JP2000071190A - ワーク搬送システム - Google Patents
ワーク搬送システムInfo
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- JP2000071190A JP2000071190A JP24194898A JP24194898A JP2000071190A JP 2000071190 A JP2000071190 A JP 2000071190A JP 24194898 A JP24194898 A JP 24194898A JP 24194898 A JP24194898 A JP 24194898A JP 2000071190 A JP2000071190 A JP 2000071190A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】サイクルタイムを短縮化し、かつ搬送されるワ
ークの位置ずれを的確に補正することができる。 【解決手段】検出部10〜12は、ワーク搬送ロボット
Rのロボット本体5上に設けられ、伸縮するハンドH上
に載置されて搬送されるワーク2aの軌跡途中で、ワー
ク2aの縦の辺上の2点P1,P2と横の辺の1点P3
の位置を検出する。この検出結果をもとにロボットコン
トローラ9は、ワーク2aの正規の位置と現在のワーク
2aとの位置ずれを演算し、この演算結果をもとにハン
ドHを動かしてワーク2aの位置ずれをワーク搬送中に
補正する。ワーク2aの位置ずれは、ワーク2aの回転
量とワーク2aの頂点の移動量とで表される。
ークの位置ずれを的確に補正することができる。 【解決手段】検出部10〜12は、ワーク搬送ロボット
Rのロボット本体5上に設けられ、伸縮するハンドH上
に載置されて搬送されるワーク2aの軌跡途中で、ワー
ク2aの縦の辺上の2点P1,P2と横の辺の1点P3
の位置を検出する。この検出結果をもとにロボットコン
トローラ9は、ワーク2aの正規の位置と現在のワーク
2aとの位置ずれを演算し、この演算結果をもとにハン
ドHを動かしてワーク2aの位置ずれをワーク搬送中に
補正する。ワーク2aの位置ずれは、ワーク2aの回転
量とワーク2aの頂点の移動量とで表される。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク搬送ロボッ
ト等のワーク搬送装置を用いてガラス基板等のワークの
搬送制御を行う際、該ワークの位置ずれを検出して該ワ
ークの搬送制御を適正に行うことができるワーク搬送シ
ステムに関し、特にワークの搬送にかかるサイクルタイ
ムの短縮化と信頼性とをともに満足することができるワ
ーク搬送システムに関する。
ト等のワーク搬送装置を用いてガラス基板等のワークの
搬送制御を行う際、該ワークの位置ずれを検出して該ワ
ークの搬送制御を適正に行うことができるワーク搬送シ
ステムに関し、特にワークの搬送にかかるサイクルタイ
ムの短縮化と信頼性とをともに満足することができるワ
ーク搬送システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、処理加工対象のガラス基板等のワ
ークをワーク搬送ロボットを用いて所定のカセットから
取り出して他のカセット等に収納させるワーク搬送シス
テムがある。ワークを搬送する際、ワーク搬送ロボット
のハンド上に載置されたワークの位置がずれていると、
収納先のカセット内の所定の位置に正確にセットするこ
とができず、最悪の場合、ワークをカセット内に収納で
きずに該ワークを破損させてしまうことがある。
ークをワーク搬送ロボットを用いて所定のカセットから
取り出して他のカセット等に収納させるワーク搬送シス
テムがある。ワークを搬送する際、ワーク搬送ロボット
のハンド上に載置されたワークの位置がずれていると、
収納先のカセット内の所定の位置に正確にセットするこ
とができず、最悪の場合、ワークをカセット内に収納で
きずに該ワークを破損させてしまうことがある。
【0003】このため、例えば特開平9−162257
号公報に記載された薄型基板の搬送装置では、ガラス基
板の前後方向の位置ずれと角度ずれとを検出する2つの
距離センサをハンド上に設け、ガラス基板の左右方向の
位置ずれを検出する位置検出センサをワーク搬送ロボッ
ト本体に設け、これにより、ハンド上に載置されたガラ
ス基板の位置補正を行って、ガラス基板の搬送制御を正
確に行うようにしている。
号公報に記載された薄型基板の搬送装置では、ガラス基
板の前後方向の位置ずれと角度ずれとを検出する2つの
距離センサをハンド上に設け、ガラス基板の左右方向の
位置ずれを検出する位置検出センサをワーク搬送ロボッ
ト本体に設け、これにより、ハンド上に載置されたガラ
ス基板の位置補正を行って、ガラス基板の搬送制御を正
確に行うようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特開平9−162257号公報に記載された薄型基板
の搬送装置によるガラス基板の位置補正を行うには、ま
ず、ハンド上に設けられた2つの距離センサを用いて、
ガラス基板をハンド上に載置する前に、ガラス基板とハ
