JP2000196120A - 薄膜太陽電池の製造方法、太陽電池、および太陽電池の取り付け構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】可撓性を有ししかも軽量な太陽電池を安価に提
供する。 【解決手段】支持面に微小な凹凸１２が形成された支持
体８と、支持体８に当接する面に微小な凹凸７が形成さ
れた薄膜太陽電池用基材３とを用意し、前記微小な凹凸
７、１２どうしを係合させることで、薄膜太陽電池用基
材３を支持体８で支持したのち、薄膜太陽用基材３上に
薄膜太陽電池本体２を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜太陽電池の製
造方法、太陽電池、および太陽電池の取り付け構造に関
する。

【０００２】

【従来の技術】薄膜太陽電池は結晶系太陽電池と比較し
て少量の原料で作製することが可能であるという特徴
と、集積を行うことにより出力電圧、電流の設計に自由
度が得られるという特徴を有している。また、太陽電池
本体を実装する基材を選択することにより、結晶系太陽
電池に比べて、軽量性、可撓性が得られるという特徴を
有している。さらには、場所を選ぶことなく広範囲に設
置できて設置の自由度が高まるという特徴を有してい
る。

【０００３】このような特徴を有する薄膜太陽電池とし
て、従来から、第１の構成および第２の構成がある。第
１の構成は、光が入射される電池端（以下、光入射端と
称す）にガラス等の透光性絶縁基板からなる薄膜太陽電
池用基材を配置したうえで、この薄膜太陽電池用基材上
に、光入射方向の順方向に沿って透明電極層、非晶質半
導体層、および裏面電極層からなる薄膜太陽電池本体
を、記述した順序に配置して構成されている。

【０００４】第２の構成は、前記光入射端の反対側に位
置する電池端にフィルム基板や金属基板からなる薄膜太
陽電池用基材を配置したうえで、光入射方向の逆方向に
沿って、この薄膜太陽電池用基材上用に裏面電極層、非
晶質半導体層、および透明電極層からなる薄膜太陽電池
本体を、記述した順序に配置して構成されている。

【０００５】太陽電池においては、地上での電力用とし
てだけでなく、人口衛星や飛行船の動力源としての使用
も期待されており、搭載にあたり、外部形状が曲面形状
をしているこれら太陽電池取付部材（人工衛星や飛行
船）に張り付けるために、より高い可撓性の付与の要望
があるうえ、これら太陽電池取付対象部材が飛行物体で
あるために、さらなる軽量化の要望がある。

【０００６】このような要望に対しては、上記第２の構
成を有する薄膜太陽電池が有望視されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記第２の構成を採用
することで、ある程度の軽量化や可撓性の獲得は可能と
なるが、より高い可撓性と、さらなる軽量化を促進しよ
うとする場合には、薄膜太陽電池用基材の薄膜化が重要
となる、そして、このような薄膜太陽電池用基材の薄膜
化を促進するうえでは、薄膜太陽電池用基材としてフィ
ルム基板を用いることが望ましく、また使用するフィル
ム基板はより薄い方が望ましい。

【０００８】しかしながら、薄膜太陽電池用基材として
フィルム基板を用いて上記第２の構成の薄膜太陽電池を
作製する場合、薄膜太陽電池本体を構成する各層の成膜
時の熱によって薄膜太陽電池用基材（フィルム基板）が
溶融したり、成膜時の熱や膜応力によって薄膜太陽電池
用基材が変形する、といった課題があり、このような課
題は、薄膜太陽電池用基材を薄くする程、顕著となる。

【０００９】このような課題を解消するため、従来か
ら、フィルム基板からなる薄膜太陽電池用基材に張力を
かけた状態で薄膜太陽電池本体の成膜を行うロールツー
ロール等の方法が一般的に用いられるが、張力を付与し
た状態での薄膜太陽電池本体の各層の成膜では、薄膜太
陽電池用基材の薄膜化が難しい。

