JP2000078472A - Photoelectric conversion device and imaging device using the same - Google Patents
Photoelectric conversion device and imaging device using the sameInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 画素内にメモリ機能を有し、S/N比の優れた
画素出力を得ることを課題とする。
【解決手段】 画素の構成を光電変換部からの出力を電
圧フォロワ回路から出力できるようにし、メモリを電圧
フォロワ回路の出力段の入力部に設ける。電圧フォロワ
回路は、光電変換部からの出力信号と電圧フォロワ回路
からの出力信号の差動僧服出力を差動増幅回路から出力
するようにする。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To provide a pixel output having a memory function in a pixel and an excellent S / N ratio. SOLUTION: The configuration of a pixel is such that an output from a photoelectric conversion unit can be output from a voltage follower circuit, and a memory is provided at an input portion of an output stage of the voltage follower circuit. The voltage follower circuit outputs the differential output of the output signal from the photoelectric conversion unit and the output signal from the voltage follower circuit from the differential amplifier circuit.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は画素内で信号を保持
できる光電変換装置及びそれを用いた撮像装置に関する
ものである。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a photoelectric conversion device capable of holding a signal in a pixel and an imaging device using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、光電変換装置の多機能化、低コス
ト化、高S/N化の要求に伴い、CMOS型センサが注
目されている。そのCMOSセンサの1つに画素部でメ
モリ機能を有するセンサが提案されており、図14の様
な回路構成となっている。同図において1は光電変換を
行うフォトダイオード、2はフォトダイオードの電位を
リセットするリセットMOSトランジスタ、61はソー
スフォロワの増幅用MOSトランジスタ、7はソースフ
ォロワ回路の定電流源、9はメモリ容量、62はメモリ
容量へ電荷を転送するための転送スイッチMOSトラン
ジスタ、10はソースフォロワ回路の増幅用MOSトラ
ンジスタ、11はソースフォロワ回路の定電流源、63
は出力をノイズ除去回路へ転送するための転送スイッチ
である。フォトダイオードで発生した電荷をソースフォ
ロワで電荷増幅し、メモリ容量9へ転送する。φMは蓄
積時間終了後OFFすることにより、メモリ容量の電荷
を保持し、その電位を次段のソースフォロワ回路で増幅
し、ノイズ除去回路へ転送させる。2. Description of the Related Art In recent years, CMOS sensors have been receiving attention in response to demands for multifunctional, low cost, and high S / N ratios of photoelectric conversion devices. A sensor having a memory function in a pixel portion has been proposed as one of the CMOS sensors, and has a circuit configuration as shown in FIG. In the figure, 1 is a photodiode for performing photoelectric conversion, 2 is a reset MOS transistor for resetting the potential of the photodiode, 61 is an amplifying MOS transistor of a source follower, 7 is a constant current source of a source follower circuit, 9 is a memory capacity, Reference numeral 62 denotes a transfer switch MOS transistor for transferring charges to a memory capacitor, 10 denotes an amplifying MOS transistor of a source follower circuit, 11 denotes a constant current source of a source follower circuit, 63
Is a transfer switch for transferring the output to the noise elimination circuit. The charge generated by the photodiode is amplified by a source follower and transferred to the memory capacitor 9. When φM is turned off after the accumulation time, the electric charge of the memory capacity is retained, the potential is amplified by the source follower circuit of the next stage, and is transferred to the noise removing circuit.
【0003】2段のソースフォロワ回路とメモリ容量を
用いることにより、多数回読み出し可能な多機能な光電
変換装置が可能となった。By using a two-stage source follower circuit and a memory capacity, a multifunctional photoelectric conversion device which can be read many times has been made possible.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、フォトダイオードの電位がソースフォロワアン
プを2段通して出力されるため、 VOUT=G1・G2・VPD−(Vth1+Vth2) となる。ここでG1,G2は各ソースフォロワのゲイン、
Vth1,Vth2は各ソースフォロワアンプのMOSトラン
ジスタのしきい値電圧である。従って、各トランジスタ
のバラツキを考慮すると次の様な点が更に改良/改善さ
れることが望まれる。 Vthバラツキによる固定パターンノイズ(FPN)はHowever, in the above conventional example, since the potential of the photodiode is output through two stages of the source follower amplifier, V OUT = G 1 · G 2 · V PD- (V th1 + V th2 ). Where G 1 and G 2 are the gains of each source follower,
V th1 and V th2 are threshold voltages of the MOS transistors of each source follower amplifier. Therefore, it is desired that the following points be further improved / improved in consideration of the variation of each transistor. Fixed pattern noise (FPN) due to V th variation
【0005】[0005]
【外1】 と大きくなる。 読み出しゲインがG1×G2に低下する。 電源電圧VDDの変動で出力電圧が変化する(PSRR
悪い)[Outside 1] It becomes big. The read gain decreases to G 1 × G 2 . The output voltage changes due to the fluctuation of the power supply voltage V DD (PSRR
bad)
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明では、上記の課題
を解決するために、請求項1のように光電変換手段と、
信号を保持する保持手段と、前記保持手段に信号を転送
するスイッチ手段と、前記保持手段からの信号を増幅し
て出力する増幅手段と、前記光電変換手段から出力され
た信号と前記増幅手段から出力された信号との差動増幅
信号を得るための差動増幅回路と、前記差動増幅回路か
ら出力された信号を保持する保持手段とを画素の構成と
して含み、前記差動増幅回路から出力された信号は前記
スイッチ手段を介して前記保持手段に入力されているこ
とを特徴とする光電変換装置を提供する。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, photoelectric conversion means as in claim 1;
Holding means for holding a signal, switching means for transferring a signal to the holding means, amplifying means for amplifying and outputting a signal from the holding means, and a signal output from the photoelectric conversion means and a signal from the amplifying means. A differential amplifier circuit for obtaining a differential amplified signal with the output signal, and a holding unit for holding a signal output from the differential amplifier circuit are included as a pixel configuration, and an output from the differential amplifier circuit is included. The obtained signal is input to the holding means via the switch means, and a photoelectric conversion device is provided.
