JP2000321545A - LCD panel inspection equipment - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、テーブルの周囲に異なる処理を行
なう複数のステーションを設置することにより、複数の
液晶パネルを並行して処理して液晶パネルの検査時間を
短縮することができるとともに、処理装置を各ステーシ
ョンに振分けることにより、処理装置のレイアウトを容
易にして異なる種類の検査を容易に行なうことができる
液晶パネル検査装置を提供するものである。
【解決手段】 間欠回転可能なテーブル1と、テーブル
1上に設けられた複数のステージ2〜5と、ステージ1
の周囲に設置された投入ステーション6、検出ステーシ
ョン7、検査ステーション8および排出ステーション9
を備える。
(57) [PROBLEMS] To reduce the inspection time of a liquid crystal panel by processing a plurality of liquid crystal panels in parallel by installing a plurality of stations for performing different processing around a table. In addition, the present invention provides a liquid crystal panel inspection apparatus capable of simplifying the layout of the processing apparatus and easily performing different types of inspections by allocating the processing apparatus to each station. An intermittently rotatable table, a plurality of stages provided on the table, and a stage.
Input station 6, detection station 7, inspection station 8 and discharge station 9 installed around
Is provided.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル検査装
置に関し、詳しくは、液晶パネルの無点灯時の所定の欠
陥(パネル表面の傷や液晶の注入状態等)および点灯時
の表示パターンの判定を自動的に行なう液晶パネル検査
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting a liquid crystal panel, and more particularly, to a predetermined defect when the liquid crystal panel is not lit (scratch on the panel surface, the state of liquid crystal injection, etc.) and a display pattern when lit. The present invention relates to a liquid crystal panel inspection device that automatically performs the inspection.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の液晶パネル検査装置とし
ては、例えば、特開平9−218131号公報に記載さ
れたようなものが知られている。2. Description of the Related Art As a conventional liquid crystal panel inspection apparatus of this type, for example, an apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-218131 is known.
【0003】このものは、未検査の液晶パネルを収納し
たカセットからこの液晶パネルを1つのステージ上にセ
ットした後(投入工程)、認識カメラで液晶パネルを撮
像する(位置合わ工程)。In this apparatus, a liquid crystal panel is set on one stage from a cassette accommodating an untested liquid crystal panel (loading step), and an image of the liquid crystal panel is taken by a recognition camera (positioning step).
【0004】次いで、プローブと液晶パネルの電極の位
置合わせを行なってプローブをパネル電極に接触させた
後、信号発生器によってプローブに信号を与えて液晶パ
ネルを点灯し、次いで、点灯している液晶パネルをカメ
ラで撮像し、その画像を基に画像処理装置によって液晶
パネルの欠陥や点灯不良を判定する(検査工程)。この
検査の終了後に、液晶パネルを検査結果に応じて異なる
カセットに排出している(排出工程)。Then, after the probe and the electrodes of the liquid crystal panel are aligned and the probe is brought into contact with the panel electrodes, a signal is applied to the probe by a signal generator to turn on the liquid crystal panel, and then the liquid crystal is turned on. An image of the panel is captured by a camera, and a defect or lighting failure of the liquid crystal panel is determined by an image processing device based on the image (inspection step). After the completion of the inspection, the liquid crystal panel is discharged to a different cassette according to the result of the inspection (a discharge step).
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の液晶パネルの検査方法にあっては、1つのス
テージによって、液晶パネルの投入、位置合わせ、検査
および排出を行なうようになっていたため、液晶パネル
をステージに出し入れする際に多大な待ち時間が発生し
てしまう上に、複数の検査を行なうために複数の処理装
置を必要とする場合には、1つのステージに複数の処理
装置をレイアウトすることが困難なのもとなってしまっ
た。However, in such a conventional method for inspecting a liquid crystal panel, the input, alignment, inspection, and discharge of the liquid crystal panel are performed by one stage. If a lot of waiting time is required when moving the LCD panel in and out of the stage, and multiple processing units are required to perform multiple inspections, lay out multiple processing units on one stage. It was difficult to do.
【0006】そこで本発明は、テーブルの周囲に異なる
処理を行なう複数のステーションを設置することによ
り、複数の液晶パネルを並行して処理して液晶パネルの
検査時間を短縮することができるとともに、処理装置を
各ステーションに振分けることにより、処理装置のレイ
アウトを容易にして異なる種類の検査を容易に行なうこ
とができる液晶パネル検査装置を提供することを目的と
している。Accordingly, the present invention provides a plurality of stations for performing different processes around a table, whereby a plurality of liquid crystal panels can be processed in parallel to reduce the inspection time of the liquid crystal panels. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal panel inspection apparatus capable of simplifying the layout of a processing apparatus and easily performing different types of inspections by allocating the apparatuses to respective stations.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
上記課題を解決するために、液晶パネルの無点灯時の所
定の欠陥および点灯時の表示パターンの判定を自動的に
行なう液晶パネル検査装置において、間欠回転可能なテ
ーブルと、該テーブル上に設けられた複数のステージ
と、前記ステージに前記液晶パネルに投入する投入ステ
ーションと、前記ステージに投入された液晶パネルの電
極の位置を検出する検出ステーションと、前記ステージ
に投入された液晶パネルの前記欠陥および表示パターン
の判定を行なう検査ステーションと、検査が終了した液
晶パネルを前記ステージから排出する排出ステーション
とを有し、前記投入ステーション、検出ステーション、
検査ステーションおよび排出ステーションを前記テーブ
ルの周囲に設置したことを特徴としている。According to the first aspect of the present invention,
In order to solve the above problems, in a liquid crystal panel inspection apparatus that automatically determines a predetermined defect when a liquid crystal panel is not lit and a display pattern when lit, a table that is intermittently rotatable and is provided on the table. A plurality of stages, an input station for inputting the liquid crystal panel to the stage, a detection station for detecting the positions of the electrodes of the liquid crystal panel input to the stage, and the defects and defects of the liquid crystal panel input to the stage. An inspection station for determining a display pattern, and a discharge station for discharging the liquid crystal panel after the inspection from the stage, wherein the input station, the detection station,
An inspection station and a discharge station are provided around the table.
【0008】その場合、テーブルの周囲に異なる処理を
行なう複数のステーションを設置することにより、複数
の液晶パネルを並行して処理して液晶パネルの検査時間
を短縮することができるとともに、処理装置を各ステー
ションに振分けることにより、処理装置のレイアウトを
容易にして異なる種類の検査を容易に行なうことができ
る。In this case, by installing a plurality of stations for performing different processes around the table, it is possible to process a plurality of liquid crystal panels in parallel to shorten the inspection time of the liquid crystal panels, and to provide a processing device. By allocating to each station, the layout of the processing apparatus can be made easy and different types of inspections can be easily performed.
【0009】請求項2記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項1記載の発明において、前記投入ステ
ーションは、未検査の液晶パネルを所定間隔離隔して積
層して収納するカセットから未検査の液晶パネルを1枚
ずつ送り出す送り出し手段と、該送り出し手段から送り
出された未検査の液晶パネルの電極と前記検査ステーシ
ョンに設置されるパネル点灯用のプローブとの方向を合
わせる電極方向調整手段と、該調整後の未検査の液晶パ
ネルを前記ステージに搬送して仮位置調整してステージ
上に仮位置決めする位置決め手段とを有することを特徴
としている。According to a second aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, in the first aspect of the present invention, the input station is provided with a cassette for storing the untested liquid crystal panels in a stacked state at predetermined intervals. Sending means for sending out untested liquid crystal panels one by one, and electrode direction adjusting means for adjusting the direction of the electrodes of the untested liquid crystal panel sent from the sending means and the panel lighting probe installed in the inspection station. And a positioning means for transporting the untested liquid crystal panel after the adjustment to the stage, temporarily adjusting the position, and temporarily positioning the liquid crystal panel on the stage.
