HU196011B - Cathode of atomization - Google Patents

Description

A találmány tárgya porlasztó katód síktól eltérő alakú szubsztrátumra porlasztóit bevonat készítéséhez, amelynek forgatható, hosszúkás csöve van _t ennek külső felületén a porlasztandó bevonóanyagból lévő rétege van.

A 4.356.073. számú US szabadalmi leírásban (megjelent: 1982 .október 26.) egy vákuum alá helyezhető bevonó kamrában forgatható magnetron katód van ismertetve, amely katódnak hosszúkás, hengeres, csőalakú eleme van amelynek az átmérője annak hossza mentén lényegéin állandó, és egy lényegében síkalakú szubsztrátumra porlasztandó bevonó anyagból levő réteggel van ellátva, amely szubsztrátum a porlasztás közben a katódhoz képest mozog. Ennek az ismert berendezésnek az a hátránya, hogy síktól eltérő alakú szubsztrátumra nem lehet egyenletes rétegvastagságot rápodasztani.

A találmány elő célul tűztük ki egy olyan porlasztó katódnak a kidolgoztását, amelynek segítségével az ismert berendezés fent említett hátránya kiküszöbölhető, és síktól eltérő alakú szubsztrátumra is egyenletes rétegvastagság podasztható fel.

A kitűzött célt a bevezetőben körülírt porlasztó katóddal a találmány szerint úgy értük el, hogy a csőnek a porlasztófelülete hosszirányban a hengerestől eltérő alakú. Ennek a megoldásnak az az előnye, hogy a síktól eltérő alakú szubsztrátumra egyenletes bevonatot lehet ráporlasztani.

A találmány szerinti podasztó katód egy előnyös kiviteli alakjánál a csőnek lényegében hordószerű alakja van. Egy másik lehetséges kiviteli alak szerint hengerestől eltérő profilja van. Célszerű lehet egy olyan cső is amelynek az átmérője a hossza mentén változó. Ezekkel a kiviteli alakokkal lehetőség van a szubsztrátum alakjának követésére.

A találmány szerint a csőbe mágneses eszköz van beszerelve. A mágneses eszköz a cső hosszirányában húzódik, cs annak alakhához igazodik. Ezáltal a változó keresztmetszetű cső esetén is biztosítható fiz egyenletes porlasztás.

A találmány szerinti podasztó katód egy magnetronos katódos porlasztó berendezésbe építhető be, amelynek vákuum alá helyezhető bevonó kamrája van. Ebben a berendezésben a csövet hossztengelye körül forgató szerkezet van, és egy olyan mozgatószerve is van, amely a bevonandó szubsztrátumot a cső hossztengelyére merőleges irányban mozgatja.

A találmány szerinti berendezést az alábbiakban a mellékelt rajzok segítségével ismertetjük részletesebben, ahol

1. ábra egy bevonó kamrának a függőleges hosszmetszetét mutatja, amelybe a találmány szerinti forgatható magnetron katód van beszerelve, a

2. ábra az 1. ábra 2—2 vonala mentén vett függőleges keresztmetszete, a

3. ábra az 1 ábra 3-3 vonala mentén vett függőleges keresztmetszete, és végül a

4. ábra az 1. ábra 4-4 vonala mentén vett függőleges keresztmetszete.

Az ábrán látható, vákuum alá helyezhető 10 bevonó kamrába egy találmány szerinti forgatható 11 magnetron katód van beszerelve.

A 10 bevonó kamra előnyösen szögletes kialakítású, amelynek 12 alsó fala, 13 felső fala, a két végén 14 és 15 véglala, valamint az ábrán fel nem tüntetett oldalfalai vannak, amelyek egymáshoz tömítéssel vannak rögzítve, és ílymódon egy hermetikusan lezárt 10 bevonókamrát alkotnak,

A 11 magnetron katód egy hosszúkás 16 csőből áll, amelynek tengelyirányú felülete síktól eltérő alakú S szubsztrátum podasztó bevonására alkalmas. Amint az ábrákon látható, a 16 csőnek lényegében hordószerű alakja van, amelynek 17 középrészén viszonylag nagyobb a vastagsága, és amely a 18 és 19 végrészek felé csökken. A kiválasztott porlasztandó anyagból levői 20 bevonat a 16 cső külső felületére van felvíve.

