HK1230541B - 涂布装置及涂布方法 - Google Patents

Description

涂布装置及涂布方法

技术领域

本发明涉及一种具有沿直线排列的多个吐出口的涂布装置及涂布方法。

背景技术

作为在电子部件等的制造工序中对液体材料进行分配的装置，已知有通过往返移动的柱塞而吐出液体材料的吐出装置(点胶机(dispenser))。该吐出装置例如用于一边在水平方向上与工作台相对移动一边对工件进行所希望的涂布的用途。

作为使液体材料自喷嘴分离后着陆于工件的现有的吐出装置，例如具有通过在与喷嘴连接的出口附近具有阀座的流路内非接触地配置柱塞杆的侧面，且柱塞杆的前端朝阀座移动而抵接于阀座，从而使液体材料以液滴的状态自喷嘴吐出的装置(专利文献1)。

此外，作为使急速前进的柱塞不抵接于阀座而急剧地停止以使液体材料飞射滴落的技术，具有申请人所提出的使前端面紧贴于液体材料的液体材料吐出用柱塞高速前进，然后使柱塞驱动机构急剧停止，对液体材料施加惯性力而使液体材料吐出的液体材料的吐出方法及装置(专利文献2、3)。

此外，提出了具备具有与流体通道出口连通的多个喷嘴出口的喷出喷嘴及可动地设于流体通道内而可选择性地接触于阀座的阀构件，在阀构件与阀座的接触时，将对于使多个液滴自上述多个喷嘴出口同时且迅速地喷出而言充分的运动量赋予上述流体通道出口内的液体材料的喷射式点胶机(专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2001-500962号公报

专利文献2：日本特开2003-190871号公报

专利文献3：日本特开2005-296700号公报

专利文献4：日本特开2007-167844号公报

发明内容

发明所要解决的问题

为了实现电子设备等的制造成本的削减，要求使划线涂布的速度高速化。

专利文献4所公开的喷射式点胶机公开了具有多个吐出口的喷嘴，但其主要考虑助焊剂层的形成，对进行划线涂布的操作无任何涉及。此外，专利文献4即使在延迟点胶机的动作速度而追求高质量的方面(参照同文献段落[0007])，也可以说不是提供有助于划线涂布的高速化的技术的发明。

本发明的目的在于，提供一种能够将划线涂布的速度高速化的涂布装置及涂布方法。

解决问题的技术手段

涂布方法所涉及的本发明，其特征在于，是使用涂布装置而在涂布对象物上对描绘线进行线状涂布的方法，上述涂布装置具备：吐出装置；工作台，其载置涂布对象物；驱动装置，其使吐出装置与工作台相对移动；及控制部，其控制吐出装置及驱动装置的动作，上述吐出装置具备：喷嘴，其具有吐出液体材料的多个吐出口；液室，其经由多个吐出流路而与上述多个吐出口连通；及吐出构件，其与上述液室内的液体材料接触，通过上述吐出构件对上述液室内的液体材料赋予惯性力而自上述多个吐出口同时地吐出，并在涂布对象物上形成多个液滴，上述多个吐出口沿着直线的喷嘴配置线而配置于上述喷嘴，使上述喷嘴配置线与上述描绘线的描绘方向一致，以被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着上述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式，自上述多个吐出口吐出液体材料而进行线状涂布。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述控制部以一边使上述吐出装置与上述工作台保持一定的速度V_c地在与喷嘴配置线相同的方向上相对移动，一边上述被吐出的多个液块的至少一个与之前刚被吐出的涂布对象物上的液体材料结合而形成描绘线的方式，根据上述吐出装置与上述工作台的相对移动速度，将吐出的时机作为一定的间隔T_c而进行线状涂布。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，通过调节上述吐出构件的推进力，以上述被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着上述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式吐出液体材料。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出流路以上述多个吐出流路的各中心线与上述喷嘴的中心线相交的方式具有倾斜地被配置，通过调节吐出口与涂布对象的距离h，从而对液滴间的距离进行调节。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出口的任一个均配置在上述喷嘴配置线上。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出口均为相同形状且被配置为等间距。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口，吐出口的任一个均配置在上述喷嘴配置线上，上述小型吐出口及上述大型吐出口沿着上述喷嘴配置线交替地配置，或者，上述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口组，上述大型吐出口的任一个均配置在上述喷嘴配置线上，上述小型吐出口组及上述大型吐出口沿着上述喷嘴配置线交替地配置，上述小型吐出口组由相对于上述喷嘴配置线对称地被配置的多个小型吐出口构成。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述吐出装置或者上述工作台具备旋转机构，通过上述旋转机构，使上述喷嘴配置线与上述描绘线的描绘方向一致，在此优选，上述线状涂布根据包含在第一方向上延伸的直线状的涂布线、及在与第一方向不同的第二方向上延伸的直线状的涂布线的涂布图案而进行。

上述涂布方法所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述喷嘴相对于上述吐出装置装卸自如地被固定，上述吐出装置具有能够使上述喷嘴以上述喷嘴配置线的方向相对于上述吐出装置成为一定的方式进行安装的定位机构。