【0010】その場合、未検査の液晶パネルがカセット
に如何なる方向で収納された場合であっても、このカセ
ットから送り出される未検査の液晶パネルの電極の方向
を電極方向調整手段によってプローブに対して合わせる
ことができる。In this case, even if the untested liquid crystal panel is stored in the cassette in any direction, the direction of the electrode of the untested liquid crystal panel sent out from the cassette is adjusted with respect to the probe by the electrode direction adjusting means. Can be matched.
【0011】また、液晶パネルを送り出し手段によって
カセットから電極方向調整手段に向かって自動的に送り
出すことができるため、液晶パネルの検査を簡単にする
ことができるとともに検査時間を短縮することができ
る。Further, since the liquid crystal panel can be automatically sent out from the cassette to the electrode direction adjusting means by the sending means, the inspection of the liquid crystal panel can be simplified and the inspection time can be shortened.
【0012】また、仮位置調整手段によってステージ上
の液晶パネルの仮位置調整することができるため、ステ
ージ上の任意の位置に液晶パネルを位置決めすることが
できる。Further, since the temporary position of the liquid crystal panel on the stage can be adjusted by the temporary position adjusting means, the liquid crystal panel can be positioned at an arbitrary position on the stage.
【0013】請求項3記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項1または2記載の発明において、前記
検出ステーションは、前記ステージに載置された未検査
の液晶パネルの電極の画像を撮像する撮像手段と、該撮
像手段によって撮像された画像から液晶パネルの電極の
位置を検出する画像処理手段と、該画像処理手段によっ
て得られた位置データを保存する保存手段とを有するこ
とを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, in the first or second aspect of the present invention, the detection station comprises an image of an electrode of an untested liquid crystal panel mounted on the stage. Image pickup means for picking up the image, image processing means for detecting the positions of the electrodes of the liquid crystal panel from the image picked up by the image pickup means, and storage means for storing the position data obtained by the image processing means. Features.
【0014】その場合、液晶パネルの電極の位置を撮像
することにより、電極の精度に比べて液晶パネルの外径
精度がラフであっても、各ステージにおける液晶パネル
の位置決め精度を電極の精度に対してラフにしても液晶
パネルの電極とプローブの位置合わせを高精度に行なう
ことが可能となる。In this case, by imaging the positions of the electrodes of the liquid crystal panel, even if the outer diameter accuracy of the liquid crystal panel is rougher than the accuracy of the electrodes, the positioning accuracy of the liquid crystal panel on each stage is reduced to the accuracy of the electrodes. On the other hand, even if it is rough, it is possible to perform positioning of the electrode of the liquid crystal panel and the probe with high accuracy.
【0015】請求項4記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項1〜3何れかに記載の発明において、
前記検査ステーションは、前記検出ステーションの保存
手段に格納されたデータに基づいて液晶パネルの電極と
プローブの位置決めを行なった後、該プローブを該電極
に接触させるプローブ移動手段と、前記プローブを通じ
て液晶パネルの電極に駆動信号を印加する信号発生手段
と、前記液晶パネルの外観および電極の点灯パターンを
撮像する撮像手段と、該撮像された画像データから液晶
パネルの無点灯時の所定の欠陥および点灯不良を判定す
る判定手段とを有することを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, in the first aspect of the present invention,
The inspection station, after performing positioning of the electrode and the probe of the liquid crystal panel based on the data stored in the storage means of the detection station, probe moving means for bringing the probe into contact with the electrode, and a liquid crystal panel through the probe. Signal generating means for applying a drive signal to the electrodes, image capturing means for capturing the appearance of the liquid crystal panel and the lighting pattern of the electrodes, and predetermined defects and lighting failures when the liquid crystal panel is not lit from the captured image data. And determining means for determining
【0016】その場合、プローブ移動手段を移動させる
ことにより液晶パネルの電極とプローブの位置決めを行
なった後、該プローブを液晶パネルの電極に接触させる
ようにしたため、電極にプローブを合わせるためにテー
ブル上でステージを移動させるのを不要にでき、ステー
ジの位置の加工精度を上げることなしにパネルの欠陥お
よび点灯不良を検査することができる上に、ステージを
移動させる機構が不要になるため、テーブルをコンパク
トにすることができる。In this case, since the probe and the probe of the liquid crystal panel are positioned by moving the probe moving means, the probe is brought into contact with the electrode of the liquid crystal panel. This eliminates the need to move the stage, and allows inspection of panel defects and lighting failures without increasing the processing accuracy of the position of the stage. It can be compact.
【0017】請求項5記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項1〜4何れかに記載の発明において、
前記排出ステーションは、前記ステージ上で検査が終了
した液晶パネルを不良品の液晶パネルを収納するカセッ
トまたは良品の液晶パネルを収納するカセットの何れか
一方に排出する排出手段を有することを特徴としてい
る。According to a fifth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, in the first aspect of the present invention,
The discharge station has discharge means for discharging the liquid crystal panel, which has been inspected on the stage, to one of a cassette for storing defective liquid crystal panels and a cassette for storing non-defective liquid crystal panels. .
【0018】その場合、良品の液晶パネルと不良品の液
晶パネルを自動的に仕分けてカセットに収納することが
でき、液晶パネルをカセットに収納する手間が省ける上
に選別作業の作業時間を短縮することができる。In this case, the non-defective liquid crystal panel and the defective liquid crystal panel can be automatically sorted and stored in the cassette, so that the labor for storing the liquid crystal panel in the cassette can be saved and the work time of the sorting operation can be shortened. be able to.
【0019】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings.
【0020】図1〜5は本発明に係る液晶パネル検査装
置の一実施形態を示す図である。FIGS. 1 to 5 are views showing an embodiment of a liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention.
【0021】まず、構成を説明する。図1において、1
はイクデックステーブル(テーブル)であり、このテー
ブル1は図示しない駆動モータによって間欠回転可能に
なっている。First, the configuration will be described. In FIG. 1, 1
Is an index table (table), and the table 1 can be rotated intermittently by a drive motor (not shown).
【0022】また、テーブル1上にはそれぞれ図示しな
い液晶パネルが載置可能な4つのステージ2〜5が設け
られており、このステージ2〜5には液晶パネルを吸引
する吸引ノズルが備えられている。また、ステージ2〜
5はテーブル1に対して交換可能になっており、ステー
ジ2〜5は液晶パネルの種類に応じて任意の形状のもの
が取付けられる。On the table 1, there are provided four stages 2 to 5 on each of which a liquid crystal panel (not shown) can be mounted. Each of the stages 2 to 5 is provided with a suction nozzle for sucking the liquid crystal panel. I have. Also, stage 2
The table 5 is replaceable with respect to the table 1, and the stages 2 to 5 have any shape according to the type of the liquid crystal panel.
【0023】また、テーブル1の周囲にはステージ2〜
5に液晶パネルを投入する投入ステーション6と、ステ
ージ2〜5に投入された液晶パネルの電極の位置を検出
する検出ステーション7と、ステージ2〜5に投入され
た液晶パネルの無点灯時の欠陥(パネル表面の傷や液晶
の注入状態等)および表示パターンの判定を行なう検査
ステーション8と、検査が終了した液晶パネルをステー
ジ2〜5から排出する排出ステーション9が設けられて
おり、この各ステーション6〜9は90゜の間隔で設置
されている。Also, around the table 1, the stages 2 to
5, a charging station 6 for charging the liquid crystal panel to the stage 5, a detection station 7 for detecting the positions of the electrodes of the liquid crystal panel charged to the stages 2 to 5, and a defect when the liquid crystal panel supplied to the stages 2 to 5 is not lit. An inspection station 8 is provided for judging (flaws on the panel surface, liquid crystal injection state, etc.) and a display pattern, and an ejection station 9 for ejecting the liquid crystal panel after the inspection from the stages 2 to 5. 6 to 9 are arranged at intervals of 90 °.