ンドとの検出距離をもとにガラス基板の回転ずれと距離
センサの並びに垂直な方向(Y方向)の位置ずれとを検
出し、その後走行レール上を搬送ロボットが左右に移動
する際にガラス基板の左右方向の位置ずれを検出する。
すなわち、従来の搬送装置では、ガラス基板を検出する
ためにハンドを移動させ、該ハンドに検出姿勢を取らせ
なければならなかった。従って、ガラス基板の搬送前の
位置検出処理があるために、ガラス基板を搬送するサイ
クルタイムが長くなるという問題点があった。
た特開平9−162257号公報に記載された薄型基板
の搬送装置によるガラス基板の位置補正を行うには、ま
ず、ハンド上に設けられた2つの距離センサを用いて、
ガラス基板をハンド上に載置する前に、ガラス基板とハ
ンドとの検出距離をもとにガラス基板の回転ずれと距離
センサの並びに垂直な方向(Y方向)の位置ずれとを検
出し、その後走行レール上を搬送ロボットが左右に移動
する際にガラス基板の左右方向の位置ずれを検出する。
すなわち、従来の搬送装置では、ガラス基板を検出する
ためにハンドを移動させ、該ハンドに検出姿勢を取らせ
なければならなかった。従って、ガラス基板の搬送前の
位置検出処理があるために、ガラス基板を搬送するサイ
クルタイムが長くなるという問題点があった。
【0005】また、搬送ロボットが走行レール上を移動
する場合は高速となるため、一度位置補正を行ったにも
かかわらず、移動中の振動等によってハンド上に載置さ
れたガラス基板の位置がずれてしまうおそれがあるので
信頼性が低下するという問題点があった。
する場合は高速となるため、一度位置補正を行ったにも
かかわらず、移動中の振動等によってハンド上に載置さ
れたガラス基板の位置がずれてしまうおそれがあるので
信頼性が低下するという問題点があった。
【0006】そこで、本発明は、かかる問題点を除去
し、サイクルタイムを短縮化し、かつ搬送されるワーク
の位置ずれを的確に補正することができるワーク搬送装
置を提供することを目的とする。
し、サイクルタイムを短縮化し、かつ搬送されるワーク
の位置ずれを的確に補正することができるワーク搬送装
置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段および効果】第1の発明
は、少なくともその延長上で交差する2辺を有するワー
クをワーク搬送装置のハンド上に載置し、該ワークの位
置ずれを検出し、この検出結果をもとに該ワークの搬送
制御を行うワーク搬送システムにおいて、前記ハンド上
に載置された前記ワークの2辺上における少なくとも3
点の位置を検出する検出手段を具備し、前記検出手段が
検出した少なくとも3点の位置をもとに前記ワークの正
規の位置からの回転ずれ量と平行移動ずれ量とを求めて
前記ワークの搬送制御を行うことを特徴とする。
は、少なくともその延長上で交差する2辺を有するワー
クをワーク搬送装置のハンド上に載置し、該ワークの位
置ずれを検出し、この検出結果をもとに該ワークの搬送
制御を行うワーク搬送システムにおいて、前記ハンド上
に載置された前記ワークの2辺上における少なくとも3
点の位置を検出する検出手段を具備し、前記検出手段が
検出した少なくとも3点の位置をもとに前記ワークの正
規の位置からの回転ずれ量と平行移動ずれ量とを求めて
前記ワークの搬送制御を行うことを特徴とする。
【0008】第1の発明では、同時に少なくとも3点を
検出し、同時にワークの回転ずれ量と平行移動ずれ量と
を求めることができるので精度の高いワークの位置補正
が可能となる。
検出し、同時にワークの回転ずれ量と平行移動ずれ量と
を求めることができるので精度の高いワークの位置補正
が可能となる。
【0009】第2の発明は、第1の発明において、前記
検出手段は、前記3点のうちの2点の位置を前記2辺の
うちの1辺から検出し、前記3点のうちの他の1点の位
置を前記2辺のうちの他の1辺から検出することを特徴
とする。
検出手段は、前記3点のうちの2点の位置を前記2辺の
うちの1辺から検出し、前記3点のうちの他の1点の位
置を前記2辺のうちの他の1辺から検出することを特徴
とする。
【0010】第2の発明では、2点を1辺から他の1点
を他の1辺から検出するようにしているので、ワークの
回転ずれ量と平行移動ずれ量とを確実に求めることがで
きる。
を他の1辺から検出するようにしているので、ワークの
回転ずれ量と平行移動ずれ量とを確実に求めることがで
きる。
【0011】第3の発明は、第1の発明において、前記
検出手段は、第1の検出手段と第2の検出手段とを有
し、前記第1の検出手段は、前記3点のうちの2点を検
出し、前記第2の検出手段は、前記3点のうちの他の1
点を検出することを特徴とする。
検出手段は、第1の検出手段と第2の検出手段とを有
し、前記第1の検出手段は、前記3点のうちの2点を検
出し、前記第2の検出手段は、前記3点のうちの他の1
点を検出することを特徴とする。
【0012】これにより、第2の発明と同様に、ワーク
の回転ずれ量と平行移動ずれ量とを確実に求めることが
できる。
の回転ずれ量と平行移動ずれ量とを確実に求めることが
できる。
【0013】第4の発明は、第3の発明において、前記
