JP2000077366A

JP2000077366A - 研磨布及びその研磨布の研磨機定盤への脱着方法

Info

Publication number: JP2000077366A
Application number: JP24410598A
Authority: JP
Inventors: Shinichiro Kawahara; 伸一郎河原; Toshiaki Kasazaki; 敏明笠崎; Naoyuki Tani; 直幸谷; Takuji Ando; 卓史安藤; Masayoshi Yamamoto; 正芳山本
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1998-08-28
Filing date: 1998-08-28
Publication date: 2000-03-14
Also published as: KR100416121B1; KR20010035544A; MY124328A; US6616520B1; TW421826B; WO2000012642A1; EP1115805A1

Abstract

(57)【要約】【課題】研磨布の交換時において、定盤および研磨布
の接着剤層を加温するだけで、容易に定盤面から剥離す
ることができる研磨布とその研磨布の定盤からの脱着方
法を提供すること。【解決手段】研磨布は、研磨布基体５と、研磨布基体
５の片面に積層された感圧接着剤層３と、感圧接着剤層
３に離型可能に貼り付けられた離型シート４と、を有す
る。感圧接着剤層３を形成する接着剤組成物が、感圧接
着剤と、接着剤組成物に対して１〜３０重量％の側鎖結
晶化可能ポリマーとを含有し、側鎖結晶化可能ポリマー
が、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするア
クリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルを主
成分とする分子量１０，０００以下のポリマーであり、
かつ、ポリマーは、１５℃より狭い温度範囲にわたって
起こる融点を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
被研磨部材の研磨加工において、研磨布を研磨機の定盤
に固定し研磨加工するにあたって、その被研磨部材の保
持のために使用される研磨布、並びに該研磨布を研磨機
定盤に装着および定盤から取り外す方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体業界においては、ＩＣの集
積度が飛躍的に増大し、４Ｍ、１６Ｍ、さらには６４Ｍ
へと進行中である。

【０００３】このような状況下では、ＩＣの基盤である
ウエハの表面の品位の向上、およびコストに対する要求
がますます高度化して来ている。ウエハの化学的性状、
電気的性状も当然のことであるが、ＩＣの集積度を高め
るためには、ウエハ上に設けられるデバイスを構成する
最小線幅がますます小さくなり、０．５ミクロンから
０．３５ミクロンへと要求は高度化しつつある。さらに
ウエハの大型化が急速に進み、ビットあたりのコストも
これに伴い急速に低下している。ウエハの大型化に伴い
加工機械の大型化も著しく、例えば、ウエハ表面を鏡面
に仕上げるために行われる研磨加工においては、５イン
チウエハの研磨加工には４２インチ程度の定盤径を持つ
研磨機が使用されていたのに対し、８インチ径のウエハ
を加工する場合には５９インチ径にも達する研磨定盤を
持つ研磨機がウエハ生産に使用される。一般にウエハの
研磨は研磨スラリーの存在下において、研磨布と摩擦さ
えることで研磨を行い、研磨布が下定盤側、被加工物で
あるウエハが上定盤側に保持して加工される。

【０００４】従って、研磨布は研磨機の下定盤側と同じ
寸法のものが用いられる。すなわち、通常５インチウエ
ハの研磨加工には４２インチ程度の研磨布が使用され、
８インチ径のウエハを加工する場合には、５９インチ径
の研磨布がウエハの生産に使用される。

【０００５】一般に研磨布は研磨機定盤に固定して使用
されるが、固定する方法として研磨布を高性能の両面テ
ープを使用して固定される。このような方式の問題点
は、前記のように研磨布の裏面の粘着剤層が定盤面に馴
染んで密着するため、研磨機定盤に貼り付けた研磨布を
通常に剥離しようとする場合には、約２Ｋｇ／インチ幅
から３ｋｇ／インチ幅程度の粘着強度が必要となる。従
って、５２インチ径の研磨機定盤から該研磨布を剥離す
る場合には、最大１５６ｋｇの力が必要となり、また５
９インチ径の研磨機定盤から研磨布を剥離する場合には
最大１８０ｋｇの力が必要となり、研磨布を使用後、新
たなものと交換する場合には非常な労力が必要となって
いた。

【０００６】また、研磨布を定盤に位置がずれた状態で
貼り合わせした場合、再度貼り直すことが困難であっ
た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の研磨布
を研磨機定盤から剥離する際の問題点を解決するもので
あり、その目的はウエハの研磨時には強力にしかも安定
的に研磨機定盤に高精細に粘着し、研磨機定盤から剥離
する際には該定盤から容易に剥離することができる研磨
布と、その研磨布の研磨機定盤への脱着方法を提供する
ことにある。