【００１０】さらには、薄膜太陽電池で高い変換効率を
得るためには、非晶質半導体層の成膜において、１５０
度〜２００度といった高い処理温度が必要である。これ
に対して、薄膜太陽電池用基材として使用可能で、か
つ、張力をかけた状態で１５０度程度の温度条件下で変
形を起こさないフィルム基板は、ポリイミド系フィルム
やフッ素系フィルムといった一部の耐熱性フィルムに限
られてしまうが、このような樹脂フィルムは非常に高価
であり、そのために、薄膜太陽電池の製造コストを上昇
させるという不都合がある。以上のような理由により、
ロールツーロール法等の方法では、実質的に課題の解決
に至っていない。

【００１１】また、このような課題を解決するために
は、薄膜太陽電池用基材（フィルム基板）を、ガラスや
金属板等の支持体に貼着したうえで、薄膜太陽電池本体
を成膜することが考えられる。そうすれば、支持体によ
って裏打ちされた薄膜体電池用基材（フィルム基板）に
おいて、成膜時の熱による溶融や変形が生じにくくな
る。しかしながら、一般的な接着剤を用いて薄膜太陽電
池用基材（フィルム基板）を支持体に貼着したのでは、
薄膜太陽電池用基材と支持体とを剥離することが不可能
となるため、できあがった太陽電池は支持体が着いた状
態となり、これでは可撓性と軽量化を得ることが不可能
となるため、この構成においても、実質的に課題の解決
に至っているとはいえない。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、次のような手
段によって、上述した課題の解決を達成している。

【００１３】本発明の請求項１に係る発明では、支持面
に微小な凹凸が形成された支持体と、前記支持体に当接
する面に微小な凹凸が形成された薄膜太陽電池用基材と
を用意し、前記微小な凹凸どうしを係合させることで、
前記薄膜太陽電池用基材を前記支持体で支持したのち、
前記薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽電池本体を形成す
ることに特徴を有しており、これにより次のような作用
を有する。すなわち、支持体の支持面に薄膜太陽電池用
基材の当接面を当接させた状態で、これらの面に対して
その当接方向に圧力を加えることにより、微小な凹凸の
先端どうしが交差し合って摩擦により強力に接着し合
う。この状態で、薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽電池
本体を形成すれば、薄膜太陽電池本体形成時において加
熱処理を行ったとしても、その熱による薄膜太陽電池用
基材の溶融や変形は起こりにくくなる。

【００１４】本発明の請求項２に係る発明では、請求項
１に係る薄膜太陽電池の製造方法であって、前記薄膜太
陽電池用基材として、微粒子が添加された樹脂からなる
薄膜太陽電池用基材を用いるとともに、当該薄膜太陽電
池用基材上に、裏面電極層、非晶質半導体層、および透
明電極層からなる薄膜太陽電池本体をこの順に形成する
ことに特徴を有しており、これにより次のような作用を
有する。すなわち、微粒子が添加された樹脂からなる薄
膜太陽電池用基材の表面には、前記した微小な凹凸より
さらに小さい極小の凹凸が存在することになる。このよ
うな極小の凹凸が存在する薄膜太陽電池用基材上に薄膜
太陽電池本体の各層を形成すれば、各層の表面、特に裏
面電極層にも同様の極小の凹凸が形成されることにな
る。一方、薄膜太陽電池用基材上に、裏面電極層、非晶
質半導体層、および透明電極層からなる薄膜太陽電池本
体をこの順に形成すれば、このような薄膜太陽電池に透
明電極層側から入射したのち非晶質半導体層で吸収され
なかった光は裏面電極層で反射されたのち、非晶質半導
体層に再度吸収されることになる。ここで、裏面電極層
には、上述したように極小の凹凸が形成されることにな
るので、反射する光は、反射時に極小な凹凸で拡散さ
れ、その光路長がのびるため、非晶質半導体層における
光の吸収効率が向上して短絡電流値が大きくなり、結果
として高い変換効率が得られることになる。

【００１５】本発明の請求項３に記載の発明は、請求項
１または２に係る薄膜太陽電池の製造方法であって、前
記薄膜太陽電池用基材上に前記薄膜太陽電池本体を形成
したのち、前記微小な凹凸どうしの係合に抗して、前記
薄膜太陽電池用基材から前記支持体を分離することに特
徴を有しており、これにより次のような作用を有する。
すなわち、微小な凹凸どうしは、その先端どうしが互い
違いに交差し合って摩擦により接着しているだけである
ので、その接着力に抗して薄膜太陽電池用基材から支持
体を分離することは比較的容易に行うことができる。支
持体から分離された薄膜太陽電池は、溶融や変形を起こ
しにくくなって薄膜基板の薄膜化が達成できるため、軽
量化が図るうえに可撓性も向上することになる。