【0007】また、請求項1において、前記差動増幅手
段、前記増幅手段及び前記スイッチ手段はMOSトランジ
スタのみで構成したことを特徴とする光電変換装置を提
供する。Further, in the first aspect, there is provided a photoelectric conversion device, wherein the differential amplifying means, the amplifying means and the switch means are constituted only by MOS transistors.
【0008】さらにまた、請求項1又は請求項2のいず
れか1項において、前記保持手段はMOS容量としたことを
特徴とする光電変換装置を提供する。Further, the photoelectric conversion device according to any one of claims 1 and 2, wherein the holding means is a MOS capacitor.
【0009】さらにまた、請求項1乃至請求項3のいず
れか1項において、前記光電変換手段はpnフォトダイ
−ドであることを特徴とする光電変換装置を提供する。Further, according to any one of claims 1 to 3, there is provided a photoelectric conversion device, wherein the photoelectric conversion means is a pn photodiode.
【0010】さらにまた、請求項1乃至請求項4のいず
れか1項において、前記差動増幅手段の作動/非作動を
制御する第1の制御手段を有することを特徴とする光電
変換素装置を提供する。The photoelectric conversion device according to any one of claims 1 to 4, further comprising first control means for controlling the operation / non-operation of the differential amplifying means. provide.
【0011】さらにまた、請求項1乃至請求項4のいず
れか1項において、前記増幅手段の作動/非作動を制御
する第2の制御手段を有することを特徴とする光電変換
素装置を提供する。Further, according to any one of claims 1 to 4, there is provided a photoelectric conversion device comprising a second control means for controlling the operation / non-operation of the amplifying means. .
【0012】さらにまた、請求項1乃至請求項6のいず
れか1項において、さらに前記画素内に生じるノイズを
除去するノイズ除去手段を有することを特徴とする光電
変換装置を提供する。Further, according to any one of the first to sixth aspects of the present invention, there is provided a photoelectric conversion device further comprising a noise removing means for removing noise generated in the pixel.
【0013】さらにまた、請求項1乃至請求項6のいず
れか1項において、さらに複数の画素中のピ−ク信号を
出力するためのピ−ク信号出力手段を有することを特徴
とする光電変換装置を提供する。The photoelectric conversion device according to any one of claims 1 to 6, further comprising peak signal output means for outputting peak signals in a plurality of pixels. Provide equipment.
【0014】さらにまた、請求項8に記載の光電変換装
置と、前記光電変換装置から出力されるピ−ク信号によ
って前記光電変換手段への光の蓄積量を制御する光蓄積
量制御手段とを有する撮像装置を提供する。Furthermore, the photoelectric conversion device according to claim 8 and light accumulation amount control means for controlling the amount of light accumulated in the photoelectric conversion means by a peak signal output from the photoelectric conversion device. An imaging device having the same is provided.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】(実施例1)図1は本発明の特徴
を最も良く表す図面であり、同図において1は光電変換
が行われるPnフォトダイオード、2はPnフォトダイ
オードをリセットするためのリセット用MOSトランジ
スタ、3,4はアンプ用MOSトランジスタ、5,6は
アンプ用MOSトランジスタ3,4に対する負荷MOS
トランジスタでありカレントミラー回路を構成する。又
7は定電流回路であり3〜7で差動増幅回路を構成して
いる。8はトランスミッションゲート、9は電荷を保持
するための、メモリ容量、10はアンプ用MOSトラン
ジスタ、11は定電流源であり、10,11でソースフ
ォロワを構成している。以上の1〜11で1つの画素1
2を構成している。13は画素で生じるノイズを除去す
るためのノイズ除去回路、14は画素からの信号を順次
出力するための走査回路である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Embodiment 1) FIG. 1 is a drawing which best illustrates the features of the present invention. In FIG. 1, 1 is a Pn photodiode for performing photoelectric conversion, and 2 is for resetting the Pn photodiode. Reset MOS transistors, 3 and 4 are amplifier MOS transistors, and 5 and 6 are load MOSs for amplifier MOS transistors 3 and 4.
