JP2000034393A - Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor device - Google Patents
Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 (A)一般式(1)で表されるエポキシ
樹脂、(B)一般式(2)で表されるフェノール樹脂硬
化剤、(C)モリブデン化合物、(D)無機充填剤を配
合してなることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂
組成物。
【化1】
【化2】
(R1、R2はH、C1〜C4のアルキル基及びフェニル基
から選択される同一もしくは異なる原子又は基であり、
n,m=0〜10である。)
【効果】 本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
は、成形性、難燃性、耐リフロークラック性及び耐湿性
に優れた硬化物を与え、しかもハロゲン化エポキシ樹
脂、三酸化アンチモンを樹脂組成物中に含有しないの
で、人体・環境に対する悪影響もないものである。(57) Abstract: (A) an epoxy resin represented by the general formula (1); (B) a phenol resin curing agent represented by the general formula (2); (C) a molybdenum compound; An epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor, comprising an inorganic filler. Embedded image Embedded image (R 1 and R 2 are the same or different atoms or groups selected from H, a C 1 -C 4 alkyl group and a phenyl group,
n and m = 0 to 10. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention provides a cured product excellent in moldability, flame retardancy, reflow crack resistance and moisture resistance, and further comprises a halogenated epoxy resin and antimony trioxide as a resin. Since it is not contained in the composition, there is no adverse effect on the human body and environment.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、成形性が良好で、
高温放置特性、難燃性及び耐リフロークラック性に優れ
ると共に、安全性の高い硬化物を与える半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物及び該樹脂組成物の硬化物で封止され
た半導体装置に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a mold having good moldability,
The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which has excellent high-temperature storage characteristics, flame retardancy and reflow crack resistance, and gives a highly safe cured product, and a semiconductor device sealed with a cured product of the resin composition.
【0002】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】現在、
半導体デバイスは、樹脂封止型のダイオード、トランジ
スター、IC、LSI、超LSIが主流となっており、
一般にエポキシ樹脂が他の熱硬化性樹脂に比べ成形性、
接着性、電気特性、機械特性、耐湿性等に優れているた
め、エポキシ樹脂組成物で半導体装置を封止することが
多く行われている。2. Description of the Related Art
As semiconductor devices, resin-sealed diodes, transistors, ICs, LSIs, and super LSIs have become mainstream,
In general, epoxy resin is more moldable than other thermosetting resins,
Semiconductor devices are often sealed with epoxy resin compositions because of their excellent adhesiveness, electrical properties, mechanical properties, moisture resistance, and the like.
【0003】近年、このエポキシ樹脂組成物中には、難
燃性規格であるUL−94のV−0を達成するために、
一般にハロゲン化エポキシ樹脂と三酸化アンチモンとが
配合されている。このハロゲン化エポキシ樹脂と三酸化
アンチモンとの組み合わせは、気相においてラジカルト
ラップ、空気遮断効果が大きく、その結果、高い難燃効
果が得られるものである。In recent years, in order to achieve V-0 of UL-94, which is a flame retardant standard, this epoxy resin composition has
Generally, a halogenated epoxy resin and antimony trioxide are blended. The combination of the halogenated epoxy resin and antimony trioxide has a large radical trapping and air blocking effect in the gas phase, and as a result, a high flame retardant effect can be obtained.
【0004】しかしながら、ハロゲン化エポキシ樹脂は
燃焼時に有毒ガスを発生するという問題があり、また、
三酸化アンチモンにも粉体毒性があるため、人体・環境
に対する影響を考慮すると、これらの難燃剤は樹脂組成
物成分として好適とは言い難いものであり、全く含まな
いことが望ましい。[0004] However, halogenated epoxy resins have the problem of generating toxic gases when burned.
Since antimony trioxide also has powder toxicity, considering the effects on human body and environment, these flame retardants are hardly suitable as a resin composition component, and it is desirable not to include them at all.
【0005】そこで、このような要求に対して、ハロゲ
ン化エポキシ樹脂或いは三酸化アンチモンの代替とし
て、従来からAl(OH)3、Mg(OH)2等の水酸化
物、リン系難燃剤等を使用することの検討がなされてき
ている。しかし、いずれの化合物を使用しても、成形時
の硬化性が悪くなったり、耐湿性が悪くなる等の問題点
があり、実用化には至っていないのが現状である。To meet such demands, hydroxides such as Al (OH) 3 and Mg (OH) 2 , phosphorus-based flame retardants and the like have conventionally been used in place of halogenated epoxy resins or antimony trioxide. Consideration has been given to its use. However, any of these compounds has problems such as poor curability during molding and poor moisture resistance, and has not been put to practical use at present.
【0006】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
成形性に優れ、高温放置特性、難燃性及び耐リフローク
ラック性に優れると共に、安全性の高い硬化物を与える
半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びその硬化物で封止
された半導体装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances,
Provided is an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which is excellent in moldability, excellent in high-temperature storage characteristics, flame retardancy and reflow crack resistance and gives a highly safe cured product, and a semiconductor device sealed with the cured product. The purpose is to do.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を行った結
果、エポキシ樹脂として下記一般式(1)で表されるエ
ポキシ樹脂、その硬化剤として下記一般式(2)で表さ
れるフェノール樹脂、無機充填剤を必須成分として含有
してなる半導体封止用エポキシ樹脂組成物に、難燃剤と
してモリブデン化合物を配合することにより、優れた成
形性を有し、難燃性、耐リフロークラック性及び耐湿性
に優れると共に、安全性の高い硬化物が得られ、この硬
化物で封止した半導体装置は、高い信頼性を有すること
を見出した。Means for Solving the Problems and Embodiments of the Invention The present inventors have made intensive studies to achieve the above object, and as a result, as an epoxy resin, an epoxy resin represented by the following general formula (1): By mixing a molybdenum compound as a flame retardant with an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation containing a phenol resin represented by the following general formula (2) as a curing agent and an inorganic filler as essential components, It has moldability, is excellent in flame retardancy, reflow crack resistance and moisture resistance, and obtains a cured product with high safety, and found that a semiconductor device sealed with this cured product has high reliability. Was.