【００１６】本発明の請求項４に記載の発明は、外部接
着面に微小な凹凸を形成して太陽電池を構成したことに
特徴を有しており、これにより次のような作用を有す
る。すなわち、太陽電池取付対象部材として、上記微小
な凹凸と同様の微小な凹凸を有するものを用いれば、微
小な凹凸どうしを係合させることで、太陽電池を、容易
かつ確実に、さらには着脱自在に太陽電池取付対象部材
に取り付けることができるようになる。

【００１７】本発明の請求項５に記載の発明は、請求項
４に係る太陽電池であって、前記外部接着面を、太陽電
池の光入射端とは反対側に位置する電池端に設けること
に特徴を有しており、これにより次のような作用を有す
る。すなわち、微小な凹凸が光入射端側に配置されない
ので、微小な凹凸により光の入射が妨げられることがな
くなる。

【００１８】本発明の請求項６に記載の発明は、表面に
微小な凹凸を有する太陽電池取付対象部材と、前記太陽
電池取付対象部材に当接する外部接着面に微小な凹凸を
有する太陽電池とを有し、前記微小な凹凸どうしを係合
させることで、前記太陽電池を前記太陽電池取付対象部
材に取り付けることに特徴を有しており、これにより次
のような作用を有する。すなわち、微小な凹凸どうしを
係合させることで、太陽電池を容易かつ確実に、さらに
は着脱自在に太陽電池取付対象部材に取り付けることが
できるようになる。しかも、取付面が曲面となった太陽
電池取付対象部材に対しても、確実に太陽電池を取り付
けることができるようになる。

【００１９】本発明の請求項７に記載の発明は、請求項
６に係る太陽電池の取付構造であって、前記微小な凹凸
それぞれは、その頂部と底部との高低差が５０μｍ〜２
ｍｍであることに特徴を有しており、これにより次のよ
うな作用を有する。すなわち、微小な凹凸の頂部と底部
との高低差をこのような範囲に設定することにより、太
陽電池を確実に太陽電池取付対象部材に取り付けること
ができるようになる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面を参照して詳細に説明する。

【００２１】本発明の一実施の形態の薄膜太陽電池１
は、図１に示すように、薄膜太陽電池１の光入射端１ａ
から光入射方向αの順方向に沿って、薄膜太陽電池本体
２と、薄膜太陽電池用基材３とを備えて構成されてい
る。薄膜太陽電池本体２は、光入射方向αの順方向に沿
って、透明電極層４と、非晶質半導体層５と、裏面電極
層６とを備えて構成されている。透明電極層４は、例え
ば、ＩＴＯ、ＳnＯ₂、ＺnＯから構成されている。非晶
質半導体層５は、図示はしないが、ｐ層、ｉ層、ｎ層を
積層して構成されている。裏面電極層６は、例えば、Ａ
g又はＡｌとＺnＯとの積層体から構成されている。薄膜
太陽電池用基材３は、例えば、塩化ビニル系、ポリエス
テル系、ポリイミド系、フッ素系、ないしアクリル系の
樹脂材料からなるフィルム基板を用いることができる
が、ポリイミド系樹脂やフッ素樹脂からなるフィルム基
板は、比較的高価であるので、他の樹脂材料からなるフ
ィルム基板を選択するのが望ましい。光入射端１ａとは
対向する太陽電池端１ｂに面する薄膜太陽電池用基材３
の端面（後述する支持体８に対する当接面や外部接着面
となる）には微小な凹凸７が形成されている。微小な凹
凸７は、図２に示すように、薄膜太陽電池用基材３の端
面上に無数（例えば、１ｃｍ²当たり、１００〜１００
万個程度）形成されており、その頂部と底部との高低差
７ａは５０μｍ〜２ｍｍ程度に設定されている。