It is a transistor and forms a current mirror circuit. Reference numeral 7 denotes a constant current circuit, and 3 to 7 constitute a differential amplifier circuit. Reference numeral 8 denotes a transmission gate, 9 denotes a memory capacity for holding electric charges, 10 denotes an amplifier MOS transistor, 11 denotes a constant current source, and 10 and 11 constitute a source follower. One pixel 1 in the above 1 to 11
2. Reference numeral 13 denotes a noise removal circuit for removing noise generated in the pixel, and reference numeral 14 denotes a scanning circuit for sequentially outputting signals from the pixel.
【0016】上記、画素の構成において、差動増幅回路
の出力はトランスミッションゲート8を介してソースフ
ォロワ回路の入力に接続され、ソースフォロワ回路の出
力は差動増幅回路の負の入力ゲートにフィードバックさ
れる。従って、トランスミッションゲートが導通状態に
おいて、電圧フォロワ回路として動作する。そのため、
この回路のゲインはほぼ1.0となるため、従来よりも
高利得となることが特徴である。In the above pixel configuration, the output of the differential amplifier circuit is connected to the input of the source follower circuit via the transmission gate 8, and the output of the source follower circuit is fed back to the negative input gate of the differential amplifier circuit. You. Therefore, when the transmission gate is in the conductive state, it operates as a voltage follower circuit. for that reason,
Since the gain of this circuit is approximately 1.0, it is characterized in that the gain is higher than in the prior art.
【0017】次に図2のタイミングチャートを用いて画
素部のリセットから蓄積終了における動作について説明
する。時刻T0において、フォトダイオードに蓄積され
ている電荷をリセットする。φRSがLOWとなりpM
OS2がオンし、フォトダイオードはリセット電位VRS
にリセットする。次の時刻T1において、φRSをHi
ghに戻し、リセット動作を終了させ、蓄積動作に入
る。フォトダイオード1に光が入射し、フォトダイオー
ドの電位VPDは時間と共に上昇していく。同時に画素出
力VOUTも上昇していく。Next, the operation from the reset of the pixel portion to the end of the accumulation will be described with reference to the timing chart of FIG. At time T 0 , the charge stored in the photodiode is reset. φRS becomes LOW and pM
OS2 is turned on, and the photodiode receives the reset potential V RS
Reset to. In the next time T 1, Hi the φRS
gh, the reset operation ends, and the accumulation operation starts. Light enters the photodiode 1 and the potential V PD of the photodiode increases with time. At the same time, the pixel output V OUT also increases.
【0018】ある任意の時間が経過した、時刻T2にお
いて、蓄積動作が終了する。ここでφCHをHighと
することにより、トランスミッションゲート8をOFF
し、蓄積容量CMに蓄えられた電荷を保持させる。時刻
T2の後も、フォトダイオードには光が入射するため、
VPDは上昇するが、蓄積容量の電位は変化しないため、
出力VOUTはT2後は一定となる。この出力は後段のノイ
ズ除去回路でノイズを除去した後、走査回路14で駆動
され、外部へ順次出力される。[0018] Any time that has elapsed, at time T 2, the accumulation operation is finished. Here, by setting φCH to High, the transmission gate 8 is turned off.
And to hold the charge stored in the storage capacitor C M. After time T 2, since the light enters the photodiode,
Although V PD rises, the potential of the storage capacitor does not change.
The output V OUT becomes constant after T 2 . This output is driven by the scanning circuit 14 after the noise is removed by a noise removal circuit at the subsequent stage, and is sequentially output to the outside.
【0019】本実施例において、メモリ機能を備えた電
圧フォロワ回路を各フォトダイオード毎に設けることに
より、低FPN、高ゲイン、高ダイナミックレンジ、P
SRR良好な光電変換装置が実現できた。又、PSRR
が良なため、電源の能力に対する要求が少なくなるた
め、電源回りのシステムが簡単になる。In this embodiment, by providing a voltage follower circuit having a memory function for each photodiode, low FPN, high gain, high dynamic range,
A photoelectric conversion device with good SRR was realized. Also, PSRR
As a result, the demand for the power supply capability is reduced, and the system around the power supply is simplified.
【0020】(実施例2)図3に本発明の第2実施例の
回路図を示す。同図において、28はpMOSトランジ
スタを用いたスイッチである。本実施例では、pMO
S、nMOSを用いたトランスミッションスイッチでは
なく、nMOSスイッチのみで構成していることを特徴
とする。そのため、構成素子数が少なくなり、更なる微
細化に対して有効となる。(Embodiment 2) FIG. 3 shows a circuit diagram of a second embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 28 denotes a switch using a pMOS transistor. In this embodiment, pMO
It is characterized by comprising only an nMOS switch, not a transmission switch using S and nMOS. Therefore, the number of constituent elements is reduced, which is effective for further miniaturization.
【0021】本実施例においてスイッチMOSトランジ
スタ28がオフした時のゲートドレイン間の寄生容量の
ため、蓄積容量CMの電位変化が実施例1よりも大きく
なるが、後段のノイズ除去回路で補正できるため、特に
問題とはならない。[0021] Because the switch MOS transistor 28 in this embodiment is a parasitic capacitance between the gate and the drain when off, the potential change of the storage capacitance C M is greater than that of Example 1, can be corrected at a later stage of the noise removing circuit Therefore, there is no particular problem.
