JP2000052076A - Laser processing device and processing head driving method - Google Patents
Laser processing device and processing head driving methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー加工装置
及びレーザー加工装置における加工ヘッド駆動方法に関
し、詳細には、加工ヘッドのワークへのアプローチを高
速且つ安定させて加工時間の短縮化を図るようにしたレ
ーザー加工装置及び加工ヘッド駆動方法を提供すること
にある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus and a method of driving a processing head in a laser processing apparatus, and more particularly, to reducing the processing time by stabilizing the approach of a processing head to a work at high speed. And a method of driving a processing head.
【0002】[0002]
【従来の技術】レーザー発振装置から発振されたレーザ
ー光を、アシストガスと共に加工ヘッド先端からワーク
に向けて照射し、そのレーザー光によってワークを切断
等するようにしたレーザー加工装置としては、例えば特
開平5−285680号公報等に開示されたものが知ら
れている。2. Description of the Related Art As a laser processing apparatus which irradiates a laser beam oscillated from a laser oscillation apparatus together with an assist gas toward the work from the tip of a processing head and cuts the work with the laser light, for example, One disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-285680 is known.
【0003】レーザー加工装置には、加工ヘッドをワー
クに対してZ軸方向(上下方向)に上下動自在に制御す
るために、ギャップセンサーが設けられている。かかる
ギャップセンサーは、上記ワークに対する加工ヘッドの
Z軸方向における位置を検出するようになっている。そ
して、このギャップセンサーからの加工ヘッドの位置情
報に基づいて、上記加工ヘッドが上記ワークに対して上
下動自在に駆動制御されるようになされている。[0003] The laser processing apparatus is provided with a gap sensor for controlling the processing head to be vertically movable with respect to the work in the Z-axis direction (vertical direction). The gap sensor detects the position of the processing head in the Z-axis direction with respect to the work. Then, based on the position information of the processing head from the gap sensor, the processing head is driven and controlled to be vertically movable with respect to the work.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、これまでの
レーザー加工装置においては、外乱ノイズによる影響を
少なくし切断を安定させるために、加工ヘッドがワーク
に対して高い位置から該ワークに接近する時(これをア
プローチという)の速度を、該ワークに接近した時に突
っ込まない低速度としている。そのため、アプローチを
含めたトータルの加工時間がかかり生産性の向上が図れ
ない。By the way, in the conventional laser processing apparatus, in order to reduce the influence of disturbance noise and stabilize the cutting, when the processing head approaches the work from a high position with respect to the work. The speed (this is called an approach) is set to a low speed that does not rush when approaching the work. Therefore, a total processing time including the approach is required, and the productivity cannot be improved.
【0005】そこで、ゲインの調整によってアプローチ
の時だけスピードを上げることも可能であるが、これま
での構成において単にゲインを調整しただけでは、オー
バーシュートしてワークに突っ込んでしまう。Therefore, it is possible to increase the speed only at the time of approach by adjusting the gain. However, if the gain is simply adjusted in the conventional configuration, overshoot occurs and the workpiece is sunk.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、加工ヘ
ッドのワークへのアプローチを高速且つ安定させてトー
タル加工時間を大幅に短縮するために、ある点を境にし
て加工ヘッドの速度を変化させるようにした。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a method for changing the speed of a processing head at a certain point in order to greatly and shorten the total processing time by stabilizing the approach of the processing head to a workpiece at a high speed. I tried to make it.
