JP2000338179A - オートハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出範囲の広いエリアセンサを装備し、遮光
量を検出することによりＩＣのパッケージ形状のばらつ
きに応じてＩＣがＩＣソケットに正常に載置されている
か否かを検出でき、ＩＣの姿勢を検出するオートハンド
ラのＩＣの姿勢検出機構を提供する。 【解決手段】 ＩＣ４がＩＣソケット２に正常にセット
された場合のエリアセンサ受光側１ｂが受光するセンサ
光の感度を基準値１００％として記憶し、検出判定基準
を仮に９０％以下とした場合、エリアセンサ受光側１ｂ
が受光するセンサ光の感度が図１(A)に示したセンサ光
の幅Ｃのときの１００％から図１(B)に示したセンサ光
の幅Ｄのときの７０％に変化して前記検出判定基準の９
０％を下回ると、ＩＣ４がＩＣソケット２に正常に載置
されていないと判断できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オートハンドラの
ＩＣの検出機構についてのものである。特に、ＩＣソケ
ットにＩＣを圧接して表面実装型パッケージのＩＣを選
別・搬送する水平搬送式オートハンドラに使用されるＩ
Ｃの姿勢検出機構についてのものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＩＣ（Integrated Circuit）
の電気的特性等を測定するためのＩＣテストシステムに
おいて、測定対象となるＩＣを搬送するためオートハン
ドラが用いられている。水平搬送式オートハンドラは、
ＩＣを吸着してＩＣソケットに搬送する機能と、搬送し
たＩＣをＩＣソケットに圧接する測定ハンドを有してお
り、また、水平搬送式オートハンドラ（以下、オートハ
ンドラと略称する）はＩＣの姿勢検出機構を備えてい
る。

【０００３】図４に従来のオートハンドラのＩＣの姿勢
検出機構を示す。図４(A)はオートハンドラの測定部に
おいてＩＣが所定の位置に正しく載置された状態を示す
図であり、ＩＣソケット２、テストボード３、ＩＣ４、
吸着ノズル５、コンタクトプッシャ６、ベース７、ファ
イバーセンサ発光側８ａ、ファイバーセンサ受光側８ｂ
が配置されている。

【０００４】図４(A)では、オートハンドラの吸着ノズ
ル５により吸着されて搬送されてきたＩＣ４が、測定部
のＩＣソケット２の所定の位置に正しく載置されてい
る。このとき、ＩＣソケット２に載置されたＩＣ４の上
面の位置はベース７の上面から寸法Ａの距離にあり、予
めこの寸法Ａの直上を通過するようファイバーセンサ発
光側８ａからファイバーセンサ受光側８ｂへの光軸が通
る位置Ｅ（ベース７の上面からの距離をＥとする）を調
整しておくと、ファイバーセンサ発光側８ａからファイ
バーセンサ受光側８ｂへセンサ光が遮られることなく受
光することにより、ＩＣ４が傾いていないことが検出さ
れる。

【０００５】図４(B)は、図４(A)と同様にオートハンド
ラによりＩＣ４がＩＣソケット２に載置された状態を示
す図であるが、図４(B)はＩＣ４が傾いてＩＣソケット
２に載置されてしまった場合を示すものである。この場
合、ファイバーセンサ発光側８ａから発光されたセンサ
光が、ＩＣソケット２上に傾いて載置されたＩＣ４によ
り遮られファイバーセンサ受光側８ｂに受光できなくな
るため、ＩＣ４がＩＣソケット２上に傾いていることを
検出できる。

【０００６】図４(A)のように、ファイバーセンサ発光
側８ａからファイバーセンサ受光側８ｂへセンサ光が遮
られることなく受光することによりＩＣソケット２の所
定の位置にＩＣ４が正常に載置されていることを検出し
た場合は、ＩＣ４をＩＣソケット２に載置した後にコン
タクトプッシャ６が下降してＩＣ４をＩＣソケット２に
圧接して電気的特性を試験できる。

