JP2000198844A - Polyimide for optical substrate and polyimide substrate for optical - Google Patents
Polyimide for optical substrate and polyimide substrate for opticalInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学基板用として要求される性能を最適化し
たポリイミド、また安価なポリイミドそしてそれらのポ
リイミドを用いた安価で性能が高い光学用ポリイミド基
板の提供。
【解決手段】 ガラス転移温度が300℃以上で、かつ
熱膨張係数が60ppm以上である光学基板用ポリイミ
ドおよび該光学基板用ポリイミドを用いて製造した光学
用ポリイミド基板。PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide optimized for performance required for an optical substrate, an inexpensive polyimide, and an inexpensive and high-performance optical polyimide substrate using those polyimides. SOLUTION: A polyimide for an optical substrate having a glass transition temperature of 300 ° C. or more and a thermal expansion coefficient of 60 ppm or more, and an optical polyimide substrate manufactured using the polyimide for an optical substrate.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光学基板用ポリイ
ミド及び光学用ポリイミド基板に関する。The present invention relates to a polyimide for an optical substrate and a polyimide substrate for an optical substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】低損失光ファイバの開発による光通信シ
ステムの実用化に伴い、種々の光通信用部品の開発が望
まれている。また、これらの光部品を高密度に実装する
光配線技術、特に光導波路技術の確立が望まれている。2. Description of the Related Art With the practical use of optical communication systems by the development of low-loss optical fibers, development of various optical communication components has been desired. It is also desired to establish an optical wiring technology for mounting these optical components at a high density, particularly an optical waveguide technology.
【0003】一般に、光導波路材料には、光損失が小さ
い、光導波路の作製が容易、コアとクラッドの屈折率差
を制御できる、耐熱性に優れている、などの条件が要求
される。光導波路材料としてこれまでに最も検討されて
いるのが石英系材料である。光ファイバで実証済のよう
に石英は光透過性が極めて良好であるため光導波路とし
た場合も波長が1.3μmにおいて0.1dB/cm以
下の低光損失化が達成されている。しかしその光導波路
作製には長時間を必要とする、作製時に高温が必要であ
る、大面積化が困難であるなどの製造上の問題がある。Generally, optical waveguide materials are required to have conditions such as low optical loss, easy production of the optical waveguide, control of the refractive index difference between the core and the clad, and excellent heat resistance. Quartz-based materials have been most studied so far as optical waveguide materials. Quartz has a very good light transmittance as demonstrated in an optical fiber. Therefore, even when used as an optical waveguide, a low optical loss of 0.1 dB / cm or less is achieved at a wavelength of 1.3 μm. However, there are manufacturing problems such as a long time required for the production of the optical waveguide, a high temperature during the production, and difficulty in increasing the area.
【0004】これに対してポリメチルメタクリレートな
どのプラスチック光学材料は低い温度で光導波路形成が
可能であり、低価格が期待できるなどの長所がある一
方、耐熱性、耐湿性に劣るという欠点がある。またポリ
イミドはプラスチックの中で最も耐熱性に優れている
が、従来のポリイミドは光透過性に劣るという問題があ
った。On the other hand, a plastic optical material such as polymethyl methacrylate has the advantages that an optical waveguide can be formed at a low temperature and can be expected to be inexpensive, but has the disadvantage that it is inferior in heat resistance and moisture resistance. . Polyimide has the highest heat resistance among plastics, but the conventional polyimide has a problem in that it has poor light transmittance.
【0005】そこで本発明者らは光透過性に優れたポリ
イミド光学材料の研究を行ってきた。本発明者らは特開
平3−72528で光透過性に優れたフッ素化ポリイミ
ドを明らかにしている。さらに特開平4−8734では
このフッ素化ポリイミドを共重合することにより例えば
光導波路の形成に必要な屈折率制御が可能であることを
明らかにしている。またこのフッ素化ポリイミドを用い
た光導波路については特開平4−9807、同4−23
5505、同4−235506で明らかにしている。こ
のように光透過性に優れたポリイミドで耐熱性に優れた
プラスチック光導波路が実現されている。Accordingly, the present inventors have studied polyimide optical materials having excellent light transmittance. The present inventors have disclosed a fluorinated polyimide excellent in light transmittance in JP-A-3-72528. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-8734 discloses that copolymerization of this fluorinated polyimide makes it possible to control the refractive index necessary for forming an optical waveguide, for example. Optical waveguides using this fluorinated polyimide are disclosed in JP-A-4-9807 and JP-A-4-23.
5505 and 4-235506. As described above, a plastic optical waveguide excellent in heat resistance is realized by using polyimide excellent in light transmittance.
【0006】しかしながらポリイミド光導波路において
も幾つかの問題がある。例えばポリイミドは耐熱性に優
れている反面、化学構造中の芳香族環が配向し易いとい
う面を持っている。これは光学材料としてみた場合、複
屈折を発現し易いということである。複屈折自体は、光
学材料としてはある場合は好ましい特性であり、ある場
合は好ましくない特性となる。また光導波路用材料とし
てみた場合も同じことがいえる。例えば直線偏光の偏波
面を保存しながら導波させたい場合は複屈折があった方
が良いが、無偏波の光を導波させたい場合は複屈折を持
たない方が良い。このように複屈折をいかようにも制御
できることが期待されている。However, polyimide optical waveguides have some problems. For example, polyimide has excellent heat resistance, but has a surface on which aromatic rings in the chemical structure are easily oriented. This means that birefringence easily occurs when viewed as an optical material. The birefringence itself is a desirable characteristic as an optical material in some cases, and an undesirable characteristic in some cases. The same can be said when viewed as a material for an optical waveguide. For example, if it is desired to guide the light while preserving the plane of polarization of linearly polarized light, it is better to have birefringence, but if it is desired to guide non-polarized light, it is better not to have birefringence. It is expected that the birefringence can be controlled in any way.