【0008】この場合、モリブデン酸亜鉛などのモリブ
デン化合物は、プラスチック燃焼時の減煙、チャー生成
に効果があることが知られ、従来は三酸化アンチモン同
様、ハロゲン化樹脂と併用して用いられていた。本発明
者は、このモリブデン化合物を耐熱性樹脂である式
(1)のエポキシ樹脂及び式(2)のフェノール樹脂と
組み合わせて配合することにより、ハロゲン化樹脂を用
いなくとも十分な難燃性を得ることができ、しかもモリ
ブデン化合物は、三酸化アンチモンのような粉体毒性は
認められず、硬化性、耐湿性等を低下させることもない
ため、極めて有効な難燃剤として上記エポキシ樹脂組成
物に配合できることを知見し、本発明をなすに至ったも
のである。In this case, molybdenum compounds such as zinc molybdate are known to be effective in reducing smoke and char formation during plastic combustion, and have been conventionally used in combination with a halogenated resin like antimony trioxide. Was. By mixing this molybdenum compound with the epoxy resin of the formula (1) and the phenol resin of the formula (2), which are heat-resistant resins, sufficient flame retardancy can be obtained without using a halogenated resin. The molybdenum compound can be obtained, and the molybdenum compound does not exhibit powder toxicity like antimony trioxide, and does not reduce the curability and moisture resistance. The inventors have found that they can be blended, and have accomplished the present invention.
【0009】[0009]
【化3】 (但し、式中R1は水素原子、炭素数1〜4のアルキル
基及びフェニル基から選択される同一もしくは異なる原
子又は基であり、nは0〜10の整数である。)Embedded image (Wherein, R 1 is the same or different atom or group selected from a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenyl group, and n is an integer of 0 to 10.)
【0010】[0010]
【化4】 (但し、式中R2は水素原子、炭素数1〜4のアルキル
基及びフェニル基から選択される同一もしくは異なる原
子又は基であり、mは0〜10の整数である。) 従って、本発明は、 (A)上記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂 (B)上記一般式(2)で表されるフェノール樹脂硬化
剤 (C)モリブデン化合物 (D)無機充填剤 を配合してなることを特徴とする半導体封止用エポキシ
樹脂組成物、及びこの半導体封止用エポキシ樹脂組成物
で封止された半導体装置を提供する。Embedded image (Wherein, R 2 is the same or different atom or group selected from a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenyl group, and m is an integer of 0 to 10). Is composed of (A) an epoxy resin represented by the general formula (1), (B) a phenolic resin curing agent represented by the general formula (2), (C) a molybdenum compound, and (D) an inorganic filler. An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, and a semiconductor device encapsulated with the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation.
【0011】以下、本発明について更に詳しく説明する
と、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物におい
て、(A)成分の下記一般式(1)で表されるエポキシ
樹脂及び(B)成分の下記一般式(2)で表されるフェ
ノール樹脂硬化剤は、いずれもビフェニル骨格及びフェ
ノール骨格を有する樹脂である。これらの樹脂は、低吸
水性かつ優れた靭性を有し、優れた耐リフロークラック
性を示す硬化物を与え、また、熱分解開始温度が高く、
熱分解速度が遅いため、耐熱性に優れた材料である。Hereinafter, the present invention will be described in more detail. In the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention, the epoxy resin represented by the following general formula (1) of the component (A) and the epoxy resin of the component (B) The phenol resin curing agent represented by the general formula (2) is a resin having a biphenyl skeleton and a phenol skeleton. These resins have low water absorption and excellent toughness, give a cured product exhibiting excellent reflow crack resistance, and have a high thermal decomposition initiation temperature,
Due to its low thermal decomposition rate, it is a material with excellent heat resistance.
【0012】(A)成分は、下記一般式(1)で表され
る、ビフェニル骨格を含有するフェノールアラルキル型
エポキシ樹脂(即ち、ビフェニルアラルキル骨格を有す
るエポキシ樹脂)であり、具体的には、以下のようなも
のが挙げられる。The component (A) is a phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenyl skeleton represented by the following general formula (1) (that is, an epoxy resin having a biphenyl aralkyl skeleton). And the like.
【0013】[0013]
【化5】 (但し、式中R1は水素原子、メチル基、エチル基、n
−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブ
チル基、tert−ブチル基といった炭素数1〜4のア
ルキル基及びフェニル基から選択される同一もしくは異
なる原子又は基であり、nは0〜10、好ましくは0〜
4、より好ましくは0〜2の整数である。)Embedded image (Where R 1 is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, n
-Propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, the same or different atoms or groups selected from phenyl group such as an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as tert-butyl group, n is 0-10, Preferably 0
4, more preferably an integer of 0 to 2. )
【0014】[0014]
【化6】 (nは0〜10、好ましくは0〜4、より好ましくは0
〜2の整数である。)Embedded image (N is 0-10, preferably 0-4, more preferably 0
整数 2. )
【0015】上記式(1)で表されるエポキシ樹脂は、
150℃においてICI粘度計(コーンプレート型)に
より測定される樹脂溶融粘度が0.1〜2.5ポイズ、
特に0.1〜0.8ポイズであることが望ましい。樹脂
溶融粘度が2.5ポイズを超えると、耐リフロークラッ
ク性向上のため無機充填剤量を80〜90重量%と高充
填にする場合、溶融時の流動性が著しく低下してしまう
場合があり、0.1ポイズ未満では成形時に内部ボイド
が発生し易くなり、信頼性が低下する場合がある。The epoxy resin represented by the above formula (1)
A resin melt viscosity measured by an ICI viscometer (cone plate type) at 150 ° C. of 0.1 to 2.5 poise;
In particular, it is preferably 0.1 to 0.8 poise. When the resin melt viscosity exceeds 2.5 poise, when the amount of the inorganic filler is as high as 80 to 90% by weight for improving the reflow crack resistance, the fluidity during melting may be significantly reduced. If it is less than 0.1 poise, internal voids are likely to occur during molding, and the reliability may decrease.
