JP2000117399A - Production of amorphous soft magnetic alloy strip and producing apparatus of amorphous soft magnetic alloy strip and amorphous soft magnetic alloy strip and amorphous soft magnetic alloy member - Google Patents
Production of amorphous soft magnetic alloy strip and producing apparatus of amorphous soft magnetic alloy strip and amorphous soft magnetic alloy strip and amorphous soft magnetic alloy memberInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ヘッド
やトランスの部材として用いられる非晶質軟磁性合金薄
帯を連続的に製造するための方法、および製造装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for continuously producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon used as a member of a magnetic head or a transformer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】非晶質相を有する軟磁性合金の薄帯(リ
ボン)を連続的に製造する装置として、図１５に示す冷
却ロール５８を高速で回転させつつその頂部に近接配置
したノズル６０から母合金の溶湯６２を冷却ロール５８
に向けて噴出することによって、溶湯６２を冷却ロール
５８の冷却面で急速冷却して固化させつつ帯状となし
て、冷却ロール５８の回転方向に引き出すようにしたも
のがある。2. Description of the Related Art As an apparatus for continuously producing a thin ribbon (ribbon) of a soft magnetic alloy having an amorphous phase, a nozzle 60 arranged close to the top of a cooling roll 58 shown in FIG. From the mother alloy 62 to the cooling roll 58
In some cases, the molten metal 62 is rapidly cooled on the cooling surface of the cooling roll 58 to be solidified into a belt shape by being ejected toward the cooling roll 58 and drawn out in the rotation direction of the cooling roll 58.
【０００３】図１５に示す装置においては、冷却ロール
５８の表面が鏡面仕上とされ、また、ノズル６０が冷却
ロール５８の頂部においてほぼ鉛直となるように設定可
能とされている。そして、ノズル６０から噴出された溶
湯６２は、ノズル６０の先端と冷却ロール５８の表面と
の間に溜まり(パドル)６４を形成し、冷却ロール５８の
回転に伴ってその溜まり６４から溶湯６２が引き出され
つつ冷却ロール５８の冷却面上で冷却されて帯状となっ
て固化し、非晶質軟磁性合金薄帯６６が連続的に形成さ
れる。[0005] In the apparatus shown in FIG. 15, the surface of the cooling roll 58 is mirror-finished, and the nozzle 60 can be set so as to be substantially vertical at the top of the cooling roll 58. Then, the molten metal 62 ejected from the nozzle 60 forms a pool (paddle) 64 between the tip of the nozzle 60 and the surface of the cooling roll 58, and the molten metal 62 from the pool 64 with the rotation of the cooling roll 58. While being pulled out, it is cooled on the cooling surface of the cooling roll 58 to be formed into a band and solidified, and the amorphous soft magnetic alloy thin ribbon 66 is continuously formed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッ
ド、トランス 、チョークコイル等に用いられる軟磁性
合金は、一般的に、飽和磁束密度が高いこと、透磁率が
高いこと、低保磁力であることなどの諸特性が求められ
ている。また、磁気ヘッドに対しては、これらの諸特性
に加えて耐摩耗性の観点から硬度が高いことが要求され
ている。従って、軟磁性合金あるいは磁気ヘッドを製造
する場合、これらの観点から種々の合金系において材料
研究がなされている。By the way, soft magnetic alloys used for magnetic heads, transformers, choke coils and the like generally have high saturation magnetic flux density, high magnetic permeability, and low coercive force. Various characteristics such as are required. Further, in addition to these characteristics, the magnetic head is required to have high hardness from the viewpoint of wear resistance. Therefore, when manufacturing a soft magnetic alloy or a magnetic head, material research is being conducted on various alloy systems from these viewpoints.
【０００５】このような背景から、前記の要求を満たす
軟磁性合金として、Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金が開発
されている。このＦｅ基軟磁性金属ガラス合金の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とするもの
であった。 Ａｌ：１ 〜１０％ Ｇａ：０．５〜４％ Ｐ ：９ 〜１５％ Ｃ ：５ 〜７％ Ｂ ：２ 〜１０％ Ｆｅ：残部[0005] From such a background, an Fe-based soft magnetic metallic glass alloy has been developed as a soft magnetic alloy satisfying the above requirements. One of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloys was characterized by having a composition represented by the following formula. Al: 1 to 10% Ga: 0.5 to 4% P: 9 to 15% C: 5 to 7% B: 2 to 10% Fe: The balance
【０００６】また、Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金の他の
１つは、次式で示される組成からなることを特徴とする
ものであった。 Ａｌ：１ 〜１０％ Ｇａ：０．５〜４％ Ｐ ：９ 〜１５％ Ｃ ：５ 〜７％ Ｂ ：２ 〜１０％ Ｓｉ：０ 〜１５％ Ｆｅ：残部Another one of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloys is characterized by having a composition represented by the following formula. Al: 1 to 10% Ga: 0.5 to 4% P: 9 to 15% C: 5 to 7% B: 2 to 10% Si: 0 to 15% Fe: balance
【０００７】ところで、磁気ヘッド、トランス 、チョ
ークコイル等に用いる上記のＦｅ基軟磁性金属ガラス合
金を、図１５に示す製造装置を用いて製造すると、厚さ
がおよそ２５μｍ以下の薄帯として得られる。この薄帯
を用いて、積層コアなどの磁気部材を製造すると、薄帯
の厚さが薄いために薄帯の積層または捲回等の積層工程
の工数が多くなって、磁気部材の製造コストが高くなる
という課題があった。また、薄帯が薄いために積層コア
等の磁気部材が変形しやすいという課題もあった。更
に、薄帯同士の間には必ず隙間が生じるので、積層コア
の占積率が低下して積層コアの小型化が困難になるとい
う課題もあった。また、薄帯の幅が広いと、積層コア等
の磁気部材の設計の自由度が大きくなるが、従来の製造
方法では厚い幅広の薄帯を得ることが困難であった。When the above-mentioned Fe-based soft magnetic metallic glass alloy used for a magnetic head, a transformer, a choke coil and the like is manufactured by using a manufacturing apparatus shown in FIG. 15, a thin strip having a thickness of about 25 μm or less can be obtained. . When a magnetic member such as a laminated core is manufactured using this ribbon, the man-hour for laminating or laminating the ribbon is increased because the thickness of the ribbon is thin, and the manufacturing cost of the magnetic member is increased. There was a problem of becoming high. There is also a problem that the magnetic member such as a laminated core is easily deformed due to the thin ribbon. Furthermore, since a gap always occurs between the thin strips, there is a problem that the space factor of the laminated core is reduced and it is difficult to reduce the size of the laminated core. Also, when the width of the ribbon is large, the degree of freedom in designing the magnetic member such as the laminated core is increased, but it is difficult to obtain a thick and wide ribbon by the conventional manufacturing method.
【０００８】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、製造コストが低く、変形すること
がなく、占積率が高い磁気部材を得るために、厚みが厚
く、幅が広い非晶質軟磁性合金薄帯を製造するための製
造方法、製造装置、それらの製造方法により製造された
非晶質軟磁性合金薄帯および非晶質軟磁性合金部材を提
供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. In order to obtain a magnetic member having low manufacturing cost, no deformation, and a high space factor, it is necessary to increase the thickness and width of the magnetic member. Manufacturing method for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a large width, a manufacturing apparatus, and an amorphous soft magnetic alloy ribbon and an amorphous soft magnetic alloy member manufactured by the manufacturing method. Aim.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の非晶質
軟磁性合金薄帯の製造方法は、回転駆動される冷却ロー
ルの冷却面に向けてノズルから合金の溶湯を噴出して前
記溶湯を冷却し、帯状の非晶質軟磁性合金薄帯を製造す
る際に、前記ノズルの吹出し口の形状を略矩形とし、前
記冷却ロールの回転接線方向に平行な該吹出し口の吹出
し幅を、０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とし、前記
ノズルと前記冷却ロールの間隔を、０．２ｍｍ以上かつ
０．８ｍｍ以下とし、前記冷却ロールの周速を、３ｍ／
ｓ以上かつ６０ｍ／ｓ以下とし、前記冷却ロールへの溶
湯の噴出を０．２ｋｇ／ｃｍ2以上かつ３．０ｋｇ／ｃ
ｍ2以下の射出圧で行なうこと特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention employs the following constitution. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention is characterized in that the molten alloy is jetted from a nozzle toward a cooling surface of a cooling roll that is driven to rotate, thereby cooling the molten metal. When producing an alloy ribbon, the shape of the outlet of the nozzle is substantially rectangular, and the outlet width of the outlet parallel to the rotational tangential direction of the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less, The interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less, and the peripheral speed of the cooling roll is 3 m /
s and 60 m / s or less, and the injection of the molten metal to the cooling roll is 0.2 kg / cm 2 or more and 3.0 kg / c.
The injection pressure is not more than m 2 .
【００１０】ノズルの吹出し口の形状を矩形状とし、吹
出し幅、ノズルと冷却ロールの間隔、冷却ロールの周速
及び溶湯の射出圧を上述のごとく設定することにより、
従来は得ることが極めて困難であった厚さが４０μｍ以
上の非晶質軟磁性合金薄帯が得られる。吹出し口の幅が
小さすぎると溶湯が詰まるおそれがあり、吹出し幅が大
きすぎると溶湯の供給量が過剰になって冷却ロールの回
転方向の反対方向に溶湯が溢れてしまうおそれがある。
従って、吹出し幅は０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下
とすることが好ましく、０．３ｍｍ以上かつ０．５ｍｍ
以下とすれば、厚さが４０μｍ以上で幅が１０ｍｍ以上
の非晶質軟磁性合金薄帯を安定して製造できるのでより
好ましい。また、ノズルと冷却ロールの間隔が小さすぎ
ると溶湯を円滑に冷却ロールに噴出できなくなり、間隔
が大きすぎると溶湯が冷却ロールに達する前に不連続な
液滴となり、長尺の薄帯が得られなくなる。従って、ノ
ズルと冷却ロールの間隔を、０．２ｍｍ以上かつ０．８
ｍｍ以下とするのが好ましく、０．３ｍｍ以上かつ０．
５ｍｍ以下とするとより好ましい。更に、冷却ロールの
周速が小さすぎると、薄帯の引き出される速度が低下し
て溶湯によるノズルの詰まりが生じるおそれがあり、周
速が大きすぎると幅広の薄帯が得られなくなる。従っ
て、冷却ロールの周速を３ｍ／ｓ以上かつ６０ｍ／ｓ以
下とした。また、周速を６ｍ／ｓ以上かつ２５ｍ／ｓ以
下とすれば、厚さが４０μｍ以上で幅が１０ｍｍ以上の
非晶質軟磁性合金薄帯を安定して製造できるのでより好
ましい。更にまた、溶湯の射出圧が低すぎると、溶湯の
供給量が充分でなく薄帯の厚さが薄くなるおそれがあ
り、射出圧が高すぎると厚さの厚い薄帯が得られるが、
溶湯の供給量が過剰になって冷却ロールの回転方向の反
対方向に溶湯が溢れてしまうおそれがある。従って、溶
湯の射出圧を０．２ｋｇ／ｃｍ2以上かつ３．０ｋｇ／
ｃｍ2以下とした。また、射出圧を０．３ｋｇ／ｃｍ2以
上かつ２．５ｋｇ／ｃｍ2以下とすれば、厚さが４０μ
ｍ以上で幅が１０ｍｍ以上の非晶質軟磁性合金薄帯を安
定して製造できるのでより好ましい。By making the shape of the nozzle outlet rectangular, and setting the outlet width, the interval between the nozzle and the cooling roll, the peripheral speed of the cooling roll and the injection pressure of the molten metal as described above,
An amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more, which was extremely difficult to obtain conventionally, can be obtained. If the width of the outlet is too small, the molten metal may be clogged. If the width of the outlet is too large, the supply amount of the molten metal may be excessive and the molten metal may overflow in the direction opposite to the rotation direction of the cooling roll.
Therefore, the blowing width is preferably 0.2 mm or more and 0.8 mm or less, and 0.3 mm or more and 0.5 mm
It is more preferable that the thickness is set to the following value, since an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more can be stably manufactured. Also, if the distance between the nozzle and the cooling roll is too small, the molten metal cannot be smoothly ejected to the cooling roll, and if the distance is too large, the molten metal becomes discontinuous droplets before reaching the cooling roll, and a long ribbon is obtained. Can not be. Therefore, the interval between the nozzle and the cooling roll should be 0.2 mm or more and 0.8 mm or more.
mm or less, preferably 0.3 mm or more and 0.1 mm or less.
More preferably, it is 5 mm or less. Further, if the peripheral speed of the cooling roll is too low, the speed at which the ribbon is pulled out may decrease, and the nozzle may be clogged by the molten metal. If the peripheral speed is too high, a wide ribbon cannot be obtained. Therefore, the peripheral speed of the cooling roll was set to 3 m / s or more and 60 m / s or less. A peripheral speed of 6 m / s or more and 25 m / s or less is more preferable because an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more can be stably manufactured. Furthermore, if the injection pressure of the molten metal is too low, the supply amount of the molten metal may not be sufficient, and the thickness of the ribbon may be reduced.If the injection pressure is too high, a thin ribbon having a large thickness is obtained.
There is a possibility that the supply amount of the molten metal becomes excessive and the molten metal overflows in a direction opposite to the rotation direction of the cooling roll. Therefore, the injection pressure of the molten metal is set to 0.2 kg / cm 2 or more and 3.0 kg / cm 2 or more.
cm 2 or less. Further, if the injection pressure 0.3 kg / cm 2 or more and 2.5 kg / cm 2 or less and, thickness 40μ
This is more preferable because an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a width of at least m and a width of at least 10 mm can be stably manufactured.
【００１１】また、本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製
造方法においては、前記冷却ロールへの溶湯の噴出を密
閉空間内で行なうことが好ましい。更に、前記冷却ロー
ルへの溶湯の噴出を減圧雰囲気中にて行なうことが好ま
しい。更にまた、前記冷却ロールへの溶湯の噴出を不活
性ガス雰囲気中または窒素ガス雰囲気中で行なうことが
好ましく、前記不活性ガスがアルゴンガスであるとより
好ましい。溶湯の噴出を上記の条件で行うことにより、
冷却ロール及びノズル近傍への酸素の混入が防がれて、
薄帯の酸化を防ぐことが可能になる。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, it is preferable that the molten metal is jetted to the cooling roll in a closed space. Further, it is preferable that the jetting of the molten metal to the cooling roll is performed in a reduced pressure atmosphere. Further, it is preferable that the molten metal is jetted to the cooling roll in an inert gas atmosphere or a nitrogen gas atmosphere, and it is more preferable that the inert gas is an argon gas. By performing the jet of molten metal under the above conditions,
Mixing of oxygen into the vicinity of the cooling roll and nozzle is prevented,
It is possible to prevent oxidation of the ribbon.
