JP2000228165A - Electron beam device - Google Patents
Electron beam deviceInfo
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- JP2000228165A JP2000228165A JP11030807A JP3080799A JP2000228165A JP 2000228165 A JP2000228165 A JP 2000228165A JP 11030807 A JP11030807 A JP 11030807A JP 3080799 A JP3080799 A JP 3080799A JP 2000228165 A JP2000228165 A JP 2000228165A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学像とノイズのない良好な反射電子像を同
時に表示させることができる電子線装置を提供するこ
と。
【解決手段】 試料上で電子線が２次元的に走査される
と、試料から反射電子が発生し、その反射電子は反射電
子検出器６で検出される。反射電子検出器６の出力信号
である反射電子信号は増幅器８で適当に増幅された後、
割算器９に送られる。割算器９には、光源１１で発生し
た光を電圧に変換した電圧信号が光−電圧変換手段１９
から送られており、割算器９は、前記反射電子信号をそ
の電圧信号で割る処理を行い、その結果を制御装置１８
に送る。割算器９で、光源で発生した光の光量の変動に
よる信号が除去され、陰極線管２１の画面上には、光学
像とノイズのない良好な反射電子像が同時に表示され
る。
(57) [Object] To provide an electron beam apparatus capable of simultaneously displaying an optical image and a good reflected electron image without noise. When an electron beam is two-dimensionally scanned on a sample, reflected electrons are generated from the sample, and the reflected electrons are detected by a reflected electron detector. The backscattered electron signal, which is the output signal of the backscattered electron detector 6, is appropriately amplified by the amplifier 8, and
It is sent to the divider 9. A voltage signal obtained by converting the light generated by the light source 11 into a voltage is supplied to the divider 9 by a light-to-voltage converter 19.
The divider 9 performs a process of dividing the backscattered electron signal by the voltage signal, and outputs the result to the controller 18.
Send to The divider 9 removes a signal due to a change in the amount of light generated by the light source, and an optical image and a good reflected electron image without noise are simultaneously displayed on the screen of the cathode ray tube 21.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】 本発明は、電子プローブマ
イクロアナライザなどの電子線装置に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an electron beam apparatus such as an electron probe microanalyzer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】 電子プローブマイクロアナライザは、
試料に電子線を照射し、その電子線の照射により試料か
ら発生した特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ線に基づ
いて試料の定性及び定量分析を行う装置である。2. Description of the Related Art An electron probe microanalyzer is
The apparatus irradiates a sample with an electron beam, detects characteristic X-rays generated from the sample by the irradiation of the electron beam, and performs qualitative and quantitative analysis of the sample based on the detected characteristic X-ray.
【０００３】この電子プローブマイクロアナライザは、
試料の光学的な像を得る光学顕微鏡と、試料の組成分布
を示す反射電子像を得る構成を備えており、オペレータ
は、同じ視野像でもその様子が異なる光学像と反射電子
像からＸ線分析位置を指定している。[0003] This electron probe microanalyzer
An optical microscope that obtains an optical image of the sample and a configuration that obtains a backscattered electron image that shows the composition distribution of the sample are provided. The position is specified.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】 ところで、光学像と
反射電子像を同時に表示させれば、オペレータにとって
Ｘ線分析位置の指定は行いやすくなるが、実際には、反
射電子像を表示させる時には光学顕微鏡の光源の電源は
切られている。これは、反射電子検出器は反射電子の他
に光源で発生した光も検出してしまうため、光源で発生
した光の光量の変動がノイズとなって反射電子像に現れ
てしまうためである。本発明はこのような点に鑑みて成
されたもので、その目的は、光学像とノイズのない良好
な反射電子像を同時に表示させることができる電子線装
置を提供することにある。By displaying an optical image and a reflected electron image at the same time, it becomes easier for the operator to specify an X-ray analysis position. The light source of the microscope is turned off. This is because the backscattered electron detector also detects light generated by the light source in addition to the backscattered electrons, so that a change in the amount of light generated by the light source becomes noise and appears in the backscattered electron image. The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide an electron beam apparatus that can simultaneously display an optical image and a good reflected electron image without noise.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の電子線装置は、光源からの光を試料に照射して、
試料から反射した光に基づいて試料像を得る光学顕微鏡
を備え、電子線照射により試料から放出された信号を検
出手段で検出して試料像を表示するようにした電子線装
置において、前記検出手段の出力信号から、前記光源で
発生した光の光量の変動による信号を除去する信号処理
手段を備えたことを特徴とする。The electron beam apparatus of the present invention that achieves this object irradiates a sample with light from a light source,
An electron beam apparatus comprising: an optical microscope that obtains a sample image based on light reflected from the sample, wherein a signal emitted from the sample by electron beam irradiation is detected by a detection unit and a sample image is displayed. A signal processing means for removing a signal due to a change in the amount of light generated by the light source from the output signal.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【０００７】図１は、本発明の電子線装置の一例として
示した、電子プローブマイクロアナライザの概略図であ
る。FIG. 1 is a schematic view of an electron probe microanalyzer shown as an example of the electron beam apparatus of the present invention.