涂布装置所涉及的本发明，其特征在于，具备吐出装置、载置涂布对象物的工作台、使吐出装置与工作台相对移动的驱动装置、及控制吐出装置及驱动装置的动作的控制部，上述吐出装置具备：喷嘴，其具有吐出液体材料的多个吐出口；液室，其经由多个吐出流路而与上述多个吐出口连通；及吐出构件，其与上述液室内的液体材料接触，通过上述吐出构件对上述液室内的液体材料赋予惯性力且自上述多个吐出口同时地吐出，并在涂布对象物上形成多个液滴，上述多个吐出口沿着直线的喷嘴配置线而配置于上述喷嘴，上述控制部在使上述喷嘴配置线与描绘线的描绘方向一致的状态下，以被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着上述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式，自上述多个吐出口吐出液体材料而进行线状涂布。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述控制部以一边使上述吐出装置与上述工作台保持一定的速度V_c地在与喷嘴配置线相同的方向上相对移动，一边上述被吐出的多个液块的至少一个与之前刚被吐出的涂布对象物上的液体材料结合而形成描绘线的方式，根据上述吐出装置与上述工作台的相对移动速度，将吐出的时机作为一定的间隔T_c而进行线状涂布。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述控制部通过调节上述吐出构件的推进力，以上述被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着上述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式吐出液体材料。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出流路以上述多个吐出流路的各中心线与上述喷嘴的中心线相交的方式具有倾斜地被配置。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出口的任一个均配置在上述喷嘴配置线上。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出口均为相同形状且被配置为等间距。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口，吐出口的任一个均配置在上述喷嘴配置线上，上述小型吐出口及上述大型吐出口沿着上述喷嘴配置线交替地配置，或者，上述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口组，上述大型吐出口的任一个均配置在上述喷嘴配置线上，上述小型吐出口组及上述大型吐出口沿着上述喷嘴配置线交替地配置，上述小型吐出口组由相对于上述喷嘴配置线对称地被配置的多个小型吐出口构成。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述吐出装置或者上述工作台具备旋转机构，上述控制部通过上述旋转机构使上述喷嘴配置线与上述描绘线的描绘方向一致。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述驱动装置包含能够使上述吐出装置及上述工作台相对地进行直线移动的单轴驱动机构，上述喷嘴配置线与上述单轴驱动机构的驱动方向一致而被配置。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述喷嘴相对于上述吐出装置装卸自如地被固定，上述吐出装置能够使上述喷嘴以上述喷嘴配置线的方向相对于上述吐出装置成为一定的方式进行安装的定位机构。

上述涂布装置所涉及的本发明中，其特征也可以在于，上述吐出装置具备：柱塞，其相较于上述液室为小径，前端部在液室内进行进退移动；柱塞往返移动装置，其使上述柱塞进退移动；及送液装置，其将液体材料供给至上述液室；在上述柱塞的前端部的侧面与上述液室的内侧壁非接触的状态下，通过使柱塞进行进入移动及进入停止，从而对液体材料赋予惯性力且自上述多个吐出口同时地吐出。

发明的效果

根据本发明，能够将划线涂布的速度高速化。

另外，通过将吐出的时机作为一定的间隔T_c而进行线状涂布，可提高吐出量精度及吐出位置精度。

再有，根据具备吐出流路具有倾斜的结构的本发明，通过调节吐出口及涂布对象物的距离，可对同时吐出的液滴间的距离进行调节。

附图说明

图1为显示第一实施方式例的涂布装置的立体图。

图2为第一实施方式例的吐出装置的主要部分侧面截面图。

图3为第一实施方式例的喷嘴构件的(a)底面图、(b)侧面截面图。

图4为显示第一实施方式例中的一次的吐出工序的图，(a)显示被吐出的液滴着陆于涂布对象物之前的时刻，(b)显示被吐出的液滴着陆于涂布对象物的时刻，(c)显示着陆后经过了短暂时间的时刻，(d)显示自(c)的时刻起经过了短暂时间的时刻，(e)显示自(d)的时刻起经过了短暂时间的时刻。

图5为显示第一实施方式例的涂布装置的多次的吐出工序的图，(a)为自侧方观察刚进行第一发射后的时刻的图，(b)为自侧方及上方观察刚进行第二发射后的时刻的图，(c)为自侧方及上方观察刚进行第三发射后的时刻的图，(d)为自侧方及上方观察刚进行第四发射后的时刻的图，(e)为自侧方及上方观察刚进行第五发射后的时刻的图。

图6为说明二个液滴在飞翔中结合的情况的侧面图，(a)显示液块刚被吐出后的时刻，(b)显示自(a)的时刻起经过了短暂时间的时刻，(c)显示被同时吐出的液块着陆于涂布对象物的时刻。

图7为第二实施方式例的喷嘴构件的(a)底面图、(b)侧面截面图。

图8为第三实施方式例的喷嘴构件的底面图。

图9为自上面观察第三实施方式例中被同时吐出的四个液滴结合的状况的想象图。

图10为第四实施方式例的喷嘴构件的底面图。

图11为自上面观察第四实施方式例中被同时吐出的六个液滴结合的状况的想象图。

图12为第五实施方式例的喷嘴构件的(a)侧面截面图、及(b)说明吐出口与工件的距离及液滴间的距离的关系的侧面图。

图13为着陆于涂布对象物的二个液滴在涂布对象物上不结合的情况下的涂布方法的说明图，(a)显示第1次吐出，(b)显示第2次吐出，(c)显示第3次吐出，(d)显示第4次吐出。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边对本发明的实施方式例进行说明。

《第一实施方式例》

＜涂布装置＞

如图1所示，第一实施方式例的涂布装置200具备：吐出装置1；基座201；载置涂布对象物207的工作台202；使吐出装置与工作台沿X方向相对移动的X驱动装置203；使吐出装置与工作台沿Y方向相对移动的Y驱动装置204；使吐出装置与工作台沿Z方向相对移动的Z驱动装置205；及控制吐出装置1及XYZ驱动装置(203、204、205)的动作的控制装置206。

再者，X方向是指平面中的一个方向，Y方向是指平面中的与X方向正交的方向，Z方向是指与平面正交的方向。

本实施方式例中，以X驱动装置及Y驱动装置的移动方向为水平方向，Z驱动装置的移动方向为铅垂方向的方式构成，但也可设为其以外的移动方向。此外，X驱动装置、Y驱动装置及Z驱动装置不一定全部需要，例如，涂布图案仅由一方向的直线构成的情况下，通过仅配置朝一方向移动的驱动装置(仅X驱动装置或Y驱动装置)，从而可进行本发明的涂布。

＜吐出装置＞

如图2所示，吐出装置1的主体具备主体上部2及主体下部3而被构成。

主体上部2具有贯通中心的贯通孔21及活塞室(22、23)，柱塞10插通于贯通孔21及活塞室。柱塞10是细长的圆柱棒，且贯通活塞11。活塞11是在侧周面设置有环状的密封构件12的圆盘状的构件。活塞11将圆柱状的活塞室气密性地分隔为下方室22及上方室23，一边在活塞室内滑动一边上下移动。活塞11与柱塞10连结，随着活塞11上下移动，柱塞10也上下移动。以下，有称柱塞10朝下方的移动的情况为进入移动，称柱塞10朝上方的移动的情况为后退移动的情况。