【0024】投入ステーション6は、図2に示すように
構成されている。図2において、10はカセットであり、
このカセット10は前後方向(矢印a方向)が開口すると
ともに上下方向に板部材が積層された本体を有し、この
板部材に未検査の液晶パネルを所定間隔離隔して積層す
ることにより、複数の液晶を収納可能になっている。The charging station 6 is configured as shown in FIG. In FIG. 2, reference numeral 10 denotes a cassette;
The cassette 10 has a main body having an opening in the front-rear direction (direction of arrow a) and plate members stacked vertically, and by stacking untested liquid crystal panels on the plate members at predetermined intervals. Liquid crystal can be stored.
【0025】また、カセット10は図示しない昇降手段に
搭載可能になっており、この昇降手段によって昇降可能
になっている。The cassette 10 can be mounted on a lifting means (not shown), and can be raised and lowered by the lifting means.
【0026】また、カセット10に対向して直動アクチュ
エータ(送り出し手段)11が設けられており、このアク
チュエータ11は前後方向に移動可能なロッド11aの先端
部がカセット10内の液晶パネルを送り出すようになって
いる。また、カセット10内から液晶パネルが送り出され
ると、昇降手段によってカセット10が上昇または下降す
ることにより、次に送り出される液晶パネルがロッド11
aに対向するようになっている。A direct-acting actuator (sending means) 11 is provided opposite to the cassette 10 such that the front end of a rod 11a movable in the front-rear direction sends out the liquid crystal panel in the cassette 10. It has become. When the liquid crystal panel is sent out from the inside of the cassette 10, the cassette 10 is raised or lowered by the elevating means, so that the next liquid crystal panel to be sent out is moved to the rod 11.
a.
【0027】カセット10から送り出された液晶パネルは
回転ステージ12(電極方向調整手段)上に載置されるよ
うになっており、この回転ステージ12は所定方向に回転
することにより、液晶パネルの電極と検査ステーション
7に設けられた後述するパネル点灯用のプローブとの方
向を合わせるようになっている。The liquid crystal panel sent out of the cassette 10 is mounted on a rotary stage 12 (electrode direction adjusting means), and the rotary stage 12 rotates in a predetermined direction, so that the electrode of the liquid crystal panel is rotated. The direction of a panel lighting probe provided in the inspection station 7 and described later is aligned.
【0028】また、回転ステージ12の近傍には図示しな
い直動アクチュエータによってX−Y方向(X−Y平
面)に駆動される当接部材(位置決め手段)13が設けら
れており、この当接部材13は回転テーブル12上で調整後
の液晶パネルをステージ2に搬送するとともにステージ
2上の液晶パネルをX−Y方向に仮位置調整してステー
ジ2上に仮位置決めするようになっている。In the vicinity of the rotary stage 12, there is provided a contact member (positioning means) 13 driven in a XY direction (XY plane) by a linear motion actuator (not shown). Numeral 13 conveys the adjusted liquid crystal panel on the rotary table 12 to the stage 2 and temporarily adjusts the liquid crystal panel on the stage 2 in the XY directions to temporarily position the liquid crystal panel on the stage 2.
【0029】このとき、吸引ノズルを作動させて液晶パ
ネルがステージ2に吸引されて固定されるようになって
いる。At this time, the liquid crystal panel is sucked and fixed by the stage 2 by operating the suction nozzle.
【0030】また、検出ステーション7は図3に示すよ
うに構成されている。図3において、14はCCDカメラ
(撮像手段)であり、このCCDカメラ14はステージ3
に載置された(なお、本実施形態ではテーブル1が回転
するためステージ2〜5の位置は一定位置にないが、説
明の便宜上、ステージ2〜5は図1に示す位置に基づい
て説明する)液晶パネルの電極の幅方向(外径辺方向)
両端部または、電極の幅方向両端部に設けられたマーク
を撮像するようになっている。このCCDカメラ14によ
って撮像された画像データはコンピュータ(画像処理手
段)15によって電極の位置と電極幅の累積誤差が演算さ
れるようになっており、この演算結果である位置データ
はコンピュータ15に内蔵されたメモリ(保存手段)に格
納されるようになっている。The detection station 7 is configured as shown in FIG. In FIG. 3, reference numeral 14 denotes a CCD camera (imaging means).
(In this embodiment, the positions of the stages 2 to 5 are not fixed positions because the table 1 rotates, but for convenience of explanation, the stages 2 to 5 will be described based on the positions shown in FIG. 1. ) LCD panel electrode width direction (outer diameter side direction)
Marks provided at both ends or both ends in the width direction of the electrode are imaged. The image data picked up by the CCD camera 14 is such that a computer (image processing means) 15 calculates an accumulated error between the electrode position and the electrode width, and the calculated position data is stored in the computer 15. Is stored in the memory (storage means).
【0031】また、検査ステーション8は、図4に示す
ように構成されている。図4において、16はプローブ移
動機構(プローブ移動手段)であり、この移動機構16は
図示しない2つの直動アクチュエータに駆動されてテー
ブル1に近接・離隔する方向(矢印dで示す)とその方
向dと直交する方向(矢印eで示す)に移動可能な架台
17と、架台17に立設された昇降シリンダー18と、昇降シ
リンダー18に設けられ、互いに近接離隔する方向(図4
中、上下方向)に移動可能なパネル点灯用のプローブ19
および押えプレート20とから構成され、このプローブ移
動機構16は、コンピュータ15からの指令信号に基づいて
作動されるようになっている。The inspection station 8 is configured as shown in FIG. In FIG. 4, reference numeral 16 denotes a probe moving mechanism (probe moving means). The moving mechanism 16 is driven by two linear actuators (not shown) to approach and separate from the table 1 (indicated by an arrow d) and its direction. Mount that can be moved in the direction perpendicular to d (indicated by arrow e)
17, an elevating cylinder 18 erected on the gantry 17, and a direction provided to the elevating cylinder 18 so as to approach and separate from each other (FIG. 4).
Panel lighting probe 19 that can be moved in the middle and vertical directions
The probe moving mechanism 16 is configured based on a command signal from the computer 15.
【0032】また、テーブル1の下面にはバックライト
22が設けられているとともに、テーブル1を挟んで偏光
板23、24が設けられており、偏光板24の上方にはCCD
カメラ(撮像手段)25が設けられている。A backlight is provided on the lower surface of the table 1.
22 is provided, and polarizing plates 23 and 24 are provided with the table 1 interposed therebetween.
A camera (imaging means) 25 is provided.
【0033】CCDカメラ25はバックライト22を点灯し
たときの液晶パネルの画像を撮像するようになってお
り、コンピュータ15はこの画像データに基づいて液晶パ
ネルの無点灯時の所定の欠陥(パネル表面の傷や液晶の
注入状態等)を判定するようになっている。The CCD camera 25 captures an image of the liquid crystal panel when the backlight 22 is turned on, and the computer 15 determines a predetermined defect when the liquid crystal panel is turned off (panel surface) based on the image data. Scratches and the state of liquid crystal injection).