【００２２】次に、この薄膜太陽電池１の製造方法の一
例を説明する。

【００２３】まず、薄膜太陽電池用基材３を用意する。
薄膜太陽電池用基材３は塩化ビニル系、ポリエステル
系、ポリイミド系、アクリル系、フッ素系等の樹脂から
なるフィルム基板から構成することができるが、ここで
は、その一例であるアクリル系樹脂からなるフィルム基
板を用いる。この薄膜太陽電池用基材３の一面（後述す
る支持体８に対する当接面や外部接着面となる）には、
予め、微小な凹凸７を形成しておく。微小な凹凸７は、
薄膜太陽電池用基材３を精密成型する際に同時に形成す
ることができる。微小な凹凸７の頂部と底部とのの高低
差７ａとしては、上述したように、５０μｍ〜２ｍｍ程
度が望ましい。これは５０μ以下、あるいは２ｍｍ以上
の場合、後述する支持体８や太陽電池取付対象部材との
間で十分な接着性が得られないからである。

【００２４】一方、予め、支持体８を用意しておく。支
持体８は、ガラス基材９上にフィルム材１０を接着剤１
１により張り付けて構成されている。さらには、支持体
８の支持面を構成するフィルム材１０の表面には、予め
微小な凹凸１２を形成しておく。微小な凹凸１２は、上
記微小な凹凸７と同様の高低差１２ａおよび形成密度を
有したものとする。ここでは、フィルム材１０を張り付
ける基材としてガラス基板９を用いているが、ＳＵＳや
アルミニウム等の金属基板を用いることもできる。

【００２５】このようにして用意した支持体８に薄膜太
陽電池用基材３を支持固定する。この支持固定は、薄膜
太陽電池用基材３の微小な凹凸７と支持体８の微小な凹
凸１２とを当接させたうえで、これら微小な凹凸７、１
２に対して、外側からローラー等で均一に圧力を加える
ことで行う。このときの状態の断面図を図３（ａ）に示
す。

【００２６】薄膜太陽電池用基材３を支持体８で支持固
体したのち、薄膜太陽電池用基材３の一面（微小な凹凸
７の形成面とは対向する面）３ａに、基板設定温度１８
０度の雰囲気下で行うスパッタリングにより、膜厚約５
００ｎｍのＡgを成膜する。さらに、成膜したＡg膜上
に、膜厚５０ｎｍのＺnＯを成膜することで、裏面電極
層６を形成する。なお、本実施の形態では、スパッタリ
ングにより裏面電極層６を形成したが、蒸着法で形成し
てもよい。

【００２７】その後、プラズマＣＶＤ装置で裏面電極層
６上に非晶質半導体層５を形成する。非晶質半導体層５
はｐ層、ｉ層、ｎ層から形成されており、それぞれの膜
厚は例えば、順次２０ｎｍ、４００ｎｍ、３０ｎｍとな
るように設定する。各層の形成条件に一例を表１に示
す。基板設定温度は１７０度であり、このような設定で
十分な特性の非晶質半導体層５を得ることができる。

【００２８】

【表１】

【００２９】その後、スパッタリング法により非晶質半
導体層５上に透明電極層４を形成することで、薄膜太陽
電池本体２を薄膜太陽電池基材３上に作製する。透明電
極層４を作製する方法としては、蒸着法やプラズマＣＶ
Ｄ法を用いてもよい。透明電極層４としては、ＩＴＯ、
ＳnＯ₂、ＺnＯを使用することができる。このときの基
板設定温度は１５０度である。このような方法で形成し
た薄膜太陽電池５の断面図をを図３（ｂ）に示す。

【００３０】このように、薄膜太陽電池本体２の形成時
の温度は１５０度以上であり、アクリル樹脂フィルムか
らなる薄膜太陽電池用基材３単体に、薄膜太陽電池本体
２の成膜を行うとフィルムの溶融、または熱応力や膜応
力による変形が起こる。しかし、薄膜太陽電池用基材３
を支持体８に張り付けることにより、耐熱性の低いフィ
ルムからなる薄膜太陽電池用基材３であっても、薄膜太
陽電池本体２の形成時において、フィルム基板変形等を
抑止することが可能となる。