【0007】具体的には、加工ヘッド先端とワーク間の
静電容量を検出するギャップセンサーを、該加工ヘッド
に設ける。そして、上記加工ヘッドの各位置における上
記ギャップセンサーより検出された静電容量から、加工
ヘッド先端とワーク間の距離(これをギャップという)
を求め、これらをグラフ(図4参照)にする。このグラ
フ(特性図)によると、静電容量とギャップとの間には
比例関係があり、また、加工ヘッドがワークに対してあ
る一定距離以上離れるとこれらの比例関係が崩れてギャ
ップを測定できなくなる点(この点を以下、倣い範囲点
といい、そのときの静電容量値を静電容量基準値とい
う)がある。このため、上記加工ヘッドは、ワークに接
近すると、上記倣い範囲点を必ず通過する。More specifically, a gap sensor for detecting the capacitance between the tip of the processing head and the work is provided on the processing head. Then, based on the capacitance detected by the gap sensor at each position of the processing head, the distance between the tip of the processing head and the work (this is called a gap)
And these are plotted as a graph (see FIG. 4). According to this graph (characteristic diagram), there is a proportional relationship between the capacitance and the gap, and when the working head is separated from the work by a certain distance or more, the proportional relationship is broken and the gap can be measured. There is a point that disappears (hereinafter, this point is referred to as a scanning range point, and the capacitance value at that time is referred to as a capacitance reference value). Therefore, when the processing head approaches the workpiece, it always passes through the scanning range point.
【0008】本発明は、この特性を利用して、上記倣い
範囲点を境にして加工ヘッドの接近速度を変化させる。
つまり、図3に示すように、倣い範囲点(静電容量基準
値)に達するまでは加工ヘッド1を高速でワーク3へと
接近させ、倣い範囲点を過ぎたら加工ヘッド1を低速で
ワーク3へと接近させる。これによって、加工ヘッドの
ワークへのアプローチが高速且つ安定し、トータル加工
時間が大幅に短縮する。ここで言う高速とは、低速での
速度に対する2倍以上の速度を指す。In the present invention, utilizing this characteristic, the approach speed of the processing head is changed at the scanning range point.
That is, as shown in FIG. 3, the processing head 1 is brought close to the workpiece 3 at a high speed until the scanning range point (capacitance reference value) is reached, and after passing the scanning range point, the processing head 1 is moved at a low speed to the workpiece 3. Approach. Thereby, the approach of the processing head to the workpiece is performed at high speed and stably, and the total processing time is significantly reduced. Here, the high speed refers to a speed that is twice or more the speed of the low speed.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した具体的な
実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings.
【0010】本実施形態は、本発明を、レーザー光を照
射してワークを切断等するレーザー加工装置及びこの装
置に用いられる加工ヘッド駆動方法に適用して、加工ヘ
ッドのワークへのアプローチを高速且つ安定させてトー
タル加工時間を大幅に短縮するようにしたものである。
また、本実施形態では、加工ヘッドをワークに対して垂
直方向(Z軸方向)に上下動させるようにしたレーザー
加工装置の例である。In this embodiment, the present invention is applied to a laser processing apparatus for irradiating a laser beam to cut a work or the like and a processing head driving method used in this apparatus, so that a processing head can approach a work at high speed. In addition, it stabilizes and greatly reduces the total processing time.
Further, the present embodiment is an example of a laser processing apparatus in which a processing head is vertically moved (Z-axis direction) with respect to a workpiece.
【0011】先ず、本実施形態のレーザー加工装置につ
いて、図1ないし図4を参照して説明する。本実施形態
のレーザー加工装置は、図1に示すように、加工ヘッド
1と、この加工ヘッド1に設けられたギャップセンサー
5と、コントローラ7及び演算部9を備えた制御部11
と、Z軸サーボモータ13とからなる。First, a laser processing apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the laser processing apparatus according to the present embodiment includes a processing head 1, a gap sensor 5 provided in the processing head 1, a control unit 11 including a controller 7 and a calculation unit 9.
And a Z-axis servo motor 13.
【0012】上記加工ヘッド1は、図1に示すように、
レーザー発振装置から発振されたレーザー光を、アシス
トガスと共にヘッド先端からワーク3に向けて照射し、
該レーザー光によってワーク3を切断等するものであ
る。かかる加工ヘッド1は、図示しないキャリッジによ
ってY軸方向に移動自在とされると共に、上記制御部1
1により制御されたZ軸サーボモータ13によってZ軸
方向に上下動自在とされている。The processing head 1 is, as shown in FIG.