A 10 bevonó kamra vákuum alá helyezéséhez egy 21 vákuumszivattyú szolgál, amellyel a kívánt nyomás állítható be. Abban az esetben, hogyha valamilyen gázt kellene bevezetni a kamrába, akkor az a 22 vezetéken és az ebbe beiktatott 23 szelep segítségével vezethető be.

A 16 cső vízszintesen van alátámasztva a két végén a 24 és 25 karimáknál fogva, amelyek egybefüggően vannak kialakítva a 26, illetve 27 csappal. A 16 eső a 24 és 25 karimákhoz 28 és 29 csavarok segítségével rögzíthető. A 26 és 27 csapok forgathatóan vannak behelyezve a 30 és 31 csapágytömbökbe, amelyek a 10 bevonó kamra 13 felső falához 30a csavarok segítségével vannak rögzítve. A 30 és 31 csapágytömbök a 10 bevonó kamra 13 felső falától térközzel vannak rögzítve, szigetelő anyagból levő 32 és 33 szalagok segítségével.

A 30 és 31 csapágy tömbök nyílásának átmérője kismértékben nagyobb, mint a beléjük nyúló 26 és 27 csapok átmérője, és ílymódon a 26 és 27 csapokat egy viszonylag szűk, gyűrűalakú 34 és 35 csatorna veszi körül. A gyűrűalakú 34 és 35 csatornák az ellentétes oldalaikon 36, illetve 37 tömbcsapágyakkal vannak lezárva, amely 36 és 37 tömbcsapágyak a 26, illetve 27 csapokat a 30, illetve 31 csapágytömbökben lévő nyílásokban központosán megtartják. A 26 és 27 csapokon lévő 24 és 25 karimák, valamint a 30 és 31 csapágytömbök közé 40, illetve 41 szigetelő alátét van behelyezve, amely meggátolja, hogy a 16 csőhöz továbbított hűtőközeg a 10 bevonó kamrába juthasson.

A 26 csapban két vízszintes 42 és 43 vezeték van kialakítva, amelyek a gyűrűalakú 34 csatornától vezetnek, és amelyek a 16 csővel közlekednek. A 30 csapágy tömbben egy rövid függőleges 44 vezeték van kialakítva, amely a 34 csatornától a 30 Csapágy tömbbe becsavart bevezető 45 csőhöz vezet. A 45 csövön és a 44 vezetéken keresztül hűtőközeget, mint például vizet, vezetünk a 34 csatornába, ahonnan az a 42 és 43 vezetékeken keresztül a 16 csőbe áramlik. A hűtőközeg körüljáija a 16 csövet, és anilak másik végén távozik a 27 csapban levő vízszintes 46 és 47 vezetékeken keresztül a 35 csatornába, majd innen a 31 csapágy tömbben levő függőleges 48 vezetékbe, majd egy kivezető 49 csőbe.

A 16 csövet egyik végén egy 50 motor hajtja, amely a 10 bevonó kamra 13 felső falára van szerelve. Az 50 motor egy szigeteit 51 tengelykapcsolón keresztül csatlakoák egy függőleges 52 orsóhoz, amelyhez egy 53 csiga kapcsolódik, és alkot egy 54 csigahajtást, amely a hozzá tartozó 26 csaphoz van rögzítve.