【０００７】図４(B)のように、ファイバーセンサ発光
側８ａから投光するセンサ光が、ＩＣソケット２上に傾
いて載置されたＩＣ４により遮られ、ファイバーセンサ
８ｂで受光しないことによりＩＣソケット２の所定の位
置にＩＣ４が正常に載置されていないことを検出した場
合は、コンタクトプッシャ６を下降させる前にＩＣ４が
ＩＣソケット２に正常に載置されていないことを告げる
警報を発し、測定部の動作を停止させる。したがって、
ＩＣ４がＩＣソケット２に正常に載置されていない場合
に、コンタクトプッシャ６でＩＣ４を破損させることが
ない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来のＩＣの姿勢検出機構を備えたオートハン
ドラには、以下のような問題があった。従来のＩＣの姿
勢検出機構を備えたオートハンドラでは、上記に述べた
図４の場合であれば、ＩＣ４がＩＣソケット２に正常に
載置されていないことをファイバーセンサ発光側８ａか
らのセンサ光がファイバーセンサ８ｂで受光しないこと
により検出できる。

【０００９】しかし、図５に示されるように、測定対象
となるＩＣの種類が変わることによりＩＣソケット２と
ＩＣ４との接続位置が変わると、ベース７上面からのＩ
Ｃ４の上面位置が図４の距離Ａから図５の距離Ａ′（Ａ
＜Ａ′）になり、図５(B)のようにＩＣ４が傾いてＩＣ
ソケット２に載置されていても図５(A)のＩＣ４が正常
にセットされている時と同様にセンサ光がＩＣ４の上を
通過してしまうため、ＩＣ４が正常に載置されていると
誤認識することがある。

【００１０】このため、図５(B)のような場合にはファ
イバーセンサ発光側８ａからファイバーセンサ受光側８
ｂへ通る光軸がＩＣ４の直上を通るように光軸の位置を
合わせ直す必要がある。

【００１１】このような誤認識は図５の場合以外にも考
えられる。例えば、図５の場合とは反対にＩＣの種類が
変わることでベース７上面からのＩＣ４の上面位置が図
４の距離Ａよりも短くなった場合、またＩＣ４のパッケ
ージの厚みだけが変わり結果的にＩＣ４の上面位置が変
わった場合、等さまざまな場合が想定される。特に近
年、ＩＣのパッケージが多様化しており、さまざまな規
格のＩＣが増えその種類毎に光軸の位置Ｅを合わせ直す
必要があった。多品種少量生産となると、汎用型のオー
トハンドラは位置Ｅの調整頻度が多くなる。

【００１２】または、異なる種類のＩＣをテストするた
びにＩＣの種類によって光軸の位置Ｅを合わせ直す手間
を省くには、図４のＩＣ４の上面位置Ａを基準としてど
のＩＣの場合でもこの上面位置ＡにＩＣ４が載置される
ようにＩＣソケットに取り付けて高さを固定する部品を
設ければよいが、前述のように多様化するＩＣパッケー
ジに対してさまざまな寸法の部品あるいはユニットを用
意する必要があり、また異なる種類のＩＣをテストする
たびに部品を交換する必要があるため非常に手間がかか
っていた。

【００１３】本発明の目的は、検出範囲の広いエリアセ
ンサを装備し、遮光量を検出することによりＩＣのパッ
ケージ形状のばらつきに応じてＩＣがＩＣソケットに正
常に載置されているか否かの検出をするオートハンドラ
のＩＣの姿勢検出機構を提供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ＩＣを吸着してＩＣソケットまで搬送する搬送部と、該
ＩＣソケットに該ＩＣを圧接する測定ハンドと、該ＩＣ
ソケットに載置された該ＩＣの姿勢を検出するＩＣの姿
勢検出手段とを備えたオートハンドラであって、前記Ｉ
Ｃの姿勢検出手段は、前記ＩＣソケット上方の所定空間
において、遮光体となるＩＣの存在量で前記ＩＣの姿勢
を検出すること、を特徴としている。