【０００８】本発明の他の目的は、位置がずれて貼り合
わせた場合でも容易に貼り直しができる研磨布と、その
研磨布の研磨機定盤への脱着方法を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の研磨布は、研
磨布基体と、該研磨布基体の裏面に積層された第１の感
圧接着剤層と、該第１の感圧接着剤層の裏面に積層され
た支持体と、該支持体の裏面に積層された第２の感圧接
着剤層と、該第２の感圧接着剤層に離型可能に貼り付け
られた離型シートと、を有するを有する研磨布におい
て、該第２の感圧接着剤層を形成する接着剤組成物が、
感圧接着剤と、該接着剤組成物に対して１〜３０重量％
の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、該側鎖結晶化可
能ポリマーが、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を側
鎖とするアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エ
ステルを主成分とすることを特徴とし、そのことにより
上記目的が達成される。

【００１０】請求項２の研磨布は、研磨布基体と、該研
磨布基体の片面に積層された感圧接着剤層と、該感圧接
着剤層に離型可能に貼り付けられた離型シートと、を有
する研磨布において、該感圧接着剤層を形成する接着剤
組成物が、感圧接着剤と、該接着剤組成物に対して１〜
３０重量％の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、該側
鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数１６以上の直鎖状アル
キル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び／又はメタ
クリル酸エステルを主成分とすることを特徴とし、その
ことにより上記目的が達成される。

【００１１】一つの実施態様では、前記接着剤組成物
が、タッキファイヤーを１０〜３０重量％含有し、５０
℃以上に加温すると接着力が９０％以上低下する。

【００１２】一つの実施態様では、前記ポリマーの分子
量が２，０００〜１５，０００である。

【００１３】一つの実施態様では、前記側鎖結晶化可能
ポリマーが、１５℃より狭い温度範囲にわたって起こる
融点を有する。

【００１４】本発明の研磨布の定盤への脱着方法は、上
記研磨布の前記離型シートを前記感圧接着剤層から除去
した後、該研磨布の該感圧接着剤層を、温度Ｔ1の研磨
機の定盤面に粘着させることにより該研磨布を装着し、
該研磨布の使用後は、該温度Ｔ1より高い温度Ｔ2に該研
磨機の定盤を加温した状態で該研磨布を該研磨機の定盤
面から取り外すことを特徴とし、そのことにより上記目
的が達成される。

【００１５】本発明の作用は次の通りである。

【００１６】本発明の研磨布では、接着剤層を形成する
接着剤組成物が、感圧接着剤と、該接着剤組成物に対し
て１〜３０重量％の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有
し、該側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数１６以上の直
鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び／
又はメタクリル酸エステルを主成分とすることにより、
任意に設定した温度から温度を若干変化させると、ポリ
マーが結晶と非結晶との間を可逆的に変化することで、
定盤面に対する粘着性が大きく変化する。

【００１７】従って、所定温度以上（例えば、５０℃〜
１００℃）に加温すると、接着剤層の接着力が急速に低
下するので、研磨布の交換時において、定盤および／ま
たは研磨布の接着剤層を加温してその接着剤層の定盤面
に対する粘着性を大きく低下させることで、定盤面から
該研磨布を容易に剥離することができる。

【００１８】さらに、接着剤組成物がタッキファイヤー
を１０〜３０重量％含有し、５０℃以上に加温すると接
着力が９０％以上低下するものでは、研磨機の定盤面に
対して一定以上の接着力を保持し、加温により接着強度
が急激に低下する。すなわち、タッキファイヤーがポリ
マーの感温特性に大きく影響を与えることなく、常温時
の接着力を保持して接着強度と加温時の剥離力とのバラ
ンスを保つことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。

【００２０】本発明の研磨布は、図３に示すように、研
磨布基体５と、感圧接着剤層３と、を少なくとも有し、
さらに、該感圧接着剤層３に離型シート４が剥離可能に
接着されていてもよく、また感圧接着剤層の補強等のた
めに支持体が厚み方向の中央部に積層されていてもよ
い。この場合は、研磨布は、図２に示すように、該研磨
布基体５の裏面に積層された第１の感圧接着剤層２（市
販の接着剤から構成される）と、該第１の感圧接着剤層
２の裏面に積層された支持体１と、該支持体１の裏面に
積層された第２の感圧接着剤層３（本発明で特徴とする
感圧接着剤から構成される）と、離型シート４とを有し
得る。

【００２１】（研磨布基体）本発明の研磨布に使用され
る研磨布基体としては、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹
脂あるいはビニル樹脂等より選ばれる重合体の組成物よ
りなるもの（例えば、発泡体）、あるいは該組成物と基
材とからなる複合体からなるものであり、例えば、以下
のものが挙げられる。

【００２２】（１）発泡体上記発泡体は、例えば、ウレタン重合体と、ジメチルホ
ルムアミドとを含有する発泡体組成物を湿式凝固法によ
り形成することができる。もしくは、ウレタン重合体
と、塩化ビニル重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニルアルコール三元共
重合体等のビニル重合体と、ジメチルホルムアミドとを
含有する発泡体組成物を、湿式凝固法により形成するこ
とができる。この発泡体の表面部、特にその表面に形成
されたスキン層はバフされて、表面に発泡構造が表われ
る構造にするのが良い。