【0034】一方、コンピュータ15は、テーブル1が回
転している最中に、コンピュータ15のメモリから転送さ
れた液晶パネルの電極の位置と電極幅の累積誤差の情報
に基づいて、プローブ移動機構16の2つの直動アクチュ
エータを駆動するようになっており、このとき、プロー
ブ19はテーブル1から離隔する方向からプローブ電極の
延在方向に沿って移動され、液晶パネルの電極幅の累積
誤差をプローブ19の両側に均等に振分けてパネルの電極
とプローブ19が確実に接触するように位置合わせするよ
うになっている。On the other hand, while the table 1 is rotating, the computer 15 moves the probe moving mechanism 16 based on the information of the electrode position of the liquid crystal panel and the accumulated error of the electrode width transferred from the memory of the computer 15. At this time, the probe 19 is moved along a direction in which the probe electrode extends from a direction away from the table 1 so as to detect a cumulative error of the electrode width of the liquid crystal panel. The electrodes are evenly distributed to both sides of the panel 19 so that the electrodes of the panel and the probe 19 are aligned so as to make sure contact.
【0035】このとき、プローブ19およびプレート20が
テーブル4を挟んで対向するため、昇降シリンダ18によ
ってプローブ19およびプレート20を近接させることによ
り、プローブ19を液晶パネルの電極に接触させるととも
にプレート20によって液晶パネルを挟み込む。At this time, since the probe 19 and the plate 20 face each other with the table 4 interposed therebetween, the probe 19 and the plate 20 are brought close to each other by the elevating cylinder 18 so that the probe 19 is brought into contact with the electrodes of the liquid crystal panel and the plate 20 is used. Insert the LCD panel.
【0036】また、コンピュータ15にはプローブ19を通
じて電極パネルに駆動信号を印加する信号発生手段とし
てのパルス発生器が設けられており、このパルス発生器
によってプローブ19に駆動信号を印加することにより、
電極を点灯させるようになっている。Further, the computer 15 is provided with a pulse generator as a signal generating means for applying a drive signal to the electrode panel through the probe 19, and by applying a drive signal to the probe 19 by this pulse generator,
The electrodes are turned on.
【0037】CCDカメラ25は上述したパネルの電極の
点灯時の画像を撮像するようになっており、コンピュー
タ15はこの画像データに基づいて液晶パネルの点灯不良
を判定するようになっている。なお、本実施形態では、
コンピュータ15が判定手段を構成している。The CCD camera 25 captures an image when the electrodes of the panel are turned on, and the computer 15 determines a lighting failure of the liquid crystal panel based on the image data. In the present embodiment,
The computer 15 constitutes the determination means.
【0038】また、本実施形態では、プローブ19が昇降
シリンダ18の上側にプレート20が下側に配設されている
が、これは本実施形態の液晶パネルの電極が表面側にあ
ると想定したからである。したがって、液晶パネルの電
極が裏面側にある場合には、プローブ19を昇降シリンダ
18の下側にプレート20を上側に配設すれば良い。In the present embodiment, the probe 19 is disposed above the elevating cylinder 18 and the plate 20 is disposed below. However, it is assumed that the electrodes of the liquid crystal panel of this embodiment are located on the front side. Because. Therefore, when the electrodes of the liquid crystal panel are on the back side, the probe 19 is
What is necessary is just to arrange | position the plate 20 under 18 at the upper side.
【0039】また、排出ステーション9は、図5に示す
ように構成されている。図5において、26は直動アクチ
ュエータであり、この直動アクチュエータ26は検査が終
了した液晶パネルをステージ5から回転ステージ27に排
出するようになっている。回転ステージ27は回転可能に
なっており、ステージ5から排出された液晶パネルを良
品収納用28または不良品収納用のカセット29に位置決め
するようになっている。The discharge station 9 is configured as shown in FIG. In FIG. 5, reference numeral 26 denotes a linear motion actuator, which discharges the liquid crystal panel after the inspection from the stage 5 to the rotary stage 27. The rotary stage 27 is rotatable, and positions the liquid crystal panel discharged from the stage 5 in a non-defective product storage 28 or a defective product storage cassette 29.
【0040】カセット28、29は前後方向(矢印b、c方
向)が開口するとともに上下方向に板部材が積層された
本体を有し、この板部材に未検査の液晶パネルを所定間
隔離隔して積層することにより、複数の液晶を収納可能
になっている。また、カセット28、29は図示しない昇降
手段に搭載可能になっており、この昇降手段によって昇
降可能になっている。Each of the cassettes 28 and 29 has a main body having an opening in the front-rear direction (directions of arrows b and c) and a plate member laminated in the up-down direction. By stacking, a plurality of liquid crystals can be stored. The cassettes 28 and 29 can be mounted on elevating means (not shown), and can be moved up and down by the elevating means.
【0041】また、回転ステージ27の上方にはアクチュ
エータ21が設けられており、このアクチュエータは回転
ステージ27の回転に伴ってカセット28またはカセット29
方向に回動し、回転ステージ27によってカセット28また
はカセット29に収納可能なように位置決めされた液晶パ
ネルの搬送方向後端部に当接した後、液晶パネルをカセ
ット28またはカセット29に搬送するように駆動可能にな
っている。なお、図1、5では液晶パネルをカセット28
側に排出するときのアクチュエータ21の押し出し部の位
置を示している。なお、本実施形態では直動アクチュエ
ータ26、回転ステージ27およびアクチュエータ21が排出
手段を構成している。An actuator 21 is provided above the rotary stage 27. The actuator 21 is driven by the rotation of the rotary stage 27 so that the cassette 28 or the cassette 29 is rotated.
The liquid crystal panel is conveyed to the cassette 28 or the cassette 29 after the liquid crystal panel is rotated by the rotation stage 27 and abuts on the rear end in the conveyance direction of the liquid crystal panel positioned so as to be accommodated in the cassette 28 or the cassette 29 by the rotary stage 27. It can be driven. 1 and 5, the liquid crystal panel is connected to the cassette 28.
The position of the push-out portion of the actuator 21 when discharging to the side is shown. In this embodiment, the linear actuator 26, the rotary stage 27, and the actuator 21 constitute a discharging unit.
【0042】次に、液晶パネルの検査方法を説明する。Next, a method for inspecting a liquid crystal panel will be described.
【0043】まず、未検査の液晶パネルが収納されたカ
セット10が前工程から投入ステーション6に搬入される
と、アクチュエータ11によってカセット10内の液晶パネ
ルが回転ステージ12に送り出される。このとき、回転ス
テージ12が所定方向に回転して液晶パネルの電極と検査
ステーション7に設けられたプローブ19との方向を合わ
せる。First, when the cassette 10 containing the untested liquid crystal panels is carried into the loading station 6 from the previous process, the liquid crystal panels in the cassette 10 are sent out to the rotary stage 12 by the actuator 11. At this time, the rotating stage 12 rotates in a predetermined direction, and the direction of the electrode of the liquid crystal panel and the direction of the probe 19 provided in the inspection station 7 are adjusted.
【0044】次いで、直動アクチュエータによって当接
部材13が駆動され、当接部材13によって回転テーブル12
上で調整された液晶パネルをステージ2に搬送するとと
もにステージ2上の液晶パネルをX−Y方向に仮位置調
整してステージ2上に仮位置決めした後、吸引ノズルに
よって液晶パネルがステージ2に吸引される。Next, the contact member 13 is driven by the linear motion actuator, and the contact table 13
The liquid crystal panel adjusted above is conveyed to the stage 2 and the liquid crystal panel on the stage 2 is provisionally adjusted in the X and Y directions and temporarily positioned on the stage 2, and then the liquid crystal panel is sucked into the stage 2 by the suction nozzle. Is done.
【0045】次いで、テーブル1が回動し、ステージ2
がステージ3に示す位置に移動して液晶パネルが検査ス
テーション7に移動する。また、ステージ2がステージ
3に示す位置に移動したときに、投入ステーション6の
ステージ2に上述した手順で液晶パネルが投入される。Next, the table 1 rotates and the stage 2
Moves to the position shown on the stage 3 and the liquid crystal panel moves to the inspection station 7. When the stage 2 moves to the position indicated by the stage 3, the liquid crystal panel is loaded into the stage 2 of the loading station 6 in the above-described procedure.