【０００８】図１において、１は電子銃であり、電子銃
１で発生した電子線は、集束レンズ２と対物レンズ３に
よって試料４上に集束される。５は、対物レンズ３の上
段に配置された偏向器である。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an electron gun, and an electron beam generated by the electron gun 1 is focused on a sample 4 by a focusing lens 2 and an objective lens 3. Reference numeral 5 denotes a deflector arranged on the upper stage of the objective lens 3.
【０００９】試料４に電子線が照射されると、試料４か
ら反射電子や特性Ｘ線などが発生するが、反射電子は試
料の直上に配置された反射電子検出器６で検出され、一
方、特性Ｘ線は反射電子検出器６の近くに配置された特
性Ｘ線検出装置７で検出される。反射電子検出器６の出
力信号は増幅器８で増幅され、増幅器８の出力信号は信
号処理手段である割算器９に送られる。When the sample 4 is irradiated with an electron beam, reflected electrons and characteristic X-rays are generated from the sample 4, and the reflected electrons are detected by a reflected electron detector 6 disposed immediately above the sample. The characteristic X-ray is detected by a characteristic X-ray detector 7 arranged near the backscattered electron detector 6. The output signal of the backscattered electron detector 6 is amplified by the amplifier 8, and the output signal of the amplifier 8 is sent to the divider 9 as signal processing means.
【００１０】１０は光学顕微鏡の対物レンズであり、対
物レンズ１０は、上述した電子線を集束させる対物レン
ズ３と反射電子検出器６の間に配置されている。この対
物レンズ１０は、光源１１で発生し、集光レンズ１２、
光源分岐用ミラー１３、ハーフミラー１４、反射鏡１５
を経た光を試料４上に集束する。試料４から反射した光
は、対物レンズ１０により結像され、反射鏡１５、ハー
フミラー１４、接眼レンズ１６を介してＴＶカメラ１７
の結像面に投影される。このＴＶカメラ１７によって得
られた信号は制御装置１８に送られる。なお、前記対物
レンズ１０と反射鏡１５は電子線の光路上に配置される
ため、それらには電子線通過用の開口が設けられてい
る。Reference numeral 10 denotes an objective lens of the optical microscope. The objective lens 10 is disposed between the objective lens 3 for focusing the above-mentioned electron beam and the backscattered electron detector 6. This objective lens 10 is generated by a light source 11,
Light source branching mirror 13, half mirror 14, reflecting mirror 15
Is focused on the sample 4. The light reflected from the sample 4 is formed into an image by the objective lens 10, and is transmitted to the TV camera 17 via the reflecting mirror 15, the half mirror 14, and the eyepiece 16.
Is projected on the image forming plane. The signal obtained by the TV camera 17 is sent to the control device 18. Since the objective lens 10 and the reflecting mirror 15 are arranged on the optical path of the electron beam, they are provided with openings for passing the electron beam.
【００１１】前記光源分岐用ミラー１３は、光源１１で
発生した光の一部を光−電圧変換手段１９に供給するも
のであり、光−電圧変換手段１９の出力信号は前記割算
器９に送られる。割算器９の出力信号は前記制御装置１
８に送られる。The light source branching mirror 13 supplies a part of the light generated by the light source 11 to the light-to-voltage converter 19, and outputs the output signal of the light-to-voltage converter 19 to the divider 9. Sent. The output signal of the divider 9 is
8
【００１２】２０は前記偏向器５を制御する偏向器制御
手段、２１は陰極線管であり、それらは前記制御装置１
８により制御される。２２は光源１１の電源である。Reference numeral 20 denotes a deflector control means for controlling the deflector 5, and 21 denotes a cathode ray tube.
8 is controlled. Reference numeral 22 denotes a power supply for the light source 11.
【００１３】以上、図１の構成について説明したが、以
下にこのような構成の動作を説明する。The configuration of FIG. 1 has been described above. The operation of such a configuration will be described below.