The laser beam oscillated from the laser oscillation device is irradiated from the head end to the work 3 together with the assist gas,
The work 3 is cut by the laser light. The processing head 1 is movable in the Y-axis direction by a carriage (not shown), and the control unit 1
1 is movable up and down in the Z-axis direction by a Z-axis servomotor 13 controlled by the control unit 1.
【0013】なお、上記ワーク3は、図示しないワーク
テーブル装置のクランパーにクランプされて、X軸方向
及びY軸方向共に位置決めされて駆動されるようになさ
れている。または、上記加工ヘッド1がX軸方向、Y軸
方向に移動する。さらには、X軸は加工ヘッド1、Y軸
はワーク3等の組み合わせによって移動する。The work 3 is clamped by a clamper of a work table device (not shown), and is positioned and driven in both the X-axis direction and the Y-axis direction. Alternatively, the processing head 1 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction. Further, the X axis moves by the combination of the processing head 1 and the Y axis moves by the combination of the work 3 and the like.
【0014】上記ギャップセンサー5は、図1に示すよ
うに、上記加工ヘッド1の先端と上記ワーク3間の静電
容量を検出する。そして、このギャップセンサー5は、
上記加工ヘッド1の先端寄りに設けられ、その検出結果
をコントローラ7に出力するようになっている。The gap sensor 5 detects the capacitance between the tip of the processing head 1 and the work 3 as shown in FIG. And this gap sensor 5
It is provided near the tip of the processing head 1 and outputs the detection result to the controller 7.
【0015】上記コントローラ7は、図1に示すよう
に、上記ギャップセンサー5により検出された静電容量
から、上記加工ヘッド先端と上記ワーク3間の垂直距離
(ギャップ)H1を求め、その結果を演算部9に出力す
るようになっている。As shown in FIG. 1, the controller 7 obtains a vertical distance (gap) H1 between the tip of the processing head and the work 3 from the capacitance detected by the gap sensor 5, and calculates the result. The data is output to the arithmetic unit 9.
【0016】上記演算部9は、上記コントローラ7によ
り求められた上記垂直距離H1と、上記加工ヘッド1に
よってワーク3にレーザー加工を行う加工位置(図3中
の指令ギャップ位置)における予め決められた垂直距離
H2との差を演算するようになっている。そして、この
演算部9は、その演算結果に基づいてZ軸サーボモータ
13を駆動させることにより、上記加工ヘッド1を上下
動自在に制御している。The arithmetic unit 9 is determined in advance at the vertical distance H1 obtained by the controller 7 and a processing position (a command gap position in FIG. 3) at which the processing head 1 performs laser processing on the work 3. The difference from the vertical distance H2 is calculated. The arithmetic unit 9 drives the Z-axis servo motor 13 based on the calculation result, thereby controlling the processing head 1 to be vertically movable.
【0017】上記制御部11では、上述したように、上
記ギャップセンサー5により検出された静電容量が予め
決められた静電容量基準値(図4中倣い範囲点における
静電容量値)に達するまでは、上記加工ヘッド1を高速
で上記ワーク3へと接近(この例では下降)させ、該検
出された静電容量が該静電容量基準値を越えたところか
らは、該加工ヘッド1を低速で該ワーク3へと接近させ
るように制御している。In the control section 11, as described above, the capacitance detected by the gap sensor 5 reaches a predetermined capacitance reference value (capacitance value at a scanning range point in FIG. 4). Until the processing head 1 approaches the work 3 at high speed (down in this example), the processing head 1 is moved from the point where the detected capacitance exceeds the capacitance reference value. It is controlled so as to approach the work 3 at a low speed.
【0018】上記加工ヘッド1の下降速度変化は、プロ
グラム中で行うのではなく、上記演算部9で自動的に行
うようにしている。このため、プログラム指令による遅
れがなく、滑らかに速度が切り替わる。なお、プログラ
ム中で倣い範囲点までと、それ以下を分けて指令するこ
ともできるが、この方法では、NCの演算遅れが発生す
ると共に、必ず倣い範囲点で加工ヘッド1を減速停止さ
せなければならず、該加工ヘッド1のワーク3へのアプ
ローチを速くできない。The change in the lowering speed of the processing head 1 is not performed in a program, but is performed automatically by the calculation unit 9. Therefore, there is no delay due to the program command, and the speed is switched smoothly. It is to be noted that it is possible to issue a command separately to the scanning range point and below the scanning range point in the program. However, in this method, an NC calculation delay occurs and the machining head 1 must be decelerated and stopped at the scanning range point. In addition, the approach of the processing head 1 to the work 3 cannot be performed quickly.