【００１５】請求項１記載の発明によれば、ＩＣを吸着
してＩＣソケットまで搬送する搬送部と、該ＩＣソケッ
トに該ＩＣを圧接する測定ハンドと、該ＩＣソケットに
載置された該ＩＣの姿勢を検出するＩＣの姿勢検出手段
とを備えたオートハンドラであって、前記ＩＣの姿勢検
出手段は、前記ＩＣソケット上方の所定空間において、
遮光体となるＩＣの存在量で前記ＩＣの姿勢を検出す
る。

【００１６】したがって、ＩＣソケットに載置されたＩ
Ｃの姿勢が正常か異常かＩＣソケット上方の所定空間内
で判別できる。

【００１７】請求項２記載の発明は、前記ＩＣの姿勢検
出手段は、前記所定空間に対して帯状光を発光及び受光
する発光側と受光側とを有するエリアセンサとし、該受
光側で検出される受光光量に基づいて前記ＩＣソケット
に載置された前記ＩＣの姿勢を検出すること、を特徴と
している。

【００１８】請求項２記載の発明によれば、前記ＩＣの
姿勢検出手段は、前記所定空間に対して帯状光を発光及
び受光する発光側と受光側とを有するエリアセンサと
し、該受光側で検出される受光光量に基づいて前記ＩＣ
ソケットに載置された前記ＩＣの姿勢を検出する。

【００１９】したがって、エリアセンサの受光側で検出
される受光光量に基づいてＩＣソケットに載置されたＩ
Ｃの姿勢が正常か異常かを判別できる。

【００２０】請求項３記載の発明は、前記エリアセンサ
は、前記ＩＣソケット及びＩＣの各種形状に応じて、前
記受光側の受光感度を調整する調整手段を更に備えたこ
と、を特徴としている。

【００２１】請求項３記載の発明によれば、前記エリア
センサは、前記ＩＣソケット及びＩＣの各種形状に応じ
て、前記受光側の受光感度を調整手段により調整する。

【００２２】したがって、ＩＣソケットにＩＣが正常に
載置されているときにエリアセンサの受光側で検出され
る受光感度はＩＣソケット及びＩＣの各種形状に応じて
調整できる。

【００２３】請求項４記載の発明は、前記エリアセンサ
は、前記ＩＣソケットに載置された前記ＩＣの姿勢が正
常である場合の前記受光側の受光光量を基準値として記
憶する記憶手段を更に備え、前記記憶手段に記憶された
基準値と該受光側の受光光量とを比較した比較結果に基
づいて、前記ＩＣの姿勢が正常か異常かを判別するこ
と、を特徴としている。

【００２４】請求項４記載の発明によれば、前記エリア
センサは、前記ＩＣソケットに載置された前記ＩＣの姿
勢が正常である場合の前記受光側の受光光量を基準値と
して記憶手段により記憶し、前記記憶手段に記憶された
基準値と該受光側の受光光量とを比較した比較結果に基
づいて、前記ＩＣの姿勢が正常か異常かを判別する。

【００２５】したがって、各種ＩＣソケット及びＩＣの
形状に応じて記憶された基準値と受光側の受光光量とを
比較することによって各種ＩＣの姿勢が正常か異常かを
確実に検出できる。

【００２６】請求項５記載の発明は、前記エリアセンサ
は、前記記憶手段により記憶された基準値に基づいて前
記ＩＣソケットに載置された前記ＩＣの姿勢が正常か異
常かを判別するための検出基準値を設定する設定手段を
更に備え、この設定手段により設定された検出基準値と
前記受光側の受光光量とを比較した比較結果に基づい
て、前記ＩＣの姿勢が正常か異常かを判別すること、を
特徴としている。