活塞11通过配置于上方室23内的弹性构件13而被朝下方施力。在下方室22的侧面设置有与电磁切换阀16连通的下方通气口24，在下方室22的底面设置有柱塞10被插通的环状的密封构件26。电磁切换阀16具有将下方通气口24与气体供给源19连通的第一位置、及将下方通气口24与外部空气连通的第二位置。当电磁切换阀16位于第一位置时，自气体供给源19供给的加压气体经由调节器(regulator)18而供给至下方通气口24，柱塞前端面103自液室的底面412远离。当电磁切换阀16位于第二位置时，活塞11通过弹性构件13的作用力而朝下方移动，与活塞11朝下方移动一起柱塞10进行进入移动。由此，柱塞前端面103落座于液室的底面412，通过柱塞10而被赋予了推进力的液室内的液体材料，自吐出口(51、52)吐出。

再者，也可构成为通过使柱塞10的进入移动在柱塞前端面103即将落座于液室的底面412之前停止，对液室内的液体材料赋予推进力而进行吐出。作为使柱塞前端面不落座而吐出液滴的吐出装置，例如，具有申请人在WO2008/108097公报、日本特开2013-081884中公开的装置。

本实施方式例中，例示了使用柱塞10作为对液室内的液体材料赋予惯性力的吐出构件的结构，但吐出构件不限于此。本发明的吐出构件中还包含例如在与吐出口连通的液室内，产生可动阀体、静电式、压电式等的致动器、隔板(diaphragm)及强制变形机构(例如，敲打锤及螺线管(solenoid)等与杆的组合、高压流体)、气泡产生用加热器、等的压力的机构。

通过位于柱塞10的下方的前端部101在液室内反复进行进退移动而连续吐出液体材料。在柱塞10进行进退移动的期间，柱塞的前端部的侧面102不会接触于液室的内侧壁411(参照图3(b))。本实施方式例中，将柱塞前端面103构成为半球状，但柱塞前端面103的形状不限于此，例如，也可为平面或与吐出口同心且相同数量的带有突起的平面。

柱塞10的后退位置通过止动器14规定。止动器14的位置可通过旋转测微计15而进行调节。

在主体上部2的下端接合有主体下部3。主体下部3具有贯通中心的贯通孔31，在贯通孔31插通有柱塞10。贯通孔31与液室41连通，但在贯通孔31的下端设置有环状的密封构件32，因而液室内的液体材料不会朝贯通孔31逆流。液室41是上下延伸的圆柱状的空间，在上方部分与供给液体材料的供给路径33连通。供给路径33经由设于安装构件4的送液路径42而与送液构件6的送液路径61连通。本实施方式例中，将供给路径33、送液路径42及送液路径61水平地构成，但当然也可设置角度而构成。

如图3(a)所示，喷嘴构件5具有设置于直线的喷嘴配置线20上的同径圆形的第1吐出口51及第2吐出口52。第1吐出口51及第2吐出口52的直径D₁，例如为数μm～数mm，优选为数十μm～数百μm。第1吐出口51及第2吐出口52的形状不限于例示的圆形，例如，公开有沿喷嘴配置线20延伸的椭圆形。多个吐出口的形状乃至配置图案，优选构成夹着喷嘴配置线20而对称的形状。这也适用于喷嘴构件5的下端不是平面而具有凹凸的形状的情况。

第1吐出口51及第2吐出口52的最接近距离(第1吐出口51的右端与第2吐出口52的左端的距离)L₁，设定为无论在何种情况下皆大于直径D₁，例如设定为D₁的2～10倍。换言之，是多个吐出口沿直线的喷嘴配置线而配置于喷嘴构件，并且着陆于涂布对象物的液体材料结合而形成涂布线的距离。

当将吐出装置1搭载于涂布装置200时，喷嘴配置线20配置为与描绘线的描绘方向一致。也可在工作台202或吐出装置1设置朝θ方向(以工作台的垂线为中心的旋转方向)旋转的旋转机构，以使喷嘴配置线20与描绘线的描绘方向能够动态地一致。在此，使喷嘴配置线20与描绘线的描绘方向一致的意义，换言之而在于，在将喷嘴配置线投影于描绘线上时，描绘线与喷嘴配置线的方向一致，或者，对相对于液体材料的吐出方向呈直角的平面进行喷嘴配置线20与描绘线的正投影的情况下，喷嘴配置线20与描绘线的方向一致。进一步换言之，在包含自吐出口吐出的液体材料的吐出方向的平面具有描绘线。这也可应用于涂布对象物的表面不是平面的情况或倾斜的情况。

在此，本实施方式例中的液体材料的吐出方向，更正确而言是指将工作台与吐出装置的相对移动停止而吐出的情况下的液体材料的吐出方向。如本实施方式例那样，在液体材料的吐出方向与铅垂方向相等的情况下，相对于上述的液体材料的吐出方向成为直角的线，成为水平面上的线。

另一方面，在由具有弯曲部位的多个直线构成涂布图案的情况下，必须在工作台202或Z轴驱动装置205设置朝θ方向旋转的旋转机构。例如，在涂布图案为四边形且四边形的一个顶点为涂布开始点及涂布结束点的情况下，弯曲部位为3个。旋转机构例如可使用公知的伺服马达而构成。

此外，在涂布图案具有直线部的情况下，将涂布对象物配置于工件202上以使直线部的方向与X方向或Y方向一致，并且喷嘴配置线20配置成与直线部为相同方向。由此，在直线部的涂布时，可仅驱动X驱动装置203或Y驱动装置204的任一方来进行涂布，从而可更精度良好地涂布形成涂布线。

即，在XYZ驱动装置(203、204、205)包含可使吐出装置1与工作台202相对地直线移动的单轴驱动装置(X驱动装置或Y驱动装置)的情况下，优选喷嘴配置线20配置为与该单轴驱动装置的驱动方向(X方向或Y方向)一致。这样的配置对不具有上述的旋转机构的情况特别有效。

如图3(b)所示，第1吐出口51经由细径的第1吐出流路54及大径吐出流路57而与液室41连通。此外，第2吐出口52经由细径的第2吐出流路55及大径吐出流路57而与液室41连通。第1吐出流路54及第2吐出流路55是相同形状，中心轴皆位于铅垂方向。

第1吐出流路54及第2吐出流路55也可构成为不设置大径吐出流路57而直接与液室41连通。此外，也可通过独立的各2条细径流路及大径流路而构成直接连通于液室41的第1吐出流路54及第2吐出流路55。