【0022】本実施例において、更なる微細化に対応し
た光電変換装置が可能となった。In the present embodiment, a photoelectric conversion device corresponding to further miniaturization has become possible.
【0023】(実施例3)図4に本発明の第3実施例の
回路図を示す。同図において、30はフォトダイオード
1の電荷を転送するための転送ゲート、31はフローテ
ィングディフュージョン容量とゲート容量3をリセット
するための、リセット用MOSトランジスタである。(Embodiment 3) FIG. 4 shows a circuit diagram of a third embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 30 denotes a transfer gate for transferring charges of the photodiode 1, and reference numeral 31 denotes a reset MOS transistor for resetting the floating diffusion capacitance and the gate capacitance 3.
【0024】本実施例において、フォトダイオードで発
生した電荷をフローティングディフュージョン容量へ完
全転送させることにより、高感度な光検出が可能とな
る。又、フォトダイオード部をP+nP構造にすること
により、暗電流を減らすことも可能となる。In this embodiment, high-sensitivity light detection is possible by completely transferring the charges generated by the photodiode to the floating diffusion capacitance. Further, the dark current can be reduced by forming the photodiode portion to have a P + nP structure.
【0025】本実施例において高感度、低ノイズの光電
変換装置が可能となった。In this embodiment, a high-sensitivity, low-noise photoelectric conversion device can be realized.
【0026】(実施例4)図5に本発明の第4実施例の
回路図を示す。本実施例において、各画素の定電流源に
オンオフスイッチを設けたことを特徴とする。図6に本
実施例のタイミングチャートを示す。蓄積終了後にφR
EF1をHighにすることにより、差動入力回路をO
FFさせることにより、消費電力を減らすことが可能と
なる。又、φREF2を出力信号を出力させる時以外は
OFFさせることにより、消費電力を減らす。(Embodiment 4) FIG. 5 is a circuit diagram of a fourth embodiment of the present invention. The present embodiment is characterized in that an on / off switch is provided for a constant current source of each pixel. FIG. 6 shows a timing chart of the present embodiment. ΦR after accumulation
By setting EF1 to High, the differential input circuit becomes O
By performing FF, power consumption can be reduced. Power consumption is reduced by turning off φREF2 except when outputting an output signal.
【0027】本実施例により、従来より低消費電力が可
能である光電変換装置が可能となった。According to the present embodiment, a photoelectric conversion device which can consume lower power than before can be realized.
【0028】(実施例5)図7に本発明の第5実施例の
回路図を示す。本実施例1において、ソースフォロワ回
路10のゲート面積を大きくし、メモリ容量9を無くし
た事を特徴とする。本実施例において10のMOSゲー
トサイズをメモリ容量サイズと同等とすれば良い。(Embodiment 5) FIG. 7 shows a circuit diagram of a fifth embodiment of the present invention. The first embodiment is characterized in that the gate area of the source follower circuit 10 is increased and the memory capacity 9 is eliminated. In this embodiment, the size of the ten MOS gates may be made equal to the size of the memory capacity.
【0029】本実施例においてメモリ容量CMを削除す
ることにより、更なる微細化が可能となった。[0029] By removing the memory capacitor C M in the present embodiment has made it possible to further miniaturization.
【0030】実施例1〜5において、PMOSトップの
作動増幅アンプを用いているが、nMOSトップの差動
増幅アンプであっても同様な効果を得ることができる。
出力後はソースフォロワ回路ではなくプッシュプル回路
でも良いが、回路規模の大きさを考慮するとソースフォ
ロワ回路の方がより好ましい。In the first to fifth embodiments, the operation amplifier of the PMOS top is used. However, the same effect can be obtained by the differential amplifier of the nMOS top.
After the output, a push-pull circuit may be used instead of the source follower circuit, but the source follower circuit is more preferable in consideration of the size of the circuit.
【0031】又、差動増幅回路も実施例1〜5に記載さ
れているものでなく他の差動増幅回路であってもよい。The differential amplifier circuit is not limited to those described in the first to fifth embodiments, but may be another differential amplifier circuit.
【0032】さらに又、実施例1〜5においては、1次
元に配列したものを示したが、2次元に配列したもので
も同様の効果が得られるのは言うまでもない。Further, in Examples 1 to 5, ones arranged one-dimensionally are shown, but it is needless to say that the same effects can be obtained by two-dimensionally arranged ones.
【0033】(実施例6)図8はノイズ除去回路13の
1例を示すものであり、画素12は実施例1で説明した
ものである。(Embodiment 6) FIG. 8 shows an example of the noise elimination circuit 13, and the pixel 12 has been described in the first embodiment.