【００３１】なお、薄膜太陽電池用基材３の全面に微小
な凹凸７を形成して支持体８で支持固定すると、薄膜太
陽電池用基材３の変形をより確実に防止することができ
る。しかしながら、耐熱性も高く熱変形しにくい樹脂フ
ィルムから薄膜太陽電池用基材３を構成する場合には、
必ずしも、微小な凹凸７を薄膜太陽電池用基材３の全面
に設ける必要はなくその一部の領域に微小な凹凸７を形
成してもよい。

【００３２】以上のようにして、薄膜太陽電池本体２を
作製した後、薄膜太陽電池用基材３から支持体８を分離
することで、図１に示す薄膜太陽電池１が完成する。支
持体８の分離は、微小な凹凸７と微小な凹凸１２との係
合に抗して、支持体８を薄膜太陽電池用基材３から引き
はがすことで行える。なお、支持体８は、接着剤を使用
して薄膜太陽電池用基材３に接着していないので、繰り
返し使用することができ、経済的である。

【００３３】以上のようにして、薄膜太陽電池１を作製
するのであるが、このような製法において、次にように
してもよい。すなわち、薄膜太陽電池基板用基材３の材
料（上述した実施の形態ではアクリル樹脂）に対して、
成形前に微粒子を添加する。添加する微粒子としては、
Ａl₂Ｏ₃、ＳiＯ₂、ＴiＯ₂等を使用することができる。
微粒子の粒経は、２００〜５００ｎｍ程度が望ましい。
２００ｎｍ以下の場合は凝集して所望する大きさより大
きな微粒子となりやすい。また、５００ｎｍ以上の場合
も比較的大きな微粒子となりやすい。薄膜太陽電池用基
材３中に大きな微粒子が含有されると、薄膜太陽電池の
短絡等の原因となり都合が悪い。このような理由により
微粒子の粒経は２００〜５００ｎｍ程度が望ましい。

【００３４】そこで、薄膜太陽電池用基材３の材料中
に、例えば、粒経約３００ｎｍのＳiＯ₂微粒子を２５Ｗ
ｔ％添加する。このように、薄膜太陽電池用基材３の材
料中に微粒子を添加することにより、形成された薄膜太
陽電池用基材３’の表面には微粒子の粒経に準じた極小
の凹凸（上述した微小な凹凸７や微小な凹凸１２に比べ
て極めて小さい大きさを有する）１３を形成することが
できる。

【００３５】このような極小の凹凸１３を有する薄膜太
陽電池用基材３’に薄膜太陽電池本体２’を形成する
と、図４に示すように、極小の凹凸１３を型にして薄膜
太陽電池本体２’を構成する各層（特に裏面電極層
６’）の表面にも同様の極小の凹凸１４（裏面電極層
６’）、１５（非晶質半導体層５’）、１６（透明電極
層４’）が形成されることになる。

【００３６】このようにして作製された薄膜太陽電池
１’では、透明電極層４’側から入射したのち非晶質半
導体層５’で吸収されなかった光は裏面電極層６’で反
射されるが、反射時に裏面電極層６’表面に設けられた
極小の凹凸１４で光が拡散され、その光路長がのびるた
め、短絡電流値が大きくなり、結果として高い変換効率
が得られる。

【００３７】裏面電極層６’に極小の凹凸１４が形成さ
れた薄膜太陽電池１’と、裏面電極層６に極小の凹凸１
４を有さない薄膜太陽電池１とを、それぞれ１０サンプ
ルずつ作製して、特性を測定したところ、表２のような
結果が得られた。表２の値はそれぞれ平均値である。表
２から明らかなように、微粒子を添加して裏面電極層
６’に極小の凹凸１４を形成した方が高い変換効率を得
られることがわかる。

【００３８】

【表２】

【００３９】以上のようにして作製した薄膜太陽電池１
を、薄膜太陽電池取付対象部材の一例である飛行船や気
球（この例では飛行船）に取り付ける場合を説明する。
図５に示すように、まず、塩化ビニルデンフィルム（ヘ
リウムガスを透過しない）等からなる飛行船２０の外壁
材２１の表面に上述した微小な凹凸７と同様の大きさを
備えた微小な凹凸２３を形成する。微小な凹凸２３は、
外壁材２１の表面の薄膜太陽電池接着領域２２に形成す
る。