【0019】上記加工ヘッド1の駆動制御は、アプロー
チする時だけに使用し、実際のレーザー加工中には行わ
ない。レーザー加工中に行うと、加工ヘッド1が穴及び
ワーク3の端面にきた時に、ギャップセンサー5から検
出された静電容量が倣い範囲点を通るため、該加工ヘッ
ド1の下降速度が上がり、該加工ヘッド1がワーク3に
衝突する等して装置を壊す可能性がある。The drive control of the processing head 1 is used only when approaching, and is not performed during actual laser processing. When the processing is performed during laser processing, when the processing head 1 comes to the hole and the end face of the workpiece 3, the capacitance detected by the gap sensor 5 passes through the scanning range point. There is a possibility that the processing head 1 collides with the work 3 and breaks the apparatus.
【0020】次に、上記構成のレーザー加工装置におけ
る加工ヘッド駆動方法について、図2に示すフローチャ
ートを参照して説明する。Next, a method of driving the processing head in the laser processing apparatus having the above configuration will be described with reference to a flowchart shown in FIG.
【0021】図2のフローチャートは、ステップS1に
おいて電源が投入されることでスタートとなり、ステッ
プS2において、Z軸サーボモータ13が加工ヘッド1
を高速でワーク3へと下降させる。加工ヘッド1を下降
させている間は、常時ギャップセンサー5によって静電
容量を検出すると共に、コントローラ7によりその静電
容量から加工ヘッド先端とワーク間の垂直距離を求め、
該垂直距離と加工位置における予め決められた垂直距離
との差を演算部9によって演算する。The flowchart of FIG. 2 starts when the power is turned on in step S1, and in step S2, the Z-axis servo motor 13
Is moved down to the work 3 at high speed. While the machining head 1 is being lowered, the capacitance is always detected by the gap sensor 5, and the vertical distance between the tip of the machining head and the workpiece is obtained from the capacitance by the controller 7.
The calculation unit 9 calculates a difference between the vertical distance and a predetermined vertical distance at the processing position.
【0022】そして、ステップS3において、制御部1
1が、ギャップセンサー5により検出された静電容量が
倣い範囲点(静電容量基準値)を越えたか否かを判定
し、NOの場合は、倣い範囲点を越えるまでステップS
3のルーチンを繰り返し実行し、YESの場合は、ステ
ップS4に進む。つまり、倣い範囲点に達するまで、上
記加工ヘッド1を高速で下降させる。上記加工ヘッド1
の下降速度としては、加工機のZ軸駆動系によるため、
好ましい速度は特にないが、早い方が良い。このよう
に、上記加工ヘッド1を制御することで、該加工ヘッド
1のワーク3へのアプローチを速くすることができる。Then, in step S3, the control unit 1
1 determines whether or not the capacitance detected by the gap sensor 5 has exceeded the scanning range point (capacitance reference value).
The routine of Step 3 is repeatedly executed, and in the case of YES, the process proceeds to Step S4. That is, the processing head 1 is lowered at high speed until the scanning range point is reached. The above processing head 1
Since the descending speed depends on the Z-axis drive system of the processing machine,
There is no particular preferred speed, but the faster the better. Thus, by controlling the processing head 1, the approach of the processing head 1 to the work 3 can be accelerated.