【００１２】また、本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製
造方法においては、得られた軟磁性合金薄帯を、合金の
結晶化温度以下の温度で熱処理することが好ましい。結
晶化温度以下の温度で熱処理することにより、結晶質相
が析出することがなく、また薄帯の内部応力を除去して
非晶質軟磁性合金薄帯の軟磁気特性を向上することが可
能となる。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the obtained soft magnetic alloy ribbon is preferably heat-treated at a temperature lower than the crystallization temperature of the alloy. By heat treatment at a temperature below the crystallization temperature, no crystalline phase is precipitated, and the internal stress of the ribbon can be removed to improve the soft magnetic properties of the amorphous soft magnetic alloy ribbon. Becomes
【００１３】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法
において、前記非晶質軟磁性合金薄帯は、ΔＴx＝Ｔx−
Ｔg（ただしＴxは結晶化開始温度、Ｔgはガラス遷移温
度を示す。）の式で表される過冷却液体の温度間隔ΔＴ
xが３５Ｋ以上であり、比抵抗が１．５μΩｍ以上のＦ
ｅ基軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴とする。
また、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金が、Ｆｅ以外
の他の金属元素と半金属元素とを含有してなることを特
徴とする。更に、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金が、
Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｇｅのうちの少なくとも１種以上の半金属
元素を含有してなることを特徴とする。更にまた、前記
Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金が、Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｇｅのう
ちの少なくとも１種以上の半金属元素とＳｉとを含有し
てなることを特徴とする。また、前記Ｆｅ基軟磁性金属
ガラス合金が他の金属元素として、周期律表ＩＩＩＢ族
およびＩＶＢ族元素の内の少なくとも一種以上を合むこ
とを特徴とする。更に、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合
金が他の金属元素として、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｎのう
ちの少なくとも一種以上を含むことを特徴とする。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the amorphous soft magnetic alloy ribbon is ΔT x = T x −
Tg (where Tx represents the crystallization onset temperature and Tg represents the glass transition temperature).
x is 35K or more and the specific resistance is 1.5 μΩm or more.
It is made of an e-based soft magnetic metallic glass alloy.
Further, the invention is characterized in that the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy contains a metal element other than Fe and a metalloid element. Further, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy,
It is characterized by containing at least one or more metalloid elements of P, C, B and Ge. Further, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is characterized in that it contains at least one or more metalloid elements of P, C, B and Ge and Si. Further, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is characterized in that at least one of Group IIIB and IVB elements of the periodic table is combined as another metal element. Further, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy contains at least one of Al, Ga, In, and Sn as another metal element.
【００１４】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法
においては、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金の組成
が、原子％で、Ａｌ：１〜１０％、Ｇａ：０．５〜４
％、Ｐ：９〜１５％、Ｃ：５〜７％、Ｂ：２〜１０％、
Ｆｅ：残部であることを特徴とする。また、本発明の非
晶質軟磁性合金薄帯の製造方法においては、前記Ｆｅ基
軟磁性金属ガラス合金の組成が、原子％で、Ａｌ：１〜
１０％、Ｇａ：０．５〜４％、Ｐ：９〜１５％、Ｃ：５
〜７％、Ｂ：２〜１０％、Ｓｉ：０〜１５％、Ｆｅ：残
部であることを特徴とする。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the composition of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is as follows: Al: 1-10%, Ga: 0.5-4.
%, P: 9 to 15%, C: 5 to 7%, B: 2 to 10%,
Fe: characterized by the balance. Further, in the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the composition of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is expressed as atomic%, and Al: 1 to 1.
10%, Ga: 0.5 to 4%, P: 9 to 15%, C: 5
-7%, B: 2-10%, Si: 0-15%, Fe: balance.
【００１５】また、本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製
造方法においては、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金
が、０〜４原子％のＧｅを含有することを特徴とする。
更に、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金が、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｚｒ、Ｃｒの少なくとも１種以上
の元素を７原子％以下含有することを特徴とする。更に
また、前記Ｆｅ基軟磁性金属ガラス合金が、ｌ０原子％
以下のＮｉと３０原子％以下のＣｏの少なくとも一方ま
たは両方を含むことを特徴とする。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy contains 0 to 4 atomic% of Ge.
Further, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy comprises Nb, M
It is characterized by containing at least one element of o, Hf, Ta, W, Zr, Cr at 7 atom% or less. Furthermore, the above-mentioned Fe-based soft magnetic metallic glass alloy contains 10 atomic%.
And at least one or both of the following Ni and 30 atomic% or less of Co.
【００１６】上記のＦｅ基軟磁性金属ガラス合金は、過
冷却液体の温度間隔ΔＴxが３５Ｋ以上であるので、比
較的厚さの厚い非晶質軟磁性合金薄帯を製造することが
可能になる。また、比抵抗が１．５μΩｍ以上であるの
で、高周波での渦電流損失が少なく、高周波損失が小さ
い積層コア等の非晶質軟磁性合金部材を製造することが
可能となる。また、Ｓｉを含有させることにより、過冷
却液体の温度間隔ΔＴxが大きくなり、非晶質単相組織
となる臨界板厚が増大して、より厚さの厚い薄帯が得ら
れる。Since the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid of the above-mentioned Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is 35 K or more, it is possible to produce an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a relatively large thickness. Become. Further, since the specific resistance is 1.5 μΩm or more, it is possible to produce an amorphous soft magnetic alloy member such as a laminated core having a small eddy current loss at a high frequency and a small high frequency loss. In addition, by containing Si, the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid is increased, the critical plate thickness for forming an amorphous single-phase structure is increased, and a thicker ribbon is obtained.
【００１７】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製造装置
は、回転駆動される冷却ロールと、該冷却ロールの冷却
面に先端を臨ませて近接配置され、合金の溶湯を前記冷
却面に向けて噴出するノズルとを具備してなり、前記ノ
ズルの吹出し口の形状が略矩形とされ、前記冷却ロール
の回転接線方向に平行な吹出し幅が０．２ｍｍ以上０．
８ｍｍ以下とされ、前記ノズルと前記冷却ロールの間隔
が０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とされることを特
徴とする。上記の製造装置によれば、非晶質相組織から
なる厚みが４０μｍ以上の非晶質軟磁性合金薄帯を得る
ことが可能になる。また、前記ノズルと前記冷却ロール
が、真空排気可能なチャンバ内に収納されていると、得
られる薄帯の酸化を防止することが可能となるので好ま
しい。The apparatus for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention is provided with a cooling roll that is driven to rotate, and disposed close to the cooling surface of the cooling roll with its front end facing the cooling roll. And a blowout port of the nozzle is formed to have a substantially rectangular shape, and a blowout width of the cooling roll parallel to a rotational tangential direction is 0.2 mm or more.
8 mm or less, and the interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less. According to the above manufacturing apparatus, it is possible to obtain an amorphous soft magnetic alloy ribbon having an amorphous phase structure and a thickness of 40 μm or more. In addition, it is preferable that the nozzle and the cooling roll are housed in a chamber capable of evacuating, since oxidation of the obtained ribbon can be prevented.
【００１８】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯は、上記の
製造方法により製造され、厚さが４０μｍ以上のもので
ある。また、本発明の非晶質軟磁性合金部材は、上記の
軟磁性合金薄帯が巻回または積層されてなることを特徴
とするものである。軟磁性合金薄帯の厚さが厚いので、
非晶質軟磁性合金部材の占積率が高くなり、部材の小型
化が可能になる。また、部材の透磁率を高めることも可
能となる。The amorphous soft magnetic alloy ribbon of the present invention is manufactured by the above-mentioned manufacturing method and has a thickness of 40 μm or more. Further, an amorphous soft magnetic alloy member of the present invention is characterized in that the above-described soft magnetic alloy ribbon is wound or laminated. Since the thickness of the soft magnetic alloy ribbon is large,
The space factor of the amorphous soft magnetic alloy member is increased, and the member can be reduced in size. In addition, it is possible to increase the magnetic permeability of the member.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１には、本発明の非晶質軟磁性
合金薄帯の製造装置を示す。この製造装置は、チャンバ
１０の内部に冷却ロール１１とるつぼ１２とが収納され
て概略構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an apparatus for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention. This manufacturing apparatus is schematically configured such that a cooling roll 11 and a crucible 12 are housed inside a chamber 10.
【００２０】チャンバ１０は、冷却ロール１１とるつぼ
１２を収納する箱状の本体部１３と、この本体部１３に
接合された箱状の収納部１４とを具備して構成されてい
る。本体部１３と収納部１４は、それぞれフランジ部１
３a,１４aを介してボルト接合されていて、本体部１３
と収納部１４との接合部分が気密構造とされている。ま
た、チャンバ１０の本体部１３には、真空排気装置１５
ａに接続された排気管１５が接続されている。また、チ
ャンバ１０の天井部にはＡrガスなどのガス供給源３１
が接続管３２を介して接続され、接続管３２には圧力調
節弁３３が組み込まれ、チャンバ１０の内部にＡrガ
ス、窒素ガス等を導入できるようになっている。The chamber 10 includes a box-shaped main body 13 for accommodating the cooling roll 11 and the crucible 12 and a box-shaped storage section 14 joined to the main body 13. The main body part 13 and the storage part 14 are respectively
3a, 14a, and the main body 13
The joint between the housing and the storage section 14 has an airtight structure. The main body 13 of the chamber 10 includes a vacuum exhaust device 15.
The exhaust pipe 15 connected to a is connected. A gas supply source 31 such as Ar gas is provided on the ceiling of the chamber 10.
Are connected via a connection pipe 32, and a pressure control valve 33 is incorporated in the connection pipe 32 so that Ar gas, nitrogen gas, or the like can be introduced into the chamber 10.
【００２１】冷却ロール１１は、チャンバ１０の側壁を
貫通する回転軸１１ａにより回転自在に支持されてお
り、チャンバ１０の外部に設けられた図示略のモータに
よって冷却ロール１１が回転駆動されるようになってい
る。回転軸１１aがチャンバ１０の側壁を貫通する部分
は磁気シールが施されて気密構造とされている。The cooling roll 11 is rotatably supported by a rotating shaft 11a penetrating the side wall of the chamber 10. The cooling roll 11 is rotatably driven by a motor (not shown) provided outside the chamber 10. Has become. The portion where the rotating shaft 11a penetrates the side wall of the chamber 10 is magnetically sealed to have an airtight structure.
【００２２】るつぼ１２の下端部にはノズル１７が設け
られ、るつぼ１２の下部には加熱コイル１８'が設けら
れ、るつぼ１２の内部にはＦｅ基軟磁性金属ガラス合金
の溶湯３０が収納されている。また、るつぼ１２は、供
給管１６を介してＡrガスなどのガス供給源１８に接続
されるとともに、供給管１６には、圧力調節弁１９と電
磁弁２０とが組み込まれ、圧力調節弁１９と電磁弁２０
との間には圧力計２１が組み込まれている。また、供給
管１６には補助管２３が並列して接続され、補助管２３
には圧力調整弁２４と流量調整弁２５と流量計２６が組
み込まれている。従って、ガス供給源１８からるつぼ１
２内にＡrなどのガスを供給して、ノズル１７から冷却
ロール１１に向けて溶湯を噴出できるようになってい
る。A nozzle 17 is provided at the lower end of the crucible 12, a heating coil 18 'is provided below the crucible 12, and a molten metal 30 of an Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is accommodated inside the crucible 12. I have. In addition, the crucible 12 is connected to a gas supply source 18 such as Ar gas via a supply pipe 16, and the supply pipe 16 incorporates a pressure control valve 19 and an electromagnetic valve 20. Solenoid valve 20
A pressure gauge 21 is built in between them. An auxiliary pipe 23 is connected to the supply pipe 16 in parallel.
A pressure regulating valve 24, a flow regulating valve 25, and a flow meter 26 are incorporated in the apparatus. Therefore, the crucible 1
A gas such as Ar is supplied into the inside 2 so that the molten metal can be ejected from the nozzle 17 toward the cooling roll 11.
【００２３】本発明に係るＦｅ基軟磁性金属ガラス合金
は、ΔＴx＝Ｔx−Ｔg（ただしＴxは結晶化開始温度、Ｔ
gはガラス遷移温度を示す。）の式で表される過冷却液
体の温度間隔ΔＴxが３５Ｋ以上であり、比抵抗が１．
５μΩｍ以上のものであって、Ｆｅを主として含み、更
に、Ｆｅ以外の他の金属元素と半金属元素とを含有して
なるものである。このＦｅ基軟磁性金属ガラス合金は、
組成によっては過冷却液体の温度間隔ΔＴxが４０〜６
０Ｋ以上という顕著な温度間隔を示すので、冷却速度が
比較的遅くても非晶質組織が形成され、比較的厚さの厚
い薄帯を製造することが可能となる。In the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy according to the present invention, ΔT x = T x −T g (where T x is the crystallization start temperature, T x
g indicates a glass transition temperature. ), The temperature interval ΔT x of the supercooled liquid is 35K or more, and the specific resistance is 1.
5 μΩm or more, mainly containing Fe, and further containing a metal element other than Fe and a metalloid element. This Fe-based soft magnetic metallic glass alloy
Depending on the composition, the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid is 40 to 6
Since a remarkable temperature interval of 0K or more is exhibited, an amorphous structure is formed even if the cooling rate is relatively slow, so that a relatively thick ribbon can be manufactured.
【００２４】図２は、図１に示す製造装置の冷却ロール
１１とノズル１７の近傍の拡大図である。薄帯の製造時
には、冷却ロール１１を回転させつつ、その頂部に近接
配置したノズル１７から溶湯３０を吹き付けることによ
って、溶湯３０を冷却ロール１１の冷却面で急速冷却し
て固化させつつ冷却ロール１１の回転方向に帯状となし
て薄帯５０を引き出す。FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the cooling roll 11 and the nozzle 17 of the manufacturing apparatus shown in FIG. During the production of the ribbon, the molten metal 30 is sprayed from a nozzle 17 disposed close to the top while rotating the cooling roller 11, whereby the molten metal 30 is rapidly cooled and solidified on the cooling surface of the cooling roller 11. The ribbon 50 is drawn out in a belt shape in the rotation direction of FIG.