【００２３】上記ウレタン重合体としては、ポリエーテ
ル系ウレタン樹脂、ポリエステル系ウレタン樹脂、ポリ
エステルエーテル系ウレタン樹脂のいずれも使用するこ
とができる。各ウレタン樹脂の製造に使用されるポリオ
ール成分としては、例えば、ポリオキシエチレングリコ
ール、ポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシテ
トラメチレングリコール、ポリエチレンアジペート、ポ
リプロピレンアジペートレ、ポリオキシテトラメチレン
アジペート等が挙げられる。また、イソシアネート成分
としては、例えば、４、４'−ジフェニルメタンジイソ
シアネート、２，４−トリレンジイソシアネート等が挙
げられる。

【００２４】鎖伸張剤としては、例えば、エチレングリ
コール、１、４−ブタンジオール、プロピレングリコー
ル、等が挙げられる。

【００２５】上記ウレタン重合体は、例えば、ポリオー
ル成分としてポリオキシプロピレングリコール、イソシ
アネート成分として４、４'−ジフェニルメタンジイソ
シアネート、鎖伸張剤として１、４−ブタンジオール、
重合停止剤としてエタノール、溶媒としてジメチルホル
ムアミドを用いて重合したウレタン重合体のジメチルホ
ルムアミド溶液が使用される。

【００２６】上記発泡体組成物には、カーボンブラック
等の充填剤、界面活性剤等の分散安定剤、湿式凝固助剤
が添加されてもよい。

【００２７】上記発泡体組成物を表面が離型性の支持体
上に塗布し、例えば、以下に示す湿式凝固法により発泡
体を得ることができる。

【００２８】すなわち、発泡体組成物が塗布された支持
体を、所定温度の水中に浸漬した後、所定温度の湯中に
一定時間浸漬する。この浸漬中に、発泡体組成物に含ま
れる溶剤は水の浸透によって置換することにより、発泡
体組成物は脱溶剤され、発泡体組成物を低発泡し、弾性
ある発泡体層が支持体上に形成される。次に、水中から
このものを取り出し、所定温度および所定時間熱風乾燥
し、バフして発泡体が得られる。

【００２９】（２）複合体上記発泡体組成物を基材に含浸し、上記（１）と同様に
湿式凝固法により複合体を形成することができる。基材
としては、例えば、不織布（日本フェルトＢＳ−３０
０）等を使用することができる。

【００３０】（支持体）上記支持体としては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエーテルイミド、ポリウレタ
ン等、種々の合成樹脂シートを使用することができ、例
えば、ポリエステルフィルム（商品名、ルミラー、東レ
社製）等が挙げられる。

【００３１】（感圧接着剤層）本発明に使用される第２
の感圧接着剤層は、上記研磨布基体の裏面に直接的にま
たは間接的に積層される。第２の感圧接着剤層が研磨布
基体の裏面に間接的に積層される場合には、研磨布基体
の裏面に通常の感圧接着剤層（第１の感圧接着剤層）、
支持体を介して第２の感圧接着剤層が積層される。

【００３２】上記第２の感圧接着剤層を形成する接着剤
組成物に含有される感圧接着剤としては、例えば、以下
のものが挙げられる。

【００３３】天然ゴム接着剤；スチレン／ブタジエンラ
テックスベース接着剤；ＡＢＡブロック共重合体型の熱
可塑性ゴム（Ａは熱可塑性ポリスチレン末端ブロックを
示し、Ｂはポリイソプレン、ポリブタジエンまたはポリ
（エチレン／ブチレン）のゴム中間ブロックを示す）；
ブチルゴム；ポリイソブチレン；ポリアクリレート；お
よび酢酸ビニル／アクリルエステル共重合体のようなア
クリル接着剤；ポリビニルメチルエーテル、ポリビニル
エチルエーテル、およびポリビニルイソブチルエーテル
のようなビニルエーテルの共重合体。

【００３４】特に、エチルヘキシルアクリレート、ヒド
ロキシエチルアクリレート等からなるアクリル系感圧接
着剤が好ましい。アクリル系感圧接着剤を使用すること
により、ポリマーとの相互作用をもつため、所定温度で
は接着剤層内に該ポリマーが良好に分散して粘着性を発
揮すると共に、所定温度以上の加熱によりポリマーがブ
リードアウトし易くなり剥離性を良好に発揮する。

【００３５】（側鎖結晶化可能ポリマー）接着剤組成物
に含有される側鎖結晶化可能ポリマーは、約１５℃より
狭い温度範囲にわたって起こる融点（第１次溶融転移と
もいう）を持つものが好ましく使用され、このようなポ
リマーを含有する接着剤組成物は、日本特許出願公表平
６−５１０５４８号に於いて開示されている。

【００３６】該接着剤組成物に使用される結晶化可能ポ
リマーは、側鎖結晶化可能および主鎖結晶化可能ポリマ
ーを共に含み得る。違いは前者のクラスの化合物は結晶
化可能側鎖部分を含み、後者のクラスはその骨格構造に
より結晶化可能とされることである。