【0046】検出ステーション7に搬送された液晶パネ
ルは、CCDカメラ14によって液晶パネルの電極の幅方
向の両端部または、電極の幅方向両端部に設けられたマ
ークが撮像される。CCDカメラ14によって撮像された
画像データはコンピュータ15によって電極位置と電極幅
の累積誤差が演算された後、この演算結果である位置デ
ータがコンピュータ15に内蔵されたメモリに格納され
る。The liquid crystal panel conveyed to the detection station 7 is imaged by the CCD camera 14 at both ends in the width direction of the electrodes of the liquid crystal panel or at marks provided at both ends in the width direction of the electrodes. The image data captured by the CCD camera 14 is used to calculate the accumulated error between the electrode position and the electrode width by the computer 15, and the calculated position data is stored in a memory built in the computer 15.
【0047】次いで、テーブル1が回転してステージ3
がステージ4に示す位置に移動して液晶パネルが検査ス
テーション8に移動する。Next, the table 1 rotates and the stage 3
Moves to the position shown on the stage 4 and the liquid crystal panel moves to the inspection station 8.
【0048】このテーブル1が検査ステーション8に移
動する際に、コンピュータ15のメモリに記憶された液晶
パネルの電極の位置と電極幅の累積誤差の情報に基づい
て、プローブ移動機構16の直動アクチュエータを駆動す
るようになっており、このとき、プローブ19はテーブル
1から離隔する方向からプローブ電極の延在方向に沿っ
て移動し、液晶パネルの電極幅の累積誤差をプローブ19
の両側に均等に振分け、パネルの電極の上方にプローブ
19を位置決めする。When the table 1 moves to the inspection station 8, the linear motion actuator of the probe moving mechanism 16 is based on the information of the accumulated position error and electrode position of the liquid crystal panel stored in the memory of the computer 15. At this time, the probe 19 moves from the direction away from the table 1 along the extending direction of the probe electrode, and the accumulated error of the electrode width of the liquid crystal panel is detected by the probe 19.
Distribute evenly on both sides of the probe and probe above the panel electrodes
Position 19
【0049】次いで、バックライト22を点灯し、CCD
カメラ25によって液晶パネルの画像を撮像する。コンピ
ュータ15はこの画像データに基づいて液晶パネルの無点
灯時の所定の欠陥(パネル表面の傷や液晶の注入状態
等)を判定する。Next, the backlight 22 is turned on, and the CCD
The image of the liquid crystal panel is captured by the camera 25. The computer 15 determines a predetermined defect (scratch on the panel surface, liquid crystal injection state, etc.) when the liquid crystal panel is not lit based on the image data.
【0050】次いで、昇降シリンダ18によってプローブ
19およびプレート20を近接させることにより、プローブ
19を液晶パネルの電極に接触させるとともにプレート20
によって液晶パネルを挟み込む。Next, the probe is moved by the lifting cylinder 18.
Proximity between 19 and plate 20
19 to the LCD panel electrodes and plate 20
The LCD panel.
【0051】次いで、パルス発生器によってプローブ19
を通じて電極パネルに駆動信号を印加して電極を点灯さ
せ、CCDカメラ25によってパネルの電極の点灯時の画
像を撮像する。コンピュータ15はこの画像データに基づ
いて液晶パネルの点灯不良を判定する。Next, the probe 19 was
A drive signal is applied to the electrode panel through the switch to turn on the electrodes, and the CCD camera 25 captures an image when the electrodes of the panel are turned on. The computer 15 determines a lighting failure of the liquid crystal panel based on the image data.
【0052】この検査が終了すると、テーブル4をテー
ブル5に位置に移動させ、液晶パネルを排出ステーショ
ン9に移動させる。次いで、直動アクチュエータ26を駆
動させ、液晶パネルをステージ5から回転ステージ27に
排出する。When the inspection is completed, the table 4 is moved to the position of the table 5, and the liquid crystal panel is moved to the discharge station 9. Next, the linear motion actuator 26 is driven to discharge the liquid crystal panel from the stage 5 to the rotary stage 27.
【0053】また、液晶パネルが良品か不良品かがコン
ピュータ15によって判定されるため、液晶パネルを良品
収納用のカセット28または不良品収納用のカセット29に
スムーズに収納可能なように回転ステージ27を位置決し
た後、回転ステージ27の上方に設けられたアクチュエー
タ21を回転ステージ27の回転に伴ってカセット28または
カセット29方向に回動した後、アクチュエータ21を液晶
パネルの搬送方向後端部に当接させた後、液晶パネルを
カセット28またはカセット29に搬送してカセット28また
はカセット29に収納し、次いで、このカセット28または
カセット29を次工程に搬出する。Further, since the computer 15 determines whether the liquid crystal panel is non-defective or defective, the rotary stage 27 is provided so that the liquid crystal panel can be smoothly stored in the cassette 28 for storing non-defective products or the cassette 29 for storing defective products. After positioning, the actuator 21 provided above the rotary stage 27 is rotated in the direction of the cassette 28 or the cassette 29 with the rotation of the rotary stage 27, and then the actuator 21 is moved to the rear end of the liquid crystal panel in the transport direction. After the contact, the liquid crystal panel is transported to the cassette 28 or the cassette 29 and stored in the cassette 28 or the cassette 29, and then the cassette 28 or the cassette 29 is carried out to the next step.
【0054】このように本実施形態では、テーブル1の
周囲に異なる処理を行なう複数のステーション6〜9を
設置することにより、複数の液晶パネルを並行して処理
して液晶パネルの検査時間を短縮することができるとと
もに、処理装置を各ステーション6〜9に振分けること
により、処理装置のレイアウトを容易にして異なる種類
の検査を容易に行なうことができる。As described above, in the present embodiment, by installing a plurality of stations 6 to 9 for performing different processes around the table 1, a plurality of liquid crystal panels are processed in parallel to reduce the liquid crystal panel inspection time. In addition, by allocating the processing apparatuses to the stations 6 to 9, the layout of the processing apparatuses can be simplified, and different types of inspections can be easily performed.
【0055】また、投入ステーション6を、未検査の液
晶パネルを所定間隔離隔して積層して収納するカセット
10から未検査の液晶パネルを1枚ずつ送り出す直動アク
チュエータ11と、直動アクチュエータ11から送り出され
た未検査の液晶パネルの電極と検査ステーション8のプ
ローブ19との方向を合わせる回転ステージ12と、調整後
の未検査の液晶パネルをステージ2に搬送して仮位置調
整してステージ2上に仮位置決めする当接部材13とから
構成したため、未検査の液晶パネルがカセット10に如何
なる方向で収納された場合であっても、このカセット10
から送り出される未検査の液晶パネルの電極の方向を回
転ステージ12によってプローブ19に対して合わせること
ができる。Further, the loading station 6 is a cassette for storing the untested liquid crystal panels by stacking them at predetermined intervals.
A linear actuator 11 for sending untested liquid crystal panels one by one from 10; a rotary stage 12 for aligning the direction of the electrodes of the untested liquid crystal panel sent from the linear actuator 11 with the probe 19 of the inspection station 8; The uninspected liquid crystal panel is accommodated in the cassette 10 in any direction because the uninspected liquid crystal panel is transported to the stage 2, and the abutting member 13 is temporarily adjusted on the stage 2 after being transported to the stage 2. This cassette 10
The direction of the electrodes of the untested liquid crystal panel sent out from the liquid crystal panel can be adjusted to the probe 19 by the rotating stage 12.
【0056】また、液晶パネルを直動アクチュエータ11
によってカセット10から回転ステージ12に向かって自動
的に送り出すことができるため、液晶パネルの検査を簡
単にすることができるとともに検査時間を短縮すること
ができる。The liquid crystal panel is connected to the linear motion actuator 11.