【００２５】図３にはノズル１７の拡大側面図を示し、
図４にはノズル１７の拡大底面図を示す。図４に示すよ
うに、ノズル１７の吹出し口３４の形状は、第１線分３
６、３６と第２線分３８、３８からなる略矩形とされて
いる。さらに、この吹出し口３４の第１線分３６が、回
転する冷却ロール１１の回転接線方向ｐと平行になるよ
うに、ノズル１７と冷却ロール１１が配置され、第１線
分３６の長さが吹出し幅ｗとされる。本発明において
は、この吹出し口３４の第１成分３６の長さ（吹出し
幅）が０.２ｍｍ以上かつ０.８ｍｍ以下の範囲とされ
る。吹出し幅が前記の範囲であれば、厚さが３０μｍ以
上の非晶質軟磁性合金薄帯を得ることが可能となる。ま
た、吹出し幅を０．３ｍｍ以上かつ０．５ｍｍ以下とす
れば、厚さが４０μｍ以上かつ幅が１０ｍｍ以上の非晶
質軟磁性合金薄帯を安定して製造することが可能にな
る。吹出し口の幅が０．２ｍｍ未満であると溶湯がノズ
ル１７に詰まるおそれがあり、０．８ｍｍを越えると溶
湯の供給量が過剰になって冷却ロール１１の回転方向の
反対方向に溶湯が溢れてしまうおそれがあるので好まし
くない。FIG. 3 is an enlarged side view of the nozzle 17.
FIG. 4 shows an enlarged bottom view of the nozzle 17. As shown in FIG. 4, the shape of the outlet 34 of the nozzle 17 is the first line segment 3
6 and 36 and the second line segments 38 and 38 are substantially rectangular. Further, the nozzle 17 and the cooling roll 11 are arranged so that the first line segment 36 of the outlet 34 is parallel to the rotational tangent direction p of the rotating cooling roll 11, and the length of the first line segment 36 is reduced. The blowing width is set to w. In the present invention, the length (blowout width) of the first component 36 of the blowout port 34 is in the range of 0.2 mm or more and 0.8 mm or less. When the blowing width is in the above range, it is possible to obtain an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 30 μm or more. When the blowing width is 0.3 mm or more and 0.5 mm or less, it is possible to stably produce an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more. If the width of the outlet is less than 0.2 mm, the molten metal may be clogged in the nozzle 17. If the width exceeds 0.8 mm, the supply amount of the molten metal becomes excessive and the molten metal overflows in the direction opposite to the rotation direction of the cooling roll 11. It is not preferable because there is a possibility that it may occur.
【００２６】また、ノズルの吹出し口３４と冷却ロール
１１の間隔ｄは、０.２ｍｍ以上かつ０.８ｍｍ以下とさ
れ、より好ましくは０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下とさ
れる。間隔ｄをこの範囲内とし、他の条件を調整するこ
とにより、厚さが４０μm以上の薄帯が得られる。間隔
ｄが０．２ｍｍ未満であると溶湯３０を円滑に冷却ロー
ル１１に噴出できなくなってノズル１７が破裂するおそ
れがあり、間隔ｄが０．８ｍｍを越えると溶湯３０が冷
却ロール１１に達する前に不連続な液滴となって、長尺
の薄帯が得られなくなるおそれがあるので好ましくな
い。The distance d between the nozzle outlet 34 and the cooling roll 11 is in the range from 0.2 mm to 0.8 mm, preferably from 0.3 mm to 0.5 mm. By setting the interval d within this range and adjusting other conditions, a ribbon having a thickness of 40 μm or more can be obtained. If the distance d is less than 0.2 mm, the molten metal 30 cannot be smoothly ejected to the cooling roll 11 and the nozzle 17 may be ruptured. If the distance d exceeds 0.8 mm, the molten metal 30 may not reach the cooling roll 11. In this case, the liquid droplets may be discontinuous, and a long ribbon may not be obtained.
【００２７】また、冷却ロール１１の周速は３ｍ／ｓ以
上かつ６０ｍ／ｓ以下とすることが好ましく、６ｍ／ｓ
以上かつ２５ｍ／ｓ以下とすることがより好ましい。冷
却ロール１１の周速が３ｍ／ｓ未満であると薄帯の引き
出される速度が低下して溶湯の円滑な噴出が妨げられ、
溶湯によるノズルの詰まりが生じるおそれがあり、周速
が６０ｍ／ｓを越えると薄帯の厚さが薄くなると共に、
薄帯に折れや切断が生じるので好ましくない。特に、冷
却ロール１１の周速が６ｍ／ｓ以上かつ２５ｍ／ｓ以下
であれば、厚さが４０μｍ以上かつ幅が１０ｍｍ以上の
非晶質軟磁性合金薄帯を安定して製造することが可能に
なる。The peripheral speed of the cooling roll 11 is preferably not less than 3 m / s and not more than 60 m / s.
More preferably, it is set to not less than 25 m / s. When the peripheral speed of the cooling roll 11 is less than 3 m / s, the speed at which the ribbon is drawn out is reduced, and smooth ejection of the molten metal is hindered.
The nozzle may be clogged by the molten metal. When the peripheral speed exceeds 60 m / s, the thickness of the ribbon becomes thinner,
It is not preferable because the ribbon is broken or cut. In particular, if the peripheral speed of the cooling roll 11 is 6 m / s or more and 25 m / s or less, it is possible to stably produce an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more. become.
【００２８】また、冷却ロール１１への溶湯の射出圧
は、０．２ｋｇ／ｃｍ2以上かつ３．０ｋｇ／ｃｍ2以下
とすることが好ましく、０．３ｋｇ／ｃｍ2以上かつ
２．５ｋｇ／ｃｍ2以下とすることがより好ましい。溶
湯３０の射出圧が０．２ｋｇ／ｃｍ2未満であると、溶
湯３０の供給量が充分でなく薄帯の厚さが薄くなってし
まうおそれがあり、射出圧が３．０ｋｇ／ｃｍ2を越え
ると厚さの厚い薄帯が得られるが、溶湯３０の供給量が
過剰になって冷却ロール１１の回転方向の反対方向に溶
湯３０が溢れてしまうおそれがあるので好ましくない。Further, the injection pressure of the molten metal to the cooling roll 11 is preferably in a 0.2 kg / cm 2 or more and 3.0 kg / cm 2 or less, 0.3 kg / cm 2 or more and 2.5 kg / cm More preferably, it is set to 2 or less. When the injection pressure of the molten metal 30 is less than 0.2 kg / cm 2, there is a possibility that the thickness of the thin strip is not sufficient supply amount of the molten metal 30 becomes thin, the injection pressure of the 3.0 kg / cm 2 If it exceeds, a thin ribbon having a large thickness is obtained, but it is not preferable because the supply amount of the molten metal 30 becomes excessive and the molten metal 30 may overflow in a direction opposite to the rotation direction of the cooling roll 11.
【００２９】即ち、本発明において厚さが４０μｍ以上
で幅が１０ｍｍ以上の非晶質軟磁性合金薄帯を製造する
には、上記ノズルの吹出し口の吹出し幅と、ノズルと冷
却ロールの間隔と、冷却ロールの周速と、溶湯の冷却ロ
ールへの射出圧との相関関係を留意しつつ、それぞれの
設定が行なわれる。That is, in order to produce an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more in the present invention, the blowing width of the blowing port of the nozzle, the distance between the nozzle and the cooling roll, Each setting is performed while keeping in mind the correlation between the peripheral speed of the cooling roll and the injection pressure of the molten metal to the cooling roll.
【００３０】尚、吹出し口３４の長さｊ（第２線分３８
の長さ）は、製造する薄帯の幅に応じて適宜設定される
が、１０ｍｍ以上とすれば、幅広の非晶質軟磁性合金薄
帯が得られる。また、ノズル１７の先端であって、吹出
し口３４の設けられていないところをリップ幅Ｓとし、
リップ幅Ｓは吹出し幅ｗの３倍程度に設定される。The length j of the outlet 34 (the second line segment 38)
Is set appropriately according to the width of the ribbon to be manufactured, but if it is 10 mm or more, a wide amorphous soft magnetic alloy ribbon can be obtained. Also, the tip of the nozzle 17 where the outlet 34 is not provided is defined as a lip width S,
The lip width S is set to be about three times the blowing width w.
【００３１】また、冷却ロール１１の少なくとも表面
は、炭素鋼たとえばＪＩＳ規格におけるＳ４５Ｃなどの
Ｆe基合金または、真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）、あるいは
純Ｃｕで構成することが好ましい。冷却ロール１１の少
なくとも表面が熱伝導性の高い真鍮あるいはＣｕである
と、冷却ロール１１の放熱性が良好になって冷却ロール
１１の冷却効果が高くなり、溶湯の急冷に適する。さら
には、真鍮あるいはＣｕが比較的軟質であって加工（研
磨）性に富むので、冷却面の粗さを溶湯のぬれ性が最適
になるように調整することが容易になり、冷却ロール１
１からの薄帯の分離が円滑になって、厚さの均一な薄帯
が得られやすくなる。また、冷却ロール１１の冷却面が
Ｆe基合金であると、冷却面が比較的硬くなって、真鍮
やＣｕの場合よりも加工性は劣るが、安価で且つ耐久性
が向上する。It is preferable that at least the surface of the cooling roll 11 is made of carbon steel, for example, a Fe-based alloy such as S45C in JIS standard, brass (Cu-Zn alloy), or pure Cu. When at least the surface of the cooling roll 11 is made of brass or Cu having high thermal conductivity, the heat dissipation of the cooling roll 11 is improved, and the cooling effect of the cooling roll 11 is enhanced, which is suitable for rapidly cooling the molten metal. Furthermore, since brass or Cu is relatively soft and has good workability (polishing), it is easy to adjust the roughness of the cooling surface so that the wettability of the molten metal is optimized, and the cooling roll 1
Separation of the ribbon from 1 becomes smooth, and a ribbon having a uniform thickness is easily obtained. Further, when the cooling surface of the cooling roll 11 is made of a Fe-based alloy, the cooling surface is relatively hard and is inferior in workability as compared with the case of brass or Cu, but is inexpensive and has improved durability.
【００３２】また、冷却ロール１１の表面は、砥粒ナン
バー２４０〜２０００番、好ましくは２０００番の研摩
紙により研摩して得られる粗さに相当する粗さとするこ
とが望ましい。従来一般の、冷却ロールの表面が鏡面仕
上げとされている製造装置により作製された薄帯は、そ
の自由凝固面の長さ方向に波状の凹凸が観察される。こ
の凹凸は、溜まりから薄帯が引き出される際に冷却ロー
ル上で微小な滑りが生じて発生したものと考えられる。
一方、冷却ロールに接触しつつ凝固するロール接触面に
ついては、自由凝固面に見られる凹凸も若干観察される
が、基本的には冷却ロール表面の凹凸がそのまま転写さ
れるために、自由凝固面より表面粗さが小さなものとな
る。そこで、冷却ロールの表面を鏡面より粗く仕上げる
ことによって薄帯とロール表面との間の摩擦を大きく
し、これにより薄帯の冷却ロールに対する滑りが防止さ
れて自由凝固面における凹凸の発生が防止され、自由凝
固面の表面粗さを改善することができる。また、冷却ロ
ール接触面の表面粗さは冷却ロール表面の粗さに依存す
るため、冷却ロール表面粗さを最適に設定することによ
り、双方の表面粗さを均等になしえる。この結果、例え
ば磁気ヘッド用などとして好適な非晶質軟磁性合金薄帯
が得られる。また、冷却ロールは、冷却効率を高めるた
めに内部を空洞とし、内部に水などの冷却媒体を注入し
てもよい。It is desirable that the surface of the cooling roll 11 has a roughness corresponding to the roughness obtained by polishing with abrasive paper having an abrasive number of 240 to 2000, preferably 2000. Conventionally, a ribbon produced by a manufacturing apparatus in which a cooling roll has a mirror-finished surface has wavy irregularities observed in the length direction of its free solidified surface. This unevenness is considered to be caused by minute slippage on the cooling roll when the ribbon is pulled out from the pool.
On the other hand, with respect to the roll contact surface which solidifies while being in contact with the cooling roll, some irregularities seen on the free solidifying surface are also observed. The surface roughness becomes smaller. Therefore, the friction between the ribbon and the roll surface is increased by finishing the surface of the cooling roll rougher than the mirror surface, thereby preventing the ribbon from slipping on the cooling roll and preventing the occurrence of irregularities on the free solidified surface. The surface roughness of the free solidified surface can be improved. Further, since the surface roughness of the cooling roll contact surface depends on the roughness of the cooling roll surface, both surface roughnesses can be made uniform by setting the cooling roll surface roughness optimally. As a result, for example, an amorphous soft magnetic alloy ribbon suitable for a magnetic head or the like can be obtained. Further, the cooling roll may have a hollow inside in order to enhance cooling efficiency, and a cooling medium such as water may be injected into the inside.
【００３３】上述の製造装置を用いて非晶質軟磁性合金
薄帯を製造するには、まずチャンバ１０の内部を真空排
気するとともに、このチャンバ１０内にガス供給源３１
からＡrガス、窒素ガス等のガスを導入する。また、ガ
ス供給源１８からＡrガスをるつぼ１２の内部に圧送
し、溶湯３０をノズル１７から噴出させるとともに、図
１に示す矢印Ａ方向に冷却ロール１１を回転させると、
溶湯３０が冷却ロール１１の頂部に溜まり４０を形成し
つつ冷却ロール１１の冷却面に沿って押し出され、薄帯
５０が得られる。この薄帯５０は非晶質相を主体とする
組織からなるものである。In order to manufacture an amorphous soft magnetic alloy ribbon using the above-described manufacturing apparatus, first, the inside of the chamber 10 is evacuated to a vacuum and a gas supply source 31 is provided in the chamber 10.
A gas such as an Ar gas or a nitrogen gas is introduced. In addition, when Ar gas is pressure-fed from the gas supply source 18 into the crucible 12, the molten metal 30 is ejected from the nozzle 17, and the cooling roll 11 is rotated in the direction of arrow A shown in FIG.
The molten metal 30 is accumulated at the top of the cooling roll 11 and is extruded along the cooling surface of the cooling roll 11 while forming a layer 40, so that a ribbon 50 is obtained. The ribbon 50 has a structure mainly composed of an amorphous phase.
