodiment 4] In this embodiment, Sm is used as a light rare earth metal, and Tb is used as a heavy rare earth metal.
Co was used as d transition metal.
【0054】本実施例の磁気記録層であるSmTbCo
合金膜は、Coターゲット上にTbおよびSmのペレッ
トを配置した複合ターゲットを用い、その組成がSm
7.3Tb8.1Co84.6のものを作成した。なお、本実施例
の磁気記録層としてこの組成に限定されるものではな
い。The magnetic recording layer of this embodiment, SmTbCo
The alloy film uses a composite target in which Tb and Sm pellets are arranged on a Co target, and the composition thereof is Sm.
7.3 Tb 8.1 Co 84.6 was prepared. The composition of the magnetic recording layer of this embodiment is not limited to this composition.
【0055】その他、磁気記録媒体の構成、層形成条件
等は実施例1と同様であるので、ここでは詳細を省略す
る。In addition, since the configuration of the magnetic recording medium, layer forming conditions, and the like are the same as those in the first embodiment, the details are omitted here.
【0056】次に、表3に、SmTbCo合金膜の飽和
磁化Ms、保磁力Hc、垂直磁気異方性エネルギーK
⊥、角型比Mr/Msおよびゆらぎ場Hfについて示
す。なお、表中には比較のために、(Pr0.53T
b0.47)0.17Co0.83合金膜の各特性についても示し
た。Next, Table 3 shows the saturation magnetization Ms, coercive force Hc, and perpendicular magnetic anisotropy energy K of the SmTbCo alloy film.
⊥, squareness ratio Mr / Ms and fluctuation field Hf are shown. In the table, (Pr 0.53 T
b 0.47 ) Each characteristic of the 0.17 Co 0.83 alloy film is also shown.
【0057】[0057]
【表3】 表3より、軽希土類金属をPrからSmに変えた場合に
おいても、飽和磁化Msが200emu/cc程度以
上、保持力Hcが500Oe程度以上の条件を満たして
おり、磁気記録媒体として使用可能であることが分か
る。[Table 3] From Table 3, it can be seen that even when the light rare earth metal is changed from Pr to Sm, the condition that the saturation magnetization Ms is about 200 emu / cc or more and the coercive force Hc is about 500 Oe or more is satisfied, and the magnetic recording medium can be used. You can see that.
【0058】また、垂直磁気異方性エネルギーK⊥の値
は正であり、垂直磁気記録媒体として使用可能である。The value of the perpendicular magnetic anisotropy energy K⊥ is positive, and can be used as a perpendicular magnetic recording medium.
【0059】また、残留磁化Mrと飽和磁化Msの比で
ある角型比Mr/Msはほとんど1であり、高密度記録
時においても、残留磁化が大きく、大きな再生出力を得
ることができる。The squareness ratio Mr / Ms, which is the ratio between the residual magnetization Mr and the saturation magnetization Ms, is almost 1. Even during high-density recording, the residual magnetization is large, and a large reproduction output can be obtained.
【0060】さらに、ゆらぎ場Hfの値も10.4Oe
と従来の結晶質媒体であるCo0.76Cr0.16Ta0.03P
t0.05膜のHf=19Oeに比べて非常に小さく、従来
の結晶質媒体よりも熱的安定性に優れていることがわか
る。Further, the value of the fluctuation field Hf is also 10.4 Oe.
And the conventional crystalline medium of Co 0.76 Cr 0.16 Ta 0.03 P
very small compared to t 0.05 film of Hf = 19Oe, it is excellent in thermal stability than conventional crystalline media.
【0061】[実施例5]本実施例では、軽希土類金属
としてPrを用い、重希土類金属としてDyを用い、3
d遷移金属としてCoを用いた。Embodiment 5 In this embodiment, Pr is used as a light rare earth metal, Dy is used as a heavy rare earth metal,
Co was used as d transition metal.
