NO851458L - Roterbart paasprutingsapparat - Google Patents

Description

Oppfinnelsens bakgrunn

Den foreliggende oppfinnelse har i hovedtrekk befatning med magnetronkatode-påsprutingsapparater og vedrører, nærmere bestemt, en forbedret, roterbar katodekonstruksjon.

US-patentskrift 4.356.073 beskriver en roterbar magnetronkatode som er bestemt for å fungere i et lufttrykkminskende beleggpåføringskammer og som omfatter en langstrakt, sylindrisk og rørformet del som over hele sin lengde har stort sett uforan-dret diameter og er utstyrt med et lag av det belegningsmateriale som skal påsprutes forbipasserende, stort sett plane underlagsmaterialer .

Den foreliggende oppfinnelse vedrører en roterbar magnetronkatode av betydelig endret type hvor den langstrakte, rør-formete del er aksialt profilert for påspruting av belegg på ikke-plane underlagsmaterialer av form som stort sett overens-stemmer med konturen av den rørformete del.

Et annet formål med oppfinnelsen er å frembringe en roterbar magnetronkatode hvor den langstrakte, rørformete del er utstyrt med en langsgående, bueformet spruteflate for påføring av belegg på underlagsflater av stort sett samme kurvatur.

Et annet formål med oppfinnelsen er å frembringe en roterbar magnetronkatode av stort sett tønneliknende form, hvor midt-partiet er bredere enn endepartiene.

Et ytterligere formål med oppfinnelsen er å frembringe en roterbar magnetronkatode av ikke-sylindrisk profilform og egnet for anvendelse ved påspruting av belegg på bøyde eller bueformete flatepartier.

Sammenfatning av oppfinnelsen

Det er beskrevet en sprutekatode som er bestemt for påspruting av belegg på ikke-plane underlagsmaterialer, og som omfatter en dreibar, langstrakt og rørformet del hvis ytterflate er påført et lag av belegningsmaterialet som skal påsprutes, og som kjennetegnes ved at den rørformete del er profilert i langsgående<e1>r^r^opprettelse av en ikke-sylindrisk spruteflate.

Videre er det beskrevet et magnetronkatode-påsprutingsapparat som omfatter et lufttrykkminskende beleggpåføringskammer og som kjennetegnes ved at katoden av den ovennevnte type er innmontert i påsprutingsapparatet hvor det i den rørformete del er anordnet magnetiske midler, og at apparatet er utstyrt med midler for dreining av den rørformete del om dens lengdeakse og midler for fremføring av underlagsmaterialene som skal belegges, i en retning vinkelrett mot lengdeaksen for den rørformete del.

Kort beskrivelse av tegningene

Oppfinnelsen er nærmere beskrevet i det etterfølgende under henvisning til de medfølgende tegninger, hvor: Fig. 1 viser et vertikalt lengdesnitt av et beleggpå-føringskammer hvori det er innmontert en dreibar magnetronkatode ifølge den foreliggende oppfinnelse. Fig. 2 viser et vertikalsnitt stort sett langs linjen 2-2 i fig. 1. Fig. 3 viser et vertikalsnitt stort sett langs linjen 3-3 i fig. 1. Fig. 4 viser et vertikalsnitt stort sett langs linjen 4-4 i fig. 1.

Beskrivelse av en foretrukket utførelsesform

Det er på tegningene vist et lufttrykkminskende belegg-påf øringskammer 10 med en innmontert, dreibar magnetronkatode 11 ifølge oppfinnelsen.

Beleggpåføringskammeret 10 som fortrinnsvis er rektangu-lært, består av en undervegg 12, en overvegg 13, motsatt belig-gende endevegger 14 og 15 og sidevegger (ikke vist), hvor samt-lige vegger er tettsluttende forbundet med hverandre, for opprettelse av et hermetisk forseglet kammer.