【００４０】そして、このような微小な凹凸２３が形成
された薄膜太陽電池形成領域２２に薄膜太陽電池１を貼
着する。貼着は、微小な凹凸２３に微小な凹凸７を当接
させた状態である程度の圧力をかけて両凹凸７、２３ど
うしを係合させることで簡単に行うことができる。これ
により簡便かつ低コストに薄膜太陽電池１を貼着するこ
とができる。しかも、この貼着構造は、薄膜太陽電池１
を局面となった外壁材２１表面に直接に貼着することが
できるので、軽量な動力源を搭載した飛行船をつくるこ
とが可能となる。この太陽電池設置構造は、飛行船、気
球、人工衛星のみならず、薄膜太陽電池の地上用設置に
おいても簡便かつ低コストでかつ軽量な設置方法であ
る。

【００４１】なお、上述した実施の形態では、薄膜太陽
電池用基材３として、樹脂フィルム（アクリル樹脂フィ
ルム）単体としたが、図６に示すように、微小な凹凸７
を有する樹脂フィルム３０を接着剤３１で金属基板３２
に張り付けてなる薄膜太陽電池用基材３３を有して、薄
膜太陽電池３４を構成してもよい。このような構成であ
っても、薄膜太陽電池取付対象部材に対して簡単かつ容
易に貼着することができる。

【００４２】

【発明の効果】本発明の請求項１によれば、微小な凹凸
の先端どうしが交差し合って摩擦により強力に接着し合
うので、この状態で、薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽
電池本体を形成すれば、薄膜太陽電池本体形成時におい
て加熱処理を行ったとしても、その熱による薄膜太陽電
池用基材の溶融や変形は起こりにくくなる。そのため、
薄膜太陽電池用基材の溶融や変形が起こりにくくなる
分、薄膜太陽電池用基材の薄膜化が図れる。さらには、
薄膜太陽電池用基材として、耐熱性の低い安価な樹脂フ
ィルムを使用することが可能となり、その分、製造コス
トの低減が図れる。

【００４３】本発明の請求項２によれば、薄膜太陽電池
本体の各層の表面、特に裏面電極層に極小の凹凸が形成
されることになるので、形成された裏面電極層で反射す
る光は、反射時に極小の凹凸で拡散されてその光路長が
のびることになる。そのため、この製造方法で作製した
薄膜太陽電池は、結果として高い変換効率が得られるこ
とになる。

【００４４】本発明の請求項３によれば、接着力に抗し
て薄膜太陽電池用基材から支持体を分離することで、薄
膜太陽電池の軽量化を図ることができるうえに可撓性も
向上することになる。

【００４５】本発明の請求項４によれば、太陽電池取付
対象部材として、微小な凹凸と同様の微小な凹凸を有す
るものを用いれば、太陽電池を、容易かつ確実に、さら
には着脱自在に取り付けることができるようになり、設
置コストの軽減が図れるうえに、接着剤等を用いる必要
がない分、太陽電池の設置構造の軽量化が図れる。

【００４６】本発明の請求項５によれば、微小な凹凸が
光入射端側に配置されないので、微小な凹凸により光の
入射が妨げられることがなくなり、その分、太陽電池の
発電効率を落とすことなく、太陽電池の設置を行うこと
ができるようになる。

【００４７】本発明の請求項６によれば、微小な凹凸ど
うしを係合させることで、太陽電池を容易かつ確実に、
さらには着脱自在に太陽電池取付対象部材に取り付ける
ことができるようになる。しかも、取付面が曲面となっ
た太陽電池取付対象部材に対しても、確実に太陽電池を
取り付けることができる。これにより、設置コストの軽
減が図れるうえに、接着剤等を用いる必要がない分、太
陽電池の設置構造の軽量化が図れる。

【００４８】本発明の請求項７によれば、微小な凹凸の
頂部と底部との高低差をこのような範囲に設定すること
により、太陽電池を確実に太陽電池取付対象部材に取り
付けることができるようになる。