【００１４】まず、光学像の表示について説明すると、
光源１１の電源が入れられて光源１１で光が発生する
と、その光は、集光レンズ１２、光源分岐用ミラー１
３、ハーフミラー１４、反射鏡１５を経て対物レンズ１
０に入射し、対物レンズ１０により試料４上に集束され
る。この光が照射された部分の試料の形状は前記ＴＶカ
メラ１７の結像面に投影され、その像はＴＶカメラ１７
によって撮影される。そして、ＴＶカメラ１７で得られ
た信号は制御装置１８に送られ、陰極線管２１の画面上
に試料４の光学像が表示される。First, the display of an optical image will be described.
When the power of the light source 11 is turned on and light is generated by the light source 11, the light is transmitted to the condenser lens 12 and the light source branching mirror 1.
3. Objective lens 1 through half mirror 14 and reflecting mirror 15
0 and is focused on the sample 4 by the objective lens 10. The shape of the sample irradiated with the light is projected on the image forming surface of the TV camera 17, and the image is displayed on the TV camera 17.
Will be taken by Then, a signal obtained by the TV camera 17 is sent to the control device 18, and an optical image of the sample 4 is displayed on the screen of the cathode ray tube 21.
【００１５】次に、このようにして光学像を表示させた
状態で、試料の反射電子像を前記陰極線管２１に同時に
表示させる場合について説明する。Next, a case where the reflected electron image of the sample is simultaneously displayed on the cathode ray tube 21 while the optical image is displayed in this manner will be described.
【００１６】その場合、電子銃１で発生した電子線は集
束レンズによって試料４上に集束され、また、電子線は
偏向器５により２次元的に偏向される。この結果、試料
４は細く絞られた電子線で２次元的に走査され、試料４
から反射電子が発生する。この反射電子は反射電子検出
器６で検出され、反射電子検出器６の出力信号である反
射電子信号は増幅器８で増幅された後、割算器９に送ら
れる。In this case, the electron beam generated by the electron gun 1 is focused on the sample 4 by the focusing lens, and the electron beam is two-dimensionally deflected by the deflector 5. As a result, the sample 4 is two-dimensionally scanned with the narrowed electron beam,
From which reflected electrons are generated. The backscattered electrons are detected by the backscattered electron detector 6, and the backscattered electron signal, which is the output signal of the backscattered electron detector 6, is amplified by the amplifier 8 and then sent to the divider 9.
【００１７】割算器９には、光源１１で発生した光を電
圧に変換した電圧信号が光−電圧変換手段１９から送ら
れており、割算器９は、前記反射電子信号をその電圧信
号で割る処理を行い、その結果を制御装置１８に送る。A voltage signal obtained by converting the light generated by the light source 11 into a voltage is sent to the divider 9 from the light-to-voltage converter 19. The divider 9 converts the reflected electron signal into a voltage signal. Is performed, and the result is sent to the control device 18.
【００１８】さて、図２（ａ）は割算器９に入力される
前記電圧信号を示し、図２（ｂ）は割算器９に入力され
る前記反射電子信号を示し、そして図２（ｃ）は割算器
９の出力信号を示したものであり、それぞれ縦軸に強
度、横軸に時間をとって表示している。FIG. 2A shows the voltage signal input to the divider 9, FIG. 2B shows the reflected electron signal input to the divider 9, and FIG. c) shows the output signal of the divider 9, with the vertical axis representing the intensity and the horizontal axis representing the time.
【００１９】図２（ａ）における信号Ｐ1，Ｐ2は、光源
１１で発生した光の光量の変動によるものであり、図２
（ｂ）からわかるように、この変動が反射電子信号に信
号Ｐ 1’，Ｐ2’として現れている。しかしながら、割算
器９は、反射電子信号を電圧信号で割る処理を行うた
め、図２（ｃ）に示すように、その光量の変動による信
号Ｐ1’，Ｐ2’は割算器９で除去される。The signal P in FIG.1, PTwoIs the light source
11 is caused by the fluctuation in the amount of light generated in FIG.
As can be seen from (b), this fluctuation is reflected in the reflected electron signal.
No. P 1’, PTwo’. However, division
The unit 9 performs a process of dividing the reflected electron signal by the voltage signal.
Therefore, as shown in FIG.
No. P1’, PTwo'Is removed by the divider 9.
【００２０】このように、割算器９の出力には、光源で
発生した光の光量の変動による信号が含まれておらず、
前記制御装置１８の制御により、陰極線管２１の画面上
には、光学像とノイズのない良好な反射電子像が同時に
表示される。As described above, the output of the divider 9 does not include a signal due to a change in the amount of light generated by the light source.