【００３４】るつぼ１２から溶湯３０を冷却ロール１１
に連続的に噴出して薄帯５０を連続製造すると、図１に
示すように、冷却ロール１１から引き出された薄帯５０
が、チャンバ１０の収納部１４に収納される。この薄帯
５０はまだ予熱状態で温度が高いので、この段階で酸素
に触れると酸化するおそれがあるが、チャンバ１０の内
部がＡrガス、窒素ガス等の雰囲気とされているので、
チャンバ１０の内部で薄帯が酸化することがない。The molten metal 30 is transferred from the crucible 12 to the cooling roll 11
When the ribbon 50 is continuously manufactured by continuously ejecting the ribbon 50, as shown in FIG.
Is stored in the storage section 14 of the chamber 10. Since the ribbon 50 is still in a preheated state and has a high temperature, it may be oxidized when exposed to oxygen at this stage. However, since the inside of the chamber 10 is an atmosphere of Ar gas, nitrogen gas, or the like,
The ribbon is not oxidized inside the chamber 10.
【００３５】薄帯５０の連続製造が終了して薄帯５０の
温度が室温近くまで下がったならば、チャンバ１０の本
体部１３と収納部１４とを分離して薄帯５０を取り出
す。When the continuous production of the ribbon 50 has been completed and the temperature of the ribbon 50 has dropped to near room temperature, the main body 13 and the storage section 14 of the chamber 10 are separated and the ribbon 50 is taken out.
【００３６】このように得られた薄帯５０に対し、Ｆｅ
基軟磁性金属ガラス合金の結晶化温度以下（例えば、３
００〜５００℃）の温度に加熱して徐冷する熱処理を行
えば、結晶質相が析出することがなく薄帯の内部応力が
緩和されて、非晶質軟磁性合金薄帯の軟磁気特性が向上
する。The ribbon 50 thus obtained is fed with Fe
Below the crystallization temperature of the base soft magnetic metallic glass alloy (for example, 3
(500 ° C. to 500 ° C.), the internal stress of the ribbon is relaxed without precipitation of the crystalline phase, and the soft magnetic properties of the amorphous soft magnetic alloy ribbon are reduced. Is improved.
【００３７】尚、上記の製造方法において、冷却ロール
への溶湯の吹付けは、Ａｒガス雰囲気中で行なっている
が、大気減圧雰囲気中で行なってもよく、さらには不活
性ガス減圧雰囲気中または窒素ガス減圧雰囲気中で行な
うことがより好ましい。不活性ガスとしては、上記した
Ａｒガスの他に、例えばＮｅガス、Ｈｅガスなどが挙げ
られる。また、減圧の程度は、チャンバ内をより希薄に
することが、薄帯中に不純物の混入を防げて良いが、上
記ノズルからの射出圧は、この減圧レベルを考慮して設
定しなければならなくなる。また、不活性ガスをノズル
１７の吹き出し口３４付近にフローしても良い。In the above manufacturing method, the molten metal is sprayed on the cooling roll in an Ar gas atmosphere. However, the blowing may be performed in an atmospheric reduced pressure atmosphere. More preferably, it is performed in a nitrogen gas reduced pressure atmosphere. Examples of the inert gas include, for example, Ne gas and He gas in addition to the above-described Ar gas. The degree of pressure reduction may be made thinner in the chamber to prevent impurities from being mixed into the ribbon, but the injection pressure from the nozzle must be set in consideration of this pressure reduction level. Disappears. Further, the inert gas may flow near the outlet 34 of the nozzle 17.
【００３８】本発明の製造方法により、厚さが従来得る
ことの極めて困難であった厚い合金薄帯、特に４０μm
以上の厚さの非晶質軟磁性合金薄帯を得ることが可能に
なると共に、非晶質軟磁性合金薄帯の幅を１０ｍｍ以上
とすることが可能となる。こうした厚さの厚く、幅広の
非晶質軟磁性合金薄帯は、たとえば、巻回したり、また
積層することにより、占積率の高い非晶質軟磁性合金部
材とされて、磁気ヘッドやトランス等の各種磁気製品に
用いることができ、しかも、特に占積率が高いために磁
気ヘッドやトランスのコアの実質的な飽和磁束密度を向
上させることができるため、磁気製品の小型化を一層推
進することができる。また、薄帯の幅が従来の薄帯より
も広い非晶質軟磁性合金薄帯が得られるので、非晶質軟
磁性合金部材の設計の自由度が高くすることが可能にな
る。According to the manufacturing method of the present invention, a thick alloy ribbon, particularly 40 μm thick, whose thickness has been extremely difficult to obtain conventionally.
The amorphous soft magnetic alloy ribbon having the above thickness can be obtained, and the width of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be 10 mm or more. Such a thick and wide amorphous soft magnetic alloy ribbon is wound or laminated, for example, to form an amorphous soft magnetic alloy member having a high space factor, and the magnetic head or transformer is formed. And other magnetic products, and in particular, the high space factor can increase the substantial saturation magnetic flux density of the magnetic head and transformer cores, further promoting the miniaturization of magnetic products. can do. In addition, since an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a wider width than the conventional ribbon can be obtained, the degree of freedom in designing the amorphous soft magnetic alloy member can be increased.
【００３９】図５は本発明に係る非晶質軟磁性合金部材
である積層磁心を示すもので、この積層磁心４２は、上
述の製造方法で得られた非晶質軟磁性合金薄帯４４を絶
縁膜４６を層間に挟むようにして巻回して積層すること
により構成される。非晶質軟磁性合金薄帯４４の層間に
介在させる絶縁層４６は、用途によっては使用しなくて
も良いものであるが、高電圧駆動時の層間における絶縁
破壊を防止し、また、渦電流損失を小さくして発熱を抑
えるなどの目的で設けられるもので、樹脂系皮膜や樹脂
テープ、無機質系材料皮膜や無機質材料製テープあるい
は水ガラス中にアルミナやマグネシア、窒化ほう素、珪
砂、石英などの無機質系粒子を分散させたもの、あるい
は、これらの無機質系粒子を樹脂テープにコーティング
したり、コーティング後に必要に応じて焼き付けたたも
のなどが適宜用いられる。絶縁層４６を構成する樹脂材
料として、アルキド樹脂を有機溶剤に溶解した溶剤型ワ
ニステープ、スチレンモノマと不飽和ポリエステル樹脂
からなる無溶剤型ワニスのテープ、アクリル系樹脂、ポ
リエステル系樹脂、エポキシエステル系樹脂などを例示
することができる。FIG. 5 shows a laminated magnetic core which is an amorphous soft magnetic alloy member according to the present invention. The laminated magnetic core 42 is made of the amorphous soft magnetic alloy ribbon 44 obtained by the above-described manufacturing method. It is configured by winding and laminating the insulating film 46 so as to sandwich it between layers. The insulating layer 46 interposed between the layers of the amorphous soft magnetic alloy ribbon 44 may not be used depending on the application. However, the insulating layer 46 prevents dielectric breakdown between layers during high voltage driving, It is provided for the purpose of reducing loss and suppressing heat generation.Alumina, magnesia, boron nitride, silica sand, quartz, etc. in resin-based film or resin tape, inorganic material film or inorganic material tape or water glass What disperse | distributed the inorganic type particle | grains of these, or what coated these inorganic type particle | grains on the resin tape, and baked as needed after coating, etc. are used suitably. As a resin material constituting the insulating layer 46, a solvent-type varnish tape obtained by dissolving an alkyd resin in an organic solvent, a non-solvent-type varnish tape composed of styrene monomer and an unsaturated polyester resin, an acrylic resin, a polyester resin, and an epoxy ester resin Resin and the like can be exemplified.
【００４０】絶縁層４６を非晶質軟磁性合金薄帯４４に
被覆するには、例えば非晶質軟磁性合金薄帯４４の表面
に、電気泳動法で無機質粒子を付着させる方法、あるい
は、溶射により被覆する方法、スパッタや真空蒸着によ
り無機質層を被覆する方法などを適宜用いることができ
る。また、珪砂、石英などを単独であるいは混合して樹
脂中に注入して絶縁層４６を製造することもできる。In order to cover the insulating layer 46 with the amorphous soft magnetic alloy ribbon 44, for example, a method of attaching inorganic particles to the surface of the amorphous soft magnetic alloy ribbon 44 by electrophoresis or thermal spraying , A method of coating the inorganic layer by sputtering or vacuum deposition, or the like can be used as appropriate. Alternatively, the insulating layer 46 can be manufactured by injecting silica sand, quartz, or the like alone or as a mixture into a resin.
【００４１】図６は非晶質軟磁性合金部材である積層磁
心の他の例を示すもので、この積層磁心４８は、本発明
の非晶質軟磁性合金薄帯を打ち抜いて得られたリング５
１を複数用意し、これらリング５１・・・の間に絶縁層５
２を介在させて積層することにより構成される。リング
５１を構成する非晶質軟磁性合金薄帯は、図５の積層磁
心４２の非晶質軟磁性合金薄帯４４と同等のものを用い
ることができ、絶縁層５２を構成する材料も先に説明し
た積層磁心４２の絶縁層４６と同等のものを用いること
ができる。FIG. 6 shows another example of a laminated magnetic core which is an amorphous soft magnetic alloy member. The laminated magnetic core 48 is a ring obtained by punching the amorphous soft magnetic alloy ribbon of the present invention. 5
1 are prepared, and an insulating layer 5 is provided between the rings 51.
2 are laminated. The amorphous soft magnetic alloy ribbon forming the ring 51 may be the same as the amorphous soft magnetic alloy ribbon 44 of the laminated magnetic core 42 in FIG. 5, and the material forming the insulating layer 52 may be the same. A material equivalent to the insulating layer 46 of the laminated magnetic core 42 described above can be used.
【００４２】図７、８は、本発明に係る非晶質軟磁性合
金薄帯を用いてなるトランスを示すもので、このトラン
ス５４は、Ｅ字状の鉄心５５、５５を互いに対向配置し
て組み合わせ、組み合わせ部分にコイル５７を設けて構
成されている。鉄心５５、５５は、非晶質軟磁性合金薄
帯をＥ字状に打ち抜いて得た薄板５５Ａが積層されてな
るもので、Ｉ型の基部５５ａとその両端側に形成された
脚部５５ｂと基部５５ａの中央側に形成された突起部５
５ｃとからなる。鉄心５５、５５は、脚部５５ｂ同士と
突起部５５ｃ同士を重ね合わせ、鉄心５５、５５間に接
着層５６を介在させて接合し、突起部５５ｃ同士の重ね
合わせ部分にコイル５７を巻回して構成される。なお、
薄板５５Ａ…は、必要に応じて絶縁層あるいは絶縁被覆
により互いに絶縁されて積層されても良く、また、鉄心
５５、５５間の接着層５６に間欠的に空隙部分を設けて
も良い。FIGS. 7 and 8 show a transformer using the amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention. The transformer 54 has E-shaped iron cores 55 and 55 arranged opposite to each other. The combination is provided by providing a coil 57 at the combination portion. The iron cores 55, 55 are formed by laminating thin plates 55A obtained by punching an amorphous soft magnetic alloy ribbon into an E-shape, and include an I-shaped base 55a and legs 55b formed at both ends thereof. Projection 5 formed on the center side of base 55a
5c. The iron cores 55, 55 are formed by overlapping the legs 55b with the protrusions 55c, joining the iron cores 55, 55 with an adhesive layer 56 interposed therebetween, and winding the coil 57 around the overlapped portion of the protrusions 55c. Be composed. In addition,
The thin plates 55A may be laminated by being insulated from each other by an insulating layer or an insulating coating if necessary, or a gap may be provided intermittently in the adhesive layer 56 between the iron cores 55, 55.
【００４３】このトランス５４は、優れた軟磁気特性を
示す非晶質軟磁性合金薄帯からなる薄板５５、５５が積
層されて構成されているので、優れた軟磁気特性と低い
コアロスを示し、トランスの小型軽量化に寄与する。ま
た、Ｅ字状の鉄心５５、５５を上下に積層配置すること
により磁心を構成しているので、Ｅ字状とＩ字状の鉄心
薄板を１枚ずつ交互に組み合わせる構成のトランスより
も組立工数が減り、製造が容易になるとともに、鉄心５
５、５５の間に絶縁層５６または空隙部分を設けている
ので、直流重畳時の鉄心の透磁率の減少が防止される。Since the transformer 54 is formed by laminating the thin plates 55 and 55 made of an amorphous soft magnetic alloy ribbon exhibiting excellent soft magnetic characteristics, it exhibits excellent soft magnetic characteristics and low core loss. Contributes to downsizing and weight reduction of transformers. Further, since the magnetic core is constituted by arranging the E-shaped iron cores 55, 55 one above the other, the number of assembly steps is shorter than that of a transformer having a configuration in which E-shaped and I-shaped iron thin plates are alternately combined one by one. Is reduced, manufacturing becomes easier, and iron core 5
Since the insulating layer 56 or the gap portion is provided between 5, 5 and 55, a decrease in the magnetic permeability of the iron core at the time of direct current superposition is prevented.
【００４４】次に、本発明に係るＦｅ基軟磁性金属ガラ
ス合金について説明する。従来からＦｅ系の合金とし
て、Ｆｅ-Ｐ-Ｃ系、Ｆｅ-Ｐ-Ｂ系、Ｆｅ-Ｎｉ-Ｓｉ-Ｂ
系等の組成のものがガラス遷移を起こすものとして知ら
れているが、これらの合金の過冷却液体の温度間隔ΔＴ
xはいずれも２５Ｋ以下と極めて小さく、実際的に金属
ガラス合金として構成することはできない。これに対し
て本発明に係るＦｅ基軟磁性金属ガラス合金は、上述の
ように、温度間隔ΔＴxが３５Ｋ以上、組成によっては
４０〜５０Ｋ以上という顕著な温度間隔を有し、これま
での知見から知られるＦｅ基合金からは全く予期されな
いものである。しかも、軟磁性についても室温で優れた
特性を有する本発明に係るＦｅ基軟磁性金属ガラス合金
は、これまでの知見に見られない全く新規なものであ
る。Next, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy according to the present invention will be described. Conventionally, Fe-based alloys such as Fe-PC-based, Fe-P-B-based, and Fe-Ni-Si-B
It is known that the composition of the system or the like causes a glass transition.