【００３７】本明細書で使用される「融点」という用語
は、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整
合されていたポリマーの特定の部分が無秩序状態となる
温度を意味する。一つの実施態様では、好ましくは、ポ
リマーの融点は約４０℃から１００℃の範囲、さらに好
ましくは約４０℃から６０℃の範囲である。溶融は急速
に、すなわち約10℃より小さい、好ましくは約5℃より
小さい比較的狭い温度範囲において起こることが好適で
ある。ポリマーが急速に結晶化することは好適である。
この点に関しては、シーディング剤すなわち結晶化触媒
を該ポリマーに混入し得る。

【００３８】使用後は使用温度よりほんの僅か高い温度
に単純に加熱することにより研磨機定盤面から容易に剥
離され得る。加熱温度は、通常４０℃〜１００℃であ
り、好ましくは４０℃〜６０℃である。

【００３９】それゆえ、本発明は、ある物理特性と化学
特性を有する結晶化可能ポリマーと感圧接着剤との混合
により、接着性が温度制御変動性を有する接着剤組成物
が得られるという発見を前提とするものである。

【００４０】本発明に関して最も好ましい側鎖結晶化可
能ポリマーは、下記の化学式の構造を有する反復単位を
含有し、

【００４１】

【化１】

【００４２】ここで、ＷとＸはそれぞれ第１と第２の単
量体単体であり、その単量体単位は隣接する分子部分に
連結可能（すなわち、重合可能）な分子部分であり、Ｙ
とＺは、いかなる分子部分または原子でもよいそれぞれ
独立したバックボーン単量体単位であり、各Ｓは独立し
た連結基またはスペーサー単位であって必要に応じて存
在し、ＣｙｔとＣｙはそれぞれ独立して、バックボーン
に直接またはスペーサー単位を介して連結した結晶化可
能部分であり、ａ、ｂ、ｃ、およびｄは、Ｗ、Ｘ、Ｙお
よびＺの分子量の合計の２倍と等しいかまたはそれより
大きい分子量を与えるように十分なＣｙｔとＣｙが存在
する条件で０から1,000までの範囲のそれぞれ独立した
整数であり、さらにそのポリマーが少なくとも約20ジュ
ール／グラムの融解熱（△Ｈｔ）を有する。変数のａ、
ｂ、ｃ、およびｄが１より大きい場合、単量体単位Ｗ、
Ｘ、ＹおよびＸは反復単位かまたは異なる単量体単位の
混合物である。例えば、ａが100である場合、Ｗは、
５：５：２：５：83の比率のスチレン、アクリル酸、メ
チルスチレンおよびヘキサデシルアクリレートであり得
る。それゆえ、Ｗ、Ｘ、ＹおよびＸのいかなる単量体単
位も重合可能単量体の混合物であり得る。

【００４３】本発明の接着剤組成物は必要に応じて架橋
している。架橋は、既知の技術、例えば、架橋剤、加
熱、照射等を用いて行える。

【００４４】ポリマーのバックボーン（Ｗ、Ｘ、Ｙおよ
びＸにより示される）は、いかなる有機構造（脂肪族ま
たは芳香族炭化水素、エステル、エーテル、アミド等）
または無機構造（硫酸塩、ホスファジン、シリコン等）
であってもよい。スペーサー連結は、いかなる適切な有
機または無機単位、例えば、エステル、アミド炭化水
素、フェニル、エーテル、または無機塩（例えば、カル
ボキシアルキルアンモニウム、またはスルホニウムまた
はホスホニウムイオン対または他の既知のイオン塩対）
で有り得る。側鎖（ＣｙｔおよびＣｙ並びに任意に存在
するＳにより示される）は、脂肪族または芳香族または
少なくとも10の炭素原子の脂肪族側鎖、少なくとも６の
炭素原子のフッ化脂肪族側鎖、およびアルキルが８から
24の炭素原子であるｐ−アルキルスチレン側鎖の組合わ
せであってもよい。

【００４５】各側鎖部分の長さは、アクリレート、メタ
クリレート、ビニルエステル、アクリルアミド、メタク
リルアミド、ビニルエーテルおよびアルフォレフィンの
場合、側鎖間の距離の通常５倍より長い。ブタンジエン
とのフルオロアクリレート交互共重合の極端な場合、側
鎖は枝間の距離の長さが２倍程である。いかなる場合に
おいても、側鎖単位はポリマーの50容積％より多くを構
成し、好ましくは65容積％より多くを構成する。側鎖ポ
リマーに加えられるコモノマーは通常、結晶化度に不利
に影響する。通常10から25容積％までの、少量の様々な
コモノマーが許容される。少量のコモノマー、例えば、
アクリル酸、グリシダルメタクリレート、無水マレイン
酸、アミノ機能的単量体等のような架橋部位単量体を加
えることが好ましい場合もある。