【0016】本発明では、エポキシ樹脂として、必要に
応じて他のエポキシ樹脂を併用することができる。併用
する他のエポキシ樹脂としては、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
等のノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン
型エポキシ樹脂、トリフェノールプロパン型エポキシ樹
脂等のトリフェノールアルカン型エポキシ樹脂、ビフェ
ニル型エポキシ樹脂、ビフェニル骨格を含有しないフェ
ノールアラルキル型エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹
脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂、ビスフェノールA
型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等の
ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ
樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種又は2種以上を
使用することができる。また、これらの中では溶融時に
低粘度であるビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、スチルベン型エポキシ樹脂等が好ましい。In the present invention, another epoxy resin can be used in combination as needed. Other epoxy resins used in combination include novolak epoxy resins such as phenol novolak epoxy resins and cresol novolak epoxy resins, triphenolalkane epoxy resins such as triphenolmethane epoxy resins and triphenolpropane epoxy resins, and biphenyls. Epoxy resin, phenol aralkyl epoxy resin containing no biphenyl skeleton, heterocyclic epoxy resin, naphthalene ring-containing epoxy resin, bisphenol A
Type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin such as bisphenol F type epoxy resin, stilbene type epoxy resin, etc., and one or more of these can be used. Among these, a biphenyl type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a stilbene type epoxy resin and the like which have a low viscosity when melted are preferred.
【0017】式(1)で表されるエポキシ樹脂の配合量
は、エポキシ樹脂総量(式(1)で表されるエポキシ樹
脂+他のエポキシ樹脂)に対して50〜100重量%、
特に70〜100重量%であることが望ましい。式
(1)のエポキシ樹脂の配合量が50重量%未満では、
十分な耐リフロークラック性、難燃性が得られない場合
がある。The amount of the epoxy resin represented by the formula (1) is 50 to 100% by weight based on the total amount of the epoxy resin (the epoxy resin represented by the formula (1) + another epoxy resin).
In particular, the content is desirably 70 to 100% by weight. If the amount of the epoxy resin of the formula (1) is less than 50% by weight,
Sufficient reflow crack resistance and flame retardancy may not be obtained.
【0018】また、(B)成分は、下記一般式(2)で
表される、ビフェニル骨格を含有するアラルキル型フェ
ノール樹脂(即ち、ビフェニルアラルキル骨格を有する
フェノール樹脂)硬化剤であり、具体的には下記のもの
を挙げることができる。The component (B) is a aralkyl-type phenol resin having a biphenyl skeleton (that is, a phenol resin having a biphenyl aralkyl skeleton) represented by the following general formula (2). The following can be mentioned.
【0019】[0019]
【化7】 (但し、式中R2は水素原子、メチル基、エチル基、n
−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブ
チル基、tert−ブチル基といった炭素数1〜4のア
ルキル基及びフェニル基から選択される同一もしくは異
なる原子又は基であり、mは0〜10、好ましくは0〜
4、より好ましくは0〜2の整数である。)Embedded image (Where R 2 is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, n
-Propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, the same or different atoms or groups selected from a phenyl group such as an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as tert-butyl group, m is 0-10, Preferably 0
4, more preferably an integer of 0 to 2. )
【0020】[0020]
【化8】 (mは0〜10、好ましくは0〜4、より好ましくは0
〜2の整数である。)Embedded image (M is 0-10, preferably 0-4, more preferably 0
整数 2. )
【0021】本発明に用いる(B)成分の式(2)で表
されるフェノール樹脂硬化剤は、150℃においてIC
I粘度計(コーンプレート型)により測定される樹脂溶
融粘度が0.1〜1.2ポイズ、特に0.2〜0.8ポ
イズであることが望ましい。これはエポキシ樹脂と同様
の理由によるものである。The phenolic resin curing agent represented by the formula (2) of the component (B) used in the present invention has an IC at 150 ° C.
It is desirable that the resin melt viscosity measured by an I viscometer (cone plate type) is 0.1 to 1.2 poise, particularly 0.2 to 0.8 poise. This is for the same reason as the epoxy resin.
【0022】本発明では、必要に応じて、硬化剤として
他の硬化剤を併用することができる。併用する他の硬化
剤としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾ
ールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、
ナフタレン環含有フェノール樹脂、ビフェニル骨格を含
有しないフェノールアラルキル型フェノール樹脂、ビフ
ェニル型フェノール樹脂、トリフェノールメタン型フェ
ノール樹脂、トリフェノールプロパン型フェノール樹脂
等のトリフェノールアルカン型フェノール樹脂、脂環式
フェノール樹脂、複素環型フェノール樹脂、ビスフェノ
ールA型フェノール樹脂、ビスフェノールF型フェノー
ル樹脂等のビスフェノール型フェノール樹脂等が挙げら
れ、これらのうちの1種又は2種以上を使用することが
できる。In the present invention, if necessary, another curing agent can be used in combination as a curing agent. As other curing agents to be used in combination, for example, phenol novolak resin, novolak type phenol resin such as cresol novolak resin,
Naphthalene ring-containing phenolic resin, phenol aralkyl type phenolic resin containing no biphenyl skeleton, biphenyl type phenolic resin, triphenolmethane type phenolic resin, triphenolalkane type phenolic resin such as triphenolpropane type phenolic resin, alicyclic phenolic resin, Bisphenol type phenol resins such as a heterocyclic type phenol resin, a bisphenol A type phenol resin, a bisphenol F type phenol resin and the like can be mentioned, and one or more of these can be used.