Each of x is extremely small at 25 K or less, and cannot be actually constituted as a metallic glass alloy. On the other hand, as described above, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy according to the present invention has a remarkable temperature interval of ΔT x of 35K or more and 40 to 50K or more depending on the composition as described above. Is completely unexpected from the Fe-based alloys known from U.S. Pat. In addition, the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy according to the present invention, which has excellent soft magnetic properties at room temperature, is a completely novel one not seen in the prior knowledge.
【００４５】このＦｅ基軟磁性金属ガラス合金の組成
は、Ｆｅを主成分とし、Ｆｅ以外の他の金属と半金属と
を含有したものとして示すことができる。このうち他の
金属とは、周期律表のＩＩＡ族、ＩＩＩＡ族及びＩＩＩ
Ｂ族、ＩＶＡ族及びＩＶＢ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族、ＶＩ
ＩＡ族のうちから選択できるものであるが、中でも、Ｉ
ＩＩＢ族、ＩＶＢ族の金属元素が好適なものとして示さ
れる。例えば、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｎである。また、
本発明に係るＦｅ基軟磁性金属ガラス合金に対し、Ｔ
ｉ、Ｈｆ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃ
ｏ、Ｔａ、Ｗ、Ｚｒの中から選択される１種以上の金属
元素を配合することができる。更に、半金属元素として
は、例えば、Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｇｅ、Ｓｉを例示できる。よ
り具体的に例示すると、本発明では、その組成が原子％
で、Ａｌ：１〜１０％、Ｇａ：０.５〜４％、Ｐ：９〜
１５％、Ｃ：５〜７％、Ｂ：２〜１０％、Ｆｅ：残部で
あって、不可避不純物が含有されていても良いＦｅ基金
属ガラス合金である。The composition of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy can be shown as containing Fe as a main component and containing a metal other than Fe and a metalloid. Of these, other metals are groups IIA, IIIA and III of the periodic table.
Groups B, IVA and IVB, VA, VIA, VI
It can be selected from the IA family,
Group IIB and IVB metal elements are shown as being preferred. For example, Al, Ga, In, and Sn. Also,
For the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy according to the present invention, T
i, Hf, Cu, Mn, Nb, Mo, Cr, Ni, C
One or more metal elements selected from o, Ta, W, and Zr can be blended. Further, examples of the metalloid element include P, C, B, Ge, and Si. More specifically, in the present invention, the composition is represented by atomic%.
Al: 1 to 10%, Ga: 0.5 to 4%, P: 9 to
Fe-based metallic glass alloy containing 15%, C: 5 to 7%, B: 2 to 10%, and Fe: balance, which may contain unavoidable impurities.
【００４６】また、Ｓｉを加えることにより、過冷却液
体の温度間隔ΔＴxを向上させ、非晶質単相となる臨界
板厚を増大させることができる。その結果、室温で優れ
た軟磁気特性を有する非晶質軟磁性合金薄帯の厚さをさ
らに厚くすることが可能となる。Ｓｉの含有量は多すぎ
ると過冷却液体領域ΔＴxが消滅するので、１５％以下
が好ましい。より具体的に例示すると、本発明のＦｅ基
金属ガラス合金は、その組成が原子％で、Ａｌ：１〜１
０％、Ｇａ：０.５〜４％、Ｐ：９〜１５％、Ｃ：５〜
７％、Ｂ：２〜１０％、Ｓｉ：０〜１５％、Ｆｅ：残部
であって、不可避不純物が含有されていても良い。Further, by adding Si, the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid can be improved, and the critical plate thickness that becomes an amorphous single phase can be increased. As a result, it becomes possible to further increase the thickness of the amorphous soft magnetic alloy ribbon having excellent soft magnetic properties at room temperature. If the content of Si is too large, the supercooled liquid region ΔT x disappears. More specifically, the Fe-based metallic glass alloy of the present invention has an atomic percentage of Al: 1-1: 1.
0%, Ga: 0.5 to 4%, P: 9 to 15%, C: 5 to 5%
7%, B: 2 to 10%, Si: 0 to 15%, Fe: balance, and may contain unavoidable impurities.
【００４７】なお、前記の組成において、更にＧｅを０
〜４％、好ましくは０.５〜４％の範囲で含有していて
も良い。また、前記組成において、更に、Ｎｂ、Ｍｏ、
Ｃｒ、Ｈｆ、Ｗ、Ｚｒの少なくとも１種を７％以下含有
していても良く、更に、Ｎｉ１０％以下、Ｃｏ３０％以
下を含んでいても良い。これらのいずれの場合の組成に
おいても、本発明においては、過冷却液体の温度間隔Δ
Ｔxは、３５Ｋ以上、組成によっては４０〜５０Ｋ以上
が得られる。In the above composition, Ge was further reduced to 0.
To 4%, preferably 0.5 to 4%. In the above composition, Nb, Mo,
At least one of Cr, Hf, W, and Zr may be contained at 7% or less, and may further contain 10% or less of Ni and 30% or less of Co. In any of these compositions, in the present invention, the temperature interval Δ
T x is more than 35K, more 40~50K is obtained depending on the composition.
【００４８】上述の組成のＦｅ基軟磁性金属ガラス合金
は、室温において磁性を有し、また、熱処理により、よ
り良好な磁性を示す。このため、優れたSoft magnetic
特性（軟磁気特性）を有し、各種の磁気部品の材料とし
て有用なものとなる。The Fe-based soft magnetic metallic glass alloy having the above composition has magnetism at room temperature, and shows better magnetism by heat treatment. For this reason, excellent Soft magnetic
It has properties (soft magnetic properties) and is useful as a material for various magnetic components.
【００４９】上述の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法
は、回転駆動される冷却ロールの冷却面に向けてノズル
から合金の溶湯を噴出して前記溶湯を冷却し、帯状の非
晶質軟磁性合金薄帯を製造する際に、前記ノズルの吹出
し口の形状を略矩形とし、前記冷却ロールの回転接線方
向に平行な該吹出し口の吹出し幅を、０．２ｍｍ以上か
つ０．８ｍｍ以下とし、前記ノズルと前記冷却ロールの
間隔を、０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とし、前記
冷却ロールの周速を、３ｍ／ｓ以上かつ６０ｍ／ｓ以下
とし、前記冷却ロールへの溶湯の噴出を０．２ｋｇ／ｃ
ｍ2以上かつ３．０ｋｇ／ｃｍ2以下の射出圧で行なうの
で、厚さが４０μｍ以上、かつ幅が１０ｍｍ以上の非晶
質軟磁性合金薄帯を安定して製造することができる。In the above-mentioned method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon, the molten alloy is jetted from a nozzle toward a cooling surface of a cooling roll driven to rotate, thereby cooling the molten alloy. When producing a soft magnetic alloy ribbon, the shape of the outlet of the nozzle is substantially rectangular, and the outlet width of the outlet parallel to the rotational tangent direction of the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less. The interval between the nozzle and the cooling roll is set to 0.2 mm or more and 0.8 mm or less, the peripheral speed of the cooling roll is set to 3 m / s or more and 60 m / s or less, and the molten metal is ejected to the cooling roll. 0.2 kg / c
Since the injection is performed at an injection pressure of m 2 or more and 3.0 kg / cm 2 or less, an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more can be stably manufactured.
【００５０】また、上述の非晶質軟磁性合金薄帯の製造
方法は、前記冷却ロールへの溶湯の噴出を密閉空間内で
行なうと共に、減圧雰囲気または不活性ガス雰囲気とし
て前記冷却ロールへの溶湯の噴出を行なうので、冷却ロ
ール及びノズル近傍への酸素の混入が防がれて、薄帯の
酸化を防止できる。Further, in the above-mentioned method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon, the molten metal is injected into the cooling roll in a closed space, and the molten metal is injected into the cooling roll as a reduced pressure atmosphere or an inert gas atmosphere. , The mixing of oxygen into the vicinity of the cooling roll and the nozzle is prevented, and oxidation of the ribbon can be prevented.
【００５１】上述の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法に
おいては、得られた非晶質軟磁性合金薄帯を、合金の結
晶化温度以下の温度で熱処理するので、薄帯の組織中に
結晶質相が析出することがなく、また薄帯の内部応力が
緩和されて非晶質軟磁性合金薄帯の軟磁気特性を向上で
きる。In the above-mentioned method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon, the obtained amorphous soft magnetic alloy ribbon is heat-treated at a temperature lower than the crystallization temperature of the alloy. No crystalline phase is precipitated, and the internal stress of the ribbon is relaxed, so that the soft magnetic properties of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be improved.
【００５２】上述の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法に
おいては、非晶質軟磁性合金薄帯が、過冷却液体の温度
間隔ΔＴxが３５Ｋ以上であり、比抵抗が１．５μΩｍ
以上であるＦｅ基軟磁性金属ガラス合金からなるので、
比較的厚さの厚い非晶質軟磁性合金薄帯を製造すること
ができると共に、非晶質軟磁性合金薄帯の軟磁気特性を
向上することができる。また、比抵抗が１．５μΩｍ以
上であるので、高周波での渦電流損失が少なく、高周波
損失が小さい積層コア等の部材を製造することができ
る。In the above-described method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon, the amorphous soft magnetic alloy ribbon has a temperature interval ΔT x of the supercooled liquid of 35 K or more and a specific resistance of 1.5 μΩm
Since it is composed of the above-mentioned Fe-based soft magnetic metallic glass alloy,
An amorphous soft magnetic alloy ribbon having a relatively large thickness can be manufactured, and the soft magnetic characteristics of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be improved. Further, since the specific resistance is 1.5 μΩm or more, it is possible to manufacture a member such as a laminated core having a small eddy current loss at a high frequency and a small high frequency loss.
【００５３】上述の非晶質軟磁性合金薄帯の製造装置
は、回転駆動される冷却ロールと、該冷却ロールの冷却
面に向けて合金の溶湯を噴出するノズルとを具備してな
り、前記ノズルの吹出し口の形状が略矩形とされ、前記
冷却ロールの回転接線方向に平行な吹出し幅が０．２ｍ
ｍ以上０．８ｍｍ以下とされ、前記ノズルと前記冷却ロ
ールの間隔が０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とされ
ているので、非晶質相組織からなる厚みが４０μｍ以上
の非晶質軟磁性合金薄帯を安定して製造できる。また、
前記ノズルと前記冷却ロールとが、真空排気可能なチャ
ンバ内に収納されているので、非晶質軟磁性合金薄帯の
酸化を防止することができる。The above-described apparatus for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon includes a cooling roll driven to rotate, and a nozzle for jetting a molten alloy toward a cooling surface of the cooling roll. The outlet of the nozzle has a substantially rectangular shape, and the outlet width of the cooling roll parallel to the tangential direction of rotation is 0.2 m.
m or more and 0.8 mm or less, and the interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less. Alloy ribbons can be manufactured stably. Also,
Since the nozzle and the cooling roll are housed in a chamber that can be evacuated, oxidation of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be prevented.
【００５４】上述の非晶質軟磁性合金薄帯は、厚さが４
０μｍ以上であるので、この非晶質軟磁性合金薄帯を積
層すれば、占積率の高い積層コア等の磁気部品を得るこ
とができる。また、上述の非晶質軟磁性合金部材は、上
記の厚さの厚い非晶質軟磁性合金薄帯が巻回または積層
されてなるので、占積率が向上して非晶質軟磁性合金部
材の飽和磁束密度、透磁率を高めることができる。The above amorphous soft magnetic alloy ribbon has a thickness of 4
Since the thickness is 0 μm or more, a magnetic component such as a laminated core having a high space factor can be obtained by laminating the amorphous soft magnetic alloy ribbons. Further, since the above-mentioned amorphous soft magnetic alloy member is formed by winding or laminating the above-mentioned thick amorphous soft magnetic alloy ribbon, the space factor is improved and the amorphous soft magnetic alloy The saturation magnetic flux density and the magnetic permeability of the member can be increased.
【００５５】[0055]
【実施例】（実験例１）Ｆｅ、Ａｌ及びＧａと、Ｆｅ-
Ｃ合金、Ｆｅ-Ｐ合金及びＢを原料としてそれぞれ所定
量秤量し、減圧Ａｒ雰囲気下においてこれらの原料を高
周波誘導加熱装置で溶解し、原子組成比がＦｅ70Ａｌ5
Ｇａ2Ｐ9.65Ｃ5.75Ｂ4.6Ｓｉ3のインゴットを作製し
た。このインゴットを図１に示す非晶質軟磁性合金薄帯
の製造装置のるつぼ内に入れて溶解して溶湯とし、この
溶湯をるつぼのノズルから回転している冷却ロールに向
けて噴出させて非晶質軟磁性合金薄帯を製造した。溶湯
の射出圧を、０．２、０．７、１．２、１．８ｋｇｆ／
ｃｍ2としたときの、薄帯の厚さを測定した。結果を図
９に示す。また、他の条件は以下の通りとした。 冷却ロールの周速度： １１．８ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．４ｍｍ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０．５ｍｍ チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍEXAMPLES (Experimental example 1) Fe, Al and Ga, and Fe-
C alloy, Fe-P alloy and B are weighed as raw materials in predetermined amounts, and these raw materials are melted in a high-frequency induction heating apparatus under a reduced pressure Ar atmosphere, and the atomic composition ratio is Fe 70 Al 5
An ingot of Ga 2 P 9.65 C 5.75 B 4.6 Si 3 was produced. The ingot is put into a crucible of the apparatus for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon shown in FIG. 1 and melted to form a molten metal. The molten metal is ejected from a nozzle of the crucible toward a rotating cooling roll to form a molten metal. A crystalline soft magnetic alloy ribbon was produced. The injection pressure of the molten metal is 0.2, 0.7, 1.2, 1.8 kgf /
The thickness of the ribbon when measured in cm 2 was measured. FIG. 9 shows the results. Other conditions were as follows. Circumferential speed of cooling roll: 11.8 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Blowing width w of blowing port: 0.4 mm Distance between nozzle and cooling roll d: 0.5 mm Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450mm
【００５６】図９から、溶湯の射出圧が高くなるにつれ
て薄帯の厚さが厚くなることがわかる。これは、射出圧
の増加により、溶湯の噴出量が増加したためと推定され
る。特に、射出圧を０．３ｋｇｆ／ｃｍ2とすれば、薄
帯の厚さを４０μｍ以上とすることが可能になる。FIG. 9 shows that the thickness of the ribbon increases as the injection pressure of the molten metal increases. It is presumed that this is because the injection amount of the molten metal increased due to the increase in the injection pressure. In particular, if the injection pressure is 0.3 kgf / cm 2 , the thickness of the ribbon can be set to 40 μm or more.