【0034】51は差動増幅アンプで出力を負の入力端
子にフィードバックさせて電圧フォロワで動作させる。
50は画素からの出力を電圧フォロワ回路へ入力させる
ためのスイッチMOSトランジスタ、54はクランプ容
量、55はクランプ電位を入力するためのスイッチMO
Sトランジスタで、54と55でクランプ回路を構成し
ている。53はクランプ回路に画素の出力を入力させる
ためのスイッチMOSトランジスタ、56はクランプ回
路と電圧フォロワ回路を接続させるためのスイッチMO
Sトランジスタ、52は電圧フォロワの出力をクランプ
回路へ入力させるためのスイッチMOSトランジスタで
あり、50〜56でノイズ除去回路を構成している。5
7はノイズが除去させた光電変換出力を出力増幅器58
へ出力させるためのスイッチMOSトランジスタで、1
4の走査回路によって駆動される。Reference numeral 51 denotes a differential amplifier, which operates by a voltage follower by feeding back an output to a negative input terminal.
50 is a switch MOS transistor for inputting an output from a pixel to a voltage follower circuit, 54 is a clamp capacitor, and 55 is a switch MO for inputting a clamp potential.
A clamp circuit is composed of S transistors and 54 and 55. 53 is a switch MOS transistor for inputting the output of the pixel to the clamp circuit, and 56 is a switch MO for connecting the clamp circuit and the voltage follower circuit.
The S transistor 52 is a switch MOS transistor for inputting the output of the voltage follower to the clamp circuit, and 50 to 56 constitute a noise removal circuit. 5
Reference numeral 7 denotes a photoelectric conversion output from which noise has been removed by an output amplifier 58.
Switch MOS transistor to output to
4 is driven by the scanning circuit.
【0035】次に図8に示すタイミングチャートを用い
て、本発明のノイズ除去動作について説明する。Next, the noise removal operation of the present invention will be described with reference to the timing chart shown in FIG.
【0036】先ず時刻T0 において、φRSをLOWに
することにより、リセットMOSトランジスタ2をON
にしフォトダイオード1をリセットする。続いて次の時
刻T2 においてφCHをLOWすることによりトランス
ミッションゲートをONにしてリセット直後のノイズ信
号をメモリ容量CMに保持する。そして、時刻T3におい
てφRS、φCHをHighにすることによりリセット
MOSトランジスタ2、トランスミッションゲート8を
OFFにし、フォトダイオード1のリセットを完了させ
て蓄積状態に入る。First, at time T 0 , the reset MOS transistor 2 is turned on by turning φRS LOW.
Then, the photodiode 1 is reset. Followed by holding the noise signal immediately after the reset by the transmission gate is turned ON by the LOW φCH at next time T 2, the memory capacity C M. Then, the reset MOS transistor 2 by .phi.RS, the φCH to High at time T 3, the transmission gate 8 is OFF, the fall in the accumulation state to complete the reset photodiode 1.
【0037】ノイズ除去動作に入る時刻T4 において、
φTN、φFBをHighすることにより、ノイズ信号
をスイッチMOSトランジスタ50を介して電圧フォロ
ワ回路51へ入力し、その電圧フォロワ回路の出力をス
イッチMOSトランジスタ52を介して、クランプ容量
54へ入力する。次の時刻T5 、T6 においてそれぞれ
φFB、φTNをLOWにすることによりスイッチMO
Sトランジスタ52、スイッチMOSトランジスタ50
の順にOFFさせる。この時、クランプ容量8にはノイ
ズを含んだセンサ出力と電圧フォロワ回路のオフセット
電圧が加算された電圧が保持される。 VCP=Vdark+VFPN +VRN+Voff (1) (Vdark=センサ暗時電圧、VFPN =固定パターンノイ
ズ電圧、VRN=ランダムノイズ電圧、Voff =電圧フォ
ロワ回路オフセット電圧) 時刻T7 においてφTS2をHighにさせることによ
りクランプ回路と電圧フォロワ回路を接続させて、時刻
T8 においてφGRをOFFさせてクランプ動作を終了
させる。At time T 4 when the noise removal operation starts,
By making φTN and φFB High, a noise signal is input to the voltage follower circuit 51 via the switch MOS transistor 50, and the output of the voltage follower circuit is input to the clamp capacitor 54 via the switch MOS transistor 52. At the next times T 5 and T 6 , φFB and φTN are set to LOW, respectively, thereby setting the switch MO.
S transistor 52, switch MOS transistor 50
Are turned off in this order. At this time, the clamp capacitor 8 holds a voltage obtained by adding the sensor output including noise and the offset voltage of the voltage follower circuit. V CP = V dark + V FPN + V RN + V off (1) (V dark = sensor dark voltage, V FPN = fixed pattern noise voltage, V RN = random noise voltage, V off = voltage follower circuit offset voltage) Time T 7 by connecting the clamp circuit and a voltage follower circuit by the φTS2 to High at, at time T 8 by OFF the φGR to terminate the clamping operation.
【0038】所望の時刻が逹った後、フォトダイオード
に蓄積された光信号は時刻T9にメモリ容量9に保持さ
れる。メモリ容量9に保持されている光信号はソースフ
ォロワ回路のアンプMOS10から出力される。The desired time after Tsu of us, the light signal stored in the photodiode is kept at time T 9 in memory 9. The optical signal held in the memory capacitor 9 is output from the amplifier MOS 10 of the source follower circuit.