第1の検出手段は、前記3点のうちの2点をそれぞれ前
記2辺の各辺から検出し、前記第2の検出手段は、前記
3点のうちの他の1点を前記2辺のうちのいずれか1辺
から検出することを特徴とする。
第1の検出手段は、前記3点のうちの2点をそれぞれ前
記2辺の各辺から検出し、前記第2の検出手段は、前記
3点のうちの他の1点を前記2辺のうちのいずれか1辺
から検出することを特徴とする。
【0014】これにより、第3の発明と同様に、ワーク
の回転ずれ量と平行移動ずれ量とを確実に求めることが
できる。
の回転ずれ量と平行移動ずれ量とを確実に求めることが
できる。
【0015】第5の発明は、第1から第4の発明におい
て、前記ワーク搬送装置は、該ワーク搬送装置の本体あ
るいは前記ハンド上に前記検出手段あるいは前記第1お
よび前記第2の検出手段を具備することを特徴とする。
て、前記ワーク搬送装置は、該ワーク搬送装置の本体あ
るいは前記ハンド上に前記検出手段あるいは前記第1お
よび前記第2の検出手段を具備することを特徴とする。
【0016】これにより、ワークの搬送経路上で確実か
つ安全に該ワークの回転ずれ量及び平行移動ずれ量を求
めることができる。
つ安全に該ワークの回転ずれ量及び平行移動ずれ量を求
めることができる。
【0017】第6の発明は、第1から第5の発明におい
て、前記検出手段は、前記ワーク搬送装置によって前記
ワークが搬送されているときに前記少なくとも3点の位
置を検出することを特徴とする。
て、前記検出手段は、前記ワーク搬送装置によって前記
ワークが搬送されているときに前記少なくとも3点の位
置を検出することを特徴とする。
【0018】第6の発明では、3点をワークが搬送され
ているときに検出することができるので、サイクルタイ
ムに影響を与えずにワークの位置補正を行うことができ
る効果を有する。また、搬送中にワークの位置ずれが生
じても直ちに位置補正を行うことができ、信頼性の高い
位置補正を行うことができる。
ているときに検出することができるので、サイクルタイ
ムに影響を与えずにワークの位置補正を行うことができ
る効果を有する。また、搬送中にワークの位置ずれが生
じても直ちに位置補正を行うことができ、信頼性の高い
位置補正を行うことができる。
【0019】第7の発明は、少なくともその延長上で交
差する2辺を有するワークをワーク搬送装置のハンド上
に載置し、該ワークの位置ずれを検出し、この検出結果
をもとに該ワークの搬送制御を行うワーク搬送システム
において、前記ワーク搬送装置本体あるいは前記ハンド
上に設けられ、前記ワークの搬送終了直前を含む搬送中
に、前記ハンド上に載置された前記ワークの2辺上にお
ける少なくとも3点の位置を検出する検出手段を具備
し、前記検出手段が検出した少なくとも3点の位置をも
とに前記ワークの正規の位置からの回転ずれ量と平行移
動ずれ量とを求めて前記ワークの搬送制御を行うことを
特徴とする。
差する2辺を有するワークをワーク搬送装置のハンド上
に載置し、該ワークの位置ずれを検出し、この検出結果
をもとに該ワークの搬送制御を行うワーク搬送システム
において、前記ワーク搬送装置本体あるいは前記ハンド
上に設けられ、前記ワークの搬送終了直前を含む搬送中
に、前記ハンド上に載置された前記ワークの2辺上にお
ける少なくとも3点の位置を検出する検出手段を具備
し、前記検出手段が検出した少なくとも3点の位置をも
とに前記ワークの正規の位置からの回転ずれ量と平行移
動ずれ量とを求めて前記ワークの搬送制御を行うことを
特徴とする。
【0020】第7の発明では、ワークの2辺上における
少なくとも3点の位置をワークの搬送終了直前を含む搬
送中に検出するようにしているので、ワークの搬送中に
位置ずれが生じても適切に位置補正を行うことができ
る。また、ワークの最終的な搬送先近傍での位置補正を
確実に行うことができ、特にワークの搬送先近傍での位
置調整に余裕がない場合でも、該ワークを破損せずに安
全な搬送作業を達成することができる。
少なくとも3点の位置をワークの搬送終了直前を含む搬
送中に検出するようにしているので、ワークの搬送中に
位置ずれが生じても適切に位置補正を行うことができ
る。また、ワークの最終的な搬送先近傍での位置補正を
確実に行うことができ、特にワークの搬送先近傍での位
置調整に余裕がない場合でも、該ワークを破損せずに安
全な搬送作業を達成することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【0022】図1は、本発明の第1の実施の形態である
ワーク搬送システムの構成を示す図である。図1におい
て、このワーク搬送システムは、カセット1内に配置さ
れるガラス基板等の複数のワーク2の中から所望のワー
ク2aをワーク搬送ロボットRのハンドH上に載置し、
ハンドHを移動させて他のカセット3内に収納させるも
のである。
ワーク搬送システムの構成を示す図である。図1におい
て、このワーク搬送システムは、カセット1内に配置さ
れるガラス基板等の複数のワーク2の中から所望のワー
ク2aをワーク搬送ロボットRのハンドH上に載置し、
ハンドHを移動させて他のカセット3内に収納させるも
のである。