设于平面的喷嘴构件5的下端面的第1吐出口51及第2吐出口52，朝下方开口，在喷嘴构件5的下端面水平(相对于液体材料的吐出方向呈直角的方向)地配置的状态下，液体材料自这些吐出口滴落。

喷嘴构件5在上端具有凸缘部58，且由该凸缘部58而被支撑于安装构件4。安装构件4在支撑喷嘴构件5的状态下螺接于主体下部3或通过螺钉等的固定件而装卸自如地被固定。由于喷嘴构件5通过安装构件4而装卸自如地被安装，因而根据用途对吐出口的直径及最接近距离不同的多个喷嘴构件5进行交换也是容易的。用以装卸喷嘴构件5的方式无限制，但优选设置能够以使喷嘴配置线20的方向及位置相对于吐出装置1成为一定的方式进行安装的定位机构。作为定位机构可使用公知的定位机构，例如，可列举喷嘴构件5或主体下部3侧的构件的一部分(例如，销、凸部、缺口)嵌合于另一方的构件而进行定位的结构、或使用另外准备的构件(例如，销或螺钉)进行定位的结构。

在安装构件4的侧面固定设置有送液构件6。在送液构件6的上面连结有液体贮存容器7。液体贮存容器7经由气压式点胶机8而自气体供给源9接收加压气体的供给。再者，自气体供给源9供给的加压气体，也有为大气以外的气体(例如，氮气)的情况。

＜XYZ驱动装置＞

XYZ驱动装置(203、204、205)例如具备公知的XYZ轴伺服马达及滚珠螺杆而被构成，可使吐出装置1的吐出口(51、52)以任意的速度移动至工件的任意的位置。XYZ驱动装置(203、204、205)的动作通过控制装置206控制。

＜控制装置＞

控制装置206具备处理装置、储存涂布程序的存储装置及输入装置而被构成，例如，可使用个人计算机或可编程控制器等。控制装置206既可全部内置于基座201，也可一部分设置于基座201的外部，且通过有线或无线连接。控制装置206自输入装置接收包含涂布图案、涂布基准位置、相对移动速度、吐出时机、柱塞进退速度的涂布控制数据，且存储于存储装置。处理装置读出存储于存储装置的涂布控制数据，执行下述的涂布动作。

＜涂布动作＞

涂布装置200的涂布动作是在X方向、Y方向或倾斜方向(与X方向或Y方向构成角度的方向)上进行线状涂布(划线涂布)的动作，如下所述进行。

图4(a)显示自喷嘴构件5的吐出口(51、52)吐出液滴(151、152)且着陆于涂布对象物(工件)之前的时刻。如同图所示，本发明中，以被吐出的液体材料在工件上成为液滴的状态为前提。在此，自吐出口(51、52)吐出的液体材料，既可在自吐出口分离之后形成液滴，也可在接触于工件之后与吐出口分离，而在涂布对象物上形成液滴。本说明书中，有时将自吐出口吐出且自吐出口分离之前的液体材料、及自吐出口吐出后被分离且着陆于工件之前的液滴统称为“液块”。

关于液体材料接触于工件之后与吐出口分离而在涂布对象物上形成液滴的涂布方法，例如申请人在WO2008/146464中进行公开。为了使液体材料在接触于涂布对象物之后与吐出口分离，优选相比于与工件接触前的吐出口(喷嘴)连接的状态的液体材料的高度h₀使吐出口与工件的距离h₁小于数倍来进行吐出动作，更优选将吐出口与工件的距离h₁设定为小于h₀的2倍(h₀＜h₁＜h₀×2)。

为了使着陆于涂布对象物上的接近位置的二个液滴迅速扩散而结合，需要对液滴赋予一定以上的推进力。然而，实验的结果，确认到对于现有的喷射式吐出装置中吐出的液滴而言，赋予对于实现着陆后的快速结合而言充分的推进力。

上述以外还重要的是在于，被同时吐出的多个液块在着陆前不接触或不结合。这是因为，若液滴在着陆前接触或结合，则液滴变大，从而无法实现所希望的涂布图案。即，如图6所示，若二个液滴在飞翔中结合，则着陆面变为圆形，因而以一部分与该着陆液重叠的方式使相同大小的液滴不着陆，从而无法进行线状涂布(实质上，与由一个吐出口进行的涂布作业相同)。由于用以以自多个吐出口同时吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触、并且将沿喷嘴配置线20着陆的着陆液在涂布对象物上结合的方式进行吐出的条件，根据液体材料的种类或吐出装置的结构等的作业环境而不同，因而需要自一边按作业环境改变各要素的条件一边反复吐出的作业中寻找。每当进行该作业时，作为应当考虑的主要要素，例示有吐出口间的距离、吐出口的孔的大小、液体材料的粘度、吐出构件的推进力的大小(当然也可对这些以外的要素进行调节)。此外，如在下述的第五实施方式例中说明的那样，通过调节吐出口与涂布对象物的距离而对进行条件设定也是有效的。

图4(b)显示被同时吐出的液块着陆于涂布对象物的时刻。如同图所示，自二个吐出口(51、52)吐出的液体材料，在着陆时处于相互不接触的位置关系。换一种说法，自多个吐出口吐出的液体材料，形成与吐出口相同数量的液滴，且相互非接触地着陆于涂布对象物。

图4(c)显示被同时吐出的液块着陆于涂布对象物后经过了短暂时间的时刻。如同图所示，呈圆形着陆的液滴在涂布对象物上扩散，二个圆接触而开始结合。

图4(d)显示自图4(c)的时刻起经过了短暂时间的时刻。如同图所示，接触的二个圆的结合进一步进展，宽度方向(图中上下方向)的凹陷变浅。即，涂布对象物上的二个液滴的结合，与飞翔中的二个液滴的结合不同，以形成向喷嘴配置线20方向延伸的细长形状的方式进行作用(即使二个液滴合体，俯视时也不成为圆形)。

图4(e)显示自图4(d)的时刻起经过了短暂时间的时刻。如同图所示，二个圆完全结合而涂布宽度的不均匀消失，形成朝与喷嘴配置线20相同的方向延伸的直线状的细长涂布图案。