【0007】本発明者らのこれまでの検討により、この
うち低複屈折ポリイミド膜については基板の熱膨張係数
とポリイミドの熱膨張係数を合わせること、すなわち基
板としてポリイミド基板を用いることにより低複屈折ポ
リイミド膜が実現することを見いだし、特開平9−15
608で明らかにしている。しかし現在光学用ポリイミ
ド基板およびそれに用いるポリイミドとして製造・販売
されているものがないのが現状である。その理由として
はどのような種類のポリイミドが光学基板用として最適
なのかが明らかになっていないこと、また光導波路材料
であるフッ素化ポリイミドを用いて光学用ポリイミド基
板を製造すると高価になるなどの問題点があるためと考
えられる。The inventors of the present invention have studied so far that the low birefringence polyimide film has a low birefringence by matching the coefficient of thermal expansion of the substrate with the coefficient of thermal expansion of the polyimide, that is, by using a polyimide substrate as the substrate. It has been found that a polyimide film can be realized.
608. However, at present, there is no optical polyimide substrate or any polyimide manufactured or sold as an optical polyimide substrate. The reason is that it is not clear what kind of polyimide is best for the optical substrate, and it is expensive to manufacture an optical polyimide substrate using fluorinated polyimide, which is an optical waveguide material. This is probably because there is a problem.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明は光学基板用と
して要求される性能を最適化したポリイミド、また安価
なポリイミドそしてそれらのポリイミドを用いた安価で
性能が高い光学用ポリイミド基板を提供することを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a polyimide having an optimized performance required for an optical substrate, an inexpensive polyimide, and an inexpensive and high-performance optical polyimide substrate using these polyimides. With the goal.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成するため、光学基板用ポリイミドの化学構造と
特性の関係、またポリイミドの製造原料とポリイミドの
特性、コストの関係について検討し、本発明を達成する
に至った。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present inventors examined the relationship between the chemical structure and properties of polyimide for an optical substrate, and the relationship between the polyimide production raw material and the properties and cost of polyimide. Thus, the present invention has been achieved.
【0010】本発明を概要すれば、本発明の第一の発明
の光学基板用ポリイミドは、ガラス転移温度が300℃
以上で、かつ熱膨張係数が60ppm以上であることを
特徴とする。本発明の第二の発明の光学基板用ポリイミ
ドは、ジアミンと酸二無水物から製造されるポリイミド
において少なくともいずれか一方がフッ素を含まないジ
アミンと酸二無水物から製造されるポリイミドであるこ
とを特徴とする。本発明の第三の発明の光学用ポリイミ
ド基板は、第一または第二の発明の光学基板用ポリイミ
ドを用いて製造することを特徴とする。In summary, the polyimide for an optical substrate according to the first invention of the present invention has a glass transition temperature of 300 ° C.
And the thermal expansion coefficient is 60 ppm or more. The polyimide for an optical substrate of the second invention of the present invention is that at least one of the polyimide produced from diamine and acid dianhydride is a polyimide produced from diamine and acid dianhydride containing no fluorine. Features. An optical polyimide substrate according to a third aspect of the present invention is manufactured using the polyimide for an optical substrate according to the first or second aspect.
【0011】以下、本発明についてより詳細に説明す
る。Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】本発明の光学基板用ポリイミドを
限定する一つが、ガラス転移温度が300℃以上である
ことであるがその根拠について説明する。光学基板用ポ
リイミドは、これを用いて光学用ポリイミド基板を製造
するものであるが、この光学用ポリイミド基板上に通常
ポリイミド膜を作製することを想定している。従ってそ
のためにはポリアミド酸からポリイミドへの熱イミド化
の温度に耐える必要がある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One of the limitations of the polyimide for an optical substrate of the present invention is that the glass transition temperature is 300 ° C. or higher. The polyimide for an optical substrate is used to produce a polyimide substrate for an optical element, and it is assumed that a polyimide film is usually formed on the polyimide substrate for an optical element. Therefore, for that purpose, it is necessary to withstand the temperature of the thermal imidization of the polyamic acid to the polyimide.
【0013】イミド化は、ポリアミド酸の種類によって
も異なるが120℃〜200℃の間で起こると言われて
おり、ポリイミド膜の安定性から考えて通常300℃以
上の温度でキュアしている。従って光学用ポリイミド基
板は300℃のキュアに耐える必要がある。300℃の
キュアに耐えるということはポリイミドが300℃で熱
分解しないことは言うに及ばず、ガラス転移温度が30
0℃以上必要であるということである。一方、下限を限
定し、上限を限定しなかった理由は、ガラス転移温度は
いくら高くても本発明には直接関係がないからである。The imidization is said to occur between 120 ° C. and 200 ° C., although it varies depending on the type of polyamic acid, and curing is usually performed at a temperature of 300 ° C. or more in view of the stability of the polyimide film. Therefore, the polyimide substrate for optical needs to withstand curing at 300 ° C. Withstanding the curing at 300 ° C. means that the polyimide does not thermally decompose at 300 ° C., and has a glass transition temperature of 30 ° C.
That is, 0 ° C. or more is required. On the other hand, the reason why the lower limit is limited and the upper limit is not limited is that no matter how high the glass transition temperature is, it is not directly related to the present invention.
【0014】なお本発明で述べているガラス転移温度と
は、熱機械分析において測定される物性を言っている。
参考までに本発明における使用装置、測定条件は次の通
りである。The glass transition temperature described in the present invention refers to physical properties measured by thermomechanical analysis.
For reference, the equipment used and the measurement conditions in the present invention are as follows.
【0015】使用装置:真空理工株式会社製TM−70
00。Apparatus used: TM-70 manufactured by Vacuum Riko Co., Ltd.
00.
【0016】 測定条件:測定試料:幅5mm×長さ15mm×厚さ15〜20μm 引っ張り荷重:3g 雰囲気:窒素雰囲気 昇温速度5℃/min。Measurement conditions: Measurement sample: width 5 mm × length 15 mm × thickness 15 to 20 μm Tensile load: 3 g Atmosphere: Nitrogen atmosphere Heating rate 5 ° C./min.