【0023】ワーク搬送ロボットRは、ロボットコント
ローラ9の制御のもとに、ロボット本体5内に配置され
る図示しない駆動モータによって軸6を回転させ、この
軸6に垂直に固定されるアームR1を回転させる。アー
ムR1は、軸7によってアームR2を接続し、さらにア
ークR2は軸8によってハンドHを接続する。軸6,
7,8の各間はプーリとベルトとによってそれぞれ接続
されるとともに所定の比率で歯合されている。例えば、
軸6の右回転によって軸7が2倍に角度で左回転し、同
時に軸7の左回転によって該軸7の回転に対して軸8が
1/2倍の角度で右回転する。この結果、軸6を回転さ
せることにより、ハンドHを首振りをさせずに、前後さ
せることができる。なお、軸6,7,8をそれぞれ独立
のモータを配置して回転駆動制御するようにしてもよ
い。一方、ロボット本体5は、走行レール4a,4b上
を左右に走行する。従って、ハンドHの前後運動とロボ
ット本体5の左右運動とを適宜組み合わせることによっ
てカセット1とカセット3との間におけるハンドHの所
望の軌跡を描くことができる。また、ロボット本体5上
には、回転台5aを有し、この回転台5a上に上述した
軸6が取り付けられている。このため、回転台5aを回
転させると、アームR1からハンドHまでの形状を維持
したまま回転させることができる。なお、ロボット本体
5上の軸6は上下に移動することができ、この上下動に
よってハンドHを上下させることができる。
ローラ9の制御のもとに、ロボット本体5内に配置され
る図示しない駆動モータによって軸6を回転させ、この
軸6に垂直に固定されるアームR1を回転させる。アー
ムR1は、軸7によってアームR2を接続し、さらにア
ークR2は軸8によってハンドHを接続する。軸6,
7,8の各間はプーリとベルトとによってそれぞれ接続
されるとともに所定の比率で歯合されている。例えば、
軸6の右回転によって軸7が2倍に角度で左回転し、同
時に軸7の左回転によって該軸7の回転に対して軸8が
1/2倍の角度で右回転する。この結果、軸6を回転さ
せることにより、ハンドHを首振りをさせずに、前後さ
せることができる。なお、軸6,7,8をそれぞれ独立
のモータを配置して回転駆動制御するようにしてもよ
い。一方、ロボット本体5は、走行レール4a,4b上
を左右に走行する。従って、ハンドHの前後運動とロボ
ット本体5の左右運動とを適宜組み合わせることによっ
てカセット1とカセット3との間におけるハンドHの所
望の軌跡を描くことができる。また、ロボット本体5上
には、回転台5aを有し、この回転台5a上に上述した
軸6が取り付けられている。このため、回転台5aを回
転させると、アームR1からハンドHまでの形状を維持
したまま回転させることができる。なお、ロボット本体
5上の軸6は上下に移動することができ、この上下動に
よってハンドHを上下させることができる。
【0024】ワーク2は、上述した一定形状をもつガラ
ス基板であり、長方形の薄型平板である。このワーク2
は、カセット1,3内における内側側壁に設けられた枠
によて上下等間隔に載置される。
ス基板であり、長方形の薄型平板である。このワーク2
は、カセット1,3内における内側側壁に設けられた枠
によて上下等間隔に載置される。
【0025】カセット1内のワーク2をカセット3に移
送させる場合、ワーク搬送ロボットRは、まずロボット
本体5をカセット1の前面に位置させ、軸6を左回転さ
せてハンドHを伸長してカセット1に近接させる。さら
に、ハンドHをカセット1内に進入させて軸6を上動さ
せて所望のワーク2をハンドH上に載置させる。その
後、軸6を右回転させてハンドHを縮めさせ、カセット
1から離隔する。その後、ロボット本体5を走行レール
4a,4bに従って右に移動させ、カセット3の前面に
移動させる。その後、軸6を左回転させてハンドHを伸
長し、カセット3内に進入させる。その後、軸6を下降
させてハンドH上に載置されたワーク2をカセット3内
に収納する。なお、ハンドHがカセット1,3から離れ
た時点でハンドHを縮め、あるいは伸長させると同時に
ロボット本体5を左右に移動させるようにしてサイクル
タイムの短縮化を図るようにしてもよい。
送させる場合、ワーク搬送ロボットRは、まずロボット
本体5をカセット1の前面に位置させ、軸6を左回転さ
せてハンドHを伸長してカセット1に近接させる。さら
に、ハンドHをカセット1内に進入させて軸6を上動さ
せて所望のワーク2をハンドH上に載置させる。その
後、軸6を右回転させてハンドHを縮めさせ、カセット
1から離隔する。その後、ロボット本体5を走行レール
4a,4bに従って右に移動させ、カセット3の前面に
移動させる。その後、軸6を左回転させてハンドHを伸
長し、カセット3内に進入させる。その後、軸6を下降
させてハンドH上に載置されたワーク2をカセット3内
に収納する。なお、ハンドHがカセット1,3から離れ
た時点でハンドHを縮め、あるいは伸長させると同時に
ロボット本体5を左右に移動させるようにしてサイクル
タイムの短縮化を図るようにしてもよい。
【0026】ロボット本体5上には、ワーク2aの位置
ずれを検出する3つの検出部10〜12が設置されてい
る。