图4(a)～图4(e)是显示通过一次的吐出而进行规定的长度(最小单位)的线状涂布的工序的图，通过反复进行该工序，可形成所希望的长度的涂布线。

图5(a)～图5(e)是显示通过多次的吐出而进行线状涂布的工序的图。

图5(a)为自侧方观察刚进行第一发射后的时刻的图。

图5(b)为自侧方及上方观察刚进行第二发射后的时刻的图。在该时刻，第一发射所涉及的二个液滴在涂布对象物上开始结合。

图5(c)为自侧方及上方观察刚进行第三发射后的时刻的图。在该时刻，第一发射所涉及的二个液滴的结合进一步进展，第二发射所涉及的2个液滴在涂布对象物上开始结合。

图5(d)为自侧方及上方观察刚进行第四发射后的时刻的图。在该时刻，第一发射所涉及的二个液滴完全结合，第二发射所涉及的二个液滴的结合进一步进展，第三发射所涉及的二个液滴在涂布对象物上开始结合。

图5(e)为自侧方及上方观察刚进行第五发射后的时刻的图。在该时刻，第一及第二发射所涉及的二个液滴完全结合，第三发射所涉及的二个液滴的结合进一步进展，第四发射所涉及的二个液滴在涂布对象物上开始结合。

这样，在本实施方式例中，通过反复进行同时吐出二个液块的循环，可形成所希望的涂布线。在此所称的涂布线，不仅包含在被涂布的液体材料的宽度方向(长边方向的侧缘)无凹凸的如图4(e)那样的直线状的涂布线，而且还包含在图4(c)或图4(d)所公开的宽度方向具有凹凸的涂布线。在液体材料的粘度相对较高的情况下，也有在涂布线的宽度方向存在凹凸的情况，例如，如在贴合时被压扁的粘结剂的涂布的情况那样，有时即使是在宽度方向具有凹凸的涂布线也可达成目的。但是，宽度方向的凹凸成为气泡的原因，因此优选将凹陷量控制为扩散后的液滴的半径的1/3以下。

再者，涂布线不是均匀地形成于涂布对象物(工件)的表面的膜，而是形成为隆起于表面的线。

本发明在使用具有多个吐出口的喷嘴，一边使吐出装置与工作台以一定的速度V_c相对移动，一边将吐出的时机作为一定的间隔T_c而可进行线状涂布的方面，可以说具有特别的效果。换一种说法，本发明中，可一边使吐出装置与工作台以一定的速度相对移动，一边使柱塞杆反复进行一定的往返动作而一边进行线状涂布。通过将吐出的时机作为一定的间隔T_c，可使吐出量成为一定，提高吐出量精度及吐出位置精度。此时的间隔T_c，优选为自多个吐出口同时吐出的多个液块的至少一个与之前刚吐出的涂布对象物上的液体材料(着陆液)结合而形成线状的涂布图案的那样的间隔。再者，与之前刚吐出的液体材料的结合，既有与着陆同时进行的情况，也有在着陆后经过了短暂时间而进行的情况。前者多产生于之前刚吐出的液体材料在涂布对象物上已经扩散的情况。

作为优选的间隔T_c的一例，可列举出设定为V_c×T_c成为相邻的吐出口间的距离那样的间隔。这是因为，在设定为这样的间隔的情况下，可将吐出的多个液块结合而形成的线部B与其之前刚吐出的多个液块结合而形成的线部A的涂布对象物上的结合状态，与构成线部A的多个液块的结合状态及构成线部B的多个液块的结合状态设定为相同，因而可期待形成均匀的直线的效果。

图13为着陆于涂布对象物的二个液滴在涂布对象物上不结合的情况下的涂布方法的说明图。同图中，直线所示的是各次的吐出中的吐出口51的位置。

由于第1次吐出所吐出的二个液滴(以实线及网点图示)不结合，因而在第2次吐出中，需要进行二个液滴(以虚线及网点图示)的吐出以使第1次吐出的二个液滴之间被连接。第3次吐出中，以被吐出的液滴的重叠状况在全部的部位变得相同的方式，需要进行2个液滴(以实线及斜线图示)的吐出以使与第2次吐出的行进方向侧(右侧)的液滴重叠。第4次吐出中，与第2次吐出同样地，需要进行二个液滴(以虚线及斜线图示)的吐出以使与第3次吐出的二个液滴之间被连接。

这样，图13的涂布方法中，在使吐出装置与工作台以一定的速度相对移动的情况下，产生必须改变吐出的时机的问题。另一方面，若改变吐出装置与工作台的相对移动的速度，则产生液滴的着陆位置的控制变得困难的问题。

根据以上说明的第一实施方式例的涂布装置及涂布方法，可同时吐出二个液块而进行线状涂布，因此与将一个液块重叠而进行线状涂布的情况相比较，可将涂布速度以二倍左右高速化。该线状涂布的高速化在进行直线涂布时特别有效，例如，在涂布图案由一条或者多个直线构成的情况下，可实现显著的高速化效果。

此外，使用具有多个吐出口的喷嘴，一边使吐出装置与工作台以一定的速度相对移动，一边将吐出的时机作为一定的间隔而可进行高精度的线状涂布。

《第二实施方式例》

第二实施方式例在吐出装置1的喷嘴构件5具有以等间距配置的三个吐出口的方面与第一实施方式例不同，其它的结构与第一实施方式例相同。以下，对与第一实施方式例共同的结构，省略说明，对不同的结构进行说明。

如图7(a)所示，喷嘴构件5具有设于直线的喷嘴配置线20上的同径圆形的第1吐出口51、第2吐出口52及第3吐出口53。第1～第3吐出口(51～53)的直径D₁与第一实施方式相同。第1吐出口51与第2吐出口52的最接近距离(第1吐出口51的右端与第2吐出口52的左端的距离)L₁，与第2吐出口52与第3吐出口53的最接近距离(第2吐出口52的右端与第3吐出口53的左端的距离)L₂，为相同长度。L₁及L₂设定为无论在何种情况下皆大于直径D₁，例如设定为D₁的2～10倍。在将吐出装置1搭载于涂布装置200时，将喷嘴配置线20配置为与所希望的描绘线(直线)的方向一致。与第一实施方式相同，也可在工作台202或吐出装置1设置旋转机构，通过旋转机构来动态地调整吐出口的方向。

如图7(b)所示，第1～第3吐出口(51～53)经由第1吐出流路54、第2吐出流路55及第3吐出流路56以及大径吐出流路57而与液室41连通。第1～第3吐出流路(54～56)为相同形状，中心轴均位于铅垂方向。即，第1～第3吐出流路(54～56)平行于垂直方向而设置。