【0017】またもう一つの限定として熱膨張係数を6
0ppm以上としているがその根拠について説明する。
本発明の光学用ポリイミド基板上に作製する光部品の主
なものとしてポリイミド光導波路を想定している。ポリ
イミド光導波路は、光透過性の観点からフッ素化ポリイ
ミドが、さらに導波路の偏波依存性を起こさせないため
に、フッ素化ポリイミドの中で複屈折が小さいものが現
在用いられており、また今後も用いられるものと考えら
れる。現在用いられている光導波路用フッ素化ポリイミ
ドは、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)
ヘキサフルオロプロパン二無水物(以下6FDAと略記
する)と2,2′−ビス(トリフルオロメチル)−4,
4′−ジアミノビフェニル(以下TFDBを略記する)
から製造されるフッ素化ポリイミド(以下6FDA/T
FDBと略記する)、6FDAと4,4′−ジアミノジ
フェニルエーテル(以下ODAと略記する)から製造さ
れるフッ素化ポリイミド(以下6FDA/ODAと略記
する)及び6FDAとTFDB、ODAの共重合体など
である。As another limitation, the coefficient of thermal expansion is 6
Although the content is set to 0 ppm or more, the reason will be described.
A polyimide optical waveguide is assumed as a main optical component manufactured on the optical polyimide substrate of the present invention. For polyimide optical waveguides, fluorinated polyimides have low birefringence among fluorinated polyimides in order to avoid polarization dependence of the waveguides from the viewpoint of light transmission. Is also considered to be used. The fluorinated polyimide for an optical waveguide currently used is 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl).
Hexafluoropropane dianhydride (hereinafter abbreviated as 6FDA) and 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,
4'-diaminobiphenyl (hereinafter abbreviated as TFDB)
Fluorinated polyimide (hereinafter 6FDA / T)
FDB), fluorinated polyimide (hereinafter abbreviated as 6FDA / ODA) produced from 6FDA and 4,4'-diaminodiphenyl ether (hereinafter abbreviated as ODA), and a copolymer of 6FDA with TFDB and ODA. is there.
【0018】ちなみに6FDA/TFDBの熱膨張係数
は82ppm、6FDA/ODAは61ppmである。
従ってこれらと同様の熱膨張係数を有する光学基板用ポ
リイミドを用いて光学用ポリイミド基板を作製すれば、
光学用ポリイミド基板上に作製したポリイミド光導波路
の偏波依存性は非常に小さいことが期待できる。このよ
うなことから光学基板用ポリイミドの熱膨張係数を60
ppm以上と限定したのである。一方下限を限定し、上
限を限定しなかった理由は、もし100ppmの光学基
板用ポリイミドが実現したら、共重合、ブレンドなどの
手法により60ppm〜100ppmまでのポリイミド
を既存の技術で十分実現できるからである。The thermal expansion coefficient of 6FDA / TFDB is 82 ppm, and that of 6FDA / ODA is 61 ppm.
Therefore, if an optical polyimide substrate is prepared using an optical substrate polyimide having a similar coefficient of thermal expansion as these,
It can be expected that the polarization dependence of a polyimide optical waveguide fabricated on an optical polyimide substrate is very small. For this reason, the thermal expansion coefficient of the polyimide for optical substrates is 60
It was limited to ppm or more. On the other hand, the reason for limiting the lower limit and not limiting the upper limit is that if 100 ppm of a polyimide for an optical substrate is realized, copolymerization, 60 ppm to 100 ppm of a polyimide up to 100 ppm can be sufficiently realized by existing techniques by a method such as blending. is there.
【0019】なお、本発明で述べている熱膨張係数と
は、熱機械分析において測定される物性で温度範囲が5
0〜300℃の平均熱膨張係数で、2回目の測定(通常
セカンドランと呼ぶ)のものである。参考までに本発明
における使用装置、測定条件は次の通りである。The coefficient of thermal expansion described in the present invention is a physical property measured by thermomechanical analysis and has a temperature range of 5
Average coefficient of thermal expansion from 0 to 300 ° C., measured for the second time (usually called second run). For reference, the equipment used and the measurement conditions in the present invention are as follows.
【0020】使用装置:真空理工株式会社製TM−70
00。Apparatus used: TM-70 manufactured by Vacuum Riko Co., Ltd.
00.
【0021】 測定条件:測定試料:幅5mm×長さ15mm×厚さ15〜20μm 引っ張り荷重:3g 雰囲気:窒素雰囲気 昇温速度5℃/min。Measurement conditions: Measurement sample: width 5 mm × length 15 mm × thickness 15 to 20 μm Tensile load: 3 g Atmosphere: Nitrogen atmosphere Heating rate 5 ° C./min.
【0022】本発明の光学基板用ポリイミドには、ガラ
ス転移温度が300℃以上で、かつ熱膨張係数が60p
pm以上の全てのポリイミドが使用できる。例えば以下
に示すテトラカルボン酸またはその誘導体とジアミンか
ら製造されるポリイミド、ポリイミド共重合体、ポリイ
ミド混合物でガラス転移温度が300℃以上で、かつ熱
膨張係数が60ppm以上であるポリイミドが挙げられ
る。The polyimide for an optical substrate of the present invention has a glass transition temperature of 300 ° C. or higher and a thermal expansion coefficient of 60 p.
All polyimides above pm can be used. For example, there are polyimides, polyimide copolymers, and polyimide mixtures produced from the following tetracarboxylic acids or derivatives thereof and diamines, which have a glass transition temperature of 300 ° C. or more and a thermal expansion coefficient of 60 ppm or more.
【0023】テトラカルボン酸並びにその誘導体として
の酸無水物、酸塩化物、エステル化物などとしては次の
ようなものが挙げられる。ここではテトラカルボン酸と
しての例を挙げる。Examples of the tetracarboxylic acid and its derivatives such as acid anhydrides, acid chlorides and esterified compounds are as follows. Here, an example of tetracarboxylic acid will be given.