【００４９】以上のように本発明によれば、可撓性が高
く、軽量で着脱の容易な太陽電池を得ることが可能とな
る。また、輸送コストや設置コストが下がるため、薄膜
太陽電池の製造コストの低減が可能となる。また、薄膜
太陽電池を形成する際、耐熱性の低い安価な樹脂フィル
ムを使用することができるので、その分でも、製造コス
トを低減することができる。さらには、薄膜太陽電池用
基材を支持体により支持固定した状態で薄膜太陽電池本
体を形成することができるので、ガラス基板等を使用す
る従前の製造ラインをそのまま使用することができるた
め、新たな設備投資をする必要がなくなり、その分で
も、製造コストの低減が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る薄膜太陽電池の構
造を示す断面図である。

【図２】実施の形態の薄膜太陽電池の要部を示す斜視図
である。

【図３】実施の形態の薄膜太陽電池の製造方法の各工程
を示す断面図である。

【図４】本発明の変形例である薄膜太陽電池の構造を示
す断面図である。

【図５】実施の形態の薄膜太陽電池の設置例を示す図で
ある。

【図６】本発明のさらに他の変形例である薄膜太陽電池
の構造を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 薄膜太陽電池 １ａ 光入射端
１ｂ 太陽電池端 ２ 薄膜太陽電池本体 ３ 薄膜太陽電池用基材 ３ａ 薄膜太陽電池用基材３の一面（微小な凹凸７の形
成面とは対向する面） ４ 透明電極層 ５ 非晶質半導体層
６ 裏面電極層 ７ 微小な凹凸 ７ａ 高低差
８ 支持体 ９ ガラス基板 １０ フィルム材
１１ 接着剤 １２ 凹凸 １２ａ 高低差
１３ 極小の凹凸 １４ 裏面電極層表面の極小の凹凸 １５ 非晶質半
導体層の極小の凹凸 １６ 透明電極層の極小の凹凸 ２０ 飛行船 ２１ 外壁材 ２２ 薄膜太陽
電池形成領域 ２３ 微小な凹凸 ３０ 樹脂フィルム
３１ 接着剤 ３２ 金属基板 ３３ 薄膜太陽電池用基材
３４ 薄膜太陽電池 α 入射光 ２′ 極小凹凸の形成された薄膜太陽電池本体 ３′ 極小凹凸の形成された薄膜太陽電池用基材 ４′ 極小凹凸の形成された透明電極層 ５′ 極小凹凸の形成された非晶質半導体層 ６′ 極小凹凸の形成された裏面電極層

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持面に微小な凹凸が形成された支持体
   と、前記支持体に当接する面に微小な凹凸が形成された
   薄膜太陽電池用基材とを用意し、 前記微小な凹凸どうしを係合させることで、前記薄膜太
   陽電池用基材を前記支持体で支持したのち、 前記薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽電池本体を形成す
   ることを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の薄膜太陽電池の製造方法
   であって、 前記薄膜太陽電池用基材として、微粒子が添加された樹
   脂からなる基材を用いるとともに、当該薄膜太陽電池用
   基材上に、裏面電極層、非晶質半導体層、および透明電
   極層からなる薄膜太陽電池本体をこの順に形成すること
   を特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の薄膜太陽電池の
   製造方法であって、 前記薄膜太陽電池用基材上に前記薄膜太陽電池本体を形
   成したのち、前記微小な凹凸どうしの係合に抗して、前
   記薄膜太陽電池用基材から前記支持体を分離することを
   特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
4. 【請求項４】 外部接着面に微小な凹凸が形成されてい
   ることを特徴とする太陽電池。
5. 【請求項５】 請求項４記載の太陽電池であって、 前記外部接着面を、太陽電池の光入射端とは反対側に位
   置する電池端に設けることを特徴とする太陽電池。
6. 【請求項６】 表面に微小な凹凸を有する太陽電池取付
   対象部材と、前記太陽電池取付対象部材に当接する外部
   接着面に微小な凹凸を有する太陽電池とを有し、 前記微小な凹凸どうしを係合させることで、前記太陽電
   池を前記太陽電池取付対象部材に取り付けることを特徴
   とする太陽電池の取り付け構造。
7. 【請求項７】 請求項６記載の太陽電池の取り付け構造
   であって、 前記微小な凹凸それぞれは、その頂部と底部との高低差
   が５０μｍ〜２ｍｍであることを特徴とする太陽電池の
   取り付け構造。