根据第二实施方式例，通过一次的吐出可形成3滴份的长度的涂布线。此外，本实施方式中，公开了具有以等间距配置的三个吐出口的喷嘴构件，但在以等间距配置四个以上的相同形状的吐出口的喷嘴构件中，也可实现同样的效果。

《第三实施方式例》

第三实施方式例在吐出装置1的喷嘴构件5具有以等间距配置的四个吐出口的方面与第一及第二实施方式例不同，其它的结构与第一及第二实施方式例相同。以下，对与第一及第二实施方式例共同的结构，省略说明，对不同的结构进行说明。

如图8所示，喷嘴构件5具有设于直线的喷嘴配置线20上的大圆形的第1吐出口71及第2吐出口72、小圆形的第3吐出口73及第4吐出口74。第1吐出口71及第2吐出口72的直径D₁，例如为数十μm～数mm。第3吐出口73及第4吐出口74的直径D₂为直径D₁的1/2～1/10，例如为数μm～数百μm。大圆形的吐出口与小圆形的吐出口，在喷嘴配置线20上交替地且实质上等间隔地配置。

在第1吐出口71与第2吐出口72的最接近距离(第1吐出口71的右端与第2吐出口72的左端的距离)L₁的中间地点配置有第3吐出口73。第1吐出口71与第3吐出口73的最接近距离L₂设定为无论在何种情况下皆大于直径D₁，例如设定为D₁的2～10倍。第4吐出口74相对于第2吐出口72而与第3吐出口73对称地设置。即，第2吐出口72与第4吐出口74的最接近距离L₃与L₂相同。在将吐出装置1搭载于涂布装置200时，将喷嘴配置线20配置为与所希望的描绘线(直线)的方向一致。与第一实施方式相同，也可在工作台202或吐出装置1设置旋转机构，通过旋转机构来动态地调整吐出口的方向。

图9为自第1～第4吐出口(71～74)同时吐出的四个液块着陆且在涂布对象物上扩散的状况的想象图。自第1～第4吐出口(71～74)同时吐出的四个液滴(171～174)，如图9上段所示，着陆时为相互独立的俯视圆形的液滴。如图9中段所示，若着陆后经过了短暂时间，则四个液滴(171～174)分别扩散且开始结合。在此，二个辅助液滴173～174以促进基本液滴171～172的结合的方式进行作用。最终，如图9下段所示，四个圆完全结合而使涂布宽度的不均匀消失，形成朝与喷嘴配置线20相同的方向延伸的直线状的细长涂布图案。

再者，各吐出口优选为圆形，但在圆形以外的形状中也可实现本发明的效果。此外，在吐出口由多个大小的孔构成的情况下，优选至少最大的吐出口为相同形状且构成为相同大小，更优选通过相同形状且相同大小的吐出口组的组合(参照图8、图10)构成多个大小的孔的吐出口。

如以上所述，二个辅助液滴173～174以促进基本液滴171～172的结合的方式进行作用。

《第四实施方式例》

第四实施方式例在吐出装置1的喷嘴构件5具有六个吐出口的方面与第一至第三实施方式例不同，其它的结构与第一至第三实施方式例相同。以下，对与第一至第三实施方式例共同的结构，省略说明，对不同的结构进行说明。

如图10所示，喷嘴构件5具有设于直线的喷嘴配置线20上的同径大圆形的第1吐出口81及第2吐出口82、以及沿喷嘴配置线配置的同径小圆形的第3吐出口83、第4吐出口84、第5吐出口85及第6吐出口86。第3吐出口83及第4吐出口84夹着喷嘴配置线20而对称地配置，第5吐出口85及第6吐出口86夹着喷嘴配置线20而对称地配置。换一种说法，第1～第6吐出口(81～86)相对于喷嘴配置线20对称地配置。再换一种说法，多个吐出口包含多个大圆形吐出口及多个小圆形吐出口组，大圆形吐出口全部配置于喷嘴配置线20上，且小圆形吐出口组与大圆形吐出口交替地配置，小圆形吐出口组由夹着喷嘴配置线20而对称地配置的多个小圆形吐出口构成。

第1吐出口81及第2吐出口82的直径D₁，例如为数十μm～数mm。第3吐出口83、第4吐出口84、第5吐出口85及第6吐出口86的直径D₂为直径D₁的1/2～1/10，例如为数μm～数百μm。

在第1吐出口81与第2吐出口82的最接近距离(第1吐出口81的右端与第2吐出口82的左端的距离)L₁的中间地点在与喷嘴配置线20正交的直线上配置有第3吐出口83及第4吐出口84。在L₁的中间地点上与喷嘴配置线20正交的直线与第1吐出口81及第2吐出口82的最接近距离L₂(＝L₁×1/2)设定为无论在何种情况下皆大于直径D₁，例如设定为D₁的2～10倍。

与配置有第5吐出口85及第6吐出口86的喷嘴配置线20正交的直线与第2吐出口72的最接近距离L₃与L₂相同。在将吐出装置1搭载于涂布装置200时，将喷嘴配置线20配置为与所希望的描绘线(直线)的方向一致。与第一实施方式相同，也可在工作台202或吐出装置1设置旋转机构，通过旋转机构来动态地调整吐出口的方向。

再者，在如本实施方式例那样具有大型吐出口及小型吐出口的情况下，也可通过以在包含自大型吐出口吐出的液体材料的吐出方向的平面上具有描绘线的方式配置各吐出口，从而使喷嘴配置线20与描绘线的描绘方向一致。

同径小圆形的第3～第6吐出口(83～86)作为辅助吐出口而发挥作用，该辅助吐出口用以供给用以使第1及第2吐出口(81、82)的结合部平滑的辅助的液体材料。

图11为自第1～第6吐出口(81～86)同时吐出的6个液块着陆且在涂布对象物上扩散的状况的想象图。自第1～第6吐出口(81～86)同时吐出的六个液滴(181～186)，如图11上段所示，着陆时为相互独立的俯视圆形的液滴。如图11中段所示，若着陆后经过了短暂时间，六个液滴(181～186)分别扩散且开始结合。最终，如图11下段所示，六个圆完全结合而使涂布宽度的不均匀消失，形成朝与喷嘴配置线20相同的方向延伸的直线状的细长涂布图案。