【００５７】（実験例２）冷却ロールの周速を、１１．
８、２３．６、３５．３、４７．１ｍ／ｓとし、他の条
件を下記のように設定したこと以外は実験例１と同様に
して非晶質軟磁性合金薄帯を製造し、得られた薄帯の厚
さを測定した。冷却ロールの周速と薄帯の厚さとの関係
を図１０に示す。 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．４ｍｍ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０．５ｍｍ 溶湯の射出圧： １．８ｋｇｆ／ｃｍ2 チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ(Experimental Example 2) The peripheral speed of the cooling roll was set at 11.
8, 23.6, 35.3, 47.1 m / s and the other conditions were set as follows, and an amorphous soft magnetic alloy ribbon was manufactured and obtained in the same manner as in Experimental Example 1. The thickness of the applied ribbon was measured. FIG. 10 shows the relationship between the peripheral speed of the cooling roll and the thickness of the ribbon. Temperature of the molten metal: 1100 ° C. Blowing width w of the outlet: 0.4 mm Distance d between nozzle and cooling roll d: 0.5 mm Injection pressure of the molten metal: 1.8 kgf / cm 2 Atmosphere in the chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450mm
【００５８】図１０から、得られる薄帯の厚さは、冷却
ロールの周速に反比例し、冷却ロールの周速が低くなる
につれて薄帯の厚さが厚くなることがわかる。周速を高
くすると、薄帯の厚さが薄くなると共にピンホールの発
生が確認された。冷却ロールの周速が２５ｍ／ｓ以下で
あると、冷却ロールと薄帯の厚さの反比例関係が良く成
り立っていることから、溶融金属が十分に供給されてい
ることが推測される。この際には、ノズルの先端にはパ
ドルが形成されており、冷却ロールが溶融金属の凝固し
た部分を引き出している。このとき、凝固界面は図１３
に示すように、パドルの内部に位置しているものと思わ
れる。しかしながら、冷却ロールの周速が高まると、溶
湯の十分な供給が間に合わず、図１４に示すように、パ
ドルの形成が不十分となる。したがって、溶融金属の供
給が律速となり、薄帯の厚さはこれにより決定される。
従って、冷却ロールの周速の増加に伴う薄帯の厚さの減
少が抑制される。この際には、凝固界面は冷却ロール上
の薄帯中に移動する。このとき、薄く引き延ばされた溶
融金属が冷却ロールによって引張られるため、薄帯にピ
ンホールが発生してしまうものと思われる。FIG. 10 shows that the thickness of the obtained ribbon is inversely proportional to the peripheral speed of the cooling roll, and that the thickness of the ribbon increases as the peripheral speed of the cooling roll decreases. When the peripheral speed was increased, the thickness of the ribbon became thinner, and the occurrence of pinholes was confirmed. When the peripheral speed of the cooling roll is 25 m / s or less, the inversely proportional relationship between the thickness of the cooling roll and the thickness of the ribbon is well established, so it is estimated that the molten metal is sufficiently supplied. At this time, a paddle is formed at the tip of the nozzle, and the cooling roll draws out a solidified portion of the molten metal. At this time, the solidification interface is shown in FIG.
As shown in the figure, it seems to be located inside the paddle. However, when the peripheral speed of the cooling roll increases, sufficient supply of the molten metal cannot be made in time, and as shown in FIG. 14, the formation of the paddle becomes insufficient. Therefore, the supply of the molten metal is rate-determining, and the thickness of the ribbon is determined thereby.
Accordingly, a decrease in the thickness of the ribbon caused by an increase in the peripheral speed of the cooling roll is suppressed. At this time, the solidification interface moves into the ribbon on the cooling roll. At this time, the thinly stretched molten metal is pulled by the cooling roll, and it is considered that pinholes are generated in the ribbon.
【００５９】また、冷却ロールの周速を、１０．４７、
１５．７０、２０．９３、３１．４ｍ／ｓとし、他の条
件を下記のように設定したこと以外は実験例１と同様に
して非晶質軟磁性合金薄帯を製造し、得られた薄帯の厚
さ及び幅を測定した。結果を表１に示す。 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．５ｍｍ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０．３ｍｍ 溶湯の射出圧： ０．８ｋｇｆ／ｃｍ2 チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ２００ｍｍThe peripheral speed of the cooling roll is 10.47,
An amorphous soft magnetic alloy ribbon was produced and obtained in the same manner as in Experimental Example 1 except that the conditions were set to 15.70, 20.93, and 31.4 m / s, and other conditions were set as follows. The thickness and width of the ribbon were measured. Table 1 shows the results. Temperature of the molten metal: 1100 ° C. Blowing width w of the outlet: 0.5 mm Distance d between nozzle and cooling roll d: 0.3 mm Injection pressure of the molten metal: 0.8 kgf / cm 2 Atmosphere in the chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 200mm
【００６０】[0060]
【表１】 冷却ロールの周速(m/s) 薄帯の厚さ(μｍ) 薄帯の幅(mm) １０．４７ ６５ １１ １５．７０ ５５ １２ ２０．９３ ４５ １３ ３１．４０ ３７ １３Table 1 Peripheral speed of cooling roll (m / s) Thickness of ribbon (μm) Width of ribbon (mm) 10.47 65 11 15.70 55 12 20.93 45 13 31.40 37 13
【００６１】得られた薄帯の結晶構造をＸ線回折測定に
より解析したところ、全ての薄帯の組織は非晶質相単相
であった。When the crystal structure of the obtained ribbon was analyzed by X-ray diffraction measurement, the structure of all the ribbons was an amorphous single phase.
【００６２】（実験例３）吹出し口の吹出し幅ｗを、
０．２、０．３、０．４ｍｍとし、他の条件を下記のよ
うに設定したこと以外は実験例１と同様にして非晶質軟
磁性合金薄帯を製造し、得られた薄帯の厚さを測定し
た。冷却ロールの周速と薄帯の厚さとの関係を図１１に
示す。 冷却ロールの周速度： １１．８ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０.５ｍｍ 溶湯の射出圧： １．８ｋｇｆ／ｃｍ2 チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ(Experimental Example 3) The blowing width w of the blowing port was
An amorphous soft magnetic alloy ribbon was produced in the same manner as in Experimental Example 1 except that the conditions were 0.2, 0.3, and 0.4 mm, and other conditions were set as follows. Was measured for thickness. FIG. 11 shows the relationship between the peripheral speed of the cooling roll and the thickness of the ribbon. Circumferential velocity of cooling roll: 11.8 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Interval d between nozzle and cooling roll d: 0.5 mm Injection pressure of molten metal: 1.8 kgf / cm 2 Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) ) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450mm
【００６３】図１１から、得られた薄帯の厚さは、吹出
し幅ｗとほぼ比例関係にあることがわかる。上記の条件
において吹出し幅ｗが０．２ｍｍ以上であれば、厚さが
４０μｍ以上の薄帯を得ることが可能となる。FIG. 11 shows that the thickness of the obtained ribbon is substantially proportional to the blowing width w. If the blowing width w is 0.2 mm or more under the above conditions, a ribbon having a thickness of 40 μm or more can be obtained.
【００６４】（実験例４）ノズルと冷却ロールとの間隔
ｄを、０．２、０．３、０．４、０．５、０．６、０．
７ｍｍとし、他の条件を下記のように設定したこと以外
は実験例１と同様にして非晶質軟磁性合金薄帯を製造
し、得られた薄帯の厚さを測定した。ノズルと冷却ロー
ルの間隔ｄと薄帯の厚さとの関係を図１２に示す。 冷却ロールの周速度： １１．８ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．５ｍｍ 溶湯の射出圧： １．８ｋｇｆ／ｃｍ2 チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ(Experimental Example 4) The distance d between the nozzle and the cooling roll was set to 0.2, 0.3, 0.4, 0.5, 0.6, 0.
An amorphous soft magnetic alloy ribbon was manufactured in the same manner as in Experimental Example 1 except that the thickness was 7 mm and other conditions were set as follows, and the thickness of the obtained ribbon was measured. FIG. 12 shows the relationship between the distance d between the nozzle and the cooling roll and the thickness of the ribbon. Circumferential speed of cooling roll: 11.8 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Blow width of blowing port w: 0.5 mm Injection pressure of molten metal: 1.8 kgf / cm 2 Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450mm
【００６５】図１２から、得られた薄帯の厚さは、ノズ
ルと冷却ロールの間隔ｄが大きくなるにつれて厚くなる
ことが判る。FIG. 12 shows that the thickness of the obtained ribbon increases as the distance d between the nozzle and the cooling roll increases.
【００６６】また、ノズルと冷却ロールの間隔ｄを、
０．３、０．３５、０．４５ｍｍとし、他の条件を下記
のように設定したこと以外は実験例１と同様にして非晶
質軟磁性合金薄帯を製造し、得られた薄帯の厚さ及び幅
を測定した。結果を表２に示す。 冷却ロールの周速度： ２０．９ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．５ｍｍ 溶湯の射出圧： ０．８ｋｇｆ／ｃｍ2 チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ２００ｍｍThe distance d between the nozzle and the cooling roll is
An amorphous soft magnetic alloy ribbon was manufactured in the same manner as in Experimental Example 1 except that the conditions were 0.3, 0.35, and 0.45 mm, and other conditions were set as follows. Was measured for thickness and width. Table 2 shows the results. Circumferential speed of cooling roll: 20.9 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Blow width of blowing port w: 0.5 mm Injection pressure of molten metal: 0.8 kgf / cm 2 Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 200mm
【００６７】[0067]
【表２】 間隔ｄ(mm) 薄帯の厚さ(μｍ) 薄帯の幅(mm) ０．３０ ４５ １３ ０．３５ ４６ １２ ０．４５ ５０ １１Table 2 Interval d (mm) Thickness of ribbon (μm) Width of ribbon (mm) 0.30 45 13 0.35 46 12 0.45 50 11
【００６８】得られた薄帯の結晶構造をＸ線回折測定に
より解析したところ、全ての薄帯の組織は非晶質相単相
であった。また、表２から明らかなように、ノズルと冷
却ロールとの間隔ｄが０．３〜０．４５ｍｍの範囲であ
れば、厚さが４０μｍ以上かつ幅１０ｍｍ以上の薄帯が
得られることが判る。When the crystal structure of the obtained ribbon was analyzed by X-ray diffraction measurement, the structures of all the ribbons were a single amorphous phase. Further, as is clear from Table 2, when the distance d between the nozzle and the cooling roll is in the range of 0.3 to 0.45 mm, it is understood that a ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more can be obtained. .
【００６９】（実験例５）吹出し口の吹出し幅ｗ及び溶
湯の射出圧を下記の通りとし、また、他の条件を下記の
ように設定したこと以外は実験例１と同様にして非晶質
軟磁性合金薄帯を製造し、得られた薄帯の厚さ及び幅を
測定した。結果を表３に示す。 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．３、０．４、０．５ｍｍ 溶湯の射出圧： ０．４、１．２、１．８ｋｇｆ／ｃｍ2 冷却ロールの周速度： １４．１ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０.５ｍｍ チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ(Experimental Example 5) An amorphous state was obtained in the same manner as in Experimental Example 1 except that the blowing width w of the blow-out port and the injection pressure of the molten metal were set as follows, and other conditions were set as follows. Soft magnetic alloy ribbons were manufactured, and the thickness and width of the obtained ribbons were measured. Table 3 shows the results. Blow-out width w of blow-out port: 0.3, 0.4, 0.5 mm Injection pressure of molten metal: 0.4, 1.2, 1.8 kgf / cm 2 Circumferential speed of cooling roll: 14.1 m / s Temperature: 1100 ° C Interval d between nozzle and cooling roll d: 0.5 mm Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450 mm
【００７０】[0070]
【表３】 [Table 3]
【００７１】表３から明らかなように、射出圧が０．４
ｋｇｆ／ｃｍ2であっても、吹出し幅が０．５ｍｍであ
れば、厚さが４０μｍ以上かつ幅１０ｍｍ以上の薄帯が
得られることが判る。このように、吹出し幅と射出圧を
調整することにより、所望の寸法形状の薄帯を容易に得
ることが可能になる。As is clear from Table 3, the injection pressure was 0.4
It can be seen that even with kgf / cm 2 , if the blowing width is 0.5 mm, a ribbon having a thickness of 40 μm or more and a width of 10 mm or more can be obtained. As described above, by adjusting the blowing width and the injection pressure, it is possible to easily obtain a ribbon having a desired size and shape.
【００７２】（実験例６）実験例１と同様にして、原子
組成比がＦｅ70Ａｌ5Ｇａ2Ｐ9.65Ｃ5.75Ｂ4.6Ｓｉ3なる
組成のインゴットを作製し、このインゴットを図１に示
す非晶質軟磁性合金薄帯の製造装置のるつぼ内に入れて
溶解して溶湯とし、吹き出し幅ｗ、ロール周速度、間隔
ｄ、射出圧を適当に変更しつつ、この溶湯をるつぼのノ
ズルから回転している冷却ロールに向けて噴出させるこ
とにより、様々な板厚の非晶質軟磁性合金薄帯を製造し
た。得られた薄帯を３５０℃で３０分間加熱して、熱処
理を行った。熱処理前の薄帯と熱処理後の薄帯につい
て、１ｋＨｚにおける透磁率と保磁力を測定した。結果
を図１６に示す。また、非晶質軟磁性合金薄帯を製造す
る際の条件は以下の通りとした。 冷却ロールの周速度： １１．８〜４７．１ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．３〜０．５ｍｍ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０．２〜０．７ｍｍ チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ 溶湯の射出圧： ０．２〜１．８ｋｇｆ／ｃｍ2 (Experimental Example 6) An ingot having an atomic composition ratio of Fe 70 Al 5 Ga 2 P 9.65 C 5.75 B 4.6 Si 3 was prepared in the same manner as in Experimental Example 1, and this ingot was formed as shown in FIG. The melt is put into a crucible of a manufacturing apparatus of a crystalline soft magnetic alloy ribbon and melted to form a molten metal. The melt is rotated from a nozzle of the crucible while appropriately changing a blowing width w, a roll peripheral speed, an interval d, and an injection pressure. Amorphous soft magnetic alloy ribbons of various plate thicknesses were produced by jetting toward a cooling roll. The obtained ribbon was heated at 350 ° C. for 30 minutes to perform a heat treatment. The magnetic permeability and coercive force at 1 kHz were measured for the ribbon before the heat treatment and the ribbon after the heat treatment. FIG. 16 shows the results. The conditions for producing the amorphous soft magnetic alloy ribbon were as follows. Circumferential speed of cooling roll: 11.8-47.1 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Blow width w of outlet: 0.3-0.5 mm Distance d between nozzle and cooling roll d: 0.2-0.7 mm Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450 mm Injection pressure of molten metal: 0.2 to 1.8 kgf / cm 2
【００７３】図１６に示すように、熱処理後の薄帯は、
熱処理前の薄帯よりも透磁率が高く保磁力が小さくなっ
ており、軟磁気特性が向上していることが判る。これ
は、熱処理によって薄帯の内部歪みが緩和されたためと
推定される。また、薄帯の厚さの変化に対し、透磁率及
び保磁力の変化が小さく、厚さの厚い薄帯は厚さが薄い
薄帯と同様に優れた軟磁気特性を示していることが判
る。As shown in FIG. 16, the ribbon after the heat treatment is
It can be seen that the magnetic permeability is higher and the coercive force is smaller than that of the ribbon before the heat treatment, and the soft magnetic properties are improved. This is presumably because the internal strain of the ribbon was relaxed by the heat treatment. Further, it can be seen that the change in the magnetic permeability and the coercive force is small with respect to the change in the thickness of the ribbon, and that the ribbon having a large thickness exhibits excellent soft magnetic characteristics similarly to the ribbon having a small thickness. .