【0023】式(2)で表されるフェノール樹脂硬化剤
の配合量は、フェノール樹脂硬化剤総量(式(2)で表
されるフェノール樹脂硬化剤+他のフェノール樹脂硬化
剤)に対して50〜100重量%、特に70〜100重
量%であることが望ましい。式(2)のフェノール樹脂
硬化剤の配合量が50重量%未満では、十分な耐リフロ
ークラック性、難燃性が得られない場合がある。The blending amount of the phenolic resin curing agent represented by the formula (2) is 50 to the total amount of the phenolic resin curing agent (the phenolic resin curing agent represented by the formula (2) + the other phenolic resin curing agent). It is desirable that the content be from 100 to 100% by weight, especially from 70 to 100% by weight. If the blending amount of the phenol resin curing agent of the formula (2) is less than 50% by weight, sufficient reflow crack resistance and flame retardancy may not be obtained.
【0024】本発明において、(A)成分のエポキシ樹
脂、(B)成分の硬化剤の配合量は特に制限されない
が、組成物中のエポキシ樹脂の総量中に含まれるエポキ
シ基1モルに対して、組成物中のフェノール樹脂硬化剤
の総量中に含まれるフェノール性水酸基のモル比が0.
5〜1.5、特に0.8〜1.2となる範囲が好まし
い。In the present invention, the amount of the epoxy resin (A) and the amount of the curing agent (B) are not particularly limited, but are based on 1 mol of epoxy group contained in the total amount of epoxy resin in the composition. The molar ratio of the phenolic hydroxyl group contained in the total amount of the phenolic resin curing agent in the composition is 0.1.
A range of 5 to 1.5, particularly 0.8 to 1.2 is preferable.
【0025】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、難燃剤としてモリブデン化合物(C)を配
合する。The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention contains a molybdenum compound (C) as a flame retardant.
【0026】この(C)成分のモリブデン化合物として
は、ホウ化モリブデン、2ケイ化モリブデン、モリブデ
ンアセチルアセトナート、酸化モリブデン(IV)、酸
化モリブデン(V)、酸化モリブデン(VI)、モリブ
デン酸亜鉛、モリブデン酸炭酸カルシウム、モリブデン
酸カルシウム等の、モリブデン酸化物、モリブデンホウ
化物、モリブデンケイ化物、モリブデンエステル化合物
やモリブデン酸塩などが挙げられる。モリブデン化合物
は、プラスチック燃焼時の減煙効果及び炭化層生成促進
作用があることが知られており、従来は三酸化アンチモ
ンと同様に、ハロゲン化樹脂と併用して用いられていた
が、本発明者は、前記した特定構造のエポキシ樹脂
(A)、特定構造のフェノール樹脂硬化剤(B)と併用
して用いることにより、三酸化アンチモンやハロゲン化
樹脂を配合せずに、UL−94のV−0を達成する優れ
た難燃性が得られることを見出したものである。このモ
リブデン化合物は、三酸化アンチモンのような粉体毒性
もなく、またハロゲン化樹脂のように熱分解による有害
なガスを発生することもないので極めて安全な難燃剤で
ある。この中でも、エポキシ樹脂組成物の硬化性に悪影
響を及ぼさない化合物としてモリブデン酸亜鉛が特に好
ましい。As the molybdenum compound of the component (C), molybdenum boride, molybdenum disilicide, molybdenum acetylacetonate, molybdenum oxide (IV), molybdenum oxide (V), molybdenum oxide (VI), zinc molybdate, Examples include molybdenum oxides, molybdenum borides, molybdenum silicides, molybdenum ester compounds, molybdates, and the like, such as calcium molybdate carbonate and calcium molybdate. The molybdenum compound is known to have a smoke reducing effect and an action of promoting formation of a carbonized layer at the time of plastic combustion, and conventionally, like antimony trioxide, was used in combination with a halogenated resin. By using in combination with the epoxy resin (A) having the specific structure and the phenol resin curing agent (B) having the specific structure, the V-form of UL-94 can be obtained without adding antimony trioxide or a halogenated resin. It has been found that excellent flame retardancy achieving −0 can be obtained. The molybdenum compound is an extremely safe flame retardant because it does not have powder toxicity like antimony trioxide and does not generate harmful gas due to thermal decomposition unlike halogenated resins. Among them, zinc molybdate is particularly preferred as a compound that does not adversely affect the curability of the epoxy resin composition.
【0027】上記モリブデン化合物は、そのまま配合し
てもよいが、十分な難燃効果を得るためにはエポキシ樹
脂組成物中に均一に分散させることが好ましく、このた
め分散性を向上させるために予めモリブデン酸亜鉛等の
モリブデン化合物をタルク、球状溶融シリカ等の微細無
機充填剤(粉体)に担持させてモリブデン化合物担持無
機充填剤としてから配合することが望ましい。この場
合、かかる無機充填剤としては、溶融シリカ、結晶性シ
リカ等のシリカ類、タルク、アルミナ、窒化ケイ素、窒
化アルミニウム、ボロンナイトライド、酸化チタン、ガ
ラス繊維等が挙げられる。特に、タルク、球状溶融シリ
カがエポキシ樹脂組成物への分散性の点から好ましい。The molybdenum compound may be blended as it is, but is preferably dispersed uniformly in the epoxy resin composition in order to obtain a sufficient flame retardant effect. It is desirable that a molybdenum compound such as zinc molybdate be supported on a fine inorganic filler (powder) such as talc or spherical fused silica and then blended as a molybdenum compound-supported inorganic filler. In this case, examples of the inorganic filler include silica such as fused silica and crystalline silica, talc, alumina, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, titanium oxide, and glass fiber. Particularly, talc and spherical fused silica are preferable from the viewpoint of dispersibility in the epoxy resin composition.