ずれを検出する3つの検出部10〜12が設置されてい
る。
【0027】検出部10〜12のそれぞれは、ワーク2
aを上下から挟む形でワークの辺の位置を検出する。検
出部10,11は、ハンドH上に載置された状態のワー
ク2aの縦の辺上の異なる2点の位置を検出し、検出部
12は、横の辺上の1点の位置を検出する。
aを上下から挟む形でワークの辺の位置を検出する。検
出部10,11は、ハンドH上に載置された状態のワー
ク2aの縦の辺上の異なる2点の位置を検出し、検出部
12は、横の辺上の1点の位置を検出する。
【0028】検出部10〜12の構成は同一構成であ
り、図2に示すその1つの検出部10のA−A線断面図
を参照して検出部の詳細構成について説明する。
り、図2に示すその1つの検出部10のA−A線断面図
を参照して検出部の詳細構成について説明する。
【0029】図2において、検出部10は発光部10a
と受光部として機能するリニアセンサ10bとを有し、
これらはロボット本体5に固着されたブラケット14に
よって保持されている。発光部10aからは所定のレー
ザ光がリニアセンサ10bに向けて発光され、リニアセ
ンサ10bはこのレーザ光を受光、検出する。発光部1
0aとリニアセンサ10bとは、ワーク2aに多少の位
置ずれが生じても、必ずこれらの間に、ハンドH上に載
置されたワークが介在するように配置される。リニアセ
ンサ10bの位置に対応する発光部10aからのレーザ
光がワーク2aを介して受光される場合にはワークの減
衰、あるいは散乱特性等によって、直接発光部10aか
らレーザ光を受光する場合に比較して受光強度が小さく
なる。この特性を利用して、ワーク2aの縦の辺の位置
P1を検出することができる。
と受光部として機能するリニアセンサ10bとを有し、
これらはロボット本体5に固着されたブラケット14に
よって保持されている。発光部10aからは所定のレー
ザ光がリニアセンサ10bに向けて発光され、リニアセ
ンサ10bはこのレーザ光を受光、検出する。発光部1
0aとリニアセンサ10bとは、ワーク2aに多少の位
置ずれが生じても、必ずこれらの間に、ハンドH上に載
置されたワークが介在するように配置される。リニアセ
ンサ10bの位置に対応する発光部10aからのレーザ
光がワーク2aを介して受光される場合にはワークの減
衰、あるいは散乱特性等によって、直接発光部10aか
らレーザ光を受光する場合に比較して受光強度が小さく
なる。この特性を利用して、ワーク2aの縦の辺の位置
P1を検出することができる。
【0030】同様にして、検出部11もワーク2aの縦
の辺の位置P2を検出し、検出部12は、ワーク2aの
横の辺の位置P3を検出する。そして、これらの位置P
1〜P3の値はロボットコントローラ9に送出され、次
のような演算処理が行われ、ワーク2aの位置ずれが検
出される。
の辺の位置P2を検出し、検出部12は、ワーク2aの
横の辺の位置P3を検出する。そして、これらの位置P
1〜P3の値はロボットコントローラ9に送出され、次
のような演算処理が行われ、ワーク2aの位置ずれが検
出される。
【0031】図3は、2辺のなす角が直角である場合の
ワークの位置ずれの演算処理を説明する説明図である。
図3において、破線で示すワーク2bの位置は、位置ず
れのない正規の位置であり、ワーク2aの位置は、位置
ずれが生じた位置である。ワーク2bの辺L1と辺M1
との交点は基準となる原点とし、辺L1をX軸、辺M1
をY軸とした2次元平面を基準平面として設定してい
る。また、上述したように、検出部10,11は、X軸
に平行にY軸上に重なるように配置され、検出部12
は、Y軸に平行にX軸上に重なるように配置される。こ
こで、位置ずれがない場合における検出部10〜12の
各検出出力はそれぞれ出力S1〜S3である。また、位
置ずれが生じた場合における検出部10〜12の各検出
出力はそれぞれ出力P1〜P3である。さらに、Y軸上
に配置された検出部10,11の原点からY方向の距離
をそれぞれY1,Y2とし、X軸上に配置された検出部
12の原点からのX方向の距離をX1とする。
ワークの位置ずれの演算処理を説明する説明図である。
図3において、破線で示すワーク2bの位置は、位置ず
れのない正規の位置であり、ワーク2aの位置は、位置
ずれが生じた位置である。ワーク2bの辺L1と辺M1
との交点は基準となる原点とし、辺L1をX軸、辺M1
をY軸とした2次元平面を基準平面として設定してい
る。また、上述したように、検出部10,11は、X軸
に平行にY軸上に重なるように配置され、検出部12
は、Y軸に平行にX軸上に重なるように配置される。こ
こで、位置ずれがない場合における検出部10〜12の
各検出出力はそれぞれ出力S1〜S3である。また、位
置ずれが生じた場合における検出部10〜12の各検出
出力はそれぞれ出力P1〜P3である。さらに、Y軸上
に配置された検出部10,11の原点からY方向の距離
をそれぞれY1,Y2とし、X軸上に配置された検出部
12の原点からのX方向の距離をX1とする。
【0032】ここで、位置ずれが生じたワーク2aの回
転量θとワーク2aの頂点Pの原点からの移動量(X0,