【0062】本実施例の磁気記録層であるPrDyCo
合金膜は、Coターゲット上にDyおよびPrのペレッ
トを配置した複合ターゲットを用い、その組成がPr
7.0Dy20.3Co72.7のものを作成した。なお、本実施
例の磁気記録層としてこの組成に限定されるものではな
い。The magnetic recording layer of this embodiment, PrDyCo
The alloy film uses a composite target in which Dy and Pr pellets are arranged on a Co target, and the composition thereof is Pr.
7.0 Dy 20.3 Co 72.7 was prepared. The composition of the magnetic recording layer of this embodiment is not limited to this composition.
【0063】その他、磁気記録媒体の構成、層形成条件
等は実施例1と同様であるので、ここでは詳細を省略す
る。Since the configuration of the magnetic recording medium, the layer forming conditions, and the like are the same as those in the first embodiment, the details are omitted here.
【0064】次に、表4に、PrDyCo合金膜の飽和
磁化Ms、保磁力Hc、垂直磁気異方性エネルギーK
⊥、角型比Mr/Msおよびゆらぎ場Hfについて示
す。なお、表中には比較のために、(Pr0.53T
b0.47)0.17Co0.83合金膜の各特性についても示し
た。Next, Table 4 shows the saturation magnetization Ms, coercive force Hc and perpendicular magnetic anisotropy energy K of the PrDyCo alloy film.
⊥, squareness ratio Mr / Ms and fluctuation field Hf are shown. In the table, (Pr 0.53 T
b 0.47 ) Each characteristic of the 0.17 Co 0.83 alloy film is also shown.
【0065】[0065]
【表4】 表4より、重希土類金属をTbからDyに変えた場合に
おいても、飽和磁化Msが200emu/cc程度以
上、保持力Hcが500Oe程度以上の条件を満たして
おり、磁気記録媒体として使用可能であることが分か
る。[Table 4] From Table 4, it can be seen that even when the heavy rare earth metal is changed from Tb to Dy, the condition that the saturation magnetization Ms is about 200 emu / cc or more and the coercive force Hc is about 500 Oe or more is satisfied, and the magnetic recording medium can be used. You can see that.
【0066】また、垂直磁気異方性エネルギーK⊥の値
は正であり、垂直磁気記録媒体として使用可能である。The value of the perpendicular magnetic anisotropy energy K⊥ is positive, and can be used as a perpendicular magnetic recording medium.
【0067】また、残留磁化Mrと飽和磁化Msの比で
ある角型比Mr/Msはほとんど1であり、高密度記録
時においても、残留磁化が大きく、大きな再生出力を得
ることができる。Further, the squareness ratio Mr / Ms, which is the ratio of the residual magnetization Mr to the saturation magnetization Ms, is almost 1. Even during high-density recording, the residual magnetization is large, and a large reproduction output can be obtained.
【0068】さらに、ゆらぎ場Hfの値も11.0Oe
と従来の結晶質媒体であるCo0.76Cr0.16Ta0.03P
t0.05膜のHf=19Oeに比べて非常に小さく、従来
の結晶質媒体よりも熱的安定性に優れていることがわか
る。Further, the value of the fluctuation field Hf is also 11.0 Oe.
And the conventional crystalline medium of Co 0.76 Cr 0.16 Ta 0.03 P
very small compared to t 0.05 film of Hf = 19Oe, it is excellent in thermal stability than conventional crystalline media.
【0069】さらに、上述の実施例1乃至5の磁気記録
媒体の他の例として、基板と磁気記録層との間に軟磁性
層を形成する。軟磁性層には、Fe膜、Co膜、Ni−
Fe合金膜、Co−Fe合金膜、Fe−Al−Si合金
膜、Co−Zr−Nb合金膜などを用いる。Further, as another example of the magnetic recording media of Examples 1 to 5, a soft magnetic layer is formed between the substrate and the magnetic recording layer. For the soft magnetic layer, an Fe film, a Co film, a Ni-
An Fe alloy film, a Co—Fe alloy film, an Fe—Al—Si alloy film, a Co—Zr—Nb alloy film, or the like is used.