Egy 55 mágneses eszköz két párhuzamos A és B sorban elrendezett, U-alaku permanens 56 mágneseket tartalmaz (4. ábra), amely A és B sorok a 16 cső-21

196.011 nek az alsó részén hosszirányban húzódnak. Az 56 mágnesek az egyes A, illetve B sorokban egyvonalba esnek, és az egyik A sor 56 mágnesei a másik B 5 sor 56 mágneseihez képest eltolt helyzetűek, és egymást átlapolják. Az 56 mágnesek az A és B sorokban egymáshoz képest szögben vannak elhelyezve, amint az a 4. ábrán látható. Valamennyi A, illetve B sorban levő 56 mágnesek külső 57 szára egy hosszirányban ,λ húzódó, viszonylag keskeny, megfelelő mágneses anyagból levő 58 szalaghoz kapcsolódik, míg az 56 mágnesek belső 59 szára egy hasonló mágneses 60 szalaghoz kapcsolódik, amely párhuzamos az 58 szalagokkal.

A permanens 56 mágnesek a mágieses 58 és 60 j5 szalagokkal együtt a 61 és 62 csavarokkal rögzítve vannak, amely 58 és 60 szalagok alakja hosszirányban megfelel a 16 cső tengelyirányú görbületének, és amelynek az alsó 63 felülete megfelel a 16 cső belső felülete keresztmetszeti görbületének.

Az U-alakú 16 mágnesek előnyösen úgy vannak 20 elrendezve, hogy az északi pólusuk a mágneses 60 szalaghoz kapcsolódnak. Természetesen azonban más permanens mágnesek vagy elektromágnesek is alkalmazhatók az említett U-alakú 56 mágnesek helyett.

Az 56 mágnesek a 16 cső belső felületéhez közel __ helyezkednek el, amelyeket egy vízszintes 64 rúd tart, 65 függesztőkengyelek segítségével, amely 64 rudat a két végén a 26 és 27 csap támaszt alá.

Amint fentebb említettük, a bevonandó S szubsztrátumoknak a felső felülete lényegében megegyezik a 16 cső hosszirányú körvonalával. Az S szubsztrá- oq tumok vízszintesen vannak alátámasztva, és a 16 cső előtt mozognak, ílymódon- felfogják a leporlasztott bevonóanyagot. Az S szubsztrátumokat bármilyen alkalmas továbbító eszköz mozgathatja, például a 66 és 67 görgők segítségével, amelyek a 68 tengelyhez vannak rögzítve. A 68 tengely a 69 és 70 csapágyba- 35 kokban van csapágyazva, amelyek a 10 bevonó kamra 12 alsó falára vannak rögzítve,

A porlasztás létrejöttéhez szükséges, katódfeszültséget a 16 csőhöz egy egyenfeszültségű feszültségfonás biztosítja (az ábrán nincs feltüntetve) egy 71 vezetéken keresztül, amely egy villamos 72 érintkezőhöz csatlakozik, amely 72 érintkező csúszó érintkezést biztosít a 16 csőhöz.

Nyilvánvaló, hogy változtatások és módosítások a fentebb ismertetett berendezésnél lehetségesek; anélkül azonban, hogy a találmányi gondolattól és az oltalmi körtől eltérnénk.

Claims (6)

1. Porlasztó katód síktól eltérő alakú szubsztrátumra porlasztóit bevonat készítéséhez, amelynek forgatható, hosszúkás csöve van, ennek külső felületén a porlasztandó bevonó anyagból levő rétege van, azzal jellemezve, hogy a cső (16) porlasztó felülete hosszirányban a hengerestől eltérő alakú.

2. Az 1. igénypont szerinti porlasztó katód, a zzal jellemezve, hogy a csőnek (16) lényegében hordószerű alakja van.

3. Az 1. igénypont szerinti porlasztó katód, a z zal jellemezve, hogy a Csőnek (16) hengerestől eltérő profilja van.

4. Az 1. igénypont szerinti porlasztó katód, a zzal jellemezve hogy a csőnek (16) az átmérője a hossza mentén változó.

5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a csőbe (16) mágneses eszköz (55) van beszerelve.

6. Az 5. igénypont szerinti porlasztó katód, a zzal jellemezve, hogy a mágneses eszköz (55) a Cső (16) hosszirányában húzódik, és annak alakjához igazodik.