Y0)とを求める演算について説明すると、まず、tanθ
=((P2-S2)-(P1-S1))/(Y1-Y2)であり、回転量θは、 となる。一方、頂点Pを通る辺L2の直線の式は、 y−Y0=tanθ・(x−X0) であり、この直線は点(X1,P3-S3)を通るので、 (P3−S3)−Y0=tanθ・(X1−X0) (1) となる。この辺L2の直線に直交する辺M2の直線の式
は、θ=0でないとき、 (y−Y0)=(−1/tanθ)・(x−X0) であり、この直線は点(P2-S2,Y2)を通るので、 (Y2−Y0)=(−1/tanθ)・(P2-S2−X0) (2) となる。
転量θとワーク2aの頂点Pの原点からの移動量(X0,
Y0)とを求める演算について説明すると、まず、tanθ
=((P2-S2)-(P1-S1))/(Y1-Y2)であり、回転量θは、 となる。一方、頂点Pを通る辺L2の直線の式は、 y−Y0=tanθ・(x−X0) であり、この直線は点(X1,P3-S3)を通るので、 (P3−S3)−Y0=tanθ・(X1−X0) (1) となる。この辺L2の直線に直交する辺M2の直線の式
は、θ=0でないとき、 (y−Y0)=(−1/tanθ)・(x−X0) であり、この直線は点(P2-S2,Y2)を通るので、 (Y2−Y0)=(−1/tanθ)・(P2-S2−X0) (2) となる。
【0033】この式(1)と式(2)との連立一次方程
式を解くと、 X0=sinθ・cosθ・(-P3+S3+Y2+tanθ・X1+(P2-S2)/t
anθ) Y0=Y2+cosθ・(cosθ・(P3-S3-Y2)+sinθ・(-X1+P2-
S2)) となる。一方、θ=0のとき、 X0=(P2-S2) Y0=(P3-S3) となる。
式を解くと、 X0=sinθ・cosθ・(-P3+S3+Y2+tanθ・X1+(P2-S2)/t
anθ) Y0=Y2+cosθ・(cosθ・(P3-S3-Y2)+sinθ・(-X1+P2-
S2)) となる。一方、θ=0のとき、 X0=(P2-S2) Y0=(P3-S3) となる。
【0034】このようにして、回転量θと移動量(X0,Y
0)とが求められる。この回転量θと移動量(X0,Y0)とは
ロボットコントローラ9によって求められるが、ロボッ
トコントローラ9は、この位置ずれ量をもとに、ハンド
Hを動かす補償制御を行ってワーク2aが正規の位置と
なるようにする。
0)とが求められる。この回転量θと移動量(X0,Y0)とは
ロボットコントローラ9によって求められるが、ロボッ
トコントローラ9は、この位置ずれ量をもとに、ハンド
Hを動かす補償制御を行ってワーク2aが正規の位置と
なるようにする。
【0035】この場合、ワーク2aの3点の位置は、検
出部10〜12によって同時に検出されるので、正確な
位置ずれを検出することができる。
出部10〜12によって同時に検出されるので、正確な
位置ずれを検出することができる。
【0036】また、ワーク2aの搬送軌跡の途中で検出
されるので、サイクルタイムに影響を及ぼすこともな
い。
されるので、サイクルタイムに影響を及ぼすこともな
い。
【0037】さらに、ワーク2aの搬送途中、例えばロ
ボット本体5が走行レール4a,4b上を高速移動する
際に生じやすい位置ずれをも連続的に検出できる。すな
わち、ハンドH上に検出部10〜12が設けられた場合
にはワーク2aを収納する直前まで、ロボット本体5に
検出部10〜12が設けられた場合には走行レール4
a,4b上の走行中において検出することができる。こ
の結果、信頼性の高い位置補償が可能となり、ワーク2
aの破損等をなくすことができる。
ボット本体5が走行レール4a,4b上を高速移動する
際に生じやすい位置ずれをも連続的に検出できる。すな
わち、ハンドH上に検出部10〜12が設けられた場合
にはワーク2aを収納する直前まで、ロボット本体5に
検出部10〜12が設けられた場合には走行レール4
a,4b上の走行中において検出することができる。こ
の結果、信頼性の高い位置補償が可能となり、ワーク2
aの破損等をなくすことができる。
【0038】なお、図1に示すワーク搬送システムで
は、ワーク2aの縦の辺に2つの検出部10,11を設
けて縦の辺上の2点P1,P2を検出し、横の辺に1つ
の検出部12を設けて横の辺上の1点P3を検出するよ
うにしているが、縦の辺に1つの検出部を設け、横の辺
に2つの検出部を設け、縦の辺の1点と横の辺の2点か
ら上述した位置ずれを検出するようにしてもよい。
は、ワーク2aの縦の辺に2つの検出部10,11を設
けて縦の辺上の2点P1,P2を検出し、横の辺に1つ
の検出部12を設けて横の辺上の1点P3を検出するよ
うにしているが、縦の辺に1つの検出部を設け、横の辺
に2つの検出部を設け、縦の辺の1点と横の辺の2点か
ら上述した位置ずれを検出するようにしてもよい。
【0039】また、図4に示すような2つの検出部2
0,21によってワーク2aの位置ずれを検出するよう
にしてもよい。この場合、縦の辺上の点P11は検出部
20によって検出し、縦の辺上の点P12と横の辺上の
点P13とを検出部21によって検出する。このような
構成によっても、3点P11〜P13が検出されるの