【００２７】請求項５記載の発明によれば、前記エリア
センサは、前記記憶手段により記憶された基準値に基づ
いて前記ＩＣソケットに載置された前記ＩＣの姿勢が正
常か異常かを判別するための検出基準値を設定する設定
手段を更に備え、この設定手段により設定された検出基
準値と前記受光側の受光光量とを比較した比較結果に基
づいて、前記ＩＣの姿勢が正常か異常かを判別する。

【００２８】したがって、各種ＩＣソケット及びＩＣの
形状に応じて記憶された基準値に基づいて設定された検
出基準値と受光側の受光光量とを比較することによって
各種ＩＣの姿勢が正常か異常かを確実に検出できる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図１〜図３は、本発明を適用
したオートハンドラの一実施の形態を示す図である。ま
ず、構成を説明する。図(A)、(B)は、本発明の実施の形
態におけるオートハンドラのＩＣ姿勢検出機構の構成部
分とＩＣ姿勢検出状態とを示した図である。なお、図１
(A)、(B)において、上記図４(A)、(B)に示したオートハ
ンドラと同一の構成部分には、同一のの符号を付してお
り、その構成説明は省略する。

【００３０】図１(A)において、オートハンドラのＩＣ
姿勢検出機構は、図４(A)、(B)のベース７に取り付けら
れたファイバーセンサ発光側８ａとファイバーセンサ受
光側８ｂを、エリアセンサ発光側１ａとエリアセンサ受
光側１ｂとに変更したものである。

【００３１】エリアセンサはファイバーセンサの一種で
あり、図４及び図５に示したファイバーセンサが微少ス
ポット径の光で物体の有無を検出するのに対し、図１に
示すエリアセンサは幅の広い帯状光を投受光することに
より、帯幅の範囲内の物体を検出でき、エリアセンサで
は遮られたセンサ光の光量により受光感度が変化するた
め、感度差を検出結果として利用することができる。

【００３２】図１(A)は、ＩＣ４がＩＣソケット２に正
常にセットされた状態を示し、図１(B)は、ＩＣ４がＩ
Ｃソケット２に傾いてセットされた状態を示す図であ
る。このとき、ＩＣ４の上面位置はベース７上面から距
離Ａの位置にあるとする。図１(A)ではエリアセンサ発
光側１ａから出射された帯状のセンサ光がＩＣソケット
２、ＩＣ４、吸着ノズル５に遮られセンサ光の帯幅が小
さくなってエリアセンサ受光側１ｂで受光する。図１
(B)では図１(A)同様に帯状のセンサ光がＩＣソケット
２、ＩＣ４、吸着ノズル５に遮られてエリアセンサ受光
側１ｂで受光するセンサ光の帯幅が小さくなっている
が、ＩＣ４が傾いてセットされているため、その分だけ
更に帯幅が小さくなっている。

【００３３】図２は、測定対象となるＩＣの種類が変わ
ることにより、ベース７上面からのＩＣ４の上面位置が
図１の距離Ａから図１の距離Ａ′（Ａ＜Ａ′）になった
状態を示したものである。

【００３４】図２(A)は、ＩＣ４がＩＣソケット２に正
常にセットされた状態を示し、図２(B)は、ＩＣ４がＩ
Ｃソケット２に傾いてセットされた状態を示す図であ
る。図１の場合と同様に、図２(A)ではエリアセンサ発
光側１ａから出射された帯状のセンサ光がＩＣソケット
２、ＩＣ４、吸着ノズル５に遮られセンサ光の帯幅が小
さくなってエリアセンサ受光側１ｂに届いており、図２
(B)ではＩＣ４が傾いてセットされているため、その分
だけ更に帯幅が小さくなってエリアセンサ受光側１ｂに
届いている状態を示している。