As a result, the liquid crystal panel can be automatically sent out from the cassette 10 toward the rotary stage 12, so that the inspection of the liquid crystal panel can be simplified and the inspection time can be shortened.
【0057】また、当接部材13によってステージ2上の
液晶パネルの仮位置調整することができるため、ステー
ジ2上の任意の位置に液晶パネルを位置決めすることが
できる。Since the provisional position of the liquid crystal panel on the stage 2 can be adjusted by the contact member 13, the liquid crystal panel can be positioned at an arbitrary position on the stage 2.
【0058】また、検出ステーション7を、ステージ3
に載置された未検査の液晶パネルの電極の画像を撮像す
るCCDカメラ14と、CCDカメラ14によって撮像され
た画像から液晶パネルの電極の位置を検出するコンピュ
ータ15と、コンピュータ15によって得られた位置データ
を保存するメモリとから構成したため、液晶パネルの電
極の位置を撮像することにより、電極の精度に比べて液
晶パネルの外径精度がラフであっても、各ステージ2〜
5における液晶パネルの位置決め精度を電極の精度に対
してラフにしても液晶パネルの電極とプローブの位置合
わせを高精度に行なうことが可能となる。The detection station 7 is connected to the stage 3
A CCD camera 14 for capturing an image of an electrode of an untested liquid crystal panel placed on the LCD, a computer 15 for detecting the position of the electrode of the liquid crystal panel from the image captured by the CCD camera 14, and a computer 15 Since it is composed of a memory for storing position data, by imaging the positions of the electrodes of the liquid crystal panel, even if the outer diameter accuracy of the liquid crystal panel is rough compared to the accuracy of the electrodes, each stage 2 to 2
Even if the positioning accuracy of the liquid crystal panel in 5 is rougher than the accuracy of the electrodes, it becomes possible to align the electrodes of the liquid crystal panel and the probe with high accuracy.
【0059】また、検査ステーション8を、コンピュー
タ15のメモリに格納されたデータに基づいて液晶パネル
の電極とプローブ19の位置決めを行なった後、プローブ
を液晶パネルの電極に接触させるプローブ移動機構16
と、プローブ19を通じて電極パネルに駆動信号を印加す
るパルス発生器と、液晶パネルの外観および液晶パネル
の電極の点灯パターンを撮像するCCDカメラ25と、撮
像された画像データから液晶パネルの無点灯時の所定の
欠陥および点灯不良を判定するコンピュータ15とから構
成したため、プローブ移動機構16をd方向およびe方向
に移動させることにより液晶パネルの電極とプローブ19
の位置決めを行なった後、プローブ19を電極に接触させ
ることができ、電極にプローブ19を合わせるためにテー
ブル1上でステージ2〜5を移動させるのを不要にでき
る。この結果、ステージ2〜5の位置の加工精度を上げ
ることなしにパネルの欠陥および点灯不良を検査するこ
とができる上に、ステージ1を移動させる機構が不要に
なるため、テーブル1をコンパクトにすることができ
る。After the inspection station 8 has positioned the electrodes of the liquid crystal panel and the probes 19 based on the data stored in the memory of the computer 15, a probe moving mechanism 16 for bringing the probes into contact with the electrodes of the liquid crystal panel.
A pulse generator that applies a drive signal to the electrode panel through the probe 19; a CCD camera 25 that captures the appearance of the liquid crystal panel and a lighting pattern of the electrodes of the liquid crystal panel; and a non-lighting state of the liquid crystal panel based on the captured image data. Of the liquid crystal panel and the probe 19 by moving the probe moving mechanism 16 in the d and e directions.
After the positioning, the probe 19 can be brought into contact with the electrode, so that it is not necessary to move the stages 2 to 5 on the table 1 to align the probe 19 with the electrode. As a result, it is possible to inspect a panel for defects and lighting failures without increasing the processing accuracy of the positions of the stages 2 to 5, and to eliminate the need for a mechanism for moving the stage 1, thereby making the table 1 compact. be able to.
【0060】さらに、排出ステーション9を、ステージ
5上で検査が終了した液晶パネルを不良品の液晶パネル
を収納するカセット29または良品の液晶パネルを収納す
るカセット28の何れか一方に搬出する回転ステージ27お
よびアクチュエータから構成したため、良品の液晶パネ
ルと不良品の液晶パネルを自動的に仕分けてカセット28
またはカセット29に収納することができ、液晶パネルを
カセット28またはカセット29に収納する手間が省ける上
に選別作業の作業時間を短縮することができる。Further, the discharge station 9 is provided with a rotating stage for carrying out the liquid crystal panel which has been inspected on the stage 5 to one of a cassette 29 for storing defective liquid crystal panels and a cassette 28 for storing non-defective liquid crystal panels. 27 and actuators, automatically sort non-defective LCD panels and defective LCD panels into cassettes 28.
Alternatively, the liquid crystal panel can be stored in the cassette 29, so that the labor for storing the liquid crystal panel in the cassette 28 or the cassette 29 can be omitted, and the operation time of the sorting operation can be reduced.
【0061】なお、本実施形態では、各ステーション6
〜9毎に1つのステージ上に載置された液晶パネルを処
理しているが、これに限らず、各ステーション6〜9を
それぞれ2つ設け、各ステーションに対応するようにス
テージを8つ設けるようにしても良い。In this embodiment, each station 6
The liquid crystal panel mounted on one stage is processed for each of the steps 9 to 9. However, the present invention is not limited to this. Two stations 6 to 9 are provided, and eight stages are provided corresponding to the stations. You may do it.
【0062】[0062]
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、テーブル
の周囲に異なる処理を行なう複数のステーションを設置
することにより、複数の液晶パネルを並行して処理して
液晶パネルの検査時間を短縮することができるととも
に、処理装置を各ステーションに振分けることにより、
処理装置のレイアウトを容易にして異なる種類の検査を
容易に行なうことができる。According to the first aspect of the present invention, by installing a plurality of stations for performing different processes around the table, a plurality of liquid crystal panels can be processed in parallel to reduce the inspection time of the liquid crystal panels. And by distributing the processing equipment to each station,
Different types of inspections can be easily performed by simplifying the layout of the processing apparatus.
【0063】請求項2記載の発明によれば、未検査の液
晶パネルがカセットに如何なる方向で収納された場合で
あっても、このカセットから送り出される未検査の液晶
パネルの電極の方向を電極方向調整手段によってプロー
ブに対して合わせることができる。According to the second aspect of the invention, even if the untested liquid crystal panel is stored in the cassette in any direction, the direction of the electrode of the untested liquid crystal panel sent out from the cassette is changed to the electrode direction. The adjustment can be made with respect to the probe.
【0064】また、液晶パネルを送り出し手段によって
カセットから電極方向調整手段に向かって自動的に送り
出すことができるため、液晶パネルの検査を簡単にする
ことができるとともに検査時間を短縮することができ
る。Further, since the liquid crystal panel can be automatically sent out from the cassette to the electrode direction adjusting means by the sending means, the inspection of the liquid crystal panel can be simplified and the inspection time can be shortened.
【0065】また、仮位置調整手段によってステージ上
の液晶パネルの仮位置調整することができるため、ステ
ージ上の任意の位置に液晶パネルを位置決めすることが
できる。Since the temporary position of the liquid crystal panel on the stage can be adjusted by the temporary position adjusting means, the liquid crystal panel can be positioned at an arbitrary position on the stage.