で、上述した演算が可能となる。
0,21によってワーク2aの位置ずれを検出するよう
にしてもよい。この場合、縦の辺上の点P11は検出部
20によって検出し、縦の辺上の点P12と横の辺上の
点P13とを検出部21によって検出する。このような
構成によっても、3点P11〜P13が検出されるの
で、上述した演算が可能となる。
【0040】この3点P11〜P13あるいは3点P1
〜P3は、ワーク2aの辺上の点であり、3点のうち2
点が縦の辺上から、3点のうち1点が横の辺上から検出
される。この3点が検出される2辺は、その延長線上で
交わること可能な辺であることが必要である。但し、直
角に交わる必要はない。また、この2辺は、ワーク2a
の外縁に存在するが、これに限らず、ワーク上に検出可
能な2辺が存在すればよい。
〜P3は、ワーク2aの辺上の点であり、3点のうち2
点が縦の辺上から、3点のうち1点が横の辺上から検出
される。この3点が検出される2辺は、その延長線上で
交わること可能な辺であることが必要である。但し、直
角に交わる必要はない。また、この2辺は、ワーク2a
の外縁に存在するが、これに限らず、ワーク上に検出可
能な2辺が存在すればよい。
【0041】なお、上述したワーク搬送システムでは、
ワーク2aの2辺上の3点を直接検出するようにしてい
るが、ワーク2aを所定の軌跡上で該ワーク2aの画像
を取得し、この取得した画像の画像処理を行って2辺を
抽出し、位置ずれのない場合の2辺からの位置ずれ量を
求めてもよい。
ワーク2aの2辺上の3点を直接検出するようにしてい
るが、ワーク2aを所定の軌跡上で該ワーク2aの画像
を取得し、この取得した画像の画像処理を行って2辺を
抽出し、位置ずれのない場合の2辺からの位置ずれ量を
求めてもよい。
【0042】さらに、上述したワーク搬送システムで
は、検出部をいずれもワーク搬送ロボットRのロボット
本体5上に設けたが、これに限らず、例えば、ワーク2
のカセット1からの出し入れに障害とならない範囲でハ
ンドH上に設けてもよい。
は、検出部をいずれもワーク搬送ロボットRのロボット
本体5上に設けたが、これに限らず、例えば、ワーク2
のカセット1からの出し入れに障害とならない範囲でハ
ンドH上に設けてもよい。
【図1】本発明の実施の形態であるワーク搬送システム
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図2】検出部10のA−A線断面図である。
【図3】2辺のなす角が直角である場合のワークの位置
ずれの演算処理を説明する説明図である。
ずれの演算処理を説明する説明図である。
【図4】2つの検出部によって3点を求める構成を示す
図である。
図である。
1,3…カセット 2,2a…ワーク 4a,4b…走
行レール 5…ロボット本体 5a…回転台 6〜8…軸 9…ロ
ボットコントローラ 10〜12…検出部 10a…発光部 10b…リニア
センサ 14…ブラケット R…ワーク搬送ロボット R1,R
2…アーム H…ハンド
行レール 5…ロボット本体 5a…回転台 6〜8…軸 9…ロ
ボットコントローラ 10〜12…検出部 10a…発光部 10b…リニア
センサ 14…ブラケット R…ワーク搬送ロボット R1,R
2…アーム H…ハンド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3F059 AA01 AA14 BA04 BB05 DA02 DD12 DE01 FB12 FB16 5F031 AA10 BB05 CC13 GG02 GG06 GG12 GG20
Claims (7)
- 【請求項1】 少なくともその延長上で交差する2辺を
有するワークをワーク搬送装置のハンド上に載置し、該
ワークの位置ずれを検出し、この検出結果をもとに該ワ
ークの搬送制御を行うワーク搬送システムにおいて、 前記ハンド上に載置された前記ワークの2辺上における
少なくとも3点の位置を検出する検出手段を具備し、 前記検出手段が検出した少なくとも3点の位置をもとに
前記ワークの正規の位置からの回転ずれ量と平行移動ず
れ量とを求めて前記ワークの搬送制御を行うことを特徴
とするワーク搬送システム。 - 【請求項2】 前記検出手段は、前記3点のうちの2点
の位置を前記2辺のうちの1辺から検出し、前記3点の
うちの他の1点の位置を前記2辺のうちの他の1辺から
検出することを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送
システム。 - 【請求項3】 前記検出手段は、第1の検出手段と第2
の検出手段とを有し、 前記第1の検出手段は、前記3点のうちの2点を検出
し、 前記第2の検出手段は、前記3点のうちの他の1点を検
出することを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送シ
ステム。 - 【請求項4】 前記第1の検出手段は、前記3点のうち
の2点をそれぞれ前記2辺の各辺から検出し、 前記第2の検出手段は、前記3点のうちの他の1点を前
記2辺のうちのいずれか1辺から検出することを特徴と