【００３５】図３は、図１に示したＩＣ姿勢検出機構を
適用したオートハンドラの要部構成を示した図である。

【００３６】図３は、図１に示したＩＣ姿勢検出機構に
加え、コンタクトブロック９、測定ハンド１０、ＤＵＴ
（Device Under Test）用のエリアセンサ１１（発光側
１１ａ、受光側１１ｂ）、直行軸用エリアセンサ１２
（発光側１２ａ、受光側１２ｂ）を構成として追加した
ものである。図３(A)はＩＣ姿勢検出機構を備えたオー
トハンドラの平面図、図３(B)は図３(A)の直行軸用エリ
アセンサ発光側１２ａと直行軸用エリアセンサ受光側１
２ｂを結ぶ線上の断面図、図３(C)は図３(A)のエリアセ
ンサ発光側１ａとエリアセンサ受光側１ｂを結ぶ線上の
断面図である。

【００３７】図３に示すように、本発明のＩＣ姿勢検出
機構を備えたオートハンドラの適用例においては、コン
タクトボード３上にはＩＣソケット２が設置され、ＩＣ
ソケット２の周囲のコンタクトボード３上にはコンタク
トブロック９が載置され、更にコンタクトブロック９上
にはベース７が載置されている。そして、エリアセンサ
１（発光側１ａ、受光側１ｂ）、エリアセンサ１２（発
光側１２ａ、受光側１２ｂ）及び図３(B)及び図３(C)の
断面図には図示しないがエリアセンサ１１（発光側１１
ａ、受光側１１ｂ）は、図３(A)中のベース７のセンサ
取付用孔７ａ〜７ｆ部の位置に取り付けられ、各センサ
光がＩＣソケット２にセットされたＩＣソケット２、Ｉ
Ｃ４、吸着ノズル５等を通るように位置決めされてい
る。

【００３８】また、オートハンドラの吸着ノズル５を囲
む形でコンタクトプッシャ６が配置され、図３(C)に示
すようにコンタクトプッシャ６の上部にはＩＣをＩＣソ
ケット２に押圧する測定ハンド１０を備えている。

【００３９】図３に示す構成例では、２つのＤＵＴに対
しエリアセンサ１（発光側１a、受光側１ｂ）、エリア
センサ１１（発光側１１ａ、受光側１１ｂ）及び直行軸
用エリアセンサ１２（発光側１２ａ、受光側１２ｂ）の
３軸のエリアセンサを使用し、各ＤＵＴに対しエリアセ
ンサを直行するように配置することで、あらゆる方向に
ＩＣ４が傾いてセットされていてもＩＣ４の姿勢を検出
できるので、検出精度を上げることができる。

【００４０】次に、本実施の形態によるオートハンドラ
のＩＣ姿勢検出機構の作用を以下に説明する。

【００４１】図１(A)は、オートハンドラによりＩＣ４
がＩＣソケット２に正常にセットされた状態である。こ
の場合、エリアセンサ発光側１ａから発光された帯状の
センサ光が、ＩＣソケット２、ＩＣ４、吸着ノズル５に
遮られ、エリアセンサ受光側１ｂに受光するセンサ光の
幅がＣに減少する。

【００４２】この時の感度を基準値１００％として記憶
し、検出判定基準を基準値１００％に対して仮に９０％
以下の場合としておく。

【００４３】図１(B)は、図１(A)と同様にオートハンド
ラによりＩＣ４がＩＣソケット２に傾いてセットされた
場合の状態図である。この場合、エリアセンサ発光側１
aから発光された帯状のセンサ光は図１(A)の場合と同様
にＩＣソケット２、ＩＣ４、吸着ノズル５に遮られる
が、ＩＣ４が傾いている分だけ余計に遮られるため、エ
リアセンサ受光側１ｂに届くセンサ光の幅はＤに減少
し、感度が７０％に低下したとする。

【００４４】このように、エリアセンサ受光側１ｂが受
光するセンサ光の感度が図１(A)に示したセンサ光の幅
Ｃのときの１００％から、図１(B)に示したセンサ光の
幅Ｄのときの７０％に変化して前記検出判定基準の９０
％を下回ると、ＩＣ４がＩＣソケット２に正常にセット
されていないことが検出できる。