【0028】好ましくは、モリブデン酸亜鉛等のモリブ
デン化合物は、モリブデン化合物担持無機充填剤全体に
対してモリブデン化合物含有量が1〜50重量%、特に
5〜40重量%の範囲となるように上記無機充填剤(粉
体)に担持させることが好ましく、1重量%未満では十
分な難燃性が得られない場合があり、50重量%を超え
ると組成物の硬化性、成形性(或いは流動性)が低下す
る場合がある。Preferably, the molybdenum compound such as zinc molybdate is added to the inorganic filler so that the content of the molybdenum compound is in the range of 1 to 50% by weight, especially 5 to 40% by weight, based on the total amount of the inorganic filler carrying the molybdenum compound. It is preferable that the composition is supported on a filler (powder). If the content is less than 1% by weight, sufficient flame retardancy may not be obtained. If the content is more than 50% by weight, the curability and moldability (or fluidity) of the composition may be obtained. May decrease.
【0029】また、モリブデン化合物及びモリブデン化
合物担持無機充填剤の平均粒径は0.1〜20μm、特
に0.2〜10μm、とりわけ0.5〜3μm、BET
吸着法による比表面積は0.5〜50m2/g、特に
0.7〜20m2/gが好適である。平均粒径が小さす
ぎたり、或いは比表面積が大きすぎると樹脂組成物中へ
の分散性が悪くなる場合があり、一方、平均粒径が大き
すぎたり、或いは比表面積が小さすぎるとモリブデン酸
亜鉛等のモリブデン化合物を上記の無機充填剤に均一に
担持させることが困難になり、難燃性が低下する場合が
ある。The average particle size of the molybdenum compound and the inorganic filler carrying the molybdenum compound is 0.1 to 20 μm, particularly 0.2 to 10 μm, particularly 0.5 to 3 μm, and the BET
The specific surface area by the adsorption method is preferably 0.5 to 50 m 2 / g, particularly preferably 0.7 to 20 m 2 / g. If the average particle size is too small or the specific surface area is too large, the dispersibility in the resin composition may be deteriorated. On the other hand, if the average particle size is too large or the specific surface area is too small, zinc molybdate may be used. It is difficult to uniformly support a molybdenum compound such as above on the above-mentioned inorganic filler, and the flame retardancy may decrease.
【0030】なお、この平均粒径は、例えばレーザー光
回折法などによる粒度分布測定装置等を用いて、重量平
均値(メジアン径)などとして求めることができる。The average particle diameter can be determined as a weight average value (median diameter) using a particle size distribution measuring device such as a laser beam diffraction method.
【0031】このようなモリブデン酸亜鉛担持無機充填
剤としては、市販品を用いることができ、例えばSHE
RWIN−WILLIAMS社のKEMGARD 12
60,1261,1270,1271,911C等のK
EMGARDシリーズなどが挙げられる。As such an inorganic filler carrying zinc molybdate, a commercially available product can be used. For example, SHE
KWINGARD 12 from RWIN-WILLIAMS
K such as 60, 1261, 1270, 1271, 911C
EMGARD series and the like.
【0032】モリブデン化合物の配合量は、エポキシ樹
脂と硬化剤の総量100重量部に対して0.1〜30重
量部、好ましくは0.15〜10重量部、特に0.2〜
4重量部が望ましく、0.1重量部未満では十分な難燃
効果が得られない場合があり、30重量部を超えると硬
化性が低下する場合がある。なお、モリブデン酸亜鉛等
のモリブデン化合物を担持する無機充填剤全体としての
配合量は、エポキシ樹脂とフェノール樹脂硬化剤との合
計100重量部に対して0.5〜120重量部、特に1
〜80重量部、とりわけ1〜50重量部が好ましい。The compounding amount of the molybdenum compound is 0.1 to 30 parts by weight, preferably 0.15 to 10 parts by weight, especially 0.2 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the epoxy resin and the curing agent.
When the amount is less than 0.1 part by weight, a sufficient flame retardant effect may not be obtained, and when the amount exceeds 30 parts by weight, the curability may decrease. The compounding amount of the inorganic filler as a whole supporting a molybdenum compound such as zinc molybdate is 0.5 to 120 parts by weight, especially 1 to 100 parts by weight of the total of the epoxy resin and the phenol resin curing agent.
-80 parts by weight, particularly preferably 1-50 parts by weight.
【0033】本発明のエポキシ樹脂組成物中に配合され
る(D)成分の無機充填剤としては、通常エポキシ樹脂
組成物に配合されるものを使用することができる。無機
充填剤としては、上記(C)成分におけるモリブデン化
合物担持無機充填剤以外の、例えば溶融シリカ、結晶性
シリカ等のシリカ類、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アル
ミニウム、ボロンナイトライド、酸化チタン、ガラス繊
維等が挙げられる。As the inorganic filler of the component (D) blended in the epoxy resin composition of the present invention, those usually blended in the epoxy resin composition can be used. Examples of the inorganic filler other than the molybdenum compound-supporting inorganic filler in the component (C) include silicas such as fused silica and crystalline silica, alumina, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, titanium oxide, and glass fiber. And the like.
【0034】これら無機充填剤の平均粒径や形状は特に
限定されないが、成形性及び流動性の面から平均粒径が
1〜40μm、特に5〜20μmの球状の溶融シリカが
特に好ましい。The average particle size and shape of these inorganic fillers are not particularly limited, but spherical fused silica having an average particle size of 1 to 40 μm, particularly 5 to 20 μm is particularly preferable from the viewpoint of moldability and fluidity.