【0039】この時のソースフォロワの出力は、 VP +Vdark+VFPN +VRN(2) となる。ここでVP は光信号電圧である。そして時刻T
11においてφTS1がHighとなり、この電圧がスイ
ッチMOS53を介してクランプ回路へ入力される。こ
の時、先に蓄積されている電圧(1)との差分により、
電圧フォロワ回路からの出力は、 VOUT =(2)−(1)+Voff =VP となる。つまり、電圧フォロワ回路からは光電変換画素
のノイズのみならず、電圧フォロワ回路のノイズも除去
された信号を得ることができる。又、最終段の出力増幅
器58へゲインを落とさずに出力できるため、容量分割
によるゲイン低下といった問題もなくなる。The output of the source follower at this time is V P + V dark + V FPN + V RN (2). Here, VP is an optical signal voltage. And time T
At 11 , φTS1 becomes High, and this voltage is input to the clamp circuit via the switch MOS53. At this time, the difference from the previously stored voltage (1)
The output from the voltage follower circuit, V OUT = (2) - (1) a + V off = V P. That is, from the voltage follower circuit, a signal from which not only the noise of the photoelectric conversion pixel but also the noise of the voltage follower circuit has been removed can be obtained. Further, since the output can be performed to the output amplifier 58 of the final stage without lowering the gain, the problem of the gain reduction due to the capacitance division does not occur.
【0040】又、図10は差動増幅アンプ51の1例を
示したものである。ここではCMOS型差動増幅アンプ
となっているが、BiCMOS型であっても同様であ
る。又、回路構成も出力がプッシュプル形式であっても
よい。FIG. 10 shows an example of the differential amplifier 51. Here, the CMOS differential amplifier is used, but the same applies to a BiCMOS type amplifier. Also, the output of the circuit may be of a push-pull type.
【0041】ここで、本実施例では実施例1に説明した
画素を用いてノイズ除去の動作を説明したが、実施例2
〜5に説明した画素であっても同様にノイズを除去する
ことができる。Here, in this embodiment, the operation of removing noise has been described using the pixels described in the first embodiment.
Noise can be similarly removed from the pixels described in (5) to (5).
【0042】又ノイズ除去の方法は、本実施例に示した
ものに限るものではなく、例えば水平出力線にクランプ
回路を設ける等他の構成のものでもよい。The method of removing noise is not limited to the method described in the present embodiment, but may be another method such as providing a clamp circuit on a horizontal output line.
【0043】(実施例7)本実施例は、1行中の画素の
ピーク信号(最大値信号、最小値信号)を検出するもの
である。ここで画素は実施例1〜5で説明したいずれの
画素でもよい。(Embodiment 7) In this embodiment, peak signals (maximum value signal, minimum value signal) of pixels in one row are detected. Here, the pixel may be any of the pixels described in the first to fifth embodiments.
【0044】本実施例では、図11において水平走査回
路からスイッチMOSトランジスタ5に同時にパルスを
入力することによって、1行中の光電変換画素からの信
号を同時に電圧フォロワ回路6から出力することによっ
て1行中の光電変換画素のピーク信号が得られる。ここ
で、電圧フォロワ回路として図7(a)の出力段がn型
トランジスタであるものを用いた場合には、1行中の光
電変換画素の最大値信号が、図7(b)の出力段がP型
トランジスタであるものを用いた場合には、1行中の光
電変換画素の最小値信号が得られる。In this embodiment, by simultaneously inputting a pulse from the horizontal scanning circuit to the switch MOS transistor 5 in FIG. 11 to simultaneously output signals from the photoelectric conversion pixels in one row from the voltage follower circuit 6, The peak signal of the photoelectric conversion pixel in the row is obtained. Here, when the output stage of FIG. 7A is an n-type transistor as the voltage follower circuit, the maximum value signal of the photoelectric conversion pixel in one row is determined by the output stage of FIG. 7B. Is a P-type transistor, the minimum value signal of the photoelectric conversion pixel in one row is obtained.
【0045】又、奇数列には図7(a)の電圧フォロワ
回路を、偶数列には図7(b)の電圧フォロワ回路を用
いた場合には、水平走査回路から同時に奇数列のスイッ
チMOSトランジスタ13にパルスを入力し、次に水平
走査回路から同時に偶数列のスイッチMOSトランジス
タ13にパルスを入力することにより、1行中の光電変
換画素のほぼ最大値信号と、ほぼ最小値信号が得られ
る。When the voltage follower circuit shown in FIG. 7A is used for the odd columns and the voltage follower circuit shown in FIG. 7B is used for the even columns, the switch MOSs of the odd columns are simultaneously output from the horizontal scanning circuit. By inputting a pulse to the transistor 13 and then simultaneously inputting a pulse from the horizontal scanning circuit to the switch MOS transistor 13 in an even column, an almost maximum value signal and an almost minimum value signal of the photoelectric conversion pixel in one row are obtained. Can be
【0046】(実施例8)本実施例では、第8実施例よ
りもさらに精度よく1行中の光電変換画素のピーク信号
(最大値信号、最小値信号)を検出するものである。(Embodiment 8) In this embodiment, the peak signals (maximum value signal, minimum value signal) of the photoelectric conversion pixels in one row are detected more accurately than in the eighth embodiment.
