JP1818031S - 半導体基板保持具 - Google Patents
半導体基板保持具Info
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Abstract
本物品は、半導体ウエハ等の基板を保持するために用いられる半導体基板保持具である。本物品は、使用状態を示す参考図に示すように、基板処理装置のチャンバーの処理室等に取り付けられ、突起部で基板を保持する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2025015334F JP1818031S (ja) | 2025-08-01 | 2025-08-01 | 半導体基板保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2025015334F JP1818031S (ja) | 2025-08-01 | 2025-08-01 | 半導体基板保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1818031S true JP1818031S (ja) | 2026-01-28 |
Family
ID=98564002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2025015334F Active JP1818031S (ja) | 2025-08-01 | 2025-08-01 | 半導体基板保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1818031S (ja) |
-
2025
- 2025-08-01 JP JP2025015334F patent/JP1818031S/ja active Active
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