【0035】なお、上記無機充填剤は、樹脂と無機充填
剤との結合強度を強くするため、シランカップリング
剤、チタネートカップリング剤などのカップリング剤で
予め表面処理したものを配合することが好ましい。この
ようなカップリング剤としては、例えばγ−グリシドキ
シプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロ
ピルメチルジエトキシシラン、β−(3,4−エポキシ
シクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキ
シ官能性アルコキシシラン、N−β(アミノエチル)−
γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノ
プロピルトリメトキシシラン等のアミノ官能性アルコキ
シシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
等のメルカプト官能性アルコキシシランなどを用いるこ
とが好ましい。なお、表面処理に用いるカップリング剤
の配合量及び表面処理方法については特に制限されるも
のではない。In order to increase the bonding strength between the resin and the inorganic filler, the inorganic filler may be blended with one that has been previously surface-treated with a coupling agent such as a silane coupling agent or a titanate coupling agent. preferable. Examples of such a coupling agent include epoxy functional groups such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. Alkoxysilane, N-β (aminoethyl)-
amino-functional alkoxysilanes such as γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, and mercapto-functional alkoxysilanes such as γ-mercaptopropyltrimethoxysilane It is preferable to use The amount of the coupling agent used for the surface treatment and the surface treatment method are not particularly limited.
【0036】無機充填剤の充填量は、エポキシ樹脂と硬
化剤の総量100重量部に対して400〜1100重量
部、特に600〜900重量部が好適であり、充填量が
400重量部未満では膨張係数が大きくなり、半導体素
子に加わる応力が増大し素子特性の劣化を招く場合があ
り、また、組成物全体に対する樹脂量が多くなるため
に、本発明の目的とする難燃性が得られない場合があ
る。一方、1100重量部を超えると成形時の粘度が高
くなり、成形性が悪くなる場合がある。なお、この無機
充填剤は組成物全体の75〜92重量%、特に83〜9
0重量%の含有量とすることが好ましい。The amount of the inorganic filler is preferably 400 to 1100 parts by weight, more preferably 600 to 900 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of the epoxy resin and the curing agent. The coefficient increases, the stress applied to the semiconductor element increases, which may lead to deterioration of element characteristics.In addition, the amount of resin with respect to the entire composition increases, so that the flame retardancy intended for the present invention cannot be obtained. There are cases. On the other hand, when it exceeds 1100 parts by weight, the viscosity at the time of molding becomes high, and the moldability may deteriorate. In addition, this inorganic filler is 75 to 92% by weight of the whole composition, especially 83 to 9%.
The content is preferably 0% by weight.
【0037】本発明においては、エポキシ樹脂と硬化剤
との硬化反応を促進させるため、硬化促進剤を配合する
ことが好ましい。この硬化促進剤は、硬化反応を促進さ
せるものであれば特に制限はなく、例えばトリフェニル
ホスフィン、トリブチルホスフィン、トリ(p−メチル
フェニル)ホスフィン、トリ(ノニルフェニル)ホスフ
ィン、トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン、
テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート
などの有機リン系化合物、トリエチルアミン、ベンジル
ジメチルアミン、α−メチルベンジルジメチルアミン、
1,8−ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセン−7
などの第3級アミン化合物、2−メチルイミダゾール、
2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル
イミダゾール、2−エチルイミダゾール、4−メチルイ
ミダゾール、4−エチルイミダゾール、2−フェニル−
4−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−エチル−4−
メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイ
ミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキ
シメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒド
ロキシメチルイミダゾールなどのイミダゾール化合物等
を使用することができる。In the present invention, it is preferable to add a curing accelerator in order to accelerate the curing reaction between the epoxy resin and the curing agent. The curing accelerator is not particularly limited as long as it accelerates the curing reaction. For example, triphenylphosphine, tributylphosphine, tri (p-methylphenyl) phosphine, tri (nonylphenyl) phosphine, triphenylphosphine triphenyl Borane,
Organophosphorus compounds such as tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate, triethylamine, benzyldimethylamine, α-methylbenzyldimethylamine,
1,8-diazabicyclo (5.4.0) undecene-7
Tertiary amine compounds such as 2-methylimidazole,
2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 4-methylimidazole, 4-ethylimidazole, 2-phenyl-
4-hydroxymethylimidazole, 2-ethyl-4-
Imidazole compounds such as methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, and 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole can be used.
【0038】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
は、更に必要に応じて各種の添加剤を配合することがで
きる。添加剤としては、例えば熱可塑性樹脂、熱可塑性
エラストマー、有機合成ゴム、シリコーン系等の低応力
剤、カルナバワックス、高級脂肪酸、合成ワックス等の
ワックス類、カーボンブラック等の着色剤、ハロゲント
ラップ剤等が挙げられる。なお、これらの添加剤の配合
量は、本発明の効果を妨げない範囲で通常量とすること
ができる。The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention may further contain various additives as necessary. As additives, for example, thermoplastic resins, thermoplastic elastomers, organic synthetic rubbers, low stress agents such as silicones, carnauba wax, higher fatty acids, waxes such as synthetic waxes, coloring agents such as carbon black, halogen trapping agents, etc. Is mentioned. In addition, the compounding amount of these additives can be a usual amount within a range that does not hinder the effects of the present invention.
【0039】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
は、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填剤、その他の添加
物を所定の組成比で配合し、これをミキサー等によって
十分均一に混合した後、熱ロール、ニーダー、エクスト
ルーダー等による溶融混合処理を行い、次いで冷却固化
させ、適当な大きさに粉砕して成形材料とすることがで
きる。The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is prepared by blending an epoxy resin, a curing agent, an inorganic filler, and other additives at a predetermined composition ratio, and mixing them sufficiently by a mixer or the like. , A hot roll, a kneader, an extruder, or the like, and then the mixture is cooled and solidified, and pulverized to an appropriate size to obtain a molding material.