【0047】第8実施例では、1行中の奇数光電変換画
素の最大値信号と、1行中の偶数光電変換画素の最小値
信号を得ているため、低解像度のセンサーの場合に、誤
差が生じる場合がある。In the eighth embodiment, the maximum value signal of the odd-numbered photoelectric conversion pixels in one row and the minimum value signal of the even-numbered photoelectric conversion pixels in one row are obtained. May occur.
【0048】そのために、本実施例では図12に示すよ
うに1つの列に並列に最大値検出用(図7(a))のも
のと、最小値検出(図7(b))のものの2つを設けて
いる。そして、最大値検出用の電圧フォロワ回路に接続
されたスイッチMOSトランジスタ57に同時に水平走
査回路からパルスを入力することにより、水平出力線に
は1行中の光電変換画素の最大値信号が出力され、最小
値検出用の電圧フォロワ回路に接続されたスイッチMO
Sトランジスタに同時に水平走査回路からパルスを入力
することにより、水平出力線には1行中の光電変換画素
の最小値信号が出力される。For this purpose, in this embodiment, as shown in FIG. 12, two columns, one for detecting the maximum value (FIG. 7A) and the other for detecting the minimum value (FIG. 7B) are arranged in parallel in one column. One is provided. Then, by simultaneously inputting a pulse from the horizontal scanning circuit to the switch MOS transistor 57 connected to the voltage follower circuit for detecting the maximum value, the maximum value signal of the photoelectric conversion pixel in one row is output to the horizontal output line. , A switch MO connected to a voltage follower circuit for detecting the minimum value
By simultaneously inputting a pulse from the horizontal scanning circuit to the S transistor, the minimum value signal of the photoelectric conversion pixel in one row is output to the horizontal output line.
【0049】第7実施例及び第8実施例において水平走
査回路に、上記述べたような複数のスイッチMOSトラ
ンジスタに同時にパルスを入力できるようにする構成
と、複数のスイッチMOSトランジスタに順次パルスを
入力できるようにする構成を持たせることにより、それ
ぞれ1光電変換画素ずつの個別信号と、1行中の光電変
換画素の最大値信号及び最小値信号を得ることができ
る。In the seventh and eighth embodiments, the horizontal scanning circuit is configured to be capable of simultaneously inputting a pulse to the plurality of switch MOS transistors as described above, and the pulse is sequentially input to the plurality of switch MOS transistors. With such a configuration, it is possible to obtain an individual signal for each photoelectric conversion pixel and a maximum value signal and a minimum value signal of the photoelectric conversion pixels in one row.
【0050】ここで、実施例8、9においては、走査回
路14から同時にパルスを複数のスイッチMOSトラン
ジスタ57に入力することにより、電圧フォロワ回路5
1の接続部が水平出力線に共通接続される構成がピーク
信号出力手段に相当する。Here, in the eighth and ninth embodiments, a pulse is input from the scanning circuit 14 to the plurality of switch MOS transistors 57 at the same time, so that the voltage follower circuit 5
A configuration in which one connection portion is commonly connected to a horizontal output line corresponds to a peak signal output means.
【0051】(実施例9)本実施例は、実施例7又は実
施例8で示した光電変換装置を用いた撮像装置をあらわ
すものである。(Embodiment 9) This embodiment shows an image pickup apparatus using the photoelectric conversion device shown in Embodiment 7 or 8.
【0052】図13に示す光電変換装置90からは、例
えば1行中の画素の最大値信号及び最小値信号が出力さ
れ差動増幅回路91で差分増幅されコンパレータ92に
入力される。そしてコンパレータの出力は、オンチップ
又は外付けの蓄積時間制御回路93に入力される。ここ
で蓄積時間制御回路では、差動増幅回路の出力が基準電
圧Vrefよりも大きくなった場合に、光電変換装置に
光の蓄積を停止するように制御している。この光の蓄積
の停止に従って、次はそれぞれの光電変換画素からの信
号を個別に出力し、信号処理回路94でホワイトバラン
ス等の処理を行って画像を得ている。For example, the maximum value signal and the minimum value signal of the pixels in one row are output from the photoelectric conversion device 90 shown in FIG. The output of the comparator is input to an on-chip or external storage time control circuit 93. Here, the accumulation time control circuit controls to stop the accumulation of light in the photoelectric conversion device when the output of the differential amplifier circuit becomes larger than the reference voltage Vref. Following the stop of the accumulation of the light, the signals from the respective photoelectric conversion pixels are individually output, and the signal processing circuit 94 performs processing such as white balance to obtain an image.
【0053】[0053]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれは、
画素内にメモリ機能を有し、さらに高S/Nな光電変換装
置及び撮像装置が実現出来た。As described above, according to the present invention,
A photoelectric conversion device and an image pickup device having a memory function in a pixel and a high S / N ratio were realized.