【0023】ステップS4では、ステップS2とは異な
り、Z軸サーボモータ13によって加工ヘッド1を低速
でワーク3へと下降させる。つまり、加工ヘッド1がワ
ーク3にある程度接近したところからは、ゆっくりと下
降させることによって、該加工ヘッド1のワーク3への
衝突を防止させる。ここでの加工ヘッド1の下降速度
は、やはり加工機のZ軸駆動系によるため、好ましい速
度は特にないが、早い方が良い。In step S4, unlike step S2, the machining head 1 is lowered to the work 3 at a low speed by the Z-axis servo motor 13. That is, when the processing head 1 approaches the work 3 to some extent, the processing head 1 is slowly lowered to prevent the processing head 1 from colliding with the work 3. The lowering speed of the processing head 1 here depends on the Z-axis drive system of the processing machine, so there is no particular preferable speed, but a higher speed is better.
【0024】次に、ステップS5に進み、ステップS5
において、上記加工ヘッド1を、Z軸サーボモータ13
によって予め決めておいた位置(指令ギャップ位置)に
到達させる。そして、この位置で加工ヘッド1を位置決
めした後、上記加工ヘッド1により上記ワーク3に対し
て加工プログラムに基づいてレーザー加工を行う。Next, the process proceeds to step S5, where
In the above, the machining head 1 is
To reach a predetermined position (command gap position). Then, after positioning the processing head 1 at this position, the processing head 1 performs laser processing on the work 3 based on a processing program.
【0025】このように、加工ヘッド1に設けたギャッ
プセンサー5により該加工ヘッド先端とワーク3間の静
電容量を検出し、その検出された静電容量が予め決めら
れた静電容量基準値に達するまでは、該加工ヘッド1を
高速で該ワーク3へと下降させ、該検出された静電容量
が該静電容量基準値を越えたところからは、該加工ヘッ
ド1を低速で該ワーク3へと下降させているので、該加
工ヘッド1のワーク3へのアプローチが高速且つ安定
し、トータル加工時間を大幅に短縮することができる。
また、加工ヘッド1がオーバーシュートして、ワーク3
に突っ込んでしまうといった事故も発生しない。As described above, the capacitance between the tip of the processing head and the work 3 is detected by the gap sensor 5 provided on the processing head 1, and the detected capacitance is set to a predetermined capacitance reference value. Until the processing head 1 is lowered to the work 3 at a high speed, and when the detected capacitance exceeds the capacitance reference value, the processing head 1 is moved at a low speed to the work 3. 3, the processing head 1 approaches the work 3 at high speed and is stable, and the total processing time can be greatly reduced.
Also, the processing head 1 overshoots and the work 3
No accidents such as rushing into the car will occur.
【0026】以上、本発明を適用した具体的な一実施形
態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に制
限されることなく種々の変更が可能である。As described above, a specific embodiment to which the present invention is applied has been described. However, the present invention can be variously modified without being limited to the above-described embodiment.
【0027】上述の実施形態では、上記した制御方法に
より、加工ヘッド1を指令ギャップ位置に到達させ、そ
の位置でワーク3にレーザー加工を行ったが、図5のフ
ローチャートに示すように、加工ヘッド1を指令ギャッ
プ位置に位置決めした後は、ステップS6においてこの
位置(X軸、Y軸及びX軸の座標値)を記憶しておき、
ステップS7に進んで、このステップS7においてワー
ク3にレーザー加工を行う。In the above-described embodiment, the processing head 1 is caused to reach the command gap position by the above-described control method, and the workpiece 3 is subjected to laser processing at that position. However, as shown in the flowchart of FIG. After positioning 1 at the command gap position, this position (the coordinate values of the X axis, Y axis and X axis) is stored in step S6,
Proceeding to step S7, laser processing is performed on the work 3 in this step S7.
【0028】そして、次のアプローチでは、加工ヘッド
1が最初の加工開始点位置にあるか否かを判定し、NO
であればステップS9に進み、YESであれば前述した
図2に示すフローを繰り返す。ステップS9では、前加
工位置における加工ヘッド1のX軸及びY軸の座標値
が、次に加工する位置のX軸及びY軸の座標値に対して
一定量以上離れているか否かを判定し、NOの場合はス
テップS10に進み、YESの場合は図2に示すフロー
を繰り返す。Then, in the next approach, it is determined whether or not the processing head 1 is at the first processing start point position.