【0040】このようにして得られる本発明の半導体封
止用エポキシ樹脂組成物は、各種の半導体装置の封止用
に有効に利用でき、この場合、封止の最も一般的な方法
としては、低圧トランスファー成形法が挙げられる。な
お、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の成形温
度は150〜180℃で30〜180秒、後硬化は15
0〜180℃で2〜16時間行うことが望ましい。The thus obtained epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor of the present invention can be effectively used for encapsulating various semiconductor devices. In this case, the most common method of encapsulation is as follows. A low pressure transfer molding method may be used. The molding temperature of the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is 150 to 180 ° C. for 30 to 180 seconds, and the post-curing is 15 to 180 ° C.
It is desirable to carry out at 0 to 180 ° C. for 2 to 16 hours.
【0041】[0041]
【発明の効果】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物は、成形性、難燃性、耐リフロークラック性及び耐湿
性に優れた硬化物を与え、しかもハロゲン化エポキシ樹
脂、三酸化アンチモンを樹脂組成物中に含有しないの
で、人体・環境に対する悪影響もないものである。従っ
て、本発明の組成物で封止した半導体装置は、高い信頼
性を有する。The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention provides a cured product having excellent moldability, flame retardancy, reflow crack resistance and moisture resistance, and further comprises a halogenated epoxy resin and antimony trioxide. Since it is not contained in the resin composition, there is no adverse effect on the human body and environment. Therefore, a semiconductor device sealed with the composition of the present invention has high reliability.
【0042】[0042]
【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に示すが、本発明は下記の実施例に制限されるもので
はない。なお、以下の例において部はいずれも重量部で
ある。EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following examples, all parts are parts by weight.
【0043】[実施例1〜9、比較例1〜4]表1、2
に示す成分を熱2本ロールにて均一に溶融混合し、冷
却、粉砕して半導体封止用エポキシ樹脂組成物を得た。Examples 1 to 9, Comparative Examples 1 to 4 Tables 1 and 2
The components shown in (1) and (2) were uniformly melted and mixed by a hot roll, cooled and pulverized to obtain an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation.
【0044】使用した原材料を下記に示す。 ・エポキシ樹脂 (イ)式(1−1)で表されるエポキシ樹脂:NC30
00P(日本化薬製、エポキシ当量272、150℃で
ICI粘度計(コーンプレート型)による樹脂溶融粘度
0.8ポイズ) (ロ)ビフェニル型エポキシ樹脂:YX4000HK
(油化シェル製、エポキシ当量190) (ハ)o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂:EO
CN1020−55(日本化薬製、エポキシ当量20
0) ・硬化剤 (ニ)式(2−1)で表されるフェノール樹脂:MEH
7851L(明和化成製、フェノール当量199、15
0℃でICI粘度計(コーンプレート型)による樹脂溶
融粘度0.8ポイズ) (ホ)フェノールアラルキル樹脂:MEH7800SS
(明和化成製、フェノール当量175) ・無機充填剤 球状溶融シリカ(平均粒径13μm) ・硬化促進剤 トリフェニルホスフィン ・モリブデン化合物担持タルク(平均粒径0.8μm、
比表面積(BET法)12m2/g(モリブデン化合物
の含有量:19重量%)) ・離型剤:カルナバワックス(日興ファインプロダクツ
(株)製) ・シランカップリング剤:γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、KBM403(信越化学工業(株)
製)The raw materials used are shown below. Epoxy resin (a) Epoxy resin represented by the formula (1-1): NC30
00P (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 272, resin melt viscosity at 150 ° C. by ICI viscometer (cone plate type) 0.8 poise) (b) Biphenyl type epoxy resin: YX4000HK
(Epoxy equivalent 190, manufactured by Yuka Shell) (c) o-cresol novolak type epoxy resin: EO
CN1020-55 (Nippon Kayaku, epoxy equivalent 20
0) Curing agent (d) Phenolic resin represented by formula (2-1): MEH
7851L (manufactured by Meiwa Kasei, phenol equivalent 199, 15
Resin melt viscosity of 0.8 poise by ICI viscometer (cone plate type) at 0 ° C.) (e) Phenol aralkyl resin: MEH7800SS
(Phenol equivalent: 175, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.)-Inorganic filler Spherical fused silica (average particle size: 13 μm)-Hardening accelerator: triphenylphosphine
Specific surface area (BET method) 12 m 2 / g (molybdenum compound content: 19% by weight)) Release agent: carnauba wax (manufactured by Nikko Fine Products Co., Ltd.) Silane coupling agent: γ-glycidoxypropyl Trimethoxysilane, KBM403 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Made)
【0045】[0045]
【化9】 Embedded image
【0046】これらの組成物につき、諸特性を下記方法
で測定した。結果を表1、2に併記する。 《スパイラルフロー値》EMMI規格に準じた金型を使
用して、175℃、70kgf/cm2、成形時間12
0秒の条件で測定した。 《成形硬度》JIS−K6911に準じて175℃、7
0kgf/cm2、成形時間90秒の条件で10×4×
100mmの棒を成形したときの熱時硬度をバーコール
硬度計で測定した。 《耐リフロークラック試験》14×20×2.7mmの
フラットパッケージを成形した。180℃で4時間ポス
トキュアーしたものを、85℃/85%RHの恒温恒湿
器に168時間放置して吸湿させた後、温度240℃の
半田浴に30秒浸漬し、パッケージ外部のクラックを観
察し、クラック発生率を求めた。 《難燃性》UL−94規格に基づき、1/16インチ厚
の板を成形し難燃性を調べた。 《耐湿性》アルミニウム配線を形成した6×6mmの大
きさのシリコンチップを14pin−DIPフレーム
(42アロイ)に接着し、更にチップ表面のアルミニウ
ム電極とリードフレームとを30μmφの金線でワイヤ
ボンディングした後、これにエポキシ樹脂組成物を成形
条件175℃、70kgf/cm2、成形時間120秒
で成形し、180℃で4時間ポストキュアーした。この
パッケージを140℃/85%RHの雰囲気中5Vの直
流バイアス電圧をかけて500時間放置した後、アルミ
ニウム腐食が発生したパッケージ数を調べた。Various properties of these compositions were measured by the following methods. The results are also shown in Tables 1 and 2. << Spiral flow value >> Using a mold conforming to the EMMI standard, 175 ° C., 70 kgf / cm 2 , molding time 12
It was measured under the condition of 0 seconds. << Molding Hardness >> 175 ° C, 7 according to JIS-K6911
10 × 4 × under conditions of 0 kgf / cm 2 and molding time of 90 seconds
The hot hardness when a 100 mm rod was formed was measured with a Barcol hardness tester. << Reflow crack resistance test >> A flat package of 14 × 20 × 2.7 mm was molded. The product post-cured at 180 ° C. for 4 hours is left in a constant temperature / humidity chamber of 85 ° C./85% RH for 168 hours to absorb moisture, and then immersed in a solder bath at a temperature of 240 ° C. for 30 seconds to remove cracks outside the package. Observation was made to determine the crack generation rate. << Flame Retardancy >> A 1/16 inch thick plate was molded and examined for flame retardancy based on the UL-94 standard. << Moisture Resistance >> A silicon chip having a size of 6 × 6 mm on which aluminum wiring was formed was bonded to a 14-pin-DIP frame (42 alloy), and an aluminum electrode on the chip surface and a lead frame were wire-bonded with a 30 μmφ gold wire. Thereafter, the epoxy resin composition was molded thereon under molding conditions of 175 ° C., 70 kgf / cm 2 and a molding time of 120 seconds, and post-cured at 180 ° C. for 4 hours. The package was left in an atmosphere of 140 ° C./85% RH under a DC bias voltage of 5 V for 500 hours, and then the number of packages in which aluminum corrosion occurred was examined.