【図1】本発明の第1の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 1 is a circuit configuration diagram according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1の実施例に係るタイミングチャー
トである。FIG. 2 is a timing chart according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第2の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 3 is a circuit configuration diagram according to a second embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第3の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 4 is a circuit configuration diagram according to a third embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第4の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 5 is a circuit configuration diagram according to a fourth embodiment of the present invention.
【図6】本発明の第4の実施例に係るタイミングチャー
トである。FIG. 6 is a timing chart according to a fourth embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第5の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 7 is a circuit configuration diagram according to a fifth embodiment of the present invention.
【図8】本発明の第6の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 8 is a circuit configuration diagram according to a sixth embodiment of the present invention.
【図9】本発明の第6の実施例に係るタイミングチャー
トである。FIG. 9 is a timing chart according to a sixth embodiment of the present invention.
【図10】差動増幅アンプの1例である。FIG. 10 is an example of a differential amplifier.
【図11】本発明の第7の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 11 is a circuit configuration diagram according to a seventh embodiment of the present invention.
【図12】本発明の第8の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 12 is a circuit configuration diagram according to an eighth embodiment of the present invention.
【図13】本発明の第9の実施例に係る回路構成図であ
る。FIG. 13 is a circuit configuration diagram according to a ninth embodiment of the present invention.
【図14】従来例である。FIG. 14 is a conventional example.
1 フォトダイオード 2 リセットMOSトランジスタ 3,4 差動入力MOSゲート 5,6 カレントミラー回路 7 定電流源 8 トランスファゲート 9 メモリ容量 10 ソースフォロワ増幅MOSトランジスタ 11 定電流源 12 画素ユニット 13 ノイズ除去回路 14 走査回路 28 nMOS転送スイッチ 30 転送ゲート 31 リセットMOSトランジスタ 61 ソースフォロワ増幅MOSトランジスタ 62 転送スイッチ 63 転送スイッチ Reference Signs List 1 photodiode 2 reset MOS transistor 3, 4 differential input MOS gate 5, 6 current mirror circuit 7 constant current source 8 transfer gate 9 memory capacity 10 source follower amplification MOS transistor 11 constant current source 12 pixel unit 13 noise removal circuit 14 scanning Circuit 28 nMOS transfer switch 30 transfer gate 31 reset MOS transistor 61 source follower amplification MOS transistor 62 transfer switch 63 transfer switch
Claims (9)
と、 前記光電変換手段から出力された信号と前記増幅手段か
ら出力された信号との差動増幅信号を得るための差動増
幅回路と、 前記差動増幅回路から出力された信号を保持する保持手
段とを少なくとも画素の構成として含み、 前記差動増幅回路から出力された信号は前記スイッチ手
段を介して前記保持手段に入力されていることを特徴と
する光電変換装置。1. A photoelectric conversion unit, a holding unit for holding a signal, a switch unit for transferring a signal to the holding unit, an amplification unit for amplifying and outputting a signal from the holding unit, and the photoelectric conversion unit A differential amplifier circuit for obtaining a differentially amplified signal of the signal output from the amplifier and the signal output from the amplifier unit, and a holding unit for holding the signal output from the differential amplifier circuit, A photoelectric conversion device comprising a configuration, wherein a signal output from the differential amplifier circuit is input to the holding unit via the switch unit.
前記増幅手段及び前記スイッチ手段はMOSトランジスタ
のみで構成したことを特徴とする光電変換装置。2. The differential amplifier according to claim 3, wherein:
A photoelectric conversion device, wherein the amplifying means and the switch means are constituted only by MOS transistors.
おいて、前記保持手段はMOS容量としたことを特徴とす
る光電変換装置。3. The photoelectric conversion device according to claim 1, wherein said holding means is a MOS capacitor.
おいて、前記光電変換手段はpnフォトダイ−ドである
ことを特徴とする光電変換装置。4. The photoelectric conversion device according to claim 1, wherein said photoelectric conversion means is a pn photodiode.
おいて、前記差動増幅手段の作動/非作動を制御する第
1の制御手段を有することを特徴とする光電変換素装
置。5. The method according to claim 1, wherein operation / non-operation of the differential amplifier is controlled.
A photoelectric conversion device, comprising the control means of (1).
おいて、前記増幅手段の作動/非作動を制御する第2の
制御手段を有することを特徴とする光電変換素装置。6. The photoelectric conversion device according to claim 1, further comprising a second control unit for controlling the operation / non-operation of the amplification unit.
おいて、さらに前記画素内に生じるノイズを除去するノ
イズ除去手段を有することを特徴とする光電変換装置。7. The photoelectric conversion device according to claim 1, further comprising a noise removing unit that removes noise generated in the pixel.
おいて、さらに複数の画素中のピ−ク信号を出力するた
めのピ−ク信号出力手段を有することを特徴とする光電
変換装置。8. The photoelectric conversion device according to claim 1, further comprising peak signal output means for outputting peak signals in a plurality of pixels. .
記光電変換手段への光の蓄積量を制御する光蓄積量制御
手段と、を有する撮像装置。9. The photoelectric conversion device according to claim 8, and a light accumulation amount control unit that controls an accumulation amount of light in the photoelectric conversion unit by a peak signal output from the photoelectric conversion device. Imaging device having the same.
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