【００４６】上述した範囲内の側鎖結晶化可能単量体の
例は、高分子化学ジャーナル10：3347(1972)；高分子化
学ジャーナル10：1657(1972)；高分子化学ジャーナル
９：3367(1971)；高分子化学ジャーナル９：3349(197
1)；高分子化学ジャーナル９：1835(1971)；Ｊ．Ａ．
Ｃ．Ｓ．76：6280(1954)；高分子化学ジャーナル７：30
53(1969)；高分子化学ジャーナル17：991(1985)に記載
されているアクリレート、フルオロアクリレート、メタ
クリレートおよびビニルエステル高分子、対応アクリル
アミド、置換アクリルアミドおよびマレイミド高分子
（高分子化学ジャーナル、高分子物理学版18：2197(198
0)）；高分子化学ジャーナル：巨大分子レビュー８：11
7-252(1974)、および巨大分子13：12(1980)に記載され
ているようなポリ（アルファ−オレイン）高分子、巨大
分子13：15(1980)に記載されているようなポリアルキル
ビニルエーテル、ポリアルキルエチレンオキシド、高分
子科学ＵＳＳＲ21：241(1979)、巨大分子18：2141(198
5)に記載されているようなアルキルホスファゼン高分
子、ポリアミノ酸、巨大分子12：94(1979)に記載されて
いるようなポリイソシアネート、アミン含有単量体また
はアルコール含有単量体と長鎖アルキルイソシアネー
ト、ポリエステルおよびポリエーテルとを反応せしめる
ことにより作成したポリウレタン、巨大分子19：611(19
86)に記載されているようなポリシロキサンおよびポリ
シラン、Ｊ．Ａ．Ｃ．Ｓ．75：3326(1953)に記載されて
いるようなｐ−アルキルスチレンポリマー、およびトリ
ステアリンまたはペンタエリスリトールテトラステアリ
ン酸塩のようなトリグリセリドである。

【００４７】ここに使用する特に好ましい側鎖結晶化ポ
リマーは、線状脂肪族Ｃ１４−Ｃ５０（炭素原子１４〜
５０を有する）のポリアクリレート、線状脂肪族Ｃ１４
−Ｃ５０のポリメタクリレート、線状脂肪族Ｃ１４−Ｃ
５０のポリアクリルアミド、および線状脂肪族Ｃ１４−
Ｃ５０のポリメタクリルアミドである。この群の中で最
も好ましいものは、線状脂肪族Ｃ１６−Ｃ２２のポリア
クリレート、線状脂肪族Ｃ１６−Ｃ２２のポリメタクリ
レート、線状脂肪族Ｃ１６−Ｃ２２のポリアクリルアミ
ド、および線状脂肪族Ｃ１６−Ｃ２２のポリメタクリル
アミドである。

【００４８】上述したように、選択した結晶化可能ポリ
マーの融点は、組成物が粘着性である通常使用温度帯を
提供する。接着剤組成物中に含まれる結晶化可能ポリマ
ーの量は、驚くべきことにこの範囲の位置または広さに
ほとんど影響しない。

【００４９】以下は、選択した側鎖結晶化可能ポリマー
の特定の転移温度を示したものである。

【００５０】ポリマー転移温度（℃）Ｃ１６アクリレート３６Ｃ１６メタクリレート２６Ｃ１８アクリレート４９Ｃ１８メタクリレート３９Ｃ２０アクリレート６０Ｃ２０メタクリレート５０Ｃ２２アクリレート７１Ｃ２２メタクリレート６２側鎖結晶化可能ポリマーの合成方法に関しては、Ｅ．
Ｆ．ジョーダンらの「側鎖結晶化度ＩＩ」高分子科学ジ
ャーナル、Ａ−１部、９：33551(1971)を参照のこと。
結晶化可能ポリマーを製造する特有な方法もまたその中
の実施例に詳細に記載されている。

【００５１】使用する結晶化可能ポリマーの特有の分子
量は、本発明の接着剤組成物が、温度変動性粘着および
／または接着結合強さをどのように示すかを決定する重
要な因子である。すなわち、低分子量の結晶化可能ポリ
マーは、加熱により結合強さを失う。この特性が望まし
い場合には、例えば、ポリマーの分子量は２，０００〜
１５，０００が好ましく、さらに好ましくは３，０００
〜１０，０００である。

【００５２】ここで有用な接着剤組成物は、１つ以上の
上述のポリマーに加えて、タッキファイヤー（樹木のロ
ジン、ポリエステルなど）、酸化防止剤、繊維質または
非繊維質の充填剤、着色料などの従来の添加物を含有し
得る。また、全体的な温度感応特性が有意に影響される
ことがない場合は、さらに接着剤を含有させることも可
能である。接着剤組成物中の結晶化可能ポリマーの量は
約１重量％から約３０重量％の範囲であることが好適で
ある。さらに好ましくは５重量％から２０重量％であ
る。特に、５重量％〜１５重量％が好ましい。上記ポリ
マーの含有割合が接着剤組成物中で１重量％未満の場合
および３０重量％を超える場合には、ポリマーによる上
記効果が見られない。

【００５３】本発明の接着剤組成物は相溶性溶媒中で感
圧接着剤と結晶化可能ポリマーを混合し、可塑剤、タッ
キファイヤー、フィラー等のような任意の成分を添加す
ることにより調製する。固体含有物を所望の粘度に調節
し、混合物を均質になるまでブレンドする。ブレンド
後、混合物から気泡を除去する。