【0066】請求項3記載の発明によれば、液晶パネル
の電極の位置を撮像することにより、電極の精度に比べ
て液晶パネルの外径精度がラフであっても、各ステージ
における液晶パネルの位置決め精度を電極の精度に対し
てラフにしても液晶パネルの電極とプローブの位置合わ
せを高精度に行なうことが可能となる。According to the third aspect of the present invention, by imaging the positions of the electrodes of the liquid crystal panel, even if the accuracy of the outer diameter of the liquid crystal panel is rougher than the accuracy of the electrodes, the position of the liquid crystal panel at each stage is reduced. Even if the positioning accuracy is rough with respect to the electrode accuracy, it becomes possible to align the electrode of the liquid crystal panel with the probe with high accuracy.
【0067】請求項4記載の発明によれば、プローブ移
動手段を移動させることにより液晶パネルの電極とプロ
ーブの位置決めを行なった後、該プローブを電極に接触
させるようにしたため、電極にプローブを合わせるため
にテーブル上でステージを移動させるのを不要にでき、
ステージの位置の加工精度を上げることなしにパネルの
欠陥および点灯不良を検査することができる上に、ステ
ージを移動させる機構が不要になるため、テーブルをコ
ンパクトにすることができる。According to the fourth aspect of the present invention, the probe is brought into contact with the electrode after the probe and the probe of the liquid crystal panel are positioned by moving the probe moving means. To move the stage on the table,
The panel can be inspected for defects and lighting failures without increasing the processing accuracy of the position of the stage, and a mechanism for moving the stage is not required, so that the table can be made compact.
【0068】請求項5記載の発明によれば、良品の液晶
パネルと不良品の液晶パネルを自動的に仕分けてカセッ
トに収納することができ、液晶パネルをカセットに収納
する手間が省ける上に選別作業の作業時間を短縮するこ
とができる。According to the fifth aspect of the present invention, a non-defective LCD panel and a defective LCD panel can be automatically sorted and stored in a cassette. The work time of the work can be reduced.
【図1】本発明に係る液晶パネル検査装置の一実施形態
を示す図であり、その概略構成図である。FIG. 1 is a view showing one embodiment of a liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention, and is a schematic configuration diagram thereof.
【図2】一実施形態の投入ステーションの概略構成図で
ある。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a charging station of one embodiment.
【図3】一実施形態の検出ステーションの概略構成図で
ある。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a detection station according to one embodiment.
【図4】一実施形態の検査ステーションの概略構成図で
ある。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an inspection station according to one embodiment.
【図5】一実施形態の排出ステーションの概略構成図で
ある。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a discharge station of one embodiment.
1 イクデックステーブル(テーブル) 2〜5 ステージ 6 投入ステーション 7 検出ステーション 8 検査ステーション 9 排出ステーション 10 カセット 11 直動アクチュエータ(送り出し手段) 12 回転ステージ12(電極方向調整手段) 13 当接部材(位置決め手段) 14 CCDカメラ(撮像手段) 15 コンピュータ(画像処理手段、判定手段) 16 プローブ移動機構(プローブ移動手段) 19 プローブ 21 アクチュエータ(排出手段) 25 CCDカメラ(撮像手段) 26 直動アクチュエータ(排出手段) 27 回転ステージ(アクチュエータ) 28、29 カセット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Edex table (table) 2-5 Stage 6 Loading station 7 Detection station 8 Inspection station 9 Discharge station 10 Cassette 11 Linear actuator (delivery means) 12 Rotary stage 12 (electrode direction adjustment means) 13 Contact member (positioning means) ) 14 CCD camera (imaging means) 15 Computer (image processing means, judgment means) 16 Probe moving mechanism (probe moving means) 19 Probe 21 Actuator (discharging means) 25 CCD camera (imaging means) 26 Linear actuator (discharging means) 27 Rotary stage (actuator) 28, 29 Cassette
Claims (5)
点灯時の表示パターンの判定を自動的に行なう液晶パネ
ル検査装置において、 間欠回転可能なテーブルと、 該テーブル上に設けられた複数のステージと、 前記ステージに前記液晶パネルに投入する投入ステーシ
ョンと、 前記ステージに投入された液晶パネルの電極の位置を検
出する検出ステーションと、 前記ステージに投入された液晶パネルの前記欠陥および
表示パターンの判定を行なう検査ステーションと、 検査が終了した液晶パネルを前記ステージから排出する
排出ステーションとを有し、 前記投入ステーション、検出ステーション、検査ステー
ションおよび排出ステーションを前記テーブルの周囲に
設置したことを特徴とする液晶パネル検査装置。1. A liquid crystal panel inspection apparatus for automatically determining a predetermined defect when a liquid crystal panel is not lit and a display pattern when the liquid crystal panel is lit, a table intermittently rotatable, and a plurality of tables provided on the table. A stage, an input station for inputting the liquid crystal panel to the stage, a detection station for detecting a position of an electrode of the liquid crystal panel input to the stage, and a detection station for the defect and display pattern of the liquid crystal panel input to the stage. An inspection station for performing a determination, and a discharge station for discharging the liquid crystal panel after the inspection from the stage, wherein the input station, the detection station, the inspection station, and the discharge station are set around the table. LCD panel inspection equipment.
ネルを所定間隔離隔して積層して収納するカセットから
未検査の液晶パネルを1枚ずつ送り出す送り出し手段
と、 該送り出し手段から送り出された未検査の液晶パネルの
電極と前記検査ステーションに設置されるパネル点灯用
のプローブとの方向を合わせる電極方向調整手段と、 該調整後の未検査の液晶パネルを前記ステージに搬送し
て仮位置調整してステージ上に仮位置決めする位置決め
手段とを有することを特徴とする請求項1記載の液晶パ
ネル検査装置。2. The feeding station according to claim 1, further comprising: a feeding unit that feeds untested liquid crystal panels one by one from a cassette that stores and stacks untested liquid crystal panels at predetermined intervals and stores the unchecked liquid crystal panels. An electrode direction adjusting means for adjusting the direction of the electrodes of the liquid crystal panel to be inspected and the probe for lighting the panel installed in the inspection station; and transporting the uninspected liquid crystal panel after the adjustment to the stage to temporarily adjust the position. 2. A liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising positioning means for temporarily positioning the liquid crystal panel on the stage.
載置された未検査の液晶パネルの電極の画像を撮像する
撮像手段と、 該撮像手段によって撮像された画像から液晶パネルの電
極の位置を検出する画像処理手段と、 該画像処理手段によって得られた位置データを保存する
保存手段とを有することを特徴とする請求項1または2
記載の液晶パネル検査装置。3. An image pickup means for picking up an image of an electrode of an untested liquid crystal panel mounted on the stage, and detecting a position of the electrode of the liquid crystal panel from the image picked up by the image pickup means. 3. An image processing unit, comprising: an image processing unit that performs the image processing; and a storage unit that stores the position data obtained by the image processing unit.
The liquid crystal panel inspection device according to the above.
ションの保存手段に格納されたデータに基づいて液晶パ
ネルの電極とプローブの位置決めを行なった後、該プロ
ーブを該電極に接触させるプローブ移動手段と、 前記プローブを通じて液晶パネルの電極に駆動信号を印
加する信号発生手段と、 前記液晶パネルの外観および電極の点灯パターンを撮像
する撮像手段と、 該撮像された画像データから液晶パネルの無点灯時の所
定の欠陥および点灯不良を判定する判定手段とを有する
ことを特徴とする請求項1〜3何れかに記載の液晶パネ
ル検査装置。4. An inspection station, comprising: a probe moving means for positioning an electrode of a liquid crystal panel and a probe based on data stored in storage means of the detection station, and thereafter bringing the probe into contact with the electrode; Signal generating means for applying a drive signal to the electrodes of the liquid crystal panel through the probe; imaging means for imaging the appearance of the liquid crystal panel and the lighting pattern of the electrodes; 4. A liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a determination unit configured to determine a defect and a lighting failure of the liquid crystal panel.