【0024】(トリフルオロメチル)ピロメリット酸、
ジ(トリフルオロメチル)ピロメリット酸、ジ(ヘプタ
フルオロプロピル)ピロメリット酸、ペンタフルオロエ
チルピロメリット酸、ビス{3,5−ジ(トリフルオロ
メチル)フェノキシ}ピロメリット酸、3,4,3′,
4′−ビフェニルテトラカルボン酸、3,3′,4,
4′−テトラカルボキシジフェニルエーテル、2,
3′,3,4′−テトラカルボキシジフェニルエーテ
ル、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸、2,3,6,7−テトラカルボキシナフタレン、
1,4,5,7−テトラカルボキシナフタレン、1,
4,5,6−テトラカルボキシナフタレン、3,3′,
4,4′−テトラカルボキシジフェニルメタン、3,
3′,4,4′−テトラカルボキシジフェニルスルホ
ン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プ
ロパン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、5,5′−ビス(トリフ
ルオロメチル)−3,3′,4,4′−テトラカルボキ
シビフェニル、2,2′,5,5′−テトラキス(トリ
フルオロメチル)−3,3′,4,4′−テトラカルボ
キシビフェニル、5,5′−ビス(トリフルオロメチ
ル)−3,3′,4,4′−テトラカルボキシジフェニ
ルエーテル、5,5′−ビス(トリフルオロメチル)−
3,3′,4,4′−テトラカルボキシベンゾフェノ
ン、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノ
キシ}ベンゼン、ビス{(トリフルオロメチル)ジカル
ボキシフェノキシ}(トリフルオロメチル)ベンゼン、
ビス(ジカルボキシフェノキシ)(トリフルオロメチ
ル)ベンゼン、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス
(トリフルオロメチル)ベンゼン、ビス(ジカルボキシ
フェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼ
ン、3,4,9,10−テトラカルボキシペリレン、
2,2−ビス{4−(3,4−ジカルボキシジフェノキ
シ)フェニル}プロパン、ブタンテトラカルボン酸、シ
クロペンタンテトラカルボン酸、2,2−ビス{4−
(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル}ヘキサ
フルオロプロパン、ビス{(トリフルオロメチル)ジカ
ルボキシフェノキシ}ビフェニル、ビス{(トリフルオ
ロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビス(トリフルオ
ロメチル)ビフェニル、ビス{(トリフルオロメチル)
ジカルボキシフェノキシ}ジフェニルエーテル、ビス
(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチ
ル)ビフェニル、ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)ジメチルシラン、1,3−ビス(3,4−ジカルボ
キシフェニル)テトラメチルジシロキサン、ジフルオロ
ピロメリット酸、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシ
トリフルオロフェノキシ)テトラフルオロベンゼン、
1,4−ビス(3,4−ジカルボキシトリフルオロフェ
ノキシ)オクタフルオロビフェニルなどである。(Trifluoromethyl) pyromellitic acid,
Di (trifluoromethyl) pyromellitic acid, di (heptafluoropropyl) pyromellitic acid, pentafluoroethylpyromellitic acid, bis {3,5-di (trifluoromethyl) phenoxy} pyromellitic acid, 3,4,3 ′,
4'-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ', 4
4'-tetracarboxydiphenyl ether, 2,
3 ', 3,4'-tetracarboxydiphenyl ether, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid, 2,3,6,7-tetracarboxynaphthalene,
1,4,5,7-tetracarboxynaphthalene, 1,
4,5,6-tetracarboxynaphthalene, 3,3 ′,
4,4'-tetracarboxydiphenylmethane, 3,
3 ', 4,4'-tetracarboxydiphenylsulfone, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane, 5,5 '-Bis (trifluoromethyl) -3,3', 4,4'-tetracarboxybiphenyl, 2,2 ', 5,5'-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3', 4,4'- Tetracarboxybiphenyl, 5,5'-bis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-tetracarboxydiphenyl ether, 5,5'-bis (trifluoromethyl)-
3,3 ', 4,4'-tetracarboxybenzophenone, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} benzene, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} (trifluoromethyl) benzene,
Bis (dicarboxyphenoxy) (trifluoromethyl) benzene, bis (dicarboxyphenoxy) bis (trifluoromethyl) benzene, bis (dicarboxyphenoxy) tetrakis (trifluoromethyl) benzene, 3,4,9,10-tetra Carboxyperylene,
2,2-bis {4- (3,4-dicarboxydiphenoxy) phenyl} propane, butanetetracarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid, 2,2-bis {4-
(3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl {hexafluoropropane, bis (trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} biphenyl, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} bis (trifluoromethyl) biphenyl, bis} ( Trifluoromethyl)
Dicarboxyphenoxy diphenyl ether, bis (dicarboxyphenoxy) bis (trifluoromethyl) biphenyl, bis (3,4-dicarboxyphenyl) dimethylsilane, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) tetramethyldi Siloxane, difluoropyromellitic acid, 1,4-bis (3,4-dicarboxytrifluorophenoxy) tetrafluorobenzene,
1,4-bis (3,4-dicarboxytrifluorophenoxy) octafluorobiphenyl and the like.
【0025】ジアミンとしては、例えば次のものが挙げ
られる。m−フェニレンジアミン、2,4−ジアミノト
ルエン、2,4−ジアミノキシレン、2,4−ジアミノ
デュレン、4−(1H,1H,11H−エイコサフルオ
ロウンデカノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、4−
(1H,1H−パーフルオロ−1−ブタノキシ)−1,
3−ジアミノベンゼン、4−(1H,1H−パーフルオ
ロ−1−ヘプタノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、
4−(1H,1H−パーフルオロ−1−オクタノキシ)
−1,3−ジアミノベンゼン、4−ペンタフルオロフェ
ノキシ−1,3−ジアミノベンゼン、4−(2,3,
5,6−テトラフルオロフェノキシ)−1,3−ジアミ
ノベンゼン、4−(4−フルオロフェノキシ)−1,3
−ジアミノベンゼン、4−(1H,1H,2H,2H−
パーフルオロ−1−ヘキサノキシ)−1,3−ジアミノ
ベンゼン、4−(1H,1H,2H,2H−パーフルオ
ロ−1−ドデカノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、
p−フェニレンジアミン、2,5−ジアミノトルエン、
2,3,5,6−テトラメチル−p−フェニレンジアミ
ン、2,5−ジアミノベンゾトリフルオライド、ビス
(トリフルオロメチル)フェニレンジアミン、ジアミノ
テトラ(トリフルオロメチル)ベンゼン、ジアミノ(ペ
ンタフルオロエチル)ベンゼン、2,5−ジアミノ(パ
ーフルオロヘキシル)ベンゼン、2,5−ジアミノ(パ
ーフルオロブチル)ベンゼン、ベンジジン、2,2′−
ジメチルベンジジン、3,3′−ジメチルベンジジン、
3,3′−ジメトキシベンジジン、2,2′−ジメトキ
シベンジジン、3,3′,5,5′−テトラメチルベン
ジジン、3,3′−ジアセチルベンジジン、2,2′−
ビス(トリフルオロメチル)−4,4′−ジアミノビフ
ェニル、オクタフルオロベンジジン、3,3′−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4′−ジアミノビフェニ
ル、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′
−ジアミノジフェニルメタン、4,4′−ジアミノジフ
ェニルスルホン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)
プロパン、3,3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジ
フェニルエーテル、3,3′−ジメチル−4,4′−ジ
アミノジフェニルメタン、1,2−ビス(アニリノ)エ
タン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフル
オロプロパン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオ
ロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロ
ブタン、1,5−ビス(アニリノ)デカフルオロペンタ
ン、1,7−ビス(アニリノ)テトラデカフルオロヘプ
タン、2,2′−ビス(トリフルオロメチル)−4,
4′−ジアミノジフェニルエーテル、3,3′−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4′−ジアミノジフェニ