【００４５】また、図２は図５の場合と同様に、測定対
象ＩＣの種類が変わることによりＩＣソケット２とＩＣ
４との接続位置が変わり、ベース７上面からのＩＣ４の
上面位置が図２の距離Ａから図２の距離Ａ′（Ａ＜
Ａ′）になる場合を示している。

【００４６】図２(A)のようにＩＣ４が正常にＩＣソケ
ット２に載置された状態では、エリアセンサ発光側１a
から発光された帯状のセンサ光は、図１(A)の場合と同
様にＩＣソケット２、ＩＣ４、吸着ノズル５に遮られエ
リアセンサ受光側１ｂが受光するセンサ光の幅は図１
(A)のＣから図２(A)のＣ′に変わるが、この幅Ｃ′を新
たな基準値１００％として記憶し直す。

【００４７】図２(B)は、オートハンドラによりＩＣ４
がＩＣソケット２に傾いてセットされた場合の状態図で
ある。この場合、エリアセンサ発光側１aから発光され
た帯状のセンサ光は図２(A)の場合と同様にＩＣソケッ
ト２、ＩＣ４、吸着ノズル５に遮られるが、ＩＣ４が傾
いている分だけ余計に遮られるため、エリアセンサ受光
側１ｂに届くセンサ光の幅はＤ′に減少し、感度が７０
％に低下したとする。

【００４８】このように、エリアセンサ受光側１ｂが受
光するセンサ光の感度が図２(A)に示したセンサ光の幅
Ｃ′のときの１００％から、図２(B)に示したセンサ光
の幅Ｄ′のときの７０％に変化し、図１で設定した検出
判定基準の９０％を下回ったため、ＩＣ４がＩＣソケッ
ト２に正常にセットされていないことを検出することが
できる。

【００４９】したがって、図５で説明した従来の技術の
ように、センサ光軸の位置の合わせ直しやＩＣの上面位
置の高さを固定する部品の交換をすること無く、本発明
によるＩＣ姿勢検出機構を備えたオートハンドラによれ
ば、エリアセンサの感度の設定変更のみでさまざまな種
類のＩＣの位置のばらつきやＩＣのサイズに対応でき
る。

【００５０】また、ＩＣソケットにセットされたＩＣの
微妙な傾きを検出したい場合は、判定基準値を１００％
に近い値にし、わずかな感度差でも検出できるように設
定する。反対に、ＩＣの大きな傾きのみを検出できれば
よいのであれば、判定基準値を低い値とすることで誤検
出を防ぐことができる。

【００５１】なお、本発明のオートハンドラにおいてＩ
Ｃが載置される部位は、ＩＣソケットに限定されない。
搬送途中のＩＣの受け渡し場所に存在するステージ、シ
ャトル（往復機構）等にも適用可能である。

【００５２】

【発明の効果】請求項１記載の発明のオートハンドラに
よれば、ＩＣソケットに載置されたＩＣの姿勢が正常か
異常かＩＣソケット上方の所定空間内で判別できる。

【００５３】請求項２記載の発明のオートハンドラによ
れば、エリアセンサの受光側で検出される受光光量に基
づいてＩＣソケットに載置されたＩＣの姿勢が正常か異
常かを判別できる。

【００５４】請求項３記載の発明のオートハンドラによ
れば、ＩＣソケットにＩＣが正常に載置されているとき
にエリアセンサの受光側で検出される受光感度はＩＣソ
ケット及びＩＣの各種形状に応じて調整できる。

【００５５】請求項４記載の発明のオートハンドラによ
れば、各種ＩＣソケット及びＩＣの形状に応じて記憶さ
れた基準値と受光側の受光光量とを比較することによっ
て各種ＩＣの姿勢が正常か異常かを確実に検出できる。