Katoden 11 omfatter en langstrakt, rørformet del 16 som er aksialt profilert for beleggpåspruting av ikke-plane underlagsmaterialer S. Som det fremgår av tegningene, er den rørformete del av stort sett tønneliknende fasong, med et relativt bredt midtparti 17 som går over i avsmalnende endepartier 18 og 19. Et belegg 20 av et utvalgt materiale som skal påsprutes, er anbrakt på yttersiden av den rørformete del.

Ved hjelp av en vakuumpumpe 21 kan luften i beleggpå- føringskammeret 10 utpumpes til ønsket trykk. Dersom det er ønskelig å injisere gasser i kammeret, kan dette foregå gjennom en ledning 22 under styring av en ventil 23.

Den rørformete del 16 er ved sine motsatte endepartier horisontalt opplagret ved hjelp av flenser 24 og 25 som er utformet i ett med aksler henholdsvis 26 og 27. Den rørformete del kan være fastgjort til flensene 24 og 25 ved hjelp av skruer henholdsvis 28 og 29. Akslene 26 og 27 opptas dreibart i lager-blokker henholdsvis 30 og 31 som er fastgjort med skruer 20a til overveggen 13 av beleggpåføringskammeret. Lagerblokkene 30 og 31 fastholdes atskilt fra beleggpåføringskammerets overvegg 13 ved hjelp av strimler av isolasjonsmateriale henholdsvis 32 og 33.

Åpningene i lagerblokkene 30 og 31 har litt større diameter enn de tilhørende aksler 26 og 27, for opprettelse av relativt grunne, ringformete kanaler henholdsvis 34 og 35 som omgir akslene. De ringformete kanaler 34 og 35 er lukket på sine motsatte sider med lagerpakninger 36 og 37 som også tjener for sentrering av akslene i lagerblokkåpningene. Isolerende brikker 40 og 41 er anordnet mellom flensene 24 og 25 på akslene 26 og 27 og lagerblokkene henholdsvis 30 og 31, for å forhindre at kjøle-medium som fremføres til den rørformete del, inntrenger i belegg-påf øringskammeret .

Akselen 25 er utstyrt med et par horisontale rør 42 og 43 som utgår fra den ringformete kanal 34 og står i forbindelse med den rørformete del 11. Et kort, vertikalt rør 44 i lagerblokken 30 fører fra kanalen 34 til en innløpsledning 45 som er innskrudd i lagerblokken. Gjennom ledningen 45 og røret 44 innføres et kjølemedium, såsom vann, i kanalen 34 hvorfra det, gjennom rørene 42 og 43, innstrømmer i den rørformete del. Kjølemediet sirku-lerer gjennom den rørformete del og utstrømmer fra den motsatte ende av denne, gjennom horisontale rør 46 og 47 i akselen 27, inn i kanalen 35 og videre, gjennom et vertikalt rør 48 i lagerblokken 31, til en utløpsledning 49.

Den rørformete del 11 drives fra den ene ende ved hjelp av en motor 50 som er montert på beleggpåføringskammerets overvegg 13 og som gjennom en isolert kopling 51 er forbundet med en ver-tikal aksel 52 med en påkilt snekke 53 som står i inngrep med et snekkedrev 54 som er fastgjort på den tilknyttede aksel 26.

De magnetiske midler 55 omfatter en gruppe U-formete permanentmagneter 56 som er anordnet i to rette, parallelle rekker A og B (fig. 4) som strekker seg i langsgående retning i det nedre parti av den rørformete del. Magneten i hver rekke flukter inn-byrdes, og magnetene i den ene rekke er plassert vekselvis og overlappende med magnetene i den annen rekke. Videre er magnetene i de to rekker A og B plasser i en vinkel i forhold til hverandre, som vist i fig. 4. De ytre ben 57 av magnetene 56 i hver magnetrekke ligger an mot en langsgående, relativt smal strimmel 58 av et egnet, magnetisk materiale, mens magnetenes innerben 59 ligger an mot en tilsvarende, magnetisk strimmel 60 som forløper parallelt med strimlene 58.