如以上所述，四个辅助液滴183～186以迅速消除基本液滴181～182的结合时所产生的宽度方向的凹陷的方式进行作用。再者，本实施方式中，各吐出口优选为圆形，但不限于圆形。

《第五实施方式例》

第五实施方式例中，吐出装置1的喷嘴构件5的结构与第一至第四实施方式例不同，其它的结构与第一至第四实施方式例相同。以下，对与第一至第四实施方式例共同的结构，省略说明，对不同的结构进行说明。

如图12(a)所示，第五实施方式例的喷嘴构件5由符号5a所示的上侧构件及符号5b所示的下侧构件构成。在上端具有凸缘部58，且由该凸缘部而被支撑于安装构件4。下侧构件5b螺接于上侧构件5a的下端或通过螺钉等的固定件而装卸自如地被固定。下侧构件5b装卸自如地安装于上侧构件5a，因此根据用途对吐出口的直径及距离、或吐出口的喷出角度不同的多个下侧构件5b进行交换也是容易的。优选设置定位机构，该定位机构用以在将下侧构件5b固定于上侧构件5a时使下侧构件5b的朝向相对于上侧构件5a为一定。作为定位机构可使用公知的定位机构，例如，可列举将下侧构件5b或上侧构件5a的一部分(例如，销、凸部、缺口)嵌合于另一方的构件而进行定位的结构、或使用另外准备的构件(例如，销或螺钉)进行定位的结构。

第1吐出口91经由直线状的第1吐出流路93及大径吐出流路95而与液室41连通。此外，第2吐出口92经由直线状的第2吐出流路94及大径吐出流路95而与液室41连通。第1吐出流路93及第2吐出流路94具有相同形状，皆相对于喷嘴构件的中心轴59以相等的角度倾斜。第1吐出流路93的中心轴与喷嘴构件的中心轴59所构成的角度A₁、与第2吐出流路94的中心轴与喷嘴构件的中心轴59所构成的角度A₂相等，例如设定为A₁＝A₂＜45度。

本实施方式例中，主要考虑将液体材料的吐出方向作为中心轴59的方向。

第五实施方式例中，通过由Z驱动装置205调节吐出口与工件的距离h，可调节被同时吐出的二个液块的距离。图12(b)为吐出口与工件的距离为h_a的情况及h_b的情况的液滴的距离(重叠状况)的想象图。由同图可知，若吐出口与工件的距离h靠近，则液滴间的距离变远，若距离h远离，则液滴间的距离变小。但是，在本实施方式例中，将距离h设定为使被同时吐出的多个液滴在着陆前不接触或不结合。

根据以上说明的第五实施方式例的涂布装置及涂布方法，通过调节吐出口与工件的距离h，可调节着陆的二个液滴的距离或重叠状况。由此，可适宜地应对湿度或室温等的气氛环境的差异所引起的液滴的距离或重叠状况的差异。

吐出口的数量不限于例示的二个，也可为三个以上。在吐出口的数量为奇数个的情况下，不对位于中心的吐出口设置倾斜而使位于距中心相同距离的成对的吐出口相对于喷嘴构件的中心轴以相等的角度倾斜。

再者，在将吐出口与工件的距离h设定为非常小的距离的情况下，也可将各吐出口的喷出角度设定于自喷嘴构件的中心轴分离的方向(放射状)，使液滴在工件上结合。

产业上的可利用性

本发明当然可应用于工业用润滑脂、焊料膏体、银膏体、各种粘结剂(UV固化型、环氧系、热熔性系等)、焊剂，也可应用如溶剂(0.8cps左右)的低粘性材料乃至高粘性材料(1,00,000cps左右)的液体材料。

符号的说明

1：吐出装置、2：主体上部、3：主体下部、4：安装构件、5：喷嘴构件、6：送液构件、7：液体贮存容器、8：气压式点胶机、9：气体供给源、10：柱塞、11：活塞、12：密封构件、13：弹性构件、14：止动器、15：测微计、16：电磁切换阀、17：切换阀控制部、18：减压阀(调节器(regulator))、19：气体供给源、20：喷嘴配置线、21：贯通孔、22：下方室、23：上方室、24：下方通气口、25：上方通气口、31：贯通孔、32：密封构件、33：供给路径、41：液室、42：送液路径、51：第1吐出口、52：第2吐出口、53：第3吐出口、61：送液路径、71：第1吐出口、72：第2吐出口、73：第3吐出口、74：第4吐出口、81：第1吐出口、82：第2吐出口、83：第3吐出口、84：第4吐出口、85：第5吐出口、86：第6吐出口、91：第1吐出口、92：第2吐出口、101：柱塞的前端部、102：柱塞的前端部的侧面、103：柱塞前端面、200：涂布装置、201：基座、202：工作台、203：X驱动装置、204：Y驱动装置、205：Z驱动装置、206：控制装置、213：X方向、214：Y方向、215：Z方向、207：涂布对象物(工件)、411：液室的内侧壁、412：液室的底面。

Claims (26)

1.一种涂布方法，其特征在于，

是使用涂布装置在涂布对象物上对描绘线进行线状涂布的方法，

所述涂布装置具备：

吐出装置；

工作台，其载置涂布对象物；

驱动装置，其使吐出装置与工作台相对移动；及

控制部，其控制吐出装置及驱动装置的动作，

所述吐出装置具备：

喷嘴，其具有吐出液体材料的多个吐出口；

一个液室，其经由多个吐出流路而与所述多个吐出口的全部连通；及

吐出构件，其与所述一个液室内的液体材料接触，

通过所述吐出构件对所述液室内的液体材料赋予惯性力而自所述多个吐出口的全部一直同时地吐出，并在涂布对象物上形成多个液滴，

所述多个吐出口沿着直线的喷嘴配置线而配置于所述喷嘴，

在使所述喷嘴配置线与所述描绘线的描绘方向一致的状态下，以同时地被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着所述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式，自所述多个吐出口的全部吐出液体材料并进行线状涂布。