Under the control of the controller 18, an optical image and a good reflected electron image without noise are simultaneously displayed on the screen of the cathode ray tube 21.
【００２１】なお、反射電子像と光学像を同時に表示さ
せる時には、反射電子検出器は光も検出しているので、
その出力強度は反射電子のみを検出する時、すなわち光
源の電源を切っている時よりも高いので、増幅器８の直
流オフセットレベルは光源の電源のオンオフに応じてオ
ンの時にオフの時よりも下げるように制御されるのが好
ましい。When a backscattered electron image and an optical image are displayed at the same time, the backscattered electron detector also detects light.
Since the output intensity is higher than when only backscattered electrons are detected, that is, when the power of the light source is turned off, the DC offset level of the amplifier 8 is reduced when the power is turned on and off when the power of the light source is turned on. Is preferably controlled as follows.
【００２２】また、上記例における反射電子検出器６の
代わりに２次電子検出器を設ければ、光学像と、光源で
発生した光の光量の変動の影響を受けない良好な２次電
子像を同時に表示させることができる。If a secondary electron detector is provided in place of the backscattered electron detector 6 in the above-described example, an optical image and a good secondary electron image which are not affected by fluctuations in the amount of light generated by the light source can be obtained. Can be displayed simultaneously.
【図１】 本発明の電子線装置の一例として示した、電
子プローブマイクロアナライザの概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an electron probe microanalyzer shown as an example of an electron beam apparatus of the present invention.
【図２】 割算器９への入力信号と、割算器９の出力信
号を説明するために示した図である。FIG. 2 is a diagram shown for explaining an input signal to a divider 9 and an output signal of the divider 9;
１…電子銃、２…集束レンズ、３…対物レンズ、４…試
料、５…偏向器、６…反射電子検出器、７…特性Ｘ線検
出装置、８…増幅器、９…割算器、１０…対物レンズ、
１１…光源、１２…集光レンズ、１３…光源分岐用ミラ
ー、１４…ハーフミラー、１５…反射鏡、１６…接眼レ
ンズ、１７…ＴＶカメラ、１８…制御装置、１９…光−
電圧変換手段、２０…偏向器制御手段、２１…陰極線
管、２２…電源DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electron gun, 2 ... Focusing lens, 3 ... Objective lens, 4 ... Sample, 5 ... Deflector, 6 ... Backscattered electron detector, 7 ... Characteristic X-ray detector, 8 ... Amplifier, 9 ... Divider, 10 … Objective lens,
11: light source, 12: condenser lens, 13: light source branching mirror, 14: half mirror, 15: reflecting mirror, 16: eyepiece, 17: TV camera, 18: control device, 19: light
Voltage conversion means, 20: deflector control means, 21: cathode ray tube, 22: power supply
Claims (2)
ら反射した光に基づいて試料像を得る光学顕微鏡を備
え、電子線照射により試料から放出された信号を検出手
段で検出して試料像を表示するようにした電子線装置に
おいて、前記検出手段の出力信号から、前記光源で発生
した光の光量の変動による信号を除去する信号処理手段
を備えたことを特徴とする電子線装置。An optical microscope for irradiating a sample with light from a light source to obtain a sample image based on light reflected from the sample, and detecting a signal emitted from the sample by electron beam irradiation with a detecting means. An electron beam apparatus for displaying a sample image, comprising: a signal processing unit for removing a signal due to a change in the amount of light generated by the light source from an output signal of the detection unit. .
と、光源で発生した光の信号の比を求めることを特徴と
する請求項１記載の電子線装置。2. The electron beam apparatus according to claim 1, wherein the signal processing means obtains a ratio between an output signal of the detection means and a signal of light generated by the light source.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11030807A JP2000228165A (en) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | Electron beam device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11030807A JP2000228165A (en) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | Electron beam device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000228165A true JP2000228165A (en) | 2000-08-15 |
Family
ID=12313970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11030807A Pending JP2000228165A (en) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | Electron beam device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000228165A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011108042A1 (en) * | 2010-03-05 | 2011-09-09 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | Method for displaying superimposed electron microscope image and optical image |
| JP2012015010A (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Topcon Corp | Electron beam device and observation method therefor |
-
1999
- 1999-02-09 JP JP11030807A patent/JP2000228165A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011108042A1 (en) * | 2010-03-05 | 2011-09-09 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | Method for displaying superimposed electron microscope image and optical image |
| JP2011187192A (en) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | Method of displaying electron microscope image and optical image by putting one on top of the other |
| JP2012015010A (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Topcon Corp | Electron beam device and observation method therefor |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060425 |