Permanentmagneten er fastgjort til de magnetiske strimler 58 og 60 som er profilert i langsgående retning i motsvarighet til den rørformete dels aksialkurvatur, og undersidene 63 er utformet i overensstemmelse med den tversgående kurvatur av den rørformete dels innervegg.

De U-formete magneter 56 er fortrinnsvis slik plassert at magnetenes nordpoler ligger an mot den magnetiske strimmel 60. Det bør imidlertid bemerkes, at de U-formete magneter kan erstat-tes av permanentmagneter av andre typer eller også av elektro-magneter.

Magnetene 56 er anbrakt tett ved den rørformete dels innervegg og er opphengt i stropper 65 på en horisontal stang 64 hvis motsatte endepartier er innført i lagerblokkene 26 og 27.

Som tidligere omtalt er oversidene av de underlagsmaterialer S som skal belegges, utformet stort sett i motsvarighet til lengdekonturen av den rørformete del 11. Underlagsmaterialene understøttes horisontalt og fremføres forbi den rørformete del, ved hjelp av egnete transporteringsmidler, f.eks. ruller 66 og 67 som er fastkilt på aksler som er opplagret i lagerbukker 69 og 70 på beleggpåføringskammerets undervegg, for å motta belegningsmaterialet som påsprutes fra den rørformete del.

En katodespenning som er tilstrekkelig til å fremkalle sprutevirkning, overføres til den rørformete del 16 fra en like-strømkilde (ikke vist) og gjennom en kraftledning 71 som er forbundet med en elektrisk kontakt 72 som ligger glidbart an mot den rørformete del. Apparatet kan jordes på hensiktsmessig måte.

Det er åpenbart at endringer og modifiseringer vil kunne foretas innenfor rammen av de etterfølgende krav.

Claims (11)

1 »

1. Sprutekatode for påspruting av belegg på ikke-plane underlagsmaterialer5, og omfattende en dreibar, langstrakt og rørformet del^hvis ytterflate er påført et lag av belegningsmaterialet^som skal påsprutes, karakterisert ved at den rør-formete delder profilert i langsgående retning, for opprettelse av en ikke-sylindrisk spruteflate. •

2. Sprutekatode i samsvar med krav 1, karakterisert ved at den rørformete delder av stort sett tønne-liknende fasong.

3. Sprutekatode i samsvar med krav 1, karakterisert ved at den rørformete delder av ikke-sylindrisk profilform.

4. Sprutekatode i samsvar med krav 1, karakterisert ved at den rørformete del^har varierende diameter i langsgående retning.

5. Sprutekatode i samsvar med krav 1, karakterisert ved magnetiske midler som er innmontert i den rørformete del.^6

6. Sprutekatode i samsvar med krav 5, karakterisert ved at de magnetiske midler er anordnet i den rørformete dels lengderetning og er profilert i motsvarighet til delens konturform. H,^!^

7. Magnetronkatode-påsprutingsapparat med et lufttrykkminskende beleggpåo føringskammeri , o karakterisert ved at katoden i samsvar med krav 1 er anbrakt i påsprutingsapparatet hvor magnetiske midler^er innmontert i den rørformete del, og at det er anordnet midler for dreining av den rørformete del om dens lengdeakse, og midler for fremføring av underlagsmaterialene som skal belegges, i en retning vinkelrett mot lengdeaksen for den rørformete del.

8. Magnetronkatode-påsprutingsapparat i samsvar med krav 7, karakterisert ved at den rørformete del er av stort sett tønneliknende fasong.

9. Magnetronkatode-påsprutingsapparat i samsvar med krav 7, karakterisert ved at den rørformete del har ikke-sylindrisk profilform.

10. Magnetronkatode-påsprutingsapparat i samsvar med krav 7, karakterisert ved at den rørformete dels diameter varierer langs delen.

11. Magnetronkatode-påsprutingsapparat i samsvar med krav 7, karakterisert ved at de magnetiske midler er anordnet i den rørformete dels lengderetning og er profilert i motsvarighet til konturformen av den rørformete del.