ルエーテル、3,3′,5,5′−テトラキス(トリフ
ルオロメチル)−4,4′−ジアミノフェニルエーテ
ル、3,3′−ビス(トリフルオロメチル)−4,4′
−ジアミノベンゾフェノン、4,4′′−ジアミノ−p
−テルフェニル、1,4−ビス(p−アミノフェニル)
ベンゼン、p−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメ
チルフェノキシ)ベンゼン、ビス(アミノフェノキシ)
ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン、ビス(アミノフ
ェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼ
ン、4,4′′′−ジアミノ−p−クオーターフェニ
ル、4,4′−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニ
ル、2,2−ビス{4−(p−アミノフェノキシ)フェ
ニル}プロパン、4,4′−ビス(3−アミノフェノキ
シフェニル)ジフェニルスルホン、2,2−ビス{4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス{4−(3−アミノフェノキシ)
フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス{4
−(2−アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロ
プロパン、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキ
シ)−3,5−ジメチルフェニル}ヘキサフルオロプロ
パン、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)−
3,5−ジトリフルオロメチルフェニル}ヘキサフルオ
ロプロパン、4,4′−ビス(4−アミノ−2−トリフ
ルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4′−ビス
(4−アミノ−3−トリフルオロメチルフェノキシ)ビ
フェニル、4,4′−ビス(4−アミノ−2−トリフル
オロメイルフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4′
−ビス(3−アミノ−5−トリフルオロメチルフェノキ
シ)ジフェニルスルホン、2,2−ビス{4−(4−ア
ミノ−3−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル}
ヘキサフルオロプロパン、ビス{(トリフルオロメチ
ル)アミノフェノキシ}ビフェニル、ビス[ {(トリフ
ルオロメチル)アミノフェノキシ}フェニル] ヘキサフ
ルオロプロパン、ジアミノアントラキノン、1,5−ジ
アミノナフタレン、2,6−ジアミノナフタレン、ビス
[ {2−(アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオ
ロイソプロピル] ベンゼン、ビス(2,3,5,6−テ
トラフルオロ−4−アミノフェニル)エーテル、ビス
(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−アミノフェニ
ル)スルフィド、1,3−ビス(3−アミノプロピル)
テトラメチルジシロキサン、1,4−ビス(3−アミノ
プロピルジメチルシリル)ベンゼン、ビス(4−アミノ
フェニル)ジエチルシラン、1,3−ジアミノテトラフ
ルオロベンゼン、1,4−ジアミノテトラフルオロベン
ゼン、4,4′−ビス(テトラフルオロアミノフェノキ
シ)オクタフルオロビフェニルなどがある。The following are examples of the diamine. m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 2,4-diaminoxylene, 2,4-diaminodulene, 4- (1H, 1H, 11H-eicosafluoroundecanooxy) -1,3-diaminobenzene, 4-
(1H, 1H-perfluoro-1-butanoxy) -1,
3-diaminobenzene, 4- (1H, 1H-perfluoro-1-heptanoxy) -1,3-diaminobenzene,
4- (1H, 1H-perfluoro-1-octanoxy)
-1,3-diaminobenzene, 4-pentafluorophenoxy-1,3-diaminobenzene, 4- (2,3
5,6-tetrafluorophenoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (4-fluorophenoxy) -1,3
-Diaminobenzene, 4- (1H, 1H, 2H, 2H-
Perfluoro-1-hexanoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (1H, 1H, 2H, 2H-perfluoro-1-dodecanoxy) -1,3-diaminobenzene,
p-phenylenediamine, 2,5-diaminotoluene,
2,3,5,6-tetramethyl-p-phenylenediamine, 2,5-diaminobenzotrifluoride, bis (trifluoromethyl) phenylenediamine, diaminotetra (trifluoromethyl) benzene, diamino (pentafluoroethyl) benzene , 2,5-diamino (perfluorohexyl) benzene, 2,5-diamino (perfluorobutyl) benzene, benzidine, 2,2'-
Dimethylbenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine,
3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 3,3 ', 5,5'-tetramethylbenzidine, 3,3'-diacetylbenzidine, 2,2'-
Bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminobiphenyl, octafluorobenzidine, 3,3'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4 ′
-Diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 2,2-bis (p-aminophenyl)
Propane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 1,2-bis (anilino) ethane, 2,2-bis (p- Aminophenyl) hexafluoropropane, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluorobutane, 1,5-bis (anilino) decafluoropentane, 1,7-bis (anilino ) Tetradecafluoroheptane, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,
4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3 ', 5,5'-tetrakis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminophenyl Ether, 3,3'-bis (trifluoromethyl) -4,4 '
-Diaminobenzophenone, 4,4 "-diamino-p
-Terphenyl, 1,4-bis (p-aminophenyl)
Benzene, p-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) benzene, bis (aminophenoxy)
Bis (trifluoromethyl) benzene, bis (aminophenoxy) tetrakis (trifluoromethyl) benzene, 4,4 ″ ″-diamino-p-quarterphenyl, 4,4′-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, , 2-bis {4- (p-aminophenoxy) phenyl} propane, 4,4'-bis (3-aminophenoxyphenyl) diphenylsulfone, 2,2-bis {4-
(4-aminophenoxy) phenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (3-aminophenoxy)
Phenyl {hexafluoropropane, 2,2-bis} 4
-(2-aminophenoxy) phenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (4- Aminophenoxy)-
3,5-ditrifluoromethylphenyl @ hexafluoropropane, 4,4'-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) ) Biphenyl, 4,4'-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 4,4 '
-Bis (3-amino-5-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 2,2-bis {4- (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) phenyl}
Hexafluoropropane, bis {(trifluoromethyl) aminophenoxy} biphenyl, bis [{(trifluoromethyl) aminophenoxy} phenyl] hexafluoropropane, diaminoanthraquinone, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, Screw
[{2- (aminophenoxy) phenyl} hexafluoroisopropyl] benzene, bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-aminophenyl) ether, bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4) -Aminophenyl) sulfide, 1,3-bis (3-aminopropyl)
Tetramethyldisiloxane, 1,4-bis (3-aminopropyldimethylsilyl) benzene, bis (4-aminophenyl) diethylsilane, 1,3-diaminotetrafluorobenzene, 1,4-diaminotetrafluorobenzene, 4, 4'-bis (tetrafluoroaminophenoxy) octafluorobiphenyl and the like.