【0070】このようにすることにより、磁気ヘッドと
軟磁性層とで磁気記録層を挟み込むようになり、記録に
リングヘッドを用いた場合にも、垂直方向により急峻な
記録を行うことができる。また、記録に単磁極ヘッドを
用いると、軟磁性層は2つ目の磁極の役割を果たす。単
磁極ヘッドを用いると、リングヘッドを用いた場合より
もトラック方向の磁界の漏れが少ないため、トラックピ
ッチを狭くでき、さらに記録密度を高めることが可能に
なる。By doing so, the magnetic recording layer is sandwiched between the magnetic head and the soft magnetic layer, and even when a ring head is used for recording, it is possible to perform steeper recording in the vertical direction. When a single pole head is used for recording, the soft magnetic layer plays the role of a second pole. When a single pole head is used, the leakage of the magnetic field in the track direction is smaller than when a ring head is used, so that the track pitch can be narrowed and the recording density can be further increased.
【0071】上記説明では、軽希土類金属としてPr、
Ce、Nd、Smを用い、重希土類金属としてTb、D
yを用い、3d遷移金属としてCoを用いて説明してい
るが、これに限らず、Tb、Dy以外の重希土類金属
(Gd、Ho、Er)、Co以外の3d遷移金属(F
e)を用いても構わない。In the above description, Pr is used as the light rare earth metal,
Using Ce, Nd and Sm, Tb and D as heavy rare earth metals
Although description is made using Co as the 3d transition metal using y, the present invention is not limited to this, and heavy rare earth metals (Gd, Ho, Er) other than Tb and Dy, and 3d transition metals (F
e) may be used.
【0072】また、上記では、基板1としてガラス基板
を使用したが、アルミ合金、セラミックス、プラスチッ
ク等の他の基板、あるいは、これらに表面処理を施した
基板等を使用することもできる。また、ガラス基板のよ
うにリジッドな基板のみならず、フレキシブルな基板を
使用することも可能である。In the above description, a glass substrate is used as the substrate 1. However, other substrates such as aluminum alloys, ceramics, and plastics, or substrates subjected to a surface treatment on these substrates can also be used. Further, not only a rigid substrate such as a glass substrate but also a flexible substrate can be used.
【0073】また、上記では、酸化防止層3としてTa
膜を使用したが、炭素、アルミナ等の他の無機材料も使
用可能である。また、その上に潤滑層を形成して使用す
ることも可能である。更にまた、基板1と磁気記録層2
の間に酸化防止層等を追加することも可能である。In the above description, the antioxidant layer 3 is made of Ta.
Although a membrane was used, other inorganic materials such as carbon and alumina could be used. Further, it is also possible to form a lubricating layer thereon and use it. Furthermore, the substrate 1 and the magnetic recording layer 2
It is also possible to add an antioxidant layer or the like between them.
【0074】[0074]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、熱揺ら
ぎの影響が少なく、高飽和磁化、高保磁力、高垂直磁気
異方性を有する、高記録密度の磁気記録媒体が提供でき
る。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a high recording density magnetic recording medium having a high saturation magnetization, a high coercive force, and a high perpendicular magnetic anisotropy with little influence of thermal fluctuation.
【0075】特に、熱揺らぎの影響が少ないため、記録
された磁化の時間的減衰が少なく、長期間安定して記録
が保存される。また、非晶質であるため、磁化遷移領域
に結晶粒がなく、結晶粒間の交換相互作用に起因する磁
化の揺らぎもないことから、媒体ノイズも低減できる。
また、垂直磁気異方性が非常に大きいことから、磁壁の
幅は小さくなり、高密度の記録に対して有利である。ま
た、角型比がほとんど1であることから、記録時の残留
磁化が大きく、大きな再生出力を得ることができる。In particular, since the influence of the thermal fluctuation is small, the recorded magnetization is hardly attenuated over time, and the recording is stably stored for a long period of time. In addition, since it is amorphous, there are no crystal grains in the magnetization transition region and there is no fluctuation of magnetization due to exchange interaction between crystal grains, so that medium noise can be reduced.