【0047】表1、2の結果より、本発明の半導体封止
用エポキシ樹脂組成物は、成形性が良好で、難燃性、耐
リフロークラック性及び耐湿性に優れた硬化物を与え、
しかもハロゲン化エポキシ樹脂、三酸化アンチモンを樹
脂組成物中に含有しないので、人体・環境に対する悪影
響もないものであることが確認された。From the results shown in Tables 1 and 2, the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention gives a cured product having good moldability and excellent flame retardancy, reflow crack resistance and moisture resistance.
In addition, since the halogenated epoxy resin and antimony trioxide were not contained in the resin composition, it was confirmed that the resin composition had no adverse effect on the human body and environment.
【0048】[0048]
【表1】 [Table 1]
【0049】[0049]
【表2】 [Table 2]
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08K 3/24 C08K 3/24 H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31 (72)発明者 塩原 利夫 群馬県碓氷郡松井田町大字人見1番地10 信越化学工業株式会社シリコーン電子材料 技術研究所内 (72)発明者 富吉 和俊 群馬県碓氷郡松井田町大字人見1番地10 信越化学工業株式会社シリコーン電子材料 技術研究所内 (72)発明者 浅野 英一 群馬県碓氷郡松井田町大字人見1番地10 信越化学工業株式会社シリコーン電子材料 技術研究所内──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08K 3/24 C08K 3/24 H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31 (72) Inventor Toshio Shiohara 1-10 Hitomi, Matsuida-cho, Usui-gun, Gunma Prefecture Inside the Silicone Electronics Materials Research Laboratory, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (72) Kazutoshi Tomiyoshi 1-10 Hitomi, Matsuida-machi, Usui-gun, Gunma Prefecture Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Eiichi Asano 1-10 Hitomi, Matsuida-machi, Usui-gun, Gunma Prefecture 10 Silicone Electronic Materials Research Laboratory, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Claims (5)
キシ樹脂 【化1】 (但し、式中R1は水素原子、炭素数1〜4のアルキル
基及びフェニル基から選択される同一もしくは異なる原
子又は基であり、nは0〜10の整数である。) (B)下記一般式(2)で表されるフェノール樹脂硬化
剤 【化2】 (但し、式中R2は水素原子、炭素数1〜4のアルキル
基及びフェニル基から選択される同一もしくは異なる原
子又は基であり、mは0〜10の整数である。) (C)モリブデン化合物 (D)無機充填剤 を配合してなることを特徴とする半導体封止用エポキシ
樹脂組成物。(A) an epoxy resin represented by the following general formula (1): (Wherein, R 1 is the same or different atom or group selected from a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenyl group, and n is an integer of 0 to 10.) (B) Phenolic resin curing agent represented by general formula (2) (Where R 2 is the same or different atom or group selected from a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenyl group, and m is an integer of 0 to 10.) (C) Molybdenum An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, comprising compound (D) an inorganic filler.
量部に対して、モリブデン化合物を0.1〜30重量
部、無機充填剤を400〜1100重量部の範囲で配合
した請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。2. The semiconductor according to claim 1, wherein the molybdenum compound is added in an amount of 0.1 to 30 parts by weight and the inorganic filler is added in an amount of 400 to 1100 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the epoxy resin and the curing agent. Epoxy resin composition for sealing.
が、150℃においてICI粘度計(コーンプレート
型)により測定される樹脂溶融粘度が0.1〜2.5ポ
イズのものである請求項1記載の半導体封止用エポキシ
樹脂組成物。3. The epoxy resin represented by the general formula (1) has a resin melt viscosity of 0.1 to 2.5 poise measured at 150 ° C. by an ICI viscometer (cone plate type). Item 2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to Item 1.
が、150℃においてICI粘度計(コーンプレート
型)により測定される樹脂溶融粘度が0.1〜1.2ポ
イズのものである請求項1記載の半導体封止用エポキシ
樹脂組成物。4. The phenolic resin represented by the general formula (2) has a resin melt viscosity of 0.1 to 1.2 poise at 150 ° C. measured by an ICI viscometer (cone plate type). Item 2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to Item 1.
導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止された半
導体装置。5. A semiconductor device encapsulated with a cured product of the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1. Description:
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