【0026】上記のポリイミドの中では、フッ素化ポリ
イミドが耐湿性の観点からより好適であるが、一方フッ
素化ポリイミドは、原料のフッ素化ジアミン、フッ素化
テトラカルボン酸またはその誘電体は高価であるため、
製造コストを抑える意味で少なくともどちらか一方の原
料にフッ素が含まれていない原料の組み合わせから製造
されるフッ素化ポリイミドがより好適である。Among the above-mentioned polyimides, fluorinated polyimides are more preferable from the viewpoint of moisture resistance. On the other hand, fluorinated polyimides are expensive as raw materials such as fluorinated diamines, fluorinated tetracarboxylic acids or their dielectrics. For,
From the viewpoint of suppressing the production cost, a fluorinated polyimide produced from a combination of raw materials in which at least one of the raw materials does not contain fluorine is more preferable.
【0027】ポリイミドの製造は通常のポリイミド製造
方法が適用できる。すなわちジアミンと酸二無水物を極
性溶媒中で重合させ、ポリアミド酸溶液を製造した後加
熱イミド化または化学的イミド化を行い、ポリイミドと
する。また溶媒を用いない真空蒸着重合法でも良い。For the production of polyimide, a usual polyimide production method can be applied. That is, a diamine and an acid dianhydride are polymerized in a polar solvent to produce a polyamic acid solution, which is then subjected to heat imidization or chemical imidization to obtain a polyimide. Further, a vacuum vapor deposition polymerization method using no solvent may be used.
【0028】光学用ポリイミド基板の製造は、ポリアミ
ド酸溶液や、ポリイミドが溶媒に可溶な場合はポリイミ
ド溶液を使用し、キャスト法などによりポリイミド基板
を製造できる。またポリイミド粉末を高温・高圧力で成
型する方法も適用できる。すなわち高分子材料を用いて
基板を製造する既存の技術が適用できる。In the production of an optical polyimide substrate, a polyamide acid solution or, if the polyimide is soluble in a solvent, a polyimide solution is used, and the polyimide substrate can be produced by a casting method or the like. A method of molding polyimide powder at high temperature and high pressure can also be applied. That is, an existing technique for manufacturing a substrate using a polymer material can be applied.
【0029】製造した光学基板の表面が平滑でない場合
は、表面研磨を施したほうが良い。表面の平滑性として
は平均表面粗さで100nm以下、できれば50nm以
下が良い。If the surface of the manufactured optical substrate is not smooth, it is better to perform surface polishing. The surface smoothness is preferably 100 nm or less in average surface roughness, preferably 50 nm or less.
【0030】[0030]
【実施例】以下いくつかの実施例を用いて本発明をさら
に詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に限定さ
れるものではない。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to some examples, but the present invention is not limited to these examples.
【0031】本実施例の屈折率は、プリズムカップラー
法で測定した波長1320nmでの値である。なおTE
方向とは入射する偏波の電界ベクトルが基板表面に平行
な方向であり、TM方向とは偏波面がこれに垂直な方向
である。複屈折は、TE方向の屈折率からTM方向の屈
折率を差し引いた値の絶対値で示した。The refractive index in this embodiment is a value at a wavelength of 1320 nm measured by the prism coupler method. Note that TE
The direction is a direction in which the electric field vector of the incident polarization is parallel to the substrate surface, and the TM direction is a direction in which the plane of polarization is perpendicular to the direction. The birefringence was indicated by the absolute value of the value obtained by subtracting the refractive index in the TM direction from the refractive index in the TE direction.
【0032】<実施例1>三角フラスコに6FDA8
8.8g(0.2mol)とTFDB64.0g(0.
2mol)及びN,N−ジメチルアセトアミド1000
gを加えた。この混合物を窒素雰囲気下、室温で3日間
攪拌し、濃度約13wt%のポリアミド酸溶液(以下6
FDA/TFDBポリアミド酸溶液と略記する)を得
た。この6FDA/TFDBポリアミド酸溶液をキャス
ト法で製膜後加熱キュアし、厚さ15μmのフィルムと
厚さ150μmの基板(6FDA/TFDB基板)を得
た。このフィルムの熱膨張係数は82ppmで、ガラス
転移温度は325℃であった。<Example 1> 6FDA8 was placed in an Erlenmeyer flask.
8.8 g (0.2 mol) and TFDB 64.0 g (0.
2 mol) and N, N-dimethylacetamide 1000
g was added. This mixture was stirred under a nitrogen atmosphere at room temperature for 3 days to obtain a polyamic acid solution having a concentration of about 13 wt% (hereinafter referred to as 6 wt.
FDA / TFDB polyamic acid solution). This 6FDA / TFDB polyamic acid solution was formed into a film by a casting method and then heated and cured to obtain a 15 μm thick film and a 150 μm thick substrate (6FDA / TFDB substrate). The coefficient of thermal expansion of this film was 82 ppm, and the glass transition temperature was 325 ° C.
【0033】この6FDA/TFDB基板上に6FDA
/TFDBポリアミド酸溶液をスピンコートした後オー
ブン中で70℃で2時間、160℃で1時間、250℃
で30分、300℃で1時間加熱し、イミド化を行い、
厚さ10μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド膜
のTE方向の屈折率は1.525、TM方向の屈折率は
1.525、複屈折は0.000であった。On this 6FDA / TFDB substrate, 6FDA
/ TFDB polyamic acid solution is spin-coated in an oven at 70 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 1 hour, 250 ° C.