Further, since the perpendicular magnetic anisotropy is very large, the width of the domain wall becomes small, which is advantageous for high-density recording. Further, since the squareness ratio is almost 1, the residual magnetization at the time of recording is large, and a large reproduction output can be obtained.
【図1】本発明の実施例の磁気記録媒体の構成を示す図
である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.
【図2】PrTbCo合金膜のPrとTbの相対組成を
変化させた時のHfの変化を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a change in Hf when the relative composition of Pr and Tb in a PrTbCo alloy film is changed.
【図3】PrTbCo合金膜のPrとTbの相対組成を
変化させた時のMsの変化を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a change in Ms when the relative composition of Pr and Tb of a PrTbCo alloy film is changed.
【図4】PrTbCo合金膜のPrとTbの相対組成を
変化させた時のHcの変化を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a change in Hc when the relative composition of Pr and Tb in a PrTbCo alloy film is changed.
【図5】PrTbCo合金膜のPrとTbの相対組成を
変化させた時のK⊥、Kuの変化を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing changes in K⊥ and Ku when the relative composition of Pr and Tb in a PrTbCo alloy film is changed.
【図6】PrTbCo合金膜の希土類金属とCoの組成
を変化させた時のHfの変化を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a change in Hf when the composition of a rare earth metal and Co in a PrTbCo alloy film is changed.
【図7】PrTbCo合金膜の希土類金属とCoの組成
を変化させた時のMsの変化を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a change in Ms when the composition of a rare earth metal and Co in a PrTbCo alloy film is changed.
【図8】PrTbCo合金膜の希土類金属とCoの組成
を変化させた時のHcの変化を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a change in Hc when the composition of a rare earth metal and Co in a PrTbCo alloy film is changed.
【図9】PrTbCo合金膜の希土類金属とCoの組成
を変化させた時のK⊥、Kuの変化を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing changes in K⊥ and Ku when the composition of the rare earth metal and Co in the PrTbCo alloy film is changed.
【符号の説明】 1 基板 2 磁気記録層 3 酸化防止層[Description of Signs] 1 substrate 2 magnetic recording layer 3 antioxidant layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 秀和 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 薦田 智久 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 南方 量二 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 吉良 徹 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 5D006 BB01 BB07 CA03 DA08 EA03 FA04 FA09 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hidekazu Hayashi 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Tomohisa Koda 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Incorporated (72) Inventor Souji Minami 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Toru Kira 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation F term (reference) 5D006 BB01 BB07 CA03 DA08 EA03 FA04 FA09
Claims (4)
れた磁気記録媒体であって、前記磁気記録層が、垂直磁
気異方性を有し、かつ、軽希土類金属と重希土類金属と
3d遷移金属とから構成される非晶質合金からなること
を特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium provided with at least a magnetic recording layer on a substrate, wherein the magnetic recording layer has perpendicular magnetic anisotropy, and has a light rare earth metal, a heavy rare earth metal, and a 3d transition. A magnetic recording medium comprising an amorphous alloy composed of a metal.
なることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein said magnetic recording layer is made of a PrTbCo alloy.
磁性層を形成することを特徴とする請求項1乃至3のい
ずれかに記載の磁気記録媒体。4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a soft magnetic layer is formed between the substrate and the magnetic recording layer.
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP11264961A JP2001060312A (en) | 1999-03-18 | 1999-09-20 | Magnetic recording media |
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Applications Claiming Priority (5)
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| JP16765499 | 1999-06-15 | ||
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| JP11264961A JP2001060312A (en) | 1999-03-18 | 1999-09-20 | Magnetic recording media |
Publications (1)
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|---|---|
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- 1999-09-20 JP JP11264961A patent/JP2001060312A/en active Pending
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