【００５４】上記タッキファイヤーとしては、特殊ロジ
ンエステル系、テルペンフェノール系、石油樹脂系、高
水酸基価ロジンエステル系、水素添加ロジンエステル系
等があげられる。その市販品としては、例えば、特殊ロ
ジンエステル系ではスーパーエステルＡ１２５（荒川化
学社製）、テルペンフェノール系ではタマノル８０３Ｌ
（荒川化学社製）、石油樹脂系ではハイレジン＃９０Ｓ
（東邦化学工業社製）、高水酸基価ロジンエステル系で
はＫＥ−３６４Ｃ（荒川化学社製）、水素添加ロジンエ
ステル系ではエステルガムＨＤ（荒川化学社製）があ
る。

【００５５】特に、特殊ロジンエステル系のものが好ま
しい。タッキファイヤーの添加量は、接着剤組成物に対
して１０〜３０重量％が好ましく、特に１５〜２５重量
％が好ましい。タッキファイヤーの含有量が１０重量％
未満のときは常温時の接着力が不足し、３０重量％を越
えるときは剥離時の低下率が小さい。

【００５６】ここで、接着剤組成物に含まれるポリマー
の好ましい例を示すと次の通りである。

【００５７】（１）ステアリルアクリレート８０〜９８
重量部、アクリル酸２〜２０重量部、ドデシルメルカプ
タン２〜１０重量部との共重合体（２）ドコシルアクリレート５〜９０重量部、ステアリ
ルアクリレート５〜９０重量部、アクリル酸１〜１０重
量部とドデシルメルカプタン２〜１０重量部の共重合体（３）ドコシルアクリレート８０〜９８重量部とアクリ
ル酸２〜２０重量部とドデシルメルカプタン２〜１０重
量部の共重合体また、接着剤組成物の感圧接着剤としては、例えば、２
−エチルヘキシルアクリレート８０〜９５重量部と２−
ヒドロキシエチルアクリレート５〜２０重量部との共重
合体が挙げられる。

【００５８】接着剤層を研磨布基体に積層するには、例
えばスプレー堆積、塗装、浸漬、グラビア印刷、圧延な
どの多くの方法により行うことができる。接着剤層はま
た、転写印刷の場合と同様の方法でリリースシートから
の転写により塗布され得る。接着剤組成物はそのまま
で、または適切な溶剤により、またはエマルジョンもし
くはラテックスとして塗布され得る。適当なモノマーお
よび添加物を直接、研磨布基体に塗布し、その場で熱、
放射、またはその他の適切な当業者には既知の方法によ
り硬化され得る。

【００５９】研磨布を４層以上で構成する場合には、支
持体の片面に上記第２の感圧接着剤層と市販の第１の感
圧接着剤層を積層し、該市販の感圧接着剤層に研磨布基
体を積層接着すればよい。第１の感圧接着剤層として
は、例えば、第２の感圧接着剤層に使用した感圧接着剤
を使用できるが、特にゴム系粘着剤、アクリル系粘着
剤、セミホットメルト粘着剤で形成することができる。

【００６０】このようにして得られた研磨布は、通常公
知の方法によって定盤に貼付される。例えば、研磨布の
感圧接着剤層を常温の温度Ｔ1（例えば、２０℃〜３０
℃）の研磨機の定盤面に粘着させることにより該研磨布
を装着し、該研磨布の使用後は、該温度Ｔ1より、５℃
〜１０℃以上高い温度Ｔ2に該研磨機の定盤を加温した
状態で該研磨布を該研磨機の定盤面から取り外す。常温
では研磨布の接着剤層の接着性は優れているため、定盤
面から剥がれることはない。研磨布を定盤面から剥離す
る場合には、研磨布が貼付された定盤を、例えば、５０
℃以上に加温する。

【００６１】加温方法としては、例えば、以下の方法が
あげられる。

【００６２】（１）研磨布面を加熱する方法この方法としては、熱アイロンを当てる、温水をかけ
る、シート状ヒーターを被せる、温風（例えば、温風
機、ドライヤー）を吹き付ける、蒸気を吹き付ける、高
周波をあてて加熱する、ランプ（赤外線、遠赤外線）を
当てる等がある。

【００６３】（２）研磨布と定盤の界面から加熱する方
法この方法としては、熱こて、熱アイロンを当てる、温風
（例えば、温風機、ドライヤー）を吹き付ける、温水を
かける、蒸気を吹き付ける、ランプ（赤外線、遠赤外
線）を当てる等がある。

【００６４】（３）定盤を加熱する方法この方法としては、定盤に温水の流通管を形成する、定
盤自体をホットプレートにする等がある。

【００６５】具体的には、５０℃〜１００℃の保温室に
定盤を保管するか、５０℃以上の温水中に定盤を浸漬も
しくは定盤に温水の流通管を形成してもよい。その後、
該研磨布が加温された状態で、該研磨布を定盤から剥離
する。