で検査が終了した液晶パネルを不良品の液晶パネルを収
納するカセットまたは良品の液晶パネルを収納するカセ
ットの何れか一方に排出する排出手段を有することを特
徴とする請求項1〜4何れかに記載の液晶パネル検査装
置。5. The discharge station has discharge means for discharging a liquid crystal panel, which has been inspected on the stage, to one of a cassette for storing defective liquid crystal panels and a cassette for storing non-defective liquid crystal panels. The liquid crystal panel inspection device according to any one of claims 1 to 4, wherein
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11091186A JP2000321545A (en) | 1999-03-05 | 1999-03-31 | LCD panel inspection equipment |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|
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Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020060931A (en) * | 2001-01-12 | 2002-07-19 | 니혼 덴산 리드 가부시끼가이샤 | Apparatus and Method For Probe Testing Printed Circuit Board |
| US6879180B2 (en) * | 2003-06-27 | 2005-04-12 | Tokyo Electronics Industry Co., Ltd. | Display panel inspection apparatus and inspection method |
| KR100732344B1 (en) | 2005-06-02 | 2007-06-27 | 주식회사 파이컴 | Rotary Inspection Equipment of Display Panel |
| KR100922775B1 (en) | 2007-10-30 | 2009-10-21 | 현빈테크 주식회사 | Dual inspection device for wafer inspection |
| KR100938492B1 (en) | 2009-09-09 | 2010-01-25 | 아주하이텍(주) | Inspection device and inspection method |
| CN1773301B (en) * | 2004-11-11 | 2010-10-20 | 三星电子株式会社 | Inspection device for display panel and inspection method for the inspection device for display panel |
| KR101149056B1 (en) | 2010-06-29 | 2012-05-24 | 주식회사 영우디에스피 | Auto visual testing apparatus for plasma display panel |
| KR101264496B1 (en) | 2011-05-11 | 2013-05-14 | 박웅기 | Manufacturing method and apparatus of the panel for an electronic components |
| WO2013151146A1 (en) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | Nskテクノロジー株式会社 | Exposure device and exposure method |
| CN104460060A (en) * | 2014-12-05 | 2015-03-25 | 深圳鼎晶光电有限公司 | Optical detection equipment and method for liquid crystal display modules |
| CN104620164A (en) * | 2013-08-21 | 2015-05-13 | 韩东熙 | Display panel inspection device |
| CN105158944A (en) * | 2015-10-19 | 2015-12-16 | 北京京东方茶谷电子有限公司 | Lighting fixture |
| CN107020249A (en) * | 2017-04-19 | 2017-08-08 | 苏州日和科技有限公司 | Liquid crystal panel AOI equipment with automatic identification function |
| WO2018139244A1 (en) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | Alignment device |
| CN108447818A (en) * | 2018-04-16 | 2018-08-24 | 昆山精讯电子技术有限公司 | A kind of lighting detection compression bonding apparatus |
| CN108507759A (en) * | 2018-04-16 | 2018-09-07 | 昆山精讯电子技术有限公司 | A kind of display panel testing and detection method |
| WO2018171045A1 (en) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 惠科股份有限公司 | Detection method and detection apparatus for display panel |
| CN114833094A (en) * | 2022-04-27 | 2022-08-02 | 厦门恺成精密机械有限公司 | Panel lightening detection machine |
| KR102640260B1 (en) * | 2023-07-27 | 2024-02-23 | 주식회사 성우플라텍 | the apparatus for inspecting lighting for the key pad lamp |
| CN118183278A (en) * | 2024-05-15 | 2024-06-14 | 广东迈科盛电子有限公司 | Pressure relief type lithium ion battery pack multi-station explosion-proof detection device capable of preventing arc from overflowing |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP11091186A patent/JP2000321545A/en active Pending
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277502A (en) * | 2001-01-12 | 2002-09-25 | Nidec-Read Corp | Substrate inspection device and substrate inspection method |
| KR20020060931A (en) * | 2001-01-12 | 2002-07-19 | 니혼 덴산 리드 가부시끼가이샤 | Apparatus and Method For Probe Testing Printed Circuit Board |
| CN100337147C (en) * | 2003-06-27 | 2007-09-12 | 东芝泰力株式会社 | Display panel inspection apparatus and inspection method |
| US6879180B2 (en) * | 2003-06-27 | 2005-04-12 | Tokyo Electronics Industry Co., Ltd. | Display panel inspection apparatus and inspection method |
| US7860296B2 (en) | 2004-11-11 | 2010-12-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for testing a display panel assembly |
| CN1773301B (en) * | 2004-11-11 | 2010-10-20 | 三星电子株式会社 | Inspection device for display panel and inspection method for the inspection device for display panel |
| KR100732344B1 (en) | 2005-06-02 | 2007-06-27 | 주식회사 파이컴 | Rotary Inspection Equipment of Display Panel |
| KR100922775B1 (en) | 2007-10-30 | 2009-10-21 | 현빈테크 주식회사 | Dual inspection device for wafer inspection |
| KR100938492B1 (en) | 2009-09-09 | 2010-01-25 | 아주하이텍(주) | Inspection device and inspection method |
| KR101149056B1 (en) | 2010-06-29 | 2012-05-24 | 주식회사 영우디에스피 | Auto visual testing apparatus for plasma display panel |
| KR101264496B1 (en) | 2011-05-11 | 2013-05-14 | 박웅기 | Manufacturing method and apparatus of the panel for an electronic components |
| WO2013151146A1 (en) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | Nskテクノロジー株式会社 | Exposure device and exposure method |
| JP2013231962A (en) * | 2012-04-06 | 2013-11-14 | Nsk Technology Co Ltd | Exposure device and exposure method |
| KR20140139543A (en) * | 2012-04-06 | 2014-12-05 | 엔에스케이 테쿠노로지 가부시키가이샤 | Exposure device and exposure method |
| KR101700019B1 (en) * | 2012-04-06 | 2017-02-13 | 가부시키가이샤 브이 테크놀로지 | Exposure device and exposure method |
| JP2016502063A (en) * | 2013-08-21 | 2016-01-21 | ヒ ハン、ドン | Display panel inspection equipment |
| CN104620164A (en) * | 2013-08-21 | 2015-05-13 | 韩东熙 | Display panel inspection device |
| CN104460060A (en) * | 2014-12-05 | 2015-03-25 | 深圳鼎晶光电有限公司 | Optical detection equipment and method for liquid crystal display modules |
| CN105158944A (en) * | 2015-10-19 | 2015-12-16 | 北京京东方茶谷电子有限公司 | Lighting fixture |
| WO2017067210A1 (en) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | Detection device for backlight module |
| WO2018139244A1 (en) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | Alignment device |
| WO2018171045A1 (en) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 惠科股份有限公司 | Detection method and detection apparatus for display panel |
| CN107020249A (en) * | 2017-04-19 | 2017-08-08 | 苏州日和科技有限公司 | Liquid crystal panel AOI equipment with automatic identification function |
| CN108447818A (en) * | 2018-04-16 | 2018-08-24 | 昆山精讯电子技术有限公司 | A kind of lighting detection compression bonding apparatus |
| CN108507759A (en) * | 2018-04-16 | 2018-09-07 | 昆山精讯电子技术有限公司 | A kind of display panel testing and detection method |
| CN114833094A (en) * | 2022-04-27 | 2022-08-02 | 厦门恺成精密机械有限公司 | Panel lightening detection machine |
| KR102640260B1 (en) * | 2023-07-27 | 2024-02-23 | 주식회사 성우플라텍 | the apparatus for inspecting lighting for the key pad lamp |
| CN118183278A (en) * | 2024-05-15 | 2024-06-14 | 广东迈科盛电子有限公司 | Pressure relief type lithium ion battery pack multi-station explosion-proof detection device capable of preventing arc from overflowing |
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