2.如权利要求1所述的涂布方法，其特征在于，

所述吐出装置具备：

柱塞，其相较于所述液室为小径，前端部在液室内进行进退移动；

柱塞往返移动装置，其使所述柱塞进退移动；及

送液装置，其将液体材料供给至所述液室内，

在所述柱塞的前端部的侧面与所述液室的内侧壁非接触的状态下使柱塞进行进入移动及进入停止，从而对液体材料赋予惯性力而自所述多个吐出口同时地吐出。

3.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述控制部以一边使所述吐出装置与所述工作台保持一定的速度V_c地在与喷嘴配置线相同的方向上相对移动一边所述被吐出的多个液块的至少一个与之前刚被吐出的涂布对象物上的液体材料结合而形成描绘线的方式，根据所述吐出装置与所述工作台的相对移动速度，将吐出的时机作为一定的间隔T_c而进行线状涂布。

4.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

通过调节所述吐出构件的推进力，从而以所述被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着所述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式吐出液体材料。

5.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述多个吐出流路被构成为具备直线状的第1吐出流路和直线状的第2吐出流路，

所述第1吐出流路的延长线及所述第2吐出流路的延长线以相交的方式具有倾斜地被配置，

通过调节所述吐出口与所述涂布对象物的距离h，从而在从所述第1吐出流路及所述第2吐出流路吐出的多个液块在着陆前不接触的范围内对形成于所述涂布对象物上的多个液滴间的距离进行调节。

6.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述多个吐出口的任一个均配置在所述喷嘴配置线上。

7.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述多个吐出口均为相同形状且被配置为等间距。

8.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口，吐出口的任一个均配置在所述喷嘴配置线上，

所述小型吐出口及所述大型吐出口沿着所述喷嘴配置线交替地配置。

9.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口组，所述大型吐出口的任一个均配置在所述喷嘴配置线上，

所述小型吐出口组及所述大型吐出口沿着所述喷嘴配置线交替地配置，

所述小型吐出口组由相对于所述喷嘴配置线对称地被配置的多个小型吐出口构成。

10.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述吐出装置或者所述工作台具备旋转机构，

通过所述旋转机构，使所述喷嘴配置线与所述描绘线的描绘方向一致。

11.如权利要求10所述的涂布方法，其特征在于，

所述线状涂布根据包含在第一方向上延伸的直线状的涂布线、及在与第一方向不同的第二方向上延伸的直线状的涂布线的涂布图案而进行。

12.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

所述喷嘴相对于所述吐出装置装卸自如地被固定，

所述吐出装置具有使所述喷嘴能够以所述喷嘴配置线的方向相对于所述吐出装置成为一定的方式进行安装的定位机构。

13.如权利要求1或2所述的涂布方法，其特征在于，

以同时被吐出的液块的全部在所述涂布对象物上在着陆后结合的方式，从所述多个吐出口同时地吐出液体材料。

14.一种涂布装置，其特征在于，

具备吐出装置、载置涂布对象物的工作台、使吐出装置与工作台相对移动的驱动装置、及控制吐出装置及驱动装置的动作的控制部，

所述吐出装置具备：

喷嘴，其具有吐出液体材料的多个吐出口；

一个液室，其经由多个吐出流路而与所述多个吐出口的全部连通；及

吐出构件，其与所述一个液室内的液体材料接触，

能够通过所述吐出构件对所述液室内的液体材料赋予惯性力而自所述多个吐出口的全部一直同时地吐出，并在涂布对象物上形成多个液滴，

所述多个吐出口沿着直线的喷嘴配置线而配置于所述喷嘴，

所述控制部在使所述喷嘴配置线与描绘线的描绘方向一致的状态下，以同时地被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着所述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式，自所述多个吐出口的全部吐出液体材料而进行线状涂布。

15.如权利要求14所述的涂布装置，其特征在于，

所述吐出装置具备：

柱塞，其相较于所述液室为小径，前端部在液室内进行进退移动；

柱塞往返移动装置，其使所述柱塞进退移动；及

送液装置，其将液体材料供给至所述液室内，

在所述柱塞的前端部的侧面与所述液室的内侧壁非接触的状态下使柱塞进行进入移动及进入停止，从而对液体材料赋予惯性力而自所述多个吐出口同时地吐出。

16.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制部以一边使所述吐出装置与所述工作台保持一定的速度V_c地在与喷嘴配置线相同的方向上相对移动一边所述被吐出的多个液块的至少一个与之前刚被吐出的涂布对象物上的液体材料结合而形成描绘线的方式，根据所述吐出装置与所述工作台的相对移动速度，将吐出的时机作为一定的间隔T_c而进行线状涂布。

17.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制部通过调节所述吐出构件的推进力，从而以所述被吐出的多个液块在着陆于涂布对象物之前不接触，并且沿着所述喷嘴配置线着陆的液体材料在涂布对象物上结合的方式吐出液体材料。

18.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述多个吐出流路被构成为具备直线状的第1吐出流路和直线状的第2吐出流路，

所述第1吐出流路的延长线及所述第2吐出流路的延长线以相交的方式具有倾斜地被配置，通过调节所述吐出口与所述涂布对象物的距离h，从而在从所述第1吐出流路及所述第2吐出流路吐出的多个液块在着陆前不接触的范围内对形成于所述涂布对象物上的多个液滴间的距离进行调节。

19.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述多个吐出口的任一个均配置在所述喷嘴配置线上。

20.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述多个吐出口均为相同形状且被配置为等间距。

21.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口，吐出口的任一个均配置在所述喷嘴配置线上，

所述小型吐出口及所述大型吐出口沿着所述喷嘴配置线交替地配置。

22.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述多个吐出口由偶数个吐出口构成，包含二个大型吐出口及二个小型吐出口组，所述大型吐出口的任一个均配置在所述喷嘴配置线上，

所述小型吐出口组及所述大型吐出口沿着所述喷嘴配置线交替地配置，

所述小型吐出口组由相对于所述喷嘴配置线对称地被配置的多个小型吐出口构成。

23.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述吐出装置或者所述工作台具备旋转机构，

所述控制部通过所述旋转机构，使所述喷嘴配置线与所述描绘线的描绘方向一致。

24.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述驱动装置包含能够使所述吐出装置及所述工作台相对地直线移动的单轴驱动机构，

所述喷嘴配置线与所述单轴驱动机构的驱动方向一致而被配置。

25.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述喷嘴相对于所述吐出装置装卸自如地被固定，

所述吐出装置具有使所述喷嘴能够以所述喷嘴配置线的方向相对于所述吐出装置成为一定的方式进行安装的定位机构。

26.如权利要求14或15所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制部以同时被吐出的液块的全部在所述涂布对象物上在着陆后结合的方式，从所述多个吐出口同时地吐出液体材料。