【００６６】常温時の、接着強度は約１．５〜２．５Ｋ
ｇ／インチ幅程度であり、加温時の剥離強度は約０．１
〜０．５Ｋｇ／インチ幅程度に低下するため、容易に定
盤面から剥離できる。該研磨布を該定盤から剥離するに
は手で行えばよい。

【００６７】

【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。なお、以下で「部」は重量部を意味する。

【００６８】Ａ．ポリマーの調製（合成例１）ステアリルアクリレート９５部、アクリル
酸５部、ドデシルメルカプタン５部、およびカヤエステ
ルＨＰ−７０（化薬アクゾ社製）１部を混合し、８０℃
で５時間撹拌してこれらのモノマーを重合させた。得ら
れたポリマーの分子量は８,０００、融点は５０℃であ
った。

【００６９】（合成例２）ドコシルアクリレート９５
部、アクリル酸５部、ドデシルメルカプタン５部、およ
びカヤエステルＨＰ−７０（化薬アクゾ社製）１部を混
合し、８０℃で５時間撹拌してこれらのモノマーを重合
させた。得られたポリマーの分子量は８,０００、融点
は６０℃であった。

【００７０】（合成例３）２−エチルヘキシルアクリレ
ート９２部、２−ヒドロキシエチルアクリレート８部、
およびトリゴノックス２３−Ｃ７０（化薬アクゾ社製）
０．３部を酢酸エチル／ヘプタン（７０／３０）１５０
部の中に混合し、５５℃で３時間撹拌後、８０℃に昇温
し、カヤエステルＨＰ−７００．５部を加え、２時間攪
拌してこれらのモノマーを重合させた。得られたポリマ
ーの分子量は６００,０００であった。

【００７１】Ｂ．両面粘着テープ付き研磨布の作製（実施例１）上記合成例１と合成例３とで得られたポリ
マーを１０部対１００部の割合で混合し、このポリマー
溶液に架橋剤としてコロネートＬ４５（日本ポリウレタ
ン社製）を合成例３のポリマー１００部に対して０．３
部添加し、図１に示すように、支持体１（ＰＥＴフィル
ムソマール社製）の片面上に４０μmの厚みにコーテ
ィングして接着剤層３を形成した。他面には、市販の感
圧接着剤としてゴム系の感圧接着剤Ｇ５１０９Ａ（ノー
テープ工業社製）を４０μmの厚みにコーテイングして
感圧接着剤層２を形成し両面粘着テープを作製した。さ
らにそれらの両接着剤層２，３の上に離型紙４，４を積
層して、図１に示す離型紙付き粘着テープ６を得た。次
いで、研磨布５（Ｓｕｂａ 400ロデールニッタ社製）
に、前記粘着テープ６の接着剤層２を図２に示すように
貼り合わせ、両面粘着テープ付き研磨布を得た。

【００７２】次に、前記研磨布７の接着剤層３を５９イ
ンチ径の研磨機の下定盤上に２５℃で軽く貼り合わせ
た。その後、接着剤層３を定盤に馴染ませるためダミー
の被加工物を用い、数分の研磨を行った。その後、表１
に示す加工条件でウエハの加工を行った。３０分の研磨
を５０回繰り返して使用した。

【００７３】使用後、寿命に達した研磨布を取り外すた
めに、定盤中に約６０℃の温水を流し、１０分後に定盤
から剥離した。このときの剥離力は最大９Ｋｇで容易に
剥離できた。

【００７４】さらに、研磨布７の接着剤層３を研磨機の
下定盤上に貼り合わせた後、貼り直しする際にも、６０
℃以上に加温することにより容易に貼り直しすることが
できた。

【００７５】（実施例２〜４）タッキファイヤーとして
スーパーエステルＡ１２５（荒川化学社製）を上記合成
例３のポリマーに対して新たに１０重量％、２０重量
％、３０重量％添加したこと以外は、実施例１と同様に
して両面粘着テープ付き研磨布を作製した。

【００７６】次に、実施例１と同様な研磨試験を行い、
研磨布を剥離した。このときの剥離力はいずれの場合も
最大で１０Ｋｇで容易に剥離できた。

【００７７】（実施例５〜８）上記合成例２と合成例３
とで得られたポリマーを１０部対１００部の割合で混合
し、かつ、タッキファイヤーとしてスーパーエステルＡ
１２５（荒川化学社製）を合成例３のポリマーに対して
新たに０重量％、１０重量％、２０重量％、３０重量％
添加したこと以外は、実施例１と同様にして両面粘着テ
ープ付き研磨布を作製した。

【００７８】次に、実施例１と同様な研磨試験を行い、
研磨布を剥離した。表２にスーパーエステルＡ１２５の
添加量と、常温（２３℃）および加温（７０℃）時の剥
離強度および、加温時の常温時の剥離力に対する低下率
を示す。

【００７９】（実施例９）市販の感圧接着剤としてアク
リル系接着剤（Ｒ５５４２、一方社油脂製）を用いたこ
と以外は、実施例１と同様にして両面粘着テープ付き研
磨布を作製した。