【００５６】請求項５記載の発明のオートハンドラによ
れば、各種ＩＣソケット及びＩＣの形状に応じて記憶さ
れた基準値に基づいて設定された検出基準値と受光側の
受光光量とを比較することによって各種ＩＣの姿勢が正
常か異常かを確実に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態におけるオートハンドラ
のＩＣ姿勢検出機構の構成部分とＩＣ姿勢検出状態とを
示した図である。

【図２】図１において、ＩＣ４の種類が変わることによ
りＩＣソケット２とＩＣ４との接続位置が変わった場合
のオートハンドラのＩＣ姿勢検出機構の構成部分とＩＣ
姿勢検出状態とを示した図である。

【図３】図１に示したＩＣ姿勢検出機構を適用したオー
トハンドラの要部構成を示した図である。

【図４】従来のオートハンドラのＩＣ姿勢検出機構の構
成部分とＩＣ姿勢検出状態とを示した図である。

【図５】図４において、ＩＣ４の種類が変わることによ
りＩＣソケット２とＩＣ４との接続位置が変わった場合
の従来のオートハンドラのＩＣ姿勢検出機構の構成部分
とＩＣ姿勢検出状態とを示した図である。

【符号の説明】

１ エリアセンサ ２ ＩＣソケット ３ テストボード ４ ＩＣ ５ 吸着ノズル ６ コンタクトプッシャ ７ ベース ８ ファイバーセンサ ９ コンタクトブロック １０ 測定ハンド １１ エリアセンサ １２ エリアセンサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AG01 AG11 AG16 3F059 AA01 AA11 AA14 BA09 DA02 DC07 DD12 DE06 FB12 4M106 AA04 BA04 CA50 DG16 DG25 DJ39

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ＩＣを吸着してＩＣソケットまで搬送する
   搬送部と、該ＩＣソケットに該ＩＣを圧接する測定ハン
   ドと、該ＩＣソケットに載置された該ＩＣの姿勢を検出
   するＩＣの姿勢検出手段とを備えたオートハンドラにお
   いて、 前記ＩＣの姿勢検出手段は、前記ＩＣソケット上方の所
   定空間において、遮光体となるＩＣの存在量で前記ＩＣ
   の姿勢を検出することを特徴とするオートハンドラ。
2. 【請求項２】前記ＩＣの姿勢検出手段は、前記所定空間
   に対して帯状光を発光及び受光する発光側と受光側とを
   有するエリアセンサとし、該受光側で検出される受光光
   量に基づいて前記ＩＣソケットに載置された前記ＩＣの
   姿勢を検出することを特徴とする請求項１記載のオート
   ハンドラ。
3. 【請求項３】前記エリアセンサは、前記ＩＣソケット及
   びＩＣの各種形状に応じて、前記受光側の受光感度を調
   整する調整手段を更に備えたことを特徴とする請求項２
   記載のオートハンドラ。
4. 【請求項４】前記エリアセンサは、前記ＩＣソケットに
   載置された前記ＩＣの姿勢が正常である場合の前記受光
   側の受光光量を基準値として記憶する記憶手段を更に備
   え、前記記憶手段に記憶された基準値と該受光側の受光
   光量とを比較した比較結果に基づいて、前記ＩＣの姿勢
   が正常か異常かを判別することを特徴とする請求項２あ
   るいは３記載のオートハンドラ。
5. 【請求項５】前記エリアセンサは、前記記憶手段により
   記憶された基準値に基づいて前記ＩＣソケットに載置さ
   れた前記ＩＣの姿勢が正常か異常かを判別するための検
   出基準値を設定する設定手段を更に備え、この設定手段
   により設定された検出基準値と前記受光側の受光光量と
   を比較した比較結果に基づいて、前記ＩＣの姿勢が正常
   か異常かを判別することを特徴とする請求項４記載のオ
   ートハンドラ。