【００７４】また、図１７には、下記の条件で製造した
上記組成の板厚が８０μｍの非晶質軟磁性合金薄帯の示
差走査熱量測定（ＤＳＣ測定）の結果を示す。図１７に
示すように、この薄帯の過冷却液体の温度間隔ΔＴxは
５５Ｋであって広い温度間隔を示しており、金属ガラス
合金を構成していることが確認された 。 冷却ロールの周速度： １１．８ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．５ｍｍ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０．４ｍｍ チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ 溶湯の射出圧： １．８ｋｇｆ／ｃｍ2 FIG. 17 shows the results of differential scanning calorimetry (DSC measurement) of an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 80 μm and having the above composition manufactured under the following conditions. As shown in FIG. 17, the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid in the ribbon was 55 K, indicating a wide temperature interval, and it was confirmed that the supercooled liquid constituted a metallic glass alloy. Circumferential speed of cooling roll: 11.8 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Blowing width w of outlet: 0.5 mm Distance d between nozzle and cooling roll d: 0.4 mm Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450 mm Injection pressure of molten metal: 1.8 kgf / cm 2
【００７５】（実験例７）Ｆｅと、Ａｌ及びＧａと、
Ｃ、Ｐ及びＢとを原料としてそれぞれ所定量秤量し、減
圧Ａｒ雰囲気下においてこれらの原料を高周波誘導加熱
装置で溶解してインゴットを作製した。但し、原料の秤
量の際において、ＰとＣとＢの比をＰ：Ｃ：Ｂ＝１１：
５：４として一定とし、ＡｌとＧａの比をＡｌ：Ｇａ＝
５：２として一定として、Ｆｅ量と、ＰとＣ及びＢの合
計量と、Ａｌ及びＧａの合計量とを適当に配合した。こ
のインゴットを図１に示す非晶質軟磁性合金薄帯の製造
装置のるつぼ内に入れて溶解して溶湯とし、この溶湯を
るつぼのノズルから回転している冷却ロールに向けて噴
出させることにより、非晶質軟磁性合金薄帯を製造し
た。得られた薄帯を３５０℃で３０分間加熱して、熱処
理を行った。また、得られた薄帯の厚さは４０μｍであ
った。熱処理後の薄帯について、１ｋＨｚにおける透磁
率（μe）、保磁力（Ｈｃ）及び過冷却液体の温度間隔
（ΔＴx）を測定した。これらの測定値と非晶質軟磁性
合金薄帯の組成比との関係を図１８に示す。尚、図中、
○印は、本実験例により得られた非晶質軟磁性合金薄帯
の組成をプロットしたものである。また、非晶質軟磁性
合金薄帯を製造する際の条件は以下の通りとした。 冷却ロールの周速度： ２３．６ｍ／ｓ 溶湯の温度： １１００℃ 吹出し口の吹出し幅ｗ： ０．４ｍｍ ノズルと冷却ロールの間隔ｄ： ０．５ｍｍ チャンバ１０内の雰囲気： Ａｒガス（約６６０torr） 背圧： １０-3torr以下 冷却ロール径 ４５０ｍｍ 溶湯の射出圧： １．８ｋｇｆ／ｃｍ2 (Experimental example 7) Fe, Al and Ga,
C, P, and B were weighed as raw materials in predetermined amounts, and the raw materials were dissolved in a reduced-pressure Ar atmosphere with a high-frequency induction heating device to produce an ingot. However, when weighing the raw materials, the ratio of P to C and B is set to P: C: B = 11:
5: 4, and the ratio of Al to Ga is Al: Ga =
While keeping the ratio at 5: 2, the amount of Fe, the total amount of P, C and B, and the total amount of Al and Ga were appropriately blended. The ingot is put into a crucible of the apparatus for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon shown in FIG. 1 and melted to form a molten metal. The molten metal is ejected from a nozzle of the crucible toward a rotating cooling roll. And an amorphous soft magnetic alloy ribbon was manufactured. The obtained ribbon was heated at 350 ° C. for 30 minutes to perform a heat treatment. Further, the thickness of the obtained ribbon was 40 μm. For the ribbon after the heat treatment, the magnetic permeability (μe) at 1 kHz, the coercive force (Hc), and the temperature interval (ΔT x ) of the supercooled liquid were measured. FIG. 18 shows the relationship between these measured values and the composition ratio of the amorphous soft magnetic alloy ribbon. In the figure,
A circle plots the composition of the amorphous soft magnetic alloy ribbon obtained in the present experimental example. The conditions for producing the amorphous soft magnetic alloy ribbon were as follows. Circumferential speed of cooling roll: 23.6 m / s Temperature of molten metal: 1100 ° C. Blowing width w of blowing port: 0.4 mm Distance d between nozzle and cooling roll d: 0.5 mm Atmosphere in chamber 10: Ar gas (about 660 torr) Back pressure: 10 -3 torr or less Cooling roll diameter 450 mm Injection pressure of molten metal: 1.8 kgf / cm 2
【００７６】図１８に示すように、Ｆｅ量が６９〜７３
原子％、ＰとＣ及びＢの合計量が２６原子％以下、好ま
しくは２２〜２４原子％、Ａｌ及びＧａの合計量が２原
子％以上、好ましくは７原子％である組成範囲の薄帯に
おいては、透磁率（μe）が７０００以上、保磁力が３
Ａｍ-1以下、過冷却液体の温度間隔（ΔＴx）が６０Ｋ
以上を示し、優れた軟磁気特性を備えた金属ガラス合金
を構成することがわかる。特に、Ｆｅ量が７０原子％、
ＰとＣ及びＢの合計量が２３原子％、Ａｌ及びＧａの合
計量が７原子％である組成の薄帯においては、透磁率
（μe）が８０００以上、保磁力が２Ａｍ-1以下、過冷
却液体の温度間隔（ΔＴx）が６０Ｋ以上を示し、特に
優れた軟磁気特性を備えた金属ガラス合金を構成するこ
とがわかる。As shown in FIG. 18, the Fe content was 69-73.
Atomic%, the total amount of P and C and B is 26 atomic% or less, preferably 22 to 24 atomic%, and the total amount of Al and Ga is 2 atomic% or more, preferably 7 atomic%. Has a permeability (μe) of 7000 or more and a coercive force of 3
Am -1 or less, the temperature interval (ΔT x ) of the supercooled liquid is 60K
From the above, it can be seen that a metallic glass alloy having excellent soft magnetic properties is constituted. In particular, the amount of Fe is 70 atomic%,
In a ribbon having a composition in which the total amount of P, C and B is 23 atomic%, and the total amount of Al and Ga is 7 atomic%, the magnetic permeability (μe) is 8000 or more, the coercive force is 2 Am -1 or less, and It can be seen that the temperature interval (ΔT x ) of the cooling liquid is 60K or more, which constitutes a metallic glass alloy having particularly excellent soft magnetic properties.
【００７７】[0077]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法は、回転駆動される冷
却ロールの冷却面に向けてノズルから合金の溶湯を噴出
して前記溶湯を冷却し、帯状の非晶質軟磁性合金薄帯を
製造する際に、前記ノズルの吹出し口の形状を略矩形と
し、前記冷却ロールの回転接線方向に平行な該吹出し口
の吹出し幅を、０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下と
し、前記ノズルと前記冷却ロールの間隔を、０．２ｍｍ
以上かつ０．８ｍｍ以下とし、前記冷却ロールの周速
を、３ｍ／ｓ以上かつ６０ｍ／ｓ以下とし、前記冷却ロ
ールへの溶湯の噴出を０．２ｋｇ／ｃｍ2以上かつ３．
０ｋｇ／ｃｍ2以下の射出圧で行なうので、厚さが４０
μｍ以上、かつ幅が１０ｍｍ以上の非晶質軟磁性合金薄
帯を安定して製造することができる。As described above in detail, in the method of manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, a molten alloy is ejected from a nozzle toward a cooling surface of a rotating cooling roll. When the molten metal is cooled to produce a strip-shaped amorphous soft magnetic alloy ribbon, the outlet of the nozzle has a substantially rectangular shape, and the outlet of the outlet is parallel to the rotational tangential direction of the cooling roll. The width is not less than 0.2 mm and not more than 0.8 mm, and the interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm
And 0.8 mm or less, the peripheral speed of the cooling roll is 3 m / s or more and 60 m / s or less, and the injection of molten metal to the cooling roll is 0.2 kg / cm 2 or more and 3.
Since the injection pressure is 0 kg / cm 2 or less, the thickness is 40
An amorphous soft magnetic alloy ribbon having a width of 10 μm or more and a width of 10 μm or more can be stably manufactured.
【００７８】また、本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製
造方法は、前記冷却ロールへの溶湯の噴出を密閉空間内
で行なうと共に、減圧雰囲気または不活性ガス雰囲気と
して前記冷却ロールへの溶湯の噴出を行なうので、冷却
ロール及びノズル近傍への酸素の混入が防がれて、薄帯
の酸化を防止できる。Further, in the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the molten metal is jetted to the cooling roll in a closed space, and the pressure of the molten roll is changed to a reduced pressure atmosphere or an inert gas atmosphere. Since the injection of the molten metal is performed, mixing of oxygen into the vicinity of the cooling roll and the nozzle is prevented, and oxidation of the ribbon can be prevented.
【００７９】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法
においては、得られた非晶質軟磁性合金薄帯を、軟磁性
合金の結晶化温度以下の温度で熱処理するので、薄帯の
組織中に結晶質相が析出することがなく、また薄帯の内
部応力が緩和されて非晶質軟磁性合金薄帯の軟磁気特性
を向上できる。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon of the present invention, the obtained amorphous soft magnetic alloy ribbon is heat-treated at a temperature not higher than the crystallization temperature of the soft magnetic alloy. The crystalline phase does not precipitate in the microstructure, and the internal stress of the ribbon is relaxed, so that the soft magnetic properties of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be improved.
【００８０】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法
においては、非晶質軟磁性合金薄帯が、過冷却液体の温
度間隔ΔＴxが３５Ｋ以上であり、比抵抗が１．５μΩ
ｍ以上であるＦｅ基軟磁性金属ガラス合金からなるの
で、比較的厚さの厚い非晶質軟磁性合金薄帯を製造する
ことができると共に、非晶質軟磁性合金薄帯の軟磁気特
性を向上することができる。また、比抵抗が１．５μΩ
ｍ以上であるので、高周波での渦電流損失が少なく、高
周波損失が小さい積層コア等の部材を製造することがで
きる。In the method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention, the amorphous soft magnetic alloy ribbon has a temperature interval ΔT x of a supercooled liquid of 35 K or more and a specific resistance of 1.5 μΩ.
m or more, the amorphous soft magnetic alloy ribbon having a relatively large thickness can be manufactured, and the soft magnetic characteristics of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be improved. Can be improved. The specific resistance is 1.5μΩ
m or more, a member such as a laminated core having a small eddy current loss at a high frequency and a small high frequency loss can be manufactured.
【００８１】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯の製造装置
は、回転駆動される冷却ロールと、該冷却ロールの冷却
面に向けて合金の溶湯を噴出するノズルとを具備してな
り、前記ノズルの吹出し口の形状が略矩形とされ、前記
冷却ロールの回転接線方向に平行な吹出し幅が０．２ｍ
ｍ以上０．８ｍｍ以下とされ、前記ノズルと前記冷却ロ
ールの間隔が０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とされ
ているので、非晶質相組織からなる厚みが４０μｍ以上
の非晶質軟磁性合金薄帯を安定して製造できる。また、
前記ノズルと前記冷却ロールとが、真空排気可能なチャ
ンバ内に収納されているので、非晶質軟磁性合金薄帯の
酸化を防止することができる。The apparatus for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention includes a cooling roll driven to rotate, and a nozzle for jetting a molten alloy toward a cooling surface of the cooling roll. The shape of the outlet of the nozzle is substantially rectangular, and the outlet width of the cooling roll parallel to the rotational tangent direction is 0.2 m.
m or more and 0.8 mm or less, and the interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less. Alloy ribbons can be manufactured stably. Also,
Since the nozzle and the cooling roll are housed in a chamber that can be evacuated, oxidation of the amorphous soft magnetic alloy ribbon can be prevented.
【００８２】本発明の非晶質軟磁性合金薄帯は、厚さが
４０μｍ以上であるので、この非晶質軟磁性合金薄帯を
積層すれば、占積率の高い積層コア等の磁気部品を得る
ことができる。また、本発明の非晶質軟磁性合金部材
は、上記の非晶質軟磁性合金薄帯が巻回または積層され
てなるので、占積率が向上して非晶質軟磁性合金部材の
飽和磁束密度、透磁率を高めることができる。Since the amorphous soft magnetic alloy ribbon of the present invention has a thickness of 40 μm or more, if this amorphous soft magnetic alloy ribbon is laminated, a magnetic component such as a laminated core having a high space factor can be obtained. Can be obtained. Further, since the amorphous soft magnetic alloy member of the present invention is formed by winding or laminating the above amorphous soft magnetic alloy ribbon, the space factor is improved and the amorphous soft magnetic alloy member is saturated. The magnetic flux density and the magnetic permeability can be increased.