【００８０】次に、実施例１と同様な研磨試験を行い、
研磨布を剥離した。表２に常温（２３℃）および加温
（６０℃）時の剥離強度および、加温時の常温時の剥離
力に対する低下率を示す。

【００８１】（実施例１０）市販の感圧接着剤として感
熱性アクリル系接着剤（ＡＲ−２１０８Ｍ−１、リキダ
イン製）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして両
面粘着テープ付き研磨布を作製した。

【００８２】次に、実施例１と同様な研磨試験を行い、
研磨布を剥離した。表２に常温（２３℃）および加温
（６０℃）時の剥離強度および、加温時の常温時の剥離
力に対する低下率を示す。

【００８３】（比較例）厚み２５ミクロンのポリエステ
ルフィルム（ルミラー、東レ社製）の両面に、従来の粘
着剤を５０ミクロンの厚みにコーティングした市販の両
面テープ（住友スリーエム社製ＳＴ４４２）を入手し、
前記研磨布基体５の背面に貼り合わせ、両面テープ付き
研磨布を製作した。

【００８４】得られた研磨布を直径６０インチにカット
し、離型紙を剥し、５９インチ径の研磨機の下定盤上に
該研磨布を軽く貼り合わせた。この時の接着温度は２５
℃であった。

【００８５】その後、接着剤を定盤に馴染ませるためダ
ミーの被加工物を用い、数分の研磨を行った。その後、
表１に示す加工条件でウエハの加工を行った。３０分の
研磨を５０回繰り返して使用した。使用後、寿命の達し
た研磨布を取り外した。この時の剥離力は最大で１２０
ｋｇで容易に剥離出来なかった。また、加温したときで
の剥離力は最大で９０ｋｇであった。

【００８６】

【表１】

【００８７】

【表２】

【００８８】

【発明の効果】本発明によれば、研磨布の交換時におい
て、定盤および／または研磨布の接着剤層を加温するだ
けで、容易に定盤面から剥離することができるので、研
磨作業終了後の段替え作業を格段に容易にすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨布の製造に使用する両面粘着テー
プの断面図である。

【図２】本発明の研磨布の一実施例の断面図である。

【図３】本発明の研磨布の他の実施例の断面図である。

【符号の説明】

１支持体２感圧接着剤層３感圧接着剤層４離型紙５研磨布基体６両面粘着テープ７研磨布

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者谷直幸奈良県大和郡山市池沢町172 ニッタ株式会社奈良工場内 (72)発明者安藤卓史奈良県大和郡山市池沢町172 ニッタ株式会社奈良工場内 (72)発明者山本正芳奈良県大和郡山市池沢町172 ニッタ株式会社奈良工場内Ｆターム(参考） 3C063 AA06 AB07 BA15 BA34 BE06 BE07 BE12 BF10 BG23 BH07 BH19 DD01 FF09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】研磨布基体と、該研磨布基体の裏面に積
層された第１の感圧接着剤層と、該第１の感圧接着剤層
の裏面に積層された支持体と、該支持体の裏面に積層さ
れた第２の感圧接着剤層と、該第２の感圧接着剤層に離
型可能に貼り付けられた離型シートと、を有する研磨布
において、該第２の感圧接着剤層を形成する接着剤組成物が、感圧
接着剤と、該接着剤組成物に対して１〜３０重量％の側
鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、該側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数１６以上の直鎖状
アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び／又は
メタクリル酸エステルを主成分とすることを特徴とする
研磨布。
【請求項２】研磨布基体と、該研磨布基体の片面に積
層された感圧接着剤層と、該感圧接着剤層に離型可能に
貼り付けられた離型シートと、を有する研磨布におい
て、該感圧接着剤層を形成する接着剤組成物が、感圧接着剤
と、該接着剤組成物に対して１〜３０重量％の側鎖結晶
化可能ポリマーとを含有し、該側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数１６以上の直鎖状
アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び／又は
メタクリル酸エステルを主成分とすることを特徴とする
研磨布。
【請求項３】前記接着剤組成物が、タッキファイヤー
を１０〜３０重量％含有し、５０℃以上に加温すると接
着力が９０％以上低下する請求項１又は２に記載の研磨
布。
【請求項４】前記ポリマーの分子量が２，０００〜１
５，０００である請求項１〜３のいずれかに記載の研磨
布。
【請求項５】前記側鎖結晶化可能ポリマーが、１５℃
より狭い温度範囲にわたって起こる融点を有する請求項
１〜４のいずれかに記載の研磨布。
【請求項６】請求項１〜５のいずれかの項に記載の研
磨布の感圧接着剤層を、温度Ｔ1の研磨機の定盤面に粘
着させることにより該研磨布を装着し、該研磨布の使用
後は、該温度Ｔ1より高い温度Ｔ2に該研磨機の定盤を加
温した状態で該研磨布を該研磨機の定盤面から取り外す
ことを特徴とする研磨布の研磨機定盤への脱着方法。