For 30 minutes at 300 ° C. for 1 hour to perform imidization,
A polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained. The refractive index of this polyimide film in the TE direction was 1.525, the refractive index in the TM direction was 1.525, and the birefringence was 0.000.
【0034】<実施例2>三角フラスコにベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物(以下BTDAと略記す
る)64.4g(0.2mol)とTFDB64.0g
(0.2mol)及びN,N−ジメチルアセトアミド1
000gを加えた。この混合物を窒素雰囲気下、室温で
3日間攪拌し、濃度約11wt%のポリアミド酸溶液
(以下BTDA/TFDBポリアミド酸溶液と略記す
る)を得た。このBTDA/TFDBポリアミド酸溶液
をキャスト法で製膜後加熱キュアし、厚さ15μmのフ
ィルムと厚さ150μmの基板(BTDA/TFDB基
板)を得た。このフィルムの熱膨張係数は75ppm
で、ガラス転移温度は305℃であった。<Example 2> 64.4 g (0.2 mol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride (hereinafter abbreviated as BTDA) and 64.0 g of TFDB were placed in an Erlenmeyer flask.
(0.2 mol) and N, N-dimethylacetamide 1
000 g were added. This mixture was stirred at room temperature under a nitrogen atmosphere for 3 days to obtain a polyamic acid solution having a concentration of about 11 wt% (hereinafter abbreviated as BTDA / TFDB polyamic acid solution). The BTDA / TFDB polyamic acid solution was formed into a film by a casting method and then heated and cured to obtain a film having a thickness of 15 μm and a substrate having a thickness of 150 μm (BTDA / TFDB substrate). The coefficient of thermal expansion of this film is 75 ppm
The glass transition temperature was 305 ° C.
【0035】このBTDA/TFDB基板上に6FDA
/TFDBポリアミド酸溶液をスピンコートした後オー
ブン中で70℃で2時間、160℃で1時間、250℃
で30分、300℃で1時間加熱し、イミド化を行い、
厚さ10μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド膜
のTE方向の屈折率は1.525、TM方向の屈折率は
1.524、複屈折は0.001であった。6FDA on the BTDA / TFDB substrate
/ TFDB polyamic acid solution is spin-coated in an oven at 70 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 1 hour, 250 ° C.
For 30 minutes at 300 ° C. for 1 hour to perform imidization,
A polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained. The refractive index in the TE direction of this polyimide film was 1.525, the refractive index in the TM direction was 1.524, and the birefringence was 0.001.
【0036】<実施例3>三角フラスコに6FDA8
8.8g(0.2mol)とODA40.0g(0.2
mol)及びN,N−ジメチルアセトアミド1000g
を加えた。この混合物を窒素雰囲気下、室温で3日間攪
拌し、濃度約11wt%のポリアミド酸溶液(以下6F
DA/ODAポリアミド酸溶液と略記する)を得た。こ
の6FDA/ODAポリアミド酸溶液をキャスト法で製
膜後加熱キュアし、厚さ15μmのフィルムと厚さ15
0μmの基板(6FDA/ODA基板)を得た。このフ
ィルムの熱膨張係数は61ppmで、ガラス転移温度は
302℃であった。Example 3 6FDA8 was placed in an Erlenmeyer flask.
8.8 g (0.2 mol) and ODA 40.0 g (0.2
mol) and 1000 g of N, N-dimethylacetamide
Was added. This mixture was stirred under a nitrogen atmosphere at room temperature for 3 days to obtain a polyamic acid solution having a concentration of about 11 wt% (hereinafter referred to as 6F).
DA / ODA polyamic acid solution). This 6FDA / ODA polyamic acid solution is formed into a film by a casting method and then heated and cured to form a film having a thickness of 15 μm and a thickness of 15 μm.
A 0 μm substrate (6FDA / ODA substrate) was obtained. The coefficient of thermal expansion of this film was 61 ppm, and the glass transition temperature was 302 ° C.
【0037】この6FDA/ODA基板上に6FDA/
ODAポリアミド酸溶液をスピンコートした後オーブン
中で70℃で2時間、160℃で1時間、250℃で3
0分、300℃で1時間加熱し、イミド化を行い、厚さ
10μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド膜のT
E方向の屈折率は1.569、TM方向の屈折率は1.
569、複屈折は0.000であった。On this 6FDA / ODA board, 6FDA /
After spin-coating the ODA polyamic acid solution in an oven at 70 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 1 hour, and 250 ° C. for 3 hours.
The mixture was heated for 0 minute at 300 ° C. for 1 hour to perform imidization, thereby obtaining a polyimide film having a thickness of 10 μm. T of this polyimide film
The refractive index in the E direction is 1.569, and the refractive index in the TM direction is 1.69.
569, birefringence was 0.000.
【0038】<比較例1>三角フラスコにピロメリット
酸二無水物(以下PMDAと略記する)43.6g
(0.2mol)とODA40.0g(0.2mol)
及びN,N−ジメチルアセトアミド1000gを加え
た。この混合物を窒素雰囲気下、室温で3日間攪拌し、
濃度約11wt%のポリアミド酸溶液(以下PMDA/
ODAポリアミド酸溶液と略記する)を得た。このPM
DA/ODAポリアミド酸溶液をキャスト法で製膜後加
熱キュアし、厚さ15μmのフィルムと厚さ150μm
の基板(PMDA/ODA基板)を得た。このフィルム
の熱膨張係数は35ppmで、ガラス転移温度は400
℃までの測定で明らかにすることはできなく、400℃
以上と考えられる。Comparative Example 1 Pyromellitic dianhydride (hereinafter abbreviated as PMDA) 43.6 g in an Erlenmeyer flask
(0.2 mol) and ODA 40.0 g (0.2 mol)
And 1000 g of N, N-dimethylacetamide. The mixture was stirred at room temperature under a nitrogen atmosphere for 3 days,
A polyamic acid solution having a concentration of about 11 wt% (hereinafter referred to as PMDA /
(Abbreviated as ODA polyamic acid solution). This PM
A DA / ODA polyamic acid solution is formed into a film by a casting method, and then heated and cured to form a film having a thickness of 15 μm and a thickness of 150 μm.