If it is, the process proceeds to step S9, and if YES, the flow shown in FIG. 2 is repeated. In step S9, it is determined whether or not the X-axis and Y-axis coordinate values of the processing head 1 at the pre-processing position are separated from the X-axis and Y-axis coordinate values of the next processing position by a certain amount or more. If NO, the process proceeds to step S10, and if YES, the flow shown in FIG. 2 is repeated.
【0029】ステップS10では、前加工位置での加工
ヘッド1の位置が記憶されているため、Z軸サーボモー
タ13を駆動させて、例えば図3中点線で示す位置にあ
る加工ヘッド1を、指令ギャップ到達位置まで早送り位
置決めにて下降させる。In step S10, since the position of the machining head 1 at the pre-machining position is stored, the Z-axis servomotor 13 is driven to, for example, instruct the machining head 1 at the position shown by the dotted line in FIG. Lower by rapid traverse positioning to the gap reaching position.
【0030】このようにすれば、次にレーザー加工すべ
き部分でのアプローチをより速くすることができる。従
って、加工ヘッド1のワーク3に対するアプローチを高
速且つ安定して行うことができ、加工時間の大幅な短縮
を図ることができる。In this manner, the approach at the portion to be laser-processed next can be made faster. Therefore, the processing head 1 can approach the workpiece 3 at high speed and stably, and the processing time can be greatly reduced.
【0031】また、上述の実施形態では、加工ヘッド1
をワーク3に対して垂直に下降させるようにしたが、例
えば垂直に位置決めしたワーク3に対して、ロボット等
により加工ヘッド1を水平に接近させる装置構成の場合
においても、本発明を適用することで同様の効果が得ら
れる。In the above embodiment, the processing head 1
Is vertically lowered with respect to the work 3, but the present invention is also applicable to a device configuration in which the processing head 1 is caused to approach horizontally by a robot or the like with respect to the work 3 positioned vertically, for example. A similar effect can be obtained.
【0032】[0032]
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。The present invention is embodied in the form described above and has the following effects.
【0033】本発明によれば、加工ヘッドに設けたギャ
ップセンサーにより該加工ヘッド先端とワーク間の静電
容量を検出し、その検出された静電容量が予め決められ
た静電容量基準値に達するまでは、該加工ヘッドを高速
で該ワークへと接近させ、該検出された静電容量が該静
電容量基準値を越えたところからは、該加工ヘッドを低
速で該ワークへと接近させているので、該加工ヘッドの
ワークへのアプローチが高速且つ安定し、トータル加工
時間を大幅に短縮することができ、生産性を向上させる
ことができる。According to the present invention, the capacitance between the tip of the processing head and the work is detected by the gap sensor provided on the processing head, and the detected capacitance is set to a predetermined capacitance reference value. Until the processing head is reached, the processing head is brought close to the work at a high speed, and when the detected capacitance exceeds the capacitance reference value, the processing head is brought close to the work at a low speed. Therefore, the approach of the machining head to the workpiece is fast and stable, the total machining time can be significantly reduced, and the productivity can be improved.
【図1】本実施形態のレーザー加工装置を示すブロック
図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a laser processing apparatus according to an embodiment.
【図2】本実施形態のレーザー加工装置における加工ヘ
ッドを駆動制御するためのフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart for controlling driving of a processing head in the laser processing apparatus of the present embodiment.
【図3】本実施形態のレーザー加工装置における加工ヘ
ッドのワークに対する位置関係を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a positional relationship of a processing head with respect to a work in the laser processing apparatus of the present embodiment.
【図4】静電容量に対する加工ヘッド先端とワーク間の
垂直距離を表す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a vertical distance between a tip of a processing head and a workpiece with respect to capacitance.
【図5】本実施形態のレーザー加工装置における加工ヘ
ッドを駆動制御する他の例を示すフローチャートであ
る。FIG. 5 is a flowchart illustrating another example of driving control of the processing head in the laser processing apparatus of the present embodiment.
