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ITRM940494A0 - "procedimento e dispositivo per il trattamento chimico per via umida di materiale di silicio". - Google Patents

"procedimento e dispositivo per il trattamento chimico per via umida di materiale di silicio".

Info

Publication number
ITRM940494A0
ITRM940494A0 ITRM940494A ITRM940494A ITRM940494A0 IT RM940494 A0 ITRM940494 A0 IT RM940494A0 IT RM940494 A ITRM940494 A IT RM940494A IT RM940494 A ITRM940494 A IT RM940494A IT RM940494 A0 ITRM940494 A0 IT RM940494A0
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
chemical treatment
silicon material
wet chemical
wet
silicon
Prior art date
Application number
ITRM940494A
Other languages
English (en)
Inventor
Heinz Herzer
Harald Voit
Original Assignee
Wacker Chemitronic
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wacker Chemitronic filed Critical Wacker Chemitronic
Publication of ITRM940494A0 publication Critical patent/ITRM940494A0/it
Publication of ITRM940494A1 publication Critical patent/ITRM940494A1/it
Application granted granted Critical
Publication of IT1272344B publication Critical patent/IT1272344B/it

Links

Classifications

    • H10P72/0404—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/037—Purification

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
ITRM940494A 1993-07-29 1994-07-27 "procedimento e dispositivo per il trattamento chimico per via umida di materiale di silicio". IT1272344B (it)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4325543A DE4325543A1 (de) 1993-07-29 1993-07-29 Verfahren und Vorrichtung zur naßchemischen Behandlung von Siliciummaterial

Publications (3)

Publication Number Publication Date
ITRM940494A0 true ITRM940494A0 (it) 1994-07-27
ITRM940494A1 ITRM940494A1 (it) 1996-01-27
IT1272344B IT1272344B (it) 1997-06-16

Family

ID=6494041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ITRM940494A IT1272344B (it) 1993-07-29 1994-07-27 "procedimento e dispositivo per il trattamento chimico per via umida di materiale di silicio".

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPH07187900A (it)
DE (1) DE4325543A1 (it)
IT (1) IT1272344B (it)

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Also Published As

Publication number Publication date
IT1272344B (it) 1997-06-16
ITRM940494A1 (it) 1996-01-27
JPH07187900A (ja) 1995-07-25
DE4325543A1 (de) 1995-02-02

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