する請求項3に記載のワーク搬送システム。 - 【請求項5】 前記ワーク搬送装置は、該ワーク搬送装
置の本体あるいは前記ハンド上に前記検出手段あるいは
前記第1および前記第2の検出手段を具備することを特
徴とする請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載のワ
ーク搬送システム。 - 【請求項6】 前記検出手段は、前記ワーク搬送装置に
よって前記ワークが搬送されているときに前記少なくと
も3点の位置を検出することを特徴とする請求項1〜5
のうちのいずれか1項に記載のワーク搬送システム。 - 【請求項7】 少なくともその延長上で交差する2辺を
有するワークをワーク搬送装置のハンド上に載置し、該
ワークの位置ずれを検出し、この検出結果をもとに該ワ
ークの搬送制御を行うワーク搬送システムにおいて、 前記ワーク搬送装置本体あるいは前記ハンド上に設けら
れ、前記ワークの搬送終了直前を含む搬送中に、前記ハ
ンド上に載置された前記ワークの2辺上における少なく
とも3点の位置を検出する検出手段を具備し、 前記検出手段が検出した少なくとも3点の位置をもとに
前記ワークの正規の位置からの回転ずれ量と平行移動ず
れ量とを求めて前記ワークの搬送制御を行うことを特徴
とするワーク搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24194898A JP2000071190A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | ワーク搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24194898A JP2000071190A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | ワーク搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000071190A true JP2000071190A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17081961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24194898A Pending JP2000071190A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | ワーク搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000071190A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082748A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Yamatake Corp | エッジセンサ、位置検出方法および位置合わせ方法 |
| US7386367B2 (en) | 2003-02-19 | 2008-06-10 | Fanuc Ltd | Workpiece conveying apparatus |
| WO2011077693A1 (en) | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Robot system for reorienting a held workpiece |
| JP2011131300A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Canon Inc | ロボットシステム、その制御装置及び方法 |
| JP2011230238A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Yaskawa Electric Corp | ロボットの制御装置およびロボットを制御する方法 |
| JP2012064918A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-29 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及びその基板搬送方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
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| WO2013146800A1 (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び搬送方法 |
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-
1998
- 1998-08-27 JP JP24194898A patent/JP2000071190A/ja active Pending
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