【図１】 本発明の実施の形態である非晶質軟磁性合金
薄帯の製造装置を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing an apparatus for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to an embodiment of the present invention.
【図２】 図１に示す製造装置の冷却ロールとノズルを
示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a cooling roll and a nozzle of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図３】 図１に示す製造装置の冷却ロールとノズルを
示す拡大側面図である。FIG. 3 is an enlarged side view showing a cooling roll and a nozzle of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図４】 図１に示す製造装置のノズルの拡大底面図で
ある。FIG. 4 is an enlarged bottom view of a nozzle of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図５】 本発明の実施の形態である非晶質軟磁性合金
部材である積層磁心を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a laminated magnetic core as an amorphous soft magnetic alloy member according to an embodiment of the present invention.
【図６】 本発明の実施の形態である非晶質軟磁性合金
部材である他の積層磁心を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing another laminated magnetic core that is an amorphous soft magnetic alloy member according to an embodiment of the present invention.
【図７】 トランスを示す分解斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view showing a transformer.
【図８】 トランスを示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a transformer.
【図９】 溶湯の射出圧と非晶質軟磁性合金薄帯の厚さ
との関係を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the relationship between the injection pressure of the molten metal and the thickness of the amorphous soft magnetic alloy ribbon.
【図１０】 冷却ロールの周速と非晶質軟磁性合金薄帯
の厚さとの関係を示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing a relationship between a peripheral speed of a cooling roll and a thickness of an amorphous soft magnetic alloy ribbon.
【図１１】 ノズルの吹出し幅と非晶質軟磁性合金薄帯
の厚さとの関係を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing the relationship between the blowing width of a nozzle and the thickness of an amorphous soft magnetic alloy ribbon.
【図１２】 ノズルと冷却ロールの間隔と非晶質軟磁性
合金薄帯の厚さとの関係を示すグラフである。FIG. 12 is a graph showing a relationship between an interval between a nozzle and a cooling roll and a thickness of an amorphous soft magnetic alloy ribbon.
【図１３】 冷却ロールとノズルを示す拡大側面図であ
って、薄帯の形成を説明するための図である。FIG. 13 is an enlarged side view showing a cooling roll and a nozzle, and is a view for explaining formation of a ribbon.
【図１４】 冷却ロールとノズルを示す拡大側面図であ
って、薄帯の形成を説明するための図である。FIG. 14 is an enlarged side view showing a cooling roll and a nozzle, and is a view for explaining formation of a ribbon.
【図１５】 従来の薄帯の製造装置の冷却ロールとノズ
ルを示す断面図である。FIG. 15 is a sectional view showing a cooling roll and a nozzle of a conventional ribbon manufacturing apparatus.
【図１６】 Ｆｅ70Ａｌ5Ｇａ2Ｐ9.65Ｃ5.75Ｂ4.6Ｓｉ3
なる組成の非晶質軟磁性合金薄帯の厚さと、透磁率及び
保磁力の関係を示す図である。FIG. 16: Fe 70 Al 5 Ga 2 P 9.65 C 5.75 B 4.6 Si 3
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the thickness of an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a composition of the following formula, and magnetic permeability and coercive force.
【図１７】 Ｆｅ70Ａｌ5Ｇａ2Ｐ9.65Ｃ5.75Ｂ4.6Ｓｉ3
なる組成の非晶質軟磁性合金薄帯のＤＳＣ曲線を示す図
である。FIG. 17: Fe 70 Al 5 Ga 2 P 9.65 C 5.75 B 4.6 Si 3
FIG. 3 is a view showing a DSC curve of an amorphous soft magnetic alloy ribbon having a composition of FIG.
【図１８】 本発明に係る非晶質軟磁性合金薄帯の組成
と、透磁率（μe）、保磁力（Ｈｃ）及び過冷却液体の
温度間隔（ΔＴx）との関係を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing the relationship between the composition of the amorphous soft magnetic alloy ribbon according to the present invention and the magnetic permeability (μe), the coercive force (Hc), and the temperature interval (ΔT x ) of the supercooled liquid. .
１０ チャンバ １１ 冷却ロール １２ るつぼ １３ 本体部 １４ 収納部 １５ 排気管 １７ ノズル １８ ガス供給源 ３０ 溶湯 ３１ ガス供給源 ３４ 吹出し口 ５０ 非晶質軟磁性合金薄帯 ｄ ノズルと冷却ロールの間隔 ｐ 回転接線方向 ｗ 吹出し幅 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Chamber 11 Cooling roll 12 Crucible 13 Main part 14 Storage part 15 Exhaust pipe 17 Nozzle 18 Gas supply source 30 Molten 31 Gas supply source 34 Outlet 50 Amorphous soft magnetic alloy ribbon d Space between nozzle and cooling roll p Rotating tangent Direction w Blow width
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水嶋 隆夫 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 牧野 彰宏 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 井上 明久 宮城県仙台市青葉区川内元支倉35番地 川 内住宅11−806 Ｆターム(参考） 4E004 DB02 DB17 NA05 NB07 TA01 TA03 TB01 TB02 TB03 TB04 TB05 TB07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Takao Mizushima 1-7 Yukitani Otsukacho, Ota-ku, Tokyo Alps Electric Co., Ltd. (72) Inventor Akihiro Makino 1-7 Yukitani Otsukacho, Ota-ku, Tokyo Alp (72) Inventor Akihisa Inoue 35-35 Kawachi Motoakura, Aoba-ku, Sendai, Miyagi Prefecture 11-806 Kawauchi F-term (reference) 4E004 DB02 DB17 NA05 NB07 TA01 TA03 TB01 TB02 TB03 TB04 TB05 TB07
Claims (21)
けてノズルから合金の溶湯を噴出して前記溶湯を冷却
し、帯状の非晶質軟磁性合金薄帯を製造する際に、 前記ノズルの吹出し口の形状を略矩形とし、前記冷却ロ
ールの回転接線方向に平行な該吹出し口の吹出し幅を、
０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とし、 前記ノズルと前記冷却ロールの間隔を、０．２ｍｍ以上
かつ０．８ｍｍ以下とし、 前記冷却ロールの周速を、３ｍ／ｓ以上かつ６０ｍ／ｓ
以下とし、 前記冷却ロールへの溶湯の噴出を０．２ｋｇ／ｃｍ2以
上かつ３．０ｋｇ／ｃｍ2以下の射出圧で行なうこと特
徴とする非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法。The present invention relates to a method for manufacturing a strip of amorphous soft magnetic alloy ribbon by cooling a melt by blowing a melt of alloy from a nozzle toward a cooling surface of a cooling roll driven to rotate. The shape of the outlet is substantially rectangular, and the outlet width of the outlet parallel to the rotational tangent direction of the cooling roll is
0.2 mm or more and 0.8 mm or less, the interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less, and the peripheral speed of the cooling roll is 3 m / s or more and 60 m / s.
Follows and, method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon, characterized by performing the ejection of molten metal to the cooling roll at 0.2 kg / cm 2 or more and 3.0 kg / cm 2 or less of injection pressure.
間内で行なうことを特徴とする請求項１記載の非晶質軟
磁性合金薄帯の製造方法。2. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 1, wherein the jet of the molten metal to the cooling roll is performed in a closed space.
囲気中にて行なうことを特徴とする請求項２記載の非晶
質軟磁性合金薄帯の製造方法。3. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, wherein the jetting of the molten metal to the cooling roll is performed in a reduced-pressure atmosphere.
ガス雰囲気中または窒素ガス雰囲気中で行なうことを特
徴とする請求項２記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方
法。4. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, wherein the jetting of the molten metal to the cooling roll is performed in an inert gas atmosphere or a nitrogen gas atmosphere.
とを特徴とする請求項４記載の非晶質軟磁性合金薄帯の
製造方法。5. The method according to claim 4, wherein the inert gas is an argon gas.
性合金の結晶化温度以下の温度で熱処理することを特徴
とする請求項１ないし請求項５記載の非晶質軟磁性合金
薄帯の製造方法。6. The amorphous soft magnetic material according to claim 1, wherein the obtained amorphous soft magnetic alloy ribbon is heat-treated at a temperature equal to or lower than the crystallization temperature of the soft magnetic alloy. Manufacturing method of alloy ribbon.
Ｔx−Ｔg（ただしＴxは結晶化開始温度、Ｔgはガラス遷
移温度を示す。）の式で表される過冷却液体の温度間隔
ΔＴxが３５Ｋ以上であり、比抵抗が１．５μΩｍ以上
のＦｅ基軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴とす
る請求項１ないし請求項６記載の非晶質軟磁性合金薄帯
の製造方法。7. The amorphous soft magnetic alloy ribbon has a ΔT x =
The temperature interval ΔT x of the supercooled liquid represented by the formula of T x −T g (where T x indicates the crystallization start temperature and T g indicates the glass transition temperature) is 35K or more, and the specific resistance is 1. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 1, wherein the amorphous soft magnetic alloy ribbon is made of an Fe-based soft magnetic metallic glass alloy having a thickness of 5 μΩm or more.
ｅ以外の他の金属元素と半金属元素とを含有してなるこ
とを特徴とする請求項７記載の非晶質軟磁性合金薄帯の
製造方法。8. The method according to claim 1, wherein the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy comprises F
8. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 7, comprising a metal element other than e and a metalloid element.
Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｇｅのうちの少なくとも１種以上の半金属
元素を含有してなることを特徴とする請求項８記載の非
晶質軟磁性合金薄帯の製造方法。9. The Fe-based soft magnetic metallic glass alloy,
9. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 8, comprising at least one or more metalloid elements of P, C, B, and Ge.
Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｇｅのうちの少なくとも１種以上の半金属
元素とＳｉとを含有してなることを特徴とする請求項８
記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法。10. The Fe-based soft magnetic metallic glass alloy,
9. The semiconductor device according to claim 8, comprising at least one or more metalloid elements of P, C, B and Ge and Si.
A method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon as described above.
の金属元素として、周期律表ＩＩＩＢ族およびＩＶＢ族
元素の内の少なくとも一種以上を合むことを特徴とする
請求項８ないし請求項１０記載の非晶質軟磁性合金薄帯
の製造方法。11. The Fe-based soft magnetic metallic glass alloy includes at least one of Group IIIB and Group IVB elements of the periodic table as another metal element. A method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon as described above.
の金属元素として、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｎのうちの少
なくとも一種以上を含むことを特徴とする請求項１１記
載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法。12. The amorphous soft magnetic material according to claim 11, wherein the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy contains at least one of Al, Ga, In, and Sn as another metal element. Manufacturing method of alloy ribbon.
成が原子％で Ａｌ：１ 〜１０％ Ｇａ：０．５〜４％ Ｐ ：９ 〜１５％ Ｃ ：５ 〜７％ Ｂ ：２ 〜１０％ Ｆｅ：残部 であることを特徴とする請求項７、８、９、１１、１２
のいずれかに記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方法。13. The composition of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy in atomic%: Al: 1 to 10% Ga: 0.5 to 4% P: 9 to 15% C: 5 to 7% B: 2 to 10 % Fe: The balance is represented by the following formula:
The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to any one of the above.
成が原子％で Ａｌ：１ 〜１０％ Ｇａ：０．５〜４％ Ｐ ：９ 〜１５％ Ｃ ：５ 〜７％ Ｂ ：２ 〜１０％ Ｓｉ：０ 〜１５％ Ｆｅ：残部 であることを特徴とする請求項７、８、１０、１１、１
２のいずれかに記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方
法。14. The composition of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy in atomic%: Al: 1 to 10% Ga: 0.5 to 4% P: 9 to 15% C: 5 to 7% B: 2 to 10 % Si: 0 to 15% Fe: balance
3. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to any one of 2.
０〜４原子％のＧｅを含有することを特徴とする請求項
１３または請求項１４記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製
造方法。15. The Fe-based soft magnetic metallic glass alloy,
The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 13 or 14, wherein the method comprises containing 0 to 4 atomic% of Ge.
Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｚｒ、Ｃｒの少なくとも
１種以上の元素を７原子％以下含有することを特徴とす
る請求項１３ないし１５記載の非晶質軟磁性合金薄帯の
製造方法。16. The Fe-based soft magnetic metallic glass alloy,
The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to any one of claims 13 to 15, wherein at least one element of Nb, Mo, Hf, Ta, W, Zr, and Cr is contained in an amount of 7 atomic% or less. .
ｌ０原子％以下のＮｉと３０原子％以下のＣｏの少なく
とも一方または両方を含むことを特徴とする請求項１３
ないし請求項１６記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造方
法。17. The ferrous soft magnetic metallic glass alloy,
14. The composition according to claim 13, comprising at least one or both of Ni of 10 atomic% or less and Co of 30 atomic% or less.
17. The method for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 16.
ロールの冷却面に先端を臨ませて近接配置され、合金の
溶湯を前記冷却面に向けて噴出するノズルとを具備して
なり、 前記ノズルの吹出し口の形状が略矩形とされ、前記冷却
ロールの回転接線方向に平行な吹出し幅が０．２ｍｍ以
上０．８ｍｍ以下とされ、前記ノズルと前記冷却ロール
の間隔が０．２ｍｍ以上かつ０．８ｍｍ以下とされるこ
とを特徴とする非晶質軟磁性合金薄帯の製造装置。18. A cooling roll which is driven to rotate, and a nozzle which is disposed close to the cooling face of the cooling roll with its tip facing the cooling roll, and jets a molten alloy toward the cooling face. The shape of the outlet of the nozzle is substantially rectangular, the blowing width parallel to the rotation tangential direction of the cooling roll is 0.2 mm or more and 0.8 mm or less, the interval between the nozzle and the cooling roll is 0.2 mm or more, and An apparatus for producing an amorphous soft magnetic alloy ribbon, which is 0.8 mm or less.
空排気可能なチャンバ内に収納されていることを特徴と
する請求項１８記載の非晶質軟磁性合金薄帯の製造装
置。19. The apparatus for manufacturing an amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 18, wherein said nozzle and said cooling roll are housed in a chamber capable of evacuating.
造方法により製造され、厚さが４０μｍ以上であること
を特徴とする非晶質軟磁性合金薄帯。20. An amorphous soft magnetic alloy ribbon manufactured by the manufacturing method according to claim 1 and having a thickness of 40 μm or more.
帯が巻回または積層されてなることを特徴とする非晶質
軟磁性合金部材。21. An amorphous soft magnetic alloy member comprising the amorphous soft magnetic alloy ribbon according to claim 20 wound or laminated.
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