(PMDA / ODA substrate) was obtained. The coefficient of thermal expansion of this film is 35 ppm, and the glass transition temperature is 400
400 ° C cannot be clarified by measurement up to
It is considered above.
【0039】このPMDA/ODA基板上に6FDA/
ODAポリアミド酸溶液をスピンコートした後オーブン
中で70℃で2時間、160℃で1時間、250℃で3
0分、300℃で1時間加熱し、イミド化を行い、厚さ
10μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド膜のT
E方向の屈折率は1.523、TM方向の屈折率は1.
519、複屈折は0.004であった。On this PMDA / ODA board, 6FDA /
After spin-coating the ODA polyamic acid solution in an oven at 70 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 1 hour, and 250 ° C. for 3 hours.
The mixture was heated for 0 minute at 300 ° C. for 1 hour to perform imidization, thereby obtaining a polyimide film having a thickness of 10 μm. T of this polyimide film
The refractive index in the E direction is 1.523, and the refractive index in the TM direction is 1.23.
519, birefringence was 0.004.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればガ
ラス転移温度が300℃以上で、かつ熱膨張係数が60
ppm以上である光学基板用ポリイミドで製造した光学
用ポリイミド基板の上に作製したポリイミド膜は熱膨張
係数60ppm以下であるポリイミド基板上に作製した
ポリイミド膜に比較して複屈折が小さく、この膜を用い
て光導波路を作製すれば偏波依存性の小さなポリイミド
光導波路が作製できるという効果がある。またガラス転
移温度が300℃以上で、かつ熱膨張係数が60ppm
以上である光学基板用ポリイミドの中で少なくともいず
れか一方がフッ素を含まないジアミンと酸二無水物から
製造される光学基板用ポリイミドを用いることにより安
価な光学用ポリイミド基板が製造できるという利点があ
る。As described above, according to the present invention, the glass transition temperature is 300 ° C. or higher and the coefficient of thermal expansion is 60
The birefringence is smaller than that of the polyimide film produced on the polyimide substrate having a coefficient of thermal expansion of 60 ppm or less. When an optical waveguide is manufactured by using the same, there is an effect that a polyimide optical waveguide having small polarization dependence can be manufactured. The glass transition temperature is 300 ° C. or higher, and the thermal expansion coefficient is 60 ppm.
There is an advantage that an inexpensive optical polyimide substrate can be manufactured by using an optical substrate polyimide manufactured from a diamine containing no fluorine and an acid dianhydride at least one of the above-described optical substrate polyimides. .
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 重邦 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 松浦 徹 東京都武蔵野市御殿山一丁目1番3号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 山本 二三男 東京都武蔵野市御殿山一丁目1番3号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 諸井 長広 埼玉県川越市今福中台2805番地 セントラ ル硝子株式会社化学研究所内 (72)発明者 前田 一彦 埼玉県川越市今福中台2805番地 セントラ ル硝子株式会社化学研究所内 (72)発明者 堤 憲太郎 埼玉県川越市今福中台2805番地 セントラ ル硝子株式会社化学研究所内 Fターム(参考) 2H047 QA05 TA00 4J043 PA02 PA19 PC155 PC156 QB15 QB26 RA35 SA06 SA44 SA56 SB01 TA22 TA48 TB01 UA032 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA142 UA151 UA152 UA161 UA172 UA222 UA261 UA262 UA281 UB011 UB012 UB021 UB022 UB062 UB121 UB122 UB151 UB152 UB281 UB301 UB302 UB311 UB312 UB351 UB352 UB401 UB402 VA011 VA012 VA021 VA022 VA031 VA032 VA041 VA042 VA051 VA052 VA081 VA082 XA16 XB33 YA06 ZA35 ZA52 ZB21 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shigekuni Sasaki 3-19-2 Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Japan Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Tohru Matsuura 1-3-1 Gotenyama, Musashino City, Tokyo No. NTT Advanced Technology Co., Ltd. (72) Inventor Fumio Yamamoto 1-3-1 Gotenyama, Musashino-shi, Tokyo, Japan Inside NTT Advanced Technology Co., Ltd. (72) Inventor Nagahiro Moroi 2805 Imafukunakadai, Kawagoe-shi, Saitama Prefecture, Japan Chemical Research Laboratory (72) Inventor Kazuhiko Kazuhiko Maeda 2805, Imafukunakadai, Kawagoe-shi, Saitama Prefecture, Japan Chemical Research Laboratory (72) Inventor Kentaro Tsutsumi 2805, Imafukunakadai, Kawagoe-shi, Saitama F-term (Central Glass Co., Ltd.) ) 2H047 QA05 TA00 4J043 PA02 PA19 PC155 PC156 QB15 QB26 RA35 SA06 SA44 SA56 SB01 TA22 TA48 TB01 UA032 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA142 UA151 UA152 UB UB UB 191 UB 012 UB 012 UB 191 UB401 UB402 VA011 VA012 VA021 VA022 VA031 VA032 VA041 VA042 VA051 VA052 VA081 VA082 XA16 XB33 YA06 ZA35 ZA52 ZB21
Claims (3)
熱膨張係数が60ppm以上であることを特徴とする光
学基板用ポリイミド。1. A polyimide for an optical substrate, which has a glass transition temperature of 300 ° C. or more and a thermal expansion coefficient of 60 ppm or more.
求項1に記載のポリイミドにおいて少なくともいずれか
一方がフッ素を含まないジアミンと酸二無水物から製造
されることを特徴とする請求項1に記載の光学基板用ポ
リイミド。2. The polyimide according to claim 1, which is produced from a diamine and an acid dianhydride, wherein at least one of the polyimides is produced from a fluorine-free diamine and an acid dianhydride. 4. The polyimide for an optical substrate according to item 1.
板用ポリイミドを用いて製造した光学用ポリイミド基
板。3. An optical polyimide substrate manufactured using the polyimide for an optical substrate according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP37461398A JP2000198844A (en) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | Polyimide for optical substrate and polyimide substrate for optical |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018508625A (en) * | 2015-02-11 | 2018-03-29 | コーロン インダストリーズ インク | Polyamic acid, polyimide resin and polyimide film |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP37461398A patent/JP2000198844A/en active Pending
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