1 加工ヘッド 3 ワーク 5 ギャップセンサー 7 コントローラ 9 演算部 11 制御部 13 Z軸サーボモータ Reference Signs List 1 processing head 3 work 5 gap sensor 7 controller 9 calculation unit 11 control unit 13 Z-axis servo motor
Claims (4)
該ギャップセンサーにより該加工ヘッド先端とワーク間
の静電容量を検出し、その検出された静電容量が予め決
められた静電容量基準値に達するまでは、該加工ヘッド
を高速で該ワークへと接近させ、該検出された静電容量
が該静電容量基準値を越えたところからは、該加工ヘッ
ドを低速で該ワークへと接近させるように制御するため
の制御部を備えていることを特徴とするレーザー加工装
置。1. A gap sensor is provided on a processing head,
The gap sensor detects the capacitance between the processing head tip and the work, and moves the processing head to the work at high speed until the detected capacitance reaches a predetermined capacitance reference value. And a control unit for controlling the processing head to approach the workpiece at a low speed after the detected capacitance exceeds the capacitance reference value. Laser processing equipment characterized by the following.
検出する、加工ヘッドに設けられたギャップセンサー
と、 上記ギャップセンサーにより検出された静電容量が予め
決められた静電容量基準値に達するまでは、上記加工ヘ
ッドを高速で上記ワークへと接近させ、該検出された静
電容量が該静電容量基準値を越えたところからは、該加
工ヘッドを低速で該ワークへと接近させるように制御す
るための制御部とを備えており、 上記制御部には、上記ギャップセンサーにより検出され
た静電容量から上記加工ヘッド先端と上記ワーク間の距
離を求めるコントローラと、このコントローラにより求
められた上記距離と、該加工ヘッドによって該ワークに
レーザー加工を行う加工位置における予め決められた距
離との差を演算する演算部とが設けられており、その演
算結果に基づいて上記加工ヘッドを上記ワークに対して
接近駆動してなることを特徴とするレーザー加工装置。2. A gap sensor provided on a processing head for detecting a capacitance between a tip of the processing head and a workpiece, and a capacitance detected by the gap sensor is set to a predetermined capacitance reference value. Until the processing head is reached, the processing head is made to approach the work at a high speed, and after the detected capacitance exceeds the capacitance reference value, the processing head is made to approach the work at a low speed. A controller for determining the distance between the tip of the processing head and the work from the capacitance detected by the gap sensor, and a controller for determining the distance from the capacitance detected by the gap sensor. And a calculation unit for calculating a difference between the determined distance and a predetermined distance at a processing position where the processing head performs laser processing on the work. And which laser processing apparatus characterized by comprising close driving the processing head relative to the workpiece based on the calculated result.
た上記加工ヘッドの各位置における上記ギャップセンサ
ーより検出された静電容量に対する上記加工ヘッド先端
と上記ワーク間の距離を表す特性図から求められる、該
距離と静電容量値とが比例関係を示す範囲の最大値付近
の領域であることを特徴とする請求項1又は2記載のレ
ーザー加工装置。3. The characteristic diagram representing the distance between the tip of the processing head and the workpiece with respect to the capacitance detected by the gap sensor at each position of the processing head determined in advance. 3. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the distance and the capacitance value are a region near a maximum value of a range indicating a proportional relationship.
ーにより該加工ヘッド先端とワーク間の静電容量を検出
し、その検出された静電容量が予め決められた静電容量
基準値に達するまでは、該加工ヘッドを高速で該ワーク
へと接近させ、該検出された静電容量が該静電容量基準
値を越えたところからは、該加工ヘッドを低速で該ワー
クへと接近するように制御することを特徴とするレーザ
ー加工装置における加工ヘッド駆動方法。4. A capacitance between the tip of the processing head and the workpiece is detected by a gap sensor provided on the processing head, and the capacitance is detected until the detected capacitance reaches a predetermined capacitance reference value. Controlling the processing head to approach the work at a high speed, and from the point where the detected capacitance exceeds the capacitance reference value, the processing head is controlled to approach the work at a low speed. A method for driving a processing head in a laser processing apparatus.
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
| JP10224860A JP2000052076A (en) | 1998-08-07 | 1998-08-07 | Laser processing device and processing head driving method |
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